JP2017122865A - Peeling method for dust-proof body and peeling method for dust-proof body - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a peeling method and a peeling device for a dust-proof body capable of preventing an adhesive from remaining on a substrate.SOLUTION: A peeling method for a dust-proof body 2 is a method for peeling a dust-proof body 2 having a dust-proof sheet 4 secured on a frame body 3 from a glass substrate 1, and includes: a substrate holding step of holding the glass substrate 1; a frame body holding step of holding a first part 3a and a second part 3b of the frame body 3; a first peeling step of peeling the first part 3a of the frame body 3 held at the holding step from the glass substrate 1; and a second peeling step of peeling the second part 3b of the frame body 3 held at the frame body holding step from the glass substrate 1 after the first peeling step.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、基板に接着された防塵体の剥離方法、剥離装置に関するものである。   The present invention relates to a method and apparatus for peeling a dustproof body bonded to a substrate.

フォトマスクなどのガラス基板は、パターンに塵等の異物が付着してしまうのを防止するために、枠体に固定された防塵用シート（ペリクルフィルム）から構成される防塵体がその基板上に固定されている。
この防塵体は、フォトマスクのパターン面と防塵用シート間に塵等の異物が浸入してしまうのを防ぐために、枠体とガラス基板とが隙間なく接着剤により接着されている。この防塵体は、防塵体の交換や、貼り直し等の理由によりガラス基板から外される場合がある。この場合、枠体を固定している接着剤を加熱して軟化させてから、ガラス基板の面に対して垂直方向に防塵体を引き剥がすことが考えられる。しかし、この方法では、接着剤の一部がガラス基板上に残ってしまったり、剥離の際に軟化した接着剤が飛び散ってガラス基板に付着したりしてしまう場合があった。このように、ガラス基板側に接着剤が残ったり、付着したりしてしまうと、別な防塵体を貼付する前に、ガラス基板から接着剤を除去する工程が必要となり、貼り換え作業の工程が増えてしまう問題があった。 In order to prevent foreign substances such as dust from adhering to the pattern, a glass substrate such as a photomask has a dustproof body composed of a dustproof sheet (pellicle film) fixed to the frame on the substrate. It is fixed.
In this dustproof body, the frame body and the glass substrate are adhered to each other with an adhesive so as to prevent foreign matters such as dust from entering between the pattern surface of the photomask and the dustproof sheet. The dustproof body may be removed from the glass substrate for reasons such as replacement of the dustproof body or reattachment. In this case, it is conceivable that the dust-proof body is peeled off in the direction perpendicular to the surface of the glass substrate after the adhesive fixing the frame is heated and softened. However, in this method, a part of the adhesive may remain on the glass substrate, or the softened adhesive may scatter and adhere to the glass substrate during peeling. In this way, if the adhesive remains or adheres to the glass substrate side, a process of removing the adhesive from the glass substrate is required before attaching another dustproof body, and the process of the reworking operation There was a problem that increased.

ここで、このような防塵体をガラス基板から剥離する方法については様々な技術が提案されている（例えば、特許文献１）。特許文献１の発明は、加熱により接着剤を軟化させ、接着面と平行にガラス基板と防塵体とを相対的に回動することによって、ガラス基板から防塵体を剥離している。そのため、剥離の際に接着剤が飛び散ってしまうのを防ぐことができるが、剥離後にガラス基板側に接着剤が残ってしまう場合があり、ガラス基板の洗浄が必要になる場合があった。   Here, various techniques have been proposed for peeling such a dustproof body from the glass substrate (for example, Patent Document 1). In the invention of Patent Literature 1, the dust-proof body is peeled from the glass substrate by softening the adhesive by heating and relatively rotating the glass substrate and the dust-proof body in parallel with the bonding surface. For this reason, it is possible to prevent the adhesive from scattering during peeling, but the adhesive may remain on the glass substrate side after peeling, and the glass substrate may need to be cleaned.

特開２００８−３０４８８６号公報JP 2008-304886 A

本発明の課題は、接着剤が基板上に残存してしまうのを抑制することができる防塵体の剥離方法及び剥離装置を提供することである。   The subject of this invention is providing the peeling method and peeling apparatus of a dustproof body which can suppress that an adhesive agent remains on a board | substrate.

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。   The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this. In addition, the configuration described with reference numerals may be improved as appropriate, or at least a part thereof may be replaced with another configuration.

第１の発明は、枠体（３）に防塵用シート（４）が固定された防塵体（２）を基板（１）から剥離する防塵体の剥離方法であって、前記基板を保持する基板保持工程と、前記枠体の第１部分（３ａ）及び第２部分（３ｂ）を保持する枠体保持工程と、前記枠体保持工程によって保持された前記枠体の前記第１部分を前記基板から引き剥がす第１剥離工程と、前記第１剥離工程よりも後に、前記枠体保持工程によって保持された前記枠体の前記第２部分を前記基板から引き剥がす第２剥離工程と、を備える防塵体の剥離方法である。
第２の発明は、第１の発明の防塵体（２）の剥離方法において、前記第１剥離工程は、前記枠体（３）の前記第１部分（３ａ）を前記基板（１）に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がし、前記第２剥離工程は、前記枠体の前記第２部分（３ｂ）を前記基板に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がすこと、を特徴とする防塵体の剥離方法である。
第３の発明は、第１の発明又は第２の発明の防塵体（２）の剥離方法において、前記第１剥離工程は、前記枠体（３）の複数の角部のうち一の角部近傍を保持し、前記第２剥離工程は、前記枠体の複数の角部のうち他の角部近傍を保持すること、を特徴とする防塵体の剥離方法である。
第４の発明は、第１の発明から第３の発明までのいずれかの防塵体（２）の剥離方法において、前記枠体保持工程は、前記枠体（３）の第３部分（３ｃ）を更に保持し、前記第２剥離工程は、前記第２部分（３ｂ）と同時に前記第３部分を前記基板から引き剥がすこと、を特徴とする防塵体の剥離方法である。
第５の発明は、枠体（３）に防塵用シート（４）が固定された防塵体（２）を基板（１）から剥離する防塵体の剥離装置（１０）であって、前記基板を保持する基板保持部（１１）と、前記枠体の第１部分（３ａ）を保持し、前記基板から引き剥がす第１剥離部（２０Ａ）と、前記枠体の第２部分（３ｂ）を保持し、前記基板から引き剥がす第２剥離部（２０Ｂ）と、前記第１剥離部及び前記第２剥離部を制御する制御部（３０）とを備え、前記制御部は、前記第１剥離部によって前記枠体の前記第１部分を前記基板から引き剥がした後に、前記第２剥離部によって前記枠体の前記第２部分を前記基板から引き剥がすこと、を特徴とする防塵体の剥離装置である。 A first invention is a dustproof body peeling method for peeling a dustproof body (2) having a dustproof sheet (4) fixed to a frame (3) from a substrate (1), the substrate holding the board A holding step, a frame holding step for holding the first portion (3a) and the second portion (3b) of the frame, and the first portion of the frame held by the frame holding step as the substrate. A first peeling step for peeling from the substrate, and a second peeling step for peeling the second part of the frame held by the frame holding step from the substrate after the first peeling step. This is a body peeling method.
According to a second aspect of the present invention, in the method for peeling off the dustproof body (2) of the first aspect, the first peeling step is configured such that the first portion (3a) of the frame (3) is placed on the substrate (1). The second peeling step is to peel off the second portion (3b) of the frame body from the substrate at a speed of 1 mm / min or less. This is a method for removing a dustproof body.
According to a third aspect of the present invention, in the method for peeling off the dustproof body (2) according to the first or second aspect, the first peeling step is one corner of the plurality of corners of the frame (3). The dust-proof body peeling method is characterized in that the vicinity is held, and the second peeling step holds the vicinity of another corner of the plurality of corners of the frame.
4th invention is the peeling method of the dustproof body (2) in any one from 1st invention to 3rd invention, In the said frame body holding process, 3rd part (3c) of the said frame (3) The second peeling step is a method for peeling a dustproof body, wherein the third portion is peeled off from the substrate simultaneously with the second portion (3b).
A fifth invention is a dustproof body peeling apparatus (10) for peeling a dustproof body (2) having a dustproof sheet (4) fixed to a frame (3) from a substrate (1), wherein the substrate is The substrate holding part (11) to hold, the first part (3a) of the frame body is held, the first peeling part (20A) to be peeled off from the substrate, and the second part (3b) of the frame body are held. And a second peeling part (20B) to be peeled off from the substrate and a control part (30) for controlling the first peeling part and the second peeling part, wherein the control part is controlled by the first peeling part. An apparatus for peeling a dustproof body, wherein after peeling off the first part of the frame body from the substrate, the second part of the frame body is peeled off from the substrate by the second peeling part. .

本発明によれば、接着剤が基板上に残存してしまうのを抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress the adhesive from remaining on the substrate.

防塵体が貼付されたガラス基板を示す図である。It is a figure which shows the glass substrate on which the dustproof body was stuck. 防塵体の詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of a dustproof body. 第１実施形態の防塵体の剥離装置の全体構成を示す図である。It is a figure which shows the whole structure of the peeling apparatus of the dustproof body of 1st Embodiment. 第１実施形態の剥離装置の動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining operation | movement of the peeling apparatus of 1st Embodiment. 第１実施形態の防塵体の剥離装置によって防塵体を剥離する状態を示す図である。It is a figure which shows the state which peels a dustproof body with the dustproof body peeling apparatus of 1st Embodiment.

（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図は、模式的に示した図であり、各部の大きさ、形状は、理解を容易にするために、適宜誇張している。
本明細書中に記載する各部材の寸法等の数値及び材料名等は、実施形態としての一例であり、これに限定されるものではなく、適宜選択して使用してよい。
本明細書中において、形状や幾何学的条件を特定する用語、例えば、平行や直交等の用語については、厳密に意味するところに加え、同様の機能を奏し、平行や直交と見なせる程度の誤差を有する状態も含むものとする。
図１は、防塵体２が貼付されたガラス基板１を示す図である。
図２は、防塵体２の詳細を説明する図である。図２（ａ）は、防塵体２の斜視図であり、図２（ｂ）は、防塵体２の防塵用シート４側から見た平面図である。図２（ｃ）は、防塵体２の側面図である。 (First embodiment)
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, each figure shown below is the figure shown typically, and the magnitude | size and shape of each part are exaggerated suitably for easy understanding.
Numerical values such as dimensions and material names of the respective members described in the present specification are examples of the embodiment, and the present invention is not limited thereto, and may be appropriately selected and used.
In this specification, terms that specify shapes and geometric conditions, such as terms such as parallel and orthogonal, are strictly meanings, and have the same function, but errors that can be regarded as parallel and orthogonal. It also includes a state having
FIG. 1 is a view showing a glass substrate 1 to which a dustproof body 2 is attached.
FIG. 2 is a diagram illustrating the details of the dustproof body 2. FIG. 2A is a perspective view of the dustproof body 2, and FIG. 2B is a plan view of the dustproof body 2 viewed from the dustproof sheet 4 side. FIG. 2C is a side view of the dustproof body 2.

ガラス基板１は、電子回路等のパターンＰがその表面上に描かれたフォトマスクであり、その外形は矩形状に形成されている。本実施形態のガラス基板１は、石英や、ソーダライムガラス等が用いられる。
防塵体２は、ガラス基板１に設けられたパターンＰを塵等の異物から保護するために設けられており、図１に示すように、ガラス基板１のパターンＰを覆うようにして貼付されている。本実施形態の防塵体２は、図２に示すように、枠体３、防塵用シート４、接着層５等から構成される。 The glass substrate 1 is a photomask on which a pattern P such as an electronic circuit is drawn on its surface, and its outer shape is formed in a rectangular shape. For the glass substrate 1 of the present embodiment, quartz, soda lime glass, or the like is used.
The dustproof body 2 is provided to protect the pattern P provided on the glass substrate 1 from foreign matters such as dust, and is attached so as to cover the pattern P of the glass substrate 1 as shown in FIG. Yes. As shown in FIG. 2, the dustproof body 2 of this embodiment includes a frame 3, a dustproof sheet 4, an adhesive layer 5, and the like.

枠体３は、防塵体２の骨格となる枠部材であり、ガラス基板１に設けられたパターンＰを囲むようにして配置される。枠体３は、防塵用シート４のシート面がガラス基板１のパターンＰに接触してしまうのを防ぐために設けられている。本実施形態の枠体３は、アルミニウム等の金属部材により厚み方向から見た形状が矩形状に形成されており、枠材３Ａ〜３Ｄにより構成されている。
枠体３の一方の開口部には、その開口部を塞ぐようにして防塵用シート４が貼付されている。また、他方の開口部の縁上には、防塵体２をガラス基板１に接着する接着層５が設けられている。 The frame body 3 is a frame member serving as a skeleton of the dustproof body 2, and is disposed so as to surround the pattern P provided on the glass substrate 1. The frame 3 is provided to prevent the sheet surface of the dustproof sheet 4 from coming into contact with the pattern P of the glass substrate 1. The frame 3 of this embodiment is formed in a rectangular shape as viewed from the thickness direction by a metal member such as aluminum, and is configured by frame members 3A to 3D.
A dustproof sheet 4 is attached to one opening of the frame 3 so as to close the opening. An adhesive layer 5 for adhering the dustproof body 2 to the glass substrate 1 is provided on the edge of the other opening.

また、本実施形態の枠体３は、枠材３Ａ〜３Ｄのうち、互いの対向する枠材３Ａ及び枠材３Ｂの外側の側面に、未貫通の円形状の穴（３ａ〜３ｄ）が２つずつ設けられている。具体的には、枠材３Ａの一方の端部に穴３ａが形成され、枠材３Ａの他方の端部に穴３ｃが形成されている。また、同様に、枠材３Ｂの一方の端部に穴３ｂが、枠材３Ｂの他方の端部に穴３ｄが形成されている。
この穴３ａ〜３ｄは、防塵体２をガラス基板１から剥離する場合に用いられる（詳細は後述する）。各穴３ａ〜３ｄは、各枠材の両端部近傍、すなわち、枠体３の角部近傍に設けられている。ここで、枠体３の角部近傍とは、枠体の角部だけでなく、角部から２５ｍｍ以内で離れた領域も含むものをいう。
なお、各穴３ａ〜３ｄは、防塵体２をガラス基板１から剥離するために専用に設けてもよく、また、他の工程等で使用する既存の穴や切り欠き等を流用するようにしてもよい。 Moreover, the frame 3 of this embodiment has 2 non-penetrating circular holes (3a to 3d) on the outer side surfaces of the frame material 3A and the frame material 3B facing each other among the frame materials 3A to 3D. It is provided one by one. Specifically, a hole 3a is formed at one end of the frame member 3A, and a hole 3c is formed at the other end of the frame member 3A. Similarly, a hole 3b is formed at one end of the frame member 3B, and a hole 3d is formed at the other end of the frame member 3B.
The holes 3a to 3d are used when the dustproof body 2 is peeled from the glass substrate 1 (details will be described later). The holes 3 a to 3 d are provided in the vicinity of both end portions of each frame member, that is, in the vicinity of the corner portion of the frame body 3. Here, the vicinity of the corner of the frame 3 means not only the corner of the frame but also a region separated within 25 mm from the corner.
The holes 3a to 3d may be provided exclusively for separating the dustproof body 2 from the glass substrate 1, and existing holes and notches used in other processes may be used. Also good.

防塵用シート４は、ガラス基板１の表面に設けられたパターンＰに異物が付着してしまうのを防ぐために設けられた、いわゆるペリクルフィルムである。防塵用シート４は、光透過性を有するニトロセルロースや、酢酸セルロース、フッ素系樹脂などから構成されている。防塵用シート４は、上述したように、枠体３の一方の開口部を塞ぐようにして貼付されている。
接着層５は、防塵体２をガラス基板１に対して固定する接着剤の層である。接着層５は、例えば、アクリル系接着剤や、スチレン系接着剤、シリコン系接着剤等が用いられている。接着層５は、枠体３の他方の開口部の縁上に隙間なく設けられている。 The dustproof sheet 4 is a so-called pellicle film provided to prevent foreign matters from adhering to the pattern P provided on the surface of the glass substrate 1. The dustproof sheet 4 is composed of nitrocellulose having light permeability, cellulose acetate, fluorine resin, or the like. As described above, the dustproof sheet 4 is stuck so as to block one opening of the frame 3.
The adhesive layer 5 is an adhesive layer that fixes the dustproof body 2 to the glass substrate 1. For example, an acrylic adhesive, a styrene adhesive, a silicon adhesive, or the like is used for the adhesive layer 5. The adhesive layer 5 is provided on the edge of the other opening of the frame 3 without a gap.

次に、ガラス基板１に貼付された防塵体２を剥離する剥離装置１０について説明する。
図３は、本実施形態の防塵体２の剥離装置１０の全体構成を示す図である。図３（ａ）は、防塵体２が接着されたガラス基板１が保持された剥離装置１０の斜視図である。また、図３（ｂ）は、剥離装置１０の基板保持台１１に対するガラス基板１の配置状態を説明する図である。
なお、図３では、説明を明確にするために、ＸＹＺの直交座標系を用いて剥離装置１０の鉛直方向をＺ方向とし、奥行き方向をＹ方向とし、鉛直方向及び奥行き方向に直交する前後方向をＸ方向とする。ここで、鉛直方向のうち鉛直上側を＋Ｚ側とし、鉛直下側を−Ｚ側とし、また、奥行き方向のうち奥側を＋Ｙ側とし、手前側を−Ｙ側とし、更に、前後方向のうち前側を−Ｘ側とし、後側を＋Ｘ側とする。 Next, the peeling apparatus 10 which peels the dustproof body 2 affixed on the glass substrate 1 is demonstrated.
FIG. 3 is a diagram illustrating an overall configuration of the peeling device 10 for the dustproof body 2 according to the present embodiment. FIG. 3A is a perspective view of the peeling apparatus 10 on which the glass substrate 1 to which the dustproof body 2 is bonded is held. FIG. 3B is a view for explaining an arrangement state of the glass substrate 1 with respect to the substrate holding table 11 of the peeling apparatus 10.
In FIG. 3, for the sake of clarity, the vertical direction of the peeling apparatus 10 is defined as the Z direction, the depth direction is defined as the Y direction, and the front-rear direction orthogonal to the vertical direction and the depth direction is defined using an XYZ orthogonal coordinate system. Is the X direction. Here, the vertical upper side of the vertical direction is the + Z side, the vertical lower side is the -Z side, the back side of the depth direction is the + Y side, the near side is the -Y side, and The front side is the -X side, and the rear side is the + X side.

剥離装置１０は、ガラス基板１に貼付された防塵体２を剥離する装置である。本実施形態の剥離装置１０は、ガラス基板１を保持するとともに、ガラス基板１に貼付される防塵体２を複数箇所で保持して、保持した箇所のうちの一か所から徐々に防塵体２をガラス基板１から引き剥がす装置である（詳細は、後述する）。剥離装置１０は、図３（ａ）に示すように、基板保持台１１、防塵体剥離部２０（２０Ａ〜２０Ｄ）、制御部３０等から構成されている。   The peeling device 10 is a device for peeling the dustproof body 2 attached to the glass substrate 1. The peeling apparatus 10 of the present embodiment holds the glass substrate 1 and holds the dustproof body 2 attached to the glass substrate 1 at a plurality of locations, and gradually removes the dustproof body 2 from one of the held locations. Is a device that peels off from the glass substrate 1 (details will be described later). As shown in FIG. 3A, the peeling apparatus 10 includes a substrate holder 11, a dustproof body peeling unit 20 (20A to 20D), a control unit 30, and the like.

基板保持台１１は、ガラス基板１を載置して、保持する平板状の台であり、剥離装置１０の不図示のフレームに固定されている。基板保持台１１は、その中央部に矩形状の貫通孔１１ａが設けられている。この貫通孔１１ａは、ガラス基板１が、防塵体２が接着される側の面を下側（−Ｚ側）にして基板保持台１１上に配置された場合に、防塵体２が基板保持台１１に干渉してしまうのを防止するために設けられている。そのため、貫通孔１１ａの前後方向（Ｘ方向）及び奥行き方向（Ｙ方向）における形状は、防塵体２の外形よりも大きい寸法で形成されている。
本実施形態の基板保持台１１は、載置されるガラス基板１が貫通孔１１ａから落下してしまうのを抑制するために、図３（ｂ）に示すように、略８角形状に形成されており、ガラス基板１の角部に対応する位置に、その角部を保持する保持部１１ｂが設けられている。 The substrate holding table 11 is a flat plate-like table on which the glass substrate 1 is placed and held, and is fixed to a frame (not shown) of the peeling apparatus 10. The substrate holding table 11 is provided with a rectangular through hole 11a at the center thereof. When the glass substrate 1 is disposed on the substrate holder 11 with the surface on the side to which the dustproof body 2 is bonded facing down (-Z side), the through-hole 11a is disposed on the substrate holder 11. 11 is provided to prevent interference. Therefore, the shape of the through hole 11 a in the front-rear direction (X direction) and the depth direction (Y direction) is formed with a size larger than the outer shape of the dustproof body 2.
As shown in FIG. 3B, the substrate holding table 11 of the present embodiment is formed in a substantially octagonal shape in order to prevent the glass substrate 1 to be placed from dropping from the through hole 11a. In addition, a holding portion 11 b that holds the corner portion is provided at a position corresponding to the corner portion of the glass substrate 1.

防塵体剥離部２０は、基板保持台１１に保持されたガラス基板１の防塵体２を保持して、ガラス基板１から防塵体２を引き剥がす部分である。本実施形態の防塵体剥離部２０は、４台（２０Ａ〜２０Ｄ）設けられており、防塵体２の枠体３に設けられた４つの穴３ａ〜３ｄを介して、防塵体２を４点で保持する。
本実施形態では、防塵体剥離部２０Ａは、剥離装置１０の前側（−Ｘ側）であって手前側（−Ｙ側）に配置されており、防塵体剥離部２０Ｂは、剥離装置１０の後側（＋Ｘ側）であって手前側（−Ｙ側）に配置されている。また、防塵体剥離部２０Ｃは、剥離装置１０の前側（−Ｘ側）であって奥側（＋Ｙ側）に配置されており、防塵体剥離部２０Ｄは、剥離装置１０の後側（＋Ｘ側）であって奥側（＋Ｙ側）に配置されている。以下、防塵体剥離部２０Ａについて説明するが、防塵体剥離部２０Ｂ〜２０Ｄについても同様である。 The dustproof body peeling unit 20 is a part that holds the dustproof body 2 of the glass substrate 1 held on the substrate holding table 11 and peels the dustproof body 2 from the glass substrate 1. The dustproof body peeling part 20 of this embodiment is provided with four units (20A to 20D), and the dustproof body 2 is provided at four points via the four holes 3a to 3d provided in the frame body 3 of the dustproof body 2. Hold on.
In the present embodiment, the dustproof body peeling portion 20A is disposed on the front side (−X side) and the near side (−Y side) of the peeling device 10, and the dustproof body peeling portion 20B is located behind the peeling device 10. It is arranged on the side (+ X side) and the front side (−Y side). Further, the dustproof body peeling portion 20C is disposed on the front side (−X side) and the back side (+ Y side) of the peeling device 10, and the dustproof body peeling portion 20D is disposed on the rear side (+ X side). ) On the back side (+ Y side). Hereinafter, the dustproof body peeling portion 20A will be described, but the same applies to the dustproof body peeling portions 20B to 20D.

防塵体剥離部２０Ａは、図３（ａ）に示すように、駆動部材２１Ａ、保持部材２２Ａ、駆動部２３Ａ等から構成されている。
駆動部材２１Ａは、その上端部に設けられる保持部材２２Ａを鉛直方向に移動させる部材であり、その下端部側に駆動部２３Ａが配置されている。本実施形態では、駆動部材２１Ａには、不図示の歯車（ラックギア）が設けられており、駆動部２３Ａに設けられる不図示の回転モータに接続される歯車（ピニオンギア）が係合することにより、いわゆるラック・アンド・ピニオンの機構が構成されており、回転モータの回転運動を鉛直方向の直動運動に変換している。 As shown in FIG. 3A, the dustproof body peeling portion 20A includes a driving member 21A, a holding member 22A, a driving portion 23A, and the like.
The drive member 21A is a member that moves the holding member 22A provided at the upper end portion thereof in the vertical direction, and the drive portion 23A is disposed on the lower end side thereof. In this embodiment, the drive member 21A is provided with a gear (rack gear) (not shown), and a gear (pinion gear) connected to a rotary motor (not shown) provided in the drive unit 23A is engaged. A so-called rack-and-pinion mechanism is configured to convert the rotary motion of the rotary motor into a linear motion in the vertical direction.

保持部材２２Ａは、防塵体２の枠体３に設けられた穴に挿入され、防塵体２を保持する円柱状の部材である。本実施形態では、保持部材２２Ａは、枠体３の穴３ａに挿入され、保持部材２２Ｂは、枠体３の穴３ｂに挿入され、保持部材２２Ｃは、枠体３の穴３ｃに挿入され、保持部材２２Ｄは、枠体３の穴３ｄに挿入される。
各保持部材の円柱状の外径は、枠体の各穴の直径よりも若干小さい寸法で形成されている。
なお、各保持部材は、各駆動部材に対して一体に形成されていてもよく、また、別体で形成されていてもよく、更に、各駆動部材に対して取り外し可能に固定されるようにしてもよい。 The holding member 22 </ b> A is a columnar member that is inserted into a hole provided in the frame body 3 of the dustproof body 2 and holds the dustproof body 2. In the present embodiment, the holding member 22A is inserted into the hole 3a of the frame body 3, the holding member 22B is inserted into the hole 3b of the frame body 3, the holding member 22C is inserted into the hole 3c of the frame body 3, The holding member 22 </ b> D is inserted into the hole 3 d of the frame body 3.
The cylindrical outer diameter of each holding member is formed with a dimension slightly smaller than the diameter of each hole of the frame.
Each holding member may be formed integrally with each driving member, or may be formed as a separate body, and may be detachably fixed to each driving member. May be.

駆動部２３Ａは、駆動部材２１Ａを鉛直方向（Ｚ方向）に駆動させる駆動源であり、本実施形態では、不図示の回転モータと、その回転モータの回転軸に設けられた歯車（ピニオンギア）等から構成される。駆動部２３Ａは、上述したように、回転モータに設けられた歯車が、駆動部材２１Ａの不図示の歯車に係合しており、回転モータが回転することによって、駆動部材２１Ａを鉛直方向に移動させる。駆動部２３Ａは、制御部３０に電気的に接続されており、制御部３０から送信される駆動信号に基づいて駆動される。   The drive unit 23A is a drive source that drives the drive member 21A in the vertical direction (Z direction). In the present embodiment, a rotation motor (not shown) and a gear (pinion gear) provided on the rotation shaft of the rotation motor are provided. Etc. As described above, in the drive unit 23A, the gear provided on the rotary motor is engaged with the gear (not shown) of the drive member 21A, and the drive member 21A moves in the vertical direction by the rotation of the rotary motor. Let The drive unit 23 </ b> A is electrically connected to the control unit 30 and is driven based on a drive signal transmitted from the control unit 30.

制御部３０は、防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄに接続され、各防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄの駆動部２３Ａ〜２３Ｄを統括制御する制御回路であり、例えばＣＰＵ等から構成される。制御部３０は、不図示の記憶部に記憶された各種プログラムを適宜読み出して実行することにより、前述したハードウェアと協働し、本発明に係る各種機能を実現している。   The control unit 30 is a control circuit that is connected to the dustproof body peeling units 20A to 20D and controls the driving units 23A to 23D of the dustproof body peeling units 20A to 20D, and includes, for example, a CPU. The control unit 30 implements various functions according to the present invention in cooperation with the hardware described above by appropriately reading and executing various programs stored in a storage unit (not shown).

次に、剥離装置１０の動作（防塵体の剥離方法）について説明する。
図４は、本実施形態の剥離装置の動作を説明するフローチャートである。
図５は、本実施形態の防塵体の剥離装置によって防塵体を剥離する状態を示す図である。図５は、図３（ａ）に対応する図である。
最初に、剥離装置１０の基板保持台１１上に、防塵体２が固定されたガラス基板１を載置する。ここで、ガラス基板１は、図５に示すように、防塵体２が固定された側の面を鉛直下側（−Ｚ側）に向けて、防塵体２が貫通孔１１ａ内に配置されるようにして、基板保持台１１上に配置される（基板保持工程）。本実施形態では、ガラス基板１は、防塵体２の枠体３に設けられた穴３ａが奥行き方向（Ｙ方向）の手前側（−Ｙ側）であって前後方向（Ｘ方向）の前側（−Ｘ側）に、穴３ｂが手前側（−Ｙ側）であって後側（＋Ｘ側）に、穴３ｃが奥側（＋Ｙ側）であって前側に、穴３ｂが奥側であって後側にそれぞれ位置するようにして配置される。
それから、各防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄに設けられた保持部材２２Ａ〜２２Ｄを、それぞれ、防塵体２の枠体３に設けられた穴３ａ〜３ｄに挿入して、保持部材により防塵体２の枠体３を保持させる（枠体保持工程）。 Next, the operation of the peeling device 10 (a method for peeling the dustproof body) will be described.
FIG. 4 is a flowchart for explaining the operation of the peeling apparatus of this embodiment.
FIG. 5 is a diagram showing a state in which the dustproof body is peeled off by the dustproof body peeling apparatus of the present embodiment. FIG. 5 is a diagram corresponding to FIG.
First, the glass substrate 1 on which the dustproof body 2 is fixed is placed on the substrate holder 11 of the peeling apparatus 10. Here, as shown in FIG. 5, in the glass substrate 1, the dustproof body 2 is disposed in the through hole 11a with the surface on which the dustproof body 2 is fixed facing downward (−Z side). Thus, it arrange | positions on the board | substrate holding stand 11 (board | substrate holding process). In this embodiment, the glass substrate 1 has a hole 3a provided in the frame 3 of the dustproof body 2 on the front side (−Y side) in the depth direction (Y direction) and the front side in the front-rear direction (X direction) ( -X side), the hole 3b is the front side (-Y side), the rear side (+ X side), the hole 3c is the back side (+ Y side), the front side, and the hole 3b is the back side It arrange | positions so that it may each be located in a rear side.
Then, holding members 22A to 22D provided in the dustproof body peeling portions 20A to 20D are respectively inserted into holes 3a to 3d provided in the frame body 3 of the dustproof body 2, and the dustproof body 2 of the dustproof body 2 is inserted by the holding members. The frame body 3 is held (frame body holding step).

ガラス基板１が基板保持台１１に対して適正に配置されるとともに、各保持部材により防塵体２の枠体３が適正に保持されたら、剥離装置１０の不図示の電源を投入し、剥離装置１０による防塵体２の剥離作業を開始する。
まず、図４に示すように、ステップ（以下、Ｓという）１において、制御部３０は、４台の防塵体剥離部２０のうち、防塵体剥離部２０Ａの駆動部２３Ａのみを駆動させて、所定の速度で駆動部材２１Ａを鉛直下側（−Ｚ方向）へ移動させる（第１剥離工程）。 When the glass substrate 1 is properly arranged with respect to the substrate holder 11 and the frame body 3 of the dustproof body 2 is properly held by each holding member, the power supply (not shown) of the peeling device 10 is turned on, and the peeling device 10 starts the peeling work of the dustproof body 2.
First, as shown in FIG. 4, in step (hereinafter referred to as S) 1, the control unit 30 drives only the driving unit 23A of the dustproof body peeling unit 20A among the four dustproof body peeling units 20, The drive member 21A is moved vertically downward (−Z direction) at a predetermined speed (first peeling step).

ここで、駆動部材２１Ａに設けられた保持部材２２Ａは、枠体３の角部近傍に設けられた穴３ａに挿入されているので、駆動部材２１Ａが鉛直下側（−Ｚ側）に移動することによって、防塵体２は、ガラス基板１に対して４つの角部のうち穴３ａの近傍の角部から徐々に引き剥がされる。
各駆動部材の駆動速度は、接着層５に用いられる接着剤の種類や特性等に応じて、適宜設定することができる。この駆動速度は、接着剤の飛び散りや、ガラス基板１への残存を抑制する観点から、１．０ｍｍ／分以下であることが望ましく、０．２ｍｍ／分以下であることが更に望ましい。本実施形態の各駆動部材の駆動速度は、０．２ｍｍ／分である。 Here, since the holding member 22A provided in the drive member 21A is inserted into the hole 3a provided in the vicinity of the corner of the frame 3, the drive member 21A moves vertically downward (−Z side). As a result, the dustproof body 2 is gradually peeled off from the corners in the vicinity of the hole 3 a among the four corners with respect to the glass substrate 1.
The driving speed of each driving member can be appropriately set according to the type and characteristics of the adhesive used for the adhesive layer 5. The driving speed is preferably 1.0 mm / min or less, and more preferably 0.2 mm / min or less, from the viewpoint of suppressing the scattering of the adhesive and the remaining on the glass substrate 1. The drive speed of each drive member of this embodiment is 0.2 mm / min.

Ｓ２において、制御部３０は、所定の時間（例えば、２．５分）が経過したか否かを判定する。所定の時間が経過していないものと判定した場合（Ｓ２：Ｎｏ）、制御部３０は、引き続き駆動部２３Ａのみを駆動させる。
所定の時間が経過したものと判定した場合（Ｓ２：Ｙｅｓ）、制御部３０は、Ｓ３において、防塵体剥離部２０Ｂの駆動部２３Ｂを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ｂを鉛直下側へ移動させる（第２剥離工程）。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｂの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。このとき、制御部３０は、駆動部２３Ａの駆動も継続している。 In S2, the control unit 30 determines whether or not a predetermined time (for example, 2.5 minutes) has elapsed. If it is determined that the predetermined time has not elapsed (S2: No), the control unit 30 continues to drive only the drive unit 23A.
When it is determined that the predetermined time has elapsed (S2: Yes), the control unit 30 drives the driving unit 23B of the dustproof body peeling unit 20B at S3 at a predetermined speed (0.2 mm / min). The drive member 21B is moved vertically downward (second peeling step). Thereby, the dustproof body 2 starts to be peeled off from the glass substrate 1 even at the corners in the vicinity of the hole 3 b of the frame 3. At this time, the control unit 30 continues to drive the drive unit 23A.

ここで、Ｓ３において駆動させる防塵体剥離部は、接着層５の接着剤を、ガラス基板１に残存させることなく、ガラス基板１から剥離させる観点から、最初に駆動させた防塵体剥離部２０Ａに最も近接した位置に配置される防塵体剥離部２０であることが望ましい。そのため、本実施形態では、防塵体剥離部２０Ａに最も近い位置に配置される防塵体剥離部２０Ｂが、Ｓ３において駆動される。
また、上述のＳ２における所定の時間は、各駆動部材の駆動速度に応じて適宜設定することができ、例えば、防塵体剥離部によって剥がされる防塵体とガラス基板との距離を基準にして設定することができる。本実施形態では、防塵体剥離部２０Ａの駆動により防塵体２の穴３ａの位置とガラス基板１との距離が０．５ｍｍとなった時に、防塵体剥離部２０Ｂを駆動させるようにしている。本実施形態では、各駆動部材の駆動速度が上述のように０．２ｍｍ／分であるので、所定の時間は、２．５分に設定される。 Here, the dustproof body peeling portion driven in S3 is the first dustproof body peeling portion 20A driven from the viewpoint of peeling the adhesive of the adhesive layer 5 from the glass substrate 1 without remaining on the glass substrate 1. It is desirable that the dustproof body peeling portion 20 is disposed at the closest position. Therefore, in this embodiment, the dustproof body peeling part 20B arrange | positioned in the position nearest to the dustproof body peeling part 20A is driven in S3.
Further, the predetermined time in S2 described above can be appropriately set according to the driving speed of each driving member, for example, set based on the distance between the dustproof body peeled off by the dustproof body peeling portion and the glass substrate. be able to. In this embodiment, when the distance between the position of the hole 3a of the dustproof body 2 and the glass substrate 1 becomes 0.5 mm by driving the dustproof body peeling section 20A, the dustproof body peeling section 20B is driven. In this embodiment, since the drive speed of each drive member is 0.2 mm / min as described above, the predetermined time is set to 2.5 minutes.

続いて、Ｓ４において、制御部３０は、Ｓ２と同様に、所定の時間（例えば、２．５分）が経過したか否かを判定する。所定の時間が経過していないものと判定した場合（Ｓ４：Ｎｏ）、制御部３０は、駆動部２３Ａ及び駆動部２３Ｂを引き続き駆動させる。
所定の時間が経過したものと判定した場合（Ｓ４：Ｙｅｓ）、制御部３０は、Ｓ５において、防塵体剥離部２０Ｃの駆動部２３Ｃを駆動させて、０．２ｍｍ／分の速度で駆動部材２１Ｃを鉛直下側へ移動させる。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｃの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。なお、このとき、制御部３０は、駆動部２３Ａ及び駆動部２３Ｂの駆動も継続する。 Subsequently, in S4, the control unit 30 determines whether or not a predetermined time (for example, 2.5 minutes) has elapsed, similar to S2. When it is determined that the predetermined time has not elapsed (S4: No), the control unit 30 continues to drive the drive unit 23A and the drive unit 23B.
When it is determined that the predetermined time has elapsed (S4: Yes), the control unit 30 drives the drive unit 23C of the dustproof body peeling unit 20C in S5 to drive the drive member 21C at a speed of 0.2 mm / min. Is moved vertically downward. Thereby, the dustproof body 2 starts to be peeled off from the glass substrate 1 even at the corners in the vicinity of the hole 3 c of the frame 3. At this time, the control unit 30 continues to drive the drive unit 23A and the drive unit 23B.

それから、Ｓ６において、制御部３０は、所定の時間（例えば、２．５分）経過したか否かを判定する。所定の時間が経過していないものと判定した場合（Ｓ６：Ｎｏ）、制御部３０は、駆動部２３Ａ、駆動部２３Ｂ、駆動部２３Ｃを引き続き駆動させる。
所定の時間が経過したものと判定した場合（Ｓ６：Ｙｅｓ）、制御部３０は、Ｓ７において、防塵体剥離部２０Ｄの駆動部２３Ｄを駆動させて、０．２ｍｍ／分の速度で駆動部材２１Ｄを鉛直下側へ移動させる。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｃの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。
なお、このとき、制御部３０は、駆動部２３Ａ、駆動部２３Ｂ、駆動部２３Ｃの駆動も継続するため、剥離装置１０の全ての駆動部が駆動することとなる。各駆動部を継続して駆動させて、ガラス基板１から防塵体２が完全に剥離されたら、制御部３０による各駆動部の制御を停止させ、剥離作業が完了となる。 Then, in S6, the control unit 30 determines whether or not a predetermined time (for example, 2.5 minutes) has elapsed. When it is determined that the predetermined time has not elapsed (S6: No), the control unit 30 continues to drive the drive unit 23A, the drive unit 23B, and the drive unit 23C.
When it is determined that the predetermined time has elapsed (S6: Yes), the control unit 30 drives the driving unit 23D of the dustproof body peeling unit 20D in S7 to drive the driving member 21D at a speed of 0.2 mm / min. Is moved vertically downward. Thereby, the dustproof body 2 starts to be peeled off from the glass substrate 1 even at the corners in the vicinity of the hole 3 c of the frame 3.
At this time, since the control unit 30 continues to drive the drive unit 23A, the drive unit 23B, and the drive unit 23C, all the drive units of the peeling apparatus 10 are driven. When each drive unit is continuously driven and the dustproof body 2 is completely peeled from the glass substrate 1, the control of the drive unit by the control unit 30 is stopped, and the peeling operation is completed.

以上より、本実施形態の防塵体の剥離方法、剥離装置１０は、以下のような効果を奏する。
本実施形態の防塵体２の剥離方法及び剥離装置は、防塵体剥離部２０Ａに保持された枠体３の穴３ａが設けられる部分（第１部分）をガラス基板１から引き剥がす工程の後に、防塵体剥離部２０Ｂに保持された枠体３の穴３ｂが設けられる部分（第２部分）をガラス基板１から引き剥がす工程を行っている。これにより、ガラス基板１から防塵体２を一点から徐々に引き剥がすことができ、接着層５の接着剤が、ガラス基板１側に残ったり、引き剥がす際に接着剤が飛び散ったりしてしまうのを抑制することができ、ガラス基板１に接着剤が残存してしまうのを抑制することができる。 From the above, the dustproof member peeling method and the peeling device 10 of the present embodiment have the following effects.
The peeling method and peeling apparatus of the dustproof body 2 of the present embodiment are provided after the step of peeling the part (first part) provided with the hole 3a of the frame 3 held by the dustproof body peeling part 20A from the glass substrate 1. The process of peeling off the part (2nd part) in which the hole 3b of the frame 3 hold | maintained at the dustproof body peeling part 20B is provided from the glass substrate 1 is performed. Thereby, the dustproof body 2 can be gradually peeled off from the glass substrate 1 from one point, and the adhesive of the adhesive layer 5 remains on the glass substrate 1 side or the adhesive is scattered when peeled off. It is possible to prevent the adhesive from remaining on the glass substrate 1.

本実施形態の防塵体２の剥離方法及び剥離装置は、枠体３の穴３ａが設けられる部分をガラス基板１に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がし、また、枠体３の穴３ｂが設けられる部分をガラス基板１に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がす。これにより、接着層５の接着剤が、ガラス基板１側に残ったり、引き剥がす際に接着剤が飛び散ったりしてしまうのをより効率よく抑制することができる。   The dust-proof body 2 peeling method and peeling apparatus of the present embodiment peels off the portion of the frame 3 where the hole 3a is provided at a speed of 1 mm / min or less from the glass substrate 1, and the hole 3b of the frame 3 Is peeled off from the glass substrate 1 at a speed of 1 mm / min or less. Thereby, it can suppress more efficiently that the adhesive agent of the contact bonding layer 5 remains in the glass substrate 1 side, or an adhesive agent scatters when peeling off.

本実施形態の防塵体２の剥離方法及び剥離装置は、枠体３の角部近傍に設けられた各穴３ａ〜３ｄを各防塵体剥離部２０の各保持部材２２によって保持しているので、接着剤のガラス基板１への残存や、飛び散りを抑制した状態で、防塵体２をガラス基板１からより効率よく剥離することができる。   Since the peeling method and peeling apparatus of the dustproof body 2 of this embodiment hold | maintain each hole 3a-3d provided in the corner | angular part vicinity of the frame 3 with each holding member 22 of each dustproof body peeling part 20, The dustproof body 2 can be more efficiently peeled from the glass substrate 1 while the adhesive remains on the glass substrate 1 and is prevented from scattering.

（第２実施形態）
次に、防塵体の剥離方法の第２実施形態について説明する。
なお、以下の説明において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
本実施形態の剥離装置１０は、制御部３０が設けられておらず、作業者が手動で各防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄの駆動部２３Ａ〜２３Ｄを操作する点で、上述の第１実施形態の剥離装置１０と相違している。
各防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄの駆動部２３Ａ〜２３Ｄには、上述の第１実施形態の回転モータの代わりに不図示の回転ハンドルが設けられている、この回転ハンドルの回転軸にはピニオンギアが設けられ、そのピニオンギアが駆動部材２１に設けられるラックギアに係合しており、回転ハンドルを手動で回転させることによって、駆動部材２１を鉛直方向に所定の速度で駆動することができる。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the dustproof body peeling method will be described.
In the following description, parts that perform the same functions as those of the first embodiment described above are given the same reference numerals or the same reference numerals at the end, and redundant descriptions are omitted as appropriate.
The peeling apparatus 10 of the present embodiment is not provided with the control unit 30, and the first embodiment described above in that the operator manually operates the drive units 23A to 23D of the dustproof body peeling units 20A to 20D. This is different from the peeling device 10.
The drive units 23A to 23D of the respective dustproof body peeling portions 20A to 20D are provided with a rotation handle (not shown) instead of the rotation motor of the first embodiment described above. A pinion gear is provided on the rotation shaft of the rotation handle. And the pinion gear engages with a rack gear provided on the drive member 21, and the drive member 21 can be driven at a predetermined speed in the vertical direction by manually rotating the rotary handle.

次に、本実施形態の防塵体２の剥離方法について説明する。
上述の第１実施形態と同様に、まず、剥離装置１０の基板保持台１１上に、防塵体２が固定されたガラス基板１を載置して保持させる（基板保持工程）。
それから、各防塵体剥離部に設けられた保持部材２２Ａ〜２２Ｄを、それぞれ防塵体２の枠体３に設けられた各穴３ａ〜３ｄに挿入して、保持部材により防塵体２の枠体３を保持させる（枠体保持工程）。 Next, the peeling method of the dustproof body 2 of this embodiment is demonstrated.
Similar to the first embodiment described above, first, the glass substrate 1 to which the dustproof body 2 is fixed is placed and held on the substrate holding table 11 of the peeling apparatus 10 (substrate holding step).
Then, the holding members 22A to 22D provided in the dustproof body peeling portions are respectively inserted into the holes 3a to 3d provided in the frame body 3 of the dustproof body 2, and the frame body 3 of the dustproof body 2 by the holding members. Is held (frame body holding step).

続いて、作業者は、４台の防塵体剥離部２０のうち、防塵体剥離部２０Ａの駆動部２３Ａの回転ハンドルを操作して、駆動部２３Ａのみを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ａを鉛直下側（−Ｚ方向）へ移動させる（第１剥離工程）。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ａの近傍の角部において、ガラス基板１から徐々に引き剥され始められる。
続いて、作業者は、所定の時間（例えば、２．５分）の経過を待った上で、駆動部２３Ａの回転ハンドルの操作を止め、防塵体剥離部２０Ｂの駆動部２３Ｂに設けられた回転ハンドルを操作して駆動部２３Ｂを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ｂを鉛直下側へ移動させる（第２剥離工程）。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｂの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。 Subsequently, among the four dustproof body peeling portions 20, the operator operates the rotary handle of the drive portion 23A of the dustproof body peeling portion 20A to drive only the drive portion 23A, so that a predetermined speed (0. The driving member 21A is moved vertically downward (−Z direction) at 2 mm / min) (first peeling step). Thereby, the dustproof body 2 starts to be gradually peeled off from the glass substrate 1 at the corners in the vicinity of the hole 3a of the frame 3.
Subsequently, after waiting for a predetermined time (for example, 2.5 minutes), the operator stops the operation of the rotary handle of the drive unit 23A, and the rotation provided in the drive unit 23B of the dustproof body peeling unit 20B. The drive unit 23B is driven by operating the handle, and the drive member 21B is moved vertically downward at a predetermined speed (0.2 mm / min) (second peeling step). Thereby, the dustproof body 2 starts to be peeled off from the glass substrate 1 even at the corners in the vicinity of the hole 3 b of the frame 3.

続いて、作業者は、駆動部２３Ｂの駆動を開始してから所定の時間（例えば、２．５分）の経過を待った上で、駆動部２３Ｂの回転ハンドルの操作を止め、防塵体剥離部２０Ｃの駆動部２３Ｃに設けられた操作部を操作して駆動部２３Ｃを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ｃを鉛直下側へ移動させる。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｃの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。   Subsequently, the operator waits for a predetermined time (for example, 2.5 minutes) after starting to drive the drive unit 23B, and then stops the operation of the rotary handle of the drive unit 23B, and the dustproof body peeling unit. The operation unit provided on the 20C drive unit 23C is operated to drive the drive unit 23C, and the drive member 21C is moved vertically downward at a predetermined speed (0.2 mm / min). Thereby, the dustproof body 2 starts to be peeled off from the glass substrate 1 even at the corners in the vicinity of the hole 3 c of the frame 3.

それから、作業者は、駆動部２３Ｃの駆動を開始してから所定の時間（例えば、２．５分）の経過を待った上で、駆動部２３Ｃの回転ハンドルの操作を止め、防塵体剥離部２０Ｄの駆動部２３Ｄに設けられた操作部を操作して駆動部２３Ｄを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ｄを鉛直下側へ移動させる。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｄの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。
以上の操作により、防塵体２の各角部は、ガラス基板１から剥離されることとなる。上述の作業により、防塵体２の一部が、まだガラス基板１から剥離されていない場合は、防塵体２がガラス基板１から完全に剥離されるまで、上述の駆動部２３Ａ、駆動部２３Ｂ、駆動部２３Ｃ、駆動部２３Ｄの各操作を順に繰り返す。 Then, the operator waits for a predetermined time (for example, 2.5 minutes) from starting to drive the drive unit 23C, and then stops the operation of the rotary handle of the drive unit 23C, and the dustproof body peeling unit 20D. The drive unit 23D is driven by operating the operation unit provided in the drive unit 23D to move the drive member 21D vertically downward at a predetermined speed (0.2 mm / min). Thereby, the dustproof body 2 starts to be peeled off from the glass substrate 1 even at the corners in the vicinity of the hole 3d of the frame 3.
Through the above operation, each corner of the dustproof body 2 is peeled from the glass substrate 1. When a part of the dustproof body 2 has not yet been peeled off from the glass substrate 1 by the above-described operation, the drive unit 23A, the drive unit 23B, and the like described above until the dustproof body 2 is completely peeled off from the glass substrate 1. Each operation of the drive unit 23C and the drive unit 23D is repeated in order.

以上より、本実施形態の防塵体の剥離方法は、上述の第１実施形態の剥離方法と同様の効果、すなわち接着層５の接着剤が、ガラス基板１側に残ったり、引き剥がす際に接着剤が飛び散ったりしてしまうのを抑制することができ、ガラス基板１に接着剤が残存してしまうのを抑制することができる。   As described above, the dust-proof body peeling method of the present embodiment has the same effect as the peeling method of the first embodiment, that is, the adhesive of the adhesive layer 5 remains on the glass substrate 1 side or adheres when it is peeled off. It is possible to suppress the agent from being scattered and to prevent the adhesive from remaining on the glass substrate 1.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made as in the modifications described later, and these are also included in the present invention. Within the technical scope. In addition, the effects described in the embodiments are merely a list of the most preferable effects resulting from the present invention, and the effects of the present invention are not limited to those described in the embodiments. It should be noted that the above-described embodiment and modifications described later can be used in appropriate combination, but detailed description thereof is omitted.

（変形形態）
（１）上述の第１実施形態において、防塵体２の剥離方法、剥離装置１０は、防塵体剥離部２０Ａを駆動した後、防塵体剥離部２０Ｂ、防塵体剥離部２０Ｃを順次、駆動させる例を示したが、これに限定されるものでなく、防塵体剥離部２０Ｂの駆動と同時に防塵体剥離部２０Ｃを同時に駆動するようにしてもよい。これにより、防塵体２の枠体３の穴３ｂ及び穴３ｃ近傍の角部を同時に剥離することができ、剥離作業を効率よくすることができる。防塵体剥離部２０Ａに対する防塵体剥離部２０Ｂ及び防塵体剥離部２０Ｃの距離が同等である場合に、特に有効である。 (Deformation)
(1) In the above-described first embodiment, the method for peeling the dustproof body 2 and the peeling device 10 drive the dustproof body peeling part 20A and then sequentially drive the dustproof body peeling part 20B and the dustproof body peeling part 20C. However, the present invention is not limited to this, and the dustproof body peeling portion 20C may be driven simultaneously with the driving of the dustproof body peeling portion 20B. Thereby, the hole 3b of the frame 3 of the dustproof body 2 and the corner | angular part of the hole 3c vicinity can be peeled simultaneously, and peeling work can be made efficient. This is particularly effective when the distance between the dustproof body peeling portion 20B and the dustproof body peeling portion 20C is equal to the dustproof body peeling portion 20A.

（２）ガラス基板１に保持された防塵体２の接着層５を予め加熱した上で、上述の各実施形態に記載の防塵体の剥離方法を実行するようにしてもよい。これにより、接着層５を形成する接着剤を軟化させて、ガラス基板１からの防塵体２の剥離をより容易にすることができる。なお、接着層５の加熱は、例えば、ガラス基板１の防塵体２が接着された側とは反対側の面に、ヒーターを配置して、ガラス基板１を介して行うことができる。 (2) After the adhesive layer 5 of the dustproof body 2 held on the glass substrate 1 is heated in advance, the dustproof body peeling method described in each of the above embodiments may be executed. Thereby, the adhesive agent which forms the contact bonding layer 5 can be softened, and peeling of the dustproof body 2 from the glass substrate 1 can be made easier. The adhesive layer 5 can be heated, for example, through the glass substrate 1 by placing a heater on the surface of the glass substrate 1 opposite to the side to which the dustproof body 2 is bonded.

（３）上述の各実施形態において、防塵体２の枠体３の４点を保持して剥離する例を示したが、これに限定されるものでなく、接着層５に用いられる接着剤の種類や、防塵体２のサイズ等に応じて２点や、３点、５点以上で保持して剥離するようにしてもよい。 (3) In each of the above-described embodiments, an example in which the four points of the frame 3 of the dustproof body 2 are held and peeled has been shown. Depending on the type, the size of the dustproof body 2, etc., two points, three points, five points or more may be held and peeled off.

（４）上述の第１実施形態において、剥離装置１０は、駆動部（２３Ａ）の動作開始後、所定の時間（例えば、２．５分）経過後に近接する駆動部（２３Ｂ）を駆動させる例を示したが、これに限定されるものでない。例えば、枠体３の角部近傍に変位センサを設け、ガラス基板１と防塵体２の枠体３の各角部との距離を測定可能にし、剥離装置１０は、その距離が所定の値（例えば、０．５ｍｍ）以上となった場合に、隣接する駆動部を駆動させるようにしてもよい。 (4) In the first embodiment described above, the peeling apparatus 10 drives the adjacent drive unit (23B) after a predetermined time (for example, 2.5 minutes) has elapsed after the operation of the drive unit (23A) starts. However, the present invention is not limited to this. For example, a displacement sensor is provided in the vicinity of the corner of the frame 3 so that the distance between the glass substrate 1 and each corner of the frame 3 of the dustproof body 2 can be measured, and the peeling device 10 has a predetermined value ( For example, when the distance is 0.5 mm or more, adjacent drive units may be driven.

（５）上述の各実施形態において、防塵体剥離部２０はラック・アンド・ピニオンの機構により、駆動部材２１を駆動する例を示したが、これに限定されるものでない。例えば、駆動部に空圧式や油圧式のシリンダを用いて、駆動部材２１を駆動するようにしてもよい。 (5) In each of the above-described embodiments, the dust-proof body peeling portion 20 has been illustrated to drive the drive member 21 by a rack-and-pinion mechanism, but is not limited thereto. For example, the drive member 21 may be driven using a pneumatic or hydraulic cylinder for the drive unit.

１ ガラス基板
２ 防塵体
３ 枠体
３ａ〜３ｄ 穴
４ 防塵用シート
５ 接着層
１０ 剥離装置
１１ 基板保持台
２０Ａ〜２０Ｄ 防塵体剥離部
２１Ａ〜２１Ｄ 駆動部材
２２Ａ〜２２Ｄ 保持部材
２３Ａ〜２３Ｄ 駆動部
３０ 制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Dustproof body 3 Frame 3a-3d Hole 4 Dustproof sheet 5 Adhesive layer 10 Peeling device 11 Substrate holding stand 20A-20D Dustproof body peeling part 21A-21D Driving member 22A-22D Holding member 23A-23D Driving part 30 Control unit

Claims (5)

枠体に防塵用シートが固定された防塵体を基板から剥離する防塵体の剥離方法であって、
前記基板を保持する基板保持工程と、
前記枠体の第１部分及び第２部分を保持する枠体保持工程と、
前記枠体保持工程によって保持された前記枠体の前記第１部分を前記基板から引き剥がす第１剥離工程と、
前記第１剥離工程よりも後に、前記枠体保持工程によって保持された前記枠体の前記第２部分を前記基板から引き剥がす第２剥離工程と、
を備える防塵体の剥離方法。 A dust-proof body peeling method for peeling a dust-proof body having a dust-proof sheet fixed to a frame from a substrate,
A substrate holding step for holding the substrate;
A frame holding step for holding the first part and the second part of the frame;
A first peeling step of peeling off the first portion of the frame held by the frame holding step from the substrate;
After the first peeling step, a second peeling step of peeling off the second part of the frame held by the frame holding step from the substrate;
A method for removing a dustproof body. 請求項１に記載の防塵体の剥離方法において、
前記第１剥離工程は、前記枠体の前記第１部分を前記基板に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がし、
前記第２剥離工程は、前記枠体の前記第２部分を前記基板に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がすこと、
を特徴とする防塵体の剥離方法。 In the peeling method of the dustproof body according to claim 1,
In the first peeling step, the first portion of the frame is peeled off from the substrate at a speed of 1 mm / min or less,
The second peeling step is to peel off the second portion of the frame body from the substrate at a speed of 1 mm / min or less;
A method for removing a dustproof body characterized by the above. 請求項１又は請求項２に記載の防塵体の剥離方法において、
前記第１剥離工程は、前記枠体の複数の角部のうち一の角部近傍を保持し、
前記第２剥離工程は、前記枠体の複数の角部のうち他の角部近傍を保持すること、
を特徴とする防塵体の剥離方法。 In the peeling method of the dustproof body of Claim 1 or Claim 2,
In the first peeling step, one of the plurality of corners of the frame body is held near one corner,
In the second peeling step, holding the vicinity of other corners among the plurality of corners of the frame,
A method for removing a dustproof body characterized by the above. 請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の防塵体の剥離方法において、
前記枠体保持工程は、前記枠体の第３部分を更に保持し、
前記第２剥離工程は、前記第２部分と同時に前記第３部分を前記基板から引き剥がすこと、
を特徴とする防塵体の剥離方法。 In the peeling method of the dustproof body of any one of Claim 1- Claim 3,
The frame body holding step further holds the third part of the frame body,
In the second peeling step, the third part is peeled off from the substrate simultaneously with the second part,
A method for removing a dustproof body characterized by the above. 枠体に防塵用シートが固定された防塵体を基板から剥離する防塵体の剥離装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記枠体の第１部分を保持し、前記基板から引き剥がす第１剥離部と、
前記枠体の第２部分を保持し、前記基板から引き剥がす第２剥離部と、
前記第１剥離部及び前記第２剥離部を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記第１剥離部によって前記枠体の前記第１部分を前記基板から引き剥がした後に、前記第２剥離部によって前記枠体の前記第２部分を前記基板から引き剥がすこと、
を特徴とする防塵体の剥離装置。 A dust-proof body peeling device for peeling a dust-proof body having a dust-proof sheet fixed to a frame from a substrate,
A substrate holder for holding the substrate;
Holding a first portion of the frame body, a first peeling portion to be peeled off from the substrate;
A second peeling portion for holding the second portion of the frame and peeling it from the substrate;
A control unit for controlling the first peeling unit and the second peeling unit;
The control unit peels off the second part of the frame body from the substrate by the second peeling part after the first part of the frame body is peeled off from the substrate by the first peeling part;
A dustproof peeling device characterized by the above.
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