JP2016144253A - Spectral sensitivity measurement device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To highly accurately calculate a spectral sensitivity under any bias light quantity when measuring an absolute spectral sensitivity of a solar cell.SOLUTION: The spectral sensitivity measurement device comprises: a light quantity ratio storage part 60 for storing a ratio of a first light quantity (a light quantity of a bias light) and a second light quantity (a light quantity of a monochromatic light) emitted from first and second light source parts; a combination creation part 62 which calculates a plurality of first light quantities being different from each other and a plurality of corresponding second light quantities while using a value that indicates the ratio, and creates a plurality of combinations; an emission control part 63 which emits the bias light/monochromatic light in accordance with a combination; and a differential spectral sensitivity calculation part 64 for calculating a plurality of differential spectral sensitivities by calculating a differential spectral sensitivity while using a short-circuit current that is measured by a current measurement part, in the state where the solar cell is irradiated with the bias light emitted from the first light source part and the monochromatic light emitted from the second light source part overlapping each other under control of the emission control part 63.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、太陽電池の絶対分光感度を測定する分光感度測定装置に関する。   The present invention relates to a spectral sensitivity measuring apparatus that measures the absolute spectral sensitivity of a solar cell.

太陽電池は、光起電力効果を利用することによって光エネルギーを直接電力へ変換する素子であり、様々な太陽電池が研究、開発され、近年、広く普及し始めている。太陽電池には、シリコン(Si)を用いたシリコン系太陽電池、InGaAs等の化合物半導体を用いた化合物系太陽電池、及び、有機半導体を用いた有機系太陽電池等の様々な種類がある。有機系太陽電池には、シリコン系太陽電池と異なり、短絡電流が、放射照度に対して線形で変化しない特性を持つ物が存在する。   A solar cell is an element that directly converts light energy into electric power by utilizing the photovoltaic effect, and various solar cells have been researched and developed, and have begun to spread widely in recent years. There are various types of solar cells such as silicon-based solar cells using silicon (Si), compound-based solar cells using a compound semiconductor such as InGaAs, and organic-based solar cells using an organic semiconductor. Unlike silicon-based solar cells, there are organic solar cells having characteristics that the short-circuit current is linear with respect to irradiance and does not change.

太陽電池の性能を評価するために、例えばIEC60904やJIS(C8905〜C8991)で定義された評価方法等がある。上記のような非線形太陽電池の分光感度の評価方法として、DSR法(differential spectral responsivity method)による太陽電池の絶対分光感度を測定する測定方法がある(例えば、特許文献1及び非特許文献1,2参照)。なお、IECは、International Electrotechnical Commission(国際電気標準会議)の略称である。JISは、Japanese Industrial Standards(日本工業規格)の略称である。また、DSR法以外の太陽電池の絶対分光感度を測定する測定方法がある(例えば、特許文献2参照)。   In order to evaluate the performance of the solar cell, for example, there are evaluation methods defined in IEC60904 and JIS (C8905 to C8991). As a method for evaluating the spectral sensitivity of a non-linear solar cell as described above, there is a measurement method for measuring the absolute spectral sensitivity of a solar cell by the DSR method (differential spectral responsivity method) (for example, Patent Document 1 and Non-Patent Documents 1 and 2) reference). Note that IEC is an abbreviation for International Electrotechnical Commission. JIS is an abbreviation for Japan Industrial Standards (Japanese Industrial Standards). In addition, there is a measurement method for measuring the absolute spectral sensitivity of solar cells other than the DSR method (see, for example, Patent Document 2).

絶対分光感度及びこれに関連する用語を説明する。
(1)太陽電池の絶対分光感度は、測定したい分光放射照度の光源の下で測定した分光感度を意味する。なお、絶対分光感度と照射光の絶対値分光放射照度とを畳込み積分することによって、太陽電池の短絡電流が計算できる。
(2)短絡電流は、太陽電池の+極と−極との電位差を0Vにしたときに、太陽電池に流れる電流である。
(3)太陽電池の分光感度[A/W/m/nm]は、特定の波長の光を太陽電池に照射したときに太陽電池から出力される短絡電流を、照射したエネルギーで割ったものである。
(4)バイアス光は、差分分光感度を測定する時に、一定量のバイアス電流を流す為に、太陽電池に照射される光(例えば白色光)である。
(5)DSR法は、バイアス光の照射エネルギーを順次に変えることによって各バイアス電流に対する各差分分光感度をそれぞれ測定し、これら測定した複数の差分分光感度と、求めたい照射光の分光放射照度分布から、太陽電池の絶対分光感度を求める方法である。詳細は非特許文献2に記載されている。
(6)差分分光感度は、各バイアス光の基での太陽電池において、任意の波長の分光エネルギーの微少な変動による短絡電流の変化率である。差分分光感度は、太陽電池における短絡電流(バイアス光照射の短絡電流)を測定し、照射エネルギーが微小な単色光をさらに照射した状態の短絡電流(バイアス光及び単色光照射の短絡電流)を測定し、バイアス光照射の短絡電流とバイアス光及び単色光照射の短絡電流との差を、単色光の照射エネルギーで割ることによって求められる。
(7)単色光は、差分分光感度を測定するために太陽電池に照射する任意波長の光である。通常、バイアス光(白色バイアス光)に対して十分小さいエネルギーに調整されて用いられる。
Absolute spectral sensitivity and related terms will be described.
(1) The absolute spectral sensitivity of a solar cell means the spectral sensitivity measured under a light source having a spectral irradiance to be measured. Note that the short-circuit current of the solar cell can be calculated by convolving the absolute spectral sensitivity and the absolute value spectral irradiance of the irradiation light.
(2) The short circuit current is a current that flows through the solar cell when the potential difference between the positive electrode and the negative electrode of the solar cell is 0V.
(3) The spectral sensitivity [A / W / m 2 / nm] of the solar cell is obtained by dividing the short-circuit current output from the solar cell when the solar cell is irradiated with light of a specific wavelength by the irradiated energy. It is.
(4) The bias light is light (for example, white light) applied to the solar cell in order to flow a certain amount of bias current when measuring the differential spectral sensitivity.
(5) In the DSR method, each differential spectral sensitivity for each bias current is measured by sequentially changing the irradiation energy of the bias light, and the plurality of differential spectral sensitivities thus measured and the spectral irradiance distribution of the irradiation light to be obtained. Thus, the absolute spectral sensitivity of the solar cell is obtained. Details are described in Non-Patent Document 2.
(6) The differential spectral sensitivity is the rate of change of the short-circuit current due to a slight fluctuation in the spectral energy of an arbitrary wavelength in the solar cell based on each bias light. Differential spectral sensitivity measures the short-circuit current in a solar cell (short-circuit current for bias light irradiation), and measures the short-circuit current (short-circuit current for bias light and monochromatic light irradiation) in a state where the irradiation light is further irradiated with monochromatic light with minute irradiation energy. The difference between the short-circuit current for bias light irradiation and the short-circuit current for bias light and monochromatic light irradiation is obtained by dividing by the irradiation energy of monochromatic light.
(7) Monochromatic light is light of an arbitrary wavelength that irradiates the solar cell to measure differential spectral sensitivity. Usually, the energy is adjusted to be sufficiently small with respect to the bias light (white bias light).

国際公開第2013/084441号パンフレットInternational Publication No. 2013/084441 Pamphlet 特開2004−281706号公報JP 2004-281706 A

“Calibration of solar cells.1:The differential spectral responsivity method”、1 May 1987/Vol.26 No.9 Applied Optics“Calibration of solar cells. 1: The differential spectral responsivity method”, 1 May 1987 / Vol. 26 No. 9 Applied Optics IEC 60904−8 Edition 3IEC 60904-8 Edition 3

IEC 60904−8 Edition 3では短絡電流が、放射照度に対して、線型でない非線形太陽電池の分光感度測定は、DSR方式で求める事が要求されている。   In IEC 60904-8 Edition 3, the spectral sensitivity measurement of a non-linear solar cell whose short-circuit current is not linear with respect to irradiance is required to be obtained by the DSR method.

しかし、このDSR法は、各バイアス光の放射照度に対して、単色光の放射照度が十分小さい事を前提としている。一般に1000W/mの大きなバイアス放射照度の時には、単色光の放射照度を1W/mとしても、白色光による短絡電流が大きく単色光による短絡電流の変化量は僅かなので、測定精度に対する影響は軽微である。他方、DSR方式は、低照度から測定したい放射照度までバイアス光を変更しながら、各々の差分分光感度を測定するので、バイアス光の放射照度が、例えば、10W/m、の時に単色光として、1W/mの放射照度を照射すると、単色光の光エネルギーにより、被測定物の太陽電池の短絡電流が大きく変化してしまい、低照度下での正確な差分分光感度が求められないという課題がある。 However, this DSR method assumes that the irradiance of monochromatic light is sufficiently small relative to the irradiance of each bias light. When the large bias irradiance 1000W / m 2 is generally also the irradiance of monochromatic light as 1W / m 2, the change amount of the short-circuit current due to short-circuit current is large monochromatic light by the white light is a slight effect on the measurement accuracy Minor. On the other hand, the DSR method measures each differential spectral sensitivity while changing the bias light from low illuminance to irradiance to be measured, so that when the irradiance of the bias light is, for example, 10 W / m 2 , the monochromatic light is obtained. When irradiance of 1 W / m 2 is irradiated, the short-circuit current of the solar cell of the object to be measured changes greatly due to the light energy of monochromatic light, and accurate differential spectral sensitivity under low illuminance is not required. There are challenges.

本発明は、DSR法を用いた太陽電池の絶対分光感度の測定において、上記の問題を解決すべく、任意のバイアス光量下で、高精度に差分分光感度を求める事が可能な分光感度測定装置を提供することを目的とする。   The present invention provides a spectral sensitivity measuring apparatus capable of obtaining a differential spectral sensitivity with high accuracy under an arbitrary amount of bias light in order to solve the above-described problem in measurement of absolute spectral sensitivity of a solar cell using the DSR method. The purpose is to provide.

上記目的を達成する本発明に係る分光感度測定装置は、バイアス光の光量を調節して前記バイアス光を出射する第1の光源部と、単色光の光量を調節して前記単色光を出射する第2の光源部と、測定対象の太陽電池の短絡電流を測定する電流測定部と、前記バイアス光の光量である第1の光量と前記単色光の光量である第2の光量との予め定められた比を示す値を記憶する光量比記憶部と、互いに異なる複数の前記第1の光量を記憶するバイアス光量記憶部と、前記バイアス光量記憶部に記憶されている複数の前記第1の光量のそれぞれに対応する複数の前記第2の光量を、前記光量比記憶部に記憶されている前記比を示す値を用いて算出し、前記第1の光量と前記第1の光量に対応する前記第2の光量との組み合わせを複数作成する組合作成部と、前記組合作成部によって作成された複数の前記組み合わせのそれぞれについて、前記第1の光源部に前記第1の光量の前記バイアス光を出射させ、前記第2の光源部に前記第2の光量の前記単色光を出射させる出射制御部と、前記組合作成部によって作成された複数の前記組み合わせのそれぞれについて、前記出射制御部の制御によって前記第1の光源部から出射された前記バイアス光と前記第2の光源部から出射された前記単色光とを重ねて前記太陽電池に照射された状態で、前記電流測定部によって測定された短絡電流を用いて差分分光感度を算出することにより、複数の前記差分分光感度を求める差分分光感度算出部と、前記差分分光感度算出部によって求められた複数の前記差分分光感度を用いて、前記太陽電池の絶対分光感度を算出する絶対分光感度算出部と、を備える。   The spectral sensitivity measuring apparatus according to the present invention that achieves the above object includes a first light source unit that emits the bias light by adjusting a light amount of bias light, and emits the monochromatic light by adjusting a light amount of monochromatic light. A second light source unit, a current measurement unit that measures a short-circuit current of the solar cell to be measured, a first light amount that is the light amount of the bias light, and a second light amount that is the light amount of the monochromatic light are predetermined. A light amount ratio storage unit that stores a value indicating the ratio obtained, a bias light amount storage unit that stores a plurality of different first light amounts, and a plurality of the first light amounts stored in the bias light amount storage unit A plurality of the second light amounts corresponding to each of the first light amount and the first light amount corresponding to the first light amount are calculated using a value indicating the ratio stored in the light amount ratio storage unit. Combined work to create multiple combinations with the second light quantity And for each of the plurality of combinations created by the combination creation unit, the first light source unit emits the first light amount of the bias light, and the second light source unit causes the second light source unit to emit the second light. An emission control unit that emits the monochromatic light of a light amount, and the bias light emitted from the first light source unit by the control of the emission control unit for each of the plurality of combinations created by the combination creation unit By calculating the differential spectral sensitivity using the short-circuit current measured by the current measuring unit in a state where the monochromatic light emitted from the second light source unit is superimposed on the solar cell and irradiated to the solar cell, A difference spectral sensitivity calculation unit for obtaining the difference spectral sensitivity of the solar cell, and a plurality of the difference spectral sensitivities obtained by the difference spectral sensitivity calculation unit. Comprising an absolute spectral sensitivity calculating unit for calculating a degree, the.

DSR法を用いた太陽電池の絶対分光感度測定は、バイアス光の光量を順次、変えることによって各光量に対する各差分分光感度をそれぞれ測定し、複数の差分分光感度を得る工程がある。本発明に係る分光感度測定装置では、バイアス光の光量と単色光の光量との比を予め設定することにより、上記工程において、バイアス光の光量が大きいとき、単色光の光量を大きくして単色光測定時のSNを向上させ、バイアス光の光量が小さいとき、単色光の光量を小さくする。これにより、各バイアス光について、バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の影響を相対的に小さくでき、各々の放射照度における短絡電流の変動の影響を排除できるので、DSR法を用いた太陽電池の絶対分光感度の測定において、任意のバイアス光量下で、高精度に差分分光感度を求める事が可能となる。   The absolute spectral sensitivity measurement of a solar cell using the DSR method includes a step of obtaining a plurality of differential spectral sensitivities by measuring each differential spectral sensitivity with respect to each light amount by sequentially changing the light amount of bias light. In the spectral sensitivity measuring apparatus according to the present invention, by setting the ratio of the light amount of the bias light and the light amount of the monochromatic light in advance, when the light amount of the bias light is large in the above step, the light amount of the monochromatic light is increased. The SN during light measurement is improved, and when the amount of bias light is small, the amount of monochromatic light is reduced. Thereby, for each bias light, the influence of the short-circuit current due to the monochromatic light can be made relatively small with respect to the short-circuit current due to the bias light, and the influence of the fluctuation of the short-circuit current in each irradiance can be eliminated. In the measurement of the absolute spectral sensitivity of the solar cell used, it is possible to obtain the differential spectral sensitivity with high accuracy under an arbitrary amount of bias light.

上記構成において、前記組合作成部は、前記比を示す値を用いて算出した複数の前記第2の光量のうち、予め定められた下限値以下の前記第2の光量について、前記下限値を前記第2の光量とする。   In the above-described configuration, the combination creating unit sets the lower limit value for the second light amount that is equal to or less than a predetermined lower limit value among the plurality of second light amounts calculated using the value indicating the ratio. Let it be the second light quantity.

単色光の光量である第2の光量がある値以下であれば、単色光による短絡電流がバイアス光による短絡電流に及ぼす影響が軽微なので、大きな測定誤差の原因とならない。他方、単色光の光量の大きさを問わず、光量比(比を示す値)を同じにしたとき、バイアス光が小さい場合、単色光による短絡電流測定のSN比が悪くなる。これにより、逆に差分分光感度測定精度が悪化する場合があるので、単色光の光量に下限値を設ける。   If the second light amount, which is the light amount of monochromatic light, is less than a certain value, the influence of the short-circuit current due to the monochromatic light on the short-circuit current due to the bias light is negligible, and thus does not cause a large measurement error. On the other hand, when the light amount ratio (value indicating the ratio) is the same regardless of the amount of light of the monochromatic light, if the bias light is small, the SN ratio of the short-circuit current measurement using the monochromatic light is deteriorated. Accordingly, since the difference spectral sensitivity measurement accuracy may be deteriorated, a lower limit is provided for the amount of monochromatic light.

上記構成において、前記光量比記憶部は、複数の前記第1の光量のそれぞれに割り当てられた、複数の前記比を示す値を記憶しており、前記組合作成部は、複数の前記第1の光量のそれぞれに割り当てられた前記比を示す値を用いて、複数の前記第1の光量のそれぞれに対応する複数の前記第2の光量を算出する。   In the above configuration, the light amount ratio storage unit stores a plurality of values indicating the ratios assigned to the plurality of first light amounts, and the combination creation unit includes a plurality of the first light amounts. A plurality of the second light amounts corresponding to each of the plurality of first light amounts are calculated using a value indicating the ratio assigned to each of the light amounts.

この構成によれば、複数の第1の光量のそれぞれに応じて、比を変えることができるので、複数の第2の光量を最適な値に設定することができる。   According to this configuration, since the ratio can be changed according to each of the plurality of first light amounts, the plurality of second light amounts can be set to optimum values.

即ち、複数の第1の光量に応じて、比が互いに異なるようにすることができる。例えば、複数の第1の光量を小さい順に、光量A、光量B、光量C、光量D、光量Eとする。光量Aに割り当てる比を200:1、光量Bに割り当てる比を400:1、光量Cに割り当てる比を600:1、光量Dに割り当てる比を800:1、光量Eに割り当てる比を1000:1とする。   That is, the ratios can be made different from each other according to the plurality of first light quantities. For example, a plurality of first light amounts are set as a light amount A, a light amount B, a light amount C, a light amount D, and a light amount E in ascending order. The ratio assigned to the light quantity A is 200: 1, the ratio assigned to the light quantity B is 400: 1, the ratio assigned to the light quantity C is 600: 1, the ratio assigned to the light quantity D is 800: 1, and the ratio assigned to the light quantity E is 1000: 1. To do.

また、複数の第1の光量をいくつかのグループに分けて、グループに応じて、比が互いに異なるようにしてもよい。例えば、光量A、光量B及び光量Cのグループに割り当てる比を500:1、光量Dと光量Eのグループに割り当てる比を1000:1とする。   Further, the plurality of first light amounts may be divided into several groups, and the ratios may be different from each other depending on the group. For example, the ratio assigned to the group of the light quantity A, the light quantity B, and the light quantity C is set to 500: 1, and the ratio assigned to the group of the light quantity D and the light quantity E is set to 1000: 1.

上記構成において、前記第1の光源部は、前記バイアス光を放射する第1の発光部、及び、前記第1の発光部によって放射された前記バイアス光の光量を調節する第1の調節部を含み、前記分光感度測定装置は、さらに、予め定められた条件での短絡電流及び分光感度が特定されている基準検知器に対して、前記バイアス光量記憶部に記憶されている前記第1の光量の前記バイアス光が照射された状態で前記基準検知器から出力される短絡電流を第1の短絡電流とし、前記バイアス光量記憶部に記憶されている複数の前記第1の光量と、第1の所定式とを用いて、複数の前記第1の光量のそれぞれに対応する複数の前記第1の短絡電流を算出する第1の短絡電流算出部と、前記基準検知器が前記第1の短絡電流を出力するために前記第1の調節部に設定される値を第1の設定値とし、前記バイアス光が前記基準検知器に照射された状態で前記電流測定部によって測定された短絡電流を、前記第1の短絡電流算出部によって算出された複数の前記第1の短絡電流のそれぞれと比較して、複数の前記第1の短絡電流のそれぞれに対応する複数の前記第1の設定値を算出する第1の設定値算出部と、前記第1の設定値算出部によって算出された複数の前記第1の設定値を記憶する第1の設定値記憶部と、を備え、前記出射制御部は、前記第1の設定値記憶部に記憶されている複数の前記第1の設定値のそれぞれを前記第1の調節部に設定して、前記第1の光源部に前記バイアス光を出射させる。   In the above configuration, the first light source unit includes a first light emitting unit that emits the bias light, and a first adjusting unit that adjusts the amount of the bias light emitted by the first light emitting unit. The spectral sensitivity measuring device further includes the first light amount stored in the bias light amount storage unit with respect to a reference detector in which a short-circuit current and a spectral sensitivity under a predetermined condition are specified. The short-circuit current output from the reference detector in the state where the bias light is irradiated is defined as a first short-circuit current, and the plurality of first light amounts stored in the bias light amount storage unit and the first A first short-circuit current calculation unit that calculates a plurality of the first short-circuit currents corresponding to each of the plurality of first light amounts using a predetermined formula; and the reference detector includes the first short-circuit current. To output the first key The first set value is a value set in the unit, and the short-circuit current measured by the current measurement unit in a state where the reference light is applied to the reference detector is calculated by the first short-circuit current calculation unit. A first set value calculation unit that calculates a plurality of the first set values corresponding to each of the plurality of first short-circuit currents, as compared with each of the plurality of first short-circuit currents that are performed; A first set value storage unit that stores a plurality of the first set values calculated by the first set value calculation unit, and the emission control unit is stored in the first set value storage unit. Each of the plurality of stored first setting values is set in the first adjustment unit, and the bias light is emitted from the first light source unit.

この構成は、第1の設定値を算出する手段を規定している。第1の設定値は、上記の通り、基準検知器が第1の短絡電流を出力するために第1の調節部に設定される値である。この構成によれば、放射照度を測定するのでなく基準検知器からの電流値を基に、バイアス光を出射するための設定値を決定できる。   This configuration defines means for calculating the first set value. As described above, the first set value is a value set in the first adjustment unit so that the reference detector outputs the first short-circuit current. According to this configuration, the setting value for emitting the bias light can be determined based on the current value from the reference detector instead of measuring the irradiance.

上記構成において、前記第2の光源部は、第2の発光部、前記第2の発光部によって放射された光を用いて前記単色光を生成する単色光生成部、及び、前記単色光生成部によって生成された前記単色光の光量を調節する第2の調節部を含み、前記分光感度測定装置は、さらに、前記基準検知器に対して、前記組合作成部によって算出された前記第2の光量の前記単色光が照射された状態で前記基準検知器から出力される短絡電流を第2の短絡電流とし、前記組合作成部によって算出された前記第2の光量、第2の所定式及び前記基準検知器の前記分光感度を用いて、互いに異なる波長の二以上の前記単色光のそれぞれに対応する二以上の前記第2の短絡電流を算出する第2の短絡電流算出部と、前記基準検知器が前記第2の短絡電流を出力するために前記第2の調節部に設定される値を第2の設定値とし、前記単色光が前記基準検知器に照射された状態で前記電流測定部によって測定された短絡電流を、前記第2の短絡電流算出部によって算出された二以上の前記第2の短絡電流のそれぞれと比較して、二以上の前記第2の短絡電流のそれぞれに対応する二以上の前記第2の設定値を算出する第2の設定値算出部と、を備え、前記第2の短絡電流算出部は、複数の前記第2の光量のそれぞれについて、二以上の前記第2の短絡電流を算出し、前記第2の設定値算出部は、複数の前記第2の光量のそれぞれについて、二以上の前記第2の設定値を算出し、前記分光感度測定装置は、さらに、前記第2の設定値算出部によって算出された、複数の前記第2の光量のそれぞれについての二以上の前記第2の設定値を、複数の前記第2の設定値とし、複数の前記第2の設定値を記憶する第2の設定値記憶部を備え、前記出射制御部は、前記第2の設定値記憶部に記憶されている複数の前記第2の設定値のそれぞれを前記第2の調節部に設定して、前記第2の光源部に前記単色光を出射させる。   In the above configuration, the second light source unit includes a second light emitting unit, a monochromatic light generating unit that generates the monochromatic light using light emitted by the second light emitting unit, and the monochromatic light generating unit. The spectral sensitivity measuring device further includes the second light amount calculated by the combination creating unit with respect to the reference detector. The short-circuit current output from the reference detector in a state where the monochromatic light is irradiated is set as a second short-circuit current, and the second light amount calculated by the combination creating unit, the second predetermined formula, and the reference A second short-circuit current calculating unit that calculates two or more second short-circuit currents corresponding to two or more monochromatic lights having different wavelengths using the spectral sensitivity of the detector; and the reference detector. Outputs the second short-circuit current Therefore, a value set in the second adjustment unit is set as a second setting value, and the short-circuit current measured by the current measurement unit in a state where the monochromatic light is irradiated on the reference detector is set as the second setting value. The two or more second setting values corresponding to each of the two or more second short-circuit currents are calculated in comparison with each of the two or more second short-circuit currents calculated by the short-circuit current calculation unit. A second set value calculation unit that calculates two or more second short-circuit currents for each of the plurality of second light quantities, and the second short-circuit current calculation unit The set value calculation unit calculates two or more second set values for each of the plurality of second light quantities, and the spectral sensitivity measuring device further calculates the second set value calculation unit. For each of the plurality of second light quantities. The second setting value above is a plurality of the second setting values, and includes a second setting value storage unit that stores the plurality of second setting values, and the emission control unit includes the second setting value. Each of the plurality of second setting values stored in the setting value storage unit is set in the second adjustment unit, and the monochromatic light is emitted from the second light source unit.

この構成は、第2の設定値を算出する手段を規定している。第2の設定値は、上記の通り、基準検知器が第2の短絡電流を出力するために第2の調節部に設定される値である。この構成によれば、放射照度を測定するのでなく基準検知器からの電流値を基に、単色光を出射するための設定値を決定できる。   This configuration defines means for calculating the second set value. As described above, the second set value is a value set in the second adjustment unit so that the reference detector outputs the second short-circuit current. According to this configuration, it is possible to determine a setting value for emitting monochromatic light based on the current value from the reference detector rather than measuring the irradiance.

「複数」及び「二以上」は、2以上の整数である。「複数」をn、「二以上」をmとする。nとmとは、同じでもよいし、異なっていてもよい。第2の短絡電流算出部は、n×m個の(複数の)第2の短絡電流を算出し、第2の設定値算出部は、n×m個の(複数の)第2の設定値を算出する。   “Plural” and “2 or more” are integers of 2 or more. Let “plurality” be n, and “two or more” be m. n and m may be the same or different. The second short-circuit current calculating unit calculates n × m (plural) second short-circuit currents, and the second set value calculating unit includes n × m (plural) second set values. Is calculated.

上記構成において、前記第1の調節部は、第1の絞り及び第1のNDフィルタの少なくとも一方であり、前記第2の調節部は、第2の絞り及び第2のNDフィルタの少なくとも一方である。   In the above configuration, the first adjustment unit is at least one of a first diaphragm and a first ND filter, and the second adjustment unit is at least one of a second diaphragm and a second ND filter. is there.

NDフィルタ、絞り等により、バイアス光及び単色光の光量を減衰させることで、所定の光量になるように設定できる。第1の絞りとして、開口率がそれぞれ異なる複数の貫通穴を有する第1の板部材を含むタイプの絞りを用いることができる。第2の絞りとして、開口率がそれぞれ異なる複数の貫通穴を有する第2の板部材を含むタイプの絞りを用いることができる。   It can be set to a predetermined light amount by attenuating the light amounts of the bias light and the monochromatic light with an ND filter, a diaphragm or the like. As the first diaphragm, a diaphragm of a type including a first plate member having a plurality of through holes having different aperture ratios can be used. As the second diaphragm, a type of diaphragm including a second plate member having a plurality of through holes having different aperture ratios can be used.

上記構成において、前記予め定められた条件は、太陽電池の性能を評価するための条件であるSTCである。   In the above configuration, the predetermined condition is an STC that is a condition for evaluating the performance of the solar cell.

上記構成において、前記光量比記憶部に記憶されている前記比を示す値は、デフォルト値である。   In the above configuration, the value indicating the ratio stored in the light amount ratio storage unit is a default value.

この構成によれば、比を示す値を分光感度測定装置に入力する操作を省略できる。比を示す値として、どのような値にすれば分からないときに有効である。   According to this configuration, an operation of inputting a value indicating the ratio to the spectral sensitivity measuring apparatus can be omitted. This is effective when the value indicating the ratio is unknown.

上記構成において、入力部と、前記入力部が操作されて入力された値を、前記比を示す値として前記光量比記憶部に記憶させる記憶制御部と、をさらに備える。   The above configuration further includes an input unit, and a storage control unit that stores a value input by operating the input unit in the light amount ratio storage unit as a value indicating the ratio.

この構成によれば、分光感度測定装置の操作者は、比を示す値として、所望の値を、分光感度測定装置に入力できる。   According to this configuration, the operator of the spectral sensitivity measuring apparatus can input a desired value to the spectral sensitivity measuring apparatus as a value indicating the ratio.

上記構成において、前記組合作成部によって作成された複数の前記組み合わせのそれぞれについて、前記出射制御部の制御によって前記第1の光源部から出射された前記バイアス光と前記第2の光源部から出射された前記単色光とを重ねて前記太陽電池に照射された状態で、前記電流測定部によって測定された短絡電流の中から、前記単色光による短絡電流を検出する機能を持つロックインアンプをさらに備え、前記差分分光感度算出部は、前記ロックインアンプによって、検出された前記単色光による短絡電流を用いて、前記差分分光感度を算出する。   In the above configuration, each of the plurality of combinations created by the combination creation unit is emitted from the bias light emitted from the first light source unit and the second light source unit under the control of the emission control unit. And a lock-in amplifier having a function of detecting a short-circuit current due to the monochromatic light from among the short-circuit currents measured by the current measuring unit in a state where the monochromatic light is superimposed on the solar cell. The differential spectral sensitivity calculation unit calculates the differential spectral sensitivity using a short-circuit current generated by the monochromatic light detected by the lock-in amplifier.

バイアス光による短絡電流(定常光)と単色光をチョッピングした短絡電流(AC光)から、ロックインアンプにより AC成分の単色光を取り出す事が可能になる。   It is possible to extract AC component monochromatic light from the short-circuit current (stationary light) due to the bias light and the short-circuit current (AC light) obtained by chopping the monochromatic light by the lock-in amplifier.

本発明によれば、DSR法を用いた太陽電池の絶対分光感度の測定において、任意のバイアス光量下で、高精度に差分分光感度を求める事が可能となる。   According to the present invention, in measuring the absolute spectral sensitivity of a solar cell using the DSR method, it is possible to obtain the differential spectral sensitivity with high accuracy under an arbitrary amount of bias light.

白色バイアス光と単色光とを重ねた光(合成光)の波長と、太陽電池の短絡電流との関係の第1例を示すグラフである。It is a graph which shows the 1st example of the relationship between the wavelength of the light (synthetic light) which superimposed white bias light and monochromatic light, and the short circuit current of a solar cell. 同第2例を示すグラフである。It is a graph which shows the 2nd example. 同第3例を示すグラフである。It is a graph which shows the 3rd example. 本実施形態に係る分光感度測定装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the spectral sensitivity measuring apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る分光感度測定装置に備えられる制御部の機能ブロックを説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the functional block of the control part with which the spectral sensitivity measuring apparatus which concerns on this embodiment is provided. 本実施形態に係る分光感度測定装置の動作を説明するフローチャートの前半である。It is the first half of the flowchart explaining operation | movement of the spectral sensitivity measuring apparatus which concerns on this embodiment. 同フローチャートの後半である。It is the latter half of the flowchart. 太陽電池の絶対分光感度を測定する前提となる各種設定をまとめた表である。It is the table | surface which put together various settings used as the premise which measures the absolute spectral sensitivity of a solar cell. 第1の設定値を求める工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the process of calculating | requiring a 1st setting value. 第2の発光部として用いられるキセノンランプについて、波長と放射照度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between a wavelength and irradiance about the xenon lamp used as a 2nd light emission part. 第2の設定値を求める工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the process of calculating | requiring a 2nd setting value.

以下、図面に基づいて本発明の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

発明が解決しようとする課題の欄で述べた測定誤差の原因について説明する。図1は、白色バイアス光と単色光とを重ねた光(合成光)の波長と、太陽電池の短絡電流との関係の第1例を示すグラフである。図2は、同第2例を示すグラフである。図3は、同第3例を示すグラフである。図1〜図3において、横軸は、白色バイアス光と単色光とを重ねた光の波長を示し、縦軸は、太陽電池の短絡電流を示す。   The cause of the measurement error described in the column of the problem to be solved by the invention will be described. FIG. 1 is a graph showing a first example of the relationship between the wavelength of light (combined light) obtained by superposing white bias light and monochromatic light and the short-circuit current of the solar cell. FIG. 2 is a graph showing the second example. FIG. 3 is a graph showing the third example. 1 to 3, the horizontal axis indicates the wavelength of light obtained by superimposing white bias light and monochromatic light, and the vertical axis indicates the short-circuit current of the solar cell.

図1〜図3を参照して、ハッチングが密の領域が単色光による短絡電流を表し、ハッチングが粗の領域が広い波長範囲を持つ白色バイアス光(例えばAM1.5G)による短絡電流を表し、ハッチングが密の領域とハッチングが粗の領域とを合わせた領域が、白色バイアス光と単色光とを重ねた光による短絡電流を表している。   Referring to FIGS. 1 to 3, a hatched area represents a short-circuit current due to monochromatic light, and a hatched area represents a short-circuit current due to white bias light (for example, AM1.5G) having a wide wavelength range. A region obtained by combining a dense hatching region and a rough hatching region represents a short-circuit current caused by light obtained by superimposing white bias light and monochromatic light.

白色バイアス光による短絡電流は、太陽電池の分光感度と照射した光源の放射照度の畳み込み積分のより求まる値であり、波長依存性がない。他方、単色光による短絡電流は、300〜1100nmの波長において異なる。DSRの演算においては、各白色バイアス光毎に、測定した白色バイアスのよる短絡電流を基に演算しているので、単色光により基となる白色バイアス光による短絡電流が大きく変化してしまう。これが絶対分光感度の測定誤差の原因となる。   The short-circuit current due to the white bias light is a value obtained from the convolution integral of the spectral sensitivity of the solar cell and the irradiance of the irradiated light source, and has no wavelength dependency. On the other hand, the short circuit current due to monochromatic light is different at wavelengths of 300 to 1100 nm. In the calculation of DSR, the calculation is performed based on the short-circuit current due to the measured white bias for each white bias light, so that the short-circuit current due to the white bias light that is the base changes greatly due to the monochromatic light. This causes a measurement error in absolute spectral sensitivity.

図1に示すグラフは、1000W/mの白色バイアス光、1W/mの単色光の場合を示している。ib_1000Wで示すハッチングが粗の領域は、1000W/mの白色バイアス光による短絡電流を表している。ib_s(λ)で示すハッチングが密の領域は、1W/mの単色光による短絡電流を表している。 The graph shown in Figure 1, white bias light of 1000W / m 2, shows the case of a monochromatic light of 1W / m 2. The area with rough hatching indicated by ib — 1000 W represents a short-circuit current due to white bias light of 1000 W / m 2 . A densely hatched area indicated by ib_s (λ) represents a short-circuit current due to monochromatic light of 1 W / m 2 .

1000W/mの白色バイアス光、1W/mの単色光の場合では、放射照度の比が1000:1であり、比が大きいので、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の変動が相対的に小さい。このため、絶対分光感度の測定誤差量が少ない。 White bias light of 1000W / m 2, in the case of the monochromatic light of 1W / m 2, the ratio of irradiance 1000: 1, and the specific is large, relative to the short-circuit current due to the white bias light, short circuit due to monochromatic light Current fluctuation is relatively small. For this reason, the measurement error amount of the absolute spectral sensitivity is small.

本発明者の実測によれば、1000W/mの白色バイアス光による短絡電流は、8mAであり、1W/mの単色光(波長546nm)による短絡電流は、86μAであった。従って、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の比は、約1%(=(86μA/8mA)×100)であった。これは、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の変動が相対的に小さいことを示している。 According to actual measurement by the present inventor, the short-circuit current due to white bias light of 1000 W / m 2 was 8 mA, and the short-circuit current due to monochromatic light (wavelength 546 nm) of 1 W / m 2 was 86 μA. Therefore, the ratio of the short-circuit current due to the monochromatic light to the short-circuit current due to the white bias light was about 1% (= (86 μA / 8 mA) × 100). This indicates that the fluctuation of the short-circuit current due to the monochromatic light is relatively small with respect to the short-circuit current due to the white bias light.

非線形の太陽電池は、放射照度により分光感度が異なる太陽電池である。DSR法によって、非線形の太陽電池の絶対分光感度を測定するとき、短絡電流が大きく変化する白色バイアス光の放射照度において、差分分光感度を測定する必要がある。例えば、色素増感太陽電池は、10W/m付近で大きな非線形性を有する物がある。このような太陽電池の絶対分光感度を測定する場合、10W/mの白色バイアス光において、差分分光感度を測定することが重要となる。 Non-linear solar cells are solar cells having different spectral sensitivities depending on irradiance. When measuring the absolute spectral sensitivity of a non-linear solar cell by the DSR method, it is necessary to measure the differential spectral sensitivity at the irradiance of white bias light in which the short-circuit current changes greatly. For example, some dye-sensitized solar cells have large nonlinearity near 10 W / m 2 . When measuring the absolute spectral sensitivity of such a solar cell, it is important to measure the differential spectral sensitivity in white bias light of 10 W / m 2 .

図2に示すグラフは、10W/mの白色バイアス光、1W/mの単色光の場合を示している。ib_10Wで示すハッチングが粗の領域は、10W/mの白色バイアス光による短絡電流を表している。ib_s(λ)で示すハッチングが密の領域は、1W/mの単色光による短絡電流を表している。 The graph shown in FIG. 2, white bias light of 10 W / m 2, shows the case of a monochromatic light of 1W / m 2. The area | region where hatching shown by ib_10W is rough represents the short circuit current by the white bias light of 10 W / m < 2 >. A densely hatched area indicated by ib_s (λ) represents a short-circuit current due to monochromatic light of 1 W / m 2 .

10W/mの白色バイアス光、1W/mの単色光の場合では、放射照度の比が10:1であり、放射照度の比が小さいので、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の変動が相対的に大きい。また、測定対象の太陽電池の分光感度特性のために、単色光の波長に応じて、単色光による短絡電流が大きく変動する。これらが、絶対分光感度の測定誤差の原因になる。 White bias light of 10 W / m 2, in the case of monochromatic light of 1W / m 2, the ratio of the irradiance 10: 1, the ratio of the irradiance is small, relative to the short-circuit current due to the white bias light, monochromatic The fluctuation of the short circuit current due to light is relatively large. In addition, due to the spectral sensitivity characteristics of the solar cell to be measured, the short-circuit current due to the monochromatic light varies greatly depending on the wavelength of the monochromatic light. These cause measurement errors in absolute spectral sensitivity.

本発明者の実測によれば、10W/mの白色バイアス光による短絡電流は、80μAであり、1W/mの単色光(波長546nm)による短絡電流は、86μAであった。従って、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の比は、約108%(=(86μA/80μA)×100)であった。これは、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の変動が相対的に大きいことを示している。 According to actual measurement by the present inventor, the short-circuit current by white bias light of 10 W / m 2 was 80 μA, and the short-circuit current by monochromatic light of 1 W / m 2 (wavelength 546 nm) was 86 μA. Therefore, the ratio of the short-circuit current due to the monochromatic light to the short-circuit current due to the white bias light was about 108% (= (86 μA / 80 μA) × 100). This indicates that the fluctuation of the short-circuit current due to the monochromatic light is relatively large with respect to the short-circuit current due to the white bias light.

以上説明したように、DSR法において、白色バイアス光の放射照度を順次に変えることによって各放射照度に対する各差分分光感度をそれぞれ測定する際に、単色光の放射照度を同じにすれば、絶対分光感度の測定誤差の原因となる。   As described above, in the DSR method, when measuring each differential spectral sensitivity for each irradiance by sequentially changing the irradiance of the white bias light, if the irradiance of the monochromatic light is the same, the absolute spectral It causes a measurement error of sensitivity.

そこで、白色バイアス光の放射照度と単色光の放射照度との比を予め設定することにより、白色バイアス光の放射照度が大きいとき、単色光の放射照度を大きくし、白色バイアス光の放射照度が小さいとき、単色光の放射照度を小さくする。   Therefore, by setting the ratio of the irradiance of the white bias light and the irradiance of the monochromatic light in advance, when the irradiance of the white bias light is large, the irradiance of the monochromatic light is increased and the irradiance of the white bias light is increased. When it is small, the irradiance of monochromatic light is reduced.

例えば、白色バイアス光の放射照度と単色光の放射照度との比を、1000:1とする。1000W/mの白色バイアス光のとき、単色光は、1W/mとなる。この場合は、図1に示すグラフとなるので、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の変動が相対的に小さくなる。 For example, the ratio between the irradiance of white bias light and the irradiance of monochromatic light is set to 1000: 1. When the white bias light is 1000 W / m 2 , the monochromatic light is 1 W / m 2 . In this case, since the graph shown in FIG. 1 is obtained, the fluctuation of the short-circuit current due to the monochromatic light is relatively small with respect to the short-circuit current due to the white bias light.

10W/mの白色バイアス光のとき、単色光は、0.01W/mとなる。この場合は、図2に示すグラフでなく、図3に示すグラフとなる。ib_10Wで示すハッチングが粗の領域は、10W/mの白色バイアス光による短絡電流を表している。ib_s(λ)で示すハッチングが密の領域は、0.01W/mの単色光による短絡電流を表している。白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の変動が相対的に小さくなる。 When the white bias light is 10 W / m 2 , the monochromatic light is 0.01 W / m 2 . In this case, the graph shown in FIG. 3 is obtained instead of the graph shown in FIG. The area | region where hatching shown by ib_10W is rough represents the short circuit current by the white bias light of 10 W / m < 2 >. A dense hatched area indicated by ib_s (λ) represents a short-circuit current by monochromatic light of 0.01 W / m 2 . The short-circuit current due to the monochromatic light is relatively small with respect to the short-circuit current due to the white bias light.

本発明者の実測によれば、10W/mの白色バイアス光による短絡電流は、80μAであり、0.01W/mの単色光(波長546nm)による短絡電流は、860nAであった。従って、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の比は、約1%(=(860nA/80μA)×100)であった。これは、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の変動が相対的に小さいことを示している。 According to actual measurement by the present inventor, the short-circuit current with white bias light of 10 W / m 2 was 80 μA, and the short-circuit current with monochromatic light of 0.01 W / m 2 (wavelength 546 nm) was 860 nA. Therefore, the ratio of the short-circuit current due to the monochromatic light to the short-circuit current due to the white bias light was about 1% (= (860 nA / 80 μA) × 100). This indicates that the fluctuation of the short-circuit current due to the monochromatic light is relatively small with respect to the short-circuit current due to the white bias light.

次に、本実施形態に係る分光感度測定装置1の構成を説明する。図4は、その構成を示すブロック図である。分光感度測定装置1は、第1の光源部2、第2の光源部3、照射部4、電流測定部5、制御部6、入力部7及び出力部8を備える。   Next, the configuration of the spectral sensitivity measuring apparatus 1 according to this embodiment will be described. FIG. 4 is a block diagram showing the configuration. The spectral sensitivity measurement apparatus 1 includes a first light source unit 2, a second light source unit 3, an irradiation unit 4, a current measurement unit 5, a control unit 6, an input unit 7, and an output unit 8.

第1の光源部2は、白色バイアス光の光量を調節して白色バイアス光を出射する。白色バイアス光は、バイアス光の一例である。第1の光源部2は、第1の発光部20、平面鏡21、シャッタ22、光学フィルタ23、絞り24(第1の絞りの具体例)及びND(Neutral Density)フィルタ25(第1のNDフィルタの具体例)を備える。   The first light source unit 2 adjusts the amount of white bias light and emits white bias light. White bias light is an example of bias light. The first light source unit 2 includes a first light emitting unit 20, a plane mirror 21, a shutter 22, an optical filter 23, a diaphragm 24 (specific example of the first diaphragm), and an ND (Neutral Density) filter 25 (first ND filter). Specific example).

第1の発光部20は、白色バイアス光を放射する。白色バイアス光は、測定対象Wの太陽電池に一定量の短絡電流を流す為の光である。第1の発光部20は、例えば、ハロゲンランプ又はキセノンランプである。   The first light emitting unit 20 emits white bias light. The white bias light is light for causing a certain amount of short-circuit current to flow through the solar cell of the measurement target W. The first light emitting unit 20 is, for example, a halogen lamp or a xenon lamp.

第1の発光部20が放射した白色バイアス光の光路に、平面鏡21が配置されている。平面鏡21は、第1の発光部20が放射した白色バイアス光を反射する。   A plane mirror 21 is disposed in the optical path of the white bias light emitted from the first light emitting unit 20. The plane mirror 21 reflects the white bias light emitted from the first light emitting unit 20.

平面鏡21で90度反射された白色バイアス光の光路に、シャッタ22、光学フィルタ23、絞り24及びNDフィルタ25が順に配置されている。   A shutter 22, an optical filter 23, an aperture 24, and an ND filter 25 are sequentially arranged on the optical path of the white bias light reflected 90 degrees by the plane mirror 21.

シャッタ22が開かれていると、第1の光源部2から白色バイアス光が出射され、シャッタ22が閉じられていると、遮光され、第1の光源部2から白色バイアス光が出射されない。第1の発光部20が安定した白色バイアス光を放射するのに時間がかかるので、分光感度測定装置1の使用中、第1の発光部20は、ON状態であり、白色バイアス光を放射している。白色バイアス光を使用するとき、シャッタ22が開けられ、白色バイアス光を使用しないとき、シャッタ22が閉じられる。   When the shutter 22 is open, white bias light is emitted from the first light source unit 2, and when the shutter 22 is closed, light is shielded and no white bias light is emitted from the first light source unit 2. Since it takes time for the first light emitting unit 20 to emit stable white bias light, the first light emitting unit 20 is in an ON state and emits white bias light while the spectral sensitivity measuring apparatus 1 is in use. ing. When the white bias light is used, the shutter 22 is opened, and when the white bias light is not used, the shutter 22 is closed.

国際規格では、太陽電池評価用の基準太陽光として、AM1.5G(Air Mass 1.5G)を定義している。光学フィルタ23は、第1の発光部20が放射した白色バイアス光を、AM1.5Gで定義された基準太陽光が有する分光スペクトルと近似する分光スペクトルを有する白色バイアス光(擬似太陽光)に変換する。   In the international standard, AM1.5G (Air Mass 1.5G) is defined as reference sunlight for solar cell evaluation. The optical filter 23 converts the white bias light emitted from the first light emitting unit 20 into white bias light (pseudo-sunlight) having a spectral spectrum that approximates the spectral spectrum of the reference sunlight defined by AM1.5G. To do.

光学フィルタ23で、擬似太陽光に変換された白色バイアス光の光量は、絞り24及びNDフィルタ25によって調節される。絞り24は、例えば、開口面積を可変する光彩絞りである。なお、絞り24として、光彩絞りに替えて、開口率がそれぞれ異なる複数の貫通穴を有する板部材を用いてもよい。板部材は、具体的には、開口率がそれぞれ異なる複数の貫通穴が2次元に形成されたパンチングメタルである。絞り24及びNDフィルタ25は、第1の発光部20によって放射された白色バイアス光の光量を調節する第1の調節部26として機能する。絞り24、NDフィルタ25により、白色バイアス光の光量を減衰させることで、所定の光量になるように設定できる。絞り24及びNDフィルタ25の両方を配置せずに、いずれか一方を配置して、第1の調節部26としてもよい。   The amount of white bias light converted to pseudo sunlight by the optical filter 23 is adjusted by the diaphragm 24 and the ND filter 25. The diaphragm 24 is, for example, a luminous diaphragm that varies the aperture area. As the diaphragm 24, a plate member having a plurality of through holes with different aperture ratios may be used instead of the iris diaphragm. Specifically, the plate member is a punching metal in which a plurality of through holes having different opening ratios are two-dimensionally formed. The diaphragm 24 and the ND filter 25 function as a first adjustment unit 26 that adjusts the amount of white bias light emitted by the first light emitting unit 20. The diaphragm 24 and the ND filter 25 can be set to obtain a predetermined light amount by attenuating the amount of white bias light. Either the diaphragm 24 or the ND filter 25 may not be disposed, and either one may be disposed as the first adjusting unit 26.

絞り24及びNDフィルタ25を通過した白色バイアス光は、第1の光源部2から外部に出射され、この白色バイアス光は、照射部4に入射する。   The white bias light that has passed through the diaphragm 24 and the ND filter 25 is emitted to the outside from the first light source unit 2, and this white bias light is incident on the irradiation unit 4.

第2の光源部3は、単色光の光量を調節して単色光を出射する。第2の光源部3は、第2の発光部30、スリット31、絞り32(第2の絞りの具体例)、回折格子33、シャッタ34、NDフィルタ35(第2のNDフィルタの具体例)及びチョッパ36を備える。   The second light source unit 3 adjusts the amount of monochromatic light and emits monochromatic light. The second light source unit 3 includes a second light emitting unit 30, a slit 31, a diaphragm 32 (specific example of the second diaphragm), a diffraction grating 33, a shutter 34, and an ND filter 35 (specific example of the second ND filter). And a chopper 36.

第2の発光部30は、回折格子33によって選択された単色光の波長を含む、所定の波長帯域の光を放射する。第2の発光部30は、例えば、キセノンランプ等の白色ランプである。なお、第2の光源部3において、第1の発光部20からの光と第2の発光部30からの光とが交差しているが、これは作図上の理由であり、実際には交差していない。   The second light emitting unit 30 emits light in a predetermined wavelength band including the wavelength of monochromatic light selected by the diffraction grating 33. The second light emitting unit 30 is, for example, a white lamp such as a xenon lamp. In the second light source unit 3, the light from the first light-emitting unit 20 and the light from the second light-emitting unit 30 intersect, but this is the reason for drawing and actually intersects. Not done.

第2の発光部30が放射した光の光路に、スリット31、絞り32及び回折格子33が配置されている。第2の光源部3は、スリット31及び回折格子33を構成要素として含むモノクロメータ38を備える。モノクロメータ38は、単色光生成部の具体例であり、第2の発光部30によって放射された光を用いて単色光を生成する。   A slit 31, a stop 32, and a diffraction grating 33 are disposed in the optical path of the light emitted from the second light emitting unit 30. The second light source unit 3 includes a monochromator 38 including a slit 31 and a diffraction grating 33 as components. The monochromator 38 is a specific example of the monochromatic light generation unit, and generates monochromatic light using the light emitted by the second light emitting unit 30.

モノクロメータ38は、第2の発光部30が放射した光を、制御部6の指示に応じた所定の波長で単色光化して射出する装置である。モノクロメータ38は、例えば、第2の発光部30から放射された所定の波長帯域の光を回折格子33で回折し、狭い範囲の波長のみを取り出す分光器である。   The monochromator 38 is a device that emits the light emitted from the second light emitting unit 30 by making it monochromatic light at a predetermined wavelength according to an instruction from the control unit 6. The monochromator 38 is, for example, a spectroscope that diffracts light of a predetermined wavelength band emitted from the second light emitting unit 30 with the diffraction grating 33 and extracts only a narrow range of wavelengths.

モノクロメータ38は、例えば、入射スリット(スリット31)、反射型の回折格子33及び出射スリット(不図示)を備え、入射スリットを介して入射された入射光束を反射型の回折格子33で回折し、回折格子33で回折された入射光束の回折光のうち、出射スリットで所定の波長のみを取り出す装置である。モノクロメータ38は、このような構成によって、回折格子33等を回転させてスリットの位置に到達する光の波長を選択させ、所望の範囲の波長のみを取り出すこと(単色光化)ができる。   The monochromator 38 includes, for example, an entrance slit (slit 31), a reflective diffraction grating 33, and an exit slit (not shown), and diffracts an incident light beam incident through the entrance slit by the reflective diffraction grating 33. In this apparatus, only a predetermined wavelength is extracted from the diffracted light of the incident light beam diffracted by the diffraction grating 33 by the exit slit. With such a configuration, the monochromator 38 can extract only the wavelength in a desired range by rotating the diffraction grating 33 and the like to select the wavelength of light reaching the slit position (single-color light conversion).

モノクロメータ38は、所望する範囲の波長を取り出すように制御部6によって制御される。   The monochromator 38 is controlled by the controller 6 so as to extract a desired range of wavelengths.

絞り32は、例えば、光彩絞りであり、スリット31を通過した光の光量を調節する。絞り32は、後で説明する第2の調節部37として機能する。なお、絞り32として、光彩絞りに替えて、開口率がそれぞれ異なる複数の貫通穴を有する板部材を用いてもよい。板部材は、具体的には、開口率がそれぞれ異なる複数の貫通穴が2次元に形成されたパンチングメタルである。   The diaphragm 32 is, for example, a chromatic diaphragm, and adjusts the amount of light that has passed through the slit 31. The diaphragm 32 functions as a second adjustment unit 37 described later. Note that a plate member having a plurality of through holes with different aperture ratios may be used as the diaphragm 32 instead of the iris diaphragm. Specifically, the plate member is a punching metal in which a plurality of through holes having different opening ratios are two-dimensionally formed.

モノクロメータ38から射出された単色光の光路に、シャッタ34、NDフィルタ35及びチョッパ36が順に配置されている。   A shutter 34, an ND filter 35, and a chopper 36 are arranged in this order on the optical path of monochromatic light emitted from the monochromator 38.

シャッタ34が開かれていると、第2の光源部3から単色光が出射され、シャッタ34が閉じられていると、遮光して、第2の光源部3から単色光が出射されない。第2の発光部30が安定した光を放射するのに時間がかかるので、分光感度測定装置1の使用中、第2の発光部30は、ON状態であり、光を放射している。単色光を使用するとき、シャッタ34が開けられ、単色光を使用しないとき、シャッタ34が閉じられる。   When the shutter 34 is opened, the monochromatic light is emitted from the second light source unit 3, and when the shutter 34 is closed, the monochromatic light is not emitted from the second light source unit 3. Since it takes time for the second light emitting unit 30 to emit stable light, the second light emitting unit 30 is in an ON state and emits light during use of the spectral sensitivity measuring apparatus 1. When using monochromatic light, the shutter 34 is opened, and when not using monochromatic light, the shutter 34 is closed.

NDフィルタ35及び絞り32は、モノクロメータ38(単色光生成部)によって生成された単色光の光量を調節する第2の調節部37として機能する。NDフィルタ35、絞り32により、単色光の光量を減衰させることで、所定の光量になるように設定できる。NDフィルタ35及び絞り32の両方を配置せずに、いずれか一方を配置して、第2の調節部37としてもよい。   The ND filter 35 and the diaphragm 32 function as a second adjustment unit 37 that adjusts the amount of monochromatic light generated by the monochromator 38 (monochromatic light generation unit). The ND filter 35 and the diaphragm 32 can be set to a predetermined light amount by attenuating the light amount of monochromatic light. Either one of the ND filter 35 and the diaphragm 32 may be arranged instead of the ND filter 35 and the diaphragm 32 to form the second adjustment unit 37.

NDフィルタ35により光量が調節された単色光は、チョッパ36に入射する。チョッパ36は、入射した単色光を周期的にチョッピングすることによって、点灯と消灯とを交互に起こさせる。これにより光量がパルス状に変化する単色光が得られる。この単色光は、第2の光源部3から外部に出射され、照射部4に入射する。   The monochromatic light whose light amount is adjusted by the ND filter 35 enters the chopper 36. The chopper 36 alternately turns on and off by periodically chopping the incident monochromatic light. Thereby, monochromatic light whose light quantity changes in a pulse shape is obtained. The monochromatic light is emitted to the outside from the second light source unit 3 and enters the irradiation unit 4.

照射部4は、第1の光源部2から出射された白色バイアス光と第2の光源部3から出射された単色光とを重ねた光である合成光を生成し、ステージ9に載置された測定対象Wに照射する。測定対象Wは、基準検知器や太陽電池である。   The irradiation unit 4 generates combined light, which is light obtained by superimposing the white bias light emitted from the first light source unit 2 and the monochromatic light emitted from the second light source unit 3, and is placed on the stage 9. The measurement object W is irradiated. The measurement target W is a reference detector or a solar battery.

太陽電池の絶対分光感度を測定するとき、測定対象Wは太陽電池である。この測定をする前に、後で説明するように白色バイアス光及び単色光が所望の光量になるように、分光感度測定装置1が校正される。この校正作業時には、測定対象Wは基準検知器である。   When measuring the absolute spectral sensitivity of a solar cell, the measuring object W is a solar cell. Prior to this measurement, the spectral sensitivity measuring apparatus 1 is calibrated so that the white bias light and the monochromatic light have desired light quantities as will be described later. During this calibration operation, the measurement target W is a reference detector.

基準検知器は、例えばSTC(1000W/m、25度、AM1.5G)において、基準検知器から出力される短絡電流及び分光感度が予め特定されている機器である。基準検知器は、例えば、基準太陽電池セルであったり、Siフォトダイオードである。 The reference detector is a device in which, for example, in STC (1000 W / m 2 , 25 degrees, AM1.5G), the short-circuit current and the spectral sensitivity output from the reference detector are specified in advance. The reference detector is, for example, a reference solar cell or a Si photodiode.

照射部4は、ハーフミラー40、投光レンズ41及びマスク42を備える。第1の光源部2から出射された白色バイアス光及び第2の光源部3から出射された単色光は、ハーフミラー40で重ねられ、白色バイアス光と単色光とを重ねた光(合成光)が生成される。合成光は、投光レンズ41で集光され、マスク42を介して、測定対象Wに照射される。   The irradiation unit 4 includes a half mirror 40, a light projecting lens 41, and a mask 42. The white bias light emitted from the first light source unit 2 and the monochromatic light emitted from the second light source unit 3 are overlapped by the half mirror 40, and light (combined light) obtained by superimposing the white bias light and the monochromatic light. Is generated. The combined light is collected by the light projecting lens 41 and irradiated onto the measurement object W through the mask 42.

合成光は、その断面の中央部において、一様な明るさを有するが、周辺部ではレンズのシェーディング特性等により、明るさが均一でなくなる。この為に、マスク42により、合成光の中央部だけを測定対象Wに照射されるようにする。   The synthesized light has a uniform brightness at the center of the cross section, but the brightness is not uniform at the periphery due to the shading characteristics of the lens. For this purpose, only the central part of the combined light is irradiated onto the measuring object W by the mask 42.

電流測定部5は、測定対象Wの短絡電流を測定する。電流測定部5は、ロックインアンプ50を備える。ロックインアンプ50は、照射部4が上記合成光を測定対象Wに照射した状態で(言い換えれば、組合作成部62によって作成された複数の組み合わせのそれぞれについて、出射制御部63の制御によって第1の光源部2から出射されたバイアス光と第2の光源部3から出射された単色光とを重ねて測定対象Wに照射された状態で)、電流測定部5によって測定された短絡電流の中から、単色光による短絡電流だけを検出して増幅する機能を持っている回路である。別法として、ロックインアンプを使わずに、定常光とAC光の合成した光からの短絡電流を、測定して演算によりAC光成分を取り出してもよい。   The current measuring unit 5 measures the short-circuit current of the measurement target W. The current measuring unit 5 includes a lock-in amplifier 50. The lock-in amplifier 50 is in a state in which the irradiation unit 4 irradiates the measurement target W with the combined light (in other words, for each of a plurality of combinations created by the combination creation unit 62, the first control is performed by the emission control unit 63). Of the short-circuit current measured by the current measuring unit 5 in a state in which the bias light emitted from the light source unit 2 and the monochromatic light emitted from the second light source unit 3 are superimposed on each other and irradiated onto the measuring object W) Therefore, this circuit has a function of detecting and amplifying only a short-circuit current due to monochromatic light. Alternatively, without using a lock-in amplifier, the AC light component may be extracted by measuring the short-circuit current from the combined light of the steady light and the AC light.

制御部6は、分光感度測定装置1を制御する。図5は、制御部6の機能ブロックを説明する説明図である。制御部6は、CPU、RAM及びROM等によって実現され、機能ブロックとして、光量比記憶部60、バイアス光量記憶部61、組合作成部62、出射制御部63、差分分光感度算出部64、絶対分光感度算出部65、第1の短絡電流算出部66、第1の設定値算出部67、第1の設定値記憶部68、第2の短絡電流算出部69、第2の設定値算出部70、第2の設定値記憶部71及び記憶制御部72を備える。これらのブロックの詳細は、後で説明する。   The control unit 6 controls the spectral sensitivity measuring device 1. FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating functional blocks of the control unit 6. The control unit 6 is realized by a CPU, a RAM, a ROM, and the like, and functions as a light amount ratio storage unit 60, a bias light amount storage unit 61, a combination creation unit 62, an emission control unit 63, a difference spectral sensitivity calculation unit 64, an absolute spectrum. A sensitivity calculation unit 65, a first short-circuit current calculation unit 66, a first set value calculation unit 67, a first set value storage unit 68, a second short-circuit current calculation unit 69, a second set value calculation unit 70, A second set value storage unit 71 and a storage control unit 72 are provided. Details of these blocks will be described later.

図4を参照して、入力部7は、外部からコマンド(命令)やデータ等を分光感度測定装置1に入力するための装置であり、例えば、タッチパネルやキーボード等である。   With reference to FIG. 4, the input unit 7 is a device for inputting a command (command), data, and the like from the outside to the spectral sensitivity measuring device 1, and is, for example, a touch panel or a keyboard.

出力部8は、入力部7から入力されたコマンドやデータ及び制御部6の演算結果等を出力するための装置であり、例えば、LCD(液晶ディスプレイ)や有機ELディスプレイ等の表示装置や、例えば、プリンタ等の印刷装置である。   The output unit 8 is a device for outputting the command and data input from the input unit 7 and the calculation result of the control unit 6, for example, a display device such as an LCD (liquid crystal display) or an organic EL display, A printing apparatus such as a printer.

本実施形態に係る分光感度測定装置1の動作を説明する。図6及び図7は、その動作を説明するフローチャートである。分光感度測定装置1は、太陽電池の絶対分光感度を測定する前提として、各種設定をする。図8は、各種設定をまとめた表である。この表については、分光感度測定装置1の動作と一緒に説明する。   The operation of the spectral sensitivity measuring apparatus 1 according to this embodiment will be described. 6 and 7 are flowcharts for explaining the operation. The spectral sensitivity measuring apparatus 1 performs various settings as a premise for measuring the absolute spectral sensitivity of the solar cell. FIG. 8 is a table summarizing various settings. This table will be described together with the operation of the spectral sensitivity measuring apparatus 1.

図4〜図6を参照して、操作者は、入力部7を操作して、太陽電池の絶対分光感度を測定するために、装置の光量の絶対値校正を行う。この絶対値校正の行うために、出射制御部63は、第1の光源部2のシャッタ22及び第2の光源部3のシャッタ34を閉じる制御をし、かつ、第1の発光部20及び第2の発光部30を点灯させる制御をする(ステップS1)。第1の発光部20が放射する白色バイアス光及び第2の発光部30が放射する光が安定するのに時間がかかるので、予め、第1の発光部20及び第2の発光部30を点灯する。   4 to 6, the operator operates the input unit 7 to calibrate the absolute value of the light amount of the apparatus in order to measure the absolute spectral sensitivity of the solar cell. In order to perform the absolute value calibration, the emission control unit 63 performs control to close the shutter 22 of the first light source unit 2 and the shutter 34 of the second light source unit 3, and the first light emitting unit 20 and the first light emitting unit 20. Control is performed to turn on the second light emitting unit 30 (step S1). Since it takes time to stabilize the white bias light emitted from the first light emitting unit 20 and the light emitted from the second light emitting unit 30, the first light emitting unit 20 and the second light emitting unit 30 are turned on in advance. To do.

操作者は、入力部7を操作して、白色バイアス光の光量である第1の光量と単色光の光量である第2の光量との比を示す値Kを入力する(ステップS2)。例えば、第1の光量:第2の光量=1000:1のとき、値Kとして、1000を入力する。記憶制御部72は、入力された値Kを光量比記憶部60に記憶させる。操作者は、比を示す値Kとして、所望の値を、分光感度測定装置1に入力できる。   The operator operates the input unit 7 to input a value K indicating the ratio between the first light amount that is the amount of white bias light and the second light amount that is the amount of monochromatic light (step S2). For example, when the first light quantity: the second light quantity = 1000: 1, 1000 is input as the value K. The storage control unit 72 stores the input value K in the light amount ratio storage unit 60. The operator can input a desired value to the spectral sensitivity measuring apparatus 1 as the value K indicating the ratio.

なお、値Kをデフォルト値にしてもよい。すなわち、光量比記憶部60に、値Kがデフォルトで設定されている。これによれば、比を示す値Kを分光感度測定装置1に入力する操作(ステップS2)を省略できる。比を示す値Kとして、どのような値にすれば分からないときに有効である。   Note that the value K may be a default value. That is, the value K is set in the light amount ratio storage unit 60 by default. According to this, the operation (step S2) of inputting the value K indicating the ratio to the spectral sensitivity measuring apparatus 1 can be omitted. This is effective when the value K indicating the ratio is unknown.

操作者は、入力部7を操作して、互いに異なる複数の第1の光量を入力する(ステップS3)。Eb_iは、第1の光量を示している。iは、1〜nのいずれかの数を示している。nは、1より大きい整数である。nは、例えば、10(すなわち、10種類の第1の光量)であるが、説明の簡略化のため、nが3(すなわち、3個の第1の光量)を例にして説明する。   The operator operates the input unit 7 to input a plurality of different first light amounts (step S3). Eb_i indicates the first light quantity. i represents any number from 1 to n. n is an integer greater than 1. For example, n is 10 (that is, 10 types of first light amounts), but for simplification of description, n is 3 (that is, 3 first light amounts) as an example.

Eb_1で示される第1の光量(例えば、1000)、Eb_2で示される第1の光量(例えば、500)、Eb_3で示される第1の光量(例えば、100)が入力されたとする。記憶制御部72は、入力された互いに異なる複数の第1の光量をバイアス光量記憶部61に記憶させる。図8において、第1の光量の欄に示される数字(1000、500、100)は、入力された第1の光量と対応する。   It is assumed that a first light amount (for example, 1000) indicated by Eb_1, a first light amount (for example, 500) indicated by Eb_2, and a first light amount (for example, 100) indicated by Eb_3 are input. The storage control unit 72 causes the bias light amount storage unit 61 to store a plurality of input first light amounts different from each other. In FIG. 8, the numbers (1000, 500, 100) shown in the first light quantity column correspond to the input first light quantity.

組合作成部62は、バイアス光量記憶部61に記憶されている複数の第1の光量のそれぞれに対応する複数の第2の光量を、光量比記憶部60に記憶されている比を示す値Kを用いて算出し、第1の光量とその第1の光量に対応する第2の光量との組み合わせを複数作成する(ステップS4)。Em_iは、第2の光量を示している。   The combination creating unit 62 represents a plurality of second light amounts corresponding to the plurality of first light amounts stored in the bias light amount storage unit 61, and a value K indicating a ratio stored in the light amount ratio storage unit 60. And a plurality of combinations of the first light quantity and the second light quantity corresponding to the first light quantity are created (step S4). Em_i indicates the second light quantity.

値Kが1000とする。Eb_1で示される第1の光量が1000のとき、Em_1で示される第2の光量は1であり、これらが一つの組み合わせとなる。Eb_2で示される第1の光量が500のとき、Em_2で示される第2の光量は0.5であり、これらが一つの組み合わせとなる。Eb_3で示される第1の光量が100のとき、Em_3で示される第2の光量は0.1であり、これらが一つの組み合わせとなる。複数の組み合わせの数は、複数の第1の光量の数や複数の第2の光量の数と同じである。   The value K is assumed to be 1000. When the first light quantity indicated by Eb_1 is 1000, the second light quantity indicated by Em_1 is 1, and these are one combination. When the first light quantity indicated by Eb_2 is 500, the second light quantity indicated by Em_2 is 0.5, and these are one combination. When the first light quantity indicated by Eb_3 is 100, the second light quantity indicated by Em_3 is 0.1, and these are one combination. The number of combinations is the same as the number of first light amounts and the number of second light amounts.

図8において、第2の光量の欄に示される数字(1、0.5、0.1)は、値Kを用いて算出された第2の光量と対応する。   In FIG. 8, the numbers (1, 0.5, 0.1) shown in the second light quantity column correspond to the second light quantity calculated using the value K.

次に、第1の光源が出射する白色バイアス光の光量の絶対値を求める(ステップS5〜ステップS8)。詳しく説明すると、操作者は、ステージ9に基準検知器(測定対象W)を載置する。制御部6は、白色バイアス光の光量の絶対値を求める命令を入力する。これにより、出射制御部63は、第1の光源部2のシャッタ22を開け、かつ、第2の光源部3のシャッタ34を閉じる制御をする。この制御によって、第1の光源部2から出射された白色バイアス光は、照射部4によって、測定対象Wの基準検知器に照射される。電流測定部5は、その状態で、基準検知器から出力されている短絡電流Ib_stcを測定する(ステップS5)。   Next, the absolute value of the amount of white bias light emitted from the first light source is obtained (steps S5 to S8). More specifically, the operator places the reference detector (measurement target W) on the stage 9. The control unit 6 inputs a command for obtaining the absolute value of the amount of white bias light. Thus, the emission control unit 63 performs control to open the shutter 22 of the first light source unit 2 and close the shutter 34 of the second light source unit 3. By this control, the white bias light emitted from the first light source unit 2 is irradiated to the reference detector of the measurement target W by the irradiation unit 4. In this state, the current measurement unit 5 measures the short-circuit current Ib_stc output from the reference detector (step S5).

出射制御部63は、短絡電流Ib_stcが、短絡電流Istcと一致するか否かを判定する(ステップS6)。短絡電流Istcは、STCにおいて、基準検知器から出力される短絡電流であり、予め特定されている。   The emission control unit 63 determines whether or not the short circuit current Ib_stc matches the short circuit current Istc (step S6). The short circuit current Istc is a short circuit current output from the reference detector in the STC and is specified in advance.

出射制御部63が、短絡電流Ib_stcが短絡電流Istcと一致しないと判定したとき(ステップS6でNo)、第1の調節部26(つまり、第1の光源部2の絞り24及びNDフィルタ25)を制御して、第1の光源部2から出射される白色バイアス光の光量を調節する(ステップS7)。そして、ステップS5に戻る。   When the emission control unit 63 determines that the short-circuit current Ib_stc does not match the short-circuit current Istc (No in step S6), the first adjustment unit 26 (that is, the diaphragm 24 and the ND filter 25 of the first light source unit 2). To adjust the amount of white bias light emitted from the first light source unit 2 (step S7). Then, the process returns to step S5.

出射制御部63が、短絡電流Ib_stcが短絡電流Istcと一致すると判定したとき(ステップS6でYes)、白色バイアス光の光量の絶対値が確定される。出射制御部63は、この時点で第1の調節部26に設定されている値(つまり、第1の光源部2の絞り24及びNDフィルタ25に設定されている値)を記憶する(ステップS8)。   When the emission control unit 63 determines that the short-circuit current Ib_stc matches the short-circuit current Istc (Yes in step S6), the absolute value of the amount of white bias light is determined. The emission control unit 63 stores the values set in the first adjustment unit 26 at this time (that is, the values set in the diaphragm 24 and the ND filter 25 of the first light source unit 2) (step S8). ).

図7を参照して、白色バイアス光の光量を、ステップS3で説明した複数の第1の光量にするための設定値である第1の設定値が求められる(ステップS9)。図9は、これを説明するフローチャートである。   Referring to FIG. 7, a first setting value that is a setting value for changing the light amount of the white bias light to the plurality of first light amounts described in step S3 is obtained (step S9). FIG. 9 is a flowchart for explaining this.

図4、図5及び図9を参照して、ステージ9には、基準検知器(測定対象W)が引き続き載置されている。第1の短絡電流算出部66は、バイアス光量記憶部61に記憶されている複数の第1の光量と、第1の所定式とを用いて、複数の第1の光量のそれぞれに対応する複数の第1の短絡電流を算出する。第1の短絡電流とは、基準検知器に対して、ステップS3で説明した第1の光量のバイアス光が照射された状態で基準検知器から出力される短絡電流である。   4, 5, and 9, the reference detector (measurement target W) is continuously placed on stage 9. The first short-circuit current calculation unit 66 uses a plurality of first light amounts stored in the bias light amount storage unit 61 and a first predetermined formula, and a plurality of first short circuit current calculation units 66 correspond to each of the plurality of first light amounts. The first short-circuit current is calculated. The first short-circuit current is a short-circuit current output from the reference detector in a state in which the first light amount of bias light described in step S3 is applied to the reference detector.

第1の短絡電流算出部66は、以下に示す第1の所定式を記憶している。   The first short circuit current calculation unit 66 stores a first predetermined formula shown below.

Ib_i=Istc/1000×Eb_i
Ib_iは、第1の短絡電流である。Istcは、STCにおいて、基準検知器から出力される短絡電流である。Eb_iは、第1の放射照度である。1000は、Istcが、放射照度1000[W/m]で定義されているので、単位放射照度当たりの電流に変換するための値である。
Ib_i = Istc / 1000 × Eb_i
Ib_i is a first short-circuit current. Istc is a short-circuit current output from the reference detector in the STC. Eb_i is the first irradiance. 1000 is a value for converting to current per unit irradiance since Istc is defined by irradiance 1000 [W / m 2 ].

第1の短絡電流算出部66は、i=1を設定する(ステップT1)。第1の短絡電流算出部66は、複数の第1の光量のうち、Eb_1で示される第1の光量の白色バイアス光が基準検知器に照射されたとき、基準検知器から出力される第1の短絡電流Ib_1を算出する(ステップT2)。   The first short circuit current calculation unit 66 sets i = 1 (step T1). The first short-circuit current calculator 66 outputs the first short-circuit current output from the reference detector when the white light of the first light amount indicated by Eb_1 among the plurality of first light amounts is irradiated to the reference detector. The short circuit current Ib_1 is calculated (step T2).

出射制御部63は、第1の光源部2のシャッタ22を開け、かつ、第2の光源部3のシャッタ34を閉じる制御をする。これにより、第1の光源部2から出射された白色バイアス光は、照射部4によって、基準検知器に照射される。電流測定部5は、その状態で、基準検知器から出力されている短絡電流Ibを測定する(ステップT3)。   The emission control unit 63 performs control for opening the shutter 22 of the first light source unit 2 and closing the shutter 34 of the second light source unit 3. Thereby, the white bias light emitted from the first light source unit 2 is irradiated to the reference detector by the irradiation unit 4. In this state, the current measuring unit 5 measures the short-circuit current Ib output from the reference detector (step T3).

第1の設定値算出部67は、白色バイアス光が基準検知器に照射された状態で電流測定部5によって測定された短絡電流を、第1の短絡電流算出部66によって算出された複数の第1の短絡電流のそれぞれと比較して、複数の第1の短絡電流のそれぞれに対応する複数の第1の設定値を算出する。第1の設定値は、基準検知器が第1の短絡電流を出力するために、第1の調節部26に設定される値である。これにより、放射照度を測定するのでなく基準検知器からの電流値を基に、バイアス光を出射するための設定値を決定できる。   The first set value calculator 67 calculates the short-circuit current measured by the current measuring unit 5 in a state where the white bias light is irradiated on the reference detector, and the plurality of first set values calculated by the first short-circuit current calculator 66. A plurality of first set values corresponding to each of the plurality of first short-circuit currents are calculated in comparison with each of the one short-circuit currents. The first set value is a value set in the first adjustment unit 26 so that the reference detector outputs the first short-circuit current. Thereby, the setting value for emitting the bias light can be determined based on the current value from the reference detector instead of measuring the irradiance.

第1の設定値算出部67について、詳しく説明する。第1の設定値算出部67は、電流測定部5によって測定されている基準検知器からの短絡電流Ibが、第1の短絡電流Ib_1と一致するか否かを判定する(ステップT4)。   The first set value calculation unit 67 will be described in detail. The first set value calculation unit 67 determines whether or not the short-circuit current Ib from the reference detector measured by the current measurement unit 5 matches the first short-circuit current Ib_1 (step T4).

第1の設定値算出部67が、短絡電流Ibが第1の短絡電流Ib_1と一致しないと判定したとき(ステップT4でNo)、出射制御部63は、第1の調節部26を制御して、第1の光源部2から出射される白色バイアス光の光量を調節する(ステップT5)。そして、ステップT3に戻る。   When the first set value calculation unit 67 determines that the short circuit current Ib does not match the first short circuit current Ib_1 (No in Step T4), the emission control unit 63 controls the first adjustment unit 26. The amount of white bias light emitted from the first light source unit 2 is adjusted (step T5). Then, the process returns to step T3.

第1の設定値算出部67が、短絡電流Ibが第1の短絡電流Ib_1と一致すると判定したとき(ステップT4でYes)、この時点で第1の調節部26に設定されている値(つまり、第1の光源部2の絞り24及びNDフィルタ25に設定されている値)を第1の設定値として、第1の設定値記憶部68に記憶させる(ステップT6)。   When the first set value calculation unit 67 determines that the short-circuit current Ib matches the first short-circuit current Ib_1 (Yes in step T4), the value set in the first adjustment unit 26 at this point (that is, , Values set in the diaphragm 24 and the ND filter 25 of the first light source unit 2) are stored as the first set values in the first set value storage unit 68 (step T6).

第1の短絡電流算出部66は、i=nか否かを判定する(ステップT7)。本実施形態では、n=3である。i=1なので、第1の短絡電流算出部66は、i=2にする(ステップT8)。そして、ステップT2に戻る。   The first short-circuit current calculator 66 determines whether i = n (step T7). In this embodiment, n = 3. Since i = 1, the first short circuit current calculation unit 66 sets i = 2 (step T8). Then, the process returns to step T2.

第1の短絡電流算出部66が、i=nと判定したとき(ステップT7でYes)、第1の設定値を求める処理が終了する。第1の設定値記憶部68には、第1の設定値算出部67によって算出された複数(n個)の第1の設定値が記憶されている。図8において、第1の設定値の欄に示される記号は、第1の設定値を示している。以上が、図7のステップS9の説明である。   When the first short-circuit current calculation unit 66 determines that i = n (Yes in step T7), the process for obtaining the first set value ends. The first setting value storage unit 68 stores a plurality (n) of first setting values calculated by the first setting value calculation unit 67. In FIG. 8, the symbol shown in the column of the first set value indicates the first set value. The above is the description of step S9 in FIG.

図7を参照して、単色光の光量を、ステップS4で説明した複数の第2の光量にするための設定値である第2の設定値が求められる(ステップS10)。第2の設定値は、第2の調節部37に設定される値である。波長毎に第2の設定値が必要な理由を説明する。   Referring to FIG. 7, a second set value, which is a set value for changing the light amount of the monochromatic light to the plurality of second light amounts described in step S4, is obtained (step S10). The second set value is a value set in the second adjustment unit 37. The reason why the second setting value is necessary for each wavelength will be described.

図10は、第2の発光部30として用いられるキセノンランプについて、波長と放射照度との関係を示すグラフである。横軸は、キセノンランプが放射した光の波長を示す。縦軸は、キセノンランプが放射した光の放射照度を示す。   FIG. 10 is a graph showing the relationship between wavelength and irradiance for a xenon lamp used as the second light emitting unit 30. The horizontal axis represents the wavelength of light emitted by the xenon lamp. The vertical axis represents the irradiance of light emitted by the xenon lamp.

キセノンランプが放射した光は、波長に応じて、放射照度が異なっていることが分かる。第2の設定値は、第2の発光部30が放射する光の波長毎に定められ、第2の光源部3から出射される単色光が、波長が異なっていても同じ放射照度(第2の光量)になるように、第2の調節部37に設定される値である。第2の調節部37に設定される値を第2の設定値にすることにより、第2の光源部3から出射される単色光は、図10の点線で示すように、波長が異なっても、同じ放射照度となる。   It can be seen that the light emitted by the xenon lamp has different irradiance depending on the wavelength. The second set value is determined for each wavelength of light emitted by the second light emitting unit 30, and the monochromatic light emitted from the second light source unit 3 has the same irradiance (second) even if the wavelength is different. Is a value set in the second adjustment unit 37 so as to be equal to (amount of light). By setting the value set in the second adjustment unit 37 to the second set value, the monochromatic light emitted from the second light source unit 3 may have different wavelengths as shown by the dotted line in FIG. The same irradiance.

図11は、第2の設定値を求める工程を説明するフローチャートである。図4、図5及び図11を参照して、ステージ9には、基準検知器(測定対象W)が引き続き載置されている。第2の短絡電流算出部69は、組合作成部62によって算出された第2の光量、第2の所定式及び基準検知器の分光感度を用いて、互いに異なる波長の二以上の単色光のそれぞれに対応する二以上の第2の短絡電流を算出する。第2の短絡電流とは、基準検知器に対して、ステップS4で説明した第2の光量の単色光が照射された状態で、基準検知器から出力される短絡電流である。第2の短絡電流算出部69は、ステップS4で説明した複数の第2の光量のそれぞれについて、二以上の第2の短絡電流を算出する。   FIG. 11 is a flowchart for explaining the step of obtaining the second set value. Referring to FIGS. 4, 5, and 11, the reference detector (measurement target W) is continuously placed on stage 9. The second short-circuit current calculation unit 69 uses the second light amount calculated by the combination creation unit 62, the second predetermined formula, and the spectral sensitivity of the reference detector, and each of two or more monochromatic lights having different wavelengths. Two or more second short-circuit currents corresponding to are calculated. The second short-circuit current is a short-circuit current that is output from the reference detector in a state in which the reference light is irradiated with the monochromatic light having the second light quantity described in step S4. The second short circuit current calculation unit 69 calculates two or more second short circuit currents for each of the plurality of second light quantities described in step S4.

第2の短絡電流算出部69は、以下に示す第2の所定式を記憶している。   The second short circuit current calculation unit 69 stores a second predetermined formula shown below.

Im_i_λj=S(λj)×Em_i
Im_i_λjは、第2の短絡電流である。第2の短絡電流は、第2の光量が同じでも、単色光の波長に応じて異なる。S(λj)は、基準検知器の分光感度であり、単色光の波長に応じて異なる。
Im_i_λj = S (λj) × Em_i
Im_i_λj is a second short-circuit current. The second short-circuit current differs depending on the wavelength of the monochromatic light even if the second light amount is the same. S (λj) is the spectral sensitivity of the reference detector and varies depending on the wavelength of the monochromatic light.

jは、1〜mのいずれかの数を示している。mは、1より大きい整数である。例えば、300〜1100nmの波長の範囲を、10nmの単位で分けたとき、mは80となる。説明の簡略化のため、mが4を例にして説明する。300〜1100nmの波長の範囲を、200nmの単位で分けたとき、mは4となる。例えば、300nm≦λ1<500nmにおいて、400nmをλ1の代表値とし、500nm≦λ2<700nmにおいて、600nmをλ2の代表値とし、700nm≦λ3<900nmにおいて、800nmをλ3の代表値とし、900nm≦λ4≦1100nmにおいて、1000nmをλ4の代表値とする。図8において、400nm、600nm、800nm、1000nmは、m4の場合と対応する。   j represents any number from 1 to m. m is an integer greater than 1. For example, when the wavelength range of 300 to 1100 nm is divided in units of 10 nm, m is 80. For simplification of description, the description will be made by taking m as an example. M is 4 when the wavelength range of 300 to 1100 nm is divided into units of 200 nm. For example, when 300 nm ≦ λ1 <500 nm, 400 nm is a representative value of λ1, 500 nm ≦ λ2 <700 nm, 600 nm is a representative value of λ2, 700 nm ≦ λ3 <900 nm, 800 nm is a representative value of λ3, and 900 nm ≦ λ4 ≦ 1100 nm, 1000 nm is a representative value of λ4. In FIG. 8, 400 nm, 600 nm, 800 nm, and 1000 nm correspond to the case of m4.

i=1、j=1において、第2の短絡電流算出部69は、Em_1で示される第2の光量の単色光が基準検知器に照射されたとき、基準検知器から出力される第2の短絡電流Im_1_λ1を算出する(ステップU2)。   When i = 1 and j = 1, the second short-circuit current calculation unit 69 outputs the second short-circuit current output from the reference detector when the reference detector is irradiated with the monochromatic light having the second light quantity indicated by Em_1. The short circuit current Im_1_λ1 is calculated (step U2).

出射制御部63は、第1の光源部2のシャッタ22を閉じ、かつ、第2の光源部3のシャッタ34を開ける制御をする。これにより、第2の光源部3から出射された波長λ1の単色光は、照射部4によって、基準検知器に照射される。電流測定部5は、その状態で、基準検知器から出力されている短絡電流Imes_1_1を測定する(ステップU3)。   The emission control unit 63 performs control to close the shutter 22 of the first light source unit 2 and open the shutter 34 of the second light source unit 3. As a result, the monochromatic light having the wavelength λ 1 emitted from the second light source unit 3 is irradiated to the reference detector by the irradiation unit 4. In this state, the current measuring unit 5 measures the short-circuit current Imes_1_1 output from the reference detector (step U3).

第2の設定値算出部70は、単色光が基準検知器に照射された状態で電流測定部5によって測定された短絡電流を、第2の短絡電流算出部69によって算出された二以上の第2の短絡電流のそれぞれと比較して、二以上の第2の短絡電流のそれぞれに対応する二以上の第2の設定値を算出する。第2の設定値は、基準検知器が第2の短絡電流を出力するために、第2の調節部37に設定される値である。これにより、放射照度を測定するのでなく基準検知器からの電流値を基に、単色光を出射するための設定値を決定できる。第2の設定値算出部70は、複数の第2の光量のそれぞれについて、二以上の第2の設定値を算出する。   The second set value calculation unit 70 calculates the short-circuit current measured by the current measurement unit 5 in a state where the monochromatic light is applied to the reference detector, and the two or more second set-value calculation units 69 calculate the second short-circuit current calculation unit 69. Compared with each of the two short-circuit currents, two or more second set values corresponding to each of the two or more second short-circuit currents are calculated. The second set value is a value set in the second adjustment unit 37 so that the reference detector outputs the second short-circuit current. Thereby, the setting value for emitting monochromatic light can be determined based on the current value from the reference detector, instead of measuring the irradiance. The second set value calculation unit 70 calculates two or more second set values for each of the plurality of second light amounts.

「複数」及び「二以上」は、2以上の整数である。「複数」をn、「二以上」をmとする。nとmとは、同じでもよいし、異なっていてもよい。第2の短絡電流算出部69は、n×m個の第2の短絡電流を算出し、第2の設定値算出部70は、n×m個の第2の設定値を算出する。   “Plural” and “2 or more” are integers of 2 or more. Let “plurality” be n, and “two or more” be m. n and m may be the same or different. The second short circuit current calculation unit 69 calculates n × m second short circuit currents, and the second set value calculation unit 70 calculates n × m second set values.

第2の設定値算出部70について、詳しく説明する。第2の設定値算出部70は、電流測定部5によって測定されている基準検知器からの短絡電流Imes_1_1が、第2の短絡電流Im_1_λ1と一致するか否かを判定する(ステップU4)。   The second set value calculation unit 70 will be described in detail. The second set value calculation unit 70 determines whether or not the short-circuit current Imes_1_1 from the reference detector measured by the current measurement unit 5 matches the second short-circuit current Im_1_λ1 (step U4).

第2の設定値算出部70が、短絡電流Imes_1_1が第2の短絡電流Im_1_λ1と一致しないと判定したとき(ステップU4でNo)、出射制御部63は、第2の調節部37を制御して、第2の光源部3から出射される単色光の光量を調節する(ステップU5)。そして、ステップU3に戻る。   When the second set value calculation unit 70 determines that the short circuit current Imes_1_1 does not match the second short circuit current Im_1_λ1 (No in step U4), the emission control unit 63 controls the second adjustment unit 37. Then, the amount of monochromatic light emitted from the second light source unit 3 is adjusted (step U5). Then, the process returns to step U3.

第2の設定値算出部70が、短絡電流Imes_1_1が第2の短絡電流Im_1_λ1と一致すると判定したとき(ステップU4でYes)、この時点で第2の調節部37に設定されている値(つまり、第2の光源部3の絞り32及びNDフィルタ35に設定されている値)を第2の設定値として、第2の設定値記憶部71に記憶させる(ステップU6)。   When the second set value calculation unit 70 determines that the short-circuit current Imes_1_1 matches the second short-circuit current Im_1_λ1 (Yes in step U4), the value set in the second adjustment unit 37 at this time (that is, the value) , Values set in the diaphragm 32 and the ND filter 35 of the second light source unit 3) are stored in the second set value storage unit 71 as second set values (step U6).

第2の短絡電流算出部69は、j=mか否かを判定する(ステップU7)。本実施形態では、m=4である。j=1なので、第2の短絡電流算出部69は、j=mでないと判定する(ステップU7でNo)。第2の短絡電流算出部69は、j=2にする(ステップU8)。そして、ステップU2に戻る。   The second short-circuit current calculating unit 69 determines whether j = m (step U7). In this embodiment, m = 4. Since j = 1, the second short circuit current calculation unit 69 determines that j = m is not satisfied (No in step U7). The second short circuit current calculation unit 69 sets j = 2 (step U8). Then, the process returns to step U2.

第2の短絡電流算出部69が、j=mと判定したとき(ステップU7でYes)、第2の短絡電流算出部69は、i=nか否かを判定する(ステップU9)。本実施形態では、n=3である。第2の短絡電流算出部69が、i=nでないと判定したとき(ステップU9でNo)、第2の短絡電流算出部69は、i=i+1にする(ステップU10)。そして、ステップU2に戻る。   When the second short circuit current calculation unit 69 determines that j = m (Yes in step U7), the second short circuit current calculation unit 69 determines whether i = n (step U9). In this embodiment, n = 3. When the second short circuit current calculation unit 69 determines that i = n is not satisfied (No in step U9), the second short circuit current calculation unit 69 sets i = i + 1 (step U10). Then, the process returns to step U2.

第2の短絡電流算出部69が、i=nと判定したとき(ステップU9でYes)、第2の設定値を求める処理が終了する。第2の設定値記憶部71には、第2の設定値算出部70によって算出された、複数(n個)の第2の光量のそれぞれについての二以上(m個)の第2の設定値が、複数(n×m個)の第2の設定値として、記憶される。図8において、第2の設定値の欄に示される記号は、第2の設定値を示している。以上が、図7のステップS10の説明である。   When the second short-circuit current calculation unit 69 determines that i = n (Yes in step U9), the process for obtaining the second set value ends. The second set value storage unit 71 stores two or more (m) second set values for each of a plurality (n) of second light quantities calculated by the second set value calculating unit 70. Are stored as a plurality (n × m) of second set values. In FIG. 8, the symbol shown in the column of the second set value indicates the second set value. The above is the description of step S10 in FIG.

ステップS1〜ステップS10までが、太陽電池の絶対分光感度を測定するための各種設定である。次に、太陽電池の絶対分光感度の算出について説明する。図4、図5及び図7を参照して、操作者は、ステージ9に測定対象Wの太陽電池を載置する。操作者は、入力部7を操作して、絶対分光感度を測定する命令を入力する。これにより、出射制御部63は、第1の設定値記憶部68に記憶されている複数の第1の設定値のうち、Eb_1で示される第1の光量が得られる第1の設定値を読み出し、これを第1の調節部26に設定する(ステップS11)。そして、出射制御部63は、第2の設定値記憶部71に記憶されている複数の第2の設定値のうち、波長λ1〜λmのそれぞれにおいて、Em_1で示される第2の光量が得られる第2の設定値を読み出し、これらを第2の調節部37に順番に設定する(ステップS12)。   Steps S1 to S10 are various settings for measuring the absolute spectral sensitivity of the solar cell. Next, calculation of the absolute spectral sensitivity of the solar cell will be described. With reference to FIGS. 4, 5, and 7, the operator places the solar cell of the measuring object W on the stage 9. The operator operates the input unit 7 to input a command for measuring the absolute spectral sensitivity. As a result, the emission control unit 63 reads out the first set value from which the first light amount indicated by Eb_1 is obtained among the plurality of first set values stored in the first set value storage unit 68. This is set in the first adjustment unit 26 (step S11). Then, the emission control unit 63 obtains the second light amount indicated by Em_1 at each of the wavelengths λ1 to λm among the plurality of second setting values stored in the second setting value storage unit 71. The second set values are read out and set in order in the second adjustment unit 37 (step S12).

出射制御部63は、第1の光源部2のシャッタ22及び第2の光源部3のシャッタ34を開ける制御をする。これにより、第1の光源部2から出射された白色バイアス光と第2の光源部3から出射された単色光とが照射部4で合成され、この合成光が太陽電池(測定対象W)に照射される。電流測定部5は、その状態で、太陽電池から出力されている短絡電流を測定する(測定ステップ)。差分分光感度算出部64は、その短絡電流及び単色光による短絡電流を用いて、白色バイアス光がEb_1で示される第1の光量のとき、差分分光感度を算出する(ステップS13)。   The emission control unit 63 performs control to open the shutter 22 of the first light source unit 2 and the shutter 34 of the second light source unit 3. Thereby, the white bias light emitted from the first light source unit 2 and the monochromatic light emitted from the second light source unit 3 are synthesized by the irradiation unit 4, and this synthesized light is combined with the solar cell (measurement target W). Irradiated. In this state, the current measurement unit 5 measures the short-circuit current output from the solar cell (measurement step). The difference spectral sensitivity calculation unit 64 calculates the difference spectral sensitivity when the white bias light is the first light amount indicated by Eb_1 using the short-circuit current and the short-circuit current due to the monochromatic light (step S13).

なお、単色光による短絡電流の測定には、ロックインアンプ50が用いられる。ロックインアンプ50は、上記測定ステップで測定された短絡電流の中から、単色光による短絡電流を検出して増幅する。差分分光感度算出部64は、差分分光感度を算出において、ロックインアンプ50によって、検出された単色光による短絡電流を用いる。白色バイアス光による短絡電流(定常光)と単色光をチョッピングした短絡電流(AC光)から、ロックインアンプ50により AC成分の単色光を取り出す事が可能になる。   Note that the lock-in amplifier 50 is used to measure the short-circuit current with monochromatic light. The lock-in amplifier 50 detects and amplifies the short-circuit current due to the monochromatic light from the short-circuit current measured in the measurement step. The difference spectral sensitivity calculation unit 64 uses a short-circuit current due to monochromatic light detected by the lock-in amplifier 50 in calculating the difference spectral sensitivity. The lock-in amplifier 50 can extract the monochromatic light of the AC component from the short circuit current (stationary light) due to the white bias light and the short circuit current (AC light) obtained by chopping the monochromatic light.

単色光による短絡電流の測定は、以下の方法でもよい。出射制御部63の制御によって、第1の光源部2に白色バイアス光を出射させないで、かつ、第2の光源部3に単色光を出射させた状態、電流測定部5によって測定された短絡電流を、単色光による短絡電流とする。差分分光感度算出部64は、差分分光感度の算出において、該短絡電流を用いる。   The following method may be used for measuring the short-circuit current with monochromatic light. The short-circuit current measured by the current measuring unit 5 without white bias light being emitted from the first light source unit 2 and monochromatic light being emitted from the second light source unit 3 under the control of the emission control unit 63 Is a short-circuit current by monochromatic light. The difference spectral sensitivity calculation unit 64 uses the short-circuit current in calculating the difference spectral sensitivity.

差分分光感度算出部64は、i=nか否かを判定する(ステップS14)。本実施形態では、n=3である。i=1なので、差分分光感度算出部64は、i=2にする(ステップS15)。そして、ステップS11に戻る。   The difference spectral sensitivity calculation unit 64 determines whether i = n (step S14). In this embodiment, n = 3. Since i = 1, the differential spectral sensitivity calculation unit 64 sets i = 2 (step S15). Then, the process returns to step S11.

ステップS11、ステップS12、ステップS13、ステップS14でNo及びステップS15の処理において、出射制御部63及び差分分光感度算出部64の動作をまとめると、以下の通りである。出射制御部63は、組合作成部62によって作成された複数の組み合わせのそれぞれについて(図6のステップS4)、第1の光源部2に第1の光量の白色バイアス光を出射させ、第2の光源部3に第2の光量の単色光を出射させる。詳しくは、出射制御部63は、第1の設定値記憶部68に記憶されている複数の第1の設定値のそれぞれを第1の調節部26に設定して、第1の光源部2に白色バイアス光を出射させ、かつ、出射制御部63は、第2の設定値記憶部71に記憶されている複数の第2の設定値のそれぞれを第2の調節部37に設定して、第2の光源部3に単色光を出射させる。差分分光感度算出部64は、組合作成部62によって作成された複数の組み合わせのそれぞれについて、照射部4が合成光を太陽電池に照射した状態で、電流測定部5によって測定された短絡電流を用いて差分分光感度を算出することにより、複数の差分分光感度を求める。   The operations of the emission controller 63 and the difference spectral sensitivity calculator 64 in the processes of No and Step S15 in Step S11, Step S12, Step S13, and Step S14 are summarized as follows. The emission control unit 63 causes the first light source unit 2 to emit white bias light of the first light amount for each of the plurality of combinations created by the combination creation unit 62 (step S4 in FIG. 6), and the second The light source unit 3 emits monochromatic light having the second light quantity. Specifically, the emission control unit 63 sets each of the plurality of first setting values stored in the first setting value storage unit 68 in the first adjustment unit 26, so that the first light source unit 2 The white bias light is emitted, and the emission control unit 63 sets each of the plurality of second setting values stored in the second setting value storage unit 71 in the second adjustment unit 37, and Monochromatic light is emitted to the two light source units 3. The difference spectral sensitivity calculation unit 64 uses the short-circuit current measured by the current measurement unit 5 in a state where the irradiation unit 4 irradiates the solar cell with the synthesized light for each of the plurality of combinations created by the combination creation unit 62. A plurality of differential spectral sensitivities are obtained by calculating differential spectral sensitivities.

差分分光感度算出部64が、i=nと判定したとき(ステップS14でYes)、絶対分光感度算出部65は、差分分光感度算出部64によって求められた複数(n個)の差分分光感度を用いて、太陽電池の絶対分光感度を算出する(ステップS16)。   When the difference spectral sensitivity calculation unit 64 determines that i = n (Yes in step S14), the absolute spectral sensitivity calculation unit 65 sets the plurality (n) of difference spectral sensitivities obtained by the difference spectral sensitivity calculation unit 64. In step S16, the absolute spectral sensitivity of the solar cell is calculated.

本実施形態の主な効果を説明する。DSR法を用いた太陽電池の絶対分光感度測定は、白色バイアス光の光量を順次、変えることによって各光量に対する各差分分光感度をそれぞれ測定し、複数の差分分光感度を求める工程がある(ステップS11、ステップS12、ステップS13、ステップS14でNo、ステップS15)。本実施形態に係る分光感度測定装置1では、白色バイアス光の光量と単色光の光量との比を予め設定することにより(図6のステップS2)、上記工程において、白色バイアス光の光量が大きいとき、単色光の光量を大きくして単色光測定時のSNを向上させ、白色バイアス光の光量が小さいとき、単色光の光量を小さくする。これにより、各白色バイアス光について、白色バイアス光による短絡電流に対して、単色光による短絡電流の影響を相対的に小さくでき、各々の放射照度における短絡電流の変動の影響を排除できるので、DSR法を用いた太陽電池の絶対分光感度の測定において、任意のバイアス光量下で、高精度に差分分光感度を求める事が可能となる。   The main effects of this embodiment will be described. The absolute spectral sensitivity measurement of a solar cell using the DSR method includes a step of measuring a plurality of differential spectral sensitivities by measuring each differential spectral sensitivity with respect to each light amount by sequentially changing the light amount of white bias light (step S11). Step S12, Step S13, Step S14 No, Step S15). In the spectral sensitivity measuring apparatus 1 according to the present embodiment, the ratio of the amount of white bias light to the amount of monochromatic light is set in advance (step S2 in FIG. 6), whereby the amount of white bias light is large in the above process. When the amount of monochromatic light is increased to improve the SN during monochromatic light measurement, the amount of monochromatic light is decreased when the amount of white bias light is small. Thereby, for each white bias light, the influence of the short circuit current due to the monochromatic light can be made relatively small with respect to the short circuit current due to the white bias light, and the influence of the short circuit current fluctuation in each irradiance can be eliminated. In the measurement of the absolute spectral sensitivity of a solar cell using the method, it is possible to obtain the differential spectral sensitivity with high accuracy under an arbitrary amount of bias light.

本実施形態には、第1変形例及び第2変形例がある。第1変形例を説明する。図6のステップS4において、組合作成部62(図5)は、比を示す値Kを用いて算出した複数の第2の光量のうち、予め定められた下限値以下の第2の光量について、下限値を第2の光量とする。   In the present embodiment, there are a first modification and a second modification. A first modification will be described. In step S4 of FIG. 6, the combination creating unit 62 (FIG. 5) uses the second light quantity that is equal to or lower than a predetermined lower limit value among the plurality of second light quantities calculated using the value K indicating the ratio. Let the lower limit value be the second light quantity.

単色光の光量である第2の光量がある値以下であれば、単色光による短絡電流が白色バイアス光による短絡電流に及ぼす影響が軽微なので、大きな測定誤差の原因とならない。他方、単色光の光量の大きさを問わず、光量比(比を示す値)を同じにしたとき、白色バイアス光が小さい場合、単色光による短絡電流測定のSN比が悪くなる。これにより、逆に差分分光感度測定精度が悪化する場合があるので、単色光の光量に下限値を設ける。   If the second light amount, which is the light amount of monochromatic light, is less than a certain value, the influence of the short-circuit current due to the monochromatic light on the short-circuit current due to the white bias light is negligible, and thus does not cause a large measurement error. On the other hand, when the light quantity ratio (value indicating the ratio) is the same regardless of the magnitude of the light quantity of the monochromatic light, if the white bias light is small, the SN ratio of the short-circuit current measurement using the monochromatic light is deteriorated. Accordingly, since the difference spectral sensitivity measurement accuracy may be deteriorated, a lower limit is provided for the amount of monochromatic light.

第2変形例を説明する。図6のステップS2において、光量比記憶部60(図5)は、複数の第1の光量のそれぞれに割り当てられた、複数の比を示す値Kを記憶している。組合作成部62は、複数の第1の光量のそれぞれに割り当てられた比を示す値Kを用いて、複数の第1の光量のそれぞれに対応する複数の第2の光量を算出する。   A second modification will be described. In step S2 of FIG. 6, the light amount ratio storage unit 60 (FIG. 5) stores a value K indicating a plurality of ratios assigned to each of the plurality of first light amounts. The combination creating unit 62 calculates a plurality of second light amounts corresponding to each of the plurality of first light amounts, using a value K indicating a ratio assigned to each of the plurality of first light amounts.

第2変形例によれば、複数の第1の光量のそれぞれに応じて、比を変えることができるので、複数の第2の光量を最適な値に設定することができる。   According to the second modification, the ratio can be changed according to each of the plurality of first light amounts, so that the plurality of second light amounts can be set to optimum values.

複数の第1の光量に応じて、比が互いに異なるようにすることができる。例えば、複数の第1の光量を小さい順に、光量A、光量B、光量C、光量D、光量Eとする。光量Aに割り当てる比を200:1、光量Bに割り当てる比を400:1、光量Cに割り当てる比を600:1、光量Dに割り当てる比を800:1、光量Eに割り当てる比を1000:1とする。   The ratios can be different from each other according to the plurality of first light quantities. For example, a plurality of first light amounts are set as a light amount A, a light amount B, a light amount C, a light amount D, and a light amount E in ascending order. The ratio assigned to the light quantity A is 200: 1, the ratio assigned to the light quantity B is 400: 1, the ratio assigned to the light quantity C is 600: 1, the ratio assigned to the light quantity D is 800: 1, and the ratio assigned to the light quantity E is 1000: 1. To do.

また、複数の第1の光量をいくつかのグループに分けて、グループに応じて、比が互いに異なるようにしてもよい。例えば、光量A、光量B及び光量Cのグループに割り当てる比を500:1、光量Dと光量Eのグループに割り当てる比を1000:1とする。   Further, the plurality of first light amounts may be divided into several groups, and the ratios may be different from each other depending on the group. For example, the ratio assigned to the group of the light quantity A, the light quantity B, and the light quantity C is set to 500: 1, and the ratio assigned to the group of the light quantity D and the light quantity E is set to 1000: 1.

1 分光感度測定装置
2 第1の光源部
3 第2の光源部
4 照射部
5 電流測定部
20 第1の発光部
26 第1の調節部
30 第2の発光部
37 第2の調節部
38 モノクロメータ(単色光生成部の具体例)
50 ロックインアンプ
60 光量比記憶部
61 バイアス光量記憶部
62 組合作成部
63 出射制御部
64 差分分光感度算出部
65 絶対分光感度算出部
66 第1の短絡電流算出部
67 第1の設定値算出部
68 第1の設定値記憶部
69 第2の短絡電流算出部
70 第2の設定値算出部
71 第2の設定値記憶部
72 記憶制御部
W 測定対象
Eb_i 第1の光量
Em_i 第2の光量
Ib_i 第1の短絡電流
Im_i_λj 第2の短絡電流
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spectral sensitivity measuring apparatus 2 1st light source part 3 2nd light source part 4 Irradiation part 5 Current measurement part 20 1st light emission part 26 1st adjustment part 30 2nd light emission part 37 2nd adjustment part 38 Monochrome Meter (specific example of monochromatic light generator)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 Lock-in amplifier 60 Light quantity ratio memory | storage part 61 Bias light quantity memory | storage part 62 Combination production part 63 Output control part 64 Difference spectral sensitivity calculation part 65 Absolute spectral sensitivity calculation part 66 1st short circuit current calculation part 67 1st setting value calculation part 68 First setting value storage unit 69 Second short-circuit current calculation unit 70 Second setting value calculation unit 71 Second setting value storage unit 72 Storage control unit W Measurement object Eb_i First light amount Em_i Second light amount Ib_i First short-circuit current Im_i_λj Second short-circuit current

Claims (11)

バイアス光の光量を調節して前記バイアス光を出射する第1の光源部と、
単色光の光量を調節して前記単色光を出射する第2の光源部と、
測定対象の太陽電池の短絡電流を測定する電流測定部と、
前記バイアス光の光量である第1の光量と前記単色光の光量である第2の光量との予め定められた比を示す値を記憶する光量比記憶部と、
互いに異なる複数の前記第1の光量を記憶するバイアス光量記憶部と、
前記バイアス光量記憶部に記憶されている複数の前記第1の光量のそれぞれに対応する複数の前記第2の光量を、前記光量比記憶部に記憶されている前記比を示す値を用いて算出し、前記第1の光量と前記第1の光量に対応する前記第2の光量との組み合わせを複数作成する組合作成部と、
前記組合作成部によって作成された複数の前記組み合わせのそれぞれについて、前記第1の光源部に前記第1の光量の前記バイアス光を出射させ、前記第2の光源部に前記第2の光量の前記単色光を出射させる出射制御部と、
前記組合作成部によって作成された複数の前記組み合わせのそれぞれについて、前記出射制御部の制御によって前記第1の光源部から出射された前記バイアス光と前記第2の光源部から出射された前記単色光とを重ねて前記太陽電池に照射された状態で、前記電流測定部によって測定された短絡電流を用いて差分分光感度を算出することにより、複数の前記差分分光感度を求める差分分光感度算出部と、
前記差分分光感度算出部によって求められた複数の前記差分分光感度を用いて、前記太陽電池の絶対分光感度を算出する絶対分光感度算出部と、を備える分光感度測定装置。
A first light source unit that adjusts the amount of bias light and emits the bias light;
A second light source unit that adjusts the amount of monochromatic light and emits the monochromatic light;
A current measuring unit for measuring the short-circuit current of the solar cell to be measured;
A light amount ratio storage unit that stores a value indicating a predetermined ratio between a first light amount that is the light amount of the bias light and a second light amount that is the light amount of the monochromatic light;
A bias light quantity storage unit that stores a plurality of different first light quantities;
The plurality of second light amounts corresponding to each of the plurality of first light amounts stored in the bias light amount storage unit are calculated using a value indicating the ratio stored in the light amount ratio storage unit. A combination creating unit that creates a plurality of combinations of the first light quantity and the second light quantity corresponding to the first light quantity;
For each of the plurality of combinations created by the combination creation unit, the first light source unit emits the first light amount of the bias light, and the second light source unit emits the second light amount of the second light amount. An emission control unit for emitting monochromatic light;
For each of the plurality of combinations created by the combination creation unit, the bias light emitted from the first light source unit and the monochromatic light emitted from the second light source unit under the control of the emission control unit And calculating the difference spectral sensitivity using the short-circuit current measured by the current measurement unit in a state where the solar cell is irradiated with ,
A spectral sensitivity measurement apparatus comprising: an absolute spectral sensitivity calculation unit that calculates an absolute spectral sensitivity of the solar cell using the plurality of differential spectral sensitivities obtained by the differential spectral sensitivity calculation unit.
前記組合作成部は、前記比を示す値を用いて算出した複数の前記第2の光量のうち、予め定められた下限値以下の前記第2の光量について、前記下限値を前記第2の光量とする請求項1に記載の分光感度測定装置。   The combination creation unit sets the lower limit value for the second light amount equal to or lower than a predetermined lower limit value among the plurality of second light amounts calculated using the value indicating the ratio. The spectral sensitivity measuring device according to claim 1. 前記光量比記憶部は、複数の前記第1の光量のそれぞれに割り当てられた、複数の前記比を示す値を記憶しており、
前記組合作成部は、複数の前記第1の光量のそれぞれに割り当てられた前記比を示す値を用いて、複数の前記第1の光量のそれぞれに対応する複数の前記第2の光量を算出する請求項1又は2に記載の分光感度測定装置。
The light amount ratio storage unit stores a plurality of values indicating the ratios assigned to the plurality of first light amounts,
The combination creating unit calculates a plurality of second light amounts corresponding to each of the plurality of first light amounts using a value indicating the ratio assigned to each of the plurality of first light amounts. The spectral sensitivity measuring apparatus according to claim 1 or 2.
前記第1の光源部は、前記バイアス光を放射する第1の発光部と、前記第1の発光部によって放射された前記バイアス光の光量を調節する第1の調節部と、を含み、
前記分光感度測定装置は、さらに、
予め定められた条件での短絡電流及び分光感度が特定されている基準検知器に対して、前記バイアス光量記憶部に記憶されている前記第1の光量の前記バイアス光が照射された状態で前記基準検知器から出力される短絡電流を第1の短絡電流とし、前記バイアス光量記憶部に記憶されている複数の前記第1の光量と、第1の所定式とを用いて、複数の前記第1の光量のそれぞれに対応する複数の前記第1の短絡電流を算出する第1の短絡電流算出部と、
前記基準検知器が前記第1の短絡電流を出力するために前記第1の調節部に設定される値を第1の設定値とし、前記バイアス光が前記基準検知器に照射された状態で前記電流測定部によって測定された短絡電流を、前記第1の短絡電流算出部によって算出された複数の前記第1の短絡電流のそれぞれと比較して、複数の前記第1の短絡電流のそれぞれに対応する複数の前記第1の設定値を算出する第1の設定値算出部と、
前記第1の設定値算出部によって算出された複数の前記第1の設定値を記憶する第1の設定値記憶部と、を備え、
前記出射制御部は、前記第1の設定値記憶部に記憶されている複数の前記第1の設定値のそれぞれを前記第1の調節部に設定して、前記第1の光源部に前記バイアス光を出射させる請求項1〜3のいずれか一項に記載の分光感度測定装置。
The first light source unit includes a first light emitting unit that emits the bias light, and a first adjustment unit that adjusts the amount of the bias light emitted by the first light emitting unit,
The spectral sensitivity measuring device further includes:
In a state in which the bias light of the first light amount stored in the bias light amount storage unit is irradiated to the reference detector in which the short-circuit current and the spectral sensitivity under a predetermined condition are specified. A short-circuit current output from the reference detector is defined as a first short-circuit current, and a plurality of the first light amounts stored in the bias light amount storage unit and a first predetermined formula are used. A first short-circuit current calculator that calculates a plurality of the first short-circuit currents corresponding to each of the one light quantity;
A value set in the first adjustment unit for the reference detector to output the first short-circuit current is set as a first set value, and the bias light is applied to the reference detector. The short-circuit current measured by the current measurement unit is compared with each of the plurality of first short-circuit currents calculated by the first short-circuit current calculation unit, and corresponds to each of the plurality of first short-circuit currents. A first set value calculation unit that calculates a plurality of the first set values;
A first set value storage unit that stores a plurality of the first set values calculated by the first set value calculation unit;
The emission control unit sets each of the plurality of first setting values stored in the first setting value storage unit in the first adjustment unit, and applies the bias to the first light source unit. The spectral sensitivity measuring apparatus according to any one of claims 1 to 3, which emits light.
前記第2の光源部は、第2の発光部と、前記第2の発光部によって放射された光を用いて前記単色光を生成する単色光生成部と、前記単色光生成部によって生成された前記単色光の光量を調節する第2の調節部と、を含み、
前記分光感度測定装置は、さらに、
前記基準検知器に対して、前記組合作成部によって算出された前記第2の光量の前記単色光が照射された状態で前記基準検知器から出力される短絡電流を第2の短絡電流とし、前記組合作成部によって算出された前記第2の光量、第2の所定式及び前記基準検知器の前記分光感度を用いて、互いに異なる波長の二以上の前記単色光のそれぞれに対応する二以上の前記第2の短絡電流を算出する第2の短絡電流算出部と、
前記基準検知器が前記第2の短絡電流を出力するために前記第2の調節部に設定される値を第2の設定値とし、前記単色光が前記基準検知器に照射された状態で前記電流測定部によって測定された短絡電流を、前記第2の短絡電流算出部によって算出された二以上の前記第2の短絡電流のそれぞれと比較して、二以上の前記第2の短絡電流のそれぞれに対応する二以上の前記第2の設定値を算出する第2の設定値算出部と、を備え、
前記第2の短絡電流算出部は、複数の前記第2の光量のそれぞれについて、二以上の前記第2の短絡電流を算出し、
前記第2の設定値算出部は、複数の前記第2の光量のそれぞれについて、二以上の前記第2の設定値を算出し、
前記分光感度測定装置は、さらに、
前記第2の設定値算出部によって算出された、複数の前記第2の光量のそれぞれについての二以上の前記第2の設定値を、複数の前記第2の設定値とし、複数の前記第2の設定値を記憶する第2の設定値記憶部を備え、
前記出射制御部は、前記第2の設定値記憶部に記憶されている複数の前記第2の設定値のそれぞれを前記第2の調節部に設定して、前記第2の光源部に前記単色光を出射させる請求項4に記載の分光感度測定装置。
The second light source unit is generated by a second light emitting unit, a monochromatic light generating unit that generates the monochromatic light using the light emitted by the second light emitting unit, and the monochromatic light generating unit. A second adjusting unit for adjusting the amount of the monochromatic light,
The spectral sensitivity measuring device further includes:
For the reference detector, a short-circuit current output from the reference detector in a state in which the monochromatic light of the second light amount calculated by the combination creating unit is irradiated is set as a second short-circuit current, Using the second light quantity calculated by the combination creation unit, the second predetermined formula, and the spectral sensitivity of the reference detector, two or more of the monochromatic lights corresponding to two or more of the monochromatic lights having different wavelengths are used. A second short-circuit current calculator for calculating a second short-circuit current;
A value set in the second adjustment unit for the reference detector to output the second short-circuit current is set as a second setting value, and the monochromatic light is irradiated on the reference detector in the state where the reference detector is irradiated. Each of the two or more second short-circuit currents is compared with each of the two or more second short-circuit currents calculated by the second short-circuit current calculation unit by comparing the short-circuit current measured by the current measurement unit. A second set value calculation unit that calculates two or more second set values corresponding to
The second short circuit current calculation unit calculates two or more second short circuit currents for each of the plurality of second light quantities,
The second set value calculating unit calculates two or more second set values for each of the plurality of second light amounts,
The spectral sensitivity measuring device further includes:
Two or more second setting values for each of the plurality of second light amounts calculated by the second setting value calculation unit are set as a plurality of the second setting values, and a plurality of the second setting values are calculated. A second set value storage unit for storing the set value of
The emission control unit sets each of the plurality of second setting values stored in the second setting value storage unit in the second adjustment unit, and sets the single color in the second light source unit. The spectral sensitivity measuring apparatus according to claim 4 which emits light.
前記第1の調節部は、第1の絞り及び第1のNDフィルタの少なくとも一方であり、
前記第2の調節部は、第2の絞り及び第2のNDフィルタの少なくとも一方である請求項5に記載の分光感度測定装置。
The first adjusting unit is at least one of a first diaphragm and a first ND filter;
6. The spectral sensitivity measuring apparatus according to claim 5, wherein the second adjustment unit is at least one of a second diaphragm and a second ND filter.
前記予め定められた条件は、太陽電池の性能を評価するための条件であるSTCである請求項4〜6のいずれか一項に記載の分光感度測定装置。   The spectral sensitivity measuring device according to any one of claims 4 to 6, wherein the predetermined condition is STC which is a condition for evaluating performance of a solar cell. 前記光量比記憶部に記憶されている前記比を示す値は、デフォルト値である請求項1〜7のいずれか一項に記載の分光感度測定装置。   The spectral sensitivity measuring apparatus according to claim 1, wherein the value indicating the ratio stored in the light amount ratio storage unit is a default value. 入力部と、
前記入力部が操作されて入力された値を、前記比を示す値として前記光量比記憶部に記憶させる記憶制御部と、をさらに備える請求項1〜7のいずれか一項に記載の分光感度測定装置。
An input section;
The spectral sensitivity according to any one of claims 1 to 7, further comprising a storage control unit that stores a value input by operating the input unit in the light amount ratio storage unit as a value indicating the ratio. measuring device.
前記組合作成部によって作成された複数の前記組み合わせのそれぞれについて、前記出射制御部の制御によって前記第1の光源部から出射された前記バイアス光と前記第2の光源部から出射された前記単色光とを重ねて前記太陽電池に照射された状態で、前記電流測定部によって測定された短絡電流の中から、前記単色光による短絡電流を検出する機能を持つロックインアンプをさらに備え、
前記差分分光感度算出部は、前記ロックインアンプによって、検出された前記単色光による短絡電流を用いて、前記差分分光感度を算出する請求項1〜9のいずれか一項に記載の分光感度測定装置。
For each of the plurality of combinations created by the combination creation unit, the bias light emitted from the first light source unit and the monochromatic light emitted from the second light source unit under the control of the emission control unit In a state where the solar cell is overlaid with a lock-in amplifier having a function of detecting a short-circuit current due to the monochromatic light from among the short-circuit currents measured by the current measurement unit,
The spectral sensitivity measurement according to any one of claims 1 to 9, wherein the differential spectral sensitivity calculation unit calculates the differential spectral sensitivity using a short-circuit current due to the monochromatic light detected by the lock-in amplifier. apparatus.
前記第1の絞りは、開口率がそれぞれ異なる複数の貫通穴を有する第1の板部材を含み、前記第2の絞りは、開口率がそれぞれ異なる複数の貫通穴を有する第2の板部材を含む請求項6に記載の分光感度測定装置。   The first diaphragm includes a first plate member having a plurality of through holes having different aperture ratios, and the second diaphragm has a second plate member having a plurality of through holes having different aperture ratios. The spectral sensitivity measuring apparatus of Claim 6 containing.
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