JP2016180701A - Foreign substance mixing inspection device and method for inspecting the mixing - Google Patents

Foreign substance mixing inspection device and method for inspecting the mixing Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable rapid and accurate detection of a non-magnetic material mixed in a magnetic material.SOLUTION: The present invention includes: a magnetic eraser 30 demagnetizing an inspection object 10; a magnetic impedance sensor 40 generating an eddy current in a metal mixed in the demagnetized inspection target 10 and detecting magnetic impedance based on a magnetic field caused by the eddy current; and detecting means detecting metal foreign substance mixed in the inspection object based on an output from the magnetic impedance sensor 40.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、異物混入検査装置及びその方法に関するものであり、特に、磁性体の検査対象に非磁性体が混入した場合に適用すると好適な異物混入検査装置及びその方法に関するものである。   The present invention relates to a foreign matter contamination inspection apparatus and method, and more particularly, to a foreign matter contamination inspection device and method suitable for application when a nonmagnetic material is mixed in an inspection target of a magnetic material.

従来、X線を用いた非磁性体異物検出については、特許文献1に記載がある。しかしながら、X線を用いた場合にはゆっくりとしたスピードでの処理となる問題があった。また、特許文献2には固体撮像素子を用いて非磁性体異物検出を行うことが開示されている。しかしながら、これは透明体中から異物を検出するものであり、特定の色との関係がなければ検出ができないという問題があった。   Conventionally, non-magnetic foreign matter detection using X-rays is described in Patent Document 1. However, when X-rays are used, there is a problem that processing is performed at a slow speed. Patent Document 2 discloses that nonmagnetic foreign matter detection is performed using a solid-state imaging device. However, this detects foreign matter from the transparent body, and there is a problem that it cannot be detected unless there is a relationship with a specific color.

更に、特許文献3には磁性金属、非磁性金属の検出を行う磁気センサ装置が開示されている。更に、特許文献4には、消磁を行った後に異物検出を行うものが開示されている。   Further, Patent Document 3 discloses a magnetic sensor device that detects magnetic metal and non-magnetic metal. Further, Patent Document 4 discloses a technique for detecting foreign matter after demagnetization.

しかしながら、上記の特許文献3、4に記載された装置はいずれも装置が複雑であり、高価となるという問題があった。   However, the devices described in Patent Documents 3 and 4 have a problem that the devices are complicated and expensive.

特開2005−342651号公報JP 2005-342651 A 特開平7−116611号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-116611 特開2014−10118号公報JP 2014-10118 A 特開2012−138318号公報JP 2012-138318 A

本発明は、上記のような異物混入検査装置の現状に鑑みてなされたもので、その目的は、磁性体に非磁性体が混入した場合に、適切に高速で検出可能であり、構成が簡素で安価である異物混入検査装置及びその方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the present situation of the foreign matter contamination inspection apparatus as described above, and the object thereof is to appropriately detect at high speed when a non-magnetic material is mixed in a magnetic material, and to simplify the configuration. It is an object to provide a foreign substance contamination inspection apparatus and method that are inexpensive and inexpensive.

本発明に係る異物混入検査装置は、検査対象物を消磁する消磁器と、消磁後の検査対象物に混入した金属に渦電流を生じさせて渦電流による磁界に基づき磁気インピーダンスを検出する磁気インピーダンスセンサと、前記磁気インピーダンスセンサの出力に基づき前記検査対象物に混入した金属異物を検出する検出手段とを具備することを特徴とする。   A foreign matter contamination inspection apparatus according to the present invention includes a demagnetizer for degaussing an inspection object, and a magnetic impedance for detecting magnetic impedance based on a magnetic field caused by the eddy current by causing an eddy current in a metal mixed in the inspection object after demagnetization. The sensor comprises: a sensor; and a detecting means for detecting a metal foreign object mixed in the inspection object based on the output of the magnetic impedance sensor.

本発明に係る異物混入検査装置では、磁気インピーダンスセンサは、渦電流発生部を有し、この渦電流発生部に交流を印加して渦電流を生じさせることを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection apparatus according to the present invention, the magnetic impedance sensor has an eddy current generator, and an eddy current is generated by applying an alternating current to the eddy current generator.

本発明に係る異物混入検査装置では、検査対象物は磁性体であり、金属異物は非磁性体であることを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection apparatus according to the present invention, the inspection object is a magnetic material, and the metal foreign material is a nonmagnetic material.

本発明に係る異物混入検査装置では、検査対象物は所定幅を有し、1つまたは複数の磁気インピーダンスセンサを用い、前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンすることを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection apparatus according to the present invention, the inspection object has a predetermined width, and scans in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width using one or a plurality of magnetic impedance sensors.

本発明に係る異物混入検査装置では、検査対象物は所定幅を有し、複数の磁気インピーダンスセンサを用い、2つのセンサが干渉しない距離に隣接するセンサを離間させて配置して検出を行うことを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection apparatus according to the present invention, the inspection object has a predetermined width, and a plurality of magnetic impedance sensors are used, and the sensors adjacent to each other at a distance where the two sensors do not interfere with each other are separated and detected. It is characterized by.

本発明に係る異物混入検査装置では、前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンし、前記複数のセンサを、前記幅方向に直線状に並べて、一つおきにスキャン方向にジグザグに並べて、配置して検出を行うことを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection apparatus according to the present invention, scanning is performed in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width, the plurality of sensors are arranged linearly in the width direction, and arranged alternately in the scan direction, It arranges and performs detection.

本発明に係る異物混入検査装置では、前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンし、隣接するセンサをスキャン方向に所定寸法ずつずらして直線状に並べて、配置して検出を行うことを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection apparatus according to the present invention, scanning is performed in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width, and adjacent sensors are arranged in a straight line by shifting by a predetermined dimension in the scanning direction, and are detected by being arranged. And

本発明に係る異物混入検査方法は、検査対象物を消磁する消磁ステップと、消磁後の検査対象物に混入した金属に渦電流を生じさせて渦電流による磁界に基づき磁気インピーダンスセンサにより磁気インピーダンスを検出する磁気インピーダンス検出ステップと、前記磁気インピーダンスセンサの出力に基づき前記検査対象物に混入した金属異物を検出する異物検出ステップとを具備することを特徴とする。   The foreign matter contamination inspection method according to the present invention includes a degaussing step for degaussing the inspection object, and an eddy current generated in the metal mixed in the inspection object after demagnetization, and the magnetic impedance is measured by the magnetic impedance sensor based on the magnetic field due to the eddy current. It comprises a magnetic impedance detection step for detecting, and a foreign matter detection step for detecting a metallic foreign matter mixed in the inspection object based on the output of the magnetic impedance sensor.

本発明に係る異物混入検査方法は、磁気インピーダンス検出ステップでは、磁気インピーダンスセンサの渦電流発生部に交流を印加して渦電流を生じさせて検出を行うことを特徴とする。   The foreign matter contamination inspection method according to the present invention is characterized in that, in the magnetic impedance detection step, detection is performed by applying an alternating current to an eddy current generator of the magnetic impedance sensor to generate an eddy current.

本発明に係る異物混入検査方法では、検査対象物は磁性体であり、金属異物は非磁性体であることを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection method according to the present invention, the inspection object is a magnetic material, and the metal foreign material is a non-magnetic material.

本発明に係る異物混入検査方法では、検査対象物は所定幅を有し、1つまたは複数の磁気インピーダンスセンサを用い、前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンすることにより検査を行うことを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection method according to the present invention, the inspection object has a predetermined width, and the inspection is performed by scanning in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width using one or a plurality of magnetic impedance sensors. It is characterized by.

本発明に係る異物混入検査方法では、検査対象物は所定幅を有し、複数の磁気インピーダンスセンサを用い、2つのセンサが干渉しない距離に隣接するセンサを離間させて配置して検出を行うことを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection method according to the present invention, the inspection object has a predetermined width, and a plurality of magnetic impedance sensors are used, and the adjacent sensors are arranged apart from each other so that the two sensors do not interfere with each other. It is characterized by.

本発明に係る異物混入検査方法では、前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンし、前記複数のセンサを、前記幅方向に直線状に並べて、一つおきにスキャン方向にジグザグに並べて、配置して検出を行うことを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection method according to the present invention, scanning is performed in a direction perpendicular to the width direction of the predetermined width, the plurality of sensors are arranged linearly in the width direction, and arranged alternately in a zigzag in the scan direction, It arranges and performs detection.

本発明に係る異物混入検査方法では、前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンし、隣接するセンサをスキャン方向に所定寸法ずつずらして直線状に並べて、配置して検出を行うことを特徴とする。   In the foreign matter contamination inspection method according to the present invention, scanning is performed in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width, and adjacent sensors are arranged in a straight line with a predetermined dimension shifted in the scanning direction, and are detected by being arranged. And

本発明によれば、検査対象物を消磁し、消磁後の検査対象物に混入した金属に渦電流を生じさせて渦電流による磁界に基づき磁気インピーダンスセンサを用いて磁気インピーダンスを検出し、その出力に基づき上記検査対象物に混入した金属異物を検出するので、異物を適切に高速で検出可能であり、構成が簡素で安価である。   According to the present invention, the test object is demagnetized, eddy current is generated in the metal mixed in the test object after demagnetization, and the magnetic impedance is detected using the magnetic impedance sensor based on the magnetic field due to the eddy current, and the output Therefore, the foreign object can be detected appropriately at high speed, and the configuration is simple and inexpensive.

本発明の実施形態に係る異物混入検査装置の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the foreign material mixing inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る異物混入検査装置の構成を示す要部平面図。The principal part top view which shows the structure of the foreign material mixing inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の異物混入検査装置の磁気インピーダンスセンサを複数設けて構成した要部を示す、第1の実施形態の平面図。The top view of 1st Embodiment which shows the principal part which provided and comprised two or more the magnetic impedance sensors of the foreign material mixing inspection apparatus of this invention. 本発明の異物混入検査装置の磁気インピーダンスセンサを複数設けて構成した要部を示す、第2の実施形態の平面図。The top view of 2nd Embodiment which shows the principal part which provided and comprised the multiple magnetic impedance sensor of the foreign material mixing inspection apparatus of this invention. 本発明の実施形態に係る異物混入検査装置による測定結果を示す図。The figure which shows the measurement result by the foreign material mixing inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る異物混入検査装置による測定結果を示す図。The figure which shows the measurement result by the foreign material mixing inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention.

以下添付図面を参照して本発明に係る異物混入検査装置及び異物混入検査方法の実施形態を説明する。図1には、実施形態に係る異物混入検査装置の構成図が示されている。異物混入検査装置は、検査対象物10を例えば布などの絶縁物で構成される搬送路を有するベルトコンベアなどの搬送装置20により搬送する。搬送路には、消磁器30が設けられており、搬送されてくる検査対象物10を消磁する。消磁器30としては、公知のものを使用することができる。   Embodiments of a foreign matter contamination inspection apparatus and foreign matter contamination inspection method according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a configuration diagram of a foreign matter contamination inspection apparatus according to an embodiment. The foreign matter mixing inspection apparatus conveys the inspection object 10 by a conveyance apparatus 20 such as a belt conveyor having a conveyance path made of an insulating material such as cloth. A demagnetizer 30 is provided on the conveyance path, and demagnetizes the inspection object 10 being conveyed. As the demagnetizer 30, a publicly known one can be used.

消磁された検査対象物10が搬送されてゆく先には、磁気インピーダンスセンサ40が設けられている。つまり、図2の搬送路の平面図に示すように、消磁器30と磁気インピーダンスセンサ40が配置されている。矢印Xは、検査対象物10の搬送方向を示している。磁気インピーダンスセンサ40は、検査対象物10に対向しており、両者は離間している。   A magnetic impedance sensor 40 is provided at the point where the demagnetized inspection object 10 is conveyed. That is, the demagnetizer 30 and the magnetic impedance sensor 40 are arranged as shown in the plan view of the conveyance path in FIG. An arrow X indicates the conveyance direction of the inspection object 10. The magnetic impedance sensor 40 faces the inspection object 10 and is separated from each other.

磁気インピーダンスセンサ40には、図2の紙面方向に磁界を発生して、消磁後の検査対象物10に混入した金属に渦電流を生じさせる図示しない渦電流発生部が設けられており、この渦電流発生部に交流を励起信号として印加することにより渦電流を発生させる。渦電流発生部は、コイルにより構成することができる。磁気インピーダンスセンサ40には、上記渦電流による磁界に基づき磁気インピーダンスを検出するものである。即ち、上記渦電流は逆磁場を発生するので、この逆磁場による磁界が磁気インピーダンスセンサ40のインピーダンスを変化させる。磁気インピーダンスセンサ40は、インピーダンスが変化することによる電圧の変化を出力とする。   The magnetic impedance sensor 40 is provided with an eddy current generator (not shown) that generates a magnetic field in the paper plane direction of FIG. 2 and generates eddy currents in the metal mixed in the inspection object 10 after demagnetization. An eddy current is generated by applying alternating current as an excitation signal to the current generator. The eddy current generating part can be constituted by a coil. The magnetic impedance sensor 40 detects magnetic impedance based on the magnetic field generated by the eddy current. That is, since the eddy current generates a reverse magnetic field, the magnetic field generated by the reverse magnetic field changes the impedance of the magnetic impedance sensor 40. The magnetic impedance sensor 40 outputs a change in voltage due to a change in impedance.

磁気インピーダンスセンサ40の出力は、増幅器50へ送られる。増幅器50は、磁気インピーダンスセンサ40の出力である電圧を増幅してコンピュータ60へ送出する。コンピュータ60は、磁気インピーダンスセンサ40の出力をディジタル化して取り込み、このディジタルデータに基づき上記検査対象物10に混入した金属異物を検出する検出手段として機能する。   The output of the magnetic impedance sensor 40 is sent to the amplifier 50. The amplifier 50 amplifies the voltage that is the output of the magnetic impedance sensor 40 and sends it to the computer 60. The computer 60 functions as a detection unit that digitizes and captures the output of the magnetic impedance sensor 40 and detects metal foreign matter mixed in the inspection object 10 based on the digital data.

磁気インピーダンスセンサ40の出力であるディジタルデータは、検査対象物10に混入した金属異物の部分において、通常よりも大きく変動する。この変動を捕らえて異物と判定する。所定の閾値を用いて異物と判定することができる。   The digital data that is the output of the magnetic impedance sensor 40 fluctuates more than usual in the portion of the metallic foreign matter mixed in the inspection object 10. This change is captured and determined as a foreign object. A foreign object can be determined using a predetermined threshold.

上記において、検査対象物10は磁性体であり、金属異物は非磁性体とすることができる。より具体的には、検査対象物10はニッケル水素電池の正極である網状ニッケルであり、金属異物を銅とすることができる。また、検査対象物10は、ニッケル水素電池の正極以外に、ニッケル水素電池の負極やセパレータであっても良く、更には、リチウムイオン電池の正極以外に、負極やセパレータであっても良い。セパレータは、非金属であるが、このような非金属に非磁性体が混入した場合にも検出可能である。また、検査対象物10は上記の例では、固体であるが、液体や粉体であっても良い。液体の場合には、検査対象物を樋などに流して異物混入検査することができる。非磁性金属異物が検査対象物中に入っている場合でも、またセンサから見て検査対象物の裏側に混入し場合など、見えない場合でも、本願発明は検査対象物10に非接触で確実に金属異物を検出できる。   In the above, the inspection object 10 can be a magnetic body, and the metal foreign object can be a non-magnetic body. More specifically, the inspection object 10 is reticulated nickel which is a positive electrode of a nickel metal hydride battery, and the metal foreign matter can be copper. In addition to the positive electrode of the nickel metal hydride battery, the test object 10 may be a negative electrode or separator of a nickel metal hydride battery, and may be a negative electrode or separator other than the positive electrode of the lithium ion battery. The separator is non-metallic, but it can also be detected when a non-magnetic material is mixed in such non-metallic material. Further, the inspection object 10 is solid in the above example, but may be liquid or powder. In the case of a liquid, the object to be inspected can be inspected by pouring the inspection object into a bag or the like. Even when non-magnetic metal foreign matter is contained in the inspection object or when it is not visible, such as when it is mixed with the back side of the inspection object as viewed from the sensor, the present invention reliably ensures that the inspection object 10 is not contacted. Metal foreign objects can be detected.

また、図2に示すように、検査対象物10は所定幅Wを有するとき、Wが1つの磁気インピーダンスセンサ40の検出範囲にあるときには、1つの磁気インピーダンスセンサ40を用いることができる。Wが1つの磁気インピーダンスセンサ40の検出範囲を超える場合には、複数の磁気インピーダンスセンサ40を用いることができる。磁気インピーダンスセンサ40によって、所定幅Wの幅方向と直交する方向にスキャンする。   As shown in FIG. 2, when the inspection object 10 has a predetermined width W, one magnetic impedance sensor 40 can be used when W is within the detection range of one magnetic impedance sensor 40. When W exceeds the detection range of one magnetic impedance sensor 40, a plurality of magnetic impedance sensors 40 can be used. The magnetic impedance sensor 40 scans in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width W.

上記スキャンは、本実施例では、搬送装置20により、検査対象物10が搬送されて行われるが、消磁器30や磁気インピーダンスセンサ40を移動させることによりスキャンを行うようにしても良い。複数の磁気インピーダンスセンサ40を用いる場合には、2つのセンサ40が干渉しない距離に隣接するセンサ40を離間させて配置して検出を行う。   In the present embodiment, the scan is performed by transporting the inspection object 10 by the transport device 20. However, the scan may be performed by moving the demagnetizer 30 or the magnetic impedance sensor 40. When a plurality of magnetic impedance sensors 40 are used, the detection is performed by arranging the adjacent sensors 40 apart from each other so that the two sensors 40 do not interfere with each other.

具体例としての第1の実施形態では、上記所定幅Wの幅方向と直交する方向にスキャンし、図3に示すように、複数のセンサ40−1〜40−8を、上記幅方向Wに直線状に並べて、一つおきにスキャン方向にジグザグに並べて、配置して検出を行う。図の上下方向に隣接するセンサがスキャン方向に寸法sだけずれて配置される。複数のセンサ40−1〜40−8は、プラスチックなどの絶縁部材70にモールドして固定することができる。   In the first embodiment as a specific example, scanning is performed in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width W, and a plurality of sensors 40-1 to 40-8 are arranged in the width direction W as shown in FIG. The detection is performed by arranging them in a straight line and arranging them in a zigzag pattern every other scanning direction. Sensors adjacent to each other in the vertical direction in the figure are displaced by a dimension s in the scanning direction. The plurality of sensors 40-1 to 40-8 can be molded and fixed to an insulating member 70 such as plastic.

具体例としての第2の実施形態では、上記所定幅Wの幅方向と直交する方向にスキャンし、隣接するセンサをスキャン方向に所定寸法ずつずらして直線状に並べて、配置して検出を行う。例えば、図4に示すよう、複数のセンサ40−1〜40−8を、図の下側のセンサほど寸法kづつ右側へずれた位置にあり、複数のセンサ40−1〜40−8が斜めに直線状に並べられる。   In the second embodiment as a specific example, scanning is performed in a direction perpendicular to the width direction of the predetermined width W, and adjacent sensors are arranged in a straight line by shifting by a predetermined dimension in the scanning direction and are detected. For example, as shown in FIG. 4, the plurality of sensors 40-1 to 40-8 are shifted to the right by the size k as the lower sensor in the figure, and the plurality of sensors 40-1 to 40-8 are slanted. Are arranged in a straight line.

複数のセンサ40−1〜40−8を用いた場合には、その出力は夫々異なる増幅器50に送出し、複数の増幅器50の出力は1つのコンピュータ60へ与えることができる。コンピュータ60は、複数の磁気インピーダンスセンサ40−1〜40−8の出力をディジタル化して取り込み、それぞれのディジタルデータに基づき上記検査対象物10に混入した金属異物をそれぞれ検出する検出手段として機能する。従って、幅方向に複数の金属異物がある場合には、複数のディジタルデータに反応が現れるので、漏れなく異物検出が可能となる。   When a plurality of sensors 40-1 to 40-8 are used, their outputs are sent to different amplifiers 50, and the outputs of the plurality of amplifiers 50 can be given to one computer 60. The computer 60 functions as detection means for digitizing and capturing the outputs of the plurality of magnetic impedance sensors 40-1 to 40-8 and detecting the metal foreign matter mixed in the inspection object 10 based on the respective digital data. Therefore, when there are a plurality of metal foreign objects in the width direction, a reaction appears in a plurality of digital data, so that the foreign object can be detected without omission.

図5に、1つの磁気インピーダンスセンサ40を用いて検査対象物Ni(スポンジ状Niシート)上に、異物であるCuを検出した結果のグラフを示す。測定条件を表1に示す。   FIG. 5 shows a graph of the result of detecting Cu, which is a foreign substance, on the inspection object Ni (sponge-like Ni sheet) using one magnetic impedance sensor 40. Table 1 shows the measurement conditions.

Figure 2016180701
Figure 2016180701

測定開始から概ね77mmの位置で大きな出力変動が観測され、概ね82mmの位置で収束している。磁性体に混入した非磁性体異物を的確に検出することが可能であることが分かる。   A large output fluctuation is observed at a position of approximately 77 mm from the start of measurement, and is converged at a position of approximately 82 mm. It can be seen that it is possible to accurately detect the non-magnetic foreign matter mixed in the magnetic material.

図6は、1つの磁気インピーダンスセンサ40を幅方向にスキャンする機構を備えた装置を用いて検査を行った結果を示す。磁気インピーダンスセンサ40を、表1の条件で用いた。図6の線分J1は、最も感度が高く、当該位置に非磁性体異物が混入しているとみられる場合の測定結果であり、線分J2は線分J1を得た測定位置から0.5mm幅方向のいずれか側へ磁気インピーダンスセンサ40を移動させたときの測定結果である。また、線分J3は、線分J1を得た測定位置から線分J2の測定位置とは逆側の0.5mm幅方向へ磁気インピーダンスセンサ40を移動させたときの測定結果を示している。このように、1つの磁気インピーダンスセンサ40を用いて幅方向へスキャンを行い、異物検査が可能である。   FIG. 6 shows the result of inspection using an apparatus having a mechanism for scanning one magnetic impedance sensor 40 in the width direction. The magnetic impedance sensor 40 was used under the conditions shown in Table 1. The line segment J1 in FIG. 6 has the highest sensitivity and is a measurement result when it is considered that nonmagnetic foreign matter is mixed in the position. The line segment J2 is 0.5 mm from the measurement position where the line segment J1 was obtained. It is a measurement result when moving the magnetic impedance sensor 40 to either side of the width direction. A line segment J3 shows a measurement result when the magnetic impedance sensor 40 is moved in the 0.5 mm width direction opposite to the measurement position of the line segment J2 from the measurement position where the line segment J1 is obtained. In this way, the foreign matter inspection can be performed by scanning in the width direction using one magnetic impedance sensor 40.

上記の幅方向へのスキャン機構としては、幅方向へ延びるレールを搬送路に設け、このレール上を例えばステッピングモータで移動するキャリアをレール上に設け、このキャリアに磁気インピーダンスセンサ40を設けて、ステッピングモータを制御する制御装置を備えたものを採用することができる。   As the scanning mechanism in the width direction, a rail extending in the width direction is provided in the conveyance path, a carrier that moves on the rail by, for example, a stepping motor is provided on the rail, and a magnetic impedance sensor 40 is provided on the carrier. The thing provided with the control apparatus which controls a stepping motor is employable.

10 検査対象物
20 搬送装置
30 消磁器
40、40−1〜40―8 磁気インピーダンスセンサ
50 増幅器
60 コンピュータ
70 絶縁部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection object 20 Conveyance apparatus 30 Demagnetizer 40, 40-1 to 40-8 Magnetic impedance sensor 50 Amplifier 60 Computer 70 Insulating member

Claims (14)

検査対象物を消磁する消磁器と、
消磁後の検査対象物に混入した金属に渦電流を生じさせて渦電流による磁界に基づき磁気インピーダンスを検出する磁気インピーダンスセンサと、
前記磁気インピーダンスセンサの出力に基づき前記検査対象物に混入した金属異物を検出する検出手段と
を具備することを特徴とする異物混入検査装置。
A degausser that degausses the inspection object;
A magnetic impedance sensor for detecting magnetic impedance based on a magnetic field caused by eddy current by generating eddy current in the metal mixed in the inspection object after demagnetization;
A foreign matter contamination inspection apparatus, comprising: a detecting unit that detects metal foreign matter mixed in the inspection object based on an output of the magnetic impedance sensor.
磁気インピーダンスセンサは、渦電流発生部を有し、この渦電流発生部に交流を印加して渦電流を生じさせることを特徴とする請求項1に記載の異物混入検査装置。   2. The foreign matter contamination inspection apparatus according to claim 1, wherein the magnetic impedance sensor includes an eddy current generation unit, and generates an eddy current by applying an alternating current to the eddy current generation unit. 検査対象物は磁性体であり、金属異物は非磁性体であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の異物混入検査装置。   The foreign matter contamination inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein the inspection object is a magnetic material, and the metal foreign material is a nonmagnetic material. 検査対象物は所定幅を有し、1つまたは複数の磁気インピーダンスセンサを用い、前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異物混入検査装置。   The inspection object has a predetermined width, and scans in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width using one or a plurality of magnetic impedance sensors. The foreign matter contamination inspection device described. 検査対象物は所定幅を有し、複数の磁気インピーダンスセンサを用い、2つのセンサが干渉しない距離に隣接するセンサを離間させて配置して検出を行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異物混入検査装置。   The inspection object has a predetermined width, and a plurality of magneto-impedance sensors are used, and detection is performed by arranging the sensors adjacent to each other at a distance where the two sensors do not interfere with each other. The foreign matter contamination inspection apparatus according to any one of the above items. 前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンし、前記複数のセンサを、前記幅方向に直線状に並べて、一つおきにスキャン方向にジグザグに並べて、配置して検出を行うことを特徴とする請求項5に記載の異物混入検査装置。   Scanning in a direction perpendicular to the width direction of the predetermined width, and detecting the plurality of sensors arranged in a straight line in the width direction and arranged in a zigzag manner in every other scan direction. The foreign matter contamination inspection apparatus according to claim 5. 前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンし、隣接するセンサをスキャン方向に所定寸法ずつずらして直線状に並べて、配置して検出を行うことを特徴とする請求項5に記載の異物混入検査装置。   6. Foreign matter contamination according to claim 5, wherein scanning is performed in a direction perpendicular to the width direction of the predetermined width, and adjacent sensors are detected by being arranged in a straight line with a predetermined dimension shifted in the scanning direction. Inspection device. 検査対象物を消磁する消磁ステップと、
消磁後の検査対象物に混入した金属に渦電流を生じさせて渦電流による磁界に基づき磁気インピーダンスセンサにより磁気インピーダンスを検出する磁気インピーダンス検出ステップと、
前記磁気インピーダンスセンサの出力に基づき前記検査対象物に混入した金属異物を検出する異物検出ステップと
を具備することを特徴とする異物混入検査方法。
A degaussing step for degaussing the inspection object;
A magnetic impedance detection step of generating an eddy current in the metal mixed in the inspection object after demagnetization and detecting the magnetic impedance by a magnetic impedance sensor based on the magnetic field due to the eddy current;
A foreign matter detection method, comprising: a foreign matter detection step of detecting a metallic foreign matter mixed in the inspection object based on an output of the magnetic impedance sensor.
磁気インピーダンス検出ステップでは、磁気インピーダンスセンサの渦電流発生部に交流を印加して渦電流を生じさせて検出を行うことを特徴とする請求項8に記載の異物混入検査方法。   9. The foreign matter contamination inspection method according to claim 8, wherein, in the magnetic impedance detection step, detection is performed by applying an alternating current to an eddy current generator of the magnetic impedance sensor to generate an eddy current. 検査対象物は磁性体であり、金属異物は非磁性体であることを特徴とする請求項8または請求項9に記載の異物混入検査方法。   10. The foreign matter contamination inspection method according to claim 8, wherein the inspection object is a magnetic material, and the metal foreign material is a non-magnetic material. 検査対象物は所定幅を有し、1つまたは複数の磁気インピーダンスセンサを用い、前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンすることにより検査を行うことを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の異物混入検査方法。   11. The inspection object has a predetermined width, and the inspection is performed by scanning in a direction orthogonal to the width direction of the predetermined width using one or a plurality of magneto-impedance sensors. The foreign matter contamination inspection method according to any one of the above items. 検査対象物は所定幅を有し、複数の磁気インピーダンスセンサを用い、2つのセンサが干渉しない距離に隣接するセンサを離間させて配置して検出を行うことを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の異物混入検査方法。   The inspection object has a predetermined width, and a plurality of magneto-impedance sensors are used, and detection is performed by arranging sensors adjacent to each other at a distance where the two sensors do not interfere with each other. The foreign matter contamination inspection method according to any one of the above items. 前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンし、前記複数のセンサを、前記幅方向に直線状に並べて、一つおきにスキャン方向にジグザグに並べて、配置して検出を行うことを特徴とする請求項12に記載の異物混入検査方法。   Scanning in a direction perpendicular to the width direction of the predetermined width, and detecting the plurality of sensors arranged in a straight line in the width direction and arranged in a zigzag manner in every other scan direction. The foreign matter contamination inspection method according to claim 12. 前記所定幅の幅方向と直交する方向にスキャンし、隣接するセンサをスキャン方向に所定寸法ずつずらして直線状に並べて、配置して検出を行うことを特徴とする請求項12に記載の異物混入検査装置。


13. The foreign matter contamination according to claim 12, wherein scanning is performed in a direction perpendicular to the width direction of the predetermined width, and adjacent sensors are detected by being arranged in a straight line with a predetermined dimension shifted in the scanning direction. Inspection device.


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