JP2017015567A - 受発光装置 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 6
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
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- Light Receiving Elements (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
Description
例えば、特許文献1に記載の気体成分検出装置では、発光部から出射された赤外線を含む光が、測定対象のガスが導入されるセルを通過し、その後、受光部に入光し、受光部の出力信号に応じて測定対象のガスの有無や濃度を検出している。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、小型で、かつ、高精度な受発光装置を提供することにある。
<受発光装置>
本実施形態に係る受発光装置は、発光部と、受光部と、焦点位置から入射した光を集光する第1集光部と、第1集光部で集光された光を反射させる反射部と、反射部で反射した光を焦点位置に集光する第2集光部と、を備え、発光部は第1集光部の焦点位置に設置され、受光部は第2集光部の焦点位置に設置される。
本実施形態に係る受発光装置において、発光部は第1集光部の焦点位置に設置される。ここで発光部が第1集光部の焦点位置に設置されている状態とは、発光部の一部が後述する第1集光部の焦点を含む状態を意味する。発光部は被検出ガスによって吸収される波長を含む光を出力するものであれば特に制限されない。具体的な例としては、MEMS光源やLEDが挙げられる。その中で、被検出ガス以外の成分の光吸収によるノイズを低減する観点から、被検出ガスの吸収が大きい波長帯の光のみを出力するものであることが好ましい。具体的には、発光波長帯をアクティブ層のバンドギャップでコントロールできるという観点から、LED構造は望ましい場合がある。LEDの光源を用いると、発光層に利用される材料のバンドギャップを被検出ガスの吸収波長にチューニングすることにより、光学フィルタ(例えば、バンドパスフィルタ)を使用せずに、特定のガスの検出が可能となり、光学フィルタ無しのガスセンサが実現できる。光学フィルタ無しのガスセンサが実現できると、受発光装置の構造が簡略化され、より好ましい形態となる。
本実施形態に係る受発光装置において、受光部は第2集光部の焦点位置に設置される。ここで受光部が第2集光部の焦点位置に設置されている状態とは、受光部の一部が後述する第2集光部の焦点を含む状態を意味する。受光部は被検出ガスによって吸収される波長を含む光の帯域に感度を有するものであれば特に制限されない。受光部には、焦電センサ(Pyroelectric sensor)、サーモパイル(Thermopile)、ボロメータ(Bolometer)等の熱型センサや、PIN構造を持ったフォトダイオードのような量子型センサ等が好適である。受光部は、測定対象ガスに併せて所望の光学特性を有する光学フィルタをさらに備えていてもよい。例えば、被検出ガスが炭酸ガスの場合、受光部には炭酸ガスによる赤外線吸収が多く生じる波長帯(代表的には4.3μm付近)の赤外線を濾波できるバンドパスフィルタを搭載する形態が例示される。
本実施形態に係る受発光装置において、第1集光部は、焦点位置から入射した光を集光する。ここで焦点位置は、第1集光部の形状から一意に定まるものである。第1集光部の焦点に発光部を設置すると、発光部から出射され第1集光部で反射された光は、第1集光部の対称軸方向と平行に揃うこととなる。第1集光部の具体的な形状としては、ある放物線を回転されたときにできる回転放物面を用いることができる。第1集光部は金属材料で形成されてもよいし、あるいは、金属以外の材料で特定の形状を形成した後に、その内面にアルミニウムなどの金属が蒸着又はめっきされることで形成されてもよい。特に、光を反射部分が蒸着やめっきによって形成される場合、金属材料で形成される場合と比較して、高生産性と寸法精度の向上を図ることができる。
また、本実施形態に係る受発光装置において、第1集光部は、放射面形状を有してもよい。これにより焦点位置の制御が容易となり、光路設計の精度を高めることが可能となる。
本実施形態に係る受発光装置において、反射部は、第1集光部で集光された光を反射させる。反射部を構成する材料は特に制限されない。例えば、金属、ガラス、セラミックス、ステンレス等の材料が挙げられるがこの限りではない。検出感度向上の観点から、発光部から出力された光の吸収係数が小さく、反射率が高い材料であることが好ましい。具体的にはアルミニウムからなる金属筐体や、アルミニウム、金、銀含む合金、もしくはこれらの積層体のコーティングが施された樹脂筐体、が好ましい。信頼性・経時変化の観点から金または金を含む合金層でコーティングされた樹脂筐体が好ましい。樹脂筐体の場合、射出成型法で形成することができるため、生産性の観点から好ましい場合はある。
また、本実施形態に係る受発光装置において、第1集光部で集光された光が、反射部で複数回反射されてもよい。これにより光路長の長い受発光装置が実現され、ガス濃度検知の精度をさらに向上させることが可能となる。
本実施形態に係る受発光装置において、第2集光部は、反射部で反射した光を焦点位置に集光する。ここで焦点位置は、第2集光部の形状から一意に定まるものである。第2集光部の焦点に受光部を設置すると、第2集光部の対称軸方向と平行に入射した光は、第2集光部の焦点位置に設置された受光部に入射する。第2集光部の具体的な形状としては、ある放物線を回転されたときにできる回転放物面を用いることができる。第2集光部は金属材料で形成されてもよいし、あるいは、金属以外の材料で特定の形状を形成した後に、その内面にアルミニウムや金や銀などの金属若しくはこれらの金属からなる合金が蒸着又はめっきされることで形成されてもよい。特に、光を反射部分が蒸着やめっきによって形成される場合、金属材料で形成される場合と比較して、低コスト化と寸法精度の向上を図ることができる。
また、本実施形態に係る受発光装置において、第2集光部は、放射面形状を有してもよい。これにより焦点位置の制御が容易となり、光路設計の精度を高めることが可能となる。
本実施形態に係る受発光装置において、受光部の出力が入力される信号処理部をさらに備えてもよい。信号処理部は、ガス濃度算出における演算が可能なものであれば特に制限されず、例えば、アナログIC、ディジタルIC及びCPU(Central Processing Unit)等が好適である。信号処理部には、光源を制御するための機能が含まれていても構わない。また、信号処理部は受光部の出力信号から、被検出ガスの濃度を算出し、ディジタル若しくはアナログの電気信号として出力しても良い。または、被検出ガスが所定の濃度以上(若しくは所定の濃度以下)になった場合、その判定に相当するディジタル信号を出力しても良い。
本実施形態に係る受発光装置において、発光部、受光部及び信号処理部を一体封止する封止部をさらに備えてもよい。封止部の材料としては、例えば、樹脂モールド材料等を用いることができる。<その他>
本実施形態に係る受発光装置において、発光部が形成される基板上に第2の受光部をさらに形成し、且つ、受光部が形成される基板上に第2の発光部をさらに形成する形態も考えられる。2つの発光部を交互に駆動させることで、発光部の劣化の補正等を定期的に行うことが可能となる。
本実施形態に係る受発光装置において、発光部は第1集光部の焦点位置に設置される形態について説明したが、他の実施形態として、発光部が第1集光部の焦点に設けられない形態についても考えられる。また同様に、受光部は第2集光部の焦点位置に設置される形態について説明したが、他の実施形態として、受光部が第2集光部の焦点に設けられない形態についても考えられる。
以下、図面を参照して本発明の各実施形態について説明する。
図1(a)〜(c)は、本発明に係る受発光装置の実施形態1を説明するための構成図で、図1(a)は上面図、図1(b)は図1(a)のA−A’線断面図、図1(c)は斜視図を示している。符号200は実装部を示し、符号400は光路部(図7)を示している。なお、以下に説明する各図において、同一の構成を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
実装方法としては、下記の二通りの方法が有り得る。
(1)まず実装部200をプリント基板300上に、半田によって固定し、最後に、光路部400を接着材102で固定する。
実装部とプリント基板300との電気接続は露出されたリードフレーム11の一部と半田102によって行われる。方法(i)では、光路部400が樹脂製の場合、実装部200の半田リフローの際に、十分な耐熱性はない可能性はあるため、好ましい場合はある。方法(ii)では、光路部400は耐熱性の材質である必要はある。具体的な材質はセラミック、ポリフェニレンスルファイド(PPS)樹脂などが挙げられる。
図2は、本発明に係る受発光装置の実施形態2を説明するための構成図である。図2に示すように、本実施形態2の受発光装置100は、第1集光部3で集光された光を複数回反射される反射部4a,4bを備えている。
本実施形態2に係る受発光装置100によれば、発光部1から出射された光の一部は第1集光部3によってある特定の方向に集光されることになる。この集光された光は反射部4a,4bによって複数回反射された後に、ある特定の方向から第2集光部5に入射する。第2集光部5は特定の方向から入射した光を、その焦点位置である受光部2の位置へと集光させる。これによって、発光部1から出射された光の多くは反射回数を稼ぎつつ、受光部2に入射されるため、高いS/N比の信号が得られ、これにより小型で、かつ、高精度な受発光装置を実現することができる。
[実施形態3]
図3は、本発明に係る受発光装置の実施形態3を説明するための構成図である。図3に示すように、本実施形態3の受発光装置100は、受光部2の出力が入力される信号処理部6と、発光部1、受光部2及び信号処理部6を一体封止する封止部7をさらに備えている。また、このときの発光部1、受光部2、信号処理部6及び封止部7を示したものが、後述する図6である。
本実施形態3に係る受発光装置100によれば、発光部1、受光部2及び信号処理部6が一体に封止されていることで、同じ光路長の場合にも装置のさらなる小型化が可能となる。ここでは、発光部1、受光部2及び信号処理部6が小型な封止部で実現できるため、生産性の観点から好ましい場合はある。また一体に封止されていることで、その他の空間を光路の設計に自由に利用することが可能となり、光路設計の自由度が高まる。
図6は、図5のB−B’線断面図である。符号11はリードフレーム、12は信号処理部6とリードフレーム11とを接続するワイヤーを示している。
図4は、本発明に係る受発光装置の実施形態4を説明するための構成図である。図4に示すように、本実施形態4の受発光装置100は、図3に示す受発光装置において、発光部1と受光部2をより近接して封止している。
本実施形態4に係る受発光装置100によれば、光路長をさらに長くしつつ、発光部1と受光部2の温度差を小さくすることが可能となり、温度補正等の信号処理を容易に行うことが可能となる。また第1集光部と第2集光部は発光部1と受光部2は収まるだけの横幅にし、焦点距離がなるべく原点に近くなるように設計できるため、小型化の観点から好ましい場合はある。
本実施形態4の受発光装置100の反射部41は、上述した図3における反射部41と同様に、受発光装置100内の四隅に配置して複数回の反射を行うようにしたものである。
図8(a),(b)は、本発明に係る受発光装置のその他の実施形態を説明するための構成図で、図8(a)は上面図、図8(b)は図8(a)のC−C’線断面図である。
その他の実施形態として、図8(a),(b)に示す受発光装置も考えられる。この受発光装置100は、非結像系の光学設計となっており、発光部1から出射された光は、複数回反射させる反射部42を介しているが、特定の場所に集光されることはないので、光路設計の自由度がより高まり、光路長のより長い受発光装置が実現可能である。
ここまでの説明は、被検出ガス導入・導出用の開口部は示さなかったが、光の発光・受光の効率を低下する場所でなければ、制限はされない。また、被検出ガスと一緒に粉じんなどの導入を防ぐため、開口部にフィルタなどを設けても良い。
本発明は、以上に記載した実施形態に限定されるものではない。当業者の知識に基づいて実施形態に設計の変更等を加えてもよく、また、第1〜第4実施形態とその他の実施形態を任意に組み合わせてもよく、そのような変更が加えられた態様も本発明の範囲に含まれる。
2 受光部
3 第1集光部
4,4a,4b,41,42 反射部
5 第2集光部
6 信号処理部
7 封止部
8a,8b 光学フィルタ
9 フィルタ保持部
11 リードフレーム
12 ワイヤー
100 受発光装置
101 半田
102 接着剤
200 実装部
300 プリント基板
400 光路部
Claims (6)
- 発光部と、
受光部と、
焦点位置から入射した光を集光する第1集光部と、
前記第1集光部で集光された光を反射させる反射部と、
反射部で反射した光を焦点位置に集光する第2集光部と、を備え、
前記発光部は前記第1集光部の焦点位置に設置され、前記受光部は前記第2集光部の焦点位置に設置される受発光装置。 - 前記第1集光部及び前記第2集光部は、放射面形状を有する請求項1に記載の受発光装置。
- 前記第1集光部で集光された光が、前記反射部で複数回反射される請求項1または請求項2に記載の受発光装置。
- 前記受光部の出力が入力される信号処理部をさらに備える請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の受発光装置。
- 前記発光部、前記受光部及び前記信号処理部を一体封止する封止部をさらに備える請求項4に記載の受発光装置。
- 前記第1集光部、前記反射部及び前記第2集光部が同一材料で一体形成される請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の受発光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015132755A JP6530652B2 (ja) | 2015-07-01 | 2015-07-01 | 受発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015132755A JP6530652B2 (ja) | 2015-07-01 | 2015-07-01 | 受発光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017015567A true JP2017015567A (ja) | 2017-01-19 |
JP6530652B2 JP6530652B2 (ja) | 2019-06-12 |
Family
ID=57827856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015132755A Active JP6530652B2 (ja) | 2015-07-01 | 2015-07-01 | 受発光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6530652B2 (ja) |
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