JP7391554B2 - Coating equipment and coating method - Google Patents

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Description

この発明は、塗布針ホルダ、塗布装置および塗布方法に関し、より特定的には、塗布針を用いて処理対象材に液体材料を塗布するための塗布針ホルダ、塗布装置および塗布方法に関する。 The present invention relates to a coating needle holder, a coating device, and a coating method, and more particularly to a coating needle holder, a coating device, and a coating method for applying a liquid material to a material to be treated using a coating needle.

従来、機械装置の製造プロセスにおいて、微小な光学部品などを接着剤を用いて固定する工程が知られている。このような工程では、比較的粘度の高い接着剤を微小に塗布する要求が多くある。 BACKGROUND ART Conventionally, in the manufacturing process of mechanical devices, a process of fixing minute optical components and the like using an adhesive is known. In such a process, there are many demands for applying a relatively high viscosity adhesive in a minute amount.

接着剤の一般的な塗布方法としては、ディスペンサ方式、インクジェット方式などが挙げられる。しかし、ディスペンサ方式では、塗布後の直径がФ１００μｍ以下となるような接着剤の微小量の塗布は難しい。また、インクジェット方式では、粘度１００ｍＰａ・ｓ以上の接着剤の塗布は難しい。 Common adhesive application methods include a dispenser method and an inkjet method. However, with the dispenser method, it is difficult to apply a minute amount of adhesive such that the diameter after application is less than 100 μm. Furthermore, in the inkjet method, it is difficult to apply an adhesive with a viscosity of 100 mPa·s or more.

上記のような高粘度の接着剤の微小量の塗布を実現する塗布方式の１つとして、特開２０１５－１１２５７６号公報に記載のような塗布針を用いて塗布する方式がある。特開２０１５－１１２５７６号公報では、塗布する液体を保持した容器を貫通するとともに、先端部が容器から出入りできるように移動可能に構成された塗布針を備えた塗布装置が開示されている。 As one of the coating methods for realizing application of a minute amount of the high-viscosity adhesive as described above, there is a method of coating using a coating needle as described in JP-A-2015-112576. Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-112576 discloses a coating device that includes a coating needle that penetrates a container holding a liquid to be coated and is movable so that its tip can move in and out of the container.

特開２０１５－１１２５７６号公報Japanese Patent Application Publication No. 2015-112576

ここで、上記特開２０１５－１１２５７６号公報に開示された塗布針を備える塗布装置を用いて、たとえば２液性接着剤を処理対象材に塗布する場合、塗布針を含む塗布部材を２台用いて、それぞれの接着剤を塗布することになる。具体的には、一方の塗布部材を用いて１液目の接着剤を塗布し、塗布された１液目の接着剤上に他方の塗布部材を用いて２液目の接着剤を塗布する。 Here, when applying, for example, a two-component adhesive to a material to be treated using a coating device equipped with a coating needle disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Publication No. 2015-112576, two coating members each including a coating needle are used. Then apply each adhesive. Specifically, one application member is used to apply a first liquid adhesive, and the other application member is used to apply a second liquid adhesive onto the applied first liquid adhesive.

この時、他方の塗布部材における塗布針の先端に付着した２液目の接着剤を全て１液目の接着剤の上に滴下できる訳ではない。すなわち、他方の塗布部材における塗布針先端に１液目の接着剤と接触混合した２液目の接着剤が残存する。そして、他方の塗布部材の塗布針先端において１液目の接着剤と混合した２液目の接着剤が硬化すると、塗布針先端が硬化した接着剤により太くなる。この結果、他方の塗布部材の塗布針先端に付着する２液目の接着剤の量が増え、結果的に２液目の接着剤の塗布量が徐々に多くなる。さらに、塗布針の先端が太くなり過ぎると、塗布する液体である２液目の接着剤を保持した容器に当該塗布針を収納できなくなる。このように、従来の塗布装置では、塗布針の先端に塗布する液体が残存することにより液体の塗布を安定して行えなくなる場合があった。 At this time, not all of the second liquid adhesive attached to the tip of the applicator needle of the other application member can be dropped onto the first liquid adhesive. That is, the second liquid adhesive mixed with the first liquid adhesive remains at the tip of the applicator needle in the other application member. Then, when the second liquid adhesive mixed with the first liquid adhesive hardens at the tip of the coating needle of the other coating member, the tip of the coating needle becomes thicker due to the hardened adhesive. As a result, the amount of the second liquid adhesive that adheres to the tip of the applicator needle of the other application member increases, and as a result, the amount of the second liquid adhesive applied gradually increases. Furthermore, if the tip of the applicator needle becomes too thick, the applicator needle cannot be accommodated in a container holding the second liquid adhesive, which is the liquid to be applied. As described above, in the conventional coating device, there are cases where the liquid to be coated remains at the tip of the coating needle, making it impossible to stably coat the liquid.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は塗布針を用いて液体材料の塗布などの供給を安定して実施できる塗布針ホルダおよび塗布装置を提供することである。 This invention was made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a coating needle holder and a coating device that can stably supply a liquid material using a coating needle. It is to provide.

本開示に従った塗布針ホルダは、処理対象材に液体材料を供給するための塗布針と、外筒と、第１駆動部とを備える。外筒は、塗布針の外周を囲み、塗布針の先端に近い側に位置する第１端を含む。第１駆動部は、塗布針の延在方向である第１方向において、塗布針に対して外筒を相対的に移動させる。第１駆動部は、塗布針の先端が外筒の第１端より外筒の内部に後退している第１状態と、塗布針の先端が第１状態より外筒の第１端側に移動した第２状態とを切替えるように構成されている。 A coating needle holder according to the present disclosure includes a coating needle for supplying a liquid material to a material to be treated, an outer cylinder, and a first drive section. The outer cylinder surrounds the outer periphery of the applicator needle and includes a first end located closer to the tip of the applicator needle. The first drive unit moves the outer cylinder relative to the coating needle in a first direction that is the extending direction of the coating needle. The first drive unit has a first state in which the tip of the applicator needle is retracted into the outer tube from the first end of the outer tube, and a first state in which the tip of the applicator needle moves toward the first end of the outer tube from the first state. It is configured to switch between the second state and the second state.

本開示に従った塗布装置は、上記塗布針ホルダと、保持台とを備える。保持台は、塗布針により液体材料を塗布される処理対象材を保持する。 A coating device according to the present disclosure includes the coating needle holder and a holding base. The holding table holds a material to be treated that is coated with a liquid material by a coating needle.

上記によれば、外筒を塗布針に対して相対的に移動させることで塗布針および外筒の先端部に液体材料が突出した液滴を形成できるので、塗布針を用いて液体材料の塗布などの供給を安定して実施できる。 According to the above, by moving the outer cylinder relative to the application needle, a droplet of the liquid material can be formed at the distal end of the application needle and the outer cylinder, so that the liquid material can be applied using the application needle. It is possible to stably supply such items.

本実施形態に従った塗布装置の模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a coating device according to the present embodiment. 図１に示した塗布装置の塗布部材を示す模式図である。2 is a schematic diagram showing a coating member of the coating device shown in FIG. 1. FIG. 図１に示した塗布装置の塗布部材を示す模式図である。2 is a schematic diagram showing a coating member of the coating device shown in FIG. 1. FIG. 図３に示した塗布装置の塗布針ホルダの構成を説明するための模式図である。4 is a schematic diagram for explaining the configuration of a coating needle holder of the coating device shown in FIG. 3. FIG. 図２および図３に示した塗布部材における塗布針ホルダの動作を説明するための模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the operation of a coating needle holder in the coating member shown in FIGS. 2 and 3. FIG. 図５における領域ＶＩの拡大模式図である。6 is an enlarged schematic diagram of region VI in FIG. 5. FIG. 図２および図３に示した塗布部材における塗布針ホルダの動作を説明するための模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the operation of a coating needle holder in the coating member shown in FIGS. 2 and 3. FIG. 図７における領域ＶＩＩＩの拡大模式図である。8 is an enlarged schematic diagram of region VIII in FIG. 7. FIG. 比較例としての塗布方法を説明するための模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a coating method as a comparative example. 本実施形態に従った塗布方法を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for explaining the coating method according to this embodiment. 本実施形態に従った塗布方法のフローチャートである。3 is a flowchart of a coating method according to the present embodiment. 本実施形態に従った塗布方法の変形例のフローチャートである。It is a flowchart of a modification of the coating method according to this embodiment. 本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第１の変形例を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the 1st modification of the application member and application needle holder according to this embodiment. 本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第２の変形例を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the 2nd modification of the application member and application needle holder according to this embodiment. 本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第２の変形例を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the 2nd modification of the application member and application needle holder according to this embodiment. 本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第３の変形例を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the 3rd modification of the application member and application needle holder according to this embodiment. 本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第３の変形例を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the 3rd modification of the application member and application needle holder according to this embodiment. 本実施の形態の第４の変形例における、図６が示す領域と同領域の拡大模式図である。FIG. 7 is an enlarged schematic diagram of the same area as the area shown in FIG. 6 in a fourth modification of the present embodiment. 第４の変形例に特徴的な液体材料の供給方法のフローチャートである。It is a flowchart of the characteristic liquid material supply method of the 4th modification. 第４の変形例に特徴的な液体材料の供給方法を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the supply method of the liquid material characteristic of a 4th modification. 比較例の塗布方法のフローチャートである。It is a flowchart of the coating method of a comparative example. 本実施形態の第４の変形例における液体材料の塗布方法を構成する第１の塗布工程と第２の塗布工程との第１例を概略的に示すフローチャートである。It is a flowchart which shows roughly the 1st example of the 1st application process and the 2nd application process which constitute the application method of the liquid material in the 4th modification of this embodiment. 本実施形態の第４の変形例における液体材料の塗布方法を構成する第１の塗布工程と第２の塗布工程との第２例を概略的に示すフローチャートである。It is a flowchart which shows roughly the 2nd example of the 1st application process and the 2nd application process which constitute the application method of the liquid material in the 4th modification of this embodiment.

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are given the same reference numerals and the description thereof will not be repeated.

＜塗布装置の全体構成＞
図１は、本実施形態に従った塗布装置の模式図である。図１に示す本発明の実施形態である塗布装置は、処理室と、当該処理室の内部に配置されたＹ軸テーブル２と、Ｘ軸テーブル１と、Ｚ軸テーブル３と、塗布機構と、観察光学系６と、当該観察光学系６に接続されたＣＣＤカメラ７と、制御部とを主に備えている。制御部は、モニタ９と、制御用コンピュータ１０と、操作パネル８とを含む。塗布機構は複数の塗布部材４を含む。図１に示した塗布装置では、２つの塗布部材４が設置されている。塗布部材４は塗布針ホルダを含む。塗布針ホルダは塗布針部２４（図４参照）を含む。塗布針部２４は塗布針２４ａ（図４参照）と塗布針外筒２４ｂ（図４参照、なお以下では外筒２４ｂと呼ぶ）とを有する。当該塗布針部２４の詳細な構成は後述する。 <Overall configuration of coating device>
FIG. 1 is a schematic diagram of a coating device according to this embodiment. The coating apparatus according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1 includes a processing chamber, a Y-axis table 2 disposed inside the processing chamber, an X-axis table 1, a Z-axis table 3, a coating mechanism, It mainly includes an observation optical system 6, a CCD camera 7 connected to the observation optical system 6, and a control section. The control unit includes a monitor 9, a control computer 10, and an operation panel 8. The application mechanism includes a plurality of application members 4. In the coating apparatus shown in FIG. 1, two coating members 4 are installed. The application member 4 includes an application needle holder. The coating needle holder includes a coating needle portion 24 (see FIG. 4). The coating needle portion 24 includes a coating needle 24a (see FIG. 4) and a coating needle outer cylinder 24b (see FIG. 4, hereinafter referred to as the outer cylinder 24b). The detailed configuration of the coating needle portion 24 will be described later.

処理室の内部においては、当該処理室の底部上にＹ軸テーブル２が設置されている。このＹ軸テーブル２は、Ｙ軸方向に移動可能になっている。具体的には、Ｙ軸テーブル２の下面にガイド部が設置されている。当該ガイド部は、処理室の底面に設置されたガイドレールに摺動可能に接続されている。また、Ｙ軸テーブル２の下面にはボールねじが接続されている。当該ボールねじをモータなどの駆動部材により動作させることにより、Ｙ軸テーブル２はガイドレールに沿って（Ｙ軸方向に）移動可能になっている。また、Ｙ軸テーブル２の上部表面上は、基板などの処理対象材５を搭載する搭載面となっている。 Inside the processing chamber, a Y-axis table 2 is installed on the bottom of the processing chamber. This Y-axis table 2 is movable in the Y-axis direction. Specifically, a guide section is installed on the lower surface of the Y-axis table 2. The guide section is slidably connected to a guide rail installed on the bottom surface of the processing chamber. Further, a ball screw is connected to the lower surface of the Y-axis table 2. By operating the ball screw with a driving member such as a motor, the Y-axis table 2 is movable along the guide rail (in the Y-axis direction). Further, the upper surface of the Y-axis table 2 is a mounting surface on which a processing target material 5 such as a substrate is mounted.

Ｙ軸テーブル２上には、Ｘ軸テーブル１が設置されている。Ｘ軸テーブル１は、Ｙ軸テーブル２をＸ軸方向に跨ぐように設置された構造体上に配置されている。Ｘ軸テーブル１には、Ｚ軸テーブル３が接続された移動体がＸ軸方向に移動可能に設置されている。移動体は、たとえばボールねじを用いてＸ軸方向に移動可能となっている。なお、Ｘ軸テーブル１は上記構造体を介して処理室の底面に固定されている。そのため、上述したＹ軸テーブル２は、Ｘ軸テーブル１に対してＹ軸方向に移動可能になっている。 An X-axis table 1 is installed on the Y-axis table 2. The X-axis table 1 is arranged on a structure installed so as to straddle the Y-axis table 2 in the X-axis direction. A moving body to which a Z-axis table 3 is connected is installed on the X-axis table 1 so as to be movable in the X-axis direction. The movable body is movable in the X-axis direction using, for example, a ball screw. Note that the X-axis table 1 is fixed to the bottom surface of the processing chamber via the above structure. Therefore, the above-mentioned Y-axis table 2 is movable in the Y-axis direction with respect to the X-axis table 1.

Ｘ軸テーブル１に接続された移動体には、上述のようにＺ軸テーブル３が設置されている。Ｚ軸テーブル３には、観察光学系６および塗布部材４が接続されている。観察光学系６は塗布対象の処理対象材５の塗布位置を観察するためのものである。ＣＣＤカメラは、観察した画像を電気信号に変換する。Ｚ軸テーブル３は、これらの観察光学系６および塗布部材４をＺ軸方向に移動可能に保持している。 The Z-axis table 3 is installed on the moving body connected to the X-axis table 1 as described above. An observation optical system 6 and a coating member 4 are connected to the Z-axis table 3. The observation optical system 6 is for observing the coating position of the material 5 to be coated. A CCD camera converts the observed image into an electrical signal. The Z-axis table 3 holds the observation optical system 6 and the coating member 4 movably in the Z-axis direction.

これらのＹ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル１、Ｚ軸テーブル３、観察光学系６および塗布部材４を制御するための制御用コンピュータ１０および操作パネル８、さらに制御用コンピュータに付随するモニタ９は、処理室の外部に設置されている。モニタ９は、上述したＣＣＤカメラ７で変換された画像データや、制御用コンピュータ１０からの出力データを表示する。操作パネル８は、制御用コンピュータ１０への指令を入力するために用いられる。 A control computer 10 and an operation panel 8 for controlling these Y-axis table 2, X-axis table 1, Z-axis table 3, observation optical system 6 and coating member 4, and a monitor 9 attached to the control computer are as follows: It is installed outside the processing room. The monitor 9 displays image data converted by the above-mentioned CCD camera 7 and output data from the control computer 10. The operation panel 8 is used to input commands to the control computer 10.

＜塗布部材および塗布針ホルダの構成＞
図２および図３は、図１に示した塗布装置の塗布部材４を示す模式図である。図４は、図３に示した塗布装置における塗布針ホルダの構成を説明するための模式図である。上述した塗布部材４に関して、図２および図３を参照してより詳しく説明する。なお、図１に示した塗布装置に設置された２つの塗布部材４は同様の構成を備える。 <Configuration of coating member and coating needle holder>
2 and 3 are schematic diagrams showing the coating member 4 of the coating device shown in FIG. 1. FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the configuration of the coating needle holder in the coating device shown in FIG. 3. The application member 4 described above will be explained in more detail with reference to FIGS. 2 and 3. Note that the two coating members 4 installed in the coating apparatus shown in FIG. 1 have the same configuration.

図１に示したＺ軸テーブル３に固定された塗布部材４は、塗布針部２４を含む塗布針ホルダ２０を含む。塗布針ホルダ２０の塗布針部２４は上述したように塗布針２４ａと外筒２４ｂとを含む。外筒２４ｂは、塗布針２４ａの外周を囲む円筒形状の部材である。外筒２４ｂは第１駆動部８０により塗布針２４ａに対して相対的に移動可能になっている。また、塗布部材４は、塗布針ホルダ２０を塗布針２４ａの延在方向に移動させる第２駆動部４０と、塗布する材料である液体材料を保持する容器２１とをさらに含む。なお、塗布針ホルダ２０は第２駆動部４０に対して着脱自在に接続されている。塗布針ホルダ２０を第２駆動部４０に接続する構造は任意の構造を採用できる。 The coating member 4 fixed to the Z-axis table 3 shown in FIG. 1 includes a coating needle holder 20 that includes a coating needle portion 24 . As described above, the coating needle portion 24 of the coating needle holder 20 includes the coating needle 24a and the outer cylinder 24b. The outer cylinder 24b is a cylindrical member surrounding the outer periphery of the application needle 24a. The outer cylinder 24b is movable relative to the coating needle 24a by a first driving section 80. The coating member 4 further includes a second drive unit 40 that moves the coating needle holder 20 in the extending direction of the coating needle 24a, and a container 21 that holds a liquid material to be coated. Note that the applicator needle holder 20 is detachably connected to the second drive section 40. Any structure can be adopted for connecting the coating needle holder 20 to the second drive section 40.

塗布針ホルダ２０は、図４に示すように塗布針部２４と、塗布針支持板２０ｃと、第１駆動部８０と、ホルダ外殻２０ａとを主に含む。ホルダ外殻２０ａの内部に第１駆動部８０と塗布針支持板２０ｃとが配置されている。塗布針部２４はその一部がホルダ外殻２０ａの下部より外側に突出した状態で配置されている。 As shown in FIG. 4, the coating needle holder 20 mainly includes a coating needle part 24, a coating needle support plate 20c, a first driving part 80, and a holder outer shell 20a. A first drive section 80 and a coating needle support plate 20c are arranged inside the holder outer shell 20a. The applicator needle portion 24 is arranged such that a portion thereof protrudes outward from the lower portion of the holder outer shell 20a.

ホルダ外殻２０ａの内部において、塗布針２４ａの根元部は塗布針支持板２０ｃの先端部に固定されている。なお、塗布針２４ａの根元部とは、塗布針２４ａにおいてホルダ外殻２０ａの内部に位置し、塗布針支持板２０ｃに面する端部である。塗布針２４ａの先端とは、上記塗布針２４ａの根元部と反対側の端部である。外筒２４ｂの根元部は可動板２０ｆに固定されている。なお、外筒２４ｂの根元部とは、外筒２４ｂにおいてホルダ外殻２０ａの内部に位置し、可動板２０ｆに面する端部である。また、異なる観点から言えば、外筒２４ｂの根元部とは、塗布針２４ａの上記根元部を囲む外筒２４ｂの部分である。可動板２０ｆには外筒２４ｂが固定された部分に塗布針２４ａを挿通させるための穴が形成されている。塗布針２４ａは可動板２０ｆの当該穴を介して外筒２４ｂの内部に配置されている。第１駆動部８０は、上記可動板２０ｆと、電磁ソレノイド２０ｄと、可動軸２０ｅと、バネ２０ｇとを含む。可動板２０ｆは、可動軸２０ｅの一端が固定された第１部分と、バネ２０ｇの一端が固定された第２部分とを含む。バネ２０ｇは、可動板２０ｆに固定された一端と反対側の他端が塗布針支持板２０ｃに固定されている。バネ２０ｇは、可動板２０ｆを塗布針２４ａの先端側に付勢する。なお、バネ２０ｇの他端はホルダ外殻２０ａの内壁に固定されていてもよい。 Inside the holder outer shell 20a, the base portion of the coating needle 24a is fixed to the tip portion of the coating needle support plate 20c. Note that the root portion of the coating needle 24a is the end portion of the coating needle 24a located inside the holder outer shell 20a and facing the coating needle support plate 20c. The tip of the applicator needle 24a is the end opposite to the base of the applicator needle 24a. The root portion of the outer cylinder 24b is fixed to the movable plate 20f. Note that the root portion of the outer tube 24b is an end portion of the outer tube 24b that is located inside the holder outer shell 20a and faces the movable plate 20f. Furthermore, from a different perspective, the root portion of the outer tube 24b is a portion of the outer tube 24b that surrounds the root portion of the applicator needle 24a. A hole is formed in the portion of the movable plate 20f to which the outer cylinder 24b is fixed, through which the coating needle 24a is inserted. The coating needle 24a is arranged inside the outer cylinder 24b through the hole in the movable plate 20f. The first drive section 80 includes the movable plate 20f, an electromagnetic solenoid 20d, a movable shaft 20e, and a spring 20g. The movable plate 20f includes a first portion to which one end of the movable shaft 20e is fixed, and a second portion to which one end of the spring 20g is fixed. The spring 20g has one end fixed to the movable plate 20f and the other end opposite to the other end fixed to the coating needle support plate 20c. The spring 20g urges the movable plate 20f toward the tip of the coating needle 24a. Note that the other end of the spring 20g may be fixed to the inner wall of the holder outer shell 20a.

可動軸２０ｅは電磁ソレノイド２０ｄにより移動可能になっている。電磁ソレノイド２０ｄは塗布針ホルダ側電極２０ｂに電気的に接続されている。塗布針ホルダ側電極２０ｂは、塗布針ホルダ２０が固定される可動部４６の可動部側電極４６ａに接続される。当該可動部側電極４６ａおよび塗布針ホルダ側電極２０ｂを介して、電磁ソレノイド２０ｄには塗布部材４の外部から電力が供給される。 The movable shaft 20e is movable by an electromagnetic solenoid 20d. The electromagnetic solenoid 20d is electrically connected to the coating needle holder side electrode 20b. The coating needle holder side electrode 20b is connected to the movable part side electrode 46a of the movable part 46 to which the coating needle holder 20 is fixed. Electric power is supplied from outside the coating member 4 to the electromagnetic solenoid 20d via the movable part side electrode 46a and the coating needle holder side electrode 20b.

図４に示すように、塗布針ホルダ２０では、可動板２０ｆにおいて外筒２４ｂ側の第１面と反対側の第２面にバネ２０ｇおよび電磁ソレノイド２０ｄが接続されている。より詳しく言えば、電磁ソレノイド２０ｄは可動軸２０ｅを介して可動板２０ｆの第２面に接続されている。バネ２０ｇ、可動軸２０ｅおよび電磁ソレノイド２０ｄは可動板２０ｆから見て外筒２４ｂと反対側に配置されている。また、塗布針２４ａは外筒２４ｂの内部に配置されている。塗布針２４ａおよび外筒２４ｂにおいて上記根元部と反対側の端部である先端は、可動板２０ｆから見て上記バネ２０ｇおよび電磁ソレノイド２０ｄと反対側に位置する。バネ２０ｇと電磁ソレノイド２０ｄとは、塗布針支持板２０ｃを挟むように配置されている。塗布針２４ａの延在方向に沿うように、バネ２０ｇと電磁ソレノイド２０ｄとの中心軸が配置されている。なお、バネ２０ｇの中心軸とはコイルバネであるバネ２０ｇを構成する線材が巻回されている巻回中心を意味する。電磁ソレノイド２０ｄの中心軸とは、電磁ソレノイド２０ｄを構成する導電線が巻回されている巻回中心を意味する。 As shown in FIG. 4, in the application needle holder 20, a spring 20g and an electromagnetic solenoid 20d are connected to a second surface of the movable plate 20f on the opposite side to the first surface on the outer cylinder 24b side. More specifically, the electromagnetic solenoid 20d is connected to the second surface of the movable plate 20f via the movable shaft 20e. The spring 20g, the movable shaft 20e, and the electromagnetic solenoid 20d are arranged on the opposite side of the outer cylinder 24b when viewed from the movable plate 20f. Moreover, the application needle 24a is arranged inside the outer cylinder 24b. The tips of the applicator needle 24a and the outer tube 24b, which are the ends opposite to the base portion, are located on the opposite side from the spring 20g and the electromagnetic solenoid 20d when viewed from the movable plate 20f. The spring 20g and the electromagnetic solenoid 20d are arranged to sandwich the coating needle support plate 20c. The center axes of the spring 20g and the electromagnetic solenoid 20d are arranged along the extending direction of the application needle 24a. Note that the central axis of the spring 20g means the center of the winding around which the wire constituting the spring 20g, which is a coil spring, is wound. The central axis of the electromagnetic solenoid 20d means the center of winding around which the conductive wire forming the electromagnetic solenoid 20d is wound.

可動軸２０ｅおよび可動板２０ｆを介して、電磁ソレノイド２０ｄにより外筒２４ｂは移動可能である。たとえば、電磁ソレノイド２０ｄが動作して可動軸２０ｅを上方（塗布針２４ａの根元部と反対側の端部である先端部側から離れる方向）へ移動させることで、外筒２４ｂは塗布針２４ａの根元部側へ、つまり塗布針支持板２０ｃに近づく方向に当該塗布針２４ａに対して相対的に移動する。また、電磁ソレノイド２０ｄの動作が停止すると、バネ２０ｇの付勢力により可動板２０ｆおよび外筒２４ｂは塗布針２４ａの先端部側へ、つまり塗布針支持板２０ｃから離れる方向に塗布針２４ａに対して相対的に移動する。 The outer cylinder 24b is movable by the electromagnetic solenoid 20d via the movable shaft 20e and the movable plate 20f. For example, by operating the electromagnetic solenoid 20d and moving the movable shaft 20e upwards (in the direction away from the distal end side, which is the end opposite to the base of the coating needle 24a), the outer cylinder 24b moves from the dispensing needle 24a. It moves relative to the applicator needle 24a toward the root side, that is, in a direction approaching the applicator needle support plate 20c. Furthermore, when the operation of the electromagnetic solenoid 20d is stopped, the movable plate 20f and the outer cylinder 24b are moved toward the distal end of the coating needle 24a, that is, in the direction away from the coating needle support plate 20c, due to the biasing force of the spring 20g. Move relatively.

第２駆動部４０については任意の構成を採用できる。たとえば、図２および図３に示すように第２駆動部４０は、サーボモータ４１と、カム４３と、軸受４４と、カム連結板４５と、可動部４６とを含む。サーボモータ４１は、たとえば図１に示したＺ軸方向に沿った方向に回転軸が延びるように設置されている。サーボモータ４１の回転軸にはカム４３が接続されている。カム４３は、サーボモータ４１の回転軸を中心として回転可能になっている。 Any configuration can be adopted for the second drive section 40. For example, as shown in FIGS. 2 and 3, the second drive section 40 includes a servo motor 41, a cam 43, a bearing 44, a cam connection plate 45, and a movable section 46. The servo motor 41 is installed such that its rotating shaft extends, for example, in a direction along the Z-axis direction shown in FIG. A cam 43 is connected to the rotating shaft of the servo motor 41. The cam 43 is rotatable around the rotation axis of the servo motor 41.

カム４３は、サーボモータ４１の回転軸に接続された中心部と、当該中心部の一方端部に接続されたフランジ部とを含む。フランジ部の上部表面（サーボモータ４１側の表面）はカム面となっている。このカム面は、中心部の外周に沿って円環状に形成されている。また、図２および図３に示すように、カム面はフランジ部の底面からの距離が変動するようにスロープ状に形成されている。たとえば、カム面はフランジ部の底面からの距離が最も大きくなっている上端フラット領域と、この上端フラット領域から間隔を隔てて配置され、フランジ部の底面からの距離が最も小さい下端フラット領域と、上端フラット領域と下端フラット領域との間を接続するスロープ部とを含む。 The cam 43 includes a center portion connected to the rotating shaft of the servo motor 41 and a flange portion connected to one end of the center portion. The upper surface of the flange portion (the surface on the servo motor 41 side) is a cam surface. This cam surface is formed in an annular shape along the outer periphery of the center portion. Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the cam surface is formed in a slope shape so that the distance from the bottom surface of the flange portion varies. For example, the cam surface has an upper end flat region where the distance from the bottom surface of the flange portion is the greatest, and a lower end flat region which is spaced apart from the upper end flat region and has the smallest distance from the bottom surface of the flange portion. A slope portion connecting the upper end flat region and the lower end flat region is included.

このカム４３のカム面に接するように軸受４４が配置されている。軸受４４は、図２および図３に示すようにカム４３から見て特定の方向（サーボモータ４１の右側）に配置されている。軸受４４は、サーボモータ４１の回転軸が回転することでカム４３が回転したとき、カム面に接触した状態を保つ。この軸受４４にカム連結板４５が接続されている。カム連結板４５において、軸受４４と接続された一方端部と反対側の他方端部は可動部４６に固定されている。可動部４６には塗布針ホルダ収納部が接続されている。この塗布針ホルダ収納部に上述した塗布針ホルダ２０が収納されている。たとえば、塗布針ホルダ２０において塗布針ホルダ収納部に面する表面に磁石などの第１接続部材が配置されていてもよい。また、塗布針ホルダ収納部側にも磁石または磁性体など、上述した塗布針ホルダ２０側の第１接続部材を固定できる第２接続部材が配置されていてもよい。 A bearing 44 is arranged so as to be in contact with the cam surface of this cam 43. The bearing 44 is arranged in a specific direction (to the right of the servo motor 41) when viewed from the cam 43, as shown in FIGS. 2 and 3. The bearing 44 maintains contact with the cam surface when the cam 43 rotates due to rotation of the rotating shaft of the servo motor 41. A cam connecting plate 45 is connected to this bearing 44. In the cam connecting plate 45, one end connected to the bearing 44 and the other end opposite to the other end are fixed to a movable part 46. A coating needle holder housing section is connected to the movable section 46 . The above-mentioned coating needle holder 20 is stored in this coating needle holder storage section. For example, a first connecting member such as a magnet may be disposed on the surface of the coating needle holder 20 facing the coating needle holder storage section. Furthermore, a second connecting member such as a magnet or a magnetic material that can fix the first connecting member on the side of the coating needle holder 20 described above may be arranged on the side of the coating needle holder storage section.

塗布針ホルダ２０下には容器２１が配置されている。容器２１に塗布針部２４は挿入された状態で保持されている。 A container 21 is arranged below the coating needle holder 20. The applicator needle 24 is held inserted into the container 21 .

可動部４６には固定ピンが設置されている。また、サーボモータ４１を保持している架台には他方の固定ピンが設置されている。これら２つの固定ピンの間を繋ぐようにバネが設置されている。このバネにより、可動部４６は容器２１側に向けた引張り力を受けた状態になっている。また、このバネによる引張り力は、可動部４６およびカム連結板４５を介して軸受４４に作用する。このバネ５０の引張り力によって、軸受４４はカム４３のカム面に押圧された状態を維持している。 A fixed pin is installed in the movable part 46. Further, the other fixing pin is installed on the pedestal that holds the servo motor 41. A spring is installed to connect these two fixing pins. Due to this spring, the movable part 46 is in a state where it receives a tensile force toward the container 21 side. Further, the tensile force by this spring acts on the bearing 44 via the movable portion 46 and the cam connection plate 45. The tensile force of the spring 50 keeps the bearing 44 pressed against the cam surface of the cam 43.

また、可動部４６および塗布針ホルダ収納部は、上記架台に設置されたリニアガイドに接続されている。リニアガイドは、Ｚ軸方向に延びるように配置されている。そのため、可動部４６および塗布針ホルダ収納部はＺ軸方向に沿って移動可能になっている。 Moreover, the movable part 46 and the applicator needle holder storage part are connected to a linear guide installed on the pedestal. The linear guide is arranged to extend in the Z-axis direction. Therefore, the movable part 46 and the application needle holder storage part are movable along the Z-axis direction.

＜塗布部材の動作＞
上述した塗布部材４においては、サーボモータ４１を駆動することにより当該サーボモータ４１の回転軸を回転させてカム４３を回転させる。この結果、カム４３のカム面は、Ｚ軸方向における高さが変化するため、図２および図３に示すように、カム４３の右側においてカム面に接触している軸受４４のＺ軸方向における位置もサーボモータ４１の駆動軸の回転に応じて変動する。そして、この軸受４４のＺ軸方向での位置変動に応じて、可動部４６および塗布針ホルダ収納部４８がＺ軸方向に移動する。この結果、塗布針ホルダ収納部４８に保持されている塗布針ホルダ２０もＺ軸方向に移動する。このようにして、当該塗布針ホルダ２０に設置されている塗布針部２４のＺ軸方向における位置を変化させることができる。なお、図２では塗布針部２４がＺ軸方向において相対的に上側に変位した状態を示し、図３では塗布針部２４がＺ軸方向において相対的に下側に変位した状態を示す。 <Operation of application member>
In the coating member 4 described above, by driving the servo motor 41, the rotation shaft of the servo motor 41 is rotated, and the cam 43 is rotated. As a result, the height of the cam surface of the cam 43 in the Z-axis direction changes, so that the height of the bearing 44 in contact with the cam surface on the right side of the cam 43 in the Z-axis direction changes as shown in FIGS. The position also changes according to the rotation of the drive shaft of the servo motor 41. Then, in accordance with the positional change of the bearing 44 in the Z-axis direction, the movable part 46 and the coating needle holder storage part 48 move in the Z-axis direction. As a result, the coating needle holder 20 held in the coating needle holder storage section 48 also moves in the Z-axis direction. In this way, the position of the coating needle portion 24 installed in the coating needle holder 20 in the Z-axis direction can be changed. Note that FIG. 2 shows a state in which the coating needle portion 24 is relatively displaced upward in the Z-axis direction, and FIG. 3 shows a state in which the coating needle portion 24 is relatively displaced downward in the Z-axis direction.

＜塗布針ホルダの動作＞
図５および図７は、図２および図３に示した塗布部材における塗布針ホルダ２０の動作を説明するための模式図である。図６は、図５における領域ＶＩの拡大模式図である。図８は、図７における領域ＶＩＩＩの拡大模式図である。図５および図６は塗布待機状態を示し、図７および図８は塗布状態を示している。 <Operation of coating needle holder>
5 and 7 are schematic diagrams for explaining the operation of the coating needle holder 20 in the coating member shown in FIGS. 2 and 3. FIG. FIG. 6 is an enlarged schematic diagram of region VI in FIG. FIG. 8 is an enlarged schematic diagram of region VIII in FIG. 5 and 6 show a coating standby state, and FIGS. 7 and 8 show a coating state.

図５および図６に示すように、塗布待機状態では、外筒２４ｂは塗布針２４ａに対して相対的に下降した状態で待機している。電磁ソレノイド２０ｄの下端と可動板２０ｆとの間の距離は距離Ｌ１となっている。この時、塗布針２４ａの先端は外筒２４ｂの奥に収納された状態となっている。外筒２４ｂの先端と塗布針２４ａの先端との間であって外筒２４ｂの内部に、液体材料７０の一部が保持された状態になっている。 As shown in FIGS. 5 and 6, in the coating standby state, the outer cylinder 24b is on standby in a lowered state relative to the coating needle 24a. The distance between the lower end of the electromagnetic solenoid 20d and the movable plate 20f is a distance L1. At this time, the tip of the applicator needle 24a is housed deep inside the outer cylinder 24b. A portion of the liquid material 70 is held inside the outer tube 24b between the tip of the outer tube 24b and the tip of the applicator needle 24a.

図７および図８に示す塗布状態では、外筒２４ｂが電磁ソレノイド２０ｄの動作により塗布針２４ａに対して相対的に上昇した状態となる。磁ソレノイド２０ｄの下端と可動板２０ｆとの間の距離は、図５に示した距離Ｌ１より小さい距離Ｌ２となっている。この時、塗布待機状態において外筒２４ｂの先端側の内部に保持されていた液体材料７０の一部が押し出され、塗布針２４ａ先端に溜まる。この溜まった液体材料を処理対象材の表面に塗布することにより、液体材料を処理対象材の表面に供給する。このような塗布待機状態と塗布状態とを繰り返し実施する。 In the application state shown in FIGS. 7 and 8, the outer cylinder 24b is raised relative to the application needle 24a by the operation of the electromagnetic solenoid 20d. The distance between the lower end of the magnetic solenoid 20d and the movable plate 20f is a distance L2 smaller than the distance L1 shown in FIG. 5. At this time, part of the liquid material 70 held inside the distal end side of the outer cylinder 24b in the coating standby state is pushed out and accumulates at the distal end of the coating needle 24a. By applying this accumulated liquid material to the surface of the material to be treated, the liquid material is supplied to the surface of the material to be treated. Such a coating standby state and a coating state are repeated.

たとえば、上記のように液体材料を処理対象材に塗布した後、塗布針２４ａ先端が液体材料の容器２１内に収納される。その後、電磁ソレノイド２０ｄの動作により外筒２４ｂを塗布針２４ａに対して相対的に下降させる。この結果、図５および図６に示すように、塗布針２４ａの先端が外筒２４ｂの内部に収納され、当該外筒２４ｂの先端側の内部に液体材料７０の一部が再度保持される。なお、あらかじめ外筒２４ｂを電磁ソレノイド２０ｄの動作により塗布針２４ａに対して相対的に下降させた状態で、つまり外筒２４ｂの先端側の内部に空間を形成した状態で、塗布針２４ａ先端を液体材料の容器２１内部に収納してもよい。この場合も、塗布針２４ａの先端が収納された外筒２４ｂの先端側の内部に液体材料７０の一部が流入する。 For example, after applying the liquid material to the material to be treated as described above, the tip of the application needle 24a is stored in the liquid material container 21. Thereafter, the outer cylinder 24b is lowered relative to the coating needle 24a by the operation of the electromagnetic solenoid 20d. As a result, as shown in FIGS. 5 and 6, the tip of the applicator needle 24a is housed inside the outer tube 24b, and a portion of the liquid material 70 is again held inside the tip side of the outer tube 24b. Note that the tip of the coating needle 24a is moved with the outer tube 24b lowered in advance relative to the coating needle 24a by the operation of the electromagnetic solenoid 20d, that is, with a space formed inside the tip side of the outer tube 24b. It may be stored inside the liquid material container 21. Also in this case, a portion of the liquid material 70 flows into the inside of the tip side of the outer cylinder 24b in which the tip of the applicator needle 24a is accommodated.

なお、液体材料７０の粘度が高くなると、上記のように外筒２４ｂの先端側の内部に予め空間が形成された状態で外筒２４ｂの先端部が容器２１の内部に収納しても、当該外筒２４ｂの先端側の内部に液体材料７０が流入し難くなる場合がある。このため、塗布針２４ａ先端を液体材料の容器２１内に収納してから、外筒２４ｂを塗布針２４ａに対して相対的に下降させる方法を採用することが好ましい。この場合、外筒２４ｂを塗布針２４ａに対して相対的に下降させる動作により、外筒２４ｂの先端側の内部空間に液体材料７０を吸引する効果をえることができ、当該内部空間に液体材料７０を効率的に流入させることができる。 Note that when the viscosity of the liquid material 70 becomes high, even if the distal end of the outer cylinder 24b is housed inside the container 21 with a space previously formed inside the distal end side of the external cylinder 24b as described above, the It may become difficult for the liquid material 70 to flow into the tip side of the outer cylinder 24b. For this reason, it is preferable to adopt a method in which the tip of the applicator needle 24a is housed in the liquid material container 21 and then the outer cylinder 24b is lowered relative to the applicator needle 24a. In this case, by lowering the outer cylinder 24b relative to the application needle 24a, it is possible to obtain the effect of sucking the liquid material 70 into the internal space on the tip side of the outer cylinder 24b, and the liquid material 70 is drawn into the internal space. 70 can be efficiently introduced.

外筒２４ｂを上下させるアクチュエータとしては、上述した電磁ソレノイド２０ｄに限らず、任意の機構を採用できる。たとえば、外筒２４ｂを塗布針２４ａに対して相対的に移動させるアクチュエータとして、エアシリンダ、電動シリンダ等の任意のアクチュエータ、またはカム機構やクランク機構等の往復動機構を利用してもよい。なお、当該アクチュエータとして電磁ソレノイド２０ｄを利用すると、塗布針ホルダ２０の小型化、軽量化や外筒２４ｂの動作時間の短縮化といった効果が得られる。 The actuator for moving the outer cylinder 24b up and down is not limited to the electromagnetic solenoid 20d described above, but any mechanism can be used. For example, any actuator such as an air cylinder or electric cylinder, or a reciprocating mechanism such as a cam mechanism or a crank mechanism may be used as the actuator for moving the outer cylinder 24b relative to the application needle 24a. Note that when the electromagnetic solenoid 20d is used as the actuator, effects such as a reduction in the size and weight of the applicator needle holder 20 and a reduction in the operating time of the outer cylinder 24b can be obtained.

＜塗布方法の概念＞
図９は、比較例としての塗布方法を説明するための模式図である。図１０は、本実施形態に従った塗布方法を説明するための模式図である。図９に示す比較例としての塗布方法と対比しながら、図１０に示す本実施形態に従った塗布方法を説明する。なお、図９および図１０は、ともに処理対象材５の表面に先に塗布されている液体材料７５に他の液体材料を塗布する場合を示している。 <Concept of coating method>
FIG. 9 is a schematic diagram for explaining a coating method as a comparative example. FIG. 10 is a schematic diagram for explaining the coating method according to this embodiment. The coating method according to the present embodiment shown in FIG. 10 will be described in comparison with the coating method as a comparative example shown in FIG. Note that both FIGS. 9 and 10 show the case where another liquid material is applied to the liquid material 75 that has been previously applied to the surface of the material 5 to be processed.

図９に示す比較例としての塗布針方式では、先端部の幅が徐々に狭くなり、フラットな先端面を有する塗布針１２４を用いる。まず図９（Ａ）に示すように、塗布針１２４のフラットな先端面に付着する液体材料７０の量は、ほぼ液体材料７０の粘度で決まる。そのため、当該先端面に付着する液体材料７０の量を任意に制御することは困難であった。一般に、塗布針１２４の先端面に付着する液体材料７０の量は微量である。このような塗布針１２４を用いて、図９（Ｂ）に示すように、処理対象材５の表面に先に塗布されている液体材料７５に重ねて液体材料７０を塗布する。この場合、図９（Ｃ）に示すように、先に塗布されていた液体材料７５と塗布針１２４の先端に付着していた液体材料７０とが混合した混合液体材料７７が、塗布針１２４の先端側にも付着する。上述した液体材料７０、７５が２液性の接着剤である場合、塗布針１２４の先端で当該接着剤が固まってしまい、その後の塗布に悪影響を及ぼす。また、上記液体材料７０、７５が２液性の接着剤では無い場合でも、塗布針１２４先端に付着した液体材料７０が、先に塗布されていた液体材料７５で汚染されてしまうと、塗布針１２４が収容される塗布材料の容器に保持されている液体材料７０も汚染される。 In the coating needle method as a comparative example shown in FIG. 9, a coating needle 124 having a flat tip surface whose tip width becomes gradually narrower is used. First, as shown in FIG. 9(A), the amount of the liquid material 70 that adheres to the flat tip surface of the applicator needle 124 is determined approximately by the viscosity of the liquid material 70. Therefore, it has been difficult to arbitrarily control the amount of liquid material 70 that adheres to the tip surface. Generally, the amount of liquid material 70 that adheres to the tip surface of applicator needle 124 is very small. Using such a coating needle 124, as shown in FIG. 9(B), the liquid material 70 is applied onto the surface of the material 5 to be treated, overlapping the liquid material 75 previously applied. In this case, as shown in FIG. 9(C), the mixed liquid material 77, which is a mixture of the liquid material 75 that was applied earlier and the liquid material 70 that was attached to the tip of the applicator needle 124, is transferred to the applicator needle 124. It also attaches to the tip. When the liquid materials 70 and 75 described above are two-component adhesives, the adhesive hardens at the tip of the application needle 124, which adversely affects subsequent application. Further, even if the liquid materials 70 and 75 are not two-component adhesives, if the liquid material 70 attached to the tip of the applicator needle 124 is contaminated with the liquid material 75 that was applied earlier, the applicator needle The liquid material 70 held in the container of coating material containing 124 also becomes contaminated.

一方、図１０に示した本実施形態に従った塗布方法では、まず図１０（Ａ）に示すように塗布針２４ａに対して外筒２４ｂが相対的に下降した状態で、外筒２４ｂの第１端２６と塗布針２４ａの先端２５との間の空間に液体材料の一部７０ａが保持された状態となっている。その後、外筒２４ｂを塗布針２４ａに対して相対的に上昇させる。この結果、図１０（Ｂ）に示すように外筒２４ｂの第１端２６より内側の空間から当該第１端２６より外側に液体材料７０ａ（図１０（Ａ）参照）が押し出され、液滴７１となる。塗布針２４ａの先端２５は外筒２４ｂの第１端２６と同一面上に位置してもよい。あるいは、塗布針２４ａの先端２５は外筒２４ｂの第１端２６より内側に配置されていてもよいし、当該第１端２６より外側に配置されてもよい。このように液滴７１となるべき液体材料７０ａが外筒２４ｂの内部に保持されていたため、液滴７１の体積は図９に示した比較例における塗布針１２４の先端に付着する液体材料７０の体積より大きくなる。 On the other hand, in the coating method according to the present embodiment shown in FIG. 10, first, as shown in FIG. A portion of the liquid material 70a is held in the space between the first end 26 and the tip 25 of the applicator needle 24a. Thereafter, the outer cylinder 24b is raised relative to the coating needle 24a. As a result, as shown in FIG. 10(B), the liquid material 70a (see FIG. 10(A)) is pushed out from the space inside the first end 26 of the outer cylinder 24b to the outside of the first end 26, and droplets It will be 71. The tip 25 of the applicator needle 24a may be located on the same plane as the first end 26 of the outer cylinder 24b. Alternatively, the tip 25 of the application needle 24a may be arranged inside the first end 26 of the outer tube 24b, or may be arranged outside the first end 26. Since the liquid material 70a that should become the droplet 71 was held inside the outer cylinder 24b, the volume of the droplet 71 was smaller than that of the liquid material 70 adhering to the tip of the applicator needle 124 in the comparative example shown in FIG. It becomes larger than the volume.

次に、図１０（Ｃ）に示すように、塗布針２４ａおよび外筒２４ｂを処理対象材５に相対的に近づける。ここでは、塗布部材４の構成から塗布針２４ａおよび外筒２４ｂを処理対象材５に向けて矢印に示す方向に移動させている。なお、処理対象材５を塗布針２４ａおよび外筒２４ｂに向けて移動させてもよい。この結果、塗布針２４ａおよび外筒２４ｂの先端側に保持されている液滴７１が処理対象材５の表面の液体材料７５に接触する。このとき、液滴７１の下端を処理対象材５の表面の液体材料７５に接触させる。この結果、液滴７１の大部分を処理対象材５側へ移動させ、液体材料７５と液滴７１を構成する液体材料とが混合した液体材料７２が処理対象材５の表面上に配置される。一方、処理対象材５側から塗布針２４ａの先端２５側に、液滴７１と液体材料７５とが混合した液体材料７２が這い上がることを抑制できる。このため、塗布工程後において、塗布針２４ａの先端２５に残存する液体材料７１ａが、先に処理対象材５に塗布されていた液体材料７５により汚染される可能性は低い。この結果、安定した塗布すなわち液体材料の供給が可能となる。なお、上記のような塗布工程後、図１０（Ｄ）に示すように、塗布針２４ａおよび外筒２４ｂを処理対象材５側から矢印の方向に移動させる。上記のような塗布方法において、先に処理対象材５に塗布されていた液体材料７５を２液性接着剤の１液目の材料とし、後から塗布される液体材料の液滴７１を２液性接着剤の２液目の材料としてもよい。なお、処理対象材５としては、平板、曲面状の表面を有する固体状の部材であってもよいが、液体やゲル状の部材であってもよく、液体材料７５を配置できる表面を有する対象物であればよい。 Next, as shown in FIG. 10(C), the coating needle 24a and the outer cylinder 24b are brought relatively close to the material 5 to be treated. Here, due to the configuration of the coating member 4, the coating needle 24a and the outer tube 24b are moved toward the material 5 to be treated in the direction shown by the arrow. Note that the material to be treated 5 may be moved toward the coating needle 24a and the outer cylinder 24b. As a result, the droplet 71 held on the distal end side of the coating needle 24a and the outer cylinder 24b comes into contact with the liquid material 75 on the surface of the material 5 to be treated. At this time, the lower end of the droplet 71 is brought into contact with the liquid material 75 on the surface of the material 5 to be treated. As a result, most of the droplets 71 are moved toward the material 5 to be treated, and a liquid material 72 in which the liquid material 75 and the liquid material forming the droplet 71 are mixed is placed on the surface of the material 5 to be treated. . On the other hand, it is possible to suppress the liquid material 72, which is a mixture of the droplets 71 and the liquid material 75, from creeping up from the treatment target material 5 side to the tip 25 side of the coating needle 24a. Therefore, after the coating process, there is a low possibility that the liquid material 71a remaining at the tip 25 of the coating needle 24a will be contaminated by the liquid material 75 that was previously applied to the material 5 to be treated. As a result, stable application, ie, supply of liquid material, becomes possible. In addition, after the above-mentioned coating process, as shown in FIG. 10(D), the coating needle 24a and the outer cylinder 24b are moved from the processing target material 5 side in the direction of the arrow. In the above-described application method, the liquid material 75 that has been applied to the material 5 to be treated first is used as the first liquid material of the two-component adhesive, and the droplets 71 of the liquid material that is applied later are used as the second liquid material. It may also be used as a material for the second liquid of adhesive. Note that the material to be treated 5 may be a solid member having a flat or curved surface, or may be a liquid or gel-like member, and may be an object having a surface on which the liquid material 75 can be placed. It is fine as long as it is a thing.

図１０に示した本実施形態に係る塗布方法により、２液性接着剤の１液目の上に２液目を塗布する場合でも、塗布針２４ａの先端２５が１液目による汚染される可能性を低減できる。この結果、安定した塗布が可能となる。 With the coating method according to the present embodiment shown in FIG. 10, even when the second liquid is applied on top of the first liquid of the two-component adhesive, the tip 25 of the coating needle 24a may be contaminated by the first liquid. It is possible to reduce the As a result, stable coating becomes possible.

＜塗布方法の具体例＞
上述した本実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法の具体例を説明する。図１１は、本実施形態に従った塗布方法のフローチャートである。図１１および適宜図５～図１０を用いて、本実施形態に従った塗布方法を説明する。 <Specific example of coating method>
A specific example of a coating method using the coating apparatus according to the present embodiment described above will be described. FIG. 11 is a flowchart of the coating method according to this embodiment. The coating method according to this embodiment will be explained using FIG. 11 and FIGS. 5 to 10 as appropriate.

図１１に示すように、本実施形態に係る塗布方法Ｐ－Ａでは、まず塗布プロセスを開始する（Ｓ１０）。具体的には、たとえば制御用コンピュータ１０により塗布装置の各機器の制御が開始される。このとき、たとえば塗布部材４が処理対象材５と対向する位置に配置されるように、Ｘ軸テーブル１、Ｙ軸テーブル２、Ｚ軸テーブル３などが制御される。また、図５および図６に示すように、このとき塗布針ホルダ２０の塗布針２４ａの先端２５は外筒２４ｂの内部に位置する。また、外筒２４ｂの先端部は容器２１の内部に配置された状態となっている。外筒２４ｂの先端側の内部には液体材料７０ａが配置されている。 As shown in FIG. 11, in the coating method PA according to this embodiment, the coating process is first started (S10). Specifically, for example, the control computer 10 starts controlling each device of the coating apparatus. At this time, the X-axis table 1, Y-axis table 2, Z-axis table 3, etc. are controlled so that, for example, the application member 4 is placed at a position facing the material to be treated 5. Further, as shown in FIGS. 5 and 6, at this time, the tip 25 of the coating needle 24a of the coating needle holder 20 is located inside the outer cylinder 24b. Further, the tip of the outer tube 24b is placed inside the container 21. A liquid material 70a is arranged inside the outer cylinder 24b on the tip side.

次に、塗布針ホルダの下降を開始する（Ｓ２０）。具体的には、塗布針ホルダ２０が第２駆動部４０により容器２１側に移動する。この結果、外筒２４ｂおよび塗布針２４ａがともに容器２１の底面から突出した状態となる。このとき、塗布針２４ａの先端２５は図１０（Ａ）に示すように外筒２４ｂの第１端２６より後退した状態となっている。外筒２４ｂの第１端２６と塗布針２４ａの先端２５との間には液体材料７０ａが保持されている。 Next, the coating needle holder starts lowering (S20). Specifically, the applicator needle holder 20 is moved toward the container 21 by the second drive unit 40 . As a result, both the outer cylinder 24b and the applicator needle 24a protrude from the bottom surface of the container 21. At this time, the tip 25 of the applicator needle 24a is in a state of retreating from the first end 26 of the outer tube 24b, as shown in FIG. 10(A). A liquid material 70a is held between the first end 26 of the outer cylinder 24b and the tip 25 of the applicator needle 24a.

その後、塗布針ホルダの下降を停止する（Ｓ３０）。この結果、先端部の内側に液体材料７０ａを保持した外筒２４ｂが、図１０（Ａ）に示すように処理対象材５の表面と間隔を隔てて配置された状態となる。 Thereafter, the lowering of the coating needle holder is stopped (S30). As a result, the outer cylinder 24b holding the liquid material 70a inside the tip end is placed at a distance from the surface of the material to be processed 5, as shown in FIG. 10(A).

次に、外筒２４ｂを上昇させる（Ｓ４０）。具体的には、図７および図８で説明したように、電磁ソレノイド２０ｄを駆動して外筒２４ｂを当該外筒２４ｂの根元側に引き上げる。この結果、図１０（Ｂ）に示すように、塗布針２４ａの先端２５が外筒２４ｂの第１端２６側に相対的に移動し、外筒２４ｂの第１端２６より下側に液滴７１が形成される。 Next, the outer cylinder 24b is raised (S40). Specifically, as explained in FIGS. 7 and 8, the electromagnetic solenoid 20d is driven to pull the outer cylinder 24b toward the base of the outer cylinder 24b. As a result, as shown in FIG. 10(B), the tip 25 of the applicator needle 24a moves relatively to the first end 26 side of the outer cylinder 24b, and the droplet drops below the first end 26 of the outer cylinder 24b. 71 is formed.

次に、塗布針ホルダの下降を再度開始する（Ｓ５０）。この結果、液滴７１を保持した塗布針２４ａが処理対象材５に近づく。そして、液滴７１が処理対象材５の表面に接することで、当該液滴７１の少なくとも一部が処理対象材５の表面上に付着する。このようにして、液体材料が処理対象材５の表面に塗布されるように供給される塗布工程（Ｓ６０）が実施される。なお、塗布工程（Ｓ６０）を実施するため、塗布針２４ａの先端２５または外筒２４ｂの第１端２６のうち処理対象材５に近い一方と処理対象材５の表面との間の距離は、ゼロを越え液滴７１の直径未満となっていることが好ましい。この場合、塗布針２４ａまたは外筒２４ｂが処理対象材５に直接接触することなく、液体材料を下降対象材５５の表面に塗布できる。上記液滴７１の直径は、液滴７１を構成する液体材料の粘性などを考慮して決定できる。また、当該直径は外筒２４ｂの内部に塗布針２４ａの先端２５が後退する距離を変更することで調整できる。 Next, the application needle holder starts lowering again (S50). As a result, the coating needle 24a holding the droplet 71 approaches the material 5 to be treated. When the droplet 71 comes into contact with the surface of the material 5 to be treated, at least a portion of the droplet 71 adheres to the surface of the material 5 to be treated. In this way, a coating step (S60) is performed in which the liquid material is supplied so as to be coated on the surface of the material 5 to be treated. In addition, in order to carry out the coating step (S60), the distance between the tip 25 of the coating needle 24a or the first end 26 of the outer tube 24b, whichever is closer to the material to be treated 5, and the surface of the material to be treated 5 is as follows. Preferably, it exceeds zero and is less than the diameter of the droplet 71. In this case, the liquid material can be applied to the surface of the material to be descended 55 without the application needle 24a or the outer cylinder 24b directly contacting the material to be treated 5. The diameter of the droplet 71 can be determined by taking into account the viscosity of the liquid material that makes up the droplet 71. Further, the diameter can be adjusted by changing the distance that the tip 25 of the applicator needle 24a retreats into the outer cylinder 24b.

次に、上記塗布工程（Ｓ６０）が実施された後、塗布針ホルダの上昇を開始する（Ｓ７０）。この時、図１０（Ｄ）に示すように外筒２４ｂの第１端２６と塗布針２４ａの先端２５とはほぼ同じ位置となっている。 Next, after the coating step (S60) is performed, the coating needle holder starts to rise (S70). At this time, as shown in FIG. 10(D), the first end 26 of the outer cylinder 24b and the tip 25 of the applicator needle 24a are at approximately the same position.

次に、外筒２４ｂの先端が容器２１の内部配置した時点で、塗布針ホルダの上昇を停止する（Ｓ８０）。この時、外筒２４ｂの第１端２６の位置は、容器２１の内部において塗布針２４ａに対して相対的に下降した場合にも、容器２１の外部に当該第１端２６が露出しないように、容器２１内に保持された液体材料７０の内部に侵入した状態とすることが好ましい。 Next, when the tip of the outer cylinder 24b is placed inside the container 21, the lifting of the applicator needle holder is stopped (S80). At this time, the position of the first end 26 of the outer cylinder 24b is set so that the first end 26 is not exposed to the outside of the container 21 even if it is lowered relative to the application needle 24a inside the container 21. , it is preferable that the liquid material 70 is entered into the interior of the liquid material 70 held in the container 21.

その後、外筒２４ｂを塗布針２４ａに対して相対的に下降させる（Ｓ９０）。この結果、図５および図６に示すように、外筒２４ｂの第１端２６より塗布針２４ａの先端２５が後退した状態となる。このとき、外筒２４ｂの第１端２６側における内部に容器２１内部の液体材料７０の一部が配置される。上記のようなプロセスを実施した後、塗布プロセスは終了する（Ｓ１００）。液体材料７０の塗布を繰り返す場合、上記の各工程（Ｓ１０）～（Ｓ１００）を繰り返す。 Thereafter, the outer cylinder 24b is lowered relative to the coating needle 24a (S90). As a result, as shown in FIGS. 5 and 6, the tip 25 of the applicator needle 24a is retracted from the first end 26 of the outer cylinder 24b. At this time, a part of the liquid material 70 inside the container 21 is placed inside the first end 26 side of the outer cylinder 24b. After performing the above process, the coating process ends (S100). When repeating the application of the liquid material 70, the above steps (S10) to (S100) are repeated.

＜塗布方法の変形例＞
図１２は、本実施形態に従った塗布方法の変形例のフローチャートである。図１２および適宜図５～図１１を用いて、本実施形態に従った塗布方法の変形例を説明する。 <Variations of application method>
FIG. 12 is a flowchart of a modification of the coating method according to this embodiment. A modification of the coating method according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 12 and FIGS. 5 to 11 as appropriate.

図１２に示した塗布方法においては、図１１に示した塗布方法と同様に工程（Ｓ１０）～（Ｓ３０）を実施する。その後、図１２に示すように塗布針ホルダ２０を低速で下降させながら外筒２４ｂを上昇させる（Ｓ１４０）。この工程（Ｓ１４０）では、塗布針ホルダ２０が第２駆動部４０により容器２１側に移動する。また、この工程（Ｓ１４０）における塗布針ホルダ２０の下降速度は、工程（Ｓ２０）～（Ｓ３０）における塗布針ホルダ２０の下降速度より低くなっている。また、同時に外筒２４ｂが塗布針２４ａに対して相対的に上昇する。具体的には、図１１の工程（Ｓ４０）と同様に、図７および図８で説明した電磁ソレノイド２０ｄを駆動して、外筒２４ｂを当該外筒２４ｂの根元側に引き上げる。なお、この工程（Ｓ１４０）において、塗布針ホルダ２０の下降開始のタイミングと、外筒２４ｂの上昇開始のタイミングは同じでもよいし、塗布針ホルダ２０の下降開始のタイミングより、外筒２４ｂの上昇開始のタイミングが後でも先でもよい。 In the coating method shown in FIG. 12, steps (S10) to (S30) are performed in the same manner as in the coating method shown in FIG. Thereafter, as shown in FIG. 12, the outer cylinder 24b is raised while lowering the coating needle holder 20 at a low speed (S140). In this step (S140), the coating needle holder 20 is moved toward the container 21 by the second drive unit 40. Further, the descending speed of the coating needle holder 20 in this step (S140) is lower than the descending speed of the coating needle holder 20 in steps (S20) to (S30). At the same time, the outer cylinder 24b rises relative to the coating needle 24a. Specifically, similarly to the step (S40) in FIG. 11, the electromagnetic solenoid 20d described in FIGS. 7 and 8 is driven to pull up the outer cylinder 24b toward the base of the outer cylinder 24b. In this step (S140), the timing at which the coating needle holder 20 starts descending may be the same as the timing at which the outer cylinder 24b starts rising. It may start later or later.

次に、塗布針ホルダ２０が下降している途中で、外筒２４ｂの塗布針２４ａに対する相対的な上昇が完了する（Ｓ１５０）。この結果、図１１の工程（Ｓ４０）と同じく、図１０（Ｂ）に示すように、塗布針２４ａの先端２５が外筒２４ｂの第１端２６側に相対的に移動し、外筒２４ｂの第１端２６より下側に液滴７１が形成される。 Next, while the applicator needle holder 20 is descending, the relative rise of the outer cylinder 24b with respect to the applicator needle 24a is completed (S150). As a result, as in the step (S40) of FIG. 11, as shown in FIG. 10(B), the tip 25 of the coating needle 24a moves relatively to the first end 26 side of the outer cylinder 24b, and A droplet 71 is formed below the first end 26 .

上記のように液滴７１が形成された状態で、塗布針ホルダ２０の下降が継続すると、液滴７１を保持した塗布針２４ａが処理対象材５に近づく。そして、液滴７１が処理対象材５の表面に接することで、当該液滴７１の少なくとも一部が処理対象材５の表面上に付着する。このようにして、液体材料が処理対象材５の表面に塗布される塗布工程（Ｓ６０）が実施される。この塗布工程（Ｓ６０）および工程（Ｓ７０）～（Ｓ１００）は、図１１に示した工程（Ｓ６０）～（Ｓ１００）と基本的に同様である。 When the coating needle holder 20 continues to descend with the droplet 71 formed as described above, the coating needle 24a holding the droplet 71 approaches the material 5 to be treated. When the droplet 71 comes into contact with the surface of the material 5 to be treated, at least a portion of the droplet 71 adheres to the surface of the material 5 to be treated. In this way, the coating step (S60) in which the liquid material is coated on the surface of the material 5 to be treated is performed. This coating step (S60) and steps (S70) to (S100) are basically the same as steps (S60) to (S100) shown in FIG. 11.

＜作用効果＞
本開示に従った塗布部材４は、処理対象材に液体を供給するための塗布針２４ａと、外筒２４ｂと、第１駆動部８０と、第２駆動部４０とを備える。外筒２４ｂは、塗布針２４ａの外周を囲み、塗布針２４ａの先端に近い側に位置する第１端２６を含む。第１駆動部８０は、塗布針２４ａの延在方向である第１方向において、塗布針２４ａに対して外筒２４ｂを相対的に移動させる。第２駆動部４０は、塗布針２４ａおよび外筒２４ｂを第１方向に移動させる。第１駆動部８０は、塗布針２４ａの先端２５が外筒２４ｂの第１端２６より外筒２４ｂの内部に後退している第１状態（図６、図１０（Ａ）参照）と、塗布針２４ａの先端２５が第１状態より外筒２４ｂの第１端２６側に移動した第２状態（図８、図１０（Ｂ）、図１０（Ｃ）、図１０（Ｄ）参照）とを切替えるように構成されている。 <Effect>
The coating member 4 according to the present disclosure includes a coating needle 24a for supplying liquid to a material to be treated, an outer cylinder 24b, a first drive section 80, and a second drive section 40. The outer cylinder 24b surrounds the outer periphery of the coating needle 24a and includes a first end 26 located near the tip of the coating needle 24a. The first drive unit 80 moves the outer cylinder 24b relative to the coating needle 24a in a first direction that is the extending direction of the coating needle 24a. The second drive unit 40 moves the coating needle 24a and the outer cylinder 24b in the first direction. The first drive unit 80 operates in a first state in which the distal end 25 of the applicator needle 24a is retracted into the outer tube 24b from the first end 26 of the outer tube 24b (see FIGS. 6 and 10(A)), and A second state in which the tip 25 of the needle 24a has moved from the first state to the first end 26 side of the outer cylinder 24b (see FIGS. 8, 10(B), 10(C), and 10(D)) configured to switch.

また、異なる観点から言えば、本開示に従った塗布針ホルダ２０は、処理対象材に液体を塗布するための塗布針２４ａと、外筒２４ｂと、第１駆動部８０とを備える。外筒２４ｂは、塗布針２４ａの外周を囲み、塗布針２４ａの先端２５に近い側に位置する第１端２６を含む。第１駆動部８０は、塗布針２４ａの延在方向である第１方向において、塗布針２４ａに対して外筒２４ｂを相対的に移動させる。第１駆動部８０は、塗布針２４ａの先端２５が外筒２４ｂの第１端２６より外筒２４ｂの内部に後退している第１状態と、塗布針２４ａの先端２５が第１状態より外筒２４ｂの第１端２６側に移動した第２状態とを切替えるように構成されている。 Furthermore, from a different perspective, the coating needle holder 20 according to the present disclosure includes a coating needle 24a for applying liquid to a material to be treated, an outer cylinder 24b, and a first drive section 80. The outer cylinder 24b surrounds the outer periphery of the coating needle 24a and includes a first end 26 located on the side closer to the tip 25 of the coating needle 24a. The first drive unit 80 moves the outer cylinder 24b relative to the coating needle 24a in a first direction that is the extending direction of the coating needle 24a. The first drive unit 80 operates in a first state in which the distal end 25 of the applicator needle 24a is retracted into the outer cylinder 24b from the first end 26 of the external cylinder 24b, and in a first state in which the distal end 25 of the applicator needle 24a is outside the first state. It is configured to switch between a second state in which the cylinder 24b has moved toward the first end 26 side.

上述したように、本開示に従った塗布部材４および塗布針ホルダ２０では、塗布針２４ａに外筒２４ｂを設けている。また、塗布材料容器である容器２１内では、塗布針２４ａの先端２５を外筒２４ｂの先端である第１端２６より奥側に収納した第１状態とし、外筒２４ｂ内において塗布針２４ａの先端２５より前側の部分に、塗布する液体材料７０ａを溜めることができる。一方、塗布する時は、容器２１から塗布針部２４を突出させた状態で、塗布する前に、外筒２４ｂを電磁ソレノイド２０ｄにより引き上げることで第２状態とし、溜めておいた液体材料７０ａを押し出す。異なる観点から言えば、外筒２４ｂを塗布針ホルダ２０の塗布針支持板２０ｃに近づく方向に相対的に後退させた第２状態では、塗布針２４ａの先端２５に一定量の液体材料７０ａが付着した状態となっている。この結果、塗布針２４ａの先端２５に球状の液滴７１として液体材料を保持した状態で、処理対象材５の塗布対象面に当該液滴７１の下端を接触させて塗布する。これにより、２液性接着剤を塗布する場合でも、２液性接着剤における２液目の接着剤の塗布時に、１液目の接着剤と接触した２液目の接着剤が塗布針２４ａの先端２５に残り辛くなる。このため、塗布針方式で２液性接着剤などの液体材料を安定して塗布することが可能となる。 As described above, in the coating member 4 and coating needle holder 20 according to the present disclosure, the coating needle 24a is provided with the outer cylinder 24b. Further, inside the container 21 which is the coating material container, the tip 25 of the coating needle 24a is stored in a first state deeper than the first end 26 which is the tip of the outer tube 24b, and the tip 25 of the coating needle 24a is stored inside the outer tube 24b. A liquid material 70a to be applied can be stored in a portion in front of the tip 25. On the other hand, when coating, with the coating needle 24 protruding from the container 21, before coating, the outer tube 24b is pulled up by the electromagnetic solenoid 20d to bring it into the second state, and the stored liquid material 70a is push out From a different perspective, in the second state in which the outer cylinder 24b is relatively retreated in the direction approaching the coating needle support plate 20c of the coating needle holder 20, a certain amount of liquid material 70a adheres to the tip 25 of the coating needle 24a. The situation is as follows. As a result, while the liquid material is held in the form of a spherical droplet 71 at the tip 25 of the coating needle 24a, the lower end of the droplet 71 is brought into contact with the surface to be coated of the material 5 to be treated and coated. As a result, even when applying a two-component adhesive, when applying the second adhesive in the two-component adhesive, the second adhesive that has come into contact with the first adhesive is transferred to the applicator needle 24a. It remains on the tip 25 and becomes spicy. Therefore, it becomes possible to stably apply a liquid material such as a two-component adhesive using a coating needle method.

上記塗布部材４および上記塗布針ホルダ２０において、第１駆動部８０は、電磁ソレノイド２０ｄを含む。電磁ソレノイド２０ｄを用いることで、塗布部材４および塗布針ホルダ２０の小型化、軽量化を図ることができる。また、他の機械式のアクチュエータを用いる場合と比較して、外筒２４ｂの上昇、下降といった動作速度を大きくし、外筒２４ｂの移動に要する時間を短縮できる。 In the application member 4 and the application needle holder 20, the first drive section 80 includes an electromagnetic solenoid 20d. By using the electromagnetic solenoid 20d, the application member 4 and the application needle holder 20 can be made smaller and lighter. Moreover, compared to the case where other mechanical actuators are used, the operating speed of raising and lowering the outer cylinder 24b can be increased, and the time required for moving the outer cylinder 24b can be shortened.

本開示に従った塗布装置は、上記塗布部材４または塗布針ホルダ２０と、保持台としてのＹ軸テーブル２とを備える。保持台としてのＹ軸テーブル２は、塗布針２４ａにより液体材料７０を塗布される処理対象材５を保持する。このようにすれば、安定して液体材料７０の塗布が可能な塗布部材４または塗布針ホルダ２０を用いることで、処理対象材５に対する２液性接着剤などの液体材料の塗布針２４ａによる塗布を安定的に行うことができる。 The coating device according to the present disclosure includes the coating member 4 or the coating needle holder 20, and the Y-axis table 2 as a holding table. The Y-axis table 2 serving as a holding table holds the processing target material 5 to which the liquid material 70 is applied by the coating needle 24a. In this way, by using the coating member 4 or the coating needle holder 20 that can stably coat the liquid material 70, the coating needle 24a can apply the liquid material such as a two-component adhesive to the material 5 to be treated. can be performed stably.

上記塗布装置は、液体材料７０を保持する容器２１を備える。また、異なる観点から言えば、上記塗布装置は、塗布針ホルダ２０に加えて、液体材料７０を保持する容器２１と、第２駆動部４０とを備える。第２駆動部４０は、塗布針２４ａおよび外筒２４ｂを第１方向に移動させる。容器２１は、保持台としてのＹ軸テーブル２に保持される処理対象材５に面するように配置されている。塗布部材４の第２駆動部４０は、塗布針２４ａの先端２５および外筒２４ｂの第１端２６が容器２１の内部に位置する第３状態(図２、図５、図６参照）と、塗布針２４ａの先端２５および外筒２４ｂの第１端２６が容器２１の外部に位置する第４状態（図３、図４、図７、図８参照）とを切替えるように構成されている。第１駆動部８０は、図６に示す通り第３状態において第１状態となり、図８に示す通り第４状態において第２状態となるように、塗布針２４ａに対して外筒２４ｂを相対的に移動させる。つまり、上記塗布装置は、塗布針２４ａの先端２５および外筒２４ｂの第１端２６が容器２１を貫通して液体材料を処理対象材５に塗布するよう構成されている。 The coating device includes a container 21 that holds a liquid material 70. From a different perspective, the coating device includes, in addition to the coating needle holder 20, a container 21 that holds the liquid material 70 and a second drive unit 40. The second drive unit 40 moves the coating needle 24a and the outer tube 24b in the first direction. The container 21 is arranged so as to face the processing target material 5 held on the Y-axis table 2 as a holding stand. The second drive unit 40 of the application member 4 is in a third state in which the tip 25 of the application needle 24a and the first end 26 of the outer cylinder 24b are located inside the container 21 (see FIGS. 2, 5, and 6); It is configured to switch between a fourth state (see FIGS. 3, 4, 7, and 8) in which the tip 25 of the applicator needle 24a and the first end 26 of the outer cylinder 24b are located outside the container 21. The first drive unit 80 moves the outer cylinder 24b relative to the application needle 24a so that the first state is in the third state as shown in FIG. 6, and the second state is in the fourth state as shown in FIG. move it to That is, the coating device is configured such that the tip 25 of the coating needle 24a and the first end 26 of the outer cylinder 24b penetrate the container 21 to apply the liquid material to the material 5 to be treated.

この場合、容器２１の内部において、図１０（Ａ）に示すように外筒２４ｂの第１端２６側の内部に液体材料７０ａを保持することができる一方、塗布時には図１０（Ｂ）、図１０（Ｃ）に示すように外筒２４ｂの第１端２６より外側に液体材料からなる液滴７１を形成し、当該液滴７１を処理対象材５の表面に接触させることができる。この結果、２液性接着剤などの液体材料を安定して塗布できる。 In this case, inside the container 21, the liquid material 70a can be held inside the first end 26 side of the outer cylinder 24b as shown in FIG. As shown in FIG. 10(C), a droplet 71 made of the liquid material is formed outside the first end 26 of the outer cylinder 24b, and the droplet 71 can be brought into contact with the surface of the material 5 to be treated. As a result, a liquid material such as a two-component adhesive can be applied stably.

本開示に従った塗布方法では、上記塗布部材４を第１状態とし、塗布針２４ａの先端２５と外筒２４ｂの第１端２６との間に位置する外筒２４ｂの内部領域に液体材料７０ａを保持する工程（図１１および図１２の工程（Ｓ９０））を実施する。また、上記塗布方法では、塗布部材４を第１状態から第２状態とすることにより、外筒２４ｂの第１端２６より外側に液体材料の少なくとも一部７１を突出させる工程（図１１の工程（Ｓ４０）または図１２の工程（Ｓ１４０）および工程（Ｓ１５０））を実施する。また、上記塗布方法では、第１端２６より外側に突出させた液体材料の少なくとも一部７１（図１０（Ｂ）参照）を処理対象材５に接触させる工程（図１１および図１２の工程（Ｓ６０））を実施する。このようにすれば、塗布針方式で２液性接着剤などの液体材料を安定して塗布することが可能となる。 In the coating method according to the present disclosure, the coating member 4 is in the first state, and a liquid material 70a is applied to the inner region of the outer tube 24b located between the tip 25 of the coating needle 24a and the first end 26 of the outer tube 24b. (step (S90) in FIGS. 11 and 12) is carried out. Further, in the above coating method, the coating member 4 is changed from the first state to the second state to cause at least a portion 71 of the liquid material to protrude outward from the first end 26 of the outer cylinder 24b (step in FIG. 11). (S40) or step (S140) and step (S150) in FIG. 12 are performed. Further, in the above application method, the step of bringing at least a portion 71 (see FIG. 10(B)) of the liquid material projecting outward from the first end 26 into contact with the material to be treated 5 (step of FIGS. 11 and 12) S60)) is carried out. In this way, it becomes possible to stably apply a liquid material such as a two-component adhesive using a coating needle method.

＜第１の変形例の構成および作用効果＞
図１３は、本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第１の変形例を説明するための模式図である。 <Configuration and effects of the first modification>
FIG. 13 is a schematic diagram for explaining a first modification of the application member and application needle holder according to the present embodiment.

図１３に示した塗布部材および塗布針ホルダの第１の変形例は、基本的には図１～図１０に示した塗布部材４および塗布針ホルダ２０と同様の構成を備えるが、外筒２４ｂの第１端２６および当該第１端２６に連なる側面の部分の構成が、図１～図１０に示した塗布部材および塗布針ホルダ２０と異なっている。すなわち、図１３に示した外筒２４ｂでは、第１端２６および第１端２６に連なる外周側面部分２７に撥液処理部２４ｃが形成されている。撥液処理部２４ｃとは、たとえば撥液処理剤を塗布した領域である。撥液処理剤としては、たとえばフッ素系処理剤などを用いることができる。 A first modified example of the applicator member and applicator needle holder shown in FIG. 13 basically has the same configuration as the applicator member 4 and applicator needle holder 20 shown in FIGS. 1 to 10, but the outer cylinder 24b The structure of the first end 26 and the side surface portion connected to the first end 26 is different from the applicator member and applicator needle holder 20 shown in FIGS. 1 to 10. That is, in the outer cylinder 24b shown in FIG. 13, the liquid-repellent portion 24c is formed on the first end 26 and the outer circumferential side portion 27 continuous to the first end 26. The liquid repellent portion 24c is, for example, a region coated with a liquid repellent agent. As the liquid repellent treatment agent, for example, a fluorine treatment agent can be used.

このように、撥液処理部２４ｃを形成することにより、図１０（Ｂ）に示すように塗布針２４ａの先端２５に液体材料からなる液滴７１を形成する場合、当該液滴７１が外筒２４ｂの外周側面部分２７や第１端２６に液体材料が残留し、形成される液滴７１のサイズが小さくなる、あるいは液滴７１の形状が球形からずれたいびつな形状になる、といった問題の発生を抑制できる。このため、塗布時に液体材料を塗布針２４ａの先端２５から処理対象材５へ安定して塗布できるので、塗布針２４ａに塗布工程の後で汚染された液体材料が付着する可能性を低減できる。 By forming the liquid-repellent portion 24c in this way, when a droplet 71 made of a liquid material is formed on the tip 25 of the applicator needle 24a as shown in FIG. Problems such as liquid material remaining on the outer circumferential side surface portion 27 and first end 26 of 24b may reduce the size of the formed droplet 71, or the shape of the droplet 71 may deviate from a spherical shape and become distorted. The occurrence can be suppressed. Therefore, during coating, the liquid material can be stably applied from the tip 25 of the coating needle 24a to the material 5 to be treated, so that the possibility that contaminated liquid material will adhere to the coating needle 24a after the coating process can be reduced.

＜第２の変形例の構成および作用効果＞
図１４および図１５は、本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第２の変形例を説明するための模式図である。なお、図１４は塗布針２４ａの先端２５が外筒２４ｂの第１端２６より外筒２４ｂの内部に後退している第１状態を示す。図１５は、塗布針２４ａの先端２５が第１状態より外筒２４ｂの第１端２６側に移動した第２状態を示す。 <Configuration and effects of second modification>
FIGS. 14 and 15 are schematic diagrams for explaining a second modification of the application member and application needle holder according to the present embodiment. Note that FIG. 14 shows a first state in which the tip 25 of the applicator needle 24a is retracted into the inside of the outer cylinder 24b from the first end 26 of the outer cylinder 24b. FIG. 15 shows a second state in which the tip 25 of the applicator needle 24a has moved from the first state to the first end 26 side of the outer tube 24b.

図１４および図１５に示した塗布部材および塗布針ホルダの第２の変形例は、基本的には図１～図１０に示した塗布部材４および塗布針ホルダ２０と同様の構成を備えるが、外筒２４ｂの先端部の構成が、図１～図１０に示した塗布部材および塗布針ホルダ２０と異なっている。すなわち、図１４および図１５に示した塗布部材４および塗布針ホルダ２０では、外筒２４ｂにおける第１端２６が形成された側の端部がテーパ形状を有するテーパ形状部２４ｄとなっている。テーパ形状部２４ｄは、外径が第１端２６から離れるにしたがって大きくなるようなテーパ形状を有している。また、テーパ形状部２４ｄは、厚さが外筒２４ｂの先端に向かうにつれて徐々に薄くなっている。また、テーパ形状部２４ｄは、外筒２４ｂの延在方向に対して傾斜するように延びる表面を有する。 The second modification of the applicator member and applicator needle holder shown in FIGS. 14 and 15 basically has the same configuration as the applicator member 4 and applicator needle holder 20 shown in FIGS. 1 to 10, but The configuration of the tip of the outer cylinder 24b is different from the applicator member and applicator needle holder 20 shown in FIGS. 1 to 10. That is, in the applicator member 4 and applicator needle holder 20 shown in FIGS. 14 and 15, the end portion of the outer cylinder 24b on the side where the first end 26 is formed is a tapered portion 24d having a tapered shape. The tapered portion 24d has a tapered shape in which the outer diameter increases as the distance from the first end 26 increases. Further, the thickness of the tapered portion 24d gradually becomes thinner toward the tip of the outer cylinder 24b. Further, the tapered portion 24d has a surface that extends obliquely with respect to the extending direction of the outer cylinder 24b.

このようにすれば、図１０（Ｂ）に示すように塗布針２４ａの先端２５に液滴７１を形成するときに、図１０（Ｂ）に示すような球形に近い形状の液滴７１を形成しやすくなる。 In this way, when forming a droplet 71 on the tip 25 of the applicator needle 24a as shown in FIG. 10(B), a droplet 71 having a nearly spherical shape as shown in FIG. 10(B) is formed. It becomes easier.

＜第３の変形例の構成および作用効果＞
図１６および図１７は、本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第３の変形例を説明するための模式図である。図１６は塗布針２４ａの先端２５が外筒２４ｂの第１端２６より外筒２４ｂの内部に後退している第１状態を示す。図１７は、塗布針２４ａの先端２５が第１状態より外筒２４ｂの第１端２６側に移動した第２状態を示す。 <Configuration and effects of third modification>
FIGS. 16 and 17 are schematic diagrams for explaining a third modification of the application member and application needle holder according to the present embodiment. FIG. 16 shows a first state in which the tip 25 of the applicator needle 24a is retracted into the outer cylinder 24b from the first end 26 of the outer cylinder 24b. FIG. 17 shows a second state in which the tip 25 of the applicator needle 24a has moved from the first state to the first end 26 side of the outer cylinder 24b.

図１６および図１７に示した塗布部材および塗布針ホルダの第２の変形例は、基本的には図１４および図１５に示した塗布部材４および塗布針ホルダ２０と同様の構成を備えるが、外筒２４ｂの先端部の構成が、図１４および図１５に示した塗布部材および塗布針ホルダ２０と異なっている。すなわち、図１６および図１７に示した塗布部材４および塗布針ホルダ２０では、外筒２４ｂの先端部におけるテーパ形状部２４ｄの表面に撥液処理部２４ｃが形成されている。撥液処理部２４ｃは、テーパ形状部２４ｄから、当該テーパ形状部２４ｄに連なる外筒２４ｂの側面上にまで延在している。なお、撥液処理部２４ｃはテーパ形状部２４ｄのみに形成してもよい。この場合、図１４および図１５に示した塗布部材４および塗布針ホルダ２０による効果に加えて、図１３に示した塗布部材４および塗布針ホルダ２０による効果も同時に奏することができる。 The second modification of the applicator member and applicator needle holder shown in FIGS. 16 and 17 basically has the same configuration as the applicator member 4 and applicator needle holder 20 shown in FIGS. 14 and 15, but The structure of the tip of the outer cylinder 24b is different from the applicator member and applicator needle holder 20 shown in FIGS. 14 and 15. That is, in the coating member 4 and coating needle holder 20 shown in FIGS. 16 and 17, the liquid-repellent portion 24c is formed on the surface of the tapered portion 24d at the tip of the outer cylinder 24b. The liquid repellent portion 24c extends from the tapered portion 24d to the side surface of the outer cylinder 24b that is connected to the tapered portion 24d. Note that the liquid repellent portion 24c may be formed only on the tapered portion 24d. In this case, in addition to the effects provided by the application member 4 and application needle holder 20 shown in FIGS. 14 and 15, the effects provided by the application member 4 and application needle holder 20 shown in FIG. 13 can also be achieved at the same time.

＜第４の変形例の構成および作用効果＞
本実施の形態の第４の変形例においても上記各例と同様に、図１の塗布装置による、処理対象材への供給がなされる。塗布装置の備える塗布機構は複数の塗布部材４としてたとえば２つの塗布部材４を含む。これら２つの塗布部材４のうち一方の塗布部材４は第１の塗布針ホルダを含んでいる。これら２つの塗布部材４のうち他方の塗布部材４は第２の塗布針ホルダを含んでいる。このように第４の変形例では、塗布装置が、複数の塗布針ホルダとして第１の塗布針ホルダおよび第２の塗布針ホルダを備えている。このように第１の塗布針ホルダと第２の塗布針ホルダとを有するのは、複数の異なる液体材料を単一の塗布装置で供給する目的を有するためである。 <Configuration and effects of fourth modification>
In the fourth modification of the present embodiment, as in each of the above examples, the coating device shown in FIG. 1 supplies the material to be treated. The coating mechanism provided in the coating device includes, for example, two coating members 4 as the plurality of coating members 4. One of the two applicator members 4 includes a first applicator needle holder. The other of these two applicator members 4 includes a second applicator needle holder. In this way, in the fourth modification, the coating device includes the first coating needle holder and the second coating needle holder as the plurality of coating needle holders. The reason for having the first applicator needle holder and the second applicator needle holder in this way is to supply a plurality of different liquid materials with a single applicator.

図１８は、本実施の形態の第４の変形例における、図６が示す領域と同領域の拡大模式図である。図１８を参照して、第４の変形例においては、第２の塗布針ホルダに含まれる塗布針部２４（図４参照）は、塗布針２４ｅと外筒２４ｆとを有している。塗布針２４ｅは図６の塗布針２４ａと同様の構成を有している。外筒２４ｆは図６の外筒２４ｂと同様の構成を有している。つまり第４の変形例においては、第２の塗布針ホルダが、上記の図６の塗布針ホルダと同様の構成上の特徴を有している。ただし第２の塗布針ホルダは、上記の図１３～図１７のいずれかの塗布針ホルダと同様の構成上の特徴を有してもよい。いずれにせよ、第２の塗布針ホルダは、本実施の形態の上記の各例のいずれかの塗布針ホルダと同様の構成上の特徴を有している。 FIG. 18 is an enlarged schematic diagram of the same area as the area shown in FIG. 6 in a fourth modification of the present embodiment. Referring to FIG. 18, in the fourth modification, a coating needle portion 24 (see FIG. 4) included in the second coating needle holder includes a coating needle 24e and an outer cylinder 24f. The coating needle 24e has the same configuration as the coating needle 24a in FIG. 6. The outer cylinder 24f has the same configuration as the outer cylinder 24b in FIG. 6. That is, in the fourth modification, the second applicator holder has the same structural features as the applicator needle holder of FIG. 6 described above. However, the second applicator needle holder may have the same structural features as the applicator needle holder of any of the above-described FIGS. 13 to 17. In any case, the second applicator needle holder has the same structural features as any of the applicator needle holders of the above-mentioned examples of the present embodiment.

第４の変形例においては、塗布針部２４に含まれる塗布針２４ｅは、塗布針２４ｅの先端から液体材料７０を滴下することにより、処理対象材に液体材料７０を供給可能である。つまり塗布針２４ｅは、処理対象材と非接触の状態の液体材料７０を、処理対象材の上方から落とすことにより、処理対象材に液体材料７０を滴下供給する。この点において本変形例は、液滴が処理対象材に接触するまで塗布針が下降することにより液体材料が塗布供給される上記の各例とは異なる特徴を有している。 In the fourth modification, the coating needle 24e included in the coating needle portion 24 can supply the liquid material 70 to the material to be treated by dropping the liquid material 70 from the tip of the coating needle 24e. That is, the applicator needle 24e drips and supplies the liquid material 70 to the material to be treated by dropping the liquid material 70 in a non-contact state with the material to be treated from above the material to be treated. In this respect, this modification has a different feature from the above-mentioned examples in which the liquid material is applied and supplied by lowering the application needle until the droplet contacts the material to be treated.

なお第１の塗布針ホルダも、上記の本実施の形態の各例のいずれかの塗布針ホルダと同様の構成上の特徴を有してもよい。すなわち第１の塗布針ホルダも、図１８の塗布針ホルダと同様の構成上の特徴を有してもよいし、上記の図１３～図１７のいずれかの塗布針ホルダと同様の構成上の特徴を有してもよい。第１の塗布針ホルダについても、そこに含まれる塗布針部２４が、液体材料を滴下する塗布針２４ｅを有してもよい。また第４の変形例においても、上記の各例における塗布装置の特徴が適宜組み合わせられてもよい。 Note that the first coating needle holder may also have the same structural features as any of the coating needle holders in each example of the present embodiment described above. That is, the first applicator needle holder may also have the same structural features as the applicator needle holder in FIG. It may have characteristics. As for the first applicator needle holder, the applicator needle section 24 included therein may include an applicator needle 24e that drips the liquid material. Also in the fourth modification, the features of the coating device in each of the above examples may be combined as appropriate.

次に、第４の変形例における処理対象材への液体材料の塗布または滴下による供給方法について説明する。図１９は、第４の変形例に特徴的な液体材料の供給方法のフローチャートである。図１９を参照して、第４の変形例に特徴的な液体材料の供給方法Ｐ－Ｂは、大筋で図１１に示す塗布方法と同様である。ただし供給方法Ｐ－Ｂにおいては、図１１における塗布工程（Ｓ６０）の代わりに滴下工程（Ｓ２６０）がなされる。この点において図１９は図１１と異なっている。ただし滴下工程（Ｓ２６０）以外については、供給方法Ｐ－Ｂは基本的に図１１の塗布方法Ｐ－Ａと同様である。 Next, a method of supplying a liquid material by applying or dropping it onto a material to be treated in the fourth modification will be described. FIG. 19 is a flowchart of a liquid material supply method characteristic of the fourth modification. Referring to FIG. 19, the liquid material supply method PB, which is characteristic of the fourth modification, is roughly the same as the application method shown in FIG. 11. However, in supply method PB, a dropping step (S260) is performed instead of the coating step (S60) in FIG. In this respect, FIG. 19 differs from FIG. 11. However, except for the dropping step (S260), supply method PB is basically the same as coating method PA in FIG.

図２０は、第４の変形例に特徴的な液体材料の供給方法を説明するための模式図である。図２０（Ａ）に示すように、たとえば図１８の構成、すなわち塗布針２４ｅおよび外筒２４ｆを有する塗布針ホルダが用いられる。ただし図１３～図１７のいずれかの構成を有する塗布針ホルダが用いられてもよい。この塗布針部に対して図１０（Ａ）と同様に、塗布針２４ｅの先端２５は外筒２４ｆの第１端２６より後退した状態となる。ただしここでは、図１０（Ａ）に比べて先端２５の第１端２６に対する後退量が多いことが好ましい。このようにすれば、外筒２４ｆの第１端２６と塗布針２４ｅの先端２５との間に、より多くの量の液体材料７０ａを保持することができる。図２０（Ａ）は図１９の工程（Ｓ１０）～（Ｓ３０）に対応する。 FIG. 20 is a schematic diagram for explaining a liquid material supply method characteristic of the fourth modification. As shown in FIG. 20(A), for example, a coating needle holder having the configuration shown in FIG. 18, that is, a coating needle 24e and an outer cylinder 24f, is used. However, a coating needle holder having any of the configurations shown in FIGS. 13 to 17 may also be used. With respect to this coating needle portion, the tip 25 of the coating needle 24e is in a state retracted from the first end 26 of the outer cylinder 24f, as in FIG. 10(A). However, here, it is preferable that the amount of retraction of the tip 25 with respect to the first end 26 is greater than that in FIG. 10(A). In this way, a larger amount of the liquid material 70a can be held between the first end 26 of the outer cylinder 24f and the tip 25 of the applicator needle 24e. FIG. 20(A) corresponds to steps (S10) to (S30) in FIG. 19.

図２０（Ｂ）に示すように、図１０（Ｂ）と同様に、外筒２４ｆを上昇させる。これにより、外筒２４ｆの第１端２６より下側に液滴７１が形成される。図２０（Ｂ）は図１９の工程（Ｓ４０）に対応する。ただし塗布針２４ｅのストローク量が図１０（Ｂ）より多いため、液滴７１は図１０（Ｂ）より大きくてもよい。 As shown in FIG. 20(B), the outer cylinder 24f is raised similarly to FIG. 10(B). As a result, a droplet 71 is formed below the first end 26 of the outer cylinder 24f. FIG. 20(B) corresponds to the step (S40) in FIG. 19. However, since the stroke amount of the coating needle 24e is larger than that shown in FIG. 10(B), the droplet 71 may be larger than that shown in FIG. 10(B).

図２０（Ｃ）に示すように、塗布針ホルダが再度下降される（Ｓ５０）。ここで特に液滴７１が図１０（Ｃ）より大きい。このため、液滴７１を保持した塗布針２４ｅは、処理対象材５に近づく動きにより、液滴７１が処理対象材５の表面に接する前に、塗布針２４ｅの先端から払い落とされ、落下する。これにより、処理対象材５の表面の上、またはその表面に先に供給されていた液体材料７５の上に液滴７１が接触される。図２０（Ｃ）は図１９の工程（Ｓ５０）～（Ｓ６０）に対応する。このように塗布針２４ｅの先端２５から液体材料７１を落下するように滴下することにより、処理対象材５に液体材料７５が供給される。 As shown in FIG. 20(C), the coating needle holder is lowered again (S50). In particular, the droplet 71 is larger than that shown in FIG. 10(C). Therefore, as the coating needle 24e holding the droplet 71 moves closer to the material 5 to be treated, the droplet 71 is brushed off from the tip of the needle 24e and falls before it comes into contact with the surface of the material 5 to be treated. . As a result, the droplet 71 comes into contact with the surface of the material 5 to be treated or the liquid material 75 that has been previously supplied to the surface. FIG. 20(C) corresponds to steps (S50) to (S60) in FIG. 19. By dropping the liquid material 71 from the tip 25 of the coating needle 24e in this manner, the liquid material 75 is supplied to the material 5 to be treated.

図２０（Ｄ）に示すように、以降は図１０（Ｄ）と同様に図１９の工程（Ｓ７０）以降の各工程がなされ、塗布プロセスが終了する。 As shown in FIG. 20(D), the steps after the step (S70) in FIG. 19 are thereafter performed similarly to FIG. 10(D), and the coating process is completed.

図２１は、比較例の塗布方法のフローチャートである。図２１および図９を参照して、図９の比較例の塗布方法Ｐ－Ｃにおいては、図６または図１３～図１８の構成を有さない、任意の構成を有する塗布針ホルダに取り付けられた塗布針が用いられる。あるいは塗布方法Ｐ－Ｃにおいては、そのような塗布針ホルダを有さない塗布針が用いられてもよい。塗布方法Ｐ－Ｃにおいては、図９（Ａ）の塗布針１２４が、図９（Ｂ）のように下降する（Ｓ３５０）。塗布針１２４に付着した液体材料７０が、処理対象材５の表面、またはその表面に先に塗布されている液体材料７５に接触する。これにより液体材料７０は、当該処理対象材５の表面または液体材料７５の表面上に塗布される（Ｓ３６０）。その後、図９（Ｃ）のように塗布針１２４が上昇し（Ｓ３７０）、塗布プロセスが終了する。 FIG. 21 is a flowchart of a coating method of a comparative example. Referring to FIGS. 21 and 9, in the comparative example coating method PC of FIG. A special applicator needle is used. Alternatively, in coating method PC, a coating needle without such a coating needle holder may be used. In coating method PC, the coating needle 124 shown in FIG. 9(A) descends as shown in FIG. 9(B) (S350). The liquid material 70 attached to the coating needle 124 comes into contact with the surface of the material to be treated 5 or the liquid material 75 that has been previously applied to the surface. As a result, the liquid material 70 is applied onto the surface of the target material 5 or the surface of the liquid material 75 (S360). Thereafter, the coating needle 124 rises as shown in FIG. 9(C) (S370), and the coating process ends.

図２２は、本実施形態の第４の変形例における液体材料の塗布方法を構成する第１の塗布工程と第２の塗布工程との第１例を概略的に示すフローチャートである。図２３は、本実施形態の第４の変形例における液体材料の塗布方法を構成する第１の塗布工程と第２の塗布工程との第２例を概略的に示すフローチャートである。図２２を参照して、第４の変形例の塗布方法においては、処理対象材に第１の液体材料を塗布する第１の塗布工程（Ｓ１）と、第１の塗布工程（Ｓ１）の後に、処理対象材に第１の液体材料とは異なる第２の液体材料を塗布する第２の塗布工程（Ｓ２）とを備える。なおここで処理対象材に液体材料を塗布するとは、処理対象材上に既に供給された液体材料の上に重なるように液体材料を塗布または滴下することも含める。図２２の第１例においては、第１の塗布工程（Ｓ１）は比較例の塗布方法Ｐ－Ｃ（図２１、図９参照）が用いられ、第２の塗布工程（Ｓ２）に第４の変形例の供給方法Ｐ－Ｂ（図１９、図１８、図２０参照）が用いられる。図２３の第２例においては、第１の塗布工程（Ｓ１）は上記各例の塗布方法Ｐ－Ａ（図１１、図１０参照）が用いられ、第２の塗布工程（Ｓ２）に第４の変形例の供給方法Ｐ－Ｂ（図１９、図２０参照）が用いられる。 FIG. 22 is a flowchart schematically showing a first example of the first coating step and the second coating step that constitute the liquid material coating method in the fourth modification of the present embodiment. FIG. 23 is a flowchart schematically showing a second example of the first application step and the second application step that constitute the liquid material application method in the fourth modification of the present embodiment. Referring to FIG. 22, in the coating method of the fourth modification, there is a first coating step (S1) of coating the first liquid material on the material to be treated, and a first coating step (S1) after the first coating step (S1). , a second application step (S2) of applying a second liquid material different from the first liquid material to the material to be treated. Note that applying the liquid material to the material to be treated includes applying or dropping the liquid material so as to overlap the liquid material that has already been supplied onto the material to be treated. In the first example in FIG. 22, the first coating step (S1) uses the coating method PC of the comparative example (see FIGS. 21 and 9), and the fourth coating method is used in the second coating step (S2). A modified supply method PB (see FIGS. 19, 18, and 20) is used. In the second example of FIG. 23, the first coating step (S1) uses the coating method PA (see FIGS. 11 and 10) of each of the above examples, and the second coating step (S2) uses the fourth coating method. A modified example of supply method PB (see FIGS. 19 and 20) is used.

いずれにせよ、第４例においては、少なくとも第２の塗布工程において、図１８～図２０に示す、第２の塗布針ホルダを用いた供給方法Ｐ－Ｂの滴下による液体材料７０などの供給がなされる。第１の塗布工程においては図２３の例のように、図６または図１３～図１８の構成を有する第２の塗布針ホルダが用いられ、塗布方法Ｐ－Ａにより液体材料が供給されてもよい。あるいは第１の塗布工程においても第２の塗布工程と同様に図１８、図２０の第２の塗布針ホルダを用いて供給方法Ｐ－Ｂにより供給されてもよい。また第１の塗布工程においては図２２の例のように図９の比較例のような塗布針（塗布針ホルダ）が用いられ、塗布方法Ｐ－Ｃによる塗布が行なわれてもよい。 In any case, in the fourth example, at least in the second application step, the liquid material 70 or the like is supplied by dropping according to the supply method PB using the second application needle holder shown in FIGS. 18 to 20. It will be done. In the first coating step, as in the example of FIG. 23, a second coating needle holder having the configuration shown in FIG. 6 or FIGS. 13 to 18 is used, and even if the liquid material is supplied by coating method PA, good. Alternatively, in the first coating step, as well as in the second coating step, the second coating needle holder shown in FIGS. 18 and 20 may be used to supply by the supply method PB. Further, in the first coating step, a coating needle (coating needle holder) as in the comparative example in FIG. 9 may be used as in the example in FIG. 22, and coating may be performed by coating method PC.

上記の第４の変形例の作用効果は以下の通りである。第４の変形例に係る塗布装置は、複数の塗布針ホルダとして第１の塗布針ホルダおよび第２の塗布針ホルダを備える塗布装置である。第２の塗布針ホルダは図６および図１３～図１８のいずれか（たとえば図１８）と同様の構成を有する。第２の塗布針ホルダは、先端２５から液体材料７０ａ（図２０参照）を滴下することにより処理対象材５に液体材料７０ａを供給可能な塗布針２４ｅを含む。 The effects of the fourth modification described above are as follows. The coating device according to the fourth modification is a coating device that includes a first coating needle holder and a second coating needle holder as a plurality of coating needle holders. The second application needle holder has a configuration similar to that of FIG. 6 and any one of FIGS. 13 to 18 (for example, FIG. 18). The second applicator needle holder includes an applicator needle 24e capable of supplying the liquid material 70a (see FIG. 20) to the material 5 to be treated by dropping the liquid material 70a (see FIG. 20) from the tip 25.

これにより、たとえば既に処理対象材５の上に液体材料７５が塗布された上にさらに他の材料である液体材料７０ａを供給する場合において、第２の塗布針ホルダに含まれる塗布針２４ｅに液体材料７５が付着することが抑制される。液体材料７０ａおよび塗布針２４ｅは液体材料７５と非接触の状態で液体材料７５上に滴下されることで供給されるためである。このため、塗布材料容器である容器２１内に元々収納される液体材料７０ａ以外の材料であるたとえば液体材料７５が混入することによる容器２１内の汚染を抑制できる。 As a result, when, for example, the liquid material 75 is already applied onto the material 5 to be treated and another liquid material 70a is supplied, the liquid is transferred to the applicator needle 24e included in the second applicator needle holder. Adhesion of the material 75 is suppressed. This is because the liquid material 70a and the applicator needle 24e are supplied by being dropped onto the liquid material 75 without contacting the liquid material 75. Therefore, it is possible to suppress contamination in the container 21 due to mixing of a material other than the liquid material 70a, such as the liquid material 75, originally contained in the container 21, which is a coating material container.

上記第４の変形例の塗布装置において、第１の塗布針ホルダも第２の塗布針ホルダと同様に、図６および図１３～図１８のいずれかと同様の構成を有してもよい。すなわち第１の塗布針ホルダも、たとえば先端２５から液体材料７０ａ（図２０参照）を滴下することにより処理対象材５に液体材料７０ａを供給可能な塗布針２４ｅを含んでもよい。このようにすれば、第１の塗布針ホルダに含まれる塗布針に起因する容器２１内の汚染を抑制することもできる。 In the coating device of the fourth modification, the first coating needle holder may also have a configuration similar to that of FIG. 6 and any one of FIGS. 13 to 18, similarly to the second coating needle holder. That is, the first applicator needle holder may also include the applicator needle 24e that can supply the liquid material 70a to the material to be treated 5 by dropping the liquid material 70a (see FIG. 20) from the tip 25, for example. In this way, it is also possible to suppress contamination in the container 21 caused by the coating needle included in the first coating needle holder.

第４の変形例に係る塗布方法は、処理対象材５に第１の液体材料７５を塗布する第１の塗布工程Ｓ１と、第１の塗布工程Ｓ１の後に処理対象材５に第２の液体材料７０ａを塗布する第２の塗布工程Ｓ２とを備える。第２の塗布工程Ｓ２においては、図６および図１３～図１８のいずれかと同様の構成を有する（たとえば図１８の）第２の塗布針ホルダが用いられる。第２の塗布工程Ｓ２においては、塗布針２４ｅの先端２５から第２の液体材料７０ａを滴下することにより処理対象材５に第２の液体材料Ｓ２が供給される。 The coating method according to the fourth modification includes a first coating step S1 in which a first liquid material 75 is applied to the material 5 to be treated, and a second liquid material 75 is applied to the material 5 to be treated after the first coating step S1. A second coating step S2 of coating the material 70a is provided. In the second coating step S2, a second coating needle holder (for example, in FIG. 18) having a configuration similar to that in FIG. 6 and any one of FIGS. 13 to 18 is used. In the second coating step S2, the second liquid material S2 is supplied to the processing target material 5 by dropping the second liquid material 70a from the tip 25 of the coating needle 24e.

これにより、たとえば既に処理対象材５の上に液体材料７５が塗布された上にさらに他の材料である液体材料７０ａを供給する場合において、第２の塗布針ホルダに含まれる塗布針２４ｅに液体材料７５が付着することが抑制される。液体材料７０ａおよび塗布針２４ｅは液体材料７５と非接触の状態で液体材料７５上に滴下されることで供給されるためである。このため、塗布材料容器である容器２１内に元々収納される液体材料７０ａ以外の材料であるたとえば液体材料７５が混入することによる容器２１内の汚染を抑制できる。 As a result, when, for example, the liquid material 75 is already applied onto the material 5 to be treated and another liquid material 70a is supplied, the liquid is transferred to the applicator needle 24e included in the second applicator needle holder. Adhesion of the material 75 is suppressed. This is because the liquid material 70a and the applicator needle 24e are supplied by being dropped onto the liquid material 75 without contacting the liquid material 75. Therefore, it is possible to suppress contamination in the container 21 due to mixing of a material other than the liquid material 70a, such as the liquid material 75, originally contained in the container 21, which is a coating material container.

上記第４の変形例の塗布方法において、第１の塗布工程においては、図６または図１３～図１８のいずれかの構成を有する第１の塗布針ホルダまたは第２の塗布針ホルダが用いられてもよい。しかし第１の塗布工程においては、図９の比較例の塗布針が用いられてもよい。そして塗布針の先端から処理対象材５に第１の液体材料が供給される。このように第１の塗布工程に用いられる塗布部材はその選択の自由度を高めることができる。 In the coating method of the fourth modification, in the first coating step, the first coating needle holder or the second coating needle holder having the configuration shown in FIG. 6 or any one of FIGS. 13 to 18 is used. You can. However, in the first coating step, the coating needle of the comparative example shown in FIG. 9 may be used. The first liquid material is then supplied to the material 5 to be treated from the tip of the applicator needle. In this way, the degree of freedom in selecting the coating member used in the first coating step can be increased.

なお第４の変形例においては、図１の塗布装置に含まれる塗布部材４の数は２つに限らず３つ以上であってもよい。この場合においては、３つ以上の多数の塗布部材４のうち１つを除くすべては第２の塗布針ホルダとして、たとえば図１８に示すような構成を有する塗布針を含み、そこから滴下により液体材料が供給されるものであることが好ましい。他の１つは第１の塗布針ホルダとして、たとえば図１８に示すような構成を有するものであってもよいし、図６、図１３～図１７のいずれかの構成を有するものであってもよい。あるいは第１の塗布針ホルダの塗布針は、図９の比較例の構成であってもよい。 In the fourth modification, the number of coating members 4 included in the coating device of FIG. 1 is not limited to two, but may be three or more. In this case, all but one of the three or more application members 4 include a second application needle holder having a configuration as shown in FIG. 18, from which the liquid is dripped. Preferably, the material is supplied. The other one may have the configuration as shown in FIG. 18, for example, as the first application needle holder, or it can have the configuration as shown in any one of FIGS. 6 and 13 to 17. Good too. Alternatively, the coating needle of the first coating needle holder may have the configuration of the comparative example shown in FIG.

３つ以上の塗布部材４を有する場合、最初に第１の塗布針ホルダの塗布針により塗布針の先端から処理対象材５に第１の液体材料７５が供給される（図２０参照）。以降、すなわち第２工程以降（第３工程、第４工程なども含む）においては第２の塗布針ホルダが用いられ、図２０の滴下工程Ｐ－Ｂのように先端２５から液体材料７０ａが滴下されることにより処理対象材５に液体材料７２が供給可能な塗布針２４ｅを含むことが好ましい。 When three or more application members 4 are provided, the first liquid material 75 is first supplied from the tip of the application needle to the material 5 to be treated by the application needle of the first application needle holder (see FIG. 20). In the subsequent steps, that is, in the second and subsequent steps (including the third and fourth steps), the second application needle holder is used, and the liquid material 70a is dripped from the tip 25 as shown in the dripping step PB in FIG. It is preferable to include a coating needle 24e that can supply the liquid material 72 to the material 5 to be treated.

以上のように本発明の実施の形態について説明を行ったが、上述の実施の形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は上述の実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments described above can be modified in various ways. Further, the scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments. The scope of the present invention is indicated by the claims, and is intended to include meanings equivalent to the claims and all changes within the range.

１ Ｘ軸テーブル、２ Ｙ軸テーブル、３ Ｚ軸テーブル、４ 塗布部材、５ 処理対象材、６ 観察光学系、７ カメラ、８ 操作パネル、９ モニタ、１０ 制御用コンピュータ、２０ 塗布針ホルダ、２０ａ ホルダ外殻、２０ｂ 塗布針ホルダ側電極、２０ｃ 塗布針支持板、２０ｄ 電磁ソレノイド、２０ｅ 可動軸、２０ｆ 可動板、２０ｇ，５０ バネ、２１ 容器、２４ 塗布針部、２４ａ，２４ｅ，１２４ 塗布針、２４ｂ，２４ｆ 外筒、２４ｃ 撥液処理部、２４ｄ テーパ形状部、２５ 先端、２６ 第１端、２７ 外周側面部分、４０ 第２駆動部、４１ サーボモータ、４３ カム、４４ 軸受、４５ カム連結板、４６ 可動部、４６ａ 可動部側電極、４８ 塗布針ホルダ収納部、５５ 下降対象材、７０，７０ａ，７１ａ，７２，７５ 液体材料、７１ 液滴、７７ 混合液体材料、８０ 第１駆動部。 1 X-axis table, 2 Y-axis table, 3 Z-axis table, 4 Coating member, 5 Processing target material, 6 Observation optical system, 7 Camera, 8 Operation panel, 9 Monitor, 10 Control computer, 20 Coating needle holder, 20a Holder outer shell, 20b coating needle holder side electrode, 20c coating needle support plate, 20d electromagnetic solenoid, 20e movable shaft, 20f movable plate, 20g, 50 spring, 21 container, 24 coating needle portion, 24a, 24e, 124 coating needle, 24b, 24f outer cylinder, 24c liquid-repellent treatment section, 24d tapered section, 25 tip, 26 first end, 27 outer peripheral side surface section, 40 second drive section, 41 servo motor, 43 cam, 44 bearing, 45 cam connection plate , 46 movable part, 46a movable part side electrode, 48 coating needle holder storage part, 55 descending target material, 70, 70a, 71a, 72, 75 liquid material, 71 droplet, 77 mixed liquid material, 80 first drive part.

Claims (9)

塗布針ホルダと、
保持台とを備える塗布装置であって、
前記塗布針ホルダは、
処理対象材に液体材料を供給するための塗布針と、
前記塗布針の外周を囲み、前記塗布針の先端に近い側に位置する第１端を含む外筒と、
前記塗布針の延在方向である第１方向において、前記塗布針に対して前記外筒を相対的に移動させる第１駆動部とを備え、
前記第１駆動部は、前記塗布針の前記先端が前記外筒の前記第１端より前記外筒の内部に後退している第１状態と、前記塗布針の前記先端が前記第１状態より前記外筒の前記第１端側に移動した第２状態とを切替えるように構成されており、
前記保持台は、前記塗布針により前記液体材料を塗布される前記処理対象材を保持し、
前記液体材料を保持する容器を備え、
前記塗布針の前記先端および前記外筒の前記第１端が前記容器を貫通して前記液体材料を前記処理対象材に塗布するよう構成された、塗布装置。 a coating needle holder;
A coating device comprising a holding table,
The coating needle holder is
an applicator needle for supplying liquid material to the material to be treated;
an outer cylinder surrounding the outer periphery of the applicator needle and including a first end located closer to the tip of the applicator needle;
a first drive unit that moves the outer cylinder relative to the coating needle in a first direction that is the extending direction of the coating needle;
The first drive unit is configured to have a first state in which the distal end of the applicator needle is retracted into the outer cylinder from the first end of the outer cylinder, and a state in which the distal end of the applicator needle is in the first state. and a second state in which the outer cylinder has moved to the first end side ,
The holding table holds the processing target material to which the liquid material is applied by the coating needle,
comprising a container holding the liquid material,
The coating device is configured such that the tip of the coating needle and the first end of the outer tube penetrate the container to apply the liquid material to the material to be treated. 前記塗布針ホルダにおいて、前記外筒の前記第１端および前記第１端に連なる外周側面部分は、撥液処理層を含む、請求項１に記載の塗布装置。 2. The coating device according to claim 1 , wherein in the coating needle holder, the first end of the outer cylinder and an outer peripheral side surface portion continuous to the first end include a liquid-repellent layer. 前記塗布針ホルダにおいて、前記第１駆動部は、電磁ソレノイドを含む、請求項１または２に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 1 or 2 , wherein in the coating needle holder , the first drive section includes an electromagnetic solenoid. 前記塗布針ホルダにおいて、前記外筒における前記第１端が形成された側の端部は、外径が前記第１端から離れるにしたがって大きくなるようなテーパ形状を有している、請求項１～３のいずれか１項に記載の塗布装置。 Claim 1 : In the applicator needle holder, an end of the outer cylinder on the side where the first end is formed has a tapered shape such that the outer diameter increases as the distance from the first end increases. The coating device according to any one of items 3 to 3. 前記塗布針および前記外筒を前記第１方向に移動させる第２駆動部とを備え、
前記容器は、前記保持台に保持される前記処理対象材に面するように配置され、
前記第２駆動部は、前記塗布針の前記先端および前記外筒の前記第１端が前記容器の内部に位置する第３状態と、前記塗布針の前記先端および前記外筒の前記第１端が前記容器の外部に位置する第４状態とを切替えるように構成され、
前記第１駆動部は、前記第３状態において前記第１状態となり、前記第４状態において前記第２状態となるように、前記塗布針に対して前記外筒を相対的に移動させる、請求項１に記載の塗布装置。 comprising a second drive unit that moves the application needle and the outer cylinder in the first direction,
The container is arranged so as to face the material to be treated held on the holding table,
The second drive unit is configured to control a third state in which the tip of the applicator needle and the first end of the outer tube are located inside the container, and a third state in which the tip of the applicator needle and the first end of the outer tube are located inside the container. is configured to switch between a fourth state and a fourth state in which the fourth state is located outside the container;
The first driving unit moves the outer cylinder relative to the applicator needle so that the first state is in the third state and the second state is in the fourth state. 1. The coating device according to 1 . 複数の前記塗布針ホルダとして第１の塗布針ホルダおよび第２の塗布針ホルダを備える塗布装置であって、
前記第２の塗布針ホルダは請求項１～４のいずれか１項の塗布針ホルダであり、前記先端から前記液体材料を滴下することにより前記処理対象材に前記液体材料を供給可能な塗布針を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の塗布装置。 A coating device comprising a first coating needle holder and a second coating needle holder as the plurality of coating needle holders,
The second coating needle holder is the coating needle holder according to any one of claims 1 to 4, and is a coating needle capable of supplying the liquid material to the material to be treated by dropping the liquid material from the tip. The coating device according to any one of claims 1 to 5 , comprising: 前記第１の塗布針ホルダは請求項１～４のいずれか１項の塗布針ホルダである、請求項６に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 6 , wherein the first coating needle holder is the coating needle holder according to any one of claims 1 to 4. 処理対象材に第１の液体材料を塗布する第１の塗布工程と、
前記第１の塗布工程の後に、前記処理対象材に第２の液体材料を塗布する第２の塗布工程とを備え、
前記第２の塗布工程においては請求項６または７に記載の第２の塗布針ホルダが用いられ、前記塗布針の前記先端から前記第２の液体材料を滴下することにより前記処理対象材に前記第２の液体材料が供給される、塗布方法。 a first application step of applying a first liquid material to the material to be treated;
After the first application step, a second application step of applying a second liquid material to the material to be treated,
In the second coating step, the second coating needle holder according to claim 6 or 7 is used, and the second liquid material is dripped from the tip of the coating needle to the material to be treated. A method of application, wherein a second liquid material is provided. 前記第１の塗布工程においては請求項６または７の第１の塗布針ホルダまたは第２の塗布針ホルダが用いられ、前記塗布針の前記先端から前記処理対象材に前記第１の液体材料が供給される、請求項８に記載の塗布方法。 In the first coating step, a first coating needle holder or a second coating needle holder according to claim 6 or 7 is used, and the first liquid material is applied to the material to be treated from the tip of the coating needle. The coating method according to claim 8 , wherein the coating method is supplied.
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