JP2016537283A - Tension adjusting device and web continuous processing method using the same - Google Patents

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Abstract

本発明は、ウェブに力を加えて、前記ウェブの張力を調節するダンサーを含み、前記ダンサーは、第1の超音波振動部を含み、前記第1の超音波振動部は、超音波振動し、その超音波振動による反撥力を前記ウェブに加えて、非接触状態で前記ウェブに前記力を加えることを特徴とする張力調節装置を提供する。また、本発明は、前記張力調節装置を利用して前記ウェブの張力を調節する段階と、張力が調節された前記ウェブを処理する段階と、を含むことを特徴とするウェブ連続処理方法を提供する。The present invention includes a dancer that applies a force to a web to adjust the tension of the web, and the dancer includes a first ultrasonic vibration unit, and the first ultrasonic vibration unit vibrates ultrasonically. The tension adjusting device is characterized by applying a repulsive force by the ultrasonic vibration to the web and applying the force to the web in a non-contact state. The present invention also provides a web continuous processing method comprising the steps of: adjusting the tension of the web using the tension adjusting device; and processing the web of which the tension is adjusted. To do.

Description

本発明は、張力調節装置及びこれを利用したウェブ連続処理方法に係り、より詳しくは、ウェブに超音波振動によって生成された反撥力を加えて、非接触でウェブの張力を調節する張力調節装置及びこれを利用したウェブ連続処理方法に関する。   The present invention relates to a tension adjusting device and a web continuous processing method using the same, and more particularly, a tension adjusting device that adjusts the web tension in a non-contact manner by applying a repulsive force generated by ultrasonic vibration to the web. And a web continuous processing method using the same.

ウェブとは、柔軟で且つ長手方向に連続した素材のことを意味し、このようなウェブを連続して処理するための連続処理システムは、ワインダ(winder)、アンワインダ(unwinder)、複数の従動ローラ(driven roller)、及びアイドルローラ(idle roller)などを含んでいてよい。連続処理工程は、一般に、ロール・ツー・ロールまたはロール・ツー・シート工程で進行される。ロール・ツー・ロールまたはロール・ツー・シート工程で張力を制御する方法の一つとして、ダンサーメカニズムが用いられ、加圧装置としてのバネ、空気圧、錘などによって一定の方向に一定の大きさの力を加え、その位置の変動に係わらずウェブに一定の張力が印加されるように構成する装置である。   The web means a material that is flexible and continuous in the longitudinal direction. A continuous processing system for continuously processing such a web includes a winder, an unwinder, and a plurality of driven rollers. (Drive roller), idle roller (idle roller), and the like. The continuous processing process generally proceeds in a roll-to-roll or roll-to-sheet process. A dancer mechanism is used as one of the methods to control the tension in the roll-to-roll or roll-to-sheet process, and it has a certain size in a certain direction by a spring, air pressure, weight, etc. as a pressure device. It is an apparatus configured to apply a force so that a constant tension is applied to the web regardless of the variation in its position.

図1は、従来の張力調節装置を概略的に示す図である。   FIG. 1 is a view schematically showing a conventional tension adjusting device.

同図に示すように、ダンサーローラ311がウェブWと機械的接触(摩擦)して張力調節を行う。支持ローラ312、313が固定位置でウェブWを支持する。   As shown in the figure, the dancer roller 311 makes mechanical contact (friction) with the web W to adjust the tension. Support rollers 312 and 313 support the web W at a fixed position.

ウェブ、特に薄板ガラスウェブまたはこれより得られる薄板ガラスシートは、ディスプレイ、電子素材(太陽電池、タッチセンサー、ウエハなど)、建築、家電などの様々な分野で使用可能である。薄板ガラスウェブは、保護膜でコートされる前に機械的な接触によって損傷されやすい。そのため、保護膜のコーティング前の非コーティングガラスウェブは機械的接触を避ける必要がある。また、薄板ガラスウェブは、高硬度物質のガラスからなるものであって、ローラの表面を傷つけることがある。従来の張力調節装置の場合、ローラの損傷を抑えるために、高価のクロムコーティングなどの方法を用いていたが、これは設備コストの上昇要因になっていた。   A web, particularly a thin glass web or a thin glass sheet obtained therefrom, can be used in various fields such as displays, electronic materials (solar cells, touch sensors, wafers, etc.), architecture, and home appliances. Thin glass webs are susceptible to damage by mechanical contact before being coated with a protective coating. Therefore, it is necessary to avoid mechanical contact of the uncoated glass web before the coating of the protective film. Further, the thin glass web is made of a glass having a high hardness and may damage the surface of the roller. In the case of a conventional tension adjusting device, an expensive method such as chrome coating is used in order to suppress damage to the roller, but this is an increase factor of equipment cost.

従来、接触(摩擦)ダンサーローラによって支持し、または非接触技術でアーチ状のダンサーローラの外面に流体ベントを放出してウェブを支持する方式があった。しかし、前者は、機械的な接触によって薄型ガラスウェブの表面が損傷されやすく、後者は、圧縮空気の流速だけでウェブの均一な高さ調節が難しく且つウェブと非接触状態で維持する力(repelling force)が非常に弱いため、ウェブの不安定な状態(揺れなど)が生じた場合、接触しやすいという問題点がある。(非接触ダンサーメカニズム KR2011-0095191)   Conventionally, there has been a system in which a web is supported by discharging a fluid vent to the outer surface of an arched dancer roller by a contact (friction) dancer roller or by a non-contact technique. However, the former tends to damage the surface of the thin glass web due to mechanical contact, and the latter is difficult to adjust the height of the web even with the flow rate of compressed air, and the force of maintaining the web in a non-contact state with the web. Since the force is very weak, there is a problem that if the web is unstable (such as shaking), it is easy to touch. (Non-contact dancer mechanism KR2011-0095191)

また、薄型ガラスウェブは、脆性材料特性を持ち、従来の伸び率(elongation)で制御する方式では割れやすいという特性を持っている。また、従来のウェブ搬送では、左右偏差が発生するとウェブ自体の伸び率(elongation)を用いて、ダンサーローラを上下だけに駆動してウェブ自体を延伸して張力の制御を行っているが、脆性材料の薄型ガラスウェブは、伸び率(elongation)が小さいことから、機械的接触や破損される可能性が高くなる。   In addition, the thin glass web has brittle material characteristics, and has a characteristic that it is easily broken by a conventional method of controlling by elongation. Also, in the conventional web conveyance, when a lateral deviation occurs, the tension is controlled by driving the dancer roller up and down and stretching the web itself using the elongation of the web itself. The thin glass web of the material has a low elongation, which increases the possibility of mechanical contact and breakage.

本発明は、前記のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、ウェブの搬送中に張力外乱を、機械的接触をすることなくウェブに均一な力(圧力)を加えて、ウェブを均一な張力に保持するダンサーメカニズムを提供することである   The present invention has been made in order to solve the above-described problems of the prior art, and the object thereof is to apply a tension disturbance to the web without mechanical contact during web conveyance. Is to provide a dancer mechanism that applies (pressure) and keeps the web in uniform tension

前記した目的を達成するために、本発明は、ウェブに力を加えて、前記ウェブの張力を調節するダンサーを含み、前記ダンサーは、第1の超音波振動部を含み、前記第1の超音波振動部は、超音波振動し、その超音波振動による反撥力を前記ウェブに加えて、非接触状態で前記ウェブに前記力を加えることを特徴とする張力調節装置を提供する。   To achieve the above object, the present invention includes a dancer that applies a force to a web to adjust the tension of the web, the dancer including a first ultrasonic vibration unit, The sonic vibration unit provides a tension adjusting device characterized by ultrasonically vibrating, applying a repulsive force due to the ultrasonic vibration to the web, and applying the force to the web in a non-contact state.

また、本発明は、前記張力調節装置を利用して前記ウェブの張力を調節する段階と、張力が調節された前記ウェブを処理する段階と、を含むことを特徴とするウェブ連続処理方法を提供する。   The present invention also provides a web continuous processing method comprising the steps of: adjusting the tension of the web using the tension adjusting device; and processing the web of which the tension is adjusted. To do.

前記のように構成される本発明は、ウェブを安定して搬送するための非接触ダンサーメカニズム(搬送中に発生する張力制御及び機械的接触の除去)を具備した装置及びこれを利用するための方法を提供することができる。   The present invention configured as described above is a device having a non-contact dancer mechanism (control of tension generated during conveyance and removal of mechanical contact) for stably conveying a web, and for using the same A method can be provided.

したがって、本発明により薄型ガラスウェブのような脆性材料の機械的な接触による損傷を避けることができると共に、機械的なコーティングなどのような追加的なダンサーローラの処理を不要とし、且つウェブを均一な高さで搬送し張力調節が可能な方法を提供する。   Thus, the present invention avoids damage due to mechanical contact of brittle materials such as thin glass webs, eliminates the need for additional dancer roller processing such as mechanical coating, and makes the web uniform Provided is a method capable of adjusting the tension by conveying at a high height.

従来の張力調節装置を示す図である。It is a figure which shows the conventional tension adjusting device. 本発明の張力調節の基本原理を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the basic principle of tension adjustment of this invention. 本発明の第1の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure showing roughly the tension adjustment device concerning the 1st example of the present invention. 本発明の第2の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjustment apparatus which concerns on the 2nd Example of this invention. 本発明の第3の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the tension adjustment apparatus which concerns on the 3rd Example of this invention. 本発明の第4の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the tension adjusting apparatus which concerns on the 4th Example of this invention. 本発明の第5の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the tension adjusting apparatus which concerns on the 5th Example of this invention. 本発明の第6の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the tension adjusting apparatus based on the 6th Example of this invention. 本発明の第7の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the tension adjusting apparatus based on the 7th Example of this invention. 本発明の第8の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the tension adjusting device based on the 8th Example of this invention. 本発明の第9の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjusting apparatus based on the 9th Example of this invention. 本発明の第10の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjusting apparatus based on the 10th Example of this invention. 本発明の第11の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjusting apparatus based on the 11th Example of this invention. 本発明の第12の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjustment apparatus based on the 12th Example of this invention. 本発明の第12の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjustment apparatus based on the 12th Example of this invention. 本発明の第13の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjusting apparatus based on the 13th Example of this invention. 本発明の第13の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjusting apparatus based on the 13th Example of this invention. 本発明の第13の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the tension adjusting apparatus based on the 13th Example of this invention. 本発明の第14の実施例に係るウェブ連続処理方法を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the web continuous processing method which concerns on the 14th Example of this invention.

以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を詳しく説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

ウェブの連続処理のためのロール・ツー・ロール(Roll to Roll)またはロール・ツー・シート(Roll to sheet)工程において、ウェブの搬送中に発生する張力外乱を、非接触ダンサー(Dancer)を使用して制御する。   Non-contact dancer (Dancer) is used for tension disturbance generated during web transport in roll-to-roll or roll-to-sheet process for continuous web processing. And control.

本発明は、特に、薄型ガラスウェブのように脆性材料(brittle material)のウェブ(web)の処理に関するものであって、特に脆性材料のウェブを搬送するための非接触ダンサー320を具備した張力調節装置及びこれを利用するウェブWの連続処理方法に関するものである。   The present invention is particularly concerned with the treatment of brittle material webs, such as thin glass webs, and in particular tension adjustment with a non-contact dancer 320 for conveying a web of brittle material. The present invention relates to a device and a continuous processing method for web W using the same.

図2は、本発明の張力調節の基本原理を概略的に示す図である。   FIG. 2 is a diagram schematically showing the basic principle of tension adjustment according to the present invention.

本発明の張力調節装置はダンサー320を含む。図2のダンサー320は、第1の超音波振動部321、超音波発生部322、振動吸収部324、及び固定フレーム325を含む。ダンサー320は、ウェブWに力を加えて、ウェブWの張力を調節する。ダンサー320は第1の超音波振動部321を含む。第1の超音波振動部321は超音波振動する。第1の超音波振動部321は、超音波振動によって発生した高圧の空気層の反撥力をウェブWに加えて、非接触状態でウェブWに力を加える。   The tension adjusting device of the present invention includes a dancer 320. The dancer 320 in FIG. 2 includes a first ultrasonic vibration unit 321, an ultrasonic generation unit 322, a vibration absorption unit 324, and a fixed frame 325. The dancer 320 applies a force to the web W to adjust the tension of the web W. The dancer 320 includes a first ultrasonic vibration unit 321. The first ultrasonic vibration unit 321 vibrates ultrasonically. The first ultrasonic vibration unit 321 applies a repulsive force of the high-pressure air layer generated by the ultrasonic vibration to the web W, and applies a force to the web W in a non-contact state.

また、ダンサー320は超音波発生部322を含む。超音波発生部322は、超音波を発生させ、第1の超音波振動部321を振動させる。また、ダンサー320は、第1の超音波振動部321の振動が張力発生装置の他の構成部に伝わることを防止するための振動吸収部324を含んでいてよい。   The dancer 320 includes an ultrasonic wave generation unit 322. The ultrasonic wave generation unit 322 generates ultrasonic waves and vibrates the first ultrasonic vibration unit 321. The dancer 320 may include a vibration absorbing unit 324 for preventing the vibration of the first ultrasonic vibration unit 321 from being transmitted to other components of the tension generator.

ダンサー320の外面から離隔するように超音波加振技術(韓国公開特許 KR2010−0057530)が適用される。超音波による周期的な空気圧縮現象によってウェブWを押し出す力がダンサー320の外面に発生して、脆性材料のウェブWとの機械的な接触及び損傷を防止する。   Ultrasonic vibration technology (Korea published patent KR2010-0057530) is applied so as to be separated from the outer surface of the dancer 320. A force for pushing out the web W is generated on the outer surface of the dancer 320 by a periodic air compression phenomenon caused by ultrasonic waves, thereby preventing mechanical contact and damage to the web W of brittle material.

従来の流体ベントを利用した非接触張力調節装置とは異なり、ウェブWの不安定な状態(振動、揺れなど)が発生すると、それに応じて力(Repelling force)の大きさが自動的に調節されるため、押し出す力が表面の全体に均一に発生して、薄型ガラスウェブWとの非接触状態が一定に保持可能になる。   Unlike the conventional non-contact tension adjusting device using a fluid vent, when an unstable state (vibration, shaking, etc.) of the web W occurs, the magnitude of the force (Repelling force) is automatically adjusted accordingly. Therefore, the pushing force is uniformly generated on the entire surface, and the non-contact state with the thin glass web W can be kept constant.

張力制御のためにウェブWに一定の力を外部から持続的に加えることで、ウェブWに一定の張力が保持されるようにする。速度制御のために、巻取りと巻出しのうちの一方がマスターで他方がスレーブであれば、ダンサー320の高さをリアルタイムで測定しフィードバックしてスレーブの巻き速度を加減することで、巻取り及び巻出し速度の差をリアルタイムで制御して同期化することができる。   A constant force is continuously applied to the web W from the outside for tension control, so that the web W is maintained at a constant tension. For speed control, if one of winding and unwinding is a master and the other is a slave, the height of the dancer 320 is measured in real time and fed back to adjust the winding speed of the slave. And the difference in unwinding speed can be controlled and synchronized in real time.

ここで、ウェブWは、典型的に薄板ガラスであってよいが、本発明がこれに限定されるものではない。本発明のウェブWは、その他の種々の材質からなるものであってよい。   Here, the web W may typically be a thin glass, but the present invention is not limited to this. The web W of the present invention may be made of other various materials.

図3は、本発明の第1の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   FIG. 3 is a view schematically showing a tension adjusting apparatus according to the first embodiment of the present invention.

図3の張力調節装置は、ダンサー320を支持するためのリンク331を含む。リンク331の一端はダンサー320にヒンジ結合され、他端は固定点にヒンジ結合される。これにより、ダンサー320は固定点を回転中心にして回転自在となり、ダンサー320は該ダンサー320重量に該当する均一な力をウェブWに加える。その結果、張力調節装置は、ウェブWの張力を能動的に調節することができる。   The tension adjusting device of FIG. 3 includes a link 331 for supporting the dancer 320. One end of the link 331 is hinged to the dancer 320 and the other end is hinged to a fixed point. As a result, the dancer 320 can freely rotate about the fixed point, and the dancer 320 applies a uniform force corresponding to the weight of the dancer 320 to the web W. As a result, the tension adjusting device can actively adjust the tension of the web W.

図4乃至図5は、本発明の第2の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   4 to 5 are views schematically showing a tension adjusting apparatus according to a second embodiment of the present invention.

第1の超音波振動部321の外面は、図4に示すように、ウェブWと対向する部位が前記ウェブWの長手方向に沿って開曲線をなすか、図5に示す円をなしていてよい。従来の接触ダンサー320では、ウェブWとの摩擦によってダンサーローラが回転しなければならないが、本発明のダンサー320は、圧縮された空気で押し出す非接触力で摩擦が発生しないことから、ウェブWと共に回転する必要がない。そのため、従来の円形のダンサーローラとは異なり、第1の超音波振動部321の外面が必ずしも円をなす必要はない。   As shown in FIG. 4, the outer surface of the first ultrasonic vibration unit 321 has an open curve along the longitudinal direction of the web W or a circle shown in FIG. 5. Good. In the conventional contact dancer 320, the dancer roller must be rotated by friction with the web W. However, the dancer 320 of the present invention does not generate friction due to non-contact force pushed out by compressed air. There is no need to rotate. Therefore, unlike the conventional circular dancer roller, the outer surface of the first ultrasonic vibration unit 321 does not necessarily form a circle.

図4及び図5の張力調節装置は、固定位置でウェブWを支持する支持部を含む。支持部は、第2の超音波振動部341、342を含む。第2の超音波振動部は超音波振動する。第1の超音波振動部321はウェブWの第1の面に反撥力を加えるのに対し、第2の超音波振動部341、342はその超音波振動による反撥力を前記第1の面の裏面である第2の面に加えて、非接触状態で前記ウェブWを支持する。   4 and 5 includes a support portion that supports the web W in a fixed position. The support part includes second ultrasonic vibration parts 341 and 342. The second ultrasonic vibration unit vibrates ultrasonically. The first ultrasonic vibration unit 321 applies a repulsive force to the first surface of the web W, whereas the second ultrasonic vibration units 341 and 342 apply the repulsive force due to the ultrasonic vibration to the first surface. In addition to the second surface which is the back surface, the web W is supported in a non-contact state.

図4及び図5に示すように、ダンサー320及びアーチ状支持部を利用して薄型ガラスウェブWを緩く拘束することで、脆性材料である薄型ガラスウェブWのストレスを最小化して破損されないように構成した。   As shown in FIGS. 4 and 5, the thin glass web W is loosely restrained by using the dancer 320 and the arch-shaped support portion, thereby minimizing the stress of the thin glass web W which is a brittle material so as not to be broken. Configured.

必要に応じて、前記固定位置支持部に代えて、ダンサー320を使用することも可能である。   If necessary, a dancer 320 can be used instead of the fixed position support portion.

図6乃至図9は、本発明の第4の実施例乃至第7の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   6 to 9 are diagrams schematically showing tension adjusting devices according to fourth to seventh embodiments of the present invention.

図6乃至図9の張力調節装置はリンク332を含む。リンク332の一端はダンサー320に結合され、他端はシリンダー333(例えば、油圧シリンダー、空圧シリンダーなど)のピストンに結合される。シリンダー333の内部圧力は一定に保持され、その内部圧力と外部の大気圧との差圧がリンク332を介してダンサー320に加えられる。すなわち、ダンサー320は、シリンダー333に機械的に連結され、一定の圧力をウェブWに均一に加える。   The tension adjusting device of FIGS. 6 to 9 includes a link 332. One end of the link 332 is coupled to the dancer 320, and the other end is coupled to a piston of a cylinder 333 (eg, a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder, etc.). The internal pressure of the cylinder 333 is kept constant, and a differential pressure between the internal pressure and the external atmospheric pressure is applied to the dancer 320 via the link 332. That is, the dancer 320 is mechanically connected to the cylinder 333 and applies a constant pressure to the web W uniformly.

その他、種々の加圧手段が使用されていてよい。例えば、バネを具備し、該バネの一端がダンサー320に結合され、他端は固定点に結合された構造を有していてよい。すなわち、ダンサー320は、バネに機械的に連結され、一定の弾性力をウェブWに均一に加える。   In addition, various pressurizing means may be used. For example, a spring may be provided, and one end of the spring may be coupled to the dancer 320, and the other end may be coupled to a fixed point. That is, the dancer 320 is mechanically connected to the spring and applies a certain elastic force to the web W uniformly.

図10及び図11は、本発明の第8の実施例及び第9の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   10 and 11 are views schematically showing tension adjusting devices according to the eighth and ninth embodiments of the present invention.

同図に示すように、ダウン水平または水平アップウェブ(Web)プロセスにおいてシリンダー333を利用した非接触上下ダンサー320メカニズムの実施例である。   As shown in the figure, an example of a non-contact upper and lower dancer 320 mechanism using a cylinder 333 in a down horizontal or horizontal up web (Web) process.

図12及び図13は、本発明の第10の実施例及び第11の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   12 and 13 are diagrams schematically showing tension adjusting devices according to the tenth and eleventh embodiments of the present invention.

同図では、シリンダー333T、333Bを上下に構成した非接触ダンサー320メカニズムを示す。ウェブWを緩く構成して脆性材料の反りストレスを最小化し、上下の張力調節を微細に調節することができる。   In the figure, a non-contact dancer 320 mechanism in which cylinders 333T and 333B are vertically arranged is shown. The web W can be loosely configured to minimize the warping stress of the brittle material, and the vertical tension adjustment can be finely adjusted.

図12及び図13の張力調節装置は、ウェブWの両面に向かう互いに反対方向からそれぞれ前記ダンサー320に結合されるリンクT(332T)とリンクB(332B)をさらに含む。リンクT(332T)は、ダンサー320に一端が結合され、他端はシリンダーT(333T)のピストンに結合される。リンクB(332B)は、ダンサー320に一端が結合され、他端はシリンダーB(333B)のピストンに結合される。   12 and 13 further includes a link T (332T) and a link B (332B) coupled to the dancer 320 from opposite directions toward both sides of the web W, respectively. One end of the link T (332T) is coupled to the dancer 320, and the other end is coupled to the piston of the cylinder T (333T). One end of the link B (332B) is coupled to the dancer 320, and the other end is coupled to the piston of the cylinder B (333B).

図14及び図15は、本発明の第12の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   14 and 15 are views schematically showing a tension adjusting apparatus according to a twelfth embodiment of the present invention.

同図に示すように、ウェブWを搬送する際に左右張力偏差が発生することによって非接触ダンサー320の左右位置が上下に変動する。そのため、薄板ガラスを延伸(elongation)することなく、左右張力偏差に個別に対応することができる。   As shown in the figure, when the web W is transported, the left-right position of the non-contact dancer 320 fluctuates up and down due to the left-right tension deviation. Therefore, it is possible to individually cope with the lateral tension deviation without stretching the thin glass.

図14及び図15の張力調節装置は、ダンサー320の左右位置を個別調節可能にするために、ウェブWの幅方向に沿った両側からそれぞれダンサー320に結合されるリンクL(332L)とチルトリンク334と、チルトリンク334に結合されるリンクR(332R)をさらに含む。リンクL(332L)はダンサー320に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーL(333L)のピストンに結合される。チルトリンク334は、ダンサー320に一端がヒンジ結合される。リンクR(332R)は、チルトリンク334の他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーR(333R)のピストンに結合される。   14 and 15 includes a link L (332L) and a tilt link that are respectively coupled to the dancer 320 from both sides along the width direction of the web W so that the left and right positions of the dancer 320 can be individually adjusted. 334 and a link R (332R) coupled to the tilt link 334. One end of the link L (332L) is hinged to the dancer 320, and the other end is coupled to the piston of the cylinder L (333L). The tilt link 334 is hinged at one end to the dancer 320. One end of the link R (332R) is hinge-coupled to the other end of the tilt link 334, and the other end is coupled to the piston of the cylinder R (333R).

例えば、シリンダーL(333L)及びシリンダーR(333R)が、ウェブWに一定の下方力10を加えると仮定する。これに対応して、ウェブWは、その張力によって上方力10をシリンダー333L、333Rに加えて、力の均衡を合わせる。ここで、ウェブWの左側端の張力は変化がないが、右側端の張力が低下する場合を考える。この場合、ダンサー320の左側端の位置変動はないはずである。しかし、シリンダー333Rによってダンサー320の右側端に加えられる下方力とウェブWの張力によってダンサー320に加えられる上方力との均衡が崩れて、新しい力の均衡が成立するまでダンサー320は下方に位置移動するはずである。このため、ダンサー320は右側端が左側端よりも低い位置を有するようになるはずである。   For example, assume that cylinder L (333L) and cylinder R (333R) apply a constant downward force 10 to web W. Correspondingly, the web W applies an upward force 10 to the cylinders 333L, 333R by its tension to balance the force. Here, a case is considered where the tension at the left end of the web W does not change, but the tension at the right end decreases. In this case, there should be no position fluctuation at the left end of the dancer 320. However, the balance between the downward force applied to the right end of the dancer 320 by the cylinder 333R and the upward force applied to the dancer 320 by the tension of the web W is lost, and the dancer 320 moves downward until a new force balance is established. Should do. For this reason, the dancer 320 should have a position where the right end is lower than the left end.

図16乃至図18は、本発明の第13の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   16 to 18 are views schematically showing a tension adjusting device according to a thirteenth embodiment of the present invention.

ダンサー320の両端にシリンダー333LT、333LB、333RT、333RBを左右、上下から結合して、ウェブWの左右張力偏差が発生しても、より微細に張力を調節することができる。   Even if the cylinders 333LT, 333LB, 333RT, and 333RB are coupled to both ends of the dancer 320 from the left, right, and top, the tension can be adjusted more finely even if the left and right tension deviation of the web W occurs.

図16乃至図18の張力調節装置は、リンクLT(332LT)とリンクLB(332LB)と、チルトリンク334と、リンクRT(332RT)とリンクRB(332RB)を含む。   16 to 18 include a link LT (332LT), a link LB (332LB), a tilt link 334, a link RT (332RT), and a link RB (332RB).

リンクLT(332LT)とリンクLB(332LB)は、ウェブWの幅方向に沿ったダンサー320の幅方向の一端にヒンジ結合され、前記ウェブWの両面に向かう互いに反対方向からそれぞれ前記ダンサー320の幅方向の一端にヒンジ結合される。前記リンクLT(332LT)は、前記ダンサー320の幅方向の一端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLT(333LT)のピストンに結合される。前記リンクLB(332LB)は、前記ダンサー320の幅方向の一端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLB(333LB)のピストンに結合される。   The link LT (332LT) and the link LB (332LB) are hinged to one end in the width direction of the dancer 320 along the width direction of the web W, and the width of the dancer 320 from opposite directions toward both sides of the web W, respectively. It is hinged to one end in the direction. One end of the link LT (332LT) is hinge-coupled to one end in the width direction of the dancer 320, and the other end is coupled to a piston of the cylinder LT (333LT). One end of the link LB (332LB) is hinge-coupled to one end in the width direction of the dancer 320, and the other end is coupled to a piston of the cylinder LB (333LB).

チルトリンク334は、ウェブWの幅方向に沿った前記ダンサー320の幅方向の他端にヒンジ結合される。前記チルトリンク334は、前記ダンサー320の幅方向の他端に一端がヒンジ結合される。   The tilt link 334 is hinged to the other end in the width direction of the dancer 320 along the width direction of the web W. One end of the tilt link 334 is hinged to the other end of the dancer 320 in the width direction.

リンクRT(332RT)とリンクRB(332RB)はチルトリンク334にそれぞれ結合される。前記リンクRT(332RT)は前記チルトリンク334の他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRT(333RT)のピストンに結合され、前記リンクRB(332RB)は前記チルトリンク334の他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRB(333RB)のピストンに結合される。   Link RT (332RT) and link RB (332RB) are coupled to tilt link 334, respectively. One end of the link RT (332RT) is hinged to the other end of the tilt link 334, the other end is coupled to the piston of the cylinder RT (333RT), and the link RB (332RB) is connected to the other end of the tilt link 334. One end is hinged and the other end is coupled to the piston of cylinder RB (333RB).

図19は、本発明の第14の実施例に係るウェブ連続処理方法を概略的に示す図である。   FIG. 19 is a diagram schematically showing a web continuous processing method according to the fourteenth embodiment of the present invention.

本発明は、前記したような張力調節装置300を利用してウェブWの張力を調節しながら処理するウェブ連続処理方法を提供する。当該ウェブ連続処理方法は、張力調節装置300を利用してウェブWの張力を調節する段階と、張力が調節された前記ウェブWを処理する段階と、を含む。前記処理は、前記ウェブWの成形、カッティング、研磨、印刷、コーティング、洗浄、及び検査の少なくとも一つを含む。前記ウェブ連続処理方法は、好ましくは、ロール・ツー・ロールまたはロール・ツー・シート工程で遂行される。図19は、ウェブWの連続洗浄及び検査方法を示している。ここで、ウェブWの処理とは、洗浄及び検査のことを意味する。   The present invention provides a web continuous processing method in which processing is performed while adjusting the tension of the web W using the tension adjusting device 300 as described above. The web continuous processing method includes a step of adjusting the tension of the web W using the tension adjusting device 300 and a step of processing the web W whose tension is adjusted. The treatment includes at least one of forming, cutting, polishing, printing, coating, cleaning, and inspection of the web W. The web continuous processing method is preferably performed in a roll-to-roll or roll-to-sheet process. FIG. 19 shows a continuous cleaning and inspection method for the web W. Here, the processing of the web W means cleaning and inspection.

巻出しローラ715からウェブWと保護フィルムが巻き出される。保護フィルムは、保護フィルム巻取りローラ716に巻き取られる。ウェブWは張力調節装置300によって張力が調節され、搬送部100によって搬送される。ウェブWは、洗浄部800)で洗浄され、検査部900で検査される。その後、巻取りローラ717に巻き取られる。このとき、保護フィルム巻出しローラ718から供給される保護フィルムが一緒に巻き取られる。   The web W and the protective film are unwound from the unwinding roller 715. The protective film is wound around the protective film winding roller 716. The tension of the web W is adjusted by the tension adjusting device 300 and the web W is conveyed by the conveying unit 100. The web W is cleaned by the cleaning unit 800) and inspected by the inspection unit 900. Thereafter, the film is wound around a winding roller 717. At this time, the protective film supplied from the protective film unwinding roller 718 is taken up together.

Claims (13)

ウェブに力を加えて、前記ウェブの張力を調節するダンサーを含み、
前記ダンサーは、第1の超音波振動部を含み、
前記第1の超音波振動部は、超音波振動し、その超音波振動による反撥力を前記ウェブに加えて、非接触状態で前記ウェブに前記力を加えることを特徴とする張力調節装置。
Including a dancer that applies force to the web to adjust the tension of the web;
The dancer includes a first ultrasonic vibration unit,
The first ultrasonic vibration section ultrasonically vibrates, applies a repulsive force due to the ultrasonic vibration to the web, and applies the force to the web in a non-contact state.
前記ウェブは薄板ガラスであることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。   The tension adjusting device according to claim 1, wherein the web is thin glass. 前記第1の超音波振動部の外面は、円をなすか、または前記ウェブと対向する部位が前記ウェブの長手方向に沿って開曲線をなすことを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。   2. The tension adjustment according to claim 1, wherein an outer surface of the first ultrasonic vibration part forms a circle, or a portion facing the web forms an open curve along a longitudinal direction of the web. apparatus. 前記張力調節装置は、固定位置で前記ウェブを支持する支持部を含み、
前記支持部は第2の超音波振動部を含み、
前記第1の超音波振動部は前記ウェブの第1の面に反撥力を加え、
前記第2の超音波振動部は、超音波振動し、その超音波振動による反撥力を前記第1の面の裏面である第2の面に加えて、非接触状態で前記ウェブを支持することを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
The tension adjusting device includes a support portion that supports the web in a fixed position,
The support part includes a second ultrasonic vibration part,
The first ultrasonic vibration unit applies a repulsive force to the first surface of the web,
The second ultrasonic vibration unit vibrates ultrasonically, and adds a repulsive force due to the ultrasonic vibration to the second surface which is the back surface of the first surface, and supports the web in a non-contact state. The tension adjusting device according to claim 1.
前記張力調節装置はバネをさらに含み、
前記バネは、一端が前記ダンサーに結合され、他端は固定点に結合されることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
The tension adjusting device further includes a spring;
The tension adjusting device according to claim 1, wherein one end of the spring is coupled to the dancer and the other end is coupled to a fixed point.
前記張力調節装置はリンクをさらに含み、
前記リンクは、一端が前記ダンサーにヒンジ結合され、他端は固定点にヒンジ結合されることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
The tension adjusting device further includes a link;
The tension adjusting device according to claim 1, wherein one end of the link is hinged to the dancer and the other end is hinged to a fixed point.
前記張力調節装置はリンクをさらに含み、
前記リンクは、一端が前記ダンサーに結合され、他端はシリンダーのピストンに結合されることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
The tension adjusting device further includes a link;
The tension adjusting device according to claim 1, wherein one end of the link is coupled to the dancer and the other end is coupled to a piston of a cylinder.
前記張力調節装置は、前記ウェブの両面に向かう互いに反対方向からそれぞれ前記ダンサーに結合されるリンクTとリンクBをさらに含み、
前記リンクTは、前記ダンサーに一端が結合され、他端はシリンダーTのピストンに結合され、
前記リンクBは、前記ダンサーに一端が結合され、他端はシリンダーBのピストンに結合されることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
The tension adjusting device further includes a link T and a link B respectively coupled to the dancer from opposite directions toward both sides of the web,
The link T has one end coupled to the dancer and the other end coupled to the piston of the cylinder T.
2. The tension adjusting device according to claim 1, wherein one end of the link B is coupled to the dancer and the other end is coupled to a piston of the cylinder B. 3.
前記張力調節装置は、前記ウェブの幅方向に沿った前記ダンサーの幅方向の両端にそれぞれヒンジ結合されるリンクLとチルトリンクと、前記チルトリンクにヒンジ結合されるリンクRをさらに含み、
前記リンクLは、前記ダンサーに一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLのピストンに結合され、
前記チルトリンクは、前記ダンサーに一端がヒンジ結合され、
前記リンクRは、前記チルトリンクの他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRのピストンに結合されることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
The tension adjusting device further includes a link L and a tilt link hinged to both ends of the dancer in the width direction along the width direction of the web, and a link R hinged to the tilt link,
The link L has one end hinged to the dancer and the other end coupled to the piston of the cylinder L,
The tilt link is hinged at one end to the dancer,
2. The tension adjusting device according to claim 1, wherein one end of the link R is hinge-coupled to the other end of the tilt link, and the other end is coupled to a piston of the cylinder R. 3.
前記張力調節装置は、
前記ウェブの幅方向に沿った前記ダンサーの幅方向の一端にヒンジ結合され、前記ウェブの両面に向かう互いに反対方向からそれぞれ前記ダンサーの幅方向の一端にヒンジ結合されるリンクLTとリンクLBを含み、
前記ダンサーの幅方向の他端にヒンジ結合されるチルトリンクを含み、
前記チルトリンクにヒンジ結合されるリンクRTとリンクRBを含み;
前記リンクLTは、前記ダンサーの幅方向の一端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLTのピストンに結合され、
前記リンクLBは、前記ダンサーの幅方向の一端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLBのピストンに結合され、
前記チルトリンクは、前記ダンサーの幅方向の他端に一端がヒンジ結合され、
前記リンクRTは、前記チルトリンクの他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRTのピストンに結合され、
前記リンクRBは、前記チルトリンクの他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRBのピストンに結合されることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
The tension adjusting device includes:
A link LT and a link LB hinged to one end in the width direction of the dancer along the width direction of the web and hinged to one end in the width direction of the dancer from opposite directions toward both sides of the web; ,
A tilt link hinged to the other end in the width direction of the dancer;
A link RT and a link RB hinged to the tilt link;
One end of the link LT is hinged to one end of the dancer in the width direction, the other end is coupled to the piston of the cylinder LT,
One end of the link LB is hinged to one end of the dancer in the width direction, and the other end is coupled to the piston of the cylinder LB.
The tilt link is hinged at one end to the other end in the width direction of the dancer,
The link RT has one end hinged to the other end of the tilt link and the other end connected to the piston of the cylinder RT.
2. The tension adjusting device according to claim 1, wherein one end of the link RB is hinge-coupled to the other end of the tilt link, and the other end is coupled to a piston of the cylinder RB.
請求項1に記載の張力調節装置を利用して前記ウェブの張力を調節する段階と、
張力が調節された前記ウェブを処理する段階と、を含むことを特徴とするウェブ連続処理方法。
Adjusting the tension of the web using the tension adjusting device of claim 1;
Treating the web with adjusted tension, and a continuous web processing method.
前記処理は、前記ウェブの成形、カッティング、研磨、印刷、コーティング、洗浄、及び検査の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項11に記載のウェブ連続処理方法。   The web continuous processing method according to claim 11, wherein the processing includes at least one of forming, cutting, polishing, printing, coating, cleaning, and inspection of the web. ロール・ツー・ロールまたはロール・ツー・シート工程で遂行されることを特徴とする請求項11に記載のウェブ連続処理方法。   The web continuous processing method according to claim 11, wherein the web continuous processing method is performed in a roll-to-roll or roll-to-sheet process.
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