JP2017144664A - Inkjet head and inkjet device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inkjet head which enables a plate-like member provided with a nozzle to be properly adhered to a structure forming a passage, and to provide an inkjet device.SOLUTION: An inkjet head includes: a pressure chamber which is filled with an ink; an actuator which changes a pressure of the ink filling the pressure chamber; a lower member (a plate-like member) 40b provided with a nozzle 41 for discharging the ink; a communication passage 54 which connects the pressure chamber with the nozzle 41; an upper member 40a provided with the communication passage and to which the lower member (the plate-like member) 40b is adhered; and a recessed part 42 which is provided on a nozzle 41 side surface of the upper member 40a so as to enclose the communication passage 54.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本発明は、被印刷面にインクを吐出するインクジェットヘッドおよび当該インクジェットヘッドを用いたインクジェット装置に関する。   The present invention relates to an inkjet head that ejects ink onto a printing surface and an inkjet apparatus that uses the inkjet head.

インクジェット装置は、インクジェットヘッドからインクを吐出することにより、被印刷面に印字や描画を行う装置である。インクジェット装置に搭載されるインクジェットヘッドは、インクを充填するための圧力室と、圧力室にインクを導くための流路と、圧力室に繋がるノズルと、圧力室に充填されたインクに圧力を付与するアクチュエータとを備える。アクチュエータを駆動して圧力室内の圧力を高めることにより、圧力室に充填されたインクがノズルから吐出される。   An inkjet apparatus is an apparatus that performs printing or drawing on a printing surface by ejecting ink from an inkjet head. An ink jet head mounted on an ink jet apparatus applies pressure to a pressure chamber for filling ink, a flow path for guiding ink to the pressure chamber, a nozzle connected to the pressure chamber, and ink filled in the pressure chamber. Actuator. By driving the actuator to increase the pressure in the pressure chamber, ink filled in the pressure chamber is ejected from the nozzle.

特開2005−244174号公報JP 2005-244174 A

上記構成のインクジェットヘッドでは、多数のノズルが形成された板状部材を、流路を構成する構造体に装着することにより、各圧力室と各ノズルとが連結される。ここで、構造体に対する板状部材の装着は、接着剤を用いて行われる。この場合、塗布される接着剤の量が多いと、接着の際に接着剤がノズルへと流れ込み、ノズルの吐出性能が低下することが起こり得る。その一方、塗布される接着剤の量が少ないと、隣り合うノズルを接着剤の層で確実に仕切れなくなり、これらノズル間でエアーリークが生じる場合がある。こうしてエアーリークが生じる場合も、インクの吐出精度が低下する。このような問題は、特に、ノズル間の間隔を縮めて、インクの密度を高める構成において顕著となる。   In the ink jet head having the above-described configuration, each pressure chamber and each nozzle are connected by mounting a plate-like member having a large number of nozzles on a structure constituting the flow path. Here, the plate-like member is attached to the structure using an adhesive. In this case, if the amount of the applied adhesive is large, the adhesive may flow into the nozzle during the bonding, and the discharge performance of the nozzle may decrease. On the other hand, if the amount of adhesive applied is small, adjacent nozzles cannot be reliably partitioned by the adhesive layer, and air leakage may occur between these nozzles. Even when air leaks occur in this way, the ink ejection accuracy decreases. Such a problem becomes conspicuous particularly in a configuration in which the interval between the nozzles is reduced to increase the ink density.

かかる課題に鑑み、本発明は、ノズルが形成された板状部材を、流路を構成する構造体に適正に接着することが可能なインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供することを目的とする。   In view of such a problem, an object of the present invention is to provide an ink jet head and an ink jet apparatus capable of appropriately bonding a plate-like member on which a nozzle is formed to a structure constituting a flow path.

本発明の第1の態様は、インクジェットヘッドに関する。第1の態様に係るインクジェットヘッドは、インクが充填される圧力室と、前記圧力室に充填されたインクの圧力を変化させるアクチュエータと、インクを吐出するためのノズルが形成された板状部材と、前記圧力室と前記ノズルとを連結する連絡流路と、前記連絡流路が形成され前記板状部材が接着される構造体と、前記連絡流路を囲むように前記構造体の前記ノズル側の面に設けられた凹部と、を備える。   A first aspect of the present invention relates to an inkjet head. An ink jet head according to a first aspect includes a pressure chamber filled with ink, an actuator that changes the pressure of the ink filled in the pressure chamber, and a plate-like member on which a nozzle for ejecting ink is formed. A communication channel connecting the pressure chamber and the nozzle, a structure in which the communication channel is formed and the plate-like member is bonded, and the nozzle side of the structure so as to surround the communication channel And a concave portion provided on the surface.

本態様に係るインクジェットヘッドによれば、接着剤が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤は、凹部に溜まって、ノズルへと流れ込むことが抑止される。よって、板状部材の接着時に、ノズルへの流れ込みを懸念せずともよく、十分な量の接着剤を用いることができる。これにより、ノズル間のエアーリークの問題も解消できる。   According to the ink jet head according to this aspect, even if the adhesive is applied in many ways, the excess adhesive is prevented from collecting in the recess and flowing into the nozzle. Therefore, there is no need to worry about the flow into the nozzle when the plate member is bonded, and a sufficient amount of adhesive can be used. Thereby, the problem of the air leak between nozzles can also be solved.

本発明の第2の態様は、インクジェットヘッドに関する。第2の態様に係るインクジェットヘッドは、インクが充填される圧力室と、前記圧力室に充填されたインクの圧力を変化させるアクチュエータと、インクを吐出するためのノズルが形成された板状部材と、前記圧力室と前記ノズルとを連結する連絡流路と、前記連絡流路が形成され前記板状部材が接着される構造体と、前記連絡流路を囲むように前記構造体の前記ノズル側の面に設けられた突部と、を備える。   A second aspect of the present invention relates to an inkjet head. An ink jet head according to a second aspect includes a pressure chamber filled with ink, an actuator that changes the pressure of the ink filled in the pressure chamber, and a plate-like member on which nozzles for ejecting ink are formed. A communication channel connecting the pressure chamber and the nozzle, a structure in which the communication channel is formed and the plate-like member is bonded, and the nozzle side of the structure so as to surround the communication channel And a protrusion provided on the surface.

本態様に係るインクジェットヘッドによれば、接着剤が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤は、突部にブロックされて、ノズルへと流れ込むことが抑止される。よって、板状部材の接着時に、ノズルへの流れ込みを懸念せずともよく、十分な量の接着剤を用いることができる。これにより、ノズル間のエアーリークの問題も解消できる。   According to the ink jet head according to this aspect, even if the adhesive is applied in many ways, the excess adhesive is blocked by the protrusions and is prevented from flowing into the nozzle. Therefore, there is no need to worry about the flow into the nozzle when the plate member is bonded, and a sufficient amount of adhesive can be used. Thereby, the problem of the air leak between nozzles can also be solved.

本発明の第3の態様は、インクジェット装置に関する。第3の態様に係るインクジェット装置は、第1の態様または第2の態様に係るインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給部と、を備える。   A third aspect of the present invention relates to an ink jet apparatus. An ink jet apparatus according to a third aspect includes the ink jet head according to the first aspect or the second aspect, and an ink supply unit that supplies ink to the ink jet head.

第3の態様に係るインクジェット装置よれば、第1の態様または第2の態様のインクジェットヘッドが用いられるため、上記のように、ノズルが形成された板状部材を適正に構造体に接着できる。このため、インクジェット装置の性能を高めることができる。   According to the ink jet device according to the third aspect, since the ink jet head according to the first aspect or the second aspect is used, the plate-like member on which the nozzle is formed can be appropriately adhered to the structure as described above. For this reason, the performance of an inkjet apparatus can be improved.

以上のとおり、本発明に係るインクジェットヘッドおよびインクジェット装置によれば、ノズルが形成された板状部材を、流路を構成する構造体の下面に適正に接着することができる。   As described above, according to the ink jet head and the ink jet device of the present invention, the plate-like member on which the nozzle is formed can be appropriately bonded to the lower surface of the structure constituting the flow path.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。   The effects and significance of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments. However, the embodiment described below is merely an example when the present invention is implemented, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiment.

図1(a)は、実施形態1に係るインクジェットヘッドの構成を示す図、図1(b)は、実施形態1に係るアクチュエータと構造体とを組み合わせた構成を模式的に示す図である。FIG. 1A is a diagram illustrating a configuration of the inkjet head according to the first embodiment, and FIG. 1B is a diagram schematically illustrating a configuration in which the actuator according to the first embodiment and the structure are combined. 図2(a)は、実施形態1に係るアクチュエータと構造体の一部を拡大した図、図2(b)は、実施形態1に係るメイン流路と圧力室の部分を模式的に示す図である。図2(c)は、実施形態1に係る構造体におけるノズルの配列を模式的に示す図である。2A is an enlarged view of a part of the actuator and the structure according to the first embodiment, and FIG. 2B is a diagram schematically illustrating the main flow path and the pressure chamber according to the first embodiment. It is. FIG. 2C is a diagram schematically illustrating an arrangement of nozzles in the structure according to the first embodiment. 図3は、実施形態1に係る圧力室付近の構成を示す部分斜視図である。FIG. 3 is a partial perspective view illustrating a configuration in the vicinity of the pressure chamber according to the first embodiment. 図4(a)は、実施形態1に係る、下部材と上部材とを接着する前のノズル周辺の構造を模式的に示す断面図、図4(b)は、実施形態1に係る、下部材と上部材とを接着した後のノズル周辺の構造を模式的に示す断面図である。4A is a cross-sectional view schematically showing the structure around the nozzle before bonding the lower member and the upper member according to the first embodiment, and FIG. 4B is a lower view according to the first embodiment. It is sectional drawing which shows typically the structure of the nozzle periphery after adhere | attaching a member and an upper member. 図5は、実施形態1に係る下部材のノズル周辺の構成を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view illustrating a configuration around a nozzle of the lower member according to the first embodiment. 図6は、実施形態1に係る上部材の連絡流路周辺の構成を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a configuration around the communication channel of the upper member according to the first embodiment. 図7(a)、(b)は、それぞれ、比較例に係る接着工程における接着剤の流れを模式的に示す断面図である。図7(c)、(d)は、それぞれ、実施形態1に係る接着工程における接着剤の流れを模式的に示す断面図である。7A and 7B are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive in the bonding process according to the comparative example. 7C and 7D are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive in the bonding process according to the first embodiment. 図8は、実施形態1に係るインクジェット装置の構成を示すブロック図である。FIG. 8 is a block diagram illustrating a configuration of the ink jet apparatus according to the first embodiment. 図9(a)は、実施形態2に係る、下部材と上部材とを接着する前のノズル周辺の構造を模式的に示す断面図、図9(b)は、実施形態2に係る、下部材と上部材とを接着した後のノズル周辺の構造を模式的に示す断面図である。9A is a cross-sectional view schematically showing a structure around the nozzle before bonding the lower member and the upper member according to the second embodiment, and FIG. 9B is a lower view according to the second embodiment. It is sectional drawing which shows typically the structure of the nozzle periphery after adhere | attaching a member and an upper member. 図10(a)、(b)は、それぞれ、比較例に係る接着工程における接着剤の流れを模式的に示す断面図である。図10(c)、(d)は、それぞれ、実施形態2に係る接着工程における接着剤の流れを模式的に示す断面図である。FIGS. 10A and 10B are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive in the bonding process according to the comparative example. FIGS. 10C and 10D are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive in the bonding process according to the second embodiment. 図11(a)は、変更例に係るノズルの周辺の構成および接着工程における接着剤の流れ模式的に示す断面図である。図11(b)は、他の変更例に係るノズルの周辺の構成および接着工程における接着剤の流れ模式的に示す断面図である。Fig.11 (a) is sectional drawing which shows typically the structure of the periphery of the nozzle which concerns on the example of a change, and the flow of the adhesive agent in an adhesion process. FIG. 11B is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the periphery of the nozzle according to another modification and the flow of the adhesive in the bonding step.

<実施形態1>
以下、本発明の実施形態1について図を参照して説明する。便宜上、各図には、互いに直交するX、Y、Z軸が付記されている。Z軸方向がインクジェットヘッド1の高さ方向であり、Z軸正方向が下方向である。また、X軸方向がインクジェットヘッド1の厚み方向で、Y軸方向がインクジェットヘッド1の幅方向である。インクジェットヘッド1は、Z軸正方向(下方向)にインクを吐出する。
<Embodiment 1>
Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to the drawings. For convenience, the X, Y, and Z axes that are orthogonal to each other are appended to each drawing. The Z-axis direction is the height direction of the inkjet head 1, and the positive Z-axis direction is the downward direction. Further, the X-axis direction is the thickness direction of the inkjet head 1, and the Y-axis direction is the width direction of the inkjet head 1. The inkjet head 1 ejects ink in the positive Z-axis direction (downward).

図1(a)は、実施形態1に係るインクジェットヘッド1の構成を示す図であり、図1(b)は、実施形態1に係るアクチュエータ30と構造体40とを組み合わせた構成を模式的に示す図である。   FIG. 1A is a diagram illustrating a configuration of the inkjet head 1 according to the first embodiment, and FIG. 1B schematically illustrates a configuration in which the actuator 30 according to the first embodiment and the structure 40 are combined. FIG.

図1(a)に示すように、インクジェットヘッド1は、収納ボックス10と、ヘッドベース20とを備える。収納ボックス10は、ヘッドベース20に対して着脱可能となっている。   As shown in FIG. 1A, the inkjet head 1 includes a storage box 10 and a head base 20. The storage box 10 is detachable from the head base 20.

収納ボックス10は、下面が開放された矩形の箱体からなっている。収納ボックス10の上面には内部に繋がる切欠き10aが設けられ、この切欠き10aを介して回路基板11が収納ボックス10に収納されている。回路基板11にはアクチュエータ30を駆動するための駆動回路が実装されている。切欠き10aのY軸正側とY軸負側に、それぞれ、円形の穴部10bが設けられている。穴部10bは、インク供給用のチューブ(図示せず)を収納ボックス10の内部へと導くためのものである。   The storage box 10 is a rectangular box whose bottom surface is open. A cutout 10a connected to the inside is provided on the upper surface of the storage box 10, and the circuit board 11 is stored in the storage box 10 through the cutout 10a. A drive circuit for driving the actuator 30 is mounted on the circuit board 11. Circular holes 10b are respectively provided on the Y axis positive side and the Y axis negative side of the notch 10a. The hole 10 b is for guiding an ink supply tube (not shown) to the inside of the storage box 10.

ヘッドベース20は、上下に貫通する矩形の開口20aを中央に有する枠体からなっている。開口20aの下端に、図1(b)に示すアクチュエータ30と構造体40が設置される。アクチュエータ30は、開口20a内において回路基板11とFPC(Flexible Printed Circuits)によって電気的に接続される。   The head base 20 is composed of a frame having a rectangular opening 20a penetrating vertically. The actuator 30 and the structure 40 shown in FIG. 1B are installed at the lower end of the opening 20a. The actuator 30 is electrically connected to the circuit board 11 by FPC (Flexible Printed Circuits) in the opening 20a.

図1(b)に示すように、アクチュエータ30は、長方形の輪郭を有する板体からなっている。アクチュエータ30は、構造体40の上面に重ねられる。構造体40は、長方形の輪郭を有する板体からなっている。また、構造体40には、X軸方向に並ぶ4つのメイン流路51が形成されている。   As shown in FIG.1 (b), the actuator 30 consists of a plate body which has a rectangular outline. The actuator 30 is overlaid on the upper surface of the structure 40. The structure 40 is a plate having a rectangular outline. In the structure 40, four main flow paths 51 arranged in the X-axis direction are formed.

アクチュエータ30のY軸正側の端部とY軸負側の端部には、それぞれ、4つのインク供給口30aがX軸方向に並んで形成されている。Y軸方向に並ぶ2つのインク供給口30aはそれぞれ、一つの独立したメイン流路51に繋がっている。   Four ink supply ports 30a are formed side by side in the X-axis direction at the Y-axis positive end and the Y-axis negative end of the actuator 30, respectively. Each of the two ink supply ports 30a arranged in the Y-axis direction is connected to one independent main channel 51.

図2(a)は、図1(b)の構成のY軸正側の端部を拡大した図である。   Fig.2 (a) is the figure which expanded the edge part by the side of the Y-axis positive side of the structure of FIG.1 (b).

アクチュエータ30の裏面には溝が形成されている。アクチュエータ30が構造体40に重ねられることにより、アクチュエータ30裏面の溝と構造体40の上面との間に、圧力室52が形成される。圧力室52は、構造体40に形成された連絡流路53(図2(b)参照)を介してメイン流路51に繋がっている。   A groove is formed on the back surface of the actuator 30. By overlapping the actuator 30 on the structure 40, a pressure chamber 52 is formed between the groove on the back surface of the actuator 30 and the upper surface of the structure 40. The pressure chamber 52 is connected to the main flow path 51 via a communication flow path 53 (see FIG. 2B) formed in the structure 40.

なお、アクチュエータ30上面のX軸負側の端部とX軸正側の端部には、それぞれ、回路基板11のFPCを接続するための端子群(図示せず)が設けられている。この端子群は、アクチュエータ30の圧電体層34(図2(b)参照)に電圧(駆動信号)を印加するためのものである。   Note that a terminal group (not shown) for connecting the FPC of the circuit board 11 is provided on each of the X-axis negative side end and the X-axis positive side end of the upper surface of the actuator 30. This terminal group is for applying a voltage (drive signal) to the piezoelectric layer 34 (see FIG. 2B) of the actuator 30.

上記のようにメイン流路51は、端部がインク供給口30aに繋がっている。メイン流路51に沿って多数の圧力室52が配置され、各圧力室52が各連絡流路53(図2(b)参照)によってメイン流路51に繋がっている。   As described above, the end of the main channel 51 is connected to the ink supply port 30a. A large number of pressure chambers 52 are arranged along the main flow path 51, and each pressure chamber 52 is connected to the main flow path 51 by each communication flow path 53 (see FIG. 2B).

図1(b)に戻り、8つのインク供給口30aには、それぞれ、個別に管(図示せず)が嵌められ、各管にインク供給用のチューブ(図示せず)からインクが供給される。管は、開口20a内に配された支持部材によって支持され、管にインクを供給するチューブが穴部10bを介して外部に引き出される。インク供給用のチューブと管を介してインクがインク供給口30aに供給される。これにより、メイン流路51および連絡流路53を通ってインクが圧力室52に供給される。   Referring back to FIG. 1B, tubes (not shown) are individually fitted into the eight ink supply ports 30a, and ink is supplied to the tubes from ink supply tubes (not shown). . The tube is supported by a support member disposed in the opening 20a, and a tube for supplying ink to the tube is drawn out through the hole 10b. Ink is supplied to the ink supply port 30a through the ink supply tube and the tube. As a result, ink is supplied to the pressure chamber 52 through the main channel 51 and the communication channel 53.

Y軸方向に並ぶ2つのインク供給口30aには同じ色のインクが供給され、X軸方向に並ぶ4つのインク供給口30aには互いに異なる色のインクが供給される。したがって、図1(b)の構成では、4色のインクがアクチュエータ30に供給される。これにより、Y軸方向に並ぶ圧力室52には同じ色のインクが充填され、X軸方向に並ぶ圧力室52には互いに異なる色のインクが充填される。ヘッドベース20の開口20aの下端には、アクチュエータ30と構造体40の組み合わせが設置される。したがって、4色のインクがヘッドベース20の下面から吐出される。   The same color ink is supplied to the two ink supply ports 30a arranged in the Y-axis direction, and different color inks are supplied to the four ink supply ports 30a arranged in the X-axis direction. Therefore, in the configuration shown in FIG. 1B, four colors of ink are supplied to the actuator 30. As a result, the pressure chambers 52 arranged in the Y-axis direction are filled with the same color ink, and the pressure chambers 52 arranged in the X-axis direction are filled with inks of different colors. A combination of the actuator 30 and the structure 40 is installed at the lower end of the opening 20 a of the head base 20. Therefore, four colors of ink are ejected from the lower surface of the head base 20.

なお、4つのメイン流路51に同じ色のインクが供給されてもよい。あるいは、X軸正側の2つのメイン流路に同じ色のインクが供給され、X軸負側の2つのメイン流路に、X軸正側の2つのメイン流路のインクと異なる色で、且つ、同じ色のインクが供給されてもよい。   Note that the same color ink may be supplied to the four main flow paths 51. Alternatively, the same color ink is supplied to the two main flow paths on the X axis positive side, and the two main flow paths on the X axis negative side are different in color from the two main flow paths on the X axis positive side, Ink of the same color may be supplied.

図2(b)は、図2(a)のX軸正側(右側)の圧力室52付近を、圧力室52のY軸方向の中央位置において、X−Z平面に平行な面で切断した断面を模式的に示す断面図である。   2B, the pressure chamber 52 in the vicinity of the X-axis positive side (right side) of FIG. 2A is cut along a plane parallel to the XZ plane at the center position in the Y-axis direction of the pressure chamber 52. It is sectional drawing which shows a cross section typically.

メイン流路51に流入されたインク60は、連絡流路53を通って圧力室52に充填される。構造体40は、メイン流路51および連絡流路53、54を有する上部材40aと、ノズル41を有する下部材40bからなっている。下部材40bには、圧力室52からZ軸正方向に延びる連絡流路54の部分に、ノズル41となる略円形の孔が形成されている。ノズル41は、Z軸正方向に向かうに従って次第に径が小さくなっており、出口付近で径が均一になっている。   The ink 60 that has flowed into the main channel 51 passes through the communication channel 53 and fills the pressure chamber 52. The structure 40 includes an upper member 40 a having a main channel 51 and communication channels 53 and 54 and a lower member 40 b having a nozzle 41. In the lower member 40b, a substantially circular hole serving as the nozzle 41 is formed in a portion of the communication channel 54 extending from the pressure chamber 52 in the positive Z-axis direction. The nozzle 41 gradually decreases in diameter toward the positive direction of the Z axis, and the diameter is uniform in the vicinity of the outlet.

下部材40bは、金属からなる薄板形状の板状部材である。また、上部材40aのノズル41側の面には、連絡流路54を囲むように凹部42が形成されている。ノズル41および凹部42の構成は、追って、図4(a)、(b)および図5、図6を参照して説明する。なお、下部材40bが、特許請求の範囲に記載の「板状部材」に相当し、上部材40aが、特許請求の範囲に記載の「構造体」に相当する。   The lower member 40b is a thin plate-shaped plate member made of metal. Further, a recess 42 is formed on the surface of the upper member 40a on the nozzle 41 side so as to surround the communication channel 54. The configuration of the nozzle 41 and the recess 42 will be described later with reference to FIGS. 4 (a) and 4 (b), FIG. 5 and FIG. The lower member 40b corresponds to the “plate member” described in the claims, and the upper member 40a corresponds to the “structure” described in the claims.

アクチュエータ30は、圧力室層31の上部に、振動板層32、絶縁層33、圧電体層34および電極層35が積層されて構成されている。振動板層32、絶縁層33、圧電体層34および電極層35は、スパッタ法等の真空製膜技術により形成される。これらの層が塗布等の他の製膜技術により形成されてもよい。圧力室層31は、めっき工法等の厚膜形成技術もしくは金属板のエッチィング工法により形成される。圧力室層31の下面に上部材40aが装着されることにより、圧力室52が形成される。振動板層32は、導電性の金属材料から構成され、圧電体層34の下部電極(共通電極)を兼ねている。絶縁層33は、圧電体層34に対して振動板層32を絶縁する。すなわち、絶縁層33は、圧電機能領域R1以外の圧電体層34への電圧印加を遮蔽する。   The actuator 30 is configured by laminating a diaphragm layer 32, an insulating layer 33, a piezoelectric layer 34, and an electrode layer 35 on the pressure chamber layer 31. The diaphragm layer 32, the insulating layer 33, the piezoelectric layer 34, and the electrode layer 35 are formed by a vacuum film forming technique such as sputtering. These layers may be formed by other film forming techniques such as coating. The pressure chamber layer 31 is formed by a thick film forming technique such as a plating method or a metal plate etching method. By attaching the upper member 40 a to the lower surface of the pressure chamber layer 31, the pressure chamber 52 is formed. The diaphragm layer 32 is made of a conductive metal material and also serves as a lower electrode (common electrode) of the piezoelectric layer 34. The insulating layer 33 insulates the diaphragm layer 32 from the piezoelectric layer 34. That is, the insulating layer 33 shields voltage application to the piezoelectric layer 34 other than the piezoelectric functional region R1.

圧電体層34は、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)で形成される。圧電体層34の膜厚は数μm程度である。電極層35は、導電性材料により形成される。電極層35は、たとえば、貴金属を含むチタンから形成される。電極層35の膜厚は0.2μm程度である。   The piezoelectric layer 34 is made of, for example, lead zirconate titanate (PZT). The film thickness of the piezoelectric layer 34 is about several μm. The electrode layer 35 is formed of a conductive material. The electrode layer 35 is formed from titanium containing a noble metal, for example. The film thickness of the electrode layer 35 is about 0.2 μm.

電極層35に電圧が印加されることにより圧電機能領域R1において圧電体層34がZ軸方向に変形し、これに伴い、振動板層32が変形する。圧電機能領域R1において振動板層32が下方に変形すると、圧力室52の容積が減少し、圧力室52に充填されたインク60の圧力が高まる。これにより、ノズル41からインク60の液滴61が吐出される。   When a voltage is applied to the electrode layer 35, the piezoelectric layer 34 is deformed in the Z-axis direction in the piezoelectric functional region R1, and accordingly, the diaphragm layer 32 is deformed. When the diaphragm layer 32 is deformed downward in the piezoelectric function region R1, the volume of the pressure chamber 52 is reduced, and the pressure of the ink 60 filled in the pressure chamber 52 is increased. Thereby, the droplet 61 of the ink 60 is ejected from the nozzle 41.

圧力室層31、振動板層32、絶縁層33、圧電体層34および電極層35は、それぞれ、必ずしも単層でなくともよく、複数の層によって形成されてもよい。また、各層の間に、さらに他の層が配置されてもよい。   Each of the pressure chamber layer 31, the diaphragm layer 32, the insulating layer 33, the piezoelectric layer 34, and the electrode layer 35 is not necessarily a single layer, and may be formed of a plurality of layers. Further, another layer may be disposed between the layers.

図2(c)は、構造体40におけるノズル41の配列を模式的に示す図である。   FIG. 2C is a diagram schematically showing the arrangement of the nozzles 41 in the structure 40.

図2(c)に示すように、構造体40には、複数のノズル41が一方向に並ぶように配置されている。構造体40には、4つのノズル41の列L1〜L4が配置されている。たとえば、列L1〜L4に、それぞれ、200個のノズル41が一定間隔で設けられている。各列のノズル41の数はこれに限られるものではない。   As shown in FIG. 2C, the structure body 40 has a plurality of nozzles 41 arranged in one direction. In the structure 40, rows L1 to L4 of four nozzles 41 are arranged. For example, 200 nozzles 41 are provided at regular intervals in each of the rows L1 to L4. The number of nozzles 41 in each row is not limited to this.

なお、実施形態1では、後述のように、列L1〜L4にそれぞれ配置された一群のノズル41は、微視的には一直線に並んでおらず、一定の振り幅でX軸方向に蛇行するように並んでいる(図5参照)。これにより、一群のノズル41の配置領域をY軸方向に縮めながら、これらノズル41の密度を高めることができる。   In the first embodiment, as will be described later, the group of nozzles 41 respectively arranged in the rows L1 to L4 are not arranged in a straight line microscopically but meander in the X-axis direction with a constant swing width. (See FIG. 5). Thereby, the density of these nozzles 41 can be increased while shrinking the arrangement region of the group of nozzles 41 in the Y-axis direction.

図3は、圧力室52付近の構成の断面を示す部分斜視図である。図3には、X−Z平面に平行な平面でノズル41の中心を通るようにアクチュエータ30および構造体40を切断した断面が示されている。   FIG. 3 is a partial perspective view showing a cross section of the configuration in the vicinity of the pressure chamber 52. FIG. 3 shows a cross section in which the actuator 30 and the structure 40 are cut so as to pass through the center of the nozzle 41 in a plane parallel to the XZ plane.

図3に示すように、構造体40の上部材40aは、板状体411、412と、7つの板状体413と、板状体414とを積み重ねることにより構成されている。板状体411〜414は、それぞれ、所定の厚みを有し、また、平面視において構造体40と同じ輪郭を有している。7つの板状体413は、同じ構造である。下から1番目と2番目の板状体413の間には、薄いダンパー415が挟まれている。ダンパー415は、アクチュエータ30が駆動され、振動板層32が下方向(Z軸正方向)に変位した際に連絡流路53からメイン流路51に付与される圧力波を吸収するためのものである。   As shown in FIG. 3, the upper member 40 a of the structure 40 is configured by stacking plate-like bodies 411 and 412, seven plate-like bodies 413, and a plate-like body 414. Each of the plate-like bodies 411 to 414 has a predetermined thickness, and has the same contour as that of the structure body 40 in plan view. The seven plate-like bodies 413 have the same structure. A thin damper 415 is sandwiched between the first and second plate-like bodies 413 from the bottom. The damper 415 is for absorbing a pressure wave applied from the communication channel 53 to the main channel 51 when the actuator 30 is driven and the diaphragm layer 32 is displaced downward (Z-axis positive direction). is there.

板状体411、412には、それぞれ、連絡流路54を形成するための長孔411a、412aが形成されている。長孔411a、412aは、X軸方向が長手方向である。平面視において、長孔411a、412aは、それぞれ、X軸方向に長い長円形の輪郭を有する。より詳しくは、長孔411aは、互いに向き合う2つの半円弧の端をそれぞれ直線で繋いだ輪郭を有する。長孔412aは、長孔411aと同様の2つの半円弧をそれぞれ長孔411aよりも短い直線で繋いだ輪郭を有する。   In the plate-like bodies 411 and 412, long holes 411 a and 412 a for forming the communication channel 54 are formed, respectively. In the long holes 411a and 412a, the X-axis direction is the longitudinal direction. In plan view, each of the long holes 411a and 412a has an oval outline that is long in the X-axis direction. More specifically, the long hole 411a has an outline in which the ends of two semicircular arcs facing each other are connected by a straight line. The long hole 412a has an outline in which two semicircular arcs similar to the long hole 411a are connected by a straight line shorter than the long hole 411a.

7つの板状体413には、連絡流路54を形成するための孔413aが形成されている。孔413aは、略円形である。板状体414およびダンパー415にも、それぞれ、連絡流路54を形成するための孔414a、415aが形成されている。孔414a、415aの径は、孔413aの径と略同じである。7つの孔413aは、互いに中心が一致している。また、孔414a、415aの中心は、孔413aの中心と一致している。ノズル41の中心は、孔413a、414a、415aの中心に一致している。   The seven plate-like bodies 413 are formed with holes 413 a for forming the communication channel 54. The hole 413a is substantially circular. The plate-like body 414 and the damper 415 are also formed with holes 414a and 415a for forming the communication channel 54, respectively. The diameters of the holes 414a and 415a are substantially the same as the diameter of the hole 413a. The seven holes 413a have the same center. The centers of the holes 414a and 415a coincide with the center of the hole 413a. The center of the nozzle 41 coincides with the center of the holes 413a, 414a, 415a.

長孔412aの中心は、Y軸方向において孔413aの中心と一致し、X軸方向において孔413aの中心からX軸負方向にずれている。また、長孔411aの中心は、Y軸方向において長孔412aの中心と一致し、X軸方向において長孔412aの中心からX軸負方向にずれている。平面視において、長孔411a、412aのX軸正側の端縁は、孔413aのX軸正側の端縁と一致している。   The center of the long hole 412a coincides with the center of the hole 413a in the Y-axis direction, and deviates in the X-axis negative direction from the center of the hole 413a in the X-axis direction. Further, the center of the long hole 411a coincides with the center of the long hole 412a in the Y-axis direction, and is shifted from the center of the long hole 412a in the X-axis negative direction in the X-axis direction. In plan view, the X-axis positive side edge of each of the long holes 411a and 412a coincides with the X-axis positive side edge of the hole 413a.

板状体412、413には、それぞれ、メイン流路51に対応する領域に開口412b、413bが形成されている。開口412bは、開口413bに比べて、X軸方向の幅が狭くなっている。平面視において、開口412bのX軸正側の端縁は、開口413bのX軸正側の端縁と一致している。メイン流路51は、ダンパー415で仕切られている。   In the plate-like bodies 412, 413, openings 412b, 413b are formed in regions corresponding to the main flow paths 51, respectively. The opening 412b is narrower in the X-axis direction than the opening 413b. In plan view, the edge on the X axis positive side of the opening 412b coincides with the edge on the X axis positive side of the opening 413b. The main flow path 51 is partitioned by a damper 415.

板状体411には、連絡流路53に対応する領域に開口411bが形成されている。この開口411bの底、すなわち、連絡流路53の入口にフィルタ411cが形成されている。フィルタ411cには、数μm程度の径の孔H1が多数設けられている。フィルタ411cに設けられた孔H1の径は、ノズル41の出口の径よりもやや小さい。たとえば、ノズル41の出口の径は20μmであり、フィルタ411cの孔H1の径は15μmである。平面視において、開口411bは、X軸方向に長い六角形の輪郭を有する。この他、開口411bは、X軸方向に長い長円形の輪郭、たとえば、互いに向き合う2つの半円弧の端をそれぞれ直線で繋いだ輪郭を有してもよい。   The plate-like body 411 has an opening 411 b in a region corresponding to the communication channel 53. A filter 411 c is formed at the bottom of the opening 411 b, that is, at the inlet of the communication channel 53. The filter 411c is provided with a large number of holes H1 having a diameter of about several μm. The diameter of the hole H1 provided in the filter 411c is slightly smaller than the diameter of the outlet of the nozzle 41. For example, the diameter of the outlet of the nozzle 41 is 20 μm, and the diameter of the hole H1 of the filter 411c is 15 μm. In plan view, the opening 411b has a hexagonal outline that is long in the X-axis direction. In addition, the opening 411b may have an oval outline that is long in the X-axis direction, for example, an outline in which the ends of two semicircular arcs facing each other are connected by a straight line.

上述した長孔411a、孔412aおよび開口411bについては、大きな円形状にしてもよいが、ノズル41のピッチを狭くできなくなり、高密度印刷の阻害となるため、上記のように、長孔形状にすることが好ましい。   The long hole 411a, the hole 412a, and the opening 411b described above may have a large circular shape. However, the pitch of the nozzles 41 cannot be reduced and hinders high-density printing. It is preferable to do.

開口411bは、X軸正側が圧力室52に重なり、X軸負側は圧力室52に重ならないように、X軸方向において圧力室52からずれされて配置されている。また、フィルタ411cは、連絡流路53の入口の全領域に配置されている。これにより、フィルタ411cのX軸負側の部分と圧力室層31の下面との間に隙間が生じ、この隙間もインクの流路となっている。   The opening 411b is arranged so as to be shifted from the pressure chamber 52 in the X-axis direction so that the X-axis positive side overlaps the pressure chamber 52 and the X-axis negative side does not overlap the pressure chamber 52. Further, the filter 411 c is disposed in the entire area of the inlet of the communication channel 53. As a result, a gap is formed between the X-axis negative side portion of the filter 411c and the lower surface of the pressure chamber layer 31, and this gap is also an ink flow path.

開口411bのX軸負側では、メイン流路51からフィルタ411cを通り抜けたインクが、フィルタ411cと圧力室層31の下面との間の隙間を通って、開口411bのX軸正側から圧力室52へと進入する。アクチュエータ30が駆動されて圧力室52の圧力が高められると、圧力室52に充填されたインクが長孔411a、412aおよび孔413a、414a、415aにより構成される連絡流路54を通ってノズル41から吐出される。   On the X-axis negative side of the opening 411b, the ink that has passed through the filter 411c from the main channel 51 passes through the gap between the filter 411c and the lower surface of the pressure chamber layer 31, and then the pressure chamber from the X-axis positive side of the opening 411b. Enter 52. When the actuator 30 is driven to increase the pressure in the pressure chamber 52, the ink filled in the pressure chamber 52 passes through the communication channel 54 constituted by the long holes 411a, 412a and the holes 413a, 414a, 415a, and the nozzle 41 It is discharged from.

図3に示すように、実施形態1では、複数の板状体411、412、413、414を積み重ねることにより構造体40の上部材40aが構成され、上部材40aの下面に下部材40bが接着剤を用いて接合される。また、上部材40aが圧力室層31の下面に接着されて、上部材40aと下部材40bとからなる構造体40がアクチュエータ30に装着される。すなわち、連絡流路54を有する構造体40をアクチュエータ30に接着することにより圧力室52と連絡流路54とが接続される。このとき同時に、圧力室52と連絡流路53とが接続される。   As shown in FIG. 3, in the first embodiment, the upper member 40a of the structure 40 is configured by stacking a plurality of plate-like bodies 411, 412, 413, 414, and the lower member 40b is bonded to the lower surface of the upper member 40a. It is joined using an agent. Further, the upper member 40 a is bonded to the lower surface of the pressure chamber layer 31, and the structure 40 including the upper member 40 a and the lower member 40 b is attached to the actuator 30. That is, the pressure chamber 52 and the communication channel 54 are connected by bonding the structure 40 having the communication channel 54 to the actuator 30. At the same time, the pressure chamber 52 and the communication channel 53 are connected.

ところで、上記のように、上部材40aに対する下部材40bの接合は、接着剤を用いて行われる。この場合、塗布される接着剤の量が多いと、接着の際に、上部材40aと下部材40bの間の隙間から余分な接着剤が押し出され、押し出された接着剤がノズル41へと流れ込むことが起こり得る。こうなると、ノズル41へと流れ込んだ接着剤によりインクの流れが阻害され、ノズル41の吐出性能が低下してしまう。その一方、塗布される接着剤の量が少ないと、隣り合うノズル41を接着剤の層で確実に仕切れず、これらノズル間でエアーリークが生じる場合がある。こうしてエアーリークが生じると、一のノズル41から吐出されるべきインクの一部が、このノズル41に隣り合うノズル41に流れ込み、その結果、両ノズル41におけるインクの吐出精度が低下してしまう。   By the way, as mentioned above, joining of the lower member 40b with respect to the upper member 40a is performed using an adhesive agent. In this case, if the amount of the applied adhesive is large, excess adhesive is pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b, and the pushed-out adhesive flows into the nozzle 41. Can happen. In this case, the flow of ink is hindered by the adhesive flowing into the nozzle 41, and the ejection performance of the nozzle 41 is degraded. On the other hand, if the amount of adhesive applied is small, the adjacent nozzles 41 may not be reliably partitioned by the adhesive layer, and air leakage may occur between these nozzles. When an air leak occurs in this way, a part of the ink to be ejected from one nozzle 41 flows into the nozzle 41 adjacent to the nozzle 41, and as a result, the ink ejection accuracy at both nozzles 41 decreases.

これに対し、実施形態1では、上記のように、上部材40aのノズル41側の面に、連絡流路54を囲むように凹部42が形成されている。このため、接着剤が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤は、凹部42に溜まって、ノズル41へと流れ込むことが抑止される。よって、上部材40aに対する下部材40bの接着時に、接着剤がノズル41へ流れ込むことを懸念せずともよく、十分な量の接着剤を用いて接合を行うことができる。これにより、上部材40aに対する下部材40bの接合を強固にでき、且つ、隣り合うノズル41間のエアーリークの問題も解消できる。   On the other hand, in the first embodiment, as described above, the recess 42 is formed on the surface of the upper member 40a on the nozzle 41 side so as to surround the communication channel 54. For this reason, even if the adhesive is applied multiple times, the excess adhesive is prevented from collecting in the recess 42 and flowing into the nozzle 41. Therefore, there is no need to worry about the adhesive flowing into the nozzle 41 when the lower member 40b is bonded to the upper member 40a, and the bonding can be performed using a sufficient amount of the adhesive. Thereby, joining of the lower member 40b with respect to the upper member 40a can be strengthened, and the problem of air leakage between the adjacent nozzles 41 can be solved.

以下、凹部42の詳細な構造およびそれによる作用効果について説明する。   Hereinafter, the detailed structure of the recessed part 42 and the effect by it are demonstrated.

図4(a)は、下部材40bと上部材40aとを接着する前のノズル41周辺の構造を模式的に示す断面図、図4(b)は、下部材40bと上部材40aとを接着した後のノズル41周辺の構造を模式的に示す断面図である。なお、図3と異なり、図4(a)、(b)には、Y−Z平面に平行な平面でノズル41の中心を通るように上部材40aと下部材40bを切断した断面が示されている。   4A is a cross-sectional view schematically showing the structure around the nozzle 41 before bonding the lower member 40b and the upper member 40a, and FIG. 4B shows bonding of the lower member 40b and the upper member 40a. It is sectional drawing which shows typically the structure of the nozzle 41 periphery after having performed. Unlike FIGS. 3A and 3B, FIGS. 4A and 4B show cross sections in which the upper member 40a and the lower member 40b are cut so as to pass through the center of the nozzle 41 in a plane parallel to the YZ plane. ing.

図4(a)に示すように、上部材40aの下面(Z軸正側の面)には、連絡流路54を囲むように凹部42が形成されている。ノズル41は、円柱状の孔41aと、円錐状の傾斜面41bとからなっている。凹部42は、連絡流路54のノズル41側の出口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている。凹部42は、平面視においてリング形状であり、連絡流路54のノズル41側の出口を全周に亘って囲むように形成されている。凹部42の径方向の幅は一定であり、且つ、深さも一定である。   As shown in FIG. 4A, a recess 42 is formed on the lower surface (the surface on the Z-axis positive side) of the upper member 40a so as to surround the communication channel 54. The nozzle 41 includes a cylindrical hole 41a and a conical inclined surface 41b. The recess 42 is formed at a position spaced outward by a predetermined distance from the nozzle 41 side outlet of the communication channel 54. The recess 42 has a ring shape in plan view, and is formed so as to surround the outlet on the nozzle 41 side of the communication channel 54 over the entire circumference. The width of the recess 42 in the radial direction is constant, and the depth is also constant.

図4(b)に示すように、下部材40bが上部材40aに接合されると、連絡流路54の外側の位置において、凹部42が下部材40bの上面に重なる。連絡流路54は、ノズル41の連絡流路54側の入口よりも径が大きい。このため、凹部42とノズル41の入口との間には、所定距離のスペースがある。   As shown in FIG. 4B, when the lower member 40b is joined to the upper member 40a, the concave portion 42 overlaps the upper surface of the lower member 40b at a position outside the communication channel 54. The communication channel 54 has a larger diameter than the inlet of the nozzle 41 on the communication channel 54 side. For this reason, there is a space of a predetermined distance between the recess 42 and the inlet of the nozzle 41.

図5は、下部材40bのノズル41周辺の構成を示す平面図である。図5は、図2(c)に示す列L1〜L4の何れか1つに配置された一群のノズル41の一部を示したものである。便宜上、図5には、連絡流路54の出口(最下段の板状体414の孔414a)と凹部42が破線で示されている。   FIG. 5 is a plan view showing a configuration around the nozzle 41 of the lower member 40b. FIG. 5 shows a part of the group of nozzles 41 arranged in any one of the rows L1 to L4 shown in FIG. For convenience, in FIG. 5, the outlet of the communication channel 54 (the hole 414a of the lowermost plate 414) and the recess 42 are indicated by broken lines.

図5において、Y軸方向におけるノズル41のピッチD3は、たとえば、300μm程度である。また、ノズル41の入口の径D1は、たとえば、100μm程度であり、孔41aの径D2は、たとえば、20μm程度である。   In FIG. 5, the pitch D3 of the nozzles 41 in the Y-axis direction is, for example, about 300 μm. Further, the diameter D1 of the inlet of the nozzle 41 is, for example, about 100 μm, and the diameter D2 of the hole 41a is, for example, about 20 μm.

図6は、上部材40aの連絡流路54周辺の構成を示す平面図である。便宜上、図6には、ノズル41が破線で示されている。図6では、上部材40aの下面と凹部42とが互いに異なるハッチングで示されている。   FIG. 6 is a plan view showing a configuration around the communication channel 54 of the upper member 40a. For convenience, the nozzle 41 is shown in broken lines in FIG. In FIG. 6, the lower surface of the upper member 40a and the recessed part 42 are shown by different hatching.

図6に示すように、連絡流路54は、ノズル41と同軸となるように配置されている。連絡流路54の出口の径は、150μm程度である。連絡流路54の出口から、たとえば、10μm〜数10μmだけ外側に離れた位置に、凹部42が形成されている。径方向における凹部42の幅D5は、たとえば、10μm〜数10μm程度である。凹部42の深さは、たとえば、10μm〜数10μm程度である。   As shown in FIG. 6, the communication channel 54 is disposed so as to be coaxial with the nozzle 41. The diameter of the outlet of the communication channel 54 is about 150 μm. A recess 42 is formed at a position away from the outlet of the communication channel 54 by, for example, 10 μm to several tens of μm. The width D5 of the concave portion 42 in the radial direction is, for example, about 10 μm to several tens of μm. The depth of the recess 42 is, for example, about 10 μm to several tens of μm.

ノズル41および凹部42は、たとえば、レーザ加工によって形成される。加工において、レーザ光は、Z軸に平行で且つ孔41aの中心の位置を貫く軸の周りに旋回されつつ、下部材40bまたは上部材40aに照射される。複数のレーザ光で、複数のノズル41が、下部材40bに同時に形成される。また、複数のレーザ光で、複数の凹部42が、上部材40aに同時に形成される。   The nozzle 41 and the recess 42 are formed by, for example, laser processing. In the processing, the laser beam is irradiated to the lower member 40b or the upper member 40a while being swung around an axis parallel to the Z axis and passing through the center position of the hole 41a. A plurality of nozzles 41 are simultaneously formed on the lower member 40b by a plurality of laser beams. In addition, a plurality of recesses 42 are simultaneously formed in the upper member 40a by a plurality of laser beams.

図5に示すように、接合に際して、下部材40bの上面(Z軸負側の面)に、接着剤70が塗布される。実施形態1では、接着剤70として、熱硬化性の接着剤が用いられる。接着剤70は、連絡流路54の径よりもやや大きい径の領域R2を除く領域に塗布される。この状態で、図4(a)、(b)に示すように、下部材40bの上面に上部材40aが重ねられ、熱処理が行われる。これにより、接着剤70が硬化し、上部材40aと下部材40bが接合される。接着剤70として熱硬化性以外の接着剤が用いられてもよい。   As shown in FIG. 5, at the time of joining, an adhesive 70 is applied to the upper surface (the Z-axis negative side surface) of the lower member 40b. In the first embodiment, a thermosetting adhesive is used as the adhesive 70. The adhesive 70 is applied to a region excluding the region R2 having a diameter slightly larger than the diameter of the communication channel 54. In this state, as shown in FIGS. 4A and 4B, the upper member 40a is overlaid on the upper surface of the lower member 40b, and heat treatment is performed. As a result, the adhesive 70 is cured, and the upper member 40a and the lower member 40b are joined. An adhesive other than thermosetting may be used as the adhesive 70.

図7(a)、(b)は、それぞれ、比較例に係る接着工程における接着剤70の流れを模式的に示す断面図である。比較例では、連絡流路54の出口の周囲に凹部42が形成されていない。   FIGS. 7A and 7B are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive 70 in the bonding process according to the comparative example. In the comparative example, the recess 42 is not formed around the outlet of the communication channel 54.

図7(a)に示すように、接着剤70には所定の粒径の粒子71が含まれている。粒子71は、接合の際に所定の圧力で上部材40aを下部材40bに押しつけても潰れない強度をもっている。粒子71の粒径は、たとえば、5μm程度である。   As shown in FIG. 7A, the adhesive 70 includes particles 71 having a predetermined particle diameter. The particles 71 have such a strength that they are not crushed even when the upper member 40a is pressed against the lower member 40b with a predetermined pressure during the joining. The particle diameter of the particles 71 is, for example, about 5 μm.

接合の際には、図7(a)に示すように接着剤70が下部材40bの上面に塗布された状態で、上部材40aが下部材40bに所定の圧力で押しつけられる。これにより、図7(b)に示すように、上部材40aが下部材40bに重なる。このとき、塗布された接着剤70の量が多いと、余分な接着剤70が、上部材40aと下部材40bの隙間からはみ出し、はみ出した接着剤70がノズル41へと流れ込むことが起こり得る。または、ノズル41が接着剤70で詰まる現象が発生する。この場合、ノズル41へと流れ込んだ接着剤70によってインクの流れが阻害され、ノズル41からの吐出性能が低下してしまう。   At the time of joining, the upper member 40a is pressed against the lower member 40b with a predetermined pressure in a state where the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b as shown in FIG. 7A. Thereby, as shown in FIG.7 (b), the upper member 40a overlaps with the lower member 40b. At this time, if the amount of the applied adhesive 70 is large, excess adhesive 70 may protrude from the gap between the upper member 40 a and the lower member 40 b, and the protruded adhesive 70 may flow into the nozzle 41. Alternatively, a phenomenon in which the nozzle 41 is clogged with the adhesive 70 occurs. In this case, the flow of ink is hindered by the adhesive 70 that has flowed into the nozzle 41, and the ejection performance from the nozzle 41 is reduced.

なお、実施形態1では、図7(a)、(b)に示すように、接着剤70に粒子71が含まれているため、接合の際には、粒子71によって、上部材40aと下部材40bとの間に、粒子71の粒径と同じ寸法の隙間が確保される。すなわち、接合の際に上部材40aに所定の圧力を付与しても、上部材40aと下部材40bとの隙間が粒子71の粒径よりも小さくなることがない。これにより、接着剤70が無制限に上部材40aと下部材40bとの隙間から押し出されることが抑制され得る。   In the first embodiment, as shown in FIGS. 7A and 7B, the particles 70 are included in the adhesive 70, and therefore the upper member 40 a and the lower member are used by the particles 71 during bonding. A gap having the same size as the particle diameter of the particles 71 is ensured between them and 40b. That is, even when a predetermined pressure is applied to the upper member 40 a during joining, the gap between the upper member 40 a and the lower member 40 b does not become smaller than the particle size of the particles 71. Thereby, it can suppress that the adhesive agent 70 is extruded from the clearance gap between the upper member 40a and the lower member 40b without limitation.

しかしながら、上述したノズル41間のエアーリークの問題を避けるために、下部材40bの上面には、接着剤70が多めに塗布されがちである。このため、上記のような粒子71の作用によっても、やはり、余分な接着剤70が、上部材40aと下部材40bの隙間から押し出されて、ノズル41へと流れ込むことが起こり得る。   However, in order to avoid the problem of air leakage between the nozzles 41 described above, a large amount of adhesive 70 tends to be applied to the upper surface of the lower member 40b. For this reason, even by the action of the particles 71 as described above, it is possible that the excess adhesive 70 is pushed out from the gap between the upper member 40 a and the lower member 40 b and flows into the nozzle 41.

実施形態1では、この問題が、凹部42によって解消される。   In the first embodiment, this problem is solved by the recess 42.

図7(c)、(d)は、それぞれ、実施形態1に係る接着工程における接着剤70の流れを模式的に示す断面図である。   7C and 7D are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive 70 in the bonding process according to the first embodiment.

接合に際し、図7(a)に示すように接着剤70が下部材40bの上面に塗布された状態で、上部材40aが下部材40bに所定の圧力で押しつけられると、余分な接着剤70が、上部材40aと下部材40bの隙間から押し出される。このとき、下部材40bの上面に接着剤70がやや多めに塗布されていても、図7(b)に示すように、ノズル41の方向に向かう接着剤70は、凹部42に溜まって、ノズル41へと流れ込むことがない。これにより、ノズル41の傾斜面41bや孔41aにおいて接着剤70が硬化することが回避される。こうして、接着剤70によりインクの流れが阻害されることが抑止され、ノズル41の吐出精度が高く維持される。   When joining, if the upper member 40a is pressed against the lower member 40b with a predetermined pressure in a state where the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b as shown in FIG. Then, it is pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b. At this time, even if a slightly larger amount of adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b, as shown in FIG. 7B, the adhesive 70 toward the nozzle 41 accumulates in the recess 42, and the nozzle No flow into 41. Thereby, it is avoided that the adhesive 70 is cured on the inclined surface 41b and the hole 41a of the nozzle 41. Thus, the ink flow is prevented from being hindered by the adhesive 70, and the ejection accuracy of the nozzle 41 is maintained high.

図8は、実施の形態に係るインクジェット装置の構成を示すブロック図である。   FIG. 8 is a block diagram illustrating a configuration of the ink jet apparatus according to the embodiment.

インクジェット装置は、上記構成を備えたインクジェットヘッド1の他、インク供給部2と、コントローラ3と、インタフェース4とを備える。   The ink jet apparatus includes an ink supply unit 2, a controller 3, and an interface 4 in addition to the ink jet head 1 having the above configuration.

インク供給部2は、インクジェットヘッド1にインクを供給するための上述のチューブと、チューブに接続されたインクタンクと、インクタンクからチューブにインクを供給するためのポンプとを備える。コントローラ3は、CPUとメモリを備え、メモリに保持されたプログラムに従ってインクジェットヘッド1およびインク供給部2を制御する。インタフェース4は、印刷すべき文字および図形等の描画情報の入力を受け付けて、当該描画情報をコントローラ3に出力する。   The ink supply unit 2 includes the above-described tube for supplying ink to the inkjet head 1, an ink tank connected to the tube, and a pump for supplying ink from the ink tank to the tube. The controller 3 includes a CPU and a memory, and controls the inkjet head 1 and the ink supply unit 2 in accordance with a program held in the memory. The interface 4 receives input of drawing information such as characters and graphics to be printed and outputs the drawing information to the controller 3.

コントローラ3は、入力された描画情報に従ってインクジェットヘッド1を制御し、被印刷面に印字や描画を行う。こうして、印刷画像に対応するノズル41からインクが被印刷面に吐出され、被印刷面に印字や描画が行われる。   The controller 3 controls the inkjet head 1 according to the input drawing information, and performs printing or drawing on the printing surface. In this way, ink is ejected from the nozzle 41 corresponding to the print image onto the printing surface, and printing or drawing is performed on the printing surface.

<実施形態1の効果>
以上、実施形態1によれば、以下の効果が奏される。
<Effect of Embodiment 1>
As mentioned above, according to Embodiment 1, the following effects are produced.

図7(c)、(d)を参照して説明したとおり、下部材40bの上面に接着剤70が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤70は、凹部42に溜まって、ノズル41へと流れ込むことが抑止される。よって、下部材40bの接着時に、ノズル41への流れ込みを懸念せずともよく、十分な量の接着剤70を下部材40bの上面に塗布することができる。これにより、ノズル41間のエアーリークの問題も解消できる。なお、図5に示すピッチD3および振り幅D4が小さくしてノズル41の密度を高めるほど、ノズル41間でエアーリークが生じやすい。上記のように、実施形態1では、十分な量の接着剤70を下部材40bの上面に塗布できるため、図5に示すピッチD3および振り幅D4が小さくしてノズル41の密度を高めた場合にも、より確実に、ノズル41間のエアーリークの問題を回避できる。   As described with reference to FIGS. 7C and 7D, even if the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b, the excess adhesive 70 accumulates in the recesses 42 and becomes a nozzle. Inflow to 41 is suppressed. Therefore, when the lower member 40b is bonded, there is no need to worry about the flow into the nozzle 41, and a sufficient amount of the adhesive 70 can be applied to the upper surface of the lower member 40b. Thereby, the problem of the air leak between the nozzles 41 can also be solved. As the pitch D3 and the swing width D4 shown in FIG. 5 are reduced and the density of the nozzles 41 is increased, air leaks easily occur between the nozzles 41. As described above, in Embodiment 1, since a sufficient amount of the adhesive 70 can be applied to the upper surface of the lower member 40b, the pitch D3 and the swing width D4 shown in FIG. In addition, the problem of air leakage between the nozzles 41 can be avoided more reliably.

図4(a)、(b)に示すように、連絡流路54は、ノズル41の連絡流路54側の入口よりも径が大きくなっている。このため、凹部42とノズル41の入口との間には、所定距離のスペースがある。これにより、図7(d)に示すように、上部材40aと下部材40bとの間の隙間から余分な接着剤70が押し出されても、押し出された接着剤70が直ちにノズル41に流れ込むことがない。よって、ノズル41に対する接着剤70の流れ込みをより確実に抑止できる。   As shown in FIGS. 4A and 4B, the communication channel 54 is larger in diameter than the inlet of the nozzle 41 on the communication channel 54 side. For this reason, there is a space of a predetermined distance between the recess 42 and the inlet of the nozzle 41. As a result, as shown in FIG. 7D, even if excess adhesive 70 is extruded from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b, the extruded adhesive 70 immediately flows into the nozzle 41. There is no. Therefore, it is possible to more reliably prevent the adhesive 70 from flowing into the nozzle 41.

図4(a)、(b)に示すように、凹部42は、連絡流路54のノズル41側の出口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている。このため、凹部42が連絡流路54の内側面に繋がっている場合に比べて、余分な接着剤70が凹部42に溜まって連絡流路54へと流出しにくくなる。よって、ノズル41に対する接着剤70の流れ込みをより確実に抑止できる。   As shown in FIGS. 4A and 4B, the recess 42 is formed at a position spaced outward by a predetermined distance from the outlet of the connecting channel 54 on the nozzle 41 side. For this reason, compared with the case where the recess 42 is connected to the inner side surface of the communication channel 54, the excess adhesive 70 is accumulated in the recess 42 and is less likely to flow out to the communication channel 54. Therefore, it is possible to more reliably prevent the adhesive 70 from flowing into the nozzle 41.

図7(c)、(d)に示すように、接着剤70には、下部材40bと上部材40aとの間の間隔を所定距離に保つための粒子71が含まれている。このため、接合の際に上部材40aに所定の圧力を付与しても、上部材40aと下部材40bとの隙間が粒子71の粒径よりも小さくなることがない。これにより、接着剤70が無制限に上部材40aと下部材40bとの隙間から押し出されることが抑制される。   As shown in FIGS. 7C and 7D, the adhesive 70 includes particles 71 for keeping the distance between the lower member 40b and the upper member 40a at a predetermined distance. For this reason, even if a predetermined pressure is applied to the upper member 40 a during joining, the gap between the upper member 40 a and the lower member 40 b does not become smaller than the particle size of the particles 71. Thereby, it is suppressed that the adhesive 70 is extruded from the clearance gap between the upper member 40a and the lower member 40b without limitation.

<実施形態2>
実施形態1では、連絡流路54の出口の周囲に凹部42が形成されたが、実施形態2では、連絡流路54の出口の周囲に突部が形成される。
<Embodiment 2>
In the first embodiment, the recess 42 is formed around the outlet of the communication channel 54, but in the second embodiment, a protrusion is formed around the outlet of the communication channel 54.

図9(a)は、下部材40bと上部材40aとを接着する前のノズル41周辺の構造を模式的に示す断面図、図9(b)は、下部材40bと上部材40aとを接着した後のノズル41周辺の構造を模式的に示す断面図である。   9A is a cross-sectional view schematically showing the structure around the nozzle 41 before bonding the lower member 40b and the upper member 40a, and FIG. 9B shows the bonding of the lower member 40b and the upper member 40a. It is sectional drawing which shows typically the structure of the nozzle 41 periphery after having performed.

図9(a)に示すように、上部材40aの下面(Z軸正側の面)には、連絡流路54を囲むように突部43が形成されている。突部43は、連絡流路54の出口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている。突部43は、平面視においてリング形状であり、連絡流路54の出口を全周に亘って囲むように形成されている。突部43の径方向の幅は一定であり、且つ、高さも一定である。突部43は、たとえば電鋳により、板状体414(下部材40b)の下面に形成される。この場合、板状体414は、導電性の材料から構成される。   As shown in FIG. 9A, a protrusion 43 is formed on the lower surface (the surface on the Z-axis positive side) of the upper member 40 a so as to surround the communication channel 54. The protrusion 43 is formed at a position spaced outward from the outlet of the communication channel 54 by a predetermined distance. The protrusion 43 has a ring shape in a plan view and is formed so as to surround the outlet of the communication channel 54 over the entire circumference. The width of the protrusion 43 in the radial direction is constant, and the height is also constant. The protrusion 43 is formed on the lower surface of the plate-like body 414 (lower member 40b) by, for example, electroforming. In this case, the plate-like body 414 is made of a conductive material.

図9(b)に示すように、下部材40bが上部材40aに接合されると、連絡流路54の外側の位置において、突部43が下部材40bの上面に重なる。連絡流路54は、ノズル41の連絡流路54側の入口よりも径が大きい。このため、突部43とノズル41の入口との間には、所定距離のスペースがある。   As shown in FIG. 9B, when the lower member 40b is joined to the upper member 40a, the protrusion 43 overlaps the upper surface of the lower member 40b at a position outside the connecting flow path 54. The communication channel 54 has a larger diameter than the inlet of the nozzle 41 on the communication channel 54 side. For this reason, there is a space of a predetermined distance between the protrusion 43 and the inlet of the nozzle 41.

なお、下部材40bにおけるノズル41の配置は、図5と同様である。実施形態2では、図5および図6の凹部42が突部43に置き換えられた構成となっている。   The arrangement of the nozzles 41 in the lower member 40b is the same as in FIG. In the second embodiment, the recess 42 in FIGS. 5 and 6 is replaced with a protrusion 43.

図10(c)、(d)は、それぞれ、実施形態2に係る接着工程における接着剤70の流れを模式的に示す断面図である。なお、対比されるべき対象として、図10(a)、(b)に比較例における接着剤70の流れが示されている。図10(a)、(b)の比較例は、図7(a)、(b)の比較例と同じ構成であるので、ここでは、説明を割愛する。   10C and 10D are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive 70 in the bonding process according to the second embodiment. Note that the flow of the adhesive 70 in the comparative example is shown in FIGS. 10A and 10B as objects to be compared. Since the comparative example of FIGS. 10A and 10B has the same configuration as the comparative example of FIGS. 7A and 7B, description thereof is omitted here.

図10(c)に示すように接着剤70が下部材40bの上面に塗布された状態で、上部材40aが下部材40bに所定の圧力で押しつけられると、余分な接着剤70が、上部材40aと下部材40bの隙間から押し出される。このとき、下部材40bの上面に接着剤70がやや多めに塗布されていても、図10(d)に示すように、接着剤70は、突部43にブロックされて、ノズル41へと流れ込むことがない。これにより、ノズル41の傾斜面41bや孔41aにおいて接着剤70が硬化することが回避される。こうして、接着剤70によりインクの流れが阻害されることが抑止され、ノズル41の吐出精度が高く維持される。   When the upper member 40a is pressed against the lower member 40b with a predetermined pressure in a state where the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b as shown in FIG. 10C, the excess adhesive 70 is removed from the upper member 40b. It is pushed out from the gap between 40a and lower member 40b. At this time, even if a slightly larger amount of adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b, the adhesive 70 is blocked by the protrusion 43 and flows into the nozzle 41 as shown in FIG. There is nothing. Thereby, it is avoided that the adhesive 70 is cured on the inclined surface 41b and the hole 41a of the nozzle 41. Thus, the ink flow is prevented from being hindered by the adhesive 70, and the ejection accuracy of the nozzle 41 is maintained high.

<実施形態2の効果>
以上、実施形態2によれば、以下の効果が奏される。
<Effect of Embodiment 2>
As mentioned above, according to Embodiment 2, the following effects are produced.

図10(c)、(d)を参照して説明したとおり、下部材40bの上面に接着剤70が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤70は、突部43にブロックされて、ノズル41へと流れ込むことが抑止される。よって、下部材40bの接着時に、ノズル41への流れ込みを懸念せずともよく、十分な量の接着剤70を下部材40bの上面に塗布することができる。これにより、ノズル41間のエアーリークの問題も解消できる。   As described with reference to FIGS. 10C and 10D, even if the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40 b, the excess adhesive 70 is blocked by the protrusions 43. The flow into the nozzle 41 is suppressed. Therefore, when the lower member 40b is bonded, there is no need to worry about the flow into the nozzle 41, and a sufficient amount of the adhesive 70 can be applied to the upper surface of the lower member 40b. Thereby, the problem of the air leak between the nozzles 41 can also be solved.

図9(a)、(b)に示すように、連絡流路54は、ノズル41の連絡流路54側の入口よりも径が大きくなっている。このため、突部43とノズル41の入口との間には、所定距離のスペースがある。これにより、図10(d)に示すように、上部材40aと下部材40bとの間の隙間から余分な接着剤70が押し出されても、押し出された接着剤70が直ちにノズル41に流れ込むことがない。よって、ノズル41に対する接着剤70の流れ込みをより確実に抑止できる。   As shown in FIGS. 9A and 9B, the communication channel 54 is larger in diameter than the inlet of the nozzle 41 on the communication channel 54 side. For this reason, there is a space of a predetermined distance between the protrusion 43 and the inlet of the nozzle 41. As a result, as shown in FIG. 10 (d), even if excess adhesive 70 is pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b, the pushed adhesive 70 immediately flows into the nozzle 41. There is no. Therefore, it is possible to more reliably prevent the adhesive 70 from flowing into the nozzle 41.

図9(a)、(b)に示すように、突部43は、連絡流路54のノズル41側の出口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている。このため、突部43が連絡流路54の境界に形成されている場合に比べて、突部43とノズル41の入口との間のスペースを広げることができる。これにより、上部材40aと下部材40bとの間の隙間から押し出された余分な接着剤70がより一層、ノズル41に到達しにくくなる。よって、ノズル41に対する接着剤70の流れ込みをより確実に抑止できる。   As shown in FIGS. 9A and 9B, the protrusion 43 is formed at a position spaced outward by a predetermined distance from the outlet of the communication channel 54 on the nozzle 41 side. For this reason, compared with the case where the protrusion 43 is formed in the boundary of the communication flow path 54, the space between the protrusion 43 and the inlet_port | entrance of the nozzle 41 can be expanded. Thereby, the excessive adhesive 70 pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b becomes even more difficult to reach the nozzle 41. Therefore, it is possible to more reliably prevent the adhesive 70 from flowing into the nozzle 41.

図10(d)に示すように、突部43の下面が下部材40bの上面に当接するため、接合の際に上部材40aに下方向の圧力を付与しても、上部材40aと下部材40bとの間の隙間が突部43の高さよりも小さくなることがない。よって、実施形態2の構成では、必ずしも接着剤70に粒子71を含有させる必要がなく、突部43によって、接着剤70が無制限に上部材40aと下部材40bとの隙間から押し出されることが抑制され得る。   As shown in FIG. 10 (d), since the lower surface of the protrusion 43 contacts the upper surface of the lower member 40b, even if a downward pressure is applied to the upper member 40a during joining, the upper member 40a and the lower member The gap between the projections 40b does not become smaller than the height of the protrusion 43. Therefore, in the configuration of the second embodiment, it is not always necessary to contain the particles 71 in the adhesive 70, and the protrusions 43 are prevented from being pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b by the protrusion 43 without limitation. Can be done.

<変更例>
以上、本発明の実施形態1、2について説明したが、本発明はこれら実施形態1、2に何らの制限を受けるものではない。
<Example of change>
The first and second embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to these first and second embodiments.

たとえば、上記実施形態2では、突部43が、連絡流路54の出口から所定距離だけ外側の位置に形成されたが、図11(a)、(b)に示すように、突部43が、連絡流路54の出口の境界に沿って形成されてもよい。こうすると、接着剤70により接合される、上部材40aの下面と下部材40bの上面と重なる領域が広がるため、上部材40aと下部材40bとをより強固に接合することができる。   For example, in the second embodiment, the protrusion 43 is formed at a position outside by a predetermined distance from the outlet of the communication channel 54. However, as shown in FIGS. , It may be formed along the boundary of the outlet of the communication channel 54. In this case, an area that overlaps the lower surface of the upper member 40a and the upper surface of the lower member 40b that is bonded by the adhesive 70 is widened, so that the upper member 40a and the lower member 40b can be bonded more firmly.

また、上記実施形態1では、凹部42のみが上部材40aに形成され、上記実施形態2では、突部43のみが上部材40aに形成されたが、図11(c)、(d)に示すように、凹部42と突部43の両方が、上部材40aに形成されてもよい。こうすると、余分な接着剤70を凹部42に溜めつつ突部43でブロックできるので、ノズル41に対するインクの流れ込みをより確実に抑止することができる。   Moreover, in the said Embodiment 1, only the recessed part 42 was formed in the upper member 40a, and in the said Embodiment 2, although only the protrusion 43 was formed in the upper member 40a, it shows to FIG.11 (c), (d). As described above, both the recess 42 and the protrusion 43 may be formed on the upper member 40a. In this way, since the excess adhesive 70 can be blocked by the protrusion 43 while accumulating in the recess 42, it is possible to more reliably prevent ink from flowing into the nozzle 41.

また、上記実施形態1、2では、凹部42または突部43が、連絡流路54の出口の周りに1周だけ形成されたが、凹部42または突部43が、連絡流路54の出口の周りに2周囲以上形成されてもよい。また、凹部42または突部43は、必ずしも1周に亘って連続的に繋がっていなくてもよく、1周の途中で僅かな隙間で分離されていてもよい。   In the first and second embodiments, the recess 42 or the protrusion 43 is formed only once around the outlet of the communication channel 54, but the recess 42 or the protrusion 43 is formed at the outlet of the communication channel 54. Two or more circumferences may be formed around the circumference. Moreover, the recessed part 42 or the protrusion 43 does not necessarily need to be continuously connected over one round, and may be separated by a slight gap in the middle of one round.

さらに、平面視における凹部42または突部43の形状は、必ずしもリング状でなくてもよく、正方形等の他の形状であってもよい。また、凹部42または突部43の断面形状は、必ずしも矩形でなくてもよく、三角形、台形、半円等の他の形状であってもよい。   Furthermore, the shape of the recess 42 or the protrusion 43 in a plan view is not necessarily a ring shape, and may be another shape such as a square. Moreover, the cross-sectional shape of the recessed part 42 or the protrusion 43 does not necessarily need to be a rectangle, and other shapes, such as a triangle, a trapezoid, and a semicircle, may be sufficient as it.

また、上記実施の形態では、複数の板状体411、412、413、414を重ねることにより、構造体40の上部材40aが構成されたが、構造体40の構成方法は、これに限定されるものではない。たとえば、図3に示す7つの板状体413のうち上側6つの板状体413が1つの部材により一体形成されてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the upper member 40a of the structure 40 was comprised by overlapping the some plate-shaped body 411, 412, 413, 414, the structure method of the structure 40 is limited to this. It is not something. For example, the upper six plate-like bodies 413 of the seven plate-like bodies 413 shown in FIG. 3 may be integrally formed by one member.

この他、インクジェットヘッド1やアクチュエータ30の構成、および、メイン流路51、圧力室52、連絡流路53、54の形状や構成も、上記実施の形態のものに限定されるものではない。また、上記実施の形態では、一つのメイン流路に対してY軸方向に並ぶ2つのインク供給口30aからインクが供給されたが、一つのメイン流路に対して一つのインク供給口30aが設けられてもよい。   In addition, the configurations of the inkjet head 1 and the actuator 30, and the shapes and configurations of the main flow path 51, the pressure chamber 52, and the communication flow paths 53 and 54 are not limited to those in the above embodiment. In the above embodiment, ink is supplied from two ink supply ports 30a arranged in the Y-axis direction with respect to one main flow path, but one ink supply port 30a is provided for one main flow path. It may be provided.

本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。   The embodiments of the present invention can be appropriately modified in various ways within the scope of the technical idea shown in the claims.

1 … インクジェットヘッド
2 … インク供給部
30 … アクチュエータ
40a … 上部材(構造体)
40b … 下部材(板状部材)
41 … ノズル
42 … 凹部
43 … 突部
54 … 連絡流路
70 … 接着剤
71 … 粒子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inkjet head 2 ... Ink supply part 30 ... Actuator 40a ... Upper member (structure)
40b ... Lower member (plate member)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 41 ... Nozzle 42 ... Recess 43 ... Projection 54 ... Communication flow path 70 ... Adhesive 71 ... Particle

Claims (9)

インクが充填される圧力室と、
前記圧力室に充填されたインクの圧力を変化させるアクチュエータと、
インクを吐出するためのノズルが形成された板状部材と、
前記圧力室と前記ノズルとを連結する連絡流路と、
前記連絡流路が形成され前記板状部材が接着される構造体と、
前記連絡流路を囲むように前記構造体の前記ノズル側の面に設けられた凹部と、を備える、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
A pressure chamber filled with ink;
An actuator for changing the pressure of the ink filled in the pressure chamber;
A plate-like member on which nozzles for discharging ink are formed;
A communication channel connecting the pressure chamber and the nozzle;
A structure in which the communication channel is formed and the plate-like member is bonded;
A recess provided on the nozzle side surface of the structure so as to surround the communication channel,
An inkjet head characterized by that.
請求項1に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記連絡流路は、前記ノズルの前記連絡流路側の入口よりも広くなっている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
The inkjet head according to claim 1,
The communication channel is wider than the inlet of the nozzle on the communication channel side.
An inkjet head characterized by that.
請求項1または2に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記凹部は、前記連絡流路の前記ノズル側の出口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
The inkjet head according to claim 1 or 2,
The recess is formed at a position spaced outward by a predetermined distance from the nozzle-side outlet of the communication channel.
An inkjet head characterized by that.
インクが充填される圧力室と、
前記圧力室に充填されたインクの圧力を変化させるアクチュエータと、
インクを吐出するためのノズルが形成された板状部材と、
前記圧力室と前記ノズルとを連結する連絡流路と、
前記連絡流路が形成され前記板状部材が接着される構造体と、
前記連絡流路を囲むように前記構造体の前記ノズル側の面に設けられた突部と、を備える、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
A pressure chamber filled with ink;
An actuator for changing the pressure of the ink filled in the pressure chamber;
A plate-like member on which nozzles for discharging ink are formed;
A communication channel connecting the pressure chamber and the nozzle;
A structure in which the communication channel is formed and the plate-like member is bonded;
A protrusion provided on the nozzle side surface of the structure so as to surround the communication channel,
An inkjet head characterized by that.
請求項4に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記連絡流路は、前記ノズルの前記連絡流路側の入口よりも広くなっている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
The inkjet head according to claim 4,
The communication channel is wider than the inlet of the nozzle on the communication channel side.
An inkjet head characterized by that.
請求項4または5に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記突部は、前記連絡流路の前記ノズル側の出口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
The inkjet head according to claim 4 or 5,
The protrusion is formed at a position spaced outward by a predetermined distance from the nozzle side outlet of the communication channel,
An inkjet head characterized by that.
請求項4ないし6の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記突部は、前記連絡流路の前記ノズル側の出口の境界に沿って形成されている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
In the ink jet head according to any one of claims 4 to 6,
The protrusion is formed along the boundary of the outlet on the nozzle side of the communication channel,
An inkjet head characterized by that.
請求項1ないし7の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記板状部材を前記構造体に接着するための接着剤に、前記板状部材と前記構造体との間の間隔を所定距離に保つための粒子が含まれている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
In the ink jet head according to any one of claims 1 to 7,
The adhesive for bonding the plate-like member to the structure includes particles for keeping a distance between the plate-like member and the structure at a predetermined distance.
An inkjet head characterized by that.
請求項1ないし6の何れか一項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給部と、を備える
ことを特徴とするインクジェット装置。
An ink jet head according to any one of claims 1 to 6;
An ink jet apparatus comprising: an ink supply unit that supplies ink to the ink jet head.
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