JP2016133530A - 光学素子、光学素子製造方法及び光学素子製造装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 146
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 205
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 64
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims abstract description 40
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 claims description 67
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 24
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003570 air Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 229920001353 Dextrin Polymers 0.000 description 1
- 239000004375 Dextrin Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 235000019425 dextrin Nutrition 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】光学素子100は、電磁波に対して位相変調を及ぼし、入射光を屈折するためのアレイ配置された導電体101と、導電体101の形状の少なくとも一部の表面に接し、当該構造を固定する固定部102と、を備え、前記固定部102は熱可塑性物質である。また、本発明の光学素子製造方法は、電磁波に対して負の屈折率となる形状を有し、入射光を屈折させて出射する導電体101に対し、当該構造を固定する表面に熱可塑性物質102を塗布する塗布工程と、記塗布工程後に、熱可塑性物質102を冷却する冷却工程と、を備える。
【選択図】図1
Description
また、前記導電体は、部位により剛性が異なることが好ましい。
また、前記導電体は、バイメタルであることが好ましい。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は、実施の形態1にかかる光学素子の構成を示す模式図である。
固定する工程では、導電体101に加える圧力を一定にした状態で、熱可塑性物質102の温度をガラス転移温度Tg未満とする。具体的には、流体が熱可塑性物質102の熱を奪うことによる自然放冷が好適である。
実施の形態2では、導電体を固定する構成として紫外線硬化物質を用いる例について説明する。すなわち、実施の形態1の熱可塑性物質102に代えて紫外線硬化物質を用いる。具体的には、紫外線硬化物質として、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート等の紫外線硬化樹脂が好適である。
実施の形態3では、光学素子の導電体を変形させる力として、静電場を適用する例について説明する。図8は、実施の形態3に係る製造装置の一例を示す略図である。図8において、図2と同一の構成は、同一の番号を付して説明を省略する。
固定する工程では、導電体101に加える静電力を一定にした状態で、熱可塑性物質102の温度をガラス転移温度Tg未満とする。
実施の形態4では、光学素子の導電体を変形させる力として、磁力を適用する例について説明する。図10は、実施の形態4に係る製造装置の一例を示す略図である。図10において、図2と同一の構成は、同一の番号を付して説明を省略する。
実施の形態5では、光学素子の導電体を変形させる力として、バイメタルによる熱膨張を適用する例について説明する。図11は、実施の形態5に係る製造装置の一例を示す略図である。図11において、図2と同一の構成は、同一の番号を付して説明を省略する。
実施の形態6では、光学素子が複数の導電体を備える例について説明する。図12は、実施の形態6に係る光学素子の一例を示す略図である。図5に示すように、光学素子100は、基板103上に複数の導電体101を備えている。図5の例では、複数の導電体101は、基板103上に直交する二次元座標で配列して配置されているが、配列は特に限定されない
実施の形態7では、光学素子製造装置が加熱時と冷却時に異なる流体を送出する例について説明する。図14は、実施の形態7に係る製造装置の一例を示す略図である。図14において、図2と同一の構成は、同一の番号を付して説明を省略する。
101 導電体
102 熱可塑性物質
103 基板
200、300、400、500、600、700 光学素子製造装置
201 オーブン
202 ボンベ
203 バルブ
204 圧力調整器
205、701 固定台
206、404、504、603 コントローラ
207 圧力バッファ空間
301 紫外線光源
302 暗箱
401、501、601 電源
402、502、602 スイッチ
403 電極
503 電磁石
702 連通孔
Claims (13)
- 電磁波に対して位相変調を及ぼし、入射光を屈折する導電体アレイと、
前記導電体の前記形状の少なくとも一部の表面に接し、当該構造を固定する固定部と、を備え、
前記固定部は熱可塑性物質である光学素子。 - 電磁波に対して位相変調を及ぼし、入射光を屈折する導電体アレイと、
前記導電体の前記形状の少なくとも一部の表面に接し、当該構造を固定する固定部と、を備え、
前記固定部は紫外線硬化物質である光学素子。 - 前記導電体は、電磁波に対して共振する形状である請求項1または2に記載の光学素子。
- 前記導電体は、部位により剛性が異なる請求項1から3のいずれかに記載の光学素子。
- 前記導電体は、バイメタルである請求項1から4のいずれかに記載の光学素子。
- 電磁波に対して位相変調を及ぼし、入射光を屈折する導電体アレイに対し、当該構造を固定する表面に熱可塑性物質を塗布する塗布工程と、
前記塗布工程後に、前記熱可塑性物質を冷却する冷却工程と、
を備える光学素子製造方法。 - 前記塗布工程後に、前記導電体に力を加えて、所望の形状に変形する変形工程を備え、
前記変形工程後に、前記冷却工程を実行する、
請求項6に記載の光学素子製造方法。 - 前記塗布工程後に、前記熱可塑性物質を加熱する加熱工程を備え、
前記加熱工程後に、前記変形工程を実行する
請求項7に記載の光学素子製造方法。 - 前記変形行程は、圧力バッファまたは圧力調整機構を介して前記流体を送出し、前記光学素子に圧力を加える請求項7または8に記載の光学素子製造方法。
- 電磁波に対して位相変調を及ぼし、入射光を屈折する導電体アレイ少なくとも一部分の表面に、紫外線硬化物質を塗布する塗布工程と、
前記塗布工程後に、前記紫外線硬化物質を冷却する冷却工程と、
を備える光学素子製造方法。 - 電磁波に対して位相変調を及ぼし、入射光を屈折する導電体アレイと、前記導電体の少なくとも一部分の表面に接する熱可塑性物質と、を備える光学素子に対して、前記導電体に力を加えて、所望の形状に変形する変形工程と、
前記変形工程後に、前記熱可塑性物質を冷却する冷却工程と、
を備える光学素子固定方法。 - 電磁波に対して位相変調を及ぼし、入射光を屈折する導電体アレイと、前記導電体の少なくとも一部分の表面に接する熱可塑性物質と、を備える光学素子に対して、前記光学素子の一面に力を加える加力部と、
前記熱可塑性物質の温度を変化させる温度制御部とを備え、
前記温度制御部は、前記熱可塑性物質をガラス転移温度以上に加熱し、
前記加力部は、前記熱可塑性物質をガラス転移温度以上に加熱した状態で、前記光学素子の一面に力を加えて前記光学素子を変形させ、
前記温度制御部は、前記光学素子が変形した状態で前記熱可塑性物質をガラス転移温度未満に冷却する、
光学素子製造装置。 - 電磁波に対して位相変調を及ぼし、入射光を屈折する導電体アレイと、前記導電体の少なくとも一部分の表面に接する紫外線硬化物質と、を備える光学素子に対して、前記光学素子の一面に力を加える加力部と、
前記紫外線硬化物質に紫外線を照射する照射部とを備え、
前記加力部は、前記光学素子の一面に力を加えて前記光学素子を変形させ、
前記照射部は、前記光学素子が変形した状態で前記紫外線硬化物質に紫外線を照射する、
光学素子製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015006342A JP6404721B2 (ja) | 2015-01-16 | 2015-01-16 | 光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015006342A JP6404721B2 (ja) | 2015-01-16 | 2015-01-16 | 光学素子 |
Publications (2)
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JP2016133530A true JP2016133530A (ja) | 2016-07-25 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6404721B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004151093A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-05-27 | Canon Inc | センサ |
US6938325B2 (en) * | 2003-01-31 | 2005-09-06 | The Boeing Company | Methods of fabricating electromagnetic meta-materials |
WO2010026906A1 (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-11 | 株式会社村田製作所 | メタマテリアル |
JP2010268459A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Thales | 温度補償技術が適用されたフィルタおよびマルチプレクサ用の多重膜可撓性壁システム |
JP2011064724A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Canon Inc | 光学素子の製造方法および光学素子 |
JP2012058673A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 光学素子及びその製造方法 |
JP2013005044A (ja) * | 2011-06-13 | 2013-01-07 | Institute Of Physical & Chemical Research | メタマテリアル用の単位共振器、共振器アレイおよびメタマテリアルの製造方法 |
JP2013134350A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Asahi Glass Co Ltd | メタマテリアルの製造方法およびメタマテリアル |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004151093A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-05-27 | Canon Inc | センサ |
US6938325B2 (en) * | 2003-01-31 | 2005-09-06 | The Boeing Company | Methods of fabricating electromagnetic meta-materials |
WO2010026906A1 (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-11 | 株式会社村田製作所 | メタマテリアル |
JP2010268459A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Thales | 温度補償技術が適用されたフィルタおよびマルチプレクサ用の多重膜可撓性壁システム |
JP2011064724A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Canon Inc | 光学素子の製造方法および光学素子 |
JP2012058673A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 光学素子及びその製造方法 |
JP2013005044A (ja) * | 2011-06-13 | 2013-01-07 | Institute Of Physical & Chemical Research | メタマテリアル用の単位共振器、共振器アレイおよびメタマテリアルの製造方法 |
JP2013134350A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Asahi Glass Co Ltd | メタマテリアルの製造方法およびメタマテリアル |
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