JP2017152499A - ダイシング用粘着テープおよび半導体ウェハのフルカットダイシング方法 - Google Patents
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Description
ここで、エキスパンドとは、ダイシング、洗浄、乾燥後に、ダイシングテープを引き伸ばし、半導体ウェハおよびダイボンディングフィルムを分割予定ラインに沿って半導体チップに分割し、半導体チップの間隔を広げる操作のことである。
ブレードダイシングは、従来から最も広く行われているダイシング方法であるが、接触式であるため、物理的ストレスが加わり、表裏面にチッピングが生じ、また、切削加工時には大きな接触摩擦熱が生じるため、冷却水が必要となり、さらには、切削によって生じた汚水の処理も必要となる。
近年では半導体ウェハの薄膜化が進み、ダイシング後の半導体ウェハの表面にダイシング屑が露出し、糸状のダイシング屑の発生を防止することが強く求められている。
これに基づき、基材フィルムの樹脂を種々検討した結果、ダイシング用粘着テープの基材フィルムに所定のゲル分率値を有する特定の樹脂を用いることにより、基材フィルムがブレードにより引伸ばされにくくなり、しかも、仮に引伸ばされたとしても、所定の引裂強度の値を有することで、ダイシング屑が長い糸状に成長する途中で千切れて、ダイシング時の冷却水で流されることで、半導体ウェハの表面にダイシング屑が露出するのを防止でき、かつエキスパンド時のダイシング用粘着テープの破断防止もでき、これらの防止がとも両立できることを見出し、この知見に基づき本発明を完成するに至った。
<1>基材フィルムの少なくとも一方の面に粘着剤層を有するダイシング用粘着テープであって、
前記基材フィルムが、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂からなり、かつ該基材フィルムのゲル分率が30〜50%であり、
前記ダイシング用粘着テープの縦方向(MD)および横方向(TD)のJIS K 7128−1のトラウザー引裂法による引裂強度が、いずれも5〜12N/mmであることを特徴とするダイシング用粘着テープ。
<2>前記粘着剤層が、側鎖に放射線重合性炭素−炭素二重結合を有する重合体を成分とする放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする<1>に記載のダイシング用粘着テープ。
<3>前記<1>または<2>に記載のダイシング用粘着テープを使用し、該ダイシング用粘着テープの基材フィルムにダイシングブレードを切り込むことを特徴とする半導体ウェハのフルカットダイシング方法。
これにより、従来、困難と思われていた、ダイシング工程におけるダイシング屑の発生防止と、エキスパンド工程におけるダイシング用粘着テープのテープ破断防止の両立が可能となった。
本発明のダイシング用粘着テープは、基材フィルムの少なくとも一方の面に粘着剤層を有し、該基材フィルムが、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂からなり、かつ該基材フィルムのゲル分率が30〜50%であり、ダイシング用粘着テープの縦方向(MD)および横方向(TD)のJIS K 7128−1のトラウザー引裂法による引裂強度が5〜12N/mmである。
以下、基材フィルムから順に、詳細に説明する。
基材フィルムは、単層であっても複数の層が積層した積層体であってもよいが、本発明では、単層の基材フィルムである。
本発明では、基材フィルムは、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂からなる。
ここで、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂とは、少なくとも、エチレンおよび(メタ)アクリル酸を重合体の構成成分とする共重合体を金属イオンで架橋した樹脂である。なお、「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味するものであり、いずれか一方でも、これらの混合物でもよい。また、他の類似用語についても同様である。
例えば、α−オレフィン、(メタ)アクリル酸エステル、スチレン、酢酸ビニル、ノルボルネン、アセチレン、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、フマル酸、プロピオル酸、アセチレンなどが挙げられる。
なお、本発明において、質量平均分子量は、常法によるポリスチレン換算の質量平均分子量である。
基材フィルムのゲル分率は、樹脂の架橋の程度を示すものであり、基材フィルムのゲル分率は35〜50%が好ましく、40〜50%がより好ましい。
ゲル分率が高くなると、ダイシング屑の発生防止の効果が高いが、基材フィルムの弾性や強度が低下してしまい、エキスパンド工程において基材フィルムが破断しやすくなる。また、ゲル分率が低くなると、ダイシング屑が多数発生してしまい、弾性や強度とエキスパンド性の両立が困難となる。
(1)ステンレス製メッシュ(例えば、400番、日本金網商工(株)製、質量測定済み)に包み、120℃のキシレン溶液に24時間浸漬する。
(2)2時間、風通しの良い場所に室温(25℃)で放置する。
(3)16時間80℃にて、10Pa(7.5×10−2torr)以下で真空乾燥を行った後、残った基材フィルムと金網の合計質量を測定する。
(4)次式に従い、ゲル分率を求める。
{(キシレン浸漬後の基材フィルムと金網の合計質量)−(金網の質量)}÷(キシレン浸漬前の基材フィルム質量)×100
粘着剤層に用いる粘着剤としては、特に制限はないが、ベースポリマーが(メタ)アクリル系共重合体のアクリル系粘着剤が好ましい。本発明において粘着剤は、エキスパンド時において半導体ウェハとの剥離を生じない程度の保持性や、ピックアップ時において半導体チップとの剥離が容易となる特性を有するものであれば、これに限定されることはなく、種々の粘着剤により粘着剤層が形成され得る。このような粘着剤としては、例えばゴム系、シリコーン系、ポリビニルエーテル系等をベースポリマーとした粘着剤を用いることも可能である。
本発明においては、放射線硬化型粘着剤を用いることが好ましい。
放射線硬化型粘着剤は、放射線により硬化し三次元網状化する性質を有すればよく、大きく分けて、1)側鎖に放射線重合性炭素−炭素二重結合(エチレン性二重結合)を有するベース樹脂(重合体)からなる粘着剤と、2)通常のゴム系あるいは(メタ)アクリル系の感圧性ベース樹脂(ポリマー)に対して、分子中に少なくとも2個の放射線重合性炭素−炭素二重結合(エチレン性二重結合)を有する低分子量化合物(以下、放射線重合性低分子量化合物という)および光重合開始剤を配合する粘着剤に分類される。
側鎖に放射線重合性炭素−炭素二重結合を有する粘着剤は、(メタ)アクリル系粘着剤が好ましく、ベース樹脂が(メタ)アクリル系重合体もしくは(メタ)アクリル系重合体を主成分として含むものが特に好ましい。
ここで、(メタ)アクリル系重合体を主成分とするとは、(メタ)アクリル系重合体成分が少なくとも50質量%以上であり、好ましくは80質量%以上(100質量%以下)である。
放射線重合性炭素−炭素二重結合を有する基は、非芳香族性のエチレン性二重結合を有すればどのような基でも構わないが、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイルオキシ基、(メタ)アクリロイルアミノ基、アリル基、1−プロペニル基、ビニル基(スチレンもしくは置換スチレンを含む)が好ましく、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイルオキシ基がより好ましい。
官能基(α)、(β)としては、カルボキシ基、水酸基、アミノ基、メルカプト基、環状酸無水基、エポキシ基、イソシアネート基(−N=C=O)等が挙げられる。
側鎖に官能基(α)を有する(メタ)アクリル系重合体は、官能基(α)を有する(メタ)アクリル系モノマー、好ましくは(メタ)アクリル酸エステル〔(特に、アルコール部に官能基(α)を有するもの〕をモノマー成分に使用することで得ることができる。
側鎖に官能基(α)を有する(メタ)アクリル系重合体は、共重合体である場合が好ましく、この共重合成分は、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、なかでもアルコール部に官能基(α)や放射線重合性炭素−炭素二重結合を有する基が置換していない(メタ)アクリル酸アルキルエステルが好ましい。
(メタ)アクリル酸エステルは1種でも2種以上でも構わないが、アルコール部の炭素数が5以下のものと炭素数が6〜12のものを併用することが好ましい。
また、官能基(β)がイソシアネート基以外の場合の好ましい化合物は、官能基(α)を有する(メタ)アクリル系モノマーで例示した化合物が挙げられる。
質量平均分子量が100万を越えると、放射線照射した場合に、放射線照射後の粘着剤の可撓性がなく、脆くなっているため、剥離時に半導体チップ面に糊残りを生じる。質量平均分子量が20万未満では、放射線照射前の凝集力が小さく、粘着力が弱いため、ダイシング時に十分に半導体チップを保持することができず、チップ飛びが生じるおそれがある。また、放射線照射後も硬化が不十分で、剥離時に半導体チップ面に糊残りを生じる。これらを極力防止するためには、質量平均分子量が20万以上であることが好ましい。
側鎖に放射線重合性炭素−炭素二重結合を有するベース樹脂の水酸基価〔ベース樹脂1gをアセチル化させたとき、水酸基と結合した酢酸を中和するのに必要とする水酸化カリウムのmg数〕は、5〜100が好ましく、10〜80がより好ましい。
このようにすることで、さらにダイシング用粘着テープ剥離時の糊残り防止効果に優れる。
これら光重合開始剤の配合量は、ベース樹脂100質量部に対して0.01〜10質量部が好ましく、0.01〜5質量部がより好ましい。配合量が少なすぎると反応が不十分であり、配合量が多すぎると低分子成分が増加することで汚染性に影響を与えることになる。
このような架橋剤は、どのようなものでも構わないが、ポリイソシアネート類、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂およびエポキシ樹脂の群から選択される架橋剤が好ましい。
このなかでも、本発明では、ポリイソシアネート類が好ましい。
粘着剤塗布後に、架橋剤により、ベース樹脂が架橋構造を形成し、粘着剤の凝集力を向上させることができる。
放射線重合性低分子量化合物を含む粘着剤の主成分としては、特に限定されるものではなく、粘着剤に使用される公知の塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂〔(メタ)アクリル樹脂〕、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂等を使用することができる。
この粘着剤としては、ベース樹脂としてのアクリル樹脂および放射線重合性低分子量化合物に加え、光重合開始剤、硬化剤等を適宜配合して粘着剤を調製するのが好ましい。
具体的には、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,4−ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートや、オリゴエステル(メタ)アクリレート等が適用可能である。
光重合開始剤として、例えばイソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等を使用することができる。
これら光重合開始剤の配合量は、ベース樹脂100質量部に対して0.01〜10質量部が好ましく、0.01〜5質量部がより好ましい。配合量が少なすぎると反応が不十分であり、配合量が多すぎると低分子成分が増加することで汚染性に影響を与えることになる。
このような架橋剤は、側鎖に放射線重合性炭素−炭素二重結合を有するベース樹脂からなる粘着剤で挙げた架橋剤が好ましい。
架橋剤の配合量は、ベース樹脂100質量部に対して0.1〜10質量部が好ましく、1〜10質量部がより好ましい。
本発明のダイシング用粘着テープは、縦方向(MD)および横方向(TD)のJIS K 7128−1のトラウザー引裂法による引裂強度が5〜12N/mmである。
引裂強度をこの範囲とすることで、5〜12N/mmでダイシング屑の発生が抑制される。引裂強度が12N/mmを超えるとなると基材フィルムがダイシングブレードにより引伸ばされる過程で千切れず、長い糸状のダイシング屑となりやすい。また、引裂強度が5N/mm未満であると、エキスパンド時にダイシング用粘着テープ上のダイシングラインを起点に破断が生じやすくなる。
本発明のダイシング用粘着テープを使用して行う半導体ウェハのダイシング方法自体は、通常の方法と同様にして行うことができるが、ダイシング用粘着テープの基材フィルムにダイシングブレードが切り込むフルカットダイシング方法が特に好ましい。
基材フィルム1A〜1Iとして、下記の表1に示す厚さ100〜150μmの基材フィルムを使用した。
エチレン成分とメタクリル酸との共重合体で、金属イオンZn2+で架橋されたアイオノマー樹脂
エチレン成分とメタクリル酸との共重合体で、金属イオンZn2+で架橋されたアイオノマー樹脂
・エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂C
エチレン成分とアクリル酸との共重合体で、金属イオンZn2+で架橋されたアイオノマー樹脂
エチレン成分とメタクリル酸との共重合体で、金属イオンNa+で架橋されたアイオノマー樹脂
エチレン成分とアクリル酸との共重合体で、金属イオンNa+で架橋されたアイオノマー樹脂
ポリプロピレンにエチレン−プロピレンゴムを微量分散させた熱可塑性エラストマー
・エチレン−酢酸ビニル共重合体
エチレン成分と酢酸ビニルとの共重合体
・エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂Aの電子線照射品
エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂Aに5Mradの電子線を照射して作製した。
粘着剤2Aおよび2Bを以下のように調製した。
粘着剤2Aは、ベース樹脂として、側鎖に放射線硬化性炭素−炭素二重結合を有するアクリル系粘着剤である。
2−エチルヘキシルアクリレート70mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレート20mol%およびメチルメタクリレート10mol%を配合し、酢酸エチル溶液中で共重合させることにより(メタ)アクリル共重合体のポリマー溶液を得た。このポリマー100質量部に対して2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(商品名、昭和電工株式会社製カレンズMOI)5.0質量部を加え、この溶液中で反応させてコポリマー側鎖のヒドロキシル基に前記イソシアネートに由来する二重結合含有基を付加させることで側鎖に二重結合含有基を有するアクリル共重合体ポリマーを合成した。
側鎖に二重結合含有基を有するアクリル共重合体ポリマーは、質量平均分子量60万、ガラス転移温度(Tg)−64℃、放射線硬化性炭素−炭素二重結合量0.6meq/gであった。
粘着剤2Bは、放射線重合性低分子量化合物を含むアクリル系粘着剤である。
2−エチルヘキシルアクリレート25mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレート55mol%およびメチルメタクリレート20mol%を配合し、酢酸エチル溶液中で共重合させることにより(メタ)アクリル共重合体のポリマー溶液を得た。
得られた(メタ)アクリル共重合体は、質量平均分子量30万、ガラス転移温度(Tg)−30℃であった。
実施例1〜5および比較例1〜5のダイシング用粘着テープにおいて、下記に示すように、引裂試験、ゲル分率、ダイシング屑発生数およびエキスパンド性の評価行った。
JIS K 7128−1のトラウザー引裂法により、ダイシング用粘着テープの縦方向(MD)および横方向(TD)の引裂強度を測定した。
ゲル分率は以下の手順で測定した。
(1)質量を測定した基材フィルムをステンレス製メッシュ(400番、日本金網商工(株)製、重量測定済み)に包み、120℃のキシレン溶液に24時間浸漬した。
(2)2時間、風通しの良い箇所に室温で放置した。
(3)16時間80℃にて、10Pa(7.5×10−2torr)以下で真空乾燥を行った後、残った基材フィルムと金網の合計質量を測定した。
(4)次式で、ゲル分率を算出した。
{(キシレン浸漬後の基材フィルムと金網の合計質量)−(金網の質量)}÷(キシレン浸漬前の基材フィルム質量)×100
以下の条件でダイシング処理された半導体ウェハについて、半導体ウェハの表面側より半導体ウェハ上に露出しているダイシング屑を光学顕微鏡(100倍)で観察し、ダイシング屑の個数をカウントした。
ダイシング装置:(株)DISCO製 DAD−340
ダイシングブレード:(株)DISCO製 NBC−ZH2030−27HCDD
ダイシングブレード回転数:50,000rpm
切削速度:80mm/s
冷却水量:20ml/s
ダイシングサイズ:2mm角
ダイシング用粘着テープへのダイシングブレードの切込み深さ:40μm
以下の条件でダイシング処理された半導体ウェハについて、以下の条件でエキスパンド性評価を行い、ダイシング用粘着テープの破断が発生しなかった場合を「○」、破断が発生した場合を「×」とした。
ダイシング装置:(株)DISCO製 DAD−340
ダイシングブレード:(株)DISCO製 NBC−ZH2030−27HCDD
ダイシングブレード回転数:50,000rpm
切削速度:80mm/s
冷却水量:20ml/s
ダイシングサイズ:2mm角
ダイシング用粘着テープへのダイシングブレードの切込み深さ:40μm
エキスパンド装置:キャノンマシナリー(株)製 CAP−300II
エキスパンド拡張量:10mm
Claims (3)
- 基材フィルムの少なくとも一方の面に粘着剤層を有するダイシング用粘着テープであって、
前記基材フィルムが、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂からなり、かつ該基材フィルムのゲル分率が30〜50%であり、
前記ダイシング用粘着テープの縦方向(MD)および横方向(TD)のJIS K 7128−1のトラウザー引裂法による引裂強度が、いずれも5〜12N/mmであることを特徴とするダイシング用粘着テープ。 - 前記粘着剤層が、側鎖に放射線重合性炭素−炭素二重結合を有する重合体を成分とする放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする請求項1に記載のダイシング用粘着テープ。
- 請求項1または2に記載のダイシング用粘着テープを使用し、該ダイシング用粘着テープの基材フィルムにダイシングブレードを切り込むことを特徴とする半導体ウェハのフルカットダイシング方法。
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
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