JP2017046017A - 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液処理装置10は、処理液タンク31a、31b、31cに接続された循環流路32a、32b、32cおよび配管68と、処理液をウエハWに供給する処理液供給ノズル45と、開状態の時に配管68に対して処理液を供給し、閉状態の時に配管68に対する処理液の供給を遮断する多連バルブ30と、予め決められた応答時間で流量の値を出力する流量計34とを備えている。制御部80は、ウエハWに処理液を供給する際、流量計34が測定した流量の値を第1の応答時間に基づいて判断し、多連バルブ30のリークを検知する際、流量計34が測定した流量の値を第2の応答時間に基づいて判断する。
第2の応答時間は、第1の応答時間よりも長くなっている。
【選択図】図2
Description
この場合、バルブを通過した微量の処理液が、本来当該処理液が流れるべきではないタイミングで(例えば乾燥時に)、ノズルから被処理体側に流れてくる可能性がある。このような場合、例えば乾燥時に処理液が被処理体に供給されたり、あるいは複数の処理液同士が配管内で混ざり合ったりするため、被処理体の処理に影響を及ぼすおそれがある。
そして切換バルブ30a、30b、30cから流出した処理液は、この出力口30dを介して配管68に供給される。
22 基板処理ユニット
30 多連バルブ
30a、30b、30c 切換バルブ
30d 出力口
31a、31b、31c 処理液タンク
32a、32b、32c 循環流路
33a、33b、33c ポンプ
34 流量計
35 流量調整部
41 ベースプレート
42 ウエハ保持部
43 回転モータ
44 カップ
45 処理液供給ノズル
47 排気・排液部
48 ケーシング
49 気流導入部
51 回転プレート
52 回転軸
53 昇降部材
54 保持部材
55 軸受け部材
57 ベルト
58 プーリー
62 ノズルアーム
66 接続部材
67 シリンダ機構
68 配管
80 制御部
81 記憶媒体
91 排液カップ
92 排気カップ
94 排液管
95 排気管
Claims (11)
- 被処理体に処理液を供給することにより前記被処理体を処理する液処理装置において、 処理液供給源に接続され、前記処理液供給源からの前記処理液を供給する供給経路と、 前記供給経路に接続され、前記供給経路からの前記処理液を前記被処理体に供給するノズルと、
前記供給経路に設けられ、開状態の時に前記供給経路に対して前記処理液を供給し、閉状態の時に前記供給経路に対する前記処理液の供給を遮断するバルブと、
前記供給経路に設けられ、予め決められた応答時間で流量の値を出力する流量計と、
前記流量計に接続され、前記流量計の応答時間が送信される制御部とを備え、
前記制御部は、前記被処理体に前記処理液を供給する際、前記流量の値を第1の応答時間に基づいて判断し、
前記制御部は、前記バルブのリークを検知する際、前記流量の値を第2の応答時間に基づいて判断し、
前記第2の応答時間は、前記第1の応答時間よりも長いことを特徴とする液処理装置。 - 前記制御部は、前記第2の応答時間に基づく流量の値が所定の閾値を上回った場合に、前記バルブにリークが生じていると判断することを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 前記制御部は、前記第2の応答時間に基づく流量の値が所定の閾値を下回った場合に、前記バルブにリークが生じていないと判断し、その後前記流量の値を前記第1の応答時間に基づいて判断することを特徴とする請求項1または2記載の液処理装置。
- 前記供給経路に、前記供給経路を流れる前記処理液の流量を調整する流量調整部が設けられ、
前記制御部は、前記バルブのリークを検知する前に、前記流量調整部を制御することにより、前記処理液を、前記被処理体に前記処理液を供給する際に前記供給経路を流れる流量よりも多い流量で前記供給経路に流すことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載の液処理装置。 - 前記制御部は、前記第2の応答時間に基づいて判断された流量の値が所定の閾値を上回った場合に、前記バルブにリークが生じていると判断し、再度前記バルブのリークを検知することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載の液処理装置。
- 液処理装置を用いて被処理体を処理する液処理方法において、
前記液処理装置は、
処理液供給源に接続され、前記処理液供給源からの前記処理液を供給する供給経路と、 前記供給経路に接続され、前記供給経路からの前記処理液を前記被処理体に供給するノズルと、
前記供給経路に設けられ、開状態の時に前記供給経路に対して前記処理液を供給し、閉状態の時に前記供給経路に対する前記処理液の供給を遮断するバルブと、
前記供給経路に設けられ、予め決められた応答時間で流量の値を出力する流量計とを備え、
前記液処理方法は、
前記バルブを開状態にするとともに、前記被処理体に前記処理液を供給する供給工程であって、前記流量の値が第1の応答時間に基づいて判断される、供給工程と、
前記バルブを閉状態にするとともに、前記バルブのリークを検知する検知工程であって、前記流量の値が第2の応答時間に基づいて判断される、検知工程とを備え、
前記第2の応答時間は、前記第1の応答時間よりも長いことを特徴とする液処理方法。 - 前記検知工程において、前記第2の応答時間に基づく流量の値が所定の閾値を上回った場合に、前記バルブにリークが生じていると判断することを特徴とする請求項6記載の液処理方法。
- 前記検知工程において、前記第2の応答時間に基づく流量の値が所定の閾値を下回った場合に、前記バルブにリークが生じていないと判断し、その後前記流量の値を前記第1の応答時間に基づいて判断することを特徴とする請求項6または7記載の液処理方法。
- 前記供給工程の後であって前記検知工程の前に、前記処理液を、前記被処理体に前記処理液を供給する際に前記供給経路を流れる流量よりも多い流量で前記供給経路に流す工程が設けられていることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか一項記載の液処理方法。
- 前記検知工程において、前記第2の応答時間に基づく流量の値が所定の閾値を上回った場合に、再度前記バルブのリークを検知することを特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項記載の液処理方法。
- 液処理装置を用いて被処理体を処理する、液処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記液処理装置は、
処理液供給源に接続され、前記処理液供給源からの前記処理液を供給する供給経路と、 前記供給経路に接続され、前記供給経路からの前記処理液を前記被処理体に供給するノズルと、
前記供給経路に設けられ、開状態の時に前記供給経路に対して前記処理液を供給し、閉状態の時に前記供給経路に対する前記処理液の供給を遮断するバルブと、
前記供給経路に設けられ、予め決められた応答時間で流量の値を出力する流量計とを備え、
前記液処理方法は、
前記バルブを開状態にするとともに、前記被処理体に前記処理液を供給する供給工程であって、前記流量の値が第1の応答時間に基づいて判断される、供給工程と、
前記バルブを閉状態にするとともに、前記バルブのリークを検知する検知工程であって、前記流量の値が第2の応答時間に基づいて判断される、検知工程とを備え、
前記第2の応答時間は、前記第1の応答時間よりも長いことを特徴とする記憶媒体。
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JP2006214793A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流量計測装置 |
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