JP2017146180A - 超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路 - Google Patents
超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017146180A JP2017146180A JP2016027683A JP2016027683A JP2017146180A JP 2017146180 A JP2017146180 A JP 2017146180A JP 2016027683 A JP2016027683 A JP 2016027683A JP 2016027683 A JP2016027683 A JP 2016027683A JP 2017146180 A JP2017146180 A JP 2017146180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fet
- ultrasonic
- ultrasonic probe
- probe
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
【課題】大幅に低い電圧の印加で超音波プローブを発振駆動可能とすることで、プローブにかかる電圧、流れる電流容量が増えて、発熱やその寿命を減らすという欠点を解消する超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路を提供する。
【解決手段】タイミングパルスを供給するFET(電界効果トランジスタ)ドライブ回路31を介してFETをON・OFF制御することにより、出力電源に基づく負パルスを生成し、これを圧電素子に印加し、圧電素子を発振駆動する。FET21によるため、低電圧での駆動が可能となり、発熱なども抑えることができる。
【選択図】図2
【解決手段】タイミングパルスを供給するFET(電界効果トランジスタ)ドライブ回路31を介してFETをON・OFF制御することにより、出力電源に基づく負パルスを生成し、これを圧電素子に印加し、圧電素子を発振駆動する。FET21によるため、低電圧での駆動が可能となり、発熱なども抑えることができる。
【選択図】図2
Description
この発明は超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路、詳しくは従来に比較して大幅に低い電圧で駆動発振することができる超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路に関する。
超音波によって試料を検査する場合、検査対象物に送信波というエネルギーの高い超音波を入射させる必要がある。そして、送信波より得られた受信波に基づいてその検査を行う。
一般に、超音波プローブ(探触子)をドライブするためには、図3に示すように、電源電圧(数十Vから200V)による急峻な立下りパルスをこの超音波プローブに印加する必要がある。
そのため、従来は、高速バイポーラトランジスタを用いて超音波プローブをドライブしていた。例えば特許文献1に記載の超音波プローブ駆動回路である。これは負荷の有無により超音波プローブの駆動ポイントを変動させ、エネルギー損失を少なくすることを目的としている。
ところが、バイポーラトランジスタの場合、使用上、以下の問題が生じていた。第1に、高耐圧・高速のものは品種が少なく、入手が困難である。第2に、十分な波高値のパルスを作るには、ベース電流をかなり流すことが必要である。例えば、50Vの波高値で50Ωの探触子をドライブする場合は、通常のバイポーラトランジスタのhFE(直流電流増幅率)は30程度であるから、33mAのベース電流が必要となる。回路制約上これはかなり困難である。実際、電源電圧に対する波高値が50%程度と低くなる。
一方、FET(電界効果トランジスタ)では、高耐圧・高速のものが比較的入手が容易である。また、定常的には入力電流は不要で、電圧のみあれば良いので、容易にFETを飽和させることが可能となり、電源電圧に対する波高値を高くすることができる(70%程度)。
ところが,FETには入力容量があり、瞬間的には充電電流を流す必要がありました。これがFETを採用しない理由でした。
一般に、超音波プローブ(探触子)をドライブするためには、図3に示すように、電源電圧(数十Vから200V)による急峻な立下りパルスをこの超音波プローブに印加する必要がある。
そのため、従来は、高速バイポーラトランジスタを用いて超音波プローブをドライブしていた。例えば特許文献1に記載の超音波プローブ駆動回路である。これは負荷の有無により超音波プローブの駆動ポイントを変動させ、エネルギー損失を少なくすることを目的としている。
ところが、バイポーラトランジスタの場合、使用上、以下の問題が生じていた。第1に、高耐圧・高速のものは品種が少なく、入手が困難である。第2に、十分な波高値のパルスを作るには、ベース電流をかなり流すことが必要である。例えば、50Vの波高値で50Ωの探触子をドライブする場合は、通常のバイポーラトランジスタのhFE(直流電流増幅率)は30程度であるから、33mAのベース電流が必要となる。回路制約上これはかなり困難である。実際、電源電圧に対する波高値が50%程度と低くなる。
一方、FET(電界効果トランジスタ)では、高耐圧・高速のものが比較的入手が容易である。また、定常的には入力電流は不要で、電圧のみあれば良いので、容易にFETを飽和させることが可能となり、電源電圧に対する波高値を高くすることができる(70%程度)。
ところが,FETには入力容量があり、瞬間的には充電電流を流す必要がありました。これがFETを採用しない理由でした。
しかしながら、このような従来の超音波検査装置にあっては、以下の不都合があった。
すなわち、超音波振動子(超音波プローブ、超音波探触子)の駆動回路としてバイポーラトランジスタを用いた構成であったため、このトランジスタに駆動電流を流すことで結果として高電圧での駆動を行っていたという問題が生じていた。
すなわち、超音波振動子(超音波プローブ、超音波探触子)の駆動回路としてバイポーラトランジスタを用いた構成であったため、このトランジスタに駆動電流を流すことで結果として高電圧での駆動を行っていたという問題が生じていた。
そこで、発明者は鋭意研究の結果、モータドライバ用のFETドライバに着目し、50kHz程度の繰り返し周波数(PRF)で駆動する場合、入力電流はほとんど不要となり、同じ電源電圧の場合、バイポーラトランジタに比べて、効率よく、波高値を高くすることが可能となることを知見し、この発明を完成させた。
すなわち、この発明は、従来不可能であった大幅に低い電圧の印加で超音波プローブを発振駆動可能とした超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路を提供することを目的としている。
請求項1に記載の発明は、超音波プローブの圧電素子に負のパルス状電圧を印加することにより、圧電素子を振動させる超音波検査装置の超音波プローブの駆動回路であって、FETドライブ回路により供給されるタイミングパルスに基づいてFETをON・OFF制御することにより、上記負のパルス状電圧を上記圧電素子に印加する超音波検査装置の超音波プローブの駆動回路である。
請求項1に記載の発明によれば、超音波検査装置の超音波プローブにはFETのゲートに印加される制御電源の電圧を一定とするとともに、この印加をON・OFF制御することにより、超音波プローブの圧電素子に対して急峻な立下りパルスを印加し、超音波プローブの圧電素子を発振駆動する。
請求項2に記載の発明は、上記超音波プローブの固有の周波数帯域は、5〜75MHzである請求項1に記載の超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路である。
請求項2に記載の発明によれば、この周波数帯域のプローブにあっては、パルスに急峻な立下り特性を持たせることが有効であり、制御電源の印加によりFETを容易に飽和させることができ、電源電圧に対する波高値を高くすることができる。その結果、従来のバイポーラトランジスタを使用した場合よりも低い電源電圧の印加によって超音波プローブの圧電素子を発振駆動することができる。
請求項1,2に記載の発明にあっては、超音波プローブを駆動する駆動回路にあって、FETを用いて発振駆動することにより、低電圧での駆動が可能となった。すなわち、従来装置では、プローブにかかる電圧、流れる電流容量が増えて、発熱やその寿命を減らすという欠点を、この発明にあっては解消することができる。
以下、この発明の実施例について図面を参照して具体的に説明する。
図1において、超音波検査装置は、水槽11内に保持された被検査物12に対して超音波プローブ13,14を水平面内で直交するXY方向に移動させることにより、被検査物12に内在された欠陥などを検査する。すなわち、超音波プローブ13,14から所定周波数の超音波を発振させ、被検査物12に放射するとともに、該被検査物12からの反射波を受信することで、例えば画像表示し、被検査物12に内在する欠陥の有無などを判別するものである。
図1において、水槽11の上方に超音波プローブ13,14が水平面内で移動可能に配設され、それぞれがモータによりX軸方向、Y軸方向に水平面内で移動して、水槽内底面に載置された被検査物12の全面についてスキャン可能とされている。
なお、これらのXY方向への移動制御、および、超音波プローブから発振されて被検査物から反射された反射波の受信制御についてはいずれも公知の技術であるため、詳細な説明は省略する。
図1において、水槽11の上方に超音波プローブ13,14が水平面内で移動可能に配設され、それぞれがモータによりX軸方向、Y軸方向に水平面内で移動して、水槽内底面に載置された被検査物12の全面についてスキャン可能とされている。
なお、これらのXY方向への移動制御、および、超音波プローブから発振されて被検査物から反射された反射波の受信制御についてはいずれも公知の技術であるため、詳細な説明は省略する。
次に、図2を参照してこの発明に係る超音波プローブの駆動回路について説明する。
この場合の超音波プローブ(探触子)13としては、Cスキャンによる精密画像判定専用機として用いられるものであり、例えば5〜75MHzであって、これを発振駆動させる出力電源は例えば20〜50Vとする。この周波数帯域の超音波プローブでは実験によりパルスに可能な限り急峻な立下り特性を持たせることが有効である。そして、その制御回路は小型化のためできるだけ単純で、低損失(発熱防止)のものが必要である。このため、FETのゲート電圧を固定し、FETドライバ回路を使用し、FETの入力容量の影響を排除し、高速動作(急峻な立下り)と、低損失とを実現している。
出力電源のプローブ13への印加をFET21にてON・OFF制御する構成である。
このFET21のゲートにはFETドライブ回路31の出力が供給される構成である。FET21のソースは出力電源に接続されるとともに、そのドレインは接地されている。このFET21はプローブ13のドライブ用であって、ノーマリ−OFFタイプである。
FETドライブ回路31は、CMOS素子を含みFET22はノーマリ−OFF、FET23はノーマリ−ONとされ、FET22のソース端子に制御電源(固定電圧12v)が印加されている。FET23のドレインは接地されている。これらのFET22,23の各ゲートに対して入力トリガー(タイミングパルス)がLレベル(0V)からHレベル(2V以上)に変化すると、FET22がON、FET23がOFFとなり、この結果、制御電源がFET21のゲートに印加されることとなる。FET21はゲートに制御電源が印加されると、ONとなる。このとき、端子は出力電源の低電圧(例えば50V)に保持されており、このFET21のONにより電圧降下が起きる。この結果、プローブ13の圧電素子には負のパルスが印加される。
このゲートに制御電源が直接印加されることにより、ゲート容量は急速にチャージされ、通常より急速にFET21はONとなる。このようにFET21を用いることにより、急峻な立下りパルスを実現することができ、低電圧での発振が可能となっている。
この場合の超音波プローブ(探触子)13としては、Cスキャンによる精密画像判定専用機として用いられるものであり、例えば5〜75MHzであって、これを発振駆動させる出力電源は例えば20〜50Vとする。この周波数帯域の超音波プローブでは実験によりパルスに可能な限り急峻な立下り特性を持たせることが有効である。そして、その制御回路は小型化のためできるだけ単純で、低損失(発熱防止)のものが必要である。このため、FETのゲート電圧を固定し、FETドライバ回路を使用し、FETの入力容量の影響を排除し、高速動作(急峻な立下り)と、低損失とを実現している。
出力電源のプローブ13への印加をFET21にてON・OFF制御する構成である。
このFET21のゲートにはFETドライブ回路31の出力が供給される構成である。FET21のソースは出力電源に接続されるとともに、そのドレインは接地されている。このFET21はプローブ13のドライブ用であって、ノーマリ−OFFタイプである。
FETドライブ回路31は、CMOS素子を含みFET22はノーマリ−OFF、FET23はノーマリ−ONとされ、FET22のソース端子に制御電源(固定電圧12v)が印加されている。FET23のドレインは接地されている。これらのFET22,23の各ゲートに対して入力トリガー(タイミングパルス)がLレベル(0V)からHレベル(2V以上)に変化すると、FET22がON、FET23がOFFとなり、この結果、制御電源がFET21のゲートに印加されることとなる。FET21はゲートに制御電源が印加されると、ONとなる。このとき、端子は出力電源の低電圧(例えば50V)に保持されており、このFET21のONにより電圧降下が起きる。この結果、プローブ13の圧電素子には負のパルスが印加される。
このゲートに制御電源が直接印加されることにより、ゲート容量は急速にチャージされ、通常より急速にFET21はONとなる。このようにFET21を用いることにより、急峻な立下りパルスを実現することができ、低電圧での発振が可能となっている。
以上の構成に係る超音波プローブの駆動回路にあっては、FET22がOFF、FET23がON、FET21がONの状態にあって、入力トリガー(タイミングパルス)がLOWレベルからHIGHレベルに変化すると、FET22がON,FET23がOFFとなる。この結果、FET21のゲートに制御電源(12V)が印加され、FET21がONとなる。FET21のONにより端子30は接地レベルから電圧降下が起こり、超音波プローブ13に対して負のパルスが出力され、プローブ13は発振駆動されることとなる。なお、ダイオード31は順方向、ダイオード32は逆方向接続されている。
なお、PCにての制御、反射波の受信については超音波ユニットにより制御されることは従来と同等である。
なお、PCにての制御、反射波の受信については超音波ユニットにより制御されることは従来と同等である。
この発明の超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路は、超音波プローブを低電圧で駆動する技術として有用である。
11 水槽、
12 被検査物、
13,14 超音波プローブ、
21 FET、
31 FETドライブ回路。
12 被検査物、
13,14 超音波プローブ、
21 FET、
31 FETドライブ回路。
Claims (2)
- 超音波プローブの圧電素子に負のパルス状電圧を印加することにより、圧電素子を振動させる超音波検査装置の超音波プローブの駆動回路であって、
FETドライブ回路により供給されるタイミングパルスに基づいてFETをON・OFF制御することにより、上記負のパルス状電圧を上記圧電素子に印加する超音波検査装置の超音波プローブの駆動回路。 - 上記超音波プローブの固有の周波数帯域は、5〜75MHzである請求項1に記載の超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016027683A JP2017146180A (ja) | 2016-02-17 | 2016-02-17 | 超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016027683A JP2017146180A (ja) | 2016-02-17 | 2016-02-17 | 超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017146180A true JP2017146180A (ja) | 2017-08-24 |
Family
ID=59681330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016027683A Pending JP2017146180A (ja) | 2016-02-17 | 2016-02-17 | 超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017146180A (ja) |
-
2016
- 2016-02-17 JP JP2016027683A patent/JP2017146180A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7855609B2 (en) | Ultrasonic transducer driving circuit and ultrasonic diagnostic apparatus | |
US20100041997A1 (en) | Ultrasonic imaging apparatus | |
TW200725718A (en) | Spin cleaning apparatus and wafer cleaning method | |
JP2010022761A (ja) | 超音波撮像装置 | |
JP2013038457A (ja) | 増幅回路、ヘッド駆動回路、及び、液体噴射装置 | |
JP2013038458A (ja) | 増幅回路、ヘッド駆動回路、及び、液体噴射装置 | |
US9182377B2 (en) | Ultrasonic transducer drive circuit and ultrasonic image display apparatus | |
RU2011119116A (ru) | Импульсный источник электропитания | |
JP2017146180A (ja) | 超音波検査装置の超音波プローブ駆動回路 | |
US9022941B2 (en) | Ultrasonic diagnostic apparatus and carrier signal generating circuit | |
JP6152360B2 (ja) | 光音響画像化装置 | |
JP2001245881A (ja) | 超音波診断装置用送信回路 | |
US7669478B2 (en) | Ultrasonic driving device with multi-frequency scanning | |
JPH0385146A (ja) | 超音波診断装置 | |
JP6049342B2 (ja) | 超音波診断装置 | |
JP4852356B2 (ja) | 超音波診断装置 | |
Takada et al. | High Voltage Staircase Drive Circuit for Triggered High-Intensity Focused Ultrasound Treatment | |
JP7298098B2 (ja) | 超音波振動子駆動回路及び超音波溶着装置 | |
Llimós Muntal et al. | Integrated reconfigurable high-voltage transmitting circuit for CMUTs | |
KR20220030718A (ko) | 초음파 파동의 변화를 이용한 초음파 세척방법 및 그 장치 | |
JP2017046823A (ja) | 光音響画像化装置 | |
JP2014145743A (ja) | 半導体スイッチ回路、超音波画像診断装置及び半導体テスタ | |
JP2002065672A (ja) | 超音波診断装置 | |
JP6543033B2 (ja) | 超音波モータの駆動回路及び超音波モータ | |
JP6229629B2 (ja) | 温度制御装置、半導体モジュール、およびレーザ加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191122 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200721 |