JP2017156226A - 粉末試料の観察方法およびその作製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、FIBではなくクロスセクションポリッシャー(日本電子製)を用い、同じくArのイオンビームにて包埋物の断面を表出させる方法がある(例えば特許文献2参照)。
本発明の第1の態様は、
粉末を構成する粒子の断面を観察する方法において、
粉末に対してイオンビームを照射することにより表出した粒子の断面を観察する、粉末試料の観察方法である。
試料載台に設けられた凹みに粉末を入れた上で、当該凹みからはみ出た粉末に対してイオンビームにて擦り切り加工を行うことにより表出した粒子の断面を観察する。
粉末を構成する粒子の断面を観察するための粉末試料を作製する方法において、
粉末に対してイオンビームを照射することにより粒子の断面を表出させる、粉末試料の作製方法である。
試料載台に設けられた凹みに粉末を入れた上で、当該凹みからはみ出た粉末に対してイオンビームにて擦り切り加工を行うことにより粒子の断面を表出させる。
1.粉末試料の作製方法
1−1.準備工程
1−2.凹みへの粉末投入工程
1−3.擦り切り加工工程
2.粉末試料の観察方法
3.実施の形態における効果
4.変形例
本実施形態においては、主に以下の工程を行う。以下、各工程について説明する。
本工程においては、上記の凹みへの粉末投入工程および擦り切り加工工程(さらにはその後の粉末試料の観察方法)に係る準備を行う。具体的に言うと、凹みを有する試料載台を準備したり、イオンビームを照射可能な装置や走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)装置の準備等を行う。
イオンビーム照射装置としては本実施形態では上記のクロスセクリョンポリッシャーを例示するが、それ以外の装置(例えばFIB)を採用しても構わない。また、イオンビーム照射装置にて使用するイオンの種類についても、粉末ひいては粒子に対して切削可能であって粒子の断面を表出可能なものであれば特に限定はない。例えば、ArやXeのイオンビームを使用しても構わない。
以下、粉末に対してイオンビームを照射して粒子の断面を表出させる様子を示す断面概略図である図1を用いて説明する。
本工程においては、図1(a)に示すように、試料載台1の凹み1aに対して粉末P(すなわち樹脂に包埋されていない、粉体であるところの粉末P)を投入する。その際に、凹み1aからはみ出るくらい粉末Pを投入するのが非常に好ましく、凹み1aのキャパシティを越えた量の粉末Pを凹みに投入するのが好ましい。その理由は以下の通りである。
図1(b)に示すように、本工程であるところの擦り切り加工工程においてイオンビーム照射装置を用いて、凹み1aの縁から天地方向にはみ出た粉末pに対し水平方向にイオンビームIを照射する。これにより、図1(c)に示すように、イオンビームIを用い、はみ出た粉末pを凹み1aの縁に沿って水平に擦り切り、凹み1aに粉末試料PSを保持しながらも、粉末試料PSを構成する粒子の断面が水平面上にて綺麗に表出することになる。
こうして作製された粉末試料PSを、試料載台1の凹み1aに収めたまま、SEM装置へと設置する。もちろんSEM装置以外であっても、粒子の断面を分析可能な装置であれば適用可能である。以降、説明の便宜上、符号は省略する。
本実施形態によれば、主に以下の効果を奏する。
なお、本実施形態においては試料載台に凹み(粉末を保持するキャビティー)を設けたが、この試料載台が、イオンビーム照射装置のステージ自体であっても構わない。つまり、当該ステージ自体を試料載台と位置付けつつ、当該ステージ自体に凹みを設けても構わない。
比較的凝集しやすい金属粉末A(実施例1)と比較的凝集しにくい金属粉末B(実施例2)の各々を被検試料とした上で、当該被検試料に対し、本実施形態の方法によって断面加工を行い、粉末状態での両者の凝集具合の違いを走査電子顕微鏡(SEM)装置(カールツァイス製:ウルトラ55)により観察した。
SEM装置による観察の前に、本実施形態における粉末に対する擦り切り加工工程を、日本電子製のクロスセクションポリッシャー(CP)SM−09010を使用して行った。具体的には、日本電子製の試料載台(パーツNo.814234178)の凹み部に粉末(被検試料)を充填し、当該試料載台を試料台(ステージ)に固定し、当該ステージを回転させながらアルゴンイオンビームを照射してイオン加工を行った。
本法によって断面加工された被検粉末試料のうち、凝集しやすい金属粉末A(実施例1)の断面SEM像を図2に、凝集しにくい金属粉末B(実施例2)の断面SEM像を図3に示す。
図2では、凝集しやすい金属粉末Aの性質を反映して、金属粉の凝集が散見されるのに対し、図3では、凝集しにくい金属粉末Bの性質を反映して、凝集しているところは認められなかった。
つまり、本法を用いることにより、粉末状態での凝集具合を比較することができた。
上記の凝集しやすい金属粉末Aを樹脂(エポキシ)に包埋したものを被検試料としてステンレス製のステージの凹み部に充填した以外は、上記の実施例と同様とした。このようにして断面加工された包埋物(被検試料)の断面SEM像を図4に示す。
図4では、凝集しやすい金属粉末Aにもかかわらず、凝集しているところが認められなかった。これは、粉末状態で存在していた凝集部分が、樹脂と被検試料を混合することによってほぐれてしまったことを意味する結果である。
本比較例のように粉末を樹脂に包埋すると、粉末本来の状態を維持することができず、粉末の状態での凝集具合や粉同士のつながり具合を把握することができなかった。
以上の結果、本実施例においては、粉末の状態における、粒子同士のつながり具合や凝集具合を把握することができた。
1a…凹み
P……粉末
p……凹みからはみ出た粉末
PS…(粒子の断面が表出した)粉末試料
I……イオンビーム
Claims (4)
- 粉末を構成する粒子の断面を観察する方法において、
粉末に対してイオンビームを照射することにより表出した粒子の断面を観察する、粉末試料の観察方法。 - 試料載台に設けられた凹みに粉末を入れた上で、当該凹みからはみ出た粉末に対してイオンビームにて擦り切り加工を行うことにより表出した粒子の断面を観察する、請求項1に記載の粉末試料の観察方法。
- 粉末を構成する粒子の断面を観察するための粉末試料を作製する方法において、
粉末に対してイオンビームを照射することにより粒子の断面を表出させる、粉末試料の作製方法。 - 試料載台に設けられた凹みに粉末を入れた上で、当該凹みからはみ出た粉末に対してイオンビームにて擦り切り加工を行うことにより粒子の断面を表出させる、請求項3に記載の粉末試料の作製方法。
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