JP2017035771A - Industrial robot - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an industrial robot which enables improvement of flexibility for arrangement of pipelines and wirings in a housing of an EFEM etc. even when a base end side of an arm is disposed adjacent to a side surface of an interior part of the housing of the EFEM etc.SOLUTION: An industrial robot 1 includes: an arm 6 in which hands 4, 5 are rotatably connected to a tip side; and a body part 7 to which a base end side of the arm 6 is rotatably connected. The body part 7 includes: a lifting body 20 to which the base end side of the arm 6 is rotatably connected; and a housing 21 which holds the lifting body 20 so that the lifting body 20 may move up and down and houses the lifting body 20. The lifting body 20 includes a protruding part 26b protruding to one side in a horizontal direction at an upper end side. The base end side of the arm 6 is disposed at an upper surface side of the protruding part 26b and rotatably connected with the protruding part 26b.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。   The present invention relates to an industrial robot for transporting a transport object such as a semiconductor wafer.

従来、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）と半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する水平多関節ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）の一部を構成しており、ＥＦＥＭの筐体の内部に配置されている。ＥＦＥＭは、半導体ウエハ処理装置の前側に配置され、ＦＯＵＰは、ＥＦＥＭの前側に配置されている。ＥＦＥＭの筐体は、前後方向を短手方向とし左右方向を長手方向とする細長い直方体の箱状に形成されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a horizontal articulated robot that transports a semiconductor wafer between a FOUP (Front Open Unified Pod) and a semiconductor wafer processing apparatus is known (see, for example, Patent Document 1). The horizontal articulated robot described in Patent Document 1 constitutes a part of an EFEM (Equipment Front End Module) and is arranged inside a housing of the EFEM. The EFEM is disposed on the front side of the semiconductor wafer processing apparatus, and the FOUP is disposed on the front side of the EFEM. The EFEM housing is formed in an elongated rectangular parallelepiped box shape in which the front-rear direction is a short direction and the left-right direction is a long direction.

また、特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、基端側が本体部に回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部と、第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに先端側にハンドが回動可能に連結される第３アーム部とから構成されている。本体部は、上端にアームの基端側（すなわち、第１アーム部の基端側）が回動可能に連結される柱状部材と、柱状部材を昇降可能に保持する筐体と、柱状部材を昇降させる昇降機構とを備えている。柱状部材が下降しているときには、柱状部材は、筺体に収容されている。また、柱状部材が上昇しているときであっても、柱状部材の下端側部分は、筺体に収容されている。   In addition, the horizontal articulated robot described in Patent Document 1 includes two hands on which a semiconductor wafer is mounted, an arm in which the two hands are rotatably connected to the distal end side, and a base end side of the arm that rotates. And a main body part that is movably connected. The arm includes a first arm part whose base end side is rotatably connected to the main body part, a second arm part whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm part, and a second arm part The base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm and the third arm portion is rotatably connected to the distal end side. The main body includes a columnar member that is pivotally connected to an upper end of the base end side of the arm (that is, the base end side of the first arm portion), a housing that holds the columnar member so that the columnar member can be moved up and down, and a columnar member. And an elevating mechanism for elevating and lowering. When the columnar member is descending, the columnar member is accommodated in the housing. Even when the columnar member is rising, the lower end portion of the columnar member is accommodated in the housing.

筺体は、上下方向から見たときの形状が略正方形となるように形成されており、筺体の前面および後面は、前後方向に直交する平面状に形成され、筺体の左右の両側面は、左右方向に直交する平面状に形成されている。また、上下方向から見たときに、柱状部材は、筺体の外形の中に入っている。柱状部材は、上下方向から見たときに、左右方向における筺体の中心位置に配置されている。また、柱状部材は、上下方向から見たときに、前後方向において、筺体の前面側に配置されている。すなわち、上下方向から見たときに、柱状部材に連結されるアームの基端側は、筺体の前面側に配置されている。   The housing is formed so that the shape when viewed from above and below is substantially square, and the front and rear surfaces of the housing are formed in a plane perpendicular to the front-rear direction, and the left and right side surfaces of the housing are It is formed in a planar shape orthogonal to the direction. In addition, the columnar member is in the outer shape of the housing when viewed from above and below. The columnar member is disposed at the center position of the housing in the left-right direction when viewed from the up-down direction. The columnar member is disposed on the front side of the housing in the front-rear direction when viewed from the up-down direction. That is, when viewed from the up-down direction, the base end side of the arm connected to the columnar member is disposed on the front side of the housing.

特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、ＥＦＥＭの筐体の内部の前面と水平多関節ロボットの筺体の前面とが隣接するように、ＥＦＥＭの筐体の内部に配置されている。すなわち、この水平多関節ロボットは、柱状部材に連結されるアームの基端側とＥＦＥＭの筐体の内部の前面とが隣接するように、ＥＦＥＭの筺体の内部に配置されている。そのため、この水平多関節ロボットが設置される半導体の製造システムでは、第１アーム部、第２アーム部および第３アーム部の長さを確保しつつ、ＥＦＥＭの筺体の内部の前面および後面と、アームとの干渉を防止することが可能になっている。   The horizontal articulated robot described in Patent Document 1 is disposed inside the EFEM housing so that the front surface inside the EFEM housing and the front surface of the horizontal articulated robot housing are adjacent to each other. That is, this horizontal articulated robot is arranged inside the EFEM housing so that the base end side of the arm connected to the columnar member and the front surface inside the EFEM housing are adjacent to each other. Therefore, in the semiconductor manufacturing system in which the horizontal articulated robot is installed, while ensuring the lengths of the first arm portion, the second arm portion, and the third arm portion, the front and rear surfaces inside the EFEM housing, Interference with the arm can be prevented.

特開２０１５−３６１８６号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-36186

特許文献１に記載の水平多関節ロボットが配置されるＥＦＥＭの筐体の内部では、各種の配管や配線が引き回されることがある。しかしながら、特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、第１アーム部、第２アーム部および第３アーム部の長さを確保しつつ、ＥＦＥＭの筺体の内部の前面および後面とアームとの干渉を防止するために、ＥＦＥＭの筐体の内部の前面と水平多関節ロボットのアームの基端側とが隣接するようにＥＦＥＭの筐体の内部に配置されており、ＥＦＥＭの筐体の内部の前面と水平多関節ロボットの筐体の前面とが隣接している。したがって、特許文献１に記載の水平多関節ロボットが配置されるＥＦＥＭの筐体の内部では、ＥＦＥＭの筐体の内部の前面に沿って配管や配線を引き回すことが困難になり、その結果、配管や配線の引き回しの自由度が低くなる。   Various piping and wiring may be routed inside the EFEM housing in which the horizontal articulated robot described in Patent Document 1 is arranged. However, the horizontal articulated robot described in Patent Document 1 ensures the lengths of the first arm portion, the second arm portion, and the third arm portion, and the interference between the front and rear surfaces inside the EFEM housing and the arm. In order to prevent this, the front surface inside the EFEM housing and the proximal end side of the arm of the horizontal articulated robot are adjacent to each other. The front surface and the front surface of the horizontal articulated robot housing are adjacent to each other. Therefore, it becomes difficult to route the piping and wiring along the front surface inside the EFEM housing inside the EFEM housing where the horizontal articulated robot described in Patent Document 1 is arranged. And the degree of freedom of wiring routing is reduced.

そこで、本発明の課題は、ＥＦＥＭ等の筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように配置されても、ＥＦＥＭ等の筐体の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能な産業用ロボットを提供することにある。   Therefore, the problem of the present invention is that even if the base end side of the arm is adjacent to the side surface inside the housing of the EFEM or the like, the degree of freedom of the piping or wiring inside the housing of the EFEM or the like is increased. It is to provide an industrial robot that can be enhanced.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、本体部は、アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、昇降体を昇降可能に保持するとともに昇降体の少なくとも下端側の一部が収容される筐体とを備え、昇降体は、水平方向の一方側へ突出する突出部を昇降体の上端側に備え、アームの基端側は、突出部の上面側に配置され、突出部に回動可能に連結されていることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, the industrial robot of the present invention has a hand on which an object to be transported is mounted, an arm to which the hand is pivotably connected to the distal end side, and a base end side of the arm that is pivotable. A main body part connected to the main body part, and the main body part includes a lifting body whose base end side of the arm is rotatably connected to the upper surface side, a lifting body that can be moved up and down, and a part of at least the lower end side of the lifting body. The lifting body includes a protruding portion that protrudes to one side in the horizontal direction on the upper end side of the lifting body, and the base end side of the arm is disposed on the upper surface side of the protruding portion, and protrudes. It is connected with the part so that rotation is possible.

本発明の産業用ロボットでは、昇降体は、水平方向の一方側へ突出する突出部を昇降体の上端側に備え、アームの基端側は、突出部の上面側に配置され、突出部に回動可能に連結されている。そのため、本発明では、たとえば、ＥＦＥＭの筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように産業用ロボットがＥＦＥＭの筐体の内部に配置されても、突出部の下側の空間を利用して、アームの基端側が隣接するＥＦＥＭの筐体の内部の側面に沿って配管や配線を引き回すことが可能になる。したがって、本発明では、ＥＦＥＭ等の筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように産業用ロボットが配置されても、ＥＦＥＭ等の筐体の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能になる。   In the industrial robot of the present invention, the elevating body includes a protruding portion that protrudes to one side in the horizontal direction on the upper end side of the elevating body, and the base end side of the arm is disposed on the upper surface side of the protruding portion. It is connected so that it can rotate. Therefore, in the present invention, for example, even if the industrial robot is arranged inside the EFEM housing so that the base end side of the arm is adjacent to the side surface inside the EFEM housing, the space below the protruding portion is reduced. Utilizing it, it becomes possible to route piping and wiring along the side surface inside the EFEM housing adjacent to the base end side of the arm. Therefore, in the present invention, even if the industrial robot is arranged so that the base end side of the arm is adjacent to the side surface inside the housing of the EFEM or the like, piping and wiring can be freely routed inside the housing of the EFEM or the like. It becomes possible to increase the degree.

本発明において、昇降体は、昇降体の下降時に筐体に収容されるフレーム部と、突出部が形成される上端側フレーム部とを備え、フレーム部と上端側フレーム部とは別体で形成され、互いに固定されていることが好ましい。このように構成すると、共通のフレーム部に対して、突出部の突出量の異なる複数種類の上端側フレーム部を固定することが可能になる。したがって、昇降体の全体を変更しなくても、上端側フレーム部を交換することで、昇降体の突出部の突出量を変更することが可能になる。   In the present invention, the elevating body includes a frame portion that is accommodated in the housing when the elevating body is lowered, and an upper end side frame portion on which the protruding portion is formed, and the frame portion and the upper end side frame portion are formed separately. And are preferably fixed to each other. If comprised in this way, it will become possible to fix several types of upper end side frame parts from which the protrusion amount of a protrusion part differs with respect to a common frame part. Therefore, even if it does not change the whole raising / lowering body, it becomes possible to change the protrusion amount of the protrusion part of an raising / lowering body by replacing | exchanging an upper end side frame part.

本発明において、たとえば、筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され、突出部は、前後方向の一方側へ突出している。   In the present invention, for example, the housing is formed so that the shape when viewed from the top and bottom direction is a substantially rectangular shape with the left and right direction as the longitudinal direction and the front and rear direction as the short direction, and the protrusion is Projects to one side.

本発明において、本体部は、昇降体を昇降させる昇降機構を備え、昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され昇降体の下降時に筐体に収容されるフレーム部を備え、昇降機構は、上下方向から見たときに、フレーム部と重なるように筐体に収容されていることが好ましい。このように構成すると、昇降機構が前後方向においてフレーム部とずれた状態で筐体に収容されている場合と比較して、前後方向における筐体の幅を狭くすることが可能になる。その結果、本体部を薄型化することが可能になる。   In the present invention, the main body portion includes an elevating mechanism that elevates and lowers the elevating body, and the elevating body has a substantially rectangular shape in which the shape when viewed from the up and down direction is a longitudinal direction in the left and right direction and a short direction in the front and rear direction. It is preferable that the frame portion is formed so as to be housed in the housing when the lifting body is lowered, and the lifting mechanism is housed in the housing so as to overlap the frame portion when viewed from the vertical direction. If comprised in this way, it will become possible to narrow the width | variety of the housing | casing in the front-back direction compared with the case where the raising / lowering mechanism is accommodated in the housing | casing in the state shifted | deviated from the flame | frame part in the front-back direction. As a result, the main body can be thinned.

本発明において、本体部は、ガイドレールとガイドレールに係合するガイドブロックとを有し昇降体を上下方向へ案内するガイド機構を備え、昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され昇降体の下降時に筐体に収容されるフレーム部を備え、ガイドレールおよびガイドブロックは、左右方向におけるフレーム部の両外側に配置されるとともに筐体の内部に収容されていることが好ましい。このように構成すると、フレーム部の左側に配置されるガイドレールおよびガイドブロックと、フレーム部の右側に配置されるガイドレールおよびガイドブロックとの距離を長くすることが可能になる。したがって、ガイド機構によって昇降体を上下方向へ円滑に案内することが可能になる。   In the present invention, the main body portion includes a guide rail and a guide block that engages with the guide rail, and includes a guide mechanism that guides the lifting body in the vertical direction. The lifting body has a left and right shape when viewed from the vertical direction. The guide rail and the guide block have a frame portion in the left-right direction, and the guide rail and the guide block are formed in a substantially rectangular shape in which the direction is the longitudinal direction and the longitudinal direction is the short direction. It is preferable that it is arrange | positioned in the both outer sides of this, and is accommodated in the inside of a housing | casing. If comprised in this way, it will become possible to lengthen the distance of the guide rail and guide block arrange | positioned at the left side of a frame part, and the guide rail and guide block arrange | positioned at the right side of a frame part. Therefore, the lifting mechanism can be smoothly guided in the vertical direction by the guide mechanism.

以上のように、本発明では、ＥＦＥＭ等の筐体の内部の側面にアームの基端側が隣接するように産業用ロボットが配置されても、ＥＦＥＭ等の筐体の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能になる。   As described above, according to the present invention, even if the industrial robot is arranged so that the base end side of the arm is adjacent to the side surface inside the housing of the EFEM or the like, the piping or wiring inside the housing of the EFEM or the like It becomes possible to increase the degree of freedom of routing.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図であり、（Ａ）は昇降体が下降している状態を示す図、（Ｂ）は昇降体が上昇している状態を示す図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view of the industrial robot concerning embodiment of this invention, (A) is a figure which shows the state which the raising / lowering body is falling, (B) is a figure which shows the state which the raising / lowering body is raising. . 図１に示す産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view of a semiconductor manufacturing system in which the industrial robot shown in FIG. 1 is used. 図２のＥ−Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the structure of the EE cross section of FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図であり、（Ａ）は昇降体２０が下降している状態を示す図、（Ｂ）は昇降体２０が上昇している状態を示す図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１が使用される半導体製造システム９の概略平面図である。図４は、図２のＥ−Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。 (Composition of industrial robot)
1A and 1B are perspective views of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1A shows a state in which the lifting body 20 is lowered, and FIG. FIG. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 3 is a schematic plan view of a semiconductor manufacturing system 9 in which the industrial robot 1 shown in FIG. 1 is used. FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the EE cross section of FIG.

本形態の産業用ロボット１は、搬送体対象物である半導体ウエハ２（図３参照）を搬送するための水平多関節ロボットである。この産業用ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。以下の説明では、産業用ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。また、以下の説明では、上下方向に直交する図１等のＸ方向を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する図１等のＹ方向を「前後方向」とするとともに、Ｘ１方向側を「右」側、Ｘ２方向側を「左」側、Ｙ１方向側を「前」側、Ｙ２方向側を「後（後ろ）」側とする。   The industrial robot 1 of this embodiment is a horizontal articulated robot for transporting a semiconductor wafer 2 (see FIG. 3) that is a transport object. This industrial robot 1 includes two hands 4 and 5 on which a semiconductor wafer 2 is mounted, an arm 6 that is pivotally connected to the distal end side, and moves in the horizontal direction, and an arm 6 The base end side is provided with a main body portion 7 that is rotatably connected. In the following description, the industrial robot 1 is referred to as “robot 1”, and the semiconductor wafer 2 is referred to as “wafer 2”. In the following description, the X direction in FIG. 1 orthogonal to the vertical direction is referred to as “left-right direction”, and the Y direction in FIG. 1 orthogonal to the vertical direction and the horizontal direction is referred to as “front-rear direction”. The direction side is the “right” side, the X2 direction side is the “left” side, the Y1 direction side is the “front” side, and the Y2 direction side is the “rear (back)” side.

図３に示すように、ロボット１は、半導体製造システム９に組み込まれて使用される。この半導体製造システム９は、ＥＦＥＭ１０と、ウエハ２に対して所定の処理を行う半導体ウエハ処理装置１１とを備えている。ＥＦＥＭ１０は、半導体ウエハ処理装置１１の前側に配置されている。ロボット１は、ＥＦＥＭ１０の一部を構成している。また、ＥＦＥＭ１０は、ＦＯＵＰ１２を開閉する複数のロードポート１３と、ロボット１が収容される筺体１４とを備えている。筺体１４は、左右方向に細長い直方体の箱状に形成されている。ロードポート１３は、筺体１４の前側に配置されている。ロボット１は、筐体１４の内部の前側面１４ａにアーム６の基端側が隣接するように筐体１４の内部に配置されており、ＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間でウエハ２を搬送する。   As shown in FIG. 3, the robot 1 is used by being incorporated in a semiconductor manufacturing system 9. The semiconductor manufacturing system 9 includes an EFEM 10 and a semiconductor wafer processing apparatus 11 that performs predetermined processing on the wafer 2. The EFEM 10 is disposed on the front side of the semiconductor wafer processing apparatus 11. The robot 1 constitutes a part of the EFEM 10. The EFEM 10 includes a plurality of load ports 13 that open and close the FOUP 12 and a housing 14 in which the robot 1 is accommodated. The housing 14 is formed in a rectangular parallelepiped box shape elongated in the left-right direction. The load port 13 is disposed on the front side of the housing 14. The robot 1 is disposed inside the housing 14 so that the base end side of the arm 6 is adjacent to the front side surface 14 a inside the housing 14, and transports the wafer 2 between the FOUP 12 and the semiconductor wafer processing apparatus 11. To do.

アーム６は、基端側が本体部７に回動可能に連結される第１アーム部１６と、第１アーム部１６の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１７と、第２アーム部１７の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部１８とから構成されている。第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８は、中空状に形成されている。本体部７と第１アーム部１６と第２アーム部１７と第３アーム部１８とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。   The arm 6 has a first arm part 16 whose base end side is rotatably connected to the main body part 7, and a second arm part 17 whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm part 16. The third arm portion 18 is connected to the distal end side of the second arm portion 17 so that the proximal end side is rotatably connected. The first arm part 16, the second arm part 17, and the third arm part 18 are formed in a hollow shape. The main body part 7, the first arm part 16, the second arm part 17, and the third arm part 18 are arranged in this order from the lower side in the vertical direction.

ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端側部分は、第３アーム部１８の先端側に回動可能に連結されている。また、ハンド４、５は、上下方向で重なるように配置されている。具体的には、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。また、ハンド４、５は、第３アーム部１８よりも上側に配置されている。なお、図３では、ハンド５の図示を省略している。   The hands 4 and 5 are formed so that the shape when viewed in the vertical direction is substantially Y-shaped. The base end side portions of the hands 4 and 5 are rotatably connected to the distal end side of the third arm portion 18. The hands 4 and 5 are arranged so as to overlap in the vertical direction. Specifically, the hand 4 is disposed on the upper side and the hand 5 is disposed on the lower side. Further, the hands 4 and 5 are disposed above the third arm portion 18. In addition, illustration of the hand 5 is abbreviate | omitted in FIG.

本体部７は、アーム６の基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体２０と、昇降体２０を昇降可能に保持する筺体２１と、筺体２１に対して昇降体２０を昇降させる昇降機構２２（図４参照）と、昇降体２０を上下方向へ案内するガイド機構２３（図４参照）とを備えている。   The main body 7 includes an elevating body 20 in which the base end side of the arm 6 is pivotally connected to the upper surface side, a housing 21 that holds the elevating body 20 so as to be movable up and down, and raises and lowers the elevating body 20 relative to the housing 21. An elevating mechanism 22 (see FIG. 4) and a guide mechanism 23 (see FIG. 4) for guiding the elevating body 20 in the vertical direction are provided.

筺体２１は、扁平な略直方体の箱状に形成されており、上下方向から見たときの筺体２１の形状は、左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となっている。具体的には、上下方向から見たときの筺体２１の形状は、左右方向に細長い略長方形状となっている。筺体２１の前面および後面は、前後方向に直交する平面となっており、筺体２１の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。また、筺体２１の上面および底面は、上下方向に直交する平面となっている。   The housing 21 is formed in a flat, substantially rectangular parallelepiped box shape, and the shape of the housing 21 when viewed from above and below is a substantially rectangular shape with the left-right direction as the longitudinal direction and the front-rear direction as the short direction. Yes. Specifically, the shape of the housing 21 when viewed from above and below is a substantially rectangular shape elongated in the left and right direction. The front surface and the rear surface of the housing 21 are planes orthogonal to the front-rear direction, and the left and right side surfaces of the housing 21 are planes orthogonal to the left-right direction. Moreover, the upper surface and bottom surface of the housing 21 are planes orthogonal to the vertical direction.

昇降体２０は、扁平な略直方体に形成されるフレーム部２５と、フレーム部２５の上端側に固定される上端側フレーム部２６とを備えている。フレーム部２５と上端側フレーム部２６とは別体で形成され、互いに固定されている。具体的には、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とは、図示を省略するネジによって互いに固定されている。   The elevating body 20 includes a frame portion 25 formed in a flat and substantially rectangular parallelepiped shape, and an upper end side frame portion 26 fixed to the upper end side of the frame portion 25. The frame portion 25 and the upper end side frame portion 26 are formed separately and are fixed to each other. Specifically, the frame part 25 and the upper end side frame part 26 are fixed to each other by screws not shown.

フレーム部２５は、底面が開口する箱状に形成されており、上下方向から見たときのフレーム部２５の形状は左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となっている。具体的には、上下方向から見たときのフレーム部２５の形状は、左右方向に細長い略長方形状となっている。フレーム部２５の前面および後面は、前後方向に直交する平面となっており、フレーム部２５の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。また、フレーム部２５の上面は、上下方向に直交する平面となっている。   The frame portion 25 is formed in a box shape with an open bottom, and the shape of the frame portion 25 when viewed from the top and bottom is a substantially rectangular shape with the left-right direction as the longitudinal direction and the front-rear direction as the short direction. Yes. Specifically, the shape of the frame portion 25 when viewed from the up-down direction is a substantially rectangular shape elongated in the left-right direction. The front surface and the rear surface of the frame portion 25 are planes orthogonal to the front-rear direction, and the left and right side surfaces of the frame portion 25 are planes orthogonal to the left-right direction. Further, the upper surface of the frame portion 25 is a plane orthogonal to the vertical direction.

上端側フレーム部２６は、略直方体状に形成されている。この上端側フレーム部２６は、上下方向から見たときの形状が前後方向を長手方向とし左右方向を短手方向とする略長方形状となるように形成されている。また、上端側フレーム部２６は、中空状に形成されている。上端側フレーム部２６の左右方向の幅はフレーム部２５の左右方向の幅よりも狭くなっている。上端側フレーム部２６は、フレーム部２５に固定される被固定部２６ａを備えている。被固定部２６ａは、フレーム部２５の上端側の左右方向の中心に形成される凹部の中に収容されている。   The upper end side frame portion 26 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. The upper end side frame portion 26 is formed so as to have a substantially rectangular shape when viewed in the vertical direction, with the longitudinal direction as the longitudinal direction and the lateral direction as the short direction. Moreover, the upper end side frame part 26 is formed in the hollow shape. The width of the upper end side frame portion 26 in the left-right direction is narrower than the width of the frame portion 25 in the left-right direction. The upper end side frame portion 26 includes a fixed portion 26 a that is fixed to the frame portion 25. The fixed portion 26 a is accommodated in a recess formed at the center in the left-right direction on the upper end side of the frame portion 25.

また、上端側フレーム部２６は、被固定部２６ａの前端に繋がるとともにフレーム部２５の前面から前側へ突出する突出部２６ｂを備えている。すなわち、昇降体２０は、前側に突出する突出部２６ｂを昇降体２０の上端側に備えるとともに、突出部２６ｂが形成される上端側フレーム部２６を備えている。アーム６の基端側は、突出部２６ｂの上面側に配置されており、突出部２６ｂに回動可能に連結されている。すなわち、第１アーム部１６の基端側は、突出部２６ｂの上面側に配置されており、突出部２６ｂに回動可能に連結されている。   Moreover, the upper end side frame part 26 is provided with the protrusion part 26b which protrudes from the front surface of the frame part 25 to the front side while connecting with the front end of the to-be-fixed part 26a. That is, the elevating body 20 is provided with a projecting portion 26b projecting to the front side on the upper end side of the elevating body 20, and also includes an upper end side frame portion 26 on which the projecting portion 26b is formed. The base end side of the arm 6 is disposed on the upper surface side of the protruding portion 26b, and is rotatably connected to the protruding portion 26b. That is, the proximal end side of the first arm portion 16 is disposed on the upper surface side of the protruding portion 26b and is rotatably connected to the protruding portion 26b.

昇降体２０の下降時には、フレーム部２５は筐体２１に収容されている。具体的には、昇降体２０が下限位置まで下降しているとき（図１（Ａ）に示す状態のとき）には、フレーム部２５の全体が筐体２１に収容されている。すなわち、昇降体２０が下限位置まで下降しているときには、昇降体２０の、突出部２６ｂ以外の部分が筐体２１に収容されている。また、昇降体２０が下限位置から上昇しているとき（図１（Ｂ）に示す状態のとき）には、フレーム部２５の下端側部分が筐体２１に収容されている。すなわち、昇降体２０が下限位置から上昇しているときには、昇降体２０の下端側部分が筐体２１に収容されている。筐体２１の前面部の上端側には、昇降体２０が下降しているときに突出部２６ｂが配置される切欠き部２１ａ（図１（Ｂ）参照）が形成されている。なお、筐体２１の上面部には、昇降体２０の昇降時にフレーム部２５が通過する切欠き部が形成されている。   When the elevating body 20 is lowered, the frame portion 25 is accommodated in the housing 21. Specifically, when the elevating body 20 is lowered to the lower limit position (in the state shown in FIG. 1A), the entire frame portion 25 is accommodated in the housing 21. That is, when the elevating body 20 is lowered to the lower limit position, a portion other than the protruding portion 26 b of the elevating body 20 is accommodated in the housing 21. Further, when the elevating body 20 is raised from the lower limit position (in the state shown in FIG. 1B), the lower end portion of the frame portion 25 is accommodated in the housing 21. That is, when the elevating body 20 is rising from the lower limit position, the lower end side portion of the elevating body 20 is accommodated in the housing 21. A cutout portion 21a (see FIG. 1B) in which the protruding portion 26b is disposed when the elevating body 20 is lowered is formed on the upper end side of the front surface portion of the housing 21. Note that a cutout portion through which the frame portion 25 passes when the elevating body 20 is raised and lowered is formed on the upper surface portion of the housing 21.

昇降機構２２は、筐体２１に収容されている。この昇降機構２２は、図４に示すように、モータ２８とボールネジ２９とを備えている。ボールネジ２９は、モータ２８の動力で回転するネジ軸３０と、ネジ軸３０に係合するナット３１とを備えている。モータ２８は、筐体２１に収容されており、筐体２１の下端側に固定されている。また、モータ２８は、左右方向における筐体２１の略中心位置に配置されている。ネジ軸３０は、ネジ軸３０の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、ネジ軸３０は、モータ２８よりも右側に配置されている。このネジ軸３０は、筐体２１に回転可能に保持されている。   The elevating mechanism 22 is accommodated in the housing 21. As shown in FIG. 4, the lifting mechanism 22 includes a motor 28 and a ball screw 29. The ball screw 29 includes a screw shaft 30 that is rotated by the power of the motor 28 and a nut 31 that engages with the screw shaft 30. The motor 28 is housed in the housing 21 and is fixed to the lower end side of the housing 21. Further, the motor 28 is disposed at a substantially central position of the housing 21 in the left-right direction. The screw shaft 30 is disposed so that the axial direction of the screw shaft 30 and the vertical direction coincide with each other. Further, the screw shaft 30 is arranged on the right side of the motor 28. The screw shaft 30 is rotatably held by the housing 21.

ナット３１は、ナット保持部材３２に固定されている。ナット保持部材３２は、フレーム部２５の内部に固定されている。すなわち、ナット３１は、ナット保持部材３２を介してフレーム部２５の内部に固定されている。モータ２８の出力軸には、プーリ３３が固定され、ネジ軸３０の下端側には、プーリ３４が固定されている。プーリ３３とプーリ３４とには、ベルト３５が架け渡されている。図４に示すように、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、昇降体２０と重なるように筐体２１に収容されている。より具体的には、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、フレーム部２５と重なるように筐体２１に収容されている。   The nut 31 is fixed to the nut holding member 32. The nut holding member 32 is fixed inside the frame portion 25. That is, the nut 31 is fixed inside the frame portion 25 via the nut holding member 32. A pulley 33 is fixed to the output shaft of the motor 28, and a pulley 34 is fixed to the lower end side of the screw shaft 30. A belt 35 is stretched between the pulley 33 and the pulley 34. As shown in FIG. 4, the elevating mechanism 22 is accommodated in the casing 21 so as to overlap the elevating body 20 when viewed from the vertical direction. More specifically, the elevating mechanism 22 is accommodated in the housing 21 so as to overlap the frame portion 25 when viewed from the vertical direction.

ガイド機構２３は、ガイドレール３８と、ガイドレール３８に係合するガイドブロック３９とを備えている。ガイドレール３８は、ガイドレール３８の長手方向と上下方向とが一致するように筐体２１の内部に固定されている。また、ガイドレール３８は、筐体２１の内部の左右の両端側に固定されている。ガイドブロック３９は、ブロック保持部材４０に固定されている。ブロック保持部材４０は、フレーム部２５の左右の両側面のそれぞれに固定されている。すなわち、ガイドブロック３９は、ブロック保持部材４０を介してフレーム部２５の左右の両側面に固定されており、ガイドレール３８およびガイドブロック３９は、左右方向におけるフレーム部２５の両外側に配置されている。また、ガイドレール３８およびガイドブロック３９は、筐体２１に収容されている。   The guide mechanism 23 includes a guide rail 38 and a guide block 39 that engages with the guide rail 38. The guide rail 38 is fixed inside the housing 21 so that the longitudinal direction of the guide rail 38 coincides with the vertical direction. The guide rails 38 are fixed to the left and right end sides inside the housing 21. The guide block 39 is fixed to the block holding member 40. The block holding member 40 is fixed to each of the left and right side surfaces of the frame portion 25. That is, the guide block 39 is fixed to the left and right side surfaces of the frame portion 25 via the block holding member 40, and the guide rail 38 and the guide block 39 are disposed on both outer sides of the frame portion 25 in the left-right direction. Yes. Further, the guide rail 38 and the guide block 39 are accommodated in the housing 21.

本形態では、モータ２８が回転すると、昇降体２０は、ガイド機構２３に案内されながら筐体２１に対して上下動する。なお、フレーム部２５の内部には、ケーブルベア（登録商標）４２の一端側が固定され、筐体２１の内部には、ケーブルベア（登録商標）４２の他端側が固定されている。ケーブルベア（登録商標）４２は、モータ２８よりも左側に配置されている。   In this embodiment, when the motor 28 rotates, the elevating body 20 moves up and down with respect to the housing 21 while being guided by the guide mechanism 23. Note that one end side of a cable bear (registered trademark) 42 is fixed inside the frame portion 25, and the other end side of the cable bear (registered trademark) 42 is fixed inside the housing 21. The cable bear (registered trademark) 42 is disposed on the left side of the motor 28.

また、ロボット１は、第１アーム部１６および第２アーム部１７を回動させて第１アーム部１６と第２アーム部１７とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構４５（図２参照）と、第３アーム部１８を回動させる第３アーム部駆動機構（図示省略）と、ハンド４を回動させるハンド駆動機構（図示省略）と、ハンド５を回動させるハンド駆動機構（図示省略）とを備えている。   Further, the robot 1 rotates the first arm portion 16 and the second arm portion 17 to extend and contract a part of the arm 6 composed of the first arm portion 16 and the second arm portion 17 ( 2), a third arm drive mechanism (not shown) for rotating the third arm 18, a hand drive mechanism (not shown) for rotating the hand 4, and a hand drive for rotating the hand 5. Mechanism (not shown).

アーム部駆動機構４５は、図２に示すように、モータ４６と、モータ４６の動力を減速して第１アーム部１６に伝達するための減速機４７と、モータ４６の動力を減速して第２アーム部１７に伝達するための減速機４８とを備えている。モータ４６は、上端側フレーム部２６の被固定部２６ａの下面部に固定されている。具体的には、モータ４６は、モータ４６の出力軸が被固定部２６ａの内部に配置されるとともに、モータ４６の本体部がフレーム部２５の内部に配置されるように被固定部２６ａの下面部に固定されている。   As shown in FIG. 2, the arm unit drive mechanism 45 includes a motor 46, a speed reducer 47 that decelerates the power of the motor 46 and transmits the power to the first arm unit 16, and decelerates the power of the motor 46. A reduction gear 48 for transmitting to the two-arm portion 17 is provided. The motor 46 is fixed to the lower surface portion of the fixed portion 26 a of the upper end side frame portion 26. Specifically, the motor 46 has a lower surface of the fixed portion 26 a so that the output shaft of the motor 46 is disposed inside the fixed portion 26 a and the main body portion of the motor 46 is disposed inside the frame portion 25. It is fixed to the part.

減速機４７は、第１アーム部１６と突出部２６ｂとを繋ぐ関節部を構成している。この減速機４７は、中空減速機である。減速機４７のケース体は、突出部２６ｂの内部に固定されている。減速機４７の出力軸の上端面は、第１アーム部１６の基端側の下面に固定されている。減速機４７は、第１アーム部１６の基端側の下面に固定される出力軸の上端側の一部分を除いて突出部２６ｂの内部に収容されている。モータ４６と減速機４７とは、モータ４６の出力軸に固定されるプーリ４９と、減速機４７の入力軸に固定されるプーリ５０と、プーリ４９とプーリ５０とに架け渡されるベルト５１を介して連結されている。プーリ４９、５０およびベルト５１は、上端側フレーム部２６の内部に収容されている。   The reduction gear 47 constitutes a joint portion that connects the first arm portion 16 and the protruding portion 26b. The speed reducer 47 is a hollow speed reducer. The case body of the speed reducer 47 is fixed inside the protruding portion 26b. The upper end surface of the output shaft of the speed reducer 47 is fixed to the lower surface on the base end side of the first arm portion 16. The speed reducer 47 is accommodated inside the protruding portion 26 b except for a part on the upper end side of the output shaft fixed to the lower surface on the proximal end side of the first arm portion 16. The motor 46 and the speed reducer 47 are connected via a pulley 49 fixed to the output shaft of the motor 46, a pulley 50 fixed to the input shaft of the speed reducer 47, and a belt 51 spanned between the pulley 49 and the pulley 50. Are connected. The pulleys 49 and 50 and the belt 51 are accommodated inside the upper end side frame portion 26.

減速機４８は、第１アーム部１６と第２アーム部１７とを繋ぐ関節部を構成している。この減速機４８は、減速機４７と同様に、中空減速機である。モータ４６と減速機４８とは、プーリ４９、５０、ベルト５１および第１アーム部１６の内部に配置されるプーリ、ベルト（図示省略）等を介して連結されている。   The reduction gear 48 constitutes a joint portion that connects the first arm portion 16 and the second arm portion 17. Similar to the speed reducer 47, the speed reducer 48 is a hollow speed reducer. The motor 46 and the speed reducer 48 are connected via pulleys 49 and 50, a belt 51, a pulley disposed in the first arm portion 16, a belt (not shown), and the like.

第３アーム部駆動機構は、モータと、このモータの動力を減速して第３アーム部１８に伝達するための減速機とを備えている。第３アーム部駆動機構のモータは、第２アーム部１７の内部に配置され、第３アーム部駆動機構の減速機は、第２アーム部１７と第３アーム部１８とを繋ぐ関節部を構成している。ハンド駆動機構は、モータと、このモータの動力を減速してハンド４、５に伝達するための減速機とを備えている。ハンド駆動機構のモータおよび減速機は、第３アーム部１８の内部に配置されている。また、ハンド駆動機構の減速機とハンド４、５とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結されている。   The third arm portion drive mechanism includes a motor and a speed reducer for decelerating the power of the motor and transmitting it to the third arm portion 18. The motor of the third arm unit driving mechanism is disposed inside the second arm unit 17, and the speed reducer of the third arm unit driving mechanism forms a joint unit that connects the second arm unit 17 and the third arm unit 18. doing. The hand drive mechanism includes a motor and a speed reducer for decelerating the power of the motor and transmitting it to the hands 4 and 5. The motor and the speed reducer of the hand drive mechanism are disposed inside the third arm portion 18. Further, the speed reducer of the hand drive mechanism and the hands 4 and 5 are connected via a pulley and a belt (not shown).

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、昇降体２０は、前側に突出する突出部２６ｂを昇降体２０の上端側に備えており、アーム６の基端側は、突出部２６ｂに回動可能に連結されている。そのため、本形態では、図３に示すように、ＥＦＥＭ１０の筐体１４の内部の前側面１４ａにアーム６の基端側が隣接するようにロボット１が筐体１４の内部に配置されても、突出部２６ｂの下側の空間（図２参照）を利用して、筐体１４の内部で引き回される配管や配線を筐体１４の前側面１４ａに沿って引き回すことが可能になる。したがって、本形態では、筐体１４の前側面１４ａにアーム６の基端側が隣接するようにロボット１が配置されても、筐体１４の内部での配管や配線の引き回しの自由度を高めることが可能になる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the lifting body 20 is provided with the protruding portion 26b protruding to the front side on the upper end side of the lifting body 20, and the base end side of the arm 6 is rotatable to the protruding portion 26b. It is connected. Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, even if the robot 1 is arranged inside the housing 14 so that the proximal end side of the arm 6 is adjacent to the front side surface 14 a inside the housing 14 of the EFEM 10, it protrudes. By using the space below the portion 26 b (see FIG. 2), it becomes possible to route the piping and wiring routed inside the housing 14 along the front side surface 14 a of the housing 14. Therefore, in this embodiment, even when the robot 1 is arranged so that the base end side of the arm 6 is adjacent to the front side surface 14a of the housing 14, the degree of freedom of routing of piping and wiring inside the housing 14 is increased. Is possible.

本形態では、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とは別体で形成され、互いに固定されている。そのため、本形態では、共通のフレーム部２５に対して、突出部２６ｂの突出量の異なる複数種類の上端側フレーム部２６を固定することが可能になる。したがって、本形態では、昇降体２０の全体を変更しなくても、上端側フレーム部２６およびベルト５１を交換することで、昇降体２０の突出部２６ｂの突出量を変更することが可能になる。   In this embodiment, the frame portion 25 and the upper end side frame portion 26 are formed separately and are fixed to each other. Therefore, in this embodiment, it is possible to fix a plurality of types of upper end side frame portions 26 having different protruding amounts of the protruding portions 26b to the common frame portion 25. Therefore, in this embodiment, it is possible to change the protruding amount of the protruding portion 26b of the lifting body 20 by replacing the upper end frame portion 26 and the belt 51 without changing the entire lifting body 20. .

本形態では、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、筐体２１に収容されるフレーム部２５と重なるように筐体２１に収容されている。そのため、本形態では、昇降機構２２が前後方向においてフレーム部２５とずれた状態で筐体２１に収容されている場合と比較して、前後方向における筐体２１の幅を狭くすることが可能になり、その結果、本体部７を薄型化することが可能になる。   In this embodiment, the elevating mechanism 22 is accommodated in the casing 21 so as to overlap the frame portion 25 accommodated in the casing 21 when viewed from the vertical direction. Therefore, in this embodiment, the width of the casing 21 in the front-rear direction can be reduced compared to the case where the elevating mechanism 22 is accommodated in the casing 21 in a state shifted from the frame portion 25 in the front-rear direction. As a result, the main body 7 can be thinned.

本形態では、フレーム部２５は、上下方向から見たときの形状が左右方向に細長い略長方形状となるように形成されており、ガイドレール３８およびガイドブロック３９は、左右方向におけるフレーム部２５の両外側に配置されている。そのため、本形態では、フレーム部２５の左側に配置されるガイドレール３８およびガイドブロック３９と、フレーム部２５の右側に配置されるガイドレール３８およびガイドブロック３９との距離を長くすることが可能になる。したがって、本形態では、ガイドレール３８とガイドブロック３９とによって昇降体２０を上下方向へ円滑に案内することが可能になる。   In this embodiment, the frame portion 25 is formed so that the shape when viewed from the up-down direction is a substantially rectangular shape elongated in the left-right direction, and the guide rail 38 and the guide block 39 are arranged in the left-right direction. It is arranged on both outsides. Therefore, in this embodiment, the distance between the guide rail 38 and the guide block 39 disposed on the left side of the frame portion 25 and the guide rail 38 and the guide block 39 disposed on the right side of the frame portion 25 can be increased. Become. Therefore, in this embodiment, the elevating body 20 can be smoothly guided in the vertical direction by the guide rail 38 and the guide block 39.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、突出部２６ｂは、フレーム部２５の前面から前側へ突出しているが、突出部２６ｂは、フレーム部２５の後面から後ろ側へ突出していても良い。この場合には、ＥＦＥＭ１０の筐体１４の内部の後側面にアーム６の基端側が隣接するようにロボット１が筐体１４の内部に配置される。また、上述した形態では、筺体２１およびフレーム部２５は、上下方向から見たときの形状が左右方向に細長い略長方形状となるように形成されているが、筺体２１およびフレーム部２５は、たとえば、上下方向から見たときの形状が正方形状、四角形以外の多角形状、あるいは、円形状となるように形成されても良い。   In the embodiment described above, the protruding portion 26b protrudes from the front surface of the frame portion 25 to the front side, but the protruding portion 26b may protrude from the rear surface of the frame portion 25 to the rear side. In this case, the robot 1 is disposed inside the housing 14 such that the proximal end side of the arm 6 is adjacent to the rear side surface inside the housing 14 of the EFEM 10. Further, in the above-described form, the housing 21 and the frame portion 25 are formed so that the shape when viewed in the vertical direction is a substantially rectangular shape elongated in the left-right direction. The shape when viewed from above and below may be a square, a polygon other than a quadrangle, or a circle.

上述した形態では、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とが別体で形成されて互いに固定されているが、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とが一体で形成されても良い。すなわち、フレーム部２５に突出部２６ｂが直接、形成されていても良い。また、上述した形態では、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、筐体２１に収容されるフレーム部２５と重なるように筐体２１に収容されているが、昇降機構２２は、前後方向においてフレーム部２５とずれた状態で筐体２１に収容されても良いし、左右方向においてフレーム部２５とずれた状態で筐体２１に収容されても良い。   In the embodiment described above, the frame portion 25 and the upper end side frame portion 26 are formed separately and are fixed to each other. However, the frame portion 25 and the upper end side frame portion 26 may be integrally formed. That is, the protruding portion 26 b may be formed directly on the frame portion 25. In the above-described form, the lifting mechanism 22 is housed in the housing 21 so as to overlap the frame portion 25 housed in the housing 21 when viewed from the vertical direction. It may be accommodated in the housing 21 in a state shifted from the frame portion 25 in the direction, or may be accommodated in the housing 21 in a state shifted from the frame portion 25 in the left-right direction.

上述した形態では、昇降体２０が下限位置まで下降しているときに、フレーム部２５の全体が筐体２１に収容されているが、昇降体２０が下限位置まで下降しているときに、フレーム部２５の上端側部分が筐体２１の上面よりも上側へ突出していても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、本体部７を昇降させる（具体的には、筐体２１を昇降させる）昇降機構を備えていても良い。すなわち、特開２０１５−３６１８５号公報に開示された昇降機構と同様の昇降機構をロボット１が備えていても良い。   In the embodiment described above, when the lifting body 20 is lowered to the lower limit position, the entire frame portion 25 is accommodated in the casing 21, but when the lifting body 20 is lowered to the lower limit position, the frame The upper end portion of the portion 25 may protrude above the upper surface of the housing 21. In the above-described form, the robot 1 may include an elevating mechanism that elevates and lowers the main body unit 7 (specifically, elevates the housing 21). That is, the robot 1 may include a lifting mechanism similar to the lifting mechanism disclosed in JP-A-2015-36185.

上述した形態では、第３アーム部１８の先端側に２個のハンド４、５が取り付けられているが、第３アーム部１８の先端側に１個のハンドが取り付けられても良い。また、上述した形態では、アーム６は、第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８の３個のアーム部によって構成されているが、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。   In the embodiment described above, the two hands 4 and 5 are attached to the distal end side of the third arm portion 18, but one hand may be attached to the distal end side of the third arm portion 18. Further, in the above-described form, the arm 6 is constituted by the three arm portions of the first arm portion 16, the second arm portion 17, and the third arm portion 18. However, the arm 6 has two arm portions. It may be comprised by 4 or more arm parts. In the embodiment described above, the robot 1 is a robot for transporting the wafer 2, but the robot 1 may be a robot for transporting other transport objects such as a glass substrate for liquid crystal.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、５ ハンド
６ アーム
７ 本体部
２０ 昇降体
２１ 筐体
２２ 昇降機構
２３ ガイド機構
２５ フレーム部
２６ 上端側フレーム部
２６ｂ 突出部
３８ ガイドレール
３９ ガイドブロック
Ｘ 左右方向
Ｙ 前後方向 1 Robot (industrial robot)
2 Wafer (semiconductor wafer, transfer object)
4, 5 Hands 6 Arms 7 Body part 20 Lifting body 21 Case 22 Lifting mechanism 23 Guide mechanism 25 Frame part 26 Upper frame part 26b Projection part 38 Guide rail 39 Guide block X Left and right direction Y Back and forth direction

Claims (5)

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、
前記本体部は、前記アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、前記昇降体を昇降可能に保持するとともに前記昇降体の少なくとも下端側の一部が収容される筐体とを備え、
前記昇降体は、水平方向の一方側へ突出する突出部を前記昇降体の上端側に備え、
前記アームの基端側は、前記突出部の上面側に配置され、前記突出部に回動可能に連結されていることを特徴とする産業用ロボット。 A hand on which a conveyance object is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to a distal end side, and a main body portion to which a proximal end side of the arm is rotatably connected,
The main body includes an elevating body whose base end side is pivotally connected to the upper surface side, a housing that holds the elevating body so as to be movable up and down, and accommodates at least a part of the lower end side of the elevating body. With body,
The lifting body is provided with a protruding portion that protrudes to one side in the horizontal direction on the upper end side of the lifting body,
The industrial robot according to claim 1, wherein a base end side of the arm is disposed on an upper surface side of the protruding portion and is rotatably connected to the protruding portion. 前記昇降体は、前記昇降体の下降時に前記筐体に収容されるフレーム部と、前記突出部が形成される上端側フレーム部とを備え、
前記フレーム部と前記上端側フレーム部とは別体で形成され、互いに固定されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 The elevating body includes a frame portion that is accommodated in the housing when the elevating body is lowered, and an upper end side frame portion on which the protruding portion is formed,
The industrial robot according to claim 1, wherein the frame portion and the upper end side frame portion are formed separately and are fixed to each other. 前記筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され、
前記突出部は、前後方向の一方側へ突出していることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 The housing is formed so that the shape when viewed from the up and down direction is a substantially rectangular shape in which the left and right direction is the longitudinal direction and the front and rear direction is the short direction,
The industrial robot according to claim 1, wherein the protruding portion protrudes to one side in the front-rear direction. 前記本体部は、前記昇降体を昇降させる昇降機構を備え、
前記昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され前記昇降体の下降時に前記筐体に収容されるフレーム部を備え、
前記昇降機構は、上下方向から見たときに、前記フレーム部と重なるように前記筐体に収容されていることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。 The main body includes an elevating mechanism for elevating the elevating body,
The lifting body is formed so that the shape when viewed from above and below is a substantially rectangular shape with the left-right direction as the longitudinal direction and the front-rear direction as the short direction, and is housed in the housing when the lifting body is lowered. With a frame,
The industrial robot according to claim 3, wherein the lifting mechanism is accommodated in the housing so as to overlap the frame portion when viewed from above and below. 前記本体部は、ガイドレールと前記ガイドレールに係合するガイドブロックとを有し前記昇降体を上下方向へ案内するガイド機構を備え、
前記昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され前記昇降体の下降時に前記筐体に収容されるフレーム部を備え、
前記ガイドレールおよび前記ガイドブロックは、左右方向における前記フレーム部の両外側に配置されるとともに前記筐体の内部に収容されていることを特徴とする請求項３または４記載の産業用ロボット。 The main body includes a guide mechanism that has a guide rail and a guide block that engages with the guide rail, and that guides the lifting body in a vertical direction.
The lifting body is formed so that the shape when viewed from above and below is a substantially rectangular shape with the left-right direction as the longitudinal direction and the front-rear direction as the short direction, and is housed in the housing when the lifting body is lowered. With a frame,
5. The industrial robot according to claim 3, wherein the guide rail and the guide block are disposed on both outer sides of the frame portion in the left-right direction and are accommodated in the housing.
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