JP2017116263A - 電子部品の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体10と、基体10の上面に備えられる金属膜20と、金属膜20上に接続される凸状金属部材30と、を備える電子部品100に、光源40,50からの光を照射して得られる画像から凸状金属部材30の形成状態を検査する電子部品100の検査方法であって、金属膜20と凸状金属部材30とは、同一の金属を主成分として含み、光源40,50からの光は、凸状金属部材30の上方から照射され、第1ピーク波長を備えた第1光41と、凸状金属部材30の側方から照射され、第1ピーク波長と50nm以上離れた第2ピーク波長を備えた第2光51と、を含む。
【選択図】図1
Description
基体と、基体の上面に備えられる金属膜と、金属膜上に接続される凸状金属部材と、を備える電子部品に、光源からの光を照射して得られる画像から凸状金属部材の形成状態を検査する電子部品の検査方法であって、金属膜と凸状金属部材とは、同一の金属を主成分として含み、光源からの光は、凸状金属部材の上方から照射され、第1ピーク波長を備えた第1光と、凸状金属部材の側方から照射され、第1ピーク波長と50nm以上離れた第2ピーク波長を備えた第2光と、を含む電子部品の検査方法。
電子部品100は、基体10と、基体10上に設けられる金属膜20と、金属膜20上に設けられる凸状金属部材30を備える。金属膜20と凸状金属部材30とは、同一の金属を主成分として含む。基体10の上面は、後述の金属膜20の上面より大きい面積を備える。さらに金属膜20の上には、凸状金属部材30を備えるため、基体10金属膜20及び凸状金属部材30が形成可能な大きさの面積を備える。凸状金属部材30は、バンプ、ワイヤの一部であるボール(ボンディングボール)、ワイヤの一部である接続部(金属膜と接合される部分)等が挙げられる。
凸状金属部材30は、金属膜20上に接続される部材であり、その高さ、幅(径)、形状等については問わない。凸状金属部材30としては、バンプ、又は、ワイヤの一部であるボール、ワイヤの一部である接続部等が挙げられる。
検査装置200は、2種類の光源である第1光源40と、第2光源50と、カメラ70と、レンズ80と、を備える。これらは、同軸配置されている。
10…基体
11…基体上面
20…金属膜
21…金属膜上面
22…金属膜縁部
30…凸状金属部材
30A…バンプ
30B…ボール
30C…接続部
31…第1上面
32…第2上面
33…第1縁部
34…第2縁部
35…ワイヤ
200…検査装置
40…第1光源
41…第1光
50…第2光源
51…第2光
60…第3光源
61…第3光
70…カメラ
80…レンズ
Claims (6)
- 基体と、前記基体の上面に備えられる金属膜と、前記金属膜上に接続される凸状金属部材と、を備える電子部品に、光源からの光を照射して得られる画像から前記凸状金属部材の形成状態を検査する電子部品の検査方法であって、
前記金属膜と前記凸状金属部材とは、同一の金属を主成分として含み、
前記光源からの光は、前記凸状金属部材の上方から照射され、第1ピーク波長を備えた第1光と、前記凸状金属部材の側方から照射され、前記第1ピーク波長と50nm以上離れた第2ピーク波長を備えた第2光と、を含むことを特徴とする電子部品の検査方法。 - 前記第1光は赤色光であり、前記第2光は青色光である請求項1記載の電子部品の検査方法。
- 前記金属膜及び前記凸状金属部材は、主成分として金を含む請求項1又は請求項2記載の電子部品の検査方法。
- 前記凸状金属部材は、バンプ、ボール、ワイヤの接続部のいずれかである請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の電子部品の検査方法。
- 前記電子部品は、半導体素子である請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の電子部品の検査方法。
- 前記電子部品は、半導体素子を搭載した基板である請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の電子部品の検査方法。
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