JP2016206018A - Device for measuring humidity exhaust deformation amount - Google Patents

Device for measuring humidity exhaust deformation amount Download PDF

Info

Publication number
JP2016206018A
JP2016206018A JP2015088276A JP2015088276A JP2016206018A JP 2016206018 A JP2016206018 A JP 2016206018A JP 2015088276 A JP2015088276 A JP 2015088276A JP 2015088276 A JP2015088276 A JP 2015088276A JP 2016206018 A JP2016206018 A JP 2016206018A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dry box
piece
test piece
laser
face
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015088276A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6550891B2 (en
Inventor
高広 井桁
Takahiro Iketa
高広 井桁
一男 濱田
Kazuo Hamada
一男 濱田
亮介 江副
Ryosuke Ezoe
亮介 江副
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2015088276A priority Critical patent/JP6550891B2/en
Publication of JP2016206018A publication Critical patent/JP2016206018A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6550891B2 publication Critical patent/JP6550891B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To measure the humidity exhaust deformation amounts of a plurality of test pieces at the same time.SOLUTION: A humidity exhaust deformation amount measurement device 1 comprises: a test piece set unit 20 in which a plurality of previously moisture-absorbed test pieces 21 and a reference piece 22 are set; a dry box 10 having a plurality of laser interferometers 60, each of which is disposed face to face on each individual test piece 21 and one end face E1 of the reference piece 22; and a laser beam emission device 40 disposed on the outside of the dry box 10. A light passage part 10A is formed in the wall part 10W of the dry box 10, and there are provided inside the dry box 10 a light branching optical system 50 for branching a laser beam L and making it incident on each individual laser interferometer 60, a plurality of first mirrors 31 each of which is fitted to each individual test piece 21 and one end face E1 of the reference piece 22, and a plurality of second mirrors 32 each of which is fitted to each individual test piece 21 and the other end face E2 of the reference piece 22.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、排湿変形量測定装置に関するものである。   The present invention relates to an apparatus for measuring a deformation amount of exhaust moisture.

人工衛星等に搭載される宇宙用の機器あるいは構造物において、軽量で剛性があり熱変形量の少ない材料として、炭素繊維強化プラスチック(CFRP)等の複合材料が広く使用されている。かかる複合材料は、上記利点の一方で、空気中の水分吸着(吸湿)により、長さおよび質量が変化する傾向がある。   Composite materials such as carbon fiber reinforced plastic (CFRP) are widely used as materials that are lightweight, rigid, and have a small amount of thermal deformation in space equipment or structures mounted on artificial satellites or the like. On the other hand, such a composite material tends to change in length and mass due to moisture adsorption (absorption) in the air.

宇宙用構造物の場合、地上での通常湿度環境から宇宙空間での湿度0%環境に移動することにより、構造物が排湿変形を生じて搭載機器の精度を低下させる恐れがある。
そのため、あらかじめ排湿変形による精度変化を予測できることが好ましい。また、複数の試験片について排湿変形量を測定し、相対的に排湿変形量の少ないものを選択することが好ましい。
In the case of a structure for space, moving from a normal humidity environment on the ground to a 0% humidity environment in space can cause the structure to undergo moisture deformation and reduce the accuracy of the on-board equipment.
Therefore, it is preferable to be able to predict the accuracy change due to the moisture deformation. In addition, it is preferable to measure the amount of deformation with respect to a plurality of test pieces, and select one having a relatively small amount of deformation with respect to the exhaust.

従来、排湿変形量を直接測定する技術がなく、その代わりに、高温で乾燥させた試験片を恒温恒湿槽内で吸湿させていく過程での吸湿変形量を測定する技術が採用されている。
例えば特許文献1には、複合材料等の吸湿変形量を測定することが可能な変形量測定装置が開示されている(請求項1、要約書、図1等)。
この変形量測定装置は、恒温恒湿槽(14)内にレーザ干渉計(9)と、レーザ干渉計(9)に対向して設置された試験片格納装置(12)とを備え、試験片格納装置(12)は、平面ハーフミラー(4)と、平面ハーフミラー(4)に対して鏡面が向かい合うようにスプリング(5)で接続された平面ミラー(3)とを備えている。
この変形量測定装置では、試験片(1)の吸湿変形による変位を平面ミラー(3)と平面ハーフミラー(4)との位置関係に反映させ、平面ミラー(3)の反射光と平面ハーフミラー(4)の反射光との干渉により生じる干渉縞の変化量をレーザ干渉計(9)で測定することにより、試験片(1)の変形量を測定することができる。
Conventionally, there is no technique for directly measuring the amount of moisture deformation, but instead, a technique for measuring the amount of moisture deformation during the process of absorbing moisture in a constant temperature and humidity chamber for a test piece dried at high temperature has been adopted. Yes.
For example, Patent Document 1 discloses a deformation amount measuring apparatus capable of measuring a moisture absorption deformation amount of a composite material or the like (Claim 1, Abstract, FIG. 1, etc.).
This deformation amount measuring device includes a laser interferometer (9) and a test piece storage device (12) installed facing the laser interferometer (9) in a constant temperature and humidity chamber (14). The storage device (12) includes a flat half mirror (4) and a flat mirror (3) connected by a spring (5) so that the mirror surface faces the flat half mirror (4).
In this deformation amount measuring apparatus, the displacement due to moisture absorption deformation of the test piece (1) is reflected in the positional relationship between the plane mirror (3) and the plane half mirror (4), and the reflected light of the plane mirror (3) and the plane half mirror The amount of deformation of the test piece (1) can be measured by measuring the amount of interference fringe change caused by the interference with the reflected light in (4) with the laser interferometer (9).

特開2005-017134号公報JP 2005-017134 A

高温で乾燥させた試験片の吸湿変形量を測定する特許文献1等に記載の従来技術は、測定前に試験片を完全乾燥させる必要があり、完全乾燥直後の吸湿前に素早く測定を開始する必要があるため、測定のセッティングが非常に困難である。   The prior art described in Patent Document 1 or the like that measures the moisture absorption deformation amount of a test piece dried at a high temperature needs to completely dry the test piece before measurement, and starts measurement immediately before moisture absorption immediately after complete drying. The measurement setting is very difficult because it is necessary.

従来技術において、吸湿変形量を測定する理由の1つとして、レーザ干渉計に用いられるレーザ光を出射するレーザヘッドが湿度0%環境では使用できない点が挙げられる。   In the prior art, one of the reasons for measuring the amount of moisture absorption deformation is that a laser head that emits laser light used in a laser interferometer cannot be used in a 0% humidity environment.

また、測定空間を真空にすることで湿度0%環境を生成することができるが、真空下での測定には次のような課題がある。
一般的なレーザ干渉計等の測定機器は、真空下では使用できない。
また、試験片と同材質のクーポン片の質量を測定することにより排湿の進行程度を確認することができるが、真空下では質量測定が困難である。
更に、測定空間を真空にするために用いられるコンプレッサまたはターボ分子ポンプ等の振動が測定データに悪影響を与える恐れもある。
Further, an environment with a humidity of 0% can be generated by evacuating the measurement space, but measurement under vacuum has the following problems.
A general measuring instrument such as a laser interferometer cannot be used under vacuum.
Moreover, although the progress degree of moisture removal can be confirmed by measuring the mass of the coupon piece of the same material as a test piece, mass measurement is difficult under vacuum.
Furthermore, vibrations such as a compressor or a turbo molecular pump used to evacuate the measurement space may adversely affect the measurement data.

また、測定効率を高めるためには、1つの測定装置を用いて、複数の試験片について同時に測定を実施できることが好ましい。
特許文献1には、複数の試験片を同時に測定する技術として、レーザ干渉計又は試験片を精密位置決め機構付きのガイドレール(13)に載せて移動させる技術が開示されている(実施の形態2.、図4等)。しかしながら、この技術では、精密位置決め機構によるガイドレール上のレーザ干渉計又は試験片の移動及び位置の制御が難しく、装置構成が複雑で高コストであり、高精度測定も難しい。また、あるタイミングにおいてレーザ干渉計により測定できる試験片の数は1つであり、各試験片についてレーザ干渉計による連続測定を実施することができない。
Moreover, in order to improve measurement efficiency, it is preferable that a single measuring device can be used to simultaneously measure a plurality of test pieces.
Patent Document 1 discloses a technique for moving a laser interferometer or a test piece on a guide rail (13) with a precision positioning mechanism as a technique for simultaneously measuring a plurality of test pieces (Embodiment 2). , FIG. 4 etc.). However, in this technique, it is difficult to control the movement and position of the laser interferometer or the test piece on the guide rail by the precision positioning mechanism, the apparatus configuration is complicated, the cost is high, and high precision measurement is difficult. In addition, the number of test pieces that can be measured with a laser interferometer at a certain timing is one, and continuous measurement with a laser interferometer cannot be performed for each test piece.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、複数の試験片の排湿変形量を同時に測定することが可能な排湿変形量測定装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a dehumidification deformation amount measuring apparatus capable of simultaneously measuring the dehumidification deformation amounts of a plurality of test pieces.

本発明の排湿変形量測定装置は、
複数の試験片の排湿変形量を測定する排湿変形量測定装置であって、
内部に、あらかじめ吸湿された複数の試験片とリファレンス片とがセットされる試験片セット部と、各々が個々の前記試験片及び前記リファレンス片の一端面に対向配置された複数のレーザ干渉計とを有するドライボックスと、
前記ドライボックスの外部に配置されたレーザ光出射装置とを備え、
前記ドライボックスの壁部に、前記レーザ光出射装置から出射されたレーザ光を前記ドライボックスの内部に導く光通過部が形成され、
前記ドライボックスの内部に、前記光通過部を通して前記ドライボックスの内部に入射した前記レーザ光を分岐させ、個々の前記レーザ干渉計に入射させる光分岐光学系と、各々が個々の前記試験片及び前記リファレンス片の一端面に取り付けられる複数の第1ミラーと、各々が個々の前記試験片及び前記リファレンス片の他端面に取り付けられる複数の第2ミラーとが備えられ、
前記レーザ干渉計は、前記第1ミラーで反射された第1の反射光と前記第2ミラーで反射された第2の反射光との干渉縞を検出するものである。
The dehumidification deformation measuring device of the present invention is
A dehumidification deformation measuring device for measuring the dehumidification deformation of a plurality of test pieces,
Inside, a plurality of test pieces set in advance and a test piece set part in which a reference piece is set, and a plurality of laser interferometers, each of which is arranged to face one end face of each of the test piece and the reference piece A dry box having
A laser beam emitting device disposed outside the dry box;
On the wall portion of the dry box, a light passage portion that guides the laser light emitted from the laser light emitting device to the inside of the dry box is formed,
A light branching optical system for branching the laser light incident on the inside of the dry box through the light passing portion into the inside of the dry box and entering each of the laser interferometers, and each test piece and A plurality of first mirrors attached to one end face of the reference piece, and a plurality of second mirrors each attached to the individual test piece and the other end face of the reference piece,
The laser interferometer detects interference fringes between the first reflected light reflected by the first mirror and the second reflected light reflected by the second mirror.

本発明によれば、複数の試験片の排湿変形量を同時に測定することが可能な排湿変形量測定装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the exhaust-humidity deformation measuring apparatus which can measure the exhaust-humidity deformation of several test pieces simultaneously can be provided.

本発明に係る一実施形態の排湿変形量測定装置の要部上面図である。It is a principal part top view of the exhaust-humidity deformation measuring device of one embodiment concerning the present invention. 図1の排湿変形量測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the moisture displacement measuring device of FIG. 測定データ例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of measurement data.

図面を参照して、本発明に係る一実施形態の排湿変形量測定装置の構成について説明する。
図1は、本実施形態の排湿変形量測定装置の要部上面図である。
この図では、ドライボックスの内部を透視図で示してある。
With reference to the drawings, a description will be given of a configuration of a moisture displacement measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a top view of the main part of the apparatus for measuring the amount of deformation of exhaust moisture according to the present embodiment.
In this figure, the inside of the dry box is shown in a perspective view.

本実施形態の排湿変形量測定装置1は、ドライボックス10を有する。
ドライボックス10は、上面に開口部を有するボックス本体と、ボックス本体の上面の開口部を閉じる蓋材とからなる開閉可能ボックスである(図示略)。
ドライボックス10は、閉状態において、内部の湿度が0%に一定制御可能である。
ドライボックス10の内部の湿度を0%にする方法は特に制限されず、乾燥剤等を用いて除湿する方法が挙げられる。
The moisture displacement measurement apparatus 1 according to this embodiment includes a dry box 10.
The dry box 10 is an openable / closable box including a box body having an opening on the upper surface and a lid member that closes the opening on the upper surface of the box body (not shown).
In the closed state, the dry box 10 can be controlled to a constant internal humidity of 0%.
The method for reducing the humidity inside the dry box 10 to 0% is not particularly limited, and examples include a method of dehumidifying using a desiccant or the like.

ドライボックス10は、その内部に、複数の試験片21とリファレンス片22とがセットされる試験片セット部20を有する。
試験片21及びリファレンス片22は、一端面(図示左端面)E1から他端面(図示右端面)E2に延びる棒状片である。
試験片21の材料は特に制限されず、炭素繊維強化プラスチック(CFRP)等の複合材料が挙げられる。
試験片21は、あらかじめ一定の湿度下で保存された吸湿片である。
一度に測定できる試験片21の本数は特に制限されず、図示例では6本である。
リファレンス片22は試験片21と同じ長さを有する棒状片であり、排湿変形及び温度変形を生じない材料からなり、ゼロ膨張ガラス及び石英等の材料からなる。
リファレンス片22は1個でよい。
The dry box 10 includes a test piece setting unit 20 in which a plurality of test pieces 21 and a reference piece 22 are set.
The test piece 21 and the reference piece 22 are rod-shaped pieces extending from one end surface (the left end surface in the drawing) E1 to the other end surface (the right end surface in the drawing) E2.
The material of the test piece 21 is not particularly limited, and examples thereof include a composite material such as carbon fiber reinforced plastic (CFRP).
The test piece 21 is a moisture absorption piece stored in advance under a certain humidity.
The number of test pieces 21 that can be measured at one time is not particularly limited, and is six in the illustrated example.
The reference piece 22 is a rod-like piece having the same length as that of the test piece 21 and is made of a material that does not cause moisture exhaustion deformation and temperature deformation, and is made of a material such as zero expansion glass and quartz.
One reference piece 22 is sufficient.

ドライボックス10は、その内部に、各々が個々の試験片21及びリファレンス片22の一端面E1に対向配置された複数のレーザ干渉計60を有する。   The dry box 10 has a plurality of laser interferometers 60 disposed inside the dry box 10 so as to face each of the individual test pieces 21 and the one end face E1 of the reference piece 22.

本実施形態の排湿変形量測定装置1は、ドライボックス10の外部に配置されたレーザ光出射装置40を備える。
レーザ光出射装置40としては、He−Neレーザ(波長:633nm)等の公知のレーザを使用できる。
図中、符号41は、レーザ光出射装置40のレーザヘッドである。
本実施形態において、レーザヘッド41を含むレーザ光出射装置40は、レーザヘッド41自身がドライボックス10の排湿影響を受けないよう、またレーザヘッド41自身の発熱がドライボックス10内の測定に影響を与えないように、ドライボックス10の外部に配置される。
The moisture displacement measurement apparatus 1 according to the present embodiment includes a laser beam emitting device 40 disposed outside the dry box 10.
As the laser beam emitting device 40, a known laser such as a He—Ne laser (wavelength: 633 nm) can be used.
In the figure, reference numeral 41 denotes a laser head of the laser beam emitting device 40.
In this embodiment, the laser beam emitting device 40 including the laser head 41 prevents the laser head 41 itself from being affected by the exhaust moisture of the dry box 10, and the heat generated by the laser head 41 itself affects the measurement in the dry box 10. Is arranged outside the dry box 10.

本実施形態において、ドライボックス10の壁部10Wに、レーザ光出射装置40から出射されたレーザ光Lをドライボックス10の内部に導く光通過部10Aが形成されている。一態様において、光通過部10Aは、レーザ光Lが通る貫通孔である。   In the present embodiment, a light passage portion 10 </ b> A that guides the laser light L emitted from the laser light emitting device 40 to the inside of the dry box 10 is formed on the wall portion 10 </ b> W of the dry box 10. In one aspect, the light passage portion 10A is a through hole through which the laser light L passes.

ドライボックス10の内部には、光通過部10Aを通してドライボックス10の内部に入射したレーザ光Lを分岐させ、個々のレーザ干渉計60に入射させる光分岐光学系50が設けられている。
本実施形態において、光分岐光学系50は、複数のビームスプリッタ51を含む光学系である。
各ビームスプリッタ51は、入射光のうち一部の光を90°反射し、残りの光を透過するハーフミラーを含む。
Inside the dry box 10, there is provided a light branching optical system 50 that branches the laser light L that has entered the inside of the dry box 10 through the light passage portion 10 </ b> A and enters each laser interferometer 60.
In the present embodiment, the light branching optical system 50 is an optical system including a plurality of beam splitters 51.
Each beam splitter 51 includes a half mirror that reflects a part of incident light by 90 ° and transmits the remaining light.

本実施形態において、個々の試験片21及びリファレンス片22の一端面E1にはそれぞれ、第1ミラー31が取り付けられる。個々の試験片21及びリファレンス片22の他端面E2にはそれぞれ、第2ミラー32が取り付けられる。
試験片21に取り付けられる第1ミラー31は、試験片21の長さが変化しても、常にその一端面E1に隙間なく接する。
試験片21に取り付けられる第2ミラー32は、試験片21の長さが変化しても、常にその一端面E2に隙間なく接する。
試験片セット部20に対する複数の試験片21及びリファレンス片22の格納方法、並びに、試験片21及びリファレンス片22への第1ミラー31及び第2ミラー32の取付方法は特に制限されず、公知方法を適用することができる。
In the present embodiment, the first mirror 31 is attached to one end surface E <b> 1 of each test piece 21 and reference piece 22. A second mirror 32 is attached to each of the other end surfaces E2 of the individual test pieces 21 and the reference pieces 22.
Even if the length of the test piece 21 changes, the first mirror 31 attached to the test piece 21 always contacts the one end surface E1 without a gap.
Even if the length of the test piece 21 changes, the second mirror 32 attached to the test piece 21 always contacts the one end surface E2 without a gap.
A method for storing the plurality of test pieces 21 and the reference pieces 22 in the test piece set unit 20 and a method for attaching the first mirror 31 and the second mirror 32 to the test pieces 21 and the reference pieces 22 are not particularly limited, and are publicly known methods. Can be applied.

ドライボックス10の内部には、レーザ干渉計60による測定値を補正するために、好ましくは、温度、湿度、および気圧等の環境条件のうち少なくとも1つの環境条件を測定する環境センサ71がセットされる。
環境センサ71としては、温度、湿度、および気圧をすべて測定するものが好ましい。
試験片2と同じ長さのリファレンス片22は標準試料であり、上記補正が正しく行われていることを確認するために用いられる。
In order to correct the measurement value obtained by the laser interferometer 60, an environmental sensor 71 for measuring at least one environmental condition such as temperature, humidity, and atmospheric pressure is set inside the dry box 10. The
The environmental sensor 71 is preferably one that measures all of temperature, humidity, and atmospheric pressure.
The reference piece 22 having the same length as that of the test piece 2 is a standard sample, and is used to confirm that the correction is correctly performed.

各レーザ干渉計60は、対応する試験片21又はリファレンス片22の一端面E1に取り付けられた第1ミラー31で反射される第1反射光R1と、対応する試験片2又はリファレンス片22の他端面E2に取り付けられた第2ミラー32で反射される第2反射光R2との干渉縞を検出する。
各試験片21に対向配置された各レーザ干渉計60は、上記干渉縞から第1反射光R1と第2反射光R2との光路差を求め、対応する試験片21の長さ及びその変位量(排湿変形量)を求めることができる。
本実施形態において、各レーザ干渉計60による各試験片21の排湿変形量の測定は、経時的に好ましくは連続的に実施される。
Each laser interferometer 60 includes a first reflected light R1 reflected by the first mirror 31 attached to one end surface E1 of the corresponding test piece 21 or reference piece 22, and the corresponding test piece 2 or reference piece 22. An interference fringe with the second reflected light R2 reflected by the second mirror 32 attached to the end face E2 is detected.
Each laser interferometer 60 arranged to face each test piece 21 obtains the optical path difference between the first reflected light R1 and the second reflected light R2 from the interference fringes, and the length of the corresponding test piece 21 and its displacement amount. (Humidity deformation amount) can be obtained.
In the present embodiment, the measurement of the amount of moisture deformation of each test piece 21 by each laser interferometer 60 is preferably performed continuously over time.

レーザ干渉計60による測定値の補正を確認するために、必要に応じて、リファレンス片22についても、試験片21と同様に、レーザ干渉計60による測定を実施することができる。なお、レーザ干渉計60によるリファレンス片22の測定は、複数の試験片21の測定を開始する前に、あらかじめ実施される。   In order to confirm the correction of the measurement value by the laser interferometer 60, the measurement by the laser interferometer 60 can be performed on the reference piece 22 as necessary, similarly to the test piece 21. Note that the measurement of the reference piece 22 by the laser interferometer 60 is performed in advance before the measurement of the plurality of test pieces 21 is started.

レーザ干渉計とは異なる静電容量センサ等の測定装置を用い、試験片21の一端面E2をこの測定装置の固定面に当接させて、他端面E1の変化のみを基に変形量を測定する場合、温度変化等の影響により測定装置の構成要素に寸法変化が生じて測定誤差が生じる恐れがある。
これに対して、第1ミラー31で反射される第1反射光R1と第2ミラー32で反射される第2反射光R2とを用いて変形量を測定する本実施形態の構成では、測定装置の構成要素に寸法変化が生じても、測定データには何ら影響がない。
Using a measuring device such as a capacitance sensor different from the laser interferometer, one end surface E2 of the test piece 21 is brought into contact with the fixed surface of the measuring device, and the deformation amount is measured based only on the change of the other end surface E1. In such a case, a measurement error may occur due to a dimensional change in the constituent elements of the measuring apparatus due to an influence of a temperature change or the like.
On the other hand, in the configuration of the present embodiment in which the deformation amount is measured using the first reflected light R1 reflected by the first mirror 31 and the second reflected light R2 reflected by the second mirror 32, the measurement apparatus Even if a dimensional change occurs in the components, there is no effect on the measurement data.

本実施形態の排湿変形量測定装置1は、試験片21と同材質からなり、試験片21と同じ湿度下で保存された吸湿片であるクーポン片73について、水分抜けによる質量低下を、経時的に好ましくは連続的に測定できる構成であることが好ましい。
例えば、ドライボックス10の内部に電子天秤等の質量計72がセットされ、この質量計72の上に試験片21と同材質のクーポン片73を載せ、クーポン片73からの水分抜けによるクーポン片73の質量低下を経時的に好ましくは連続的に測定する構成が好ましい。かかる構成により、排湿の進行程度をモニタリングすることができ、好ましい。
The moisture deformation measurement apparatus 1 of the present embodiment is made of the same material as the test piece 21, and the coupon piece 73, which is a hygroscopic piece stored under the same humidity as the test piece 21, is subjected to mass reduction due to moisture loss over time. In particular, it is preferable that the measurement can be performed continuously.
For example, a mass meter 72 such as an electronic balance is set inside the dry box 10, a coupon piece 73 made of the same material as the test piece 21 is placed on the mass meter 72, and a coupon piece 73 due to moisture loss from the coupon piece 73. It is preferable to measure the decrease in the mass over time, preferably continuously. With such a configuration, it is possible to monitor the progress of moisture removal, which is preferable.

本実施形態の排湿変形量測定装置1において、外部からの振動を遮断して、レーザ干渉計60への外乱影響を減少し、高精度の測定データを得るために、ドライボックス10は除振定盤80の上に設置されることが好ましい。   In the moisture displacement measurement apparatus 1 of the present embodiment, the dry box 10 is subjected to vibration isolation in order to block external vibrations and reduce the influence of disturbance on the laser interferometer 60 and obtain highly accurate measurement data. It is preferably installed on the surface plate 80.

本実施形態の排湿変形量測定装置1において、レーザ干渉計60により測定された測定データ及び質量計72により測定された測定データは、ドライボックス10の外部に配置された記録装置90に自動的に記録保存され、オペレータによって必要に応じてデータ処理される。
記録装置90としては、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置等が挙げられる。
上記測定データは、記録装置90内のハードディスクまたは記録媒体等に自動的に記録保存される。
In the moisture displacement measurement apparatus 1 of this embodiment, the measurement data measured by the laser interferometer 60 and the measurement data measured by the mass meter 72 are automatically sent to the recording device 90 arranged outside the dry box 10. Is recorded and stored, and data processing is performed as required by the operator.
An example of the recording device 90 is an information processing device such as a personal computer.
The measurement data is automatically recorded and saved on a hard disk or a recording medium in the recording device 90.

図面を参照して、本実施形態の排湿変形量測定装置1の動作について説明する。
図2は、本実施形態の排湿変化量測定装置1の動作を示すフローチャートである。
With reference to the drawings, the operation of the moisture displacement measuring apparatus 1 of the present embodiment will be described.
FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the exhaust moisture change measuring device 1 of the present embodiment.

あらかじめ、必要に応じて、環境センサ71及びリファレンス片22を用いて、レーザ干渉計60による測定値の補正を行っておく。
はじめに、ドライボックス10の蓋材を開けて、ドライボックス10の内部の試験片セット部20に、一定の湿度下で保存された吸湿片である複数の試験片21をセットする(ステップS1)。
別途、好ましくは、ドライボックス10の内部に設置された質量計72の上に、複数の試験片21と同材質からなり、複数の試験片21と同じ湿度下で保存された吸湿片であるクーポン片73をセットする(ステップS2)。
なお、ステップS1とステップS2とは、順不同である。
In advance, the measurement value by the laser interferometer 60 is corrected using the environmental sensor 71 and the reference piece 22 as necessary.
First, the lid of the dry box 10 is opened, and a plurality of test pieces 21 that are moisture absorption pieces stored at a constant humidity are set in the test piece setting unit 20 inside the dry box 10 (step S1).
Separately, a coupon which is preferably a moisture absorption piece made of the same material as the plurality of test pieces 21 and stored under the same humidity as the plurality of test pieces 21 on the mass meter 72 installed inside the dry box 10. The piece 73 is set (step S2).
Step S1 and step S2 are in no particular order.

次に、測定及びデータ記録を開始する(ステップS3)。
具体的には、レーザ光出射装置40からレーザ光Lを出射させ、レーザ干渉計60による、個々の試験片21の長さ及びその変位量(排湿変形量)の経時測定好ましくは連続測定を開始する。
同時に、質量計72によるクーポン片73の質量及びその変位量の経時測定好ましくは連続測定を開始する。
レーザ干渉計60及び質量計72による測定データは、記録装置90内のハードディスクまたは記録媒体等に自動的に記録保存される。
Next, measurement and data recording are started (step S3).
Specifically, the laser beam L is emitted from the laser beam emitting device 40, and the length of each test piece 21 and its displacement amount (humidity deformation amount) are measured with the laser interferometer 60, preferably continuous measurement. Start.
At the same time, the time measurement of the mass of the coupon piece 73 by the mass meter 72 and its displacement amount, preferably continuous measurement, is started.
Measurement data obtained by the laser interferometer 60 and the mass meter 72 is automatically recorded and stored in a hard disk or a recording medium in the recording device 90.

次に、ドライボックス10の蓋材を閉めて、排湿を開始する(ステップS4)。
レーザ干渉計60による測定データ及び質量計72による測定データは、一定時間間隔で記録保存される(ステップS5)。
記録保存の時間間隔は例えば、1〜30分が好ましい。
Next, the lid material of the dry box 10 is closed, and moisture exhaustion is started (step S4).
The measurement data from the laser interferometer 60 and the measurement data from the mass meter 72 are recorded and stored at regular time intervals (step S5).
For example, the recording storage time interval is preferably 1 to 30 minutes.

オペレータは適時、質量計72による測定データを確認し、クーポン片73の質量が充分に安定したかどうかを確認する(ステップS6)。
クーポン片73の質量が充分に安定していないと判断される場合は、レーザ干渉計60及び質量計72による測定と、これら測定のデータ記録保存を続ける。
クーポン片73の質量が充分に安定したと判断された場合は、測定データの記録保存を停止し、測定を終了する(ステップS7)。
測定データ例を図3に示しておく。
The operator confirms the data measured by the mass meter 72 at the appropriate time and confirms whether the mass of the coupon piece 73 is sufficiently stable (step S6).
When it is determined that the mass of the coupon piece 73 is not sufficiently stable, the measurement by the laser interferometer 60 and the mass meter 72 and the data recording storage of these measurements are continued.
When it is determined that the mass of the coupon piece 73 is sufficiently stable, the recording and storing of the measurement data are stopped, and the measurement is ended (step S7).
An example of measurement data is shown in FIG.

本実施形態の排湿変形量測定装置1では、複数の試験片21が、内部の湿度が0%に一定制御可能ドライボックス10の内部にセットされる。
本実施形態の排湿変形量測定装置1では、レーザ干渉計60はドライボックス10の内部に配置される一方、レーザ干渉計60による測定に用いるレーザ光Lを出射するレーザヘッド41を含むレーザ光出射装置40は、ドライボックス10の外部に配置される。
In the exhaust moisture deformation measuring device 1 of the present embodiment, the plurality of test pieces 21 are set inside the dry box 10 in which the internal humidity can be controlled to be 0%.
In the dehumidification deformation measuring apparatus 1 of the present embodiment, the laser interferometer 60 is disposed inside the dry box 10, and includes a laser head 41 that emits a laser beam L used for measurement by the laser interferometer 60. The emission device 40 is disposed outside the dry box 10.

一般的にレーザ干渉計60は真空下では使用できないが、湿度0%環境の生成にドライボックス10を用いることで、レーザ干渉計60を問題なく使用することができる。
一般的にレーザヘッド41は湿度0%環境では使用できないが、レーザヘッド41をドライボックス10の外部に配置することで、レーザヘッド41を問題なく使用することができる。
上記のように、本実施形態では、一般的な光学機器を使用して、排湿変形量の測定を実施することができる。
In general, the laser interferometer 60 cannot be used under vacuum, but the laser interferometer 60 can be used without any problem by using the dry box 10 for generating a 0% humidity environment.
In general, the laser head 41 cannot be used in an environment of 0% humidity, but the laser head 41 can be used without any problem by disposing the laser head 41 outside the dry box 10.
As described above, in this embodiment, it is possible to measure the amount of deformation due to moisture using a general optical instrument.

特許文献1等に記載の従来技術では、測定前に試験片を完全乾燥させる必要があり、完全乾燥直後の吸湿前に素早く測定を開始する必要があるため、測定のセッティングが非常に困難である。
これに対して、本実施形態では、測定前に試験片21を完全乾燥させる必要がなく、かつ、排湿を開始するまでは、ドライボックス10の内部は通常の室内環境でよいため、測定のセッティング時間に制限がない。
In the prior art described in Patent Document 1 and the like, it is necessary to completely dry the test piece before measurement, and it is necessary to start measurement immediately before moisture absorption immediately after complete drying. Therefore, measurement setting is very difficult. .
On the other hand, in this embodiment, the test piece 21 does not need to be completely dried before measurement, and the inside of the dry box 10 may be a normal indoor environment until the start of dehumidification. There is no limit on setting time.

レーザ光出射装置40から出射されたレーザ光Lはドライボックス10の壁部10Wに設けられた光通過部10Aを通して、ドライボックス10内に入射する。
そして、光通過部10Aを通してドライボックス10の内部に入射したレーザ光Lは、光分岐光学系50により複数の試験片21及びリファレンス片22の数に合わせて分岐され、個々のレーザ干渉計60に入射する。
本実施形態では、精密位置決め機構付きのガイドレールを用いる特許文献1の実施の形態2.に記載の構成と異なり、複雑で高コストな装置構成を要することなく、複数の試験片21を同時に測定することが可能である。
本実施形態では、精密位置決め機構付きのガイドレールを用いる特許文献1の実施の形態2.に記載の構成と異なり、すべての試験片21について、レーザ干渉計60による連続測定を実施することが可能である。
The laser light L emitted from the laser light emitting device 40 enters the dry box 10 through the light passage portion 10A provided on the wall portion 10W of the dry box 10.
Then, the laser light L incident on the inside of the dry box 10 through the light passing portion 10A is branched by the optical branching optical system 50 in accordance with the number of the plurality of test pieces 21 and reference pieces 22, and is supplied to each laser interferometer 60. Incident.
In the present embodiment, Embodiment 2 of Patent Document 1 using a guide rail with a precision positioning mechanism. Unlike the configuration described in 1), it is possible to simultaneously measure a plurality of test pieces 21 without requiring a complicated and expensive apparatus configuration.
In the present embodiment, Embodiment 2 of Patent Document 1 using a guide rail with a precision positioning mechanism. Unlike the configuration described in (1), continuous measurement by the laser interferometer 60 can be performed on all the test pieces 21.

本実施形態では、ドライボックス10の内部に質量計72を設置し、クーポン片73の質量測定を同時に行うことにより、排湿の進行程度を適時確認することができる。これにより、排湿に要する時間を確認でき、測定終了のタイミングを適切に判断することができる。
なお、真空下では、試験片21と同材質のクーポン片73の質量を測定することが困難であるが、本実施形態ではドライボックス10を用いることで、クーポン片73の質量測定を簡易に実施することができる。
In the present embodiment, the mass meter 72 is installed inside the dry box 10 and the mass measurement of the coupon piece 73 is performed at the same time, so that the progress of the dehumidification can be confirmed in a timely manner. Thereby, the time required for moisture removal can be confirmed, and the timing of the end of measurement can be determined appropriately.
In addition, under vacuum, although it is difficult to measure the mass of the coupon piece 73 of the same material as the test piece 21, in this embodiment, the mass measurement of the coupon piece 73 is simply performed by using the dry box 10. can do.

通常、炭素繊維強化プラスチック(CFRP)等の複合材料の完全排湿には数か月かかるが、クーポン片73の質量変化の推移から完全排湿時間を予測し、完全排湿する前に排湿変形量を推定することによって、測定時間を短縮することも可能である。   Normally, complete dehumidification of a composite material such as carbon fiber reinforced plastic (CFRP) takes several months, but the total dehumidification time is predicted from the transition of the mass change of the coupon piece 73 and dehumidified before complete dehumidification. It is also possible to shorten the measurement time by estimating the deformation amount.

本実施形態では、ドライボックス10を除振定盤80の上に設置することにより、外部からの振動を遮断し、高精度の測定データを得ることができる。   In the present embodiment, by installing the dry box 10 on the vibration isolation surface plate 80, it is possible to block external vibrations and obtain highly accurate measurement data.

本実施形態の排湿変形量測定装置1を用いることにより、例えば、地上での通常湿度環境から宇宙空間での湿度0%環境に移動する際の炭素繊維強化プラスチック(CFRP)等の複合材料の排湿変形量を測定することができる。
本実施形態によれば、例えば、同じ環境下で吸湿された複数の試験片21について同時測定を実施し、排湿変形量の違いを比較することができる。
本実施形態によれば、例えば、必要本数以上の複数の試験片21について測定を実施し、相対的に排湿変形量の少ない必要本数の試験片21を選択することが可能である。
本実施形態によれば、例えば、必要本数以上の複数の試験片21について測定を実施し、排湿変形量の近い必要本数の試験片21を選択することが可能である。
By using the moisture displacement measuring apparatus 1 of the present embodiment, for example, a composite material such as carbon fiber reinforced plastic (CFRP) when moving from a normal humidity environment on the ground to a humidity 0% environment in outer space can be used. The amount of moisture deformation can be measured.
According to the present embodiment, for example, simultaneous measurement can be performed on a plurality of test pieces 21 that have absorbed moisture under the same environment, and the difference in the amount of deformation in exhaust can be compared.
According to the present embodiment, for example, it is possible to perform measurement on a plurality of test pieces 21 that are greater than or equal to the required number, and to select the required number of test pieces 21 that have a relatively small amount of deformation of exhaust moisture.
According to the present embodiment, for example, it is possible to perform measurement on a plurality of test pieces 21 that are equal to or greater than the required number, and to select the required number of test pieces 21 that are close to the amount of moisture deformation.

以上説明したように、本実施形態によれば、複数の試験片21の排湿変形量を同時に測定することが可能な排湿変形量測定装置1を提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide the moisture displacement measuring apparatus 1 that can simultaneously measure the moisture displacement amount of the plurality of test pieces 21.

(設計変更)
本発明は上記実施形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜設計変更が可能である。
(Design changes)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and design changes can be made as appropriate without departing from the spirit of the present invention.

1 排湿変形量測定装置
10 ドライボックス
10A 光通過部
10W 壁部
20 試験片セット部
21 試験片
22 リファレンス片
31 第1ミラー
32 第2ミラー
40 レーザ光出射装置
41 レーザヘッド
50 光分岐光学系
51 ビームスプリッタ
60 レーザ干渉計
71 環境センサ
72 質量計
73 クーポン片
80 除振定盤
90 記録装置
E1 一端面
E2 他端面
L レーザ光
R1 第1反射光
R2 第2反射光
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dehumidification deformation measuring apparatus 10 Dry box 10A Light passage part 10W Wall part 20 Test piece set part 21 Test piece 22 Reference piece 31 First mirror 32 Second mirror 40 Laser light emitting device 41 Laser head 50 Optical branching optical system 51 Beam splitter 60 Laser interferometer 71 Environmental sensor 72 Mass meter 73 Coupon piece 80 Anti-vibration surface plate 90 Recording device E1 One end face E2 The other end face L Laser light R1 First reflected light R2 Second reflected light

Claims (4)

複数の試験片の排湿変形量を測定する排湿変形量測定装置であって、
内部に、あらかじめ吸湿された複数の試験片とリファレンス片とがセットされる試験片セット部と、各々が個々の前記試験片及び前記リファレンス片の一端面に対向配置された複数のレーザ干渉計とを有するドライボックスと、
前記ドライボックスの外部に配置されたレーザ光出射装置とを備え、
前記ドライボックスの壁部に、前記レーザ光出射装置から出射されたレーザ光を前記ドライボックスの内部に導く光通過部が形成され、
前記ドライボックスの内部に、前記光通過部を通して前記ドライボックスの内部に入射した前記レーザ光を分岐させ、個々の前記レーザ干渉計に入射させる光分岐光学系と、各々が個々の前記試験片及び前記リファレンス片の一端面に取り付けられる複数の第1ミラーと、各々が個々の前記試験片及び前記リファレンス片の他端面に取り付けられる複数の第2ミラーとが備えられ、
前記レーザ干渉計は、前記第1ミラーで反射された第1の反射光と前記第2ミラーで反射された第2の反射光との干渉縞を検出する、
排湿変形量測定装置。
A dehumidification deformation measuring device for measuring the dehumidification deformation of a plurality of test pieces,
Inside, a plurality of test pieces set in advance and a test piece set part in which a reference piece is set, and a plurality of laser interferometers, each of which is arranged to face one end face of each of the test piece and the reference piece A dry box having
A laser beam emitting device disposed outside the dry box;
On the wall portion of the dry box, a light passage portion that guides the laser light emitted from the laser light emitting device to the inside of the dry box is formed,
A light branching optical system for branching the laser light incident on the inside of the dry box through the light passing portion into the inside of the dry box and entering each of the laser interferometers, and each test piece and A plurality of first mirrors attached to one end face of the reference piece, and a plurality of second mirrors each attached to the individual test piece and the other end face of the reference piece,
The laser interferometer detects interference fringes between the first reflected light reflected by the first mirror and the second reflected light reflected by the second mirror;
Dehumidification deformation measuring device.
前記ドライボックスの内部にさらに、前記試験片と同じ条件であらかじめ吸湿され、前記試験片と同材質のクーポン片の質量を測定する質量計が備えられた、
請求項1に記載の排湿変形量測定装置。
In addition, the dry box was further preliminarily moisture-absorbed under the same conditions as the test piece, and provided with a mass meter for measuring the mass of the coupon piece of the same material as the test piece.
The exhaust-humidity deformation measuring apparatus according to claim 1.
前記ドライボックスが除振定盤上に載置された、
請求項1又は2に記載の排湿変形量測定装置。
The dry box was placed on a vibration isolation platen,
The exhaust-humidity deformation measuring device according to claim 1 or 2.
さらに、前記レーザ干渉計により測定されたデータを記録する記録装置を備えた、
請求項1〜3のいずれかに記載の排湿変形量測定装置。
And a recording device for recording data measured by the laser interferometer.
The exhaust-humidity deformation measuring device according to any one of claims 1 to 3.
JP2015088276A 2015-04-23 2015-04-23 Dehumidification deformation measuring device Active JP6550891B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015088276A JP6550891B2 (en) 2015-04-23 2015-04-23 Dehumidification deformation measuring device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015088276A JP6550891B2 (en) 2015-04-23 2015-04-23 Dehumidification deformation measuring device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016206018A true JP2016206018A (en) 2016-12-08
JP6550891B2 JP6550891B2 (en) 2019-07-31

Family

ID=57486999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015088276A Active JP6550891B2 (en) 2015-04-23 2015-04-23 Dehumidification deformation measuring device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6550891B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118090620A (en) * 2024-04-29 2024-05-28 北京市农林科学院智能装备技术研究中心 Soil moisture content measuring sensor and method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63274805A (en) * 1987-05-02 1988-11-11 Iwatsu Electric Co Ltd Method and device for measuring optical interference expansion coefficient
JPS63199056U (en) * 1987-06-12 1988-12-21
JP2003302358A (en) * 2002-04-09 2003-10-24 Mitsubishi Electric Corp Apparatus for measuring coefficient of linear expansion
JP2005017134A (en) * 2003-06-26 2005-01-20 Mitsubishi Electric Corp Deformation quantity measuring apparatus
JP2009250819A (en) * 2008-04-08 2009-10-29 Nippon Steel Corp Moisture content measuring device and moisture content measuring method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63274805A (en) * 1987-05-02 1988-11-11 Iwatsu Electric Co Ltd Method and device for measuring optical interference expansion coefficient
JPS63199056U (en) * 1987-06-12 1988-12-21
JP2003302358A (en) * 2002-04-09 2003-10-24 Mitsubishi Electric Corp Apparatus for measuring coefficient of linear expansion
JP2005017134A (en) * 2003-06-26 2005-01-20 Mitsubishi Electric Corp Deformation quantity measuring apparatus
JP2009250819A (en) * 2008-04-08 2009-10-29 Nippon Steel Corp Moisture content measuring device and moisture content measuring method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118090620A (en) * 2024-04-29 2024-05-28 北京市农林科学院智能装备技术研究中心 Soil moisture content measuring sensor and method

Also Published As

Publication number Publication date
JP6550891B2 (en) 2019-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107830808B (en) Calibration method and device for grating displacement sensor in high-low temperature environment
JP4776473B2 (en) Optical axis deflection laser interferometer, its calibration method, correction method, and measurement method
US7505143B2 (en) Dynamic reference plane compensation
Badami et al. Displacement measuring interferometry
JP2006317454A (en) Measurement device and method for determining relative position of positioning table arranged movable in at least one direction
JP2009300263A (en) Two-wavelength laser interferometer and method of adjusting optical axis in the same
JP2008116352A (en) Laser type displacement measurement device and dimension variation measurement method using it
US8148691B1 (en) Calibration methodology for NDIR dew point sensors
JPH021501A (en) Laser interference length measuring machine and positioning method using the same machine
JP2008145203A5 (en)
US20150176973A1 (en) A dual interferometer system with a short reference flat distance for wafer shape and thickness variation measurement
JP6550891B2 (en) Dehumidification deformation measuring device
JP3897655B2 (en) Linear expansion coefficient measuring device
US8724114B2 (en) Interferometer and distance calculation method therefor
JP4137722B2 (en) Deformation measuring device
US20070046949A1 (en) Coordinate measuring device
Decker et al. Gauge block calibration by optical interferometry at the National Research Council Canada
JP5963254B2 (en) Method and apparatus for measuring plant moisture transpiration
US9528825B2 (en) Method for calibrating a position-measuring system and position-measuring system
JP3908211B2 (en) Linear expansion coefficient measuring apparatus and linear expansion coefficient measuring method
US11378386B2 (en) Laser interference device
JP2013024748A (en) Measuring device
Renkens et al. An accurate interference refractometer based on a permanent vacuum chamber–Development and results
TWI776278B (en) Device for measuring a substrate and method for correcting cyclic error components of an interferometer
JP5361230B2 (en) Two-wavelength laser interferometer evaluation calibration method, evaluation calibration apparatus, and evaluation calibration system

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180306

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20181214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190108

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190304

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190604

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190617

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6550891

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150