JP2017015689A - 温度測定方法及び熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態では、処理容器内に設けられた回転テーブルの回転方向に沿って載置される複数のウエハに対し、互いに反応する複数の反応ガスを供給することにより、ウエハに成膜処理を行うセミバッチ式の熱処理装置における温度測定方法について説明する。
本実施形態の熱処理装置1における温度測定方法の一例について説明する。
第2実施形態では、ウエハボートに載置された多数枚のウエハにより1つのバッチを構成し、バッチ単位で処理容器内において成膜処理を行うバッチ式の熱処理装置における温度測定方法について説明する。
図7は、第2実施形態に係る熱処理装置の概略縦断面図である。
第2実施形態の熱処理装置における温度測定方法の一例について説明する。
第3実施形態では、ウエハボートに載置された多数枚のウエハによりに1つのバッチを構成し、バッチ単位で処理容器内において成膜処理を行うバッチ式の熱処理装置における処理容器内の温度を測定する温度測定方法の他の例について説明する。
第4実施形態では、ウエハボートに載置された多数枚のウエハによりに1つのバッチを構成し、バッチ単位で処理容器内において成膜処理を行うバッチ式の熱処理装置における処理容器内の温度を測定する温度測定方法の他の例について説明する。
第5実施形態では、ウエハボートに載置された多数枚のウエハによりに1つのバッチを構成し、バッチ単位で処理容器内において成膜処理を行うバッチ式の熱処理装置における処理容器内の温度を測定する温度測定方法の他の例について説明する。
実施例1では、前述した第1実施形態の温度測定方法により温度測定を行った。なお、本実施例では、回転テーブル12の回転方向に沿って6つの凹部16(Slot1、Slot2、Slot3、Slot4、Slot5、Slot6)が形成された回転テーブル12を用いた。
実施例2では、ヒータ20の設定温度を620℃にして低抵抗シリコンウエハの加熱を行った点以外は、実施例1と同様の温度測定方法により温度測定を行った。
実施例3では、ヒータ20の設定温度を155℃にして低抵抗シリコンウエハの加熱を行った点以外は、実施例1と同様の温度測定方法により温度測定を行った。
実施例4では、低抵抗シリコンウエハとして、Sb(アンチモン)が不純物として添加され、室温における抵抗率が0.02Ω・cmである6枚のN型のシリコンウエハを用いた点以外は、実施例3と同様の温度測定方法により温度測定を行った。なお、6枚のシリコンウエハは、異なるインゴットから製造されたものを用いた。
比較例1では、低抵抗シリコンウエハの代わりに、SiCウエハを用いた点以外は実施例2と同様の温度測定方法により温度測定を行った。なお、6枚のSiCウエハは、異なるインゴットから製造されたものを用いた。
比較例2では、低抵抗シリコンウエハの代わりに、高抵抗シリコンウエハを用いた点以外は実施例3と同様の温度測定方法により温度測定を行った。高抵抗シリコンウエハとしては、Bが添加され、室温における抵抗率が1Ω・cm以上50Ω・cm以下である6枚のP型のシリコンウエハを用いた。なお、6枚のシリコンウエハは、異なるインゴットから製造されたものを用いた。
3 放射温度測定部
5 制御部
11 処理容器
12 回転テーブル
W ウエハ
Claims (10)
- 対象物から放射される赤外線を検出して温度を測定する放射温度測定部により、半導体製造装置における処理容器内の温度を測定する温度測定方法であって、
前記放射温度測定部により温度を測定する前記対象物として、室温(20℃)における抵抗率が0.02Ω・cm以下である低抵抗シリコンウエハを使用する、
温度測定方法。 - 前記低抵抗シリコンウエハは、不純物として三価元素又は五価元素が添加されたシリコンウエハである、
請求項1に記載の温度測定方法。 - 前記低抵抗シリコンウエハは、前記処理容器内において処理が施される基板を保持する基板保持具に保持されている、
請求項1又は2に記載の温度測定方法。 - 前記基板保持具は、前記基板を鉛直方向に所定の間隔をおいて保持するものであり、
前記低抵抗シリコンウエハは、前記基板保持具の鉛直方向における最上段又は最下段に配置されている、
請求項3に記載の温度測定方法。 - 前記低抵抗シリコンウエハは、前記処理容器の外壁に固定されている、
請求項1又は2に記載の温度測定方法。 - 処理容器内に設けられた回転テーブルの表面に複数の基板を載置し、回転テーブルを回転させながら複数の基板に熱処理を行う熱処理装置における温度測定方法であって、
前記回転テーブルの表面に室温(20℃)における抵抗率が0.02Ω・cm以下である複数の低抵抗シリコンウエハを載置する載置ステップと、
前記複数の低抵抗シリコンウエハが載置された前記回転テーブルを回転させる回転ステップと、
前記回転テーブルが回転している状態で、前記複数の低抵抗シリコンウエハの各々の表面から放射される赤外線を検出することで前記低抵抗シリコンウエハの温度を測定する測定ステップと
を含む、
温度測定方法。 - 前記測定ステップは、前記回転テーブルの径方向に沿った方向の複数の領域における温度を測定する、
請求項6に記載の温度測定方法。 - 前記低抵抗シリコンウエハは、不純物として三価元素又は五価元素が添加されたシリコンウエハである、
請求項6又は7に記載の温度測定方法。 - 前記測定ステップは、前記低抵抗シリコンウエハの温度をヒータにより加熱した状態で、前記低抵抗シリコンウエハの温度を測定する、
請求項6乃至8のいずれか一項に記載の温度測定方法。 - 処理容器内に設けられた回転テーブルの表面に複数の基板を載置し、回転テーブルを回転させながら複数の基板に熱処理を行う熱処理装置であって、
前記回転テーブルの表面に室温(20℃)における抵抗率が0.02Ω・cm以下である複数の低抵抗シリコンウエハを載置する載置ステップと、
前記複数の低抵抗シリコンウエハが載置された前記回転テーブルを回転させる回転ステップと、
前記回転テーブルが回転している状態で、前記複数の低抵抗シリコンウエハの各々の表面から放射される赤外線を検出することで前記低抵抗シリコンウエハの温度を測定する測定ステップと
をこの順に実行する制御部を備える、
熱処理装置。
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