JP2017088634A - Epoxy resin composition, method for producing epoxy resin cured product, and semiconductor device - Google Patents

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Hisafumi Yamada
尚史 山田
健 廣田
Takeshi Hirota
健 廣田
大神 浩一郎
Koichiro Ogami
浩一郎 大神
秀安 朝蔭
Hideyasu Asakage
秀安 朝蔭
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin composition that can produce a cured product excellent in heat resistance, thermal decomposition stability, and mechanical strength retention as well as is excellent in flowability during molding, and is suitable for use as a power device encapsulating material, and to provide a method for producing epoxy resin cured product.SOLUTION: Provided are: an epoxy resin composition containing an epoxy resin represented by the general formula (1), a phenol type curing agent, a curing catalyst, and an inorganic filler and having an exothermic peak top of 150°C or higher when subjected to differential scanning calorimetry measurement under a condition of a temperature rise rate of 10°C/min; and also a method for producing an epoxy resin cured product which is formed by molding the epoxy resin composition at 100°C to 200°C, followed by post-cure at 200°C to 300°C. (Here, n represents an average value of 0.2 to 4.0, and G represents a glycidyl group.).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、エポキシ樹脂組成物、エポキシ樹脂硬化物の製造方法、及び半導体装置に関し、詳しくは、耐熱性、熱分解安定性に優れたエポキシ樹脂硬化物が得られると共に、成形の際の流動性に優れ、特に、パワー半導体封止用として好適なエポキシ樹脂組成物、エポキシ樹脂硬化物の製造方法、及び半導体装置に関する。   The present invention relates to an epoxy resin composition, a method for producing an epoxy resin cured product, and a semiconductor device. More specifically, an epoxy resin cured product having excellent heat resistance and thermal decomposition stability is obtained, and fluidity during molding is provided. In particular, the present invention relates to an epoxy resin composition suitable for power semiconductor sealing, a method for producing a cured epoxy resin, and a semiconductor device.

エポキシ樹脂は工業的に幅広い用途で使用されている。その一例として、半導体装置における封止材としての用途があるが、半導体装置における要求性能は近年ますます高度化しており、要求されるパワー密度は従来のSiデバイスでは到達困難な領域になっている。この様な中で、更なる高パワー密度化が期待され、近年開発が進められているデバイスとしてSiCパワーデバイスが挙げられるが、高パワー密度化を達成するためには動作時のチップ表面の温度が250℃にも達する。そのため、その温度に耐え得るものであり、且つ1000時間以上その物性を維持できる封止材料の開発が強く望まれている。   Epoxy resins are used in a wide range of industrial applications. As an example, there is an application as a sealing material in a semiconductor device, but the required performance in the semiconductor device has become increasingly sophisticated in recent years, and the required power density has become a region that is difficult to reach with conventional Si devices. . Under such circumstances, SiC power devices can be cited as devices that are expected to have higher power density and are being developed in recent years. To achieve higher power density, the temperature of the chip surface during operation Reaches 250 ° C. Therefore, development of a sealing material that can withstand the temperature and can maintain the physical properties for 1000 hours or more is strongly desired.

このような中、特許文献1、2には、ビフェノール−フェニルアラルキル構造を有するエポキシ樹脂、エポキシ樹脂組成物、及び硬化物が開示されており、耐熱性、耐湿性、及び熱伝導性に優れることが示されている。しかしながら、このように特許文献1に示されるエポキシ樹脂を用いた場合においても、通常の成形手法でフェノールノボラックを硬化剤として使用した場合において、200℃前後のガラス転移温度(Tg)の硬化物しか得られていない。そのため、250℃もの高い動作温度に耐えうる高耐熱性のSiCパワーデバイス向け封止材料の特性を満足し得ないという課題があった。また、特許文献1においては、SiCパワーデバイス向け封止材料に要求される、長期の熱安定性については述べられていない。   Under such circumstances, Patent Documents 1 and 2 disclose an epoxy resin, an epoxy resin composition, and a cured product having a biphenol-phenylaralkyl structure, and are excellent in heat resistance, moisture resistance, and thermal conductivity. It is shown. However, even when the epoxy resin disclosed in Patent Document 1 is used as described above, when a phenol novolak is used as a curing agent by a normal molding method, only a cured product having a glass transition temperature (Tg) of about 200 ° C. Not obtained. Therefore, the subject that the characteristic of the sealing material for high heat resistant SiC power devices which can endure a high operating temperature of 250 degreeC cannot be satisfied occurred. Moreover, in patent document 1, long-term thermal stability required for the sealing material for SiC power devices is not described.

特開平11−60687号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-60687 特開平10−292032号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-292032

従って、本発明の目的は、高Tg性(耐熱性)、高温長期での重量保持性(熱分解安定性)、及び機械強度保持性に優れたエポキシ樹脂硬化物を得ることができると共に、成形の際の流動性にも優れて、パワーデバイス封止材料として用いるのに好適なエポキシ樹脂組成物を提供することにある。また、本発明の別の目的は、このエポキシ樹脂組成物を用いることで、好適にはパワーデバイス封止材のような、エポキシ樹脂硬化物を製造する方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to obtain an epoxy resin cured product excellent in high Tg property (heat resistance), weight retention property (thermal decomposition stability) at high temperature and long term, and mechanical strength retention property, and molding. Another object of the present invention is to provide an epoxy resin composition that is excellent in fluidity and suitable for use as a power device sealing material. Another object of the present invention is to provide a method for producing a cured epoxy resin such as a power device encapsulant by using this epoxy resin composition.

すなわち、本発明は、下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂、フェノール系硬化剤、硬化触媒、及び無機充填剤を含有するエポキシ樹脂組成物であって、該エポキシ樹脂組成物を昇温速度10℃/分の条件で示差走査熱量測定したとき、発熱ピークトップが150℃以上となるものであることを特徴とするエポキシ樹脂組成物である。

Figure 2017088634
(但し、nは平均値として0.2〜4.0を示し、Gはグリシジル基を示す。) That is, the present invention is an epoxy resin composition containing an epoxy resin represented by the following general formula (1), a phenolic curing agent, a curing catalyst, and an inorganic filler, and the temperature of the epoxy resin composition is increased. An epoxy resin composition characterized by having an exothermic peak top of 150 ° C. or higher when differential scanning calorimetry is performed at a rate of 10 ° C./min.
Figure 2017088634
(However, n represents an average value of 0.2 to 4.0, and G represents a glycidyl group.)

また、本発明は、硬化触媒が、イミダゾール類、有機ホスフィン類、及びアミン類からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする上記に記載のエポキシ樹脂組成物である。   The present invention is the epoxy resin composition as described above, wherein the curing catalyst is at least one selected from the group consisting of imidazoles, organic phosphines, and amines.

また、本発明は、フェノール系硬化剤が、下記一般式(2)又は(3)で表される、上記に記載のエポキシ樹脂組成物である。

Figure 2017088634
(但し、Rは水素原子又は炭素数1〜6の炭化水素基を示し、lは0又は1の数を示す。)
Figure 2017088634
(但し、Aはベンゼン環、ナフタレン環又はビフェニル環を示し、kは1〜15の数、m及びpはそれぞれ1又は2の数を示す。) Moreover, this invention is an epoxy resin composition as described above in which a phenol type hardening | curing agent is represented by the following general formula (2) or (3).
Figure 2017088634
(However, R shows a hydrogen atom or a C1-C6 hydrocarbon group, and l shows the number of 0 or 1.)
Figure 2017088634
(However, A shows a benzene ring, a naphthalene ring, or a biphenyl ring, k shows the number of 1-15, m and p show the number of 1 or 2, respectively.)

また、本発明は、下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂、フェノール系硬化剤、硬化触媒、及び無機充填剤を含有し、昇温速度10℃/分の条件で示差走査熱量測定したときの発熱ピークトップが150℃以上となるエポキシ樹脂組成物を、成形温度100℃〜200℃で成形した後、更に200℃〜300℃でポストキュアすることを特徴とするエポキシ樹脂硬化物の製造方法である。

Figure 2017088634
(但し、nは平均値として0.2〜4.0を示し、Gはグリシジル基を示す。) In addition, the present invention contains an epoxy resin represented by the following general formula (1), a phenolic curing agent, a curing catalyst, and an inorganic filler, and was subjected to differential scanning calorimetry at a temperature rising rate of 10 ° C./min. An epoxy resin composition having an exothermic peak top of 150 ° C. or higher is molded at a molding temperature of 100 ° C. to 200 ° C. and then post-cured at 200 ° C. to 300 ° C. Is the method.
Figure 2017088634
(However, n represents an average value of 0.2 to 4.0, and G represents a glycidyl group.)

上記で得られるエポキシ樹脂硬化物は、パワー半導体封止材用に適する。更に、本発明は、上記エポキシ樹脂硬化物でパワー半導体素子を封止したことを特徴とする半導体装置である。   The cured epoxy resin obtained above is suitable for a power semiconductor encapsulant. Furthermore, the present invention is a semiconductor device characterized in that a power semiconductor element is sealed with the cured epoxy resin.

本発明のポキシ樹脂組成物を用いて得られたエポキシ樹脂硬化物は、高Tg性、高温長期での重量保持性、及び機械強度保持性に優れると共に、このポキシ樹脂組成物は成形の際に優れた流動性を備える。そのため、本発明のエポキシ樹脂組成物は、パワー半導体の封止材料の用途に好適に使用することができる。   The cured epoxy resin obtained using the poxy resin composition of the present invention is excellent in high Tg property, weight retention at high temperature and long term, and mechanical strength retention. Excellent fluidity. Therefore, the epoxy resin composition of this invention can be used conveniently for the use of the sealing material of a power semiconductor.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明のエポキシ樹脂組成物の必須成分である、上記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂は、下記一般式(a)で表される多価ヒドロキシ樹脂とエピクロロヒドリンとを反応させることにより製造することができる。そして、この多価ヒドロキシ樹脂は、ビフェノール類と下記一般式(b)で表されるフェニル系縮合剤とを反応させることにより製造することができる。

Figure 2017088634
(但し、nは平均値として0.2〜4.0を示す。)
Figure 2017088634
(但し、Xは水酸基、ハロゲン原子又は炭素数1〜6のアルコキシ基を示す。) The epoxy resin represented by the general formula (1), which is an essential component of the epoxy resin composition of the present invention, reacts a polyvalent hydroxy resin represented by the following general formula (a) with epichlorohydrin. Can be manufactured. And this polyhydric hydroxy resin can be manufactured by making biphenols and the phenyl-type condensing agent represented by the following general formula (b) react.
Figure 2017088634
(However, n represents an average value of 0.2 to 4.0.)
Figure 2017088634
(However, X shows a hydroxyl group, a halogen atom, or a C1-C6 alkoxy group.)

多価ヒドロキシ樹脂の合成原料のビフェノール類としては、例えば4,4’−ジヒドロキシビフェニル、2,2’−ジヒドロキシビフェニル等のジヒドロキシビフェニル類が挙げられる。これらの二官能フェノール性化合物は炭素数1〜6の炭化水素基で置換されていてもよい。置換基としては、例えばメチル基、エチル基、イソプロピル基、アリル基、ターシャリーブチル基、アミル基、シクロヘキシル基、フェニル基などが挙げられる。また、これらのジヒドロキシビフェニル類は単独でもよいし、2種類以上を併用してもよい。   Examples of the biphenols used as a raw material for synthesizing the polyvalent hydroxy resin include dihydroxybiphenyls such as 4,4'-dihydroxybiphenyl and 2,2'-dihydroxybiphenyl. These bifunctional phenolic compounds may be substituted with a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. Examples of the substituent include a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, an allyl group, a tertiary butyl group, an amyl group, a cyclohexyl group, and a phenyl group. These dihydroxybiphenyls may be used alone or in combination of two or more.

一般式(b)において、Xは水酸基、ハロゲン原子又は炭素数1〜6のアルコキシ基を示す。一般式(b)のフェニル系縮合剤としては、o−体、m−体、p−体のいずれでもよいが、好ましくは、m−体、p−体である。具体的には、p−キシリレングリコール、α,α’−ジメトキシ−p−キシレン、α,α’−ジエトキシ−p−キシレン、α,α’−ジイソプロピル−p−キシレン、α,α’−ジブトキシ−p−キシレン、m−キシリレングリコール、α,α’−ジメトキシ−m−キシレン、α,α’−ジエトキシ−m−キシレン、α,α’−ジイソプロポキシ−m−キシレン、α,α’−ジブトキシ−m−キシレン等が挙げられる。   In the general formula (b), X represents a hydroxyl group, a halogen atom or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms. The phenyl-based condensing agent of the general formula (b) may be any of o-, m-, and p-forms, preferably m-forms and p-forms. Specifically, p-xylylene glycol, α, α′-dimethoxy-p-xylene, α, α′-diethoxy-p-xylene, α, α′-diisopropyl-p-xylene, α, α′-dibutoxy -P-xylene, m-xylylene glycol, α, α'-dimethoxy-m-xylene, α, α'-diethoxy-m-xylene, α, α'-diisopropoxy-m-xylene, α, α ' -Dibutoxy-m-xylene etc. are mentioned.

反応させる際のモル比は、例えば4,4’−ジヒドロキシビフェニル1モルに対して、フェニル系縮合剤が1モル以下でなければならず、一般的には0.1〜0.7モルの範囲であり、より好ましくは0.2〜0.5モルの範囲である。これより少ないと結晶性が強くなり、エポキシ樹脂を合成する際のエピクロロヒドリンへの溶解性が低下するとともに、得られたエポキシ樹脂の融点が高くなり、取扱い性が低下する。また、これより多いと樹脂の結晶性が低下するとともに軟化点および溶融粘度が高くなり、取扱い作業性、成形性に支障をきたす。   The molar ratio in the reaction is, for example, 1 mol or less of the phenyl condensing agent per mol of 4,4′-dihydroxybiphenyl, and is generally in the range of 0.1 to 0.7 mol. More preferably, it is the range of 0.2-0.5 mol. If it is less than this, the crystallinity becomes strong, the solubility in epichlorohydrin when synthesizing the epoxy resin is lowered, the melting point of the obtained epoxy resin is increased, and the handleability is lowered. On the other hand, if the amount is larger than this, the crystallinity of the resin is lowered and the softening point and the melt viscosity are increased, which hinders handling workability and moldability.

また、縮合剤としてp−キシリレングリコールを用いる際には、無触媒下で反応させることもできるが、通常は、本縮合反応は酸性触媒の存在下に行う。この酸性触媒としては、周知の無機酸、有機酸より適宜選択することができ、例えば、塩酸、硫酸、燐酸等の鉱酸や、ギ酸、シュウ酸、トリフルオロ酢酸、p−トルエンスルホン酸、メタスルホン酸、トリフルオロメタスルホン酸等の有機酸や、塩化亜鉛、塩化アルミニウム、塩化鉄、三フッ化ホウ素等のルイス酸、あるいは固体酸等が挙げられる。   In addition, when p-xylylene glycol is used as the condensing agent, the reaction can be carried out in the absence of a catalyst, but usually the condensation reaction is carried out in the presence of an acidic catalyst. The acidic catalyst can be appropriately selected from known inorganic acids and organic acids. For example, mineral acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, formic acid, oxalic acid, trifluoroacetic acid, p-toluenesulfonic acid, metasulfone Examples thereof include organic acids such as acid and trifluorometasulfonic acid, Lewis acids such as zinc chloride, aluminum chloride, iron chloride, and boron trifluoride, and solid acids.

この反応は10〜250℃で1〜20時間行われる。また、反応の際にメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等のアルコール類や、ベンゼン、トルエン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン等の芳香族化合物等を溶媒として使用することができる。反応終了後、必要に応じて溶媒、又は縮合反応により生成する水、アルコール類は除去される。   This reaction is carried out at 10 to 250 ° C. for 1 to 20 hours. In the reaction, alcohols such as methanol, ethanol, propanol, butanol, ethylene glycol, methyl cellosolve and ethyl cellosolve, and aromatic compounds such as benzene, toluene, chlorobenzene and dichlorobenzene can be used as a solvent. . After completion of the reaction, the solvent or water and alcohol produced by the condensation reaction are removed as necessary.

一般式(a)で表される多価ヒドロキシ樹脂とエピクロルヒドリンとの反応による本発明のエポキシ樹脂の製造方法について説明する。この反応は周知のエポキシ化反応と同様に行うことができる。   The method for producing the epoxy resin of the present invention by the reaction between the polyvalent hydroxy resin represented by the general formula (a) and epichlorohydrin will be described. This reaction can be performed in the same manner as a well-known epoxidation reaction.

例えば、一般式(a)で表される多価ヒドロキシ樹脂を過剰のエピクロルヒドリンに溶解した後、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の存在下に50〜150℃、好ましくは60〜120℃の範囲で1〜10時間反応させる方法が挙げられる。この際のエピクロルヒドリンの使用量は、多価ヒドロキシ樹脂中の水酸基1モルに対して0.8〜2モル、好ましくは0.9〜1.2モルの範囲である。反応終了後過剰のエピクロルヒドリンを留去し、残留物をトルエン、メチルイソブチルケトン等の溶媒に溶解し、濾過し、水洗して無機塩を除去し、次いで溶媒を留去することにより前記一般式(1)で表される目的のエポキシ樹脂を得ることができる。エポキシ化反応を行う際に、四級アンモニウム塩等の触媒を用いてもよい。   For example, after the polyvalent hydroxy resin represented by the general formula (a) is dissolved in excess epichlorohydrin, it is 50 to 150 ° C., preferably 60 in the presence of an alkali metal hydroxide such as sodium hydroxide or potassium hydroxide. The method of making it react for 1 to 10 hours in the range of -120 degreeC is mentioned. In this case, the amount of epichlorohydrin used is in the range of 0.8 to 2 mol, preferably 0.9 to 1.2 mol, relative to 1 mol of the hydroxyl group in the polyvalent hydroxy resin. Excess epichlorohydrin was distilled off after completion of the reaction, the residue was dissolved in a solvent such as toluene and methyl isobutyl ketone, filtered, washed with water to remove inorganic salts, and then the solvent was distilled off to remove the general formula ( The target epoxy resin represented by 1) can be obtained. When performing the epoxidation reaction, a catalyst such as a quaternary ammonium salt may be used.

本発明のエポキシ樹脂の純度、特に加水分解性塩素量は、適用する電子部品の信頼性向上の観点より少ない方がよい。特に限定するものではないが、好ましくは1000ppm以下、さらに好ましくは500ppm以下である。なお、本発明でいう加水分解性塩素とは、以下の方法により測定された値をいう。すなわち、試料0.5gをジオキサン30mlに溶解後、1N−KOH、10mlを加え30分間煮沸還流した後、室温まで冷却し、さらに80%アセトン水100mlを加え、0.002N−AgNO3水溶液で電位差滴定を行い得られる値である。 The purity of the epoxy resin of the present invention, in particular the amount of hydrolyzable chlorine, is better from the viewpoint of improving the reliability of the applied electronic component. Although it does not specifically limit, Preferably it is 1000 ppm or less, More preferably, it is 500 ppm or less. In addition, the hydrolyzable chlorine as used in the field of this invention means the value measured by the following method. That is, the potential difference the sample 0.5g were dissolved in dioxane 30 ml, 1N-KOH, after the added boiled under reflux for 30 minutes 10 ml, cooled to room temperature, 80% aqueous acetone 100ml was added, with 0.002 N-AgNO 3 aqueous solution This is a value obtained by titration.

次に、本発明のエポキシ樹脂組成物について説明する。本発明のエポキシ樹脂組成物は、上記一般式(1)のエポキシ樹脂、フェノール系硬化剤、硬化触媒及び無機充填剤を含む。   Next, the epoxy resin composition of the present invention will be described. The epoxy resin composition of this invention contains the epoxy resin of the said General formula (1), a phenol type hardening | curing agent, a curing catalyst, and an inorganic filler.

このエポキシ樹脂組成物に配合する硬化触媒としては、硬化を促進させると共に、成形時の流動性を向上させる目的で、エポキシ樹脂組成物中に高温領域に活性点を持つ硬化触媒(高温活性触媒)を用いることが好ましい。   As a curing catalyst to be blended in this epoxy resin composition, a curing catalyst having an active site in a high temperature region in the epoxy resin composition (high temperature active catalyst) for the purpose of promoting curing and improving fluidity during molding. Is preferably used.

硬化触媒の含有量は、エポキシ樹脂100重量部に対して、0.2〜5重量部の範囲であるのがよい。好ましくは0.5〜3重量部であり、より好ましくは0.5〜2.5重量部である。これより小さいと硬化性が低下し、また反対にこれより大きくなると、成形時の流動性向上効果が十分に発現されなくなる。   The content of the curing catalyst is preferably in the range of 0.2 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin. Preferably it is 0.5-3 weight part, More preferably, it is 0.5-2.5 weight part. If it is smaller than this, the curability will be lowered, and conversely if it is larger than this, the fluidity improving effect at the time of molding will not be sufficiently exhibited.

高温活性触媒を使用したエポキシ樹脂組成物のDSC発熱ピーク温度としては、150℃以上であり、好ましくは155℃以上、より好ましくは165℃以上である。発熱ピーク温度が150℃より低いと成形時に硬化反応が進行してしまい流動性向上効果が十分に発現されない。このDSC発熱ピーク温度は、硬化触媒としての高温活性触媒を配合したエポキシ樹脂組成物を、昇温速度10℃/分の条件で示差走査熱量測定(DSC測定)したときの、最大発熱ピーク(発熱ピークトップ)を示す温度である。なお、DSC発熱ピーク温度の上限については、ポストキュアによる硬化温度の範囲が200℃〜300℃であるのが好ましいことなどを考慮すると、実質的には300℃である。   The DSC exothermic peak temperature of the epoxy resin composition using the high-temperature active catalyst is 150 ° C or higher, preferably 155 ° C or higher, more preferably 165 ° C or higher. When the exothermic peak temperature is lower than 150 ° C., the curing reaction proceeds at the time of molding, and the effect of improving fluidity is not sufficiently exhibited. This DSC exothermic peak temperature is the maximum exothermic peak (exothermic heat) when differential scanning calorimetry (DSC measurement) is performed on an epoxy resin composition containing a high-temperature active catalyst as a curing catalyst at a temperature rising rate of 10 ° C / min. This is a temperature indicating a peak top. In addition, the upper limit of the DSC exothermic peak temperature is substantially 300 ° C. considering that the curing temperature range by post-cure is preferably 200 ° C. to 300 ° C.

硬化触媒(高温活性触媒)としては、例を挙げれば、イミダゾール類、有機ホスフィン類、アミン類等が挙げられる。イミダゾール類としては、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−〔2‘−ジメチルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−〔2‘−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−〔2‘−ウンデシルイミダゾリル−(1’)〕−エチル−s−トリアジン等、有機ホスフィン類としては、トリス−(2,6−ジメトキシフェニル)ホスフィン、トリ−p−トリルホスフィン、トリス(p−クロロフェニル)ホスフィン、トリス(p−メトキシフェニル)ホスフィン等、アミン類としては、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7のフェノールノボラック塩等がそれぞれ挙げられる。これらの1種又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the curing catalyst (high temperature active catalyst) include imidazoles, organic phosphines, amines and the like. Examples of imidazoles include 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-heptadecylimidazole, and 2,4-diamino-6- [2′-dimethyl. Imidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4- Examples of organic phosphines such as diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine include tris- (2,6-dimethoxyphenyl) phosphine, tri-p-tolylphosphine, Examples of amines such as tris (p-chlorophenyl) phosphine and tris (p-methoxyphenyl) phosphine include 1,8-dia Bicyclo (5,4,0) phenol novolak salts of undecene-7 can be mentioned. One or two or more of these may be used in combination.

本発明では、硬化触媒として特定の活性温度領域をもつ高温活性触媒を使用することで、流動性の低下を抑制でき、さらに、硬化条件に関して、特に本発明のエポキシ樹脂を使用した場合に特異的に高温での硬化条件がガラス転移温度に大きく影響を与えることが見出された。   In the present invention, by using a high-temperature active catalyst having a specific active temperature region as a curing catalyst, it is possible to suppress a decrease in fluidity. Further, regarding the curing conditions, particularly when the epoxy resin of the present invention is used. In addition, it has been found that the curing conditions at high temperature greatly affect the glass transition temperature.

また、硬化剤としては、フェノール系硬化剤を使用する。半導体封止材等の高い電気絶縁性が要求される分野においては、多価フェノール類を硬化剤として用いることが好ましい。以下に、硬化剤の具体例を示す。   Moreover, a phenol type hardening | curing agent is used as a hardening | curing agent. In fields where high electrical insulation is required, such as semiconductor encapsulants, polyhydric phenols are preferably used as curing agents. Below, the specific example of a hardening | curing agent is shown.

多価フェノール類としては、例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フルオレンビスフェノール、ハイドロキノン、レゾルシン、カテコール、ビフェノール類、ナフタレンジオール類等の2価のフェノール類、更にはトリス−(4−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、フェノールノボラック、o−クレゾールノボラック、ナフトールノボラック、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂等に代表される3価以上のフェノール類等がある。更にはフェノール類、ナフトール類又は、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フルオレンビスフェノール、4,4' −ビフェノール、2,2' −ビフェノール、ハイドロキノン、レゾルシン、カテコール、ナフタレンジオール類等の2価のフェノール類とホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、p−ヒドロキシベンズアルデヒド、p−キシリレングリコール、p−キシリレングリコールジメチルエーテル、ジビニルベンゼン、ジイソプロペニルベンゼン、ジメトキシメチルビフェニル類、ジビニルビフェニル、ジイソプロペニルビフェニル類等の架橋剤との反応により合成される多価フェノール性化合物、フェノール類とビスクロロメチルビフェニル等から得られるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂等がある。更には、ナフトール類とパラキシリレンジクロライド等から合成されるナフトールアラルキル樹脂類等が挙げられる。   Examples of polyhydric phenols include divalent phenols such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, fluorene bisphenol, hydroquinone, resorcin, catechol, biphenols, naphthalenediols, and tris- (4-hydroxyphenyl). ) Trivalent or higher typified by methane, 1,1,2,2-tetrakis (4-hydroxyphenyl) ethane, phenol novolak, o-cresol novolak, naphthol novolak, dicyclopentadiene type phenol resin, phenol aralkyl resin, etc. There are phenols. Furthermore, divalent phenols such as phenols, naphthols or bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, fluorene bisphenol, 4,4′-biphenol, 2,2′-biphenol, hydroquinone, resorcin, catechol, naphthalenediols, etc. Of formaldehyde, acetaldehyde, benzaldehyde, p-hydroxybenzaldehyde, p-xylylene glycol, p-xylylene glycol dimethyl ether, divinylbenzene, diisopropenylbenzene, dimethoxymethylbiphenyls, divinylbiphenyl, diisopropenylbiphenyls, etc. Polyphenolic compounds synthesized by reaction with chemicals, biphenyl aralkyl type phenols obtained from phenols and bischloromethylbiphenyl, etc. Resin. Furthermore, naphthol aralkyl resins synthesized from naphthols and paraxylylene dichloride are exemplified.

このうち、好ましいフェノール系硬化剤としては、下記一般式(2)又は(3)で表されるアラルキル型フェノール樹脂であるのがよい。

Figure 2017088634
ここで、Rは水素原子又は炭素数1〜6の炭化水素基を示し、lは0〜2の数を示す。
Figure 2017088634
ここで、Aはベンゼン環、ナフタレン環、又はビフェニル環を示し、mおよびpは独立に1または2の数を示す。ここで、ベンゼン環、ナフタレン環、又はビフェニル環は、置換基を有するものであってもよく、好ましい置換基は炭素数が1〜3のアルキル基である。kは繰り返し数であり1〜15の数であるが、その平均は1〜2の範囲であることが好ましい。 Among these, a preferable phenolic curing agent is preferably an aralkyl type phenol resin represented by the following general formula (2) or (3).
Figure 2017088634
Here, R shows a hydrogen atom or a C1-C6 hydrocarbon group, and l shows the number of 0-2.
Figure 2017088634
Here, A represents a benzene ring, a naphthalene ring, or a biphenyl ring, and m and p independently represent a number of 1 or 2. Here, the benzene ring, naphthalene ring, or biphenyl ring may have a substituent, and a preferable substituent is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. k is the number of repetitions and is a number from 1 to 15, but the average is preferably in the range of 1 to 2.

一般式(2)で表される硬化剤を使用することで、パワーデバイス封止剤に求められる250℃以上の高Tg性が見出され、長期耐熱試験時にガラス状態を保つことで高い熱分解安定性が発現される。また、一般式(3)で表される硬化剤を使用することで、熱安定性に優れるビフェニル構造の導入により特に優れた重量保持率及び曲げ強度保持率が発現される。   By using the curing agent represented by the general formula (2), a high Tg property of 250 ° C. or higher required for a power device sealant is found, and a high thermal decomposition is achieved by maintaining a glass state during a long-term heat test. Stability is expressed. Further, by using the curing agent represented by the general formula (3), particularly excellent weight retention and bending strength retention are exhibited by the introduction of a biphenyl structure having excellent thermal stability.

一般式(2)で表される多価ヒドロキシ化合物(フェノール系硬化剤)は、サリチルアルデヒド又はp−ヒドロキシアルデヒドとフェノール性水酸基含有化合物とを反応させることにより製造できる。   The polyvalent hydroxy compound (phenolic curing agent) represented by the general formula (2) can be produced by reacting salicylaldehyde or p-hydroxyaldehyde with a phenolic hydroxyl group-containing compound.

ここで、フェノール性水酸基含有化合物としては、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2−エチルフェノール、4−エチルフェノール、2−プロピルフェノール、4−プロピルフェノール、4−tert−ブチルフェノール、4−ペンチルフェノール、4−tert−ペンチルフェノール、4−ネオペンチルフェノール、2−シクロペンチルフェノール、2−ヘキシルフェノール、4−ヘキシルフェノール等が挙げられる。   Here, as the phenolic hydroxyl group-containing compound, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2-ethylphenol, 4-ethylphenol, 2-propylphenol, 4-propylphenol, 4-tert-butylphenol 4-pentylphenol, 4-tert-pentylphenol, 4-neopentylphenol, 2-cyclopentylphenol, 2-hexylphenol, 4-hexylphenol, and the like.

一方、一般式(3)で表される多価ヒドロキシ化合物(フェノール系硬化剤)は、ベンゼン環又はナフタレン環を有するフェノール性水酸基含有化合物と芳香族架橋剤とを反応させることにより製造できる。   On the other hand, the polyvalent hydroxy compound (phenolic curing agent) represented by the general formula (3) can be produced by reacting a phenolic hydroxyl group-containing compound having a benzene ring or a naphthalene ring with an aromatic crosslinking agent.

ここで、フェノール性水酸基含有化合物としては、フェノール、ハイドロキノン、レゾルシン、カテコール、ピロガロール、フロログルシノール、1−ナフトール、2−ナフトール、1,5−ナフタレンジオール、1,6−ナフタレンジオール、1,7−ナフタレンジオール、2,6−ナフタレンジオール、2,7−ナフタレンジオール、2,2’−ジヒドロキシビフェニル、3,3’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジヒドロキシビフェニル等が挙げられる。   Here, as the phenolic hydroxyl group-containing compound, phenol, hydroquinone, resorcin, catechol, pyrogallol, phloroglucinol, 1-naphthol, 2-naphthol, 1,5-naphthalenediol, 1,6-naphthalenediol, 1,7 -Naphthalenediol, 2,6-naphthalenediol, 2,7-naphthalenediol, 2,2'-dihydroxybiphenyl, 3,3'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-dihydroxybiphenyl and the like.

芳香族架橋剤としては、ベンゼン骨格を有するものとビフェニル骨格を有するものがある。ベンゼン骨格を有するものとしては、o−体、m−体、p−体のいずれでもよいが、好ましくは、m−体、p−体である。具体的には、p−キシリレングリコール、α,α’−ジメトキシ−p−キシレン、α,α’−ジエトキシ−p−キシレン、α,α’−ジイソプロピル−p−キシレン、α,α’−ジブトキシ−p−キシレン、m−キシリレングリコール、α,α’−ジメトキシ−m−キシレン、α,α’−ジエトキシ−m−キシレン、α,α’−ジイソプロポキシ−m−キシレン、α,α’−ジブトキシ−m−キシレン等が挙げられる。また、ビフェニル骨格を有するものとしては、4,4’−ジヒドロキシメチルビフェニル、2,4’−ジヒドロキシメチルビフェニル、2,2’−ジヒドロキシメチルビフェニル、4,4’−ジメトキシメチルビフェニル、2,4’−ジメトキシメチルビフェニル、2,2’−ジメトキシメチルビフェニル、4,4’−ジイソプロポキシメチルビフェニル、2,4’−ジイソプロポキシメチルビフェニル、2,2’−ジイソプロポキシメチルビフェニル、4,4’−ジブトキシメチルビフェニル、2,4’−ジブトキシメチルビフェニル、2,2’−ジブトキシメチルビフェニル等が挙げられる。メチロール基等の官能基のビフェニルに対する置換位置は、4,4’−位、2,4’−位、2,2’−位のいずれでもよいが、縮合剤として望ましい化合物は4,4’−体であり、全架橋剤中に4,4’−体が50wt%以上含まれたものが特に好ましい。これより少ないとエポキシ樹脂硬化剤としての硬化速度が低下したり、得られた硬化物が脆くなりやすい。   Aromatic crosslinking agents include those having a benzene skeleton and those having a biphenyl skeleton. Those having a benzene skeleton may be any of o-, m- and p-forms, preferably m-forms and p-forms. Specifically, p-xylylene glycol, α, α′-dimethoxy-p-xylene, α, α′-diethoxy-p-xylene, α, α′-diisopropyl-p-xylene, α, α′-dibutoxy -P-xylene, m-xylylene glycol, α, α'-dimethoxy-m-xylene, α, α'-diethoxy-m-xylene, α, α'-diisopropoxy-m-xylene, α, α ' -Dibutoxy-m-xylene etc. are mentioned. Examples of those having a biphenyl skeleton include 4,4′-dihydroxymethylbiphenyl, 2,4′-dihydroxymethylbiphenyl, 2,2′-dihydroxymethylbiphenyl, 4,4′-dimethoxymethylbiphenyl, and 2,4 ′. -Dimethoxymethylbiphenyl, 2,2'-dimethoxymethylbiphenyl, 4,4'-diisopropoxymethylbiphenyl, 2,4'-diisopropoxymethylbiphenyl, 2,2'-diisopropoxymethylbiphenyl, 4,4 Examples include '-dibutoxymethylbiphenyl, 2,4'-dibutoxymethylbiphenyl, 2,2'-dibutoxymethylbiphenyl, and the like. The substitution position of a functional group such as a methylol group with respect to biphenyl may be any of 4,4′-position, 2,4′-position, and 2,2′-position, but a desirable compound as a condensing agent is 4,4′-position. It is particularly preferable that the total crosslinking agent contains 50 wt% or more of the 4,4′-isomer. If it is less than this, the curing rate as an epoxy resin curing agent will decrease, or the resulting cured product will be brittle.

上記一般式(3)において、kは1から15の数である。kの値は、上記フェノール性水酸基含有化合物と上記架橋剤を反応させる際の両者のモル比を変えることにより容易に調製できる。すなわち、フェノール性水酸基含有化合物を架橋剤に対して、過剰に用いるほどkの値は小さくコントロールできる。kの値が大きいほど得られた樹脂の軟化点及び粘度が高くなる。また、kの値が小さいほど粘度が低下するが、合成時の未反応フェノール性水酸基含有化合物が多くなり、樹脂の生産効率が低下する。両者のモル比は、実用上、フェノール性水酸基含有化合物1モルに対して架橋剤が1モル以下でなければならず、好ましくは、0.1〜0.9モルの範囲である。0.1モルより少ないと未反応のフェノール性水酸基含有化合物量が多くなり、工業上好ましくない。   In the general formula (3), k is a number from 1 to 15. The value of k can be easily prepared by changing the molar ratio between the phenolic hydroxyl group-containing compound and the crosslinking agent when they are reacted. That is, the value of k can be controlled smaller as the phenolic hydroxyl group-containing compound is used in excess relative to the crosslinking agent. The larger the value of k, the higher the softening point and viscosity of the obtained resin. Further, the smaller the value of k, the lower the viscosity. However, the amount of unreacted phenolic hydroxyl group-containing compound at the time of synthesis increases, and the production efficiency of the resin decreases. Practically, the molar ratio of the crosslinking agent must be 1 mol or less, preferably 0.1 to 0.9 mol per mol of the phenolic hydroxyl group-containing compound. When the amount is less than 0.1 mol, the amount of unreacted phenolic hydroxyl group-containing compound is increased, which is not industrially preferable.

エポキシ樹脂組成物中におけるフェノール系硬化剤の配合量は、一般式(1)で表されるエポキシ樹脂中のエポキシ基とフェノール系硬化剤の水酸基との当量バランスを考慮して配合する。エポキシ樹脂及び硬化剤の当量比は、上記一般式(2)又は(3)のフェノール系硬化剤ともに、通常、0.2から5.0の範囲であり、好ましくは0.5から2.0の範囲であり、さらに好ましくは0.8〜1.5の範囲である。これより大きくても小さくても、エポキシ樹脂組成物の硬化性が低下するとともに、硬化物の耐熱性、力学強度等が低下する。   The amount of the phenolic curing agent in the epoxy resin composition is blended in consideration of the equivalent balance between the epoxy group in the epoxy resin represented by the general formula (1) and the hydroxyl group of the phenolic curing agent. The equivalent ratio of the epoxy resin and the curing agent is usually in the range of 0.2 to 5.0, preferably 0.5 to 2.0, with the phenolic curing agent of the above general formula (2) or (3). More preferably, it is the range of 0.8-1.5. If it is larger or smaller than this, the curability of the epoxy resin composition is lowered, and the heat resistance, mechanical strength and the like of the cured product are lowered.

また、このエポキシ樹脂組成物中には、硬化剤成分として、フェノール系硬化剤に加えて他の硬化剤を配合してもよい。この場合の硬化剤としては、例えば、ジシアンジアミド、酸無水物類、芳香族及び脂肪族アミン類等があり、これら硬化剤の1種又は2種以上を混合して用いることができる。しかし、上記一般式(2)又は(3)のフェノール系硬化剤以外の硬化剤の使用量は全硬化剤の50wt%以下とすることが好ましい。   Moreover, in this epoxy resin composition, you may mix | blend another hardening | curing agent in addition to a phenol type hardening | curing agent as a hardening | curing agent component. Examples of the curing agent in this case include dicyandiamide, acid anhydrides, aromatic and aliphatic amines, and one or more of these curing agents can be used in combination. However, the amount of the curing agent other than the phenol-based curing agent represented by the general formula (2) or (3) is preferably 50 wt% or less of the total curing agent.

エポキシ樹脂組成物中における一般式(1)で表されるエポキシ樹脂の配合量は、0.1wt%〜28wt%であるのがよく、好ましくは3wt%〜16wt%である。一般式(1)のエポキシ樹脂の配合量が0.1wt%より少ないと硬化物の耐熱性及び熱分解安定性が十分に改善されず、反対に28wt%より多くなるとエポキシ基と水酸基の当量バランスが悪くなり、硬化物の耐熱性、力学強度等が低下する。   The compounding amount of the epoxy resin represented by the general formula (1) in the epoxy resin composition may be 0.1 wt% to 28 wt%, and preferably 3 wt% to 16 wt%. If the blending amount of the epoxy resin of the general formula (1) is less than 0.1 wt%, the heat resistance and thermal decomposition stability of the cured product is not sufficiently improved. Conversely, if it exceeds 28 wt%, the equivalent balance of epoxy group and hydroxyl group The heat resistance, mechanical strength, etc. of the cured product are reduced.

また、このエポキシ樹脂組成物中には、エポキシ樹脂成分として、一般式(1)で表されるエポキシ樹脂に加えて他のエポキシ樹脂を配合してもよい。この場合のエポキシ樹脂としては、分子中にエポキシ基を2個以上有する通常のエポキシ樹脂はすべて使用できる。例を挙げれば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フルオレンビスフェノール、4,4' −ビフェノール、3,3',5,5'−テトラメチル−4,4'−ジヒドロキシビフェニル、レゾルシン、ナフタレンジオール類等の2価のフェノール類のエポキシ化物、トリス−(4−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、フェノールノボラック、o−クレゾールノボラック等の3価以上のフェノール類のエポキシ化物、ジシクロペンタジエンとフェノール類から得られる共縮合樹脂のエポキシ化物、クレゾール類とホルムアルデヒドとアルコキシ基置換ナフタレン類から得られる共縮合樹脂のエポキシ化物、フェノール類とパラキシリレンジクロライド等から得られるフェノールアラルキル樹脂のエポキシ化物、フェノール類とビスクロロメチルビフェニル等から得られるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂のエポキシ化物、ナフトール類とパラキシリレンジクロライド等から合成されるナフトールアラルキル樹脂類のエポキシ化物等がある。これらのエポキシ樹脂は、1種又は2種以上を混合して用いることができる。ただし、一般式(1)で表されるエポキシ樹脂の配合量は、エポキシ樹脂全体中、5〜100wt%、好ましくは60〜100wt%の範囲であるのがよい。   Moreover, in this epoxy resin composition, you may mix | blend another epoxy resin in addition to the epoxy resin represented by General formula (1) as an epoxy resin component. As the epoxy resin in this case, all ordinary epoxy resins having two or more epoxy groups in the molecule can be used. Examples include bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, fluorene bisphenol, 4,4′-biphenol, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-dihydroxybiphenyl, resorcin, naphthalenediols Trivalent or higher epoxides such as divalent phenols such as tris- (4-hydroxyphenyl) methane, 1,1,2,2-tetrakis (4-hydroxyphenyl) ethane, phenol novolak, o-cresol novolak, etc. Epoxidized products of phenols, epoxidized products of cocondensation resins obtained from dicyclopentadiene and phenols, epoxidized products of cocondensation resins obtained from cresols, formaldehyde and alkoxy-substituted naphthalenes, phenols and paraxylylene dichloride Obtained from etc. E Nord aralkyl resin epoxidized product, there phenols and bis-chloromethyl biphenyl biphenyl aralkyl type phenolic resins obtained from the epoxy compound, epoxidized naphthol aralkyl resin and the like which are synthesized from naphthols and para-xylylene dichloride and the like. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. However, the compounding quantity of the epoxy resin represented by General formula (1) is 5-100 wt% in the whole epoxy resin, Preferably it is the range of 60-100 wt%.

無機充填剤としては、例えば、球状あるいは、破砕状の溶融シリカ、結晶シリカ等のシリカ粉末、アルミナ粉末、ガラス粉末、又はマイカ、タルク、炭酸カルシウム、アルミナ、水和アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化チタン、酸化亜鉛、炭化タングステン、酸化マグネシウム等が挙げられる。エポキシ樹脂組成物中における無機充填剤の配合量として、特に、半導体封止材に用いる場合の好ましい配合量は70重量%〜95重量%であり、更に好ましくは80重量%〜90重量%である。   As the inorganic filler, for example, silica powder such as spherical or crushed fused silica, crystalline silica, alumina powder, glass powder, or mica, talc, calcium carbonate, alumina, hydrated alumina, boron nitride, aluminum nitride, Examples thereof include silicon nitride, silicon carbide, titanium nitride, zinc oxide, tungsten carbide, and magnesium oxide. As the compounding amount of the inorganic filler in the epoxy resin composition, the preferable compounding amount particularly when used for the semiconductor sealing material is 70% by weight to 95% by weight, and more preferably 80% by weight to 90% by weight. .

本発明のエポキシ樹脂組成物には、更に必要に応じて、カルナバワックス、OPワックス等の離型剤、4−アミノプロピルエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のカップリング剤、カーボンブラック等の着色剤、三酸化アンチモン等の難燃剤、ステアリン酸カルシウム等の滑剤等を配合してもよい。   The epoxy resin composition of the present invention may further include a release agent such as carnauba wax and OP wax, a coupling agent such as 4-aminopropylethoxysilane and γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, carbon, if necessary. A colorant such as black, a flame retardant such as antimony trioxide, and a lubricant such as calcium stearate may be blended.

また、本発明のエポキシ樹脂組成物中には、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリエーテル、ポリウレタン、石油樹脂、インデン樹脂、インデン・クマロン樹脂、フェノキシ樹脂等のオリゴマー又は高分子化合物を改質剤等として適宜配合してもよい。その場合の添加量は、通常、エポキシ樹脂100重量部に対して、2〜30重量部の範囲である。   Further, in the epoxy resin composition of the present invention, an oligomer or a polymer compound such as polyester, polyamide, polyimide, polyether, polyurethane, petroleum resin, indene resin, indene coumarone resin, phenoxy resin or the like is used as a modifier. You may mix | blend suitably. In this case, the addition amount is usually in the range of 2 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin.

また、本発明のエポキシ樹脂組成物には、顔料、難然剤、揺変性付与剤、カップリング剤、流動性向上剤、酸化防止剤等の添加剤を配合することもできる。   The epoxy resin composition of the present invention can also contain additives such as pigments, refractory agents, thixotropic agents, coupling agents, fluidity improvers, and antioxidants.

このうち、顔料としては、有機系又は、無機系の体質顔料、鱗片状顔料等がある。揺変性付与剤としては、シリコン系、ヒマシ油系、脂肪族アマイドワックス、酸化ポリエチレンワックス、有機ベントナイト系等を挙げることができる。   Among these, examples of the pigment include organic or inorganic extender pigments and scaly pigments. Examples of the thixotropic agent include silicon-based, castor oil-based, aliphatic amide wax, polyethylene oxide wax, and organic bentonite.

本発明のエポキシ樹脂組成物は、有機溶剤を溶解させたワニス状態とした後に、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー等のポリエステル不織布、等の繊維状物に含浸させた後に溶剤除去を行い、プリプレグとすることができる。また、場合により銅箔、ステンレス箔、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム等のシート状物上に塗布することにより積層物とすることができる。   The epoxy resin composition of the present invention is made into a varnish in which an organic solvent is dissolved, and then impregnated into a fibrous material such as glass cloth, aramid nonwoven fabric, polyester nonwoven fabric such as liquid crystal polymer, and the like, and then the solvent is removed. It can be. Moreover, it can be set as a laminated body by apply | coating on sheet-like materials, such as copper foil, stainless steel foil, a polyimide film, and a polyester film depending on the case.

本発明のエポキシ樹脂組成物の調製方法は、各種原材料を均一に分散混合できるのであればいかなる手法を用いてもよいが、一般的な方法として、所定の配合量の原材料をミキサー等によって十分混合した後、ミキシングロール、押出し機等によって溶融混練し、冷却、粉砕する方法が挙げられる。   Any method may be used for preparing the epoxy resin composition of the present invention as long as various raw materials can be uniformly dispersed and mixed. As a general method, raw materials of a predetermined blending amount are sufficiently mixed by a mixer or the like. Then, a method of melt-kneading with a mixing roll, an extruder or the like, cooling, and pulverizing can be mentioned.

本発明のエポキシ樹脂組成物およびその硬化物は、特にパワー半導体装置の封止用として適する。   The epoxy resin composition and its cured product of the present invention are particularly suitable for sealing power semiconductor devices.

本発明の硬化物は、上記エポキシ樹脂組成物を熱硬化させることにより得られる。本発明のエポキシ樹脂組成物を用いて硬化物を得るためには、例えば、トランスファー成形、プレス成形、注型成形、射出成形、押出成形等の方法が適用されるが、量産性の観点からは、トランスファー成形が好ましい。   The cured product of the present invention can be obtained by thermally curing the epoxy resin composition. In order to obtain a cured product using the epoxy resin composition of the present invention, for example, methods such as transfer molding, press molding, cast molding, injection molding, and extrusion molding are applied, but from the viewpoint of mass productivity. Transfer molding is preferred.

本発明のエポキシ樹脂組成物の硬化方法としては100℃〜200℃、好ましくは120℃〜190℃、より好ましくは150〜180℃で成形後、200℃〜300℃、好ましくは220℃〜280℃、より好ましくは230〜270℃でポストキュアすることにより製造され、Tg、高温長期での重量保持性、機械強度保持性等の点で優れた硬化物を得ることができる。硬化物のTgは200℃以上が好ましく、更に250℃以上が好ましい。パワー半導体はその動作温度が200℃を超えて動作するため、Tgが200℃未満の封止材料では十分に封止することができず耐久性がない。   As a curing method of the epoxy resin composition of the present invention, after molding at 100 ° C. to 200 ° C., preferably 120 ° C. to 190 ° C., more preferably 150 to 180 ° C., 200 ° C. to 300 ° C., preferably 220 ° C. to 280 ° C. More preferably, it is produced by post-curing at 230 to 270 ° C., and a cured product excellent in terms of Tg, high temperature long-term weight retention, mechanical strength retention and the like can be obtained. The Tg of the cured product is preferably 200 ° C. or higher, more preferably 250 ° C. or higher. Since a power semiconductor operates at an operating temperature exceeding 200 ° C., a sealing material having a Tg of less than 200 ° C. cannot be sufficiently sealed and has no durability.

成形時間としては1〜60分が好ましく、更に1分から10分が好ましい。成形時間が長くなると生産性が悪くなり、短すぎると離型が困難となる。ポストキュア時間としては10分〜10時間が好ましく、30分〜8時間、特に2時間〜6時間が好ましい。ポストキュア時間が短いと硬化が十分に進行せず、耐熱性や機械物性等十分な特性が得られない。また、10時間を越えると生産性が低下する。   The molding time is preferably 1 to 60 minutes, more preferably 1 to 10 minutes. If the molding time is long, the productivity will be poor, and if it is too short, it will be difficult to release. The post cure time is preferably 10 minutes to 10 hours, preferably 30 minutes to 8 hours, and particularly preferably 2 hours to 6 hours. When the post-cure time is short, curing does not proceed sufficiently, and sufficient characteristics such as heat resistance and mechanical properties cannot be obtained. Moreover, productivity will fall when it exceeds 10 hours.

本発明のエポキシ樹脂組成物では、一般的なエポキシ樹脂組成物が反応し得ない高いポストキュア温度領域においても硬化反応が進行し、非常に高いTg、高温長期での重量保持性、機械強度保持性等を有する硬化物を得ることができる。   In the epoxy resin composition of the present invention, the curing reaction proceeds even in a high post-cure temperature region where a general epoxy resin composition cannot react, and has a very high Tg, high temperature long-term weight retention, and mechanical strength retention. A cured product having properties and the like can be obtained.

以下、合成例、実施例及び比較例に基づき、本発明を具体的に説明する。   Hereinafter, based on a synthesis example, an Example, and a comparative example, this invention is demonstrated concretely.

合成例1
2Lの4口フラスコに、4,4’−ジヒドロキシビフェニル186g(1.0モル)、p−キシリレングリコール69g(0.5モル)、ジエチレングリコールジメチルエーテル743g、酸触媒としてp−トルエンスルホン酸2.55gを仕込み160℃に昇温した。次に、160℃にて攪拌しながら3時間反応させた。次に、減圧下にてジエチレングリコールジメチルエーテルを一部留去した後、エピクロルヒドリン740gを仕込み溶解させた。続いて、減圧下75℃にて48%水酸化ナトリウム水溶液155.0gを4時間かけて滴下し、この滴下中に還流留出した水とエピクロルヒドリンを分離槽で分離しエピクロルヒドリンは反応容器に戻し、水は系外に除いて反応した。反応終了後、濾過により生成した塩を除き、更に水洗したのちエピクロルヒドリンを留去し、エポキシ樹脂279gを得た(エポキシ樹脂C)。得られた樹脂のエポキシ当量は190g/eq.、DSC測定におけるピーク温度(融点)は125℃、150℃における溶融粘度は0.48Pa・sであった。
Synthesis example 1
In a 2 L 4-neck flask, 186 g (1.0 mol) of 4,4′-dihydroxybiphenyl, 69 g (0.5 mol) of p-xylylene glycol, 743 g of diethylene glycol dimethyl ether, and 2.55 g of p-toluenesulfonic acid as an acid catalyst The temperature was raised to 160 ° C. Next, it was made to react for 3 hours, stirring at 160 degreeC. Next, after diethylene glycol dimethyl ether was partially distilled off under reduced pressure, 740 g of epichlorohydrin was charged and dissolved. Subsequently, 155.0 g of a 48% aqueous sodium hydroxide solution was added dropwise at 75 ° C. under reduced pressure over 4 hours, and water and epichlorohydrin refluxed during the dropping were separated in a separation tank, and epichlorohydrin was returned to the reaction vessel. Water reacted outside the system. After completion of the reaction, the salt produced by filtration was removed, and after further washing with water, epichlorohydrin was distilled off to obtain 279 g of an epoxy resin (epoxy resin C). The epoxy equivalent of the obtained resin was 190 g / eq. The peak temperature (melting point) in DSC measurement was 125 ° C., and the melt viscosity at 150 ° C. was 0.48 Pa · s.

実施例1
エポキシ樹脂成分として、合成例1で得られたエポキシ樹脂A 101g、硬化剤成分として、トリフェニルメタン型多価ヒドロキシ樹脂(群栄化学工業株式会社製、OH当量97.5、軟化点105℃)51gを用いた。また、硬化触媒A;2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(製品名;2PHZ−PW、四国化成株式会社製)1.6gを用い、無機充填剤として球状シリカ(製品名;FB−8S、電気化学工業株式会社製)747gを用いた。更に、離型剤としてカルナバワックス(製品名;TOWAX171、東亜化成株式会社製)0.8g、着色剤としてカーボンブラック(製品名;MA−100、三菱化学株式会社製)0.8gを加え、これらを混練してエポキシ樹脂組成物を得た。このエポキシ樹脂組成物を用いて、成形温度175℃、3分。ポストキュア温度250℃、5時間の条件(成形条件A)にて硬化物試験片を得た。
Example 1
101 g of epoxy resin A obtained in Synthesis Example 1 as an epoxy resin component, triphenylmethane type polyvalent hydroxy resin (manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd., OH equivalent 97.5, softening point 105 ° C.) as a curing agent component 51 g was used. Further, curing catalyst A: 1.6 g of 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole (product name: 2PHZ-PW, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) is used, and spherical silica (product name: FB-8S) as an inorganic filler. , Manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.). Furthermore, 0.8 g of carnauba wax (product name: TOWAX171, manufactured by Toa Kasei Co., Ltd.) as a release agent, and 0.8 g of carbon black (product name: MA-100, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as a colorant were added. Were kneaded to obtain an epoxy resin composition. Using this epoxy resin composition, a molding temperature of 175 ° C. for 3 minutes. A cured product test piece was obtained under conditions of post-cure temperature 250 ° C. and 5 hours (molding condition A).

実施例2、比較例1〜4
エポキシ樹脂、硬化剤、無機充填剤及び硬化触媒とその他の添加剤を表1に示す配合割合で混練してエポキシ樹脂組成物を調製した。そして、成形条件をA又はBとして硬化物試験片を得た。なお、表中の数値は配合における重量部を示す。
Example 2, Comparative Examples 1-4
An epoxy resin composition was prepared by kneading an epoxy resin, a curing agent, an inorganic filler, a curing catalyst, and other additives at a blending ratio shown in Table 1. And the hardened | cured material test piece was obtained by making the molding conditions into A or B. In addition, the numerical value in a table | surface shows the weight part in a mixing | blending.

表中の略号の説明は以下のとおりである。
(主剤)
エポキシ樹脂A;合成例1で得たエポキシ樹脂
エポキシ樹脂B;o-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量200、軟化点65℃、新日鉄住金化学株式会社製)
(硬化剤)
硬化剤A;トリフェノールメタン型多価ヒドロキシ樹脂(TPM−100(群栄化学工業株式会社製)、OH当量 97.5、軟化点 105℃)
硬化剤B;フェノールノボラック型多価ヒドロキシ樹脂(PSM−4261(群栄化学工業株式会社製)、OH当量 103、軟化点 82℃)
(硬化触媒)
硬化触媒A;2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(製品名;2PHZ−PW、四国化成株式会社製)
硬化触媒B;トリフェニルホスフィン(製品名;TPP、北興化学工業株式会社製)
(無機充填剤)
球状シリカ(製品名;FB−8S、電気化学工業株式会社製)
(離型剤)
カルナバワックス(製品名;TOWAX171、東亜化成株式会社製)
(着色剤)
カーボンブラック(製品名;MA−100、三菱化学株式会社製)
The abbreviations in the table are explained as follows.
(Main agent)
Epoxy resin A: Epoxy resin obtained in Synthesis Example 1 Epoxy resin B; o-cresol novolac type epoxy resin (epoxy equivalent 200, softening point 65 ° C., manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
(Curing agent)
Curing agent A: triphenolmethane type polyvalent hydroxy resin (TPM-100 (manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd.), OH equivalent 97.5, softening point 105 ° C.)
Curing agent B: phenol novolac type polyvalent hydroxy resin (PSM-4261 (manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd.), OH equivalent 103, softening point 82 ° C.)
(Curing catalyst)
Curing catalyst A; 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole (product name: 2PHZ-PW, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.)
Curing catalyst B: Triphenylphosphine (Product name: TPP, manufactured by Hokuko Chemical Co., Ltd.)
(Inorganic filler)
Spherical silica (Product name: FB-8S, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.)
(Release agent)
Carnauba wax (Product name: TOWAX171, manufactured by Toa Kasei Co., Ltd.)
(Coloring agent)
Carbon black (Product name: MA-100, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)

また、上記実施例1〜2、及び比較例1〜4に係るエポキシ樹脂組成物を用いて、次に示す成形条件にて成形を行った。そして、硬化物試験片(エポキシ樹脂硬化物)を得た後、下記に記した各種物性測定に供した。結果を表1に示す。
成形条件A;成形温度175℃、3分。ポストキュア温度250℃、5時間。
成形条件B;成形温度175℃、3分。ポストキュア温度175℃、5時間。
Moreover, it shape | molded on the molding conditions shown below using the epoxy resin composition which concerns on the said Examples 1-2 and Comparative Examples 1-4. And after obtaining the hardened | cured material test piece (epoxy resin hardened | cured material), it used for the various physical property measurement described below. The results are shown in Table 1.
Molding condition A; molding temperature 175 ° C., 3 minutes. Post cure temperature 250 ° C., 5 hours.
Molding condition B; molding temperature 175 ° C., 3 minutes. Post cure temperature 175 ° C., 5 hours.

1)エポキシ当量の測定
電位差滴定装置を用い、溶媒としてメチルエチルケトンを使用し、臭素化テトラエチルアンモニウム酢酸溶液を加え、電位差滴定装置にて0.1mol/L過塩素酸−酢酸溶液を用いて測定した。
1) Measurement of epoxy equivalent Using a potentiometric titrator, methyl ethyl ketone was used as a solvent, a brominated tetraethylammonium acetic acid solution was added, and the potential was measured using a 0.1 mol / L perchloric acid-acetic acid solution.

2)溶融粘度
東亜工業株式会社製、CV−1S型コーンプレート粘度計を用いて、150℃にて測定した。
2) Melt viscosity It measured at 150 degreeC using the Toa Kogyo Co., Ltd. make and the CV-1S type | mold cone plate viscometer.

3)DSC発熱ピーク温度
セイコーインスツル製DSC6200型熱機械測定装置により、昇温速度10℃/分の条件でエポキシ樹脂組成物の発熱ピーク温度を求めた。
3) DSC exothermic peak temperature The exothermic peak temperature of the epoxy resin composition was determined under the condition of a temperature rising rate of 10 ° C / min using a DSC6200 thermomechanical measuring device manufactured by Seiko Instruments.

4)スパイラルフロー
規格(EMMI−1−66)に準拠したスパイラルフロー測定用金型でエポキシ樹脂組成物をスパイラルフローの注入圧力(150Kgf/cm2)、硬化時間3分の条件で成形して流動長を調べた。
4) Spiral flow Molded with a spiral flow measurement mold in accordance with the standard (EMMI-1-66), the epoxy resin composition was molded under a spiral flow injection pressure (150 kgf / cm 2 ) and a curing time of 3 minutes to flow. I investigated the length.

5)ガラス転移点(Tg)
セイコーインスツル製TMA6100型熱機械測定装置により、昇温速度10℃/分の条件で、得られた硬化物試験片のTgを求めた。
5) Glass transition point (Tg)
The Tg of the obtained cured product test piece was obtained under the condition of a temperature rising rate of 10 ° C./min using a Seiko Instruments TMA6100 type thermomechanical measuring device.

6)曲げ強度
得られた硬化物試験片をJISK 6911に従い、3点曲げ試験法で250℃にて測定した。
6) Bending strength The obtained cured product test piece was measured at 250 ° C. by a three-point bending test method according to JISK 6911.

7)長期熱分解安定性評価
(A)重量保持率
回転枠つき恒温器(タバイエスペック株式会社製、GPHH−201)を用いて、250℃における1000時間後の試験片重量と加熱前の試験片重量との差から重量保持率(wt%)を求めた。(B)曲げ強度保持率
回転枠つき恒温器(タバイエスペック株式会社製、GPHH−201)を用いて、250℃における1000時間後の試験片の曲げ強度と加熱前の試験片の曲げ強度との差から曲げ強度保持率(%)を求めた。曲げ強度の測定は上記試験法にて、常温で測定した。
7) Evaluation of long-term thermal decomposition stability (A) Weight retention rate Test piece weight after 1000 hours at 250 ° C. and test piece before heating using a constant temperature oven with a rotating frame (GPHH-201, manufactured by Tabai Espec Co., Ltd.) The weight retention (wt%) was determined from the difference from the weight. (B) Bending strength retention rate Using a thermostatic device with a rotating frame (GPHH-201, manufactured by Tabai Espec Co., Ltd.), the bending strength of the test piece after 1000 hours at 250 ° C. and the bending strength of the test piece before heating. The bending strength retention rate (%) was determined from the difference. The bending strength was measured at room temperature by the above test method.

Figure 2017088634
Figure 2017088634

Claims (6)

下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂、フェノール系硬化剤、硬化触媒、及び無機充填剤を含有するエポキシ樹脂組成物であって、該エポキシ樹脂組成物を昇温速度10℃/分の条件で示差走査熱量測定したとき、発熱ピークトップが150℃以上となるものであることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
Figure 2017088634
(但し、nは平均値として0.2〜4.0を示し、Gはグリシジル基を示す。)
An epoxy resin composition containing an epoxy resin represented by the following general formula (1), a phenol-based curing agent, a curing catalyst, and an inorganic filler, wherein the epoxy resin composition is heated at a rate of 10 ° C./min. An epoxy resin composition having an exothermic peak top of 150 ° C. or higher when differential scanning calorimetry is performed under conditions.
Figure 2017088634
(However, n represents an average value of 0.2 to 4.0, and G represents a glycidyl group.)
硬化触媒が、イミダゾール類、有機ホスフィン類、及びアミン類からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載のエポキシ樹脂組成物。   The epoxy resin composition according to claim 1, wherein the curing catalyst is at least one selected from the group consisting of imidazoles, organic phosphines, and amines. フェノール系硬化剤が、下記一般式(2)又は(3)で表される請求項1又は2に記載のエポキシ樹脂組成物。
Figure 2017088634
(但し、Rは水素原子又は炭素数1〜6の炭化水素基を示し、lは0又は1の数を示す。)
Figure 2017088634
(但し、Aはベンゼン環、ナフタレン環又はビフェニル環を示し、kは1〜15の数、m及びpはそれぞれ1又は2の数を示す。)
The epoxy resin composition according to claim 1 or 2, wherein the phenolic curing agent is represented by the following general formula (2) or (3).
Figure 2017088634
(However, R shows a hydrogen atom or a C1-C6 hydrocarbon group, and l shows the number of 0 or 1.)
Figure 2017088634
(However, A shows a benzene ring, a naphthalene ring, or a biphenyl ring, k shows the number of 1-15, m and p show the number of 1 or 2, respectively.)
下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂、フェノール系硬化剤、硬化触媒、及び無機充填剤を含有し、昇温速度10℃/分の条件で示差走査熱量測定したときの発熱ピークトップが150℃以上となるエポキシ樹脂組成物を、成形温度100℃〜200℃で成形した後、更に200℃〜300℃でポストキュアすることを特徴とするエポキシ樹脂硬化物の製造方法。
Figure 2017088634
(但し、nは平均値として0.2〜4.0を示し、Gはグリシジル基を示す。)
It contains an epoxy resin represented by the following general formula (1), a phenolic curing agent, a curing catalyst, and an inorganic filler, and has an exothermic peak top when differential scanning calorimetry is performed under a temperature rising rate of 10 ° C./min. A method for producing a cured epoxy resin product, comprising molding an epoxy resin composition having a temperature of 150 ° C or higher at a molding temperature of 100 ° C to 200 ° C, and further post-curing at 200 ° C to 300 ° C.
Figure 2017088634
(However, n represents an average value of 0.2 to 4.0, and G represents a glycidyl group.)
ガラス転移温度(Tg)が200℃以上であり、かつパワー半導体封止材用のエポキシ樹脂硬化物である請求項4に記載のエポキシ樹脂硬化物の製造方法。   The method for producing a cured epoxy resin product according to claim 4, wherein the glass transition temperature (Tg) is 200 ° C. or higher and the cured epoxy resin product for a power semiconductor encapsulant. 請求項4又は5に記載の方法により得られたパワー半導体封止材用エポキシ樹脂硬化物でパワー半導体素子を封止したことを特徴とする半導体装置。   A semiconductor device, wherein a power semiconductor element is sealed with a cured epoxy resin for a power semiconductor sealing material obtained by the method according to claim 4.
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