JP2017070931A - Foreign material removing device - Google Patents

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Toshinori Okura
才昇 大倉
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique of simplifying a cleaning process of a foreign material removing device of removing foreign material on a surface of an article by air blow.SOLUTION: A foreign material removing device 1 removes foreign material on an object article by air blow, and is provided with a chucking device 12 for holding a workpiece W in blowing air. The chucking device 12 includes a pair of chucks 21 which can open and close, and pinches and holds the workpiece W between the chucks 21 in a closed state. Each of the chucks 21 includes an air discharge port 23, an air supply port 24 opening in a position different from the air discharge port 23, and an air flow passage 25 for communicating the air supply port 24 and the air discharge port 23. The air discharge port 23 is opened to a surface on a side of the other chuck 21 in the closed state of the chucking device 12.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は,エアブローにより対象物品の表面の異物除去を行う異物除去装置に関する。さらに詳細には,開閉可能なチャック部材にて対象物品を挟んでエアブローを行う異物除去装置に関するものである。   The present invention relates to a foreign matter removing apparatus that removes foreign matter on the surface of a target article by air blowing. More specifically, the present invention relates to a foreign matter removing apparatus that blows air by sandwiching a target article with a chuck member that can be opened and closed.

従来から,種々の物品・部品に対して,表面の異物を除去する洗浄が行われている。液体による洗浄もその1つの手法であるが,洗浄液の成分が対象物品の表面に残留し,シミ等の不具合の原因となることがある。これに対し,そのような弊害のないエアブローによる異物除去技術が知られている。例えば,特許文献1には,モータのステータのような環状の物品を主たる対象物として,ノズルの位置や向きにより洗浄性能の向上を図る技術が開示されている。   Conventionally, various kinds of articles and parts have been cleaned to remove surface foreign matters. Cleaning with a liquid is one of the methods, but the components of the cleaning liquid may remain on the surface of the target article and cause defects such as spots. On the other hand, there is known a foreign matter removing technique by air blow that does not have such a harmful effect. For example, Patent Document 1 discloses a technique for improving the cleaning performance depending on the position and orientation of a nozzle, with an annular article such as a stator of a motor as a main object.

特開2006−224067号公報JP 2006-224667 A

しかしながら,前記した従来の技術には,次のような問題があった。すなわち,エアブローは,例えば,チャック部材によって対象物品が保持された状態で行われる。この場合,対象物品の全面のうち,チャック部材と接触している箇所の洗浄が困難である。チャック箇所も含む対象物品の全面を洗浄するためには,上面のブロー後にチャック箇所を変えて下面のブローを行う等,2回のエアブローを行う必要があり,洗浄工程が複雑になりがちであった。   However, the conventional technique described above has the following problems. That is, the air blow is performed, for example, in a state where the target article is held by the chuck member. In this case, it is difficult to clean a portion of the entire surface of the target article that is in contact with the chuck member. In order to clean the entire surface of the target article including the chuck part, it is necessary to perform two air blows, such as changing the chuck part and then blowing the lower surface after blowing the upper surface, which tends to complicate the cleaning process. It was.

本発明は,前記した従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものである。すなわちその課題とするところは,エアブローによって物品の表面の異物を除去する異物除去装置において,洗浄工程の簡素化を図る技術を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art. That is, the problem is to provide a technique for simplifying the cleaning process in a foreign matter removing apparatus that removes foreign matter on the surface of an article by air blowing.

本発明の一態様における異物除去装置は,エアブローにより対象物品の異物除去を行う異物除去装置において,開状態と閉状態とに変位自在であって,前記閉状態で前記対象物品を保持する一対の保持部材を備え,前記保持部材の一方は,前記閉状態で他方の前記保持部材側にある面に開口するエア吐出口と,前記エア吐出口と異なる位置に開口するエア供給口と,前記エア供給口と前記エア吐出口とを連通するエア流路と,を有することを特徴としている。   A foreign matter removing device according to an aspect of the present invention is a foreign matter removing device that removes foreign matter from a target article by air blow, and is freely displaceable between an open state and a closed state and holds the target article in the closed state. A holding member, wherein one of the holding members is an air discharge port that opens in the closed state on the other side of the holding member, an air supply port that opens at a position different from the air discharge port, and the air And an air flow path communicating with the supply port and the air discharge port.

上記態様における異物除去装置では,エア供給口から保持部材にエアを供給することで,エア流路を介して,エア吐出口からエアが吐出される。そこで,例えば,対象物品を保持部材にて保持した状態でエアブローを行い,対象物品のうち保持部材にて保持されている箇所を除いた箇所を洗浄した後,対象物品を保持部材から離間させ,その離間の際にエア吐出口からエアを吐出させることで,保持部材と接触していた箇所の洗浄を行うことができる。従って,対象物品のチャック箇所を変えて2回のエアブローを行う必要がないので,洗浄工程の簡素化が期待できる。   In the foreign matter removing apparatus according to the above aspect, air is discharged from the air discharge port via the air flow path by supplying air from the air supply port to the holding member. Therefore, for example, air blow is performed in a state where the target article is held by the holding member, and the target article is separated from the holding member after cleaning the part of the target article excluding the part held by the holding member, By discharging air from the air discharge port at the time of the separation, it is possible to clean the portion that has been in contact with the holding member. Therefore, since it is not necessary to change the chuck location of the target article and perform air blow twice, simplification of the cleaning process can be expected.

また,各保持部材には,エア吐出口が複数形成されているとよい。複数のエア吐出口が有れば,エアの吐出先の範囲が広い。従って,保持部材による対象物品の保持位置の位置決め精度が低くても,保持部材との接触箇所の洗浄が期待できる。   Each holding member may have a plurality of air discharge ports. If there are multiple air outlets, the range of air discharge destinations is wide. Therefore, even if the positioning accuracy of the holding position of the target article by the holding member is low, it is possible to expect cleaning of the contact point with the holding member.

なお,本明細書には,上記態様における異物除去装置を用いた異物除去方法も開示されている。すなわち,保持部材を閉状態として,対象物品を保持部材に保持させるチャック閉工程と,対象物品を保持部材にて保持している状態で,対象物品をエアブローするメインエアブロー工程と,メインエアブロー工程の終了後,対象物品のうち,保持部材にて保持されていない箇所をガイドに保持させる受け渡し工程と,受け渡し工程の後,保持部材を閉状態から開状態とするチャック開工程と,チャック開工程の後,保持部材を退避させる退避工程と,受け渡し工程の終了後,退避工程の終了までの間に,エア供給口にエアを供給し,エア吐出口からエアを吐出させて,対象物品をエアブローするチャック部エアブロー工程と,を含む異物除去方法が開示されている。   In addition, in this specification, the foreign material removal method using the foreign material removal apparatus in the said aspect is also disclosed. That is, the holding member is closed, the chuck closing step for holding the target article on the holding member, the main air blowing step for air blowing the target article while the target article is held by the holding member, and the main air blowing step. After the completion, a delivery process for holding the portion of the target article that is not held by the holding member with the guide, a chuck opening process for changing the holding member from the closed state to the open state after the delivery process, and a chuck opening process After that, between the end of the retracting process for retracting the holding member, and the end of the delivery process and the end of the retracting process, air is supplied to the air supply port, and air is discharged from the air discharge port to air blow the target article. A foreign matter removing method including a chuck part air blowing step is disclosed.

本構成によれば,エアブローによって物品の表面の異物を除去する異物除去装置において,洗浄工程の簡素化を図る技術が提供されている。   According to this configuration, there is provided a technique for simplifying the cleaning process in a foreign matter removing apparatus that removes foreign matter on the surface of an article by air blowing.

異物除去装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of a foreign material removal apparatus. チャック装置を示す外観図である。It is an external view which shows a chuck | zipper apparatus. チャック装置の開状態と閉状態とを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the open state and closed state of a chuck | zipper apparatus. チャックを示す外観図である。It is an external view which shows a chuck | zipper. チャックを示す断面図である。It is sectional drawing which shows a chuck | zipper. 異物除去工程を示す工程図である。It is process drawing which shows a foreign material removal process. チャック箇所の異物除去工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the foreign material removal process of a chuck | zipper location. チャック装置からガイドへワークを移動させる工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the process of moving a workpiece | work from a chuck | zipper apparatus to a guide. 吐出圧と異物量との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between discharge pressure and the amount of foreign materials. 本形態の異物除去装置による異物除去方法と他の異物除去方法との残留異物量の比較を示すグラフである。It is a graph which shows the comparison of the amount of residual foreign materials with the foreign material removal method by the foreign material removal apparatus of this form, and another foreign material removal method. 他のチャック装置を示す外観図である。It is an external view which shows another chuck device. 他のチャック装置を示す外観図である。It is an external view which shows another chuck device.

以下,本発明を具体化した実施の形態について,添付図面を参照しつつ詳細に説明する。本形態は,例えば,二次電池の構成部品その他の各種物品から,エアブローにより異物を除去する異物除去装置に本発明を適用したものである。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments embodying the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In the present embodiment, for example, the present invention is applied to a foreign matter removing apparatus that removes foreign matter from components of a secondary battery and other various articles by air blow.

本形態の異物除去装置1は,図1に示すように,複数のエアブローノズル11と,エアブローの対象物品であるワークWを保持するチャック装置12と,を有している。チャック装置12は,保持部材の一例である。異物除去装置1は,チャック装置12にて保持されているワークWに対して,エアブローノズル11からエアを吐出することにより,ワークWの表面に付着する異物を除去する。   As shown in FIG. 1, the foreign matter removing apparatus 1 according to the present embodiment includes a plurality of air blow nozzles 11 and a chuck device 12 that holds a workpiece W that is an air blow target article. The chuck device 12 is an example of a holding member. The foreign matter removing device 1 removes foreign matter adhering to the surface of the workpiece W by discharging air from the air blow nozzle 11 to the workpiece W held by the chuck device 12.

各エアブローノズル11は,ワークWに対してそれぞれ異なる位置及び角度に配置されている。また,チャック装置12は,例えば,搬送レール等に,少なくとも上下方向を含む各方向に移動可能に取り付けられている。異物除去装置1は,ワークWを保持した状態でチャック装置12を移動させ,エアブローノズル11からエアを吐出させて,ワークWのうちチャック装置12にて保持されている箇所を除く全面を洗浄する。なお,エアブローノズル11及びエアブローノズル11からエアを吐出するための各種の構成は,従来と同様のものであり,ここでは説明を省略する。   The air blow nozzles 11 are arranged at different positions and angles with respect to the workpiece W. Further, the chuck device 12 is attached to, for example, a conveyance rail or the like so as to be movable in each direction including at least the vertical direction. The foreign matter removing device 1 moves the chuck device 12 while holding the workpiece W, and discharges air from the air blow nozzle 11 to clean the entire surface of the workpiece W except the portion held by the chuck device 12. . The various configurations for discharging air from the air blow nozzle 11 and the air blow nozzle 11 are the same as those in the prior art, and the description thereof is omitted here.

なお,異物除去装置1での異物除去の対象となるワークWは,例えば,二次電池の部品である。具体的には,二次電池のケースを封口する電池蓋と,当該電池蓋に取り付けられた電極板や電極端子等を含む蓋組立体が挙げられる。二次電池の部品では,短絡防止の観点から,異物の除去の必要性が高い。さらに,組み立て前の個々の部品の段階で洗浄したとしても,組み立て時に異物が再び付着する可能性があり,組み立て後に異物除去を行う必要性が高い。   In addition, the workpiece | work W used as the object of foreign material removal by the foreign material removal apparatus 1 is a component of a secondary battery, for example. Specifically, a lid assembly including a battery lid that seals the case of the secondary battery, and an electrode plate, an electrode terminal, and the like attached to the battery lid. For secondary battery components, it is highly necessary to remove foreign substances from the viewpoint of preventing short circuits. Furthermore, even if cleaning is performed at the stage of individual parts before assembly, there is a possibility that foreign matters will adhere again at the time of assembly, and it is highly necessary to remove foreign matters after assembly.

本形態のチャック装置12は,図2に示すように,対向する一対のチャック21,21と,一対のチャック21の間隔を変更する機構を含むチャック駆動部22とを有している。各チャック21は,平板状の側部211と,側部211の下端(チャック駆動部22から遠い側の端部)から直角に張り出す底部212とを有し,概略でL字形状の部材である。以下では,図2中に矢印で示すように,チャック駆動部22の側を上方,チャック21の側を下方とする。   As shown in FIG. 2, the chuck device 12 according to the present embodiment includes a pair of opposed chucks 21 and 21 and a chuck driving unit 22 including a mechanism for changing the distance between the pair of chucks 21. Each chuck 21 has a flat plate-like side portion 211 and a bottom portion 212 projecting at right angles from the lower end of the side portion 211 (the end portion on the side far from the chuck driving portion 22), and is an approximately L-shaped member. is there. Hereinafter, as indicated by arrows in FIG. 2, the chuck drive unit 22 side is the upper side, and the chuck 21 side is the lower side.

2つのチャック21は,互いの側部211が平行であって,底部212が互いに向き合うように,チャック駆動部22に取り付けられている。つまり,各チャック21の底部212は,上下方向に同じ位置に配置されている。チャック装置12は,2つのチャック21が互いに向かい合うことで形成される内側の領域内にワークWを保持(チャック)する。そして,チャック21の内側の面には,複数のエア吐出口23が開口している。エア吐出口23については,後述する。   The two chucks 21 are attached to the chuck driving unit 22 so that the side portions 211 are parallel to each other and the bottom portions 212 face each other. That is, the bottom 212 of each chuck 21 is disposed at the same position in the vertical direction. The chuck device 12 holds (chuck) the workpiece W in an inner region formed by the two chucks 21 facing each other. A plurality of air discharge ports 23 are opened on the inner surface of the chuck 21. The air discharge port 23 will be described later.

チャック駆動部22は,図3に示すように,各チャック21を水平方向に移動させて,2つのチャック21の間隔を変更することにより,チャック21を開閉する。以下,2つのチャック21の間隔が広い状態を開状態とし,狭い状態を閉状態とする。そして,チャック装置12は,図3の(A)に示す閉状態で,2つのチャック21の間にワークWを挟んで,ワークWを保持する。また,チャック装置12は,図3の(B)に示す開状態では,2つのチャック21の間隔をワークWの幅より大きくし,ワークWとチャック21とを離間させて,ワークWを解放する。   As shown in FIG. 3, the chuck drive unit 22 opens and closes the chuck 21 by moving each chuck 21 in the horizontal direction and changing the interval between the two chucks 21. Hereinafter, a state where the distance between the two chucks 21 is wide is referred to as an open state, and a state where the gap is narrow is referred to as a closed state. The chuck device 12 holds the workpiece W by sandwiching the workpiece W between the two chucks 21 in the closed state shown in FIG. Further, in the open state shown in FIG. 3B, the chuck device 12 increases the distance between the two chucks 21 than the width of the workpiece W, separates the workpiece W and the chuck 21, and releases the workpiece W. .

各チャック21は,図4に示すように,複数のエア吐出口23と,エア供給口24と,エア流路25と,取り付け穴26と,を有している。取り付け穴26は,チャック21をチャック駆動部22に取り付ける際のねじ穴である。   As shown in FIG. 4, each chuck 21 has a plurality of air discharge ports 23, an air supply port 24, an air flow path 25, and an attachment hole 26. The attachment hole 26 is a screw hole for attaching the chuck 21 to the chuck drive unit 22.

チャック駆動部22に一対のチャック21が取り付けられた状態では,2つのチャック21が互いに向かい合う。そして,複数のエア吐出口23は,各チャック21から見て,他方のチャック21の側にある面に開口している。具体的に,図4に示すように,側部211のうち他方のチャック21に対向する面である内側面31と,底部212の上面32とにそれぞれ,各一列に並んで複数個のエア吐出口23が形成されている。なお,このチャック21では,底部212の内側面33には,エア吐出口は形成されていない。   In a state where the pair of chucks 21 are attached to the chuck driving unit 22, the two chucks 21 face each other. The plurality of air discharge ports 23 are open to the surface on the other chuck 21 side as viewed from each chuck 21. Specifically, as shown in FIG. 4, a plurality of air discharges are arranged in a line on each of the inner surface 31 that is the surface of the side portion 211 that faces the other chuck 21 and the upper surface 32 of the bottom portion 212. An outlet 23 is formed. In the chuck 21, no air discharge port is formed on the inner surface 33 of the bottom 212.

向かい合う2つのチャック21の内側には,図5に破線で示すように,空間30が形成される。空間30の,図5中で奥行き方向の大きさは,チャック21の幅と等しい。そして,図3の(A)に示したように,チャック装置12にてワークWをチャックした閉状態では,この空間30内に,ワークWが配置される。そして,エア吐出口23は,空間30を形成する面のうち,他方のチャック21と向かい合う内側の面に開口している。   A space 30 is formed inside the two chucks 21 facing each other as shown by a broken line in FIG. The size of the space 30 in the depth direction in FIG. 5 is equal to the width of the chuck 21. Then, as shown in FIG. 3A, the workpiece W is arranged in the space 30 in the closed state in which the workpiece W is chucked by the chuck device 12. The air discharge port 23 is open to an inner surface facing the other chuck 21 among the surfaces forming the space 30.

なお,閉状態にて,ワークWは,前述した内側面31と上面32との少なくとも一方に接触して保持される。そして,エア吐出口23は,内側面31と上面32とのうち,ワークWと接触する範囲に形成されている。エア吐出口23は,その形成されている内側面31や上面32から突出していないので,ワークWをチャックした状態では,エア吐出口23の全部または一部は,ワークWによって塞がれる。また,チャック21の閉状態では,ワークWを保持できれば良く,必ずしもワークWが内側面31と上面32との両方に接触していなくてもよい。   In the closed state, the workpiece W is held in contact with at least one of the inner side surface 31 and the upper surface 32 described above. The air discharge port 23 is formed in a range in contact with the workpiece W among the inner side surface 31 and the upper surface 32. Since the air discharge port 23 does not protrude from the formed inner surface 31 or upper surface 32, all or part of the air discharge port 23 is blocked by the work W when the work W is chucked. Further, in the closed state of the chuck 21, it is only necessary to hold the workpiece W, and the workpiece W does not necessarily have to be in contact with both the inner side surface 31 and the upper surface 32.

エア供給口24は,図4に示すように,エア吐出口23とは異なる位置にて,チャック21の外面に開口している。さらに,エア供給口24は,閉状態でワークWと接触しない範囲に形成されている。具体的に,チャック21のエア供給口24は,図4に示すように,側部211と底部212との接続箇所にて,片側の端面34に形成されている。エア供給口24には,不図示のエア供給用パイプが接続される。図4に示したように,2つのチャック21の間の空間30を形成する面内ではない箇所にエア供給口24が形成されていれば,エア供給用のパイプを接続し易い。   As shown in FIG. 4, the air supply port 24 opens on the outer surface of the chuck 21 at a position different from the air discharge port 23. Further, the air supply port 24 is formed in a range in which the air supply port 24 is not in contact with the workpiece W in the closed state. Specifically, as shown in FIG. 4, the air supply port 24 of the chuck 21 is formed in the end surface 34 on one side at the connection portion between the side portion 211 and the bottom portion 212. An air supply pipe (not shown) is connected to the air supply port 24. As shown in FIG. 4, if the air supply port 24 is formed at a location that is not in the plane that forms the space 30 between the two chucks 21, it is easy to connect an air supply pipe.

エア流路25は,チャック21の内部に形成された流路であり,エア供給口24と各エア吐出口23とを連通している。エア流路25は,エア供給口24と複数のエア吐出口23と以外の箇所では,外部に開口していない。従って,チャック21のエア供給口24からエアが供給されると,複数のエア吐出口23からエアが吐出される。   The air flow path 25 is a flow path formed inside the chuck 21, and communicates the air supply port 24 with each air discharge port 23. The air flow path 25 is not open to the outside at locations other than the air supply port 24 and the plurality of air discharge ports 23. Accordingly, when air is supplied from the air supply port 24 of the chuck 21, air is discharged from the plurality of air discharge ports 23.

続いて,本形態の異物除去装置1を用いてワークWの異物を除去する異物除去工程について説明する。異物除去工程は,図6の工程図に示すように,工程1から工程7を含む。なお,ここでは,前述した蓋組立体等の長尺形状のワークWを対象とした異物除去工程について説明する。   Next, a foreign matter removing process for removing foreign matter on the workpiece W using the foreign matter removing apparatus 1 of the present embodiment will be described. The foreign matter removing step includes step 1 to step 7 as shown in the step diagram of FIG. Here, the foreign matter removing process for the long workpiece W such as the lid assembly described above will be described.

異物除去工程では,まず,ワークWをチャックする(工程1)。工程1は,チャック閉工程の一例である。具体的に,図3の(B)に示したように,チャック21を開状態として,両側のチャック21の間にワークWを配置する。そして,図3の(A)に示したように,チャック21を閉状態とする。なお,工程1では,チャック装置12は,長尺形状のワークWの一端部を挟んで保持する。   In the foreign matter removing step, first, the workpiece W is chucked (step 1). Step 1 is an example of a chuck closing step. Specifically, as shown in FIG. 3B, the chuck 21 is opened and the workpiece W is disposed between the chucks 21 on both sides. Then, the chuck 21 is closed as shown in FIG. In step 1, the chuck device 12 holds one end portion of the long workpiece W across the end.

次に,チャックされているワークWの表面をエアブローする(工程2)。工程2は,メインエアブロー工程の一例である。具体的に,チャック装置12とワークWとを異物除去装置1の所定の位置に配置し,エアブローノズル11から所定の圧力でエアを吐出させる。工程2におけるエアの送圧は,例えば,50kPaであり,エアブローノズル11の出口におけるエアの流速は,例えば,160m/s以上であることが望ましい。   Next, air blow is performed on the surface of the workpiece W being chucked (step 2). Process 2 is an example of a main air blow process. Specifically, the chuck device 12 and the workpiece W are arranged at a predetermined position of the foreign matter removing device 1 and air is discharged from the air blow nozzle 11 with a predetermined pressure. The air pressure in the process 2 is, for example, 50 kPa, and the air flow rate at the outlet of the air blow nozzle 11 is preferably, for example, 160 m / s or more.

なお,この工程2では,ワークWのうちチャック21に接触している箇所以外の全面をブローする。例えば,ブローしながらチャック装置12を移動させ,ワークWの姿勢を変更しつつブローする。この工程2により,ワークWのうち,チャック21との接触箇所以外の全面が洗浄され,異物が除去される。   In step 2, the entire surface of the workpiece W other than the portion in contact with the chuck 21 is blown. For example, the chuck device 12 is moved while blowing, and the workpiece W is blown while the posture of the workpiece W is changed. By this step 2, the entire surface of the workpiece W other than the contact point with the chuck 21 is cleaned, and foreign matters are removed.

その後,図7に示すように,チャック21をワークWから退避させる。まず,図7の(a)に示すように,チャック21を下降させ,ワークWをワークガイド41に載置する(工程3)。工程3は,受け渡し工程の一例である。ワークガイド41は,次工程へワークWを移動させる際のガイド部材である。なお,図7中の破線の矢印は,チャック21の移動方向を示している。   Thereafter, the chuck 21 is retracted from the workpiece W as shown in FIG. First, as shown in FIG. 7A, the chuck 21 is lowered and the work W is placed on the work guide 41 (step 3). Process 3 is an example of a delivery process. The work guide 41 is a guide member for moving the work W to the next process. 7 indicates the moving direction of the chuck 21.

工程3では,図8に示すように,ワークWのうち,チャック21にて保持されていない範囲であって,ワークWの重心を含む部分を,ワークガイド41に載置する。ワークWのうち,チャック21に接触している部分は,ワークガイド41から外れた位置となる。   In step 3, as shown in FIG. 8, a portion of the workpiece W that is not held by the chuck 21 and includes the center of gravity of the workpiece W is placed on the workpiece guide 41. A portion of the workpiece W that is in contact with the chuck 21 is at a position that is out of the workpiece guide 41.

そして,チャック21のエア供給口24へのエアの供給を開始する(工程4)。工程4は,チャック部エアブロー工程の一例である。これにより,チャック装置12のエア吐出口23からエアが吐出される。このとき,図7の(b)に示すように,チャック21を少し下降させるとよい。なお,図7の(b)〜(d)中で,チャック21から出ている多数の矢印は,エアの吐出方向の例を示している。   Then, supply of air to the air supply port 24 of the chuck 21 is started (step 4). Process 4 is an example of a chuck part air blow process. Thereby, air is discharged from the air discharge port 23 of the chuck device 12. At this time, the chuck 21 may be slightly lowered as shown in FIG. In FIGS. 7B to 7D, a large number of arrows coming out of the chuck 21 indicate examples of the air discharge direction.

次に,チャック21を開状態とする(工程5)。工程5は,チャック開工程の一例である。図7の(c)に示すように,エア吐出口23からのエアの吐出を続けながら,チャック21を開状態とすることで,ワークWの下面のうちチャック21と接触していた範囲の全体をブローする。そして,チャック21が開状態となると,ワークWは,チャック装置12から解放され,ワークガイド41によって保持される。   Next, the chuck 21 is opened (step 5). Step 5 is an example of a chuck opening step. As shown in FIG. 7C, the chuck 21 is opened while continuing to discharge air from the air discharge port 23, so that the entire range of the lower surface of the workpiece W that is in contact with the chuck 21 is reached. Blow. When the chuck 21 is opened, the workpiece W is released from the chuck device 12 and is held by the workpiece guide 41.

チャック21が十分に開いたら,チャック21を上昇させる(工程6)。工程6は,退避工程の一例である。この工程では,エア吐出口23からのエアの吐出を続けながら,チャック装置12を上昇させる。つまり,ワークWの側面のうちチャック21と接触していた範囲の全体をブローする。そして,図7の(d)に示すように,チャック21がワークWの範囲よりも上昇し,チャック21がワークWから完全に退避したら,エアの供給を停止する(工程7)。これにより,異物除去工程を終了する。   When the chuck 21 is sufficiently opened, the chuck 21 is raised (step 6). Step 6 is an example of a evacuation step. In this step, the chuck device 12 is raised while continuing to discharge air from the air discharge port 23. That is, the entire range in contact with the chuck 21 on the side surface of the workpiece W is blown. Then, as shown in FIG. 7D, when the chuck 21 rises above the range of the workpiece W and the chuck 21 is completely retracted from the workpiece W, the supply of air is stopped (step 7). Thereby, the foreign matter removing step is completed.

この異物除去工程の図7の(b)〜(c)の工程では,ワークWの下面のうちチャック21に接触していた箇所は,チャック21の底部212の上面32に形成されているエア吐出口23(図5参照)から吐出される上向きのエアによって,近距離から確実に洗浄される。さらに,図7の(c)〜(d)の工程では,ワークWの側面のうちチャック21に接触していた箇所は,チャック21の側部211の内側面31に形成されているエア吐出口23(図5参照)から吐出される内向きのエアによって,近距離から確実に洗浄される。これにより,各エア吐出口23から吐出されたエアによって,ワークWのうち,チャック21と接触していた範囲の全面が洗浄される。   In steps (b) to (c) of FIG. 7 of this foreign matter removing step, the portion of the lower surface of the work W that has been in contact with the chuck 21 is an air discharge formed on the upper surface 32 of the bottom portion 212 of the chuck 21. It is reliably cleaned from a short distance by upward air discharged from the outlet 23 (see FIG. 5). Further, in the steps (c) to (d) of FIG. 7, the portion of the side surface of the workpiece W that is in contact with the chuck 21 is an air discharge port formed on the inner surface 31 of the side portion 211 of the chuck 21. It is reliably cleaned from a short distance by the inward air discharged from 23 (see FIG. 5). Thereby, the entire surface of the workpiece W in contact with the chuck 21 is cleaned by the air discharged from each air discharge port 23.

なお,図6の工程図では,エアの供給は,ワークWをワークガイド41に載置した後,チャック21を開く前に開始するとしたが,これに限らない。チャック21を開き始めてからエアの供給を開始してもよいし,チャック21を開く動作の開始と同時にエアの供給も開始してもよい。また,ワークWがワークガイド41に載った後直ちにエアの供給を開始してもよいし,チャック21を少し下降させた後に開始してもよい。また,チャック21の退避が完了した後に,エアの供給を終了するとしたが,エア吐出口23の位置がワークWの側面に対向する範囲を通過したら,終了してもよい。   In the process diagram of FIG. 6, the supply of air starts after the work W is placed on the work guide 41 and before the chuck 21 is opened, but is not limited thereto. Air supply may be started after opening the chuck 21, or air supply may be started simultaneously with the start of the operation of opening the chuck 21. Further, the supply of air may be started immediately after the work W is placed on the work guide 41, or may be started after the chuck 21 is slightly lowered. In addition, the supply of air is finished after the retraction of the chuck 21 is completed. However, the supply may be finished when the position of the air discharge port 23 passes the range facing the side surface of the workpiece W.

つまり,エアの供給は,ワークWがワークガイド41に載った後,チャック21の退避が終了するまでの間の少なくとも一部の期間に実行すればよい。また,エアの供給を開始した後,エアの供給を停止するまでの間,連続してエアを供給してもよいし,断続的に供給してもよい。   That is, the supply of air may be performed at least during a period from when the workpiece W is placed on the workpiece guide 41 to when the retracting of the chuck 21 is completed. In addition, after the air supply is started and before the air supply is stopped, the air may be supplied continuously or intermittently.

上述した異物除去工程により,チャック21の退避とワークWの洗浄との両方が完了し,ワークWは,ワークガイド41によって,次工程へと搬送される。本工程によれば,チャック箇所を変更しての2回のエアブローを行う必要が無いので,チャック箇所の変更時等にブロー済みの箇所に異物が再び付着するという可能性も小さい。従って,洗浄工程の設備の簡素化が実現できるとともに,洗浄性能も向上する。さらに,チャック装置12を退避させる工程と並行して,ワークWのうちチャック21と接触していた箇所の洗浄が行われるので,チャックの開閉手順やチャックの精度は従来通りであり,チャック機能への影響は小さい。   By the foreign matter removing process described above, both the retraction of the chuck 21 and the cleaning of the work W are completed, and the work W is transported to the next process by the work guide 41. According to this process, since it is not necessary to perform two air blows after changing the chuck location, there is little possibility that foreign matter will adhere again to the blown location when the chuck location is changed. Therefore, the cleaning process equipment can be simplified and the cleaning performance is improved. Further, in parallel with the step of retracting the chuck device 12, the portion of the workpiece W that has been in contact with the chuck 21 is cleaned, so that the procedure for opening and closing the chuck and the accuracy of the chuck are the same as in the past. The impact of is small.

続いて,本形態の異物除去装置1による洗浄性能を確認した実験の結果を説明する。この実験では,開口部の直径が1mmのエア吐出口23を,4mmピッチで形成したチャック21を使用した。そして,エア供給口24へ供給するエアの圧力を変更して,ワークWのうちチャック装置12にてチャックされていた範囲に残留する異物の量を測定した。なお,残留する異物の量は,液体洗浄を行うことで確認した。つまり,測定する範囲を液体で洗浄し,洗浄液を濾紙にて濾し取ることにより,異物を捕獲する。さらに,異物を捕獲した濾紙を顕微鏡等を用いて観察し,異物の数を数えた。   Then, the result of the experiment which confirmed the cleaning performance by the foreign material removal apparatus 1 of this form is demonstrated. In this experiment, a chuck 21 in which air discharge ports 23 having an opening diameter of 1 mm were formed at a pitch of 4 mm was used. Then, the pressure of the air supplied to the air supply port 24 was changed, and the amount of foreign matter remaining in the range where the workpiece W was chucked by the chuck device 12 was measured. The amount of remaining foreign matter was confirmed by performing liquid cleaning. In other words, foreign matter is captured by washing the area to be measured with liquid and filtering the washing liquid with filter paper. Furthermore, the filter paper that captured the foreign matter was observed with a microscope and the number of foreign matters was counted.

実験の結果を,図9のグラフに示す。図9に示すように,エアの吐出圧が高いほど残留する異物の量は少なくなった。特に,吐出圧を30kPa以上とすることで,ほぼ全ての異物を除去できることが確認された。   The result of the experiment is shown in the graph of FIG. As shown in FIG. 9, the amount of remaining foreign matter decreased as the air discharge pressure increased. In particular, it was confirmed that almost all foreign matters can be removed by setting the discharge pressure to 30 kPa or more.

次に,本形態の異物除去装置1によるエアブロー洗浄と,他の異物除去方法とを比較する試験を行った結果を,図10に示す。左の「エアブロー洗浄(ノズル内蔵チャック無)」は,本形態のチャック21を使用しないエアブロー洗浄方法であり,ワークWのチャック位置を変更して2回のエアブローを行う方法である。中央の「エアブロー洗浄(ノズル内蔵チャック有)」は,本形態の異物除去装置1を用いたエアブロー洗浄方法である。また,右の「液体洗浄」は,洗浄液による洗浄方法である。   Next, FIG. 10 shows the results of a test comparing the air blow cleaning by the foreign matter removing apparatus 1 of the present embodiment with other foreign matter removing methods. The “air blow cleaning (no nozzle built-in chuck)” on the left is an air blow cleaning method that does not use the chuck 21 of the present embodiment, and is a method of changing the chuck position of the workpiece W and performing air blow twice. The central “air blow cleaning (with a built-in nozzle chuck)” is an air blow cleaning method using the foreign matter removing apparatus 1 of the present embodiment. The “liquid cleaning” on the right is a cleaning method using a cleaning liquid.

図10に示すように,左の「エアブロー洗浄(ノズル内蔵チャック無)」では,1ワークあたり平均1.1個の異物が残留し,3方法のうち最も多かった。一方,中央の本形態の異物除去装置1による異物の残留量は,1ワークあたり平均0.5個であり,右の「液体洗浄」よりも少なかった。「液体洗浄」では,1ワークあたり平均0.6個の異物が残留した。なお,いずれの方法でも,100μm以上の異物の残留は無く,このワークWに要求される品質規格を達成していた。   As shown in FIG. 10, in the “air blow cleaning (no nozzle built-in chuck)” on the left, an average of 1.1 foreign matters remained per workpiece, the most among the three methods. On the other hand, the average amount of foreign matter remaining by the foreign matter removing apparatus 1 of the present embodiment at the center was 0.5 on average per work, which was smaller than the right “liquid cleaning”. In “liquid cleaning”, an average of 0.6 foreign matter remained per workpiece. In any of the methods, there was no residue of foreign matters of 100 μm or more, and the quality standard required for the workpiece W was achieved.

さらに,本形態の異物除去装置1によるエアブロー洗浄では,チャック箇所を変更しての2回のエアブローを行う必要が無いため,2回のエアブローを行う方法に比較して洗浄工程が短くてすみ,洗浄に要する時間が短いという利点もある。つまり,本形態のエアブロー洗浄によれば,2回のエアブローを行う洗浄方法に比較して,1ワークあたりの洗浄時間も短縮される。   Furthermore, in the air blow cleaning by the foreign matter removing apparatus 1 of the present embodiment, it is not necessary to perform two air blows by changing the chuck location, so the cleaning process can be shortened compared to the method of performing two air blows, There is also an advantage that the time required for cleaning is short. That is, according to the air blow cleaning of this embodiment, the cleaning time per work is shortened as compared with the cleaning method in which the air blow is performed twice.

以上詳細に説明したように,本形態の異物除去装置1によれば,開閉可能なチャック21を備えたチャック装置12にて,洗浄の対象物品であるワークWを挟んで,エアブロー洗浄を行うことができる。そして,チャック21には,エア吐出口23と,エア供給口24と,エア流路25と,が形成されている。そこで,ワークWのうち,チャック箇所以外の範囲のエアブローを行った後,チャック装置12を閉状態から開状態として,チャック21をワークWから退避させる途中で,エア供給口24からエアを供給する。これにより,エア吐出口23からワークWに向けて近距離でエアを吐出させるので,ワークWのうちチャック21と接触していた範囲を洗浄できる。つまり,チャック箇所を変更しての2回のエアブローは不要であり,洗浄工程の簡素化が期待できる。   As described in detail above, according to the foreign matter removing apparatus 1 of the present embodiment, air blow cleaning is performed with the chuck W 12 including the openable / closable chuck 21 sandwiching the workpiece W that is an object to be cleaned. Can do. In the chuck 21, an air discharge port 23, an air supply port 24, and an air flow path 25 are formed. Therefore, after air blow is performed on the workpiece W in a range other than the chuck location, the chuck device 12 is changed from the closed state to the opened state, and air is supplied from the air supply port 24 while the chuck 21 is retracted from the workpiece W. . Thereby, since air is discharged from the air discharge port 23 toward the workpiece W at a short distance, the range of the workpiece W that is in contact with the chuck 21 can be cleaned. In other words, two air blows by changing the chuck location are unnecessary, and simplification of the cleaning process can be expected.

なお,本形態は単なる例示にすぎず,本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に,その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良,変形が可能である。例えば,複数のエアブローノズル11を有するとしたが,移動可能なエアブローノズル11を1つだけ備える異物除去装置であってもよい。   In addition, this form is only a mere illustration and does not limit this invention at all. Therefore, the present invention can naturally be improved and modified in various ways without departing from the gist thereof. For example, although it has a plurality of air blow nozzles 11, it may be a foreign substance removing device having only one movable air blow nozzle 11.

また,チャック21の形状は,平板のL字形状に限らず,ワークWの形状に対応して種々の変更が可能である。また,チャックの開閉時の移動方向は,平行移動のみに限らず,回転移動を含む移動であってもよい。また,チャック装置12の退避方向は上方に限らず,ワークWから離れる方向であればよい。   Further, the shape of the chuck 21 is not limited to the L-shape of the flat plate, and various changes can be made according to the shape of the workpiece W. Further, the movement direction when the chuck is opened and closed is not limited to parallel movement, but may be movement including rotational movement. Further, the retraction direction of the chuck device 12 is not limited to the upward direction, and may be any direction away from the workpiece W.

また,例えば,エア吐出口の位置や個数は,図示の例に限らない。各面のエア吐出口23は,1列に並んでいるものに限らず,各面に2列以上形成されていてもよいし,ジグザグに配置されていてもよい。また,エア吐出口23は,側部211の内側面31と底部212の上面32とのいずれか一方のみに形成されていてもよい。   Further, for example, the position and the number of air discharge ports are not limited to the illustrated example. The air discharge ports 23 on each surface are not limited to being arranged in one row, but may be formed in two or more rows on each surface, or may be arranged in a zigzag manner. Further, the air discharge port 23 may be formed on only one of the inner surface 31 of the side portion 211 and the upper surface 32 of the bottom portion 212.

また,エア吐出口の形成される面は,2つのチャックの内側の領域である空間30を規定する面であれば良く,ワークWと接触する面でなくてもよい。例えば,図11に示すようなチャック51を備えるチャック装置15であってもよい。つまり,側部511と底部512とを有するチャック51であって,底部512の上面513と,底部512のうち他方のチャック51の底部512と対向する面である内側面514とにエア吐出口が形成されていてもよい。あるいは,さらに側部511の内側面515にもエア吐出口が形成されていてもよい。また,底部512の内側面514のみに,エア吐出口が形成されていてもよい。   Further, the surface on which the air discharge port is formed may be a surface that defines the space 30 that is an inner region of the two chucks, and may not be a surface that contacts the workpiece W. For example, a chuck device 15 including a chuck 51 as shown in FIG. 11 may be used. That is, the air discharge port is formed in the chuck 51 having the side portion 511 and the bottom portion 512, and the upper surface 513 of the bottom portion 512 and the inner side surface 514 that is the surface of the bottom portion 512 facing the bottom portion 512 of the other chuck 51. It may be formed. Alternatively, an air discharge port may also be formed on the inner surface 515 of the side portion 511. An air discharge port may be formed only on the inner surface 514 of the bottom portion 512.

また,例えば,図12に示すようなチャック61を備えるチャック装置16であってもよい。つまり,底部を有しない平板状のチャック61であり,他方のチャック61と対向する面である内側面611にエア吐出口が形成されたものとしてもよい。   Further, for example, a chuck device 16 including a chuck 61 as shown in FIG. 12 may be used. That is, the chuck 61 may be a flat plate having no bottom, and an air discharge port may be formed on the inner surface 611 that is a surface facing the other chuck 61.

また,エア吐出口23は,1個のみでもよい。ただし,複数個形成されていれば,エアの吐出先の範囲が広く,ワークWとチャック21との位置決め精度が多少低くても,確実に洗浄できるので好ましい。   Further, only one air discharge port 23 may be provided. However, it is preferable to form a plurality of air discharges because the air discharge destination range is wide and the positioning accuracy between the workpiece W and the chuck 21 is somewhat low.

また,例えば,複数のエア供給口24やエア流路25を有していてもよい。例えば,側部のエア吐出口と,底部のエア吐出口とで,別のエア流路を設け,それぞれ異なるエア供給口からエアを供給してもよい。このようにすれば,側部のエア吐出口と,底部のエア吐出口とで,エアを吐出するタイミングを異なるものとできる。   Further, for example, a plurality of air supply ports 24 and air flow paths 25 may be provided. For example, separate air flow paths may be provided for the side air outlet and the bottom air outlet, and air may be supplied from different air supply ports. In this way, the timing of discharging air can be different between the side air outlet and the bottom air outlet.

1 異物除去装置
12 チャック装置
21 チャック
23 エア吐出口
24 エア供給口
25 エア流路
31 内側面
32 上面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Foreign material removal apparatus 12 Chuck apparatus 21 Chuck 23 Air discharge port 24 Air supply port 25 Air flow path 31 Inner side surface 32 Upper surface

Claims (1)

エアブローにより対象物品の異物除去を行う異物除去装置において,
開状態と閉状態とに変位自在であって,前記閉状態で前記対象物品を保持する一対の保持部材を備え,
前記保持部材の一方は,
前記閉状態で他方の前記保持部材の側にある面に開口するエア吐出口と,
前記エア吐出口と異なる位置に開口するエア供給口と,
前記エア供給口と前記エア吐出口とを連通するエア流路と,
を有することを特徴とする異物除去装置。
In a foreign matter removing device that removes foreign matter from an object by air blow,
A pair of holding members that are freely displaceable between an open state and a closed state and hold the target article in the closed state;
One of the holding members is
An air outlet opening in a surface on the other holding member side in the closed state;
An air supply port opening at a position different from the air discharge port;
An air flow path communicating the air supply port and the air discharge port;
A foreign matter removing apparatus characterized by comprising:
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