JP2017000947A - Coating unit and coating applicator with use of same - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は塗布ユニットおよびそれを用いた塗布装置に関し、特に、塗布針を用いて対象物に液状材料を塗布する塗布ユニットと、それを用いた塗布装置とに関する。より特定的には、この発明は、塗布針を用いて基板の表面に導電性パターンを描画したり、導電性パターンのオープン欠陥を修正したり、導電性接着剤を塗布する塗布ユニットと、それを用いた塗布装置とに関する。 The present invention relates to a coating unit and a coating apparatus using the coating unit, and more particularly to a coating unit that applies a liquid material to an object using a coating needle and a coating apparatus using the coating unit. More specifically, the present invention relates to an application unit that draws a conductive pattern on the surface of a substrate using an application needle, corrects an open defect in the conductive pattern, and applies a conductive adhesive. It is related with the coating device using.
RFID(radio frequency identification)タグのような半導体装置の分野では、基板の表面に微細な回路を印刷、塗布方式で形成するプリンテッドエレクトロニクス技術が急速に発展してきている。微細な電極パターンを形成する方式としては、印刷方式、インクジェット方式、塗布針を用いる方式などがある。塗布針を用いる方式には、広範囲の粘度の液状材料を微細領域に塗布することができるという長所がある。 In the field of semiconductor devices such as RFID (radio frequency identification) tags, printed electronics technology for forming fine circuits on the surface of a substrate by printing and coating methods has been rapidly developed. As a method for forming a fine electrode pattern, there are a printing method, an inkjet method, a method using a coating needle, and the like. The method using an application needle has an advantage that a liquid material having a wide range of viscosity can be applied to a fine region.
特許文献1には、その底に貫通孔が開けられ、液状材料が注入された容器と、その先端部が貫通孔の直径と略同じ外径を有し、基板表面の欠陥部に液状材料を塗布するための塗布針と、容器および塗布針を相対的に上下動可能に支持する直動案内部材と、容器および塗布針を相対的に上下動させ、貫通孔から塗布針の先端部を突出させて先端部に液状材料を付着させる駆動部とを備えた塗布ユニットが開示されている。
In
しかし、従来の塗布ユニットでは、高粘度の液状材料の塗布動作を複数回繰り返すと、容器の貫通孔の下に液状材料溜まりが発生する場合があり、塗布針の先端部に付着する液状材料の量が変化し、基板表面に塗布される液状材料の量がバラツクという問題があった。 However, in the conventional application unit, if the application operation of the high-viscosity liquid material is repeated several times, a liquid material pool may be generated under the through-hole of the container, and the liquid material adhering to the tip of the application needle There was a problem that the amount of the liquid material applied to the surface of the substrate varied and the amount of the liquid material applied varied.
それゆえに、この発明の主たる目的は、液状材料を多数回安定して塗布することが可能な塗布ユニットと、それを用いた塗布装置を提供することである。 Therefore, a main object of the present invention is to provide a coating unit capable of stably coating a liquid material many times and a coating apparatus using the coating unit.
この発明に係る塗布ユニットは、対象物に液状材料を塗布するための塗布針と、その底に塗布針の先端部を貫通させることが可能な貫通孔が開けられ、液状材料が注入される容器と、容器の底に設けられ、貫通孔を閉蓋するシール部材と、塗布針および容器を相対的に上下動可能に支持する直動案内部材と、塗布針および容器を相対的に上下動させ、塗布針の先端部によってシール部材に孔を開け、その孔から塗布針の先端部を突出させ、容器内に注入された液状材料を塗布針の先端部に付着させる駆動部とを備えたものである。 An application unit according to the present invention includes an application needle for applying a liquid material to an object, and a container into which a liquid material is injected by opening a through-hole through which the tip of the application needle can be penetrated. A seal member provided at the bottom of the container for closing the through-hole, a linear guide member for supporting the application needle and the container so as to be relatively movable up and down, and moving the application needle and the container relatively up and down. , Provided with a drive unit for making a hole in the seal member by the tip of the application needle, projecting the tip of the application needle from the hole, and attaching the liquid material injected into the container to the tip of the application needle It is.
この発明に係る塗布ユニットでは、塗布針の先端部がシール部材の孔から突出するとき、余分な液状材料が塗布針の外周部に付着して容器の外部に出ることがシール部材によって抑制される。したがって、容器の貫通孔の下に液状材料溜まりが発生することを防止することができ、液状材料を多数回安定に塗布することができる。 In the application unit according to the present invention, when the tip of the application needle protrudes from the hole of the seal member, the seal member prevents the excess liquid material from adhering to the outer periphery of the application needle and coming out of the container. . Therefore, it is possible to prevent the liquid material pool from being generated under the through hole of the container, and the liquid material can be stably applied many times.
本願発明の理解を容易にするために、まず本願発明の基礎となる塗布ユニットについて説明する。図1(a)〜(c)は、塗布ユニットの要部と、それを用いた塗布方法を示す断面図である。図1(a)において、塗布ユニットは、容器1、蓋2、および塗布針3を含む。
In order to facilitate understanding of the present invention, first, a coating unit that is the basis of the present invention will be described. FIG. 1A to FIG. 1C are cross-sectional views showing a main part of a coating unit and a coating method using the same. In FIG. 1A, the application unit includes a
容器1内の穴1aには、液状材料4が注入される。穴1aの底の中央部には、貫通孔1bが形成されている。穴1aは、貫通孔1bに近付くに従って断面積が小さくなるテーパ形状を有する。したがって、液状材料4が少ない場合でも、塗布針3の先端部3aを液状材料4に浸漬することができ、経済的である。また、貫通孔1bは微小であるので、液状材料4の表面張力、容器1の撥水性、撥油性により、貫通孔1bからの液状材料4の漏れはほとんどない。容器1の側面には、容器1を支持するための突起部1cが設けられている。
A
蓋2の中央部には、貫通孔2aが形成されている。蓋2は、容器1の上端の開口部を閉じて容器1内を密封する。塗布針3の先端部3aは、先端に向かって徐々に細くなるテーパ形状を有する。塗布針3の先端には、円形の平坦面が形成されている。塗布針3は、先端側(下側)の細軸部3bと、基端側(上側)の太軸部3cとを含む。細軸部3bの外径は、容器1の底の貫通孔1bの直径と略同じか若干小さく設定されている。太軸部3cの外径は、蓋2の貫通孔2aの直径と略同じか若干小さく設定されている。貫通孔1bの中心軸と、貫通孔2aの中心軸と、塗布針3の中心軸とが一致するように、容器1と蓋2と塗布針3が配置される。
A through
次に、この塗布ユニットの使用方法について説明する。まず図1(a)に示すように、基板5の表面のうちの所望の位置の上方の所定位置に塗布針3の先端を位置決めする。このとき、塗布針3の太軸部3cは蓋2の貫通孔2aを貫通しており、塗布針3の先端部3aは容器1内の液状材料4に浸漬されている。
Next, the usage method of this application unit will be described. First, as shown in FIG. 1A, the tip of the
次いで図1(b)に示すように、塗布針3を下降させ、塗布針3の先端部3aを貫通孔1bから容器1の底の下に突出させ、塗布針3の先端を基板5の表面に接触させる。塗布針3の先端部3aが貫通孔1bから容器1の底に突出すると、塗布針3の先端部3aに液状材料4が付着する。塗布針3の先端が基板5の表面に接触すると、塗布針3の先端部3aに付着した液状材料4が基板5の表面に塗布される。次に図1(c)に示すように、塗布針3を上昇させ、塗布針3の先端部3aを容器1内の液状材料4中に浸漬させ、待機する。
Next, as shown in FIG. 1 (b), the
次に、この塗布ユニットの問題点について説明する。金属粉を含んで導電性を有する高粘度の液状材料4を使用し、図2(a)〜(c)に示すように、位置決め、塗布、待機を複数回繰り返すと、図2(c)に示すように、容器1の貫通孔1bの下に液状材料溜まり4aが発生する場合がある。金属粉を含んだ液状材料4は比重が大きいので、液状材料溜まり4aが発生し易くなる傾向がある。液状材料溜まり4aが発生すると、塗布針3の先端部3aに付着する液状材料4の量が塗布動作の度に変化し、基板5に塗布される液状材料4の量がばらつく。
Next, problems of this coating unit will be described. When a highly viscous
RFIDタグのような半導体装置において、基板5の表面に微細な回路を描画するためには、金属粉を含んだ高粘度の液状材料4を多数回安定して塗布することが可能であることが必要である。本願発明では、この問題点の解決が図られる。
In a semiconductor device such as an RFID tag, in order to draw a fine circuit on the surface of the
図3(a)(b)は、この発明の一実施の形態による塗布ユニットの要部と、それを用いた塗布方法を示す断面図である。図3(a)(b)では、未使用の塗布ユニットと、それを用いた塗布方法が示されている。図3(a)(b)において、A2部およびB2部はそれぞれA1部およびB1部の拡大図である。 FIGS. 3A and 3B are cross-sectional views showing the main part of the coating unit according to one embodiment of the present invention and a coating method using the same. 3A and 3B show an unused coating unit and a coating method using the same. In FIGS. 3A and 3B, A2 and B2 are enlarged views of A1 and B1, respectively.
未使用の塗布ユニットでは、図3(a)に示すように、容器1の下端面にシール部材6が張り付けられている。シール部材6は貫通孔1bの下側の開口部よりも大きな寸法を有し、貫通孔1bはシール部材6によって閉蓋されている。シール部材6は、厚さが100μm以下の合成樹脂フィルムで形成されている。シール部材6の外周部は、たとえば接着剤を用いて容器1の下端面のうちの貫通孔1bの下側の開口部の周囲に張り付けられる。容器1の下端部のうちのシール部材6が張り付けられる領域に、シール部材6の厚さと同程度の深さの凹部が形成されていても構わない。
In the unused application unit, as shown in FIG. 3A, a
未使用の塗布ユニットを用いて塗布する場合、図3(a)で示したようにシール部材6が張り付けられた状態で、基板5の表面のうちの所望の位置の上方の所定位置に塗布針3の先端を位置決めする。このとき、塗布針3の太軸部3cは蓋2の貫通孔2aを貫通しており、塗布針3の先端部3aは容器1内の液状材料4に浸漬されている。
When applying using an unused application unit, the application needle is placed at a predetermined position above a desired position on the surface of the
次いで図3(b)に示すように、塗布針3を下降させて塗布針3の先端部3aによってシール部材6に孔6aを開け、塗布針3の先端を貫通孔1bおよび孔6aから突出させて基板5の表面に接触させる。シール部材6の孔6aの直径は、塗布針3の細軸部3bの外径(すなわち先端部3aの最も太い部分の外径)と略同じになる。シール部材6の孔6aにより、余分な液状材料4が塗布針3の先端部3aおよび細軸部3bに付着して貫通孔1bの下に引き出されることを抑制することができ、貫通孔1bの下に液状材料溜まり4aが発生することを防止することができる。
Next, as shown in FIG. 3 (b), the
塗布針3の先端部3aが貫通孔1bおよび孔6aを通って容器1の下に突出すると、塗布針3の先端部3aに液状材料4が付着する。塗布針3の先端が基板5の表面に接触すると、塗布針3の先端部3aに付着した液状材料4が基板5の表面に塗布される。この後、図1(c)で示したように、塗布針3を上昇させ、塗布針3の先端部3aを容器1内の液状材料4中に浸漬させ、1回の塗布を終了する。この塗布ユニットは、シール部材6に孔6aが開けられた後も使用可能である。
When the
図4(a)〜(c)は、少なくとも1回使用した塗布ユニットの要部と、それを用いた塗布方法を示す断面図である。図4(a)〜(c)において、C2部、D2部、およびE2部は、それぞれC1部、D1部、およびE1部の拡大図である。 4 (a) to 4 (c) are cross-sectional views showing a main part of an application unit used at least once and an application method using the same. 4A to 4C, C2, D2, and E2 are enlarged views of C1, D1, and E1, respectively.
少なくとも1回使用した塗布ユニットでは、図4(a)に示すように、容器1の下端面に張り付けられたシール部材6に孔6aが開けらている。孔6aは、上述したように、塗布針3によって開けられたものである。シール部材6の孔6aの直径は、塗布針3の細軸部3bの外径(すなわち先端部3aの最も太い部分の外径)と略同じである。
In the coating unit used at least once, as shown in FIG. 4A, a
まず図4(a)に示すように、基板5の表面のうちの所望の位置の上方の所定位置に塗布針3の先端を位置決めする。このとき、塗布針3の太軸部3cは蓋2の貫通孔2aを貫通しており、塗布針3の先端部3aは容器1内の液状材料4に浸漬されている。
First, as shown in FIG. 4A, the tip of the
次いで図4(b)に示すように、塗布針3を下降させ、塗布針3の先端を貫通孔1bおよび孔6aから容器1の底の下に突出させ、基板5の表面に接触させる。このとき、シール部材6の孔6aの内側と塗布針3の外周面とが密着するので、余分な液状材料4が塗布針3の先端部3aおよび細軸部3bに付着して貫通孔1bの下に引き出されることが抑制され、貫通孔1bの下に液状材料溜まり4aが発生することが防止される。
Next, as shown in FIG. 4 (b), the
塗布針3の先端部3aが貫通孔1bおよび孔6aを通って容器1の下に突出すると、塗布針3の先端部3aに液状材料4が付着する。塗布針3の先端が基板5の表面に接触すると、塗布針3の先端部3aに付着した液状材料4が基板5の表面に塗布される。この後、図4(c)で示すように、塗布針3を上昇させ、塗布針3の先端部3aを容器1内の液状材料4中に浸漬させ、待機する。
When the
図5(a)は塗布ユニット10の全体構成を示す正面図であり、図5(b)はその側面図である。図5(a)(b)において、塗布ユニット10は、サーボモータ11とアーム12を備える。サーボモータ11の回転軸は、先端を下向きにして上下方向に配置される。回転軸には、円柱状の回転部13が固定されている。回転部13の下端には斜面が形成されている。アーム12は、サーボモータ11の下端部の背面に沿うように上下方向に配置され、その上部は支持部14によってサーボモータ11の下端部に固定される。
FIG. 5A is a front view showing the overall configuration of the
アーム12の下部の正面には、レール部およびスライド部を含むリニアガイド15(直動案内部材)が設けられている。レール部は、上下方向に向けられてアーム12の下部に固定されている。スライド部は、レール部に沿って上下動可能に支持されている。スライド部の上部には可動部16が固定され、その下部には塗布針ホルダ固定部17が固定されている。可動部16のアーム12側の側面には固定ピン18が設けられ、その下方にはもう1つの固定ピン19が位置調整部20を介してアーム12に固定されている。固定ピン18,19間の距離は、位置調整部20によって調整可能になっている。2つの固定ピン18,19の間にバネ21が設けられ、このバネ21により可動部16は下側に付勢されている。
A linear guide 15 (linear motion guide member) including a rail portion and a slide portion is provided on the front surface of the lower portion of the
可動部16の側面は、カム連結板22および軸受23を介してカム24に固定されている。カム24の上端には斜面が形成されている。カム24の上端の斜面は、回転部13の下端の斜面に当接される。たとえば、サーボモータ11の回転軸を0度から180度まで回転させると軸受23が下降し、サーボモータ11の回転軸を180度から360度まで回転させると軸受23が上昇する。軸受23が上下動すると、可動部16および塗布針ホルダ固定部17がリニアガイド15のレール部に沿って上下動する。サーボモータ11、回転部13、およびカム24は、駆動部を構成する。
The side surface of the
塗布針ホルダ固定部17の下端には、塗布針ホルダ収納部25が固定されている。塗布針ホルダ収納部25の下端には凹部(図示せず)が形成されている。塗布針3の上端は、塗布針ホルダ26の下端の中心に垂直に固定されている。塗布針ホルダ26の上部には、凸部(図示せず)が形成されている。塗布針ホルダ26の凸部が塗布針ホルダ収納部25の凹部に挿嵌され、塗布針ホルダ26が塗布針ホルダ収納部25にネジによって固定される。
An application needle
液状材料4が注入された容器1に蓋2が取り付けられ、蓋2の孔2aに塗布針3が挿入され、容器1の側面の突起部1cの上の金属ピン1dがアーム12の下端の磁石(図示せず)に吸着される。容器1は、塗布針3および金属ピン1dによってアーム12の下端に固定される。
The
さらに、サーボモータ11の下端部の側面には原点センサ27が設けられている。原点センサ27は、カム24の側面に形成された原点マークを検出し、サーボモータ11の原点位置信号を出力する。原点センサ27の出力信号に基づいて、サーボモータ11は初期化される。
Further, an
サーボモータ11の回転軸の回転角度が0度にされている場合は、図3(a)および図4(a)で示したように、塗布針3の先端部3aが容器1内の液状材料4中に浸漬している。サーボモータ11の回転軸が0度から180度まで回転されると、図3(b)および図4(b)で示したように、塗布針3の先端部3aが容器1の底の貫通孔1bおよびシール部材6の孔6aを通って容器1の底の下に突出される。このとき、塗布針3の先端部3aに液状材料4が付着し、その液状材料4が基板5の表面に塗布される。サーボモータ11の回転軸が180度から360度まで回転されると、図4(c)で示したように、塗布針3の先端部3aが容器1内に戻されて液状材料4中に浸漬され、待機状態となる。
When the rotation angle of the rotation shaft of the
図6は、塗布ユニット10を備えた液状材料塗布装置30の全体構成を示す斜視図である。図6において、液状材料塗布装置30は、観察光学系31、CCDカメラ32、および塗布ユニット10を備える。観察光学系31は、照明用の光源、対物レンズなどを含み、基板5の表面状態や、塗布ユニット10によって塗布された液状材料4の状態を観察するために用いられる。観察光学系31によって観察される画像は、CCDカメラ32により電気信号に変換される。塗布ユニット10は、たとえば、基板5上に形成された配線パターンに発生した断線部に導電性の液状材料4を塗布して修正する。観察光学系31、CCDカメラ32、および塗布ユニット10は、修正ヘッド部を構成する。
FIG. 6 is a perspective view showing the overall configuration of the liquid
液状材料塗布装置30は、さらに、上記修正ヘッド部を塗布対象の基板5に対して垂直方向(Z軸方向)に移動させるZステージ33と、Zステージ33を搭載して横方向(X軸方向)に移動させるXステージ34と、基板5を搭載して前後方向(Y軸方向)に移動させるYステージ35と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ36と、CCDカメラ32によって撮影された画像などを表示するモニタ37と、制御用コンピュータ36に作業者からの指令を入力するための操作パネル38とを備える。ステージ33〜35は、位置決め装置を構成する。
The liquid
なお、この装置構成は一例であり、たとえば、観察光学系31などを搭載したZステージ33をXステージに搭載し、さらにXステージをYステージに搭載し、Zステージ33をXY方向に移動させるガントリー方式と呼ばれる構成でもよく、観察光学系31などを搭載したZステージ33を、塗布対象の基板5に対してXY方向に相対的に移動させることが可能な構成であればどのような構成でもよい。
This apparatus configuration is an example. For example, a gantry that mounts a
次に、この液状材料塗布装置30の動作について説明する。塗布ユニット10には、所望の塗布針3と、所望の液状材料4が注入された容器1とが予めセットされているものとする。塗布対象の基板5をYステージ35上にセットする。ここでは、基板5上に形成された配線パターンに発生した断線部に液状材料4を塗布するものとする。液状材料4は、導電性の金属ペーストである。
Next, the operation of the liquid
モニタ37の画面には、基板5の表面が表示される。液状材料塗布装置30の使用者は、モニタ37の画面を見ながら操作パネル38のボタンなどを操作し、モニタ37の画面の所定位置(たとえば中心)に断線部の中心部の画像が表示されるようにステージ33〜35を制御する。断線部の中心部が所定位置に配置されると、そのときのステージ33〜35の座標が記憶される。その座標と、予め記憶された観察光学系31の光軸と塗布針3の中心軸との間の距離と、観察光学系31の焦点位置と塗布針3の先端との間の距離に基づいてステージ33〜35が制御され、図3(a)および図4(a)で示したように、塗布針3の先端が断線部の上方の所定位置に配置される。
On the screen of the
次に、使用者が操作パネル38を用いて塗布動作を指令すると、サーボモータ11の回転軸が回転される。サーボモータ11の回転軸が0度から180度まで回転されると、図3(b)および図4(b)で示したように、塗布針3が下降し、塗布針3の先端部3aが容器1の貫通孔1bおよびシール部材6の孔6aを通って容器1の底の下に突出し、塗布針3の先端部3aに付着した液状材料4が基板5の表面の断線部に塗布される。サーボモータ11の回転軸が180度から360度まで回転されると、図4(c)で示したように、塗布針3が上昇し、塗布針3の先端部3aが容器1内の液状材料4中に浸漬され、待機状態となる。
Next, when the user instructs a coating operation using the
以上のように、この実施の形態では、塗布針3の先端部3aがシール部材6の孔6aから突出するときに、余分な液状材料4が塗布針3の外周部に付着して容器1の外部に出ることがシール部材6によって抑制される。また、塗布針3および容器1を塗布ユニット10に取り付けた状態で塗布針3を用いてシール部材6に孔6aを形成するので、塗布針3とシール部材6の孔6aの位置ずれが発生することもない。したがって、液状材料4として高粘度で高質量の金属ペーストを使用した場合でも、容器1の貫通孔1bの下に液状材料溜まり4aが発生することを防止することができ、液状材料4を多数回安定に塗布することができる。
As described above, in this embodiment, when the
また、Xステージ34、Yステージ35、およびZステージ33を制御することにより、基板5の表面の任意の位置に液状材料4を塗布することができる。
Further, the
なお、この実施の形態では、基板5の表面に形成された微細パターンの断線部に液状材料4を塗布する場合について説明したが、これに限るものではなく、塗布位置を連続的に移動させることにより、基板5の表面にRFIDタグなどの回路を描画したり、導電性パターンを描画したり、導電性接着剤を塗布することも可能であることは言うまでもない。
In this embodiment, the case where the
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
1 容器、1a 穴、1b 貫通孔、1c 突起部、1d 金属ピン、2 蓋、2a 貫通孔、3 塗布針、3a 先端部、3b 細軸部、3c 太軸部、4 液状材料、5 基板、6 シール部材、6a 孔、10 塗布ユニット、11 サーボモータ、12 アーム、13 回転部、14 支持部、15 リニアガイド、16 可動部、17 塗布針ホルダ固定部、18,19 固定ピン、20 位置調整部、21 バネ、22 カム連結板、23 軸受、24 カム、25 塗布針ホルダ収納部、26 塗布針ホルダ、27 原点センサ、30 液状材料塗布装置、31 観察光学系、32 CCDカメラ、33 Zステージ、34 Xステージ、35 Yステージ、36 制御用コンピュータ、37 モニタ、38 操作パネル。 1 container, 1a hole, 1b through-hole, 1c projection, 1d metal pin, 2 lid, 2a through-hole, 3 application needle, 3a tip, 3b thin shaft, 3c thick shaft, 4 liquid material, 5 substrate, 6 seal member, 6a hole, 10 coating unit, 11 servo motor, 12 arm, 13 rotating unit, 14 support unit, 15 linear guide, 16 movable unit, 17 coating needle holder fixing unit, 18, 19 fixing pin, 20 position adjustment Part, 21 spring, 22 cam connecting plate, 23 bearing, 24 cam, 25 application needle holder storage part, 26 application needle holder, 27 origin sensor, 30 liquid material application device, 31 observation optical system, 32 CCD camera, 33 Z stage , 34 X stage, 35 Y stage, 36 control computer, 37 monitor, 38 operation panel.
Claims (6)
その底に前記塗布針の先端部を貫通させることが可能な貫通孔が開けられ、液状材料が注入される容器と、
前記容器の底に設けられ、前記貫通孔を閉蓋するシール部材と、
前記塗布針および前記容器を相対的に上下動可能に支持する直動案内部材と、
前記塗布針および前記容器を相対的に上下動させ、前記塗布針の先端部によって前記シール部材に孔を開け、その孔から前記塗布針の先端部を突出させ、前記容器内に注入された前記液状材料を前記塗布針の先端部に付着させる駆動部とを備える、塗布ユニット。 An application needle for applying a liquid material to an object;
A container through which a liquid material is injected by opening a through-hole capable of penetrating the tip of the application needle at the bottom;
A seal member provided at the bottom of the container and closing the through hole;
A linear guide member that supports the application needle and the container to be relatively movable up and down;
The applicator needle and the container are moved up and down relatively, a hole is formed in the seal member by a tip portion of the applicator needle, the tip portion of the applicator needle protrudes from the hole, and is injected into the container An application unit comprising: a drive unit that attaches a liquid material to the tip of the application needle.
請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の塗布ユニットと、
前記塗布ユニットを前記基板の表面の所望の位置の上方の予め定められた位置に配置する位置決め装置とを備える、塗布装置。 The object is a substrate;
An application unit according to any one of claims 1 to 5,
And a positioning device that arranges the coating unit at a predetermined position above a desired position on the surface of the substrate.
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