JP2017147375A - Printed wiring board and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed wiring board and a method for manufacturing the printed wiring board, in which haloing in an interface between a conductor pad and a solder resist layer can be prevented.SOLUTION: A printed wiring board 1 has a build-up structure in which insulation layers 12, 14 and wiring layers 13, 15 are alternately deposited on either side of a core substrate 10 to sandwich the substrate. The wiring layer 15 includes a plurality of conductor pads 19 formed on the insulation layer 14. A solder resist layer 20 having an opening 20a for exposing a part of a surface 21 of the conductor pad 19 to the outside is formed on the insulation layer 14 and the wiring layer 15. In the surface 21, a projection 19a is disposed in an interface 21b with the solder resist layer 20. The projection 19a extends in a circumference direction of the conductor pad 19.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、プリント配線板及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a printed wiring board and a manufacturing method thereof.

プリント配線板では、必要でない部分への半田付着の防止及び配線板表面の保護を図るために、配線板の表面にソルダーレジスト層を形成することが多い。ソルダーレジスト層の形成方法としては、例えば特許文献1に記載のフォトリソグラフィー法とレーザ加工法が挙げられる。フォトリソグラフィー法では、ソルダーレジスト層を形成するための光硬化性樹脂を配線板全面に塗布した後に、露光現像処理を行うことにより配線板の導体パッドの一部を露出させる開口部を形成する。一方、レーザ加工法では、配線板全面にソルダーレジスト層を形成するための熱硬化性樹脂を塗布した後に、レーザ照射で導体パッドの一部を露出させる開口部を形成する。   In a printed wiring board, a solder resist layer is often formed on the surface of the wiring board in order to prevent solder adhesion to unnecessary portions and protect the wiring board surface. Examples of the method for forming the solder resist layer include a photolithography method and a laser processing method described in Patent Document 1. In the photolithography method, a photocurable resin for forming a solder resist layer is applied to the entire surface of the wiring board, and then an exposure development process is performed to form an opening that exposes a part of the conductor pad of the wiring board. On the other hand, in the laser processing method, after applying a thermosetting resin for forming a solder resist layer on the entire surface of the wiring board, an opening for exposing a part of the conductor pad is formed by laser irradiation.

特開2010−258147号公報JP 2010-258147 A

しかし、上述のフォトリソグラフィー法又はレーザ加工法では、導体パッドとソルダーレジスト層との界面部分(すなわち、導体パッドの表面のうち、ソルダーレジスト層に覆われている部分)が平坦であるため、ハローイングが発生しやすいと考えられる。具体的には、フォトリソグラフィー法の場合、現像処理に用いられる現像液が導体パッドとソルダーレジスト層との界面部分に沿って内部に進入しやすく、これによって該界面部分に隙間が出来やすいと推察される。   However, in the above-described photolithography method or laser processing method, the interface portion between the conductor pad and the solder resist layer (that is, the portion of the surface of the conductor pad that is covered with the solder resist layer) is flat. Ing is likely to occur. Specifically, in the case of the photolithography method, it is assumed that the developer used for the development process easily enters the inside along the interface portion between the conductor pad and the solder resist layer, and this easily causes a gap in the interface portion. Is done.

一方、レーザ加工法の場合、樹脂残渣を除去するためにエッチング液を用いたデスミア処理が行われるので、エッチング液が導体パッドとソルダーレジスト層との界面部分に入り込みやすく、導体パッドの一部が溶解して隙間が生じやすいと推察される。このようなハローイングが発生すると、導体パッドとソルダーレジスト層が密着不良の状態になり、場合によってソルダーレジスト層が剥がれる可能性があると考えられる。   On the other hand, in the case of the laser processing method, since the desmear process using the etching solution is performed to remove the resin residue, the etching solution easily enters the interface portion between the conductor pad and the solder resist layer, and a part of the conductor pad is formed. It is assumed that gaps are likely to be formed by melting. When such haloing occurs, it is considered that the conductor pad and the solder resist layer are in poor contact and the solder resist layer may be peeled off in some cases.

上記課題を解決する本発明のプリント配線板は、絶縁層と、前記絶縁層の上に形成され、複数の導体パッドを含む配線層と、前記絶縁層及び前記配線層の上に、前記導体パッドの表面の一部が外部に露出するように形成されたソルダーレジスト層と、を備えるプリント配線板であって、前記導体パッドの表面のうち、前記ソルダーレジスト層との界面部分には、少なくとも凸部又は凹部のいずれか一方が形成され、前記凸部又は前記凹部は、前記導体パッドの周方向に沿って延びている。   The printed wiring board of the present invention that solves the above problems includes an insulating layer, a wiring layer formed on the insulating layer and including a plurality of conductive pads, and the conductive pads on the insulating layer and the wiring layer. A solder resist layer formed so that a part of the surface of the conductive pad is exposed to the outside, and at least a convex portion of the surface of the conductor pad at the interface with the solder resist layer. Any one of a part and a recessed part is formed, and the said convex part or the said recessed part is extended along the circumferential direction of the said conductor pad.

また、本発明に係るプリント配線板の製造方法は、絶縁層の上に複数の導体パッドを含む配線層を形成する第1工程と、前記導体パッドの表面の周縁部に、少なくとも凸部又は凹部のいずれか一方を前記導体パッドの周方向に沿って形成する第2工程と、前記絶縁層及び前記配線層を覆うようにこれらの上にソルダーレジスト層を形成し、前記導体パッドの表面のうち、前記周縁部以外の一部を外部に露出させる開口部を前記ソルダーレジスト層に複数形成する第3工程と、を含む。   The printed wiring board manufacturing method according to the present invention includes a first step of forming a wiring layer including a plurality of conductive pads on an insulating layer, and at least a convex portion or a concave portion on a peripheral portion of the surface of the conductive pad. A solder resist layer is formed on the insulating layer and the wiring layer so as to cover the insulating layer and the wiring layer, and a surface of the conductor pad is formed. And a third step of forming a plurality of openings in the solder resist layer that expose a portion other than the peripheral portion to the outside.

本発明によれば、導体パッドとソルダーレジスト層との界面部分におけるハローイングの発生を防止することができる。   According to the present invention, it is possible to prevent the occurrence of haloing at the interface portion between the conductor pad and the solder resist layer.

第1実施形態に係るプリント配線板を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the printed wiring board which concerns on 1st Embodiment. プリント配線板を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. プリント配線板の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of a printed wiring board. 第2実施形態に係るプリント配線板を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the printed wiring board which concerns on 2nd Embodiment. 第3実施形態に係るプリント配線板を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the printed wiring board which concerns on 3rd Embodiment. 第4実施形態に係るプリント配線板を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the printed wiring board which concerns on 4th Embodiment.

以下、図面を参照して本発明に係るプリント配線板及びその製造方法の実施形態について説明する。図面の説明において同一の要素には同一符号を付し、重複説明は省略する。   Embodiments of a printed wiring board and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

<第1実施形態>
図1は第1実施形態に係るプリント配線板を示す概略断面図である。本実施形態のプリント配線板1は、コア基板10と、該コア基板10を挟んでその両側に絶縁層12,14と配線層13,15とを交互に積層してなるビルドアップ構造である。このプリント配線板1は、コア基板10の中心軸Lに対して上下対称であるので、以下の説明においては片側(上側)のみを用いて説明する。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a printed wiring board according to the first embodiment. The printed wiring board 1 of the present embodiment has a build-up structure in which a core substrate 10 and insulating layers 12 and 14 and wiring layers 13 and 15 are alternately stacked on both sides of the core substrate 10. Since this printed wiring board 1 is vertically symmetrical with respect to the central axis L of the core substrate 10, only one side (upper side) will be described in the following description.

コア基板10は、例えばガラス繊維布からなる芯材にエポキシ樹脂が含浸されて形成された基板であり、その上には、無電解めっき層11a及び電解めっき層11bからなる導体パッド11が形成されている。導体パッド11は、コア基板10の内部に設けられたスルーホール導体10aを介して反対側の導体パッド11(図示せず)と電気的に接続されている。   The core substrate 10 is a substrate formed by impregnating a core material made of, for example, a glass fiber cloth with an epoxy resin, and a conductor pad 11 made of an electroless plating layer 11a and an electrolytic plating layer 11b is formed thereon. ing. The conductor pad 11 is electrically connected to a conductor pad 11 (not shown) on the opposite side via a through-hole conductor 10a provided inside the core substrate 10.

コア基板10の上には、導体パッド11を覆う絶縁層12、絶縁層12の上に形成された配線層13、配線層13を覆う絶縁層14、絶縁層14の上に形成された配線層15が、この順番で積層されている。なお、本実施形態の配線層は、電気回路を構成する導体層のことを指し、その配置位置によって導体パッドと配線等を含む場合もあれば、導体パッドのみを含む場合もある。図1では、導体パッドのみの場合が示されている。   On the core substrate 10, an insulating layer 12 covering the conductor pads 11, a wiring layer 13 formed on the insulating layer 12, an insulating layer 14 covering the wiring layer 13, and a wiring layer formed on the insulating layer 14 15 are stacked in this order. In addition, the wiring layer of this embodiment refers to the conductor layer which comprises an electric circuit, and may include a conductor pad, wiring, etc. depending on the arrangement position, and may include only a conductor pad. In FIG. 1, the case of only a conductor pad is shown.

絶縁層12及び絶縁層14は、例えば熱硬化性エポキシ樹脂により形成されている。絶縁層12の内部にはビア導体16、絶縁層14の内部にはビア導体17がそれぞれ複数形成されている。これらのビア導体16,17は、それぞれ円錐台形状をなし、コア基板10から離れる方向に沿って(図1では、下方から上方に向かって)拡径されている。   The insulating layer 12 and the insulating layer 14 are made of, for example, a thermosetting epoxy resin. A plurality of via conductors 16 are formed inside the insulating layer 12, and a plurality of via conductors 17 are formed inside the insulating layer 14. Each of these via conductors 16 and 17 has a truncated cone shape and has a diameter increased along a direction away from the core substrate 10 (from the bottom to the top in FIG. 1).

配線層13は、導体パッド11と同様に無電解めっき層11a及び電解めっき層11bによって形成され、複数の導体パッド18を含むようになっている。導体パッド18は、絶縁層12の上に形成され、絶縁層12の内部に形成されたビア導体16を介して導体パッド11と電気的に接続されている。   The wiring layer 13 is formed of the electroless plating layer 11a and the electrolytic plating layer 11b similarly to the conductor pad 11, and includes a plurality of conductor pads 18. The conductor pad 18 is formed on the insulating layer 12 and is electrically connected to the conductor pad 11 via a via conductor 16 formed inside the insulating layer 12.

配線層15は、導体パッド11と同様に無電解めっき層11a及び電解めっき層11bによって形成され、複数の導体パッド19を含むようになっている。複数の導体パッド19のうち、一部が絶縁層14の内部に形成されたビア導体17を介して導体パッド18と電気的に接続されている。図1に示すように、スルーホール導体10a及びビア導体16,17の一部は、絶縁層12,14の積層方向に沿って直線状に積み重ねられてスタック構造をなし、他の一部は積層方向に沿って位置をずらしながら積み重ねられてオフセット構造をなしている。   The wiring layer 15 is formed by the electroless plating layer 11 a and the electrolytic plating layer 11 b similarly to the conductor pad 11, and includes a plurality of conductor pads 19. Some of the plurality of conductor pads 19 are electrically connected to the conductor pads 18 via via conductors 17 formed inside the insulating layer 14. As shown in FIG. 1, a part of the through-hole conductor 10a and the via conductors 16 and 17 are stacked in a straight line along the stacking direction of the insulating layers 12 and 14 to form a stack structure, and the other part is stacked. They are stacked while shifting their positions along the direction to form an offset structure.

図2はプリント配線板を示す概略平面図であり、図2中のX−X線に沿う断面図は図1である。図2に示すように、導体パッド19は、円形状に形成され、一定のピッチで絶縁層14の上に配列されている。絶縁層14及び配線層15の上には、ソルダーレジスト層20が更に積層されている(図1参照)。ソルダーレジスト層20には、導体パッド19の表面21の一部を外部に露出させるための開口部20aが複数形成されている。   FIG. 2 is a schematic plan view showing the printed wiring board, and FIG. 1 is a cross-sectional view taken along line XX in FIG. As shown in FIG. 2, the conductor pads 19 are formed in a circular shape and arranged on the insulating layer 14 at a constant pitch. A solder resist layer 20 is further laminated on the insulating layer 14 and the wiring layer 15 (see FIG. 1). The solder resist layer 20 has a plurality of openings 20a for exposing a part of the surface 21 of the conductor pad 19 to the outside.

導体パッド19の表面21のうち、一部(ここでは、表面21の中央部)は開口部20aから外部に露出し、露出部分21aを構成しており、残り(主に表面21の周縁部)はソルダーレジスト層20に覆われ、ソルダーレジスト層20との界面部分21bを構成する。すなわち、表面21は、開口部20aからの露出部分21aと、ソルダーレジスト層20との界面部分21bに分けられている。   A part of the surface 21 of the conductor pad 19 (here, the central portion of the surface 21) is exposed to the outside from the opening 20a to form an exposed portion 21a, and the rest (mainly the peripheral portion of the surface 21). Is covered with the solder resist layer 20 and constitutes an interface portion 21 b with the solder resist layer 20. That is, the surface 21 is divided into an exposed portion 21 a from the opening 20 a and an interface portion 21 b between the solder resist layer 20.

図2に示すように、表面21の露出部分21aは、円形状を呈しており、外部の電子部品等と実装する際に実装面としての役割を果たすことができる。ソルダーレジスト層20との界面部分21bは、露出部分21aを取り囲むように円環状に形成されている。また、界面部分21bには凸部19aが設けられている。凸部19aは、表面21の周縁部に配置されると共に、所定の高さをもって表面21から上方に突出している。平面視において、この凸部19aは導体パッド19の円周方向に沿って延在し、円環状に形成されている。   As shown in FIG. 2, the exposed portion 21a of the surface 21 has a circular shape, and can serve as a mounting surface when mounted on an external electronic component or the like. The interface portion 21b with the solder resist layer 20 is formed in an annular shape so as to surround the exposed portion 21a. The interface portion 21b is provided with a convex portion 19a. The convex portion 19a is disposed at the peripheral portion of the surface 21, and protrudes upward from the surface 21 with a predetermined height. In plan view, the convex portion 19 a extends along the circumferential direction of the conductor pad 19 and is formed in an annular shape.

以上の構造を有するプリント配線板1では、導体パッド19の表面21のうち、ソルダーレジスト層20との界面部分21bに凸部19aが形成されているので、従来の該界面部分が平坦な場合と比べて、ソルダーレジスト層20との界面部分21bが長くなる。このため、現像液やエッチング液等の液が該界面部分21bに沿って内部に進入する経路が長くなるので、液の進入が難しくなる。   In the printed wiring board 1 having the above structure, since the convex portion 19a is formed on the interface portion 21b with the solder resist layer 20 on the surface 21 of the conductor pad 19, the conventional interface portion is flat. In comparison, the interface portion 21b with the solder resist layer 20 becomes longer. For this reason, since the path | route for liquids, such as a developing solution and an etching liquid, approachs inside along this interface part 21b becomes long, the approach of a liquid becomes difficult.

加えて、凸部19aは、表面21から上方に突出するので、現像液やエッチング液等の液が内部への進入を阻止する効果をもたらす。その結果、導体パッド19とソルダーレジスト層20との界面部分21bにおけるハローイングの発生を確実に防止することができ、導体パッド19とソルダーレジスト層20との密着性を保つことが可能になる。更に、凸部19aはアンカー効果も奏するので、導体パッド19とソルダーレジスト層20との密着性を高めることができる。   In addition, since the convex portion 19a protrudes upward from the surface 21, it brings about an effect of preventing liquids such as a developer and an etching solution from entering the inside. As a result, the occurrence of haloing at the interface portion 21b between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 can be reliably prevented, and the adhesion between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 can be maintained. Furthermore, since the convex part 19a also has an anchor effect, the adhesiveness between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 can be enhanced.

以下、図3A〜図5Cを参照して本実施形態のプリント配線板1の製造方法について説明する。プリント配線板1は、コア基板10を挟んで上下両側に絶縁層及び配線層を順次に積層してなるので、図3C以降の説明においては片側(上側)のみを用いて説明する。   Hereinafter, a method for manufacturing the printed wiring board 1 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 3A to 5C. Since the printed wiring board 1 is formed by sequentially laminating an insulating layer and a wiring layer on both upper and lower sides with the core substrate 10 interposed therebetween, only the one side (upper side) will be described in the description after FIG. 3C.

<第1工程>
まず、コア基板10を準備する。コア基板10には、例えば、ガラス繊維布からなる芯材にエポキシ樹脂が含浸されて形成された基板を用いる。続いて、コア基板10の上表面及び下表面にそれぞれ銅箔103を形成する。
<First step>
First, the core substrate 10 is prepared. For the core substrate 10, for example, a substrate formed by impregnating an epoxy resin into a core material made of glass fiber cloth is used. Subsequently, a copper foil 103 is formed on each of the upper surface and the lower surface of the core substrate 10.

次に、コア基板10に貫通孔101を複数形成する。具体的には、例えばCOレーザを用いて、コア基板10の上表面側及び下表面側から交互に照射することにより、コア基板10に貫通孔101を形成する(図3A参照)。貫通孔101の形成後に、コア基板10を所定濃度の過マンガン酸を含む溶液に浸漬し、デスミア処理を行うことが好ましい。このようにデスミア処理を行うことで、不要な導通(ショート)を抑制することができる。 Next, a plurality of through holes 101 are formed in the core substrate 10. Specifically, for example, by using a CO 2 laser, the through holes 101 are formed in the core substrate 10 by alternately irradiating from the upper surface side and the lower surface side of the core substrate 10 (see FIG. 3A). After the formation of the through-hole 101, it is preferable to perform a desmear treatment by immersing the core substrate 10 in a solution containing a predetermined concentration of permanganic acid. By performing the desmear process in this way, unnecessary conduction (short circuit) can be suppressed.

次に、貫通孔101の内部にスルーホール導体10aを形成すると共に、コア基板10の上に導体パッド11を形成する。具体的には、無電解めっき液にコア基板10を浸漬し、銅箔が形成されたコア基板10の上表面、下表面及び貫通孔101の内壁面に無電解めっき層11aを形成する。無電解めっき層11aを形成する材料としては、銅、ニッケルなどが挙げられる。続いて、無電解めっき層11aをシード層としてその上に電解めっき層11bを形成する。これによって、貫通孔101は無電解めっき層11a及び電解めっき層11bで充填され、この充填された無電解めっき層11a及び電解めっき層11bは、スルーホール導体10aを構成する(図3B参照)。   Next, the through-hole conductor 10 a is formed inside the through hole 101, and the conductor pad 11 is formed on the core substrate 10. Specifically, the core substrate 10 is immersed in an electroless plating solution, and the electroless plating layer 11a is formed on the upper and lower surfaces of the core substrate 10 on which the copper foil is formed and the inner wall surface of the through hole 101. Examples of the material for forming the electroless plating layer 11a include copper and nickel. Subsequently, the electroless plating layer 11b is formed thereon using the electroless plating layer 11a as a seed layer. Thus, the through hole 101 is filled with the electroless plating layer 11a and the electrolytic plating layer 11b, and the filled electroless plating layer 11a and the electrolytic plating layer 11b constitute a through-hole conductor 10a (see FIG. 3B).

続いて、電解めっき層11bの上に所定のレジストパターンを形成し、該レジストパターンで覆われていない部分の無電解めっき層11a、電解めっき層11b及び銅箔を除去する。その後、モノエタノールアミンを含む溶液を用いて該レジストパターンを除去する。そして、コア基板10の表面に残された銅箔103、無電解めっき層11a及び電解めっき層11bは、導体パッド11を構成する(図3C参照)。なお、図3D以降の図面においては、図面を見やすくするために、銅箔103を省略する。   Subsequently, a predetermined resist pattern is formed on the electrolytic plating layer 11b, and portions of the electroless plating layer 11a, the electrolytic plating layer 11b, and the copper foil that are not covered with the resist pattern are removed. Thereafter, the resist pattern is removed using a solution containing monoethanolamine. Then, the copper foil 103, the electroless plating layer 11a, and the electrolytic plating layer 11b left on the surface of the core substrate 10 constitute a conductor pad 11 (see FIG. 3C). In FIG. 3D and subsequent drawings, the copper foil 103 is omitted in order to make the drawings easy to see.

続いて、コア基板10及び導体パッド11の上に熱硬化性エポキシ樹脂を塗布することにより、絶縁層12を形成する(図3D参照)。次に、絶縁層12の導体パッド11に対応する位置にCOレーザ照射でビアホール12aを形成する。その後、絶縁層12の表面、ビアホール12aの内壁面及びビアホール12aから露出した導体パッド11の表面に、無電解めっき層11aを形成する。続いて、無電解めっき層11aの上に所定のレジストパターン102を形成する(図4A参照)。 Subsequently, an insulating layer 12 is formed by applying a thermosetting epoxy resin on the core substrate 10 and the conductor pads 11 (see FIG. 3D). Next, a via hole 12a is formed at a position corresponding to the conductor pad 11 of the insulating layer 12 by CO 2 laser irradiation. Thereafter, the electroless plating layer 11a is formed on the surface of the insulating layer 12, the inner wall surface of the via hole 12a, and the surface of the conductor pad 11 exposed from the via hole 12a. Subsequently, a predetermined resist pattern 102 is formed on the electroless plating layer 11a (see FIG. 4A).

次に、所定のレジストパターン102で覆われていない部分の無電解めっき層11aの上に、電解めっき層11bを形成する(図4B参照)。これにより、ビアホール12aは無電解めっき層11a及び電解めっき層11bで充填され、この充填された無電解めっき層11a及び電解めっき層11bは、ビア導体16を構成する。続いて、モノエタノールアミンを含む溶液を用いてレジストパターン102を除去する。   Next, the electrolytic plating layer 11b is formed on the portion of the electroless plating layer 11a that is not covered with the predetermined resist pattern 102 (see FIG. 4B). Thereby, the via hole 12a is filled with the electroless plating layer 11a and the electrolytic plating layer 11b, and the filled electroless plating layer 11a and the electrolytic plating layer 11b constitute the via conductor 16. Subsequently, the resist pattern 102 is removed using a solution containing monoethanolamine.

更に、レジストパターン102の除去により露出した無電解めっき層11aをエッチングで除去する。これによって、絶縁層12の表面に残された無電解めっき層11a及び電解めっき層11bは、導体パッド18を含む配線層13を構成する(図4C参照)。続いて、上述した工程を繰り返すことで、絶縁層14、ビア導体17、導体パッド19’を順次に形成する(図4D参照)。導体パッド19’は、導体パッド19の前駆体であり、無電解めっき層11aと電解めっき層11b’からなる。そして、導体パッド19’の電解めっき層11b’は、導体パッド18の電解めっき層11bより厚く形成されている。   Further, the electroless plating layer 11a exposed by removing the resist pattern 102 is removed by etching. Thereby, the electroless plating layer 11a and the electrolytic plating layer 11b left on the surface of the insulating layer 12 constitute the wiring layer 13 including the conductor pads 18 (see FIG. 4C). Subsequently, by repeating the above-described steps, the insulating layer 14, the via conductor 17, and the conductor pad 19 'are sequentially formed (see FIG. 4D). The conductor pad 19 'is a precursor of the conductor pad 19, and includes an electroless plating layer 11a and an electrolytic plating layer 11b'. The electroplating layer 11b 'of the conductor pad 19' is formed thicker than the electroplating layer 11b of the conductor pad 18.

<第2工程>
次に、導体パッド19’の表面の周縁部に該導体パッド19’の円周方向に沿って凸部19aを形成する。具体的には、レーザ加工を用いて導体パッド19’の電解めっき層11b’の中央部を削る。この際に、電解めっき層11b’をその残される部分の厚さが導体パッド18の電解めっき層11bと同じになるように削る。なお、ここで、レーザ加工に代えてエッチング液を用いて電解めっき層11b’の削りを行っても良い。
<Second step>
Next, the convex part 19a is formed in the peripheral part of the surface of conductor pad 19 'along the circumferential direction of this conductor pad 19'. Specifically, the central portion of the electroplating layer 11b ′ of the conductor pad 19 ′ is cut using laser processing. At this time, the electroplating layer 11 b ′ is shaved so that the thickness of the remaining portion is the same as that of the electroplating layer 11 b of the conductor pad 18. Here, the electrolytic plating layer 11b ′ may be cut using an etching solution instead of laser processing.

図5Aに示すように、電解めっき層11b’の表面の中央部を削ることで、表面の周縁部が相対的に高くなる。このようにすることで、表面の周縁部に円環状の凸部19aが形成される。そして、絶縁層14の表面に残された無電解めっき層11a及び電解めっき層11bは、導体パッド19を含む配線層15を構成する。   As shown in FIG. 5A, the peripheral portion of the surface becomes relatively high by cutting the central portion of the surface of the electrolytic plating layer 11b '. By doing in this way, the annular convex part 19a is formed in the peripheral part of the surface. The electroless plating layer 11 a and the electrolytic plating layer 11 b left on the surface of the insulating layer 14 constitute a wiring layer 15 including the conductor pads 19.

<第3工程>
続いて、絶縁層14の上にソルダーレジスト層20を形成する。ソルダーレジスト層20の形成方法には、例えばフォトリソグラフィー法又はレーザ加工法を用いることができる。フォトリソグラフィー法の場合、まず、配線層15の全体を覆うように絶縁層14の上に光硬化性樹脂からなるソルダーレジスト層20を塗布する(図5B参照)。続いて、露光現像処理を行うことで導体パッド19の表面21の一部を露出させる開口部20aを複数形成する(図5C参照)。開口部20aの形成は、導体パッド19の表面21のうち、周縁部以外の一部(ここでは、表面21の中央部)を外部に露出させるように行われている。
<Third step>
Subsequently, a solder resist layer 20 is formed on the insulating layer 14. As a method of forming the solder resist layer 20, for example, a photolithography method or a laser processing method can be used. In the case of the photolithography method, first, a solder resist layer 20 made of a photocurable resin is applied on the insulating layer 14 so as to cover the entire wiring layer 15 (see FIG. 5B). Subsequently, a plurality of openings 20a that expose a part of the surface 21 of the conductor pad 19 are formed by performing an exposure development process (see FIG. 5C). The opening 20a is formed so that a part of the surface 21 of the conductor pad 19 other than the peripheral portion (here, the central portion of the surface 21) is exposed to the outside.

このとき、現像処理に用いられた現像液が、導体パッド19とソルダーレジスト層20との界面部分(すなわち、表面21の界面部分21b)に沿って内部に進入しようとするが、進入経路が長く、且つ現像液の進入が凸部19aによって阻止されるので、現像液が内部に入り込み難い。このため、ハローイングの発生を確実に防止することができる。   At this time, the developer used in the development processing tries to enter the inside along the interface portion between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 (that is, the interface portion 21b of the surface 21), but the approach path is long. In addition, since the intrusion of the developer is prevented by the convex portion 19a, the developer is difficult to enter inside. For this reason, generation | occurrence | production of haloing can be prevented reliably.

一方、レーザ加工法の場合、まず、配線層15の全体を覆うように絶縁層14の上に熱硬化性樹脂フィルムからなるソルダーレジスト層20をラミネートする(図5B参照)。続いて、レーザ加工を用いて導体パッド19の表面21の一部を露出させる開口部20aを複数形成する(図5C参照)。   On the other hand, in the case of the laser processing method, first, a solder resist layer 20 made of a thermosetting resin film is laminated on the insulating layer 14 so as to cover the entire wiring layer 15 (see FIG. 5B). Subsequently, a plurality of openings 20a that expose a part of the surface 21 of the conductor pad 19 are formed by laser processing (see FIG. 5C).

レーザ加工後、樹脂残渣を除去するためにエッチング液を用いてデスミア処理を行う。このとき、エッチング液が導体パッド19とソルダーレジスト層20との界面部分(すなわち、表面21の界面部分21b)に沿って内部に進入しようとするが、進入経路が長く、且つエッチング液の進入が凸部19aによって阻止されるので、エッチング液が内部に入り込み難い。このため、ハローイングの発生を確実に防止することができる。そして、開口部20aの形成が終わると、プリント配線板1の製造が完了する。   After the laser processing, a desmear process is performed using an etching solution in order to remove the resin residue. At this time, the etching solution tries to enter the inside along the interface portion between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 (that is, the interface portion 21b of the surface 21), but the entry path is long and the etching solution enters. Since it is blocked by the convex portion 19a, the etching solution is difficult to enter inside. For this reason, generation | occurrence | production of haloing can be prevented reliably. Then, when the formation of the opening 20a is finished, the production of the printed wiring board 1 is completed.

上述した製造方法によれば、導体パッド19の上にソルダーレジスト層20を形成する前に、該導体パッド19の表面の周縁部に凸部19aを形成するので、開口部20aの形成時に用いられた現像液又はエッチング液が導体パッド19とソルダーレジスト層20との界面部分に沿って内部への進入は阻止される。その結果、導体パッド19とソルダーレジスト層20との界面部分21bにおけるハローイングの発生を確実に防止することができる。しかも、凸部19aはアンカー効果を奏するので、導体パッド19とソルダーレジスト層20との密着性を向上することができる。   According to the manufacturing method described above, the convex portion 19a is formed on the peripheral edge portion of the surface of the conductor pad 19 before the solder resist layer 20 is formed on the conductor pad 19, so that it is used when the opening portion 20a is formed. The developer or etching solution is prevented from entering the inside along the interface portion between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20. As a result, the occurrence of haloing at the interface portion 21b between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 can be reliably prevented. And since the convex part 19a has an anchor effect, the adhesiveness of the conductor pad 19 and the soldering resist layer 20 can be improved.

<第2実施形態>
図6第2実施形態に係るプリント配線板を示す概略断面図である。本実施形態のプリント配線板2と第1実施形態との相違点は、導体パッド19とソルダーレジスト層20との界面部分に凹部19bを設けることである。具体的には、導体パッド19の表面21のうち、ソルダーレジスト層20との界面部分21bに凹部19bが形成されている。凹部19bは、表面21より下方(すなわち、コア基板10側)に凹んでおり、断面矩形状に形成されている。この凹部19bは、導体パッド19の円周方向に沿って延びている。
Second Embodiment
6 is a schematic cross-sectional view showing a printed wiring board according to the second embodiment. The difference between the printed wiring board 2 of the present embodiment and the first embodiment is that a recess 19 b is provided at the interface portion between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20. Specifically, a recess 19 b is formed in an interface portion 21 b with the solder resist layer 20 on the surface 21 of the conductor pad 19. The recess 19b is recessed below the surface 21 (that is, on the core substrate 10 side) and has a rectangular cross section. The recess 19 b extends along the circumferential direction of the conductor pad 19.

このように構成されたプリント配線板2は、第1実施形態と同様な作用効果を得られる。すなわち、界面部分21bに凹部19bが形成されているので、現像液やエッチング液等の液が該界面部分21bに沿って内部に進入する経路が長くなるに加えて、現像液やエッチング液等の液による進入が凹部19bに阻止される。その結果、導体パッド19とソルダーレジスト層20との界面部分21bにおけるハローイングの発生を確実に防止できる。しかも、凹部19bはアンカー効果も奏するので、導体パッド19とソルダーレジスト層20との密着性を高めることができる。   The printed wiring board 2 configured as described above can obtain the same effects as those of the first embodiment. That is, since the concave portion 19b is formed in the interface portion 21b, the path for the liquid such as the developer and the etching solution to enter the inside along the interface portion 21b becomes long, and the developer and the etching solution and the like The entry by the liquid is prevented by the recess 19b. As a result, the occurrence of haloing at the interface portion 21b between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 can be reliably prevented. In addition, since the recess 19b also has an anchor effect, the adhesion between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 can be enhanced.

<第3実施形態>
図7第3実施形態に係るプリント配線板を示す概略断面図である。本実施形態のプリント配線板3と第2実施形態との相違点は、凹部19cが複数形成されることである。具体的には、導体パッド19の表面21のうち、ソルダーレジスト層20との界面部分21bに凹部19cが複数(ここでは、2つ)形成されている。凹部19cは、表面21より下方に凹んでおり、断面U字状に形成されている。これらの凹部19cは、導体パッド19の円周方向に沿って延びている。
<Third Embodiment>
7 is a schematic cross-sectional view showing a printed wiring board according to the third embodiment. The difference between the printed wiring board 3 of this embodiment and the second embodiment is that a plurality of recesses 19c are formed. Specifically, a plurality (two in this case) of recesses 19 c are formed in the interface portion 21 b with the solder resist layer 20 on the surface 21 of the conductor pad 19. The recess 19c is recessed below the surface 21 and has a U-shaped cross section. These recesses 19 c extend along the circumferential direction of the conductor pad 19.

このように構成されたプリント配線板3は、第2実施形態と同様な作用効果を得られるほか、凹部19cが複数であるので、現像液やエッチング液等の液の進入経路が更に長くなる。従って、界面部分21bにおけるハローイングの発生をより確実に防止できると共に、導体パッド19とソルダーレジスト層20との密着性を一層高めることができる。   The printed wiring board 3 configured as described above can obtain the same effects as those of the second embodiment, and has a plurality of recesses 19c, so that the path for entering a liquid such as a developing solution or an etching solution is further increased. Therefore, the occurrence of haloing at the interface portion 21b can be more reliably prevented, and the adhesion between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 can be further enhanced.

<第4実施形態>
図8第4実施形態に係るプリント配線板を示す概略断面図である。本実施形態のプリント配線板4と第1実施形態との相違点は、凸部19dが複数形成されることである。具体的には、導体パッド19の表面21のうち、ソルダーレジスト層20との界面部分21bには、凸部19dが複数(ここでは、2つ)形成されている。凸部19dは、表面21より上方に突出しており、導体パッド19の円周方向に沿って延びている。
<Fourth embodiment>
8 is a schematic cross-sectional view showing a printed wiring board according to the fourth embodiment. The difference between the printed wiring board 4 of the present embodiment and the first embodiment is that a plurality of convex portions 19d are formed. Specifically, a plurality (two in this case) of convex portions 19d are formed on the interface portion 21b of the surface 21 of the conductor pad 19 with the solder resist layer 20. The convex portion 19 d protrudes upward from the surface 21 and extends along the circumferential direction of the conductor pad 19.

このように構成されたプリント配線板4は、第1実施形態と同様な作用効果を得られるほか、凸部19dが複数であるので、現像液やエッチング液等の液の進入経路が更に長くなる。従って、界面部分21bにおけるハローイングの発生をより確実に防止できると共に、導体パッド19とソルダーレジスト層20との密着性を一層高めることができる。   The printed wiring board 4 configured as described above can obtain the same operational effects as those of the first embodiment, and since there are a plurality of convex portions 19d, the entry path of a liquid such as a developing solution or an etching solution becomes longer. . Therefore, the occurrence of haloing at the interface portion 21b can be more reliably prevented, and the adhesion between the conductor pad 19 and the solder resist layer 20 can be further enhanced.

以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の設計変更を行うことができるものである。例えば、上述の実施形態では、コア基板10を有するプリント配線板について説明したが、本発明はコア基板10を有しないプリント配線板(所謂コアレス基板)にも適用される。また、凸部及び凹部の形状については、上述した内容に限らず、様々な変更を加えても良い。更に、凸部及び凹部の数、凸部及び凹部の組み合わせを変更しても良い。   Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various designs can be made without departing from the spirit of the present invention described in the claims. It can be changed. For example, in the above-described embodiment, the printed wiring board having the core substrate 10 has been described. However, the present invention is also applicable to a printed wiring board having no core substrate 10 (so-called coreless substrate). Moreover, about the shape of a convex part and a recessed part, not only the content mentioned above but you may add various changes. Furthermore, you may change the number of a convex part and a recessed part, and the combination of a convex part and a recessed part.

1,2,3,4 プリント配線板
10 コア基板
12,14 絶縁層
13,15 配線層
16,17 ビア導体
18,19 導体パッド
20 ソルダーレジスト層
20a 開口部
21 表面
21a 露出部分
21b 界面部分
19a,19d 凸部
19b,19c 凹部
1, 2, 3, 4 Printed wiring board 10 Core substrate 12, 14 Insulating layer 13, 15 Wiring layer 16, 17 Via conductor 18, 19 Conductor pad 20 Solder resist layer 20a Opening 21 Surface 21a Exposed portion 21b Interface portion 19a, 19d Convex part 19b, 19c Concave part

Claims (5)

絶縁層と、
前記絶縁層の上に形成され、複数の導体パッドを含む配線層と、
前記絶縁層及び前記配線層の上に、前記導体パッドの表面の一部が外部に露出するように形成されたソルダーレジスト層と、
を備えるプリント配線板であって、
前記導体パッドの表面のうち、前記ソルダーレジスト層との界面部分には、少なくとも凸部又は凹部のいずれか一方が形成され、
前記凸部又は前記凹部は、前記導体パッドの周方向に沿って延びている。
An insulating layer;
A wiring layer formed on the insulating layer and including a plurality of conductor pads;
A solder resist layer formed on the insulating layer and the wiring layer so that a part of the surface of the conductor pad is exposed to the outside;
A printed wiring board comprising:
Of the surface of the conductor pad, at the interface portion with the solder resist layer, at least one of a convex portion or a concave portion is formed,
The convex portion or the concave portion extends along the circumferential direction of the conductor pad.
請求項1に記載のプリント配線板において、
前記導体パッドの表面のうち、前記ソルダーレジスト層との界面部分は、凹凸状に形成されている。
In the printed wiring board of Claim 1,
Of the surface of the conductor pad, the interface portion with the solder resist layer is formed in an uneven shape.
請求項1に記載のプリント配線板において、
前記凸部又は前記凹部は、それぞれ複数である。
In the printed wiring board of Claim 1,
The convex part or the concave part is plural.
絶縁層の上に複数の導体パッドを含む配線層を形成する第1工程と、
前記導体パッドの表面の周縁部に、少なくとも凸部又は凹部のいずれか一方を前記導体パッドの周方向に沿って形成する第2工程と、
前記絶縁層及び前記配線層を覆うようにこれらの上にソルダーレジスト層を形成し、前記導体パッドの表面のうち、前記周縁部以外の一部を外部に露出させる開口部を前記ソルダーレジスト層に複数形成する第3工程と、
を含むプリント配線板の製造方法。
A first step of forming a wiring layer including a plurality of conductor pads on the insulating layer;
A second step of forming at least one of a convex portion or a concave portion along the circumferential direction of the conductive pad on the peripheral portion of the surface of the conductive pad;
A solder resist layer is formed on the insulating layer and the wiring layer so as to cover the insulating layer and the wiring layer, and an opening that exposes part of the surface of the conductor pad other than the peripheral portion to the outside is formed in the solder resist layer. A third step of forming a plurality;
A method of manufacturing a printed wiring board including:
請求項4に記載のプリント配線板の製造方法において、
前記第2工程では、エッチング処理又はレーザ加工を用いて前記導体パッドの表面の周縁部に少なくとも前記凸部又は前記凹部のいずれか一方を形成する。
In the manufacturing method of the printed wiring board of Claim 4,
In the second step, at least one of the convex portion and the concave portion is formed on the peripheral edge portion of the surface of the conductor pad by using etching or laser processing.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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