JP2017142504A - 機能付きコンタクトレンズの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体素子を備えることで様々な利便性を有する機能付きコンタクトレンズの製造方法を提供する。
【解決手段】駆動電力を与える電源層を含み、瞳孔に光を導くことが可能な絞り透明部を形成した半導体素子を製造する半導体素子製造工程と、コンタクトレンズの内部に半導体素子を設ける成形工程と、を有し、成形工程では、眼球に接する部材と眼球に接しない部材とでコンタクトレンズを構成し、眼球に接する部材と眼球に接しない部材との間の瞳に対向する位置に半導体素子を設け、眼球に接しない部材は、眼球に接する部材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性を有し、半導体素子によりレンズ中心に絞り透明部を形成する。
【選択図】図19
【解決手段】駆動電力を与える電源層を含み、瞳孔に光を導くことが可能な絞り透明部を形成した半導体素子を製造する半導体素子製造工程と、コンタクトレンズの内部に半導体素子を設ける成形工程と、を有し、成形工程では、眼球に接する部材と眼球に接しない部材とでコンタクトレンズを構成し、眼球に接する部材と眼球に接しない部材との間の瞳に対向する位置に半導体素子を設け、眼球に接しない部材は、眼球に接する部材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性を有し、半導体素子によりレンズ中心に絞り透明部を形成する。
【選択図】図19
Description
この発明は、様々な利便性を有する機能付きコンタクトレンズの製造方法に関する。
人が加齢するにしたがって、眼は比較的近くの物体に焦点を合わせるために生来の水晶体が硬くなったり調節力が低くなる。このような状態は、老眼として知られており、典型的には加齢した患者は、老眼、乱視、近視、および遠視のさまざまな組合せを有し、特に、老眼を有する患者の視力を矯正することは難しく、この課題を解決するためのさまざまな方法が長年に亘って示唆されてきた。
ひとつの公知の方法は、凸面および反対側の凹面を有し、凸面および凹面の一方が交互に配置された遠用度数と近用度数の部分を含み、ひとつ以上の遠用度数の部分が円柱度数を有する、眼用レンズを含むコンタクトレンズを用いるものがある(特許文献1)。
また、コンタクトレンズには、例えばコンタクトレンズに電気駆動部が設けられ、この電気駆動部と視界検出器が電子通信接続され、電気駆動部は、視力補正のための少なくとも1つの焦点距離を与えるものがある(特許文献2)。
このように、コンタクトレンズを用いて視力補正を行うものがあるが、コンタクトレンズに半導体素子を設けることで、精密な寸法精度、精密な位置精度、鮮明な輪郭のピンホールが得られ、さらに視力補正以外にコンタクトレンズに様々な利便性を与えることが可能になる。
この発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、半導体素子を備えることで様々な利便性を有する機能付きコンタクトレンズの製造方法を提供することを目的とする。
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。
請求項1に記載の発明は、駆動電力を与える電源層を含み、
瞳孔に光を導くことが可能な絞り透明部を形成した半導体素子を製造する半導体素子製造工程と、
コンタクトレンズの内部に前記半導体素子を設ける成形工程と、を有し、
前記成形工程では、
眼球に接する部材と眼球に接しない部材とでコンタクトレンズを構成し、
前記眼球に接する部材と前記眼球に接しない部材との間の瞳に対向する位置に前記半導体素子を設け、
前記眼球に接しない部材は、前記眼球に接する部材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性を有し、
前記半導体素子によりレンズ中心に絞り透明部を形成することを特徴とする機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
瞳孔に光を導くことが可能な絞り透明部を形成した半導体素子を製造する半導体素子製造工程と、
コンタクトレンズの内部に前記半導体素子を設ける成形工程と、を有し、
前記成形工程では、
眼球に接する部材と眼球に接しない部材とでコンタクトレンズを構成し、
前記眼球に接する部材と前記眼球に接しない部材との間の瞳に対向する位置に前記半導体素子を設け、
前記眼球に接しない部材は、前記眼球に接する部材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性を有し、
前記半導体素子によりレンズ中心に絞り透明部を形成することを特徴とする機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
請求項2に記載の発明は、前記成形工程では、
前記眼球に接しない部材に前記半導体素子を設けて前記眼球に接する部材にて覆うことを特徴とする請求項1に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
前記眼球に接しない部材に前記半導体素子を設けて前記眼球に接する部材にて覆うことを特徴とする請求項1に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
請求項3に記載の発明は、前記成形工程では、
前記眼球に接しない部材と前記眼球に接する部材の間に前記半導体素子を挟み込み接合することを特徴とする請求項1に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
前記眼球に接しない部材と前記眼球に接する部材の間に前記半導体素子を挟み込み接合することを特徴とする請求項1に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
請求項4に記載の発明は、前記眼球に接しない部材は、ポリアクリル酸(PAA)表面複合体、または炭化水素コートまたはポリマーコート、またはポリマー性カーボン第1コートであることを特徴とする請求項1に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
請求項5に記載の発明は、前記電源層は、
光量を電気に変換して発電する発電部と、
前記発電部で得た電力を蓄電するバッテリー部と、を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
光量を電気に変換して発電する発電部と、
前記発電部で得た電力を蓄電するバッテリー部と、を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。
請求項1乃至請求項5に記載の発明では、瞳孔に光を導くことが可能なコンタクトレンズに半導体素子を設けることで、様々な利便性を有する機能付きコンタクトレンズを得ることができる。
以下、この発明の機能付きコンタクトレンズの製造方法の実施の形態について説明する。この発明の実施の形態は、発明の最も好ましい形態を示すものであり、この発明はこれに限定されない。
[機能付きコンタクトレンズ]
(第1の実施の形態)
この実施の形態を、図1乃至図5に基づいて説明する。図1は機能付きコンタクトレンズの使用を示す図、図2は半導体素子の構成を説明する図、図3はピエゾ素子の制御を説明する図、図4はシャッターの作動を説明する図、図5は電源層の構成を説明する図である。
(第1の実施の形態)
この実施の形態を、図1乃至図5に基づいて説明する。図1は機能付きコンタクトレンズの使用を示す図、図2は半導体素子の構成を説明する図、図3はピエゾ素子の制御を説明する図、図4はシャッターの作動を説明する図、図5は電源層の構成を説明する図である。
この実施の形態の機能付きコンタクトレンズ1は、瞳孔に光を導くことが可能なコンタクトレンズであり、機能付きコンタクトレンズ1に半導体素子2を設け、半導体素子2は、制御情報により機能する機能層11と、外部機器と通信可能な通信層12と、機能層11及び通信層12を制御する制御層13と、機能層11、通信層12及び制御層13に電力を与える電源層14と、を含む。
機能層11は、瞳孔への光量を調整するシャッター11aと、シャッター11aを駆動するピエゾ素子11bと、を有する。シャッター11aは、MEMS(メムス、Micro Electro Mechanical Systems)で製作され、可動式のシャッターである。ピエゾ素子11bは、シャッター11aを開閉可能に充填され、ピエゾ素子材料として、ベルリナイト、チタン酸バリウム、ポリフッ化ビニリデン、ガリウム砒素などを用いることができる。
通信層12は、外部機器100と無線により通信可能であり、外部機器100としてはパソコン、医療専用機器などである。
制御層13は、記憶部13a、制御部13bを有し、記憶部13aは機能層11及び通信層12を制御するためのデータをRAMに記憶しており、また機能層11から得られたデータをROMに記憶し、外部機器100へ送信する。
制御部13bは、外部機器100よりの操作情報を通信層12を介して得て、ピエゾ素子11bを制御し、シャッター11aを駆動し、瞳孔への光量を調整する。すなわち、OFF時には、ピエゾ素子11bは、収縮してシャッター11aは開いており、瞳孔の受光を妨げないであり、ON時には、ピエゾ素子11bは膨張してシャッター11aが瞳孔への光量を調整し、受光をピンポイントにする。
このON、OFFの操作は、通信層12を活用して携帯電話等の外部機器100からの手動ON/OFF信号によって行い、受光量調整の操作は、ボタンやスイッチの押し回数によるデジタル信号によって行うようにしてもよい。また、電源層14で受光した受光量によって自動でON/OFFさせることも可能である。すなわち、受光量が少ない暗い場所ではOFFで収縮して開いて、多い明るい場所ではONで膨張して閉じるような形態である。また、「自動」、「手動」はユーザーが選択可能にし、選択動作は例えば外部機器100のPCから通信層12を通して行ってもよく、また購入時に設定するようにしてもよい。このように、ピエゾ素子11bに電圧を加えると収縮する性質を使用してシャッター11aを閉じることで瞳孔の光量を減らしてピンポイント効果により老眼矯正を行う。
電源層14は、光量を電気に変換して発電する発電部14aと、発電部14aで得た電力を蓄電するバッテリー部14bと、を有する。発電部14aは、例えばフォトダイオード14a1によって眼球に入る光量を電気に変換し、バッテリー部14bに蓄電する。フォトダイオード14a1の材料は、ガリウム砒素などの発光性半導体を使用することができ、形状はフラットではなく鋸刃形状にすることで光量の取り込み効率を上げることができる。また、フォトダイオード14a1の表面を薄い反射膜で覆うことでさらに光量の取り込み効率を上げることができる。
また、発電部14aは、例えばフォトダイオード14a1に送電コイル14a2と受電コイル14a3を接続し、送電コイル14a2に電流が流れることによって磁界が発生し、磁気的に結合している受電コイル14a3に流れる電流に影響し、この受電コイル14a3に誘導電流が発生する。この誘導電流は、それを作るコイルを貫く磁束の変化を妨げる向きに生じる。
したがって、眼が瞬きする際に、眼を閉じる最中は送電コイル14a2の電流が減少することによる磁界の変化を妨げる方向に受電コイル14a3の電流が発生する。眼を開く最中は送電コイル14a2の電流が増加することによる磁界の変化を妨げる方向に受電コイル14a3の電流が発生する。このように、眼から光を取り込んでいるときに、フォトダイオード14a1による発電を行うだけでなく、瞬きしているときにも電力供給を断たないようにすることができる。
また、この実施の形態の機能付きコンタクトレンズ1は、機能にエラーが発生したり、不慮の「バッテリー低下」等の事態の時に、そのステータスを外部機器100のPCまたは近くのサービス局に緊急送信でき、逆にサービス局からの情報案内を受信することもできる。
(第2の実施の形態)
この実施の形態を、図6乃至図8に基づいて説明する。図6は機能付きコンタクトレンズの使用を示す図、図7は半導体素子の構成を説明する図、図8は半導体素子の作動を説明する図である。
この実施の形態を、図6乃至図8に基づいて説明する。図6は機能付きコンタクトレンズの使用を示す図、図7は半導体素子の構成を説明する図、図8は半導体素子の作動を説明する図である。
この実施の形態の機能付きコンタクトレンズ1は、瞳孔に光を導くことが可能なコンタクトレンズであり、機能付きコンタクトレンズ1に半導体素子2を設け、半導体素子2は、制御情報により機能する機能層21と、外部機器100と通信可能な通信層22と、機能層21及び通信層22を制御する制御層23と、機能層21、通信層22及び制御層23に電力を与える電源層24と、を含む。
機能層21は、撮像する撮像素子21aを有し、制御層23は、撮像素子21aを制御し、この撮像素子21aにより得られた画像情報を外部機器100へ送信する。撮像素子21aは、CCDまたはCMOSが用いられ、画像を撮像し、この得られた画像データを通信層22により外部機器100へ無線により送信する。この外部機器100により画像の再生、保存、編集などを行う。撮像素子21aとしては、CCDよりも消費電力が少ないCMOSが好ましい。
通信層22は、外部機器100と無線により通信可能であり、外部機器100としてはパソコン、医療専用機器などである。また、通信層22を活用して携帯電話等からの外部機器100の手動ON/OFFで画像を撮像し、この得られた画像データを通信層22により携帯電話等の外部機器100へ無線により送信するようにしてもよい。
制御層23は、記憶部23a、制御部23bを有し、記憶部23aは機能層21及び通信層22を制御するためのデータをRAMに記憶しており、また機能層21から得られたデータをROMに記憶し、外部機器100へ送信する。この機能付きコンタクトレンズ1は、遠隔の手術、危険区域への立ち入り調査にも応用可能である。
また、この実施の形態の機能付きコンタクトレンズ1は、機能にエラーが発生したり、不慮の「バッテリー低下」等の事態の時に、そのステータスを外部機器100のPCまたは近くのサービス局に緊急送信でき、逆にサービス局からの情報案内を受信することもできる。
電源層24は、光量を電気に変換して発電する発電部24aと、発電部24aで得た電力を蓄電するバッテリー部24bと、を有し、第1の実施の形態と同様に構成される。
(第3の実施の形態)
この実施の形態を、図9乃至図11に基づいて説明する。図9は機能付きコンタクトレンズの使用を示す図、図10は半導体素子の構成を説明する図、図11は半導体素子の作動を説明する図である。
この実施の形態を、図9乃至図11に基づいて説明する。図9は機能付きコンタクトレンズの使用を示す図、図10は半導体素子の構成を説明する図、図11は半導体素子の作動を説明する図である。
この実施の形態の機能付きコンタクトレンズ1は、瞳孔に光を導くことが可能なコンタクトレンズであり、機能付きコンタクトレンズ1に半導体素子2を設け、半導体素子2は、制御情報により機能する機能層31と、外部機器100と通信可能な通信層32と、機能層31及び通信層32を制御する制御層33と、機能層31、通信層32及び制御層33に電力を与える電源層34と、を含む。
機能層31は、レーザーを発振するレーザー発振素子31aと、発振されたレーザーにより対称物90の位置情報を得るジャイロセンサ31bと、を有し、制御層33は、ジャイロセンサ31bを制御し、このジャイロセンサ31bにより得られた対称物90の位置情報を外部機器100に送信する。
通信層32は、外部機器100と無線により通信可能であり、外部機器100としてはパソコン、医療専用機器などである。
制御層33は、記憶部33a、制御部33bを有し、記憶部33aは機能層31及び通信層32を制御するためのデータをRAMに記憶しており、また機能層31から得られたデータをROMに記憶し、外部機器100へ送信する。
この機能付きコンタクトレンズ1では、パソコンの表示部の対称物90を直視し、操作機器100によってON操作することでレーザー発振素子31aによりパソコンの表示部の対称物90へレーザーを発振する。このレーザーによってパソコンの表示部ではレーザーを受けた対称物90の部分が励起し、エネルギー準位が上がる。このようにエネルギー準位が上がることによってジャイロセンサ31bで対称物90の位置情報を得る。制御層33では、ジャイロセンサ31bを制御し、このジャイロセンサ31bにより得られた対称物90の位置情報を通信層32によって外部機器100に送信し、パソコンの操作などに不自由がある場合でもマウス代わりの操作に用いることができる。また、制御層33では、機能にエラーが発生したり、不慮の「バッテリー低下」等の事態の時に、そのステータスを外部機器100のPCまたは近くのサービス局に緊急送信でき、逆にサービス局からの情報案内を受信することもできる。
電源層34は、光量を電気に変換して発電する発電部34aと、発電部34aで得た電力を蓄電するバッテリー部34bと、を有し、第1の実施の形態と同様に構成される。
(第4の実施の形態)
この実施の形態では、第1の実施の形態、第2の実施の形態、第3の実施の形態の3形態を任意に組み合わせてもよく、また3形態を全て備えてもよい。
この実施の形態では、第1の実施の形態、第2の実施の形態、第3の実施の形態の3形態を任意に組み合わせてもよく、また3形態を全て備えてもよい。
[機能付きコンタクトレンズの製造方法]
(第1の実施の形態)
この実施の形態を、図12乃至図18に基づいて説明する。図12は機能付きコンタクトレンズの製造工程を説明する図、図13及び図14は半導体素子製造工程を説明する図、図15はフォトリソグラフィー工程でのウェハーの状態を示す図、図16は機能付きコンタクトレンズの製造工程を説明する図、図17は機能付きコンタクトレンズを示す図、図18は機能付きコンタクトレンズの実施形態を示す図である。この実施の形態の機能付きコンタクトレンズの製造方法は、半導体素子製造工程A1、レンズ成形工程A2、カバー工程A3とを有し、半導体素子2によりレンズ中心に絞り透明部3を形成する。
(第1の実施の形態)
この実施の形態を、図12乃至図18に基づいて説明する。図12は機能付きコンタクトレンズの製造工程を説明する図、図13及び図14は半導体素子製造工程を説明する図、図15はフォトリソグラフィー工程でのウェハーの状態を示す図、図16は機能付きコンタクトレンズの製造工程を説明する図、図17は機能付きコンタクトレンズを示す図、図18は機能付きコンタクトレンズの実施形態を示す図である。この実施の形態の機能付きコンタクトレンズの製造方法は、半導体素子製造工程A1、レンズ成形工程A2、カバー工程A3とを有し、半導体素子2によりレンズ中心に絞り透明部3を形成する。
「半導体素子製造工程A1」
この半導体素子製造工程A1において、機能付きコンタクトレンズ1の第1の実施の形態乃至第4の実施の形態において説明した制御情報により機能する機能層と、外部機器と通信可能な通信層と、機能層及び通信層を制御する制御層と、機能層、通信層及び制御層に電力を与える電源層とを含む半導体素子2を製造する。
この半導体素子製造工程A1において、機能付きコンタクトレンズ1の第1の実施の形態乃至第4の実施の形態において説明した制御情報により機能する機能層と、外部機器と通信可能な通信層と、機能層及び通信層を制御する制御層と、機能層、通信層及び制御層に電力を与える電源層とを含む半導体素子2を製造する。
この半導体素子製造では、インゴット引き上げ・切断、ウェハーの研磨、ウェハーの表面を酸化、フォトレジスト塗布、ウェハー表面にパターン形成、エッチング、酸化・拡散・CVD・イオン注入、平坦化(CMP)、電極形成、ウェハー検査を行う。
<インゴット引き上げ・切断>
半導体材料を薄く切り出した円盤をウェハーと呼び、ICの基板として利用する。ウェハーの作成手順は原料となる高純度のシリコンの種から単結晶の塊(インゴット)を結晶成長させ、必要な太さの単結晶体棒(インゴット)をつくる。上下端を切り落としたのち、インゴットをダイヤモンドブレードで1枚づつ円盤状に切断する。
半導体材料を薄く切り出した円盤をウェハーと呼び、ICの基板として利用する。ウェハーの作成手順は原料となる高純度のシリコンの種から単結晶の塊(インゴット)を結晶成長させ、必要な太さの単結晶体棒(インゴット)をつくる。上下端を切り落としたのち、インゴットをダイヤモンドブレードで1枚づつ円盤状に切断する。
<ウェハーの研磨>
仕上げとしてウェハー表面を鏡面状に研磨・洗浄する。
仕上げとしてウェハー表面を鏡面状に研磨・洗浄する。
<ウェハーの表面を酸化>
ウェハー上に回路パターンを形成する。 まずはトランジスタのゲート絶縁膜、配線層間の絶縁膜形成のために高温炉(900℃〜1,100℃)にウェハーを挿入して酸素または水蒸気をシリコンと反応させることでウェハー表面に酸化膜を成長させる(熱酸化法)。図15(1)を参照。
ウェハー上に回路パターンを形成する。 まずはトランジスタのゲート絶縁膜、配線層間の絶縁膜形成のために高温炉(900℃〜1,100℃)にウェハーを挿入して酸素または水蒸気をシリコンと反応させることでウェハー表面に酸化膜を成長させる(熱酸化法)。図15(1)を参照。
<フォトレジスト塗布>
パターン形成手順ではフォトマスクを通して光を照射する「フォトリソグラフィー」の手法が用いられるので、これに備えてフォトレジストという樹脂をウェハー全体に極めて薄く均一に塗布して感光性を持たせる。図15(2)を参照。
パターン形成手順ではフォトマスクを通して光を照射する「フォトリソグラフィー」の手法が用いられるので、これに備えてフォトレジストという樹脂をウェハー全体に極めて薄く均一に塗布して感光性を持たせる。図15(2)を参照。
<ウェハー表面にパターン形成>
ウェハーにフォトマスクを重ねて光を照射し、回路図を転写する。 ウェハーとマスクの位置を合わせ、マスク上から紫外線を照射する。 フォトマスクにマスクされていない部分のみ紫外線が透過してフォトレジストが化学的に変化する。 フォトレジストは「露光工程」の特にマスクしていない回路の部分のみ化学反応を起こして現像液に溶ける構造になっている(ポジ式)。現像液が露光により化学変化した部分のフォトレジストを溶かし、現像の後、ウェハー表面にマスクパターン通りにフォトレジストが残る(レジストパターン)。図15(3),(4)を参照。
ウェハーにフォトマスクを重ねて光を照射し、回路図を転写する。 ウェハーとマスクの位置を合わせ、マスク上から紫外線を照射する。 フォトマスクにマスクされていない部分のみ紫外線が透過してフォトレジストが化学的に変化する。 フォトレジストは「露光工程」の特にマスクしていない回路の部分のみ化学反応を起こして現像液に溶ける構造になっている(ポジ式)。現像液が露光により化学変化した部分のフォトレジストを溶かし、現像の後、ウェハー表面にマスクパターン通りにフォトレジストが残る(レジストパターン)。図15(3),(4)を参照。
<エッチング>
エッチングで部分的に酸化膜を除去し、その後に不要なレジストも取り除く。エッチングとはレジストパターンをマスクにして酸化膜や金属膜などを物理的または化学的に加工することであり、薬液を用いるウェットエッチング、ガスによるドライエッチングがある。 酸化膜は薬品中で、金属膜はプラズマ状態の中に置くことでエッチングされる。図15(5),(6)を参照。
エッチングで部分的に酸化膜を除去し、その後に不要なレジストも取り除く。エッチングとはレジストパターンをマスクにして酸化膜や金属膜などを物理的または化学的に加工することであり、薬液を用いるウェットエッチング、ガスによるドライエッチングがある。 酸化膜は薬品中で、金属膜はプラズマ状態の中に置くことでエッチングされる。図15(5),(6)を参照。
<酸化・拡散・CVD・イオン注入>
まず、素子間を電気的に分離するために素子が形成される活性領域の周囲に素子間分離層(フィールド酸化膜)を形成する。 シリコン基板上に酸化膜および窒化膜を成長させた後、素子間分離層となる領域にレジストパターンを形成し、それをマスクにしてイオン注入を行い、P型の拡散層を形成する。次にその拡散層上の酸化膜および窒化膜をエッチングし、窒化膜のパターンをマスクにして素子間分離層となる酸化膜を成長させる。 素子が形成される活性領域上に残った窒化膜と酸化膜はエッチングする。この様にウェハーにイオンを注入(ボロン・リン)や高温拡散を行うとシリコンの出ている部分だけが半導体となる。図15(7)〜(12)を参照。
まず、素子間を電気的に分離するために素子が形成される活性領域の周囲に素子間分離層(フィールド酸化膜)を形成する。 シリコン基板上に酸化膜および窒化膜を成長させた後、素子間分離層となる領域にレジストパターンを形成し、それをマスクにしてイオン注入を行い、P型の拡散層を形成する。次にその拡散層上の酸化膜および窒化膜をエッチングし、窒化膜のパターンをマスクにして素子間分離層となる酸化膜を成長させる。 素子が形成される活性領域上に残った窒化膜と酸化膜はエッチングする。この様にウェハーにイオンを注入(ボロン・リン)や高温拡散を行うとシリコンの出ている部分だけが半導体となる。図15(7)〜(12)を参照。
<平坦化(CMP)>
ウェハーの表面を研磨し、パターンの凹凸を平坦化する。
ウェハーの表面を研磨し、パターンの凹凸を平坦化する。
<電極形成>
不活性ガスプラズマによりアルミターゲットをスパッタリングしてウェハー表面に電極配線用のアルミ金属膜を形成する。
不活性ガスプラズマによりアルミターゲットをスパッタリングしてウェハー表面に電極配線用のアルミ金属膜を形成する。
<ウェハー検査>
完成したウェハー上の各ICをテスターで電気的に検査する。 ICチップのボンディングパッド(電極)にテスターからプローバをと呼ばれる探針を用いて電気信号を送り、ICチップの動作の良否を判定する。
完成したウェハー上の各ICをテスターで電気的に検査する。 ICチップのボンディングパッド(電極)にテスターからプローバをと呼ばれる探針を用いて電気信号を送り、ICチップの動作の良否を判定する。
そして、半導体素子の積層には、ワイヤーボンディング、ハンダバンプ、シリコン貫通電極、無線電磁結合などの技術を用いる。
「レンズ成形工程A2」
このレンズ成形工程A2では、コンタクトレンズを成形するための金型50にレンズ素材51を充填する。金型50は、成形するコンタクトレンズの形状に形成されており、レンズ素材51としては、公知の種々の材料が利用可能であり、酸素非透過性ハードコンタクトレンズのMMA(メタルメタクリレート)、酸素透過性ハードコンタクトレンズのSMA(シロキサニルメタクリレート)やFMA(フルオロメタクリレート)、含水性ソフトコンタクトレンズのHEMA(ハイドロキシエチルメタクリレート),N−VP(N−ビニルピロリドン),DMAA(ジメチルアクリアミド),GMA(グリセロールメタクリレート)、非含水性ソフトコンタクトレンズのシリコンラバー,ブチルアクリレート,ジメチルシロキサン、生体親和性コンタクトレンズのコラーゲン,アミノ酸共重合体などに適用できる。
このレンズ成形工程A2では、コンタクトレンズを成形するための金型50にレンズ素材51を充填する。金型50は、成形するコンタクトレンズの形状に形成されており、レンズ素材51としては、公知の種々の材料が利用可能であり、酸素非透過性ハードコンタクトレンズのMMA(メタルメタクリレート)、酸素透過性ハードコンタクトレンズのSMA(シロキサニルメタクリレート)やFMA(フルオロメタクリレート)、含水性ソフトコンタクトレンズのHEMA(ハイドロキシエチルメタクリレート),N−VP(N−ビニルピロリドン),DMAA(ジメチルアクリアミド),GMA(グリセロールメタクリレート)、非含水性ソフトコンタクトレンズのシリコンラバー,ブチルアクリレート,ジメチルシロキサン、生体親和性コンタクトレンズのコラーゲン,アミノ酸共重合体などに適用できる。
この他、コンタクトレンズ用の重合性モノマーとしては、一般的に用いられるラジカル重合可能な化合物が考えられ、例えばビニル基、アリル基、アクリル基、またはメタクリル基を分子中に1個以上含む化合物で、通常ハードコンタクトレンズまたはソフトコンタクトレンズ材料として使用されている物質ならばどのようなものでも利用可能である。具体的には、アルキルアクリレート、シロキサニルアクリレート、フルオロアルキルアクリレート、ヒドロキシアルキルアクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ビニルアクリレート等のアクリル酸エステル類、スチレンの誘導体、N−ビニルラクタム、(多価)カルボン酸ビニル等のビニル化合物等を考えることができる。さらに具体的には、例えば、スチレン、アクリル酸、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−ブチルアクリレート、フェニルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、メタクリル酸、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルメタクリレート、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、フマル酸およびそれらのエステル類、メタクリロニトリル、N,N−ジメチルアクリルアミド、N−ビニル−2−ピロリドン等を用いることが可能である。
さらに架橋剤として、エチレングリコールジメタアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、グリセリンジアクリレート、ジビニルベンゼンジアリルフタレート、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート等の多官能モノマーを用いることができる。
また、ポリマーとしては、特に、官能基(例えばヒドロキシル基)をポリマー鎖上に含むか、官能基(例えばイミノ基)をポリマー鎖中に含むか、又は架橋基を介してポリマー骨格に結合した官能基を含む原料ポリマーに基づくポリマーを用いることができる。これら原料ポリマーは、特に、ポリビニルアルコールのような1,2−及び/又は1,3−ジオール構造を有するポリヒドロキシル化合物、又は酢酸ビニルの加水分解されたコポリマー(例えば、塩化ビニル、N−ビニルピロリドンなどとのコポリマー)である。
「カバー工程A3」
カバー工程A3は、充填されたレンズ素材51に半導体素子2を位置させる。半導体素子2は、コンタクトレンズのレンズ中心に精密に位置させる。半導体素子2を覆うようにカバー材52をレンズ素材51に設ける。カバー材52としては、レンズ素材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性はあり滑らであることが好ましく、ポリアクリル酸(PAA)表面複合体、または炭化水素コートまたはポリマーコート、またはポリマー性カーボン第1コートなどを用いることができる。
カバー工程A3は、充填されたレンズ素材51に半導体素子2を位置させる。半導体素子2は、コンタクトレンズのレンズ中心に精密に位置させる。半導体素子2を覆うようにカバー材52をレンズ素材51に設ける。カバー材52としては、レンズ素材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性はあり滑らであることが好ましく、ポリアクリル酸(PAA)表面複合体、または炭化水素コートまたはポリマーコート、またはポリマー性カーボン第1コートなどを用いることができる。
このようにして、コンタクトレンズ1に半導体素子2を設け、この半導体素子2によりレンズ中心に着色しない円形の絞り透明部3を、精密な寸法精度、精密な位置精度、鮮明な輪郭で形成することが可能である。
<機能付きコンタクトレンズ>
この機能付きコンタクトレンズ1は、図17に示すように、コンタクトレンズを成形するための金型に充填されたレンズ素材51に半導体素子2を位置させ、この半導体素子2を覆うようにカバー材52をレンズ素材51に設け、半導体素子2によりレンズ中心に着色しない円形の絞り透明部3を形成した構成である。
この機能付きコンタクトレンズ1は、図17に示すように、コンタクトレンズを成形するための金型に充填されたレンズ素材51に半導体素子2を位置させ、この半導体素子2を覆うようにカバー材52をレンズ素材51に設け、半導体素子2によりレンズ中心に着色しない円形の絞り透明部3を形成した構成である。
この機能付きコンタクトレンズ1は、図18に示すように形成することができる。実施形態1(図18(a))は、外周が円形のコンタクトレンズで、半導体素子2の中心は円形であり、外周は6角形であり、円形が絞り透明部3である。実施形態2(図18(b))は、外周が円形のコンタクトレンズで、半導体素子2の部分の中心は円形であり、外周は円形であり、円形が絞り透明部3である。実施形態3(図18(c))は、外周が円形のコンタクトレンズで、半導体素子2には19個の円形があり、外周は円形であり、19個の円形が絞り透明部3である。実施形態4(図18(d))は、外周が円形のコンタクトレンズで、半導体素子2の部分の中心は星形であり、外周は24角形であり、星形が絞り透明部3である。実施形態5(図18(e))は、外周が6角形のコンタクトレンズで、半導体素子2の中心は円形であり、外周は6角形であり、円形が絞り透明部3である。実施形態6(図18(f))は、外周がハート形のコンタクトレンズで、半導体素子2の中心は円形であり、外周は円形であり、円形が絞り透明部3である。この実施形態1乃至実施形態6に示す老眼矯正コンタクトレンズの形状、半導体素子2の形状は、1例であり、形状の組合せはこの限りでない。
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態の機能付きコンタクトレンズの製造方法を、図19乃至図22に基づいて説明する。図19は機能付きコンタクトレンズの製造工程を説明する図、図20はスピンキャスティング法を説明する図、図21はモールディング法を説明する図、図22はレースカット法を説明する図である。
第2の実施の形態の機能付きコンタクトレンズの製造方法を、図19乃至図22に基づいて説明する。図19は機能付きコンタクトレンズの製造工程を説明する図、図20はスピンキャスティング法を説明する図、図21はモールディング法を説明する図、図22はレースカット法を説明する図である。
この実施の形態の機能付きコンタクトレンズの製造は、図19に示すように、半導体素子製造工程B1、レンズ成形工程B2、挟込接合工程B3とを有し、半導体素子2によりレンズ中心に絞り透明部3を形成する。
「半導体素子製造工程B1」
半導体素子製造工程B1は、第1の実施の形態の半導体素子製造工程A1と同様に構成されるから説明を省略する。
「レンズ成形工程B2」
レンズ成形工程B2では、一対の分割コンタクトレンズを成形する。この分割コンタクトレンズの製造方法としては、回転するモールドの中にコンタクトレンズのレンズ素材を注入して遠心力によってこれを拡げて重合するスピンキャスティング法(図20)、凹型にコンタクトレンズのレンズ素材を流し込んで凸型を合わせて成型するモールディング法(図21)などが知られている。 また、近年では、前面を型により形成し後面をレースカットする製造方法や、その逆に後面を型により形成して前面をレースカットするレースカット製法(図22)などがあり、このようなコンタクトレンズの製造方法のいずれも採用することができる。
半導体素子製造工程B1は、第1の実施の形態の半導体素子製造工程A1と同様に構成されるから説明を省略する。
「レンズ成形工程B2」
レンズ成形工程B2では、一対の分割コンタクトレンズを成形する。この分割コンタクトレンズの製造方法としては、回転するモールドの中にコンタクトレンズのレンズ素材を注入して遠心力によってこれを拡げて重合するスピンキャスティング法(図20)、凹型にコンタクトレンズのレンズ素材を流し込んで凸型を合わせて成型するモールディング法(図21)などが知られている。 また、近年では、前面を型により形成し後面をレースカットする製造方法や、その逆に後面を型により形成して前面をレースカットするレースカット製法(図22)などがあり、このようなコンタクトレンズの製造方法のいずれも採用することができる。
「挟込接合工程B3」
挟込接合工程B3では、一対の分割コンタクトレンズの間に半導体素子2を挟み込む接合する。この接合は、一対の分割コンタクトレンズの間に半導体素子2を挟み込み貼り付ける。
挟込接合工程B3では、一対の分割コンタクトレンズの間に半導体素子2を挟み込む接合する。この接合は、一対の分割コンタクトレンズの間に半導体素子2を挟み込み貼り付ける。
このようにして、機能付きコンタクトレンズ1に環状の半導体素子2を設け、この半導体素子2によりレンズ中心に着色しない円形の絞り透明部3を、精密な寸法精度、精密な位置精度、鮮明な輪郭で形成することが可能である。
(第3の実施の形態)
第3の実施の形態の機能付きコンタクトレンズの製造方法を、図23に基づいて説明する。図23は機能付きコンタクトレンズの製造工程を説明する図である。
第3の実施の形態の機能付きコンタクトレンズの製造方法を、図23に基づいて説明する。図23は機能付きコンタクトレンズの製造工程を説明する図である。
この実施の形態の機能付きコンタクトレンズの製造は、図23に示すように、半導体素子製造工程C1、レンズ成形工程C2、カバー工程C3とを有し、機能付きコンタクトレンズ1に半導体素子2を設け、このレンズ中心に着色しない円形の絞り透明部3を形成する。
「半導体素子製造工程C1」
半導体素子製造工程C1は、第1の実施の形態の半導体素子製造工程A1と同様に構成されるから説明を省略する。
半導体素子製造工程C1は、第1の実施の形態の半導体素子製造工程A1と同様に構成されるから説明を省略する。
「レンズ成形工程C2」
レンズ成形工程C2では、コンタクトレンズを成形する。このコンタクトレンズは、第2の実施の形態と同様に製造する。
レンズ成形工程C2では、コンタクトレンズを成形する。このコンタクトレンズは、第2の実施の形態と同様に製造する。
「カバー工程C3」
カバー工程C3では、コンタクトレンズに半導体素子2を設けてカバー材53にて覆う。カバー材53として、レンズ素材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性があり滑らである部材が好ましく、例えばポリアクリル酸(PAA)表面複合体、または炭化水素コートまたはポリマーコート、またはポリマー性カーボン第1コートなどを用いる。
カバー工程C3では、コンタクトレンズに半導体素子2を設けてカバー材53にて覆う。カバー材53として、レンズ素材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性があり滑らである部材が好ましく、例えばポリアクリル酸(PAA)表面複合体、または炭化水素コートまたはポリマーコート、またはポリマー性カーボン第1コートなどを用いる。
このようにして、機能付きコンタクトレンズ1に半導体素子2を設け、この半導体素子2によりレンズ中心に着色しない円形の絞り透明部3を、精密な寸法精度、精密な位置精度、鮮明な輪郭で形成することが可能である。
この発明は、様々な利便性を有する機能付きコンタクトレンズの製造方法である。
1 機能付きコンタクトレンズ
2 半導体素子
3 絞り透明部
11,21,31 機能層
12,22,32 通信層
13,23,33 制御層
14,24,34 電源層
A1,B1,C1 半導体素子製造工程
A2,B2,C2 レンズ成形工程
A3,C3 カバー工程
B3 挟込接合工程
2 半導体素子
3 絞り透明部
11,21,31 機能層
12,22,32 通信層
13,23,33 制御層
14,24,34 電源層
A1,B1,C1 半導体素子製造工程
A2,B2,C2 レンズ成形工程
A3,C3 カバー工程
B3 挟込接合工程
Claims (5)
- 駆動電力を与える電源層を含み、
瞳孔に光を導くことが可能な絞り透明部を形成した半導体素子を製造する半導体素子製造工程と、
コンタクトレンズの内部に前記半導体素子を設ける成形工程と、を有し、
前記成形工程では、
眼球に接する部材と眼球に接しない部材とでコンタクトレンズを構成し、
前記眼球に接する部材と前記眼球に接しない部材との間の瞳に対向する位置に前記半導体素子を設け、
前記眼球に接しない部材は、前記眼球に接する部材のモノマーまたはポリマーよりも親水性、生体適合性を有し、
前記半導体素子によりレンズ中心に絞り透明部を形成することを特徴とする機能付きコンタクトレンズの製造方法。 - 前記成形工程では、
前記眼球に接しない部材に前記半導体素子を設けて前記眼球に接する部材にて覆うことを特徴とする請求項1に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法。 - 前記成形工程では、
前記眼球に接しない部材と前記眼球に接する部材の間に前記半導体素子を挟み込み接合することを特徴とする請求項1に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法。 - 前記眼球に接しない部材は、ポリアクリル酸(PAA)表面複合体、または炭化水素コートまたはポリマーコート、またはポリマー性カーボン第1コートであることを特徴とする請求項1に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法。
- 前記電源層は、
光量を電気に変換して発電する発電部と、
前記発電部で得た電力を蓄電するバッテリー部と、を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の機能付きコンタクトレンズの製造方法。
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