JP2017021004A - Surface pressure sensor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface pressure sensor that can detect eccentric loads in an environment where the temperature is variable.SOLUTION: The surface pressure sensor of the present embodiment comprises a base plate, three or more first resistors which are concentrically arranged on the surface of the base plate and whose electrical resistances change with load, second resistors which are concentrically arranged, each matched with one or another of the first resistors, and compensate for electric change of resistances of the first resistors due to temperature change, a pressure receiving part receiving load added from outside, and a transmitting part that transmits the load received on the pressure receiving part to the first resistors. The second resistors are provided in portions other than a portion where the base plate and the transmitting part come into contact with each other.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、面圧センサに関する。   The present invention relates to a surface pressure sensor.

従来、荷重を受ける受圧ブロックと荷重に応じて抵抗が変化する感圧ゲージとの間に受圧ブロックよりも小さい面積を有する台部を設け、受圧ブロックが受ける荷重を、台部を介して感圧ゲージに伝達する面圧センサが知られている。（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, a base having a smaller area than the pressure-receiving block is provided between the pressure-receiving block that receives the load and the pressure-sensitive gauge whose resistance changes according to the load, and the load received by the pressure-receiving block is pressure-sensitive through the base. A surface pressure sensor that transmits to a gauge is known. (For example, refer to Patent Document 1).

また従来、絶縁基板の表面の全周にわたって複数の歪抵抗素子が設けられた歪検出装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。   Conventionally, a strain detection apparatus in which a plurality of strain resistance elements are provided over the entire circumference of the surface of an insulating substrate is known (for example, see Patent Document 2).

特開２００３−０８３８２０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-083820 特開２０１０−１０１６７８号公報JP 2010-101678 A

しかしながら、上記の技術では、面圧センサ又は歪検出装置の中心に作用する荷重と、中心から偏心した位置に作用する荷重（偏心荷重）とを判別することができない。また、複数の抵抗体のそれぞれに対応させて温度補償を行うための抵抗体を配置することが困難であるため、温度変化がある環境下において、検出精度が低下してしまうことがある。   However, the above technique cannot distinguish between a load acting on the center of the surface pressure sensor or the strain detection device and a load acting on a position eccentric from the center (eccentric load). In addition, since it is difficult to dispose a resistor for performing temperature compensation corresponding to each of the plurality of resistors, the detection accuracy may be lowered in an environment where there is a temperature change.

そこで、上記課題に鑑み、温度変化がある環境において偏心荷重を検出することが可能な面圧センサを提供することを目的とする。   Then, in view of the said subject, it aims at providing the surface pressure sensor which can detect an eccentric load in an environment with a temperature change.

上記目的を達成するため、一実施形態において、面圧センサは、
基板と、
前記基板の表面に同心円状に３つ以上設けられ、荷重に応じて電気抵抗が変化する第１の抵抗体と、
前記第１の抵抗体のそれぞれに対応して同心円状に配置され、前記第１の抵抗体の温度の変化による電気抵抗の変化を補償する第２の抵抗体と、
外部から加わる荷重を受ける受圧部と、
前記受圧部が受けた荷重を前記第１の抵抗体に伝達する伝達部と、
を有し、
前記第２の抵抗体は、前記基板と前記伝達部とが接触する部分以外に設けられている。 In order to achieve the above object, in one embodiment, the surface pressure sensor comprises:
A substrate,
Three or more concentrically provided on the surface of the substrate, a first resistor whose electrical resistance changes according to the load,
A second resistor disposed concentrically corresponding to each of the first resistors and compensating for a change in electrical resistance due to a change in temperature of the first resistor;
A pressure receiving portion that receives a load applied from the outside;
A transmission portion for transmitting the load received by the pressure receiving portion to the first resistor;
Have
The second resistor is provided at a portion other than a portion where the substrate and the transmission portion are in contact with each other.

本実施形態によれば、温度変化がある環境において偏心荷重を検出することが可能な面圧センサを提供することができる。   According to the present embodiment, it is possible to provide a surface pressure sensor capable of detecting an eccentric load in an environment where there is a temperature change.

第１実施形態に係る面圧センサの概略平面図である。It is a schematic plan view of the surface pressure sensor according to the first embodiment. 第１実施形態に係る面圧センサの概略平面図である。It is a schematic plan view of the surface pressure sensor according to the first embodiment. 第１実施形態に係る面圧センサの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the surface pressure sensor which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る面圧センサを用いた荷重の検出方法について説明する図（その１）である。It is FIG. (1) explaining the detection method of the load using the surface pressure sensor which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る面圧センサを用いた荷重の検出方法について説明する図（その２）である。It is FIG. (2) explaining the detection method of the load using the surface pressure sensor which concerns on 1st Embodiment. 第２実施形態に係る面圧センサの概略平面図である。It is a schematic plan view of the surface pressure sensor according to the second embodiment. 第２実施形態に係る面圧センサの概略平面図である。It is a schematic plan view of the surface pressure sensor according to the second embodiment. 第２実施形態に係る面圧センサの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the surface pressure sensor which concerns on 2nd Embodiment. 第３実施形態に係る面圧センサの概略平面図である。It is a schematic plan view of the surface pressure sensor which concerns on 3rd Embodiment. 第３実施形態に係る面圧センサの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the surface pressure sensor which concerns on 3rd Embodiment.

以下、本実施形態について添付の図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。   Hereinafter, the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, in this specification and drawing, about the component which has the substantially same function structure, the duplicate description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol.

本実施形態の面圧センサは、外部から面に加わる荷重を検出するセンサであり、例えば、ボルトの荷重計測に用いられる。   The surface pressure sensor of the present embodiment is a sensor that detects a load applied to the surface from the outside, and is used, for example, for measuring a load of a bolt.

（第１実施形態）
以下、第１実施形態の面圧センサの構成の一例について、図１から図３を参照しながら説明する。図１及び図２は、第１実施形態に係る面圧センサの概略平面図である。図３は、第１実施形態に係る面圧センサの概略断面図である。なお、図２では、受圧部３０と伝達部４０とを取り外した状態を示している。また、図３は、図１のＡ−Ａ線における概略断面図である。 (First embodiment)
Hereinafter, an example of the configuration of the surface pressure sensor according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3. 1 and 2 are schematic plan views of the surface pressure sensor according to the first embodiment. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the surface pressure sensor according to the first embodiment. 2 shows a state in which the pressure receiving unit 30 and the transmission unit 40 are removed. FIG. 3 is a schematic sectional view taken along line AA in FIG.

図１に示すように、面圧センサ１は、基板１０と、センサ部２０と、受圧部３０と、伝達部４０とを有する。   As shown in FIG. 1, the surface pressure sensor 1 includes a substrate 10, a sensor unit 20, a pressure receiving unit 30, and a transmission unit 40.

基板１０は、一方の面と他方の面とを貫通する検出孔１０ａを有する環板状の基板である。基板１０としては、例えば、絶縁基板、表面に絶縁膜が形成された半導体基板を用いることができ、受圧部３０及び伝達部４０を介して外部からの荷重が加えられたときに荷重により塑性変形を起こさない基板であることが好ましい。検出孔１０ａは、例えば、荷重計測の対象の一例であるボルトの軸部が挿入される貫通孔である。   The substrate 10 is an annular plate-shaped substrate having a detection hole 10a that penetrates one surface and the other surface. As the substrate 10, for example, an insulating substrate or a semiconductor substrate having an insulating film formed on the surface can be used. When an external load is applied via the pressure receiving unit 30 and the transmission unit 40, plastic deformation is caused by the load. It is preferable that the substrate does not cause the problem. The detection hole 10a is, for example, a through hole into which a shaft portion of a bolt that is an example of a load measurement target is inserted.

基板１０には、一方の面と他方の面とを貫通するピン嵌合孔１０ｂが設けられている。ピン嵌合孔１０ｂは、互いに対応するように設けられたピン嵌合孔３０ｂ及びピン嵌合孔４０ｂと位置合わせされ、位置合わせされたピン嵌合孔１０ｂ、３０ｂ、４０ｂにピンが挿入される。これにより、基板１０と受圧部３０と伝達部４０とを容易に位置決めすることができる。ピン嵌合孔３０ｂ及びピン嵌合孔４０ｂについては後述する。   The substrate 10 is provided with a pin fitting hole 10b that penetrates one surface and the other surface. The pin fitting hole 10b is aligned with the pin fitting hole 30b and the pin fitting hole 40b provided so as to correspond to each other, and the pin is inserted into the aligned pin fitting holes 10b, 30b, 40b. . Thereby, the board | substrate 10, the pressure receiving part 30, and the transmission part 40 can be positioned easily. The pin fitting hole 30b and the pin fitting hole 40b will be described later.

センサ部２０は、基板１０の表面に形成された薄膜上の積層構造体である。センサ部２０は、荷重検出用抵抗体２１と、温度補償抵抗体２２と、電極部２３とを有する。なお、センサ部２０の表面には、センサ部２０を保護するための保護層がセンサ部２０を覆うように設けられていてもよい。   The sensor unit 20 is a laminated structure on a thin film formed on the surface of the substrate 10. The sensor unit 20 includes a load detection resistor 21, a temperature compensation resistor 22, and an electrode unit 23. Note that a protective layer for protecting the sensor unit 20 may be provided on the surface of the sensor unit 20 so as to cover the sensor unit 20.

荷重検出用抵抗体２１は、基板１０の表面に同心円状に３つ以上設けられ、荷重に応じて電気抵抗が変化する第１の抵抗体の一例である。具体的には、図２に示すように、荷重検出用抵抗体２１は、基板１０の表面に同心円状に等間隔に配置された３つの荷重検出用抵抗体２１ａ、２１ｂ、２１ｃを含む。なお、荷重検出用抵抗体２１の数としては、３つ以上であれば特に限定されず、例えば、４つ以上であってもよい。   Three or more load detection resistors 21 are provided concentrically on the surface of the substrate 10 and are an example of a first resistor whose electrical resistance changes according to the load. Specifically, as shown in FIG. 2, the load detection resistor 21 includes three load detection resistors 21 a, 21 b, and 21 c that are concentrically arranged on the surface of the substrate 10 at equal intervals. The number of load detection resistors 21 is not particularly limited as long as it is three or more, and may be four or more, for example.

荷重検出用抵抗体２１は、圧力感度が高く、歪み感度や温度感度の小さい材質を成膜した後、フォトリソグラフィにより、図２に示す蛇行パターンに形成したものである。圧力感度が高く、歪み感度や温度感度の小さい材質としては、例えば、クロム（Ｃｒ）６０〜９９原子％、金属元素０〜１０原子％のＣｒサーメット、マンガニンを用いることができる。荷重検出用抵抗体２１は、蛇行パターンとすることで小型化されている。荷重検出用抵抗体２１は、例えば、スパッタリング、蒸着、化学気相成長（ＣＶＤ：Chemical Vapor Deposition）等の方法により成膜される。   The load detecting resistor 21 is formed into a meandering pattern shown in FIG. 2 by photolithography after a material having a high pressure sensitivity and a low strain sensitivity and temperature sensitivity is formed. As a material having high pressure sensitivity and low strain sensitivity and temperature sensitivity, for example, chromium (Cr) 60 to 99 atomic%, metal element 0 to 10 atomic% Cr cermet, and manganin can be used. The load detecting resistor 21 is miniaturized by adopting a meandering pattern. The load detecting resistor 21 is formed by a method such as sputtering, vapor deposition, chemical vapor deposition (CVD), or the like.

温度補償抵抗体２２は、荷重検出用抵抗体２１のそれぞれに対応して同心円状に配置され、荷重検出用抵抗体２１の温度の変化による電気抵抗の変化を補償する第２の抵抗体の一例である。温度補償抵抗体２２は、基板１０と伝達部４０とが接触する部分以外の位置に設けられている。具体的には、図２に示すように、温度補償抵抗体２２は、３つの温度補償抵抗体２２ａ、２２ｂ、２２ｃを含む。３つの温度補償抵抗体２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、それぞれ基板１０の表面における荷重検出用抵抗体２１ａ、２１ｂ、２１ｃが設けられた位置よりも検出孔１０ａからの距離が遠い外周側に、荷重検出用抵抗体２１ａ、２１ｂ、２１ｃと近接して配置されている。   The temperature compensation resistor 22 is arranged concentrically corresponding to each of the load detection resistors 21, and is an example of a second resistor that compensates for a change in electrical resistance due to a change in temperature of the load detection resistor 21. It is. The temperature compensation resistor 22 is provided at a position other than a portion where the substrate 10 and the transmission unit 40 are in contact with each other. Specifically, as shown in FIG. 2, the temperature compensation resistor 22 includes three temperature compensation resistors 22a, 22b, and 22c. The three temperature compensating resistors 22a, 22b, and 22c are arranged on the outer peripheral side that is farther from the detection hole 10a than the position where the load detecting resistors 21a, 21b, and 21c are provided on the surface of the substrate 10, respectively. The resistors 21a, 21b, and 21c are disposed in proximity to each other.

温度補償抵抗体２２を用いた荷重検出用抵抗体２１の温度補償方法としては、例えば、荷重検出用抵抗体２１と温度補償抵抗体２２とを含むブリッジ回路を構成し、荷重測定時の温度で出力をゼロ点に調整し、荷重による抵抗の変化分を検出する方法が挙げられる。   As a temperature compensation method of the load detection resistor 21 using the temperature compensation resistor 22, for example, a bridge circuit including the load detection resistor 21 and the temperature compensation resistor 22 is configured, and the temperature at the time of load measurement is set. There is a method of adjusting the output to the zero point and detecting the change in resistance due to the load.

温度補償抵抗体２２は、温度感度が高く、歪み感度や圧力感度の小さい材質を成膜した後、フォトリソグラフィにより図２に示す蛇行パターンに形成したものである。温度感度が高く、歪み感度や圧力感度の小さい材質としては、例えば、チタン（Ｔｉ）、白金（Ｐｔ）を用いることができる。温度補償抵抗体２２は、例えば、スパッタリング、蒸着、ＣＶＤ等の方法により成膜される。   The temperature compensation resistor 22 is formed into a meandering pattern shown in FIG. 2 by photolithography after forming a film having a high temperature sensitivity and a low strain sensitivity and pressure sensitivity. For example, titanium (Ti) or platinum (Pt) can be used as a material having high temperature sensitivity and low strain sensitivity and pressure sensitivity. The temperature compensation resistor 22 is formed by a method such as sputtering, vapor deposition, or CVD.

電極部２３は、対応して配置された荷重検出用抵抗体２１と温度補償抵抗体２２とを電気的に接続し、かつ、外部回路と電気的に接続するための配線膜である。具体的には、図２に示すように、電極部２３は、第１電極部２３１と、第２電極部２３２と、第３電極部２３３とを有する。   The electrode part 23 is a wiring film for electrically connecting the load detecting resistor 21 and the temperature compensating resistor 22 arranged in correspondence with each other and electrically connecting with an external circuit. Specifically, as illustrated in FIG. 2, the electrode unit 23 includes a first electrode unit 231, a second electrode unit 232, and a third electrode unit 233.

第１電極部２３１は、荷重検出用抵抗体２１の蛇行パターンの一端と電気的に接続されている。第２電極部２３２は、荷重検出用抵抗体２１の蛇行パターンの他端、及び、温度補償抵抗体２２の一端と電気的に接続されている。第３電極部２３３は、温度補償抵抗体２２の他端と電気的に接続されている。   The first electrode portion 231 is electrically connected to one end of the meandering pattern of the load detection resistor 21. The second electrode portion 232 is electrically connected to the other end of the meandering pattern of the load detection resistor 21 and one end of the temperature compensation resistor 22. The third electrode part 233 is electrically connected to the other end of the temperature compensation resistor 22.

そして、第１電極部２３１と第２電極部２３２との間の抵抗を測定することで、荷重検出用抵抗体２１に加わる荷重を検出することができる。また、第２電極部２３２と第３電極部２３３との間の抵抗を測定することで、温度補償抵抗体２２の温度を検出することができる。なお、図１に示すように、それぞれの荷重検出用抵抗体２１ａ、２１ｂ、２１ｃと電気的に接続された第１電極部２３１及び第２電極部２３２を用いることで、３つの荷重検出用抵抗体２１ａ、２１ｂ、２１ｃに加わる荷重をそれぞれ独立して検出することができる。   Then, by measuring the resistance between the first electrode portion 231 and the second electrode portion 232, the load applied to the load detecting resistor 21 can be detected. Further, the temperature of the temperature compensation resistor 22 can be detected by measuring the resistance between the second electrode portion 232 and the third electrode portion 233. As shown in FIG. 1, three load detection resistors can be obtained by using the first electrode portion 231 and the second electrode portion 232 electrically connected to the load detection resistors 21a, 21b, and 21c. The loads applied to the bodies 21a, 21b, 21c can be detected independently.

電極部２３としては、比抵抗が小さく、圧力、歪み、温度等に対する感度が低い材料を用いることが好ましく、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）を用いることができる。   As the electrode part 23, a material having a small specific resistance and low sensitivity to pressure, strain, temperature, etc. is preferably used. For example, aluminum (Al) or copper (Cu) can be used.

受圧部３０は、外部から加わる荷重を受ける部分である。具体的には、図１及び図３に示すように、受圧部３０は、伝達部４０を介して基板１０と接続された環板状の部材であり、平面視において面積Ｓ１を有する。受圧部３０には、一方の面と他方の面とを貫通する検出孔３０ａとピン嵌合孔３０ｂとが設けられている。   The pressure receiving portion 30 is a portion that receives a load applied from the outside. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 3, the pressure receiving unit 30 is an annular plate-like member connected to the substrate 10 via the transmission unit 40, and has an area S <b> 1 in plan view. The pressure receiving portion 30 is provided with a detection hole 30a and a pin fitting hole 30b that penetrate through one surface and the other surface.

伝達部４０は、受圧部３０が受けた荷重を荷重検出用抵抗体２１に伝達する。具体的には、図３に示すように、伝達部４０は、受圧部３０の表面のうち基板１０と対向する側の面に、荷重検出用抵抗体２１と対向する位置に設けられた環板状の部材である。伝達部４０は、平面視において受圧部３０の面積Ｓ１よりも小さい面積Ｓ２を有する。伝達部４０の高さＨは、荷重検出用抵抗体２１に集中的に荷重を加えることができるという観点から、センサ部２０の厚さ以上であることが好ましい。伝達部４０の高さＨは、センサ部２０の表面に保護層を設けた場合であっても荷重検出用抵抗体２１に集中的に荷重を加えることができるという観点から、センサ部２０の厚さの２倍以上であることがより好ましい。伝達部４０には、一方の面と他方の面とを貫通するピン嵌合孔４０ｂが設けられている。   The transmission unit 40 transmits the load received by the pressure receiving unit 30 to the load detection resistor 21. Specifically, as shown in FIG. 3, the transmission unit 40 is an annular plate provided on the surface of the pressure receiving unit 30 on the side facing the substrate 10 at a position facing the load detection resistor 21. Shaped member. The transmission part 40 has an area S2 smaller than the area S1 of the pressure receiving part 30 in plan view. The height H of the transmission unit 40 is preferably equal to or greater than the thickness of the sensor unit 20 from the viewpoint that a load can be applied intensively to the load detection resistor 21. The height H of the transmission unit 40 is such that the load of the sensor unit 20 can be applied to the load detecting resistor 21 in a concentrated manner even when a protective layer is provided on the surface of the sensor unit 20. More preferably, it is twice or more. The transmission portion 40 is provided with a pin fitting hole 40b that penetrates one surface and the other surface.

次に、面圧センサ１を用いた荷重の検出方法について、図４及び図５を参照しながら説明する。図４及び図５は、第１実施形態に係る面圧センサを用いた荷重の検出方法について説明する図である。   Next, a load detection method using the surface pressure sensor 1 will be described with reference to FIGS. 4 and 5. 4 and 5 are diagrams illustrating a load detection method using the surface pressure sensor according to the first embodiment.

面圧センサ１に検出孔１０ａの中心Ｐから偏心した位置に作用する荷重（偏心荷重）が加わった場合について説明する。   A case where a load (eccentric load) acting on the surface pressure sensor 1 at a position eccentric from the center P of the detection hole 10a is applied will be described.

図４に示すように、荷重検出用抵抗体２１ａ、２１ｂ、２１ｃのそれぞれに異なる荷重Ｗａ、Ｗｂ、Ｗｃが加わった場合、面圧センサ１に加わる全体荷重Ｗは、下記の式（１）によって算出される。   As shown in FIG. 4, when different loads Wa, Wb, Wc are applied to the load detection resistors 21a, 21b, 21c, the total load W applied to the surface pressure sensor 1 is expressed by the following equation (1). Calculated.

Ｗ＝Ｗａ＋Ｗｂ＋Ｗｃ …（１）
また、検出孔１０ａの中心Ｐの位置を原点（０，０）としたときの荷重検出用抵抗体２１ａ、２１ｂ、２１ｃの位置をそれぞれ（Ｘａ，Ｙａ）、（Ｘｂ，Ｙｂ）、（Ｘｃ，Ｙｃ）、重心の位置を（Ｘ，Ｙ）とすると、下記の式（２）及び式（３）の関係が成り立つ。 W = Wa + Wb + Wc (1)
Further, the positions of the load detection resistors 21a, 21b, 21c when the position of the center P of the detection hole 10a is the origin (0, 0) are respectively (Xa, Ya), (Xb, Yb), (Xc, Yc), where the position of the center of gravity is (X, Y), the following equations (2) and (3) are satisfied.

ＷａＸａ＋ＷｂＸｂ＋ＷｃＸｃ＝Ｗ×Ｘ …（２）
ＷｂＹａ＋ＷｂＹｂ＋ＷｃＹｃ＝Ｗ×Ｙ …（３）
これにより、重心の位置（Ｘ，Ｙ）は、下記の式（４）及び式（５）より定まる。 WaXa + WbXb + WcXc = W × X (2)
WbYa + WbYb + WcYc = W × Y (3)
Thereby, the position (X, Y) of the center of gravity is determined from the following formulas (4) and (5).

Ｘ＝（ＷａＸａ＋ＷｂＸｂ＋ＷｃＸｃ）／Ｗ …（４）
Ｙ＝（ＷｂＹａ＋ＷｂＹｂ＋ＷｃＹｃ）／Ｗ …（５）
式（１）、式（４）及び式（５）により、面圧センサ１に偏心荷重が加わった場合には、重心の位置（Ｘ，Ｙ）＝（（ＷａＸａ＋ＷｂＸｂ＋ＷｃＸｃ）／Ｗ，（ＷｂＹａ＋ＷｂＹｂ＋ＷｃＹｃ）／Ｗ）に対して、全体荷重Ｗが加わっていると検出することができる（図５）。このため、面圧センサ１に対して荷重が加わった場合、重心の位置を算出することにより、荷重の大きさに加えて、荷重が偏心荷重であるか否かを検出することができる。 X = (WaXa + WbXb + WcXc) / W (4)
Y = (WbYa + WbYb + WcYc) / W (5)
When an eccentric load is applied to the surface pressure sensor 1 according to the expressions (1), (4), and (5), the position of the center of gravity (X, Y) = ((WaXa + WbXb + WcXc) / W, (WbYa + WbYb + WcYc) / It can be detected that an overall load W is applied to W) (FIG. 5). For this reason, when a load is applied to the surface pressure sensor 1, by calculating the position of the center of gravity, it is possible to detect whether the load is an eccentric load in addition to the magnitude of the load.

以上に説明したように、第１実施形態の面圧センサ１は、基板１０の表面に同心円状に３つ以上設けられ、荷重に応じて電気抵抗が変化する荷重検出用抵抗体２１を有する。このため、面圧センサ１に対して荷重が加わった場合、荷重の大きさに加えて、荷重が偏心荷重であるか否かを検出することができる。   As described above, the surface pressure sensor 1 according to the first embodiment includes the load detecting resistor 21 provided with three or more concentric circles on the surface of the substrate 10, and the electric resistance changes according to the load. For this reason, when a load is applied to the surface pressure sensor 1, it is possible to detect whether the load is an eccentric load in addition to the magnitude of the load.

また、第１実施形態の面圧センサ１は、温度補償抵抗体２２が荷重検出用抵抗体２１のそれぞれに対応して同心円状に配置されている。これにより、荷重検出用抵抗体２１と温度補償抵抗体２２とが近い位置に配置されるため、荷重検出用抵抗体２１が配置された部分と温度補償抵抗体２２が配置された部分との間の温度差が小さくなり、温度補償の精度が向上し、検出精度が向上する。また、面圧センサ１の小型化を図ることができる。   Further, in the surface pressure sensor 1 of the first embodiment, the temperature compensation resistor 22 is concentrically arranged corresponding to each of the load detection resistors 21. As a result, the load detection resistor 21 and the temperature compensation resistor 22 are disposed at a close position, and therefore, between the portion where the load detection resistor 21 is disposed and the portion where the temperature compensation resistor 22 is disposed. The temperature difference becomes smaller, the accuracy of temperature compensation is improved, and the detection accuracy is improved. Further, the surface pressure sensor 1 can be downsized.

また、第１実施形態の面圧センサ１は、温度補償抵抗体２２が、基板１０と伝達部４０とが接触する部分以外の位置に設けられている。このため、受圧部３０が受けた荷重は、伝達部４０と接触する荷重検出用抵抗体２１に加わる一方、温度補償抵抗体２２には加わらない。その結果、受圧部３０が受ける荷重の影響を受けずに温度補償を行うことができるため、温度変化がある環境下であっても、高い精度で荷重を検出することができる。   Further, in the surface pressure sensor 1 of the first embodiment, the temperature compensation resistor 22 is provided at a position other than the portion where the substrate 10 and the transmission unit 40 are in contact with each other. For this reason, the load received by the pressure receiving unit 30 is applied to the load detecting resistor 21 in contact with the transmitting unit 40, but not applied to the temperature compensating resistor 22. As a result, since temperature compensation can be performed without being affected by the load received by the pressure receiving unit 30, it is possible to detect the load with high accuracy even in an environment where there is a temperature change.

また、第１実施形態の面圧センサ１は、受圧部３０が受けた荷重を、受圧部３０の面積Ｓ１よりも小さい面積Ｓ２を有する伝達部４０を介して荷重検出用抵抗体２１に伝達する。これにより、受圧部３０が受けた荷重のＳ２／Ｓ１倍の荷重が荷重検出用抵抗体２１に加わるため、信号対雑音（Ｓ／Ｎ）比が高くなり、高い精度で荷重を検出することができる。   Further, the surface pressure sensor 1 of the first embodiment transmits the load received by the pressure receiving unit 30 to the load detecting resistor 21 via the transmission unit 40 having an area S2 smaller than the area S1 of the pressure receiving unit 30. . As a result, a load S2 / S1 times the load received by the pressure receiving unit 30 is applied to the load detection resistor 21, so that the signal-to-noise (S / N) ratio is increased and the load can be detected with high accuracy. it can.

（第２実施形態）
以下、第２実施形態の面圧センサの構成の一例について、図６から図８を参照しながら説明する。図６及び図７は、第２実施形態に係る面圧センサの概略平面図である。図８は、第２実施形態に係る面圧センサの概略断面図である。なお、図７では、受圧部１３０と伝達部１４０とを取り外した状態を示している。また、図８は、図６のＢ−Ｂ線における概略断面図である。 (Second Embodiment)
Hereinafter, an example of the configuration of the surface pressure sensor according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 6 to 8. 6 and 7 are schematic plan views of the surface pressure sensor according to the second embodiment. FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of a surface pressure sensor according to the second embodiment. FIG. 7 shows a state where the pressure receiving unit 130 and the transmission unit 140 are removed. FIG. 8 is a schematic sectional view taken along line BB in FIG.

図６及び図８に示すように、面圧センサ１００は、基板１１０と、センサ部１２０と、受圧部１３０と、伝達部１４０とを有する。   As illustrated in FIGS. 6 and 8, the surface pressure sensor 100 includes a substrate 110, a sensor unit 120, a pressure receiving unit 130, and a transmission unit 140.

基板１１０、センサ部１２０、受圧部１３０としては、第１実施形態の基板１０、センサ部２０、受圧部３０と同様の構成とすることができる。即ち、基板１１０には、図６及び図７に示すように、検出孔１１０ａとピン嵌合孔１１０ｂとが設けられている。センサ部１２０は、図７に示すように、荷重検出用抵抗体１２１と、温度補償抵抗体１２２と、電極部１２３とを有する。受圧部１３０には、図６に示すように、検出孔１３０ａとピン嵌合孔１３０ｂとが設けられている。   As the board | substrate 110, the sensor part 120, and the pressure receiving part 130, it can be set as the structure similar to the board | substrate 10, the sensor part 20, and the pressure receiving part 30 of 1st Embodiment. That is, the substrate 110 is provided with a detection hole 110a and a pin fitting hole 110b as shown in FIGS. As shown in FIG. 7, the sensor unit 120 includes a load detection resistor 121, a temperature compensation resistor 122, and an electrode unit 123. As shown in FIG. 6, the pressure receiving portion 130 is provided with a detection hole 130a and a pin fitting hole 130b.

伝達部１４０は、受圧部１３０が受けた荷重を荷重検出用抵抗体１２１に伝達する。具体的には、図６及び図８に示すように、伝達部１４０は、受圧部１３０の表面のうち基板１１０と対向する側の面に、荷重検出用抵抗体１２１と対向する位置に設けられた環板状の部材である。伝達部１４０には、図６に示すように、一方の面と他方の面とを貫通するピン嵌合孔１４０ｂが設けられている。   The transmission unit 140 transmits the load received by the pressure receiving unit 130 to the load detection resistor 121. Specifically, as shown in FIGS. 6 and 8, the transmission unit 140 is provided on the surface of the pressure receiving unit 130 on the side facing the substrate 110 at a position facing the load detection resistor 121. An annular plate member. As shown in FIG. 6, the transmission portion 140 is provided with a pin fitting hole 140 b that penetrates one surface and the other surface.

図６及び図８に示すように、基板１１０の表面に垂直な方向からの平面視において、伝達部１４０の面積Ｓ２は、受圧部１３０の面積Ｓ１よりも小さく、荷重検出用抵抗体１２１の面積Ｓ３よりも大きい。受圧部１３０の面積Ｓ１とは、平面視において、受圧部１３０の外径を直径とする円の面積から受圧部１３０の内径を直径とする円の面積を減じた面積を意味する。伝達部１４０の面積Ｓ２とは、平面視において、伝達部１４０の外径を直径とする円の面積から伝達部１４０の内径を直径とする円の面積を減じた面積を意味する。荷重検出用抵抗体１２１の面積Ｓ３とは、図７に示すように、荷重検出用抵抗体１２１の外径Ｄ２を直径とする円の面積から荷重検出用抵抗体１２１の内径ｄ２を直径とする円の面積を減じた面積を意味する。   As shown in FIGS. 6 and 8, the area S <b> 2 of the transmission part 140 is smaller than the area S <b> 1 of the pressure receiving part 130 in the plan view from the direction perpendicular to the surface of the substrate 110, and the area of the load detection resistor 121. Greater than S3. The area S1 of the pressure receiving part 130 means an area obtained by subtracting the area of a circle having the inner diameter of the pressure receiving part 130 as a diameter from the area of a circle having the outer diameter of the pressure receiving part 130 as a diameter in plan view. The area S2 of the transmission part 140 means an area obtained by subtracting the area of a circle having the inner diameter of the transmission part 140 from the area of a circle having the outer diameter of the transmission part 140 as a diameter in plan view. As shown in FIG. 7, the area S3 of the load detecting resistor 121 is the diameter of the inner diameter d2 of the load detecting resistor 121 from the area of a circle having the outer diameter D2 of the load detecting resistor 121 as the diameter. It means the area obtained by subtracting the area of the circle.

また、図６及び図８に示すように、伝達部１４０の中心径Ｃ１は荷重検出用抵抗体１２１の中心径Ｃ２よりも小さい。   As shown in FIGS. 6 and 8, the center diameter C <b> 1 of the transmission unit 140 is smaller than the center diameter C <b> 2 of the load detection resistor 121.

ここで、伝達部１４０の中心径Ｃ１とは、伝達部１４０の外径Ｄ１及び内径ｄ１を用いて、以下の式（６）により算出される値である。   Here, the center diameter C1 of the transmission part 140 is a value calculated by the following equation (6) using the outer diameter D1 and the inner diameter d1 of the transmission part 140.

Ｃ１＝（Ｄ１＋ｄ１）／２ …（６）   C1 = (D1 + d1) / 2 (6)

また、荷重検出用抵抗体１２１の中心径Ｃ２とは、荷重検出用抵抗体１２１の外径Ｄ２及び内径ｄ２を用いて、以下の式（７）により算出される値である。   The center diameter C2 of the load detection resistor 121 is a value calculated by the following equation (7) using the outer diameter D2 and the inner diameter d2 of the load detection resistor 121.

Ｃ２＝（Ｄ２＋ｄ２）／２ …（７）   C2 = (D2 + d2) / 2 (7)

なお、荷重検出用抵抗体１２１が円弧形状でない場合には、検出孔１１０ａと同心の円であって、荷重検出用抵抗体１２１のうち基板１１０の中心から最も遠い場所に位置する部位を通る円の直径を外径Ｄ２とすることができる。また、検出孔１１０ａと同心の円であって、荷重検出用抵抗体１２１のうち基板１１０の中心から最も近い場所に位置する部位を通る円の直径を内径ｄ２とすることができる。   When the load detection resistor 121 is not in an arc shape, the circle is concentric with the detection hole 110a and passes through a portion of the load detection resistor 121 that is located farthest from the center of the substrate 110. Can be the outer diameter D2. The diameter of a circle that is concentric with the detection hole 110a and passes through a portion of the load detection resistor 121 that is located closest to the center of the substrate 110 can be the inner diameter d2.

また、伝達部１４０の外径Ｄ１は、荷重検出用抵抗体１２１の外径Ｄ２以上であることが好ましい。   In addition, the outer diameter D1 of the transmission unit 140 is preferably equal to or larger than the outer diameter D2 of the load detection resistor 121.

また、面圧センサ１００を用いた荷重の検出方法については、第１実施形態の面圧センサ１を用いた荷重の検出方法と同様の方法を使用することができる。   Moreover, about the load detection method using the surface pressure sensor 100, the method similar to the load detection method using the surface pressure sensor 1 of 1st Embodiment can be used.

以上に説明したように、第２実施形態の面圧センサ１００は、第１実施形態と同様の構成を含むため、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。   As described above, since the surface pressure sensor 100 of the second embodiment includes the same configuration as that of the first embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be achieved.

特に、第２実施形態の面圧センサ１００では、以下の理由により、伝達部１４０の内周側の部位に外周側の部位よりも大きな力が加わった場合であっても、高い感度と耐久性とを両立することができる。   In particular, in the surface pressure sensor 100 according to the second embodiment, high sensitivity and durability are obtained even when a larger force is applied to the inner peripheral portion of the transmission unit 140 than the outer peripheral portion due to the following reasons. And both.

例えば、面圧センサをボルトの荷重計測に用いる場合、ボルトに加わる軸力は、ボルトとナットとの接合面から伝達される。このため、伝達部の内周側の部位に外周側の部位よりも大きくな力が加わる。このとき、荷重検出用抵抗体の内周側の部位と伝達部の内周側の部位との接触面積が小さい場合、荷重検出用抵抗体の内周側の部位に歪みや破断が生じやすくなる。   For example, when the surface pressure sensor is used for measuring the load of a bolt, the axial force applied to the bolt is transmitted from the joint surface between the bolt and the nut. For this reason, a larger force is applied to the inner peripheral portion of the transmission portion than the outer peripheral portion. At this time, when the contact area between the inner peripheral portion of the load detection resistor and the inner peripheral portion of the transmission portion is small, the inner peripheral portion of the load detection resistor is likely to be distorted or broken. .

しかしながら、第２実施形態の面圧センサ１００では、前述したように、平面視において、伝達部１４０の面積Ｓ２が、受圧部１３０の面積Ｓ１よりも小さく、荷重検出用抵抗体１２１の面積Ｓ３よりも大きい。また、伝達部１４０の中心径Ｃ１が荷重検出用抵抗体１２１の中心径Ｃ２よりも小さい。これにより、荷重検出用抵抗体１２１の内径ｄ２よりも内側の部分における基板１１０と伝達部１４０との接触面積を確保しつつ、荷重検出用抵抗体１２１の外径Ｄ２よりも外側の部分における基板１１０と伝達部１４０との接触面積を低減できる。このため、荷重検出用抵抗体１２１の内周側の部位に歪みや破断が生じることを抑制しつつ、荷重検出用抵抗体１２１に加わる力を大きくすることができ、Ｓ／Ｎ比が高くなる。その結果、高い感度と耐久性とを両立することができる。   However, in the surface pressure sensor 100 of the second embodiment, as described above, the area S2 of the transmission part 140 is smaller than the area S1 of the pressure receiving part 130 in plan view, and is smaller than the area S3 of the load detection resistor 121. Is also big. Further, the center diameter C <b> 1 of the transmission unit 140 is smaller than the center diameter C <b> 2 of the load detection resistor 121. Accordingly, the substrate in the portion outside the outer diameter D2 of the load detection resistor 121 is secured while ensuring the contact area between the substrate 110 and the transmission portion 140 in the portion inside the inner diameter d2 of the load detection resistor 121. The contact area between 110 and the transmission unit 140 can be reduced. For this reason, it is possible to increase the force applied to the load detection resistor 121 while suppressing the occurrence of distortion and breakage in the inner peripheral side portion of the load detection resistor 121, and the S / N ratio is increased. . As a result, both high sensitivity and durability can be achieved.

（第３実施形態）
以下、第３実施形態の面圧センサの構成の一例について、図９及び図１０を参照しながら説明する。図９は、第３実施形態に係る面圧センサの概略平面図である。図１０は、第３実施形態に係る面圧センサの概略断面図である。なお、図１０は、図９のＣ−Ｃ線における概略断面図である。 (Third embodiment)
Hereinafter, an example of the configuration of the surface pressure sensor of the third embodiment will be described with reference to FIGS. 9 and 10. FIG. 9 is a schematic plan view of a surface pressure sensor according to the third embodiment. FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of a surface pressure sensor according to the third embodiment. FIG. 10 is a schematic cross-sectional view taken along the line CC of FIG.

図９に示すように、面圧センサ２００は、基板２１０と、センサ部２２０と、受圧部２３０と、伝達部２４０とを有する。   As shown in FIG. 9, the surface pressure sensor 200 includes a substrate 210, a sensor unit 220, a pressure receiving unit 230, and a transmission unit 240.

基板２１０は、図９に示すように、矩形と半円形とを組み合わせた形状を有する。なお、基板２１０の形状は、これに限定されない。基板２１０としては、例えば、絶縁基板、表面に絶縁膜が形成された半導体基板を用いることができ、受圧部２３０及び伝達部２４０を介して外部からの荷重が加えられたときに荷重により塑性変形を起こさない基板であることが好ましい。基板２１０には、一方の面と他方の面とを貫通する検出孔２１０ａが設けられている。検出孔２１０ａは、例えば、荷重計測の対象の一例であるボルトの軸部が挿入される貫通孔である。   As shown in FIG. 9, the substrate 210 has a shape combining a rectangle and a semicircle. Note that the shape of the substrate 210 is not limited to this. As the substrate 210, for example, an insulating substrate or a semiconductor substrate having an insulating film formed on the surface can be used. When an external load is applied via the pressure receiving unit 230 and the transmission unit 240, plastic deformation is caused by the load. It is preferable that the substrate does not cause the problem. The substrate 210 is provided with a detection hole 210a that penetrates one surface and the other surface. The detection hole 210a is, for example, a through hole into which a shaft portion of a bolt that is an example of a load measurement target is inserted.

センサ部２２０は、基板２１０の表面に形成された薄膜上の積層構造体である。センサ部２２０は、荷重検出用抵抗体２２１と、温度補償抵抗体２２２と、電極部２２３とを有する。なお、センサ部２２０の表面には、センサ部２２０を保護するための保護層がセンサ部２２０を覆うように設けられていてもよい。   The sensor unit 220 is a laminated structure on a thin film formed on the surface of the substrate 210. The sensor unit 220 includes a load detection resistor 221, a temperature compensation resistor 222, and an electrode unit 223. Note that a protective layer for protecting the sensor unit 220 may be provided on the surface of the sensor unit 220 so as to cover the sensor unit 220.

荷重検出用抵抗体２２１は、検出孔２１０ａと同心円状に１つ設けられ、荷重に応じて電気抵抗が変化する抵抗体である。本実施形態では、荷重検出用抵抗体２２１の長さを十分に確保できるため、荷重検出用抵抗体２２１は蛇行パターンでなくてもよい。また、荷重検出用抵抗体２２１は、蛇行パターンであってもよい。荷重検出用抵抗体２２１は、圧力感度が高く、歪み感度や温度感度の小さい材質を成膜した後、フォトリソグラフィにより、図９に示す円形パターンに形成したものである。圧力感度が高く、歪み感度や温度感度の小さい材質としては、例えば、Ｃｒ６０〜９９原子％、金属元素０〜１０原子％のＣｒサーメット、マンガニンを用いることができる。荷重検出用抵抗体２２１は、例えば、スパッタリング、蒸着、ＣＶＤ等の方法により成膜される。   One load detection resistor 221 is provided concentrically with the detection hole 210a, and the electrical resistance changes according to the load. In this embodiment, since the length of the load detection resistor 221 can be sufficiently secured, the load detection resistor 221 may not be a meandering pattern. Further, the load detecting resistor 221 may have a meandering pattern. The load detection resistor 221 is formed into a circular pattern shown in FIG. 9 by photolithography after depositing a material having high pressure sensitivity and low strain sensitivity and temperature sensitivity. As a material having high pressure sensitivity and low strain sensitivity and temperature sensitivity, for example, Cr cermet or manganin containing 60 to 99 atomic% of Cr and 0 to 10 atomic% of metal element can be used. The load detection resistor 221 is formed by a method such as sputtering, vapor deposition, or CVD.

温度補償抵抗体２２２は、平面視において、受圧部２３０と重ならない任意の位置に設けられ、荷重検出用抵抗体２２１の温度の変化による電気抵抗の変化を補償する抵抗体である。温度補償抵抗体２２２を用いた荷重検出用抵抗体２２１の温度補償方法としては、第１実施形態と同様の方法を使用することができる。温度補償抵抗体２２２は、温度感度が高く、歪み感度や圧力感度の小さい材質を成膜した後、フォトリソグラフィにより図９に示す蛇行パターンに形成したものである。温度感度が高く、歪み感度や圧力感度の小さい材質としては、例えば、Ｔｉ、Ｐｔを用いることができる。温度補償抵抗体２２２は、例えば、スパッタリング、蒸着、ＣＶＤ等の方法により成膜される。   The temperature compensation resistor 222 is a resistor that is provided at an arbitrary position that does not overlap the pressure receiving unit 230 in a plan view and compensates for a change in electrical resistance due to a change in temperature of the load detection resistor 221. As a temperature compensation method for the load detection resistor 221 using the temperature compensation resistor 222, the same method as in the first embodiment can be used. The temperature compensation resistor 222 is formed in a meandering pattern shown in FIG. 9 by photolithography after forming a film having a high temperature sensitivity and a low strain sensitivity and pressure sensitivity. For example, Ti or Pt can be used as a material having high temperature sensitivity and low strain sensitivity and pressure sensitivity. The temperature compensation resistor 222 is formed by a method such as sputtering, vapor deposition, or CVD.

電極部２２３は、荷重検出用抵抗体２２１と温度補償抵抗体２２２とを電気的に接続し、かつ、外部回路と電気的に接続するための配線膜である。そして、荷重検出用抵抗体２２１の両端に接続された２つの電極部２２３間の抵抗を測定することで、荷重検出用抵抗体２２１に加わる荷重を検出することができる。また、温度補償抵抗体２２２の両端に接続された２つの電極部２２３間の抵抗を測定することで、温度補償抵抗体２２２の温度を検出することができる。電極部２２３としては、比抵抗が小さく、圧力、歪み、温度等に対する感度が低い材料を用いることが好ましく、例えば、Ａｌ、Ｃｕを用いることができる。   The electrode part 223 is a wiring film for electrically connecting the load detecting resistor 221 and the temperature compensating resistor 222 and electrically connecting to an external circuit. Then, the load applied to the load detection resistor 221 can be detected by measuring the resistance between the two electrode portions 223 connected to both ends of the load detection resistor 221. Further, the temperature of the temperature compensation resistor 222 can be detected by measuring the resistance between the two electrode portions 223 connected to both ends of the temperature compensation resistor 222. As the electrode portion 223, a material having a small specific resistance and low sensitivity to pressure, strain, temperature, and the like is preferably used. For example, Al or Cu can be used.

受圧部２３０は、外部から加わる荷重を受ける部分である。受圧部２３０は、伝達部２４０を介して基板２１０と接続された環板状の部材であり、平面視において面積Ｓ１を有する。受圧部２３０には、一方の面と他方の面とを貫通する検出孔２３０ａが設けられている。   The pressure receiving part 230 is a part that receives a load applied from the outside. The pressure receiving part 230 is an annular plate-like member connected to the substrate 210 via the transmission part 240, and has an area S1 in plan view. The pressure receiving portion 230 is provided with a detection hole 230a that penetrates one surface and the other surface.

伝達部２４０は、受圧部２３０が受けた荷重を荷重検出用抵抗体２２１に伝達する。伝達部２４０は、受圧部２３０の表面のうち基板２１０と対向する側の面に、荷重検出用抵抗体２２１と対向する位置に設けられた環板状の部材である。   The transmission unit 240 transmits the load received by the pressure receiving unit 230 to the load detection resistor 221. The transmission unit 240 is an annular plate-like member provided on the surface of the pressure receiving unit 230 on the surface facing the substrate 210 at a position facing the load detection resistor 221.

図１０に示すように、基板２１０の表面に垂直な方向からの平面視において、伝達部２４０のＳ２は、受圧部２３０の面積Ｓ１よりも小さく、荷重検出用抵抗体２２１の面積Ｓ３よりも大きい。受圧部２３０の面積Ｓ１とは、平面視において、受圧部２３０の外径を直径とする円の面積から受圧部２３０の内径を直径とする円の面積を減じた面積を意味する。伝達部２４０の面積Ｓ２とは、平面視において、伝達部２４０の外径を直径とする円の面積から伝達部２４０の内径を直径とする円の面積を減じた面積を意味する。荷重検出用抵抗体２２１の面積Ｓ３とは、荷重検出用抵抗体２２１の外径を直径とする円の面積から荷重検出用抵抗体２２１の内径を直径とする円の面積を減じた面積を意味する。   As shown in FIG. 10, in a plan view from a direction perpendicular to the surface of the substrate 210, S2 of the transmission part 240 is smaller than the area S1 of the pressure receiving part 230 and larger than the area S3 of the load detection resistor 221. . The area S1 of the pressure receiving portion 230 means an area obtained by subtracting the area of a circle having the inner diameter of the pressure receiving portion 230 as a diameter from the area of a circle having the outer diameter of the pressure receiving portion 230 as a diameter in plan view. The area S2 of the transmission part 240 means an area obtained by subtracting the area of a circle having the inner diameter of the transmission part 240 as a diameter from the area of a circle having the outer diameter of the transmission part 240 as a diameter in plan view. The area S3 of the load detection resistor 221 means an area obtained by subtracting the area of a circle whose diameter is the outer diameter of the load detection resistor 221 from the area of a circle whose diameter is the inner diameter of the load detection resistor 221. To do.

また、図９及び図１０に示すように、伝達部２４０の中心径Ｃ１は荷重検出用抵抗体２２１の中心径Ｃ２よりも小さい。   As shown in FIGS. 9 and 10, the center diameter C <b> 1 of the transmission unit 240 is smaller than the center diameter C <b> 2 of the load detection resistor 221.

また、面圧センサ２００を用いた荷重の検出方法については、第１実施形態の面圧センサ１を用いた荷重の検出方法と同様の方法を使用することができる。   Moreover, about the load detection method using the surface pressure sensor 200, the method similar to the load detection method using the surface pressure sensor 1 of 1st Embodiment can be used.

以上に説明したように、第３実施形態の面圧センサ２００は、第２実施形態と同様に、平面視において、伝達部２４０の面積Ｓ２が、受圧部２３０の面積Ｓ１よりも小さく、荷重検出用抵抗体２２１の面積Ｓ３よりも大きい。また、伝達部２４０の中心径Ｃ１が荷重検出用抵抗体２２１の中心径Ｃ２よりも小さい。これにより、荷重検出用抵抗体２２１の内径よりも内側の部分における基板２１０と伝達部２４０との接触面積を確保しつつ、荷重検出用抵抗体２２１の外径よりも外側の部分における基板２１０と伝達部２４０との接触面積を低減できる。このため、荷重検出用抵抗体２２１の内周側の部位に歪みや破断が生じることを抑制しつつ、荷重検出用抵抗体２２１に加わる力を大きくすることができ、Ｓ／Ｎ比が高くなる。その結果、高い感度と耐久性とを両立することができる。   As described above, the surface pressure sensor 200 according to the third embodiment is similar to the second embodiment in that the area S2 of the transmission unit 240 is smaller than the area S1 of the pressure receiving unit 230 in plan view and the load detection is performed. It is larger than the area S3 of the resistor 221 for use. Further, the center diameter C1 of the transmission portion 240 is smaller than the center diameter C2 of the load detecting resistor 221. Thereby, while ensuring the contact area of the board | substrate 210 in the part inside the internal diameter of the load detection resistor 221 and the transmission part 240, the board | substrate 210 in the part outside the outer diameter of the load detection resistor 221, and The contact area with the transmission part 240 can be reduced. For this reason, it is possible to increase the force applied to the load detection resistor 221 while suppressing the occurrence of distortion or breakage in the inner peripheral side portion of the load detection resistor 221 and to increase the S / N ratio. . As a result, both high sensitivity and durability can be achieved.

以上、面圧センサを実施形態により説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。   The surface pressure sensor has been described above by way of the embodiment. However, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications and improvements can be made within the scope of the present invention.

１ 面圧センサ
１０ 基板
２０ センサ部
２１ 荷重検出用抵抗体
２２ 温度補償抵抗体
３０ 受圧部
４０ 伝達部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Surface pressure sensor 10 Board | substrate 20 Sensor part 21 Load detection resistor 22 Temperature compensation resistor 30 Pressure receiving part 40 Transmission part

Claims (2)

基板と、
前記基板の表面に同心円状に３つ以上設けられ、荷重に応じて電気抵抗が変化する第１の抵抗体と、
前記第１の抵抗体のそれぞれに対応して同心円状に配置され、前記第１の抵抗体の温度の変化による電気抵抗の変化を補償する第２の抵抗体と、
外部から加わる荷重を受ける受圧部と、
前記受圧部が受けた荷重を前記第１の抵抗体に伝達する伝達部と、
を有し、
前記第２の抵抗体は、前記基板と前記伝達部とが接触する部分以外に設けられている、
面圧センサ。 A substrate,
Three or more concentrically provided on the surface of the substrate, a first resistor whose electrical resistance changes according to the load,
A second resistor disposed concentrically corresponding to each of the first resistors and compensating for a change in electrical resistance due to a change in temperature of the first resistor;
A pressure receiving portion that receives a load applied from the outside;
A transmission portion for transmitting the load received by the pressure receiving portion to the first resistor;
Have
The second resistor is provided in a portion other than a portion where the substrate and the transmission portion are in contact with each other.
Surface pressure sensor. 前記伝達部は、平面視において、前記受圧部よりも小さく、前記第１の抵抗体よりも大きい面積を有し、
前記伝達部の中心径は、前記第１の抵抗体の中心径よりも小さい、
請求項１に記載の面圧センサ。 The transmission portion is smaller than the pressure receiving portion in plan view and has an area larger than that of the first resistor,
A central diameter of the transmission portion is smaller than a central diameter of the first resistor;
The surface pressure sensor according to claim 1.
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