JP2016209906A - Laser machining machine and laser machining method - Google Patents

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浩太郎 渡辺
Kotaro Watanabe
浩太郎 渡辺
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a laser machining machine which prevents a machining nozzle from colliding with work or a work support at a part of an edge of the work.SOLUTION: A laser machining machine 100 performing laser machining while keeping a distance between work 12 placed on a work support 30 and a machining nozzle 28 constant, by copy control based on a detection result of a distance sensor 19, is equipped with dummy work 29 which generates capacitance same as a case that the work 12 exists on the whole of a detection range of the distance sensor 19, while the machining nozzle 28 is positioned on a part of an edge of the work 12; and a cylinder 31 which moves the dummy work 29 on the work support 30, and contacts that along the edge of the work 12.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、倣い制御により加工ノズルとワークとの距離を一定に保ちつつレーザ加工を行うレーザ加工機及びレーザ加工方法に関する。   The present invention relates to a laser processing machine and a laser processing method for performing laser processing while keeping a distance between a processing nozzle and a workpiece constant by scanning control.

従来、レーザ加工中のレーザ加工機は、倣い制御によって加工ノズルとワークとの距離を一定に保っている。特許文献1に開示されるように、倣い制御では、加工ノズルの直下に位置するワークと加工ノズルとの間の距離を非接触方式のセンサで電磁気的に検出する。   Conventionally, a laser beam machine during laser machining keeps the distance between a machining nozzle and a workpiece constant by scanning control. As disclosed in Patent Document 1, in the copying control, a distance between a workpiece located immediately below the machining nozzle and the machining nozzle is electromagnetically detected by a non-contact type sensor.

特開2003−181674号公報JP 2003-181474 A

しかしながら、上記従来の技術は、ワークの縁の部分の上に加工ノズルが位置し、非接触方式のセンサの検出範囲の一部分のみにワークが存在する状態では、ワークと加工ノズルとの間の距離は、実際の距離よりも大きく検出される。したがって、加工ノズルがワークの縁に到達すると、倣い制御によりワークとノズルとの距離を小さくする制御が行われるため、ワーク又はワークを支持するワークサポートに加工ノズルが衝突してしまう可能性があった。   However, in the above conventional technique, when the machining nozzle is positioned on the edge portion of the workpiece and the workpiece exists only in a part of the detection range of the non-contact type sensor, the distance between the workpiece and the machining nozzle. Is detected to be larger than the actual distance. Therefore, when the machining nozzle reaches the edge of the workpiece, control is performed to reduce the distance between the workpiece and the nozzle by scanning control. Therefore, the machining nozzle may collide with the workpiece or a workpiece support that supports the workpiece. It was.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワークの縁の部分で加工ノズルがワーク又はワークサポートに衝突することを防止したレーザ加工機を得ることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to obtain a laser beam machine that prevents a machining nozzle from colliding with a workpiece or a workpiece support at an edge portion of the workpiece.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、ワークサポート上に載置されたワークと加工ノズルとの距離を、静電センサの検出結果に基づいた倣い制御により一定に保ってレーザ加工を行うレーザ加工機である。本発明は、加工ノズルがワークの縁の部分の上に位置する状態において、静電センサの検出範囲全体にワークが存在する場合と同じ静電容量を生じさせるダミーワークを、ワークサポート上で移動させ、ワークの縁に沿うように接触させる駆動機構を備える。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention keeps the distance between the workpiece placed on the workpiece support and the machining nozzle constant by scanning control based on the detection result of the electrostatic sensor. This is a laser processing machine that performs laser processing. The present invention moves a dummy workpiece on the workpiece support that generates the same capacitance as when the workpiece exists in the entire detection range of the electrostatic sensor in a state where the machining nozzle is positioned on the edge portion of the workpiece. And a drive mechanism that makes contact along the edge of the workpiece.

本発明によれば、ワークの縁の部分で加工ノズルがワーク又はワークサポートに衝突することを防止することができるという効果を奏する。   According to the present invention, it is possible to prevent the machining nozzle from colliding with the workpiece or the workpiece support at the edge portion of the workpiece.

本発明の実施の形態1にかかるレーザ加工機の構成図1 is a configuration diagram of a laser beam machine according to a first embodiment of the present invention. 実施の形態1にかかるレーザ加工機の加工パレットの上面図Top view of the processing pallet of the laser beam machine according to the first embodiment. 実施の形態1にかかるレーザ加工機によるレーザ加工の手順を示すフローチャートFlowchart showing a procedure of laser processing by the laser processing machine according to the first embodiment. 実施の形態1にかかるレーザ加工機の加工パレットの上面図Top view of the processing pallet of the laser beam machine according to the first embodiment. 実施の形態1にかかるレーザ加工機の変形構成例を示す図The figure which shows the modification structural example of the laser beam machine concerning Embodiment 1. FIG. 本発明の実施の形態2にかかるレーザ加工機の加工パレットの上面図Top view of the processing pallet of the laser beam machine according to the second embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態3にかかるレーザ加工機の加工パレットの断面図Sectional drawing of the process pallet of the laser beam machine concerning Embodiment 3 of this invention.

以下に、本発明の実施の形態にかかるレーザ加工機及びレーザ加工方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。   Hereinafter, a laser beam machine and a laser beam machining method according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1にかかるレーザ加工機の構成図である。レーザ加工機100は、レーザ加工機100の各部を制御する数値制御ユニット10と、加工ノズル28とワーク12との距離Lを検出する距離センサ19と、距離センサ19の検出結果を処理するセンサデータ処理部18と、加工ヘッド7をX軸方向に移動させるXサーボモータ23と、Xサーボモータ23を制御するXサーボ制御部20と、加工ヘッド7をY軸方向に移動させるYサーボモータ24と、Yサーボモータ24を制御するYサーボ制御部21と、加工ヘッド7をZ方向に移動させるZサーボモータ25と、Zサーボモータ25を制御するZサーボ制御部22と、ワーク12へ照射するレーザ光を発するレーザ発振器26と、ワーク12を載置する加工パレット27と、加工パレット27上に設置されるダミーワーク29と、加工パレット27に設置されてワーク12を支持するワークサポート30と、ダミーワーク29をワークサポート30上で滑らせて移動させるシリンダ31とを備える。シリンダ31は、ワークサポート30上でダミーワーク29を移動させ、ワーク12の縁に沿うように接触させる駆動機構である。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram of a laser beam machine according to the first embodiment of the present invention. The laser processing machine 100 includes a numerical control unit 10 that controls each part of the laser processing machine 100, a distance sensor 19 that detects a distance L between the processing nozzle 28 and the workpiece 12, and sensor data that processes a detection result of the distance sensor 19. A processing unit 18, an X servo motor 23 that moves the machining head 7 in the X-axis direction, an X servo control unit 20 that controls the X servo motor 23, and a Y servo motor 24 that moves the machining head 7 in the Y-axis direction, The Y servo control unit 21 that controls the Y servo motor 24, the Z servo motor 25 that moves the machining head 7 in the Z direction, the Z servo control unit 22 that controls the Z servo motor 25, and the laser that irradiates the workpiece 12 A laser oscillator 26 that emits light, a machining pallet 27 on which the workpiece 12 is placed, a dummy workpiece 29 placed on the machining pallet 27, Comprises a work support 30 for supporting the installed workpiece 12 in Engineering pallet 27, and a cylinder 31 for moving the dummy workpiece 29 sliding on the work support 30. The cylinder 31 is a drive mechanism that moves the dummy workpiece 29 on the workpiece support 30 and makes contact with the edge of the workpiece 12.

加工ヘッド7は、Xサーボモータ23、Yサーボモータ24及びZサーボモータ25によって、XYZの各軸方向に駆動される。X軸及びY軸は、ワーク12が載置される面と平行な平面に含まれる。Z軸は、ワーク12が載置される面に垂直である。   The machining head 7 is driven in the XYZ axial directions by an X servo motor 23, a Y servo motor 24, and a Z servo motor 25. The X axis and the Y axis are included in a plane parallel to the surface on which the workpiece 12 is placed. The Z axis is perpendicular to the surface on which the workpiece 12 is placed.

なお、紙面の都合上、図1ではワーク12をレーザ加工機100の内側に図示しているが、ワーク12は、レーザ加工機100の構成要素ではない。   For convenience of drawing, the workpiece 12 is illustrated inside the laser processing machine 100 in FIG. 1, but the workpiece 12 is not a component of the laser processing machine 100.

数値制御ユニット10は、レーザ加工機100の全体の動作を制御する主制御部13と、レーザ発信器26に対して指令を送り、レーザのオンオフを制御する加工機制御部14と、Xサーボ制御部20及びYサーボ制御部21にX軸方向及びY軸方向の位置指令を出力する位置制御部15と、Zサーボ制御部22にZ軸方向の位置指令を出力する高さ制御部17と、シリンダ31を制御するシリンダ制御部32とを有する。   The numerical control unit 10 includes a main control unit 13 that controls the overall operation of the laser processing machine 100, a processing machine control unit 14 that sends commands to the laser transmitter 26 and controls on / off of the laser, and X servo control. A position control unit 15 that outputs position commands in the X-axis direction and the Y-axis direction to the unit 20 and the Y servo control unit 21, a height control unit 17 that outputs a position command in the Z-axis direction to the Z servo control unit 22, A cylinder control unit 32 that controls the cylinder 31.

距離センサ19は、非接触方式でワーク12との距離を検出する静電容量式の静電センサであり、加工ノズル28とワーク12との間の静電容量に対応した電圧値である静電倣い電圧を測定する。センサデータ処理部18は、距離センサ19から電圧値を取り込み、加工ノズル28とワーク12との距離Lを算出する。距離センサ19及びセンサデータ処理部18は、加工ノズル28とワーク12との距離を測定するセンサを構成する。   The distance sensor 19 is a capacitance-type electrostatic sensor that detects the distance from the workpiece 12 by a non-contact method, and is an electrostatic voltage value corresponding to the capacitance between the machining nozzle 28 and the workpiece 12. Measure the scanning voltage. The sensor data processing unit 18 takes in a voltage value from the distance sensor 19 and calculates a distance L between the machining nozzle 28 and the workpiece 12. The distance sensor 19 and the sensor data processing unit 18 constitute a sensor that measures the distance between the machining nozzle 28 and the workpiece 12.

Xサーボ制御部20は、Xサーボモータ23にX軸方向の移動量を出力し、加工ヘッド7をX軸に沿って移動させる。Yサーボ制御部21は、Yサーボモータ24にY軸方向の移動量を出力し、加工ヘッド7をY軸に沿って移動させる。Zサーボ制御部22は、Zサーボモータ25にZ軸方向の移動量を出力し、加工ヘッド7をZ軸に沿って移動させる。Xサーボモータ23、Yサーボモータ24、Zサーボモータ25は、XYZ各軸の位置検出器を有しており、Xサーボ制御部20、Yサーボ制御部21又はZサーボ制御部22から入力されるXYZの各軸の移動量に従って加工ヘッド7を移動させる。   The X servo control unit 20 outputs the movement amount in the X axis direction to the X servo motor 23 and moves the machining head 7 along the X axis. The Y servo control unit 21 outputs the amount of movement in the Y axis direction to the Y servo motor 24, and moves the machining head 7 along the Y axis. The Z servo control unit 22 outputs the amount of movement in the Z-axis direction to the Z servo motor 25 and moves the machining head 7 along the Z axis. The X servo motor 23, the Y servo motor 24, and the Z servo motor 25 have a position detector for each axis of XYZ, and are input from the X servo control unit 20, the Y servo control unit 21, or the Z servo control unit 22. The machining head 7 is moved according to the movement amount of each axis of XYZ.

レーザ発振器26は、加工機制御部14からの指令に基づいて、ワーク12の加工に用いるレーザ光をオンオフする。   The laser oscillator 26 turns on and off the laser beam used for processing the workpiece 12 based on a command from the processing machine control unit 14.

数値制御プログラムに従って加工を行う場合の制御について、図1に基づいて説明する。主制御部13はレーザ加工用の数値制御プログラムを解析し、加工機制御部14、位置制御部15及び高さ制御部17にプログラムの指令内容に対応した情報を与える。   Control in the case of performing machining according to the numerical control program will be described with reference to FIG. The main control unit 13 analyzes a numerical control program for laser processing, and gives information corresponding to the command content of the program to the processing machine control unit 14, the position control unit 15, and the height control unit 17.

プログラム指令がレーザ発振器26に対しての指令である場合、主制御部13は、加工機制御部14に指令を与える。レーザ発振器26に対しての指令の具体例を挙げると、レーザ光のオンオフである。レーザ発振器26からの信号は、加工機制御部14を経由して主制御部13に伝えられる。従って、数値制御ユニット10はレーザ発振器26の状況を知ることができる。   When the program command is a command for the laser oscillator 26, the main control unit 13 gives a command to the processing machine control unit 14. A specific example of a command for the laser oscillator 26 is turning on and off the laser beam. A signal from the laser oscillator 26 is transmitted to the main control unit 13 via the processing machine control unit 14. Therefore, the numerical control unit 10 can know the status of the laser oscillator 26.

プログラム指令が位置指令の場合は、主制御部13は位置制御部15に移動位置及び移動速度の情報を与える。位置制御部15は与えられた情報に基づいて移動距離を計算し、X、Y軸に分配しXサーボ制御部20及びYサーボ制御部21に移動量を出力する。また、位置制御部15は、出力した移動位置と、Xサーボ制御部20及びYサーボ制御部21からの情報とに基づいて、加工ヘッド7の実際の位置の管理も行う。Xサーボ制御部20及びYサーボ制御部21はXサーボモータ23及びYサーボモータ24を駆動し、加工ヘッド7をワーク12に対し相対移動させる。加工ヘッド7が数値制御プログラムの指令に従って加工ノズル28からレーザを発した状態で移動することによりレーザ加工が行なわれる。また、位置制御部15は移動位置、移動量及び残りの移動距離の情報を主制御部13に伝える。   When the program command is a position command, the main control unit 13 gives the position control unit 15 information on the moving position and the moving speed. The position control unit 15 calculates the movement distance based on the given information, distributes the movement distance to the X and Y axes, and outputs the movement amount to the X servo control unit 20 and the Y servo control unit 21. The position control unit 15 also manages the actual position of the machining head 7 based on the output movement position and information from the X servo control unit 20 and the Y servo control unit 21. The X servo control unit 20 and the Y servo control unit 21 drive the X servo motor 23 and the Y servo motor 24 to move the machining head 7 relative to the workpiece 12. Laser machining is performed by moving the machining head 7 in a state where a laser is emitted from the machining nozzle 28 in accordance with an instruction of the numerical control program. Further, the position control unit 15 informs the main control unit 13 of information on the movement position, the movement amount and the remaining movement distance.

プログラム指令が倣い制御のオンオフの指令の場合は、主制御部13は高さ制御部17に指令情報を与える。高さ制御部17は倣い制御のオンを指令されると、加工ノズル28とワーク12との距離を一定距離に保つ倣い制御を実行する。倣い制御を実行する場合、高さ制御部17は、センサデータ処理部18から入力される距離Lの情報と予め設定されている距離とを比較し、差を無くすためにZ軸サーボ制御部22に移動量を出力する。Zサーボ制御部22はZサーボモータ25を駆動し、加工ヘッド7を上下に移動する。距離センサ19は加工ノズル28とワーク12との距離Lに対応するセンサデータを出力し、センサデータはセンサデータ処理部18を介して高さ制御部17にフィードバックされる。上記のようにしてワーク12の歪みで距離Lが変化するとセンサデータが変化し、センサデータの変化に基づいてZ軸位置を変化させることにより、加工ヘッド7とワーク12との距離Lが一定に保たれる。また、高さ制御部17はトレースの状況の情報を主制御部13に伝える。   When the program command is a command to turn on / off the scanning control, the main control unit 13 gives command information to the height control unit 17. When the height control unit 17 is instructed to turn on the scanning control, the height control unit 17 performs the scanning control to keep the distance between the machining nozzle 28 and the workpiece 12 at a constant distance. When performing the copying control, the height control unit 17 compares the information on the distance L input from the sensor data processing unit 18 with a preset distance, and eliminates the difference, so as to eliminate the difference. The movement amount is output to. The Z servo control unit 22 drives the Z servo motor 25 to move the machining head 7 up and down. The distance sensor 19 outputs sensor data corresponding to the distance L between the machining nozzle 28 and the workpiece 12, and the sensor data is fed back to the height control unit 17 via the sensor data processing unit 18. As described above, when the distance L changes due to the distortion of the work 12, the sensor data changes. By changing the Z-axis position based on the change of the sensor data, the distance L between the machining head 7 and the work 12 becomes constant. Kept. Further, the height control unit 17 informs the main control unit 13 of trace status information.

プログラム指令がアプローチ動作の実行指令の場合は、主制御部13は高さ制御部17にアプローチ速度及びノズル高さの情報を与える。高さ制御部17は、与えられた情報に基づいて移動距離を計算し、アプローチ動作の実行を指令されると、Zサーボ制御部22にZ軸方向の移動量を出力する。Zサーボ制御部22は、高さ制御部17から与えられたZ軸方向の移動量に基づいてZサーボモータ25を駆動し、加工ヘッド7を下に移動させる。距離センサ19は加工ノズル28とワーク12との距離Lに対応するセンサデータを出力し、センサデータはセンサデータ処理部18を介して高さ制御部17にフィードバックされる。高さ制御部17は、センサデータ処理部18からフィードバックされるセンサデータに基づいて、加工ヘッド7を下降させる。   When the program command is an execution command for an approach operation, the main control unit 13 gives information on the approach speed and nozzle height to the height control unit 17. The height control unit 17 calculates the movement distance based on the given information, and outputs an amount of movement in the Z-axis direction to the Z servo control unit 22 when commanded to execute the approach operation. The Z servo control unit 22 drives the Z servo motor 25 based on the movement amount in the Z-axis direction given from the height control unit 17 to move the machining head 7 downward. The distance sensor 19 outputs sensor data corresponding to the distance L between the machining nozzle 28 and the workpiece 12, and the sensor data is fed back to the height control unit 17 via the sensor data processing unit 18. The height control unit 17 lowers the machining head 7 based on the sensor data fed back from the sensor data processing unit 18.

シリンダ制御部32は、ワーク12が加工パレット27のワークサポート30上に載置されたことを主制御部13から通知されると、シリンダ31を制御して、ダミーワーク29をワーク12の縁に沿うように接触させる。シリンダ31には油圧式又は空気圧式のものを適用できる。なお、レーザ加工機は、導光光学系といった構成も備えるが、一般的なレーザ加工機と同様のものを適用可能であり、本発明の特徴と直接関係しないため、図示は省略している。   When notified from the main control unit 13 that the work 12 has been placed on the work support 30 of the processing pallet 27, the cylinder control unit 32 controls the cylinder 31 to place the dummy work 29 on the edge of the work 12. Touch along. A hydraulic or pneumatic type can be applied to the cylinder 31. Although the laser processing machine also has a configuration such as a light guide optical system, the same one as a general laser processing machine can be applied and is not directly related to the features of the present invention, and is not shown.

加工パレット27には、複数のワークサポート30が設けられており、ワーク12はワークサポート30の上に配置される。   The processing pallet 27 is provided with a plurality of work supports 30, and the work 12 is disposed on the work support 30.

シリンダ31には、ダミーワー29が取り付けられている。ダミーワーク29は、ワーク12と同じ材料で形成されており、ワーク12と同じ厚さであり、ワークサポート30の上に配置されている。ダミーワーク29は、距離センサ19の検出範囲の半径以上の幅を有する。シリンダ制御部32がシリンダ31を稼働させることにより、ダミーワーク29はワークサポート30上を滑って移動する。ダミーワーク29は、ワークサポート30上に配置されているため、ワーク12とダミーワーク29とは導通して同じ電位に保たれる。   A dummy word 29 is attached to the cylinder 31. The dummy workpiece 29 is made of the same material as the workpiece 12, has the same thickness as the workpiece 12, and is disposed on the workpiece support 30. The dummy work 29 has a width equal to or larger than the radius of the detection range of the distance sensor 19. When the cylinder controller 32 operates the cylinder 31, the dummy workpiece 29 slides on the workpiece support 30. Since the dummy workpiece 29 is disposed on the workpiece support 30, the workpiece 12 and the dummy workpiece 29 are electrically connected and kept at the same potential.

図2は、実施の形態1にかかるレーザ加工機の加工パレットの上面図である。実施の形態1にかかるレーザ加工機100は、四つのダミーワーク29を備えており、各ダミーワーク29は、ワーク12の四辺の各々と同じ長さである。   FIG. 2 is a top view of the processing pallet of the laser beam machine according to the first embodiment. The laser beam machine 100 according to the first embodiment includes four dummy workpieces 29, and each dummy workpiece 29 has the same length as each of the four sides of the workpiece 12.

ワーク12を加工パレット27の基準位置に配置した後、シリンダ制御部32はシリンダ31を制御してダミーワーク29をワーク12に近づけ、ダミーワーク29がワーク12に接触したところでダミーワーク29の移動を停止させる。これにより、ワーク12はダミーワーク29によって四方を囲まれた状態となり、ダミーワーク29は、ワーク12の縁に沿った状態で静止する。   After the workpiece 12 is placed at the reference position of the machining pallet 27, the cylinder control unit 32 controls the cylinder 31 to bring the dummy workpiece 29 closer to the workpiece 12, and the dummy workpiece 29 moves when the dummy workpiece 29 comes into contact with the workpiece 12. Stop. As a result, the workpiece 12 is surrounded by the dummy workpiece 29 on all sides, and the dummy workpiece 29 is stationary along the edge of the workpiece 12.

図3は、実施の形態1にかかるレーザ加工機によるレーザ加工の手順を示すフローチャートである。ステップS1で、加工パレット27に設置されているワークサポート30の上にワーク12を載置する。ステップS2で、ワーク12の各辺と間隔を空けた状態でダミーワーク29をワークサポート30の上に載置する。ステップS3で、シリンダ31によりダミーワーク29をワークサポート30上で滑らせ、ダミーワーク29をワーク12の各辺に接触させる。ステップS4で、加工プログラムを実行し、ワーク12をレーザで加工する。なお、ダミーワーク29の重量が、手作業でもワークサポート30の上を滑らせることができる程度であるならば、シリンダ31を用いずに、手作業でダミーワーク29をワーク12の各辺に接触させてもよい。すなわち、手作業でもワークサポート30の上を滑らせることができる程度の重量のダミーワーク29を用いる場合には、シリンダ制御部32及びシリンダ31を備えない構成のレーザ加工機であっても、図3に示す手順に従ってレーザ加工を行うことができる。   FIG. 3 is a flowchart of a laser processing procedure performed by the laser processing machine according to the first embodiment. In step S <b> 1, the workpiece 12 is placed on the workpiece support 30 installed on the processing pallet 27. In step S <b> 2, the dummy workpiece 29 is placed on the workpiece support 30 with a space from each side of the workpiece 12. In step S <b> 3, the dummy work 29 is slid on the work support 30 by the cylinder 31, and the dummy work 29 is brought into contact with each side of the work 12. In step S4, a machining program is executed and the workpiece 12 is machined with a laser. If the weight of the dummy work 29 is such that it can be slid on the work support 30 even by manual work, the dummy work 29 is brought into contact with each side of the work 12 by hand without using the cylinder 31. You may let them. That is, when the dummy workpiece 29 having a weight that can slide on the workpiece support 30 even by manual work is used, even if the laser processing machine is configured without the cylinder control unit 32 and the cylinder 31, Laser processing can be performed according to the procedure shown in FIG.

上記の手順により、レーザ加工機100は、ワークサポート30上に載置されたワーク12と加工ノズル28との距離を、距離センサ19の検出結果に基づいた倣い制御により一定に保ってレーザ加工を行う。   According to the above procedure, the laser processing machine 100 performs laser processing by keeping the distance between the work 12 placed on the work support 30 and the processing nozzle 28 constant by scanning control based on the detection result of the distance sensor 19. Do.

図4は、実施の形態1にかかるレーザ加工機の加工ヘッドの動きを示す図である。図4(a)は、ワーク12の中央部の上に加工ヘッド7が位置する状態であり、図4(b)は、ワーク12の縁の直上に加工ヘッド7が位置する状態であり、図4(c)は、ダミーワーク29の上に加工ヘッド7が位置する状態である。図4(a)に示すように、ワーク12の中央部から倣い制御を行いながら進行してきた加工ヘッド7が、図4(b)に示すようにワーク12の縁の上部に達すると、距離センサ19の検出範囲19aの一部分のみにワーク12が存在する状態になる。しかし、ワーク12の周囲にはダミーワーク29が配置されているため、距離センサ19は、ダミーワーク29との間に生じる静電容量も検出することになる。ダミーワーク29は、ワーク12と同じ材料で形成され、ワーク12と同じ厚さを有し、距離センサ19の検出範囲19aの半径以上の幅を有しているため、加工ノズル7がワーク12の縁の直上に位置する時には、ダミーワーク29が距離センサ19の検出範囲19a内に存在し、検出範囲19a全体にワーク12が存在する場合と同じ距離が検出される。すなわち、ダミーワーク29は、加工ノズル28がワーク12の縁の部分の上に位置する状態において、距離センサ19の検出範囲19a全体にワーク12が存在する場合と同じ静電容量を生じさせる。したがって、実施の形態1にかかるレーザ加工機100は、ワーク12の縁の部分で倣い制御を行っても、加工ノズル28がワーク12又はワークサポート30に衝突することは防止される。   FIG. 4 is a diagram illustrating the movement of the machining head of the laser beam machine according to the first embodiment. 4A shows a state in which the machining head 7 is positioned on the center of the work 12, and FIG. 4B shows a state in which the machining head 7 is located immediately above the edge of the work 12. 4 (c) is a state in which the machining head 7 is positioned on the dummy workpiece 29. As shown in FIG. 4 (a), when the machining head 7 that has progressed while performing scanning control from the center of the work 12 reaches the upper part of the edge of the work 12 as shown in FIG. The workpiece 12 is present only in a part of the 19 detection ranges 19a. However, since the dummy workpiece 29 is disposed around the workpiece 12, the distance sensor 19 also detects the capacitance generated between the dummy workpiece 29. The dummy workpiece 29 is formed of the same material as the workpiece 12, has the same thickness as the workpiece 12, and has a width equal to or larger than the radius of the detection range 19 a of the distance sensor 19. When located directly above the edge, the dummy workpiece 29 exists in the detection range 19a of the distance sensor 19, and the same distance as when the workpiece 12 exists in the entire detection range 19a is detected. That is, the dummy workpiece 29 generates the same capacitance as when the workpiece 12 exists in the entire detection range 19 a of the distance sensor 19 in a state where the machining nozzle 28 is positioned on the edge portion of the workpiece 12. Therefore, the laser beam machine 100 according to the first embodiment can prevent the machining nozzle 28 from colliding with the workpiece 12 or the workpiece support 30 even if scanning control is performed at the edge portion of the workpiece 12.

レーザ加工の終了時には、図4(c)に示すように、加工ヘッド7の下にはワーク12は存在しないが、ワーク12と同じ材料及び同じ厚さのダミーワーク29が距離センサ19の検出範囲19a全体に存在しているため、レーザ加工終了まで倣い制御を継続しても、加工ノズル28がワーク12又はワークサポート30に衝突することは防止される。   At the end of laser processing, as shown in FIG. 4C, the workpiece 12 does not exist under the processing head 7, but a dummy workpiece 29 having the same material and thickness as the workpiece 12 is detected by the distance sensor 19. Since it exists in the whole 19a, even if the scanning control is continued until the end of the laser machining, the machining nozzle 28 is prevented from colliding with the workpiece 12 or the workpiece support 30.

上記のように、実施の形態1にかかるレーザ加工機100は、ワーク12の周囲にダミーワーク29を配置するため、ワーク12の縁の部分で倣い制御を行っても、加工ノズル7がワーク12又はワークサポート30に衝突することは防止できる。   As described above, since the laser processing machine 100 according to the first embodiment arranges the dummy workpiece 29 around the workpiece 12, the machining nozzle 7 can move the workpiece 12 even if the copying control is performed at the edge portion of the workpiece 12. Alternatively, collision with the work support 30 can be prevented.

上記の説明においては、シリンダ31を用いてダミーワーク29を移動させているが、シリンダ31の代わりにサーボモータを用いてダミーワーク29を移動させても良い。   In the above description, the dummy work 29 is moved using the cylinder 31, but the dummy work 29 may be moved using a servo motor instead of the cylinder 31.

図5は、実施の形態1にかかるレーザ加工機の変形構成例を示す図である。ダミーワーク29とワーク12とを配線33を用いて接続している。ダミーワーク29又はワーク12の下面に酸化皮膜が形成されていたり、非導電性のコーティングが施されていたりしても、ダミーワーク29とワーク12とを配線33で接続することにより、ワーク12とダミーワーク29とを同電位とすることができる。これにより、ワーク12及びダミーワーク29の下面の導通状態によらず、ワーク12の縁の部分での倣い制御で加工ノズル7がワーク12又はワークサポート30に衝突することを防止する効果が得られる。   FIG. 5 is a diagram illustrating a modified configuration example of the laser beam machine according to the first embodiment. The dummy work 29 and the work 12 are connected using a wiring 33. Even if an oxide film is formed on the lower surface of the dummy workpiece 29 or the workpiece 12 or a non-conductive coating is applied, the dummy workpiece 29 and the workpiece 12 are connected by the wiring 33 to connect the workpiece 12 The dummy workpiece 29 can be set to the same potential. Thereby, the effect of preventing the machining nozzle 7 from colliding with the workpiece 12 or the workpiece support 30 by the copying control at the edge portion of the workpiece 12 can be obtained regardless of the conduction state of the lower surfaces of the workpiece 12 and the dummy workpiece 29. .

なお、図5には、四つのダミーワーク29の各々を配線33でワーク12に直接接続した構成を示しているが、複数のダミーワーク29のいずれかを配線33でワーク12に直接接続し、他のダミーワーク29は、ワーク12に接続済のダミーワーク29に対して配線で接続する構成をとることもできる。   FIG. 5 shows a configuration in which each of the four dummy workpieces 29 is directly connected to the workpiece 12 by the wiring 33. However, any one of the plurality of dummy workpieces 29 is directly connected to the workpiece 12 by the wiring 33. The other dummy work 29 can be configured to be connected to the dummy work 29 already connected to the work 12 by wiring.

実施の形態2.
図6は、本発明の実施の形態2にかかるレーザ加工機の加工パレットの上面図である。実施の形態2にかかるレーザ加工機の構成は、実施の形態1にかかるレーザ加工機100と同様であるが、ダミーワーク29がワーク12の2辺にのみ配置される点で相違している。したがって、実施の形態1にかかるレーザ加工機100と比較して、装置構成の簡略化を図ることができる。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 6 is a top view of a processing pallet of the laser beam machine according to the second embodiment of the present invention. The configuration of the laser beam machine according to the second embodiment is the same as that of the laser beam machine 100 according to the first embodiment, but is different in that the dummy workpiece 29 is arranged only on two sides of the workpiece 12. Therefore, the apparatus configuration can be simplified as compared with the laser processing machine 100 according to the first embodiment.

実施の形態2にかかるレーザ加工機は、ダミーワーク29が配置される側でのみ、ワーク12の縁の部分で加工ノズル7がワーク12又はワークサポート30に衝突することを防止する効果が得られるが、ダミーワーク29が配置されない側ではワーク12の縁の上に加工ヘッド7が移動しないように組んだ制御プログラムを主制御部13に実行させることにより、加工ノズル7とワーク12又はワークサポート30との衝突を回避できる。   The laser beam machine according to the second embodiment can obtain an effect of preventing the machining nozzle 7 from colliding with the workpiece 12 or the workpiece support 30 at the edge portion of the workpiece 12 only on the side where the dummy workpiece 29 is disposed. However, on the side where the dummy workpiece 29 is not arranged, the main control unit 13 executes a control program in which the machining head 7 is not moved on the edge of the workpiece 12, thereby allowing the machining nozzle 7 and the workpiece 12 or the workpiece support 30 to be executed. Can avoid collisions.

実施の形態3.
図7は、本発明の実施の形態3にかかるレーザ加工機の加工パレットの断面図である。実施の形態3にかかるレーザ加工機においては、ダミーワーク29’のワーク12と隣接しない側の端部29aは、上方向にそり上がっている。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 7 is a cross-sectional view of the processing pallet of the laser beam machine according to the third embodiment of the present invention. In the laser beam machine according to the third embodiment, the end portion 29a of the dummy workpiece 29 ′ that is not adjacent to the workpiece 12 is warped upward.

距離センサ19の検知範囲は、加工ノズル7の直下だけでなく、加工ノズル7を中心とし、加工ノズル7の外形よりも大径の円形の領域である。したがって、ダミーワーク29’のワーク12と隣接しない側の端部29aを上方向に反らすことにより、距離センサ19が検知する静電容量は、そりが無い場合と比べて大きくなる。これにより、実施の形態1のダミーワーク29と比較してダミーワーク29’の幅を細くしても、ワーク12の縁の部分での倣い制御で加工ノズル7がワーク12又はワークサポート30に衝突することを防止する効果が得られる。   The detection range of the distance sensor 19 is not only directly under the processing nozzle 7 but also a circular region having the processing nozzle 7 as the center and a diameter larger than the outer shape of the processing nozzle 7. Therefore, by causing the end portion 29a of the dummy workpiece 29 'that is not adjacent to the workpiece 12 to warp upward, the capacitance detected by the distance sensor 19 becomes larger than when there is no warp. As a result, even if the width of the dummy workpiece 29 ′ is narrower than that of the dummy workpiece 29 of the first embodiment, the machining nozzle 7 collides with the workpiece 12 or the workpiece support 30 by the copying control at the edge portion of the workpiece 12. The effect which prevents doing is acquired.

実施の形態3によれば、ワーク12に隣接しない側の端部が上方向に反り上がっていないダミーワーク29よりも幅の狭いダミーワーク29’を用いることにより、レーザ加工機の小型化を図ることができる。   According to the third embodiment, the size of the laser processing machine is reduced by using the dummy workpiece 29 ′ having a narrower width than the dummy workpiece 29 whose end portion not adjacent to the workpiece 12 is not warped upward. be able to.

以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。   The configuration described in the above embodiment shows an example of the contents of the present invention, and can be combined with another known technique, and can be combined with other configurations without departing from the gist of the present invention. It is also possible to omit or change the part.

7 加工ヘッド、10 数値制御ユニット、12 ワーク、13 主制御部、14 加工機制御部、15 位置制御部、17 高さ制御部、18 センサデータ処理部、19 距離センサ、19a 検出範囲、20 Xサーボ制御部、21 Yサーボ制御部、22 Zサーボ制御部、23 Xサーボモータ、24 Yサーボモータ、25 Zサーボモータ、26 レーザ発振器、27 加工パレット、28 加工ノズル、29 ダミーワーク、30 ワークサポート、31 シリンダ、32 シリンダ制御部、100 レーザ加工機。   7 Processing Head, 10 Numerical Control Unit, 12 Workpiece, 13 Main Control Unit, 14 Processing Machine Control Unit, 15 Position Control Unit, 17 Height Control Unit, 18 Sensor Data Processing Unit, 19 Distance Sensor, 19a Detection Range, 20 X Servo control unit, 21 Y servo control unit, 22 Z servo control unit, 23 X servo motor, 24 Y servo motor, 25 Z servo motor, 26 laser oscillator, 27 machining pallet, 28 machining nozzle, 29 dummy workpiece, 30 workpiece support , 31 cylinder, 32 cylinder control unit, 100 laser processing machine.

Claims (4)

ワークサポート上に載置されたワークと加工ノズルとの距離を、静電センサの検出結果に基づいた倣い制御により一定に保ってレーザ加工を行うレーザ加工機であって、
前記加工ノズルが前記ワークの縁の部分の上に位置する状態において、前記静電センサの検出範囲全体に前記ワークが存在する場合と同じ静電容量を生じさせるダミーワークを、前記ワークサポート上で移動させ、ワークの縁に沿うように接触させる駆動機構を備えることを特徴とするレーザ加工機。
A laser processing machine for performing laser processing by keeping a distance between a work placed on a work support and a processing nozzle constant by scanning control based on a detection result of an electrostatic sensor,
In a state where the machining nozzle is positioned on the edge portion of the workpiece, a dummy workpiece that generates the same capacitance as that in the case where the workpiece exists in the entire detection range of the electrostatic sensor is formed on the workpiece support. A laser processing machine comprising a drive mechanism that is moved and brought into contact with an edge of a workpiece.
前記ダミーワークは、前記静電センサの検出範囲の半径以上の幅を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機。   The laser processing machine according to claim 1, wherein the dummy workpiece has a width equal to or larger than a radius of a detection range of the electrostatic sensor. 前記ダミーワークは、前記ワークと隣接しない側が上方向にそり上がっていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機。   The laser processing machine according to claim 1, wherein the dummy workpiece is warped upward on a side not adjacent to the workpiece. ワークサポート上に載置されたワークと加工ノズルとの距離を、静電センサの検出結果に基づいた倣い制御により一定に保ってレーザ加工を行うレーザ加工方法であって、
前記ワークサポートの上に前記ワークを載置する工程と、
前記加工ノズルが前記ワークの縁の部分の上に位置する状態において、前記静電センサの検出範囲全体に前記ワークが存在する場合と同じ静電容量を生じさせるダミーワークを、前記ワークの各辺と間隔を空けた状態で前記ワークサポートの上に載置する工程と、
前記ダミーワークを前記ワークの各辺の縁に沿うように接触させる工程と、
前記ワークをレーザで加工する工程とを有することを特徴とするレーザ加工方法。
A laser processing method for performing laser processing by keeping a distance between a work placed on a work support and a processing nozzle constant by scanning control based on a detection result of an electrostatic sensor,
Placing the workpiece on the workpiece support;
In a state where the machining nozzle is positioned on the edge portion of the workpiece, dummy workpieces that generate the same capacitance as when the workpiece exists in the entire detection range of the electrostatic sensor are arranged on each side of the workpiece. And placing on the work support in a state of being spaced apart,
Contacting the dummy workpiece along the edges of the sides of the workpiece;
And a step of processing the workpiece with a laser.
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