JP2016168516A - Droplet discharge device, droplet discharge method, and manufacturing method of device with film - Google Patents
Droplet discharge device, droplet discharge method, and manufacturing method of device with film Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016168516A JP2016168516A JP2015048075A JP2015048075A JP2016168516A JP 2016168516 A JP2016168516 A JP 2016168516A JP 2015048075 A JP2015048075 A JP 2015048075A JP 2015048075 A JP2015048075 A JP 2015048075A JP 2016168516 A JP2016168516 A JP 2016168516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- droplet discharge
- droplet
- region
- head
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 75
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 84
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 77
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 51
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 78
- 239000000463 material Substances 0.000 description 70
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 32
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 32
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 31
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 23
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 21
- 239000002585 base Substances 0.000 description 18
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 15
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 14
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 13
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 9
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 5
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001508 alkali metal halide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000008045 alkali metal halides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 3
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 3
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 3
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 3
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 3
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 1,2-bis[(e)-2-phenylethenyl]benzene Chemical class C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1\C=C\C1=CC=CC=C1 NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 0.000 description 2
- BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole Chemical class C1=CC=C2OC=NC2=C1 BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RAPHUPWIHDYTKU-WXUKJITCSA-N 9-ethyl-3-[(e)-2-[4-[4-[(e)-2-(9-ethylcarbazol-3-yl)ethenyl]phenyl]phenyl]ethenyl]carbazole Chemical group C1=CC=C2C3=CC(/C=C/C4=CC=C(C=C4)C4=CC=C(C=C4)/C=C/C=4C=C5C6=CC=CC=C6N(C5=CC=4)CC)=CC=C3N(CC)C2=C1 RAPHUPWIHDYTKU-WXUKJITCSA-N 0.000 description 2
- 108010043121 Green Fluorescent Proteins Proteins 0.000 description 2
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 2
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001615 alkaline earth metal halide Inorganic materials 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical class C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 2
- 125000005264 aryl amine group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001562 benzopyrans Chemical class 0.000 description 2
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N benzothiazole Chemical class C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001544 thienyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 1-(2,2-diphenylethenyl)-4-[4-(2,2-diphenylethenyl)phenyl]benzene Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC(C=C(C=3C=CC=CC=3)C=3C=CC=CC=3)=CC=2)C=CC=1C=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFKNYYQRWMMFSM-UHFFFAOYSA-N 1-ethyl-9h-carbazole;formaldehyde Chemical compound O=C.N1C2=CC=CC=C2C2=C1C(CC)=CC=C2 LFKNYYQRWMMFSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEBQUUKDSJCPIX-UHFFFAOYSA-N 12h-benzo[a]thioxanthene Chemical class C1=CC=CC2=C3CC4=CC=CC=C4SC3=CC=C21 YEBQUUKDSJCPIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SGVWYBWDUWNAHS-UHFFFAOYSA-N 2,3,7,8,12,13,17,18-octaethyl-2,21-dihydroporphyrin platinum Chemical compound [Pt].C(C)C=1C=2N=C(C1CC)C=C1C(=C(C(=N1)C=C1C(C(=C(N1)C=C1C(=C(C(=N1)C2)CC)CC)CC)CC)CC)CC SGVWYBWDUWNAHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MVWPVABZQQJTPL-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylcyclohexa-2,5-diene-1,4-dione Chemical class O=C1C=CC(=O)C(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 MVWPVABZQQJTPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004215 2,4-difluorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C(F)C([H])=C1F 0.000 description 1
- YLYPIBBGWLKELC-RMKNXTFCSA-N 2-[2-[(e)-2-[4-(dimethylamino)phenyl]ethenyl]-6-methylpyran-4-ylidene]propanedinitrile Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1\C=C\C1=CC(=C(C#N)C#N)C=C(C)O1 YLYPIBBGWLKELC-RMKNXTFCSA-N 0.000 description 1
- HXWWMGJBPGRWRS-CMDGGOBGSA-N 4- -2-tert-butyl-6- -4h-pyran Chemical compound O1C(C(C)(C)C)=CC(=C(C#N)C#N)C=C1\C=C\C1=CC(C(CCN2CCC3(C)C)(C)C)=C2C3=C1 HXWWMGJBPGRWRS-CMDGGOBGSA-N 0.000 description 1
- 229920003026 Acene Polymers 0.000 description 1
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 229910017073 AlLi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ROFVEXUMMXZLPA-UHFFFAOYSA-N Bipyridyl Chemical group N1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 ROFVEXUMMXZLPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GIFBPZIPGUMWRN-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C1=[N+](C=CC=C1)S(=O)(=O)[O-] Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C1=[N+](C=CC=C1)S(=O)(=O)[O-] GIFBPZIPGUMWRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000000918 Europium Chemical class 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- HFOJEFOLXLWMJW-UHFFFAOYSA-N [N+]1(=CC=CC=C1)S(=O)(=O)OC1=CC=C(C=C1F)F Chemical compound [N+]1(=CC=CC=C1)S(=O)(=O)OC1=CC=C(C=C1F)F HFOJEFOLXLWMJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N acetylacetonate Chemical compound CC(=O)[CH-]C(C)=O CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001339 alkali metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940058303 antinematodal benzimidazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 229940027991 antiseptic and disinfectant quinoline derivative Drugs 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 125000003785 benzimidazolyl group Chemical class N1=C(NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001846 chrysenes Chemical class 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- OPHUWKNKFYBPDR-UHFFFAOYSA-N copper lithium Chemical compound [Li].[Cu] OPHUWKNKFYBPDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001893 coumarin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- BKMIWBZIQAAZBD-UHFFFAOYSA-N diindenoperylene Chemical group C12=C3C4=CC=C2C2=CC=CC=C2C1=CC=C3C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C3=CC=C4C1=C32 BKMIWBZIQAAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 150000002219 fluoranthenes Chemical class 0.000 description 1
- OHUWRYQKKWKGKG-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;pyrene Chemical compound O=C.C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 OHUWRYQKKWKGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CECAIMUJVYQLKA-UHFFFAOYSA-N iridium 1-phenylisoquinoline Chemical compound [Ir].C1=CC=CC=C1C1=NC=CC2=CC=CC=C12.C1=CC=CC=C1C1=NC=CC2=CC=CC=C12.C1=CC=CC=C1C1=NC=CC2=CC=CC=C12 CECAIMUJVYQLKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBNYWRKRZTXMCU-UHFFFAOYSA-N iridium;2-phenylpyridine Chemical compound [Ir].C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1.C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 DBNYWRKRZTXMCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTRAMYYYHJZWQK-UHFFFAOYSA-N iridium;2-phenylpyridine Chemical compound [Ir].C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 RTRAMYYYHJZWQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- CUONGYYJJVDODC-UHFFFAOYSA-N malononitrile Chemical compound N#CCC#N CUONGYYJJVDODC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 1
- VOFUROIFQGPCGE-UHFFFAOYSA-N nile red Chemical compound C1=CC=C2C3=NC4=CC=C(N(CC)CC)C=C4OC3=CC(=O)C2=C1 VOFUROIFQGPCGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N orlistat Chemical compound CCCCCCCCCCC[C@H](OC(=O)[C@H](CC(C)C)NC=O)C[C@@H]1OC(=O)[C@H]1CCCCCC AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N 0.000 description 1
- 229960003540 oxyquinoline Drugs 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002987 phenanthrenes Chemical class 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 150000004033 porphyrin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000004032 porphyrins Chemical group 0.000 description 1
- 150000003220 pyrenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- 229940083082 pyrimidine derivative acting on arteriolar smooth muscle Drugs 0.000 description 1
- 150000003230 pyrimidines Chemical class 0.000 description 1
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003252 quinoxalines Chemical class 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical class [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004771 selenides Chemical class 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 150000003967 siloles Chemical class 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940042055 systemic antimycotics triazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004772 tellurides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000003518 tetracenes Chemical class 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Description
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法に関する。 The present invention relates to a droplet discharge apparatus, a droplet discharge method, and a method for manufacturing a device with a film.
成膜材料を溶媒に溶解してなる成膜性インクを液滴吐出装置を用いて基板上に供給(塗布)し、その基板上の成膜性インクから溶媒を除去(乾燥)することにより成膜を行う成膜方法が実用に供されている(例えば、特許文献1参照)。 A film forming ink obtained by dissolving a film forming material in a solvent is supplied (applied) onto a substrate using a droplet discharge device, and the solvent is removed (dried) from the film forming ink on the substrate. A film forming method for forming a film has been put to practical use (for example, see Patent Document 1).
この成膜方法を用いて、例えば、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子の有機層(例えば、発光層および正孔輸送層等)、カラーフィルターの着色層および配線基板の導体パターン等の膜付きデバイスが備える各種膜を形成することが提案されている。 Using this film formation method, for example, organic layers of organic electroluminescence (organic EL) elements (for example, light-emitting layers and hole transport layers), colored layers of color filters, and conductor patterns of wiring boards, etc. It has been proposed to form various films included in.
このような有機層や、導体パターン等の膜のパターニング(成膜方法)は、形成すべき膜の形状に対応した開口部を備える隔壁(バンク)を基板(成膜用基板)上に形成して成膜領域を確保した後、その開口部内に、成膜用インクを液滴として供給し、その後、加熱して溶媒を除去することにより行われる。 Patterning (film formation method) of such an organic layer or a film such as a conductor pattern is performed by forming a partition (bank) having an opening corresponding to the shape of the film to be formed on the substrate (film formation substrate). After securing the film formation region, the film formation ink is supplied as droplets into the opening, and then heated to remove the solvent.
さらに、有機EL素子等の膜付きデバイスは、その生産性を向上させるという観点からは、1つの基板からサイズの異なる膜付きデバイスを複数個取り(共取り)することが行われることがある。そのため、膜付きデバイスを製造するために基板上に形成される隔壁は、膜付きデバイスのサイズ毎に、その開口部のサイズや、向き等が異なってくる。 Furthermore, from the viewpoint of improving the productivity of a film-equipped device such as an organic EL element, a plurality of film-equipped devices having different sizes may be taken (co-removed) from one substrate. Therefore, the partition formed on the substrate for manufacturing the device with a film has a different size, orientation, and the like of the opening for each size of the device with a film.
ここで、このような成膜方法に用いられる液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは、複数の液滴吐出ヘッドを備えている。そして、これら液滴吐出ヘッドは、一般に、吐出ノズルを複数備えており、個々の吐出ノズルから成膜性インクを液滴として吐出し、この吐出された液滴が、隔壁が備える開口部に供給される。また、これら複数の液滴吐出ヘッドでは、通常、吐出ノズルのノズルピッチが同一となっている。 Here, the head unit included in the droplet discharge device used in such a film forming method includes a plurality of droplet discharge heads. In general, these droplet discharge heads are provided with a plurality of discharge nozzles. Each of the discharge nozzles discharges a film-forming ink as droplets, and the discharged droplets are supplied to openings provided in the partition walls. Is done. Moreover, in these several droplet discharge heads, the nozzle pitch of the discharge nozzles is usually the same.
そのため、サイズが異なる膜付きデバイスの形成に用いられる基板が備える、サイズさらには向きが異なる隔壁の開口部に対して、各吐出ノズルから吐出される液滴を、優れた精度で供給することは困難であった。 Therefore, it is possible to supply droplets discharged from each discharge nozzle with excellent accuracy to the openings of partition walls with different sizes and orientations, which are provided in the formation of devices with films of different sizes. It was difficult.
なお、特許文献2では、異なるノズルピッチで形成された吐出ノズルを備える液滴吐出ヘッドを複数有する液滴吐出装置が提案されている。しかしながら、この液滴吐出装置では、液滴を供給する際に、基板を移動させる主走査方向と、液滴吐出ヘッドを移動させる副走査方向とが直交する方向となっており、さらに、複数の液滴吐出ヘッドが副走査方向に並んで配列されている。したがって、一度の基板の主走査方向への走査で、複数の液滴吐出ヘッドから同時に隔壁が備える開口部に液滴を供給することは困難であった。また、たとえ可能であったとしても、複数の液滴吐出ヘッドからの液滴吐出の制御に困難を極め、優れた精度で、開口部に液滴を供給することはできなかった。
本発明の目的は、基板が備える隔壁のサイズが異なる開口部に優れた精度で液滴を供給することができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a droplet discharge device capable of supplying droplets with excellent accuracy to openings having different partition wall sizes, a droplet discharge method using such a droplet discharge device, and a film-coated device. It is in providing the manufacturing method of.
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
[適用例1]
本発明の液滴吐出装置は、基体とヘッドユニットとを相対的に第1の方向に移動させる主走査を行いながら、ヘッドユニットから基体に対し液滴を供給する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドユニットは、前記液滴をそれぞれ吐出する第1液滴吐出ヘッドおよび第2液滴吐出ヘッドを備え、
前記第1液滴吐出ヘッドは、複数の第1吐出ノズルが第1のノズルピッチで前記第1の方向と交差する方向に並んで配設されてなる第1のノズル列を有し、
前記第2液滴吐出ヘッドは、複数の第2吐出ノズルが前記第1のノズルピッチよりも小さい第2のノズルピッチで前記第1の方向に交差する方向に並んで配設されてなる第2のノズル列を有し、
前記第1液滴吐出ヘッドと前記第2液滴吐出ヘッドは、前記第1の方向において互いに異なる位置に配置されていることを特徴とする。
[Application Example 1]
A droplet discharge device of the present invention is a droplet discharge device that supplies droplets from a head unit to a substrate while performing main scanning that relatively moves the substrate and the head unit in a first direction.
The head unit includes a first droplet discharge head and a second droplet discharge head that discharge the droplets,
The first liquid droplet ejection head has a first nozzle row in which a plurality of first ejection nozzles are arranged side by side in a direction intersecting the first direction at a first nozzle pitch.
The second droplet discharge head includes a second droplet discharge nozzle arranged side by side in a direction intersecting the first direction at a second nozzle pitch smaller than the first nozzle pitch. Nozzle row,
The first droplet ejection head and the second droplet ejection head are arranged at different positions in the first direction.
かかる構成の液滴吐出装置とすることで、大きさの異なる第1の領域および第2の領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。 By using the droplet discharge device having such a configuration, droplets can be supplied to the first region and the second region having different sizes with excellent accuracy.
[適用例2]
本発明の液滴吐出装置では、前記第2液滴吐出ヘッドは、前記第1吐出ノズルから吐出する液滴より少ない量の液滴を、前記第2吐出ノズルから吐出することが可能であることが好ましい。
これにより、第1および第2領域に液滴を優れた精度で供給することができる。
[Application Example 2]
In the droplet discharge device of the present invention, the second droplet discharge head can discharge a smaller amount of droplets from the second discharge nozzle than the droplets discharged from the first discharge nozzle. Is preferred.
Thereby, a droplet can be supplied to the first and second regions with excellent accuracy.
[適用例3]
本発明の液滴吐出装置では、前記第2吐出ノズルのノズル径は、前記第1吐出ノズルのノズル径より小さいことが好ましい。
[Application Example 3]
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the nozzle diameter of the second discharge nozzle is smaller than the nozzle diameter of the first discharge nozzle.
これにより、前記第1吐出ノズルから吐出する液滴より少ない量の液滴を、前記第2吐出ノズルから吐出することができる。 Thereby, a smaller amount of liquid droplets than the liquid discharged from the first discharge nozzle can be discharged from the second discharge nozzle.
[適用例4]
本発明の液滴吐出装置では、前記ヘッドユニットは、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って設けられた案内レールを備え、前記案内レールに前記第2液滴吐出ヘッドが取り付けられ、
前記第2液滴吐出ヘッドは、前記ヘッドユニットに対して、前記第2の方向に移動可能となっていることが好ましい。
[Application Example 4]
In the droplet discharge apparatus of the present invention, the head unit includes a guide rail provided along a second direction intersecting the first direction, and the second droplet discharge head is attached to the guide rail. And
It is preferable that the second droplet discharge head is movable in the second direction with respect to the head unit.
かかる構成のヘッドユニットにおいて、第2液滴吐出ヘッドを移動させることで、第2液滴吐出ヘッドを第2の領域に対して優れた精度で位置決めさせることができる。 In the head unit configured as described above, the second droplet discharge head can be positioned with excellent accuracy relative to the second region by moving the second droplet discharge head.
[適用例5]
本発明の液滴吐出装置では、前記第2液滴吐出ヘッドは、その前記第2の方向に移動可能な可動幅が、前記ヘッドユニットの前記第1の方向への主走査の後に、前記ヘッドユニットを前記第2の方向へ移動させる副走査での移動幅と等しく設定されていることが好ましい。
[Application Example 5]
In the droplet discharge device of the present invention, the second droplet discharge head has a movable width movable in the second direction after the main scanning of the head unit in the first direction. It is preferable that the width is set equal to the movement width in the sub-scanning movement of the unit in the second direction.
これにより、第2液滴吐出ヘッドにより供給すべき第2の領域に確実に第2液滴吐出ヘッドを位置合わせすることができる。 Accordingly, the second droplet discharge head can be reliably aligned with the second region to be supplied by the second droplet discharge head.
[適用例6]
本発明の液滴吐出装置では、前記第1のノズル列のノズル列長と、前記第2のノズル列のノズル列長とが等しいことが好ましい。
[Application Example 6]
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the nozzle row length of the first nozzle row is equal to the nozzle row length of the second nozzle row.
これにより、前記ヘッドユニットを、前記基板に対して前記第1の方向に相対的に移動させる際に、前記第1液滴吐出ヘッドおよび前記第2液滴吐出ヘッドにおいて両端に位置する吐出ノズル同士を前記基体上の同一の位置を通過させることができる。 Thus, when the head unit is moved relative to the substrate in the first direction, the discharge nozzles positioned at both ends of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head Can pass through the same position on the substrate.
[適用例7]
本発明の液滴吐出装置では、前記第1吐出ノズルと前記第2吐出ノズルとは、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第1の方向に相対的に移動させる際に、両端に位置する吐出ノズル同士が前記基体上の同一の位置を通過することが好ましい。
[Application Example 7]
In the droplet discharge device of the present invention, the first discharge nozzle and the second discharge nozzle are positioned at both ends when the head unit is moved relative to the base in the first direction. It is preferable that the discharge nozzles to be passed pass through the same position on the substrate.
これにより、前記第1の領域および前記第2の領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。 Thereby, it is possible to supply droplets with excellent accuracy to the first region and the second region.
[適用例8]
本発明の液滴吐出装置では、前記基体は、第1の領域と、第1の領域よりも面積が小さい第2の領域とを有し、
前記第1液滴吐出ヘッドは前記第1の領域に対して前記液滴を吐出し、
前記第2液滴吐出ヘッドは前記第2の領域に対して前記液滴を吐出することが好ましい。
[Application Example 8]
In the droplet discharge device of the present invention, the base has a first region and a second region having a smaller area than the first region,
The first droplet discharge head discharges the droplet to the first region;
The second droplet discharge head preferably discharges the droplet to the second region.
かかる構成の液滴吐出装置とすることで、前記第1の領域および前記第2の領域に、すなわち基体が備えるサイズが異なる領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。 By using the droplet discharge device having such a configuration, it is possible to supply droplets with excellent accuracy to the first region and the second region, that is, to regions having different sizes of the substrate.
[適用例9]
本発明の液滴吐出装置では、前記基体は、第1の隔壁と第2の隔壁とを備え、
前記第1の領域は、前記第1の隔壁に形成された第1の開口部により区画されてなり、
前記第2の領域は、前記第2の隔壁に形成された第2の開口部により区画されてなることが好ましい。
[Application Example 9]
In the droplet discharge device of the present invention, the base body includes a first partition and a second partition,
The first region is defined by a first opening formed in the first partition;
The second region is preferably defined by a second opening formed in the second partition wall.
かかる構成の液滴吐出装置とすることで、前記第1の開口部および前記第2の開口部に、すなわち基体が備えるサイズが異なる開口部に、優れた精度で液滴を供給することができる。 By using the droplet discharge device having such a configuration, it is possible to supply droplets with excellent accuracy to the first opening and the second opening, that is, to openings having different sizes of the base. .
[適用例10]
本発明の液滴吐出装置では、さらに、前記第2液滴吐出ヘッドは、前記第1の領域に対し前記液滴を吐出するよう構成されていることが好ましい。
[Application Example 10]
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the second droplet discharge head is configured to discharge the droplets to the first region.
これにより、第2液滴吐出ヘッドから吐出される液滴を、第1隔壁に付着させることなく、第1の開口部の縁部まで優れた精度で供給することができる。そのため、液滴を乾燥することで得られる膜の成膜精度の向上が図られる。 Thereby, the droplet discharged from the second droplet discharge head can be supplied with excellent accuracy to the edge of the first opening without adhering to the first partition. Therefore, the film formation accuracy of the film obtained by drying the droplets can be improved.
[適用例11]
本発明の液滴吐出方法は、本発明の液滴吐出装置が備える前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第1の方向に相対的に移動させつつ、
前記第1液滴吐出ヘッドが前記第1の領域と相対する際に、前記第1液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出して前記第1の領域に供給し、前記第2液滴吐出ヘッドが前記第2の領域と相対する際に、前記第2液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出して前記第2の領域に供給することを特徴とする。
[Application Example 11]
In the droplet discharge method of the present invention, the head unit included in the droplet discharge device of the present invention is moved relative to the base in the first direction,
When the first droplet discharge head faces the first region, the droplets are discharged from the first droplet discharge head and supplied to the first region, and the second droplet discharge head Is opposed to the second region, the droplets are ejected from the second droplet ejection head and supplied to the second region.
かかる構成の液滴吐出方法により、前記第1の領域および前記第2の領域に、すなわち基板が備えるサイズが異なる領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。 With the droplet discharge method having such a configuration, it is possible to supply droplets with excellent accuracy to the first region and the second region, that is, regions having different sizes included in the substrate.
[適用例12]
本発明の液滴吐出方法では、前記液滴が供給される前記基体において、前記第1の領域および前記第2の領域は、前記主走査方向に沿って配設されることが好ましい。
[Application Example 12]
In the droplet discharge method according to the aspect of the invention, it is preferable that the first region and the second region are disposed along the main scanning direction in the substrate to which the droplet is supplied.
このような前記第1の領域および前記第2の領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。 Droplets can be supplied to the first region and the second region with excellent accuracy.
[適用例13]
本発明の液滴吐出方法では、前記第1の領域および前記第2の領域は、それぞれ、前記副走査方向に長い形状をなしていることが好ましい。
[Application Example 13]
In the droplet discharge method of the present invention, it is preferable that each of the first region and the second region has a long shape in the sub-scanning direction.
このような前記第1の領域および前記第2の領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。 Droplets can be supplied to the first region and the second region with excellent accuracy.
[適用例14]
本発明の液滴吐出方法では、前記第1の領域は、前記副走査方向に長い形状をなし、前記第2の領域は、前記主走査方向に長い長方形状をなしていることが好ましい。
[Application Example 14]
In the droplet discharge method of the present invention, it is preferable that the first region has a long shape in the sub-scanning direction, and the second region has a long rectangular shape in the main scanning direction.
このような前記第1の領域および前記第2の領域に対しても、優れた精度で液滴を供給することができる。 Droplets can be supplied to the first region and the second region with excellent accuracy.
[適用例15]
本発明の膜付きデバイスの製造方法は、本発明の液滴吐出方法を用いて、前記液滴を前記第1の領域および前記第2の領域にそれぞれ供給して、前記第1の領域および前記第2の領域内の前記基体上に、液状被膜を形成する供給工程と、
前記液状被膜を加熱して乾燥させることで、前記第1の領域および前記第2の領域において膜を成膜する成膜工程と、
前記基体の前記第1の領域を含む第1の部分と、前記第2の領域を含む第2の部分とで分割することで、サイズの異なる膜付きデバイスを得る分割工程とを有することを特徴とする。
[Application Example 15]
The method for manufacturing a film-coated device according to the present invention supplies the droplets to the first region and the second region, respectively, using the droplet discharge method according to the present invention. A supply step of forming a liquid film on the substrate in a second region;
A film forming step of forming a film in the first region and the second region by heating and drying the liquid film;
A dividing step of obtaining a film-coated device having different sizes by dividing the substrate into a first portion including the first region and a second portion including the second region. And
かかる膜付きデバイスの製造方法によれば、サイズの異なる膜付きデバイスを一括して複数製造することができる。 According to this method for manufacturing a device with a film, a plurality of devices with a film having different sizes can be manufactured in a lump.
以下、本発明の液滴吐出装置、液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法について、図面に示す好適な実施形態に基づいて説明する。なお、各図では、説明の便宜上、各部の縮尺が適宜変更されており、図示の構成は実際の縮尺と必ずしも一致するわけではない。
まず、本発明の液滴吐出装置の全体構成について説明する。
Hereinafter, a droplet discharge device, a droplet discharge method, and a method for manufacturing a device with a film of the present invention will be described based on preferred embodiments shown in the drawings. In each drawing, the scale of each part is appropriately changed for convenience of explanation, and the illustrated configuration does not necessarily match the actual scale.
First, the overall configuration of the droplet discharge device of the present invention will be described.
(液滴吐出装置)
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図、図2は、図1に示す液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、図3は、図2に示すヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。なお、図1には、説明の便宜上、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸が図示されている。また、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」という。また、図1では、Z軸が鉛直方向に沿っており、+Z軸方向側(Z軸を示す矢印の先端側)を「上」、−Z軸方向側(Z軸を示す矢印の基端側)を「下」という。
(Droplet discharge device)
<First Embodiment>
1 is a perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows an arrangement of droplet discharge heads in a head unit provided in the droplet discharge device shown in FIG. FIG. 3 is a schematic plan view, and FIG. 3 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a main part of a droplet discharge head provided in the head unit shown in FIG. For convenience of explanation, FIG. 1 shows an X axis, a Y axis, and a Z axis that are orthogonal to each other. A direction parallel to the X axis is referred to as “X axis direction”, a direction parallel to the Y axis is referred to as “Y axis direction”, and a direction parallel to the Z axis is referred to as “Z axis direction”. In FIG. 1, the Z axis is along the vertical direction, the + Z axis direction side (the tip side of the arrow indicating the Z axis) is “up”, and the −Z axis direction side (the base end side of the arrow indicating the Z axis) ) Is called “below”.
図1に示す液滴吐出装置6は、インクジェット装置である。この液滴吐出装置6は、基台7と、1対の案内レール8と、ステージ9と、主走査位置検出装置10と、支持台12と、案内部材13と、収納タンク14と、案内レール15と、キャリッジ16と、副走査位置検出装置17と、ヘッドユニット18と、を備えている。
A
基台7は、X軸方向およびY軸方向に沿った上面7aを有する直方体形状をなしている。そして、基台7の上面7aには、Y軸方向に沿って延びている1対の案内レール8が設置されている。
The base 7 has a rectangular parallelepiped shape having an
この1対の案内レール8には、図示しない直動機構を介して、ステージ9が取り付けられている。これにより、ステージ9を1対の案内レール8に沿って移動させることで、ヘッドユニット18が備える液滴吐出ヘッド部510、520をステージ9に対して主走査方向(本実施形態ではY軸方向)に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、ステージ9がY軸方向に沿って所定の速度で往動と復動とを繰り返すようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。
A
また、基台7の上面7aには、主走査位置検出装置10が設けられている。この主走査位置検出装置10により、基台7に対するステージ9のY軸方向での位置(すなわち主走査方向(第1の方向)での位置)が検出される。
A main scanning
ステージ9の上面には、基板(基体)2が載置される載置面11が形成されている。この載置面11には、図示しない吸引式のチャック機構が設けられている。このチャック機構により、載置面11上の基板2が載置面11に対して吸着・固定される。
A mounting
また、X軸方向における基台7の両端部には、上側に延びている1対の支持台12が設けられている。この1対の支持台12には、X軸方向に沿って延びている案内部材13が架設されている。この案内部材13の上側には、成膜性インク26が収納されている収納タンク14が設置されている。
A pair of
一方、案内部材13の下側には、X軸方向に沿って延びている案内レール15が設置されている。この案内レール15には、図示しない直動機構を介して、キャリッジ16が取り付けられている。これにより、キャリッジ16を案内レール15に沿って移動させることで、ヘッドユニット18が備える液滴吐出ヘッド部510、520をステージ9に対して、主走査方向(第1の方向)に直交(交差)する副走査方向(本実施形態ではX軸方向)に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、任意のタイミング(例えば、前述した主走査の往動と復動との切り換え時)にキャリッジ16がX軸方向に沿って移動するようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。
On the other hand, a
また、案内部材13のキャリッジ16側には、副走査位置検出装置17が設けられている。この副走査位置検出装置17により、案内部材13に対するキャリッジ16のX軸方向での位置(すなわち副走査方向(第2の方向)での位置)が検出される。
A sub-scanning
キャリッジ16には、ヘッドユニット18が設置されている。
このヘッドユニット18は、図2に示すように、第1液滴吐出ヘッド部510と、第2液滴吐出ヘッド部520とを有し、これら第1液滴吐出ヘッド部510と、第2液滴吐出ヘッド部520とが、主走査方向(本実施形態ではY軸方向)に沿って配設されている。すなわち、第1液滴吐出ヘッド部510と、第2液滴吐出ヘッド部520とは、主走査方向において互いに異なる位置に配置されている。そして、第1液滴吐出ヘッド部510は、複数(本実施形態では12個)の第1液滴吐出ヘッド512を有し、また、第2液滴吐出ヘッド部520は、複数(本実施形態では12個)の第2液滴吐出ヘッド522を有している。
A
As shown in FIG. 2, the
この第1液滴吐出ヘッド部510において、各第1液滴吐出ヘッド512は、6つの第1液滴吐出ヘッド512からなる2つのサブグループに分けられ、各サブグループにおいて、6つの第1液滴吐出ヘッド512がY軸方向に沿って、副走査方向(本実施形態ではX軸方向)に一定間隔ずらした状態で、並んで配設されている。また、2つのサブグループは、X軸方向で離間して並んで配設されている。
In the first droplet
さらに、第2液滴吐出ヘッド部520において、各第2液滴吐出ヘッド522は、6つの第2液滴吐出ヘッド522からなる2つのサブグループに分けられ、各サブグループにおいて、6つの第2液滴吐出ヘッド522がY軸方向に沿って、X軸方向に一定間隔ずらした状態で、並んで配設されている。また、2つのサブグループは、X軸方向で離間して並んで配設されている。
Further, in the second droplet
そして、各第1液滴吐出ヘッド512は、複数(本実施形態では12個)の第1吐出ノズル511を有し、また、第2液滴吐出ヘッド522は、複数(本実施形態では20個)の第2吐出ノズル521を有している。
Each first
この第1液滴吐出ヘッド512において、各第1吐出ノズル511は、6つの第1吐出ノズル511からなる2つのノズル列(第1のノズル列)を有し、各サブグループにおいて、6つの第1吐出ノズル511がX軸方向に一定の離間距離(ノズルピッチC1)を空けて並んで配設されている。また、2つのサブグループは、Y軸方向に位置をずらし、X軸方向にノズルピッチC1の半ピッチ分位置をずらした千鳥配置の状態で、並んで配設されている。なお、本実施形態では半ピッチずらした位置としたが、X軸方向の位置ずれは半ピッチでなくともよい。また、第1のノズル列の列方向は、X軸方向に対して、一致していなくてもよい。
In the first
さらに、第2液滴吐出ヘッド522において、各第2吐出ノズル521は、10個の第2吐出ノズル521からなる2つのノズル列(第2のノズル列)を有し、各サブグループにおいて、10個の第2吐出ノズル521がX軸方向に一定の離間距離(ノズルピッチC2)を空けて並んで配設されている。また、2つのサブグループは、Y軸方向に位置をずらし、X軸方向にノズルピッチC1の半ピッチ分位置をずらした状態で、並んで配設されている。本実施形態では半ピッチずらした千鳥配置の位置としたが、X軸方向の位置ずれは半ピッチでなくともよい。第2のノズル列の列方向は、X軸方向に対して、一致していなくてもよく、第1のノズル列の列方向に対して、一致していなくてもよい。
Further, in the second liquid
さらに、第1液滴吐出ヘッド512において、複数の第1吐出ノズル511からなるノズル列は、2列に限らず、1列または3列以上であってもよいし、第2液滴吐出ヘッド522において、複数の第2吐出ノズル521からなるノズル列は、2列に限らず、1列または3列以上であってもよい。
Further, in the first
ここで、上述した構成の各第1液滴吐出ヘッド512において、X軸方向に対して液滴吐出ヘッド512の最も各端部側に位置する第1吐出ノズル511同士間の離間距離をノズル列長A1とし、各第2液滴吐出ヘッド522において、X軸方向に対して第2液滴吐出ヘッド522の最も各端部側に位置する第2吐出ノズル521同士間の離間距離をノズル列長A2としたとき、本実施形態では、ノズル列長A1とノズル列長A2との長さが等しくなっている。そのため、各第1液滴吐出ヘッド512における、各第1吐出ノズル511同士間の離間距離であるノズルピッチC1は、各第2液滴吐出ヘッド522における、各第2吐出ノズル521同士間の離間距離であるノズルピッチC2よりも大きくなっている。
Here, in each of the first droplet discharge heads 512 having the above-described configuration, the separation distance between the
また、X軸方向で隣接する第1液滴吐出ヘッド512同士間において、隣接する側の端部側で、最もこれら端部側に位置する第1吐出ノズル511同士間の離間距離を下軸改行ストロークB1とし、X軸方向で隣接する第2液滴吐出ヘッド522同士間において、隣接する側の端部側で、最もこれら端部側に位置する第2吐出ノズル521同士間の離間距離を下軸改行ストロークB2としたとき、本実施形態では、下軸改行ストロークB1と下軸改行ストロークB2との長さが等しくなっている。さらに、第1液滴吐出ヘッド部510および第2液滴吐出ヘッド部520において、第1液滴吐出ヘッド512および第2液滴吐出ヘッド522は、それぞれ、X軸方向に2行、Y軸方向6列ずつ並んで配設されており、同一の行および列に位置する第1液滴吐出ヘッド512と第2液滴吐出ヘッド522とは、X軸方向に対する位置が等しくなっているが、これらを等しくすることにより得られる効果については、後述する液滴吐出装置6を用いた液滴吐出方法において説明する。
In addition, between the first droplet discharge heads 512 adjacent in the X-axis direction, the separation distance between the
以上のような第1液滴吐出ヘッド部510が備える第1液滴吐出ヘッド512と、第2液滴吐出ヘッド部520が備える第2液滴吐出ヘッド522とは、以下のような構成をなすことにより、それらが備える吐出ノズル511、521から液滴29が吐出される。
The first
すなわち、共通の構成をなす部分として、各液滴吐出ヘッド512、522は、図3に示すように、ノズルプレート23を備え、このノズルプレート23には、複数の吐出ノズル511、521が形成されている。
That is, as a portion having a common configuration, each
より具体的に説明すると、各液滴吐出ヘッド512、522は、ノズルプレート23と、キャビティ25と、振動板27と、圧電素子28と、を有している。
More specifically, each of the droplet discharge heads 512 and 522 has a
ノズルプレート23には、複数の吐出ノズル511、521が形成されている。このノズルプレート23に対して上側には、各吐出ノズル511、521に対応して、吐出ノズル511、521に連通しているキャビティ25(圧力室)が設けられている。このキャビティ25は、図示しない流路を介して、前述した収納タンク14に連通されており、収納タンク14からの成膜性インク26が供給される。
A plurality of
また、キャビティ25の上側には、振動板27が配置されている。この振動板27は、キャビティ25の内壁面の一部を構成している。この振動板27のキャビティ25とは反対側の面には、圧電素子28が配置されている。この圧電素子28は、素子駆動信号を受けると、上下方向(Z軸方向)に伸張または収縮して振動板27を上下方向(Z軸方向)に振動させる。これにより、キャビティ25内の容積の縮小を伴ってキャビティ25内が加圧される。その結果、そのキャビティ25内の容積の縮小分に対応した量の成膜性インク26が吐出ノズル511、521から液滴29として吐出される。吐出された液滴29は、隔壁20が備える開口部21で露出する基板2上に着弾する。
A
以上、液滴吐出装置6の構成を説明したが、この液滴吐出装置6を用いた液滴吐出方法については、後に詳述する。
The configuration of the
[液滴吐出装置の制御系]
次に、液滴吐出装置6の制御系について説明する。
[Control system for droplet discharge device]
Next, the control system of the
図4は、図1に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図4に示すように、液滴吐出装置6は、液滴吐出装置6の各部の動作を制御する制御装置41(制御部)を備えている。この制御装置41は、各種の演算処理を行うCPU(中央演算処理装置)42と、各種情報を記憶するメモリー43(記憶部)と、を備えている。
FIG. 4 is a block diagram showing a control system of the droplet discharge device shown in FIG.
As shown in FIG. 4, the
ここで、CPU42には、入出力インターフェイス46およびデータバス47を介して、前述した主走査位置検出装置10および副走査位置検出装置17がそれぞれ接続されている。また、上記以外にも、CPU42には、入出力インターフェイス46およびデータバス47を介して、主走査駆動装置44、副走査駆動装置45、ヘッド駆動回路48、入力装置49および表示装置50がそれぞれ接続されている。
Here, the main scanning
主走査駆動装置44は、前述したステージ9の主走査方向での移動を行うための駆動源であり、副走査駆動装置45は、前述したキャリッジ16の副走査方向での移動を行うための駆動源である。また、ヘッド駆動回路48は、前述した液滴吐出ヘッド512、522を駆動するものである。
The main
入力装置49は、液滴吐出装置6の各種動作条件が入力される装置であり、例えば、図示しない外部装置から、基板2に液滴29を吐出する座標情報が入力される。
The
また、表示装置50は、液滴吐出装置6の加工条件や作業状況等の各種情報を表示する装置である。操作者は、表示装置50に表示される情報に基づいて、入力装置49を用いて操作を行うことができる。
The
メモリー43は、例えば、RAM、ROM等といった半導体メモリー、または、ハードディスク、DVD−ROMといった外部記憶装置等を有して構成されている。このメモリー43には、CPU42の動作に必要な各種情報が記憶されている。
The
具体的に説明すると、メモリー43には、液滴吐出装置6における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト51を記憶する記憶領域が設定される。また、メモリー43には、基板2上に吐出する吐出位置の座標データである吐出位置データ52を記憶するための記憶領域も設定される。
More specifically, the
他にも、メモリー43には、液滴吐出ヘッド512、522を駆動するときの駆動波形と吐出量の関係を示すデータである駆動電圧データ53や、液滴吐出ヘッド512、522を駆動する駆動波形データ54等の吐出条件を複数記憶するための記憶領域が設定される。また、メモリー43には、吐出する各場所における駆動電圧のデータである吐出計画データ55を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、メモリー43には、CPU42のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種類の記憶領域が設定される。
In addition, the
CPU42は、メモリー43に記憶されたプログラムソフト51に従って、液滴吐出装置6の各部の制御を行う。このCPU42は、描画制御部56と、吐出条件設定部61と、吐出計画設定部62と、を有している。
The
描画制御部56は、液滴吐出ヘッド512、522から液滴29を吐出して描画するための制御を行う。この描画制御部56は、主走査駆動装置44を駆動制御する主走査制御部57と、副走査駆動装置45を駆動制御する副走査制御部58と、ヘッド駆動回路48を駆動制御する吐出制御部59と、を有している。主走査制御部57は、ステージ9を主走査方向へ所定の速度で移動させるための制御を行う。副走査制御部58は、液滴吐出ヘッド512、522を副走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う。吐出制御部59は、液滴吐出ヘッド512、522が有する複数のノズルのそれぞれの吐出量や吐出の有無の制御を行う。
The
吐出条件設定部61は、塗布領域に吐出する成膜性インク26の量と吐出特性とに基づいて、吐出ノズル511、521から吐出する液滴29の吐出量と吐出回数を設定する。吐出計画設定部62は、液滴29を吐出する各場所における圧電素子28の駆動波形を設定する。
The discharge
以上説明したような液滴吐出装置6を用いて、基板2が備える隔壁20の開口部21に成膜性インクを液滴29として供給することにより、開口部21で露出する基板2上に膜29Dが形成されるが、以下、液滴吐出装置6を用いた液相プロセスによる成膜方法について説明する。
Using the
[成膜方法]
図5は、図1に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。
[Film formation method]
FIG. 5 is a diagram for explaining a film forming method using the droplet discharge device shown in FIG.
成膜性インクを用いた成膜方法は、[1]成膜性インクを開口部21で露出する基板2上に液滴29として供給して、液状被膜29Cを形成する工程(供給工程)と、[2]液状被膜29Cを加熱して、乾燥させることにより膜29Dを形成する工程(成膜工程)と、を有する。
The film forming method using the film forming ink includes: [1] a step of supplying the film forming ink as
以下、各工程を順次詳細に説明する。
[1]供給工程(インク付与工程)
まず、図5(a)に示すように、開口部21が形成された隔壁20を備える基板2を用意し、次いで、図5(b)に示すように、開口部21内で露出する基板2上に、前述した成膜性インクを液滴吐出ヘッド512、522から液滴29として吐出・供給する。これにより、開口部21内で露出する基板2上に成膜性インクからなる液状被膜29Cが形成される。
Hereinafter, each process will be described in detail.
[1] Supply process (ink application process)
First, as shown in FIG. 5A, a
なお、本工程[1]における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜性インクの組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基板2上に成膜性インクを付与することができれば、特に限定されないが、常温常圧であるのが好ましい。したがって、常温常圧下において、基板2上に付与可能な成膜性インクを用いるのが好ましい。これにより、工程[1]を簡単に行える。
The temperature and pressure of the atmosphere in this step [1] are determined according to the composition of the film-forming ink and the boiling point and melting point of the liquid medium, respectively, and the film-forming ink is applied onto the
[2]成膜工程(乾燥工程)
次に、基板2上に形成された液状被膜29C(成膜性インク)を加熱する。
[2] Film formation process (drying process)
Next, the
これにより、液状被膜29Cから液性媒体を除去して、液状被膜29Cを乾燥させることで、図5(c)に示すように、成膜用インクに含まれる成膜材料を主成分とする膜29Dが形成される。
Thereby, the liquid medium is removed from the
乾燥工程[2]における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜性インクの組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基板2上の液状被膜29Cから液性媒体を除去することができれば、特に限定されるものではない。
The temperature and pressure of the atmosphere in the drying step [2] are determined according to the composition of the film-forming ink and the boiling point and melting point of the liquid medium, respectively, and the liquid medium is removed from the
また、液状被膜29Cを加熱する方法は、特に限定されないが、ホットプレートや赤外線などで行うことができ、さらに、前述した液滴吐出装置6のステージ9が備えるラバーヒータにより行ってもよい。
The method of heating the
以上のような工程を有する成膜方法を用いることにより、隔壁20が備える開口部21内で露出する基板2上に、均質で均一な膜厚を有する膜29Dが優れた成膜精度で形成することができるが、ここで、以上のような成膜方法により、開口部21内で露出する基板2上に均質で均一な膜厚を有する膜29Dを成膜するには、液滴吐出装置6を用いて吐出された液滴29を、優れた精度で開口部21内に供給する必要がある。
By using the film forming method having the steps as described above, a
特に、基板2上に膜29Dが形成された膜付きデバイスを、その生産性を向上させるという観点から、32インチや42インチのようにサイズの異なるものを1つの基板2から、複数個取り(共取り)する場合では、膜付きデバイスを製造するために基板2上に形成される隔壁20は、膜付きデバイスのサイズ毎に、その開口部21のサイズや、向き等が異なってくる。そのため、液滴29を開口部21内に供給するには、より優れた精度が求められるが、液滴吐出装置6(本発明の液滴吐出装置)を用いることにより、その開口部21への液滴29の供給を実現することができる。以下、液滴吐出装置6を用いた液滴吐出方法(本発明の液滴吐出方法)により、開口部21内に液滴29を供給する方法について説明する。
In particular, from the viewpoint of improving productivity of a film-coated device in which a
[液滴吐出方法]
図6、図7は、図2に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法(本発明の液滴吐出方法の一例)を説明する平面図、図8は、図2に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた他の液滴吐出方法を説明する平面図である。
[Droplet ejection method]
6 and 7 are plan views for explaining a droplet discharge method (an example of the droplet discharge method of the present invention) using the droplet discharge device including the head unit shown in FIG. 2, and FIG. It is a top view explaining the other droplet discharge method using a droplet discharge apparatus provided with the head unit shown.
なお、以下では、図6、図7に示すように、1つの基板2から、サイズが異なる膜付きデバイスとして、サイズが大きい2つの膜付きデバイス2aと、サイズが小さい3つの膜付きデバイス2bとを共取りする場合を一例に説明する。
In the following, as shown in FIG. 6 and FIG. 7, as a film-equipped device having different sizes from one
以下、液滴吐出装置6を用いた液滴吐出方法の各工程を順次詳細に説明する。
<1> まず、図6(a)に示すように、サイズが大きい2つの膜付きデバイス2aと、サイズが小さい3つの膜付きデバイス2bとを共取りするために、開口部(第1開口部)21aを備える隔壁(第1隔壁)20aおよび開口部(第2開口部)21bを備える隔壁(第2隔壁)20bを、それぞれ、2つおよび3つ備える基板2を用意し、この基板2を、液滴吐出装置6が備えるステージ9の載置面11に吸着・固定させる。
Hereinafter, each step of the droplet discharge method using the
<1> First, as shown in FIG. 6 (a), in order to jointly take two large film-equipped
なお、基板2において、2つの隔壁20aは、X軸方向に沿って配設されており、3つの隔壁20bは、X軸方向に沿って配設され、2つの隔壁20aと3つの隔壁20bとは、Y軸方向に沿って、2つの隔壁20aを−Y軸方向側として配設されている。そして、隔壁20aにおいて、開口部(第1の領域)21aは、10個形成されており、それぞれ、X軸方向に長い長方形状をなしており、X軸方向に沿って2つ、Y軸方向に沿って5つずつ配設されている。また、隔壁20bにおいて、開口部(第2の領域)21bは、8個形成されており、それぞれ、X軸方向に長い長方形状をなしており、X軸方向に沿って2つ、Y軸方向に沿って4つずつ配設されている。かかる構成の基板2において、図6、図7に示すように、開口部21aは、その開口面積が開口部21bの開口面積よりも大きくなっている。
In the
このように、本実施形態では、第1の領域は、隔壁20aに形成された開口部21aにより区画されてなり、前記第2の領域は、隔壁20bに形成された開口部21bにより区画されてなる。
As described above, in the present embodiment, the first region is partitioned by the
<2> 次に、キャリッジ16を案内レール15に沿って移動させることで、このキャリッジ16に装着されたヘッドユニット18を、副走査方向(X軸方向)における所定の位置に移動させる。
<2> Next, the
<3> 次に、ステージ9を案内レール8に沿って移動させる(主走査)。これにより、ステージ9上に固定された基板2が、主走査方向(Y軸方向)に沿って移動することとなり、その結果、ヘッドユニット18が備える第1および第2液滴吐出ヘッド部510、520が基板2に対して主走査方向(Y軸方向)に相対的に移動する。
<3> Next, the
この第1および第2液滴吐出ヘッド部510、520の基板2に対する主走査方向(Y軸方向)に対する相対的な移動の際に、本発明では、第1液滴吐出ヘッド部510(第1液滴吐出ヘッド512)と第2液滴吐出ヘッド部520(第2液滴吐出ヘッド522)とが、Y軸方向に沿って配列されているため、これら第1および第2液滴吐出ヘッド512、522の下側を、液滴29を供給すべき隔壁20aの開口部21aと隔壁20bの開口部21bとが通過することで、第1液滴吐出ヘッド部510(第1液滴吐出ヘッド512)と第2液滴吐出ヘッド部520(第2液滴吐出ヘッド522)とが、それぞれ、隔壁20aの開口部21aと隔壁20bの開口部21bとに相対する。特に、本実施形態では、第1液滴吐出ヘッド512の離間距離をノズル列長A1と第2液滴吐出ヘッド522の離間距離をノズル列長A2とが等しく、Y軸方向に並んで配設されており、ヘッドユニット18を、基板2に対して主走査方向に相対的に移動させる際に、第1および第2液滴吐出ヘッド512、522の両端に位置する第1および第2吐出ノズル511、521同士が基板2上の同一の位置を通過する。すなわち、第1および第2液滴吐出ヘッド512、522の下側を通過する、隔壁20aの開口部21aと隔壁20bの開口部21bの領域が第1液滴吐出ヘッド512と第2液滴吐出ヘッド522とで等しくなっている。
In the present invention, when the first and second droplet
そのため、第1および第2液滴吐出ヘッド512、522が、隔壁20aの開口部21aおよび隔壁20bの開口部21bの上を通過するときに、X軸方向で重なる位置の第1および第2吐出ノズル511、521から液滴29(29a、29b)を、吐出することで、開口部21a、21bに供給することができる。
Therefore, when the first and second droplet discharge heads 512 and 522 pass over the
この際、第1および第2液滴吐出ヘッド512、522の第1および第2吐出ノズル511、521のいずれからも、隔壁20aの開口部21aおよび隔壁20bの開口部21bに液滴29(29a、29b)を供給することができるが、本発明では、第1吐出ノズル511のノズルピッチC1よりも第2吐出ノズル521のノズルピッチC2の方が小さく設定されている。
At this time, the droplet 29 (29a) is applied to the
そのため、第1吐出ノズル511から、隔壁20aの開口部21aに液滴29aを供給する。これにより、開口面積の大きい開口部21aに対して、効率よく液滴29aを供給することができる。さらに、第2吐出ノズル521から、隔壁20bの開口部21bに液滴29bを供給する。これにより、開口面積の小さい開口部21bに対しても、優れた精度で液滴29bを供給することができる。
Therefore, the
また、ヘッドユニット18の主走査方向(Y軸方向)に沿った一度の相対的な移動により、第1吐出ノズル511および第2吐出ノズル521の双方から、液滴29(29a、29b)を供給することができるため、液滴29(29a、29b)を供給するための時間の短縮を図ることができる。
Further, the liquid droplets 29 (29a and 29b) are supplied from both the
以上のように、ヘッドユニット18が備える第1および第2液滴吐出ヘッド部510、520が基板2に対して主走査方向に相対的に移動する際に、第1および第2吐出ノズル511、521から液滴29a、29bを吐出することで、図6(b)のように、第1および第2液滴吐出ヘッド部510、520がY軸方向に沿って通過した位置の隔壁20aの開口部21aおよび隔壁20bの開口部21bに液滴29を供給することができる。
As described above, when the first and second droplet
<4> 次に、キャリッジ16を案内レール15に沿って、下軸改行ストロークB1の大きさの移動幅で移動させる副走査により、このキャリッジ16に装着されたヘッドユニット18を、X軸方向に下軸改行ストロークB1の大きさ距離で移動させた後、前記工程<3>を再度行う。この際、下軸改行ストロークB1および下軸改行ストロークB2の大きさが等しくなっていることから、隔壁20aの開口部21aおよび隔壁20bの開口部21bの液滴29が供給されていない領域に対して、本工程<4>においてより効率よく、かつ、より優れた精度で液滴29(29a、29b)を供給することができる。
<4> Next, the
したがって、本工程<4>を、第1および第2液滴吐出ヘッド部510、520が、隔壁20aの開口部21aおよび隔壁20bの開口部21bの全領域を通過するまで、繰り返して行うことにより、図7に示すように、隔壁20aの開口部21aおよび隔壁20bの開口部21bに、それぞれ、液滴29aおよび液滴29bを均一に供給することができる。
Therefore, this step <4> is repeated until the first and second droplet
以上説明したように、Y軸方向に沿って配列された、第1液滴吐出ヘッド512と第2液滴吐出ヘッド522とを、主走査方向(Y軸方向)に沿って移動させる際に、第1液滴吐出ヘッド512(第1吐出ノズル511)から、隔壁20aの開口部21aに液滴29aを供給し、第2液滴吐出ヘッド522(第2吐出ノズル521)から、隔壁20bの開口部21bに液滴29bを供給することにより、共取りのために基板2にサイズの異なる隔壁20が形成されていたとしても、隔壁20aおよび隔壁20bの開口部21aおよび開口部21bの双方に液滴29(29a、29b)を優れた精度で供給することができる。
As described above, when the first
なお、上記では、主走査方向(Y軸方向)に沿った走査で、第1吐出ノズル511から、隔壁20aの開口部21aに液滴29aを供給し、第2吐出ノズル521から、隔壁20bの開口部21bに液滴29bを供給する場合について説明したが、かかる液滴吐出方法に限定されるものではない。
In the above description, in the scanning along the main scanning direction (Y-axis direction), the
例えば、第2液滴吐出ヘッド522の駆動波形およびノズル径口を変更することで、第2吐出ノズル521から吐出される液滴29bの吐出量を液滴29aよりも少なくすることが可能である。なお、ノズル径口を変更する場合、第2吐出ノズル521のノズル径を、第1吐出ノズル511のノズル径より小さくすることで、第1吐出ノズル511から吐出する液滴29より少ない量の液滴29を、第2吐出ノズル521から吐出することが可能となる。
For example, by changing the driving waveform and nozzle diameter of the second
この場合、図8に示すように、サイズの大きい隔壁20aの開口部21aには、第1液滴吐出ヘッド512(第1吐出ノズル511)および第2液滴吐出ヘッド522(第2吐出ノズル521)の双方から、液滴29(29a、29b)を供給するようにしてもよい。これにより、液滴29bを、隔壁20aに付着させることなく、開口部21aの縁部まで優れた精度で液滴29bを供給することができる。そのため、液滴29(29a、29b)を乾燥することで得られる膜29Dにスジムラが生じるのを的確に抑制または防止することができることから、膜29Dの成膜精度の向上が図られる。
In this case, as shown in FIG. 8, the first droplet discharge head 512 (first discharge nozzle 511) and the second droplet discharge head 522 (second discharge nozzle 521) are provided in the
また、前記工程<3>の度にその後に実施する前記工程<2>におけるヘッドユニット18の副走査方向(X軸方向)への移動を省略して、複数回の前記工程<3>を繰り返した後に、前記工程<2>を行うようにしてもよい。この場合、主走査方向(Y軸方向)に沿ったヘッドユニット18の往復運動うち、+Y軸方向に沿った往動および−Y軸方向に沿った復動の双方で、第1液滴吐出ヘッド512(第1吐出ノズル511)および第2液滴吐出ヘッド522(第2吐出ノズル521)の双方から、液滴29(29a、29b)を供給するようにしてもよいし、+Y軸方向に沿った往動で、第1液滴吐出ヘッド512(第1吐出ノズル511)および第2液滴吐出ヘッド522(第2吐出ノズル521)のうちの一方から、液滴29を供給し、−Y軸方向に沿った復動で、第1液滴吐出ヘッド512(第1吐出ノズル511)および第2液滴吐出ヘッド522(第2吐出ノズル521)のうちの他方から、液滴29を供給するようにしてもよい。
Further, the movement of the
さらに、前記工程<4>における最終の前記工程<3>の後に、隔壁20(20a、20b)に供給された液滴29(29a、29b)でのスジムラ等の欠陥の有無を検査した後、前記工程<3>を再度実施し、欠陥が認められた位置に、第2液滴吐出ヘッド522(第2吐出ノズル521)から、液滴29bを供給して欠陥を修復するようにしてもよい。これにより、この修復の精度を向上させることができる。
Further, after the final step <3> in the step <4>, after inspecting the liquid droplets 29 (29a, 29b) supplied to the partition walls 20 (20a, 20b) for defects such as stripes, The step <3> may be performed again, and the
<<第2実施形態>>
次に、本発明の液滴吐出装置の第2実施形態、およびかかる液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法について説明する。
<< Second Embodiment >>
Next, a second embodiment of the droplet discharge device of the present invention and a droplet discharge method using such a droplet discharge device will be described.
図9は、本発明の第2実施形態に係る液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、図10は、図9に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法(本発明の液滴吐出方法の一例)を説明する平面図である。 FIG. 9 is a schematic plan view showing the arrangement of the droplet discharge heads in the head unit provided in the droplet discharge device according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a droplet including the head unit shown in FIG. It is a top view explaining the droplet discharge method (an example of the droplet discharge method of the present invention) using a discharge device.
以下、第2実施形態における液滴吐出装置6が備えるヘッドユニット18Aについて、前記第1実施形態における液滴吐出装置6が備えるヘッドユニット18との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
Hereinafter, the
図9に示すヘッドユニット18Aは、さらに、一対の案内レール531を備え、これら一対の案内レール531に、図示しない直動機構を介して、第2液滴吐出ヘッド部520Aが取り付けられていること以外は、図2に示すヘッドユニット18と同様である。
The
すなわち、第2実施形態の液滴吐出装置6が備えるヘッドユニット18Aでは、第2液滴吐出ヘッド部520Aは、直動機構を介して、X軸方向に延設された一対の案内レール531に取り付けられ、これにより、第2液滴吐出ヘッド部520Aを一対の案内レール531に沿って移動させること、換言すれば、第2液滴吐出ヘッド部520Aを基板2に対してX軸方向に沿って相対的に移動させることができる。
That is, in the
なお、この第2液滴吐出ヘッド部520AのX軸方向に対する移動の幅は、本実施形態では、図9に示すように、最大±E1の大きさに設定され、また、直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、第2液滴吐出ヘッド部520AがX軸方向に沿って最大±E1の幅で往動と復動とを行え得るようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。また、2×E1の大きさは、ヘッドユニット18を副走査方向へ移動させる副走査での移動幅と等しく設定されている。
In this embodiment, the width of the movement of the second droplet
[液滴吐出方法]
本実施形態におけるヘッドユニット18Aを備える液滴吐出装置6では、前記第1実施形態で説明したヘッドユニット18を備える液滴吐出装置6を用いた液滴吐出方法の他に、例えば、以下のような液滴吐出方法を行うこともできる。
[Droplet ejection method]
In the
すなわち、本実施形態の液滴吐出方法では、前記工程<1>において、図10(a)に示すように、前記第1実施形態と同様に、1つの基板2から、サイズが異なる膜付きデバイスとして、サイズが大きい2つの膜付きデバイス2aと、サイズが小さい3つの膜付きデバイス2bとを共取りする点が同様であるが、サイズが小さい3つの膜付きデバイス2bを共取りするための隔壁20b、20cのうち、最も−X軸方向側に位置する隔壁20cにおいて、開口部21cは、8個形成されており、それぞれ、Y軸方向に長い長方形状をなしており、X軸方向に沿って4つ、Y軸方向に沿って2つずつ配設されており、+X軸方向側に位置する2つの隔壁20bにおいて、開口部21bは、8個形成されており、それぞれ、X軸方向に長い長方形状をなしており、X軸方向に沿って2つ、Y軸方向に沿って4つずつ配設されている点が異なる。
That is, in the droplet discharge method of the present embodiment, in the step <1>, as shown in FIG. 10A, the device with a film having a different size from one
そして、前記工程<2>において、キャリッジ16を案内レール15に沿って移動させることで、このキャリッジ16に装着されたヘッドユニット18Aを、副走査方向(X軸方向)における所定の位置に移動させるとともに、第2液滴吐出ヘッド部520を案内レール531に沿って移動させることで、第2液滴吐出ヘッド部520Aを、副走査方向(X軸方向)に移動させる。このようなキャリッジ16の移動により、第1液滴吐出ヘッド512が開口部21aに対して優れた精度で位置決めがなされ、第2液滴吐出ヘッド部520Aの移動により、第2液滴吐出ヘッド522が開口部21bに対して優れた精度で位置決めがなされることとなる。
In step <2>, the
そのため、前記工程<3>において、第1吐出ノズル511から、隔壁20aの開口部21aに液滴29aを供給し、第2吐出ノズル521から、隔壁20bの開口部21bおよび隔壁20cの開口部21cに液滴29bを供給する際に、これらの供給を優れた位置精度で行うことができる。特に、隔壁20cの開口部21cは、Y軸方向に長い長方形状をなし、Y軸方向において微細な形状を有するものではあるが、この開口部21cに対しても液滴29bの供給を優れた位置精度で行うことができる。
Therefore, in the step <3>, the
なお、本実施形態においても、ノズル列長A1とノズル列長A2との長さが等しくなっているが、本実施形態では、前記のように、第2液滴吐出ヘッド部520を案内レール531に沿って移動させているため、ノズル列長A1で第1吐出ノズル511が通過する領域と、ノズル列長A2で第2吐出ノズル521が通過する領域とが、完全には一致していない状態で、吐出ノズル511、521からの吐出が行われる。ただし、第1吐出ノズル511が通過する領域と、第2吐出ノズル521が通過する領域とが、完全には一致していないものの、前述の通り、2×E1の大きさは、ヘッドユニット18を副走査方向へ移動させる副走査での移動幅と等しく設定されている。これにより、1度の主走査で、第2吐出ノズル521により供給すべき隔壁20cの開口部21cに確実に第2吐出ノズル521を位置合わせすることができる。
In this embodiment, the nozzle row length A1 and the nozzle row length A2 are equal, but in this embodiment, the second droplet
以上のような、液滴吐出装置6を用いた成膜方法および液滴吐出方法を用いて、開口部21a、21b、(21c)で露出する基板2に膜29Dが成膜された隔壁20a、20b、(20c)を備える基板2を、隔壁20a、20b、(20c)が形成された部分(第1の部分、第2の部分、(第3の部分))毎にその厚さ方向に切断(分割)すること(分割工程)で、サイズの異なる膜付きデバイスを一括して複数製造することができる。
Using the film forming method using the
また、この膜付きデバイスとしては、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子を備える表示装置、カラーフィルターおよび配線基板等が挙げられるが、以下では、膜付きデバイスとして、有機EL素子を備える表示装置に適用した場合について説明する。 In addition, examples of the device with a film include a display device including an organic electroluminescence (organic EL) element, a color filter, a wiring substrate, and the like. Hereinafter, the device with a film is applied to a display device including an organic EL element. The case will be described.
なお、この場合、有機EL素子が備える有機層のうち、例えば、正孔注入層、正孔輸送層および発光層のうちの少なくとも1層の形成に、上述した膜付きデバイスが備える膜を形成するための液滴吐出装置を用いた成膜方法および液滴吐出方法を適用することができ、正孔注入層、正孔輸送層および発光層を成膜するために用いる成膜用インクに含まれる成膜材料としては、それぞれ、後述する、正孔注入性を有する高分子材料、正孔輸送性を有する高分子材料、および、発光性を有する有機材料を用いることができる。 In this case, among the organic layers included in the organic EL element, for example, a film included in the above-described device with a film is formed to form at least one of a hole injection layer, a hole transport layer, and a light emitting layer. For forming a hole injection layer, a hole transport layer, and a light emitting layer can be applied. As the film forming material, a polymer material having a hole injecting property, a polymer material having a hole transporting property, and an organic material having a light emitting property, which will be described later, can be used.
(表示装置)
図11は、発光装置の一例である表示装置を示す断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図11中の上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
(Display device)
FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating a display device which is an example of a light-emitting device. In the following description, for convenience of explanation, the upper side in FIG. 11 is described as “upper” and the lower side as “lower”.
図11に示す表示装置300は、複数の発光素子200R、200G、200Bがサブ画素300R、300G、300Bに対応して設けられ、トップエミッション構造のディスプレイパネルを構成している。
A
なお、本実施形態では表示装置の駆動方式としてアクティブマトリックス方式を採用した例に説明するが、パッシブマトリックス方式を採用したものであってもよい。 In the present embodiment, an example in which an active matrix method is employed as a display device driving method will be described. However, a passive matrix method may be employed.
表示装置300は、基板301と、複数の発光素子200R、200G、200Bと、複数のスイッチング素子302とを有している。
The
基板301は、複数の発光素子200R、200G、200Bおよび複数のスイッチング素子302を支持するものである。本実施形態の各発光素子200R、200G、200Bは、基板301とは反対側から光を取り出す構成(トップエミッション型)である。したがって、基板301には、透明基板および不透明基板のいずれも用いることができる。なお、各発光素子200R、200G、200Bが基板301側から光を取り出す構成(ボトムエミッション型)とする場合には、基板301は、実質的に透明(無色透明、着色透明または半透明)とされる。
The
基板301の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the constituent material of the
不透明基板としては、例えば、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜(絶縁膜)を形成したもの、樹脂材料で構成された基板等が挙げられる。 Examples of the opaque substrate include a substrate made of a ceramic material such as alumina, an oxide film (insulating film) formed on the surface of a metal substrate such as stainless steel, and a substrate made of a resin material. It is done.
このような基板301上には、複数のスイッチング素子302がマトリクス状に配列されている。
A plurality of switching
各スイッチング素子302は、各発光素子200R、200G、200Bに対応して設けられ、各発光素子200R、200G、200Bを駆動するための駆動用トランジスタである。
Each switching
このような各スイッチング素子302は、シリコンからなる半導体層302aと、半導体層302a上に形成されたゲート絶縁層302bと、ゲート絶縁層302b上に形成されたゲート電極302cと、ソース電極302dと、ドレイン電極302eとを有している。
Each switching
このような複数のスイッチング素子302を覆うように、絶縁材料で構成された平坦化層303が形成されている。
A
平坦化層303上には、各スイッチング素子302に対応して発光素子200R、200G、200Bが設けられている。
On the
発光素子200Rは、平坦化層303上に、反射膜304、腐食防止膜305、陽極201、積層体(有機EL発光部)208(208R)、陰極207、陰極カバー306がこの順に積層されている。本実施形態では、各発光素子200R、200G、200Bの陽極201は、画素電極を構成し、各スイッチング素子302のドレイン電極302eに導電部(配線)307により電気的に接続されている。また、各発光素子200R、200G、200Bの陰極207は、共通電極とされている。
In the
また、発光素子200G、200Bの構成は、それぞれ、発光素子200Rと同様に構成することができる。ここで、発光素子200R、200G、200Bの積層体208R、208G、208B(特に発光層)を互いに異ならせることにより、異なる色を発光させることができる。例えば、発光素子200Rは、赤色発光し、発光素子200Gは、緑色発光し、発光素子200Bは、青色発光する。
The
隣接する発光素子200R、200G、200B同士の間には、隔壁308が設けられている。また、陰極カバー306には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成された樹脂層309を介して、基板310が接合されている。
A
前述したように本実施形態の各発光素子200R、200G、200Bはトップエミッション型であるため、基板310には、透明基板が用いられる。
As described above, since each of the
このような基板310の構成材料としては、基板310が光透過性を有するものであれば、特に限定されず、前述した基板301の構成材料と同様のものを用いることができる。
The constituent material of the
(発光素子)
ここで、図12に基づき、発光素子200R、200G、200Bを詳細に説明する。
(Light emitting element)
Here, the
図12は、図11に示す表示装置が備える発光素子の断面図である。
図12に示す発光素子(エレクトロルミネッセンス素子)200は、前述した発光素子200R、200G、200Bを構成するものであり、前述したように2つの電極間(陽極201と陰極207との間)に積層体208が介挿されている。この積層体208は、図12に示すように、陽極201側から陰極207側へ、正孔注入層202と正孔輸送層203と発光層204と電子輸送層205と電子注入層206とがこの順に積層されている。
12 is a cross-sectional view of a light-emitting element included in the display device shown in FIG.
A light-emitting element (electroluminescence element) 200 shown in FIG. 12 constitutes the light-emitting
このような発光素子200にあっては、発光層204に対し、陰極207側から電子が供給(注入)されるとともに、陽極201側から正孔が供給(注入)される。そして、各発光層204では、正孔と電子とが再結合し、この再結合に際して放出されたエネルギーによりエキシトン(励起子)が生成し、エキシトンが基底状態に戻る際にエネルギー(蛍光やりん光)を放出(発光)する。
In such a
この発光素子200は、前述した成膜方法を用いて正孔輸送層203または正孔注入層202が形成されている。これにより、優れた特性を有する発光素子200および表示装置300を提供することができる。なお、発光素子200は、正孔注入層202および正孔輸送層203のうちのいずれか一方を省略してもよい。
In the light-emitting
以下、発光素子200を構成する各部を順次説明する。
(陽極)
陽極201は、後述する正孔注入層202を介して正孔輸送層203に正孔を注入する電極である。この陽極201の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料を用いるのが好ましい。
Hereinafter, each part which comprises the
(anode)
The
陽極201の構成材料としては、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、In3O3、SnO2、Sb含有SnO2、Al含有ZnO等の酸化物、Au、Pt、Ag、Cuまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the constituent material of the
(陰極)
一方、陰極207は、後述する電子注入層206を介して電子輸送層205に電子を注入する電極である。この陰極207の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましい。
(cathode)
On the other hand, the
陰極207の構成材料としては、例えば、Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rbまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて(例えば、複数層の積層体等)用いることができる。
Examples of the constituent material of the
特に、陰極207の構成材料として合金を用いる場合には、Ag、Al、Cu等の安定な金属元素を含む合金、具体的には、MgAg、AlLi、CuLi等の合金を用いるのが好ましい。かかる合金を陰極207の構成材料として用いることにより、陰極207の電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。
In particular, when an alloy is used as a constituent material of the
また、本実施形態の発光素子200は、トップエミッション型であるため、陰極207は、光透過性を有する。
In addition, since the
(正孔注入層)
正孔注入層202は、陽極201からの正孔注入効率を向上させる機能を有するものである。
(Hole injection layer)
The
この正孔注入層202の構成材料(正孔注入材料)としては、正孔注入性を有する高分子材料が挙げられる。
Examples of the constituent material (hole injection material) of the
また、この正孔注入性を有する高分子材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリ(2,7−(9,9−ジ−n−オクチルフルオレン)−(1,4−フェニレン−((4−sec−ブチルフェニル)イミノ)−1,4−フェニレン(TFB)等のポリアリールアミンのようなアリールアミン骨格を有するもの、フルオレン−ビチオフェン共重合体のようなフルオレン骨格を有するもの、フルオレン−アリールアミン共重合体のようなアリールアミン骨格およびフルオレン骨格の双方を有するもの、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラセン、ポリチオフェン、ポリアルキルチオフェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリチニレンビニレン、ピレンホルムアルデヒド樹脂、エチルカルバゾールホルムアルデヒド樹脂またはその誘導体等が挙げられる。 The polymer material having hole injection properties is not particularly limited. For example, poly (2,7- (9,9-di-n-octylfluorene)-(1,4-phenylene-(( Those having an arylamine skeleton such as polyarylamine such as 4-sec-butylphenyl) imino) -1,4-phenylene (TFB), those having a fluorene skeleton such as a fluorene-bithiophene copolymer, fluorene- Those having both an arylamine skeleton and a fluorene skeleton such as an arylamine copolymer, poly (N-vinylcarbazole), polyvinylpyrene, polyvinylanthracene, polythiophene, polyalkylthiophene, polyhexylthiophene, poly (p-phenylene vinylene) ), Polytinylene vinylene, pyrene formaldehyde resin Ethylcarbazole formaldehyde resin, or derivatives thereof.
このような正孔注入層202の平均厚さは、特に限定されないが、5nm以上、150nm以下程度であるのが好ましく、10nm以上、100nm以下程度であるのがより好ましい。
The average thickness of the
(正孔輸送層)
正孔輸送層203は、陽極201から正孔注入層202を介して注入された正孔を発光層204まで輸送する機能を有するものである。
(Hole transport layer)
The
この正孔輸送層203の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、TFB(poly(9,9-dioctyl-fluorene-co-N-(4-butylphenyl)-diphenylamine))等のトリフェニルアミン系ポリマー等のアミン系化合物、ポリフルオレン誘導体(PF)やポリパラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)を含むポリシラン系などの正孔輸送性を有する高分子材料が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、前述した正孔注入層202の構成材料を正孔輸送層203の構成材料として用いることもできる。
The constituent material of the
このような正孔輸送層203の平均厚さは、特に限定されないが、10〜150nm程度であるのが好ましく、10〜100nm程度であるのがより好ましい。
The average thickness of the
(発光層)
この発光層204は、発光材料を含んで構成されている。
(Light emitting layer)
The
発光材料としては、特に限定されず、各種蛍光材料、燐光材料のような有機材料を1種または2種以上組み合わせて用いることができる。発光素子200を前述した発光素子200Rに用いる場合には、発光材料として赤色蛍光材料または赤色燐光材料が用いられ、発光素子200を前述した発光素子200Gに用いる場合には、発光材料として緑色蛍光材料または緑色燐光材料が用いられ、発光素子200を発光素子200Bとして用いる場合には、発光材料として青色蛍光材料または青色燐光材料が用いられる。
The light emitting material is not particularly limited, and various kinds of fluorescent materials and organic materials such as phosphorescent materials can be used singly or in combination. When the
赤色蛍光材料としては、赤色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、ジインデノペリレン誘導体等のペリレン誘導体、ユーロピウム錯体、ベンゾピラン誘導体、ローダミン誘導体、ベンゾチオキサンテン誘導体、ポルフィリン誘導体、ナイルレッド、2−(1,1−ジメチルエチル)−6−(2−(2,3,6,7−テトラヒドロ−1,1,7,7−テトラメチル−1H,5H−ベンゾ(ij)キノリジン−9−イル)エテニル)−4H−ピラン−4H−イリデン)プロパンジニトリル(DCJTB)、4−(ジシアノメチレン)−2−メチル−6−(p−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピラン(DCM)等の有機材料が挙げられる。 The red fluorescent material is not particularly limited as long as it emits red fluorescence. For example, perylene derivatives such as diindenoperylene derivatives, europium complexes, benzopyran derivatives, rhodamine derivatives, benzothioxanthene derivatives, porphyrin derivatives, Nile Red, 2- (1,1-dimethylethyl) -6- (2- (2,3,6,7-tetrahydro-1,1,7,7-tetramethyl-1H, 5H-benzo (ij) quinolidine- 9-yl) ethenyl) -4H-pyran-4H-ylidene) propanedinitrile (DCJTB), 4- (dicyanomethylene) -2-methyl-6- (p-dimethylaminostyryl) -4H-pyran (DCM), etc. The organic material is mentioned.
赤色燐光材料としては、赤色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、これら金属錯体の配位子の内の少なくとも1つがフェニルピリジン骨格、ビピリジル骨格、ポルフィリン骨格等を持つ有機材料も挙げられる。より具体的には、トリス(1−フェニルイソキノリン)イリジウム、ビス[2−(2’−ベンゾ[4,5−α]チエニル)ピリジネート−N,C3’]イリジウム(アセチルアセトネート)(btp2Ir(acac))、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−12H,23H−ポルフィリン−白金(II)、ビス[2−(2’−ベンゾ[4,5−α]チエニル)ピリジネート−N,C3’]イリジウム、ビス(2−フェニルピリジン)イリジウム(アセチルアセトネート)が挙げられる。 The red phosphorescent material is not particularly limited as long as it emits red phosphorescence, and examples thereof include metal complexes such as iridium, ruthenium, platinum, osmium, rhenium, and palladium. Among the ligands of these metal complexes, An organic material in which at least one of them has a phenylpyridine skeleton, a bipyridyl skeleton, a porphyrin skeleton, or the like is also included. More specifically, tris (1-phenylisoquinoline) iridium, bis [2- (2′-benzo [4,5-α] thienyl) pyridinate-N, C 3 ′] iridium (acetylacetonate) (btp2Ir ( acac)), 2,3,7,8,12,13,17,18-octaethyl-12H, 23H-porphyrin-platinum (II), bis [2- (2′-benzo [4,5-α] thienyl ) Pyridinate-N, C 3 '] iridium, bis (2-phenylpyridine) iridium (acetylacetonate).
緑色蛍光材料としては、緑色の蛍光を発する有機材料であれば特に限定されず、例えば、クマリン誘導体、キナクリドン誘導体等のキナクリドンおよびその誘導体、9,10−ビス[(9−エチル−3−カルバゾール)−ビニレニル]−アントラセン、ポリ(9,9−ジヘキシル−2,7−ビニレンフルオレニレン)、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−ジイル)−コ−(1,4−ジフェニレン−ビニレン−2−メトキシ−5−{2−エチルヘキシルオキシ}ベンゼン)]、ポリ[(9,9−ジオクチル−2,7−ジビニレンフルオレニレン)−オルト−コ−(2−メトキシ−5−(2−エトキシルヘキシルオキシ)−1,4−フェニレン)]等が挙げられる。 The green fluorescent material is not particularly limited as long as it is an organic material that emits green fluorescence. For example, quinacridone such as coumarin derivatives and quinacridone derivatives and derivatives thereof, 9,10-bis [(9-ethyl-3-carbazole) -Vinylenyl] -anthracene, poly (9,9-dihexyl-2,7-vinylenefluorenylene), poly [(9,9-dioctylfluorene-2,7-diyl) -co- (1,4-diphenylene- Vinylene-2-methoxy-5- {2-ethylhexyloxy} benzene)], poly [(9,9-dioctyl-2,7-divinylenefluorenylene) -ortho-co- (2-methoxy-5- ( 2-ethoxylhexyloxy) -1,4-phenylene)] and the like.
緑色燐光材料としては、緑色の燐光を発する有機材料であれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ファク−トリス(2−フェニルピリジン)イリジウム(Ir(ppy)3)、ビス(2−フェニルピリジネート−N,C2’)イリジウム(アセチルアセトネート)、ファク−トリス[5−フルオロ−2−(5−トリフルオロメチル−2−ピリジン)フェニル−C,N]イリジウム等が挙げられる。 The green phosphorescent material is not particularly limited as long as it is an organic material that emits green phosphorescence, and examples thereof include metal complexes such as iridium, ruthenium, platinum, osmium, rhenium, and palladium. (2-phenylpyridine) iridium (Ir (ppy) 3), bis (2-phenyl-pyridinium sulfonate -N, C 2 ') iridium (acetylacetonate), fac - tris [5-fluoro-2- (5- Trifluoromethyl-2-pyridine) phenyl-C, N] iridium and the like.
青色蛍光材料としては、青色の蛍光を発する有機材料であれば、特に限定されず、例えば、ジスチリルジアミン系化合物等のジスチリルアミン誘導体、フルオランテン誘導体、ピレン誘導体、ペリレンおよびペリレン誘導体、アントラセン誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、クリセン誘導体、フェナントレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、テトラフェニルブタジエン、4,4’−ビス(9−エチル−3−カルバゾビニレン)−1,1’−ビフェニル(BCzVBi)、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−ジイル)−コ−(2,5−ジメトキシベンゼン−1,4−ジイル)]、ポリ[(9,9−ジヘキシルオキシフルオレン−2,7−ジイル)−オルト−コ−(2−メトキシ−5−{2−エトキシヘキシルオキシ}フェニレン−1,4−ジイル)]、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−ジイル)−コ−(エチルニルベンゼン)]等が挙げられる。 The blue fluorescent material is not particularly limited as long as it is an organic material that emits blue fluorescence. For example, distyrylamine derivatives such as distyryldiamine compounds, fluoranthene derivatives, pyrene derivatives, perylene and perylene derivatives, anthracene derivatives, Benzoxazole derivatives, benzothiazole derivatives, benzimidazole derivatives, chrysene derivatives, phenanthrene derivatives, distyrylbenzene derivatives, tetraphenylbutadiene, 4,4′-bis (9-ethyl-3-carbazovinylene) -1,1′-biphenyl ( BCzVBi), poly [(9,9-dioctylfluorene-2,7-diyl) -co- (2,5-dimethoxybenzene-1,4-diyl)], poly [(9,9-dihexyloxyfluorene-2) , 7-diyl) -ortho-co- (2 Methoxy-5- {2-ethoxyhexyloxy} phenylene-1,4-diyl)], poly [(9,9-dioctylfluorene-2,7-diyl) -co- (ethylnylbenzene)] and the like. .
青色燐光材料としては、青色の燐光を発する有機材料であれば、特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ビス[4,6−ジフルオロフェニルピリジネート−N,C2’]−ピコリネート−イリジウム、トリス[2−(2,4−ジフルオロフェニル)ピリジネート−N,C2’]イリジウム、ビス[2−(3,5−トリフルオロメチル)ピリジネート−N,C2’]−ピコリネート−イリジウム、ビス(4,6−ジフルオロフェニルピリジネート−N,C2’)イリジウム(アセチルアセトネート)等が挙げられる。 The blue phosphorescent material is not particularly limited as long as it is an organic material that emits blue phosphorescence. Examples thereof include metal complexes such as iridium, ruthenium, platinum, osmium, rhenium, and palladium. Specifically, bis [ 4,6-difluorophenyl pyridinium sulfonate -N, C 2 '] - picolinate - iridium, tris [2- (2,4-difluorophenyl) pyridinate -N, C 2'] iridium, bis [2- (3, 5-trifluoromethyl) pyridinate -N, C 2 '] - picolinate - iridium, bis (4,6-difluorophenyl pyridinium sulfonate -N, C 2') iridium (acetylacetonate) and the like.
以上のような発光材料は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。 The above light emitting materials can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
また、発光層204中には、前述した発光材料の他に、発光材料がゲスト材料として添加されるホスト材料が含まれていてもよい。
In addition to the light emitting material described above, the
ホスト材料は、正孔と電子とを再結合して励起子を生成するとともに、その励起子のエネルギーを発光材料に移動(フェルスター移動またはデクスター移動)させて、発光材料を励起する機能を有する。このようなホスト材料を用いる場合、例えば、ゲスト材料である発光材料をドーパントとしてホスト材料にドープして用いることができる。 The host material has a function of recombining holes and electrons to generate excitons and excitating the luminescent material by transferring the exciton energy to the luminescent material (Felster transfer or Dexter transfer). . In the case of using such a host material, for example, the host material can be used by doping a light emitting material that is a guest material as a dopant.
このようなホスト材料としては、用いる発光材料に対して前述したような機能を発揮するものであれば、特に限定されないが、例えば、ナフタセン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体のようなアセン誘導体(アセン系材料)、ジスチリルアリーレン誘導体、ペリレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアミン誘導体、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム錯体(Alq3)等のキノリノラト系金属錯体、トリフェニルアミンの4量体等のトリアリールアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、シロール誘導体、ジカルバゾール誘導体、オリゴチオフェン誘導体、ベンゾピラン誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、キノリン誘導体、4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることもできる。 Such a host material is not particularly limited as long as it exhibits a function as described above with respect to a light emitting material to be used. For example, an acene derivative such as a naphthacene derivative, a naphthalene derivative, or an anthracene derivative (acene type) Materials), distyrylarylene derivatives, perylene derivatives, distyrylbenzene derivatives, distyrylamine derivatives, quinolinolato metal complexes such as tris (8-quinolinolato) aluminum complex (Alq 3 ), and triphenylamine tetramers Reelamine derivatives, oxadiazole derivatives, silole derivatives, dicarbazole derivatives, oligothiophene derivatives, benzopyran derivatives, triazole derivatives, benzoxazole derivatives, benzothiazole derivatives, quinoline derivatives, 4,4'-bis (2,2'-diph Enylvinyl) biphenyl (DPVBi) and the like, and one or more of them can be used in combination.
前述したような赤色発光材料(ゲスト材料)およびホスト材料を用いる場合、発光層204中における発光材料の含有量(ドープ量)は、0.01〜10wt%であるのが好ましく、0.1〜5wt%であるのがより好ましい。赤色発光材料の含有量をこのような範囲内とすることで、発光効率を最適化することができる。
When the red light emitting material (guest material) and the host material as described above are used, the content (doping amount) of the light emitting material in the
このような発光層204の平均厚さは、特に限定されないが、10〜150nm程度であるのが好ましく、10〜100nm程度であるのがより好ましい。また、発光層204は、積層された複数の発光層で構成されていてもよく、その場合、任意の発光層間に発光しない中間層が介在していてもよい。
The average thickness of the
(電子輸送層)
電子輸送層205は、陰極207から電子注入層206を介して注入された電子を発光層204に輸送する機能を有するものである。
(Electron transport layer)
The
電子輸送層205の構成材料(電子輸送材料)としては、例えば、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)等の8−キノリノールなしいその誘導体を配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
As a constituent material (electron transport material) of the
電子輸送層205の平均厚さは、特に限定されないが、0.5〜100nm程度であるのが好ましく、1〜50nm程度であるのがより好ましい。
なお、この電子輸送層205は、省略することができる。
The average thickness of the
The
(電子注入層)
電子注入層206は、陰極207からの電子注入効率を向上させる機能を有するものである。
(Electron injection layer)
The
この電子注入層206の構成材料(電子注入材料)としては、例えば、各種の無機絶縁材料、各種の無機半導体材料が挙げられる。
Examples of the constituent material (electron injection material) of the
このような無機絶縁材料としては、例えば、アルカリ金属カルコゲナイド(酸化物、硫化物、セレン化物、テルル化物)、アルカリ土類金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物およびアルカリ土類金属のハロゲン化物等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらを主材料として電子注入層を構成することにより、電子注入性をより向上させることができる。特にアルカリ金属化合物(アルカリ金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物等)は仕事関数が非常に小さく、これを用いて電子注入層206を構成することにより、発光素子200は、高い輝度が得られるものとなる。
Examples of such inorganic insulating materials include alkali metal chalcogenides (oxides, sulfides, selenides, tellurides), alkaline earth metal chalcogenides, alkali metal halides, and alkaline earth metal halides. Of these, one or two or more of these can be used in combination. By forming the electron injection layer using these as main materials, the electron injection property can be further improved. In particular, an alkali metal compound (alkali metal chalcogenide, alkali metal halide, or the like) has a very small work function. By using this to form the
アルカリ金属カルコゲナイドとしては、例えば、Li2O、LiO、Na2S、Na2Se、NaO等が挙げられる。 Examples of the alkali metal chalcogenide include Li 2 O, LiO, Na 2 S, Na 2 Se, and NaO.
アルカリ土類金属カルコゲナイドとしては、例えば、CaO、BaO、SrO、BeO、BaS、MgO、CaSe等が挙げられる。 Examples of the alkaline earth metal chalcogenide include CaO, BaO, SrO, BeO, BaS, MgO, and CaSe.
アルカリ金属のハロゲン化物としては、例えば、CsF、LiF、NaF、KF、LiCl、KCl、NaCl等が挙げられる。 Examples of the alkali metal halide include CsF, LiF, NaF, KF, LiCl, KCl, and NaCl.
アルカリ土類金属のハロゲン化物としては、例えば、CaF2、BaF2、SrF2、MgF2、BeF2等が挙げられる。 Examples of the alkaline earth metal halide include CaF 2 , BaF 2 , SrF 2 , MgF 2 , and BeF 2 .
また、無機半導体材料としては、例えば、Li、Na、Ba、Ca、Sr、Yb、Al、Ga、In、Cd、Mg、Si、Ta、SbおよびZnのうちの少なくとも1つの元素を含む酸化物、窒化物または酸化窒化物等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。 In addition, as the inorganic semiconductor material, for example, an oxide including at least one element of Li, Na, Ba, Ca, Sr, Yb, Al, Ga, In, Cd, Mg, Si, Ta, Sb, and Zn , Nitrides, oxynitrides, and the like, and one or more of these can be used in combination.
電子注入層206の平均厚さは、特に限定されないが、0.1〜1000nm程度であるのが好ましく、0.2〜100nm程度であるのがより好ましく、0.2〜50nm程度であるのがさらに好ましい。
なお、この電子注入層206は、省略することができる。
The average thickness of the
The
(電子機器)
図13は、電子機器の一例であるモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
(Electronics)
FIG. 13 is a perspective view illustrating a configuration of a mobile (or notebook) personal computer that is an example of an electronic apparatus.
この図において、パーソナルコンピュータ1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部を備える表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
In this figure, a
このパーソナルコンピュータ1100において、表示ユニット1106が備える表示部が前述の表示装置300で構成されている。
In the
図14は、電子機器の一例である携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。 FIG. 14 is a perspective view illustrating a configuration of a mobile phone (including PHS) which is an example of an electronic device.
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206とともに、表示部を備えている。
携帯電話機1200において、この表示部が前述の表示装置300で構成されている。
In this figure, a
In the
図15は、電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。 FIG. 15 is a perspective view illustrating a configuration of a digital still camera which is an example of an electronic apparatus. In this figure, connection with an external device is also simply shown.
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
Here, an ordinary camera sensitizes a silver halide photographic film with a light image of a subject, whereas a
ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
A display unit is provided on the back of a case (body) 1302 in the
ディジタルスチルカメラ1300において、この表示部が前述の表示装置300で構成されている。
In the
ケースの内部には、回路基板1308が設置されている。この回路基板1308は、撮像信号を格納(記憶)し得るメモリが設置されている。
A
また、ケース1302の正面側(図示の構成では裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
A
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、回路基板1308のメモリに転送・格納される。
When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit and presses the
また、このディジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニタ1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピュータ1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板1308のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ1430や、パーソナルコンピュータ1440に出力される構成になっている。
In the
なお、電子機器は、図13のパーソナルコンピュータ(モバイル型パーソナルコンピュータ)、図14の携帯電話機、図15のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、タッチパネルを備えた機器(例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機)、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。 In addition to the personal computer (mobile personal computer) shown in FIG. 13, the mobile phone shown in FIG. 14, and the digital still camera shown in FIG. 15, the electronic apparatus may be, for example, a television, a video camera, a viewfinder type, or a monitor direct view type. Video tape recorders, laptop personal computers, car navigation devices, pagers, electronic notebooks (including those with communication functions), electronic dictionaries, calculators, electronic game machines, word processors, workstations, videophones, security TV monitors, electronic Devices equipped with binoculars, POS terminals, touch panels (for example, cash dispensers of financial institutions, automatic ticket vending machines), medical devices (for example, electronic thermometers, blood pressure monitors, blood glucose meters, electrocardiographs, ultrasonic diagnostic devices, endoscopes) Display device), fish detector, various measuring instruments, total Class (e.g., gages for vehicles, aircraft, and ships), a flight simulator, various monitors, and a projection display such as a projector.
以上、本発明の液滴吐出装置、液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。 As mentioned above, although the droplet discharge apparatus, the droplet discharge method, and the manufacturing method of the device with a film of the present invention have been described based on the illustrated embodiments, the present invention is not limited thereto.
例えば、前述した実施形態において、ヘッドユニットが備える、第1液滴吐出ヘッドおよび第2液滴吐出ヘッドは、ヘッドユニットに対して回動可能であり、第1液滴吐出ヘッドおよび第2液滴吐出ヘッドがそれぞれ備える第1吐出ノズルおよび第2吐出ノズルのノズル列は、副走査方向に対して可変可能なものであっても良い。 For example, in the above-described embodiment, the first liquid droplet ejection head and the second liquid droplet ejection head included in the head unit are rotatable with respect to the head unit, and the first liquid droplet ejection head and the second liquid droplet ejection head The nozzle rows of the first discharge nozzle and the second discharge nozzle respectively provided in the discharge head may be variable in the sub-scanning direction.
また、本発明の膜付きデバイスの製造方法を、有機EL素子を備える表示装置の製造に適用する場合について説明したが、本発明の膜付きデバイスの製造方法は、回路基板が備える配線の成膜にも適用することができる。なお、この場合、配線を形成するための成膜材料としては、ポリアセチレン、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ(p−フェニレンスルフィド)のような導電性高分子材料を高分子材料として含有するものが挙げられる。 Moreover, although the case where the manufacturing method of the device with a film of the present invention is applied to the manufacture of a display device including an organic EL element has been described, the manufacturing method of the device with a film of the present invention is a method of forming a wiring included in a circuit board It can also be applied to. In this case, a conductive polymer material such as polyacetylene, poly (p-phenylene vinylene), polypyrrole, polythiophene, polyaniline, poly (p-phenylene sulfide) is used as a film forming material for forming the wiring. What contains as a molecular material is mentioned.
2‥‥基板
2a‥‥膜付きデバイス
2b‥‥膜付きデバイス
6‥‥液滴吐出装置
7‥‥基台
7a‥‥上面
8‥‥案内レール
9‥‥ステージ
10‥‥主走査位置検出装置
11‥‥載置面
12‥‥支持台
13‥‥案内部材
14‥‥収納タンク
15‥‥案内レール
16‥‥キャリッジ
17‥‥副走査位置検出装置
18‥‥ヘッドユニット
18A‥‥ヘッドユニット
20‥‥隔壁
20a‥‥隔壁
20b‥‥隔壁
20c‥‥隔壁
21‥‥開口部
21a‥‥開口部
21b‥‥開口部
21c‥‥開口部
23‥‥ノズルプレート
25‥‥キャビティ
26‥‥成膜性インク
27‥‥振動板
28‥‥圧電素子
29‥‥液滴
29a‥‥液滴
29b‥‥液滴
29C‥‥液状被膜
29D‥‥膜
41‥‥制御装置
42‥‥CPU
43‥‥メモリー
44‥‥主走査駆動装置
45‥‥副走査駆動装置
46‥‥入出力インターフェイス
47‥‥データバス
48‥‥ヘッド駆動回路
49‥‥入力装置
50‥‥表示装置
51‥‥プログラムソフト
52‥‥吐出位置データ
53‥‥駆動電圧データ
54‥‥駆動波形データ
55‥‥吐出計画データ
56‥‥描画制御部
57‥‥主走査制御部
58‥‥副走査制御部
59‥‥吐出制御部
61‥‥吐出条件設定部
62‥‥吐出計画設定部
200‥‥発光素子
200B‥‥発光素子
200G‥‥発光素子
200R‥‥発光素子
201‥‥陽極
202‥‥正孔注入層
203‥‥正孔輸送層
204‥‥発光層
205‥‥電子輸送層
206‥‥電子注入層
207‥‥陰極
208‥‥積層体
208B‥‥積層体
208G‥‥積層体
208R‥‥積層体
300‥‥表示装置
300B‥‥サブ画素
300G‥‥サブ画素
300R‥‥サブ画素
301‥‥基板
302‥‥スイッチング素子
302a‥‥半導体層
302b‥‥ゲート絶縁層
302c‥‥ゲート電極
302d‥‥ソース電極
302e‥‥ドレイン電極
303‥‥平坦化層
304‥‥反射膜
305‥‥腐食防止膜
306‥‥陰極カバー
307‥‥導電部
308‥‥隔壁
309‥‥樹脂層
310‥‥基板
510‥‥第1液滴吐出ヘッド部
511‥‥第1吐出ノズル
512‥‥第1液滴吐出ヘッド
520‥‥第2液滴吐出ヘッド部
520A‥‥第2液滴吐出ヘッド部
521‥‥第2吐出ノズル
522‥‥第2液滴吐出ヘッド
531‥‥案内レール
1100‥‥パーソナルコンピュータ
1102‥‥キーボード
1104‥‥本体部
1106‥‥表示ユニット
1200‥‥携帯電話機
1202‥‥操作ボタン
1204‥‥受話口
1206‥‥送話口
1300‥‥ディジタルスチルカメラ
1302‥‥ケース
1304‥‥受光ユニット
1306‥‥シャッタボタン
1308‥‥回路基板
1312‥‥ビデオ信号出力端子
1314‥‥入出力端子
1430‥‥テレビモニタ
1440‥‥パーソナルコンピュータ
A1‥‥ノズル列長
A2‥‥ノズル列長
B1‥‥下軸改行ストローク
B2‥‥下軸改行ストローク
C1‥‥ノズルピッチ
C2‥‥ノズルピッチ
2 ...
43
Claims (15)
前記ヘッドユニットは、前記液滴をそれぞれ吐出する第1液滴吐出ヘッドおよび第2液滴吐出ヘッドを備え、
前記第1液滴吐出ヘッドは、複数の第1吐出ノズルが第1のノズルピッチで前記第1の方向と交差する方向に並んで配設されてなる第1のノズル列を有し、
前記第2液滴吐出ヘッドは、複数の第2吐出ノズルが前記第1のノズルピッチよりも小さい第2のノズルピッチで前記第1の方向に交差する方向に並んで配設されてなる第2のノズル列を有し、
前記第1液滴吐出ヘッドと前記第2液滴吐出ヘッドは、前記第1の方向において互いに異なる位置に配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。 A droplet discharge device that supplies droplets from a head unit to a substrate while performing main scanning in which the substrate and the head unit are relatively moved in a first direction,
The head unit includes a first droplet discharge head and a second droplet discharge head that discharge the droplets,
The first liquid droplet ejection head has a first nozzle row in which a plurality of first ejection nozzles are arranged side by side in a direction intersecting the first direction at a first nozzle pitch.
The second droplet discharge head includes a second droplet discharge nozzle arranged side by side in a direction intersecting the first direction at a second nozzle pitch smaller than the first nozzle pitch. Nozzle row,
The liquid droplet ejection apparatus, wherein the first liquid droplet ejection head and the second liquid droplet ejection head are arranged at different positions in the first direction.
前記第2液滴吐出ヘッドは、前記ヘッドユニットに対して、前記第2の方向に移動可能となっている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の液滴吐出装置。 The head unit includes a guide rail provided along a second direction intersecting the first direction, and the second droplet discharge head is attached to the guide rail.
4. The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the second liquid droplet ejection head is movable in the second direction with respect to the head unit. 5.
前記第1液滴吐出ヘッドは前記第1の領域に対して前記液滴を吐出し、
前記第2液滴吐出ヘッドは前記第2の領域に対して前記液滴を吐出する請求項1ないし7のいずれか1項に記載の液滴吐出装置。 The base has a first region and a second region having a smaller area than the first region,
The first droplet discharge head discharges the droplet to the first region;
The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the second liquid droplet ejection head ejects the liquid droplets to the second region.
前記第1の領域は、前記第1の隔壁に形成された第1の開口部により区画されてなり、
前記第2の領域は、前記第2の隔壁に形成された第2の開口部により区画されてなる請求項8に記載の液滴吐出装置。 The base includes a first partition and a second partition,
The first region is defined by a first opening formed in the first partition;
The liquid droplet ejection apparatus according to claim 8, wherein the second region is partitioned by a second opening formed in the second partition wall.
前記第1液滴吐出ヘッドが前記第1の領域と相対する際に、前記第1液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出して前記第1の領域に供給し、前記第2液滴吐出ヘッドが前記第2の領域と相対する際に、前記第2液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出して前記第2の領域に供給することを特徴とする液滴吐出方法。 While moving the head unit included in the droplet discharge device according to any one of claims 8 to 10 relative to the base in the first direction,
When the first droplet discharge head faces the first region, the droplets are discharged from the first droplet discharge head and supplied to the first region, and the second droplet discharge head A droplet discharge method comprising: discharging the droplets from the second droplet discharge head and supplying the droplets to the second region when facing the second region.
前記液状被膜を加熱して乾燥させることで、前記第1の領域および前記第2の領域において膜を成膜する成膜工程と、
前記基体の前記第1の領域を含む第1の部分と、前記第2の領域を含む第2の部分とで分割することで、サイズの異なる膜付きデバイスを得る分割工程とを有することを特徴とする膜付きデバイスの製造方法。 15. The droplet discharge method according to claim 11, wherein the droplet is supplied to the first region and the second region, respectively, and the first region and the second region are supplied. A supplying step of forming a liquid film on the substrate in the region of 2;
A film forming step of forming a film in the first region and the second region by heating and drying the liquid film;
A dividing step of obtaining a film-coated device having different sizes by dividing the substrate into a first portion including the first region and a second portion including the second region. A method for manufacturing a film-coated device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015048075A JP2016168516A (en) | 2015-03-11 | 2015-03-11 | Droplet discharge device, droplet discharge method, and manufacturing method of device with film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015048075A JP2016168516A (en) | 2015-03-11 | 2015-03-11 | Droplet discharge device, droplet discharge method, and manufacturing method of device with film |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016168516A true JP2016168516A (en) | 2016-09-23 |
Family
ID=56981822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015048075A Pending JP2016168516A (en) | 2015-03-11 | 2015-03-11 | Droplet discharge device, droplet discharge method, and manufacturing method of device with film |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016168516A (en) |
-
2015
- 2015-03-11 JP JP2015048075A patent/JP2016168516A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6015073B2 (en) | Functional layer forming ink and light emitting device manufacturing method | |
JP5402134B2 (en) | LIGHT EMITTING ELEMENT, LIGHT EMITTING DEVICE, DISPLAY DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE | |
JP6531347B2 (en) | Method for producing functional layer forming ink and light emitting device | |
JP6535977B2 (en) | Method of manufacturing light emitting device | |
JP6638187B2 (en) | Film forming ink and film forming method | |
JP6390114B2 (en) | Film-forming ink, discharge inspection method, discharge inspection apparatus, and light emitting element manufacturing method | |
JP6638186B2 (en) | Film forming ink and film forming method | |
JP2011108899A (en) | Light emitting element, light emitting device, display device, and electronic apparatus | |
JP6432149B2 (en) | LIGHT EMITTING ELEMENT, LIGHT EMITTING DEVICE, DISPLAY DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE | |
JP2015191978A (en) | Light emitting device and electronic apparatus | |
JP5577945B2 (en) | Film forming method, light emitting element manufacturing method, light emitting element, light emitting device, and electronic apparatus | |
JP2016195181A (en) | Light-emitting device, manufacturing method of the same, and electronic apparatus | |
JP6507727B2 (en) | Functional ink, discharge inspection method and film forming method | |
JP5976269B2 (en) | Film forming ink and film forming method | |
WO2016147561A1 (en) | Droplet discharge method, program, and method for manufacturing coated device | |
JP6060993B2 (en) | Deposition method | |
JP2016168516A (en) | Droplet discharge device, droplet discharge method, and manufacturing method of device with film | |
JP2016170875A (en) | Droplet discharge device, droplet discharging method, and method of manufacturing device having film | |
JP2017216197A (en) | Discharge inspection method | |
JP2017203095A (en) | Functional ink, discharge inspection method, discharge inspection device and film forming method | |
JP2016184666A (en) | Ink for functional layer formation, method for manufacturing light-emitting element, light-emitting element, light-emitting device, and electronic equipment | |
JP2016184535A (en) | Method of manufacturing light emission device, light emission device and electronic equipment | |
JP2016193983A (en) | Functional ink, film forming method, liquid droplet discharge apparatus, device with film, and electronic apparatus | |
JP2016195040A (en) | Method of manufacturing light emission device, light emission device and electronic equipment | |
JP2016195156A (en) | Light emission element, light emission manufacturing method, light emission device and electronic equipment |