JP2016139606A - 飛行時間計測型質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
最初に本願発明の実施形態の内容をそれぞれ個別に列挙して説明する。
本願発明に係るTOF−MSの具体例を、以下に添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、これら例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図されている。また、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
(MCPリニアリティ上限)=(入射イオン最大量)×(ゲイン) …(1)
図は、第1実施形態に係るTOF-MS(飛行時間計測型質量分析装置)1の概略構成を示す図である。TOF-MS1は、真空容器を構成する筐体10、分析部16を備える。筐体10は、3つの真空チャンバ11〜13で構成され、最終段の真空チャンバ13に検出器14、15が設けられている。
図10は、第2実施形態に係るTOF−MS(飛行時間計測型質量分析装置)2の概略構成を示す図である。TOF-MS2は、真空容器を構成する筐体20と、分析部26を備える。筐体20は、3つの真空チャンバ21〜23により構成され、最終段の真空チャンバ23には検出器24が設けられている。なお、この第2実施形態に係るTOF−MS2には、上述の第1構造を有する検出器100A(図2および図3(a))および第2構造を有する検出器100B(図7および図8(a))の何れも適用可能である。
Claims (8)
- 試料から発生したイオンを電界により加速させる加速部と、
前記加速部を通過した後の加速された前記イオンの飛行経路上に設けられ、前記イオンが到達する事象を検出する検出器と、
前記検出器による前記事象の検出時刻までの前記イオンの飛行時間に基づいて前記試料の質量分析を行う分析部と、を備え、
前記検出器は、
前記イオンの到達に応じて発生した電子を増倍するマイクロチャネルプレートであって、前記イオンが到達する位置に設けられた入力面と、前記入力面に対向する、増倍された前記電子を出力する出力面と、を有するマイクロチャネルプレートと、
前記出力面に対して前記入力面とは反対側に設けられ、前記出力面から出力された電子を増倍するダイノードであって、前記出力面の電位よりも高い電位に設定されたダイノードと、
前記ダイノードから前記出力面および前記ダイノード間の中間位置までの空間内に設けられた、前記ダイノードにより増倍された電子を収集するアノードであって、前記出力面から出力された電子を前記ダイノードへ通過させる開口を有するとともに、前記ダイノードの電位よりも高い電位に設定されたアノードと、を含むことを特徴とする飛行時間計測型質量分析装置。 - 前記アノードの開口率は、90%以下であることを特徴とする請求項1に記載の飛行時間計測型質量分析装置。
- 前記アノードは、二次元的に配列された複数の開口を有することを特徴とする請求項1または2に記載の飛行時間計測型質量分析装置。
- 前記ダイノードは、二次電子放出効率を高める膜がコーティングされた金属平板からなることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の飛行時間計測型質量分析装置。
- 試料から発生したイオンを電界により加速させる加速部と、
前記加速部を通過した後の加速された前記イオンの飛行経路上に設けられた、前記イオンが到達する事象を検出する検出器と、
前記検出器による前記事象の検出時刻までの前記イオンの飛行時間に基づいて前記試料の質量分析を行う分析部と、
を備え、
前記検出器は、
前記イオンの到達に応じて発生した電子を増倍するマイクロチャネルプレートであって、前記イオンが到達する位置に設けられた入力面と、前記入力面に対向する、増倍された前記電子を出力する出力面と、を有するマイクロチャネルプレートと、
前記出力面に対して前記入力面とは反対側に設けられた、前記出力面から出力された電子を収集するアノードであって、前記出力面の電位よりも高い電位に設定されたアノードと、
前記アノードから前記出力面および前記アノード間の中間位置までの空間内に設けられた電極であって、前記出力面から出力された電子を前記アノードへ通過させる開口を有するとともに、前記アノードの電位よりも高い電位に設定された電極と、を含むことを特徴とする飛行時間計測型質量分析装置。 - 前記電極の開口率は、90%以下であることを特徴とする請求項5に記載の飛行時間計測型質量分析装置。
- 前記電極は、二次元的に配列された複数の開口を有することを特徴とする請求項5または6に記載の飛行時間計測型質量分析装置。
- 前記アノードは、金属平板からなることを特徴とする請求項5〜7の何れか一項に記載の飛行時間計測型質量分析装置。
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