JP2016506014A - ２つの隣接したボディの相対運動を検出するための静電容量センサ - Google Patents

Abstract

２つの隣接したボディの相対運動を検出するための静電容量センサであって、この静電容量センサは、第１導電性電極表面（７８）を有し、第１電極支持ボディ（７４）上に配置された、第１電極（７６）と、第２導電性電極表面（８８）を有し、第２電極支持ボディ（８２）上に配置された、第２電極（８６）と、第２電極支持ボディ（８２）の第２電極（８６）とは反対側の面上に配置された、圧力ボディ（９２）と、を備える。第２電極支持ボディ（８２）は、弾性薄膜部材（８４）として設計され、また、第１及び第２電極（７６、８６）の両側に間隔を空けて配置された対向する２つの支え部（９６）において、第１電極支持ボディ（７４）によって支持されている。圧力ボディ（９２）は、第２電極支持ボディ（８２）の第２電極（８６）とは反対側の面に対して、第２電極支持ボディ（８２）の２つの支え部（９６）の間の領域に当接し、また、第１電極支持ボディ（７４）と圧力ボディ（９２）との間に相対運動があるときに、第２電極支持ボディ（８２）を屈曲させながら第２電極支持ボディ（８２）を押圧する、少なくとも２つの圧力突出部（９４）を備える。この少なくとも２つの圧力突出部（９４）は、第２電極支持ボディ（８２）の２つの支え部（９６）が間隔を空ける方向と同じ方向に、互いに間隔を空けて配置される。第２電極（８６）は、少なくとも２つの圧力突出部（９４）が第２電極支持ボディ（８２）に当接する第２電極支持ボディ（８２）の押圧領域の間のほぼ中央に位置する固定部分においてのみ、第２電極支持ボディ（８２）に固定される。【選択図】図３

Description

本発明は、２つの隣接したボディが互いに接近するかまたは離れるように移動するような、２つの隣接したボディの相対運動を検出するための静電容量センサに関するものである。

静電容量センサは、例えば、圧力センサ、力センサ、または、パスセンサとして適用される。
特に、比較的わずかな運動及び距離の変化が問題になり得るため、静電容量センサを用いて２つの隣接したボディのわずかな相対運動を検出するために、センサ内の電極間距離の変化において信頼性のある識別が必要とされる。

より好ましい識別を実現するために、センサの電気信号を増幅することが可能である。静電容量センサによって検出されることになる極めて小さい変形パス（経路）が与えられるのであれば、比較的高出力の増幅が必要となるであろう。この比較的高出力の増幅によるノイズの発生が関わる限り、エレクトロニクスの限界に達してしまうであろう。

本発明の目的は、センサ信号を過度に増幅する必要なしに微細動作でも検出することができる、改善された静電容量センサを提供することである。

この目的を達成するために、本発明は、２つの隣接したボディの相対運動（例えば、互いに接近するかまたは離れるか）を検出するための静電容量センサを提供する。
この静電容量センサは、
第１導電性電極表面を有し、第１電極支持ボディ上に配置された、第１電極と、
第２導電性電極表面を有し、第２電極支持ボディ上に配置された、第２電極と、
第２電極支持ボディの第２電極とは反対側の面上に配置された、圧力ボディと、
を備え、
第２電極支持ボディは、弾性薄膜部材として設計され、また、第１及び第２電極の両側に間隔を空けて配置された対向する２つの支え部において、第１電極支持ボディによって支持されており、
圧力ボディは、第２電極支持ボディの第２電極とは反対側の面に対して、第２電極支持ボディの２つの支え部の間の領域に当接し、また、第１電極支持ボディと圧力ボディとの間に相対運動があるときに、第２電極支持ボディを屈曲させながら第２電極支持ボディを押圧する、少なくとも２つの圧力突出部を備え、
これら少なくとも２つの圧力突出部は、第２電極支持ボディの２つの支え部が間隔を空ける方向と同じ方向に、互いに間隔を空けて配置され、
第２電極は、少なくとも２つの圧力突出部が第２電極支持ボディに当接する第２電極支持ボディの押圧領域の間のほぼ中央に位置する固定部分においてのみ、第２電極支持ボディに固定されるので、
圧力ボディと第２電極支持ボディとの間の運動ストロークは、この運動ストロークより大きい、２つの電極間の運動ストロークに変換されることができる。

本発明における静電容量センサは、２つのボディの相対運動を、２つの電極間の距離変化のより近接した接近、すなわち、より大きな度合に、機械的に変換するような構造を有する。従って、増幅率が小さい場合の小さなストロークでも確実に検出することができる。
これは、特に、第２電極が単一の（中央）部分のみに固定される、弾性的な薄膜要素としての第２電極支持ボディの構造によるものである。
第２電極支持ボディは、２つの対向する支え部において第１電極支持ボディ上で支持され、第１電極支持ボディ自体は、第１電極を支持する。
これらの２つの対向する支え部は、第１、２電極の双方の外側に配置される。

これらの２つの対向する支え部の間に、及び、第２電極支持ボディ上の第２電極の固定部分の両側に、圧力ボディは、第２電極支持ボディに対して圧力を加える、２つの圧力突出部が備えられる。
この圧力突出部が第２電極支持ボディに対して圧力を加えたとき、弾性的な第２電極支持ボディが、曲げられることにより、圧力ボディに対する第１電極支持ボディの運動より、大きな程度で、第２電極は、第１電極に向かって前進される。
これにより、上述した機械的変換が理解される。

本発明における有利な実施形態として、第１電極支持ボディ上の第２電極支持ボディの２つの支え部、及び、圧力ボディの少なくとも２つの圧力突出部の配置が、第２電極に対する第２電極支持ボディの固定部分に対して対称であることが提供されてもよい。

また、第１電極支持ボディが、限界縁部が形成される少なくとも２つの対向する側に、凹部を有し、第１電極が、この凹部内に配置され、
第２電極支持ボディが、２つの支え部において限界縁部により支持されると、さらに有利である。

本発明におけるさらなる有利な実施形態として、第１電極支持ボディが、第１電極とは反対側にもう１つの第１電極を有し、また、
もう１つの第２電極並びにさらなる支え部を有するもう１つの第２電極支持ボディ、及び、さらなる圧力突出部を有するもう１つの圧力ボディが、備えられ、
これらの配置が、上述で定められたものと同様であることが提供されてもよい。

最終的に注目すべきは、スプリングスチールが、弾性薄膜部材として特に用いられることである。

本発明の静電容量センサは、例えば、特に車両部品用の操作装置のキーボディの運動を検出するのに適している。
特に車両部品用の操作装置は、概して、場合によって異なる設計の操作要素が、例えば、回転ノブ、押しボタン、ロッカースイッチ、または同類のものの形状をして配置された、フロントベゼルすなわち前面を含む。

さらに、操作要素は、上部及び下部を有する作動端部を備えた、前面から突出した複数のキーボディ形状をして存在する。
また、これらの作動端部が操作装置の前面から突出するため、このような操作要素は、時に、張出しキーとして適用される。

キーボディが作動バーとして実施される場合、複数の記号欄（例えば、連続した数字が並ぶ複数の隣接領域）を含むことができ、それとともに、キーボディ全体は、キーボディが作動される隣接領域がどの領域であろうと、移動する。
本発明における静電容量近接センサシステムにより、キーボディが作動されたときに、いずれの記号欄が手の指で接触されたかを検出することができる。

さらに、キーボディが、作動されたときに実質的に知覚できないような度合だけで移動されることが可能である場合、操作の快適性の観点で有利であることが明らかになっている。
音響または触覚フィードバックが、操作者にキーボディ作動の認識を提供することができる。

作動されたときに、正確で再現可能な、かつ、特に均一な運動を行う、突出したキーボディを有する操作装置を提供するために、本発明における操作装置は、
前面を有するハウジングと、
ハウジングの前面から突出する作動端部、及び、ハウジング内に配置される支持面端部を含んだ全長を有するキーボディと、
このキーボディが互いに実質的に直交する２つの空間軸に沿って移動されることができる、支持面を有する支持ボディと、
を含み、
作動端部が上部及び下部を有し、これらの上部及び下部は、前面に対して０°とは異なる角度で前面から延び、また、上部または下部に手動で力を加えることによって操作命令を入力するように作動可能であり、
支持ボディの支持面が少なくとも３つのサスペンション要素を含み、これにより、キーボディの支持面端部が、支持ボディに移動可能に取り付けられ、また、
これら少なくとも３つのサスペンション要素は、互いに平行でかつキーボディの長手方向に平行である、少なくとも２つの相互に間隔を空けた支持面内に配置されると、好適である。

コンピュータキーボードのスペースバーキーと類似した細長い作動バーを有するキーボディは、ハウジングの前面から突出する。
また、支持ボディは、ハウジング内に配置され、キーボディを（互いに実質的に直交する２つの空間方向または軸に沿ってわずかに移動可能に）取り付けるための支持面を有する。キーボディの作動端部は、ハウジングの前面から突出する。

作動端部（つまり作動バー）は、前面に対して０°とは異なる角度でハウジングの前面から突出した上部及び下部を有する。
また、上部または下部に手動で力を加えることによって、キーボディは、わずかな下方または上方運動を行う。

本発明における操作装置の特徴は、少なくとも３つのサスペンション要素を含む支持ボディの支持面の構造にある。
これらの３つのサスペンション要素は、ハウジングの前面に対して実質的に傾斜して延び、かつ、互いに実質的に平行でかつキーボディの長手方向に実質的に平行である、少なくとも２つの支持面内に分配される。

例えばロッドまたは同様の形状をした剛性のある弾性部材である、これらのサスペンション要素により、キーボディの作動は、ハウジングの前面に対して平行なわずかな変位となる。
これに関して、サスペンション要素の配置及び設計により、支持ボディに対するキーボディの遊動的支持面を生じさせることは明白である。さらに、キーボディの支持面は、低ノイズの支持面である。

上述したコンセプトは、作動バーすなわちキーボディの作動端部の作動に関する触覚フィードバックの認識を有利に可能にする。このフィートバックは、振動を発生させて、キーボディを作動方向に対して直交する方向に振動させる、アクチュエータによって提供される。
これは、支持ボディ及びキーボディにクランプされるサスペンション要素によって、支持ボディの支持面が、操作装置の前面または支持ボディに対するキーボディの平行変位を可能にする事実によるものである。

本発明におけるさらなる有利な実施形態として、支持ボディの支持面は、支持ボディから突出した突出部を含むことが提供される。この突出部は、サスペンション要素と同一の空間方向において支持ボディから突出し、また、２つのサスペンション要素の間に配置される。
そして、キーボディが、支持ボディの支持面における突出部に載置されることが可能である。

支持ボディにおいてキーボディを支持する役割を果たす、４つのサスペンション要素を提供することが好ましい。この場合、２つのサスペンション要素は、其々、共通の支持面内に配置される。
２つのサスペンション要素が、其々、作動バーすなわちキーボディの２つの対向する端部部分に取り付けられる場合、２つのサスペンション要素の其々が、２つの異なる支持面内に配置されることが好ましい。

また、１つの支持面内に２つのサスペンション要素を配置し、かつ、１つのサスペンション要素のみを他の支持面に配置することがあり得る。
さらに、２つ以上のサスペンション要素を各々の支持面内に配置することも可能である。

支持ボディと作動バーの双方においてサスペンション要素が固定クランプされることにより、上述した作動バーの平行オフセットが、作動バーが作動されたときに得られる。

より一般的には、圧力耐性、張力耐性、及び、剛性のある弾性サスペンション要素が、特にはスプリングスチールロッドが、サスペンション要素として適用される。
これらのサスペンション要素は、例えば、棒状部材（丸棒または角棒）である。
これに関連して、サスペンション要素は、互いに実質的に直交する２つの空間軸と平行に、支持ボディとキーボディとの間の全長にわたって曲がる。

しかしながら、サスペンション要素の他のコンセプトがあり得る。他のコンセプトとして、サスペンション要素の２つの分岐した部分品が、其々、２つの空間軸の片方に屈曲性を有する。
この場合、各々のサスペンション要素は、特にスプリングスチールバンドのような、弾性平面帯材を含んでもよく、この弾性平面帯材は、それ自体の縦軸まわりに９０°曲げられる。

別の方法として、２つの分岐した部分品の各々は、特にスプリングスチールバンドのような、Ｕ字形に曲げられる弾性平面帯材として形成されてもよい。
また、このＵ字形帯材の２つの分岐した部分品は、部分品の複数の脚の２組が９０°曲げられてもよく、また、部分品の複数の脚の２組の其々が部分品のベース部分から見て正反対の方向に方向付けられてもよい。

本発明は、一実施形態、及び、図１〜８を参照して、以下でより詳細に説明される。
例示的な操作装置の一部を示した斜視図である。 キーボディが低ノイズで遊動するように支持ボディにキーボディを取り付けるための支持面を示した（図３のII-II線による）斜視片側断面図である。 キーボディすなわち作動バーの作動を検出するための運動センサとしての圧力センサまたは力センサを内部に備えた支持面の断面図である。 圧力が作動バーの下部に加えられた場合の、支持ボディに対するキーボディの運動を示した図である。 圧力が作動バーの上部に加えられた場合の、支持ボディに対するキーボディの運動を示した図である。 サスペンション要素の設計における第２実施形態を示した図である。 サスペンション要素の設計における第２実施形態を示した図である。 サスペンション要素のさらなる実施形態を示した図である。

図１は、操作装置１２のハウジング１０の斜視図である。このハウジング１０は、複数の押しボタン１６、回転ノブ１８、表示ユニット２０、及び、作動バー２２を備えた前面１４を有する。
作動バー２２は、ハウジング１０内に配置された支持ボディ２８によって支持されるキーボディ２６（図２参照）において作動端部２４を形成している。

この実施形態において、２つの相互平行支持面３６、３８上に其々配置される４つのサスペンション要素３２、３４（図２において２つのサスペンション要素３４のうちの一方が見えていないが）を有する支持面３０が、キーボディ２６を支持する機能を果たす。
これら４つのサスペンション要素３２、３４は、作動バー２２の縦方向に沿って配置されるほうのキーボディ２６の両端部に２つ１組で配置されている。

４つのサスペンション要素３２、３４は、支持ボディ２８とキーボディ２６の双方においてクランプ保持されている。そのため、力が作動バー２２の上部４２に矢印４０の方向に加えられる場合、また同様に、力が作動バー２２の下部４６に矢印４４の方向に加えられる場合、支持ボディ２８に対する作動バー２２の平行変位が生じる。
作動バー２２が作動された場合、この平行変位は、高精度、遊動的、低ノイズ、かつ、最小限のものである。

キーボディ２６の作動バー２２が作動した場合、図２に示されているように、振動型アクチュエータ４８が、支持ボディ２８とキーボディ２６との間、または、キーボディ２６上で作動し、両方向矢印５０の方向にキーボディ２６を振動させる。

周期的に振動する振動型アクチュエータ４８に代わるものとして、例えば電気機械的またはマグネット発電電気機械的に作動する他の機構が、用いられてもよく、他の機構は、例として、磁場をパルス状に発生させ／生成し、磁気アーマチュアを引き付け／退けるための、コイルを備えたＵ字形の磁気ヨークを含む。
また、他の機構がキーボディ２６を横方向に移動させ、このキーボディ２６の横方向運動によって、サスペンション要素３４の変形が起こり、そして、サスペンション要素３４の機械的な復元張力により、キーボディ２６が（コイルが消磁されたときに）自動的に元の位置に戻るようにしてもよい。

ヨーク及び磁気アーマチュアは、支持ボディ２８またはキーボディ２６に取り付けられるため、磁気アーマチュアに連結されるどちらか一方のボディは、他方のボディに対して前後に移動する（逆もまた同様である）。

作動バー２２の作動は、以下でより詳細に説明され、また、本発明の実施形態として静電容量的に機能する、圧力センサ、力センサ、または、パスセンサ５２、５４によって検出される。このセンサ５２、５４は、評価ユニット５６と電気的に接続されており、また、この評価ユニット５６は、特に、振動型アクチュエータ４８を駆動する。
さらに、キーボディ２６は、作動バー２２の異なる記号欄６２に割り当てられた複数の電極６０を、静電容量的に作動させる方式の近接センサシステム５８を含む。
従って、２つのセンサ５２、５４（１つのセンサのみで十分な場合もあり得るが）は、作動バー２２が作動されているかどうかを検出することができる。

その上、近接センサシステム５８は、作動バー２２が作動されたときに、記号欄６２が手の指と接触したことを検出する。
従って、作動バー２２の作動の検出は、振動型アクチュエータ４８を制御すること、または、類似した動作機構（上記参照）によって認識され、これにより、ユーザーによって検知される触覚フィードバックを引き起こす。

図２に見られるように、例えば、突出部６４が、支持ボディ２８から延びており、この支持ボディ２８は、キーボディ２６を受け入れる受入スペース６６を有する。
突起部６８が、キーボディ２６の支持面端部としてこの受入スペース６６内に突起している。

この突起部６８と突出部６４との間において、２つのギャップ７０、７２（図３参照）が提供されており、その間にセンサ５２、５４が其々配置されている。
作動バー２２が作動されたとき、突起部６８は、受入スペース６６内で上方または下方に変位され、その一方で、２つのセンサ５２、５４（またはこれら２つのセンサのいずれか）によって位置検出される突起部６８の向きは、（上述したキーボディ２６の平行変位によって）保持される。

センサシステムの例示的な構造が、図３に見られる。
突起部６８は、電極表面７８で第１電極７６を支持する第１電極支持ボディ７４を形成している。この電極７６は、第１電極支持ボディ７４の凹部８０内に配置されている。この凹部８０は、第２電極支持ボディ８２によって広がっており、本発明の実施形態において、第２電極支持ボディ８２は、スプリングスチール薄膜部材８４として設計されている。

第２電極支持ボディ８２において、第１電極７６の電極表面７８に面する第２電極表面８８を有する第２電極８６が、備えられている。
この第２電極８６は、図３における固定点（ポイント）９０に示されているような中央部において主に、弾性的に柔軟な屈曲自在のスプリングスチール薄膜部材８４と連結されている。

突出部６４は、圧力ボディ９２として第２電極支持ボディ８２上に載置されており、第２電極支持ボディ８２は、受入スペース６６を区切る圧力ボディ９２の内側に載置されている。
このために、圧力ボディ９２は、第２電極支持ボディ８２上の第２電極８６の固定点９０に対して実質的に対称に配置された、２つの圧力突出部９４を有する。

これら２つの圧力突出部９４の双方は、スプリングスチール薄膜部材８４が第１電極支持ボディ７４における凹部８０に広がる第２電極支持ボディ８２の領域に、載置されている。
また、言及すべきは、スプリングスチール薄膜部材８４が、第１電極支持ボディ７４の凹部８０の反対側にある複数の限界縁部９５における、第１電極支持ボディ７４上で支持されていることである。これにより、凹部８０に対するこれら複数の限界縁部９５は、第２電極支持ボディ８２の複数の支え部９６において複数の支えを形成している。

図３を参照して、（第２センサ５４を形成する）圧力ボディ９２の下部と協働して第１電極支持ボディ７４の下側にさらに形成された、上述した構造により、受入スペース６６内で生じる第１電極支持ボディ７４、すなわち突起部６８の比較的小さなストローク運動が、このストロークより大きい２つの電極７６、８６の変位に変換されることが実現される。

これは、作動力が作動バー２２の下部４６（図４参照）か、上部４２（図５参照）のいずれか一方に加えられるかによる、圧力ボディ９２に対する第１電極支持ボディ７４の運動を示す図４及び５の各々と、図３を比較した場合に、明確となる。
第２センサ５４、または、第２電極８６の変位ｂ（図４及び５を参照、図３にも示されている）は、作動バー２２が作動されたときに、キーボディ２６が移動する距離ａ（図３参照）より大きい。

図３から５に示されている機構により、圧力ボディ９２に対する第１電極支持ボディ７４のストロークを、このストロークと比較して２つの電極７６、８６間のより近接した接近に変換する、一種の変換装置が提供される。

図６及び７は、サスペンション要素３２、３４の代わりの設計となる、スプリングスチールバンド、すなわち、型に切り取られた平面状スプリングスチール材料である２つの部分品９８、９９を有するサスペンション要素９７を示している。これら２つの部分品９８、９９は、Ｕ字形に曲げられており、また、部分品９８によって支持ボディ２８に、かつ、部分品９９によってキーボディ２６に取り付けられる。
部分品９８は、矢印４０及び４４の方向（図２参照）に上下移動されるように適合されており、その一方で、部分品９９は、両方向矢印５０の横方向に移動されるように適合されている。

図７は、どのようにして２つの部分品９８、９９が作られるかを示している。この図は、十字形の平面状スプリングスチール材料から始まり、脚９８’、９８”を９０°曲げることによって（図７に示されている脚９８’、９８”から始まる矢印方向に曲げることによって）部分品９８を形成し、また、脚９９’、９９”を９０°曲げることによって（図７に示されている脚９９’、９９”から始まる矢印方向に曲げることによって）部分品９９を形成する。
また、全長にわたって縦軸まわりに、または、（中央の）縦断面を中心にして、９０°曲げられた単一のスプリングスチールバンドが、サスペンション要素９７として同様に用いられてもよい（図８に示されているサスペンション要素１００のような実施形態を参照）。

10…操作装置12のハウジング、 12…操作装置、 14…ハウジング10の前面、
16…押しボタン、 18…回転ノブ、 20…表示ユニット、 22…キーボディ26の作動バー、 24…キーボディ26の作動端部、 26…キーボディ、 28…支持ボディ、 30…キーボディ26の支持面、 32…支持面30のサスペンション要素、 34…支持面30のサスペンション要素、 36…相互平行支持面、 38…相互平行支持面、 40…矢印、 42…作動バー22の上部、 44…矢印、 46…作動バー22の下部、 48…振動型アクチュエータ、
50…両方向矢印、 52…パスセンサ、 54…パスセンサ、 56…評価ユニット、
58…近接センサシステム、 60…近接センサシステム58の電極、 62…作動バー22の記号欄、 64…突出部、 66…突出部64用の受入スペース、 68…突起部、
70…ギャップ、 72…ギャップ、 74…第１電極支持ボディ、 76…第１電極、
78…第１電極76の電極表面、 80…凹部、 82…第２電極支持ボディ、 84…スプリングスチール薄膜部材、 86…第２電極、 88…第２電極86の電極表面、
90…固定点（ポイント）、 92…圧力ボディ、 94…圧力ボディ92の圧力突出部、
95…凹部80における限界縁部、 96…第２電極支持ボディ82の支え部、 97…サスペンション要素、 98…サスペンション要素97の第１部分、 98’…サスペンション要素97の第１部分の脚、 98”…サスペンション要素97の第１部分の脚、 99…サスペンション要素97の第２部分、 99’…サスペンション要素97の第２部分の脚、 99”…サスペンション要素97の第２部分の脚、 100…サスペンション要素

Claims (5)

1. ２つの隣接したボディの相対運動を検出するための静電容量センサであって、前記静電容量センサは、
   第１導電性電極表面（７８）を有し、第１電極支持ボディ（７４）上に配置された、第１電極（７６）と、
   第２導電性電極表面（８８）を有し、第２電極支持ボディ（８２）上に配置された、第２電極（８６）と、
   前記第２電極支持ボディ（８２）の前記第２電極（８６）とは反対側の面上に配置された、圧力ボディ（９２）と、
   を備え、
   前記第２電極支持ボディ（８２）は、弾性薄膜部材（８４）として設計され、また、前記第１及び第２電極（７６、８６）の両側に間隔を空けて配置された対向する２つの支え部（９６）において、前記第１電極支持ボディ（７４）によって支持されており、
   前記圧力ボディ（９２）は、前記第２電極支持ボディ（８２）の前記第２電極（８６）とは反対側の面に対して、前記第２電極支持ボディ（８２）の２つの前記支え部（９６）の間の領域に当接し、また、前記第１電極支持ボディ（７４）と前記圧力ボディ（９２）との間に相対運動があるときに、前記第２電極支持ボディ（８２）を屈曲させながら前記第２電極支持ボディ（８２）を押圧する、少なくとも２つの圧力突出部（９４）を備え、
   少なくとも２つの前記圧力突出部（９４）は、前記第２電極支持ボディ（８２）の２つの前記支え部（９６）が間隔を空ける方向と同じ方向に、互いに間隔を空けて配置され、
   前記第２電極（８６）は、少なくとも２つの前記圧力突出部（９４）が前記第２電極支持ボディ（８２）に当接する前記第２電極支持ボディ（８２）の押圧領域の間のほぼ中央に位置する固定部分においてのみ、前記第２電極支持ボディ（８２）に固定される、ことを特徴とする静電容量センサ。
2. 前記第１電極支持ボディ（７４）上の前記第２電極支持ボディ（８２）の２つの前記支え部（９６）、及び、前記圧力ボディ（９２）の少なくとも２つの前記圧力突出部（９４）の配置は、前記第２電極（８６）に対する前記第２電極支持ボディ（８２）の前記固定部分に対して対称であることを特徴とする請求項１に記載の静電容量センサ。
3. 前記第１電極支持ボディ（７４）は、限界縁部（９５）が形成される少なくとも２つの対向する側に、凹部（８０）を有し、前記第１電極（７６）は、前記凹部（８０）内に配置され、
   前記第２電極支持ボディ（８２）は、２つの前記支え部（９６）において前記限界縁部（９５）により支持される、ことを特徴とする請求項１または２に記載の静電容量センサ。
4. 前記第１電極支持ボディ（７４）は、前記第１電極（７６）とは反対側にもう１つの第１電極（７６）を有し、また、
   もう１つの第２電極（８６）並びにさらなる支え部（９６）を有するもう１つの第２電極支持ボディ（８２）、及び、さらなる圧力突出部（９４）を有するもう１つの圧力ボディ（９２）が、備えられ、
   これらの配置は、上述した請求項のいずれか一項において定められたものと同様である、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の静電容量センサ。
5. 前記弾性薄膜部材（８４）は、スプリングスチールを含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の静電容量センサ。

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