JP2017043668A - Polyimide film and method for producing the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a graphite sheet having few surface projections and a good appearance, and a polyimide film to serve as a raw material for the graphite sheet.SOLUTION: A polyimide film has inorganic particles so that the percentage of the inorganic particles becomes 0.05-0.8 wt.% per film resin weight, the inorganic particle having a maximum dispersion diameter of 15 μm or less.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、放熱材、均熱材として利用される、表面突起が少なく優れた外観を有するグラファイトシート、並びに該グラファイトシートの製造に使用されるポリイミドフィルム及びその製造方法に関する。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a graphite sheet having an excellent appearance with few surface protrusions, used as a heat radiating material and a soaking material, a polyimide film used for producing the graphite sheet, and a method for producing the same.

ポリイミドフィルムは、耐熱性、耐寒性、耐薬品性、電気絶縁性及び機械強度等において優れた特性を有することが知られており、電線の電気絶縁材料、断熱材、フレキシブルプリント配線基板(FPC)のベースフィルム、IC(Integrated Circuit)のテープオートメイティッドボンディング(TAB)用のキャリアテープフィルム、及びICのリードフレーム固定用テープ等に広く利用されている。   Polyimide film is known to have excellent properties in heat resistance, cold resistance, chemical resistance, electrical insulation, mechanical strength, and the like. Electrical insulation material for wire, heat insulating material, flexible printed circuit board (FPC) It is widely used as a base film, a carrier tape film for IC (Integrated Circuit) tape automated bonding (TAB), a lead frame fixing tape for IC, and the like.

ポリイミドフィルムがこれらの用途に用いられる際に重要な実用特性は、フィルムの滑り性(易滑性)である。これは、様々なフィルム加工工程において、フィルム支持体(たとえば、ロール)とフィルムとの易滑性、またフィルム同士の易滑性が確保されることにより、各工程における操作性、取り扱い性を向上させ、更にはフィルム上にシワ等の不良個所の発生が回避できるためである。   An important practical characteristic when a polyimide film is used in these applications is the slipperiness (slidability) of the film. This improves operability and handleability in each process by ensuring the slidability between the film support (for example, roll) and the film and the slidability between films in various film processing steps. Furthermore, it is because generation | occurrence | production of defective parts, such as a wrinkle, can be avoided on a film.

従来のポリイミドフィルムにおける易滑化技術では、不活性無機化合物(例えば、アルカリ土類金属のオルトリン酸塩、第2リン酸カルシウム無水物、ピロリン酸カルシウム、シリカ、タルク等)をフィラーとしてポリアミック酸に添加する方法(特許文献1参照)が知られている。   In the conventional smoothing technology for polyimide films, an inert inorganic compound (for example, alkaline earth metal orthophosphate, dibasic calcium phosphate anhydride, calcium pyrophosphate, silica, talc, etc.) is added to polyamic acid as a filler. (See Patent Document 1).

一方で、ポリイミドフィルムを不活性ガス中で2400℃以上の温度で熱処理(焼成)してグラファイト化した後、圧延処理することで、柔軟性と弾性とを有する可撓性のグラファイトシートが得られることが知られている(特許文献2及び3参照)。このグラファイトシートは、銅やアルミニウム等の金属シートよりも高い熱伝導率を有するため、電子機器の放熱部材として、近年注目されている。   On the other hand, a flexible graphite sheet having flexibility and elasticity can be obtained by heat-treating (firing) the polyimide film in an inert gas at a temperature of 2400 ° C. or higher to form a graphite, followed by rolling. It is known (see Patent Documents 2 and 3). Since this graphite sheet has a higher thermal conductivity than a metal sheet such as copper or aluminum, it has recently attracted attention as a heat radiating member for electronic devices.

ポリイミドフィルムを焼成して得られるグラファイトシート用途においても、良質なグラファイトシートを得る為に無機質のフィラーを添加するのが好ましいことが知られている(特許文献4参照)。
グラファイトシート用途で原料となるポリイミドフィルムに添加される無機粒子の役割としては、ポリイミドフィルムを焼成する際にフィルム中に分散させた無機粒子がフィルム内部から昇華するときに発生するガスにより発泡(膨れ)を生じさせることである。この膨れが生じることで、圧延処理を加えて得られたグラファイトシートの柔軟性、破断強度等の特性を改善させることが可能となる。
一方で、ポリイミドフィルム中の部分的な過度の膨れは、グラファイトシートの表面に突起欠陥を作り、外観に影響を与える。特に厚みの厚いポリイミドフィルムを原料として用いる場合は、ガス透過性が低い為、影響が生じやすくなる。
このグラファイトシートの表面突起の程度をコントロールする方法として、以下の2つの方法が知られている。
It is known that it is preferable to add an inorganic filler in order to obtain a good quality graphite sheet also in the use of a graphite sheet obtained by firing a polyimide film (see Patent Document 4).
The role of the inorganic particles added to the polyimide film used as a raw material for graphite sheet is to expand (swell) by the gas generated when the inorganic particles dispersed in the film are sublimated from the inside of the film when firing the polyimide film. ). Due to this swelling, it is possible to improve the properties such as flexibility and breaking strength of the graphite sheet obtained by applying the rolling treatment.
On the other hand, partial excessive swelling in the polyimide film creates a protrusion defect on the surface of the graphite sheet and affects the appearance. In particular, when a thick polyimide film is used as a raw material, the gas permeability is low, so that the influence is likely to occur.
The following two methods are known as methods for controlling the degree of surface protrusions of this graphite sheet.

その一つは、ポリイミドフィルムの焼成初期のある特定の温度領域において急激な熱履歴を加え、ポリイミドの分子鎖の配向を乱し、ガス透過性を改善させる処理を行う方法である。この工程を経ることで焼成の過程で発生する無機粒子等の内部揮発ガスをスムーズに抜くことが出来る為、部分的な膨れが抑えられ、表面突起が少なく表面外観が良好なグラファイトシートを得ることが出来る(特許文献5参照)。
しかしながら、このような焼成条件の改善において、焼成容器全体を均一にムラ無く同一の熱履歴を加えることは困難であり、グラファイトシートの品質のバラツキや生産性に影響を及ぼす為、ポリイミドフィルム自体の改善が必要であった。
One of them is a method of applying a rapid thermal history in a specific temperature range at the initial stage of baking of the polyimide film, disturbing the orientation of molecular chains of the polyimide, and improving the gas permeability. By passing through this process, internal volatile gases such as inorganic particles generated during the firing process can be removed smoothly, so that a partial expansion is suppressed, and a graphite sheet with a small surface protrusion and a good surface appearance is obtained. (See Patent Document 5).
However, in the improvement of such firing conditions, it is difficult to apply the same thermal history to the entire firing container uniformly and unevenly, and this affects the quality variation and productivity of the graphite sheet. Improvement was needed.

もう一つの方法として、グラファイトシートの原料であるポリイミドフィルムに添加される無機粒子の粒子径やフィルム樹脂重量当たりの無機粒子の添加割合を制御し、過度な発泡(膨れ)を改善させる方法が知られている(特許文献6参照)。
しかしながら、添加する無機粒子の最大粒子径や添加割合の制御だけではグラファイトシートの表面に生じる突起欠陥を十分に改善できないという問題があった。
Another method is to improve the excessive foaming (swelling) by controlling the particle size of the inorganic particles added to the polyimide film, which is the raw material of the graphite sheet, and the ratio of inorganic particles added per film resin weight. (See Patent Document 6).
However, there is a problem that the protrusion defects generated on the surface of the graphite sheet cannot be sufficiently improved only by controlling the maximum particle diameter and the addition ratio of the inorganic particles to be added.

特開昭62−68852号公報JP-A-62-68852 特開平3−75211号公報JP-A-3-75211 特開平4−21508号公報JP-A-4-21508 特開平8−267647号公報JP-A-8-267647 特開2014−129226号公報JP 2014-129226 A 特開2014−136721号公報JP 2014-136721 A

本発明は、上述した従来技術における問題点の解決を課題として検討した結果達成されたものである。
したがって、本発明の目的は、表面突起が少なく外観が優れたグラファイトシート及びこのシートを得るのに有用なポリイミドフィルムを提供することである。
また、本発明の別の目的は、柔軟性、破断強度、熱拡散係数に優れたグラファイトシート及びこのシートを得るのに有用なポリイミドフィルムを提供することである。
さらに、本発明の他の目的は、上記のようなポリイミドフィルム及びグラファイトシートを製造する方法を提供することである。
The present invention has been achieved as a result of studying the solution of the problems in the prior art described above as an issue.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a graphite sheet with few surface protrusions and excellent appearance, and a polyimide film useful for obtaining this sheet.
Another object of the present invention is to provide a graphite sheet excellent in flexibility, breaking strength, and thermal diffusion coefficient, and a polyimide film useful for obtaining this sheet.
Furthermore, another object of the present invention is to provide a method for producing the above polyimide film and graphite sheet.

特許文献6では、前記のように、ポリイミドフィルムに分散させる無機粒子の粒径や添加割合を調整することにより、グラファイトシートにおける異常膨れの発生を抑制できると記載されており、特に、無機粒子の粒子径を0.01μm以上6.0μm以下とすることが記載されている。
すなわち、特許文献6では、分散に供する無機粒子の粒子径を特定の範囲にすることで、当該粒子径をポリイミドフィルム、さらにはグラファイトシートにおいても反映でき、異常膨れを抑制できるとしている。
In Patent Document 6, as described above, it is described that the occurrence of abnormal swelling in the graphite sheet can be suppressed by adjusting the particle size and the addition ratio of the inorganic particles dispersed in the polyimide film. It describes that the particle diameter is 0.01 μm or more and 6.0 μm or less.
That is, in Patent Document 6, by setting the particle diameter of the inorganic particles used for dispersion in a specific range, the particle diameter can be reflected in the polyimide film and further in the graphite sheet, and abnormal swelling can be suppressed.

しかしながら、本発明者らの検討によれば、分散に供する無機粒子の粒子径を0.01μm以上6.0μm以下に調整しても、グラファイトシートおいて、異常膨れとは言わないまでも、表面突起、とりわけ、0.1mm以上という大きな表面突起が形成され、外観不良なグラファイトシートが得られる場合があった。
そのため、このような表面突起が形成される要因について調べたところ、ポリイミドフィルムにおいては、単に、無機粒子の粒子径を0.01μm以上6.0μm以下としても、無機粒子とポリアミド酸との混合やフィルムの製造工程を経るためか、ポリイミドフィルム特有の粒子の凝集が生じ、無機粒子の粒子径がフィルムにおける分散径を反映できない場合があることを突き止めた。
このような状況下、本発明者らはさらに鋭意検討を重ねた結果、無機粒子をポリアミド酸と混合する際、単に小粒子径の粒子を選択するのではなく、予め、無機粒子のスラリーをフィルター処理する(さらには、無機粒子の割合やポリアミド酸の組成を選択する)ことで、意外なことに、ポリイミドフィルムにおける無機粒子の凝集を抑制又は防止でき(換言すれば、無機粒子の粒子径を高度に反映でき)、分散径を小さく、特に、15μm以下とできること、さらには、このような分散径が15μm以下のポリイミドフィルムを用いることで、表面突起の形成を著しく抑制でき、外観に優れたグラファイトシートを効率よく得ることができることを見出し、この知見に基づいてさらに研究を進め、本発明を完成するに至った。
However, according to the study by the present inventors, even if the particle size of the inorganic particles used for dispersion is adjusted to 0.01 μm or more and 6.0 μm or less, the surface of the graphite sheet is not necessarily abnormally swollen. In some cases, protrusions, particularly large surface protrusions of 0.1 mm or more, were formed, and a graphite sheet with poor appearance was obtained.
Therefore, when the cause of the formation of such surface protrusions was investigated, in the polyimide film, even when the particle diameter of the inorganic particles was 0.01 μm or more and 6.0 μm or less, the mixture of inorganic particles and polyamic acid It has been found that the particle diameter of the inorganic particles may not reflect the dispersion diameter in the film due to aggregation of particles specific to the polyimide film, possibly due to the film production process.
Under such circumstances, the present inventors have conducted further intensive studies. As a result, when mixing the inorganic particles with the polyamic acid, instead of simply selecting particles having a small particle size, the slurry of the inorganic particles is previously filtered. Surprisingly, it is possible to suppress or prevent aggregation of the inorganic particles in the polyimide film (in other words, by selecting the proportion of the inorganic particles and the composition of the polyamic acid) (in other words, the particle size of the inorganic particles is reduced). The dispersion diameter can be made small, particularly 15 μm or less. Furthermore, by using a polyimide film having such a dispersion diameter of 15 μm or less, the formation of surface protrusions can be remarkably suppressed, and the appearance is excellent. The inventors have found that a graphite sheet can be obtained efficiently, and have further advanced research based on this finding, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は以下のポリイミドフィルム等に関する。
[1]無機粒子が分散したポリイミドフィルムであって、無機粒子の割合がフィルム樹脂重量当たり0.05〜0.8重量%であり、無機粒子の最大分散径が15μm以下であるポリイミドフィルム。
[2]4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを含む芳香族ジアミン成分と、ピロメリット酸二無水物を含む芳香族テトラカルボン酸二無水物成分とを少なくとも構成成分とするポリイミドで形成されている前記[1]に記載のポリイミドフィルム。
[3]無機粒子が、フィルム樹脂重量当たり0.05〜0.5重量%の割合で含まれていることを特徴とする前記[1]又は[2]に記載のポリイミドフィルム。
[4]無機粒子が、リン酸水素カルシウムを主成分とすることを特徴とする前記[1]〜[3]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。
[5]フィルム厚みが25〜80μmであることを特徴とする前記[1]〜[4]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。
[6]無機粒子を含むポリアミド酸溶液を用いて、前記[1]〜[5]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを製造する方法であって、無機粒子を含むスラリーを、フィルター処理した後、ポリアミド酸と混合してポリアミド酸溶液を得る工程を含む製造方法。
[7]前記[1]〜[6]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを原料として含む、表面の直径0.1mm以上の突起欠陥が3個/50cm以下のグラファイトシート。
[8]前記[1]〜[6]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを焼成することを特徴とするグラファイトシートの製造方法。
That is, the present invention relates to the following polyimide films and the like.
[1] A polyimide film in which inorganic particles are dispersed, wherein the proportion of inorganic particles is 0.05 to 0.8% by weight per film resin weight, and the maximum dispersion diameter of inorganic particles is 15 μm or less.
[2] The above-mentioned polyimide formed of at least a constituent comprising an aromatic diamine component containing 4,4′-diaminodiphenyl ether and an aromatic tetracarboxylic dianhydride component containing pyromellitic dianhydride [ 1].
[3] The polyimide film as described in [1] or [2], wherein the inorganic particles are contained at a ratio of 0.05 to 0.5% by weight per film resin weight.
[4] The polyimide film according to any one of [1] to [3], wherein the inorganic particles contain calcium hydrogen phosphate as a main component.
[5] The polyimide film according to any one of [1] to [4], wherein the film thickness is 25 to 80 μm.
[6] A method for producing a polyimide film according to any one of [1] to [5] above using a polyamic acid solution containing inorganic particles, wherein the slurry containing inorganic particles is filtered. Then, the manufacturing method including the process of mixing with a polyamic acid and obtaining a polyamic acid solution.
[7] A graphite sheet containing the polyimide film according to any one of [1] to [6] as a raw material and having 3 protrusion defects having a diameter of 0.1 mm or more on the surface and 50 cm 2 or less.
[8] A method for producing a graphite sheet, comprising firing the polyimide film according to any one of [1] to [6].

本発明のポリイミドフィルムは、表面突起が少なく優れた外観を有するグラファイトシートを提供することができる。
また、本発明によれば、柔軟性、破断強度、熱拡散係数に優れたグラファイトシートを得ることができる。
The polyimide film of the present invention can provide a graphite sheet with few surface protrusions and an excellent appearance.
Further, according to the present invention, a graphite sheet excellent in flexibility, breaking strength, and thermal diffusion coefficient can be obtained.

比較例1のグラファイトシートの、部分的な過度の発泡による表面突起欠陥の写真図である。It is a photograph of the surface protrusion defect by the partial excessive foaming of the graphite sheet of the comparative example 1.

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明のポリイミドフィルムは、前駆体であるポリアミック酸(ポリアミド酸)をイミド化することによって製造される。ポリアミド酸は、ジアミン成分と酸二無水物成分とを有機溶媒中で付加重合させることにより得られる。まず、ポリアミド酸溶液について説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The polyimide film of the present invention is produced by imidizing a precursor polyamic acid (polyamic acid). The polyamic acid is obtained by addition polymerization of a diamine component and an acid dianhydride component in an organic solvent. First, the polyamic acid solution will be described.

[ポリアミド酸]
本発明において、ジアミン成分としては芳香族ジアミン成分が好ましく、酸二無水物成分としては芳香族テトラカルボン酸二無水物成分が好ましい。
[Polyamide acid]
In the present invention, the diamine component is preferably an aromatic diamine component, and the acid dianhydride component is preferably an aromatic tetracarboxylic dianhydride component.

芳香族ジアミン成分としては、例えば、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、パラフェニレンジアミン、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、メタフェニレンジアミン、4,4'−ジアミノジフェニルプロパン、3,4'−ジアミノジフェニルプロパン、3,3'−ジアミノジフェニルプロパン、4,4'−ジアミノジフェニルメタン、3,4'−ジアミノジフェニルメタン、3,3'−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、4,4'−ジアミノジフェニルサルファイド、3,4'−ジアミノジフェニルサルファイド、3,3'−ジアミノジフェニルサルファイド、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、2,6−ジアミノピリジン、ビス−(4−アミノフェニル)ジエチルシラン、3,3'−ジクロロベンジジン、ビス−(4−アミノフェニル)エチルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)フェニルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)−N−フェニルアミン、ビス−(4−アミノフェニル)−N−メチルアミン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル、3,4'−ジメチル−3',4−ジアミノビフェニル、3,3'−ジメトキシベンジジン、2,4−ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、p−ビス(2−メチル−4−アミノペンチル)ベンゼン、p−ビス−(1,1−ジメチル−5−アミノペンチル)ベンゼン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、2,5−ジアミノ−1,3,4−オキサジアゾール、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、N−(3−アミノフェニル)−4−アミノベンズアミド、4−アミノフェニル−3−アミノベンゾエート等が挙げられ、好ましくは、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル等である。これらは1種単独で又は2種以上を併用して使用することができる。   Examples of the aromatic diamine component include 4,4′-diaminodiphenyl ether, paraphenylenediamine, 3,3′-diaminodiphenyl ether, metaphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, and 3,4′-diaminodiphenylpropane. 3,3'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'- Diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 2,6-diaminopyridine, bis- ( 4-aminopheny L) Diethylsilane, 3,3′-dichlorobenzidine, bis- (4-aminophenyl) ethylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl) phenylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl)- N-phenylamine, bis- (4-aminophenyl) -N-methylamine, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,4′-dimethyl-3 ′ , 4-diaminobiphenyl, 3,3′-dimethoxybenzidine, 2,4-bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, p- Bis (2-methyl-4-aminopentyl) benzene, p-bis- (1,1-dimethyl-5-aminopentyl) benzene, m-xylylenediamine, p-xylylene Range amine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, N- (3-aminophenyl) -4-aminobenzamide, 4- Examples thereof include aminophenyl-3-aminobenzoate, and preferably 4,4′-diaminodiphenyl ether. These can be used alone or in combination of two or more.

芳香族テトラカルボン酸二無水物成分としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンジカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル、ピリジン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(例えば、1,2,4,5−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−デカヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8−ジメチル−1,2,5,6−ヘキサヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,6−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,7−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−テトラクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,8,9,10−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、3,4,3',4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等)等が挙げられ、好ましくは、ピロメリット酸二無水物等である。これらは1種単独で又は2種以上を併用して使用することができる。   Examples of the aromatic tetracarboxylic dianhydride component include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 2,3 ′, 3,4′-biphenyl. Tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenedicarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4 Dicarboxyphenyl) ether, pyridine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene tetracarboxylic dianhydride (for example, 1,2,4,5-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1 , 4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-decahydronaphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,5,6-hexahydronaphthalene Tetra Rubonic acid dianhydride, 2,6-dichloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,7-dichloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,8,9,10-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2 , 3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, Bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, benzene-1,2 , 3,4 Tetracarboxylic acid dianhydride, 3,4,3 ', 4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, etc.) and the like, preferably, pyromellitic dianhydride or the like. These can be used alone or in combination of two or more.

すなわち、ポリアミド酸は、4、4’−ジアミノジフェニルエーテル及びピロメリット酸二無水物の2成分を必須の構成成分とすることが好ましく、これら2成分に加えて他のジアミン成分や他の酸二無水物成分が、本発明の効果を妨げない範囲で含まれていてもよい。   That is, the polyamic acid preferably has two components, 4,4′-diaminodiphenyl ether and pyromellitic dianhydride as essential components, and in addition to these two components, other diamine components and other acid dianhydrides. A physical component may be contained in the range which does not prevent the effect of this invention.

本発明において、ポリアミド酸は、芳香族ジアミン成分(例えば、4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを含む成分)を、主たる構成成分(全ジアミン成分のうち、例えば50〜100モル%、好ましくは60〜100モル%、より好ましくは70〜100モル%)として含むことが好ましい。
なお、芳香族ジアミン成分を4,4’−ジアミノフェニルエーテルで構成する場合、芳香族ジアミン成分全体に対する4,4’−ジアミノジフェニルエーテルの割合は、例えば、50〜100モル%、好ましくは60〜100モル%、より好ましくは70〜100モル%程度であってもよい。
In the present invention, the polyamic acid contains an aromatic diamine component (for example, a component containing 4,4′-diaminodiphenyl ether) as a main component (for example, 50 to 100 mol%, preferably 60 to 100% of all diamine components). Mol%, more preferably 70 to 100 mol%).
When the aromatic diamine component is composed of 4,4′-diaminophenyl ether, the ratio of 4,4′-diaminodiphenyl ether to the whole aromatic diamine component is, for example, 50 to 100 mol%, preferably 60 to 100. It may be about mol%, more preferably about 70 to 100 mol%.

また、ポリアミド酸は、芳香族テトラカルボン酸二無水物成分(例えば、ピロメリット酸二無水物を含む成分)を、主たる構成成分(全酸二無水物成分のうち、例えば50〜100モル%、好ましくは60〜100モル%、より好ましくは70〜100モル%)として含むことが好ましい。
なお、芳香族テトラカルボン酸二無水物成分をピロメリット酸二無水物で構成する場合、芳香族テトラカルボン酸二無水物成分に対するピロメリット酸二無水物の割合は、例えば、50〜100モル%、好ましくは60〜100モル%、より好ましくは70〜100モル%程度であってもよい。
本発明においては、上述の通り、ジアミン成分として、他のジアミン成分(非芳香族ジアミン成分)を含んでいてもよい。また、酸二無水物成分は、他の酸二無水物成分(脂肪族テトラカルボン酸二無水物成分などの非芳香族テトラカルボン酸無水物成分)を含んでいてもよい。
In addition, the polyamic acid is composed of an aromatic tetracarboxylic dianhydride component (for example, a component containing pyromellitic dianhydride) as a main component (for example, 50 to 100 mol% of the total acid dianhydride component, Preferably it is included as 60 to 100 mol%, more preferably 70 to 100 mol%.
In addition, when comprising an aromatic tetracarboxylic dianhydride component with a pyromellitic dianhydride, the ratio of the pyromellitic dianhydride with respect to an aromatic tetracarboxylic dianhydride component is 50-100 mol%, for example. , Preferably it may be 60-100 mol%, More preferably, about 70-100 mol% may be sufficient.
In the present invention, as described above, another diamine component (non-aromatic diamine component) may be included as the diamine component. The acid dianhydride component may contain other acid dianhydride components (non-aromatic tetracarboxylic anhydride components such as aliphatic tetracarboxylic dianhydride components).

また、本発明において、ポリアミック酸溶液の形成に使用される有機溶媒の具体例としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド等のホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド等のアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン等のピロリドン系溶媒、フェノール、o−,m−,或いはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコール等のフェノール系溶媒、ヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン等の非プロトン性極性溶媒等を挙げることができ、これらを単独又は混合物として用いるのが望ましいが、さらにはキシレン、トルエン等の芳香族炭化水素の使用も可能である。   In the present invention, specific examples of the organic solvent used for forming the polyamic acid solution include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide and the like. Formamide solvents, N, N-dimethylacetamide, acetamide solvents such as N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, Examples thereof include phenolic solvents such as m- or p-cresol, xylenol, halogenated phenol, and catechol, and aprotic polar solvents such as hexamethylphosphoramide and γ-butyrolactone. These may be used alone or as a mixture. It is desirable to use Emissions, the use of aromatic hydrocarbons such as toluene are also possible.

重合方法は公知のいずれの方法で行ってもよく、例えば
(1)先にジアミン成分全量を溶媒中に入れ、その後酸二無水物成分をジアミン成分全量と当量になるよう加えて重合する方法。
(2)先に酸二無水物成分全量を溶媒中に入れ、その後ジアミン成分を酸二無水物成分と当量になるよう加えて重合する方法。
(3)一方のジアミン成分を溶媒中に入れた後、反応成分に対して酸二無水物成分が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方のジアミン成分を添加し、続いてもう一方の酸二無水物成分を全ジアミン成分と全酸二無水物成分とがほぼ当量になるよう添加して重合する方法。
(4)一方の酸二無水物成分を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方のジアミン成分が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方の酸二無水物成分を添加し、続いてもう一方の芳香族ジアミン成分を全ジアミン成分と全酸二無水物成分とがほぼ当量になるよう添加して重合する方法。
(5)溶媒中で一方のジアミン成分と酸二無水物成分をどちらかが過剰になるよう反応させてポリアミック酸溶液(A)を調整し、別の溶媒中でもう一方のジアミン成分と酸二無水物成分をどちらかが過剰になるよう反応させポリアミック酸溶液(B)を調整する。こうして得られた各ポリアミック酸溶液(A)と(B)を混合し、重合を完結する方法。この時ポリアミック酸溶液(A)を調整するに際しジアミン成分が過剰の場合、ポリアミック酸溶液(B)では酸二無水物成分を過剰に、またポリアミック酸溶液(A)で酸二無水物成分が過剰の場合、ポリアミック酸溶液(B)ではジアミン成分を過剰にし、ポリアミック酸溶液(A)と(B)を混ぜ合わせこれら反応に使用される全ジアミン成分と全酸二無水物成分とがほぼ当量になるよう調整する。なお、重合方法はこれらに限定されることはなく、その他公知の方法を用いてもよい。
The polymerization method may be performed by any known method, for example,
(1) A method in which the total amount of the diamine component is first put in a solvent, and then the acid dianhydride component is added so as to be equivalent to the total amount of the diamine component and polymerized.
(2) A method in which the total amount of the acid dianhydride component is first put in a solvent, and then the diamine component is added to be equivalent to the acid dianhydride component for polymerization.
(3) After putting one diamine component in the solvent, after mixing for the time required for the reaction at a ratio that the acid dianhydride component is 95 to 105 mol% with respect to the reaction component, the other diamine component is And then polymerizing the other acid dianhydride component so that the total diamine component and the total acid dianhydride component are approximately equivalent.
(4) After one acid dianhydride component is placed in a solvent, the diamine component is mixed with the reaction component at a ratio of 95 to 105 mol% for the time required for the reaction, and then the other acid A method in which a dianhydride component is added, and then the other aromatic diamine component is added and polymerized so that the total diamine component and the total acid dianhydride component are approximately equivalent.
(5) A polyamic acid solution (A) is prepared by reacting one of the diamine components and the acid dianhydride component in a solvent so that either one becomes excessive, and the other diamine component and the acid dianhydride in another solvent. The polyamic acid solution (B) is prepared by reacting either one of the anhydride components in excess. A method in which the polyamic acid solutions (A) and (B) thus obtained are mixed to complete the polymerization. At this time, when the polyamic acid solution (A) is adjusted, if the diamine component is excessive, the polyamic acid solution (B) has excessive acid dianhydride component, and the polyamic acid solution (A) has excessive acid dianhydride component. In the case of the polyamic acid solution (B), the diamine component is excessive, the polyamic acid solutions (A) and (B) are mixed, and the total diamine component and total acid dianhydride component used in these reactions are approximately equivalent. Adjust so that The polymerization method is not limited to these, and other known methods may be used.

こうして得られるポリアミック酸溶液は、ポリアミック酸の固形分を、例えば5〜40重量%、好ましくは10〜30重量%を含有する。またその粘度は、ブルックフィールド粘度計による測定値で、例えば10〜2000Pa・s、好ましくは100〜1000Pa・sのものが、安定した送液のために好ましく使用される。また、有機溶媒溶液中のポリアミック酸は部分的にイミド化されていてもよい。   The polyamic acid solution thus obtained contains, for example, 5 to 40% by weight, preferably 10 to 30% by weight, of the solid content of the polyamic acid. The viscosity is a value measured with a Brookfield viscometer, for example, 10 to 2000 Pa · s, preferably 100 to 1000 Pa · s is preferably used for stable liquid feeding. Moreover, the polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized.

[無機粒子]
本発明のポリイミドフィルムに添加される無機粒子は、前記のポリイミドフィルム製造工程で接触する全ての化学物質に対して不溶であることが好ましい。
[Inorganic particles]
It is preferable that the inorganic particles added to the polyimide film of the present invention are insoluble in all chemical substances that are contacted in the polyimide film manufacturing process.

本発明において使用可能な無機粒子としては、例えば、酸化物{例えば、SiO(シリカ)、TiO(酸化チタン(IV))等}、無機酸塩{例えば、CaHPO(リン酸水素カルシウム)、CaPO(リン酸カルシウム)、CaCO(炭酸カルシウム)、Ca(二りん酸カルシウム)等のリン酸(水素)塩}等を好適に挙げることができる。中でもリン酸を含むCaHPOを用いた場合、ポリイミドフィルム内部から昇華するときに発生するガスにより良好な発泡(膨れ)が生じ、熱伝導性に優れた良好なグラファイトシートが得られるため、CaHPOを主成分(全無機粒子のうち、例えば50〜100重量%、好ましくは70〜100重量%含む)とすることが特に好ましい。 Examples of inorganic particles that can be used in the present invention include oxides {eg, SiO 2 (silica), TiO 2 (titanium oxide (IV)), etc.}, inorganic acid salts {eg, CaHPO 4 (calcium hydrogen phosphate) And phosphoric acid (hydrogen) salts such as CaPO 4 (calcium phosphate), CaCO 3 (calcium carbonate), and Ca 2 P 2 O 7 (calcium diphosphate). Above all in the case of using a CaHPO 4 containing phosphoric acid, for good foaming by gas generated when the sublimed from within a polyimide film (swelling) occurs, good graphite sheet having excellent thermal conductivity is obtained, CaHPO 4 Is a main component (including, for example, 50 to 100% by weight, preferably 70 to 100% by weight of all inorganic particles).

無機粒子は、溶媒(例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N、N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、N−メチルピロリドン等の極性溶媒等)に分散されたスラリー(無機粒子スラリー)として使用することが、凝集を防止できるため好ましい。このスラリーは、粒子径が非常に小さいため、沈降速度が遅く安定している。また、たとえ沈降しても再攪拌する事で容易に再分散可能である。   Use inorganic particles as a slurry (inorganic particle slurry) dispersed in a solvent (for example, a polar solvent such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, N-methylpyrrolidone). Is preferable because aggregation can be prevented. Since this slurry has a very small particle size, the sedimentation rate is low and stable. Even if it settles, it can be easily redispersed by re-stirring.

無機粒子スラリーの製造方法は、特に限定されず、従来公知の方法に従ってよい。無機粒子スラリーの製造方法としては、例えば、ミキサーを用いて無機粒子と溶媒を混合する方法等が挙げられる。ミキサーとしては、高速ディスパー、ホモミキサー、ボールミル、コーレスミキサー、撹拌式ディスパー等の剪断力の高いものを用いることが好ましい。また、湿式粉砕処理を行い、平均粒子径を細かくしてもよい。湿式粉砕処理には、例えば、ビーズミル、サンドミル等を用いることができる。   The manufacturing method of an inorganic particle slurry is not specifically limited, You may follow a conventionally well-known method. As a manufacturing method of an inorganic particle slurry, the method of mixing an inorganic particle and a solvent using a mixer etc. are mentioned, for example. As the mixer, it is preferable to use a mixer having a high shearing force such as a high-speed disper, a homomixer, a ball mill, a coreless mixer, and a stirring disper. Further, wet pulverization may be performed to reduce the average particle size. For example, a bead mill or a sand mill can be used for the wet pulverization treatment.

無機粒子スラリーとしては、無機粒子が予め溶媒中に分散された市販品を使用してもよい。
また、無機粒子スラリーは、必要に応じて、他の有機溶媒や配合剤等を含んでいてもよい。
As the inorganic particle slurry, a commercially available product in which inorganic particles are dispersed in a solvent in advance may be used.
Moreover, the inorganic particle slurry may contain other organic solvents, compounding agents, and the like as necessary.

無機粒子スラリー中の無機粒子の濃度は、特に限定されないが、無機粒子スラリー100重量%に対し、例えば1〜80重量%、好ましくは1〜60重量%であり、より好ましくは1〜40重量%である。   The concentration of the inorganic particles in the inorganic particle slurry is not particularly limited, but is, for example, 1 to 80% by weight, preferably 1 to 60% by weight, and more preferably 1 to 40% by weight with respect to 100% by weight of the inorganic particle slurry. It is.

無機粒子(分散に供する無機粒子)の平均粒子径は、ポリイミドフィルム中の無機粒子の凝集を低減でき、ポリイミドフィルム焼成時の無機粒子の昇華ガスによる発泡が均一になる等の点から、好ましくは0.5〜1.5μmであり、より好ましくは0.5〜1.3μmであり、さらに好ましくは0.5〜1.0μmである。0.5μm以上であるとポリイミドフィルムの易滑性やグラファイトシートの柔軟性、破断強度等の特性が良好となる等の観点から、好ましい。また、1.5μm以下であるとポリイミドフィルム中の無機粒子の凝集を抑制でき、これが結果的に焼成時の無機粒子の昇華ガスによる部分的な過度の発泡を抑制でき、また、グラファイトシート上の表面突起欠陥を低減できる等の観点から好ましい。尚、無機粒子の平均粒子径の測定方法は、特に限定されず、例えば、後述の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。   The average particle diameter of the inorganic particles (inorganic particles used for dispersion) is preferably from the standpoint that the aggregation of the inorganic particles in the polyimide film can be reduced, and the foaming of the inorganic particles by the sublimation gas when the polyimide film is fired is uniform. It is 0.5-1.5 micrometers, More preferably, it is 0.5-1.3 micrometers, More preferably, it is 0.5-1.0 micrometers. The thickness of 0.5 μm or more is preferable from the viewpoints of improving the slipperiness of the polyimide film, the flexibility of the graphite sheet, the breaking strength, and the like. Moreover, aggregation of inorganic particles in the polyimide film can be suppressed when it is 1.5 μm or less, and as a result, partial excessive foaming due to the sublimation gas of the inorganic particles at the time of firing can be suppressed. This is preferable from the viewpoint of reducing surface protrusion defects. In addition, the measuring method of the average particle diameter of an inorganic particle is not specifically limited, For example, it can measure using the method as described in the below-mentioned Example.

無機粒子の粒度分布については、狭い分布であること、つまり類似の大きさの無機粒子が全無機粒子に占める割合が高い方が良く、具体的には、粒子径0.5〜2.5μmの無機粒子が全無機粒子中80体積%以上(例えば、80〜100体積%)の割合を占めることが好ましい。この範囲であれば、フィルムの易滑性やグラファイトシートの柔軟性、破断強度等の特性が良好となる等の観点から、好ましい。尚、無機粒子の粒度分布の測定方法は、特に限定されず、例えば、後述の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。   As for the particle size distribution of the inorganic particles, it is better that the particle size distribution is narrow, that is, the proportion of the inorganic particles having a similar size in the total inorganic particles is high. Specifically, the particle size is 0.5 to 2.5 μm. It is preferable that the inorganic particles occupy a proportion of 80% by volume or more (for example, 80 to 100% by volume) in all the inorganic particles. If it is this range, it is preferable from a viewpoint that the characteristics, such as the slipperiness of a film, the softness | flexibility of a graphite sheet, and breaking strength, become favorable. In addition, the measuring method of the particle size distribution of an inorganic particle is not specifically limited, For example, it can measure using the method as described in the below-mentioned Example.

[ポリイミドフィルムの製造方法]
次に、本発明のポリイミドフィルムの製造方法について説明する。
ポリイミドフィルムの製造においては、まず、ポリアミド酸と無機粒子とを混合する。
本発明においては、無機粒子スラリー(好ましくは、無機粒子を、ポリアミック酸重合に用いる有機溶媒と同一の溶媒に分散させた無機粒子スラリー)を、ポリアミック酸溶液に添加した後、脱環化脱溶媒させてポリイミドフィルムを得ることが好ましいが、ポリアミック酸重合前の有機溶媒中に無機粒子スラリーを添加した後、ポリアミック酸重合、脱環化脱溶媒を経てポリイミドフィルムを得ることなど、脱環化脱溶媒前の工程であればいかなる工程において無機粒子スラリーを添加してもよい。
[Production method of polyimide film]
Next, the manufacturing method of the polyimide film of this invention is demonstrated.
In the production of a polyimide film, first, polyamic acid and inorganic particles are mixed.
In the present invention, an inorganic particle slurry (preferably an inorganic particle slurry in which inorganic particles are dispersed in the same solvent as the organic solvent used for polyamic acid polymerization) is added to the polyamic acid solution, and then decyclized and desolvated. It is preferable to obtain a polyimide film, but after adding an inorganic particle slurry to an organic solvent before polyamic acid polymerization, a polyimide film is obtained through polyamic acid polymerization and decyclization desolvation. The inorganic particle slurry may be added in any step as long as it is a step before the solvent.

特に、無機粒子は、粉体ではなく無機粒子スラリーを用いて、無機粒子スラリーを、フィルター(例えば孔径15μm以下、好ましくは孔径13μm以下、より好ましくは孔径11μm以下、さらに好ましくは孔径5μm以下、特に好ましくは孔径3μm以下のカットフィルター)にかける(フィルター処理する)ことにより、無機粒子同士の凝集を抑制することができ、ポリイミドフィルム中の15μm以上の無機粒子を除去することができる等の観点から、好ましい。   In particular, the inorganic particle is not a powder but an inorganic particle slurry, and the inorganic particle slurry is filtered (for example, a pore diameter of 15 μm or less, preferably a pore diameter of 13 μm or less, more preferably a pore diameter of 11 μm or less, more preferably a pore diameter of 5 μm or less, particularly From the viewpoint of being able to suppress aggregation of inorganic particles and removing inorganic particles of 15 μm or more in the polyimide film by applying (filter treatment) (preferably a cut filter having a pore size of 3 μm or less). ,preferable.

前記フィルターの材質は、特に限定されず、例えば、高分子素材(例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレン等)、金属(例えば、ステンレス等)等が挙げられる。   The material of the filter is not particularly limited, and examples thereof include polymer materials (for example, polyethylene, polypropylene, polytetrafluoroethylene), metals (for example, stainless steel), and the like.

無機粒子の添加量は、ポリイミドを形成したときにポリイミド樹脂固形分1重量当たり、通常は0.05〜0.8重量%、好ましくは0.05〜0.55重量%、より好ましくは0.05〜0.52重量%、特に好ましくは0.05〜0.5重量%となる量であることが好ましい。0.05重量%以上であるとポリイミドフィルム中に分散された無機粒子がフィルム内部から昇華するときに発生するガスが多くなり、また、圧延処理を加えて得られたグラファイトシートが、柔軟性、破断強度等の特性に優れる等の観点から、好ましい。また、0.8重量%以下であるとポリイミドフィルム中の無機粒子の凝集を抑制できるため、ポリイミドフィルム焼成時の無機粒子の昇華ガスによる部分的な過度の発泡を抑制でき、また、グラファイトシート上の表面突起欠陥を低減できる等の観点から好ましい。   The added amount of the inorganic particles is usually 0.05 to 0.8% by weight, preferably 0.05 to 0.55% by weight, more preferably 0.00% per 1 weight of the polyimide resin solid content when the polyimide is formed. The amount is preferably from 0.5 to 0.52% by weight, particularly preferably from 0.05 to 0.5% by weight. When the amount of the inorganic particles is 0.05% by weight or more, a large amount of gas is generated when the inorganic particles dispersed in the polyimide film sublimate from the inside of the film, and the graphite sheet obtained by applying a rolling treatment is flexible, From the viewpoint of excellent properties such as breaking strength, it is preferable. Moreover, since aggregation of inorganic particles in the polyimide film can be suppressed when it is 0.8% by weight or less, partial excessive foaming due to sublimation gas of inorganic particles during polyimide film baking can be suppressed. This is preferable from the viewpoint of reducing surface protrusion defects.

ポリイミドフィルムを製膜する方法としては、無機粒子を含むポリアミック酸溶液をフィルム状にキャストし熱的に脱環化脱溶媒させてポリイミドフィルムを得る方法、およびポリアミック酸溶液に環化触媒及び脱水剤を混合し化学的に脱環化させてゲルフィルムを作成しこれを加熱脱溶媒することによりポリイミドフィルムを得る方法が挙げられるが、後者の方が得られるポリイミドフィルムの熱膨張係数を低く抑えることができ、フィルム面方向の配高性が高まる為、グラファイトシートが熱伝導性に優れ、また厚みを厚くできること等から好ましい。   As a method for forming a polyimide film, a polyamic acid solution containing inorganic particles is cast into a film and thermally decyclized and desolvated to obtain a polyimide film, and a cyclization catalyst and a dehydrating agent are added to the polyamic acid solution. A method of obtaining a polyimide film by mixing and chemically decyclizing a gel film and heating and desolvating it is mentioned, but the latter method keeps the thermal expansion coefficient of the resulting polyimide film low Since the height distribution in the film surface direction can be improved, the graphite sheet is preferable because it has excellent thermal conductivity and can be thickened.

化学的に脱環化させる方法においては、まず上記ポリアミック酸溶液を調製する。上記ポリアミック酸溶液は、環化触媒(イミド化触媒)、脱水剤およびゲル化遅延剤などを含有することができる。   In the method of chemically decyclizing, first, the polyamic acid solution is prepared. The polyamic acid solution can contain a cyclization catalyst (imidization catalyst), a dehydrating agent, a gelation retarder, and the like.

本発明で使用される環化触媒の具体例としては、トリメチルアミン、トリエチレンジアミンなどの脂肪族第3級アミン、ジメチルアニリンなどの芳香族第3級アミン、およびイソキノリン、ピリジン、β−ピコリンなどの複素環第3級アミンなどが挙げられ、これらは単独で又は2種以上を併用できる。なかでも複素環式第3級アミンを少なくとも一種以上使用する態様が好ましい。   Specific examples of the cyclization catalyst used in the present invention include aliphatic tertiary amines such as trimethylamine and triethylenediamine, aromatic tertiary amines such as dimethylaniline, and complex such as isoquinoline, pyridine and β-picoline. A ring tertiary amine etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types. Among these, an embodiment in which at least one heterocyclic tertiary amine is used is preferable.

本発明で使用される脱水剤の具体例としては、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸などの脂肪族カルボン酸無水物、および無水安息香酸などの芳香族カルボン酸無水物などが挙げられるが、なかでも無水酢酸および/または無水安息香酸が好ましい。   Specific examples of the dehydrating agent used in the present invention include aliphatic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride, and butyric anhydride, and aromatic carboxylic acid anhydrides such as benzoic anhydride, Of these, acetic anhydride and / or benzoic anhydride are preferred.

ポリアミック酸溶液からポリイミドフィルムを製造する方法としては、環化触媒および脱水剤を含有せしめたポリアミック酸溶液をスリット付き口金から支持体上に流延してフィルム状に成形し、支持体上でイミド化を一部進行させて自己支持性を有するゲルフィルムとした後、支持体より剥離し、加熱乾燥/イミド化し、熱処理を行う。   As a method for producing a polyimide film from a polyamic acid solution, a polyamic acid solution containing a cyclization catalyst and a dehydrating agent is cast on a support from a base with a slit and formed into a film, and an imide is formed on the support. The gel film is partially advanced to form a gel film having self-supporting properties, and then peeled off from the support, heat-dried / imidized, and subjected to heat treatment.

上記ポリアミック酸溶液は、スリット状口金を通ってフィルム状に成型され、加熱された支持体上に流延され、支持体上で熱閉環反応をし、自己支持性を有するゲルフィルムとなって支持体から剥離される。   The polyamic acid solution is formed into a film shape through a slit-shaped die, cast on a heated support, undergoes a thermal ring-closing reaction on the support, and is supported as a gel film having self-supporting properties. It is peeled from the body.

上記支持体とは、金属製の回転ドラムやエンドレスベルトであり、その温度は液体または気体の熱媒、および/または電気ヒーターなどの輻射熱により制御される。   The support is a metal rotating drum or an endless belt, and its temperature is controlled by radiant heat from a liquid or gaseous heat medium and / or an electric heater.

上記ゲルフィルムは、支持体からの受熱および/または熱風や電気ヒーターなどの熱源からの受熱により、30〜200℃、好ましくは40〜150℃に加熱されて閉環反応し、遊離した有機溶媒などの揮発分を乾燥させることにより自己支持性を有するようになり、支持体から剥離される。   The gel film is heated to 30 to 200 ° C., preferably 40 to 150 ° C. by receiving heat from a support and / or receiving heat from a heat source such as hot air or an electric heater, and causes a ring-closing reaction, and a free organic solvent or the like. By drying the volatile matter, it becomes self-supporting and is peeled off from the support.

上記支持体から剥離されたゲルフィルムは、通常回転ロールにより走行速度を規制しながら走行方向に延伸される。延伸は、140℃以下の温度で1.01〜1.90倍、好ましくは1.05〜1.60倍、さらに好ましくは1.10〜1.50倍の倍率で実施される。走行方向に延伸されたゲルフィルムは、テンター装置に導入され、テンタークリップに幅方向両端部を把持されて、テンタークリップと共に走行しながら、幅方法へ延伸される。   The gel film peeled off from the support is usually stretched in the running direction while regulating the running speed with a rotating roll. Stretching is carried out at a temperature of 140 ° C. or lower at a magnification of 1.01-1.90 times, preferably 1.05-1.60 times, more preferably 1.10-1.50 times. The gel film stretched in the running direction is introduced into the tenter device, and both ends in the width direction are held by the tenter clip, and stretched in the width method while running with the tenter clip.

上記の乾燥ゾーンで乾燥したフィルムは、熱風、赤外ヒーターなどで15秒から30分加熱される。次いで、熱風および/または電気ヒーターなどにより、250〜500の温度で15秒から30分熱処理を行う。走行方向への延伸倍率と幅方向への延伸倍率を調整しながら、ポリイミドフィルムの厚みは調整される。   The film dried in the drying zone is heated for 15 seconds to 30 minutes with hot air, an infrared heater or the like. Next, heat treatment is performed for 15 seconds to 30 minutes at a temperature of 250 to 500 using hot air and / or an electric heater. The thickness of the polyimide film is adjusted while adjusting the draw ratio in the running direction and the draw ratio in the width direction.

[ポリイミドフィルム]
本発明のポリイミドフィルム中の無機粒子(すなわち、本発明のポリイミドフィルムに分散された無機粒子)の含有量は、ポリイミドフィルム樹脂重量(すなわち、ポリイミドフィルム中のポリイミド樹脂固形分1重量)当たり、通常は0.05〜0.8重量%、好ましくは0.05〜0.55重量%、より好ましくは0.05〜0.52重量%、特に好ましくは0.05〜0.3重量%の割合である。0.05重量%以上であるとポリイミドフィルム中に分散された無機粒子がフィルム内部から昇華するときに発生するガスが多くなり、また、圧延処理を加えて得られたグラファイトシートが、柔軟性、破断強度等の特性に優れる等の観点から、好ましい。また、0.8重量%以下であるとポリイミドフィルム中の無機粒子の凝集を抑制できるため、ポリイミドフィルム焼成時の無機粒子の昇華ガスによる部分的な過度の発泡を抑制でき、また、グラファイトシート上の表面突起欠陥を低減できる等の観点から好ましい。
[Polyimide film]
The content of inorganic particles (that is, inorganic particles dispersed in the polyimide film of the present invention) in the polyimide film of the present invention is usually per polyimide film resin weight (that is, 1 weight of solid content of polyimide resin in the polyimide film). Is a proportion of 0.05 to 0.8% by weight, preferably 0.05 to 0.55% by weight, more preferably 0.05 to 0.52% by weight, particularly preferably 0.05 to 0.3% by weight. It is. When the amount of the inorganic particles is 0.05% by weight or more, a large amount of gas is generated when the inorganic particles dispersed in the polyimide film sublimate from the inside of the film, and the graphite sheet obtained by applying a rolling treatment is flexible, From the viewpoint of excellent properties such as breaking strength, it is preferable. Moreover, since aggregation of inorganic particles in the polyimide film can be suppressed when it is 0.8% by weight or less, partial excessive foaming due to sublimation gas of inorganic particles during polyimide film baking can be suppressed. This is preferable from the viewpoint of reducing surface protrusion defects.

また、本発明のポリイミドフィルムは、無機粒子の最大分散径(最大分散粒子径)が、好ましくは15μm以下(例えば、3〜15μm、好ましくは5〜15μm)、より好ましくは13μm以下(例えば、3〜13μm、好ましくは5〜13μm)、さらに好ましくは11μm以下(例えば、3〜11μm、好ましくは5〜11μm)であること、すなわち、粒子径が15μmより大きい分散粒子が存在しないことが好ましい。15μm以下の範囲にある場合、無機粒子の昇華ガスによる部分的な過度の発泡(膨れ)を生じることなく、グラファイト化時のポリイミドフィルムの膨れが良好であり、グラファイト化されたシートの表面突起欠陥が少なく外観が優れる等の観点から好ましい。
尚、本発明において、無機粒子の分散径とは、通常は、ポリイミドフィルムにおける、分散された無機粒子の粒子径のことであり、一次粒子径のみならず、二次粒子径(凝集粒子の粒子径)を含む。すなわち、無機粒子の最大分散径とは、ポリイミドフィルムにおける無機粒子の最大粒子径のことをいう。
In the polyimide film of the present invention, the maximum dispersion diameter (maximum dispersion particle diameter) of the inorganic particles is preferably 15 μm or less (for example, 3 to 15 μm, preferably 5 to 15 μm), more preferably 13 μm or less (for example, 3 ˜13 μm, preferably 5 to 13 μm), more preferably 11 μm or less (for example, 3 to 11 μm, preferably 5 to 11 μm), that is, no dispersed particles having a particle diameter of more than 15 μm are present. When the thickness is in the range of 15 μm or less, the polyimide film has good swelling during graphitization without causing partial excessive foaming (blowing) due to the sublimation gas of the inorganic particles, and the surface protrusion defect of the graphitized sheet This is preferable from the standpoint of less appearance and excellent appearance.
In the present invention, the dispersed particle size of the inorganic particles is usually the particle size of the dispersed inorganic particles in the polyimide film, and not only the primary particle size but also the secondary particle size (aggregated particle particles). Diameter). That is, the maximum dispersion diameter of the inorganic particles refers to the maximum particle diameter of the inorganic particles in the polyimide film.

また、本発明のポリイミドフィルムの厚さは、例えば10〜150μmであり、好ましくは25〜90μmであり、より好ましくは25μm〜80μmである。特に、25μm以上であれば、ポリイミドフィルム焼成後のグラファイトシートが丸まる、グラファイトシートを平坦にしようとすると粉々になり圧延したグラファイトシートが形成できない等のおそれが生じない等の観点から好ましい。また、特に80μm以下であれば、ガス透過性が高い為、グラファイトシートの表面に良質な発泡が発生し、更にグラファイト化されたシート上の表面突起欠陥も少なく、外観に優れる等の観点から好ましい。   Moreover, the thickness of the polyimide film of this invention is 10-150 micrometers, for example, Preferably it is 25-90 micrometers, More preferably, it is 25 micrometers-80 micrometers. In particular, if it is 25 μm or more, it is preferable from the viewpoint that the graphite sheet after baking the polyimide film is rounded, or that the graphite sheet is shattered and cannot be formed when the graphite sheet is made flat. Also, particularly if it is 80 μm or less, gas permeability is high, so that good quality foaming occurs on the surface of the graphite sheet, and there are few surface protrusion defects on the graphitized sheet, which is preferable from the viewpoint of excellent appearance and the like. .

[グラファイトシートの製造方法]
本発明のグラファイトシートは、本発明のポリイミドフィルムを焼成してグラファイト化することにより得ることができる。
本発明のグラファイトシートの製造方法は、特に限定されないが、例えば、以下に説明する方法を用いることができる。
[Production method of graphite sheet]
The graphite sheet of the present invention can be obtained by baking and graphitizing the polyimide film of the present invention.
Although the manufacturing method of the graphite sheet of this invention is not specifically limited, For example, the method demonstrated below can be used.

本発明のグラファイトシートを得るに際しては、まず、ポリイミドフィルムを所定の寸法に切断し、ポリイミドフィルムのフィルム面を水平に又はフィルム面を(例えば、垂直に)立ててグラファイト製の保持容器に入れる。   In obtaining the graphite sheet of the present invention, first, the polyimide film is cut into a predetermined size, and the film surface of the polyimide film is placed horizontally or vertically (for example, vertically) and placed in a graphite holding container.

次いで、ポリイミドフィルムが投入された保持容器を加熱し、ポリイミドフィルムを焼成することにより、グラファイト化を行う。
グラファイト化の焼成(以下、本加熱処理ともいう)の温度は、通常は、2000℃以上(例えば、2000〜3500℃)であり、2400℃以上(例えば、2400〜3500℃)が好ましく、2600℃以上(例えば、2600〜3500℃)がより好ましい。
また、最終焼成温度は、2700℃以上(例えば、2700〜3500℃)が好ましく、2800℃以上(例えば、2800〜3500℃)がより好ましく、3000℃近辺(例えば、3000〜3500℃)がさらに好ましい。
焼成温度が3500℃以下であれば、焼成炉の耐熱劣化が小さく、長時間の生産が可能となる。最高焼成温度が2000℃以上であれば、得られるグラファイトシートが柔軟かつ強固となる傾向がある。
焼成時の昇温速度は、特に限定されないが、例えば、1〜10℃/分程度で行われる。焼成には、公知の加熱手段を使用できる。また、焼成時間は、特に限定されない。
Next, the holding container containing the polyimide film is heated, and the polyimide film is baked to perform graphitization.
The temperature of the graphitization firing (hereinafter also referred to as the main heat treatment) is usually 2000 ° C. or higher (for example, 2000 to 3500 ° C.), preferably 2400 ° C. or higher (for example, 2400 to 3500 ° C.), and 2600 ° C. The above (for example, 2600 to 3500 ° C.) is more preferable.
Moreover, 2700 degreeC or more (for example, 2700-3500 degreeC) is preferable, as for final calcination temperature, 2800 degreeC or more (for example, 2800-3500 degreeC) is more preferable, and 3000 degreeC vicinity (for example, 3000-3500 degreeC) is further more preferable. .
When the firing temperature is 3500 ° C. or lower, the heat-resistant deterioration of the firing furnace is small and long-time production is possible. If the maximum firing temperature is 2000 ° C. or higher, the resulting graphite sheet tends to be flexible and strong.
Although the temperature increase rate at the time of baking is not specifically limited, For example, it is performed at about 1-10 degreeC / min. A known heating means can be used for firing. Further, the firing time is not particularly limited.

焼成は、通常、不活性ガス中で行われる。不活性ガスとしては、特に限定されず、ヘリウム、アルゴン、窒素等が挙げられるが、アルゴンを用いるのが好ましい。また、焼成時の圧力は常圧でよい。   Firing is usually performed in an inert gas. The inert gas is not particularly limited, and examples thereof include helium, argon, nitrogen, etc., but it is preferable to use argon. Moreover, the pressure at the time of baking may be a normal pressure.

前記焼成(本加熱処理)の前に、必要に応じて、予備加熱処理を行ってもよい。予備加熱処理の温度は、本加熱処理の温度より低い温度が好ましい。具体的には、900℃以上1500℃以下程度が好ましい。予備加熱処理の昇温速度は、特に限定されないが、例えば、1〜15℃/分程度で行われる。予備加熱処理も、通常、不活性ガス中で行われる。前記不活性ガスとしては、上記と同様のものが使用できる。予備加熱処理の時間は、特に限定されない。   Prior to the firing (main heat treatment), a pre-heat treatment may be performed as necessary. The temperature of the preliminary heat treatment is preferably lower than the temperature of the main heat treatment. Specifically, about 900 ° C. or higher and 1500 ° C. or lower is preferable. The temperature increase rate of the preheating treatment is not particularly limited, but is, for example, about 1 to 15 ° C./min. The preheating treatment is also usually performed in an inert gas. As the inert gas, the same ones as described above can be used. The time for the preheating treatment is not particularly limited.

ポリイミドフィルムを焼成して得られたグラファイトシートは、さらに、圧延ローラで挟み込んで圧延処理することが好ましい。圧延処理によって、ポリイミドフィルムの焼成によって生じたグラファイトシートの膨れによる厚みムラを小さくできる。また、圧延処理によって、グラファイトシートの密度を大きくし熱伝導性を高めることができる。尚、圧延処理方法は特に限定されず、従来公知の方法に従ってよい。   It is preferable that the graphite sheet obtained by firing the polyimide film is further sandwiched between rolling rollers and rolled. By the rolling treatment, the thickness unevenness due to the swelling of the graphite sheet caused by the firing of the polyimide film can be reduced. Moreover, the density of a graphite sheet can be enlarged and thermal conductivity can be improved by a rolling process. In addition, the rolling process method is not specifically limited, You may follow a conventionally well-known method.

[グラファイトシート]
上述のようにして製造された本発明のグラファイトシートは、熱拡散係数が大きいため、優れた熱伝導性を有する。熱拡散係数の測定方法は、特に限定されないが、後述の実施例に記載の方法により測定することができる。
本発明のグラファイトシートの熱拡散係数は、特に限定されないが、7cm/s以上(例えば、7〜15cm/s)が好ましい。
[Graphite sheet]
Since the graphite sheet of the present invention produced as described above has a large thermal diffusion coefficient, it has excellent thermal conductivity. Although the measuring method of a thermal diffusion coefficient is not specifically limited, It can measure with the method as described in the below-mentioned Example.
The thermal diffusion coefficient of the graphite sheet of the present invention is not particularly limited, but is preferably 7 cm 2 / s or more (for example, 7 to 15 cm 2 / s).

また、本発明のグラファイトシートの破断強度は、通常は10MPa以上(例えば、10〜200MPa)であり、好ましくは15MPa以上(例えば、15〜200MPa)であり、より好ましくは20MPa以上(例えば、30〜200MPa)である。破断強度の測定方法は、特に限定されないが、後述の実施例に記載の方法により測定することができる。   The breaking strength of the graphite sheet of the present invention is usually 10 MPa or more (for example, 10 to 200 MPa), preferably 15 MPa or more (for example, 15 to 200 MPa), more preferably 20 MPa or more (for example, 30 to 30 MPa). 200 MPa). Although the measuring method of breaking strength is not specifically limited, It can measure by the method as described in the below-mentioned Example.

本発明のグラファイトシート表面の、直径0.1mm以上の突起欠陥の数は、好ましくは3個/50cm以下(例えば0個/50cm〜3個/50cm)である。表面の突起欠陥の数は、後述の実施例に記載の方法により評価することができる。 The number of protrusion defects having a diameter of 0.1 mm or more on the surface of the graphite sheet of the present invention is preferably 3 pieces / 50 cm 2 or less (for example, 0 pieces / 50 cm 2 to 3 pieces / 50 cm 2 ). The number of protrusion defects on the surface can be evaluated by the method described in Examples described later.

本発明のグラファイトシートは、放熱部材[例えば、小型携帯電子機器(例えば、スマートフォン等)の放熱部材]等の用途に使用することができる。   The graphite sheet of this invention can be used for uses, such as a heat radiating member [For example, the heat radiating member of small portable electronic devices (for example, a smart phone etc.)].

次に、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではなく、多くの変形が本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により可能である。   EXAMPLES Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples at all, and many variations are within the technical idea of the present invention. This is possible by those with ordinary knowledge.

本発明における各種物性の測定方法について以下に説明する。
[ポリイミドフィルム中の無機粒子の分散径の評価]
株式会社キーエンス社製のマイクロスコープVHX−2000を用い、50cm角のポリイミドフィルム中に存在する無機粒子の最大分散粒子径を透過モードにて観察し、粒子径が15μm以上の粒子の個数を読み取った。
A method for measuring various physical properties in the present invention will be described below.
[Evaluation of dispersion diameter of inorganic particles in polyimide film]
Using a microscope VHX-2000 manufactured by Keyence Corporation, the maximum dispersed particle size of inorganic particles present in a 50 cm square polyimide film was observed in a transmission mode, and the number of particles having a particle size of 15 μm or more was read. .

[ポリイミドフィルム中の無機粒子量の評価]
ブルカーAXS株式会社製の蛍光X線S2Rangerを用い、無機粒子に含まれるリンのKα線のエネルギー量からCAP(リン酸水素カルシウム)添加量を評価した。
[Evaluation of amount of inorganic particles in polyimide film]
Using Fluorescent X-ray S2Ranger manufactured by Bruker AXS Co., Ltd., the amount of CAP (calcium hydrogen phosphate) added was evaluated from the energy amount of phosphorus Kα rays contained in the inorganic particles.

[ポリイミドフィルムに添加する無機粒子の評価]
株式会社堀場製作所社製のレーザー回析/散乱式粒度分布測定装置LA−910を用い、極性溶媒に分散させた試料を測定、解析した結果から粒子径範囲、平均粒子径、粒子径0.5〜2.5μmの全粒子中に対する占有率を読み取った。
[Evaluation of inorganic particles added to polyimide film]
Using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus LA-910 manufactured by HORIBA, Ltd., a sample dispersed in a polar solvent was measured and analyzed, and the particle size range, average particle size, and particle size 0.5 were obtained. The occupancy for all particles of ~ 2.5 μm was read.

[ポリイミドフィルム厚み、グラファイトシート厚みの評価]
Mitutoyo社製ライトマチック(Series318)を使用して測定した。
[Evaluation of polyimide film thickness and graphite sheet thickness]
It measured using the lightmatic (Series 318) by Mitutoyo.

[グラファイトシートの破断強度の評価]
株式会社島津製作所社製のオートグラフAGS−Xを用い、測定温度:25℃、チャック間距離:50mm、引張速度:25mm/分、試験片:幅10mmの条件で評価した。
良好(○):10MPa以上
不良(×):10MPa未満
[Evaluation of breaking strength of graphite sheet]
Using an autograph AGS-X manufactured by Shimadzu Corporation, evaluation was performed under the conditions of a measurement temperature: 25 ° C., a distance between chucks: 50 mm, a tensile speed: 25 mm / min, and a test piece: a width of 10 mm.
Good (O): 10 MPa or more Poor (x): Less than 10 MPa

[グラファイトシートの局所的な過度の発泡(膨れ)による表面突起欠陥]
株式会社キーエンス社製のマイクロスコープVHX−2000を用い、50cmのグラファイトシートの表面を観察し、Φ(直径)0.1mm以上のサイズの突起欠陥を以下の評価基準で評価した。グラファイトシートの表面突起による欠陥は好ましくは0個/50cmであるが、3個/50cm以下であれば良好と評価した。
尚、この突起欠陥の写真を図1に示す。
良好(○):3個/50cm以下
不良(×):3個/50cm超過
[Surface protrusion defects due to local excessive foaming (blowing) of graphite sheet]
Using a microscope VHX-2000 manufactured by Keyence Corporation, the surface of a 50 cm 2 graphite sheet was observed, and protrusion defects having a size of Φ (diameter) of 0.1 mm or more were evaluated according to the following evaluation criteria. The defects due to the surface protrusions of the graphite sheet are preferably 0 pieces / 50 cm 2 , but if 3 pieces / 50 cm 2 or less, they were evaluated as good.
A photograph of this protrusion defect is shown in FIG.
Good (◯): 3 pieces / 50 cm 2 or less Poor (x): 3 pieces / 50 cm 2 or more

[グラファイトシートの柔軟性の評価]
100mm(縦)×100mm(幅)のグラファイトシートを、縦方向の端部同士あるいは幅方向の端部同士がぴったりと重なるように折り曲げた後、シートの折り目の中央部に100gの荷重を3秒間押圧し、徐荷した後のシートを元の状態に戻し、目視により以下の評価基準で評価した。この評価方法においてシートがほぼ元の状態に戻ることを柔軟性が良好と評価した。
良好(○):シートがほぼ元の状態に戻る
不良(×):シートが部分的に変形する
[Evaluation of flexibility of graphite sheet]
A graphite sheet of 100 mm (vertical) × 100 mm (width) was folded so that the ends in the vertical direction or the ends in the width direction were exactly overlapped, and then a load of 100 g was applied to the center of the fold of the sheet for 3 seconds. The sheet after pressing and unloading was returned to its original state and visually evaluated according to the following evaluation criteria. In this evaluation method, it was evaluated that the sheet returned to its original state as having good flexibility.
Good (O): The sheet returns almost to its original state (X): The sheet is partially deformed

[グラファイトシートの熱拡散係数の評価]
NETZSCH株式会社製の熱伝導率測定装置LFA447を用い、キセノンフラッシュ法、測定温度:25℃、光源:キセノンフラッシュランプ、IR検出器:InSb検出器(液体窒素冷却)の条件でシート面方向の熱拡散係数を評価した。
良好(○):7cm/s以上
不良(×):7cm/s未満
[Evaluation of thermal diffusion coefficient of graphite sheet]
Heat in the sheet surface direction under the conditions of a xenon flash method, measurement temperature: 25 ° C., light source: xenon flash lamp, IR detector: InSb detector (liquid nitrogen cooling) using a thermal conductivity measuring device LFA447 manufactured by NETZSCH Co., Ltd. The diffusion coefficient was evaluated.
Good (◯): 7 cm 2 / s or more Defect (x): Less than 7 cm 2 / s

[ポリアミック酸合成例]
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.24)をモル比で1:1の割合で用意し、DMAc(N,N−ジメチルアセトアミド)中23.7重量%溶液にして重合し、4000poiseのポリアミック酸溶液を得た。
[Examples of polyamic acid synthesis]
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.24) was prepared at a molar ratio of 1: 1, and 23 in DMAc (N, N-dimethylacetamide). The solution was polymerized to a 7 wt% solution to obtain a 4000 poise polyamic acid solution.

[実施例1]
平均粒子径0.87μm、粒子径0.5〜2.5μmの粒子が全粒子中81.5体積%のリン酸水素カルシウムのN,N−ジメチルアセトアミドスラリー(スラリー中、リン酸水素カルシウムを6重量%含む)を孔の直径が5μmのカットフィルター(日本精線製金属繊維焼結フィルター)に通した後、合成例で得たポリアミック酸溶液に、ポリイミドを形成したときにポリイミド樹脂1重量当たりリン酸水素カルシウムが0.10重量%となるように前記スラリーを添加し、室温で30分間攪拌し、無機粒子をポリアミック酸溶液中に分散させた。このポリアミック酸溶液に、無水酢酸(分子量102.09)とβ−ピコリンからなる転化剤を、ポリアミック酸に対し、それぞれ2.0モル当量の割合で混合し、攪拌した。得られた混合物を、口金より回転する65℃のステンレス製ドラム上にキャストし、自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをドラムから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて250℃×30秒、400℃×30秒、550℃×30秒処理し、厚さ60μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 1]
An N, N-dimethylacetamide slurry of calcium hydrogen phosphate having an average particle size of 0.87 μm and a particle size of 0.5 to 2.5 μm of 81.5% by volume in all particles (6 calcium calcium phosphate in the slurry). Per weight of polyimide resin when the polyimide is formed in the polyamic acid solution obtained in the synthesis example after passing through a cut filter (Nihon Seisen made metal fiber sintered filter) with a pore diameter of 5 μm. The slurry was added so that the calcium hydrogen phosphate was 0.10 wt%, and the mixture was stirred at room temperature for 30 minutes to disperse the inorganic particles in the polyamic acid solution. The polyamic acid solution was mixed with a conversion agent composed of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and β-picoline at a ratio of 2.0 molar equivalents with respect to the polyamic acid, and stirred. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum at 65 ° C. rotating from a die to obtain a gel film having self-supporting properties. This gel film was peeled off from the drum, both ends thereof were gripped, and treated in a heating furnace at 250 ° C. × 30 seconds, 400 ° C. × 30 seconds, 550 ° C. × 30 seconds to obtain a polyimide film having a thickness of 60 μm.

以上のように得られたポリイミドフィルムを幅250mm×長さ600mmの寸法に切断し、グラファイト製の円筒形の有低保持容器にフィルム面を垂直に立てて入れた。続いてアルゴンガス中で3℃/分で1000℃まで昇温させて1時間保持し、更に3000℃まで3℃/分で昇温させて1時間保持してポリイミドフィルムを焼成し、グラファイト化を行った。得られたグラファイトシートを2つの圧延ロール間に挟み込み、圧延処理を行って圧延し、厚さ32μmのグラファイトシートを作製した。   The polyimide film obtained as described above was cut into a size of 250 mm in width and 600 mm in length, and the film surface was placed vertically in a graphite low and high holding container made of graphite. Subsequently, the temperature was raised to 1000 ° C. at 3 ° C./min in argon gas and held for 1 hour, further heated to 3000 ° C. at 3 ° C./min and held for 1 hour to baked the polyimide film, and graphitized. went. The obtained graphite sheet was sandwiched between two rolling rolls, rolled by rolling, and a graphite sheet having a thickness of 32 μm was produced.

[実施例2]
ポリアミック酸溶液に添加するポリイミド樹脂重量当たりのリン酸水素カルシウム添加量が0.05重量%であること以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルム得て、該ポリイミドフィルムを焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Example 2]
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the addition amount of calcium hydrogen phosphate per weight of the polyimide resin added to the polyamic acid solution was 0.05% by weight, and the polyimide film was baked to obtain graphite. A sheet was produced.

[実施例3]
ポリアミック酸溶液に添加するポリイミド樹脂重量当たりのリン酸水素カルシウム添加量が0.50重量%であること以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルム得て、該ポリイミドフィルムを焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Example 3]
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the addition amount of calcium hydrogen phosphate per weight of the polyimide resin added to the polyamic acid solution was 0.50% by weight. A sheet was produced.

[実施例4]
ポリアミック酸溶液に添加するリン酸水素カルシウムの平均粒子径が0.54μmであること以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルムを得て、該ポリイミドフィルムを焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Example 4]
Except that the average particle size of calcium hydrogen phosphate added to the polyamic acid solution is 0.54 μm, a polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1, and the graphite film was produced by firing the polyimide film. .

[実施例5]
ポリアミック酸溶液に添加するリン酸水素カルシウムの平均粒子径が1.47μmであること以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルムを得て、該ポリイミドフィルムを焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Example 5]
Except that the average particle diameter of calcium hydrogen phosphate added to the polyamic acid solution is 1.47 μm, a polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1, and the graphite film was produced by firing the polyimide film. .

[実施例6、7]
ドラムの回転速度、ゲルフィルムの搬送速度(製膜速度)を調整することでポリイミドフィルムの厚みを25μm、80μmとした以外は実施例1と同様にしてポリイミドフィルムを得て、該ポリイミドフィルムを焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Examples 6 and 7]
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the polyimide film was adjusted to 25 μm and 80 μm by adjusting the drum rotation speed and the gel film conveyance speed (film formation speed), and the polyimide film was baked. Thus, a graphite sheet was produced.

[実施例8]
ポリアミック酸溶液に添加するポリイミド樹脂重量当たりのリン酸水素カルシウム添加量を0.55重量%とした以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルム得て、焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Example 8]
A graphite sheet was produced by obtaining and baking a polyimide film in the same manner as in Example 1 except that the amount of calcium hydrogen phosphate added per weight of the polyimide resin added to the polyamic acid solution was 0.55% by weight.

[比較例1]
リン酸水素カルシウムのN,N−ジメチルアセトアミドスラリーを5μmカットフィルターに通さずに合成例で得たポリアミック酸溶液に添加すること以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルム得て、該ポリイミドフィルムを焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Comparative Example 1]
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the N, N-dimethylacetamide slurry of calcium hydrogen phosphate was added to the polyamic acid solution obtained in the synthesis example without passing through a 5 μm cut filter. Was fired to produce a graphite sheet.

[比較例2]
ポリアミック酸溶液に添加するポリイミド樹脂重量当たりのリン酸水素カルシウム添加量が0.02重量%であること以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルム得て、焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Comparative Example 2]
A polyimide film was obtained and fired to produce a graphite sheet in the same manner as in Example 1 except that the addition amount of calcium hydrogen phosphate per weight of the polyimide resin added to the polyamic acid solution was 0.02% by weight. .

[比較例3]
リン酸水素カルシウムのN,N−ジメチルアセトアミドスラリーを5μmカットフィルターに通さずに合成例で得たポリアミック酸溶液に添加すること以外は、実施例2と同様にしてポリイミドフィルム得て、該ポリイミドフィルムを焼成することでグラファイトシートを作製した。
[Comparative Example 3]
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 2 except that N, N-dimethylacetamide slurry of calcium hydrogen phosphate was added to the polyamic acid solution obtained in the synthesis example without passing through a 5 μm cut filter. Was fired to produce a graphite sheet.

実施例1〜8と比較例1〜3で得られたポリイミドフィルムの特性と粒子径(分散径)10μm以上の無機粒子の個数を表1に、圧延後のグラファイトシートの特性と表面の突起欠陥個数を表2に示した。   Table 1 shows the characteristics of the polyimide films obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 3 and the number of inorganic particles having a particle diameter (dispersion diameter) of 10 μm or more. The number is shown in Table 2.

表2に示すとおり実施例1〜8で得られたグラファイトシートは、柔軟性、破断強度、熱拡散係数に優れていた。また、グラファイトシート表面の突起欠陥についても0個/cmで外観上優れていた。 As shown in Table 2, the graphite sheets obtained in Examples 1 to 8 were excellent in flexibility, breaking strength, and thermal diffusion coefficient. Further, the protrusion defects on the surface of the graphite sheet were excellent in appearance at 0 / cm 2 .

一方、比較例1、3については、フィルム中に含まれる粒子径15μm以上の無機粒子の影響で部分的に過度に発泡することでグラファイトシートの表面に突起欠陥が発生し、外観上優れてはいなかった。
また、これらの結果から、無機粒子のスラリーを、カットフィルターを用いて濾過してからポリアミド酸に添加することにより、無機粒子の凝集を抑制することができ、得られるポリイミドフィルムは粒子径15μm以上の無機粒子を含まないものとなることが確認された。そして、このようなポリイミドフィルムを用いることで、標記のような外観上優れたグラファイトシートが得られることを確認できた。
On the other hand, in Comparative Examples 1 and 3, protrusion defects occurred on the surface of the graphite sheet due to partial excessive foaming due to the influence of inorganic particles having a particle diameter of 15 μm or more contained in the film, which is excellent in appearance. There wasn't.
Further, from these results, the inorganic particles are filtered using a cut filter and then added to the polyamic acid, whereby aggregation of the inorganic particles can be suppressed, and the resulting polyimide film has a particle diameter of 15 μm or more. It was confirmed that the inorganic particles were not included. And it has confirmed that the graphite sheet excellent in the external appearance like a title was obtained by using such a polyimide film.

比較例2は、フィルムの滑り性の悪く、また無機粒子が少ない為、焼成時のフィルムの発泡性が悪く、焼成後に圧延すると柔軟性、破断強度に劣ることから粉々になり、グラファイトシートが形成できず、シート表面の突起について評価できなかった。   Comparative Example 2 is poor in slipperiness of the film and has few inorganic particles, so the foamability of the film at the time of firing is poor, and when rolled after firing, it becomes shattered due to inferior flexibility and breaking strength, and a graphite sheet is formed. The projection on the sheet surface could not be evaluated.

表2の結果から明らかな通り、ジアミン成分として4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物を主たる構成成分とし、フィルム樹脂重量当たり0.05〜0.8重量%の割合で無機粒子が分散されており、無機粒子の分散径が15μm以下である本発明のポリイミドフィルムは、熱処理によるグラファイト化時の発泡性が良好であり、該ポリイミドフィルムを熱処理して製造されたグラファイトシートは、優れた熱伝導性、柔軟性、破断強度を有し、焼成時に発生する表面突起が非常に少なく、外観にも優れるものである。   As is apparent from the results of Table 2, the main component is 4,4′-diaminodiphenyl ether as the diamine component, and pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component, and 0.05 to 0.8 weight per film resin weight. %. The polyimide film of the present invention in which inorganic particles are dispersed at a ratio of 15% and the dispersed diameter of the inorganic particles is 15 μm or less has good foamability when graphitized by heat treatment, and is manufactured by heat-treating the polyimide film. The resulting graphite sheet has excellent thermal conductivity, flexibility, and breaking strength, has very few surface protrusions generated during firing, and is excellent in appearance.

また、実施例1〜8のように、ポリイミドフィルム中に最大粒子径が10〜15μmの無機粒子が数個含まれていたとしても、該ポリイミドフィルムを焼成して得られるグラファイトシートは、表面突起が非常に少なく外観に優れるものであることが分かった。
一方、比較例1及び3のように、ポリイミドフィルム中に最大粒子径が15μm以上の無機粒子が含まれていると、該ポリイミドフィルムを焼成して得られるグラファイトシートは、表面突起が顕著に増大して外観が悪いものとなることが分かった。
In addition, as in Examples 1 to 8, even when several inorganic particles having a maximum particle size of 10 to 15 μm are contained in the polyimide film, the graphite sheet obtained by firing the polyimide film has surface protrusions. It has been found that it has very little appearance and excellent appearance.
On the other hand, as in Comparative Examples 1 and 3, when the polyimide film contains inorganic particles having a maximum particle size of 15 μm or more, the graphite sheet obtained by firing the polyimide film has a marked increase in surface protrusions. It turned out that the appearance was bad.

本発明のポリイミドフィルムを焼成して得られるグラファイトシートは、優れた熱伝導性、柔軟性、破断強度を有し、焼成時に発生する表面突起が非常に少なく、外観にも優れる為、電子機器の放熱部材として好適である。   The graphite sheet obtained by firing the polyimide film of the present invention has excellent thermal conductivity, flexibility and breaking strength, has very few surface protrusions generated during firing, and is excellent in appearance. It is suitable as a heat radiating member.

Claims (8)

無機粒子が分散したポリイミドフィルムであって、無機粒子の割合がフィルム樹脂重量当たり0.05〜0.8重量%であり、無機粒子の最大分散径が15μm以下であるポリイミドフィルム。   A polyimide film in which inorganic particles are dispersed, wherein the proportion of inorganic particles is 0.05 to 0.8% by weight per film resin weight, and the maximum dispersion diameter of inorganic particles is 15 μm or less. 4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを含む芳香族ジアミン成分と、ピロメリット酸二無水物を含む芳香族テトラカルボン酸二無水物成分とを少なくとも構成成分とするポリイミドで形成されている請求項1に記載のポリイミドフィルム。   The aromatic diamine component containing 4,4'- diaminodiphenyl ether and the aromatic tetracarboxylic dianhydride component containing pyromellitic dianhydride are formed with the polyimide which consists at least as a component. Polyimide film. 無機粒子が、フィルム樹脂重量当たり0.05〜0.5重量%の割合で含まれていることを特徴とする請求項1又は2に記載のポリイミドフィルム。   3. The polyimide film according to claim 1, wherein the inorganic particles are contained at a ratio of 0.05 to 0.5% by weight per film resin weight. 無機粒子が、リン酸水素カルシウムを主成分とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to any one of claims 1 to 3, wherein the inorganic particles contain calcium hydrogen phosphate as a main component. フィルム厚みが25〜80μmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。   Film thickness is 25-80 micrometers, The polyimide film of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 無機粒子を含むポリアミド酸溶液を用いて、請求項1〜5のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを製造する方法であって、無機粒子を含むスラリーを、フィルター処理した後、ポリアミド酸と混合してポリアミド酸溶液を得る工程を含む製造方法。   A method for producing a polyimide film according to any one of claims 1 to 5 using a polyamic acid solution containing inorganic particles, wherein the slurry containing inorganic particles is filtered and then mixed with the polyamic acid. And a production method including a step of obtaining a polyamic acid solution. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを原料として含む、表面の直径0.1mm以上の突起欠陥が3個/50cm以下のグラファイトシート。 A graphite sheet comprising the polyimide film according to any one of claims 1 to 6 as a raw material and having 3 protrusion defects having a diameter of 0.1 mm or more on the surface and 50 cm 2 or less. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを焼成することを特徴とするグラファイトシートの製造方法。   A method for producing a graphite sheet, comprising firing the polyimide film according to any one of claims 1 to 6.
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