JP2016519915A - 反作用補償チルトプラットフォーム - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書で使用するとき、文脈がそうでないことを明示していない限り、単数形の「一つ」および「その」は複数の対象を含むことができる。したがって、例えば、「ボイスコイルアクチュエータ」への言及は、一つ以上のそのようなアクチュエータを含むことができる。
本技術は、ポインティングアセンブリに同時に多くの利点を提供するために、クロスブレード撓み、ボイスコイルアクチュエータ、差動ギャップセンサー、ロッキングピン、およびフレックス回路の新規な配置を利用することができる。システムの一つの例示的な使用は高速動作ステアリングミラー(「FSM」)である。
12 サポートベース
14 反作用質量
16 ピボットカプラー
18 チルトプラットフォーム
20 ピボットカップリングアセンブリ
22 コイルアセンブリ
24 アクチュエータ磁石アセンブリ
28 テーパー状端部キャップ
30a フレックスリボン
30b フレックスリボン
44a 屈曲部(ターン)
44b 屈曲部(ターン)
46a 平行軸線
46b 平行軸線
48 軸線
50 ターン
60 ロッキングピン
64 係合セクション
66 係合セクション
68 セクション
70 係合セクション
88 係合セクション
Claims (20)
- 反作用補償チルトプラットフォームアセンブリであって、
サポートベースと、
前記サポートベースに対して回動可能に結合され反作用質量と、
前記サポートベースに対して回動可能に結合されたチルトプラットフォームと、
前記反作用質量および前記チルトプラットフォームの一方によって支持された少なくとも二つのリニアアクチュエータコイルアセンブリと、
前記反作用質量および前記チルトプラットフォームの他方によって支持されかつ前記二つのリニアアクチュエータコイルアセンブリ内に配置可能な少なくとも二つのリニアアクチュエータ磁石アセンブリであって、このリニアアクチュエータ磁石アセンブリは、前記磁石アセンブリの中心付近の大直径から前記磁石アセンブリの端部付近の小直径へと先細になる、少なくとも二つのリニアアクチュエータ磁石アセンブリと、を具備し、
前記リニアアクチュエータ磁石の作動によって前記反作用質量に対する前記チルトプラットフォームの回動が生じる、反作用補償チルトプラットフォームアセンブリ。 - 前記リニアアクチュエータ磁石アセンブリは、実質的に連続した円柱状中間セクションを含む、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記リニアアクチュエータ磁石アセンブリはテーパー状端部キャップを含む、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記リニアアクチュエータ磁石アセンブリの磁石部分は、実質的に連続した円柱状断面を含む、請求項3に記載のアセンブリ。
- 前記チルトプラットフォームは、約0度の角度から少なくとも約6度の角度まで前記サポートベースに対して傾けることができる、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記リニアアクチュエータ磁石アセンブリは、前記チルトプラットフォームまたは前記反作用質量の一方に対して直接結合される、請求項1に記載のアセンブリ。
- 反作用補償チルトプラットフォームアセンブリであって、
サポートベースと、
前記サポートベースに対して回動可能に結合された反作用質量と、
前記サポートベースに対して回動可能に結合されたチルトプラットフォームと、
i)前記サポートベースに対して、かつ、ii)前記反作用質量あるいは前記チルトプラットフォームの一方に対して結合された少なくとも一つの電子撓みリボンと、を具備し、
前記少なくとも一つの電子撓みリボンは前記反作用質量を通って延在し、かつ、前記反作用質量に入るときには第1の形態で配向され、かつ、前記反作用質量を出るときには第2の形態で配向され、前記第2の形態は前記第1の形態に対して直交する、反作用補償チルトプラットフォームアセンブリ。 - 前記サポートベースに対して結合された第2の電子撓みリボンをさらに具備し、かつ、i)反作用質量あるいはii)前記第2の電子撓みリボンの一方は、前記反作用質量を通って延在し、かつ、前記反作用質量に入るときには第1の形態で配向され、かつ、前記反作用質量を出るときには第2の形態で配向され、前記第2の形態は前記第1の形態に対して直交する、請求項7に記載のアセンブリ。
- 第1および第2の電子撓みリボンは、前記反作用質量の中心周りに対称的に前記反作用質量に結合される、請求項8に記載のアセンブリ。
- 前記少なくとも一つの電子撓みリボンは、それ自体に形成された直交曲げ部を含み、前記直交曲げ部は約90度の角度で前記電子撓みリボンの導体を転向させる、請求項7に記載のアセンブリ。
- 反作用補償チルトプラットフォームアセンブリであって、
サポートベースと、
前記サポートベースに対して回動可能に結合された反作用質量と、
前記サポートベースに対して回動可能に結合されたチルトプラットフォームと、
少なくとも前記チルトプラットフォームと係合可能なロッキングピンと、を具備し、
単一運動度の前記ロッキングピンの作動は、二自由度の前記ベースに対する前記チルトプラットフォームの動作を制限する、反作用補償チルトプラットフォームアセンブリ。 - 前記ロッキングピンは前記反作用質量と係合可能であり、かつ、単一運動度の前記ロッキングピンの作動は、二自由度の前記ベースに対する前記チルトプラットフォームおよび前記反作用質量の両方の動作を制限する、請求項11に記載のアセンブリ。
- 前記ロッキッグピンは、前記ステアリングミラーアセンブリの幾何学的中心を通って配置される、請求項11に記載のアセンブリ。
- 前記反作用質量によって支持された少なくとも二つのリニアアクチュエータコイルアセンブリと、
前記チルトプラットフォームによって支持されかつ前記二つのリニアアクチュエータコイルアセンブリ内に配置可能な少なくとも二つのリニアアクチュエータ磁石アセンブリであって、このリニアアクチュエータ磁石アセンブリは、前記磁石アセンブリの中心付近の大直径から前記磁石アセンブリの端部付近の小直径へと先細になる、少なくとも二つのリニアアクチュエータ磁石アセンブリと、をさらに具備し、
前記リニアアクチュエータ磁石の作動によって前記反作用質量に対する前記チルトプラットフォームの回動が生じる、請求項11に記載のアセンブリ。 - 前記リニアアクチュエータ磁石アセンブリは、実質的に連続した円柱状中間セクションを含む、請求項14に記載のアセンブリ。
- 前記リニアアクチュエータ磁石アセンブリはテーパー状端部キャップを含む、請求項14に記載のアセンブリ。
- 前記サポートベースおよび前記反作用質量に対して結合された少なくとも一つの電子撓みリボンをさらに具備し、前記少なくとも一つの電子撓みリボンは前記反作用質量を通って延在し、かつ、前記反作用質量に入るときには第1の形態で配向され、かつ、前記反作用質量を出るときには第2の形態で配向され、前記第2の形態は前記第1の形態に対して直交する、請求項14に記載のアセンブリ。
- 前記サポートベースおよび前記反作用質量に対して結合された第2の電子撓みリボンをさらに具備し、前記第2の電子撓みリボンは前記反作用質量を通って延在し、かつ、前記反作用質量に入るときには第1の形態で配向され、かつ、前記反作用質量を出るときには第2の形態で配向され、前記第2の形態は前記第1の形態に対して直交する、請求項17に記載のアセンブリ。
- 第1および第2の電子撓みリボンは、前記反作用質量の中心周りで対称的に前記反作用質量に結合される、請求項18に記載のアセンブリ。
- 前記少なくとも一つの電子撓みリボンは、それ自体に形成された直交曲げ部を含み、前記直交曲げ部は約90度の角度で前記電子撓みリボンの導体を転向させる、請求項17に記載のアセンブリ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020523590A (ja) * | 2017-06-13 | 2020-08-06 | レイセオン カンパニー | 高速ステアリングミラーのための較正方法及びシステム |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10139617B2 (en) | 2016-02-22 | 2018-11-27 | Raytheon Company | Reaction compensated steerable platform |
US10197792B2 (en) * | 2016-02-22 | 2019-02-05 | Raytheon Company | Reaction compensated steerable platform |
US10203475B2 (en) | 2016-10-20 | 2019-02-12 | Raytheon Company | Curved magnetic actuators, and systems, and methods for mounting tilt platforms |
EP3570419B1 (en) * | 2017-01-11 | 2021-01-20 | Mitsubishi Electric Corporation | Recoilless device and directivity control mirror system |
CN110707898B (zh) * | 2019-09-30 | 2021-03-30 | 北京瑞控信科技有限公司 | 一种快速反射镜 |
EP3822690B1 (en) | 2019-11-13 | 2024-04-03 | Thorlabs GmbH | Voice coil actuator for angular movements |
US11852803B2 (en) * | 2020-10-28 | 2023-12-26 | Raytheon Company | Large aperture, single axis, reactionless fast steering mirror |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0251121A (ja) * | 1988-05-31 | 1990-02-21 | Reflection Technol Inc | 小型光学ディスプレイ装置のための低振動の共振型走査装置 |
US7009752B1 (en) * | 2003-01-21 | 2006-03-07 | Lockheed Martin Corporation | Actively-supported multi-degree of freedom steerable mirror apparatus and method |
JP2006068688A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 振動アクチュエータ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4175550A (en) * | 1978-03-27 | 1979-11-27 | Leininger James R | Therapeutic bed |
US4732440A (en) * | 1985-10-22 | 1988-03-22 | Gadhok Jagmohan S | Self resonant scanning device |
US5110195A (en) | 1990-03-14 | 1992-05-05 | Massachusetts Institute Of Technology | High bandwidth steering mirror |
GB0126285D0 (en) * | 2001-11-01 | 2002-01-02 | Isis Innovation | Improved moving coil transducer |
EP1321822A1 (en) | 2001-12-21 | 2003-06-25 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US6856437B2 (en) | 2002-02-01 | 2005-02-15 | Terabeam Corporation | Fast steering mirror |
US6837587B1 (en) | 2003-02-21 | 2005-01-04 | Lockheed Martin Corporation | Low cost fast steering mirror |
GB0607072D0 (en) * | 2006-04-07 | 2006-05-17 | Artemis Intelligent Power Ltd | Electromagnetic actuator |
US9765920B2 (en) * | 2011-06-17 | 2017-09-19 | Abariscan Gmbh | Positioning apparatus and system for directing a beam |
-
2013
- 2013-03-15 US US13/841,353 patent/US9658427B2/en active Active
-
2014
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0251121A (ja) * | 1988-05-31 | 1990-02-21 | Reflection Technol Inc | 小型光学ディスプレイ装置のための低振動の共振型走査装置 |
US7009752B1 (en) * | 2003-01-21 | 2006-03-07 | Lockheed Martin Corporation | Actively-supported multi-degree of freedom steerable mirror apparatus and method |
JP2006068688A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 振動アクチュエータ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020523590A (ja) * | 2017-06-13 | 2020-08-06 | レイセオン カンパニー | 高速ステアリングミラーのための較正方法及びシステム |
EP3638983B1 (en) * | 2017-06-13 | 2022-03-30 | Raytheon Company | Calibration method and system for fast steering mirror |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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IL264546B (en) | 2019-10-31 |
IL264545B (en) | 2019-10-31 |
IL240996A0 (en) | 2015-11-30 |
IL264545A (en) | 2019-02-28 |
EP2972544B1 (en) | 2018-10-24 |
US9658427B2 (en) | 2017-05-23 |
EP2972544A1 (en) | 2016-01-20 |
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IL264546A (en) | 2019-02-28 |
IL240996B (en) | 2019-05-30 |
US20140268383A1 (en) | 2014-09-18 |
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