JP2017134110A - 分極反転素子、分極反転素子の製造方法及び分極反転素子の製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1の実施形態に係る分極反転素子の製造方法は、分極反転構造が形成された強誘電体結晶基板を有する分極反転素子の製造方法であって、図1に示すように、分極反転構造が形成された強誘電体結晶基板を準備するステップS1と、分極方向と垂直な強誘電体結晶基板の第1の主面において、分極反転構造に生じた分極反転欠陥を検出するステップS2と、第1の主面に対向する強誘電体結晶基板の第2の主面と検出された分極反転欠陥との間に選択的に修正電界を生じさせて、分極反転欠陥の分極方向を所定の方向に修正するステップS3とを含む。既に述べたように、分極反転欠陥は、分極反転構造のうちの分極方向が設定されていた所定の方向と異なる領域である。
本発明の第2の実施形態に係る分極反転素子の製造方法は、光学的方法によって分極反転欠陥を検出し、プローブ30を使用せずに分極反転欠陥を検出する点が第1の実施形態と異なる。これは、化学エッチングなどによって強誘電体結晶基板100の表面に形成された凹凸は、光学的方法によって観察することができるためである。
本発明の第3の実施形態に係る分極反転素子の製造方法は、以下に説明するように、分極反転欠陥を覆って配置した修正電極に修正電圧を印加することにより、分極反転欠陥の分極方向を所定の方向に修正する修正電界を生じさせる。つまり、プローブ30を使用せずに修正電界を生じさせる点が第1及び第2の実施形態と異なる。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…検出部
11…画像取得装置
20…修正部
21…電圧源
30…プローブ
31…駆動装置
100…強誘電体結晶基板
101…+Z面
102…−Z面
110…表面電極
120…裏面電極
130…平面電極
140…修正電極
Claims (12)
- 分極反転構造が形成された強誘電体結晶基板を有する分極反転素子の製造方法であって、
前記分極反転構造が形成された強誘電体結晶基板を準備するステップと、
分極方向と垂直な前記強誘電体結晶基板の第1の主面において、分極方向が所定の方向と異なる分極反転欠陥を検出するステップと、
前記第1の主面に対向する前記強誘電体結晶基板の第2の主面と検出された前記分極反転欠陥との間に選択的に修正電界を生じさせて、前記分極反転欠陥の分極方向を前記所定の方向に修正するステップと
を含むことを特徴とする分極反転素子の製造方法。 - 前記分極反転欠陥を検出するステップが、
分極方向の違いによって表面に高低差が生じるように前記強誘電体結晶基板の表面に凹凸を形成する段階と、
前記表面に形成された前記凹凸の形状を、前記分極反転欠陥のない場合に形成される標準パターンと比較し、前記凹凸の形状が前記標準パターンと異なる領域を前記分極反転欠陥として検出する段階と
を含むことを特徴とする請求項1に記載の分極反転素子の製造方法。 - 分極方向の違いによるエッチングレートの差を用いて、化学エッチングによって前記表面に前記凹凸を形成することを特徴とする請求項2に記載の分極反転素子の製造方法。
- 前記強誘電体結晶基板の前記表面をプローブによって走査することにより、前記表面に形成された前記凹凸の形状を取得することを特徴とする請求項2又は3に記載の分極反転素子の製造方法。
- 前記分極反転欠陥を検出した後、前記分極反転欠陥に接触させた前記プローブを介して前記分極反転欠陥に修正電圧を印加して、前記分極反転欠陥と前記第2の主面との間に前記修正電界を生じさせることを特徴とする請求項4に記載の分極反転素子の製造方法。
- 前記分極反転欠陥に接触させたプローブを介して前記分極反転欠陥に修正電圧を印加して、前記分極反転欠陥と前記第2の主面との間に前記修正電界を生じさせることを特徴とする請求項1に記載の分極反転素子の製造方法。
- 請求項2乃至5のいずれか1項に記載の分極反転素子の製造方法により製造され、分極方向が同一であり且つ平面レベルが異なる領域を有することを特徴とする分極反転素子。
- 分極反転構造が形成された強誘電体結晶基板を有する分極反転素子の製造に使用される製造装置であって、
前記強誘電体結晶基板を有する分極反転素子について、分極方向と垂直な前記強誘電体結晶基板の第1の主面において、分極方向が所定の方向と異なる分極反転欠陥を検出する検出部と、
前記第1の主面に対向する前記強誘電体結晶基板の第2の主面と検出された前記分極反転欠陥との間に選択的に修正電界を生じさせて、前記分極反転欠陥の分極方向を前記所定の方向に修正する修正部と
を備えることを特徴とする分極反転素子の製造装置。 - 前記検出部が、分極方向の違いによって高低差が生じるように表面に凹凸が形成された前記強誘電体結晶基板について、前記凹凸の形状を前記分極反転欠陥のない場合に形成される標準パターンと比較し、前記凹凸の形状が前記標準パターンと異なる領域を前記分極反転欠陥として検出することを特徴とする請求項8に記載の分極反転素子の製造装置。
- 前記強誘電体結晶基板の表面を走査するプローブを更に備え、
前記プローブによって前記強誘電体結晶基板の表面に形成された前記凹凸の形状を取得することを特徴とする請求項9に記載の分極反転素子の製造装置。 - 前記分極反転欠陥を検出した後、前記分極反転欠陥に接触させた前記プローブを介して前記分極反転欠陥に修正電圧を印加して、前記分極反転欠陥と前記第2の主面との間に前記修正電界を生じさせることを特徴とする請求項10に記載の分極反転素子の製造装置。
- 前記分極反転欠陥に接触させるプローブを更に有し、
前記プローブを介して前記分極反転欠陥に修正電圧を印加して、前記分極反転欠陥と前記第2の主面との間に前記修正電界を生じさせることを特徴とする請求項8に記載の分極反転素子の製造装置。
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JP2016011503A JP2017134110A (ja) | 2016-01-25 | 2016-01-25 | 分極反転素子、分極反転素子の製造方法及び分極反転素子の製造装置 |
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---|---|---|---|---|
WO2023209819A1 (ja) * | 2022-04-26 | 2023-11-02 | 日本電信電話株式会社 | 周期分極反転構造の検査方法 |
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-
2016
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