JP2017096632A - 流量センサ - Google Patents
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Abstract
Description
本実施例1による熱式流体流量センサの構造について、図1〜図5を用いて説明する。図1は、本実施例1によるセンサチップの要部平面図である。図2は、図1のA−A´線におけるセンサチップの要部断面図である。図3は、図1のセンサチップを備えるセンサモジュールの要部平面図である。図4は、図3のB−B´線におけるセンサモジュールの要部断面図である。図5は、本実施例1による熱式流体流量センサが取り付けられた内燃機関の吸気通路の要部断面図である。
本実施例1による熱式流体流量センサの動作フローについて図7および図8を用いて説明する。図7は、本実施例1による熱式流体流量センサの回路図である。図8は、本実施例1による熱式流体流量センサを自動車に組み込んだ際の熱式流体流量センサの動作フロー図である。
本実施例1による熱式流体流量センサの効果を図1および図9を用いて説明する。図9は、本実施例1による熱式流体流量センサにおいて、測温抵抗体を直接加熱した場合の一定抵抗変化(数Ω)に要する加熱温度と加熱時間との関係を示すグラフ図である。
被測定流体の流量を測定する流量センサであって、
第1発熱抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体から離隔して、前記第1発熱抵抗体の下流側に設けられた第1測温熱電対と、
前記第1発熱抵抗体から離隔して、前記第1発熱抵抗体の上流側に設けられた第2測温熱電対と、
前記第2測温熱電対に絶縁体を介して設けられた第2発熱抵抗体と、
を有し、
前記第2発熱抵抗体の発熱によって前記第2測温熱電対を加熱する、流量センサ。
付記1記載の流量センサにおいて、
前記第2発熱抵抗体と前記第2測温熱電対との距離が、前記第1発熱抵抗体と前記第2測温熱電対との距離よりも短い、流量センサ。
付記1記載の流量センサにおいて、
前記第1測温熱電対および前記第2測温熱電対は、前記第1発熱抵抗体とは互いに異なる層により形成されている、流量センサ。
付記1記載の流量センサにおいて、
前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体とは、同一材料からなる、流量センサ。
付記1記載の流量センサにおいて、
前記第1測温熱電対と前記第2測温熱電対とは、前記第1発熱抵抗体を挟んで前記被測定流体の流れる方向に線対称に設けられている、流量センサ。
2 半導体基板
3 第1発熱抵抗体
4 上流側測温抵抗体
5 下流側測温抵抗体
6 第2発熱抵抗体
7 第1発熱抵抗体用測温抵抗体
8 電極パッド
9 ダイヤフラム部
10 第1絶縁膜
11 第2絶縁膜
12 第3絶縁膜
13 センサモジュール
14 支持基板
15 凹部
16 接着剤
17 制御用回路チップ
18 電極パッド
19a,19b ボンディングワイヤ
20 外部入出力端子
21 樹脂
22 熱式流体流量センサ
23 ボディ
24 副通路
25 支持体
26 支持体カバー
27 吸気管
28 主通路
29 吸気
30 ブリッジ抵抗体
31 増幅器
32 比較器
33 アナログ/デジタルコンバータ
34 コントローラ
35 抵抗体
36 電子制御装置
51,51A,51B センサチップ
52 第1発熱抵抗体
53 上流側熱電対
54 下流側熱電対
55 第2発熱抵抗体
56 抵抗体
57 電極パッド
58 上流側熱電対下層配線
59 下流側熱電対下層配線
60 温点接続プラグ
61 冷点接続プラグ
62 上流側熱電対上層配線
63 下流側熱電対上層配線
64 ダイヤフラム部
65 半導体基板
66 第1絶縁膜
67 第2絶縁膜
68 第3絶縁膜
69 第4絶縁膜
70 第5絶縁膜
Claims (15)
- 被測定流体の流量を測定する流量センサであって、
第1発熱抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体から離隔して、前記第1発熱抵抗体の下流側に設けられた第1測温抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体から離隔して、前記第1発熱抵抗体の上流側に設けられた第2測温抵抗体と、
前記第2測温抵抗体に絶縁体を介して設けられた第2発熱抵抗体と、
を有し、
前記第2発熱抵抗体の発熱によって前記第2測温抵抗体を加熱する、流量センサ。 - 請求項1記載の流量センサにおいて、
前記第2発熱抵抗体と前記第2測温抵抗体との距離が、前記第1発熱抵抗体と前記第2測温抵抗体との距離よりも短い、流量センサ。 - 請求項1記載の流量センサにおいて、
前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体とは、同一材料からなる、流量センサ。 - 請求項1記載の流量センサにおいて、
前記第2発熱抵抗体の発熱する面積が、前記第1発熱抵抗体の発熱する面積よりも小さい、流量センサ。 - 請求項1記載の流量センサにおいて、
前記第1測温抵抗体と前記第2測温抵抗体とは、前記第1発熱抵抗体を挟んで前記被測定流体の流れる方向に線対称に設けられている、流量センサ。 - 被測定流体の流量を測定する流量センサであって、
第1発熱抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体から離隔して、前記第1発熱抵抗体の下流側に設けられた第1測温抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体から離隔して、前記第1発熱抵抗体の上流側に設けられた第2測温抵抗体と、
前記第2測温抵抗体に絶縁体を介して設けられた第2発熱抵抗体と、
を有し、
前記第2発熱抵抗体の発熱によって前記第2測温抵抗体を加熱して、前記第1測温抵抗体の第1抵抗値と前記第2測温抵抗体の第2抵抗値との差を許容範囲内とすることにより、ゼロ点を補正する、流量センサ。 - 請求項6記載の流量センサにおいて、
前記第1抵抗値と前記第2抵抗値との差を確認する比較器を備える、流量センサ。 - 請求項6記載の流量センサにおいて、
前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体とをむすぶ直線の中点が、前記第1測温抵抗体と前記第2測温抵抗体とをむすぶ直線の中点よりも前記被測定流体の上流側に位置する、流量センサ。 - 請求項6記載の流量センサにおいて、
前記第2発熱抵抗体と前記第2測温抵抗体との距離が、前記第1発熱抵抗体と前記第2測温抵抗体との距離よりも短い、流量センサ。 - 請求項6記載の流量センサにおいて、
前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体とは、同一材料からなる、流量センサ。 - 請求項6記載の流量センサにおいて、
前記第2発熱抵抗体の発熱する面積が、前記第1発熱抵抗体の発熱する面積よりも小さい、流量センサ。 - 請求項6記載の流量センサにおいて、
前記第1測温抵抗体と前記第2測温抵抗体とは、前記第1発熱抵抗体を挟んで前記被測定流体の流れる方向に線対称に設けられている、流量センサ。 - 内燃機関に吸入される空気の流量を測定する流量センサであって、
第1発熱抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体から離隔して、前記第1発熱抵抗体の下流側に設けられた第1測温抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体から離隔して、前記第1発熱抵抗体の上流側に設けられた第2測温抵抗体と、
前記第2測温抵抗体に絶縁体を介して設けられた第2発熱抵抗体と、
を有し、
前記内燃機関が停止している状態で、前記第2発熱抵抗体を給電により発熱させて前記第2測温抵抗体を加熱して、前記第1測温抵抗体の第1抵抗値と前記第2測温抵抗体の第2抵抗値との差を許容範囲内とすることにより、ゼロ点を補正する流量センサ。 - 請求項13記載の流量センサであって、
前記第1抵抗値と前記第2抵抗値との差を確認する比較器を備える、流量センサ。 - 請求項14記載の流量センサにおいて、
前記第1発熱抵抗体と前記第2発熱抵抗体とをむすぶ直線の中点が、前記第1測温抵抗体と前記第2測温抵抗体とをむすぶ直線の中点よりも前記被測定流体の上流側に位置する、流量センサ。
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