JP2016220294A - リニアモータ構造 - Google Patents
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Abstract
Description
12 シャフト
13 永久磁石
14 コイル
16 可動子
25、29 フィン
27 第1部
28 第2部
26 ヒートパイプ
30 グラファイトシート
Claims (6)
- シャフト内に複数の永久磁石を直線状に並べて配置するとともに、前記シャフトの外側に、コイルを内蔵した可動子をこのシャフトと同心状に配置し、前記コイルに通電することで前記可動子をシャフトに沿って直線駆動するリニアモータと、前記可動子と一体的に往復動するとともに、所定位置において上下動してワークを搬送するヘッド部とを備えたリニアモータ構造であって、
前記可動子の、前記ヘッド部側と反対側に設けられる第1のフィンと、
前記コイルの外周を覆う樹脂モールドのヘッド部側の外周側に、前記コイルの軸方向に沿って延びて、コイルの軸方向端部よりも突出する第1部と、この第1部から、ヘッド部と反対側に延びる第2部とを有する熱伝導部と、
前記第2部の先端側に設けられる第2のフィンとを備えたことを特徴とするリニアモータ構造。 - 前記第2のフィンは、前記可動子よりも、前記ヘッド部側から離間した位置に設けられることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ構造。
- シャフト内に複数の永久磁石を直線状に並べて配置するとともに、前記シャフトの外側に、コイルを内蔵した可動子をこのシャフトと同心状に配置し、前記コイルに通電することで前記可動子をシャフトに沿って直線駆動するリニアモータと、前記可動子と一体的に直線駆動するとともに、所定位置において上下動してワークを搬送するヘッド部とを備えたリニアモータ構造であって、
前記可動子の、前記ヘッド部側と反対側に設けられるフィンと、
前記コイルの外周を覆う樹脂モールドのヘッド部側の外周面に密着するとともに、前記フィンに達するカバー状の熱伝導部とを備えたことを特徴とするリニアモータ構造。 - 前記熱伝導部は、グラファイトシートであることを特徴とする請求項3に記載のリニアモータ構造。
- 重心位置が、前記シャフトの中心線上乃至その近傍に位置することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のリニアモータ構造。
- 前記ヘッド部は、ピックアップ位置から半導体チップをピックアップして、この半導体チップをボンディング位置に実装するダイボンダのボンディングヘッドであることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のリニアモータ構造。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210144899A (ko) * | 2019-04-15 | 2021-11-30 | 가부시키가이샤 신가와 | 실장 장치 |
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WO2013105214A1 (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-18 | 富士機械製造株式会社 | リニアモータ |
-
2015
- 2015-05-14 JP JP2015099280A patent/JP6385888B2/ja active Active
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KR102651709B1 (ko) | 2019-04-15 | 2024-03-28 | 가부시키가이샤 신가와 | 실장 장치 |
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