JP2017022157A - Power semiconductor device - Google Patents

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佐藤 豊
Yutaka Sato
豊 佐藤
健一 孝井
Kenichi Takai
健一 孝井
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/39Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
    • H01L2224/40Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/401Disposition
    • H01L2224/40135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/40137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a power semiconductor device capable of bonding terminals by soldering at relatively low cost without using a heat-resistant resin to form a frame body.SOLUTION: A power semiconductor device comprises: a cooler 50; wiring patterns P1 and P2 arranged on the cooler; switching elements S1 and S2 and rectification elements D1 and D2 connected on the wiring patterns; plate-like leads L2 and L3 having terminal parts L2a and L3a and connection parts L2b and L3b, and connected with the switching elements and the rectification elements via the connection parts; and a frame body 10 that surrounds the wiring patterns, the switching elements and the rectification elements, and to which the terminal parts are fixed. The frame body is configured by at least two divided bodies 10A and 10B. Each divided body is inserted between the cooler and the plate-like lead from a lateral side of the wiring pattern.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、パワー半導体装置に関する。   The present invention relates to a power semiconductor device.

例えば、ハイブリッド車や電気自動車等の車両に搭載されるパワー半導体装置として、半導体素子と配線パターンとをワイヤで接続し、この配線パターンと端子(例えば、直流正極側端子、或いは直流負極側端子)とを超音波接合させた半導体装置が提案されている(例えば特許文献1等)。   For example, as a power semiconductor device mounted on a vehicle such as a hybrid vehicle or an electric vehicle, a semiconductor element and a wiring pattern are connected by a wire, and the wiring pattern and a terminal (for example, a DC positive terminal or a DC negative terminal) Has been proposed (for example, Patent Document 1).

特開2013−89784号公報JP 2013-89784 A

従来のパワー半導体装置は、冷却器上に半導体素子、配線パターン等から成る半導体モジュールを設け、この半導体モジュールを樹脂製の枠体で囲繞し、枠体内に絶縁性の樹脂を充填していた。   In the conventional power semiconductor device, a semiconductor module including a semiconductor element, a wiring pattern, and the like is provided on a cooler, the semiconductor module is surrounded by a resin frame, and the frame is filled with an insulating resin.

ところが、半導体モジュールの各構成部材の接合を超音波接合に代えてハンダ付けによって行う場合には、ハンダを溶融する際に、枠体が高温環境下に晒されることになる。   However, when joining the constituent members of the semiconductor module by soldering instead of ultrasonic joining, the frame is exposed to a high temperature environment when the solder is melted.

即ち、各構成部材の接合を超音波接合で行う場合には、冷却器上に枠体を設置した後に接合工程を行うことができた。しかし、冷却器上に枠体を設置した後に、各構成部材の接合を加熱炉によって一括してハンダ付けを行う場合には、必然的に枠体自体もハンダ溶融温度まで加熱されることになる。   That is, when joining each structural member by ultrasonic joining, the joining process could be performed after installing the frame on the cooler. However, after the frame is installed on the cooler, when the soldering of the constituent members is performed collectively by a heating furnace, the frame itself is inevitably heated to the solder melting temperature. .

そのため、枠体が高温の熱で損傷しないように耐熱性樹脂で形成するなどの措置が必要となり、コストが嵩むという問題があった。   Therefore, measures such as forming the frame body with a heat-resistant resin so that the frame body is not damaged by high-temperature heat are necessary, and there is a problem that costs increase.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものである。   The present invention has been made in view of the above problems.

上記目的を達成するため、本発明に係るパワー半導体装置は、冷却器と、前記冷却器上に配置された配線パターンと、前記配線パターン上において接続されたスイッチング素子および整流素子と、端子部および接続部を有し、前記接続部を介して前記スイッチング素子および前記整流素子と接続された板状リードと、前記配線パターン、前記スイッチング素子および前記整流素子を囲繞し、前記端子部が固定される枠体と、を備え、前記枠体は、少なくとも2つの分割体から構成され、前記各分割体は、前記冷却器と前記板状リードの間に前記配線パターンの側方から挿入されていることを要旨とする。   To achieve the above object, a power semiconductor device according to the present invention includes a cooler, a wiring pattern disposed on the cooler, a switching element and a rectifying element connected on the wiring pattern, a terminal unit, and A plate-like lead connected to the switching element and the rectifying element via the connecting part; the wiring pattern; the switching element and the rectifying element are surrounded; and the terminal part is fixed A frame body, and the frame body includes at least two divided bodies, and each of the divided bodies is inserted between the cooler and the plate-like lead from the side of the wiring pattern. Is the gist.

本発明に係るパワー半導体装置によれば、配線パターンとスイッチング素子、整流素子および接続部を高温環境下でハンダ付けした後に、枠体を取り付けることができるので、枠体を耐熱性樹脂で形成することなく低コスト化を図ることができる。   According to the power semiconductor device of the present invention, since the frame body can be attached after the wiring pattern, the switching element, the rectifying element, and the connection portion are soldered in a high temperature environment, the frame body is formed of a heat resistant resin. Therefore, cost reduction can be achieved.

実施の形態に係るパワー半導体装置の組立中の構成例を示す分解側面図である。It is a disassembled side view which shows the structural example during the assembly of the power semiconductor device which concerns on embodiment. 実施の形態に係るパワー半導体装置の組立中の構成例を示す分解平面図である。It is an exploded plan view showing a configuration example during assembly of the power semiconductor device according to the embodiment. 実施の形態に係るパワー半導体装置の組立後の構成例を示す側面図である。It is a side view which shows the structural example after the assembly of the power semiconductor device which concerns on embodiment. 実施の形態に係るパワー半導体装置の組立後の構成例を示す平面図である。It is a top view which shows the structural example after the assembly of the power semiconductor device which concerns on embodiment. 実施の形態に係るパワー半導体装置の回路構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit structural example of the power semiconductor device which concerns on embodiment.

以下、本発明の一例としての実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。ここで、添付図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。なお、ここでの説明は本発明が実施される最良の形態であることから、本発明は当該形態に限定されるものではない。   Hereinafter, an embodiment as an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Here, in the accompanying drawings, the same reference numerals are given to the same members, and duplicate descriptions are omitted. In addition, since description here is the best form by which this invention is implemented, this invention is not limited to the said form.

[実施の形態に係るパワー半導体装置]
(構成例)
図1〜図5を参照して、実施の形態に係るパワー半導体装置Mの構成例について説明する。
[Power Semiconductor Device According to Embodiment]
(Configuration example)
A configuration example of the power semiconductor device M according to the embodiment will be described with reference to FIGS.

ここで、図1は、実施の形態に係るパワー半導体装置Mの組立中の構成例を示す分解側面図、図2はその分解平面図である。なお、図1および図2において、符号500は、枠体10を取付ける前の半導体モジュールの構造物を示す。   Here, FIG. 1 is an exploded side view showing a configuration example of the power semiconductor device M according to the embodiment during assembly, and FIG. 2 is an exploded plan view thereof. 1 and 2, reference numeral 500 indicates the structure of the semiconductor module before the frame 10 is attached.

図3は、実施の形態に係るパワー半導体装置Mの組立後の構成例を示す側面図、図4はその平面図である。また、図5は、実施の形態に係るパワー半導体装置Mの回路構成例を示す回路図である。   FIG. 3 is a side view showing a configuration example of the power semiconductor device M according to the embodiment after assembly, and FIG. 4 is a plan view thereof. FIG. 5 is a circuit diagram showing a circuit configuration example of the power semiconductor device M according to the embodiment.

図3等に示すように、インバータ装置としてのパワー半導体装置Mは、主に、冷却器50と、この冷却器50上に設けられる半導体モジュールの構造物500と、冷却器50上にあって半導体モジュールの構造物500を囲繞する壁部51と、壁部51を囲繞する枠体10と、壁部51内に充填される絶縁性の樹脂200とから構成されている。   As shown in FIG. 3 and the like, a power semiconductor device M as an inverter device mainly includes a cooler 50, a semiconductor module structure 500 provided on the cooler 50, and a semiconductor on the cooler 50. It is comprised from the wall part 51 which surrounds the module structure 500, the frame 10 which surrounds the wall part 51, and the insulating resin 200 with which the wall part 51 is filled.

冷却器50は、例えば、銅やアルミニウム等の押出し成形により形成される。なお、図示は省略するが、冷却器50には冷却水等の冷媒を流通させる流路を形成したり、空冷用のフィン等を設けてもよい。   The cooler 50 is formed by, for example, extrusion molding of copper or aluminum. Although not shown, the cooler 50 may be formed with a flow path for circulating a coolant such as cooling water, or may be provided with fins for air cooling.

半導体モジュールの構造物500は、IGBT等で構成されるスイッチング素子S1,S2と、ダイオードで構成される整流素子D1,D2とがそれぞれに接続される金属層(例えば、Cu層等)で構成される第1配線パターンP1および第2配線パターンP2と、第1配線パターンP1に接続される銅板等から成る第1板状リードL1と、第1配線パターンP1上に配置されたスイッチング素子S1および整流素子D1の上部端子に接続される銅板等から成る第2板状リードL2と、第2配線パターンP2上に配置されたスイッチング素子S2および整流素子D2の上部端子に接続される銅板等から成る第3板状リードL3等から構成される。   The semiconductor module structure 500 is composed of a metal layer (for example, a Cu layer or the like) to which switching elements S1, S2 made of IGBT or the like and rectifier elements D1, D2 made of a diode are connected to each other. The first wiring pattern P1 and the second wiring pattern P2, the first plate-like lead L1 made of a copper plate or the like connected to the first wiring pattern P1, the switching element S1 arranged on the first wiring pattern P1, and the rectification A second plate-like lead L2 made of a copper plate or the like connected to the upper terminal of the element D1, and a copper plate or the like made of a switching element S2 arranged on the second wiring pattern P2 and the upper terminal of the rectifying element D2 etc. It is composed of three plate leads L3 and the like.

壁部51は、冷却器50上に起立され、半導体モジュールの構造物500を繋ぎ目なく囲繞するように形成される。これにより、壁部51内に充填されたシリコン樹脂やエポキシ樹脂等からなる絶縁性の樹脂が漏れ出さないように保持することができる。   The wall 51 is erected on the cooler 50 and is formed so as to seamlessly surround the semiconductor module structure 500. Thereby, it can hold | maintain so that the insulating resin which consists of a silicon resin, an epoxy resin, etc. with which the wall part 51 was filled may not leak.

なお、壁部51は、銅やアルミニウムから成る冷却器50と一体的に構成してもよいし、或いは金属製の別部材として構成し、冷却器50上にロウ付けして設けるようにしてもよい。   The wall portion 51 may be configured integrally with the cooler 50 made of copper or aluminum, or may be configured as a separate metal member and brazed on the cooler 50. Good.

枠体10は、例えばPBT(ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂で成形される2つの分割体10A、10Bから構成され、図1および図2に示すように、各分割体10A、10Bは配線パターン(第1配線パターンP1および第2配線パターンP2)の側方からA1、A2方向に挿入されて係合されるように構成されている。   The frame 10 is composed of, for example, two divided bodies 10A and 10B formed of a resin such as PBT (polybutylene terephthalate). As shown in FIG. 1 and FIG. The first wiring pattern P1 and the second wiring pattern P2) are configured to be inserted and engaged in the A1 and A2 directions from the side.

なお、枠体10は、2つの分割体10A、10Bで構成する場合に限定されず、3つ以上の分割体で構成されるようにしてもよい。   In addition, the frame 10 is not limited to the case where the frame 10 is configured by two divided bodies 10A and 10B, and may be configured by three or more divided bodies.

また、図示は省略するが、分割体10Aには、温度センサや電流センサ等に接続される端子160a、160bがインサート成形され、図2等に示すように、分割体10Aから露出されている。   Although not shown, terminals 160a and 160b connected to the temperature sensor, current sensor, and the like are insert-molded in the divided body 10A and exposed from the divided body 10A as shown in FIG.

また、枠体10の各分割体10A、10Bは、壁部51の上端51a、51bに係止される係止部30を備えている。   Further, each of the divided bodies 10 </ b> A and 10 </ b> B of the frame body 10 includes a locking portion 30 that is locked to the upper ends 51 a and 51 b of the wall portion 51.

図1等に示す構成例では、係止部30は、弾性アーム部31aと、この弾性アーム部31aの先端の下方側に形成される突起部31bを有している。   In the configuration example shown in FIG. 1 and the like, the locking portion 30 has an elastic arm portion 31a and a protruding portion 31b formed on the lower side of the distal end of the elastic arm portion 31a.

突起部31bの分割体10A、10B側には係止面31cが形成され、分割体10A、10Bの内壁と係止面31cとの間隔は、壁部51の幅と一致するように形成されている。 これにより、係止部30が壁部51の上端51a、51bに係止された際に、壁部51の外壁と分割体10A、10Bの内壁が密着した状態で、分割体10A、10Bが壁部51に固定される(図3参照)。   A locking surface 31 c is formed on the divided body 10 </ b> A, 10 </ b> B side of the protruding portion 31 b, and the interval between the inner wall of the divided body 10 </ b> A, 10 </ b> B and the locking surface 31 c is formed to match the width of the wall portion 51. Yes. Thereby, when the locking part 30 is locked to the upper ends 51a and 51b of the wall part 51, the divided bodies 10A and 10B are in a state where the outer wall of the wall part 51 and the inner walls of the divided bodies 10A and 10B are in close contact with each other. It fixes to the part 51 (refer FIG. 3).

また、枠体10は、板状リードL1〜L3が有する端子部L1a〜L3aの直下に螺合部を有している。図2等に示すように、本実施の形態では、螺合部は、各分割体10A、10Bの上面側に形成されたナット保持部15a〜15cにナット60a〜60cが載置されている。なお、ナット60a〜60cは、分割体10A、10Bの上端部にインサート成形されるようにしてもよい。   Moreover, the frame 10 has a screwing part just under the terminal parts L1a-L3a which plate-like lead L1-L3 has. As shown in FIG. 2 etc., in this Embodiment, as for the screwing part, nut 60a-60c is mounted in the nut holding | maintenance part 15a-15c formed in the upper surface side of each division body 10A, 10B. The nuts 60a to 60c may be insert-molded at the upper ends of the divided bodies 10A and 10B.

なお、上述の係止部30は、螺合部(ナット60a〜60c)の上端よりも低い位置に形成されている。   In addition, the above-mentioned latching | locking part 30 is formed in the position lower than the upper end of a screwing part (nut 60a-60c).

これにより、係止部30を壁部51に固定する際に、係止部30の係止動作(弾性変形等)で板状リードL1〜L3等に応力が及んで変形等する事態を回避することができる。   Thereby, when fixing the latching | locking part 30 to the wall part 51, the situation which a plate | board-like lead L1-L3 etc. stresses and deform | transforms by the latching operation (elastic deformation etc.) of the latching | locking part 30 is avoided. be able to.

また、図3に示すように、係止部30と板状リードL1および板状リードL2との間には、クリアランスC1が形成されるようになっている。   Further, as shown in FIG. 3, a clearance C1 is formed between the engaging portion 30 and the plate-like lead L1 and the plate-like lead L2.

これにより、共に金属で形成される壁部51、冷却器50と板状リードL1、L2が短絡する事態を防止することができる。また、クリアランスC1を設けることにより、係止部30を壁部51の上端51a、51bに係止させる際に、弾性アーム部31aの上方への弾性変形が妨げられないようにできる。   Thereby, the situation where the wall part 51, the cooler 50, and the plate-like leads L1 and L2, both of which are made of metal, are short-circuited can be prevented. Further, by providing the clearance C1, when the locking portion 30 is locked to the upper ends 51a and 51b of the wall portion 51, it is possible to prevent the elastic deformation of the elastic arm portion 31a from being hindered.

ここで、配線パターンP1、P2や板状リードL1〜L3の詳細な構成について、図2等を参照して説明する。   Here, detailed configurations of the wiring patterns P1 and P2 and the plate-like leads L1 to L3 will be described with reference to FIG.

第1配線パターンP1に接続された第1板状リードL1に形成される正極端子L1aと、第2配線パターンP2上のスイッチング素子S2および整流素子D2と接続された第3板状リードL3に形成される負極端子L3aとは、枠体10の一辺側に配置されている。   Formed on the positive terminal L1a formed on the first plate-like lead L1 connected to the first wiring pattern P1, and on the third plate-like lead L3 connected to the switching element S2 and the rectifying element D2 on the second wiring pattern P2. The negative electrode terminal L3a is disposed on one side of the frame 10.

また、第2板状リードL2に形成され、第1配線パターンP1上のスイッチング素子S1、第1配線パターンP1上の整流素子D1および第2配線パターンP2と接続される交流端子L2aが枠体10の他辺側に配置されている。   An AC terminal L2a formed on the second plate-like lead L2 and connected to the switching element S1 on the first wiring pattern P1, the rectifying element D1 on the first wiring pattern P1, and the second wiring pattern P2 includes the frame body 10. It is arranged on the other side.

また、壁部51内において、第1配線パターンP1と第2配線パターンP2とは、所定のクリアランスC2を挟んで近接配置されている。   Further, in the wall portion 51, the first wiring pattern P1 and the second wiring pattern P2 are arranged close to each other with a predetermined clearance C2 interposed therebetween.

なお、正極端子L1a、交流端子L2a、負極端子L3aには、枠体10に固定するためのボルト孔20a、20b、20cが穿設されている。   In addition, bolt holes 20a, 20b, and 20c for fixing to the frame body 10 are formed in the positive terminal L1a, the AC terminal L2a, and the negative terminal L3a.

図1等に示すように、冷却器50上には、ハンダ等の接合層71を介して、絶縁層73の一面(図上は下面)に形成される金属の接合パターン72が接合されている。   As shown in FIG. 1 and the like, a metal bonding pattern 72 formed on one surface (the lower surface in the drawing) of the insulating layer 73 is bonded onto the cooler 50 via a bonding layer 71 such as solder. .

絶縁層73の他面(図上は上面)には、第1配線パターンP1が形成されている。   A first wiring pattern P <b> 1 is formed on the other surface (the upper surface in the drawing) of the insulating layer 73.

第1配線パターンP1上には、整流素子D1とスイッチング素子S1がハンダ層D1a、S1aを介して接合されている。   On the first wiring pattern P1, a rectifying element D1 and a switching element S1 are joined via solder layers D1a and S1a.

第1板状リードL1は、銅板等を折曲げ加工して形成され、平板状の接続部L1bと、起立部L1cと、端子部(正極端子)L1aとを有している。   The first plate-like lead L1 is formed by bending a copper plate or the like, and has a flat plate-like connection portion L1b, an upright portion L1c, and a terminal portion (positive electrode terminal) L1a.

第1板状リードL1は、接続部L1bがハンダ等から成る接合層75を介して第1配線パターンP1に接合されている。この状態において、端子部(正極端子)L1aは、ナット60aと当接する位置に保持され、図示しないボルトにより固定される。   The first plate-like lead L1 is joined to the first wiring pattern P1 through a joining layer 75 having a connecting portion L1b made of solder or the like. In this state, the terminal portion (positive electrode terminal) L1a is held at a position where it abuts on the nut 60a and is fixed by a bolt (not shown).

第2板状リードL2は、銅板等を折曲げ加工して形成され、平板状の接続部L2bと、起立部L2cと、端子部(交流端子)L2aとを有している。   The second plate-like lead L2 is formed by bending a copper plate or the like, and has a flat plate-like connection portion L2b, an upright portion L2c, and a terminal portion (AC terminal) L2a.

第2板状リードL2は、接続部L2bがハンダ等から成る接合層を介して第1配線パターンP1上に配置されたスイッチング素子S1および整流素子D1の上部端子S1b、D1bに接合されている。なお、スイッチング素子S1および整流素子D1は、下部端子S1a、D1aを介して第1配線パターンP1上に接合されている
また、第2板状リードL2の接続部L2dは、ハンダ等から成る接合層74を介して第2配線パターンP2に接合されている。
The second plate-like lead L2 is joined to the switching element S1 and the upper terminals S1b and D1b of the rectifying element D1 disposed on the first wiring pattern P1 through the joining layer of the connecting portion L2b made of solder or the like. The switching element S1 and the rectifying element D1 are joined to the first wiring pattern P1 via the lower terminals S1a and D1a. The connection portion L2d of the second plate-like lead L2 is a joining layer made of solder or the like. It is joined to the second wiring pattern P2 via 74.

この状態において、端子部(交流端子)L2aは、ナット60bと当接する位置に保持され、図示しないボルトにより固定される。   In this state, the terminal portion (AC terminal) L2a is held at a position in contact with the nut 60b and is fixed by a bolt (not shown).

なお、図1に現れない第3板状リードL3等も同様にして構成される。   The third plate lead L3 and the like that do not appear in FIG.

また、図3に示す構成例では、絶縁性の樹脂200は、壁部51の高さの上限まで充填されている。   In the configuration example shown in FIG. 3, the insulating resin 200 is filled up to the upper limit of the height of the wall 51.

なお、本実施の形態に係るパワー半導体装置Mを三相モータ等の駆動に用いる場合には、各相毎に対応させてパワー半導体装置Mを並設するようにできる。   When the power semiconductor device M according to the present embodiment is used for driving a three-phase motor or the like, the power semiconductor devices M can be arranged in parallel for each phase.

この場合には、壁部51は、並設されたパワー半導体装置Mの全体を囲繞するように形成される。また、枠体10は、壁部51の全体を囲繞するように構成される。   In this case, the wall 51 is formed so as to surround the entire power semiconductor device M arranged in parallel. Further, the frame body 10 is configured to surround the entire wall portion 51.

また、図4に示すように、枠体10内の第2配線パターンP2側には、基板用端子台80が設けられている。   Further, as shown in FIG. 4, a board terminal block 80 is provided on the second wiring pattern P <b> 2 side in the frame body 10.

この基板用端子台80には、端子160c、160dがインサート成形されている。   Terminals 160c and 160d are insert-molded on the board terminal block 80.

そして、図4に示すように、分割体10Aから露出している端子160a、160bには、スイッチング素子S1の端子90a、第1配線パターンP1が、ワイヤ70a、70bを介して接続されている。   As shown in FIG. 4, the terminal 90a and the first wiring pattern P1 of the switching element S1 are connected to the terminals 160a and 160b exposed from the divided body 10A via wires 70a and 70b.

また、図4に示すように、基板用端子台80から露出している端子160c、160dには、スイッチング素子S2の端子90b、第2配線パターンP2が、ワイヤ70c、70dを介して接続されている。   Further, as shown in FIG. 4, the terminals 160c and 160d exposed from the board terminal block 80 are connected to the terminals 90b of the switching element S2 and the second wiring pattern P2 through the wires 70c and 70d. Yes.

このような構成のパワー半導体装置Mによれば、配線パターンP1、P2とスイッチング素子S1、S2、整流素子D1、D2および接続部L1b〜L3bを高温環境下でハンダ付けした後に、枠体10(分割体10A、10B)を取り付けることができるので、枠体10(分割体10A、10B)を耐熱性樹脂で形成する必要がなく、低コスト化を図ることができる。   According to the power semiconductor device M having such a configuration, after the wiring patterns P1 and P2, the switching elements S1 and S2, the rectifying elements D1 and D2, and the connection portions L1b to L3b are soldered in a high temperature environment, the frame body 10 ( Since the divided bodies 10A and 10B) can be attached, it is not necessary to form the frame body 10 (divided bodies 10A and 10B) with a heat-resistant resin, and the cost can be reduced.

なお、壁部51は、冷却器50と同様に銅やアルミニウム等の金属で構成されているので、壁部51を設けた状態で配線パターンP1、P2とスイッチング素子S1、S2、整流素子D1、D2および接続部L1b〜L3bのハンダ付けを行うことができる。   The wall 51 is made of a metal such as copper or aluminum, like the cooler 50, so that the wiring patterns P1, P2, switching elements S1, S2, rectifier D1, D2 and the connecting portions L1b to L3b can be soldered.

(製造工程)
図1および図2等を参照して、本実施の形態に係るパワー半導体装置Mの製造工程について説明する。
(Manufacturing process)
A manufacturing process of the power semiconductor device M according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.

なお、説明の簡易化のため、冷却器50上には図1および図2に示すような半導体モジュールの構造物500が作製されているものとする。   For simplicity of explanation, it is assumed that a structure 500 of a semiconductor module as shown in FIGS. 1 and 2 is formed on the cooler 50.

そして、半導体モジュールの構造物500は、各部材間のハンダ接合を行うために、ハンダの溶融温度まで加熱可能な炉等により加熱後、冷却される。これにより、各部材間のハンダ接合が完了する。   Then, the semiconductor module structure 500 is cooled after being heated in a furnace or the like that can be heated to the melting temperature of the solder in order to perform solder bonding between the members. Thereby, solder joining between each member is completed.

なお、このようなハンダ接合を行う状態において、枠体10を構成する分割体10A、10Bは未だ組み付けられていないので、枠体10自体が高温環境下に晒されることは無い。したがって、枠体10を構成する分割体10A、10Bは、耐熱性樹脂で形成する必要が無く、比較的安価な樹脂(例えば、PBT(ポリブチレンテレフタレート)等)で形成することができ、パワー半導体装置M全体の低コスト化を図ることができる。   In addition, in the state which performs such solder joining, since the division bodies 10A and 10B which comprise the frame 10 are not assembled | attached yet, the frame 10 itself is not exposed to a high temperature environment. Therefore, the divided bodies 10A and 10B constituting the frame body 10 do not need to be formed of a heat-resistant resin, and can be formed of a relatively inexpensive resin (for example, PBT (polybutylene terephthalate)). The cost of the entire apparatus M can be reduced.

次いで、図1および図2に示すように、半導体モジュールの構造物500に対して、A1方向およびA2方向から枠体10を構成する分割体10A、10Bを挿入して係合させる。   Next, as shown in FIGS. 1 and 2, the divided bodies 10 </ b> A and 10 </ b> B constituting the frame body 10 are inserted and engaged with the semiconductor module structure 500 from the A1 direction and the A2 direction.

この際に、係止部30の突起部31bの下面に形成されたテーパ面31dが壁部51の上端51a、51bに当接されると、突起部31bが押圧されて弾性アーム部31aが上方に弾性変形する。そして、突起部31bが壁部51の上端51a、51bを乗り越えた時点で弾性アーム部31aが弾性復帰して突起部31bの係止面31cと壁部51の上端51a、51bとが係合される。これにより、各分割体10A、10Bが壁部51に係止され、壁部51の外壁と分割体10A、10Bの内壁が密着した状態で、分割体10A、10Bが壁部51に固定される。この際に、板状リードL1、L2、L3と壁部51との間に係止部30が介在することで、両者が絶縁される。   At this time, when the tapered surface 31d formed on the lower surface of the protrusion 31b of the locking portion 30 comes into contact with the upper ends 51a and 51b of the wall 51, the protrusion 31b is pressed and the elastic arm 31a is moved upward. It is elastically deformed. When the protruding portion 31b gets over the upper ends 51a and 51b of the wall portion 51, the elastic arm portion 31a is elastically restored and the locking surface 31c of the protruding portion 31b and the upper ends 51a and 51b of the wall portion 51 are engaged. The Thereby, each division body 10A, 10B is latched by the wall part 51, and the division bodies 10A, 10B are fixed to the wall part 51 in the state which the outer wall of the wall part 51 and the inner wall of division body 10A, 10B closely_contact | adhered. . At this time, the latching portion 30 is interposed between the plate-like leads L1, L2, L3 and the wall portion 51, so that both are insulated.

その後、板状リードL1、L2、L3は、各端子部L1a、L2a、L3aに、図示しないボルトが挿入され、ナット60a〜60cに螺合されて枠体10に固定される。   Thereafter, the plate-like leads L1, L2, L3 are fixed to the frame body 10 by inserting bolts (not shown) into the respective terminal portions L1a, L2a, L3a, screwed into the nuts 60a-60c.

次いで、図4に示すような基板用端子台80を枠体10内の第2配線パターンP2側に取付ける。   Next, the board terminal block 80 as shown in FIG. 4 is attached to the second wiring pattern P <b> 2 side in the frame body 10.

続いて、分割体10Aから露出している端子160a、160bとスイッチング素子S1の端子90a、第1配線パターンP1との間を超音波接合によりワイヤ70a、70bを介して接続する。   Subsequently, the terminals 160a and 160b exposed from the divided body 10A, the terminal 90a of the switching element S1, and the first wiring pattern P1 are connected via wires 70a and 70b by ultrasonic bonding.

同様にして、基板用端子台80から露出している端子160c、160dとスイッチング素子S2の端子90b、第2配線パターンP2との間をワイヤ70c、70dを介して接続する。   Similarly, the terminals 160c and 160d exposed from the board terminal block 80 are connected to the terminals 90b and the second wiring pattern P2 of the switching element S2 through wires 70c and 70d.

次に、壁部51内に、エポキシ樹脂等の絶縁性の樹脂200を充填する。なお、樹脂200は、図3に示す構成例のように、壁部51の高さを上限として充填するとよい。   Next, the wall portion 51 is filled with an insulating resin 200 such as an epoxy resin. In addition, the resin 200 is good to fill with the height of the wall part 51 as an upper limit like the structural example shown in FIG.

なお、樹脂200を充填する際に、壁部51は、樹脂200の漏出を防止するシールとして機能するので、分割体10A、10Bの係合部から樹脂漏れを生じる事態が防止される。   In addition, since the wall part 51 functions as a seal | sticker which prevents the leakage of the resin 200 when filling with the resin 200, the situation which causes a resin leak from the engaging part of the division bodies 10A and 10B is prevented.

このような工程により、図3に示すようなパワー半導体装置Mが作製される。   Through such steps, the power semiconductor device M as shown in FIG. 3 is manufactured.

以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本明細書で開示された実施の形態はすべての点で例示であって開示された技術に限定されるものではないと考えるべきである。すなわち、本発明の技術的な範囲は、前記の実施の形態における説明に基づいて制限的に解釈されるものでなく、あくまでも特許請求の範囲の記載にしたがって解釈すべきであり、特許請求の範囲の記載技術と均等な技術および特許請求の範囲内でのすべての変更が含まれる。   Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and are not limited to the disclosed technology. Should not be considered. That is, the technical scope of the present invention should not be construed restrictively based on the description in the above embodiment, but should be construed according to the description of the scope of claims. All the modifications within the scope of the claims and the equivalent technique to the described technique are included.

例えば、配線パターンP1、P2とスイッチング素子S1、S2、整流素子D1、D2および接続部L1b〜L3bの接合をハンダ材を用いたハンダ付けに代えて、導電性の焼結材を用いて接合するようにしてもよい。   For example, the wiring patterns P1 and P2, the switching elements S1 and S2, the rectifying elements D1 and D2, and the connection portions L1b to L3b are joined using a conductive sintered material instead of soldering using a solder material. You may do it.

M…パワー半導体装置
10…枠体
10A、10B…分割体
15a〜15c…ナット保持部
20a〜20c…ボルト孔
30…係止部
31a…弾性アーム部
31b…突起部
31c…係止面
31d…テーパ面
50…冷却器
51…壁部
60a〜60b…ナット(螺合部)
70a〜70d…ワイヤ
71…接合層
72…接合パターン
73…絶縁層
74、75…接合層
200…樹脂
500…半導体モジュールの構造物
L1c、L2c、L3c…起立部
C1、C2…クリアランス
D1、D2…整流素子
L1…第1板状リード
L2…第2板状リード
L3…第3板状リード
L1b、L2b、L2d、L3b…接続部
L1a…正極端子(端子部)
L2a…交流端子(端子部)
L3a…負極端子(端子部)
S1、S2…スイッチング素子
P1…第1配線パターン
P2…第2配線パターン
M ... Power semiconductor device 10 ... Frame body 10A, 10B ... Divided body 15a-15c ... Nut holding part 20a-20c ... Bolt hole 30 ... Locking part 31a ... Elastic arm part 31b ... Projection part 31c ... Locking surface 31d ... Taper Surface 50 ... Cooler 51 ... Wall portion 60a-60b ... Nut (screwed portion)
70a to 70d ... wire 71 ... bonding layer 72 ... bonding pattern 73 ... insulating layer 74, 75 ... bonding layer 200 ... resin 500 ... semiconductor module structure L1c, L2c, L3c ... upright portion C1, C2 ... clearance D1, D2 ... Rectification element L1 ... 1st plate-like lead L2 ... 2nd plate-like lead L3 ... 3rd plate-like lead L1b, L2b, L2d, L3b ... Connection part L1a ... Positive electrode terminal (terminal part)
L2a ... AC terminal (terminal part)
L3a ... Negative electrode terminal (terminal part)
S1, S2 ... switching element P1 ... first wiring pattern P2 ... second wiring pattern

Claims (5)

冷却器(50)と、
前記冷却器上に配置された配線パターン(P1、P2)と、
前記配線パターン上において接続されたスイッチング素子(S1、S2)および整流素子(D1、D2)と、
端子部(L2a、L3a)および接続部(L2b、L3b)を有し、前記接続部を介して前記スイッチング素子および前記整流素子と接続された板状リード(L2、L3)と、
前記配線パターン、前記スイッチング素子および前記整流素子を囲繞し、前記端子部が固定される枠体(10)と、
を備え、
前記枠体は、少なくとも2つの分割体(10A、10B)から構成され、
前記各分割体は、前記冷却器と前記板状リードの間に前記配線パターンの側方から挿入されていることを特徴とするパワー半導体装置。
A cooler (50);
Wiring patterns (P1, P2) disposed on the cooler;
Switching elements (S1, S2) and rectifier elements (D1, D2) connected on the wiring pattern;
Plate-shaped leads (L2, L3) having terminal portions (L2a, L3a) and connecting portions (L2b, L3b) and connected to the switching elements and the rectifying elements via the connecting portions;
A frame (10) that surrounds the wiring pattern, the switching element and the rectifying element and to which the terminal portion is fixed;
With
The frame is composed of at least two divided bodies (10A, 10B),
Each of the divided bodies is inserted from the side of the wiring pattern between the cooler and the plate-like lead.
前記枠体の内側に、前記配線パターン、前記スイッチング素子および前記整流素子を囲繞するように前記冷却器上に起立される壁部(51)をさらに備え、
前記壁部内に樹脂(200)が充填されていることを特徴とする請求項1に記載のパワー半導体装置。
The wall further includes a wall (51) standing on the cooler so as to surround the wiring pattern, the switching element, and the rectifying element inside the frame,
The power semiconductor device according to claim 1, wherein the wall portion is filled with resin (200).
前記枠体の前記各分割体は、前記壁部の上端に係止される係止部(30)を有することを特徴とする請求項2に記載のパワー半導体装置。   3. The power semiconductor device according to claim 2, wherein each of the divided bodies of the frame body has a locking portion (30) locked to an upper end of the wall portion. 前記係止部は、弾性アーム部(31a)と、該弾性アーム部の先端の下方側に形成される突起部(31b)を有し、前記突起部の下面にはテーパ面(31d)が形成されていることを特徴とする請求項3に記載のパワー半導体装置。   The locking portion has an elastic arm portion (31a) and a protruding portion (31b) formed below the tip of the elastic arm portion, and a tapered surface (31d) is formed on the lower surface of the protruding portion. The power semiconductor device according to claim 3, wherein the power semiconductor device is provided. 前記枠体は、前記板状リードが有する前記端子部の直下に螺合部(ナット60a〜60c)を有し、
前記係止部は、前記螺合部の上端よりも低い位置に形成されていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のパワー半導体装置。
The frame body has a threaded portion (nuts 60a to 60c) immediately below the terminal portion of the plate-like lead.
5. The power semiconductor device according to claim 3, wherein the locking portion is formed at a position lower than an upper end of the screwing portion.
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