JP2017156269A - 筒内圧センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】筒内圧の検出感度を向上させつつ、半導体基板の耐久性の向上にも貢献できる筒内圧センサを提供する。【解決手段】筒内圧センサは、圧力に応じて抵抗値が変化するメサ部35を有する半導体基板30と、メサ部35の頂面に固定され、該メサ部35に筒内圧を伝達する力伝達部材であるガラスブロック19と、ガラスブロック19とによって半導体基板30を挟むようにして該半導体基板30に固定されている固定部材15とを備える。この筒内圧センサの半導体基板30には、ガラスブロック19と固定部材15とによって挟まれている方向における肉厚が他の部分に比して薄い薄板部34が設けられている。薄板部34には、ガラスブロック19側の端面34Aにメサ部35が設けられており、固定部材15側の端面34Bに固定部材15まで延びて該固定部材15に固定されている支持部36が設けられている。【選択図】図3
Description
本発明は、内燃機関の燃焼室内の圧力である筒内圧を検出する筒内圧センサに関する。
特許文献1に記載の筒内圧センサは、半導体基板と、該半導体基板に筒内圧を伝達する力伝達部材とを有している。半導体基板は、圧力に応じて抵抗値が変化するメサ型の突出部であるメサ部を有している。メサ部には、半導体基板に形成されている電極を通じて定電流が供給されている。力伝達部材を介してメサ部に筒内圧が作用すると、メサ部の抵抗値が変化して、該メサ部の両端に生じている電圧である両端電圧が変化する。筒内圧センサには、メサ部の両端電圧に対応した信号が入力される回路部が設けられている。回路部は、その信号に基づいて筒内圧を検出する。
筒内圧の検出感度を高める上では、半導体基板においてメサ部が設けられている部分を薄板状の薄板部として構成することが望ましい。こうした構成によれば、力伝達ブロックを介して作用する力に対してメサ部の変形量が増大し、筒内圧の検出感度を高めることができる。しかしながら、薄板部が薄板状となって剛性が低下すると、異常燃焼などによって筒内圧が高くなったときに薄板部の撓み量が大きくなり、薄板部に過大な応力が発生するおそれもある。
上記課題を解決するための筒内圧センサは、圧力に応じて抵抗値が変化するメサ型の突出部であるメサ部を有する半導体基板と、前記メサ部の頂面に固定され、該メサ部に筒内圧を伝達する力伝達部材と、前記力伝達部材とによって前記半導体基板を挟むようにして該半導体基板に固定されている固定部材とを備える筒内圧センサであって、前記半導体基板には、前記力伝達部材と前記固定部材とによって挟まれている方向における肉厚が他の部分に比して薄い薄板部が設けられ、前記薄板部には、前記力伝達部材側の端面に前記メサ部が設けられており、前記固定部材側の端面に前記固定部材まで延びて該固定部材に固定されている支持部が設けられている。
上記構成では、メサ部が薄板部に設けられているため、力伝達部材を介して作用する筒内圧に対してメサ部の変形量が大きくなり、筒内圧の検出感度を高めることができる。また、薄板部の撓みは支持部を介して固定部材で受け止められ、筒内圧を受けたときの薄板部の撓み量が制限される。そのため、異常燃焼など筒内圧が高くなったときにおいても、薄板部が固定部材側に大きく撓むことが抑えられ、薄板部に発生する応力が適正になる。したがって、上記構成によれば、筒内圧の検出感度を向上させつつ、半導体基板の耐久性の向上にも貢献できる。
また、上記筒内圧センサでは、前記薄板部の周縁は、全周に亘って該薄板部よりも前記肉厚が厚い保持部に連結されており、前記支持部は、前記薄板部における中心部分から延びていることが望ましい。
周縁が保持部によって保持されている薄板部では、筒内圧が作用したときに中心部分の撓み量が大きくなる傾向にある。上記構成では、薄板部の中心部分から支持部が延びており、該中心部分の撓みが特に抑えられるため、薄板部の撓み抑制に適切な構成を実現できる。
また、上記筒内圧センサでは、前記メサ部と前記支持部とは前記薄板部を挟んで対向していることが望ましい。
上記構成によれば、薄板部におけるメサ部の反対側の部分が支持部によって支持される。そのため、メサ部及び支持部は、力伝達部材と固定部材との間で一筋状に連結された状態になる。このため、力伝達部材から筒内圧が伝達されると、固定部材からの反作用により支持部側からもメサ部に荷重が作用する。そのため、筒内圧をメサ部の変形に好適に作用させることができる。
上記構成によれば、薄板部におけるメサ部の反対側の部分が支持部によって支持される。そのため、メサ部及び支持部は、力伝達部材と固定部材との間で一筋状に連結された状態になる。このため、力伝達部材から筒内圧が伝達されると、固定部材からの反作用により支持部側からもメサ部に荷重が作用する。そのため、筒内圧をメサ部の変形に好適に作用させることができる。
また、上記筒内圧センサでは、前記メサ部は、前記薄板部の所定方向における一方の端縁と他方の端縁とを結ぶように連続して延びており、前記支持部は、前記メサ部と同じ長さ前記所定方向に延びており、該所定方向における全体が前記薄板部を挟んで前記メサ部と対向していることが望ましい。
上記構成によれば、力伝達部材から筒内圧が伝達されたときに、支持部によってメサ部全体が支持され、固定部材からの反作用による荷重が支持部を通じてメサ部全体に作用することになる。そのため、メサ部の変形量の増大に貢献できる。
また、上記筒内圧センサでは、前記メサ部は、前記薄板部における所定方向に延びており、前記所定方向と直交する断面において、前記支持部の幅は前記メサ部の幅以上であることが望ましい。
筒内圧の振動数が筒内圧センサの固有振動数に近いときには、筒内圧センサが共振することもある。筒内圧センサが共振したときには、力伝達部材と固定部材との相対位置が変化することもある。こうした場合には、力伝達部材と固定部材との間に固定されている半導体基板には引っ張り荷重が作用することにもなる。上記構成によれば、支持部材とメサ部とは力伝達部材と固定部材との間で一筋状に設けられており、支持部の幅がメサ部の幅以上である。支持部は固定部材に向かって比較的長く延びており、引っ張り荷重が作用したときに支持部と薄板部との連結部分には応力が集中しやすい。支持部の幅がメサ部の幅以上であることから支持部と薄板部との連結面積が大きくなり、この連結部分に作用する引っ張り応力を分散させることができる。したがって、半導体基板の共振時における耐久性の向上に貢献できる。
筒内圧センサの一実施形態について、図1〜図4を参照して説明する。
図1に示すように、筒内圧センサは、筒状のハウジング10を有している。ハウジング10の一端部には、可撓性を有するダイアフラム11が設けられている。ダイアフラム11は、例えば金属からなり、ハウジング10の一端部を塞いでいる。ダイアフラム11は、本体部12と、該本体部12からハウジング10の内部に向けて筒状に延出された延出部13とを有している。延出部13は、ハウジング10の内面から離間している。ダイアフラム11は、本体部12から外方に拡径したフランジ14を有している。フランジ14は、ハウジング10の一端面と対向していて、その一端面に固定されている。フランジ14は、その外周面がハウジング10の外周面と面一である。本体部12の中心部分は、その周縁部分に比して薄肉になっており、燃焼室内の圧力である筒内圧に応じて撓む可撓部12Aを構成している。可撓部12Aは、ハウジング10の軸線方向(図1の左右方向)においてハウジング10の内側(図1の右方)に湾曲した形状をなしている。
図1に示すように、筒内圧センサは、筒状のハウジング10を有している。ハウジング10の一端部には、可撓性を有するダイアフラム11が設けられている。ダイアフラム11は、例えば金属からなり、ハウジング10の一端部を塞いでいる。ダイアフラム11は、本体部12と、該本体部12からハウジング10の内部に向けて筒状に延出された延出部13とを有している。延出部13は、ハウジング10の内面から離間している。ダイアフラム11は、本体部12から外方に拡径したフランジ14を有している。フランジ14は、ハウジング10の一端面と対向していて、その一端面に固定されている。フランジ14は、その外周面がハウジング10の外周面と面一である。本体部12の中心部分は、その周縁部分に比して薄肉になっており、燃焼室内の圧力である筒内圧に応じて撓む可撓部12Aを構成している。可撓部12Aは、ハウジング10の軸線方向(図1の左右方向)においてハウジング10の内側(図1の右方)に湾曲した形状をなしている。
ハウジング10の内域には、固定部材15が設けられている。固定部材15は、円柱状の挿通部16と、挿通部16のダイアフラム11側とは反対側の端面に立設された円筒状の筒部17とを有している。筒部17はダイアフラム11から離間する方向に延びている。挿通部16と筒部17との外径は略同一である。筒部17には、外周面から外方に突出した係止部17Aが形成されており、該係止部17Aはダイアフラム11の延出部13の端面に固定されている。挿通部16は、ダイアフラム11の延出部13の内部に挿通され、その外面が延出部13の内面に当接している。挿通部16及び筒部17は、例えば金属からなり、一体物として構成されている。固定部材15のダイアフラム11に対向する対向面と、ダイアフラム11の内面とによって収容室18が構成されている。
収容室18には、半導体基板30が収容されている。半導体基板30は、一端面が固定部材15の挿通部16に固定され、他端面にガラスブロック19が固定されている。ガラスブロック19には、ダイアフラム11の可撓部12Aの内面に連結されたロッド20が固定されている。ロッド20は、ダイアフラム11との当接面が湾曲した形状をなしている。ロッド20は、断熱性を有し、例えば、セラミックスから構成されている。筒内圧センサが内燃機関に組付けられた状態では、筒内圧がダイアフラム11に作用する。ダイアフラム11の可撓部12Aは筒内圧に応じて前記軸線方向に変位する。可撓部12Aが該軸線方向におけるハウジング10の内側(図1の右方)に撓むと、ロッド20を介してガラスブロック19が半導体基板30側に押される。このようにして筒内圧が半導体基板30に伝達される。ダイアフラム11、ロッド20、及びガラスブロック19が半導体基板30に筒内圧を伝達する力伝達部材として機能する。
図2に示すように、半導体基板30は、シリコンからなる真性半導体であり、ガラスブロック19側の一端面が長方形の直方体状である。半導体基板30は、一端面の長手方向(図2の上下方向)の両端部に一対の保持台31を有している。保持台31には、電極32が設けられている。電極32は、例えば保持台31の上面に金属などを蒸着することによって薄膜状に形成されている。半導体基板30には、一端面の短手方向(図2の左右方向)の両端部に、保持台31を繋ぐ連結壁33が設けられている。
半導体基板30には、薄板部34も設けられている。図3に示すように、薄板部34は、半導体基板30におけるガラスブロック19と固定部材15とによって挟まれている厚さ方向(図3の上下方向)における肉厚が、保持台31及び連結壁33の肉厚よりも薄い。保持台31と連結壁33とは、肉厚が同一であり、これらの上面及び下面は面一である。ガラスブロック19は、薄板部34を覆うように、例えば陽極接合によって保持台31及び連結壁33の上面に固定されている。また、固定部材15は、保持台31及び連結壁33の下面に固定されている。薄板部34は、厚さ方向において、保持台31及び連結壁33の上面及び下面の間に連結されている。そのため、薄板部34は、ガラスブロック19及び固定部材15から離間している。図2に示すように、薄板部34は、平面視において長方形であり、その長手方向が半導体基板の一端面における短手方向と同じになるように配設されている。薄板部34は、その周縁が保持台31または連結壁33に連結され、これら保持台31及び連結壁33によって全周に亘って保持されている。保持台31及び連結壁33は、薄板部34よりも厚肉の保持部に相当する。
図2〜図4に示すように、薄板部34には、ガラスブロック19側の端面34Aにメサ型の突出部であるメサ部35が設けられている。図2に示すように、メサ部35は、半導体基板30の平面視において、薄板部34の対角線L1,L2の交点である中心部分Cから、一対の電極32を繋ぐように所定方向(薄板部34の短手方向)に延びている。すなわち、メサ部35は、薄板部34において、一方の電極32側の端縁と他方の電極32側の端縁とを結ぶように連続して延びている。メサ部35には、導電材としてボロンやアルミニウムなどの3価のイオンが添加されている。これにより、メサ部35は導電性を有し、圧力に応じて抵抗値が変化する。メサ部35により一対の電極32が電気的に接続されている。図3に示すように、メサ部35の薄板部34からの突出高さH1は、薄板部34のガラスブロック19側の端面34Aから保持台31及び連結壁33の上面までの高さH2と同じである(H1=H2)。そのため、メサ部35の頂面と保持台31及び連結壁33の上面とは面一である。メサ部35の頂面にもガラスブロック19が固定されている。なお、メサ部35の肉厚(突出高さH1)は、薄板部34の肉厚よりも厚い。
また、半導体基板30には、薄板部34の固定部材15側の端面34Bに固定部材15まで延びている板状の支持部36が設けられている。支持部36の薄板部34からの突出高さH3は、薄板部34の固定部材15側の端面34Bから保持台31及び連結壁33の下面までの高さH4と同じである(H3=H4)。そのため、支持部36の下面と、保持台31及び連結壁33の下面とは面一である。支持部36の下面にも固定部材15が固定されている。支持部36の突出高さH3は、メサ部35の突出高さH1よりも高い(H3>H1)。図2〜図4に示すように、支持部36は、薄板部34の中心部分Cから上記所定方向(薄板部34の短手方向)にメサ部35と同じ長さ延びている。このため、支持部36は、薄板部34を挟んで、上記所定方向の全体に亘ってメサ部35と対向している。すなわち、メサ部35及び支持部36は、上記所定方向の全体に亘ってガラスブロック19と固定部材15との間で一筋状に連結されている。支持部36の上記所定方向における両端部は、保持台31に連結されている。図3に示すように、上記所定方向と直交する断面において、支持部36の幅W1、すなわち上記所定方向及び上記厚さ方向(図3の上下方向)と直交する方向(図3の左右方向)における長さは、メサ部35の幅W2よりも大きい(W1>W2)。支持部36の幅W1は、上記所定方向において一定である。
半導体基板30は直方体状に形成される。その後、ガラスブロック19側の端面に2つの上側溝37が形成され、固定部材15側の端面に上側溝37よりも深い2つの下側溝38が形成される。こうした方法によって上述した構成を有する半導体基板30が形成される。このため、半導体基板30の薄板部34と、該薄板部34に設けられているメサ部35及び支持部36は一体物として構成されている。
図1に示すように、半導体基板30の電極32には一対のリード線21が接続されている。リード線21は、固定部材15の挿通部16を貫通して延びる細長状の端子22にそれぞれ接続されている。各端子22は、絶縁被膜され、筒内圧センサに設けられた回路部23に接続されている。回路部23には、一定の電流が流れるように制御された定電流回路24と、検出回路25とが設けられている。半導体基板30は、各端子22及びリード線21を介して定電流回路24に接続されており、該半導体基板30の一方の電極32に供給された電流は、メサ部35を通じて他方の電極32に流れている。ダイアフラム11、ロッド20、及びガラスブロック19を介してメサ部35に筒内圧が作用すると、メサ部35が変形して該メサ部35の両端に生じている両端電圧が変化する。この両端電圧に対応した信号は回路部23に入力され、該回路部23の検出回路25によって筒内圧が検出される。
次に、本実施形態の作用効果について説明する。
(1)本実施形態では、メサ部35を薄板部34に設けている。そのため、図5に二点鎖線で示す状態から、ガラスブロック19を介してメサ部35に筒内圧が作用すると、図5に実線で示すように、メサ部35が押圧されて変形する。また、メサ部35を通じて薄板部34にも筒内圧が作用し、薄板部34は固定部材15側に撓む。メサ部35の薄板部34側の部分は該薄板部34が撓むことによって更に変形する。したがって、薄板部34にメサ部35が設けられている本実施形態では、筒内圧に対してメサ部35の変形量が大きくなり、筒内圧の検出感度を高めることができる。また、薄板部34の撓みは支持部36を介して固定部材15で受け止められる。そのため、筒内圧を受けたときの薄板部34の撓み量は制限されている。支持部36が設けられていることから、異常燃焼など筒内圧が高くなったときにおいても、薄板部34が固定部材15側に大きく撓むことが抑えられている。そのため、薄板部34に発生する応力が適正になる。したがって、本実施形態によれば、筒内圧の検出感度を向上させつつ、半導体基板30の耐久性の向上にも貢献できる。
(1)本実施形態では、メサ部35を薄板部34に設けている。そのため、図5に二点鎖線で示す状態から、ガラスブロック19を介してメサ部35に筒内圧が作用すると、図5に実線で示すように、メサ部35が押圧されて変形する。また、メサ部35を通じて薄板部34にも筒内圧が作用し、薄板部34は固定部材15側に撓む。メサ部35の薄板部34側の部分は該薄板部34が撓むことによって更に変形する。したがって、薄板部34にメサ部35が設けられている本実施形態では、筒内圧に対してメサ部35の変形量が大きくなり、筒内圧の検出感度を高めることができる。また、薄板部34の撓みは支持部36を介して固定部材15で受け止められる。そのため、筒内圧を受けたときの薄板部34の撓み量は制限されている。支持部36が設けられていることから、異常燃焼など筒内圧が高くなったときにおいても、薄板部34が固定部材15側に大きく撓むことが抑えられている。そのため、薄板部34に発生する応力が適正になる。したがって、本実施形態によれば、筒内圧の検出感度を向上させつつ、半導体基板30の耐久性の向上にも貢献できる。
(2)薄板部34に設けられている支持部36は、中心部分Cから上記所定方向に延びている。薄板部34の周縁が全周に亘って保持台31及び連結壁33に保持されている本実施形態では、支持部36によって薄板部34の中心部分Cの撓みが特に抑えられている。そのため、撓みが大きくなりやすい薄板部34の中心部分Cの変形を抑えて、薄板部34全体の撓み抑制に適切な構成を実現できる。
(3)メサ部35と支持部36とは薄板部34を挟んで対向しているため、薄板部34におけるメサ部35の反対側の部分が支持部36によって支持される。そのため、ガラスブロック19から筒内圧が伝達されると、図5に白抜き矢印で示すように、固定部材15からの反作用により支持部36側からもメサ部35に荷重が作用する。そのため、筒内圧をメサ部35の変形に好適に作用させることができる。
(4)メサ部35は、薄板部34の所定方向(短手方向)における一方の端縁と他方の端縁とを結ぶように連続して延びている。そして、支持部36は、メサ部35と同じ長さ上記所定方向に延びている。そのため、力伝達部材から筒内圧が伝達されたときに、支持部36によってメサ部35全体が支持され、固定部材15からの反作用による荷重が支持部36を通じてメサ部35全体に作用することになる。そのため、メサ部35の変形量の増大に貢献できる。また、支持部36が、所定方向において薄板部34の一方の端縁から他方の端縁まで延びており、保持台31に連結されているため、支持部36の剛性の向上にも貢献できる。
(5)筒内圧の振動数が筒内圧センサの固有振動数に近いときには、筒内圧センサが共振することもある。筒内圧センサが共振したときには、ガラスブロック19と固定部材15との相対位置が変化することもある。こうした場合には、ガラスブロック19と固定部材15との間に固定されている半導体基板30に引っ張り荷重が作用することにもなる。支持部36は固定部材に向かって比較的長く延びており、引っ張り荷重が作用したときには、支持部36と薄板部34との連結部分には応力が集中しやすい。本実施形態では、支持部36とメサ部35とはガラスブロック19と固定部材15との間で一筋状に設けられており、支持部36の幅W1がメサ部35の幅W1以上になっている(W1>W2)。そのため、支持部36と薄板部34との連結面積が大きくなり、この連結部分に作用する引っ張り応力を分散させることができる。したがって、半導体基板30の共振時に支持部36と薄板部34との連結部分に生じる応力を抑えて、半導体基板30の耐久性の向上を図ることができる。
上記実施形態は以下のように変更して実施することができる。
・支持部36の幅W1とメサ部35の幅W2との関係は適宜変更してもよい。すなわち、支持部36の幅W1をメサ部35の幅W2よりも短くしてもよいし(W1<W2)、支持部36の幅W1とメサ部35の幅W2とを同じにしてもよい(W1=W2)。
・支持部36の幅W1とメサ部35の幅W2との関係は適宜変更してもよい。すなわち、支持部36の幅W1をメサ部35の幅W2よりも短くしてもよいし(W1<W2)、支持部36の幅W1とメサ部35の幅W2とを同じにしてもよい(W1=W2)。
・支持部36の幅W1は、上記所定方向(薄板部34の短手方向)において一定ではなく、該所定方向における一部の幅が他の部分の幅と異なっていてもよい。例えば、上記所定方向における両端部分の幅が中心部分の幅に比して短くてもよいし、長くてもよい。また、支持部36の幅W1は、厚さ方向において一定ではなく、該厚さ方向における一部の幅が他の部分の幅と異なっていてもよい。
・メサ部35及び支持部36は上記所定方向における全体が薄板部34を挟んで対向している必要はなく、その所定方向における一部において薄板部34を挟んで対向していてもよい。こうした構成としては、例えば図6に示す構成を採用することができる。図6に示すように、支持部60は、上記所定方向(薄板部34の短手方向)において複数回折れ曲がったように延びている。すなわち、支持部60は、一方の電極32側の端縁に接続されている第1延伸部61と、該第1延伸部61と平行に延びており、他方の電極32側の端縁に接続されている第2延伸部62と、第1延伸部61及び第2延伸部62とは異なる方向に延びており、第1延伸部61及び第2延伸部62を連結している第3延伸部63とによって構成されている。こうした構成であっても、支持部60は、全体としては上記所定方向に延びていると言える。そして、第1延伸部61における一方の電極32側の端縁に接続されている部分と、第2延伸部62における他方の電極32側の端縁に接続されている部分と、第3延伸部63における中央部分が、薄板部34を挟んでメサ部35と対向している。こうした構成であっても、メサ部35と支持部36とはその一部が薄板部34を挟んで対向しているため、上記(3)と同様の効果を得ることはできる。
・メサ部35及び支持部36が延びている方向は、上記所定方向に限られず、適宜変更が可能である。例えば、図7に示すように、半導体基板30の平面視において、中心部分Cを通り薄板部34の短手方向に延びている仮想線L3に対して、メサ部35及び支持部36が所定角度傾斜した方向に延びていてもよい。なお、図7に示す構成では、メサ部35と支持部36とが互いに同じ所定角度傾斜した方向に延びていたが、メサ部35の傾斜角度と支持部36の傾斜角度とを異なるように設定することも可能である。また、仮想線L3に対して所定角度傾斜した方向に延びるように変更するのを、メサ部35及び支持部36のいずれか一方にすることも可能である。
・メサ部35及び支持部36は、上記所定方向において、薄板部34における一方の電極32側の端縁と他方の電極32側の端縁とを結ぶように連続して延びている必要はない。例えば、メサ部35及び支持部36は、上記所定方向において、薄板部34における一方の電極32側の端縁と他方の電極32側の端縁との間の一部に設けられていてもよいし、その間で断続的に設けられていてもよい。こうした場合には、メサ部35だけでなく薄板部34にも導電材を添加して、一対の電極32をメサ部35及び薄板部34によって電気的に接続する。
・メサ部35と支持部36とは上記所定方向に同じ長さ延びている必要はない。すなわち、上記所定方向において、メサ部35が支持部36よりも長く延びていてもよいし、支持部36がメサ部35よりも長く延びていてもよい。
・メサ部35及び支持部36は薄板部34を挟んで対向していなくてもよい。例えば、図8に示す薄板部34の断面視において、メサ部35を薄板部34の中心部分Cからずれた位置に設ける。一方で、支持部36は、薄板部34の中心部分Cから延びるように設ける。こうした構成であっても、支持部36によって薄板部34の中心部分Cが支持されるため、上記(2)と同様の効果を得ることはできる。
・支持部36が薄板部34の中心部分Cから延びていなくてもよい。例えば、図9に示す薄板部34の断面視において、上記実施形態と同様に薄板部34の中心部分Cにメサ部35を設けるとともに、該薄板部34の中心部分Cとその左端縁との中間部分に第1支持部91を設け、中心部分Cとその右端縁との中間部分に第2支持部92を設けるようにしてもよい。こうした構成であっても、薄板部34の撓み量を第1支持部91及び第2支持部92によって制限することができ、上記(1)と同様の効果を得ることはできる。なお、第1支持部91及び第2支持部92のいずれか一方を省略してもよいし、第1支持部91及び第2支持部92とは別の支持部を更に設けてもよい。
・薄板部34は、その周縁が保持台31及び連結壁33によって全周に亘って保持されていなくてもよい。例えば、薄板部34の周縁が保持台31によってのみ保持されている構成であってもよい。この場合には、半導体基板30において連結壁33を省略することができる。
・薄板部34を平面視において正方形にしてもよい。等分布荷重が薄板部34に作用するときには、正方形である場合の方が長方形である場合に比して中心部分Cにおける撓み量が小さくなる。したがって、こうした構成によれば、薄板部34の撓み量を抑える効果を高めることができる。
・薄板部34の肉厚はメサ部35の肉厚よりも厚くてもよい。この場合であっても、半導体基板30の他の部分、すなわち保持台31や連結壁33の肉厚よりも薄板部34の肉厚を薄くすればよい。
・メサ部35の薄板部34からの突出高さH1が、薄板部34のガラスブロック19側の端面34Aから保持台31及び連結壁33の上面までの高さH2よりも高くてもよい(H1>H2)。この場合には、メサ部35の頂面にのみガラスブロック19を固定することもできる。
・支持部36の突出高さH3がメサ部35の突出高さH1よりも低くてもよいし(H3<H1)、支持部36の突出高さH3とメサ部35の突出高さH1とが同じであってもよい(H3=H1)。
・支持部36の突出高さH3を、薄板部34の固定部材15側の端面34Bから保持台31及び連結壁33の下面までの高さH4よりも短くしてもよい(H3<H4)。この場合には、固定部材15の支持部36と対向する部分に、前記突出高さH3と前記高さH4との差ΔH(=H4−H3)だけ薄板部34側に突出した突出台を設け、この突出台の上面に支持部36の下面を固定すればよい。
10…ハウジング、11…ダイアフラム(力伝達部材)、12…本体部、12A…可撓部、13…延出部、14…フランジ、15…固定部材、16…挿通部、17…筒部、17A…係止部、18…収容室、19…ガラスブロック(力伝達部材)、20…ロッド(力伝達部材)、21…リード線、22…端子、23…回路部、24…定電流回路、25…検出回路、30…半導体基板、31…保持台(保持部)、32…電極、33…連結壁(保持部)、34…薄板部、34A…ガラスブロック側の端面、34B…固定部材側の端面、35…メサ部、36…支持部、37…上側溝、38…下側溝、60…支持部、61…第1延伸部、62…第2延伸部、63…第3延伸部、91…第1支持部、92…第2支持部。
Claims (5)
- 圧力に応じて抵抗値が変化するメサ型の突出部であるメサ部を有する半導体基板と、
前記メサ部の頂面に固定され、該メサ部に筒内圧を伝達する力伝達部材と、
前記力伝達部材とによって前記半導体基板を挟むようにして該半導体基板に固定されている固定部材とを備える筒内圧センサであって、
前記半導体基板には、前記力伝達部材と前記固定部材とによって挟まれている方向における肉厚が他の部分に比して薄い薄板部が設けられ、
前記薄板部には、前記力伝達部材側の端面に前記メサ部が設けられており、前記固定部材側の端面に前記固定部材まで延びて該固定部材に固定されている支持部が設けられている
筒内圧センサ。 - 前記薄板部の周縁は、全周に亘って該薄板部よりも前記肉厚が厚い保持部に連結されており、
前記支持部は、前記薄板部における中心部分から延びている
請求項1に記載の筒内圧センサ。 - 前記メサ部と前記支持部とは前記薄板部を挟んで対向している
請求項1または請求項2に記載の筒内圧センサ。 - 前記メサ部は、前記薄板部の所定方向における一方の端縁と他方の端縁とを結ぶように連続して延びており、
前記支持部は、前記メサ部と同じ長さ前記所定方向に延びており、該所定方向における全体が前記薄板部を挟んで前記メサ部と対向している
請求項1〜3のいずれか一項に記載の筒内圧センサ。 - 前記メサ部は、前記薄板部における所定方向に延びており、
前記所定方向と直交する断面において、前記支持部の幅は前記メサ部の幅以上である
請求項3または請求項4に記載の筒内圧センサ。
Priority Applications (1)
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JP2016041226A JP2017156269A (ja) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 筒内圧センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2016041226A JP2017156269A (ja) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 筒内圧センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017156269A true JP2017156269A (ja) | 2017-09-07 |
Family
ID=59808596
Family Applications (1)
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JP2016041226A Pending JP2017156269A (ja) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 筒内圧センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2017156269A (ja) |
-
2016
- 2016-03-03 JP JP2016041226A patent/JP2017156269A/ja active Pending
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