JP2016517632A - トレンチ領域に配置されたカソード金属層を備える半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書に記載のさまざまな実施形態は、一般に、熱アシスト磁気記録などの装置に使用される半導体レーザに関する。一実施形態において、レーザダイオードは、基板と、基板上に配置された接合層とを備える。接合層は、レーザダイオードの量子井戸を形成する。レーザダイオードは、接合層を通って基板に延在する少なくとも1つのチャネルを含む接合面を備える。少なくとも1つのチャネルは、アノード領域およびカソード領域を画定する。カソード電気接合部は、カソード領域に位置する接合面上に配置されている。アノード電気接合部は、接合面に配置され、アノード領域に位置する接合層に接続されている。カソード金属層は、チャネルの少なくともトレンチ領域に配置されている。カソード金属層は、基板をカソード電気接合部に接続する。
本開示は、熱アシスト磁気記録(HAMR)などの装置に使用された光学素子に関する。HAMR装置は、熱を使用して、代表的な磁気記録媒体(たとえば、ハードドライブディスク)のデータ面密度を制限し得る超常磁性効果を克服する。このような媒体における記録は、媒体が磁気書込みヘッドによって書込まれている間に、この媒体の小さな一部分を加熱する工程を含む。熱は、レーザダイオードなどのコヒーレント光源から発生されることができる。レーザダイオードからのエネルギーを媒体に導くために、光学素子をハードドライブのスライダに集積することができる。
Claims (20)
- レーザダイオードであって、
基板と、
前記基板上に配置された接合層とを備え、前記接合層は、前記レーザダイオードの量子井戸を形成し、
前記接合層を通って前記基板に延在する少なくとも1つのチャネルを含む接合面を備え、前記少なくとも1つのチャネルは、アノード領域およびカソード領域を画定し、
前記カソード領域に位置する前記接合面上に配置されたカソード電気接合部と、
前記接合面に配置され、前記アノード領域に位置する前記接合層に接続されたアノード電気接合部と、
前記少なくとも1つのチャネルの少なくともトレンチ領域に配置されたカソード金属層とを備え、前記トレンチ領域は、前記レーザダイオードのレーザ出力方向に沿って細長く延在し、前記カソード金属層は、前記基板を前記カソード電気接合部に接続する、レーザダイオード。 - 前記トレンチ領域は、実質的には前記レーザダイオードの出射端から反対側の端部に延在している、請求項1に記載のレーザダイオード。
- 前記トレンチ領域は、前記基板の第1半部および第2半部の各々の上方に配置された第1トレンチおよび第2トレンチ領域を含み、
前記トレンチ領域は各々、前記第1半部および第2半部の半分を超える表面面積を占める、請求項1に記載のレーザダイオード。 - 前記少なくとも1つのチャネルは、前記レーザダイオードのレーザ出力方向に沿って細長く延在する、請求項1に記載のレーザダイオード。
- 前記少なくとも1つのチャネルは、2つのチャネルを含み、
前記アノード領域は、前記2つのチャネルの間に配置されている、請求項1に記載のレーザダイオード。 - 前記カソード領域は、前記アノード領域の両側に位置する2つのカソード領域を含む、請求項5に記載のレーザダイオード。
- 前記カソード電気接合部は、前記2つのカソード領域上に位置する第1複数の半田バンプおよび第2複数の半田バンプを含む、請求項6に記載のレーザダイオード。
- 前記カソード電気接合部は、複数の半田バンプを含む、請求項1に記載のレーザダイオード。
- 前記レーザダイオードは、前記接合面と反対側にある前記基板の表面上に配置された底面カソード層をさらに含み、
前記底面カソード層は、前記基板への代替的電気接続を形成する、請求項1に記載のレーザダイオード。 - 前記レーザダイオードは、前記接合層と前記カソード金属層との間に配置された隔離層をさらに含み、
前記隔離層は、前記カソード金属層を前記接合層から隔離する、請求項1に記載のレーザダイオード。 - 前記カソード電気接合部および前記アノード電気接合部は、磁気ハードドライブのスライダの取付け面に電気的に接続されるように構成されている、請求項1に記載のレーザダイオード。
- レーザダイオードであって、
接合面を備え、
前記接合面は、
前記レーザダイオードのレーザ出力方向に沿って延在する2つの細長いチャネルと、
前記2つの細長いチャンネルの間に位置するアノード領域に配置されたアノード電気接合部と、
前記アノード領域の外側の1つ以上のカソード領域に配置された2つ以上のカソード電気接合部とを含み、
前記レーザダイオードは、
前記接合面の下方に配置された接合層を備え、前記接合層は、前記アノード領域において量子井戸を形成し、
前記接合層の下方に位置する基板を備え、前記細長いチャネルは、前記接合層を通って、前記レーザダイオードのレーザ出力方向に細長く延在するトレンチ領域に位置する前記基板まで延在し、
前記トレンチ領域内に延在するカソード金属層を備え、前記カソード金属層は、前記基板を2つ以上のカソード電気接合部に接続する、レーザダイオード。 - 前記トレンチ領域は、実質的には前記レーザダイオードの出射端から反対側の端部に延在している、請求項12に記載のレーザダイオード。
- 前記トレンチ領域は、前記基板の第1半部および第2半部の各々の上方に配置された第1トレンチおよび第2トレンチ領域を含み、
前記トレンチ領域は各々、前記第1半部および第2半部の半分を超える表面面積を占める、請求項12に記載のレーザダイオード。 - 前記カソード電気接合部は、複数の半田バンプを含む、請求項12に記載のレーザダイオード。
- 前記レーザダイオードは、前記接合層と前記カソード金属層との間に配置された隔離層をさらに含み、
前記隔離層は、前記カソード金属層を前記接合層から隔離する、請求項12に記載のレーザダイオード。 - 前記カソード電気接合部および前記アノード電気接合部は、磁気ハードドライブのスライダの取付け面に電気的に接続されるように構成されている、請求項12に記載のレーザダイオード。
- 方法であって、
レーザ基板を形成する工程と
前記レーザ基板上に接合層を堆積する工程とを備え、前記接合層は、レーザダイオードの量子井戸を形成し、
レーザ出力方向に沿って前記接合層を通る1つ以上のチャネルを形成する工程を備え、前記1つ以上のチャネルの底部は、前記レーザ基板まで延在し、
前記接合層上に隔離層を堆積する工程と、
前記1つ以上のチャネルの前記底部に位置する1つ以上のトレンチ領域に位置する前記隔離層の一部を除去する工程とを備え、前記1つ以上のトレンチ領域は、前記レーザ出力方向に沿って細長く延在し、
前記隔離層上にカソード金属層を形成する工程を備え、前記カソード金属層は、前記1つ以上のトレンチ領域に位置する前記レーザ基板に接続され、
前記カソード金属層に接続された1つ以上のカソード電気接合部を形成する工程を備え、前記1つ以上のカソード電気接合部は、前記レーザダイオードの接合面から露出される、方法。 - 前記方法は、前記カソード金属層上に隔離層を形成する工程を備え、
前記隔離層は、前記カソード金属層を部分的に露出する領域を含み、
前記カソード電気接合部は、前記領域上に形成される、請求項18に記載の方法。 - 前記方法は、
前記接合層を露出するように、アノード領域に位置する前記隔離層の第2部分を除去する工程と、
前記アノード領域に位置する前記接合層上にアノード金属層を形成する工程と、
前記アノード金属層に接続された1つ以上のアノード電気接合部を形成する工程とをさらに備える、請求項18に記載の方法。
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