JP6769042B2 - Inkjet head and inkjet device - Google Patents

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Description

本発明は、被印刷面にインクを吐出するインクジェットヘッドおよび当該インクジェットヘッドを用いたインクジェット装置に関する。 The present invention relates to an inkjet head that ejects ink onto a surface to be printed and an inkjet device that uses the inkjet head.

インクジェット装置は、インクジェットヘッドからインクを吐出することにより、被印刷面に印字や描画を行う装置である。インクジェット装置に搭載されるインクジェットヘッドは、インクを充填するための圧力室と、圧力室にインクを導くための流路と、圧力室に繋がるノズルと、圧力室に充填されたインクに圧力を付与するアクチュエータとを備える。アクチュエータを駆動して圧力室内の圧力を高めることにより、圧力室に充填されたインクがノズルから吐出される。 An inkjet device is a device that prints or draws on a surface to be printed by ejecting ink from an inkjet head. An inkjet head mounted on an inkjet device applies pressure to a pressure chamber for filling ink, a flow path for guiding ink to the pressure chamber, a nozzle connected to the pressure chamber, and ink filled in the pressure chamber. It is equipped with an actuator. By driving the actuator to increase the pressure in the pressure chamber, the ink filled in the pressure chamber is ejected from the nozzle.

特開2005−244174号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-244174

上記構成のインクジェットヘッドでは、多数のノズルが形成された板状部材を、流路を構成する構造体に装着することにより、各圧力室と各ノズルとが連結される。ここで、構造体に対する板状部材の装着は、接着剤を用いて行われる。この場合、塗布される接着剤の量が多いと、接着の際に接着剤がノズルへと流れ込み、ノズルの吐出性能が低下することが起こり得る。その一方、塗布される接着剤の量が少ないと、隣り合うノズルを接着剤の層で確実に仕切れなくなり、これらノズル間でエアーリークが生じる場合がある。こうしてエアーリークが生じる場合も、インクの吐出精度が低下する。このような問題は、特に、ノズル間の間隔を縮めて、インクの密度を高める構成において顕著となる。 In the inkjet head having the above configuration, each pressure chamber and each nozzle are connected by mounting a plate-shaped member having a large number of nozzles formed on the structure constituting the flow path. Here, the plate-shaped member is attached to the structure by using an adhesive. In this case, if the amount of the adhesive to be applied is large, the adhesive may flow into the nozzle at the time of adhesion, and the ejection performance of the nozzle may deteriorate. On the other hand, if the amount of adhesive applied is small, adjacent nozzles cannot be reliably separated by an adhesive layer, and air leaks may occur between these nozzles. Even if an air leak occurs in this way, the ink ejection accuracy is lowered. Such a problem becomes remarkable especially in a configuration in which the distance between nozzles is shortened to increase the density of ink.

かかる課題に鑑み、本発明は、ノズルが形成された板状部材を、流路を構成する構造体に適正に接着することが可能なインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供することを目的とする。 In view of such a problem, an object of the present invention is to provide an inkjet head and an inkjet device capable of appropriately adhering a plate-shaped member on which a nozzle is formed to a structure constituting a flow path.

本発明の第1の態様は、インクジェットヘッドに関する。第1の態様に係るインクジェットヘッドは、インクが充填される圧力室と、前記圧力室に充填されたインクの圧力を変化させるアクチュエータと、インクを吐出するためのノズルが形成された板状部材と、前記圧力室と前記ノズルとを連結する連絡流路と、前記連絡流路が形成され前記板状部材が接着される構造体と、前記ノズルの周囲を囲むように前記板状部材の前記連絡流路側の面に設けられた凹部及び突部と、を備え、前記凹部の一側面と前記突部の一側面は面一であり、前記連絡流路は、前記ノズルの前記連絡流路側の入口よりも広くなっており、前記凹部及び前記突部は、前記ノズルの前記入口の外側の、前記連絡流路に重なる領域に形成されている。 The first aspect of the present invention relates to an inkjet head. The inkjet head according to the first aspect includes a pressure chamber filled with ink, an actuator for changing the pressure of the ink filled in the pressure chamber, and a plate-shaped member having a nozzle for ejecting ink. , The communication flow path connecting the pressure chamber and the nozzle, the structure in which the communication flow path is formed and the plate-shaped member is adhered, and the communication of the plate-shaped member so as to surround the periphery of the nozzle. and a recess and protrusion provided on the surface of the flow path side, one side of one side surface and the projection of the recess surface Ri one der, the communication passage is the communication flow path side of the nozzle It is wider than the inlet, and the recess and the protrusion are formed in a region outside the inlet of the nozzle and overlapping the connecting flow path.

本態様に係るインクジェットヘッドによれば、接着剤が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤は、凹部に溜まり、さらに突部にブロックされて、ノズルへと流れ込むことが抑止される。よって、板状部材の接着時に、ノズルへの流れ込みを懸念せずともよく、十分な量の接着剤を用いることができる。これにより、ノズル間のエアーリークの問題も解消できる。 According to the ink jet head of the present embodiment, even if the adhesive is applied to versatile, excess adhesive Ri balls into the recess, blocked further protrusion is suppressed that the flow into the nozzle .. Therefore, when the plate-shaped member is bonded, it is not necessary to worry about the flow into the nozzle, and a sufficient amount of adhesive can be used. This also solves the problem of air leaks between nozzles.

本発明の第の態様は、インクジェット装置に関する。第の態様に係るインクジェット装置は、第1の態様に係るインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給部と、を備える。 A second aspect of the present invention relates to an inkjet device. Ink jet apparatus according to the second embodiment includes an inkjet head according to the first state-like, and an ink supply portion for supplying ink to said ink jet head.

の態様に係るインクジェット装置よれば、第1の態様のインクジェットヘッドが用いられるため、上記のように、ノズルが形成された板状部材を適正に構造体に接着できる。このため、インクジェット装置の性能を高めることができる。 According inkjet device according to the second aspect, since the ink jet head of the first state-like are used, as described above, can be properly bonded to the structure of the nozzle is formed plate-like member. Therefore, the performance of the inkjet device can be improved.

以上のとおり、本発明に係るインクジェットヘッドおよびインクジェット装置によれば、ノズルが形成された板状部材を、流路を構成する構造体の下面に適正に接着することができる。 As described above, according to the inkjet head and the inkjet device according to the present invention, the plate-shaped member in which the nozzle is formed can be appropriately adhered to the lower surface of the structure constituting the flow path.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。 The effects or significance of the present invention will be further clarified by the description of the embodiments shown below. However, the embodiments shown below are merely examples when the present invention is put into practice, and the present invention is not limited to those described in the following embodiments.

図1(a)は、実施形態1に係るインクジェットヘッドの構成を示す図、図1(b)は、実施形態1に係るアクチュエータと構造体とを組み合わせた構成を模式的に示す図である。FIG. 1A is a diagram showing a configuration of an inkjet head according to the first embodiment, and FIG. 1B is a diagram schematically showing a configuration in which an actuator and a structure according to the first embodiment are combined. 図2(a)は、実施形態1に係るアクチュエータと構造体の一部を拡大した図、図2(b)は、実施形態1に係るメイン流路と圧力室の部分を模式的に示す図である。図2(c)は、実施形態1に係る構造体におけるノズルの配列を模式的に示す図である。FIG. 2A is an enlarged view of a part of the actuator and the structure according to the first embodiment, and FIG. 2B is a diagram schematically showing a part of the main flow path and the pressure chamber according to the first embodiment. Is. FIG. 2C is a diagram schematically showing an arrangement of nozzles in the structure according to the first embodiment. 図3は、実施形態1に係る圧力室付近の構成を示す部分斜視図である。FIG. 3 is a partial perspective view showing a configuration in the vicinity of the pressure chamber according to the first embodiment. 図4(a)は、実施形態1に係る、下部材と上部材とを接着する前のノズル周辺の構造を模式的に示す断面図、図4(b)は、実施形態1に係る、下部材と上部材とを接着した後のノズル周辺の構造を模式的に示す断面図である。FIG. 4 (a) is a cross-sectional view schematically showing the structure around the nozzle before bonding the lower member and the upper member according to the first embodiment, and FIG. 4 (b) is the lower view according to the first embodiment. It is sectional drawing which shows typically the structure around the nozzle after adhering a member and an upper member. 図5は、実施形態1に係る下部材のノズル周辺の構成を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the configuration around the nozzle of the lower member according to the first embodiment. 図6(a)、(b)は、それぞれ、比較例に係る接着工程における接着剤の流れを模式的に示す断面図である。図6(c)、(d)は、それぞれ、実施形態1に係る接着工程における接着剤の流れを模式的に示す断面図である。6 (a) and 6 (b) are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive in the bonding step according to the comparative example, respectively. 6 (c) and 6 (d) are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive in the bonding step according to the first embodiment, respectively. 図7は、実施形態1に係るインクジェット装置の構成を示すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of an inkjet device according to the first embodiment. 図8(a)は、実施形態2に係る、下部材と上部材とを接着する前のノズル周辺の構造を模式的に示す断面図、図8(b)は、実施形態2に係る、下部材と上部材とを接着した後のノズル周辺の構造を模式的に示す断面図である。FIG. 8 (a) is a cross-sectional view schematically showing the structure around the nozzle before bonding the lower member and the upper member according to the second embodiment, and FIG. 8 (b) is the lower view according to the second embodiment. It is sectional drawing which shows typically the structure around the nozzle after adhering a member and an upper member. 図9(a)、(b)は、それぞれ、比較例に係る接着工程における接着剤の流れを模式的に示す断面図である。図9(c)、(d)は、それぞれ、実施形態2に係る接着工程における接着剤の流れを模式的に示す断面図である。9 (a) and 9 (b) are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive in the bonding step according to the comparative example, respectively. 9 (c) and 9 (d) are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive in the bonding step according to the second embodiment, respectively. 図10(a)、(b)は、変更例に係るノズルの周辺の構成および接着工程における接着剤の流れ模式的に示す断面図である。図10(c)、(d)は、他の変更例に係るノズルの周辺の構成および接着工程における接着剤の流れ模式的に示す断面図である。10 (a) and 10 (b) are cross-sectional views schematically showing the configuration around the nozzle and the flow of the adhesive in the bonding step according to the modified example. 10 (c) and 10 (d) are cross-sectional views schematically showing the configuration around the nozzle and the flow of the adhesive in the bonding step according to another modified example. 図11(a)、(b)は、さらに他の変更例に係るノズルの周辺の構成および接着工程における接着剤の流れ模式的に示す断面図である。11 (a) and 11 (b) are cross-sectional views schematically showing the structure around the nozzle and the flow of the adhesive in the bonding step according to still another modification.

<実施形態1>
以下、本発明の実施形態1について図を参照して説明する。便宜上、各図には、互いに直交するX、Y、Z軸が付記されている。Z軸方向がインクジェットヘッド1の高さ方向であり、Z軸正方向が下方向である。また、X軸方向がインクジェットヘッド1の厚み方向で、Y軸方向がインクジェットヘッド1の幅方向である。インクジェットヘッド1は、Z軸正方向(下方向)にインクを吐出する。
<Embodiment 1>
Hereinafter, Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings. For convenience, the X, Y, and Z axes that are orthogonal to each other are added to each figure. The Z-axis direction is the height direction of the inkjet head 1, and the Z-axis positive direction is the downward direction. Further, the X-axis direction is the thickness direction of the inkjet head 1, and the Y-axis direction is the width direction of the inkjet head 1. The inkjet head 1 ejects ink in the positive direction (downward) of the Z axis.

図1(a)は、実施形態1に係るインクジェットヘッド1の構成を示す図であり、図1(b)は、実施形態1に係るアクチュエータ30と構造体40とを組み合わせた構成を模式的に示す図である。 FIG. 1A is a diagram showing a configuration of an inkjet head 1 according to a first embodiment, and FIG. 1B schematically shows a configuration in which an actuator 30 and a structure 40 according to the first embodiment are combined. It is a figure which shows.

図1(a)に示すように、インクジェットヘッド1は、収納ボックス10と、ヘッドベース20とを備える。収納ボックス10は、ヘッドベース20に対して着脱可能となっている。 As shown in FIG. 1A, the inkjet head 1 includes a storage box 10 and a head base 20. The storage box 10 is removable from the head base 20.

収納ボックス10は、下面が開放された矩形の箱体からなっている。収納ボックス10の上面には内部に繋がる切欠き10aが設けられ、この切欠き10aを介して回路基板11が収納ボックス10に収納されている。回路基板11にはアクチュエータ30を駆動するための駆動回路が実装されている。切欠き10aのY軸正側とY軸負側に、それぞれ、円形の穴部10bが設けられている。穴部10bは、インク供給用のチューブ(図示せず)を収納ボックス10の内部へと導くためのものである。 The storage box 10 is formed of a rectangular box having an open lower surface. A notch 10a connected to the inside is provided on the upper surface of the storage box 10, and the circuit board 11 is housed in the storage box 10 through the notch 10a. A drive circuit for driving the actuator 30 is mounted on the circuit board 11. Circular holes 10b are provided on the Y-axis positive side and the Y-axis negative side of the notch 10a, respectively. The hole 10b is for guiding an ink supply tube (not shown) to the inside of the storage box 10.

ヘッドベース20は、上下に貫通する矩形の開口20aを中央に有する枠体からなっている。開口20aの下端に、図1(b)に示すアクチュエータ30と構造体40が設置される。アクチュエータ30は、開口20a内において回路基板11とFPC(Flexible Printed Circuits)によって電気的に接続される。 The head base 20 is composed of a frame having a rectangular opening 20a penetrating vertically in the center. The actuator 30 and the structure 40 shown in FIG. 1B are installed at the lower end of the opening 20a. The actuator 30 is electrically connected to the circuit board 11 in the opening 20a by FPCs (Flexible Printed Circuits).

図1(b)に示すように、アクチュエータ30は、長方形の輪郭を有する板体からなっている。アクチュエータ30は、構造体40の上面に重ねられる。構造体40は、長方形の輪郭を有する板体からなっている。また、構造体40には、X軸方向に並ぶ4つのメイン流路51が形成されている。 As shown in FIG. 1 (b), the actuator 30 is made of a plate having a rectangular contour. The actuator 30 is superposed on the upper surface of the structure 40. The structure 40 is made of a plate having a rectangular outline. Further, the structure 40 is formed with four main flow paths 51 arranged in the X-axis direction.

アクチュエータ30のY軸正側の端部とY軸負側の端部には、それぞれ、4つのインク供給口30aがX軸方向に並んで形成されている。Y軸方向に並ぶ2つのインク供給口30aはそれぞれ、一つの独立したメイン流路51に繋がっている。 Four ink supply ports 30a are formed side by side in the X-axis direction at the end on the positive side of the Y-axis and the end on the negative side of the Y-axis of the actuator 30, respectively. The two ink supply ports 30a arranged in the Y-axis direction are each connected to one independent main flow path 51.

図2(a)は、図1(b)の構成のY軸正側の端部を拡大した図である。 FIG. 2A is an enlarged view of the end on the positive side of the Y-axis of the configuration of FIG. 1B.

アクチュエータ30の裏面には溝が形成されている。アクチュエータ30が構造体40に重ねられることにより、アクチュエータ30裏面の溝と構造体40の上面との間に、圧力室52が形成される。圧力室52は、構造体40に形成された連絡流路53(図2(b)参照)を介してメイン流路51に繋がっている。 A groove is formed on the back surface of the actuator 30. By stacking the actuator 30 on the structure 40, a pressure chamber 52 is formed between the groove on the back surface of the actuator 30 and the upper surface of the structure 40. The pressure chamber 52 is connected to the main flow path 51 via a communication flow path 53 (see FIG. 2B) formed in the structure 40.

なお、アクチュエータ30上面のX軸負側の端部とX軸正側の端部には、それぞれ、回路基板11のFPCを接続するための端子群(図示せず)が設けられている。この端子群は、アクチュエータ30の圧電体層34(図2(b)参照)に電圧(駆動信号)を印加するためのものである。 Terminal groups (not shown) for connecting the FPC of the circuit board 11 are provided at the end on the negative side of the X-axis and the end on the positive side of the X-axis on the upper surface of the actuator 30, respectively. This terminal group is for applying a voltage (drive signal) to the piezoelectric layer 34 (see FIG. 2B) of the actuator 30.

上記のようにメイン流路51は、端部がインク供給口30aに繋がっている。メイン流路51に沿って多数の圧力室52が配置され、各圧力室52が各連絡流路53(図2(b)参照)によってメイン流路51に繋がっている。 As described above, the end of the main flow path 51 is connected to the ink supply port 30a. A large number of pressure chambers 52 are arranged along the main flow path 51, and each pressure chamber 52 is connected to the main flow path 51 by each communication flow path 53 (see FIG. 2B).

図1(b)に戻り、8つのインク供給口30aには、それぞれ、個別に管(図示せず)が嵌められ、各管にインク供給用のチューブ(図示せず)からインクが供給される。管は、開口20a内に配された支持部材によって支持され、管にインクを供給するチューブが穴部10bを介して外部に引き出される。インク供給用のチューブと管を介してインクがインク供給口30aに供給される。これにより、メイン流路51および連絡流路53を通ってインクが圧力室52に供給される。 Returning to FIG. 1 (b), tubes (not shown) are individually fitted into the eight ink supply ports 30a, and ink is supplied to each tube from an ink supply tube (not shown). .. The tube is supported by a support member arranged in the opening 20a, and the tube that supplies ink to the tube is pulled out through the hole 10b. Ink is supplied to the ink supply port 30a via the ink supply tube and the tube. As a result, ink is supplied to the pressure chamber 52 through the main flow path 51 and the connecting flow path 53.

Y軸方向に並ぶ2つのインク供給口30aには同じ色のインクが供給され、X軸方向に並ぶ4つのインク供給口30aには互いに異なる色のインクが供給される。したがって、図1(b)の構成では、4色のインクがアクチュエータ30に供給される。これにより、Y軸方向に並ぶ圧力室52には同じ色のインクが充填され、X軸方向に並ぶ圧力室52には互いに異なる色のインクが充填される。ヘッドベース20の開口20aの下端には、アクチュエータ30と構造体40の組み合わせが設置される。したがって、4色のインクがヘッドベース20の下面から吐出される。 Ink of the same color is supplied to the two ink supply ports 30a arranged in the Y-axis direction, and inks of different colors are supplied to the four ink supply ports 30a arranged in the X-axis direction. Therefore, in the configuration of FIG. 1B, four colors of ink are supplied to the actuator 30. As a result, the pressure chambers 52 arranged in the Y-axis direction are filled with inks of the same color, and the pressure chambers 52 arranged in the X-axis direction are filled with inks of different colors. A combination of the actuator 30 and the structure 40 is installed at the lower end of the opening 20a of the head base 20. Therefore, the four color inks are ejected from the lower surface of the head base 20.

なお、4つのメイン流路51に同じ色のインクが供給されてもよい。あるいは、X軸正側の2つのメイン流路に同じ色のインクが供給され、X軸負側の2つのメイン流路に、X軸正側の2つのメイン流路のインクと異なる色で、且つ、同じ色のインクが供給されてもよい。 Ink of the same color may be supplied to the four main flow paths 51. Alternatively, ink of the same color is supplied to the two main flow paths on the positive side of the X axis, and the ink of the two main flow paths on the negative side of the X axis is different in color from the ink of the two main flow paths on the positive side of the X axis. Moreover, ink of the same color may be supplied.

図2(b)は、図2(a)のX軸正側(右側)の圧力室52付近を、圧力室52のY軸方向の中央位置において、X−Z平面に平行な面で切断した断面を模式的に示す断面図である。 In FIG. 2B, the vicinity of the pressure chamber 52 on the positive side (right side) of the X-axis of FIG. 2A was cut at the center position of the pressure chamber 52 in the Y-axis direction in a plane parallel to the XZ plane. It is sectional drawing which shows the cross section schematically.

メイン流路51に流入されたインク60は、連絡流路53を通って圧力室52に充填される。構造体40は、メイン流路51および連絡流路53、54を有する上部材40aと、ノズル41を有する下部材40bからなっている。下部材40bには、圧力室52からZ軸正方向に延びる連絡流路54の部分に、ノズル41となる略円形の孔が形成されている。ノズル41は、Z軸正方向に向かうに従って次第に径が小さくなっており、出口付近で径が均一になっている。 The ink 60 that has flowed into the main flow path 51 is filled in the pressure chamber 52 through the connecting flow path 53. The structure 40 includes an upper member 40a having a main flow path 51 and connecting flow paths 53 and 54, and a lower member 40b having a nozzle 41. The lower member 40b is formed with a substantially circular hole serving as a nozzle 41 in a portion of a connecting flow path 54 extending in the positive direction of the Z axis from the pressure chamber 52. The diameter of the nozzle 41 gradually decreases toward the positive direction of the Z axis, and the diameter becomes uniform near the outlet.

下部材40bは、金属からなる薄板形状の板状部材である。下部材40bの連絡流路54側の面には、ノズル41の周囲を囲むように凹部42が形成されている。ノズル41および凹部42の構成は、追って、図4(a)、(b)および図5を参照して説明する。なお、下部材40bが、特許請求の範囲に記載の「板状部材」に相当し、上部材40aが、特許請求の範囲に記載の「構造体」に相当する。 The lower member 40b is a thin plate-shaped member made of metal. A recess 42 is formed on the surface of the lower member 40b on the connecting flow path 54 side so as to surround the periphery of the nozzle 41. The configurations of the nozzle 41 and the recess 42 will be described later with reference to FIGS. 4 (a), 4 (b) and 5. The lower member 40b corresponds to the "plate-shaped member" described in the claims, and the upper member 40a corresponds to the "structure" described in the claims.

アクチュエータ30は、圧力室層31の上部に、振動板層32、絶縁層33、圧電体層34および電極層35が積層されて構成されている。振動板層32、絶縁層33、圧電体層34および電極層35は、スパッタ法等の真空製膜技術により形成される。これらの層が塗布等の他の製膜技術により形成されてもよい。圧力室層31は、めっき工法等の厚膜形成技術もしくは金属板のエッチィング工法により形成される。圧力室層31の下面に上部材40aが装着されることにより、圧力室52が形成される。振動板層32は、導電性の金属材料から構成され、圧電体層34の下部電極(共通電極)を兼ねている。絶縁層33は、圧電体層34に対して振動板層32を絶縁する。すなわち、絶縁層33は、圧電機能領域R1以外の圧電体層34への電圧印加を遮蔽する。 The actuator 30 is configured by laminating a diaphragm layer 32, an insulating layer 33, a piezoelectric layer 34, and an electrode layer 35 on the upper part of the pressure chamber layer 31. The diaphragm layer 32, the insulating layer 33, the piezoelectric layer 34, and the electrode layer 35 are formed by a vacuum film forming technique such as a sputtering method. These layers may be formed by other film forming techniques such as coating. The pressure chamber layer 31 is formed by a thick film forming technique such as a plating method or an etching method of a metal plate. The pressure chamber 52 is formed by mounting the upper member 40a on the lower surface of the pressure chamber layer 31. The diaphragm layer 32 is made of a conductive metal material and also serves as a lower electrode (common electrode) of the piezoelectric layer 34. The insulating layer 33 insulates the diaphragm layer 32 from the piezoelectric layer 34. That is, the insulating layer 33 shields the application of voltage to the piezoelectric layer 34 other than the piezoelectric functional region R1.

圧電体層34は、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)で形成される。圧電体層34の膜厚は数μm程度である。電極層35は、導電性材料により形成される。電極層35は、たとえば、貴金属を含むチタンから形成される。電極層35の膜厚は0.2μm程度である。 The piezoelectric layer 34 is formed of, for example, lead zirconate titanate (PZT). The film thickness of the piezoelectric layer 34 is about several μm. The electrode layer 35 is formed of a conductive material. The electrode layer 35 is formed of, for example, titanium containing a noble metal. The film thickness of the electrode layer 35 is about 0.2 μm.

電極層35に電圧が印加されることにより圧電機能領域R1において圧電体層34がZ軸方向に変形し、これに伴い、振動板層32が変形する。圧電機能領域R1において振動板層32が下方に変形すると、圧力室52の容積が減少し、圧力室52に充填されたインク60の圧力が高まる。これにより、ノズル41からインク60の液滴61が吐出される。 When a voltage is applied to the electrode layer 35, the piezoelectric layer 34 is deformed in the Z-axis direction in the piezoelectric functional region R1, and the diaphragm layer 32 is deformed accordingly. When the diaphragm layer 32 is deformed downward in the piezoelectric function region R1, the volume of the pressure chamber 52 decreases, and the pressure of the ink 60 filled in the pressure chamber 52 increases. As a result, the droplet 61 of the ink 60 is ejected from the nozzle 41.

圧力室層31、振動板層32、絶縁層33、圧電体層34および電極層35は、それぞれ、必ずしも単層でなくともよく、複数の層によって形成されてもよい。また、各層の間に、さらに他の層が配置されてもよい。 The pressure chamber layer 31, the diaphragm layer 32, the insulating layer 33, the piezoelectric layer 34, and the electrode layer 35 do not necessarily have to be a single layer, but may be formed by a plurality of layers. Further, another layer may be arranged between the layers.

図2(c)は、構造体40におけるノズル41の配列を模式的に示す図である。 FIG. 2C is a diagram schematically showing an arrangement of nozzles 41 in the structure 40.

図2(c)に示すように、構造体40には、複数のノズル41が一方向に並ぶように配置されている。構造体40には、4つのノズル41の列L1〜L4が配置されている。たとえば、列L1〜L4に、それぞれ、200個のノズル41が一定間隔で設けられている。各列のノズル41の数はこれに限られるものではない。 As shown in FIG. 2C, a plurality of nozzles 41 are arranged in one direction in the structure 40. Rows L1 to L4 of four nozzles 41 are arranged in the structure 40. For example, 200 nozzles 41 are provided at regular intervals in rows L1 to L4, respectively. The number of nozzles 41 in each row is not limited to this.

なお、実施形態1では、後述のように、列L1〜L4にそれぞれ配置された一群のノズル41は、微視的には一直線に並んでおらず、一定の振り幅でX軸方向に蛇行するように並んでいる(図5参照)。これにより、一群のノズル41の配置領域をY軸方向に縮めながら、これらノズル41の密度を高めることができる。 In the first embodiment, as will be described later, the group of nozzles 41 arranged in the rows L1 to L4 are not microscopically aligned and meander in the X-axis direction with a constant swing width. They are lined up like this (see Fig. 5). As a result, the density of these nozzles 41 can be increased while reducing the arrangement area of the group of nozzles 41 in the Y-axis direction.

図3は、圧力室52付近の構成の断面を示す部分斜視図である。図3には、X−Z平面に平行な平面でノズル41の中心を通るようにアクチュエータ30および構造体40を切断した断面が示されている。 FIG. 3 is a partial perspective view showing a cross section of the configuration near the pressure chamber 52. FIG. 3 shows a cross section of the actuator 30 and the structure 40 cut so as to pass through the center of the nozzle 41 in a plane parallel to the XZ plane.

図3に示すように、構造体40の上部材40aは、板状体411、412と、7つの板状体413と、板状体414とを積み重ねることにより構成されている。板状体411〜414は、それぞれ、所定の厚みを有し、また、平面視において構造体40と同じ輪郭を有している。7つの板状体413は、同じ構造である。下から1番目と2番目の板状体413の間には、薄いダンパー415が挟まれている。ダンパー415は、アクチュエータ30が駆動され、振動板層32が下方向(Z軸正方向)に変位した際に連絡流路53からメイン流路51に付与される圧力波を吸収するためのものである。 As shown in FIG. 3, the upper member 40a of the structure 40 is formed by stacking plate-shaped bodies 411 and 412, seven plate-shaped bodies 413, and plate-shaped bodies 414. Each of the plate-shaped bodies 411 to 414 has a predetermined thickness and has the same contour as the structure 40 in a plan view. The seven plate-shaped bodies 413 have the same structure. A thin damper 415 is sandwiched between the first and second plate-shaped bodies 413 from the bottom. The damper 415 is for absorbing the pressure wave applied from the connecting flow path 53 to the main flow path 51 when the actuator 30 is driven and the diaphragm layer 32 is displaced downward (Z-axis positive direction). is there.

板状体411、412には、それぞれ、連絡流路54を形成するための長孔411a、412aが形成されている。長孔411a、412aは、X軸方向が長手方向である。平面視において、長孔411a、412aは、それぞれ、X軸方向に長い長円形の輪郭を有する。より詳しくは、長孔411aは、互いに向き合う2つの半円弧の端をそれぞれ直線で繋いだ輪郭を有する。長孔412aは、長孔411aと同様の2つの半円弧をそれぞれ長孔411aよりも短い直線で繋いだ輪郭を有する。 The plate-shaped bodies 411 and 412 are formed with elongated holes 411a and 412a for forming the connecting flow path 54, respectively. The elongated holes 411a and 412a have a longitudinal direction in the X-axis direction. In plan view, the elongated holes 411a and 412a each have an oval contour that is long in the X-axis direction. More specifically, the elongated hole 411a has a contour in which the ends of two semicircles facing each other are connected by a straight line. The elongated hole 412a has a contour in which two semicircles similar to the elongated hole 411a are connected by a straight line shorter than the elongated hole 411a.

7つの板状体413には、連絡流路54を形成するための孔413aが形成されている。孔413aは、略円形である。板状体414およびダンパー415にも、それぞれ、連絡流路54を形成するための孔414a、415aが形成されている。孔414a、415aの径は、孔413aの径と略同じである。7つの孔413aは、互いに中心が一致している。また、孔414a、415aの中心は、孔413aの中心と一致している。ノズル41の中心は、孔413a、414a、415aの中心に一致している。 Holes 413a for forming the connecting flow path 54 are formed in the seven plate-shaped bodies 413. The hole 413a is substantially circular. Holes 414a and 415a for forming the connecting flow path 54 are also formed in the plate-shaped body 414 and the damper 415, respectively. The diameter of the holes 414a and 415a is substantially the same as the diameter of the holes 413a. The seven holes 413a are centered on each other. Further, the center of the holes 414a and 415a coincides with the center of the hole 413a. The center of the nozzle 41 coincides with the center of the holes 413a, 414a, and 415a.

長孔412aの中心は、Y軸方向において孔413aの中心と一致し、X軸方向において孔413aの中心からX軸負方向にずれている。また、長孔411aの中心は、Y軸方向において長孔412aの中心と一致し、X軸方向において長孔412aの中心からX軸負方向にずれている。平面視において、長孔411a、412aのX軸正側の端縁は、孔413aのX軸正側の端縁と一致している。 The center of the elongated hole 412a coincides with the center of the hole 413a in the Y-axis direction, and deviates from the center of the hole 413a in the X-axis direction in the negative direction of the X-axis. Further, the center of the elongated hole 411a coincides with the center of the elongated hole 412a in the Y-axis direction, and deviates from the center of the elongated hole 412a in the X-axis direction in the negative direction of the X-axis. In a plan view, the X-axis positive edge of the elongated holes 411a and 412a coincides with the X-axis positive edge of the hole 413a.

板状体412、413には、それぞれ、メイン流路51に対応する領域に開口412b、413bが形成されている。開口412bは、開口413bに比べて、X軸方向の幅が狭くなっている。平面視において、開口412bのX軸正側の端縁は、開口413bのX軸正側の端縁と一致している。メイン流路51は、ダンパー415で仕切られている。 In the plate-shaped bodies 412 and 413, openings 412b and 413b are formed in the regions corresponding to the main flow path 51, respectively. The width of the opening 412b is narrower in the X-axis direction than that of the opening 413b. In a plan view, the X-axis positive edge of the opening 412b coincides with the X-axis positive edge of the opening 413b. The main flow path 51 is partitioned by a damper 415.

板状体411には、連絡流路53に対応する領域に開口411bが形成されている。この開口411bの底、すなわち、連絡流路53の入口にフィルタ411cが形成されている。フィルタ411cには、数μm程度の径の孔H1が多数設けられている。フィルタ411cに設けられた孔H1の径は、ノズル41の出口の径よりもやや小さい。たとえば、ノズル41の出口の径は20μmであり、フィルタ411cの孔H1の径は15μmである。平面視において、開口411bは、X軸方向に長い六角形の輪郭を有する。この他、開口411bは、X軸方向に長い長円形の輪郭、たとえば、互いに向き合う2つの半円弧の端をそれぞれ直線で繋いだ輪郭を有してもよい。 The plate-shaped body 411 is formed with an opening 411b in a region corresponding to the connecting flow path 53. A filter 411c is formed at the bottom of the opening 411b, that is, at the inlet of the connecting flow path 53. The filter 411c is provided with a large number of holes H1 having a diameter of about several μm. The diameter of the hole H1 provided in the filter 411c is slightly smaller than the diameter of the outlet of the nozzle 41. For example, the diameter of the outlet of the nozzle 41 is 20 μm, and the diameter of the hole H1 of the filter 411c is 15 μm. In plan view, the opening 411b has a hexagonal contour that is long in the X-axis direction. In addition, the opening 411b may have an oval contour long in the X-axis direction, for example, a contour in which the ends of two semicircular arcs facing each other are connected by a straight line.

上述した長孔411a、孔412aおよび開口411bについては、大きな円形状にしてもよいが、ノズル41のピッチを狭くできなくなり、高密度印刷の阻害となるため、上記のように、長孔形状にすることが好ましい。 The elongated holes 411a, holes 412a, and openings 411b described above may have a large circular shape, but the pitch of the nozzles 41 cannot be narrowed, which hinders high-density printing. Therefore, the elongated holes are formed as described above. It is preferable to do so.

開口411bは、X軸正側が圧力室52に重なり、X軸負側は圧力室52に重ならないように、X軸方向において圧力室52からずれされて配置されている。また、フィルタ411cは、連絡流路53の入口の全領域に配置されている。これにより、フィルタ411cのX軸負側の部分と圧力室層31の下面との間に隙間が生じ、この隙間もインクの流路となっている。 The opening 411b is arranged so as to be offset from the pressure chamber 52 in the X-axis direction so that the positive side of the X-axis overlaps the pressure chamber 52 and the negative side of the X-axis does not overlap the pressure chamber 52. Further, the filter 411c is arranged in the entire area of the inlet of the communication flow path 53. As a result, a gap is generated between the negative side portion of the filter 411c on the X-axis and the lower surface of the pressure chamber layer 31, and this gap also serves as an ink flow path.

開口411bのX軸負側では、メイン流路51からフィルタ411cを通り抜けたインクが、フィルタ411cと圧力室層31の下面との間の隙間を通って、開口411bのX軸正側から圧力室52へと進入する。アクチュエータ30が駆動されて圧力室52の圧力が高められると、圧力室52に充填されたインクが長孔411a、412aおよび孔413a、414a、415aにより構成される連絡流路54を通ってノズル41から吐出される。 On the negative side of the X-axis of the opening 411b, the ink that has passed through the filter 411c from the main flow path 51 passes through the gap between the filter 411c and the lower surface of the pressure chamber layer 31 and passes through the gap between the positive side of the X-axis of the opening 411b and the pressure chamber. Enter 52. When the actuator 30 is driven to increase the pressure in the pressure chamber 52, the ink filled in the pressure chamber 52 passes through the communication flow path 54 composed of the elongated holes 411a, 421a and the holes 413a, 414a, 415a, and the nozzle 41. Is discharged from.

図3に示すように、実施形態1では、複数の板状体411、412、413、414を積み重ねることにより構造体40の上部材40aが構成され、上部材40aの下面に下部材40bが接着剤を用いて接合される。また、上部材40aが圧力室層31の下面に接着されて、上部材40aと下部材40bとからなる構造体40がアクチュエータ30に装着される。すなわち、連絡流路54を有する構造体40をアクチュエータ30に接着することにより圧力室52と連絡流路54とが接続される。このとき同時に、圧力室52と連絡流路53とが接続される。 As shown in FIG. 3, in the first embodiment, the upper member 40a of the structure 40 is formed by stacking a plurality of plate-shaped bodies 411, 412, 413, 414, and the lower member 40b is adhered to the lower surface of the upper member 40a. Joined with an agent. Further, the upper member 40a is adhered to the lower surface of the pressure chamber layer 31, and the structure 40 composed of the upper member 40a and the lower member 40b is attached to the actuator 30. That is, the pressure chamber 52 and the connecting flow path 54 are connected by adhering the structure 40 having the connecting flow path 54 to the actuator 30. At the same time, the pressure chamber 52 and the communication flow path 53 are connected.

ところで、上記のように、上部材40aに対する下部材40bの接合は、接着剤を用いて行われる。この場合、塗布される接着剤の量が多いと、接着の際に、上部材40aと下部材40bの間の隙間から余分な接着剤が押し出され、押し出された接着剤がノズル41へと流れ込むことが起こり得る。こうなると、ノズル41へと流れ込んだ接着剤によりインクの流れが阻害され、ノズル41の吐出性能が低下してしまう。その一方、塗布される接着剤の量が少ないと、隣り合うノズル41を接着剤の層で確実に仕切れず、これらノズル間でエアーリークが生じる場合がある。こうしてエアーリークが生じると、一のノズル41から吐出されるべきインクの一部が、このノズル41に隣り合うノズル41に流れ込み、その結果、両ノズル41におけるインクの吐出精度が低下してしまう。 By the way, as described above, the lower member 40b is joined to the upper member 40a by using an adhesive. In this case, if the amount of the adhesive to be applied is large, the excess adhesive is extruded from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b at the time of adhesion, and the extruded adhesive flows into the nozzle 41. Can happen. In this case, the adhesive flowing into the nozzle 41 obstructs the flow of ink, and the ejection performance of the nozzle 41 deteriorates. On the other hand, if the amount of the adhesive to be applied is small, the adjacent nozzles 41 may not be reliably separated by the adhesive layer, and an air leak may occur between these nozzles. When an air leak occurs in this way, a part of the ink to be ejected from one nozzle 41 flows into the nozzles 41 adjacent to the nozzle 41, and as a result, the ink ejection accuracy in both nozzles 41 is lowered.

これに対し、実施形態1では、上記のように、下部材40bの連絡流路54側の面に、ノズル41の周囲を囲むように凹部42が形成されている。このため、接着剤が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤は、凹部42に溜まって、ノズル41へと流れ込むことが抑止される。よって、上部材40aに対する下部材40bの接着時に、接着剤がノズル41へ流れ込むことを懸念せずともよく、十分な量の接着剤を用いて接合を行うことができる。これにより、上部材40aに対する下部材40bの接合を強固にでき、且つ、隣り合うノズル41間のエアーリークの問題も解消できる。 On the other hand, in the first embodiment, as described above, the recess 42 is formed on the surface of the lower member 40b on the connecting flow path 54 side so as to surround the periphery of the nozzle 41. Therefore, even if the adhesive is applied in a large amount, the excess adhesive is prevented from accumulating in the recess 42 and flowing into the nozzle 41. Therefore, when the lower member 40b is bonded to the upper member 40a, there is no need to worry about the adhesive flowing into the nozzle 41, and the bonding can be performed using a sufficient amount of the adhesive. As a result, the bonding of the lower member 40b to the upper member 40a can be strengthened, and the problem of air leakage between adjacent nozzles 41 can be solved.

以下、凹部42の詳細な構造およびそれによる作用効果について説明する。 Hereinafter, the detailed structure of the recess 42 and the action and effect thereof will be described.

図4(a)は、下部材40bと上部材40aとを接着する前のノズル41周辺の構造を模式的に示す断面図、図4(b)は、下部材40bと上部材40aとを接着した後のノズル41周辺の構造を模式的に示す断面図である。なお、図3と異なり、図4(a)、(b)には、Y−Z平面に平行な平面でノズル41の中心を通るように上部材40aと下部材40bを切断した断面が示されている。 FIG. 4A is a cross-sectional view schematically showing the structure around the nozzle 41 before the lower member 40b and the upper member 40a are bonded, and FIG. 4B shows the lower member 40b and the upper member 40a bonded together. It is sectional drawing which shows typically the structure around the nozzle 41 after that. In addition, unlike FIG. 3, FIGS. 4A and 4B show cross sections of the upper member 40a and the lower member 40b cut so as to pass through the center of the nozzle 41 in a plane parallel to the YY plane. ing.

図4(a)に示すように、下部材40bの上面(Z軸負側の面)には、ノズル41の周囲を囲むように凹部42が形成されている。ノズル41は、円柱状の孔41aと、円錐状の傾斜面41bとからなっている。凹部42は、ノズル41の連絡流路54側の入口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている。凹部42は、平面視においてリング形状であり、ノズル41の連絡流路54側の入口を全周に亘って囲むように形成されている。凹部42の径方向の幅は一定であり、且つ、深さも一定である。 As shown in FIG. 4A, a recess 42 is formed on the upper surface (Z-axis negative side surface) of the lower member 40b so as to surround the periphery of the nozzle 41. The nozzle 41 includes a columnar hole 41a and a conical inclined surface 41b. The recess 42 is formed at a position separated outward by a predetermined distance from the inlet of the nozzle 41 on the communication flow path 54 side. The recess 42 has a ring shape in a plan view, and is formed so as to surround the inlet of the nozzle 41 on the connecting flow path 54 side over the entire circumference. The radial width of the recess 42 is constant, and the depth is also constant.

図4(b)に示すように、下部材40bが上部材40aに接合されると、連絡流路54の内側に凹部42が位置づけられる。連絡流路54は、ノズル41の連絡流路54側の入口よりも径が大きい。凹部42は、ノズル41の入口の外側の、連絡流路54に重なる領域に形成されている。 As shown in FIG. 4B, when the lower member 40b is joined to the upper member 40a, the recess 42 is positioned inside the connecting flow path 54. The diameter of the connecting flow path 54 is larger than that of the inlet of the nozzle 41 on the connecting flow path 54 side. The recess 42 is formed in a region outside the inlet of the nozzle 41 and overlapping the connecting flow path 54.

図5は、下部材40bのノズル41周辺の構成を示す平面図である。図5は、図2(c)に示す列L1〜L4の何れか1つに配置された一群のノズル41の一部を示したものである。便宜上、図5には、連絡流路54の出口(最下段の板状体414の孔414a)が破線で示されている。 FIG. 5 is a plan view showing the configuration around the nozzle 41 of the lower member 40b. FIG. 5 shows a part of a group of nozzles 41 arranged in any one of the rows L1 to L4 shown in FIG. 2C. For convenience, FIG. 5 shows the outlet of the connecting flow path 54 (the hole 414a of the lowermost plate-shaped body 414) with a broken line.

図5において、Y軸方向におけるノズル41のピッチD3は、たとえば、300μm程度である。また、ノズル41の入口の径D1は、たとえば、100μm程度であり、孔41aの径D2は、たとえば、20μm程度である。ノズル41の入口から、たとえば、10μm〜数10μmだけ外側に離れた位置に、凹部42が形成されている。径方向における凹部42の幅D5は、たとえば、10μm〜数10μm程度である。凹部42の深さは、たとえば、10μm〜数10μm程度である。 In FIG. 5, the pitch D3 of the nozzle 41 in the Y-axis direction is, for example, about 300 μm. The diameter D1 of the inlet of the nozzle 41 is, for example, about 100 μm, and the diameter D2 of the hole 41a is, for example, about 20 μm. A recess 42 is formed at a position separated from the inlet of the nozzle 41 to the outside by, for example, 10 μm to several tens of μm. The width D5 of the recess 42 in the radial direction is, for example, about 10 μm to several tens of μm. The depth of the recess 42 is, for example, about 10 μm to several tens of μm.

ノズル41および凹部42は、たとえば、レーザ加工によって形成される。加工において、下部材40bの上面側からレーザ光が下部材40bに照射される。レーザ光は、Z軸に平行で且つ孔41aの中心の位置を貫く軸の周りに旋回される。加工の際は、まず、凹部42が形成され、その後、ノズル41の傾斜面41bと孔41aが形成される。複数のレーザ光で、複数のノズル41および凹部42の組が、同時に形成される。 The nozzle 41 and the recess 42 are formed by, for example, laser processing. In the processing, the lower member 40b is irradiated with laser light from the upper surface side of the lower member 40b. The laser beam is swirled around an axis that is parallel to the Z axis and penetrates the center of the hole 41a. At the time of processing, the recess 42 is first formed, and then the inclined surface 41b and the hole 41a of the nozzle 41 are formed. A set of a plurality of nozzles 41 and a recess 42 is formed at the same time by a plurality of laser beams.

接合に際して、下部材40bの上面(Z軸負側の面)に、接着剤70が塗布される。実施形態1では、接着剤70として、熱硬化性の接着剤が用いられる。接着剤70は、連絡流路54の径よりもやや大きい径の領域R2を除く領域に塗布される。この状態で、図4(a)、(b)に示すように、下部材40bの上面に上部材40aが重ねられ、熱処理が行われる。これにより、接着剤70が硬化し、上部材40aと下部材40bが接合される。接着剤70として熱硬化性以外の接着剤が用いられてもよい。 At the time of joining, the adhesive 70 is applied to the upper surface (the surface on the negative side of the Z axis) of the lower member 40b. In the first embodiment, a thermosetting adhesive is used as the adhesive 70. The adhesive 70 is applied to a region other than the region R2 having a diameter slightly larger than the diameter of the connecting flow path 54. In this state, as shown in FIGS. 4A and 4B, the upper member 40a is superposed on the upper surface of the lower member 40b, and heat treatment is performed. As a result, the adhesive 70 is cured, and the upper member 40a and the lower member 40b are joined. An adhesive other than thermosetting may be used as the adhesive 70.

図6(a)、(b)は、それぞれ、比較例に係る接着工程における接着剤70の流れを模式的に示す断面図である。比較例では、ノズル41の入口の周囲に凹部42が形成されていない。 6 (a) and 6 (b) are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive 70 in the bonding step according to the comparative example, respectively. In the comparative example, the recess 42 is not formed around the inlet of the nozzle 41.

図6(a)に示すように、接着剤70には所定の粒径の粒子71が含まれている。粒子71は、接合の際に所定の圧力で上部材40aを下部材40bに押しつけても潰れない強度をもっている。粒子71の粒径は、たとえば、5μm程度である。 As shown in FIG. 6A, the adhesive 70 contains particles 71 having a predetermined particle size. The particles 71 have a strength that does not collapse even if the upper member 40a is pressed against the lower member 40b at a predetermined pressure at the time of joining. The particle size of the particles 71 is, for example, about 5 μm.

接合の際には、図6(a)に示すように接着剤70が下部材40bの上面に塗布された状態で、上部材40aが下部材40bに所定の圧力で押しつけられる。これにより、図6(b)に示すように、上部材40aが下部材40bに重なる。このとき、塗布された接着剤70の量が多いと、余分な接着剤70が、上部材40aと下部材40bの隙間からはみ出し、はみ出した接着剤70がノズル41へと流れ込むことが起こり得る。または、ノズル41が接着剤70で詰まる現象が発生する。この場合、ノズル41へと流れ込んだ接着剤70によってインクの流れが阻害され、ノズル41からの吐出性能が低下してしまう。 At the time of joining, the upper member 40a is pressed against the lower member 40b with a predetermined pressure while the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b as shown in FIG. 6A. As a result, as shown in FIG. 6B, the upper member 40a overlaps the lower member 40b. At this time, if the amount of the applied adhesive 70 is large, the excess adhesive 70 may protrude from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b, and the protruding adhesive 70 may flow into the nozzle 41. Alternatively, a phenomenon occurs in which the nozzle 41 is clogged with the adhesive 70. In this case, the adhesive 70 that has flowed into the nozzle 41 obstructs the flow of ink, and the ejection performance from the nozzle 41 deteriorates.

なお、実施形態1では、図6(a)、(b)に示すように、接着剤70に粒子71が含まれているため、接合の際には、粒子71によって、上部材40aと下部材40bとの間に、粒子71の粒径と同じ寸法の隙間が確保される。すなわち、接合の際に上部材40aに所定の圧力を付与しても、上部材40aと下部材40bとの隙間が粒子71の粒径よりも小さくなることがない。これにより、接着剤70が無制限に上部材40aと下部材40bとの隙間から押し出されることが抑制され得る。 In the first embodiment, as shown in FIGS. 6A and 6B, since the adhesive 70 contains the particles 71, the particles 71 are used to form the upper member 40a and the lower member at the time of joining. A gap having the same size as the particle size of the particle 71 is secured between the particle 71 and the particle 71. That is, even if a predetermined pressure is applied to the upper member 40a at the time of joining, the gap between the upper member 40a and the lower member 40b does not become smaller than the particle size of the particles 71. As a result, it is possible to prevent the adhesive 70 from being pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b indefinitely.

しかしながら、上述したノズル41間のエアーリークの問題を避けるために、下部材40bの上面には、接着剤70が多めに塗布されがちである。このため、上記のような粒子71の作用によっても、やはり、余分な接着剤70が、上部材40aと下部材40bの隙間から押し出されて、ノズル41へと流れ込むことが起こり得る。 However, in order to avoid the problem of air leakage between the nozzles 41 described above, the adhesive 70 tends to be applied in a large amount on the upper surface of the lower member 40b. Therefore, due to the action of the particles 71 as described above, the excess adhesive 70 may also be pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b and flow into the nozzle 41.

実施形態1では、この問題が、凹部42によって解消される。 In the first embodiment, this problem is solved by the recess 42.

図6(c)、(d)は、それぞれ、実施形態1に係る接着工程における接着剤70の流れを模式的に示す断面図である。 6 (c) and 6 (d) are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive 70 in the bonding step according to the first embodiment, respectively.

接合に際し、図6(a)に示すように接着剤70が下部材40bの上面に塗布された状態で、上部材40aが下部材40bに所定の圧力で押しつけられると、余分な接着剤70が、上部材40aと下部材40bの隙間から押し出される。このとき、下部材40bの上面に接着剤70がやや多めに塗布されていても、図6(b)に示すように、押し出された接着剤70は、凹部42に溜まって、ノズル41へと流れ込むことがない。これにより、ノズル41の傾斜面41bや孔41aにおいて接着剤70が硬化することが回避される。こうして、接着剤70によりインクの流れが阻害されることが抑止され、ノズル41の吐出精度が高く維持される。 At the time of joining, when the upper member 40a is pressed against the lower member 40b with a predetermined pressure while the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b as shown in FIG. 6A, the excess adhesive 70 is released. , It is pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b. At this time, even if the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b in a slightly large amount, as shown in FIG. 6B, the extruded adhesive 70 accumulates in the recess 42 and reaches the nozzle 41. It does not flow. As a result, the adhesive 70 is prevented from being cured on the inclined surface 41b and the hole 41a of the nozzle 41. In this way, the adhesive 70 is prevented from obstructing the flow of ink, and the ejection accuracy of the nozzle 41 is maintained high.

図7は、実施の形態に係るインクジェット装置の構成を示すブロック図である。 FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of an inkjet device according to an embodiment.

インクジェット装置は、上記構成を備えたインクジェットヘッド1の他、インク供給部2と、コントローラ3と、インタフェース4とを備える。 In addition to the inkjet head 1 having the above configuration, the inkjet device includes an ink supply unit 2, a controller 3, and an interface 4.

インク供給部2は、インクジェットヘッド1にインクを供給するための上述のチューブと、チューブに接続されたインクタンクと、インクタンクからチューブにインクを供給するためのポンプとを備える。コントローラ3は、CPUとメモリを備え、メモリに保持されたプログラムに従ってインクジェットヘッド1およびインク供給部2を制御する。インタフェース4は、印刷すべき文字および図形等の描画情報の入力を受け付けて、当該描画情報をコントローラ3に出力する。 The ink supply unit 2 includes the above-mentioned tube for supplying ink to the inkjet head 1, an ink tank connected to the tube, and a pump for supplying ink from the ink tank to the tube. The controller 3 includes a CPU and a memory, and controls the inkjet head 1 and the ink supply unit 2 according to a program held in the memory. The interface 4 receives input of drawing information such as characters and figures to be printed, and outputs the drawing information to the controller 3.

コントローラ3は、入力された描画情報に従ってインクジェットヘッド1を制御し、被印刷面に印字や描画を行う。こうして、印刷画像に対応するノズル41からインクが被印刷面に吐出され、被印刷面に印字や描画が行われる。 The controller 3 controls the inkjet head 1 according to the input drawing information, and prints or draws on the surface to be printed. In this way, ink is ejected from the nozzle 41 corresponding to the printed image to the surface to be printed, and printing or drawing is performed on the surface to be printed.

<実施形態1の効果>
以上、実施形態1によれば、以下の効果が奏される。
<Effect of Embodiment 1>
As described above, according to the first embodiment, the following effects are achieved.

図6(c)、(d)を参照して説明したとおり、下部材40bの上面に接着剤70が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤70は、凹部42に溜まって、ノズル41へと流れ込むことが抑止される。よって、下部材40bの接着時に、ノズル41への流れ込みを懸念せずともよく、十分な量の接着剤70を下部材40bの上面に塗布することができる。これにより、ノズル41間のエアーリークの問題も解消できる。なお、図5に示すピッチD3および振り幅D4が小さくしてノズル41の密度を高めるほど、ノズル41間でエアーリークが生じやすい。上記のように、実施形態1では、十分な量の接着剤70を下部材40bの上面に塗布できるため、図5に示すピッチD3および振り幅D4が小さくしてノズル41の密度を高めた場合にも、より確実に、ノズル41間のエアーリークの問題を回避できる。 As described with reference to FIGS. 6 (c) and 6 (d), even if a large amount of the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b, the excess adhesive 70 accumulates in the recess 42 and the nozzle The flow to 41 is suppressed. Therefore, when the lower member 40b is adhered, it is not necessary to worry about the flow into the nozzle 41, and a sufficient amount of the adhesive 70 can be applied to the upper surface of the lower member 40b. As a result, the problem of air leakage between the nozzles 41 can be solved. The smaller the pitch D3 and the swing width D4 shown in FIG. 5 and the higher the density of the nozzles 41, the more likely it is that air leaks will occur between the nozzles 41. As described above, in the first embodiment, since a sufficient amount of the adhesive 70 can be applied to the upper surface of the lower member 40b, the pitch D3 and the swing width D4 shown in FIG. 5 are reduced to increase the density of the nozzle 41. In addition, the problem of air leakage between the nozzles 41 can be avoided more reliably.

図4(a)、(b)に示すように、連絡流路54は、ノズル41の連絡流路54側の入口よりも径が大きくなっており、凹部42は、ノズル41の入口の外側の、連絡流路54に重なる領域に形成されている。これにより、互いに向き合う上部材40aと下部材40bの面の略全領域に広く接着剤70を浸透させることができ、上部材40aと下部材40bとの間の接合強度を高めることができる。 As shown in FIGS. 4A and 4B, the connecting flow path 54 has a larger diameter than the inlet of the nozzle 41 on the connecting flow path 54 side, and the recess 42 is outside the inlet of the nozzle 41. , Is formed in a region overlapping the connecting flow path 54. As a result, the adhesive 70 can be widely permeated into substantially the entire area of the surfaces of the upper member 40a and the lower member 40b facing each other, and the joint strength between the upper member 40a and the lower member 40b can be increased.

図4(a)、(b)に示すように、凹部42は、ノズル41の連絡流路54側の入口から所定距離だけ外側に離間した位置に形成されている。このため、図6(d)に示すように余分な接着剤70が凹部42からやや溢れても、溢れた接着剤70が直ちにノズル41に流れ込むことを抑止できる。 As shown in FIGS. 4A and 4B, the recess 42 is formed at a position separated outward by a predetermined distance from the inlet of the nozzle 41 on the communication flow path 54 side. Therefore, as shown in FIG. 6D, even if the excess adhesive 70 slightly overflows from the recess 42, it is possible to prevent the overflowing adhesive 70 from immediately flowing into the nozzle 41.

図6(c)、(d)に示すように、接着剤70には、下部材40bと上部材40aとの間の間隔を所定距離に保つための粒子71が含まれている。このため、接合の際に上部材40aに所定の圧力を付与しても、上部材40aと下部材40bとの隙間が粒子71の粒径よりも小さくなることがない。これにより、接着剤70が無制限に上部材40aと下部材40bとの隙間から押し出されることが抑制される。 As shown in FIGS. 6C and 6D, the adhesive 70 contains particles 71 for keeping the distance between the lower member 40b and the upper member 40a at a predetermined distance. Therefore, even if a predetermined pressure is applied to the upper member 40a at the time of joining, the gap between the upper member 40a and the lower member 40b does not become smaller than the particle size of the particles 71. As a result, the adhesive 70 is prevented from being pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b indefinitely.

<実施形態2>
実施形態1では、ノズル41の入口の周囲に凹部42が形成されたが、実施形態2では、ノズル41の入口の周囲に突部が形成される。
<Embodiment 2>
In the first embodiment, the recess 42 is formed around the inlet of the nozzle 41, but in the second embodiment, the protrusion is formed around the inlet of the nozzle 41.

図8(a)は、下部材40bと上部材40aとを接着する前のノズル41周辺の構造を模式的に示す断面図、図8(b)は、下部材40bと上部材40aとを接着した後のノズル41周辺の構造を模式的に示す断面図である。 FIG. 8A is a cross-sectional view schematically showing the structure around the nozzle 41 before bonding the lower member 40b and the upper member 40a, and FIG. 8B shows the lower member 40b and the upper member 40a bonded together. It is sectional drawing which shows typically the structure around the nozzle 41 after that.

図8(a)に示すように、下部材40bの上面(Z軸負側の面)には、ノズル41の周囲を囲むように突部43が形成されている。突部43は、ノズル41の連絡流路54側の入口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている。突部43は、平面視においてリング形状であり、ノズル41の連絡流路54側の入口を全周に亘って囲むように形成されている。突部43の径方向の幅は一定であり、且つ、高さも一定である。突部43は、たとえば電鋳工法により、下部材40bの上面に形成される。 As shown in FIG. 8A, a protrusion 43 is formed on the upper surface (the surface on the negative side of the Z axis) of the lower member 40b so as to surround the periphery of the nozzle 41. The protrusion 43 is formed at a position separated outward by a predetermined distance from the inlet of the nozzle 41 on the communication flow path 54 side. The protrusion 43 has a ring shape in a plan view, and is formed so as to surround the inlet of the nozzle 41 on the connecting flow path 54 side over the entire circumference. The radial width of the protrusion 43 is constant, and the height is also constant. The protrusion 43 is formed on the upper surface of the lower member 40b by, for example, an electroforming method.

図8(b)に示すように、下部材40bが上部材40aに接合されると、連絡流路54の内側に突部43が位置づけられる。連絡流路54は、ノズル41の連絡流路54側の入口よりも径が大きい。突部43は、ノズル41の入口の外側の、連絡流路54に重なる領域に形成されている。 As shown in FIG. 8B, when the lower member 40b is joined to the upper member 40a, the protrusion 43 is positioned inside the connecting flow path 54. The diameter of the connecting flow path 54 is larger than that of the inlet of the nozzle 41 on the connecting flow path 54 side. The protrusion 43 is formed in a region outside the inlet of the nozzle 41 and overlapping the connecting flow path 54.

なお、下部材40bにおけるノズル41の配置は、図5と同様である。実施形態2では、図5の凹部42が突部43に置き換えられた構成となっている。 The arrangement of the nozzles 41 in the lower member 40b is the same as in FIG. In the second embodiment, the recess 42 in FIG. 5 is replaced with the protrusion 43.

図9(c)、(d)は、それぞれ、実施形態2に係る接着工程における接着剤70の流れを模式的に示す断面図である。なお、対比されるべき対象として、図9(a)、(b)に比較例における接着剤70の流れが示されている。図9(a)、(b)の比較例は、図6(a)、(b)の比較例と同じ構成であるので、ここでは、説明を割愛する。 9 (c) and 9 (d) are cross-sectional views schematically showing the flow of the adhesive 70 in the bonding step according to the second embodiment, respectively. The flow of the adhesive 70 in the comparative example is shown in FIGS. 9A and 9B as objects to be compared. Since the comparative examples of FIGS. 9 (a) and 9 (b) have the same configuration as the comparative examples of FIGS. 6 (a) and 6 (b), the description thereof is omitted here.

図9(c)に示すように接着剤70が下部材40bの上面に塗布された状態で、上部材40aが下部材40bに所定の圧力で押しつけられると、余分な接着剤70が、上部材40aと下部材40bの隙間から押し出される。このとき、下部材40bの上面に接着剤70がやや多めに塗布されていても、図9(d)に示すように、押し出された接着剤70は、突部43にブロックされて、ノズル41へと流れ込むことがない。これにより、ノズル41の傾斜面41bや孔41aにおいて接着剤70が硬化することが回避される。こうして、接着剤70によりインクの流れが阻害されることが抑止され、ノズル41の吐出精度が高く維持される。 As shown in FIG. 9C, when the upper member 40a is pressed against the lower member 40b with a predetermined pressure while the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b, the excess adhesive 70 is released from the upper member. It is extruded from the gap between the 40a and the lower member 40b. At this time, even if the upper surface of the lower member 40b is coated with a slightly large amount of the adhesive 70, as shown in FIG. 9D, the extruded adhesive 70 is blocked by the protrusion 43 and the nozzle 41 Does not flow into. As a result, the adhesive 70 is prevented from being cured on the inclined surface 41b and the hole 41a of the nozzle 41. In this way, the adhesive 70 is prevented from obstructing the flow of ink, and the ejection accuracy of the nozzle 41 is maintained high.

<実施形態2の効果>
以上、実施形態2によれば、以下の効果が奏される。
<Effect of Embodiment 2>
As described above, according to the second embodiment, the following effects are achieved.

図9(c)、(d)を参照して説明したとおり、下部材40bの上面に接着剤70が多目に塗布されたとしても、余分な接着剤70は、突部43にブロックされて、ノズル41へと流れ込むことが抑止される。よって、下部材40bの接着時に、ノズル41への流れ込みを懸念せずともよく、十分な量の接着剤70を下部材40bの上面に塗布することができる。これにより、ノズル41間のエアーリークの問題も解消できる。 As described with reference to FIGS. 9 (c) and 9 (d), even if the adhesive 70 is applied to the upper surface of the lower member 40b in a large amount, the excess adhesive 70 is blocked by the protrusion 43. , The flow into the nozzle 41 is suppressed. Therefore, when the lower member 40b is adhered, it is not necessary to worry about the flow into the nozzle 41, and a sufficient amount of the adhesive 70 can be applied to the upper surface of the lower member 40b. As a result, the problem of air leakage between the nozzles 41 can be solved.

図8(a)、(b)に示すように、連絡流路54は、ノズル41の連絡流路54側の入口よりも径が大きくなっており、突部43は、ノズル41の入口の外側の、連絡流路54に重なる領域に形成されている。これにより、互いに向き合う上部材40aと下部材40bの面の略全領域に広く接着剤70を浸透させることができ、上部材40aと下部材40bとの間の接合強度を高めることができる。 As shown in FIGS. 8A and 8B, the connecting flow path 54 has a larger diameter than the inlet of the nozzle 41 on the connecting flow path 54 side, and the protrusion 43 is outside the inlet of the nozzle 41. Is formed in a region overlapping the connecting flow path 54. As a result, the adhesive 70 can be widely permeated into substantially the entire area of the surfaces of the upper member 40a and the lower member 40b facing each other, and the joint strength between the upper member 40a and the lower member 40b can be increased.

図8(a)、(b)に示すように、突部43は、ノズル41の連絡流路54側の入口から所定距離だけ外側に離間した位置に形成されている。このため、図9(d)に示す状態からさらに余分な接着剤70が突部43を乗り越えても、突部43を乗り越えた接着剤70が直ちにノズル41に流れ込むことを抑止できる。 As shown in FIGS. 8A and 8B, the protrusion 43 is formed at a position separated outward by a predetermined distance from the inlet of the nozzle 41 on the communication flow path 54 side. Therefore, even if the excess adhesive 70 gets over the protrusion 43 from the state shown in FIG. 9D, it is possible to prevent the adhesive 70 that has passed over the protrusion 43 from immediately flowing into the nozzle 41.

図9(c)、(d)に示すように、接着剤70には、下部材40bと上部材40aとの間の間隔を所定距離に保つための粒子71が含まれている。このため、上記実施形態1と同様、接着剤70が無制限に上部材40aと下部材40bとの隙間から押し出されることが抑制される。 As shown in FIGS. 9C and 9D, the adhesive 70 contains particles 71 for keeping the distance between the lower member 40b and the upper member 40a at a predetermined distance. Therefore, as in the first embodiment, the adhesive 70 is prevented from being pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b indefinitely.

<変更例>
以上、本発明の実施形態1、2について説明したが、本発明はこれら実施形態1、2に何らの制限を受けるものではない。
<Change example>
Although the first and second embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the first and second embodiments.

たとえば、上記実施形態1では、凹部42が、ノズル41の入口の外側の、連絡流路54に重なる領域に形成されたが、図10(a)、(b)に示すように、凹部42が、ノズル41の連絡流路54側の入口の外側の、連絡流路54に重ならない領域に形成されてもよい。こうすると、接着剤70の量を調整することにより、上部材40aと下部材40bとの隙間からはみ出す接着剤70の量を少なくすることができる。これにより、連絡流路54からノズル41へと向かうインクの流れをより安定化させることができる。 For example, in the first embodiment, the recess 42 is formed in a region outside the inlet of the nozzle 41 that overlaps the connecting flow path 54, but as shown in FIGS. 10A and 10B, the recess 42 is formed. , It may be formed in a region outside the inlet of the nozzle 41 on the connecting flow path 54 side and not overlapping the connecting flow path 54. By doing so, the amount of the adhesive 70 protruding from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b can be reduced by adjusting the amount of the adhesive 70. As a result, the flow of ink from the connecting flow path 54 to the nozzle 41 can be further stabilized.

また、上記実施形態2では、突部43が、ノズル41の入口の外側の、連絡流路54に重なる領域に形成されたが、図10(c)、(d)に示すように、突部43が、ノズル41の連絡流路54側の入口の外側の、連絡流路54に重ならない領域に形成されてもよい。こうすると、図10(c)、(d)の場合と同様、接着剤70の量を調整することにより、上部材40aと下部材40bとの隙間からはみ出す接着剤70の量を少なくでき、連絡流路54からノズル41へと向かうインクの流れをより安定化させることができる。 Further, in the second embodiment, the protrusion 43 is formed in a region outside the inlet of the nozzle 41 and overlapping the connecting flow path 54, but as shown in FIGS. 10C and 10D, the protrusion 43 is formed. The 43 may be formed in a region outside the inlet of the nozzle 41 on the connecting flow path 54 side and not overlapping the connecting flow path 54. By doing so, as in the cases of FIGS. 10C and 10D, by adjusting the amount of the adhesive 70, the amount of the adhesive 70 protruding from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b can be reduced, and the contact can be made. The flow of ink from the flow path 54 to the nozzle 41 can be more stabilized.

なお、図10(c)、(d)の変更例では、突部43の上面が上部材40aの下面に当接するため、接合の際に上部材40aに下方向の圧力を付与しても、上部材40aと下部材40bとの間の隙間が突部43の高さよりも小さくなることがない。よって、この変更例では、必ずしも接着剤70に粒子71を含有させる必要がなく、突部43によって、接着剤70が無制限に上部材40aと下部材40bとの隙間から押し出されることが抑制され得る。 In the modified examples of FIGS. 10 (c) and 10 (d), the upper surface of the protrusion 43 abuts on the lower surface of the upper member 40a, so that even if a downward pressure is applied to the upper member 40a at the time of joining, the upper member 40a may be subjected to downward pressure. The gap between the upper member 40a and the lower member 40b is not smaller than the height of the protrusion 43. Therefore, in this modification, it is not always necessary to include the particles 71 in the adhesive 70, and the protrusion 43 can prevent the adhesive 70 from being pushed out from the gap between the upper member 40a and the lower member 40b indefinitely. ..

また、上記実施形態1では、凹部42のみが下部材40bに形成され、上記実施形態2では、突部43のみが下部材40bに形成されたが、図11(a)、(b)に示すように、凹部42と突部43の両方が、下部材40bに形成されてもよい。こうすると、余分な接着剤70を凹部42に溜めつつ突部43でブロックできるので、ノズル41に対するインクの流れ込みをより確実に抑止することができる。 Further, in the first embodiment, only the recess 42 is formed in the lower member 40b, and in the second embodiment, only the protrusion 43 is formed in the lower member 40b, which are shown in FIGS. 11A and 11B. As described above, both the recess 42 and the protrusion 43 may be formed in the lower member 40b. By doing so, the excess adhesive 70 can be blocked by the protrusion 43 while being accumulated in the recess 42, so that the inflow of ink to the nozzle 41 can be more reliably suppressed.

また、上記実施形態1、2では、凹部42または突部43が、ノズル41の入口の周りに1周だけ形成されたが、凹部42または突部43が、ノズル41の入口の周りに2周囲以上形成されてもよい。また、凹部42または突部43は、必ずしも1周に亘って連続的に繋がっていなくてもよく、1周の途中で僅かな隙間で分離されていてもよい。 Further, in the first and second embodiments, the recess 42 or the protrusion 43 is formed only once around the inlet of the nozzle 41, but the recess 42 or the protrusion 43 is formed around two circumferences around the inlet of the nozzle 41. The above may be formed. Further, the recess 42 or the protrusion 43 does not necessarily have to be continuously connected over one round, and may be separated by a slight gap in the middle of one round.

さらに、平面視における凹部42または突部43の形状は、必ずしもリング状でなくてもよく、正方形等の他の形状であってもよい。また、凹部42または突部43の断面形状は、必ずしも矩形でなくてもよく、三角形、台形、半円等の他の形状であってもよい。 Further, the shape of the recess 42 or the protrusion 43 in a plan view does not necessarily have to be a ring shape, and may be another shape such as a square. Further, the cross-sectional shape of the recess 42 or the protrusion 43 does not necessarily have to be rectangular, and may be another shape such as a triangle, a trapezoid, or a semicircle.

また、上記実施の形態では、複数の板状体411、412、413、414を重ねることにより、構造体40の上部材40aが構成されたが、構造体40の構成方法は、これに限定されるものではない。たとえば、図3に示す7つの板状体413のうち上側6つの板状体413が1つの部材により一体形成されてもよい。 Further, in the above embodiment, the upper member 40a of the structure 40 is constructed by stacking a plurality of plate-shaped bodies 411, 412, 413, 414, but the method of constructing the structure 40 is limited to this. It's not something. For example, of the seven plate-shaped bodies 413 shown in FIG. 3, the upper six plate-shaped bodies 413 may be integrally formed by one member.

この他、インクジェットヘッド1やアクチュエータ30の構成、および、メイン流路51、圧力室52、連絡流路53、54の形状や構成も、上記実施の形態のものに限定されるものではない。また、上記実施の形態では、一つのメイン流路に対してY軸方向に並ぶ2つのインク供給口30aからインクが供給されたが、一つのメイン流路に対して一つのインク供給口30aが設けられてもよい。 In addition, the configurations of the inkjet head 1 and the actuator 30, and the shapes and configurations of the main flow path 51, the pressure chamber 52, and the connecting flow paths 53 and 54 are not limited to those of the above embodiment. Further, in the above embodiment, ink is supplied from two ink supply ports 30a arranged in the Y-axis direction to one main flow path, but one ink supply port 30a is supplied to one main flow path. It may be provided.

本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。 The embodiments of the present invention can be appropriately modified in various ways within the scope of the technical idea shown in the claims.

1 … インクジェットヘッド
2 … インク供給部
30 … アクチュエータ
40a … 上部材(構造体)
40b … 下部材(板状部材)
41 … ノズル
42 … 凹部
43 … 突部
54 … 連絡流路
70 … 接着剤
71 … 粒子
1 ... Ink head 2 ... Ink supply unit 30 ... Actuator 40a ... Upper member (structure)
40b ... Lower member (plate-shaped member)
41 ... Nozzle 42 ... Recess 43 ... Protrusion 54 ... Communication flow path 70 ... Adhesive 71 ... Particles

Claims (6)

インクが充填される圧力室と、
前記圧力室に充填されたインクの圧力を変化させるアクチュエータと、
インクを吐出するためのノズルが形成された板状部材と、
前記圧力室と前記ノズルとを連結する連絡流路と、
前記連絡流路が形成され前記板状部材が接着される構造体と、
前記ノズルの周囲を囲むように前記板状部材の前記連絡流路側の面に設けられた凹部及び突部と、を備え、
前記凹部の一側面と前記突部の一側面は面一であり、
前記連絡流路は、前記ノズルの前記連絡流路側の入口よりも広くなっており、
前記凹部及び前記突部は、前記ノズルの前記入口の外側の、前記連絡流路に重なる領域に形成されている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
A pressure chamber filled with ink and
An actuator that changes the pressure of the ink filled in the pressure chamber,
A plate-shaped member on which a nozzle for ejecting ink is formed,
A communication flow path connecting the pressure chamber and the nozzle,
A structure in which the connecting flow path is formed and the plate-shaped member is adhered to the structure.
A recess and a protrusion provided on the surface of the plate-shaped member on the connecting flow path side so as to surround the periphery of the nozzle are provided.
One aspect of one side surface and the projection of the recess Ri flush der,
The connecting flow path is wider than the inlet of the nozzle on the connecting flow path side.
The recess and the protrusion are formed in a region outside the inlet of the nozzle and overlapping the connecting flow path.
An inkjet head that features that.
請求項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記凹部は、前記ノズルの前記連絡流路側の入口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
In the inkjet head according to claim 1 ,
The recess is formed at a position separated outward by a predetermined distance from the inlet of the nozzle on the connecting flow path side.
An inkjet head that features that.
請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記突部は、前記凹部よりも前記ノズルの入口側の位置に形成されている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
In the inkjet head according to claim 1 or 2 .
The protrusion is formed at a position closer to the inlet side of the nozzle than the recess.
An inkjet head that features that.
請求項1からのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記突部は、前記ノズルの前記連絡流路側の入口から所定の距離だけ外側に離間した位置に形成されている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
In the inkjet head according to any one of claims 1 to 3 .
The protrusion is formed at a position separated outward by a predetermined distance from the inlet of the nozzle on the connecting flow path side.
An inkjet head that features that.
請求項1からのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記板状部材を前記構造体に接着するための接着剤に、前記板状部材と前記構造体との間の間隔を所定距離に保つための粒子が含まれている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
In the inkjet head according to any one of claims 1 to 4 .
The adhesive for adhering the plate-shaped member to the structure contains particles for keeping the distance between the plate-shaped member and the structure at a predetermined distance.
An inkjet head that features that.
請求項1からのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給部と、を備える
ことを特徴とするインクジェット装置。
The inkjet head according to any one of claims 1 to 5 .
An inkjet device including an ink supply unit that supplies ink to the inkjet head.
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