JP2016177856A - Magnetic head device - Google Patents

Magnetic head device Download PDF

Info

Publication number
JP2016177856A
JP2016177856A JP2015058496A JP2015058496A JP2016177856A JP 2016177856 A JP2016177856 A JP 2016177856A JP 2015058496 A JP2015058496 A JP 2015058496A JP 2015058496 A JP2015058496 A JP 2015058496A JP 2016177856 A JP2016177856 A JP 2016177856A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
suspension
joint
spacer
load beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015058496A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6435942B2 (en
Inventor
崇 川島
Takashi Kawashima
崇 川島
水野 亨
Toru Mizuno
亨 水野
五十嵐 克彦
Katsuhiko Igarashi
克彦 五十嵐
誠 折笠
Makoto Origasa
誠 折笠
英利 鈴木
Hidetoshi Suzuki
英利 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2015058496A priority Critical patent/JP6435942B2/en
Priority to US15/071,881 priority patent/US9514772B2/en
Publication of JP2016177856A publication Critical patent/JP2016177856A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6435942B2 publication Critical patent/JP6435942B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head device excellent in the bond strength of an arm and a suspension, and highly accurate in size and shape.SOLUTION: A magnetic head device 2 comprises: an arm 4; a suspension 8 overlapping on a tip of the arm 4; a slider 10 positioned at the tip of the suspension 8; a first junction 12 positioned between the tip of the arm 4 and the suspension 8, and bonding the arm 4 and the suspension 8. The first junction 12 contains Sn or resin-based adhesive. At least one joint surface 4A of an arm-side joint surface 4A and a suspension-side joint surface 8A includes a first overlapping area 4Aa overlapping on the other joint surface 8A and a first non-overlapping area 4Ab not overlapping on the other joint surface 8A. The first junction 12 is in contact with both the arm 4 and the suspension 8 on the first overlapping area 4Aa, and a part of the first junction 12 extends to at least part of the first non-overlapping area 4Ab.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、磁気ヘッド装置に関する。   The present invention relates to a magnetic head device.

磁気ディスク装置では、ヘッドスタックアセンブリ(HSA; Head Stack Assembly)が磁気記録の読み書きを行う。HSAは、例えば、複数のアーム(arm)を有するキャリッジ(carriage)と、各アームに接合されたヘッドジンバルアセンブリ(HGA; Head Gimbal Assembly)と、を備える。HGAは、アームの先端部に接合されるサスペンション(suspensiоn)と、サスペンションの先端部に位置するスライダ(slider)と、を有する。スライダには、磁気ヘッド(例えば、薄膜磁気ヘッド)が組み込まれている。複数のアームを有するキャリッジ(E字型のキャリッジ)は、E−ブロックと呼ばれることがある。   In the magnetic disk device, a head stack assembly (HSA) reads and writes magnetic recording. The HSA includes, for example, a carriage having a plurality of arms, and a head gimbal assembly (HGA) joined to each arm. The HGA has a suspension joined to the tip of the arm, and a slider positioned at the tip of the suspension. A magnetic head (for example, a thin film magnetic head) is incorporated in the slider. A carriage having a plurality of arms (E-shaped carriage) may be referred to as an E-block.

従来、アームとサスペンションとを接合する主な方法として、下記特許文献1に記載されているような嵌合接合が知られている。下記特許文献1に記載の方法では、サスペンションにフランジを形成し、アームに嵌め孔を形成する。フランジの位置と嵌め孔の位置を合わせて、サスペンションのフランジをアームの嵌め孔に嵌め込む。続いて、加圧シャフトにより、金属ボールをフランジの孔から導入し、各孔内を通過させる。金属ボールの直径は、フランジの孔の最小径よりも大きいので、サスペンションのフランジが金属ボールにより押し曲げられ、フランジがアームに押し付けられる。つまり、カシメ(swaging又はcaulking)を行う。これらの手順を経て、アームとサスペンションとが接合される。   Conventionally, as a main method for joining an arm and a suspension, fitting joining as described in Patent Document 1 is known. In the method described in Patent Document 1 below, a flange is formed on the suspension and a fitting hole is formed on the arm. Match the position of the flange with the position of the fitting hole, and fit the flange of the suspension into the fitting hole of the arm. Subsequently, the metal ball is introduced from the hole of the flange by the pressure shaft, and is passed through each hole. Since the diameter of the metal ball is larger than the minimum diameter of the hole of the flange, the suspension flange is pushed and bent by the metal ball, and the flange is pressed against the arm. That is, swaging (caulking) is performed. Through these procedures, the arm and the suspension are joined.

また、嵌合接合以外の接合方法も知られている。例えば、下記特許文献2には、接合光線(YAGレーザー)の照射によりサスペンション及びアームを接合することが記載されている。   Moreover, joining methods other than fitting joining are also known. For example, Patent Document 2 below describes joining a suspension and an arm by irradiation with a joining beam (YAG laser).

特開平5−303855号公報JP-A-5-303855 特開平7−178582号公報JP-A-7-178582

磁気ディスク装置の記憶容量を増加させるためには、装置に搭載される磁気ディスクの枚数を増やす必要がある。しかし、磁気ディスク装置の寸法(高さ)は制約される。したがって、磁気ディスクの枚数を増やすためには、アーム、サスペンション及びこれらの接合部を薄くして、アーム及びサスペンションそれぞれの間隔を狭めて、磁気ディスクを設置するための空間を拡げなければならない。   In order to increase the storage capacity of the magnetic disk device, it is necessary to increase the number of magnetic disks mounted on the device. However, the size (height) of the magnetic disk device is limited. Therefore, in order to increase the number of magnetic disks, it is necessary to thin the arms, suspensions, and their joints, and to narrow the spaces between the arms and suspensions, thereby expanding the space for installing the magnetic disks.

上記特許文献1に記載の嵌合接合の場合、アーム及びサスペンションが薄いほど、嵌める範囲(接合部)が狭くなり、接合強度が低下する。つまり、アーム及びサスペンションが薄いほど、各嵌め孔が浅くなり、接合強度が低下する。接合強度の低下に伴い、磁気ヘッドの位置が不安定になり、磁気記録の正確な読み書きが困難になる。最悪の場合、サスペンションがアームから脱離して磁気ディスク上に落下し、磁気ディスクが破損してしまう。   In the case of fitting joining described in Patent Document 1, the thinner the arm and suspension, the narrower the fitting range (joining portion), and the joining strength decreases. In other words, the thinner the arm and suspension, the shallower each fitting hole, and the bonding strength decreases. As the bonding strength decreases, the position of the magnetic head becomes unstable, and accurate reading and writing of magnetic recording becomes difficult. In the worst case, the suspension is detached from the arm and dropped onto the magnetic disk, and the magnetic disk is damaged.

また上記特許文献2に記載のレーザーを用いた接合では、レーザーのスポット内でアーム及びサスペンションが溶接される。スポットの大きさは制約されるので、接合面積(接合部)が狭くなり、信頼できる十分な接合強度が得られない。また、磁気ディスクの枚数の増加に伴い、サスペンション間の空間が狭まると、レーザーを所望の位置へ正確に照射することが困難となる。その結果、信頼できる十分な接合強度が得られない。   Moreover, in the joining using the laser of the said patent document 2, an arm and a suspension are welded in the spot of a laser. Since the size of the spot is restricted, the bonding area (bonding portion) becomes narrow, and a reliable and sufficient bonding strength cannot be obtained. Further, as the number of magnetic disks increases, the space between the suspensions becomes narrower, and it becomes difficult to accurately irradiate the laser with a desired position. As a result, reliable and sufficient bonding strength cannot be obtained.

本発明者らは、上記の問題を解決するために、アームの表面とサスペンションの表面とを、Sn(スズ)単体、又はSnを含む合金(Sn系合金)を介して接合することにより、アーム及びサスペンションの接合強度が向上することを発見した。また、本発明者らは、アームの表面とサスペンションの表面とを樹脂系接着剤により接着した場合も、アーム及びサスペンションの接合強度が向上することを発見した。Sn、Sn系合金及び樹脂系接着剤のいずれかを用いることにより、アーム及びサスペンションが面接触により接合される。したがって、アーム及びサスペンションが薄い場合であっても、優れた接合強度が実現する。   In order to solve the above problem, the present inventors joined the arm surface and the suspension surface via a Sn (tin) simple substance or an alloy containing Sn (Sn-based alloy), thereby providing an arm. It was also found that the joint strength of the suspension is improved. The present inventors have also found that the bonding strength between the arm and the suspension is improved even when the surface of the arm and the surface of the suspension are bonded with a resin adhesive. By using any of Sn, Sn-based alloy, and resin-based adhesive, the arm and the suspension are joined by surface contact. Therefore, even when the arm and suspension are thin, excellent bonding strength is realized.

しかし、本発明者らは、Sn、Sn系合金及び樹脂系接着剤のうちいずれかを用いてアーム及びサスペンションを接合する場合、以下の問題が生じることを発見した。   However, the present inventors have discovered that the following problems arise when the arm and suspension are joined using any one of Sn, Sn-based alloy, and resin-based adhesive.

アームの表面とサスペンションの表面とを、Sn又はSn系合金を介して接合する場合、溶融したSn又はSn系合金(溶融金属)が流動して、アームとサスペンションの間からはみ出し、フィレット(fillet)を形成し易い。大きなフィレットは、HSAのサイズ及び形状の精度を損なう。例えば、アーム及びサスペンション其々に貫通孔(位置決め孔)を形成して、各貫通孔の位置を合わせることにより、アーム及びサスペンションそれぞれの位置を決定することがある。しかし、各貫通孔内にフィレットが形成されると、位置決め孔の寸法の精度が損なわれ、アーム及びサスペンションの正確な位置決めが困難になる。アームの表面とサスペンションの表面とを樹脂系接着剤により接着した場合も、硬化していない樹脂系接着剤が流動してアームとサスペンションとの間からはみ出し易い。樹脂系接着剤がはみ出し過ぎる場合、樹脂系接着剤はフィレットと同様にHSAのサイズ及び形状の精度を損なう。以下では、アームとサスペンションとの間からはみ出した樹脂系接着剤も、便宜上、「フィレット」と記す。   When the surface of the arm and the surface of the suspension are joined via Sn or an Sn-based alloy, the molten Sn or Sn-based alloy (molten metal) flows and protrudes from between the arm and the suspension, and fillets. Is easy to form. Large fillets detract from the accuracy of the size and shape of the HSA. For example, the positions of the arms and the suspension may be determined by forming through holes (positioning holes) in the arms and the suspension and aligning the positions of the through holes. However, if a fillet is formed in each through hole, the accuracy of the dimension of the positioning hole is impaired, and accurate positioning of the arm and the suspension becomes difficult. Even when the surface of the arm and the surface of the suspension are bonded with a resin adhesive, the uncured resin adhesive flows and easily protrudes between the arm and the suspension. If the resin adhesive protrudes too much, the resin adhesive impairs the accuracy of the size and shape of the HSA like the fillet. Hereinafter, the resin adhesive protruding from between the arm and the suspension is also referred to as “fillet” for convenience.

磁気ディスク装置の小型化及び磁気ディスクの増加に伴い、磁気ディスク装置に搭載されるHSAの設置のサイズ及び形状は厳しい制約を受ける。したがって、フィレットの形成又は成長を抑制して、HSAのサイズ・形状の精度を高めなければならない。   With the downsizing of magnetic disk devices and the increase in magnetic disks, the size and shape of the installation of HSA mounted on the magnetic disk devices are severely restricted. Therefore, the accuracy of the size and shape of the HSA must be improved by suppressing fillet formation or growth.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、アーム及びサスペンションの接合強度に優れ、サイズ及び形状の精度が高い磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a magnetic head device that is excellent in joint strength between an arm and a suspension and has high size and shape accuracy.

本発明の一側面に係る磁気ヘッド装置は、アームと、アームの先端部に重なるサスペンションと、サスペンションの先端部に位置するスライダと、アームの先端部とサスペンションとの間に位置し、アームとサスペンションとを接合する第一接合部と、を備え、第一接合部が、Sn、又は樹脂系接着剤を含み、アーム側接合面が、アームの表面のうちサスペンションに対向する面と定義され、サスペンション側接合面が、サスペンションの表面のうちアームに対向する面と定義されるとき、アーム側接合面及びサスペンション側接合面のうち、少なくとも一方の接合面は、他方の接合面と重なる第一重なり域と、他方の接合面と重ならない第一非重なり域と、を含み、第一接合部は、第一重なり域においてアーム及びサスペンションの両方に接しており、第一接合部の一部は、第一非重なり域の少なくとも一部へ延在している。   A magnetic head device according to one aspect of the present invention includes an arm, a suspension that overlaps the tip of the arm, a slider that is positioned at the tip of the suspension, and a position between the tip of the arm and the suspension. A first bonding portion that includes Sn or a resin adhesive, and the arm-side bonding surface is defined as a surface of the arm surface that faces the suspension. When the side joint surface is defined as a surface of the suspension surface facing the arm, at least one of the arm side joint surface and the suspension side joint surface overlaps the other joint surface. And a first non-overlapping area that does not overlap with the other joining surface, the first joining part being on both the arm and the suspension in the first overlapping area. And it is, part of the first joint portion, and extends to at least a portion of the first non-overlapping area.

本発明の一側面においては、第一接合部が、Snを含有する合金を含んでよく、合金が、Ag(銀)、Cu(銅)、Bi(ビスマス)、In(インジウム)、Ni(ニッケル)、Zn(亜鉛)、P(リン)及びAu(金)からなる群より選ばれる少なくとも一種を含有してよい。   In one aspect of the present invention, the first joint portion may include an alloy containing Sn, and the alloy may be Ag (silver), Cu (copper), Bi (bismuth), In (indium), Ni (nickel). ), Zn (zinc), P (phosphorus), and Au (gold).

本発明の一側面においては、サスペンションは、アームの先端部に重なり、第一接合部によってアームに接合されるスペーサと、一方の先端部がスペーサに重なり、他方の先端部にスライダが位置するロードビームと、スペーサとロードビームとの間に位置し、スペーサとロードビームとを接合する第二接合部と、を含んでよく、第二接合部が、Sn、又は樹脂系接着剤を含んでよく、スペーサ側接合面が、スペーサの表面のうちロードビームに対向する面と定義され、ロードビーム側接合面が、ロードビームの表面のうちスペーサに対向する面と定義されるとき、スペーサ側接合面及びロードビーム側接合面のうち、少なくとも一方の接合面は、他方の接合面と重なる第二重なり域と、他方の接合面と重ならない第二非重なり域と、を含んでよく、第二接合部は、第二重なり域においてスペーサ及びロードビームの両方に接してよく、接合部の一部は、第二非重なり域の少なくとも一部へ延在していてよい。   In one aspect of the present invention, the suspension is a load that overlaps the tip of the arm and is joined to the arm by the first joint, and a load in which one tip overlaps the spacer and the slider is located at the other tip. And a second joint that is located between the spacer and the load beam and joins the spacer and the load beam, and the second joint may contain Sn or a resin-based adhesive. The spacer side joint surface is defined as a surface of the spacer surface that faces the load beam, and the load beam side joint surface is defined as a surface of the load beam surface that faces the spacer. And at least one of the load beam side joining surfaces includes a second overlapping region that overlaps the other joining surface and a second non-overlapping region that does not overlap the other joining surface. Well, the second bonding portion may contact with both of the spacer and load beam in a second heavy becomes zone, part of the joint may not extend to at least a portion of the second non-overlapping region.

本発明の一側面においては、第二接合部が、Snを含有する合金を含んでよく、合金が、Ag、Cu、Bi、In、Ni、Zn、P及びAuからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有してよい。   In one aspect of the present invention, the second bonding portion may include an alloy containing Sn, and the alloy is at least one selected from the group consisting of Ag, Cu, Bi, In, Ni, Zn, P, and Au. May be contained.

本発明の一側面においては、サスペンションは、アームの先端部に重なり、第一接合部によってアームに接合されるスペーサと、一方の先端部がスペーサに重なり、他方の先端部にスライダが位置するロードビームと、を含んでよく、スペーサとロードビームとが直接溶接されていてよい。   In one aspect of the present invention, the suspension is a load that overlaps the tip of the arm and is joined to the arm by the first joint, and a load in which one tip overlaps the spacer and the slider is located at the other tip. And the spacer and the load beam may be directly welded.

本発明の一側面に係る磁気ヘッド装置は、複数のアームを有するキャリッジを備えてよい。   The magnetic head device according to one aspect of the present invention may include a carriage having a plurality of arms.

本発明によれば、アーム及びサスペンションの接合強度に優れ、サイズ及び形状の精度が高い磁気ヘッド装置が提供される。   According to the present invention, it is possible to provide a magnetic head device that has excellent joint strength between an arm and a suspension and has high size and shape accuracy.

図1は、本発明の第一実施形態に係る磁気ヘッド装置の模式的斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of the magnetic head device according to the first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第一実施形態に係る磁気ヘッド装置を備える磁気ディスク装置の模式的上面図である。FIG. 2 is a schematic top view of a magnetic disk device including the magnetic head device according to the first embodiment of the present invention. 図3は、図2に示す磁気ディスク装置の模式的側面図である。FIG. 3 is a schematic side view of the magnetic disk device shown in FIG. 図4は、図3に示す磁気ヘッド装置が備えるアーム、第一接合部及びサスペンションの模式的拡大図である。FIG. 4 is a schematic enlarged view of the arm, the first joint, and the suspension included in the magnetic head device shown in FIG. 図5中のa(図5a)は、図1に示すアームの先端及びサスペンションの模式的上面図であり、図5中のb(図5b)は、図5aのb−b線におけるアーム、第一接合部及びサスペンションの模式的断面図である。5 is a schematic top view of the tip and suspension of the arm shown in FIG. 1, and b (FIG. 5 b) in FIG. 5 is the arm on the line bb in FIG. It is typical sectional drawing of one junction part and a suspension. 本発明の第二実施形態に係る磁気ヘッド装置が備えるアーム、第一接合部、スペーサ(spacer)、第二接合部、ロードビーム(load beam)、フレキシャ(flexure)及びスライダの模式的側面図である。FIG. 4 is a schematic side view of an arm, a first joint, a spacer, a second joint, a load beam, a flexure, and a slider included in a magnetic head device according to a second embodiment of the present invention. is there. 図7中のa(図7a)は、図6に示すアームの先端及びロードビームの模式的上面図であり、図7中のb(図7b)は、図7aのb−b線におけるアーム、第一接合部、スペーサ、第二接合部及びロードビームの模式的断面図である。In FIG. 7, a (FIG. 7a) is a schematic top view of the tip of the arm and the load beam shown in FIG. 6, and b (FIG. 7b) in FIG. 7 is the arm along the line bb in FIG. It is typical sectional drawing of a 1st junction part, a spacer, a 2nd junction part, and a load beam. 本発明の第三実施形態に係る磁気ヘッド装置が備えるアームの先端及びサスペンションの模式的上面図である。FIG. 6 is a schematic top view of an arm tip and a suspension included in a magnetic head device according to a third embodiment of the present invention. 図8のIX−IX線におけるアーム、第一接合部及びスペーサの模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the arm in the IX-IX line of FIG. 8, a 1st junction part, and a spacer. 本発明の第四実施形態に係る磁気ヘッド装置が備えるアームの先端及びサスペンションの模式的上面図である。FIG. 10 is a schematic top view of an arm tip and a suspension included in a magnetic head device according to a fourth embodiment of the present invention. 図10のXI−XI線におけるアーム、第一接合部及びスペーサの模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the arm in the XI-XI line of FIG. 10, a 1st junction part, and a spacer. 本発明の第五実施形態に係る磁気ヘッド装置が備えるアームの先端及びロードビームの模式的上面図である。FIG. 10 is a schematic top view of an arm tip and a load beam included in a magnetic head device according to a fifth embodiment of the present invention. 図12のXIII−XIII線におけるアーム、第一接合部、スペーサ、第二接合部及びロードビームの模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the arm in the XIII-XIII line | wire of FIG. 12, a 1st junction part, a spacer, a 2nd junction part, and a load beam. 図14中のa(図14a)は、本発明の第六実施形態に係る磁気ヘッド装置が備えるアームの先端及びサスペンションの模式的上面図であり、図14中のb(図14b)は、図14aのb−b線におけるアーム、第一接合部及びサスペンションの模式的断面図である。In FIG. 14, a (FIG. 14a) is a schematic top view of the tip of the arm and the suspension provided in the magnetic head device according to the sixth embodiment of the present invention, and b (FIG. 14b) in FIG. It is typical sectional drawing of the arm in the bb line of 14a, a 1st junction part, and a suspension. 本発明の第七実施形態に係る磁気ヘッド装置が備えるアーム、第一接合部及びスペーサ(サスペンションの一部)の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the arm with which the magnetic head apparatus based on 7th Embodiment of this invention is equipped, a 1st junction part, and a spacer (a part of suspension). 図16中のa(図16a)は、本発明の比較例に係る磁気ヘッド装置の製造方法の第一工程を示す模式図であり、図16中のb(図16b)は、図6aが示す第一工程を経て製造された磁気ヘッド装置が備えるアーム、第一接合部及びサスペンションの模式的断面図である。In FIG. 16, a (FIG. 16a) is a schematic diagram showing the first step of the method of manufacturing the magnetic head device according to the comparative example of the present invention, and b (FIG. 16b) in FIG. 16 is shown in FIG. 6a. It is a typical sectional view of an arm with which a magnetic head device manufactured through the 1st process is provided, the 1st joined part, and a suspension.

以下、図面を参照しながら、本発明の各実施形態について説明する。各図面において、同一又は同等の構成要素には同一の符号を付す。本発明は下記実施形態に限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same or equivalent components are denoted by the same reference numerals. The present invention is not limited to the following embodiment.

(第一実施形態)
第一実施形態に係る磁気ヘッド装置は、ヘッドスタックアセンブリ(HSA)である。図1、図2、図3及び図4に示すように、HSA2は、複数のアーム4を有するキャリッジ6と、各アーム4の先端部に重なるサスペンション8と、各サスペンション8の先端部に位置するスライダ10と、アーム4の先端部とサスペンション8との間に位置し、アーム4とサスペンション8とを接合する第一接合部12と、を備える。換言すれば、HSA2は、複数のアーム4を有するキャリッジ6と、各アーム4の先端部に接合されたヘッドジンバルアセンブリ(HGA11)と、アーム4とHGA11とを接合する第一接合部12と、を備える。アーム4及びサスペンション8其々は、扁平又は略板状であってよい。アーム4及びサスペンション8其々は、所定の方向に延びていてよい。つまり、アーム4及びサスペンション8其々は、長尺であってよい。サスペンション8は、アーム4の先端部の片面のみに重なっていてよい。一つのサスペンション8がアーム4の先端部の表面に重なり、別のサスペンション8が同アーム4の先端部の裏面に重なっていてもよい。つまり、一つのアーム4の先端部が一対のサスペンション8によって挟まれていてもよい。各スライダ10には、磁気ヘッド(例えば、薄膜磁気ヘッド)が組み込まれている。複数のアーム4及びHGA11は、所定の間隔で、同一の方向を向いて重なっている。説明の便宜上、図示されたアーム4の数は3つであるが、アーム4の数は限定されない。説明の便宜上、図示されたサスペンション8及びスライダ10其々の数は4つであるが、サスペンション8及びスライダ10の数は限定されない。
(First embodiment)
The magnetic head device according to the first embodiment is a head stack assembly (HSA). As shown in FIGS. 1, 2, 3, and 4, the HSA 2 is positioned at a carriage 6 having a plurality of arms 4, a suspension 8 that overlaps the distal end portion of each arm 4, and a distal end portion of each suspension 8. The slider 10 includes a first joint 12 that is located between the tip of the arm 4 and the suspension 8 and joins the arm 4 and the suspension 8. In other words, the HSA 2 includes a carriage 6 having a plurality of arms 4, a head gimbal assembly (HGA 11) joined to the tip of each arm 4, a first joint 12 that joins the arm 4 and the HGA 11, Is provided. Each of the arm 4 and the suspension 8 may be flat or substantially plate-shaped. Each of the arm 4 and the suspension 8 may extend in a predetermined direction. That is, each of the arm 4 and the suspension 8 may be long. The suspension 8 may overlap only on one side of the tip of the arm 4. One suspension 8 may overlap the surface of the distal end portion of the arm 4, and another suspension 8 may overlap the back surface of the distal end portion of the arm 4. That is, the tip of one arm 4 may be sandwiched between a pair of suspensions 8. Each slider 10 incorporates a magnetic head (for example, a thin film magnetic head). The plurality of arms 4 and the HGA 11 overlap each other at a predetermined interval in the same direction. For convenience of explanation, the number of arms 4 shown in the figure is three, but the number of arms 4 is not limited. For convenience of explanation, the number of suspensions 8 and sliders 10 shown in the figure is four, but the number of suspensions 8 and sliders 10 is not limited.

HSA2は、複数の磁気ディスク16を備える磁気ディスク装置18(HDD)に搭載される。複数の磁気ディスク16は、スピンドルモータ20に取り付けられ、所定の間隔で重ねられている。各磁気ディスク16は、一対のHGA11の間に配置されていてよい。HGA11の先端部に位置する各スライダ10は、磁気ディスク16に対向している。キャリッジ6においてアーム4の反対側に位置する部分は、コイル部14である。コイル部14と、コイル部14を挟んで対向する一対の永久磁石22とは、ボイスコイルモータ(VCM; Voice Coil Motor)を構成する。説明の便宜上、図示された磁気ディスク16の枚数は2枚であるが、磁気ディスク16の枚数は限定されない。   The HSA 2 is mounted on a magnetic disk device 18 (HDD) including a plurality of magnetic disks 16. The plurality of magnetic disks 16 are attached to the spindle motor 20 and are stacked at a predetermined interval. Each magnetic disk 16 may be disposed between a pair of HGAs 11. Each slider 10 located at the tip of the HGA 11 faces the magnetic disk 16. A portion of the carriage 6 located on the opposite side of the arm 4 is a coil portion 14. The coil part 14 and a pair of permanent magnets 22 facing each other with the coil part 14 therebetween constitute a voice coil motor (VCM; Voice Coil Motor). For convenience of explanation, the number of magnetic disks 16 shown is two, but the number of magnetic disks 16 is not limited.

第一接合部12はSn、又は樹脂系接着剤を含む。第一接合部12はSn、又は樹脂系接着剤のうち、いずれか一方のみを含めばよい。第一接合部12はSn単体を含んでよい。第一接合部12はSn単体のみからなっていてよい。第一接合部12は、Snを含有する合金を含んでよい。第一接合部12は、Snを含有する合金のみからなっていてよい。Snを含有する合金は、Ag、Cu、Bi、In、Ni、Zn、P及びAuからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有してもよい。以下では、Snを含有する合金を、「Sn系合金」と記す場合がある。第一接合部12が含む樹脂系接着剤は、既に硬化された樹脂系接着剤を意味する。第一接合部12は、硬化された樹脂系接着剤のみからなっていてよい。樹脂系接着剤は、例えば、加熱硬化型樹脂であってよい。加熱硬化型樹脂は、例えば、エポキシ樹脂、又はフェノール樹脂であってよい。   The 1st junction part 12 contains Sn or a resin adhesive. The 1st junction part 12 should just contain any one among Sn or a resin adhesive. The 1st junction part 12 may contain Sn simple substance. The 1st junction part 12 may consist only of Sn single-piece | unit. The 1st junction part 12 may contain the alloy containing Sn. The 1st junction part 12 may consist only of the alloy containing Sn. The alloy containing Sn may contain at least one selected from the group consisting of Ag, Cu, Bi, In, Ni, Zn, P and Au. Hereinafter, an alloy containing Sn may be referred to as “Sn-based alloy”. The resin-based adhesive included in the first joint 12 means a resin-based adhesive that has already been cured. The 1st junction part 12 may consist only of the hardened | cured resin-type adhesive agent. The resin adhesive may be, for example, a thermosetting resin. The thermosetting resin may be, for example, an epoxy resin or a phenol resin.

アーム4を構成する物質(アーム4の素地)は、特に限定されないが、例えば、Al(アルミニウム)等であってよい。アーム4の表面の一部又は全体が、Ni−P(リンを含むNi)からなる保護層であってもよい。つまり、アーム4は、Al等からなる基体と、基体の表面の一部又は全部を覆う保護層と、を有してもよい。第一接合部12は、アーム4の表面を構成する保護層の上に位置してよい。キャリッジ6全体(コイル部14を除く。)を構成する物質は、アーム4を構成する物質と同じであってよい。キャリッジ6(コイル部14を除く。)の表面の一部又は表面の全体が、上記保護層であってもよい。サスペンション8を構成する物質(サスペンション8の素地)は、特に限定されないが、例えば、SUS(ステンレス鋼)等であってよい。   The material constituting the arm 4 (base of the arm 4) is not particularly limited, and may be, for example, Al (aluminum). A part or the whole of the surface of the arm 4 may be a protective layer made of Ni-P (Ni containing phosphorus). That is, the arm 4 may have a base made of Al or the like and a protective layer that covers part or all of the surface of the base. The first joint 12 may be located on the protective layer that forms the surface of the arm 4. The material constituting the entire carriage 6 (excluding the coil portion 14) may be the same as the material constituting the arm 4. A part of the surface of the carriage 6 (excluding the coil portion 14) or the entire surface may be the protective layer. The material constituting the suspension 8 (the base of the suspension 8) is not particularly limited, and may be, for example, SUS (stainless steel).

図5bに基づき、第一接合部12を詳しく説明する。なお、図5bに示す断面は、図1のVb−Vb線方向の断面に対応する。ただし、図5bにおけるアーム4及びサスペンション8の上下関係は、図1のVb−Vb線方向の断面におけるアーム4及びサスペンション8の上下関係とは必ずしも一致しない。また、後述する図7b、図9、図11、図13及び図14bそれぞれにおけるアーム4及びサスペンション8の上下関係も、図1のVb−Vb線方向の断面に対応するが、各図中のアーム4及びサスペンション8の上下関係も、図1のVb−Vb線方向の断面におけるアーム4及びサスペンション8の上下関係とは必ずしも一致しない。   Based on FIG. 5b, the 1st junction part 12 is demonstrated in detail. Note that the cross section shown in FIG. 5B corresponds to the cross section in the Vb-Vb line direction of FIG. However, the vertical relationship between the arm 4 and the suspension 8 in FIG. 5b does not necessarily match the vertical relationship between the arm 4 and the suspension 8 in the cross section in the direction of the Vb-Vb line in FIG. Further, the vertical relationship between the arm 4 and the suspension 8 in FIGS. 7b, 9, 11, 13, and 14b, which will be described later, also corresponds to the cross section in the direction of the Vb-Vb line in FIG. 4 and the vertical relationship between the suspension 8 and the vertical relationship between the arm 4 and the suspension 8 in the cross section in the direction of the Vb-Vb line in FIG.

図5bに示すように、アーム側接合面4Aは、アーム4の表面のうちサスペンション8に対向する面と定義される。サスペンション側接合面8Aは、サスペンション8の表面のうちアーム4に対向する面と定義される。アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aのうち、アーム側接合面4Aは、サスペンション側接合面8Aと重なる第一重なり域4Aaと、サスペンション側接合面8Aと重ならない第一非重なり域4Abと、を含む。サスペンション側接合面8Aの全体は、サスペンション8の表面に重なっている。アーム4及びサスペンション8の延びる方向(長手方向)に垂直な断面において、アーム4の幅はサスペンション8の幅よりも広い。換言すれば、アーム4の短手方向の幅は、サスペンション8の短手方向の幅よりも広い。第一接合部12は、第一重なり域4Aaにおいてアーム4及びサスペンション8の両方に接している。第一接合部12の一部は、第一非重なり域4Abの少なくとも一部へ延在している。換言すると、第一接合部12の一部は、第一非重なり域4Abの少なくとも一部を覆っている。換言すると、アーム4及びサスペンション8の間からはみ出た第一接合部12(フィレット)が、第一非重なり域4Abの少なくとも一部へ広がっている。第一接合部12の一部は、第一非重なり域4Ab全体に延在していてもよい。   As shown in FIG. 5 b, the arm side joint surface 4 </ b> A is defined as a surface of the surface of the arm 4 that faces the suspension 8. The suspension-side joining surface 8A is defined as a surface facing the arm 4 in the surface of the suspension 8. Of the arm-side joining surface 4A and the suspension-side joining surface 8A, the arm-side joining surface 4A includes a first overlapping region 4Aa that overlaps with the suspension-side joining surface 8A, and a first non-overlapping region 4Ab that does not overlap with the suspension-side joining surface 8A. ,including. The entire suspension-side joint surface 8 </ b> A overlaps the surface of the suspension 8. In the cross section perpendicular to the extending direction (longitudinal direction) of the arm 4 and the suspension 8, the width of the arm 4 is wider than the width of the suspension 8. In other words, the width of the arm 4 in the short direction is wider than the width of the suspension 8 in the short direction. The first joint 12 is in contact with both the arm 4 and the suspension 8 in the first overlapping region 4Aa. A part of the first joint 12 extends to at least a part of the first non-overlapping region 4Ab. In other words, a part of the first joint portion 12 covers at least a part of the first non-overlapping region 4Ab. In other words, the first joint 12 (fillet) protruding from between the arm 4 and the suspension 8 extends to at least a part of the first non-overlapping region 4Ab. A part of the first joint portion 12 may extend over the entire first non-overlapping region 4Ab.

第一接合部12の一部は、第一非重なり域4Abに略垂直なサスペンション8の側面8Bの一部を覆っている。換言すると、第一接合部12の一部は、第一非重なり域4Abに略垂直なサスペンション8の側面8Bの一部へ延存している。換言すると、第一接合部12の一部は、サスペンション側接合面8Aと一辺を共有するサスペンション8の側面8Bの一部を覆っている。換言すると、アーム4及びサスペンション8の間からはみ出た第一接合部12(フィレット)が、サスペンション側接合面8Aと隣り合うサスペンション8の側面8Bの一部へ広がっている。   A portion of the first joint 12 covers a portion of the side surface 8B of the suspension 8 that is substantially perpendicular to the first non-overlapping region 4Ab. In other words, a portion of the first joint 12 extends to a portion of the side surface 8B of the suspension 8 that is substantially perpendicular to the first non-overlapping region 4Ab. In other words, a part of the first joint portion 12 covers a part of the side surface 8B of the suspension 8 sharing one side with the suspension side joint surface 8A. In other words, the first joint portion 12 (fillet) protruding from between the arm 4 and the suspension 8 extends to a part of the side surface 8B of the suspension 8 adjacent to the suspension-side joint surface 8A.

アーム4及びサスペンション8の間からはみ出た第一接合部12(フィレット)は、第一非重なり域4Abの外縁よりも内側に位置しており、第一接合部12(フィレット)は、アーム側接合面4Aと、当該接合面に略垂直なサスペンション8の側面8Bと、の間の溝に沿って形成されている。換言すれば、フィレットは、サスペンション8の外縁、又はサスペンション側接合面8Aの外縁に沿って形成されている。   The first joint 12 (fillet) protruding from between the arm 4 and the suspension 8 is located inside the outer edge of the first non-overlapping region 4Ab, and the first joint 12 (fillet) is arm-side joined. It is formed along a groove between the surface 4A and the side surface 8B of the suspension 8 substantially perpendicular to the joint surface. In other words, the fillet is formed along the outer edge of the suspension 8 or the outer edge of the suspension-side joint surface 8A.

第一実施形態に係るHSA2は、下記の第一工程と、第一工程に続く第二工程と、を備える製造方法によって製造されてよい。以下では、第一接合部12がSnを含む場合の製造方法を説明する。   HSA2 which concerns on 1st embodiment may be manufactured by the manufacturing method provided with the following 1st process and the 2nd process following a 1st process. Below, the manufacturing method in case the 1st junction part 12 contains Sn is demonstrated.

第一工程では、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aのうち一方の接合面又は両接合面を、Sn系合金、又はSn単体で覆う。換言すれば、第一工程では、Snを含む膜を、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aのうち、少なくとも一方の接合面に形成する。第一工程では、アーム4及びサスペンション8のうち一方の全表面又は両方の全表面を、Sn系合金、又はSn単体で覆ってもよい。つまり、第一工程では、アーム4の全表面を、Snを含む膜で覆ってよく、サスペンション8の全表面を、Snを含む膜で覆ってもよい。以下では、第一工程においてアーム4の表面に形成する膜を、「アーム膜」と記す。また、第一工程においてサスペンション8の表面に形成する膜を、「サスペンション膜」と記す。第一接合部12の組成は、例えば、アーム膜又はサスペンション膜の組成の調整によって、制御することができる。アーム膜及びサスペンション膜うちの少なくとも一方がSnを含めばよい。Snを含むアーム膜がある場合、サスペンション膜はなくてもよい。Snを含むサスペンション膜がある場合、アーム膜はなくてもよい。第一工程では、アーム4の表面を構成する保護層の上にアーム膜を形成してもよい。   In the first step, one or both of the arm-side joining surface 4A and the suspension-side joining surface 8A are covered with an Sn-based alloy or Sn alone. In other words, in the first step, a film containing Sn is formed on at least one of the arm-side bonding surface 4A and the suspension-side bonding surface 8A. In the first step, the entire surface of one or both of the arm 4 and the suspension 8 may be covered with an Sn-based alloy or Sn alone. That is, in the first step, the entire surface of the arm 4 may be covered with a film containing Sn, and the entire surface of the suspension 8 may be covered with a film containing Sn. Hereinafter, the film formed on the surface of the arm 4 in the first step is referred to as “arm film”. A film formed on the surface of the suspension 8 in the first step is referred to as a “suspension film”. The composition of the first joint 12 can be controlled by adjusting the composition of the arm film or the suspension film, for example. At least one of the arm film and the suspension film may contain Sn. When there is an arm film containing Sn, there is no need for a suspension film. When there is a suspension film containing Sn, the arm film may be omitted. In the first step, an arm film may be formed on the protective layer constituting the surface of the arm 4.

アーム膜及びサスペンション膜の形成方法は、例えば、めっき、スパッタリング、又は化学気相蒸着(CVD)であってよい。めっきは、電解めっき又は無電解めっきのどちらであってもよい。これらの形成方法によれば、アーム膜及びサスペンション膜其々の組成及び厚さを自在に調整することできる。第一工程の前にマスキング工程を行うことにより、アーム4の表面のうち一部分(例えば、アーム側接合面4A)のみを露出させ、他部をマスクで覆ってよい。マスキング工程後の第一工程では、アーム4の表面のうち露出した部分(例えば、アーム側接合面4A)のみにアーム膜を形成してよい。第一工程の前にマスキング工程を行うことにより、サスペンション8の表面のうち一部分(例えば、サスペンション側接合面8A)のみを露出させ、他部をマスクで覆ってよい。マスキング工程後の第一工程では、サスペンション8の表面のうち露出した部分(例えば、サスペンション側接合面8A)のみにサスペンション膜を形成してよい。マスキング工程とは、樹脂膜によるアーム4又はサスペンション8の被覆であってよい。つまり、マスクは樹脂膜であってよい。マスキング工程に用いる樹脂膜は、第一接合部12に含まれる樹脂系接着剤とは異なる。第一工程において、アーム側接合面4Aに隣接する面(側面4B)において、アーム4の素地を露出させてよい。この場合、第二工程において、溶融金属が側面4B上で濡れ広がり難く、アーム4の側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制され易い。なお、第一工程では、アーム側接合面4Aの裏面をアーム膜で覆ってもよく、アーム側接合面4Aの裏面をアーム膜で覆わなくてもよい。   The method of forming the arm film and the suspension film may be, for example, plating, sputtering, or chemical vapor deposition (CVD). The plating may be either electrolytic plating or electroless plating. According to these forming methods, the composition and thickness of each of the arm film and the suspension film can be freely adjusted. By performing a masking step before the first step, only a part (for example, the arm side joint surface 4A) of the surface of the arm 4 may be exposed and the other part may be covered with a mask. In the first step after the masking step, the arm film may be formed only on the exposed portion (for example, the arm side joint surface 4A) of the surface of the arm 4. By performing a masking step before the first step, only a part (for example, the suspension side joint surface 8A) of the surface of the suspension 8 may be exposed and the other part may be covered with a mask. In the first step after the masking step, the suspension film may be formed only on the exposed portion of the surface of the suspension 8 (for example, the suspension side bonding surface 8A). The masking step may be covering the arm 4 or the suspension 8 with a resin film. That is, the mask may be a resin film. The resin film used for the masking process is different from the resin adhesive contained in the first joint 12. In the first step, the base of the arm 4 may be exposed on a surface (side surface 4B) adjacent to the arm-side joining surface 4A. In this case, in the second step, the molten metal is difficult to spread on the side surface 4B, and the formation or growth of the fillet in the vicinity of the side surface 4B of the arm 4 is easily suppressed. In the first step, the back surface of the arm side bonding surface 4A may be covered with the arm film, and the back surface of the arm side bonding surface 4A may not be covered with the arm film.

第二工程では、アーム側接合面4Aの第一重なり域4Aaとサスペンション側接合面8Aとを重ねて、これらを加熱する。つまり、サスペンション側接合面8Aを、アーム側接合面4Aの第一重なり域4Aaに接触させ、アーム膜又はサスペンション膜の少なくとも一方又は両方を加熱により溶融させる。その結果、アーム膜又はサスペンション膜の一方又は両方から第一接合部12が形成される。第一接合部12により、アーム側接合面4Aとサスペンション側接合面8Aとが接合される。アーム側接合面4Aとは、アーム4側の被接合面と言い換えてもよい。サスペンション側接合面8Aとは、サスペンション8側の被接合面と言い換えてもよい。第一工程前にマスキング工程を行う場合、第二工程の後でマスクをアーム4又はサスペンション8から剥がす工程を行ってよい。   In the second step, the first overlapping region 4Aa of the arm-side bonding surface 4A and the suspension-side bonding surface 8A are overlapped and heated. That is, the suspension side bonding surface 8A is brought into contact with the first overlapping region 4Aa of the arm side bonding surface 4A, and at least one or both of the arm film and the suspension film are melted by heating. As a result, the first joint portion 12 is formed from one or both of the arm membrane and the suspension membrane. The arm-side joining surface 4A and the suspension-side joining surface 8A are joined by the first joining portion 12. The arm-side bonding surface 4A may be rephrased as a bonded surface on the arm 4 side. The suspension-side bonding surface 8A may be rephrased as a bonded surface on the suspension 8 side. When performing a masking process before a 1st process, you may perform the process of peeling a mask from the arm 4 or the suspension 8 after a 2nd process.

第二工程では、アーム膜又はサスペンション膜の溶融により、溶融金属が生じる。溶融金属は、第一非重なり域4Abの少なくも一部に濡れ広がる。特に溶融金属は、アーム膜又はサスペンション膜が形成された部分へ濡れ広がり易い。濡れ広がった溶融金属が固化することにより、第一接合部12の一部(小さなフィレット)が第一非重なり域4Ab上に形成される。第一重なり域4Aaとアームの側面4Bとの間には、第一非重なり域4Abが介在するので、溶融金属は、第一重なり域4Aaからアーム4の側面4Bへ到り難く、アーム4の側面4B近傍に溜まり難く、アームの側面4Bを流れ落ち難い。したがって、アームの側面4Bではフィレットの形成又は成長が抑制される。また、第二工程では、溶融金属が、第一非重なり域4Abのみならず、第一非重なり域4Abに略垂直なサスペンション8の側面8Bの一部へ濡れ広がるため、アームの側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制され易い。換言すると、溶融金属は、アーム側接合面4Aと、当該接合面に略垂直なサスペンション8の側面8Bと、の間の溝に沿って溜まり易く、サスペンション8の側面8Bから離れたアームの側面4B近傍には溜まり難い。その結果、アームの側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制され易い。   In the second step, molten metal is generated by melting the arm film or the suspension film. The molten metal wets and spreads over at least a part of the first non-overlapping region 4Ab. In particular, the molten metal tends to wet and spread to the portion where the arm film or suspension film is formed. A part (small fillet) of the first joint portion 12 is formed on the first non-overlapping region 4Ab by solidifying the molten metal that has spread wet. Since the first non-overlapping region 4Ab is interposed between the first overlapping region 4Aa and the side surface 4B of the arm, the molten metal hardly reaches the side surface 4B of the arm 4 from the first overlapping region 4Aa. It is difficult to collect in the vicinity of the side surface 4B, and it is difficult to flow down the side surface 4B of the arm. Accordingly, fillet formation or growth is suppressed on the side surface 4B of the arm. In the second step, the molten metal wets and spreads not only to the first non-overlapping region 4Ab but also to a part of the side surface 8B of the suspension 8 substantially perpendicular to the first non-overlapping region 4Ab. Fillet formation or growth is likely to be suppressed. In other words, the molten metal tends to accumulate along a groove between the arm-side joining surface 4A and the side surface 8B of the suspension 8 that is substantially perpendicular to the joining surface, and the arm side surface 4B that is away from the side surface 8B of the suspension 8. It is difficult to collect in the vicinity. As a result, the formation or growth of the fillet in the vicinity of the side surface 4B of the arm is easily suppressed.

以上のような原理により、アームの側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制されたHSA2が得られる。つまり、サイズ及び形状の精度が高いHSA2が得られる。   Based on the principle as described above, the HSA 2 in which the formation or growth of the fillet in the vicinity of the side surface 4B of the arm is suppressed can be obtained. That is, HSA2 with high size and shape accuracy is obtained.

仮に第一非重なり域4Abがない場合、フィレットがアームの側面4B近傍に形成され易く、HSA2のサイズ及び形状の精度を損われ易い。その理由を、図16a及び図16bを用いて説明する。   If there is no first non-overlapping region 4Ab, the fillet is likely to be formed near the side surface 4B of the arm, and the accuracy of the size and shape of the HSA 2 is likely to be impaired. The reason will be described with reference to FIGS. 16a and 16b.

図16aは、第一工程後(接合前)のアーム4及びサスペンション8を示す。図16bは、図16a中のアーム4及びサスペンション8を用いた第二工程によって形成された第一接合部12及びフィレット40等を示す。図16a及び16b中のアーム4の断面は、アーム4の長手方向に垂直である。図16a及び16b中のサスペンション8の断面は、サスペンション8の長手方向に垂直である。図16aに示すように、アーム4及びサスペンション8それぞれの短手方向において、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aは互いに完全に重なる。つまり、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aのいずれも、第一非重なり域を有しない。第二工程では、アーム膜34又はサスペンション膜38の加熱により、溶融金属が生じる。アーム4及びサスペンション8を接触させると、第一非重なり域がないため、溶融金属はアーム4及びサスペンション8の間からアーム4及びサスペンション8其々の側面まで流動して、固化する。その結果、アーム4及びサスペンション8それぞれの短手方向に突出する大きなフィレット40が形成されてしまう。   FIG. 16a shows the arm 4 and the suspension 8 after the first step (before joining). FIG. 16b shows the first joint 12 and the fillet 40 formed by the second process using the arm 4 and the suspension 8 in FIG. 16a. The cross section of the arm 4 in FIGS. 16 a and 16 b is perpendicular to the longitudinal direction of the arm 4. The cross section of the suspension 8 in FIGS. 16 a and 16 b is perpendicular to the longitudinal direction of the suspension 8. As shown in FIG. 16a, the arm side joint surface 4A and the suspension side joint surface 8A completely overlap each other in the lateral direction of the arm 4 and the suspension 8, respectively. That is, neither the arm-side joining surface 4A nor the suspension-side joining surface 8A has the first non-overlapping region. In the second step, molten metal is generated by heating the arm film 34 or the suspension film 38. When the arm 4 and the suspension 8 are brought into contact with each other, since there is no first non-overlapping region, the molten metal flows from between the arm 4 and the suspension 8 to the side surfaces of the arm 4 and the suspension 8 to be solidified. As a result, a large fillet 40 protruding in the short direction of each of the arm 4 and the suspension 8 is formed.

フィレット40は、いわゆるバリと同様に、HSA2(磁気ヘッド装置)のサイズ及び形状の精度を損なう。例えば、HSA2の製造では、アーム4及びサスペンション8の位置合わせのために、アーム4及びサスペンション8其々に位置決め孔を形成することがある。これらの位置決め孔内にフィレットが形成された場合、位置決め孔の寸法の精度が損なわれ、アーム4及びサスペンション8の位置を正確に決することが困難になる。また、フィレットは、HSA2から脱落して、磁気ディスク16の表面を傷付けることもある。   The fillet 40 impairs the accuracy of the size and shape of the HSA 2 (magnetic head device), similar to so-called burrs. For example, in manufacturing the HSA 2, positioning holes may be formed in the arm 4 and the suspension 8 in order to align the arm 4 and the suspension 8. When fillets are formed in these positioning holes, the accuracy of the positioning hole dimensions is impaired, and it is difficult to accurately determine the positions of the arm 4 and the suspension 8. Further, the fillet may fall off the HSA 2 and damage the surface of the magnetic disk 16.

一方、第一実施形態によれば、上記の通り、第一非重なり域4Abが、第二工程において溶融金属が濡れ広がるマージン(余白)として機能するため、溶融金属がアームの側面4B近傍に溜まり難く、アームの側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制される。   On the other hand, according to the first embodiment, as described above, the first non-overlapping area 4Ab functions as a margin (margin) where the molten metal spreads in the second step, so that the molten metal accumulates in the vicinity of the side surface 4B of the arm. It is difficult to suppress the formation or growth of fillets in the vicinity of the side surface 4B of the arm.

第二工程における加熱法は、例えば、リフロー等の雰囲気加熱法であってもよい。第二工程では、アーム側接合面4Aとサスペンション側接合面8Aとを、例えば150〜450℃で加熱すればよい。この温度範囲での加熱により、第一接合部12が形成され易く、アーム4及びサスペンション8の接合強度が向上し易い。レーザー加熱により、アーム側接合面4Aとサスペンション側接合面8Aとを接合して、第一接合部12を形成してもよい。ただし、サスペンション8間の間隔が狭まるほど、レーザーを各接合面へ正確に照射し難くなる。一方、雰囲気加熱法を用いた場合、サスペンション8間の間隔に関わらず、熱は各接合面へ均一に伝わり易いので、複数の第一接合部12間における接合強度の斑又はばらつきが抑制され易い。   The heating method in the second step may be, for example, an atmosphere heating method such as reflow. In the second step, the arm side joining surface 4A and the suspension side joining surface 8A may be heated at 150 to 450 ° C., for example. By heating in this temperature range, the first joint portion 12 is easily formed, and the joint strength between the arm 4 and the suspension 8 is easily improved. The first joint 12 may be formed by joining the arm-side joining surface 4A and the suspension-side joining surface 8A by laser heating. However, as the distance between the suspensions 8 becomes narrower, it becomes more difficult to accurately irradiate each joint surface with laser. On the other hand, when the atmosphere heating method is used, regardless of the distance between the suspensions 8, heat is easily transmitted uniformly to each joint surface, so that unevenness or variation in joint strength among the plurality of first joint portions 12 is easily suppressed. .

第一接合部12におけるSnの含有量は、例えば、40質量%以上100質量%未満であってよい。Snの含有量が40質量%以上である場合、接合強度が向上し易い。第一接合部12におけるSnの含有量は、例えば、第一工程において形成するアーム膜又はサスペンション膜におけるSnの含有量の調整によって自在に制御される。   The Sn content in the first joint portion 12 may be, for example, 40% by mass or more and less than 100% by mass. When the Sn content is 40% by mass or more, the bonding strength is easily improved. The Sn content in the first joint 12 is freely controlled, for example, by adjusting the Sn content in the arm film or suspension film formed in the first step.

第一接合部12の厚みは、例えば、2〜50μmであってよく、5〜30μmであってもよい。第一接合部12の厚みとは、第一接合部12を介して接合されたアーム4とサスペンション8との間隔と言い換えてよい。第一接合部12の厚みは、例えば、第一工程において形成するアーム膜又はサスペンション膜の厚さの調整によって、自在に制御される。第一接合部12の厚みを2μm以上に制御することにより、接合強度が向上し易い。第一接合部12の厚みを50μm以下に制御することにより、第二工程におけるアーム膜又はサスペンション膜を構成する成分の溶融及び流れだし(すなわち、にじみ)並びにフィレットの形成又は成長を必要且つ十分な程度に制御し易い。   The thickness of the 1st junction part 12 may be 2-50 micrometers, for example, and may be 5-30 micrometers. The thickness of the first joint portion 12 may be rephrased as the distance between the arm 4 and the suspension 8 joined via the first joint portion 12. The thickness of the first joint 12 is freely controlled, for example, by adjusting the thickness of the arm film or suspension film formed in the first process. By controlling the thickness of the first bonding portion 12 to 2 μm or more, the bonding strength is easily improved. By controlling the thickness of the first bonding portion 12 to 50 μm or less, the components constituting the arm film or suspension film in the second step are melted and flowed out (that is, bleeding) and fillet formation or growth is necessary and sufficient. Easy to control.

サスペンション8の厚みは、例えば、0.05〜0.3mmであってよい。アーム4の厚みは、例えば、0.3〜1.0mmであってよい。   The thickness of the suspension 8 may be, for example, 0.05 to 0.3 mm. The thickness of the arm 4 may be 0.3 to 1.0 mm, for example.

第一工程で用いるSn系合金は、例えば、はんだ(solder)、又はろう材(braze material)であってよい。Sn系合金は、Snに加えて、Ag、Cu、Bi、In、Ni、Zn、P及びAuからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有してよい。これらの元素を含有するSn系合金を用いることにより、第二工程において、第一接合部12が形成され易く、接合強度が向上し易い。なお、アーム膜及びサスペンション膜のうち一方の膜がSnを含む場合、他方の膜はSnを含まなくてよい。例えば、アーム膜及びサスペンション膜のうち一方の膜がSnを含む場合、他方の膜は、Ag、Cu、Bi、In、Ni、Zn、P及びAuからなる群より選ばれる少なくとも一種からなる膜であってよい。つまり、他方の膜は、Sn以外の元素からなる膜であってよい。アーム膜が、重なった2つの膜から構成されてよく、うち1つの膜はSnを含み、他方の膜はSnを含まなくてよい。同様に、サスペンション膜が、重なった2つの膜から構成されていてもよい。   The Sn-based alloy used in the first step may be, for example, a solder or a braze material. The Sn-based alloy may contain at least one selected from the group consisting of Ag, Cu, Bi, In, Ni, Zn, P, and Au in addition to Sn. By using an Sn-based alloy containing these elements, the first joint 12 is easily formed in the second step, and the joint strength is easily improved. When one of the arm film and the suspension film contains Sn, the other film may not contain Sn. For example, when one of the arm film and the suspension film contains Sn, the other film is a film made of at least one selected from the group consisting of Ag, Cu, Bi, In, Ni, Zn, P, and Au. It may be. That is, the other film may be a film made of an element other than Sn. The arm film may be composed of two overlapping films, one of which may contain Sn and the other film may not contain Sn. Similarly, the suspension membrane may be composed of two overlapping membranes.

第一工程において、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aのうち、一方の接合面を、Sn単体又はSn系合金で覆ってよく、他方の接合面を、Sn単体よりも融点が高い金属、又はSn系合金よりも融点が高い金属で覆ってよい。このような第一工程を実施した場合、第二工程における各接合面の過度の溶融及びにじみ、並びにフィレットの形成又は成長が抑制され易い。その結果、第一接合部12が厚くなり易い。Sn単体又はSn系合金よりも融点が高い金属は、例えば、Ni単体、又はPを含むNiである。したがって、第一工程では、一方の接合面を、Sn単体又はSn系合金からなる膜で覆い、他方の接合面を、Ni単体からなる膜、又はPを含むNiからなる膜で覆ってよい。Pを含むNiからなる膜は、例えば、リン化合物を含む無電解ニッケルめっき液から形成することができる。リン化合物とは、例えば、次亜リン酸ナトリウム等の次亜リン酸塩であってよい。   In the first step, one of the arm-side joining surface 4A and the suspension-side joining surface 8A may be covered with Sn alone or an Sn-based alloy, and the other joining surface is a metal having a higher melting point than Sn alone. Alternatively, it may be covered with a metal having a melting point higher than that of the Sn-based alloy. When such a 1st process is implemented, the excessive fusion | melting and bleeding of each joint surface in a 2nd process, and formation or growth of a fillet are easy to be suppressed. As a result, the first joint portion 12 tends to be thick. The metal whose melting point is higher than that of Sn alone or an Sn-based alloy is, for example, Ni alone or Ni containing P. Therefore, in the first step, one bonding surface may be covered with a film made of Sn alone or an Sn-based alloy, and the other bonding surface may be covered with a film made of Ni alone or a film made of Ni containing P. The film made of Ni containing P can be formed from, for example, an electroless nickel plating solution containing a phosphorus compound. The phosphorus compound may be, for example, a hypophosphite such as sodium hypophosphite.

第一接合部12が樹脂系接着剤を含む場合、又は第一接合部12が樹脂系接着剤からなる場合、例えば、以下の製造方法により、HSA2を製造すればよい。   When the 1st junction part 12 contains a resin adhesive, or when the 1st junction part 12 consists of resin adhesives, what is necessary is just to manufacture HSA2 with the following manufacturing methods, for example.

第一工程では、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aのうち一方の接合面又は両接合面を、未硬化の樹脂系接着剤で覆う。換言すれば、第一工程では、未硬化の樹脂系接着剤を含む膜を、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aのうち、少なくとも一方の接合面に形成する。   In the first step, one or both of the arm-side joint surface 4A and the suspension-side joint surface 8A are covered with an uncured resin adhesive. In other words, in the first step, a film containing an uncured resin adhesive is formed on at least one of the arm-side bonding surface 4A and the suspension-side bonding surface 8A.

第二工程では、サスペンション側接合面8Aを、アーム側接合面4Aの第一重なり域4Aaに接触させ、アーム4とサスペンション8との間にある樹脂系接着剤を硬化させる。例えば、樹脂系接着剤が加熱硬化型である場合、アーム側接合面4Aの第一重なり域4Aaとサスペンション側接合面8Aとを重ねて、これらを加熱する。その結果、樹脂系接着剤が硬化して、第一接合部12が形成される。   In the second step, the suspension-side joining surface 8A is brought into contact with the first overlapping region 4Aa of the arm-side joining surface 4A, and the resin adhesive between the arm 4 and the suspension 8 is cured. For example, when the resin adhesive is a thermosetting type, the first overlapping region 4Aa of the arm-side bonding surface 4A and the suspension-side bonding surface 8A are overlapped and heated. As a result, the resin adhesive is cured and the first joint portion 12 is formed.

樹脂系接着剤を用いて第一接合部12を形成する場合であっても、第二工程において、未硬化の樹脂系接着剤は溶融金属と同様に流動する。しかし、第一実施形態によれば、第一非重なり域4Abが、第二工程において樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能するため、樹脂系接着剤がアームの側面4B近傍に溜まり難く、アームの側面4Bにおけるフィレットの形成又は成長が抑制される。つまり、樹脂系接着剤から第一接合部12を形成する場合も、Sn単体又はSn系合金から第一接合部12を形成する場合の同様のメカニズムにより、アームの側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制される。第一工程では、アーム側接合面4Aに隣接する面(側面4B)において、アーム4の素地を露出させてよい。この場合、第二工程において、未硬化の樹脂系接着剤が側面4B上で濡れ広がり難く、アーム4の側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制され易くなる。なお、第一工程では、アーム側接合面4Aの裏面を未硬化の樹脂系接着剤で覆ってもよく、アーム側接合面4Aの裏面を未硬化の樹脂系接着剤で覆わなくてもよい。   Even when the first joint 12 is formed using a resin adhesive, in the second step, the uncured resin adhesive flows in the same manner as the molten metal. However, according to the first embodiment, the first non-overlapping region 4Ab functions as a margin (margin) where the resin adhesive spreads out in the second step, so that the resin adhesive accumulates in the vicinity of the side surface 4B of the arm. It is difficult to suppress the formation or growth of the fillet on the side surface 4B of the arm. That is, when the first joint 12 is formed from a resin-based adhesive, the fillet is formed in the vicinity of the side surface 4B of the arm by the same mechanism as when the first joint 12 is formed from Sn alone or an Sn-based alloy. Growth is suppressed. In a 1st process, you may expose the base material of the arm 4 in the surface (side surface 4B) adjacent to 4A of arm side joining surfaces. In this case, in the second step, the uncured resin adhesive hardly spreads on the side surface 4B, and the formation or growth of the fillet in the vicinity of the side surface 4B of the arm 4 is easily suppressed. In the first step, the back surface of the arm side bonding surface 4A may be covered with an uncured resin adhesive, and the back surface of the arm side bonding surface 4A may not be covered with an uncured resin adhesive.

以上のように、第一実施形態では、第一接合部12がSn又は樹脂系接着剤のどちらを含む場合であっても、第一接合部12がアーム4及びサスペンション8を化学的又は物理的に接合する。したがって、第一実施形態によれば、嵌合接合等の従来の機械的接合方法を用いる場合に比べて、アーム4及びサスペンション8の接合強度が向上する。また第一実施形態では、第一接合部12の一部が、アーム4及びサスペンション8の間からはみ出し、アーム4の第一非重なり域4Ab及びサスペンション8の側面8Bに接している。したがって、第一接合部12がアーム4及びサスペンション8の間からはみ出さない場合に比べて、第一接合部12とアーム4及びサスペンション8との接触面積が大きい。さらに、第一実施形態では、面接触により第一接合部12を形成することができるため、嵌め孔を形成するためにアーム4及びサスペンション8を厚くする必要がない。つまり、第一実施形態では、篏合接合ができないほどアーム4及びサスペンション8が薄い場合であっても、接合強度が損なわれ難い。これらの理由により、第一実施形態に係るHSA2によれば、接合強度を確保しつつ、アーム4及びサスペンション8其々を薄くして、磁気ディスク16の枚数を増やすことができる。その結果、従来よりも信頼性が高く、容量が大きい磁気ディスク装置18を実現することができる。   As described above, in the first embodiment, the first joint 12 connects the arm 4 and the suspension 8 chemically or physically regardless of whether the first joint 12 includes Sn or a resin adhesive. To join. Therefore, according to the first embodiment, the joint strength between the arm 4 and the suspension 8 is improved as compared with the case where a conventional mechanical joining method such as fitting joining is used. In the first embodiment, a part of the first joint 12 protrudes from between the arm 4 and the suspension 8 and is in contact with the first non-overlapping area 4 Ab of the arm 4 and the side surface 8B of the suspension 8. Accordingly, the contact area between the first joint 12, the arm 4, and the suspension 8 is larger than when the first joint 12 does not protrude from between the arm 4 and the suspension 8. Furthermore, in the first embodiment, since the first joint portion 12 can be formed by surface contact, it is not necessary to thicken the arm 4 and the suspension 8 in order to form the fitting hole. In other words, in the first embodiment, even when the arm 4 and the suspension 8 are thin enough to prevent joint bonding, the bonding strength is not easily lost. For these reasons, according to the HSA 2 according to the first embodiment, it is possible to increase the number of the magnetic disks 16 by reducing the thickness of the arm 4 and the suspension 8 while ensuring the bonding strength. As a result, it is possible to realize the magnetic disk device 18 having higher reliability and larger capacity than the conventional one.

以上、本発明の第一実施形態に係る磁気ヘッド装置(HSA2)について説明したが、本発明は第一実施形態に何ら限定されるものではない。以下に示す他の実施形態においても、第一実施形態と同様のメカニズムにより、アーム及びサスペンションの接合強度に優れ、サイズ及び形状の精度が高い磁気ヘッド装置が提供される。以下では、第一実施形態と他の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一実施形態と他の実施形態とに共通する事項についての説明を省略する。   The magnetic head device (HSA2) according to the first embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the first embodiment. Also in other embodiments described below, a magnetic head device having excellent arm and suspension bonding strength and high size and shape accuracy is provided by the same mechanism as in the first embodiment. Below, only the difference between 1st embodiment and other embodiment is demonstrated, and the description about the matter which is common in 1st embodiment and other embodiment is abbreviate | omitted.

(第二実施形態)
図6に示すように、第二実施形態に係るHSAでは、サスペンション8は、スペーサ50、ロードビーム54及びフレキシャ56を含んでいる。つまり、サスペンション8は、スペーサ50、ロードビーム54及びフレキシャ56から構成されている。スペーサ50がアーム4の先端部に重なり、第一接合部12がアーム4の先端部とスペーサ50との間に位置する。つまり、第一接合部12が、アーム4とスペーサ50とを接合している。ロードビーム54の一方の先端部はスペーサ50に重なっている。第二接合部52が、スペーサ50とロードビーム54の間に位置し、スペーサ50とロードビーム54とを接合する。ロードビーム54の他方の先端部にはフレキシャ56が設置され、フレキシャ56の表面にスライダ10が位置している。
(Second embodiment)
As shown in FIG. 6, in the HSA according to the second embodiment, the suspension 8 includes a spacer 50, a load beam 54, and a flexure 56. That is, the suspension 8 includes the spacer 50, the load beam 54, and the flexure 56. The spacer 50 overlaps the tip of the arm 4, and the first joint 12 is located between the tip of the arm 4 and the spacer 50. That is, the first joint portion 12 joins the arm 4 and the spacer 50. One end of the load beam 54 overlaps the spacer 50. The second joint portion 52 is located between the spacer 50 and the load beam 54 and joins the spacer 50 and the load beam 54. A flexure 56 is installed at the other tip of the load beam 54, and the slider 10 is positioned on the surface of the flexure 56.

第二実施形態におけるスペーサ50は、サスペンション8の一部である。つまり、第一接合部12によってアーム4と接合される点において、スペーサ50は、第一実施形態におけるサスペンション8に対応する。第二実施形態では、第一実施形態の場合と同様に、アーム4の第一非重なり域4Abが、第二工程において溶融金属又は樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。そのため、溶融金属又は樹脂系接着剤がアームの側面4Bの近傍に溜まり難く、アームの側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制される。   The spacer 50 in the second embodiment is a part of the suspension 8. That is, the spacer 50 corresponds to the suspension 8 in the first embodiment in that the first joint 12 is joined to the arm 4. In the second embodiment, as in the case of the first embodiment, the first non-overlapping region 4Ab of the arm 4 functions as a margin (margin) where the molten metal or the resin-based adhesive spreads out in the second step. Therefore, it is difficult for molten metal or resin adhesive to accumulate in the vicinity of the side surface 4B of the arm, and the formation or growth of fillets in the vicinity of the side surface 4B of the arm is suppressed.

第二接合部52は、Sn、又は樹脂系接着剤を含む。第二接合部52の具体的な組成は、上述した第一接合部12と同じであってよい。以下では、図7bに基づき、第二接合部52を詳しく説明する。図7bは、アーム4、第一接合部12、スペーサ50、第二接合部52、及びロードビーム54の断面であり、図7aのb−b線における断面である。   The 2nd junction part 52 contains Sn or a resin adhesive. The specific composition of the second joint portion 52 may be the same as that of the first joint portion 12 described above. Below, the 2nd junction part 52 is demonstrated in detail based on FIG. 7b. FIG. 7B is a cross section of the arm 4, the first joint portion 12, the spacer 50, the second joint portion 52, and the load beam 54, and is a cross section taken along the line bb of FIG. 7A.

図7bに示すように、スペーサ側接合面50Aは、スペーサ50の表面のうちロードビーム54に対向する面と定義される。ロードビーム側接合面54Aは、ロードビーム54の表面のうちスペーサ50に対向する面と定義される。スペーサ側接合面50A及びロードビーム側接合面54Aのうち、ロードビーム側接合面54Aは、スペーサ側接合面50Aと重なる第二重なり域54Aaと、スペーサ側接合面50Aと重ならない第二非重なり域54Abと、を含む。換言すると、ロードビーム54の短手方向の幅が、スペーサ50の幅よりも広い。第二接合部52は、ロードビーム54の第二重なり域54Aaにおいてスペーサ50及びロードビーム54の両方に接している。第二接合部52の一部(小さなフィレット)は、ロードビーム54の第二非重なり域54Abの少なくとも一部へ延在している。第二接合部52の一部は、スペーサ側接合面50Aと隣り合うスペーサ50の側面50Bの一部にも延在している。スペーサ50はサスペンション8の一部であるので、スペーサ50の側面50Bはサスペンション8の側面8Bと言い換えられる。   As shown in FIG. 7 b, the spacer-side bonding surface 50 </ b> A is defined as a surface of the spacer 50 that faces the load beam 54. The load beam side bonding surface 54 </ b> A is defined as a surface of the load beam 54 that faces the spacer 50. Of the spacer side bonding surface 50A and the load beam side bonding surface 54A, the load beam side bonding surface 54A includes a second overlapping region 54Aa that overlaps the spacer side bonding surface 50A and a second non-overlapping region that does not overlap the spacer side bonding surface 50A. 54 Ab. In other words, the width of the load beam 54 in the short direction is wider than the width of the spacer 50. The second joint portion 52 is in contact with both the spacer 50 and the load beam 54 in the second overlapping region 54Aa of the load beam 54. A portion (small fillet) of the second joint portion 52 extends to at least a portion of the second non-overlapping area 54Ab of the load beam 54. A part of the second joint portion 52 also extends to a part of the side surface 50B of the spacer 50 adjacent to the spacer-side joint surface 50A. Since the spacer 50 is a part of the suspension 8, the side surface 50 </ b> B of the spacer 50 is paraphrased as the side surface 8 </ b> B of the suspension 8.

第二接合部52がSnを含む合金である場合、以下の製造方法により、HSAを製造すればよい。まず、上記の第一工程と同様に、スペーサ側接合面50A及びロードビーム側接合面54Aのうち一方の接合面又は両接合面を、Sn単体、又はSn系合金で覆う。続いて、上記の第二工程と同様に、ロードビーム側接合面54Aの第二重なり域54Aaとスペーサ側接合面50Aとを重ねて、これらを加熱することにより、第二接合部52を形成する。換言すれば、サスペンション8(スペーサ50が接合されたロードビーム54)を形成する。続いて、上記の第一工程及び第二工程を実施することにより、サスペンション8の一部であるスペーサ50を、第一接合部12を介して、アーム4に接合する。   When the second bonding portion 52 is an alloy containing Sn, HSA may be manufactured by the following manufacturing method. First, as in the first step, one or both of the spacer-side bonding surface 50A and the load beam-side bonding surface 54A are covered with Sn alone or an Sn-based alloy. Subsequently, as in the second step, the second overlapping portion 54A is formed by overlapping the second overlapping region 54Aa of the load beam side bonding surface 54A and the spacer side bonding surface 50A, and heating them. . In other words, the suspension 8 (the load beam 54 to which the spacer 50 is bonded) is formed. Subsequently, the spacer 50 that is a part of the suspension 8 is joined to the arm 4 via the first joint 12 by performing the first step and the second step.

第二接合部52が樹脂系接着剤を含む場合、又は第二接合部52が樹脂系接着剤からなる場合、例えば、以下の製造方法により、HSAを製造すればよい。まず、上記第一工程と同様に、スペーサ側接合面50A及びロードビーム側接合面54Aのうち一方の接合面又は両接合面を、未硬化の樹脂系接着剤で覆う。続いて、上記第二工程と同様に、スペーサ側接合面50Aを、ロードビーム側接合面54Aの第二重なり域54Aaに接触させ、スペーサ50とロードビーム54との間にある樹脂系接着剤を硬化させる。例えば、樹脂系接着剤が加熱硬化型である場合、ロードビーム側接合面54Aの第二重なり域54Aaとスペーサ側接合面50Aとを重ねて、これらを加熱する。その結果、樹脂系接着剤が硬化して、第二接合部52が形成される。   When the 2nd junction part 52 contains a resin adhesive, or when the 2nd junction part 52 consists of a resin adhesive, what is necessary is just to manufacture HSA with the following manufacturing methods, for example. First, as in the first step, one or both of the spacer-side bonding surface 50A and the load beam-side bonding surface 54A are covered with an uncured resin adhesive. Subsequently, as in the second step, the spacer-side bonding surface 50A is brought into contact with the second overlapping area 54Aa of the load beam-side bonding surface 54A, and the resin adhesive between the spacer 50 and the load beam 54 is removed. Harden. For example, when the resin-based adhesive is a thermosetting type, the second overlapping region 54Aa of the load beam side bonding surface 54A and the spacer side bonding surface 50A are overlapped and heated. As a result, the resin-based adhesive is cured and the second joint portion 52 is formed.

第二実施形態では、第二接合部52の形成時、ロードビーム54の第二非重なり域54Abが、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。その結果、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤がロードビーム54の側面54Bの近傍に溜まり難く、ロードビーム54の側面54Bにおけるフィレットの形成又は成長が抑制される。   In the second embodiment, when the second joint portion 52 is formed, the second non-overlapping area 54Ab of the load beam 54 functions as a margin (margin) where the molten metal or uncured resin adhesive spreads out. As a result, molten metal or uncured resin-based adhesive is unlikely to accumulate in the vicinity of the side surface 54B of the load beam 54, and fillet formation or growth on the side surface 54B of the load beam 54 is suppressed.

第二実施形態では、第二接合部52がスペーサ50及びロードビーム54を化学的又は物理的に接合する。したがって、嵌合接合等の従来の機械的接合方法を用いる場合に比べて、スペーサ50及びロードビーム54の接合強度が向上する。また第二実施形態では、第二接合部52の一部が、スペーサ50及びロードビーム54の間からはみ出し、ロードビーム54の第二非重なり域54Ab及びスペーサ50の側面50Bに接している。したがって、第二接合部52がスペーサ50及びロードビーム54の間からはみ出さない場合に比べて、第二接合部52とスペーサ50及びロードビーム54との接触面積が大きい。さらに、面接触により第二接合部52を形成することができるため、嵌め孔を形成するためにスペーサ50及びロードビーム54を厚くする必要がない。つまり、篏合接合ができないほどスペーサ50及びロードビーム54が薄い場合であっても、スペーサ50及びロードビーム54の接合強度が損なわれ難い。   In the second embodiment, the second joint 52 joins the spacer 50 and the load beam 54 chemically or physically. Accordingly, the bonding strength of the spacer 50 and the load beam 54 is improved as compared with the case where a conventional mechanical bonding method such as fitting bonding is used. In the second embodiment, a part of the second joint portion 52 protrudes from between the spacer 50 and the load beam 54, and is in contact with the second non-overlapping area 54 </ b> Ab of the load beam 54 and the side surface 50 </ b> B of the spacer 50. Therefore, the contact area between the second joint 52, the spacer 50, and the load beam 54 is larger than when the second joint 52 does not protrude from between the spacer 50 and the load beam 54. Furthermore, since the 2nd junction part 52 can be formed by surface contact, it is not necessary to thicken the spacer 50 and the load beam 54 in order to form a fitting hole. That is, even when the spacer 50 and the load beam 54 are so thin that joint bonding cannot be performed, the bonding strength between the spacer 50 and the load beam 54 is not easily lost.

第二実施形態の別の態様においては、スペーサ側接合面及びロードビーム側接合面のうち、スペーサ側接合面が、ロードビーム側接合面と重なる第二重なり域と、ロードビーム側接合面と重ならない第二非重なり域と、を含んでもよい。つまり、スペーサの幅が、ロードビームの短手方向における幅より大きくてもよい。この場合、スペーサ及びロードビームの間からはみ出した第二接合部52の一部(小さなフィレット)は、スペーサの第二非重なり域の少なくとも一部へ延在していてよい。また第二接合部の一部は、ロードビーム側接合面と隣り合うロードビームの側面の一部にも延在していてよい。   In another aspect of the second embodiment, of the spacer side joint surface and the load beam side joint surface, the spacer side joint surface overlaps the load beam side joint surface, and the load beam side joint surface overlaps with the second overlap region. And a second non-overlapping area that may not be included. That is, the width of the spacer may be larger than the width in the short direction of the load beam. In this case, a part (small fillet) of the second joint portion 52 protruding from between the spacer and the load beam may extend to at least a part of the second non-overlapping region of the spacer. Further, a part of the second joint portion may also extend to a part of the side surface of the load beam adjacent to the load beam side joint surface.

(第三実施形態)
図8及び9に示すように、第三実施形態に係るHSAでは、アーム4及びサスペンション8が重なる方向をおいて、円形の孔がサスペンション8を貫通している。この孔をサスペンション貫通孔8Cという。また、同じ方向において、円形の孔がアーム4を貫通している。この孔をアーム貫通孔4Cという。サスペンション貫通孔8Cの中心軸は、アーム貫通孔4Cの中心軸と一致している。サスペンション貫通孔8Cの内径は、アーム貫通孔4Cの内径よりも大きい。図8に示すように、アーム貫通孔4Cとアーム貫通孔4Cを囲むアーム4の表面(第一非重なり領域)が、サスペンション貫通孔8Cの内側に露出している。第一接合部12の一部は、サスペンション貫通孔8Cの内周とサスペンション8の外縁に沿って形成されている。
(Third embodiment)
As shown in FIGS. 8 and 9, in the HSA according to the third embodiment, a circular hole penetrates the suspension 8 in the direction in which the arm 4 and the suspension 8 overlap. This hole is referred to as a suspension through hole 8C. Further, a circular hole passes through the arm 4 in the same direction. This hole is referred to as an arm through hole 4C. The central axis of the suspension through hole 8C coincides with the central axis of the arm through hole 4C. The inner diameter of the suspension through hole 8C is larger than the inner diameter of the arm through hole 4C. As shown in FIG. 8, the arm through hole 4C and the surface of the arm 4 surrounding the arm through hole 4C (first non-overlapping region) are exposed inside the suspension through hole 8C. A part of the first joint portion 12 is formed along the inner periphery of the suspension through-hole 8 </ b> C and the outer edge of the suspension 8.

図9は、第三実施形態に係るアーム4、サスペンション8及び第一接合部12の断面であり、図8のIX−IX線における断面である。図9に示す一対の断面では、アーム4の一対の側面4Bの内側に、アーム貫通孔4Cの一対の内壁が位置する。また、サスペンション8の一対の側面8Bの内側に、サスペンション貫通孔8Cの一対の内壁が位置する。これらの点を除いて、図9に示す一対の断面それぞれは、図5bの断面とほぼ同様である。つまり、図9に示す一対の断面それぞれは、第一実施形態におけるアーム4、サスペンション8及び第一接合部12の断面とほぼ同様である。したがって、第三実施形態では、第一実施形態の場合と同様に、アーム4の第一非重なり域4Abが、第二工程において溶融金属又は樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。そのため、溶融金属又は樹脂系接着剤がアームの側面4B近傍に溜まり難く、アームの側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制される。   FIG. 9 is a cross section of the arm 4, the suspension 8, and the first joint portion 12 according to the third embodiment, and is a cross section taken along line IX-IX in FIG. In the pair of cross sections shown in FIG. 9, the pair of inner walls of the arm through hole 4 </ b> C is located inside the pair of side surfaces 4 </ b> B of the arm 4. In addition, the pair of inner walls of the suspension through-hole 8C is positioned inside the pair of side surfaces 8B of the suspension 8. Except for these points, each of the pair of cross sections shown in FIG. 9 is substantially the same as the cross section of FIG. That is, each of the pair of cross sections shown in FIG. 9 is substantially the same as the cross sections of the arm 4, the suspension 8, and the first joint portion 12 in the first embodiment. Therefore, in the third embodiment, as in the case of the first embodiment, the first non-overlapping region 4Ab of the arm 4 functions as a margin (margin) where the molten metal or the resin-based adhesive spreads in the second step. . Therefore, it is difficult for molten metal or resin adhesive to accumulate in the vicinity of the side surface 4B of the arm, and formation or growth of fillets in the vicinity of the side surface 4B of the arm is suppressed.

第三実施形態では、第二工程において、サスペンション貫通孔8Cの中心軸が、アーム貫通孔4Cの中心軸と一致するように、アーム側接合面4Aとサスペンション側接合面8Aとを重ねる。つまり、各位置決め孔の位置を合わせることにより、アーム4及びサスペンション8それぞれの位置を正確に決定する。仮に各貫通孔内にフィレットが形成された場合、各貫通孔の寸法の精度が損なわれ、アーム4及びサスペンション8の正確な位置決めが困難になる。しかし、第三実施形態では、第一実施形態の場合と同様に、アーム4の第一非重なり域4Abが、第二工程において溶融金属又は樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。そのため、溶融金属又は樹脂系接着剤がアーム貫通孔4Cの内壁近傍に溜まり難く、アーム貫通孔4Cの内壁内におけるフィレットの形成又は成長が抑制される。したがって、アーム貫通孔4Cの位置合わせにより、アーム4の位置を正確に決定することができる。   In the third embodiment, in the second step, the arm-side joining surface 4A and the suspension-side joining surface 8A are overlapped so that the central axis of the suspension through-hole 8C coincides with the central axis of the arm through-hole 4C. That is, the positions of the arms 4 and the suspension 8 are accurately determined by matching the positions of the positioning holes. If a fillet is formed in each through hole, the accuracy of the dimension of each through hole is impaired, and accurate positioning of the arm 4 and the suspension 8 becomes difficult. However, in the third embodiment, as in the case of the first embodiment, the first non-overlapping area 4Ab of the arm 4 functions as a margin (margin) where the molten metal or the resin-based adhesive spreads in the second step. . Therefore, it is difficult for molten metal or resin adhesive to accumulate in the vicinity of the inner wall of the arm through hole 4C, and the formation or growth of fillets in the inner wall of the arm through hole 4C is suppressed. Therefore, the position of the arm 4 can be accurately determined by positioning the arm through hole 4C.

(第四実施形態)
図10に示すように、第四実施形態に係るHSAでは、サスペンション貫通孔8Cの内径は、アーム貫通孔4Cの内径よりも小さい。そして、第四実施形態では、第一接合部12の一部は、アーム貫通孔4Cの内周とサスペンション8の外縁に沿って形成されている。
(Fourth embodiment)
As shown in FIG. 10, in the HSA according to the fourth embodiment, the inner diameter of the suspension through hole 8C is smaller than the inner diameter of the arm through hole 4C. In the fourth embodiment, a part of the first joint 12 is formed along the inner circumference of the arm through hole 4 </ b> C and the outer edge of the suspension 8.

図11は、第四実施形態に係るアーム4、サスペンション8及び第一接合部12の断面であり、図10のXI−XI線における断面である。図11に示すように、第四実施形態では、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aそれぞれが、第一重なり域と、第一非重なり域と、を有する。   FIG. 11 is a cross section of the arm 4, the suspension 8, and the first joint portion 12 according to the fourth embodiment, and is a cross section taken along the line XI-XI of FIG. As shown in FIG. 11, in the fourth embodiment, each of the arm-side joining surface 4A and the suspension-side joining surface 8A has a first overlapping region and a first non-overlapping region.

つまり、アーム側接合面4Aは、サスペンション側接合面8Aと重なる第一重なり域4Aaと、サスペンション側接合面8Aと重ならない第一非重なり域4Abと、を含む。サスペンション側接合面8Aは、アーム側接合面4Aと重なる第一重なり域8Aaと、アーム側接合面4Aと重ならない第一非重なり域8Abと、を含む。第一接合部12は、アーム4の第一重なり域4Aaにおいてアーム4及びサスペンション8の両方に接している。換言すれば、第一接合部12は、サスペンション8の第一重なり域8Aaにおいてアーム4及びサスペンション8の両方に接している。   That is, the arm side joining surface 4A includes a first overlapping region 4Aa that overlaps with the suspension side joining surface 8A and a first non-overlapping region 4Ab that does not overlap with the suspension side joining surface 8A. The suspension side joining surface 8A includes a first overlapping region 8Aa that overlaps with the arm side joining surface 4A and a first non-overlapping region 8Ab that does not overlap with the arm side joining surface 4A. The first joint portion 12 is in contact with both the arm 4 and the suspension 8 in the first overlapping region 4Aa of the arm 4. In other words, the first joint portion 12 is in contact with both the arm 4 and the suspension 8 in the first overlapping region 8Aa of the suspension 8.

第一接合部12の一端は、アーム4の第一非重なり域4Abの少なくとも一部へ延在している。また第一接合部12の一端は、サスペンション側接合面8Aと隣り合うサスペンション8の側面8Bの一部へ延在している。第四実施形態では、アーム4の第一非重なり域4Abが、第二工程において溶融金属又は樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。そのため、溶融金属又は樹脂系接着剤がアーム4の側面4B近傍に溜まり難く、アーム4の側面4B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制される。   One end of the first joint portion 12 extends to at least a part of the first non-overlapping region 4Ab of the arm 4. One end of the first joint portion 12 extends to a part of the side surface 8B of the suspension 8 adjacent to the suspension side joint surface 8A. In the fourth embodiment, the first non-overlapping region 4Ab of the arm 4 functions as a margin (margin) where the molten metal or the resin adhesive spreads in the second step. Therefore, the molten metal or the resin adhesive hardly accumulates in the vicinity of the side surface 4B of the arm 4, and the formation or growth of the fillet in the vicinity of the side surface 4B of the arm 4 is suppressed.

第一接合部12の他端は、サスペンション8の第一非重なり域8Abの少なくとも一部へ延在している。また第一接合部12の他端は、アーム側接合面4Aと隣り合うアーム貫通孔4Cの内壁の一部へ延在している。第四実施形態では、サスペンション8の第一非重なり域8Abが、第二工程において溶融金属又は樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。そのため、溶融金属又は樹脂系接着剤がサスペンション貫通孔8Cの内壁近傍に溜まり難く、サスペンション貫通孔8Cの内壁内におけるフィレットの形成又は成長が抑制される。したがって、サスペンション貫通孔8Cの位置合わせにより、サスペンション8の位置を正確に決定することができる。   The other end of the first joint 12 extends to at least a part of the first non-overlapping region 8Ab of the suspension 8. The other end of the first joint 12 extends to a part of the inner wall of the arm through hole 4C adjacent to the arm-side joint surface 4A. In the fourth embodiment, the first non-overlapping region 8Ab of the suspension 8 functions as a margin (margin) where the molten metal or the resin-based adhesive spreads in the second step. Therefore, the molten metal or the resin-based adhesive hardly accumulates in the vicinity of the inner wall of the suspension through hole 8C, and the formation or growth of the fillet in the inner wall of the suspension through hole 8C is suppressed. Therefore, the position of the suspension 8 can be accurately determined by the alignment of the suspension through-hole 8C.

(第五実施形態)
図12及び13に示すように、第五実施形態に係るHSAでは、第二実施形態と同様に、スペーサ50がアーム4の先端部に重なり、第一接合部12が、アーム4と、スペーサ50(サスペンション8の一部)を接合している。ロードビーム54の一方の先端部はスペーサ50に重なり、第二接合部52が、スペーサ50とロードビーム54とを接合する。
(Fifth embodiment)
As shown in FIGS. 12 and 13, in the HSA according to the fifth embodiment, as in the second embodiment, the spacer 50 overlaps the distal end portion of the arm 4, and the first joint portion 12 includes the arm 4 and the spacer 50. (Part of the suspension 8) is joined. One end of the load beam 54 overlaps the spacer 50, and the second joint 52 joins the spacer 50 and the load beam 54.

第五実施形態では、アーム4、スペーサ50及びロードビーム54が重なる方向をおいて、アーム4、スペーサ50及びロードビーム54其々に円形の貫通孔が形成されている。スペーサ50に形成された貫通孔をスペーサ貫通孔50Cという。ロードビーム54に形成された貫通孔をロードビーム貫通孔54Cという。アーム貫通孔4C、スペーサ貫通孔50C及びロードビーム貫通孔54Cそれぞれの中心軸は一致している。ロードビーム貫通孔54Cの内径は、アーム貫通孔4Cの内径とほぼ等しい。スペーサ貫通孔50Cの内径は、アーム貫通孔4Cの内径より大きい。第一接合部12の一部は、アーム4及びスペーサ50の間からはみ出し、スペーサ貫通孔50Cの内周とスペーサ50の外縁に沿って形成されている。第二接合部52の一部は、スペーサ50及びロードビーム54の間からはみ出し、スペーサ貫通孔50Cの内周とスペーサ50の外縁に沿って形成されている。   In the fifth embodiment, a circular through hole is formed in each of the arm 4, the spacer 50, and the load beam 54 in the direction in which the arm 4, the spacer 50, and the load beam 54 overlap. The through hole formed in the spacer 50 is referred to as a spacer through hole 50C. The through hole formed in the load beam 54 is referred to as a load beam through hole 54C. The central axes of the arm through hole 4C, the spacer through hole 50C, and the load beam through hole 54C coincide with each other. The inner diameter of the load beam through hole 54C is substantially equal to the inner diameter of the arm through hole 4C. The inner diameter of the spacer through hole 50C is larger than the inner diameter of the arm through hole 4C. A part of the first joint portion 12 protrudes from between the arm 4 and the spacer 50, and is formed along the inner periphery of the spacer through hole 50 </ b> C and the outer edge of the spacer 50. A part of the second joint 52 protrudes from between the spacer 50 and the load beam 54 and is formed along the inner periphery of the spacer through hole 50 </ b> C and the outer edge of the spacer 50.

図13は、第五実施形態に係るアーム4、第一接合部12、スペーサ50、第二接合部52及びロードビーム54の断面であり、図12のXIII−XIII線における断面である。図13に示す一対の断面では、アーム4の一対の側面4Bの内側に、アーム貫通孔4Cの一対の内壁が位置する。スペーサ50の一対の側面8Bの内側に、スペーサ貫通孔50Cの一対の内壁が位置する。ロードビーム54の一対の側面54Bの内側に、ロードビーム貫通孔54Cの一対の内壁が位置する。これらの点を除いて、図13に示す一対の断面それぞれは、図7bの断面とほぼ同様である。つまり、図13に示す一対の断面それぞれは、第二実施形態におけるアーム4、第一接合部12、スペーサ50、第二接合部52及びロードビーム54の断面とほぼ同様である。   13 is a cross section of the arm 4, the first joint portion 12, the spacer 50, the second joint portion 52, and the load beam 54 according to the fifth embodiment, and is a cross section taken along line XIII-XIII in FIG. In the pair of cross sections shown in FIG. 13, the pair of inner walls of the arm through hole 4 </ b> C is located inside the pair of side surfaces 4 </ b> B of the arm 4. The pair of inner walls of the spacer through-hole 50C is located inside the pair of side surfaces 8B of the spacer 50. A pair of inner walls of the load beam through hole 54C is located inside the pair of side surfaces 54B of the load beam 54. Except for these points, each of the pair of cross sections shown in FIG. 13 is substantially the same as the cross section of FIG. That is, each of the pair of cross sections shown in FIG. 13 is substantially the same as the cross section of the arm 4, the first joint 12, the spacer 50, the second joint 52, and the load beam 54 in the second embodiment.

第五実施形態では、第二実施形態と同様に、第二接合部52の形成時、ロードビーム54の第二非重なり域54Abが、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。その結果、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤がロードビーム54の側面54B及びロードビーム貫通孔54Cの近傍に溜まり難い。したがって、ロードビーム54の側面54B及びロードビーム貫通孔54Cにおけるフィレットの形成又は成長が抑制される。したがって、第五実施形態では、ロードビーム貫通孔54Cの位置合わせにより、ロードビーム54の位置を正確に決定することができる。   In the fifth embodiment, similarly to the second embodiment, when the second joint portion 52 is formed, the second non-overlapping region 54Ab of the load beam 54 has a margin (wet of molten metal or uncured resin adhesive). Functions as a margin). As a result, molten metal or uncured resin-based adhesive is unlikely to accumulate in the vicinity of the side surface 54B of the load beam 54 and the load beam through hole 54C. Therefore, the formation or growth of fillets in the side surface 54B of the load beam 54 and the load beam through hole 54C is suppressed. Therefore, in the fifth embodiment, the position of the load beam 54 can be accurately determined by positioning the load beam through hole 54C.

(第六実施形態)
図14a及び図14bに示すように、第六実施形態では、サスペンション8の短手方向の幅が、アーム4の短手方向の幅よりも広い。第六実施形態では、アーム側接合面4A及びサスペンション側接合面8Aのうち、サスペンション側接合面8Aが、アーム側接合面4Aと重なる第一重なり域8Aaと、アーム側接合面4Aと重ならない第一非重なり域8Abと、を含む。第一接合部12は、第一重なり域8Aaにおいてアーム4及びサスペンション8の両方に接しており、第一接合部12の一部は、サスペンション8の第一非重なり域8Abの少なくとも一部へ延在している。第一接合部12の一部は、アーム側接合面4Aと隣り合うアーム4の側面4Bの一部にも延在している。
(Sixth embodiment)
As shown in FIGS. 14 a and 14 b, in the sixth embodiment, the width of the suspension 8 in the short direction is wider than the width of the arm 4 in the short direction. In the sixth embodiment, among the arm-side joining surface 4A and the suspension-side joining surface 8A, the suspension-side joining surface 8A is not overlapped with the first overlapping region 8Aa that overlaps the arm-side joining surface 4A and the arm-side joining surface 4A. One non-overlapping area 8Ab. The first joint 12 is in contact with both the arm 4 and the suspension 8 in the first overlap region 8Aa, and a part of the first joint 12 extends to at least a part of the first non-overlap region 8Ab of the suspension 8. Exist. A part of the first joint portion 12 also extends to a part of the side surface 4B of the arm 4 adjacent to the arm side joint surface 4A.

第六実施形態では、第二接合部52の形成時、サスペンション8の第二非重なり域8Abが、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。また、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤は、サスペンション8の第一非重なり域8Abのみならず、アーム側接合面4Aと隣り合うアーム4の側面4Bの一部へ濡れ広がる。これらの理由により、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤はサスペンション8の側面8Bの近傍に溜まり難く、サスペンション8の側面8Bにおけるフィレットの形成又は成長が抑制される。第六実施形態の第一工程では、サスペンション側接合面8Aに隣接する面(側面8B)において、サスペンション8の素地を露出させてもよい。悠々金属又は未硬化の樹脂系接着剤に対する濡れ性に乏しいサスペンション8の素地を側面8Bに露出させることにより、第二工程において、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤が側面8B上で濡れ広がり難く、サスペンション8の側面8B近傍におけるフィレットの形成又は成長が抑制され易くなる。なお、第六実施形態の第一工程では、サスペンション側接合面8Aの裏面を、サスペンション膜又は未硬化の樹脂系接着剤で覆ってよい。サスペンション側接合面8Aの裏面を、サスペンション膜又は未硬化の樹脂系接着剤で覆わなくてもよい。   In the sixth embodiment, when the second joint portion 52 is formed, the second non-overlapping region 8Ab of the suspension 8 functions as a margin (margin) where the molten metal or the uncured resin-based adhesive spreads. Further, the molten metal or the uncured resin-based adhesive spreads wet not only on the first non-overlapping area 8Ab of the suspension 8 but also on a part of the side surface 4B of the arm 4 adjacent to the arm-side joining surface 4A. For these reasons, the molten metal or the uncured resin adhesive hardly accumulates in the vicinity of the side surface 8B of the suspension 8, and the formation or growth of fillets on the side surface 8B of the suspension 8 is suppressed. In the first step of the sixth embodiment, the substrate of the suspension 8 may be exposed on the surface (side surface 8B) adjacent to the suspension side bonding surface 8A. In many cases, the molten metal or the uncured resin adhesive spreads on the side surface 8B in the second step by exposing the base material of the suspension 8 having poor wettability to metal or uncured resin adhesive to the side surface 8B. It is difficult to suppress the formation or growth of fillets in the vicinity of the side surface 8B of the suspension 8. In the first step of the sixth embodiment, the back surface of the suspension side bonding surface 8A may be covered with a suspension film or an uncured resin adhesive. The back surface of the suspension side bonding surface 8A may not be covered with the suspension film or the uncured resin adhesive.

(第七実施形態)
図15は、アーム4の長手方向に垂直な方向における、アーム4の先端部近傍の断面図である。図15に示すように、第七実施形態では、アーム側接合面の一部が凹部を形成している。スペーサ50(又はサスペンション8)の全部が、凹部の内側に位置する。アーム側接合面のうち凹部の底及び内壁の一部が、第一重なり域4Aaである。スペーサ50(又はサスペンション8)の表面のうち、凹部の底及び内壁の一部と対向する部分は全て、スペーサ側接合面50A(又はサスペンション側接合面8A)である。凹部の内壁の残部及び凹部を囲むアーム側接合面4Aが、第一非重なり域4Abである。第一接合部12は、凹部の底及び内壁の一部とスペーサ50(又はサスペンション8)との間を充填する。第一接合部12の一部は、アーム4の第一非重なり域4Abに延在する。また、第一接合部12の一部は、凹部の底とは反対側を向くスペーサ50(又はサスペンション8)の上面の一部へ延在する。
(Seventh embodiment)
FIG. 15 is a cross-sectional view of the vicinity of the tip of the arm 4 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the arm 4. As shown in FIG. 15, in the seventh embodiment, a part of the arm-side joining surface forms a recess. The entire spacer 50 (or suspension 8) is located inside the recess. Of the arm-side joint surface, the bottom of the recess and a part of the inner wall are the first overlapping region 4Aa. Of the surface of the spacer 50 (or the suspension 8), the portions facing the bottom of the recess and a part of the inner wall are all spacer-side joining surfaces 50A (or suspension-side joining surfaces 8A). The arm-side joint surface 4A surrounding the remaining portion of the inner wall of the recess and the recess is the first non-overlapping region 4Ab. The first joint portion 12 fills a space between the bottom of the recess and a part of the inner wall and the spacer 50 (or the suspension 8). A part of the first joint 12 extends to the first non-overlapping region 4Ab of the arm 4. Further, a part of the first joint portion 12 extends to a part of the upper surface of the spacer 50 (or the suspension 8) facing the side opposite to the bottom of the recess.

第七実施形態では、第二接合部52の形成時、アーム4の第二非重なり域4Abが、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤が濡れ広がるマージン(余白)として機能する。また、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤は、アーム4の第二非重なり域4Abのみならず、スペーサ50(又はサスペンション8)の上面の一部にも濡れ広がる。これらの理由により、溶融金属又は未硬化の樹脂系接着剤はアーム4の側面4Bの近傍に溜まり難く、アーム4の側面4Bにおけるフィレットの形成又は成長が抑制される。   In the seventh embodiment, when the second joint portion 52 is formed, the second non-overlapping region 4Ab of the arm 4 functions as a margin (margin) where the molten metal or the uncured resin adhesive spreads out. Further, the molten metal or the uncured resin adhesive spreads not only on the second non-overlapping area 4Ab of the arm 4 but also on a part of the upper surface of the spacer 50 (or the suspension 8). For these reasons, the molten metal or the uncured resin adhesive hardly accumulates in the vicinity of the side surface 4B of the arm 4 and the formation or growth of the fillet on the side surface 4B of the arm 4 is suppressed.

(その他の実施形態)
磁気ヘッド装置は、一つのアーム4と、当該アーム4の先端部に重なるサスペンション8と、サスペンション8の先端部に位置するスライダ10と、アーム4の先端部とサスペンション8との間に位置し、アーム4とサスペンション8とを接合する第一接合部12と、を備え、第一接合部12がSnを含む、ヘッドアームアセンブリ(HAA)であってよい。
(Other embodiments)
The magnetic head device is located between one arm 4, a suspension 8 that overlaps the tip of the arm 4, a slider 10 that is located at the tip of the suspension 8, and the tip of the arm 4 and the suspension 8. A head arm assembly (HAA) including a first joint 12 that joins the arm 4 and the suspension 8, and the first joint 12 includes Sn.

スペーサ50とロードビーム54とは、例えばスポット溶接により、直接溶接されていてよい。この場合、第二接合部52は、スペーサ50及びロードビーム54の間に形成されていなくてよい。   The spacer 50 and the load beam 54 may be directly welded, for example, by spot welding. In this case, the second joint portion 52 may not be formed between the spacer 50 and the load beam 54.

本発明の一側面に係る磁気ヘッド装置は、例えば、ハードディスクドライブ(HDD)に搭載されるHSAに適用される。   The magnetic head device according to one aspect of the present invention is applied to, for example, an HSA mounted on a hard disk drive (HDD).

2…HSA(磁気ヘッド装置)、4…アーム、4A…アーム側接合面、4Aa…アームの第一重なり域、4Ab…アームの第一非重なり域、6…キャリッジ、8…サスペンション、8A…サスペンション側接合面、8Aa…サスペンションの第一重なり域、8Ab…サスペンションの第一非重なり域、10…スライダ、11…HGA、12…第一接合部、14…コイル部、16…磁気ディスク、18…磁気ディスク装置、20…スピンドルモータ、22…永久磁石、34…アーム膜、38…サスペンション膜、40…フィレット、50…スペーサ、50A…スペーサ側接合面、52…第二接合部、54…ロードビーム、54A…ロードビーム側接合面、54Aa…ロードビームの第二重なり域、54Ab…ロードビームの第二非重なり域、56…フレキシャ。   2 ... HSA (magnetic head device), 4 ... arm, 4A ... arm side joining surface, 4Aa ... first overlap region of arm, 4Ab ... first non-overlap region of arm, 6 ... carriage, 8 ... suspension, 8A ... suspension Side joining surface, 8Aa ... first overlapping area of suspension, 8Ab ... first non-overlapping area of suspension, 10 ... slider, 11 ... HGA, 12 ... first joining part, 14 ... coil part, 16 ... magnetic disk, 18 ... Magnetic disk drive, 20 ... spindle motor, 22 ... permanent magnet, 34 ... arm film, 38 ... suspension film, 40 ... fillet, 50 ... spacer, 50A ... spacer side joining surface, 52 ... second joining part, 54 ... load beam 54A ... Load beam side joint surface, 54Aa ... Second overlap region of load beam, 54Ab ... Second non-overlap region of load beam, 5 ... flexure.

Claims (6)

アームと、
前記アームの先端部に重なるサスペンションと、
前記サスペンションの先端部に位置するスライダと、
前記アームの先端部と前記サスペンションとの間に位置し、前記アームと前記サスペンションとを接合する第一接合部と、
を備え、
前記第一接合部が、Sn、又は樹脂系接着剤を含み、
アーム側接合面が、前記アームの表面のうち前記サスペンションに対向する面と定義され、
サスペンション側接合面が、前記サスペンションの表面のうち前記アームに対向する面と定義されるとき、
前記アーム側接合面及び前記サスペンション側接合面のうち、少なくとも一方の接合面は、他方の接合面と重なる第一重なり域と、前記他方の接合面と重ならない第一非重なり域と、を含み、
前記第一接合部は、前記第一重なり域において前記アーム及び前記サスペンションの両方に接しており、
前記第一接合部の一部は、前記第一非重なり域の少なくとも一部へ延在している、
磁気ヘッド装置。
Arm,
A suspension overlapping the tip of the arm;
A slider located at the tip of the suspension;
A first joint that is located between the tip of the arm and the suspension, and joins the arm and the suspension;
With
The first joint includes Sn or a resin adhesive,
The arm side joint surface is defined as a surface of the arm surface facing the suspension,
When the suspension side joint surface is defined as a surface of the suspension surface facing the arm,
Of the arm-side joint surface and the suspension-side joint surface, at least one joint surface includes a first overlap region that overlaps the other joint surface and a first non-overlap region that does not overlap the other joint surface. ,
The first joint is in contact with both the arm and the suspension in the first overlap region,
A portion of the first joint extends to at least a portion of the first non-overlapping region;
Magnetic head device.
前記第一接合部が、Snを含有する合金を含み、
前記合金が、Ag、Cu、Bi、In、Ni、Zn、P及びAuからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有する、
請求項1に記載の磁気ヘッド装置。
The first joint includes an alloy containing Sn;
The alloy contains at least one selected from the group consisting of Ag, Cu, Bi, In, Ni, Zn, P and Au;
The magnetic head device according to claim 1.
前記サスペンションは、
前記アームの先端部に重なり、前記第一接合部によって前記アームに接合されるスペーサと、
一方の先端部が前記スペーサに重なり、他方の先端部に前記スライダが位置するロードビームと、
前記スペーサと前記ロードビームとの間に位置し、前記スペーサと前記ロードビームとを接合する第二接合部と、
を含み、
前記第二接合部が、Sn、又は樹脂系接着剤を含み、
スペーサ側接合面が、前記スペーサの表面のうち前記ロードビームに対向する面と定義され、
ロードビーム側接合面が、前記ロードビームの表面のうち前記スペーサに対向する面と定義されるとき、
前記スペーサ側接合面及び前記ロードビーム側接合面のうち、少なくとも一方の接合面は、他方の接合面と重なる第二重なり域と、前記他方の接合面と重ならない第二非重なり域と、を含み、
前記第二接合部は、前記第二重なり域において前記スペーサ及び前記ロードビームの両方に接しており、
前記接合部の一部は、前記第二非重なり域の少なくとも一部へ延在している、
請求項1又は2に記載の磁気ヘッド装置。
The suspension is
A spacer that overlaps the tip of the arm and is joined to the arm by the first joint;
A load beam in which one tip overlaps the spacer and the slider is located on the other tip;
A second joint that is located between the spacer and the load beam and joins the spacer and the load beam;
Including
The second joint includes Sn or a resin adhesive,
The spacer side bonding surface is defined as a surface of the spacer surface facing the load beam,
When the load beam side joint surface is defined as a surface of the load beam surface facing the spacer,
Of the spacer side bonding surface and the load beam side bonding surface, at least one bonding surface has a second overlapping region that overlaps the other bonding surface and a second non-overlapping region that does not overlap the other bonding surface. Including
The second joint is in contact with both the spacer and the load beam in the second overlap region;
A portion of the joint extends to at least a portion of the second non-overlapping region;
The magnetic head device according to claim 1.
前記第二接合部が、Snを含有する合金を含み、
前記合金が、Ag、Cu、Bi、In、Ni、Zn、P及びAuからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有する、
請求項3に記載の磁気ヘッド装置。
The second joint includes an alloy containing Sn;
The alloy contains at least one selected from the group consisting of Ag, Cu, Bi, In, Ni, Zn, P and Au;
The magnetic head device according to claim 3.
前記サスペンションは、
前記アームの先端部に重なり、前記第一接合部によって前記アームに接合されるスペーサと、
一方の先端部が前記スペーサに重なり、他方の先端部に前記スライダが位置するロードビームと、
を含み、
前記スペーサと前記ロードビームとが直接溶接されている、
請求項1又は2に記載の磁気ヘッド装置。
The suspension is
A spacer that overlaps the tip of the arm and is joined to the arm by the first joint;
A load beam in which one tip overlaps the spacer and the slider is located on the other tip;
Including
The spacer and the load beam are directly welded,
The magnetic head device according to claim 1.
複数の前記アームを有するキャリッジを備える、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。
Comprising a carriage having a plurality of said arms;
The magnetic head device according to claim 1.
JP2015058496A 2015-03-20 2015-03-20 Magnetic head device Expired - Fee Related JP6435942B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015058496A JP6435942B2 (en) 2015-03-20 2015-03-20 Magnetic head device
US15/071,881 US9514772B2 (en) 2015-03-20 2016-03-16 Magnetic head device having suspension and spacer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015058496A JP6435942B2 (en) 2015-03-20 2015-03-20 Magnetic head device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016177856A true JP2016177856A (en) 2016-10-06
JP6435942B2 JP6435942B2 (en) 2018-12-12

Family

ID=57070371

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015058496A Expired - Fee Related JP6435942B2 (en) 2015-03-20 2015-03-20 Magnetic head device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6435942B2 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01159613A (en) * 1987-12-16 1989-06-22 Nec Kansai Ltd Formation of ultrasonic solder pattern
JPH07262724A (en) * 1994-03-17 1995-10-13 Fujitsu Ltd Actuator arm assembly of magnetic disk device
JPH1055640A (en) * 1996-06-14 1998-02-24 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Head suspension of hard disk mounted with adhesive and mounting method
JPH1139629A (en) * 1997-07-23 1999-02-12 Suncall Corp Magnetic head slider supporting mechanism and its production
JP2003085722A (en) * 2001-07-02 2003-03-20 Alps Electric Co Ltd Chip-on suspension type magnetic head and its manufacturing method
WO2010046980A1 (en) * 2008-10-23 2010-04-29 東芝ストレージデバイス株式会社 Carriage assembly, method of producing the same, and information storing device

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01159613A (en) * 1987-12-16 1989-06-22 Nec Kansai Ltd Formation of ultrasonic solder pattern
JPH07262724A (en) * 1994-03-17 1995-10-13 Fujitsu Ltd Actuator arm assembly of magnetic disk device
JPH1055640A (en) * 1996-06-14 1998-02-24 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Head suspension of hard disk mounted with adhesive and mounting method
JPH1139629A (en) * 1997-07-23 1999-02-12 Suncall Corp Magnetic head slider supporting mechanism and its production
JP2003085722A (en) * 2001-07-02 2003-03-20 Alps Electric Co Ltd Chip-on suspension type magnetic head and its manufacturing method
WO2010046980A1 (en) * 2008-10-23 2010-04-29 東芝ストレージデバイス株式会社 Carriage assembly, method of producing the same, and information storing device

Also Published As

Publication number Publication date
JP6435942B2 (en) 2018-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7372669B2 (en) Magnetic disk drive, wiring connection structure and terminal structure
US7307816B1 (en) Flexure design and assembly process for attachment of slider using solder and laser reflow
US6796018B1 (en) Method of forming a slider/suspension assembly
US8533936B1 (en) Systems and methods for pre-heating adjacent bond pads for soldering
CN108630235B (en) Suspension assembly, head suspension assembly and disk device with the same
US7583475B2 (en) Rotating disk storage device and integrated wire head suspension assembly
JP2004283911A (en) Method for mounting magnetic head parts, magnetic head device and method for manufacturing magnetic head device
US20140210110A1 (en) Attachment of microelectronic components
JP4018702B2 (en) Magnetic head assembly
JP2005251262A (en) Head/slider support structure, and rotary disk-shaped storage device
JP2010272171A (en) Head suspension
JP6435942B2 (en) Magnetic head device
US9514772B2 (en) Magnetic head device having suspension and spacer
JP6413865B2 (en) Magnetic head device
JP6067347B2 (en) Manufacturing method of head gimbal assembly, manufacturing method of flexure constituting the same, and flexure sheet used for manufacturing head gimbal assembly and flexure
US6665151B1 (en) Flexible tabs for improved microactuator assembly process
JP6464855B2 (en) Magnetic head device
US20120196152A1 (en) Method of bonding conductive material to stainless steel, and hdd magnetic head suspension
US20200286510A1 (en) Hard disk comb, actuator, and manufacturing method of hard disk comb
US8213124B2 (en) Flex cable assembly for robust right angle interconnect
WO2007142108A1 (en) Method of manufacturing light-emitting device
JPS5963058A (en) Assembling method of magnetic head
JP2002050018A (en) Method for manufacturing magnetic head device, solder ball supply element, and its manufacturing method
JP2000155922A (en) Slider for magnetic head
CN115376565A (en) Suspension for magnetic disk device, electronic component, and method for connecting suspension and electronic component

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171226

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180607

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180710

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180831

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181016

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181029

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6435942

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees