JP2017026385A - 熱伝導率測定装置、熱伝導率測定方法、及び真空度評価装置 - Google Patents

Abstract

【課題】短時間で正確な熱伝導率を測定する。【解決手段】熱伝導率の測定対象物に接するように配置された熱発生源と、熱発生源に接するように配置された熱抵抗材と、熱発生源から熱が流れることによって発生する熱抵抗材の２点間の温度差に起因する電圧値を測定する、少なくとも１対の示差熱電対と、示差熱電対の出力電圧の時間変化率を算出し、算出した時間変化率に基づいて、測定対象物の熱伝導率を算出する計算装置と、を備える。【選択図】図２

Description

本発明は、熱伝導率測定装置、熱伝導率測定方法、及び真空度評価装置に関する。

真空断熱材（VIP：Vacuum Insulation Panel）は、断熱性能が高く大きな省エネルギー効果が得られるため、冷蔵庫のみならず住宅用建材などへの利用も進んでいる。真空断熱材は、リークによる真空度低下などの原因により性能が低下するが、それを目視で確認することは困難なため、熱伝導率の測定による確認が必須である。試験体の熱伝導率を測定する方法は、例えば特許文献１，２等にも記載されている。

米国特許第６６７６２８７号明細書 特開２０１３−８８２５８号公報

しかし、特許文献１，２に記載された方法では、短時間で正確な熱伝導率を測定することは困難であった。すなわち、熱伝導率を正確に測定するためには、測定対象物の温度変化が一定の定常状態に達した時点での熱電対の出力を用いることが望ましいが、一般に温度上昇が定常状態に達するまでには時間がかかり、特に熱伝導率がきわめて低い真空断熱材では、長い時間が必要である。

そこで、本発明は、短時間で正確な熱伝導率を測定することを一つの目的とする。
また、本発明は、短時間で効率よく真空度を評価することを一つの目的とする。

本発明に係る熱伝導率測定装置は、熱伝導率の測定対象物に接するように配置された熱発生源と、前記熱発生源に接するように配置された熱抵抗材と、前記熱発生源から熱が流れることによって発生する前記熱抵抗材の２点間の温度差に起因する電圧値を測定する、少なくとも１対の示差熱電対と、前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率を算出し、算出した前記時間変化率に基づいて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する計算装置と、を備えたものである。

また、前記計算装置は、式（１）を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を算出するようにしてもよい。
Ｙ＝ａＸ^-b …（１）
（但し、式（１）において、Ｘは前記測定対象物の熱伝導率、Ｙは前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率、ａ，ｂは定数。）

また、前記式（１）における定数ａ，ｂは、２種類以上の熱伝導率が既知の材料を用いて測定を行った結果を式（１）にあてはめることにより求められた値とすることができる。

また、前記計算装置は、あらかじめ２種類以上の熱伝導率が既知の材料を用いて測定を行い、各材料の熱伝導率と、各材料について測定を行った際の前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率との関係から求められた直線の式を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を算出するようにしてもよい。

また、２つ以上の前記示差熱電対を備え、各々の示差熱電対は、それぞれ異なる２点間の温度差に起因する電圧値を測定し、各々の示差熱電対は直列接続され、前記計算装置は、直列接続された複数の示差熱電対の出力の時間変化率を算出し、算出した時間変化率に基づいて、前記測定対象物の熱伝導率を算出するようにしてもよい。

また、前記熱発生源の前記測定対象物と接する表面に、前記測定対象物の凹凸形状を吸収する緩衝材を備えるようにしてもよい。

また、前記熱発生源からの横方向の熱流によって前記熱抵抗材内部に生じる温度差を測定する機構を備え、前記計算装置は、測定された横方向の温度差を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を補正するようにしてもよい。

本発明に係る熱伝導率測定方法は、制御装置が、熱伝導率の測定対象物と熱抵抗材に接するように配置された熱発生源から熱を発生させ、計算装置が、示差熱電対によって測定された、前記熱抵抗材の２点間の温度差に起因する電圧値を取得し、前記計算装置が、前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率を算出し、前記計算装置が、算出した前記時間変化率に基づいて、前記測定対象物の熱伝導率を算出するものである。

また、前記計算装置は、式（１）を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を算出するようにしてもよい。
Ｙ＝ａＸ^-b …（１）
（但し、式（１）において、Ｘは前記測定対象物の熱伝導率、Ｙは前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率、ａ，ｂは定数。）

また、前記式（１）における定数ａ，ｂは、２種類以上の熱伝導率が既知の材料を用いて測定を行った結果を式（１）にあてはめることにより求められた値とすることができる。

また、前記計算装置は、あらかじめ２種類以上の熱伝導率が既知の材料を用いて測定を行い、各材料の熱伝導率と、各材料について測定を行った際の前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率との関係から求められた直線の式を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を算出するようにしてもよい。

本発明に係る真空度評価装置は、真空度の測定対象物に接するように配置された熱発生源と、前記熱発生源に接するように配置された熱抵抗材と、前記熱発生源から熱が流れることによって発生する前記熱抵抗材の２点間の温度差に起因する電圧値を測定する、少なくとも１対の示差熱電対と、前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率を算出し、算出した前記時間変化率に基づいて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する計算装置と、算出された前記熱伝導率に基づいて、前記測定対象物の真空度を評価する真空度評価部と、を備えたものである。

本発明によれば、短時間で正確な熱伝導率を測定することができる。
また、本発明によれば、短時間で効率よく真空度を評価することができる。

本発明の実施の形態による、熱伝導率測定装置の構成を示す図。 本発明の実施の形態による、熱伝導率測定装置の測定部の構成を示す図。 本発明の実施の形態による、熱伝導率測定装置の測定原理を説明する図。 本発明の実施の形態による、熱伝導率測定装置の動作のフローチャート。 本発明の実施の形態による、示差熱電対の出力電圧の時間変化を表したグラフ。 本発明の実施の形態による、各種の材料の熱伝導率と示差熱電対の出力の時間変化率を示す表。 本発明の実施の形態による、各種の材料の熱伝導率と示差熱電対の出力の時間変化率の関係を表したグラフ。 本発明の実施の形態による、中心部と周縁部の温度差を測定する示差熱電堆の例を示す図。

次に、本発明を実施するための形態について、図面を参照して詳細に説明する。
実施の形態
図１は、本発明の実施の形態による熱伝導率測定装置１０の構成を示す図である。図１に示すように、熱伝導率測定装置１０は、測定部１１、表示装置１２、制御装置１３、コンピュータ（計算装置、真空度評価部）１４を備えている。測定部１１、表示装置１２、制御装置１３、コンピュータ１４は、通信回線を介して接続されている。熱伝導率測定装置１０は、必要に応じて、バーコード、ＱＲコード（登録商標）リーダーなどを備え、測定対象物に付与されたバーコードを読み取り、自動的に測定対象物を識別できるようにしてもよい。

熱伝導率測定装置１０は、真空断熱材などの測定対象物３０の熱伝導率を測定する装置である。熱伝導率測定装置１０は、測定部１１において熱電対を利用して取得した測定データを制御装置１３において処理し、さらにコンピュータ１４で解析することにより、測定対象物３０の熱伝導率を算出する。

図２は、測定部１１の構成を示す分解図である。図２に示すように、測定部１１は、ヒーター（熱発生源）２１、熱抵抗材２２、示差熱電対２３、カバー２４、重り２５を備えている。
ヒーター２１は、熱抵抗材２２と真空断熱材などの測定対象物３０に接触するように配置される。ヒーター２１は、中央部に測定する熱流を発生する主熱発生部、その外周に、横方向のヒートブリッジを防ぐ副熱発生部を備えた２重構造としてもよい。ヒーター２１には、温度変化の少ない材料（コンスタンタン等）を用いる。ヒーター２１は、例えば、カバーレイとコンスタンタンシートを貼り付けて、エッチングでヒーターのパターンを作成した薄いフィルム状のものとすることができる。主熱発生部のメインヒーターは、例えば外形φ２８ｍｍ、内部抵抗は約４５Ω、供給電流は１００ｍＡとすることができる。副熱発生部のガードヒータは、メインヒーターの外周にドーナツ状に配置し、例えば幅６ｍｍ、内部抵抗は約４５Ω、供給電流は１００ｍＡとすることができる。

熱抵抗材２２は、熱流によって内部に温度差が生じるものであり、例えば、スーパーシリカを用いることができる。スーパーシリカは無機素材であり、温度による素材変化が起こりにくく、熱伝導率は、０．０４３８Ｗ／ｍＫ（乾燥時）である。

示差熱電対２３は、ヒーター２１から熱が流れることによって発生する熱抵抗材２２内部の２点間の温度差を測定し、その温度差に起因する電圧値を出力する。
示差熱電対２３は、熱抵抗材２内部の少なくとも一対の２点間で温度差を測定できるように設けられている。温度差を測定する２点は、ヒーター２１からの熱流の方向に沿って配置されるようにすると、２点間で温度差が発生しやすくなるため望ましい。例えば、図３に示すように、一方の点Ｔ１（温接点）をヒーター２１に接する面に設け、他方の点Ｔ２（冷接点）を点Ｔ１から熱流の方向（図３では鉛直方向）に移動した位置（例えばＴ１から２０ｍｍ離れた位置。）に設けるようにしてもよい。示差熱電対２３には、例えば銅−コンスタンタン熱電対を用いることができる。線径は例えばφ０．１ｍｍ、抵抗値は１５Ωとすることができる。

示差熱電対２３は、熱抵抗材２内部の２対以上の２点間で温度差を測定できるように複数設けるようにしてもよい。例えば、図３に示す（Ｔ１，Ｔ２）のような組み合わせを、熱抵抗材２内部に均等に３〜４組設けるようにして、それぞれの２点間の温度差を測定できるように複数の示差熱電対を設ける。各々の示差熱電対は直列接続され、直列接続された複数の示差熱電対の出力が制御装置１３に供給される。このように、複数の示差熱電対を用いて複数組の温度差を測定し、直列接続された複数の示差熱電対の出力を得ることにより、より大きな出力電圧の値が得られ、制御装置１３における増幅処理の際などに受けるノイズの影響を小さく抑えることができる。

カバー２４は、ヒーター２１と熱抵抗材２２を被覆するものであり、熱抵抗材２２の表面の劣化を防ぐとともに、外部の雰囲気温度の影響を防いでいる。カバー２４には、伝導率が小さすぎない材料が適しており、例えばテフロン（登録商標）製やアクリル製とすることができる。カバー２４は、図２に示すように、熱抵抗材２２と同様の形状で、熱抵抗材２２よりも一回り大きい形状に形成されており、厚さは例えば５ｍｍとすることができる。

重り２５は、熱抵抗材２２の上に配置され、重力によって熱抵抗材２２、ヒーター２１及び測定対象物３０を密着することができる。重り２５は、例えば真鍮製とすることができる。

表示装置１２は、熱伝導率測定の経過の情報や測定部１１の状態、測定結果等を文字や画像で表示する。表示装置１２は、制御装置１３からの指示に基づいてこれらの情報を表示する。

制御装置１３は、表示装置１２の表示制御、測定部１１のヒーター２１の電流制御等を行うと共に、示差熱電対２３からの出力をコンピュータ１４に送信する。図２に示すように、制御装置１３は、増幅器（ＡＭＰ）１３１、Ａ／Ｄ変換器１３２、定電流回路１３３、ＣＰＵ１３４、ＵＳＢインタフェース１３５、ＲＳ−２３２Ｃインタフェース１３６を備えている。示差熱電対２３からの出力電圧は、増幅器１３１で増幅された後、Ａ／Ｄ変換器１３２でデジタル信号に変換されてＣＰＵ１３４に供給される。デジタル信号に変換された出力結果は、ＵＳＢインタフェース１３５またはＲＳ−２３２Ｃインタフェース１３６を介してコンピュータ１４に送信される。また、制御装置１３は、定電流回路１３３からヒーター２１に定電流（例えば１００ｍＡ）を供給する。

コンピュータ１４は、制御装置１３から受信した測定部１１における測定結果を用いて測定対象物３０の熱伝導率を計算する。また、コンピュータ１４は、制御装置１３から受信するその他の情報の管理も行う。コンピュータ１４は、本体装置と、ディスプレイ、およびマウス、キーボード等の入力手段を有している。コンピュータ１４における熱伝導率の算出の詳しい手順については後述する。

次に、熱伝導率測定装置１０による熱伝導率測定方法について図４のフローチャートを用いて説明する。
まず、測定対象物３０を測定部１１のヒーター２１に接するようにセットし、測定に必要なパラメータがコンピュータ１４を介して制御装置１３に入力される。パラメータは、例えば、ヒーター２１に供給される電流値、熱伝導率の算出に必要な定数等である。それらの準備が整うと、測定が開始される（ステップＳ１）。

測定が開始すると、定電流回路１３３からヒーター２１に定電流が供給され、ヒーター２１で発生した熱が測定対象物３０と熱抵抗材２２に流れる（ステップＳ２）。

熱抵抗材２２に熱が流れると、示差熱電対２３によって、熱抵抗材２２の２点間に生じた温度差による電圧値が測定され、測定された電圧値が制御装置１３に供給される（ステップＳ３）。

図３は、熱伝導率測定装置１０の測定原理を示す図である。図３に示すように、測定対象物３０の断熱性が悪い（熱伝導率が高い）ほど、測定対象物３０側への熱の流れが多くなるため、熱抵抗材２２への熱の流入は少なくなる。したがって、熱抵抗材２２の内部の温度差は小さく、示差熱電対２３の出力電圧も小さくなる。一方、測定対象物３０の断熱性が良い（熱伝導率が低い）ほど、熱抵抗材２２への熱の流入は多くなり、示差熱電対２３の出力電圧も大きくなる。この原理を利用して、熱抵抗材２２の内部に生じた温度差によって、間接的に測定対象物３０の熱伝導率を測定することができる。

制御装置１３では、測定部１１から供給された電圧値を、増幅器１３１で増幅した後、Ａ／Ｄ変換器１３２でデジタル信号に変換されてＣＰＵ１３４に供給する。さらに、制御装置１３は、デジタル信号に変換された電圧値をコンピュータ１４に送信する（ステップＳ４）。なお、示差熱電対２３による熱伝導率の測定の開始と同時に、コンピュータ１４は測定時間の計測を開始し、所定の時間（例えば３０秒）が経過すると、制御装置１３に測定を終了させる指示を送信する。示差熱電対２３が出力する電圧値は、測定継続中、リアルタイムにコンピュータ１４に提供される。

コンピュータ１４は、制御装置１３から取得した示差熱電対２３の出力電圧の時間変化率（一次微分、dV/dt）を算出する（ステップＳ５）。
さらに、コンピュータ１４は、算出した時間変化率に基づいて、測定対象物３０の熱伝導率を算出する（ステップＳ６）。従来は、正確な熱伝導率を測定するために、温度差が定常状態に達するまでヒーター２１に電流を供給して測定を行っていたため、２分程度の測定時間が必要であった。これに対し、本実施形態では、示差熱電対２３の出力電圧をリアルタイムに時間微分して時間変化率を算出し、算出した時間変化率に基づいて測定対象物３０の熱伝導率を算出するので、測定時間は従来の半分以下で済み、短時間で正確な熱伝導率を測定することができる。

図５は、示差熱電対２３の出力電圧の時間変化を表したグラフである。図中、Ａで示す曲線は断熱性の悪い（熱伝導率が高い）測定対象物３０を用いて測定を行った結果、Ｂで示す曲線は断熱性の良い（熱伝導率が低い）測定対象物３０を用いて測定を行った結果を示している。コンピュータ１４は、示差熱電対２３の出力電圧値の時間変化率（傾き）を算出する。示差熱電対２３の熱伝導率（Ｘ）と、出力電圧の傾き（Ｙ）の関係は、下記の式（１）で表すことができる。

Ｙ＝ａＸ^-b …（１）
（ａ，ｂは、定数）
定数ａ，ｂは、２種類以上の熱伝導率が既知のサンプルを用いて測定を行った結果を式（１）にあてはめることにより、あらかじめ求めておくことができる。なお、定数ａ，ｂの算出に用いるサンプルは、熱伝導率が測定対象物３０の熱伝導率に概ね近い値であることが望ましい。サンプルは、できれば５種類以上用意し、それぞれについて２〜３回、熱伝導率測定装置１０において測定を行い、各サンプルについての示差熱電対２３の出力の平均値を求める。コンピュータ１４は、式（１）のＹに、示差熱電対２３の出力電圧の時間変化率（傾き）を当てはめることにより、測定対象物３０の熱伝導率を算出することができる。

また、図６は、各サンプルの熱伝導率と示差熱電対の出力の傾きを示す表であり、図７は、図６の結果をグラフに表したものである。横軸に熱伝導率、縦軸に示差熱電対の出力の傾きを取っている。図７に示すように、各サンプルの結果をプロットすると、ほぼ直線上に配置されることが分かる。具体的には、図７に示すように、ほぼＹ＝0.0392Ｘ^-0.492の関係を満たしている。したがって、この検量線の式をあらかじめ求めておき、測定対象物３０の測定結果（示差熱電対の出力の傾き）を当てはめることにより、測定対象物３０の熱伝導率を算出することができる。

コンピュータ１４は、算出した測定対象物３０の熱伝導率に基づいて、測定対象物３０の良否判定を行う（ステップＳ７）。例えば、算出された熱伝導率の値が所定の範囲に入るか否かによって合否を判定するようにしてもよい。判定結果は、コンピュータ１４のディスプレイや表示装置１２に表示するようにしてもよい。

以上のように、本実施形態によれば、コンピュータ１４は、制御装置１３から取得した示差熱電対２３の出力電圧の時間変化率を算出し、算出した時間変化率に基づいて、測定対象物３０の熱伝導率を算出するようにしたので、測定される温度差が定常状態に達するまで待つ必要がなく、短時間で正確な熱伝導率を測定することができる。

また、複数の示差熱電対を用いて複数個所の温度差を測定し、直列接続された複数の示差熱電対の出力を用いて熱伝導率を算出するようにしたので、より大きな出力電圧の値を用いて処理が行え、制御装置１３における増幅処理の際などに受けるノイズの影響を小さく抑えることができる。

なお、本実施形態では、コンピュータ１４が制御装置１３から取得した示差熱電対２３の出力電圧の時間変化率を算出し、算出した時間変化率に基づいて、測定対象物３０の熱伝導率を算出するようにしたが、例えば、示差熱電対２３の出力電圧の時間変化率の算出は、制御装置１３に実装されたソフトウェア等により行うようにしてもよい。

また、測定対象物３０の表面に凹凸形状などがある場合、ヒーター２１と測定対象物３０を密着させることができず、熱伝導率が正確に測定できない可能性がある。このため、ヒーター２１の測定対象物３０と接する表面に、測定対象物３０の凹凸形状を吸収する緩衝材を備えるようにしてもよい。具体的には、ヒーター２１の表面に、厚さ０．３〜０．６ｍｍ程度のシリコーン製等のシートを貼り付けることにより、測定対象物３０表面の凹凸形状がシートに吸収され、より正確に熱伝導率を測定することができる。

また、住宅用建材として使用される真空断熱材の場合、保護などの目的で真空断熱材が発泡材などでカバーされていることがある。このような場合、発泡材による影響でヒーター２１からの熱流が横方向に逃げ、熱流の方向（図３のＴ１からＴ２へ向かう方向）に沿った温度差の測定が正確に行えなくなる可能性がある。このため、ヒーター２１に横方向の熱流を監視し、補償するための機構を設けるようにしてもよい。具体的には、図８に示すような中心部と周縁部の温度差を測定する示差熱電堆２６を用いて測定を行うようにしてもよい。図８は、熱抵抗材２２のヒーター２１と接する面を示している。示差熱電堆２６は、熱抵抗材２２の表面の中心部の点と周縁部の点の間の温度差を測定し、温度差に基づく電圧を出力する。図８に示すように、中心部の点Ｔ３と周縁部の点Ｔ４はそれぞれ複数設けられており、各々のＴ３とＴ４の間の温度差を測定する８対の示差熱電対が直列接続されている。コンピュータ１４および制御装置１３では、直列接続された８対の示差熱電対の出力を用いて、中心部と周縁部の間での横方向の熱流分を補償し、測定対象物３０の熱伝導率を補正する。

（真空度評価装置）
本発明による熱伝導率測定装置は、測定対象物３０が真空断熱材等である場合、熱伝導率を用いて測定対象物３０の真空度を評価する真空度評価装置として用いることもできる。この場合、コンピュータ１４に、測定する真空断熱材の真空度を評価するためのパラメータ（合否判定の閾値となる熱伝導率等）を記憶しておく。コンピュータ１４は、例えば、算出した測定対象物３０の熱伝導率を閾値となる熱伝導率と比較し、測定値が閾値以下であれば合格と判定し、測定値が閾値よりも大きい場合には不合格と判定する。

このように、測定した熱伝導率を利用して測定対象物３０の真空度を評価することにより、短時間で効率よく真空度を評価することができる。

１０ 熱伝導率測定装置、１１ 測定部、１２ 表示装置、１３ 制御装置、１４ コンピュータ、２１ ヒーター、２２ 熱抵抗材、２３ 示差熱電対、２４ カバー、２５ 重り、２６ 示差熱電堆、３０ 測定対象物、１３１ 増幅器（ＡＭＰ）、１３２ Ａ／Ｄ変換器、１３３ 定電流回路、１３４ ＣＰＵ、１３５ ＵＳＢインタフェース、１３６ ＲＳ−２３２Ｃインタフェース

Claims (12)

1. 熱伝導率の測定対象物に接するように配置された熱発生源と、
   前記熱発生源に接するように配置された熱抵抗材と、
   前記熱発生源から熱が流れることによって発生する前記熱抵抗材の２点間の温度差に起因する電圧値を測定する、少なくとも１対の示差熱電対と、
   前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率を算出し、算出した前記時間変化率に基づいて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する計算装置と、を備えた熱伝導率測定装置。
2. 前記計算装置は、
   式（１）を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する、請求項１に記載の熱伝導率測定装置。
   Ｙ＝ａＸ^-b …（１）
   （但し、式（１）において、Ｘは前記測定対象物の熱伝導率、Ｙは前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率、ａ，ｂは定数。）
3. 前記式（１）における定数ａ，ｂは、２種類以上の熱伝導率が既知の材料を用いて測定を行った結果を式（１）にあてはめることにより求められた値である、請求項２に記載の熱伝導率測定装置。
4. 前記計算装置は、
   あらかじめ２種類以上の熱伝導率が既知の材料を用いて測定を行い、各材料の熱伝導率と、各材料について測定を行った際の前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率との関係から求められた直線の式を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する、請求項１に記載の熱伝導率測定装置。
5. ２つ以上の前記示差熱電対を備え、各々の示差熱電対は、それぞれ異なる２点間の温度差に起因する電圧値を測定し、各々の示差熱電対は直列接続され、
   前記計算装置は、直列接続された複数の示差熱電対の出力の時間変化率を算出し、算出した時間変化率に基づいて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する、請求項１から４のいずれか１項に記載の熱伝導率測定装置。
6. 前記熱発生源の前記測定対象物と接する表面に、前記測定対象物の凹凸形状を吸収する緩衝材を備えた、請求項１から５のいずれか１項に記載の熱伝導率測定装置。
7. 前記熱発生源からの横方向の熱流によって前記熱抵抗材内部に生じる温度差を測定する機構を備え、
   前記計算装置は、測定された横方向の温度差を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を補正する、請求項１から６のいずれか１項に記載の熱伝導率測定装置。
8. 制御装置が、熱伝導率の測定対象物と熱抵抗材に接するように配置された熱発生源から熱を発生させ、
   計算装置が、示差熱電対によって測定された、前記熱抵抗材の２点間の温度差に起因する電圧値を取得し、
   前記計算装置が、前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率を算出し、
   前記計算装置が、算出した前記時間変化率に基づいて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する、熱伝導率測定方法。
9. 前記計算装置は、
   式（１）を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する、請求項８に記載の熱伝導率測定方法。
   Ｙ＝ａＸ^-b …（１）
   （但し、式（１）において、Ｘは前記測定対象物の熱伝導率、Ｙは前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率、ａ，ｂは定数。）
10. 前記式（１）における定数ａ，ｂは、２種類以上の熱伝導率が既知の材料を用いて測定を行った結果を式（１）にあてはめることにより求められた値である、請求項９に記載の熱伝導率測定方法。
11. 前記計算装置は、
    あらかじめ２種類以上の熱伝導率が既知の材料を用いて測定を行い、各材料の熱伝導率と、各材料について測定を行った際の前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率との関係から求められた直線の式を用いて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する、請求項８に記載の熱伝導率測定方法。
12. 真空度の測定対象物に接するように配置された熱発生源と、
    前記熱発生源に接するように配置された熱抵抗材と、
    前記熱発生源から熱が流れることによって発生する前記熱抵抗材の２点間の温度差に起因する電圧値を測定する、少なくとも１対の示差熱電対と、
    前記示差熱電対の出力電圧の時間変化率を算出し、算出した前記時間変化率に基づいて、前記測定対象物の熱伝導率を算出する計算装置と、
    算出された前記熱伝導率に基づいて、前記測定対象物の真空度を評価する真空度評価部と、を備えた真空度評価装置。

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