JP2016167057A - 情報処理装置の駆動方法、プログラム、及び情報処理装置 - Google Patents

情報処理装置の駆動方法、プログラム、及び情報処理装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2016167057A
JP2016167057A JP2016037451A JP2016037451A JP2016167057A JP 2016167057 A JP2016167057 A JP 2016167057A JP 2016037451 A JP2016037451 A JP 2016037451A JP 2016037451 A JP2016037451 A JP 2016037451A JP 2016167057 A JP2016167057 A JP 2016167057A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
display
insulating film
transistor
mode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016037451A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016167057A5 (ja
JP6764663B2 (ja
Inventor
山崎 舜平
Shunpei Yamazaki
舜平 山崎
三宅 博之
Hiroyuki Miyake
博之 三宅
平形 吉晴
Yoshiharu Hirakata
吉晴 平形
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd filed Critical Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Publication of JP2016167057A publication Critical patent/JP2016167057A/ja
Publication of JP2016167057A5 publication Critical patent/JP2016167057A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6764663B2 publication Critical patent/JP6764663B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/36Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
    • G09G3/3611Control of matrices with row and column drivers
    • G09G3/3648Control of matrices with row and column drivers using an active matrix
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2320/00Control of display operating conditions
    • G09G2320/06Adjustment of display parameters
    • G09G2320/0686Adjustment of display parameters with two or more screen areas displaying information with different brightness or colours
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2354/00Aspects of interface with display user
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/3406Control of illumination source

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)

Abstract

【課題】使用者の眼精疲労が抑制され、目にやさしい表示をする。
【解決手段】表示部と、入力部と、を有する情報処理装置において、表示画像のコントラスト、もしくは明るさを調節する第1のモードと、表示画像のコントラスト、もしくは明るさを初期の設定値にする第2のモードを有する。画像表示時に入力部にスクロール命令等の入力信号が与えられた場合に、スクロールの内容に応じて、表示画像のコントラスト、もしくは明るさを調節することで、情報処理装置にて眼にやさしい表示を行うことができる。
【選択図】図1

Description

本発明の一態様は、情報処理装置、及びその駆動方法に関する。本発明の一態様は、情報処理装置を駆動するためのプログラムに関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、それらの駆動方法、または、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
表示部と、入力部と、を有する情報処理装置を、入力部により入力信号を取得する第1のステップと、入力信号に応じて、表示部に表示する画像の移動を開始する第2のステップと、画像の輝度を低下させる第3のステップと、画像の座標が、所定座標に達したか否かを判定する第4のステップと、画像の座標が所定座標に達した場合に、画像の輝度を上昇させる第5のステップと、画像の移動を停止する第6のステップと、により駆動する、使用者の眼精疲労が抑制され、目にやさしい表示をすることができる情報処理装置の駆動方法が知られている(特許文献1)。
特開2014−115641号公報
本発明の一態様は、使用者の眼精疲労が抑制され、目にやさしい表示をすることを課題の一とする。または、本発明の一態様は、新規な半導体装置、新規な表示装置、新規な電子機器、新規な情報処理装置、それらの駆動方法、または、新規なプログラムなどを提供することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様は、下記のステップを有するプログラムである。
第1のステップにおいて、設定を初期化する。
第2のステップにおいて、割り込み処理を許可する。
第3のステップにおいて、第1のステップまたは割り込み処理において選択された、所定のモードで画像情報を表示する。
第4のステップにおいて、終了命令が供給された場合は第5のステップに進み、前記終了命令が供給されなかった場合は第3のステップに進むように選択する。
第5のステップにおいて、終了する。
割り込み処理は以下の第6のステップ乃至第11のステップを備える。
第6のステップにおいて、所定のイベントが供給された場合は、第7のステップに進み、前記所定のイベントが供給されなかった場合は、第11のステップに進む。
第7のステップにおいて、次に表示する画像情報が所定のコントラストを有する場合は、第8のステップに進み、前記画像情報が所定のコントラストを有さない場合は、第10のステップに進む。
第8のステップにおいて、次に表示する画像情報に占める暗部の面積が所定の割合以上である場合は、第9のステップに進み、暗部の面積が所定の割合未満を占める場合は、第10のステップに進む。
第9のステップにおいて、第1のモードを選択する。
第10のステップにおいて、第2のモードを選択する。
第11のステップにおいて、割り込み処理から復帰する。
これにより、例えばスクロール等の所定のイベントに基づいて、表示する画像情報を切り替える際に、使用者の目に与える負担を抑制することができ、使用者の目にやさしい表示をすることができる。その結果、利便性に優れた新規なプログラムを提供することができる。
また本発明の一態様は、表示部と、入力部と、制御部と、を有する情報処理装置であって、表示部は、発光部を有し、入力部は、ユーザからの入力を検知して制御部に信号を出力する機能を有し、制御部は、第1のモードと、第2のモードを実行する機能を有し、第1のモードは、制御部が発光部に第1の輝度で発光させるモードであり、第2のモードは、制御部が発光部に第2の輝度で発光させるモードであり、制御部は、信号に応じて、第1のモードと、第2のモードとを切り替える機能を有する、ことを特徴とする情報処理装置である。
また本発明の一態様は、入力が画面の切り替え、または画面のスクロールに対応した第1の入力であるとき、制御部は第1のモードを実行し、入力がなされないとき、または入力が第1の入力でないとき、制御部は第2のモードを実行することを特徴とする情報処理装置である。
また本発明の一態様は、表示部が、液晶素子、または発光素子を有することを特徴とする情報処理装置である。
また本発明の一態様は、表示部は、複数の画素を有し、画素は、トランジスタを有し、トランジスタのチャネルが形成される半導体層は、酸化物半導体を含むことを特徴とする情報処理装置である。
また本発明の一態様は、表示部は、複数の画素を有し、画素は、トランジスタを有し、トランジスタのチャネルが形成される半導体層は、アモルファスシリコンまたは多結晶シリコンであることを特徴とする情報処理装置である。
また本発明の一態様は、入力部は、キーボード、ハードウェアボタン、ポインティングデバイス、タッチセンサ、撮像装置、音声入力装置、視点入力装置、姿勢検出装置、のうち一以上を含むことを特徴とする情報処理装置である。
また本発明の一態様は、表示部と、入力部は、タッチパネルを構成することを特徴とする情報処理装置である。
本発明の一態様により、使用者の眼精疲労が抑制され、目にやさしい表示を行うことのできる情報処理装置を提供できる。または、本発明の一態様は、新規な半導体装置、新規な表示装置、新規な電子機器、新規な情報処理装置、それらの駆動方法、または、新規なプログラムなどを提供できる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
実施の形態に係る、情報処理装置の構成例を説明する図。 実施の形態に係る、情報処理装置の表示部の構成例を説明する図。 実施の形態に係る視神経と視覚伝達関数を説明する模式図。 実施の形態に係る視覚伝達関数を説明する模式図。 実施の形態に係るプログラムを説明するフローチャート。 実施の形態に係るプログラムを説明するフローチャート。 実施の形態に係るスクロール命令の例を説明する模式図。 実施の形態に係る画像情報の構成を説明する模式図。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る画素の一形態を示す上面図。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る画素の一形態を示す上面図。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る画素の一形態を示す上面図。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る画素の一形態を示す上面図。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る画素の一形態を示す上面図。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る表示装置の構成例。 実施の形態に係る画素回路の構成を説明する図と画素の一形態を示す上面図。 実施の形態に係る表示モジュールを説明する図。 実施の形態に係る電子機器を説明する図。 実施例に係る表示装置の輝度の変化を説明する図。 実施例に係る視覚刺激の変化を説明する図。 実施例に係る被験者の臨界融合周波数の変化を説明する図。 実施の形態に係るバックライトの動作を説明する模式図。
例えば、本発明の一態様は、第1のモードまたは第2のモードを選択するステップと、選択されたモードで表示をするステップと、を含んで構成される。
なお、本発明の一態様は、例えば、スクロールイベントが発生した際に、表示する画像情報に含まれる暗部と明部のコントラストまたは暗部の面積が占める割合に基づいて第1のモードまたは第2のモードを選択するステップを含んでいてもよい。
《第1のモード》
第1のモードが選択された場合は、視覚刺激が低減されるように、次に表示する画像情報を以下の方法を用いて表示する。
例えば、すでに表示している画像情報により生じる側抑制の影響を避けるように、次に表示する画像情報を表示する。
入力部にスクロールイベント等が供給された場合に、スクロールイベント情報の内容に応じて表示部の明るさの度合を調節し、スクロールイベント発生前の画像よりも階調の濃淡のコントラストを低くした表示を行う。
または、入力部にスクロールイベント等が供給された場合に、スクロールイベント情報の内容に応じて表示部の明るさの度合を調節し、スクロールイベント発生前の画像よりも明るさを低くした表示を行う。
《第2のモード》
第2のモードが選択された場合は、以下の方法を用いて画像情報を表示する。
画像の階調の濃淡のコントラスト、または、明るさの設定を維持したまま表示を行う。
これにより、例えばスクロール等の所定のイベントに基づいて、表示する画像情報を切り替える際に、使用者の目に与える負担を抑制することができ、使用者の目にやさしい表示をすることができる。その結果、利便性に優れた新規なプログラムを提供することができる。
<側抑制の影響を避ける表示方法>
図3および図4を参照しながら、側抑制の影響を避ける表示方法について説明する。
図3は、視神経と視覚伝達関数を説明する模式図である。図3(A)は、一の画像情報から他の画像情報への切り替えを伴う、視神経に供給する刺激の一例を説明する模式図であり、図3(B)および図3(C)は、表示装置と表示装置の使用者の位置を説明する模式図である。また、図3(D)は、視覚伝達関数によって変形された、供給される刺激に対する視神経の応答を説明する模式図である。なお、縦軸Lは明るさをあらわし、順応した明るさを0とする。また、縦軸Sは応答の強度をあらわす。
図4は、視神経と視覚伝達関数を説明する模式図である。図4(A)は、一の画像情報から他の画像情報への切り替えを伴う、視神経に供給する刺激の一例を説明する模式図であり、図4(B)は、視覚伝達関数により変形された、供給される刺激に対する視神経の応答を説明する模式図である。また、図4(C)および図4(D)は、供給される刺激に対する応答の増幅を抑制することができる、本発明の一態様の表示方法を説明する模式図である。
例えば、第1のモードにおいて100msec以上好ましくは150msec以上の時間をかけて、一の画像情報から他の画像情報への切り替えを行う。これにより、側抑制の影響を避けることができる。その結果、視覚刺激に対する応答の増幅を抑制することができる。
《側抑制》
刺激を受けた視神経の神経単位は、隣接する他の神経単位の活動を抑制する能力を備える。これにより、パルス状の視覚刺激に対する応答が変形する場合がある。
例えば、使用者の目から40cm離れた面にある直径100μmの領域にパルス状に明るい表示と暗い表示をする(図3(A)参照)。なお、40cm離れた面にある直径およそ100μmの領域は、1つの視細胞CELLの大きさに相当する(図3(B)、(C)参照)。
パルス状の刺激は、視覚伝達関数を介して波打つような応答に変形される場合がある(図3(A)、(D)参照)。具体的には、パルス状の正の視覚刺激に対し、負の応答を伴う正の応答に変形される。また、パルス状の負の視覚刺激に対し、正の応答を伴う負の応答に変形される(デビッド シー バール、エム コンセッタ モッローネ、インパルス−レスポンス ファンクションズ フォー クロマティック アンド アクロマティック スティミューライ、ジャーナル・オブ・オプティカル・ソサエティ・オブ・アメリカ、1993年、第10巻、第8号、1706頁)。
例えば、明るい表示と暗い表示が十分狭い間隔で連続すると、先に供給された刺激に対する応答と、後に供給された刺激に対する応答のそれぞれが波打つように変形されているため、その波が強め合うように重なってしまう場合がある。
例えば、明るい第1の画像情報をパルス状に表示した50msec後に、暗い第2の画像情報をパルス状に表示すると、まず第1の画像情報の表示に対する正の応答が生じ、続いて生じる負の応答と、第2の画像情報の表示に対する負の応答が重なる場合がある。これにより、負の応答が極めて大きく増幅されてしまう場合がある(図4(A)および図4(B)参照)。
例えば、一の画像情報から他の画像情報に表示を変える際、第1のモードにおいて、100msec以上好ましくは150msec以上の時間をかけて表示を変える(図4(C)参照)。これにより、視覚伝達関数により波打つように変形された応答の影響を避けることができる。その結果、視覚刺激に対する応答の増幅を抑制することができる。
また、例えば、一の画像情報から他の画像情報に表示を変える際、第1のモードにおいて、一の画像情報と他の画像情報の間に、中間の画像情報を表示する。具体的には、一の画像情報と他の画像情報の中間の階調を備える画像や、グレーの画像を中間の画像情報に用いることができる(図4(D)参照)。これにより、波打つように変形された、先に供給された刺激に対する応答を、後に供給する刺激に対する応答で打ち消して、弱めることができる。
または、一の画像情報をフェードアウトしながら他の画像情報をフェードインする画像(クロスフェードともいう)を中間の画像情報に用いることができる。
また、例えば、第2のモードで表示素子をオーバードライブ駆動して、第1のモードでオーバードライブ駆動を弱めるまたは停止してもよい。具体的には、第1のモードで液晶素子のオーバードライブ駆動を停止し、第2のモードで液晶素子をオーバードライブ駆動してもよい。
これにより、側抑制の影響を避けることができる。その結果、視覚刺激に対する応答の増幅を抑制することができる。
<プログラムの例>
図5および図6を参照しながら、本発明の一態様のプログラムについて説明する。
図5は、本発明の一態様のプログラムの主の処理を説明するフローチャートである。図6は、本発明の一態様のプログラムの割り込み処理を説明するフローチャートである。
本発明の一態様のプログラムは、下記の11のステップを有するプログラムである(図5および図6参照)。
第1のステップ(S1)において、設定を初期化する。例えば、初期設定に第1のモードまたは第2のモードを設定し、所定の画像を読み込む。
第2のステップ(S2)において、割り込み処理を許可する。なお、割り込み処理が許可された演算装置は、主の処理と並行して割り込み処理を行うことができる。割り込み処理から主の処理に復帰した演算装置は、割り込み処理をして得た結果を主の処理に反映することができる。
なお、カウンタの値が初期値であるときに、演算装置に割り込み処理をさせてもよい。これにより、プログラムを起動した後に常に割り込み処理をさせることができる。
第3のステップ(S3)において、第1のステップまたは割り込み処理において選択された、所定のモードで画像情報を表示する。
第4のステップ(S4)において、終了命令が供給された場合は第5のステップに進み、前記終了命令が供給されなかった場合は第3のステップに進むように選択する。
第5のステップ(S5)において、終了する。
割り込み処理は以下の第6のステップ乃至第11のステップを備える(図6参照)。
第6のステップ(S6)において、所定のイベントが供給された場合は、第7のステップに進み、前記所定のイベントが供給されなかった場合は、第11のステップに進む。
第7のステップ(S7)において、次に表示する画像情報が所定のコントラストを有する場合は、第8のステップに進み、前記画像情報が所定のコントラストを有さない場合は、第10のステップに進む。
第8のステップ(S8)において、次に表示する画像情報に占める暗部の面積が所定の割合以上である場合は、第9のステップに進み、暗部の面積が所定の割合未満を占める場合は、第10のステップに進む。
第9のステップ(S9)において、第1のモードを選択する。
第10のステップ(S10)において、第2のモードを選択する。
第11のステップ(S11)において、割り込み処理から復帰する。
《所定のイベント》
様々な命令に様々なイベントを関連付けることができる。
例えば、表示されている一の画像情報から他の画像情報に表示を切り替える「ページめくり命令」、一の画像情報の表示されている一部分の表示位置を移動して、一部分に連続する他の部分を表示する「スクロール命令」などがある。
例えば、入力部へのイベント供給の例として、ポインティング装置を用いて供給する、「クリック」や「ドラッグ」等のイベント、指等をポインタに用いてタッチパネルに供給する、「タップ」、「ドラッグ」または「スワイプ」等のイベントを用いることができる。
例えば、ポインタを用いて指し示すスライドバーのつまみ(ハンドル、ノブともいう)の位置、スワイプの速度、ドラッグの速度等を用いて、さまざまな命令に引数を与えることができる。
具体的には、「ページめくり命令」を実行する際に用いるページをめくる速度などを決定する引数や、「スクロール命令」を実行する際に用いる表示位置を移動する速度などを決定する引数を与えることができる。
また、例えば、ページをめくる速度または/およびスクロール速度に応じて、表示の明るさまたはコントラストを変化してもよい。具体的には、表示されている画像を使用者が目で追いかけられる速度に比べて、ページをめくる速度または/およびスクロール速度が速い場合に、速度と同期して表示の明るさが暗くなるように表示する、または速度と同期してコントラストが低下するように表示してもよい。
《スクロールの命令》
画像情報を表示する位置を、さまざまな速度で移動するスクロール命令の例を、図7を参照しながら説明する。なお、例えば、タッチパネルをスワイプする速度を用いて、スクロール命令の表示位置を移動する速度などを与えることができる。
図7(A−1)、図7(B−1)および図7(C−1)は、画像情報を表示する位置を移動する速度Vを時間的に変化するスクロール命令を説明する模式図である。
図7(A−2)は、図7(A−1)に示すような速度で画像情報を表示する位置を移動する際に、明部の明るさLを調整する方法を説明する図である。
図7(B−2)は、図7(B−1)に示すような速度で画像情報を表示する位置を移動する際に、明部の明るさLを調整する方法を説明する図である。
図7(C−2)は、図7(C−1)に示すような速度で画像情報を表示する位置を移動する際に、明部の明るさLを調整する方法を説明する図である。
《スクロールの命令の例1》
時刻T1から時刻T2にかけて、画像情報を表示する位置を移動する速度を、0からV1まで加速するスクロール命令の例を説明する(図7(A−1)および図7(A−2)参照)。
例えば、画像情報を表示する位置を変えずに表示する時刻T1までは、明るさL1で明部を表示する。
画像情報を表示する位置を加速しながら移動する時刻T1から時刻T2までは、明るさL1より暗い明るさL3に達する明るさで明部を表示する。
画像情報を表示する位置を一定の速度V1で移動する時刻T2以降は、明るさL1より暗く且つ明るさL3より明るい明るさL2で明部を表示する。なお、このように明るさを変化させる場合、急激な変化は眼への負担が大きいので、緩やかに輝度が低下または上昇するように変化させる。
《スクロールの命令の例2》
時刻T3から時刻T4にかけて、画像情報を表示する位置を移動する速度を、V1から0まで減速するスクロール命令の例を説明する(図7(B−1)および図7(B−2)参照)。
例えば、画像情報を表示する位置を一定の速度V1で移動する時刻T3までは、明るさL2で明部を表示する。
画像情報を表示する位置を減速しながら移動する時刻T3から時刻T4までは、明るさL2から明るさを増しながら明部を表示する。
画像情報を表示する位置を決定した時刻T4から時刻T5までは、明るさL2より明るい所定の明るさL1まで明るさを増しながら、明部を表示する。なお、時刻T4から時刻T5までの期間は0秒以上が好ましい。
《スクロールの命令の例3》
時刻T6から時刻T7にかけて、画像情報を表示する位置を移動する速度を0からV1まで加速しながら移動し、時刻T7から時刻T8まで速度V1で移動する。また、時刻T8から時刻T9にかけて、画像情報を表示する位置を速度V1からV2まで減速しながら移動し、時刻T9以降は速度V2で移動するスクロール命令の例を説明する(図7(C−1)および図7(C−2)参照)。
例えば、画像情報を表示する位置を変えずに表示する時刻T6までは、明るさL1で明部を表示する。
画像情報を表示する位置を加速しながら移動する時刻T6から時刻T7までは、明るさL1から明るさを減じながら明部を表示する。
画像情報を表示する位置を一定の速度V1で移動する時刻T7から時刻T8までは、明るさL3で明部を表示する。
画像情報を表示する位置を減速しながら移動する時刻T8から時刻T9までは、明るさL3から明るさを増しながら明部を表示する。
画像情報を表示する位置を速度V1より遅い一定の速度V2で移動する時刻T9以降は、明るさL1より暗く且つ明るさL3より明るい明るさL2で明部を表示する。
《モードの選択に用いる条件》
次に表示する画像情報の特性をモードを選択する条件に用いる方法を、図8を参照しながら説明する。
図8(A)は、画像情報および画像情報に含まれる暗部と明部を説明する模式図である。
図8(B)は、次に表示する画像情報に含まれる、明度ごとの面積比を説明する模式図である。なお、表示装置が表示する最も暗い明るさを0に、最も明るい明るさを1に規格化して、横軸に用いる。
図8(C)は、白色の用紙に文字が印刷された一般的な文書の一例について、明度ごとの面積比を調べた結果を説明する図(ヒストグラムともいう)である。なお、明るい部分において面積比が最も大きかった明るさを1に規格化して、横軸に用いる。
具体的に、次に表示する画像情報のコントラストまたは暗部の面積が占める割合を、モードを選択する条件に用いる場合について説明する。
《コントラスト》
例えば、次に表示する画像情報のコントラストが所定の値を超えるか否かを、第1のモードを選択する条件に用いることができる。
具体的には、画像情報に含まれる規格化された明度が0以上0.3以下の領域を暗部とし、0.7以上1.0以下の領域を明部とする。そして、画像情報が明部および暗部の両方を有するか否かを、モードを選択する条件に用いることができる。
例えば、規格化された明度が0.2の領域と、規格化された明度が0.95の領域を有する画像情報は、第1のモードを選択する条件を満たす(図8(B)参照)。
なお、白色の用紙に文字が印刷された一般的な文書の一例(図8(C)参照)に比べてコントラストが低い画像情報を、次に表示する場合、表示の変化に伴う視覚刺激が少ないため、第2のモードを選択してもよい。
《暗部の面積の割合》
また、例えば、次に表示する画像情報に占める暗部の面積の割合を、モードを選択する条件に用いることができる。
具体的には、画像情報の30%以上を占める暗部を有するか否かを、モードを選択する条件に用いることができる。
例えば、画像情報の35%の面積を、規格化された明度が0.2の領域が占める画像情報は、第1のモードを選択する条件を満たす(図8(B)参照)。
なお、白色の用紙に文字が印刷された一般的な文書の一例(図8(C)参照)より暗部の面積が少ない画像情報を、次に表示する場合、表示の変化に伴う視覚刺激が少ないため、第2のモードを選択してもよい。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本明細書に開示した情報処理装置の表示装置として利用可能な透過型表示装置の一例について、図1、図2、図7、図33を参照しながら説明する。
具体的には、情報処理装置の入力部にてページスクロール等の操作を認識してバックライトの輝度を調節することができる透過型表示装置の構成について説明する。これにより、眼への負担を軽減する表示を行うことができる。
図1は、本発明の一態様の液晶表示装置600の構成を説明するブロック図である。
図2は、本発明の一態様の液晶表示装置600に用いることができる表示部630の構成を説明する上面図及び回路図である。
<透過型表示装置の構成>
本実施の形態で説明する、表示機能と入力機能を有する情報処理装置に含まれる液晶表示装置600は、表示部630と、演算装置620と、入力部500と、を有する。なお、演算装置620は制御部と呼ぶこともできる。
<表示部>
表示部630は、画素部631と、第1の駆動回路(S駆動回路ともいう)633と、第2の駆動回路(G駆動回路ともいう)632と、を有する。
表示部630は、画像信号625_V、電源電位および制御信号625_Cが供給される。
表示部630の構成の一例を図2(A)に示す。
表示部630は、画素部631を備える。画素部631は、複数の画素631pと、画素631pを行毎に選択するための複数の走査線G1乃至走査線Gyと、選択された画素631pに第1の駆動信号633_Sを供給するための複数の信号線S1乃至信号線Sxとが設けられている。
走査線G1乃至走査線Gyへの第2の駆動信号632_Gの入力は、第2の駆動回路632により制御されている。信号線S1乃至信号線Sxへの第1の駆動信号633_Sの入力は、第1の駆動回路633により制御されている。複数の画素631pは、走査線G1乃至走査線Gyの少なくとも一つと、信号線S1乃至信号線Sxの少なくとも一つとに、それぞれ接続されている。
なお、画素部631に設けられる配線の種類及びその数は、画素631pの構成、数及び配置によって決めることができる。具体的に、図2(A)に示す画素部631の場合、x列×y行の画素631pがマトリクス状に配置されており、信号線S1乃至信号線Sx、走査線G1乃至走査線Gyが、画素部631内に配置されている場合を例示している。
《画素部》
画素部631は、画素631pを備え、画素631pは、画素回路634を備える(図1参照)。例えば、マトリクス状に配置された複数の画素631pを備える。
画素回路634は、表示素子635を含み、入力される第1の駆動信号633_Sを保持する。表示素子635は第1の駆動信号633_Sに基づいて画像を表示する。
《表示素子》
例えば、光の透過を制御する機能を備える表示素子を、表示素子635に用いることができる。例えば、透過型表示素子またはシャッター方式のMEMS表示素子を用いることができる。
具体的には、IPS(In−Plane−Switching)モード、TN(Twisted Nematic)モード、FFS(Fringe Field Switching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optically Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モードなどの液晶素子を用いることができる。
液晶素子を表示素子635に用いる場合について、図2(B)を参照しながら説明する。液晶素子635LCは、第1電極と、第2電極と、第1電極と第2電極の間の電圧が印加される液晶材料を含む液晶層を有する。液晶素子635LCは、第1電極と第2電極の間に与えられる電圧の値に従って、液晶分子の配向が変化して、透過率が変化する。これにより、第1の駆動信号633_Sに基づいて、表示素子635は階調を表示することができる。
《画素回路》
液晶素子635LCを表示素子635に用いる画素回路634の構成を、図2(B)を参照しながら説明する。なお、画素回路634の構成は、表示素子635の種類、または駆動方法に応じて選択することができる。
画素回路634は、トランジスタ634tを有する。トランジスタ634tは、液晶素子635LCの第1電極に、第1の駆動信号633_Sを供給するか否かを制御する。
液晶素子635LCの第2電極には、電位Vcomが与えられている。
トランジスタ634tのゲートは、走査線G1から走査線Gyのいずれか1つに接続されている。トランジスタ634tのソース及びドレインの一方は、信号線S1から信号線Sxのいずれか1つに接続され、トランジスタ634tのソース及びドレインの他方は、液晶素子635LCの第1電極に接続されている。
単数または複数のトランジスタを画素631pのスイッチング素子に用いることができる。例えば、並列に接続された複数のトランジスタ、直列に接続された複数のトランジスタ、直列と並列が組み合わされて接続された複数のトランジスタを、一のスイッチング素子として用いてもよい。
液晶素子635LCの第1電極と第2電極間の電圧を保持するための容量素子634cを、画素631pに用いることができる。また、その他の回路素子、例えば、トランジスタ、ダイオード、抵抗素子、容量素子またはインダクタなどを用いることができる。
適宜調整された容量の容量素子634cを画素回路634に用いることができる。また、画素回路634の容量を容量素子634c以外の構成を用いて調節してもよい。例えば、液晶素子635LCの第1電極と、第1電極と重なる領域を備える第2電極とを用いて、容量素子を形成してもよい。
《トランジスタ》
例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタを用いることができる。または、シリコン、ゲルマニウム、有機半導体等を用いたトランジスタを用いることができる。
《第1の駆動回路》
第1の駆動回路633は、電源電位および画像信号625_Vを供給され、第1の駆動信号633_Sを画素部631に出力する(図1参照)。
《第2の駆動回路》
第2の駆動回路632は、電源電位および制御信号625_Cを供給され、画素631pを選択する第2の駆動信号632_Gを画素部631に出力する。
第2の駆動回路632は、第2の駆動信号632_Gを画素631pに出力する。具体的には、第2の駆動信号632_Gは画像表示に応じたフレーム周波数で出力することができる。動画を表示する場合のように、なめらかな画像変化を行いたい場合は、たとえば60Hz以上の頻度で第2の駆動信号632_Gを出力すればよく、また、フレーム周波数を低くして静止画を表示するような場合には、たとえば1Hz以下の頻度で第2の駆動信号632_Gを出力すればよい。
《光供給部》
光供給部650は画素部631と重なる領域を備え、画素部631に光を供給するバックライトとして機能する。
入力部500が出力する画像切り替え信号500_Cを、演算装置620は受信し、演算装置620は制御信号625_Cと画像信号625_Vを生成し、表示部630に出力する。また、演算装置620は、画像切り替え信号500_Cに応じて発光部639の輝度を調整するための制御信号625_Lを光供給部650に出力する。
<演算装置>
演算装置620は、画像信号625_V、制御信号625_C、及び制御信号625_Lを生成する機能を有する(図1参照)。
なお、制御信号625_Cは、第2の駆動回路632の動作を制御するスタートパルス信号SP、クロック信号CK、ラッチ信号LP、パルス幅制御信号PWC等を含んでいてもよい。
例えば、演算装置620は、入力部500が供給する画像切り替え信号500_Cに基づいて、制御信号625_L、制御信号625_Cまたは画像信号625_V等を出力する。
演算装置620は、ページめくり動作またはページスクロール動作に伴う画像情報の変化を含む画像信号625_Vを生成し、制御信号625_Cと共に当該画像信号625_Vを出力する。
また、演算装置620は、画像信号625_Vの極性を反転させる機能を有してもよい。具体的には、演算装置620に反転制御回路を設け、反転制御回路が通知するタイミングに従って画像信号625_Vの極性の反転をしてもよい。また、演算装置620からの命令に従って、表示部630内で反転してもよい。
反転制御回路は、画像信号625_Vの極性を反転させるタイミングを、同期信号を用いて定める機能を有する。例えば、カウンタと、信号生成回路とを反転制御回路に用いることができる。なお、極性を、信号線毎、走査線毎、画素毎またはフレーム毎に反転させることができる。
<入力部>
入力部500は、画像切り替え信号500_Cを演算装置620に出力する機能を有する。例えば、ページめくり命令またはスクロール命令等と関連付けられたタップまたはスワイプ等の動作を検知して、画像切り替え信号500_Cを供給する。
入力部500としては、タッチパネル、タッチパッド、ジョイスティック、トラックボール、データグローブ、撮像装置などを用いることができる。演算装置620は、入力部500から入力される電気信号と表示部630の座標を関連づけることができる。これにより、使用する者が表示部に表示される情報を処理するための命令を入力することができる。
使用する者が入力部500から入力する情報としては、例えば表示部に表示される画像の表示位置を変えるためにドラッグする命令、表示されている画像を送り次の画像を表示するためにスワイプする命令、巻物状に表示領域の外側につながる画像を順に送るためにスクロールする命令、特定の画像を選択する命令、画像を表示する大きさを変化するためにピンチする命令の他、手書き文字入力する命令などを挙げることができる。
<光供給部>
光供給部650には、タイミングコントローラ636、輝度調整回路637、ドライバ638、発光部639が設けられている。演算装置620は、光供給部650が有する光源の駆動を制御する制御信号625_Lを出力する。
光供給部650の発光部639としては、冷陰極蛍光ランプ、発光ダイオード(LED)、電場を加えることでルミネッセンス(Electroluminescence)が発生する有機EL素子(OLED素子ともいう)などを用いることができる。また、光供給部650の光源のカラー化方式としては、赤色、緑色、青色の発光をそれぞれ用いる方式(3色方式)、青色発光からの発光の一部を赤色や緑色に変換する方式(色変換方式、量子ドット方式)、白色発光からの発光の一部を、カラーフィルタを通すことで赤色、緑色、青色に変換する方式(カラーフィルター方式)などを適用することができる。
タイミングコントローラ636は、輝度調整回路637に対し、演算装置620からの制御信号625_Lに基づき、ページスクロール時の輝度を調節するための階調データを与える。なお、制御信号625_Lに基づき発光部639の発光領域を制御するためのタイミング信号を与える機能を有してもよい。
発光領域を制御する方式として、たとえば、発光領域をA、A乃至Aと、複数領域となるように分割し、分割した各領域に対し、タイミング信号と同期してAを発光させ、その後、一定時間ごとにA2、乃至Aと順次、発光するようにしてもよい。
たとえば、発光領域をA乃至Aの5つの領域に分割した例を、模式的に図33(A)に示す。
発光領域の分割の方法として、複数行(図33(B))、または複数列(図33(C))、となるように分割してもよく、また、行と列とともに分割してマトリックス状に分割してもよい(図33(D))。また、分割領域の大きさが小さくなるほど面内の輝度を微細に制御できるようになるので、きめの細かい制御が可能となる。
なお、発光領域の分割方法は表示装置の仕様に応じて適宜選択すればよく、本実施の形態の内容に限定されるものではない。
タイミング信号と同期させて分割した複数の領域を発光させる場合、画像データ書き換え期間に該複数の領域の明るさを調節し、さらに画像データの書き換え前後の期間では明るさの変化を緩やかに行ってもよい。
発光領域の最大の明るさを1、最小の明るさを0、中間の明るさとして0.25、0.5、0.75、の5段階の明るさの調節を行って、さらにスキャンする方法を模式的に示した例を図33(E)に示す。領域670は明るさ0、領域671は明るさ0.25、領域672は明るさ0.5、領域673は明るさ0.75、領域674は明るさ1である。明るさが0の領域670を中心に、段階的に明るさが増すように領域671、領域672、領域673、領域674を領域670の両側に配置する。明るさを調節している領域670、領域671、領域672、領域673、領域674を組み合わせた領域675をスキャン方向676が示す矢印の向きにスキャンする。
画像データの書き換えと領域675のスキャンを同期させることで、フレームが切り替わるときの表示の不具合を低減することが可能となる。
なお、明るさの変化の段階、領域675内部の各領域の分割数は説明のために模式的に示したものであり、明るさの変化の段階数、領域675内部の分割数、分割した各領域の面積は、本実施の形態に示す方法に限定されるものではなく、表示装置の仕様に応じて適宜選択することができる。
輝度調整回路637によって形成された階調データをドライバ638に出力し、階調データに応じた信号を発光部639に出力する。輝度調整は発光部639の発光強度の振幅で調整してもよい。発光強度を調整するための波形として、三角波、矩形波、正弦波成分などを重畳した振動波形としてもよい。
またパルス幅変調(Pulse Width Modulation)のように発光強度の振幅は一定にしながら、一周期内の発光時間を制御することで実効的に発光輝度を調整する方法も利用できる。
<動作例>
入力部にスクロール操作等の所定のイベントが供給され、その時に表示している画像情報に対し、コントラスト及び表示面内の暗部の面積割合の評価を行い、評価結果を反映して第1のモードを選択し、本明細書に示す方法により光供給部の輝度を調節し、眼への負担を軽減する表示を行う例を図7に示すタイミングチャートを用いて説明する。
《スクロールの命令の例1》
図7(A−1)のように時刻T1から時刻T2にかけて、画像情報を表示する位置を移動する速度を、0からV1まで加速するスクロール命令が供給されると、演算装置620からタイミングコントローラ636を介して輝度調整回路637に、図7(A−2)に示す輝度変化を示すように制御信号625_Lが出力される。
例えば、画像情報を表示する位置を変えずに表示する時刻T1までは、明るさL1で明部を表示するように制御信号625_Lが出力される。
次に、画像情報を表示する位置を加速しながら移動する時刻T1から時刻T2までは、明るさL1より暗い明るさL3に達するような明るさで明部を表示するように制御信号625_Lが出力される。
画像情報を表示する位置を一定の速度V1で移動する時刻T2以降は、明るさL1より暗く且つ明るさL3より明るい明るさL2で明部を表示するように制御信号625_Lが出力される。
時刻T1と時刻T2の期間は画像情報を表示する位置を加速しながら移動するので、この状態を画像で表示すると、眼への負担が強くなる可能性がある。そこで、入力部に供給されたスワイプやドラッグなどのイベントの加速度等を演算装置620にて評価し、所定の設定値を外れたと判断された場合、一度、発光部の輝度をL3まで低下させ、眼への負担を低減させ、さらに時刻T2において明るさL2まで上昇させる。
このように明るさを変化させる場合、急激な変化は眼への負担が大きいので、緩やかに輝度が低下または上昇するように変化させる。
《スクロールの命令の例2》
図7(B−1)のように時刻T3から時刻T4にかけて、画像情報を表示する位置を移動する速度を、V1から0まで減速するスクロール命令が供給されると、演算装置620からタイミングコントローラ636を介して輝度調整回路637に、図7(B−2)に示す輝度変化を示すように制御信号625_Lが出力される。
例えば、画像情報を表示する位置を一定の速度V1で移動する時刻T3までは、明るさL2で明部を表示するように制御信号625_Lが出力される。
画像情報を表示する位置を減速しながら移動する時刻T3から時刻T4までは、明るさL2から明るさを増しながら明部を表示するように制御信号625_Lが出力される。
画像情報を表示する位置を決定した時刻T4から時刻T5までは、明るさL2より明るい所定の明るさL1まで明るさを増しながら、明部を表示する。なお、時刻T4から時刻T5までの期間は0秒以上が好ましい。
時刻T3と時刻T4の期間は画像情報を表示する位置の移動速度が急激に低下しており、この変化に一致するように画像を表示すると、眼への負担が強くなる可能性がある。そこで、入力部に供給された、スワイプやドラッグなどのイベントの加速度等を演算装置620にて評価し、発光部の輝度をL1まで上昇させる変化が緩やかになるよう、時刻T4からさらに時刻T5まで変化期間を設けるようにし、眼への負担を低減させる。
《スクロールの命令の例3》
図7(C−1)のように時刻T6から時刻T7にかけて、画像情報を表示する位置を移動する速度を0からV1まで加速しながら移動し、時刻T7から時刻T8まで速度V1で移動し、時刻T8から時刻T9にかけて、画像情報を表示する位置を速度V1からV2まで減速しながら移動し、時刻T9以降は速度V2で移動するスクロール命令が供給されると、演算装置620からタイミングコントローラ636を介して輝度調整回路637に、図7(C−2)に示す輝度変化を示すように制御信号625_Lが出力される。
スクロール速度の変化は途中までは図7(A−1)と類似しているが、時刻T7から時刻T8までスクロール速度がV1で一定となる期間があるのと、さらにスクロール速度がV2まで減速するところが図7(A−1)と異なっている。
図7(A−1)と同様に、時刻T6から時刻T7において、入力部に供給された、スワイプやドラッグなどのイベントの加速度等を演算装置620にて評価し、所定の設定値を外れたと判断された場合、一度、発光部の輝度をL3まで低下させ、眼への負担を低減させる。
その後、時刻T7からT8まで速度が一定となるので、スクロール速度の次の変化も輝度調整の判断基準とすることが可能となるよう、一旦、L3で輝度を保持する。
T8からT9まではスクロール速度がV2まで減速するが、スクロール速度の変化が時刻T6から時刻T7までの期間に比べて緩やかなので、そのままスクロール速度の変化に対応するように輝度をL2まで上昇させる。
なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、上記実施の形態で例示した透過型表示装置に適用可能な表示装置の構成例について説明する。以下では、表示装置200について、図9乃至図24を用いて説明する。
図9(A)に示す表示装置200は、画素部271と、走査線駆動回路274と、信号線駆動回路276と、各々が平行または略平行に配設され、且つ走査線駆動回路274によって電位が制御されるm本の走査線277と、各々が平行または略平行に配設され、且つ信号線駆動回路276によって電位が制御されるn本の信号線279と、を有する。さらに、画素部271はマトリクス状に配設された複数の画素270を有する。また、信号線279に沿って、各々が平行または略平行に配設されたコモン線275を有する。また、走査線駆動回路274及び信号線駆動回路276をまとめて駆動回路部という場合がある。
各々の走査線277は、画素部271においてm行n列に配設された画素270のうち、いずれかの行に配設されたn個の画素270と電気的に接続される。また、各々の信号線279は、m行n列に配設された画素270のうち、いずれかの列に配設されたm個の画素270に電気的に接続される。m、nは、ともに1以上の整数である。また、各コモン線275は、m行n列に配設された画素270のうち、いずれかの列に配設されたm個の画素270と電気的に接続される。
図9(B)は、図9(A)に示す表示装置200の画素270に用いることができる回路構成の一例を示している。
図9(B)に示す画素270は、液晶素子251と、トランジスタ252と、容量素子255と、を有する。
液晶素子251の一対の電極の一方は、トランジスタ252と接続され、電位は、画素270の仕様に応じて適宜設定される。液晶素子251の一対の電極の他方は、コモン線275と接続され、電位は共通の電位(コモン電位)が与えられる。液晶素子251が有する液晶は、トランジスタ252に書き込まれるデータにより配向状態が制御される。
なお、液晶素子251は、液晶の光学的変調作用によって光の透過または非透過を制御する素子である。なお、液晶の光学的変調作用は、液晶にかかる電界(横方向の電界、縦方向の電界又は斜め方向の電界を含む)によって制御される。なお、液晶素子251に用いる液晶としては、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
また、横電界方式を採用する場合、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために数重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶層に用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が短く、光学的等方性を有する。また、ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。
液晶素子251を有する表示装置200の駆動方法としては、TN(Twisted Nematic)モード、IPS(In−Plane−Switching)モード、FFS(Fringe Field Switching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optical Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モードなどを用いることができる。
また、表示装置200をノーマリーブラック型の液晶表示装置、例えば垂直配向(VA)モードを採用した透過型の液晶表示装置としてもよい。垂直配向モードとしては、MVA(Multi−Domain Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、ASV(Advanced Super View)モードなどを用いることができる。
本実施の形態では、主に横電界方式、代表的にはFFSモード及びIPSモードについて説明する。
図9(B)に示す画素270の構成において、トランジスタ252のソース電極及びドレイン電極の一方は、信号線279に電気的に接続され、他方は液晶素子251の一対の電極の一方に電気的に接続される。また、トランジスタ252のゲート電極は、走査線277に電気的に接続される。トランジスタ252は、データ信号の書き込みを制御する機能を有する。
図9(B)に示す画素270の構成において、容量素子255の一対の電極の一方は、トランジスタ252のソース電極及びドレイン電極の他方に電気的に接続される。容量素子255の一対の電極の他方は、コモン線275に電気的に接続される。コモン線275の電位の値は、画素270の仕様に応じて適宜設定される。容量素子255は、書き込まれたデータを保持する保持容量としての機能を有する。なお、FFSモードによって駆動する表示装置200においては、容量素子255の一対の電極の一方は、液晶素子251の一対の電極の一方の一部または全部であり、容量素子255の一対の電極の他方は、液晶素子251の一対の電極の他方の一部または全部である。
<画素の構成例>
次に、表示装置200に含まれる画素の具体的な構成について説明する。まず、FFSモードによって駆動する表示装置200が有する画素270a、270b、270cの上面図を図10に示す。
図10において、走査線として機能する導電膜213は、信号線に略直交する方向(図中左右方向)に延伸して設けられている。信号線として機能する導電膜221aは、走査線に略直交する方向(図中上下方向)に延伸して設けられている。なお、走査線として機能する導電膜213は、走査線駆動回路274と電気的に接続されており、信号線として機能する導電膜221aは、信号線駆動回路276に電気的に接続されている(図9(A)参照)。
トランジスタ252は、走査線及び信号線の交差部近傍に設けられている。トランジスタ252は、ゲート電極として機能する導電膜213、ゲート絶縁膜(図10に図示せず)、ゲート絶縁膜上に形成されたチャネル領域が形成される半導体膜219、ソース電極及びドレイン電極として機能する導電膜221a、221bにより構成される。なお、導電膜213は、走査線としても機能し、半導体膜219と重畳する領域がトランジスタ252のゲート電極として機能する。また、導電膜221aは、信号線としても機能し、半導体膜219と重畳する領域がトランジスタ252のソース電極またはドレイン電極として機能する。また、図10において、走査線は、上面形状において端部が半導体膜219の端部より外側に位置する。このため、走査線はバックライトなどの光源からの光を遮る遮光膜として機能する。この結果、トランジスタに含まれる半導体膜219に光が照射されず、トランジスタの電気特性の変動を抑制することができる。
また、導電膜221bは、画素電極の機能を有する導電膜220と電気的に接続される。また、導電膜220上において、絶縁膜(図10に図示せず)を介して導電膜229が設けられている。
導電膜229は、例えばコモン電極として機能する。導電膜229は、信号線と交差する方向に延伸する縞状の領域を有する。また、該縞状の領域は、信号線と平行または略平行な方向に延伸する領域と接続される。このため、表示装置200が有する複数の画素において、縞状の領域を有する導電膜229は各領域が同電位である。
容量素子255は、導電膜220、及び導電膜229が重なる領域で形成される。導電膜220及び導電膜229は透光性を有する。即ち、容量素子255は透光性を有する。
また、容量素子255は透光性を有するため、画素270内に容量素子255を大きく(大面積に)形成することができる。従って、開口率を高めつつ、代表的には50%以上、好ましくは60%以上とすることが可能であると共に、容量値を増大させた表示装置を得ることができる。例えば、解像度の高い表示装置、例えば液晶表示装置においては、画素の面積が小さくなり、容量素子の面積も小さくなる。このため、解像度の高い表示装置において、容量素子に蓄積される容量値が小さくなる。しかしながら、本実施の形態に示す容量素子255は透光性を有するため、当該容量素子を画素に設けることで、各画素において十分な容量値を得つつ、開口率を高めることができる。代表的には、画素密度が200ppi以上、さらには300ppi以上、更には500ppi以上である高解像度の表示装置に好適に用いることができる。
また、液晶表示装置において、容量素子の容量値を大きくするほど、電界を加えた状況において、液晶素子の液晶分子の配向を一定に保つことができる期間を長くすることができる。静止画を表示させる場合、当該期間を長くできるため、画像データを書き換える回数を低減することが可能であり、消費電力を低減することができる。また、本実施の形態に示す構造により、高解像度の表示装置においても、開口率を高めることができるため、バックライトなどの光源の光を効率よく利用することができ、表示装置の消費電力を低減することができる。
次いで、図10の一点鎖線Q1−R1、及び一点鎖線S1−T1における断面図を図11に示す。図11に示すトランジスタ252は、チャネルエッチ型のトランジスタである。なお、一点鎖線Q1−R1は、トランジスタ252のチャネル長方向、及び容量素子255の断面図であり、S1−T1における断面図は、トランジスタ252のチャネル幅方向の断面図である。
図11に示すトランジスタ252は、シングルゲート構造のトランジスタであり、基板211上に設けられるゲート電極として機能する導電膜213を有する。また、基板211及びゲート電極として機能する導電膜213上に形成される絶縁膜215と、絶縁膜215上に形成される絶縁膜217と、絶縁膜215及び絶縁膜217を介して、ゲート電極として機能する導電膜213と重なる半導体膜219と、半導体膜219に接する、ソース電極及びドレイン電極として機能する導電膜221a、221bとを有する。また、絶縁膜217、半導体膜219、及びソース電極及びドレイン電極として機能する導電膜221a、221b上には、絶縁膜223が形成され、絶縁膜223上には絶縁膜225が形成される。また、導電膜220が、絶縁膜225上に形成される。導電膜220は、ソース電極及びドレイン電極として機能する導電膜221a、221bの一方、ここでは導電膜221bと、絶縁膜223及び絶縁膜225に設けられた開口部を介して電気的に接続される。絶縁膜225及び導電膜220上には絶縁膜227が形成される。また、導電膜229が、絶縁膜227上に形成される。
また、図11では基板241と基板211との間に液晶層250を挟持した場合を示している。また基板241の基板211側の面には、ブラックマトリクスとして機能する遮光膜261、カラーフィルタとして機能する着色膜262等が設けられている。
なお、絶縁膜225上の半導体膜219と重畳する位置に導電膜220を設けることで、トランジスタ252を、導電膜220を第2のゲート電極とするダブルゲート構造のトランジスタとしてもよい。
また、導電膜220と、絶縁膜227と、導電膜229とが重なる領域が容量素子255として機能する。
なお、本発明の実施形態の一態様の断面図は、これに限定されない。様々な構成をとることができる。例えば、導電膜220は、スリットを有してもよい。または、導電膜220は櫛歯形状でもよい。
なお、図12に示すように、導電膜229が、絶縁膜227上に設けられた絶縁膜228上に設けられていてもよい。絶縁膜228は平坦化膜としての機能を有する。
<画素の構成の変形例>
次に、表示装置200が有する、図10に示す画素とは異なる構成の画素270d、270e、270fの上面図を図13に示す。図13に示す画素を有する表示装置200は、IPSモードによって駆動する。
図13において、走査線として機能する導電膜213は、図中左右方向に延伸して設けられている。信号線として機能する導電膜221aは、一部が屈曲したくの字(V字)形状を有するように、走査線に略直交する方向(図中上下方向)に延伸して設けられている。なお、走査線として機能する導電膜213は、走査線駆動回路274と電気的に接続されており、信号線として機能する導電膜221aは、信号線駆動回路276に電気的に接続されている(図9(A)参照)。
トランジスタ252は、走査線及び信号線の交差部近傍に設けられている。トランジスタ252は、ゲート電極として機能する導電膜213、ゲート絶縁膜(図13に図示せず)、ゲート絶縁膜上に形成されたチャネル領域が形成される半導体膜219、ソース電極及びドレイン電極として機能する導電膜221a、221bにより構成される。なお、導電膜213は、走査線としても機能し、半導体膜219と重畳する領域がトランジスタ252のゲート電極として機能する。また、導電膜221aは、信号線としても機能し、半導体膜219と重畳する領域がトランジスタ252のソース電極またはドレイン電極として機能する。また、図13において、走査線は、上面形状において端部が半導体膜219の端部より外側に位置する。このため、走査線はバックライトなどの光源からの光を遮る遮光膜として機能する。この結果、トランジスタに含まれる半導体膜219に光が照射されず、トランジスタの電気特性の変動を抑制することができる。
また、導電膜221bは、画素電極の機能を有する導電膜220と電気的に接続される。導電膜220は櫛歯状に形成されている。また、導電膜220上に絶縁膜(図13に図示せず)が設けられ、該絶縁膜上に導電膜229が設けられる。導電膜229は、導電膜220と一部が重畳するように、上面図において導電膜220とかみ合うように櫛歯状に形成されている。また導電膜229は、走査線と平行または略平行な方向に延伸する領域と電気的に接続される。このため、表示装置200が有する複数の画素において、導電膜229は各領域が同電位である。なお、導電膜220及び導電膜229は、信号線(導電膜221a)に沿うように屈曲したくの字(V字)形状を有している。
容量素子255は、導電膜220、及び導電膜229が重なる領域で形成される。導電膜220及び導電膜229は透光性を有する。即ち、容量素子255は透光性を有する。
次いで、図13の一点鎖線Q2−R2、及び一点鎖線S2−T2における断面図を図14に示す。図14に示すトランジスタ252は、チャネルエッチ型のトランジスタである。なお、一点鎖線Q2−R2は、トランジスタ252のチャネル長方向、及び容量素子255の断面図であり、S2−T2における断面図は、トランジスタ252のチャネル幅方向の断面図である。
図14に示すトランジスタ252は、シングルゲート構造のトランジスタであり、基板211上に設けられるゲート電極として機能する導電膜213を有する。また、基板211及びゲート電極として機能する導電膜213上に形成される絶縁膜215と、絶縁膜215上に形成される絶縁膜217と、絶縁膜215及び絶縁膜217を介して、ゲート電極として機能する導電膜213と重なる半導体膜219と、半導体膜219に接する、ソース電極及びドレイン電極として機能する導電膜221a、221bとを有する。また、絶縁膜217、半導体膜219、及びソース電極及びドレイン電極として機能する導電膜221a、221b上には、絶縁膜223が形成され、絶縁膜223上には絶縁膜225が形成される。また、導電膜220が、絶縁膜225上に形成される。導電膜220は、ソース電極及びドレイン電極として機能する導電膜221a、221bの一方、ここでは導電膜221bと、絶縁膜223及び絶縁膜225に設けられた開口部を介して電気的に接続される。絶縁膜225及び導電膜220上には絶縁膜227が形成される。また、導電膜229が、絶縁膜227上に形成される。
なお、絶縁膜225上の半導体膜219と重畳する位置に導電膜220を設けることで、トランジスタ252を、導電膜220を第2のゲート電極とするダブルゲート構造のトランジスタとしてもよい。
また、導電膜220と、絶縁膜227と、導電膜229とが重なる領域が容量素子255として機能する。
図13及び図14に示す液晶表示装置は、導電膜220及び導電膜229のそれぞれの端部近傍が重畳する構成によって、画素が有する容量素子を形成する。このような構成によって、大型の液晶表示装置において、容量素子を大きすぎず、適切な大きさに形成することができる。
なお、図15に示すように、導電膜229を、絶縁膜227上に設けられた絶縁膜228上に設けてもよい。
また、図16及び図17に示すように、導電膜220と導電膜229とが重畳しない構成としてもよい。表示装置の解像度や駆動方法に応じた容量素子の大きさによって、導電膜220と導電膜229との位置関係を適宜決定することができる。なお、図17に示す表示装置が有する導電膜229が、平坦化膜の機能を有する絶縁膜228上に設けられていてもよい(図18参照)。
また、図13及び図14に示す液晶表示装置は、導電膜220の信号線(導電膜221a)と平行または略平行な方向に延伸する領域の幅(d1)が、導電膜229の信号線と平行または略平行な方向に延伸する領域の幅(d2)よりも小さい構成としているが(図14参照)、これに限られない。図19及び図20に示すように、幅d1が幅d2より大きくてもよい。また、幅d1と幅d2が等しくてもよい。また、一の画素(例えば画素270d)において、導電膜220および/または導電膜229の、信号線と平行または略平行な方向に延伸する複数の領域の幅が、各々異なっていてもよい。
また、図21に示すように、絶縁膜227上に設けられた絶縁膜228が、絶縁膜228上の導電膜229と重畳する領域のみを残して除去されるような構成としてもよい。この場合、導電膜229をマスクとして絶縁膜228のエッチングを行うことができる。平坦化膜としての機能を有する絶縁膜228上の導電膜229の凹凸を抑制でき、導電膜229の端部から絶縁膜227にかけて絶縁膜228の側面がなだらかに形成される。なお、図22に示すように、絶縁膜228の表面のうち基板211と平行な領域の一部が導電膜229に覆われない構成としてもよい。
また、図23及び図24に示すように、導電膜229が導電膜220と同一の層上、すなわち絶縁膜225上に設けられていてもよい。図23及び図24に示す導電膜229は、導電膜220と同一の材料で同時に形成することができる。
また、表示装置200は、様々な形態を用いること、または様々な表示素子を有することが出来る。表示素子は、例えば、液晶素子、LED(白色LED、赤色LED、緑色LED、青色LEDなど)などを含むEL(エレクトロルミネッセンス)素子(有機物及び無機物を含むEL素子、有機EL素子、無機EL素子)、トランジスタ(電流に応じて発光するトランジスタ)、電子放出素子、電気泳動素子、グレーティングライトバルブ(GLV)やデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、DMS(デジタル・マイクロ・シャッター)素子、MIRASOL(登録商標)ディスプレイ、IMOD(インターフェアレンス・モジュレーション)素子、圧電セラミックディスプレイなどのMEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)を用いた表示素子、エレクトロウェッティング素子などが挙げられる。これらの他にも、電気的または磁気的作用により、コントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒体を有していてもよい。また、表示素子として量子ドットを用いてもよい。液晶素子を用いた表示装置の一例としては、液晶ディスプレイ(透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ)などがある。EL素子を用いた表示装置の一例としては、ELディスプレイなどがある。電子放出素子を用いた表示装置の一例としては、フィールドエミッションディスプレイ(FED)又はSED方式平面型ディスプレイ(SED:Surface−conduction Electron−emitter Display)などがある。量子ドットを用いた表示装置の一例としては、量子ドットディスプレイなどがある。電子インク又は電気泳動素子を用いた表示装置の一例としては、電子ペーパーなどがある。なお、半透過型液晶ディスプレイや反射型液晶ディスプレイを実現する場合には、画素電極の一部、または、全部が、反射電極としての機能を有するようにすればよい。例えば、画素電極の一部、または、全部が、アルミニウム、銀、などを有するようにすればよい。さらに、その場合、反射電極の下に、SRAMなどの記憶回路を設けることも可能である。これにより、さらに、消費電力を低減することができる。
なお、表示装置200における表示方式は、プログレッシブ方式やインターレース方式等を用いることができる。また、カラー表示する際に画素が表現する色要素としては、RGB(Rは赤、Gは緑、Bは青を表す)の三色に限定されない。例えば、1ドットがRの画素とGの画素とBの画素とW(白)の画素の四画素から構成されてもよい。または、ペンタイル配列のように、RGBのうちの2色分で1ドットを構成し、ドットによって、異なる2色を選択して構成してもよい。または色要素としてRGBに、イエロー、シアン、マゼンタ等を一色以上追加してもよい。なお、1ドットを構成する各画素の表示領域は大きさが異なっていてもよい。ただし、開示する発明はカラー表示の表示装置に限定されるものではなく、モノクロ表示の表示装置に適用することもできる。
また、バックライト(有機EL素子、無機EL素子、LED、蛍光灯など)に白色光(W)を用いて表示装置をフルカラー表示させるために、着色膜(カラーフィルタともいう。)を用いてもよい。着色膜は、例えば、レッド(R)、グリーン(G)、ブルー(B)、イエロー(Y)などを適宜組み合わせて用いることができる。着色膜を用いることで、着色膜を用いない場合と比べて色の再現性を高くすることができる。このとき、着色膜を有する領域と、着色膜を有さない領域とを配置することによって、着色膜を有さない領域における白色光を直接表示に利用しても構わない。一部に着色膜を有さない領域を配置することで、明るい表示の際に、着色膜による輝度の低下を少なくでき、消費電力を2割から3割程度低減できる場合がある。ただし、有機EL素子や無機EL素子などの自発光素子を用いてフルカラー表示する場合、R、G、B、Y、ホワイト(W)を、それぞれの発光色を有する素子から発光させても構わない。自発光素子を用いることで、着色膜を用いた場合よりも、さらに消費電力を低減できる場合がある。
<基板>
基板211の材質などに大きな制限はないが、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有している必要がある。例えば、ガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板等を、基板211として用いてもよい。また、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウム等の化合物半導体基板、SOI基板等を適用することも可能であり、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板211として用いてもよい。なお、基板211として、ガラス基板を用いる場合、第6世代(1500mm×1850mm)、第7世代(1870mm×2200mm)、第8世代(2200mm×2400mm)、第9世代(2400mm×2800mm)、第10世代(2950mm×3400mm)等の大面積基板を用いることで、大型の表示装置を作製することができる。また、基板211として、可撓性基板を用い、可撓性基板上に直接、トランジスタや容量素子等を形成してもよい。
これらの他にも、基板211として、様々な基板を用いて、トランジスタを形成することが出来る。基板の種類は、特定のものに限定されることはない。その基板の一例としては、プラスチック基板、金属基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングステン基板、タングステン・ホイルを有する基板、可撓性基板、貼り合わせフィルム、繊維状の材料を含む紙、又は基材フィルムなどがある。ガラス基板の一例としては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガラスなどがある。可撓性基板の一例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)に代表されるプラスチック、又はアクリル等の可撓性を有する合成樹脂などがある。貼り合わせフィルムの一例としては、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリフッ化ビニル、又は塩化ビニルなどがある。基材フィルムの一例としては、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、無機蒸着フィルム、又は紙類などがある。特に、半導体基板、単結晶基板、又はSOI基板などを用いてトランジスタを製造することによって、特性、サイズ、又は形状などのばらつきが少なく、電流能力が高く、サイズの小さいトランジスタを製造することができる。このようなトランジスタによって回路を構成すると、回路の低消費電力化、又は回路の高集積化を図ることができる。
なお、ある基板を用いてトランジスタを形成し、その後、別の基板にトランジスタを転置し、別の基板上にトランジスタを配置してもよい。トランジスタが転置される基板の一例としては、上述したトランジスタを形成することが可能な基板に加え、紙基板、セロファン基板、石材基板、木材基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻等)、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエステル等)若しくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル等)などを含む)、皮革基板、又はゴム基板などがある。これらの基板を用いることにより、特性のよいトランジスタの形成、消費電力の小さいトランジスタの形成、壊れにくい装置の製造、耐熱性の付与、軽量化、又は薄型化を図ることができる。
<半導体膜>
半導体膜219は、少なくともインジウム(In)、亜鉛(Zn)及びM(Al、Ti、Ga、Y、Zr、La、Ce、SnまたはHf等の金属)を含むIn−M−Zn酸化物で表記される膜を含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすため、スタビライザーを含むことが好ましい。
スタビライザーとしては、上記Mで記載の金属を含め、例えば、ガリウム(Ga)、スズ(Sn)、ハフニウム(Hf)、アルミニウム(Al)、またはジルコニウム(Zr)等がある。また、スタビライザーの他の例としては、ランタノイドである、ランタン(La)、セリウム(Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)、ユウロピウム(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、ルテチウム(Lu)等がある。
半導体膜219を構成する酸化物半導体として、例えば、In−Ga−Zn系酸化物、In−Al−Zn系酸化物、In−Sn−Zn系酸化物、In−Hf−Zn系酸化物、In−La−Zn系酸化物、In−Ce−Zn系酸化物、In−Pr−Zn系酸化物、In−Nd−Zn系酸化物、In−Sm−Zn系酸化物、In−Eu−Zn系酸化物、In−Gd−Zn系酸化物、In−Tb−Zn系酸化物、In−Dy−Zn系酸化物、In−Ho−Zn系酸化物、In−Er−Zn系酸化物、In−Tm−Zn系酸化物、In−Yb−Zn系酸化物、In−Lu−Zn系酸化物、In−Sn−Ga−Zn系酸化物、In−Hf−Ga−Zn系酸化物、In−Al−Ga−Zn系酸化物、In−Sn−Al−Zn系酸化物、In−Sn−Hf−Zn系酸化物、In−Hf−Al−Zn系酸化物を用いることができる。
なお、ここで、In−Ga−Zn系酸化物とは、InとGaとZnを主成分として有する酸化物という意味であり、InとGaとZnの比率は問わない。また、InとGaとZn以外の金属元素が入っていてもよい。
また、半導体膜219と、導電膜220は、上記酸化物に含まれている金属元素のうち、同一の金属元素を有していてもよい。半導体膜219と、導電膜220を同一の金属元素とすることで、製造コストを低減させることができる。例えば、同一の金属組成の金属酸化物ターゲットを用いることで製造コストを低減させることができる。また同一の金属組成の金属酸化物ターゲットを用いることによって、半導体膜219および導電膜220を加工する際のエッチングガスまたはエッチング液を共通して用いることができる。ただし、半導体膜219と、導電膜220は、同一の金属元素を有していても、組成が異なる場合がある。例えば、トランジスタ及び容量素子の作製工程中に、膜中の金属元素が脱離し、異なる金属組成となる場合がある。
なお、半導体膜219がIn−M−Zn酸化物であるとき、InとMの原子比率は、InおよびMの和を100atomic%としたとき、好ましくはInが25atomic%より高く、Mが75atomic%未満、さらに好ましくはInが34atomic%より高く、Mが66atomic%未満とする。
半導体膜219は、エネルギーギャップが2eV以上、好ましくは2.5eV以上、より好ましくは3eV以上である。このように、エネルギーギャップの広い酸化物半導体を用いることで、トランジスタ252のオフ電流を低減することができる。
半導体膜219の厚さは、3nm以上200nm以下、好ましくは3nm以上100nm以下、さらに好ましくは3nm以上50nm以下とする。
半導体膜219がIn−M−Zn酸化物(MはAl、Ga、Y、Zr、La、Ce、またはNd)の場合、In−M−Zn酸化物を成膜するために用いるスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比は、In≧M、Zn≧Mを満たすことが好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1、In:M:Zn=1:1:1.2、In:M:Zn=3:1:2が好ましい。なお、成膜される半導体膜219の原子数比はそれぞれ、誤差として上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイナス40%の変動を含む。
半導体膜219としては、キャリア密度の低い酸化物半導体膜を用いる。例えば、半導体膜219は、キャリア密度が1×1017個/cm以下、好ましくは1×1015個/cm以下、さらに好ましくは1×1013個/cm以下、より好ましくは1×1011個/cm以下の酸化物半導体膜を用いる。
なお、これらに限られず、必要とするトランジスタの半導体特性及び電気特性(電界効果移動度、しきい値電圧等)、またはそれらのばらつきに応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とするトランジスタの半導体特性を得るために、半導体膜219のキャリア密度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
半導体膜219において、第14族元素の一つであるシリコンや炭素が含まれると、半導体膜219において酸素欠損が増加し、n型化してしまう。このため、半導体膜219におけるシリコンや炭素の濃度(二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
また、半導体膜219において、SIMSにより得られるアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。アルカリ金属及びアルカリ土類金属は、酸化物半導体と結合するとキャリアを生成する場合があり、トランジスタのオフ電流が増大してしまうことがある。このため、半導体膜219のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を低減することが好ましい。
また、半導体膜219に窒素が含まれていると、キャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。従って、当該酸化物半導体膜において、窒素はできる限り低減されていることが好ましい。例えば、SIMSにより得られる窒素濃度は、5×1018atoms/cm以下にすることが好ましい。
また、半導体膜219は、例えば非単結晶構造でもよい。非単結晶構造は、例えば、後述するCAAC−OS(C Axis Aligned−Crystalline Oxide Semiconductor)、多結晶構造、後述する微結晶構造、または非晶質構造を含む。非単結晶構造において、非晶質構造は最も欠陥準位密度が高く、CAAC−OSは最も欠陥準位密度が低い。
半導体膜219は、例えば非晶質構造でもよい。非晶質構造の酸化物半導体膜は、例えば、原子配列が無秩序であり、結晶成分を有さない。または、非晶質構造の酸化物膜は、例えば、完全な非晶質構造であり、結晶部を有さない。
なお、半導体膜219が、非晶質構造の領域、微結晶構造の領域、多結晶構造の領域、CAAC−OSの領域、単結晶構造の領域の二種以上を有する混合膜であってもよい。混合膜は、例えば、非晶質構造の領域、微結晶構造の領域、多結晶構造の領域、CAAC−OSの領域、単結晶構造の領域のいずれか二種以上の領域の積層構造を有していてもよい。
また、半導体膜219に用いることのできる材料としては、例えば、シリコン、ゲルマニウム、有機半導体等が挙げられる。
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、又は一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
例えば、半導体膜219は、シリコンを含むことが好ましい。シリコンとしては、例えばアモルファスシリコン、または結晶性を有するシリコンを用いることが好ましい。結晶性を有するシリコンとしては、例えば、微結晶シリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコンなどを用いることが好ましい。特に、多結晶シリコンは、単結晶シリコンに比べて低温で形成でき、且つアモルファスシリコンに比べて高い電界効果移動度と高い信頼性を備える。このような多結晶半導体を画素に適用することで画素の開口率を向上させることができる。また極めて密に画素を有する場合であっても、ゲート駆動回路とソース駆動回路を画素と同一基板上に形成することが可能となり、電子機器を構成する部品数を低減することができる。
本実施の形態で例示したボトムゲート構造のトランジスタは、作製工程を削減できるため好ましい。またこのときアモルファスシリコンを用いることで、多結晶シリコンよりも低温で形成できるため、半導体膜219よりも下層の電極の材料、基板の材料として、耐熱性の低い材料を用いることが可能なため、材料の選択の幅を広げることができる。例えば、上述の大面積のガラス基板などを好適に用いることができる。
<絶縁膜>
トランジスタ252のゲート絶縁膜として機能する絶縁膜215、217としては、プラズマCVD(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、スパッタリング法等により形成される、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜および酸化ネオジム膜を一種以上含む絶縁膜を、それぞれ用いることができる。なお、絶縁膜215、217の積層構造とせずに、上述の材料から選択された単層の絶縁膜を用いてもよい。
絶縁膜215は、酸素の透過を抑制するブロッキング膜としての機能を有する。例えば、絶縁膜217、223、225及び/または半導体膜219中に過剰の酸素を供給する場合において、絶縁膜215は酸素の透過を抑制することができる。
なお、トランジスタ252のチャネル領域として機能する半導体膜219と接する絶縁膜217は、酸化物絶縁膜であることが好ましく、化学量論的組成よりも過剰に酸素を含有する領域(酸素過剰領域)を有することがより好ましい。別言すると、絶縁膜217は、酸素を放出することが可能な絶縁膜である。なお、絶縁膜217に酸素過剰領域を設けるには、例えば、酸素雰囲気下にて絶縁膜217を形成すればよい。または、成膜後の絶縁膜217に酸素を導入して、酸素過剰領域を形成してもよい。酸素の導入方法としては、イオン注入法、イオンドーピング法、プラズマイマージョンイオン注入法、プラズマ処理等を用いることができる。
また、絶縁膜215、217として、酸化ハフニウムを用いる場合、以下の効果を奏する。酸化ハフニウムは、酸化シリコンや酸化窒化シリコンと比べて比誘電率が高い。したがって、酸化シリコンを用いた場合と比べて、絶縁膜215、217の膜厚を大きくできるため、トンネル電流によるリーク電流を小さくすることができる。すなわち、オフ電流の小さいトランジスタを実現することができる。さらに、結晶構造を有する酸化ハフニウムは、非晶質構造を有する酸化ハフニウムと比べて高い比誘電率を備える。したがって、オフ電流の小さいトランジスタとするためには、結晶構造を有する酸化ハフニウムを用いることが好ましい。結晶構造の例としては、単斜晶系や立方晶系などが挙げられる。ただし、本発明の一態様は、これらに限定されない。
なお、本実施の形態では、絶縁膜215として窒化シリコン膜を形成し、絶縁膜217として酸化シリコン膜を形成する。窒化シリコン膜は、酸化シリコン膜と比較して比誘電率が高く、酸化シリコン膜と同等の静電容量を得るのに必要な膜厚が大きいため、トランジスタ252のゲート絶縁膜として、窒化シリコン膜を含むことで絶縁膜を物理的に厚膜化することができる。よって、トランジスタ252の絶縁耐圧の低下を抑制、さらには絶縁耐圧を向上させて、トランジスタ252の静電破壊を抑制することができる。
絶縁膜228としては、例えばポリイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリイミドアミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂等の耐熱性を有する有機材料を用いることができる。例えば絶縁膜上に有機樹脂膜を形成し、所望の領域が残るようにパターニングし、その後不要な領域をエッチングすることで形成する。
<ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極>
導電膜213、導電膜221a及び導電膜221bに用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンなどの金属、またはこれを主成分とする合金を単層構造または積層構造として用いることができる。例えば、アルミニウム膜上にチタン膜を積層する二層構造、タングステン膜上にチタン膜を積層する二層構造、モリブデン膜上に銅膜を積層した二層構造、モリブデンとタングステンを含む合金膜上に銅膜を積層した二層構造、銅−マグネシウム−アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、そのチタン膜または窒化チタン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、そのモリブデン膜または窒化モリブデン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。また、導電膜221a、及び導電膜221bを三層構造とする場合、一層目及び三層目には、チタン、窒化チタン、モリブデン、タングステン、モリブデンとタングステンを含む合金、モリブデンとジルコニウムを含む合金、又は窒化モリブデンでなる膜を形成し、2層目には、銅、アルミニウム、金又は銀、或いは銅とマンガンの合金等の低抵抗材料でなる膜を形成することが好ましい。なお、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化シリコンを添加したインジウム錫酸化物等の透光性を有する導電性材料を用いてもよい。また、導電膜213、導電膜221a及び導電膜221bに用いることのできる材料は、例えば、スパッタリング法を用いて形成することができる。
<導電膜>
導電膜229は、コモン電極としての機能を有する。導電膜229としては、例えば、可視光において、透光性を有する材料を用いればよい。具体的には、インジウム(In)、亜鉛(Zn)、錫(Sn)の中から選ばれた一種を含む材料を用いるとよい。また、導電膜229としては、例えば、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物(ITO:Indium Tin Oxide)、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を用いることができる。また、導電膜229としては、例えば、スパッタリング法を用いて形成することができる。
導電膜220は、画素電極としての機能を有する。導電膜220は、導電膜229と同様の材料を用いることができる。
または、導電膜220として、半導体膜219と同様の酸化物半導体を用いることが好ましい。このとき導電膜220が、半導体膜219のチャネルが形成される領域よりも低い電気抵抗を呈するように、形成されていることが好ましい。
<酸化物半導体の抵抗率の制御方法>
半導体膜219及び導電膜220に用いることのできる酸化物半導体膜は、膜中の酸素欠損及び/又は膜中の水素、水等の不純物濃度によって、抵抗率を制御することができる半導体材料を含む。そのため、半導体膜219及び導電膜220へ酸素欠損及び/又は不純物濃度が増加する処理、または酸素欠損及び/又は不純物濃度が低減する処理の少なくとも一方を行うことによって、それぞれの酸化物半導体膜の抵抗率を制御することができる。
具体的には、容量素子255の電極として機能する導電膜220に用いる酸化物半導体膜にプラズマ処理を行い、該酸化物半導体膜中の酸素欠損を増加させる、および/または酸化物半導体膜中の水素、水等の不純物を増加させることによって、キャリア密度が高く、抵抗率が低い酸化物半導体膜とすることができる。また、酸化物半導体膜に水素を含む絶縁膜を接して形成し、該水素を含む絶縁膜、例えば絶縁膜227から酸化物半導体膜に水素を拡散させることによって、キャリア密度が高く、抵抗率が低い酸化物半導体膜とすることができる。
一方、トランジスタ252のチャネル領域として機能する半導体膜219は、絶縁膜217、223、225を設けることによって、水素を含む絶縁膜215、227と接しない構成とする。絶縁膜217、223、225の少なくとも一つに酸素を含む絶縁膜、別言すると、酸素を放出することが可能な絶縁膜を適用することで、半導体膜219に酸素を供給することができる。酸素が供給された半導体膜219は、膜中または界面の酸素欠損が補填され抵抗率が高い酸化物半導体膜となる。なお、酸素を放出することが可能な絶縁膜としては、例えば、酸化シリコン膜、または酸化窒化シリコン膜を用いることができる。
また、抵抗率が低い酸化物半導体膜を得るために、イオン注入法、イオンドーピング法、プラズマイマージョンイオンインプランテーション法などを用いて、水素、ボロン、リン、または窒素を酸化物半導体膜に注入してもよい。
また、抵抗率が低い酸化物半導体膜を得るために、該酸化物半導体膜にプラズマ処理を行ってもよい。例えば、該プラズマ処理としては、代表的には、希ガス(He、Ne、Ar、Kr、Xe)、水素、及び窒素の中から選ばれた一種以上を含むガスを用いたプラズマ処理が挙げられる。より具体的には、Ar雰囲気下でのプラズマ処理、Arと水素の混合ガス雰囲気下でのプラズマ処理、アンモニア雰囲気下でのプラズマ処理、Arとアンモニアの混合ガス雰囲気下でのプラズマ処理、または窒素雰囲気下でのプラズマ処理などが挙げられる。
上記プラズマ処理によって、酸化物半導体膜は、酸素が脱離した格子(または酸素が脱離した部分)に酸素欠損を形成する。該酸素欠損は、キャリアを発生する要因になる場合がある。また、酸化物半導体膜の近傍、より具体的には、酸化物半導体膜の下側または上側に接する絶縁膜から水素が供給されると、上記酸素欠損と水素が結合することで、キャリアである電子を生成する場合がある。
一方、酸素欠損が補填され、水素濃度が低減された酸化物半導体膜は、高純度真性化、又は実質的に高純度真性化された酸化物半導体膜といえる。ここで、実質的に真性とは、酸化物半導体膜のキャリア密度が、8×1011/cm未満、好ましくは1×1011/cm未満、さらに好ましくは1×1010/cm未満であることを指す。高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、キャリア発生源が少ないため、キャリア密度を低くすることができる。また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度を低減することができる。
また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、オフ電流が著しく小さく、チャネル幅が1×10μmでチャネル長が10μmの素子であっても、ソース電極とドレイン電極間の電圧(ドレイン電圧)が1Vから10Vの範囲において、オフ電流が、半導体パラメータアナライザの測定限界以下、すなわち1×10−13A以下という特性を得ることができる。したがって、上述した高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜を用いる半導体膜219をチャネル領域に用いるトランジスタ252は、電気特性の変動が小さく、信頼性の高いトランジスタとなる。
絶縁膜227として、例えば、水素を含む絶縁膜、別言すると水素を放出することが可能な絶縁膜、代表的には窒化シリコン膜を用いることで、導電膜220に水素を供給することができる。水素を放出することが可能な絶縁膜としては、膜中の含有水素濃度が1×1022atoms/cm以上であると好ましい。このような絶縁膜を導電膜220に接して形成することで、導電膜220に効果的に水素を含有させることができる。このように、半導体膜219及び導電膜220に接する絶縁膜の構成を変えることによって、酸化物半導体膜の抵抗率を制御することができる。なお、絶縁膜215として、絶縁膜227と同様の材料を用いてもよい。絶縁膜215として窒化シリコンを用いることで、絶縁膜217から放出される酸素が導電膜213に供給され、酸化されることを抑制できる。
酸化物半導体膜に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になると共に、酸素が脱離した格子(または酸素が脱離した部分)に酸素欠損を形成する。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合することで、キャリアである電子を生成する場合がある。したがって、水素が含まれている絶縁膜と接して設けられた導電膜220は、半導体膜219よりもキャリア密度の高い酸化物半導体膜となる。
トランジスタ252のチャネル領域が形成される半導体膜219は、水素ができる限り低減されていることが好ましい。具体的には、半導体膜219において、SIMSにより得られる水素濃度を、2×1020atoms/cm以下、好ましくは5×1019atoms/cm以下、より好ましくは1×1019atoms/cm以下、好ましくは1×1018atoms/cm以下、より好ましくは5×1017atoms/cm以下、さらに好ましくは1×1016atoms/cm以下とする。
一方、容量素子255の電極として機能する導電膜220は、半導体膜219よりも水素濃度及び/又は酸素欠損量が多く、抵抗率が低い酸化物半導体膜である。導電膜220に含まれる水素濃度は、8×1019atoms/cm以上、好ましくは1×1020atoms/cm以上、より好ましくは5×1020atoms/cm以上である。また、半導体膜219と比較して、導電膜220に含まれる水素濃度は2倍以上、好ましくは10倍以上である。また、導電膜220の抵抗率が、半導体膜219の抵抗率の1×10−8倍以上1×10−1倍未満であることが好ましく、代表的には1×10−3Ωcm以上1×10Ωcm未満、さらに好ましくは、抵抗率が1×10−3Ωcm以上1×10−1Ωcm未満であるとよい。
<保護絶縁膜>
トランジスタ252の保護絶縁膜として機能する絶縁膜223、225、227としては、プラズマCVD法、スパッタリング法等により形成される、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜および酸化ネオジム膜を一種以上含む絶縁膜を、それぞれ用いることができる。
また、トランジスタ252のチャネル領域として機能する半導体膜219と接する絶縁膜223は、酸化物絶縁膜であることが好ましく、化学量論的組成よりも過剰に酸素を含有する領域(酸素過剰領域)を有することがより好ましい。別言すると、絶縁膜223は、酸素を放出することが可能な絶縁膜である。なお、絶縁膜223に酸素過剰領域を設けるには、例えば、酸素雰囲気下にて絶縁膜223を形成すればよい。または、成膜後の絶縁膜223に酸素を導入して、酸素過剰領域を形成してもよい。酸素の導入方法としては、イオン注入法、イオンドーピング法、プラズマイマージョンイオン注入法、プラズマ処理等を用いることができる。
絶縁膜223として、酸素を放出することが可能な絶縁膜を用いることで、トランジスタ252のチャネル領域として機能する半導体膜219に酸素を移動させ、半導体膜219の酸素欠損量を低減することが可能となる。例えば、昇温脱離ガス分析(以下、TDS分析とする。)によって測定される,膜の表面温度が100℃以上700℃以下、または100℃以上500℃以下の範囲における酸素分子の放出量が、1.0×1018分子/cm以上ある絶縁膜を用いることで、半導体膜219に含まれる酸素欠損量を低減することができる。
また、絶縁膜223は、欠陥量が少ないことが好ましく、代表的には、ESR測定により、シリコンのダングリングボンドに由来するg=2.001に現れる信号のスピン密度が3×1017spins/cm以下であることが好ましい。これは、絶縁膜223に含まれる欠陥密度が多いと、当該欠陥に酸素が結合してしまい、絶縁膜223における酸素の透過量が減少してしまうためである。また、絶縁膜223と半導体膜219との界面における欠陥量が少ないことが好ましく、代表的には、ESR測定により、半導体膜219の欠陥に由来するg値が1.89以上1.96以下に現れる信号のスピン密度が1×1017spins/cm以下、さらには検出下限以下であることが好ましい。
なお、絶縁膜223においては、外部から絶縁膜223に入った酸素が全て絶縁膜223の外部に移動する場合がある。または、外部から絶縁膜223に入った酸素の一部が、絶縁膜223にとどまる場合もある。また、外部から絶縁膜223に酸素が入ると共に、絶縁膜223に含まれる酸素が絶縁膜223の外部へ移動することで、絶縁膜223において酸素の移動が生じる場合もある。絶縁膜223として酸素を透過することができる酸化物絶縁膜を形成すると、絶縁膜223上に設けられる絶縁膜225から脱離する酸素を、絶縁膜223を介して半導体膜219に移動させることができる。
また、絶縁膜223は、窒素酸化物に起因する準位密度が低い酸化物絶縁膜を用いて形成することができる。なお、当該窒素酸化物に起因する準位密度は、酸化物半導体膜の価電子帯の上端のエネルギー(EV_OS)と酸化物半導体膜の伝導帯の下端のエネルギー(EC_OS)の間に形成され得る場合がある。上記酸化物絶縁膜として、窒素酸化物の放出量が少ない酸化窒化シリコン膜、または窒素酸化物の放出量が少ない酸化窒化アルミニウム膜等を用いることができる。
なお、窒素酸化物の放出量の少ない酸化窒化シリコン膜は、TDS分析において、窒素酸化物の放出量よりアンモニアの放出量が多い膜であり、代表的にはアンモニア分子の放出量が1×1018分子/cm以上5×1019分子/cm以下である。なお、アンモニアの放出量は、膜の表面温度が50℃以上650℃以下、好ましくは50℃以上550℃以下の加熱処理による放出量とする。
窒素酸化物(NO、xは0より大きく2以下、好ましくは1以上2以下)、代表的にはNOまたはNOは、絶縁膜223などに準位を形成する。当該準位は、半導体膜219のエネルギーギャップ内に位置する。そのため、窒素酸化物が、絶縁膜223及び半導体膜219の界面に拡散すると、当該準位が絶縁膜223側において電子をトラップする場合がある。この結果、トラップされた電子が、絶縁膜223及び半導体膜219界面近傍に留まるため、トランジスタのしきい値電圧をプラス方向にシフトさせてしまう。
また、窒素酸化物は、加熱処理においてアンモニア及び酸素と反応する。絶縁膜223に含まれる窒素酸化物は、加熱処理において、絶縁膜225に含まれるアンモニアと反応するため、絶縁膜223に含まれる窒素酸化物が低減される。このため、絶縁膜223及び半導体膜219の界面において、電子がトラップされにくい。
絶縁膜223として、上記酸化物絶縁膜を用いることで、トランジスタのしきい値電圧のシフトを低減することが可能であり、トランジスタの電気特性の変動を低減することができる。
なお、トランジスタの作製工程の加熱処理、代表的には400℃未満または375℃未満(好ましくは、340℃以上360℃以下)の加熱処理により、絶縁膜223は、100K以下のESRで測定して得られたスペクトルにおいてg値が2.037以上2.039以下の第1のシグナル、g値が2.001以上2.003以下の第2のシグナル、及びg値が1.964以上1.966以下の第3のシグナルが観測される。なお、第1のシグナル及び第2のシグナルのスプリット幅、並びに第2のシグナル及び第3のシグナルのスプリット幅は、XバンドのESR測定において約5mTである。また、g値が2.037以上2.039以下の第1のシグナル、g値が2.001以上2.003以下の第2のシグナル、及びg値が1.964以上1.966以下の第3のシグナルのスピンの密度の合計が1×1018spins/cm未満であり、代表的には1×1017spins/cm以上1×1018spins/cm未満である。
なお、100K以下のESRスペクトルにおいてg値が2.037以上2.039以下の第1シグナル、g値が2.001以上2.003以下の第2のシグナル、及びg値が1.964以上1.966以下の第3のシグナルは、窒素酸化物(NO、xは0より大きく2以下、好ましくは1以上2以下)起因のシグナルに相当する。窒素酸化物の代表例としては、一酸化窒素、二酸化窒素等がある。即ち、g値が2.037以上2.039以下の第1のシグナル、g値が2.001以上2.003以下の第2のシグナル、及びg値が1.964以上1.966以下の第3のシグナルのスピンの密度の合計が少ないほど、酸化物絶縁膜に含まれる窒素酸化物の含有量が少ないといえる。
また、上記酸化物絶縁膜は、SIMSで測定される窒素濃度が6×1020atoms/cm以下である。
基板温度が220℃以上350℃以下であり、シラン及び一酸化二窒素を用いたPECVD法を用いて、上記酸化物絶縁膜を形成することで、緻密であり、且つ硬度の高い膜を形成することができる。
絶縁膜223に接するように形成される絶縁膜225は、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物絶縁膜を用いて形成する。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物絶縁膜は、加熱により酸素の一部が脱離する。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物絶縁膜は、TDSにて、酸素原子に換算しての酸素の放出量が1.0×1019atoms/cm以上、好ましくは3.0×1020atoms/cm以上である酸化物絶縁膜である。なお、上記TDSにおける膜の表面温度としては100℃以上700℃以下、または100℃以上500℃以下の範囲が好ましい。
また、絶縁膜225は、欠陥量が少ないことが好ましく、代表的には、ESR測定により、シリコンのダングリングボンドに由来するg=2.001に現れる信号のスピン密度が1.5×1018spins/cm未満、更には1×1018spins/cm以下であることが好ましい。なお、絶縁膜225は、絶縁膜223と比較して半導体膜219から離れているため、絶縁膜223より、欠陥密度が多くともよい。
絶縁膜223の厚さは、5nm以上150nm以下、好ましくは5nm以上50nm以下、好ましくは10nm以上30nm以下とすることができる。絶縁膜225の厚さは、30nm以上500nm以下、好ましくは150nm以上400nm以下とすることができる。
また、絶縁膜223、225は、同種の材料の絶縁膜を用いることができるため、絶縁膜223と絶縁膜225の界面が明確に確認できない場合がある。したがって、本実施の形態においては、絶縁膜223と絶縁膜225の界面は、破線で図示している。なお、本実施の形態においては、絶縁膜223と絶縁膜225の2層構造について説明したが、これに限定されず、例えば、絶縁膜223の単層構造、絶縁膜225の単層構造、または3層以上の積層構造としてもよい。
容量素子255の誘電体膜として機能する絶縁膜227としては、窒化物絶縁膜であることが好ましい。窒化シリコン膜は、酸化シリコン膜と比較して比誘電率が高く、酸化シリコン膜と同等の静電容量を得るのに必要な膜厚が大きいため、容量素子255の誘電体膜として機能する絶縁膜227として、窒化シリコン膜を含むことで絶縁膜を物理的に厚膜化することができる。よって、容量素子255の絶縁耐圧の低下を抑制、さらには絶縁耐圧を向上させて、容量素子255の静電破壊を抑制することができる。なお、絶縁膜227は、容量素子255の電極として機能する導電膜220の抵抗率を低下させる機能も有する。
また、絶縁膜227は、酸素、水素、水、アルカリ金属、アルカリ土類金属等をブロッキングできる機能を有する。絶縁膜227を設けることで、半導体膜219からの酸素の外部への拡散と、絶縁膜223、225に含まれる酸素の外部への拡散と、外部から半導体膜219への水素、水等の入り込みを防ぐことができる。なお、酸素、水素、水、アルカリ金属、アルカリ土類金属等のブロッキング効果を有する窒化物絶縁膜の代わりに、酸素、水素、水等のブロッキング効果を有する酸化物絶縁膜を設けてもよい。酸素、水素、水等のブロッキング効果を有する酸化物絶縁膜としては、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム等がある。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、上記実施の形態で例示した情報処理装置に適用可能な表示装置の構成例について説明する。
図25(A)に、表示装置300の上面概略図を示す。また、図25(B)に図25(A)の切断線A1−A2間、A3−A4間及びA5−A6間の断面概略図を示す。なお、図25(A)には明瞭化のため、構成要素の一部を省略して示している。
表示装置300は、基板301の上面に、表示部302、信号線駆動回路303、走査線駆動回路304及び外部接続端子305を有する。
表示部302は、液晶素子314を備える。液晶素子314は、基板面に対して横方向に発生する電界により液晶の配向が制御される。
表示装置300は、絶縁層332、絶縁層334、絶縁層338、絶縁層341、絶縁層342、トランジスタ311、トランジスタ312、液晶素子314、第1の電極343、第2の電極352、液晶353、カラーフィルタ327、遮光層328、シール材354、FPC355、異方性導電接続層356等を有している。
画素には少なくとも一つのスイッチング用のトランジスタ312と、図示しない保持容量を有する。またトランジスタ312のソース電極またはドレイン電極の一方に電気的に接続するくし形状の第1の電極343が絶縁層342上に設けられ、くし形状の第2の電極352が絶縁層341上に設けられる。第1の電極343および第2の電極352は、上面視において離間して設けられている。
第1の電極343と第2の電極352の少なくとも一方には、透光性の導電性材料を用いる。これら電極の両方に透光性の導電性材料を用いると、画素の開口率を高めることができるため好ましい。
カラーフィルタ327は、第1の電極343及び第2の電極352と重なるように設けられる。また遮光層328はカラーフィルタ327の側面を覆って設けられている。図25(B)ではカラーフィルタ327が基板321上に設けられる構成を示しているが、カラーフィルタの配置はこの位置に限られない。
基板301と基板321との間には、液晶353が設けられている。第1の電極343と第2の電極352の間に電圧を印加することにより、概略横方向に電界が生じ、該電界によって液晶353の配向が制御され、表示装置の外部に配置されたバックライトからの光の偏光を画素単位で制御することにより、画像を表示することができる。
液晶353と接する面には、液晶353の配向を制御するための配向膜が設けられていることが好ましい。配向膜には透光性の材料を用いる。また、ここでは図示しないが、基板321及び基板301の液晶素子314からみて外側の面に偏光板を設ける。
液晶353としては、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、強誘電液晶、反強誘電液晶などを用いることができる。また、ブルー相を示す液晶を使用すると、配向膜が不要であり、且つ広い視野角が得られるため好ましい。
なお、液晶353として粘度が高く流動性の低い材料を用いることが好ましい。
なお、本構成例ではIPSモードが適用された液晶素子314について説明するが、液晶素子の構成はこれに限られず、そのほかにもTN(Twisted Nematic)モード、FFS(Fringe Field Switching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optically Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モードなどを用いることができる。
表示装置300に設けられるトランジスタ(トランジスタ311、トランジスタ312等)は、トップゲート型のトランジスタである。各トランジスタは、半導体層335と、ゲート絶縁層として機能する絶縁層334と、ゲート電極333と、を有する。またゲート電極333を覆う絶縁層338が設けられ、絶縁層334及び絶縁層338に設けられた開口部を介して半導体層335と電気的に接続される一対の電極336を備える。
ここで、半導体層335として、酸化物半導体を用いることが好ましい。酸化物半導体としては、例えば上記実施の形態で例示した酸化物半導体を用いることができる。
また、半導体層335は、チャネルとして機能する領域よりも低抵抗化されたソース領域、またはドレイン領域として機能する領域を有していてもよい。例えば、ソース領域及びドレイン領域は、一対の電極336と接する部分に設けること、またはチャネルとして機能する領域を挟んで設けることができる。例えば、上記実施の形態で例示した方法により抵抗率が制御された領域とすればよい。
半導体層335に酸化物半導体を用いることにより、例えば多結晶シリコン等に比べて低温でばらつきの小さいトランジスタを大面積に作製することができる。
また、半導体層として、シリコンを用いてもよい。図26(A)に、半導体層としてシリコンを用いた表示装置360の上面概略図を示す。また、図26(B)に図26(A)の切断線A1−A2間、A3−A4間及びA5−A6間の断面概略図を示す。なお、図26(A)には明瞭化のため、構成要素の一部を省略して示している。以下では図25(A)、(B)に示す表示装置300と異なる要素についてのみ説明する。
表示装置360に設けられるトランジスタ(トランジスタ361、トランジスタ362等)は、トップゲート型のトランジスタである。各トランジスタは、ソース領域またはドレイン領域として機能する不純物領域を備える半導体層365と、ゲート絶縁層として機能する絶縁層334と、ゲート電極333と、を有する。またゲート電極333を覆う絶縁層338が設けられ、絶縁層334、絶縁層338に設けられた開口部を介して半導体層365のソース領域またはドレイン領域と接する一対の電極336を備える。
半導体層365として、シリコンを用いることが好ましい。
シリコンとしてアモルファスシリコンを用いてもよいが、特に結晶性を有するシリコンを用いることが好ましい。例えば、微結晶シリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコンなどを用いることが好ましい。特に、多結晶シリコンは、単結晶シリコンに比べて低温で形成でき、且つアモルファスシリコンに比べて高い電界効果移動度と高い信頼性を備える。このような多結晶半導体を画素に適用することで画素の開口率を向上させることができる。また単位面積あたりに極めて密に画素を有する場合であっても、ゲート駆動回路とソース駆動回路を画素と同一基板上に形成することが可能となり、電子機器を構成する部品数を低減することができる。
特に半導体層として多結晶シリコンや絶縁層上に転写して形成された単結晶シリコンを用いる場合には、トップゲート構造のトランジスタを適用することが好ましい。トップゲート構造のトランジスタを適用することで、半導体層よりも上層の配線や電極の材料として、耐熱性の低い材料を用いることが可能なため、材料の選択の幅を広げることができる。なお、ゲート電極に耐熱性の高い材料を用いる場合や、多結晶シリコンを極めて低温(例えば450度未満)の温度で形成する場合には、上記実施の形態で例示したボトムゲート構造を用いると、作製工程を削減できるため好ましい。
なお、本発明の一態様は、画素に能動素子を有するアクティブマトリクス方式、または、画素に能動素子を有しないパッシブマトリクス方式を用いることが出来る。
アクティブマトリクス方式では、能動素子(アクティブ素子、非線形素子)として、トランジスタだけでなく、さまざまな能動素子(アクティブ素子、非線形素子)を用いることが出来る。例えば、MIM(Metal Insulator Metal)、又はTFD(Thin Film Diode)などを用いることも可能である。これらの素子は、製造工程が少ないため、製造コストの低減、又は歩留まりの向上を図ることができる。または、これらの素子は、素子のサイズが小さいため、開口率を向上させることができ、低消費電力化や高輝度化をはかることが出来る。
アクティブマトリクス方式以外のものとして、能動素子(アクティブ素子、非線形素子)を用いないパッシブマトリクス型を用いることも可能である。能動素子(アクティブ素子、非線形素子)を用いないため、製造工程が少ないため、製造コストの低減、又は歩留まりの向上を図ることができる。または、能動素子(アクティブ素子、非線形素子)を用いないため、開口率を向上させることができ、低消費電力化、又は高輝度化などを図ることが出来る。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様の透過型表示装置に用いることができる画素回路の構成について、図27を参照しながら説明する。
図27(A)は、液晶素子を画素に用いる場合の画素回路P(i,j)の一例を説明する回路図である。
図27(B)は、図27(A)に示す画素回路P(i,j)とは異なる構成を備える画素回路PB(i,j)の一例を説明する回路図であり、図27(C)は、図27(B)に示す画素回路PB(i,j)のレイアウトの一例を説明する上面図である。
<画素回路の構成例1>
画素回路P(i,j)は、制御線GL(i)、信号線SL(j)および配線VCOMと電気的に接続され、画素回路P(i,j)は、トランジスタSW、液晶素子LCおよび容量Cを備える(図27(A)参照)。
トランジスタSWは、ゲートが制御線GL(i)と電気的に接続され、第1の電極が信号線SL(j)と電気的に接続される。
液晶素子LCは、第1の電極がトランジスタSWの第2の電極と電気的に接続され、第2の電極が配線VCOMと電気的に接続される。
容量Cは、第1の電極がトランジスタSWの第2の電極と電気的に接続され、第2の電極が配線VCOMと電気的に接続される。
なお、画素回路P(i,j)は基材の上に配設され、基材と、第2の導電膜E2と、基材と第2の導電膜E2の間の第1の導電膜E1と、を備える。
例えば、透光性を有する導電膜を第1の導電膜または/および第2の導電膜に用いることができる。
例えば、液晶素子LCの第1の電極に第1の導電膜E1を用い、第2の電極に第2の導電膜E2を用いることができる。
例えば、容量Cの第1の電極に第1の導電膜E1を用い、第2の電極に第2の導電膜E2を用いることができる。
<画素回路の構成例2>
画素回路PB(i,j)は、液晶素子LCに代えて、並列に接続された液晶素子LC1および液晶素子LC2を備える点が、図27(A)を参照しながら説明する画素回路P(i,j)と異なる(図27(B)参照)。ここでは異なる構成について詳細に説明し、同様な構成を用いることができる部分は、上記の説明を援用する。
液晶素子LC1は、第1の電極がトランジスタSWの第2の電極と電気的に接続され、第2の電極が配線VCOMと電気的に接続される。
液晶素子LC2は、第2の電極がトランジスタSWの第2の電極と電気的に接続され、第1の電極が配線VCOMと電気的に接続される。
例えば、液晶素子LC1の第1の電極に第1の導電膜E1を用い、第2の電極に第2の導電膜E2を用いることができる。また、液晶素子LC2の第1の電極に第1の導電膜E1を用い、第2の電極に第2の導電膜E2を用いることができる(図27(C)参照)。
画素回路PB(i,j)は、トランジスタSWの第2の電極に接続する第1の導電膜E1を第1の電極に備え、配線VCOMと電気的に接続する第2の導電膜E2を第2の電極に備える液晶素子LC1と、トランジスタSWの第2の電極に接続する第2の導電膜E2を第2の電極に備え、配線VCOMと電気的に接続する第1の導電膜E1を第1の電極に備える液晶素子LC2と、備える。
液晶素子LC1と液晶素子LC2とを並列に接続する構成により、印加する電圧を反転して液晶素子を駆動する際に認められる、第1の導電膜E1に対する第2の導電膜E2の配置に由来する液晶素子の特性の非対称性を、相殺することができる。
なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態5)
本実施の形態では、本発明の一態様の透過型表示装置を有する表示モジュール及び電子機器について、図28及び図29を用いて説明を行う。
図28に示す表示モジュール8000は、上部カバー8001と下部カバー8002との間に、FPC8003に接続されたタッチパネル8004、FPC8005に接続された表示パネル8006、バックライト8007、フレーム8009、プリント基板8010、バッテリ8011を有する。
本発明の一態様の表示装置は、例えば、表示パネル8006に用いることができる。
上部カバー8001及び下部カバー8002は、タッチパネル8004及び表示パネル8006のサイズに合わせて、形状や寸法を適宜変更することができる。
タッチパネル8004は、抵抗膜方式または静電容量方式のタッチパネルを表示パネル8006に重畳して用いることができる。また、表示パネル8006の対向基板(封止基板)に、タッチパネル機能を持たせるようにすることも可能である。また、表示パネル8006の各画素内に光センサを設け、光学式のタッチパネルとすることも可能である。
バックライト8007は、光源8008を有する。なお、図28において、バックライト8007上に光源8008を配置する構成について例示したが、これに限定さない。例えば、バックライト8007の端部に光源8008を配置し、さらに光拡散板を用いる構成としてもよい。
フレーム8009は、表示パネル8006の保護機能の他、プリント基板8010の動作により発生する電磁波を遮断するための電磁シールドとしての機能を有する。またフレーム8009は、放熱板としての機能を有していてもよい。
プリント基板8010は、電源回路、ビデオ信号及びクロック信号を出力するための信号処理回路を有する。電源回路に電力を供給する電源としては、外部の商用電源であっても良いし、別途設けたバッテリ8011による電源であってもよい。バッテリ8011は、商用電源を用いる場合には、省略可能である。
また、表示モジュール8000は、偏光板、位相差板、プリズムシートなどの部材を追加して設けてもよい。
図29(A)乃至図29(G)は、電子機器を示す図である。これらの電子機器は、筐体5000、表示部5001、スピーカ5003、LEDランプ5004、操作キー5005(電源スイッチ、又は操作スイッチを含む)、接続端子5006、センサ5007(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン5008、等を有することができる。
図29(A)はモバイルコンピュータであり、上述したものの他に、スイッチ5009、赤外線ポート5010、等を有することができる。図29(B)は記録媒体を備えた携帯型の画像再生装置(たとえば、DVD再生装置)であり、上述したものの他に、第2表示部5002、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図29(C)はゴーグル型ディスプレイであり、上述したものの他に、第2表示部5002、支持部5012、イヤホン5013、等を有することができる。図29(D)は携帯型遊技機であり、上述したものの他に、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図29(E)はテレビ受像機能付きデジタルカメラであり、上述したものの他に、アンテナ5014、シャッターボタン5015、受像部5016、等を有することができる。図29(F)は携帯型遊技機であり、上述したものの他に、第2表示部5002、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図29(G)は持ち運び型テレビ受像器であり、上述したものの他に、信号の送受信が可能な充電器5017、等を有することができる。
図29(A)乃至図29(G)に示す電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、無線通信機能を用いて様々なコンピュータネットワークに接続する機能、無線通信機能を用いて様々なデータの送信又は受信を行う機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出して表示部に表示する機能、等を有することができる。さらに、複数の表示部を有する電子機器においては、一つの表示部を主として画像情報を表示し、別の一つの表示部を主として文字情報を表示する機能、または、複数の表示部に視差を考慮した画像を表示することで立体的な画像を表示する機能、等を有することができる。さらに、受像部を有する電子機器においては、静止画を撮影する機能、動画を撮影する機能、撮影した画像を自動または手動で補正する機能、撮影した画像を記録媒体(外部又はカメラに内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有することができる。なお、図29(A)乃至図29(G)に示す電子機器が有することのできる機能はこれらに限定されず、様々な機能を有することができる。
本実施の形態において述べた電子機器は、何らかの情報を表示するための表示部を有することを特徴とする。該表示部に、上記の実施の形態で示した表示装置を適用することができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
本実施例では、本発明の一態様の情報処理装置について、図30乃至図32を参照しながら説明する。
図30は、輝度の変化を表示装置の直径100μmの領域について測定した結果を説明する図である。なお、表示装置にはスクロールしながらテキスト画像を表示させた。テキスト画像は、大きさ20ポイントの文字を一行あたり49文字、一頁あたり25行含む。
図30(A)は、テキスト画像を2.5ページ/secの速度でスクロールしながら表示した場合に観測される輝度の変化を説明する図である。
図30(B)は、図30(A)を用いて説明するテキスト画像の文字より明るい階調(具体的には、テキスト画像の文字の輝度がテキスト画像の背景の輝度の約50%になる階調)の文字を用いたテキスト画像を、5ページ/secの速度でスクロールしながら表示した場合に観測される輝度の変化を説明する図である。
図30(C)は、図30(A)を用いて説明するテキスト画像の文字と同じ階調の文字を用いたテキスト画像を、5ページ/secの速度でスクロールしながら表示した場合に観測される輝度の変化を説明する図である。
図31(A)乃至(C)は、図30(A)乃至(C)に示す輝度の変化に基づく視覚刺激の変化を、過去の感性評価結果によく一致するモデルとされるバートンの式を用いて算出した結果を説明する図である。バートンの式は以下に示す数式1で表される。
なお、式中のuは空間変調の周波数パラメータ、wは時間変調の周波数パラメータである。また、kは信号雑音比、Tは視覚の積分時間、Xは対象物の大きさ、Xmaxは最大積分領域、Nmaxは明暗サイクルの最大積分周期数、ηは量子効率、pは量子変換係数、Eは網膜照度、φは神経雑音のスペクトル密度である。
また、数式1中のMopt(u)は空間変調のある明暗に関する視覚伝達関数であり、以下に示す数式2で表される。式中のσは瞳孔の直径をパラメータに持つ、透光体や網膜等の視覚器官の構成を考慮した線広がり関数の標準偏差である。
また、数式1中のH(w)およびH(w)は時間変調に関する伝達関数であり、以下に示す数式3で表される。式中のτは時定数である。またnは数式1のH(w)中で7、H(w)中で4の場合に感性評価の結果と一致することが見出されている。
また、数式1中のF(u)は側抑制を示す関数であり、以下に示す数式4で表される。式中のuは側抑制の空間周波数である。
図31(A)は、図30(A)に示す輝度の変化に基づく視覚刺激の変化を、バートンの式を用いて算出した結果を説明する図である。
図31(B)は、図30(B)に示す輝度の変化に基づく視覚刺激の変化を、バートンの式を用いて算出した結果を説明する図である。
図31(C)は、図30(C)に示す輝度の変化に基づく視覚刺激の変化を、バートンの式を用いて算出した結果を説明する図である。
図32は、図30を用いて説明するテキスト画像を観察した6人の被験者の臨界融合周波数(CFF)を測定した結果を説明する図である。具体的には、スクロールしながら表示されたテキスト画像を1分間観察した後に、CFFを10回測定し、平均して結果を得た。また、これを5回繰り返し、加算した時間を負荷時間とした。
図32(A)は、図30(B)を用いて説明するテキスト画像を観察した6人の被験者のCFFを測定した結果を説明する図である。
図32(B)は、図30(C)を用いて説明するテキスト画像を観察した6人の被験者のCFFを測定した結果を説明する図である。
なお、評価にはシャープ株式会社製、型式:AQUOS PAD SH−06Fを用いた。表示パネルの対角の大きさは7.0インチ、精細度は323ppi、VAモードで動作する液晶素子と、酸化物半導体を備えるトランジスタを画素に有する。
柴田科学社製、労研式デジタルフリッカー値測定器、型式:RDF−1を用いて、CFFを測定した。
<結果>
スクロールの速度が遅い場合(図30(A)、図31(A))、スクロールの速度が速い場合(図30(C)、図31(C))に比べて、同じ期間に生じる輝度の変化が少なく、視覚刺激が抑制されることが分かった。
スクロールの速度が速い場合(図30(B)、図30(C)、図31(B)および図31(C))、テキスト画像の文字を明るい階調で表示してコントラストを低減する(図30(B)、図31(B))と、同じ期間に生じる輝度の変化が少なく、視覚刺激が抑制されることが分かった。
また、速い速度でスクロールして表示されるテキスト画像を繰り返し観察する被験者のCFFの低下が、コントラストが低減されるように明るい階調で表示された文字を含む場合において抑制されることが分かった(図32(A)および図32(B)参照)。
これにより、速い速度でスクロールする際に被験者に蓄積する疲労を、コントラストが低減されるように明るい階調で文字を表示することにより軽減できることが分かった。
具体的には、コントラストが低減されるようにテキスト画像の文字を明るい階調で表示した場合、どの被験者にもCFFの低下が認められなかった(図32(A)参照)。
一方、コントラストを変えないようにテキスト画像の文字を表示した場合、被験者A、被験者C、被験者D、被験者FのCFFの低下が認められた(図32(B)参照)。
E1 導電膜
E2 導電膜
G1 走査線
LC1 液晶素子
LC2 液晶素子
S1 信号線
T1 時刻
T2 時刻
T3 時刻
T4 時刻
T5 時刻
T6 時刻
T7 時刻
T8 時刻
T9 時刻
V1 速度
V2 速度
200 表示装置
211 基板
213 導電膜
215 絶縁膜
217 絶縁膜
219 半導体膜
220 導電膜
221a 導電膜
221b 導電膜
223 絶縁膜
225 絶縁膜
227 絶縁膜
228 絶縁膜
229 導電膜
241 基板
250 液晶層
251 液晶素子
252 トランジスタ
255 容量素子
261 遮光膜
262 着色膜
270 画素
270a 画素
270b 画素
270c 画素
270d 画素
270e 画素
270f 画素
271 画素部
274 走査線駆動回路
275 コモン線
276 信号線駆動回路
277 走査線
279 信号線
300 表示装置
301 基板
302 表示部
303 信号線駆動回路
304 走査線駆動回路
305 外部接続端子
311 トランジスタ
312 トランジスタ
314 液晶素子
321 基板
327 カラーフィルタ
328 遮光層
332 絶縁層
333 ゲート電極
334 絶縁層
335 半導体層
336 電極
338 絶縁層
339 絶縁層
341 絶縁層
342 絶縁層
343 電極
352 電極
353 液晶
354 シール材
355 FPC
356 異方性導電接続層
360 表示装置
361 トランジスタ
362 トランジスタ
365 半導体層
500 入力部
500_C 信号
600 液晶表示装置
620 演算装置
625_C 制御信号
625_L 制御信号
625_V 画像信号
630 表示部
631 画素部
631p 画素
632 駆動回路
632_G 駆動信号
633 駆動回路
633_S 駆動信号
634 画素回路
634c 容量素子
634t トランジスタ
635 表示素子
635LC 液晶素子
636 タイミングコントローラ
637 輝度調整回路
638 ドライバ
639 発光部
650 光供給部
670 領域
671 領域
672 領域
673 領域
674 領域
675 領域
676 スキャン方向
5000 筐体
5001 表示部
5002 表示部
5003 スピーカ
5004 LEDランプ
5005 操作キー
5006 接続端子
5007 センサ
5008 マイクロフォン
5009 スイッチ
5010 赤外線ポート
5011 記録媒体読込部
5012 支持部
5013 イヤホン
5014 アンテナ
5015 シャッターボタン
5016 受像部
5017 充電器
8000 表示モジュール
8001 上部カバー
8002 下部カバー
8003 FPC
8004 タッチパネル
8005 FPC
8006 表示パネル
8007 バックライト
8008 光源
8009 フレーム
8010 プリント基板
8011 バッテリ

Claims (7)

  1. 表示部と、入力部と、制御部と、を有する情報処理装置であって、
    前記表示部は、発光部を有し、
    前記入力部は、ユーザからの入力を検知して制御部に信号を出力する機能を有し、
    前記制御部は、第1のモードと、第2のモードを実行する機能を有し、
    前記第1のモードは、前記制御部が前記発光部に第1の輝度で発光させるモードであり、
    前記第2のモードは、前記制御部が前記発光部に第2の輝度で発光させるモードであり、
    前記制御部は、前記信号に応じて、前記第1のモードと、前記第2のモードとを切り替える機能を有する、
    情報処理装置。
  2. 請求項1において、
    前記入力が画面の切り替え、または画面のスクロールに対応した第1の入力であるとき、前記制御部は第1のモードを実行し、
    前記入力がなされないとき、または前記入力が前記第1の入力でないとき、前記制御部は第2のモードを実行する、
    情報処理装置。
  3. 請求項1乃至請求項2のいずれか一において、
    前記表示部は、液晶素子、または発光素子を有する、
    情報処理装置。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
    前記表示部は、複数の画素を有し、
    前記画素は、トランジスタを有し、
    前記トランジスタのチャネルが形成される半導体層は、酸化物半導体を含む、
    情報処理装置。
  5. 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
    前記表示部は、複数の画素を有し、
    前記画素は、トランジスタを有し、
    前記トランジスタのチャネルが形成される半導体層は、アモルファスシリコンまたは多結晶シリコンである、
    情報処理装置。
  6. 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
    前記入力部は、キーボード、ハードウェアボタン、ポインティングデバイス、タッチセンサ、撮像装置、音声入力装置、視点入力装置、姿勢検出装置、のうち一以上を含む、
    情報処理装置。
  7. 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
    前記表示部と、前記入力部は、タッチパネルを構成する、
    情報処理装置。
JP2016037451A 2015-03-03 2016-02-29 情報処理装置 Expired - Fee Related JP6764663B2 (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015040987 2015-03-03
JP2015040987 2015-03-03
JP2015040985 2015-03-03
JP2015040985 2015-03-03

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2016167057A true JP2016167057A (ja) 2016-09-15
JP2016167057A5 JP2016167057A5 (ja) 2019-03-28
JP6764663B2 JP6764663B2 (ja) 2020-10-07

Family

ID=56850670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016037451A Expired - Fee Related JP6764663B2 (ja) 2015-03-03 2016-02-29 情報処理装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10008167B2 (ja)
JP (1) JP6764663B2 (ja)
KR (1) KR20160107109A (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9851839B2 (en) * 2015-03-03 2017-12-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display system
KR102590142B1 (ko) * 2018-12-17 2023-10-18 삼성전자주식회사 디스플레이장치 및 그 제어방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009187467A (ja) * 2008-02-08 2009-08-20 Toshiba Corp 携帯電話機
US20130207992A1 (en) * 2012-02-10 2013-08-15 Emil Alexander WASBERGER Method, apparatus and computer readable medium carrying instructions for mitigating visual artefacts
JP2013186246A (ja) * 2012-03-07 2013-09-19 Sharp Corp 液晶表示装置、その制御プログラム、および、その制御方法
WO2014091675A1 (ja) * 2012-12-10 2014-06-19 パナソニック株式会社 携帯端末装置、輝度制御方法、および輝度制御プログラム
JP2015018219A (ja) * 2013-06-14 2015-01-29 キヤノン株式会社 画像表示装置及びその制御方法

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100483484C (zh) * 2002-12-27 2009-04-29 株式会社半导体能源研究所 半导体装置、发光显示装置以及它们的驱动方法
WO2007043148A1 (ja) * 2005-10-05 2007-04-19 Fujitsu Limited 液晶表示装置及び表示方法
US8089582B2 (en) * 2007-05-31 2012-01-03 Hitachi Displays, Ltd. Liquid crystal display device comprising at least one groove having an end portion that stops short of the non-adjacent opposite side surfaces and extends in a direction perpendicular to the non-adjacent side surfaces
EP2166531A3 (en) * 2008-09-23 2011-03-09 Sharp Kabushiki Kaisha Backlight luminance control apparatus and video display apparatus
GB2489627A (en) * 2009-12-11 2012-10-03 Hewlett Packard Development Co Brightness level adjustment of a lighted display device
CN109390215B (zh) * 2009-12-28 2023-08-15 株式会社半导体能源研究所 制造半导体装置的方法
WO2011125353A1 (ja) * 2010-04-07 2011-10-13 シャープ株式会社 回路基板、表示装置および回路基板の製造方法
WO2012098739A1 (ja) * 2011-01-21 2012-07-26 三菱電機株式会社 面光源装置及び液晶表示装置
US9299297B2 (en) * 2011-09-05 2016-03-29 Canon Kabushiki Kaisha Image display apparatus and method for controlling the same
JP5836869B2 (ja) * 2012-04-09 2015-12-24 キヤノン株式会社 表示装置及びその制御方法
TWI588540B (zh) 2012-05-09 2017-06-21 半導體能源研究所股份有限公司 顯示裝置和電子裝置
TWI675222B (zh) 2012-05-09 2019-10-21 日商半導體能源研究所股份有限公司 驅動半導體裝置的方法
US20140011837A1 (en) 2012-07-03 2014-01-09 Justice E. OBI Compositions and methods for treating warts associated with viral infections
CN103530710A (zh) 2012-07-03 2014-01-22 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 生产线模型构建系统及方法
TWI628498B (zh) * 2012-07-13 2018-07-01 群康科技(深圳)有限公司 顯示裝置及其顯示面板
US20140055507A1 (en) * 2012-08-21 2014-02-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Backlight unit and video display apparatus using the same
US20150242701A1 (en) * 2012-09-20 2015-08-27 Sharp Kabushiki Kaisha Image processing device, image display device, image capture device, image printing device, gradation conversion method, and computer readable medium
US20140111558A1 (en) 2012-10-23 2014-04-24 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and program
US9818373B2 (en) * 2012-10-31 2017-11-14 Sharp Kabushiki Kaisha Data processing device for display device, display device equipped with same and data processing method for display device
US9569992B2 (en) 2012-11-15 2017-02-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for driving information processing device, program, and information processing device
KR102148549B1 (ko) 2012-11-28 2020-08-26 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치
JP6205249B2 (ja) 2012-11-30 2017-09-27 株式会社半導体エネルギー研究所 情報処理装置の駆動方法
JP2014130336A (ja) 2012-11-30 2014-07-10 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 表示装置
US20140152685A1 (en) 2012-11-30 2014-06-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and program
US9594281B2 (en) 2012-11-30 2017-03-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal display device
US20140184484A1 (en) 2012-12-28 2014-07-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device
US20140184968A1 (en) 2012-12-28 2014-07-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal display device
KR102103249B1 (ko) * 2013-01-08 2020-04-23 삼성디스플레이 주식회사 백라이트 유닛 및 그것을 포함하는 표시 장치
JP2014164389A (ja) * 2013-02-22 2014-09-08 Kyocera Corp 携帯端末、及び携帯端末制御方法
JP2014194540A (ja) 2013-02-28 2014-10-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 画像情報の処理および表示方法、プログラム、情報処理装置
US10416504B2 (en) 2013-05-21 2019-09-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal display device
US20140368488A1 (en) 2013-06-14 2014-12-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Information processing system and driving method thereof
US9957213B2 (en) 2013-07-30 2018-05-01 Semiconductor Energy Laboratory Co. Organic compound, liquid crystal composition, liquid crystal element, and liquid crystal display device
WO2015016093A1 (en) 2013-07-30 2015-02-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Organic compound, liquid crystal composition, liquid crystal element, and liquid crystal display device
KR20220047897A (ko) * 2013-12-02 2022-04-19 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치
KR20160064978A (ko) 2014-11-28 2016-06-08 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치, 모듈, 표시 시스템, 및 전자 기기

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009187467A (ja) * 2008-02-08 2009-08-20 Toshiba Corp 携帯電話機
US20130207992A1 (en) * 2012-02-10 2013-08-15 Emil Alexander WASBERGER Method, apparatus and computer readable medium carrying instructions for mitigating visual artefacts
JP2013186246A (ja) * 2012-03-07 2013-09-19 Sharp Corp 液晶表示装置、その制御プログラム、および、その制御方法
WO2014091675A1 (ja) * 2012-12-10 2014-06-19 パナソニック株式会社 携帯端末装置、輝度制御方法、および輝度制御プログラム
JP2015018219A (ja) * 2013-06-14 2015-01-29 キヤノン株式会社 画像表示装置及びその制御方法

Also Published As

Publication number Publication date
US10008167B2 (en) 2018-06-26
US20160260400A1 (en) 2016-09-08
KR20160107109A (ko) 2016-09-13
JP6764663B2 (ja) 2020-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9851839B2 (en) Display system
JP7223807B2 (ja) 液晶表示装置
JP6630720B2 (ja) 表示装置
US10706790B2 (en) Display device, display module including the display device, and electronic device including the display device or the display module
US9390665B2 (en) Display device
US20150255029A1 (en) Display device, display module including the display device, and electronic device including the display device or the display module
US9818880B2 (en) Semiconductor device and display device including the semiconductor device
US20220013545A1 (en) Semiconductor device, display device, and electronic device using the display device
TW201724194A (zh) 半導體裝置的製造方法
JP2016167056A (ja) 情報処理装置の駆動方法、プログラム、及び情報処理装置
US20140184968A1 (en) Liquid crystal display device
JP6764663B2 (ja) 情報処理装置
JP2016218211A (ja) 表示装置、該表示装置を有する表示モジュール、及び該表示装置または該表示モジュールを有する電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190214

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190214

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191127

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20191224

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200526

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200715

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200825

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200914

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6764663

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees