JP2016131955A - 液滴検出方法と液滴検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 液滴検査装置の塗布ヘッドから基板上へ透明かつ、微小量の液滴を吐出させたとき、基板上へ着弾した透明で微小な液滴痕を検出すること。【解決手段】 塗布ヘッド１０の各ノズルから基板１２上へ微小量の透明な液滴を吐出させ、基板１２上に着弾させた直後に、基板を圧力発生部１５に通過させることで、基板１２上に形成した塗布痕の形状をコーヒーステイン形状に変形させることで、基板１２上に形成した微小な液滴痕を認識できるようにする。【選択図】 図１

Description

本発明は、液滴検査方法と液滴検査装置に関する。特に、インクジェット装置の塗布ヘッドから吐出された液滴の検査に関するものである。

近年、有機ＥＬ素子（有機電界発光素子）、配向膜、カラーフィルタ等のデバイスの製造において、インクジェット装置により、材料となる液状の材料を微小な液滴として基板上に吐出し、機能膜を形成することでデバイスを製造する方法が採用されつつある。

インクジェット装置により基板上へ機能膜を形成するとき、インクジェット装置の塗布ヘッドにある複数のノズルから液滴を吐出させる。この時、デバイスを形成するとき塗布ヘッドからの液滴の液滴量（体積）や液滴の着弾位置の精度が重要となる。塗布ヘッドから吐出させる液滴の液滴量がばらついていると、デバイスの機能が果たせなくなり、不良品となってしまう。

また、塗布ヘッドから吐出した液滴の着弾位置にずれが生じた場合、所定の場所に機能膜が形成されずにこの部分が欠陥となる。特に最近では、デバイスの高密度化や高精細化に伴って、インクジェット装置の塗布ヘッドから吐出させる液滴量が微小化されており、この微小な液滴の高精度な液滴量の制御や塗布位置の調整が求められている。

インクジェット装置の塗布ヘッドから吐出する液滴量について、所定の体積になるように調整する場合、事前に基板上へ塗布ヘッドの各ノズルから液滴を吐出させて、基板上に着弾された液滴痕の体積をレーザ顕微鏡や光干渉計などを用いて計測する。この計測結果をもとに、塗布ヘッドの各ノズルへ印加する電気信号を調整し、所定の液滴量が各ノズルから吐出されるように制御している。

この時、塗布ヘッドの各ノズルから吐出させる液滴が微小量であり、この微小量の液滴の吐出を高精度に制御する時、液滴が微小量のため測定誤差や測定自体が困難となる。そこで、通常、各ノズルから同じ場所に複数の液滴を基板上へ吐出させて、基板上へ着弾した液滴を大きなサイズにすることで精度良く液滴の体積を計測し、その後、１滴あたりの体積を算出している。

一方、インクジェット装置の塗布ヘッドから吐出する液滴が所定の着弾位置に吐出されるように塗布ヘッドからの吐出タイミングを調整する場合、塗布ヘッドの各ノズルから吐出させる液滴の着弾目標位置を定めた基板上に対して、塗布ヘッドの各ノズルから液滴を吐出させて着弾目標位置と実際に着弾した位置とのずれ量を計測し、このずれた距離の分だけ塗布ヘッドから吐出させる液滴の吐出タイミングを調整する。

たとえば、特許文献１には、罫線が印刷された基板を用いて、塗布ヘッドの各ノズルからこの基板上の罫線へ狙って液滴を吐出させて、基板上の罫線と塗布ヘッドから吐出された液滴の座標との距離を計測し、ずれ量を算出することで塗布ヘッドの各ノズルから液滴を吐出させるタイミングを調整して、所定の位置に液滴が着弾する方法が提案されている。

また、特許文献２には、塗布ヘッドの各ノズルから液滴を吐出させ、基板上へ着弾した塗布液の位置を計測し、基板上へ塗布されるべき位置とのずれ量を算出して、吐出タイミングを調整する方法が提案されている。

特開２０１１−１８３５８２号公報 特開２００５−１０３８４０号公報

しかしながら、塗布ヘッドから吐出される液滴が微小であり、塗布液の材料が透過性を有する材料であった場合、基板上へ着弾される液滴は、曲率半径の大きく、微小な半球形状の透明な液滴痕となる。この場合、この液滴痕を認識させるカメラでの液滴の認識が困難となり、基板上へ着弾した液滴痕の位置が計測できない。この理由は、カメラで液滴を認識するために液滴に照射光を当てるが、照射した光がカメラの方に反射されてしまうためである。

この時、塗布ヘッドの各ノズルから吐出させる液滴を基板上の同じ場所へ複数回吐出させ、基板上に着弾する液滴痕のサイズを大きくすることで認識カメラにより液滴を認識することも考えられる。

しかしながら、塗布ヘッドの各ノズルから液滴を１滴だけ基板上へ吐出して基板上へ液滴痕を形成する場合と、塗布ヘッドから複数の液滴を同じ場所へ吐出させて、１つの大きな塊の液滴痕を形成する場合では、着弾位置にずれが生じる。基板上へ着弾した１滴目の液滴の上に更に２滴目の液滴を着弾させる場合、２滴目の液滴が着弾する表面が平板な基板ではなく、半球形状の液滴痕であるためである。

図８に、塗布ヘッドから１滴の液滴を基板上に着弾させたときの液滴痕の断面図と、２滴の液滴を基板上へ着弾させたときの液滴痕の断面図を示す。図８に示すように、１滴目の液滴痕１に２滴目の液滴を吐出するとき、１滴目の液滴痕１の中心位置２とずれた中心位置３に１滴目と２滴目が結合した液滴痕４が形成される。さらに、複数の液滴を同じ位置に着弾させる場合、ずれが大きくなる可能性が大きくなる。よって、塗布ヘッドから吐出させる液滴が微小量の場合、着弾位置の検出が困難であり、高精度な位置調整ができない。

微小量の液滴の位置計測に対して、通常用いられる認識用のカメラではなく、レーザ顕微鏡や光干渉計などの微細な物体を計測する計測機を用いて微小な液滴痕の位置を計測する方法が適用できる可能性はある。

しかし、塗布ヘッドから液滴を吐出させるノズルの数が多い場合、長時間の計測時間を要してしまい現実的ではない。また、レーザ顕微鏡や光干渉計は、振動に対して大きく影響されてしまうため、これらの計測機を適用するための対策や運用が難しく、製造現場においては適用が困難である。

本願発明は、前記従来の課題を解決するもので、インクジェット装置の塗布ヘッドの各ノズルから基板へ吐出された微小かつ透過性のある液滴を、簡易的かつ短時間で認識して塗布位置の情報を得る液滴検査方法と液滴検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、液滴を基板に塗布する塗布工程と、液滴の形状を変形させる変形工程と、変形された液滴の形状を認識カメラで認識する認識工程と、認識工程での形状から液滴の塗布位置を求める位置特定工程と、塗布位置と液滴の塗布目的位置とのずれ量を算出する算出工程と、を有する液滴検査方法を用いる。

また、液滴を基板に塗布する塗布部と、基板を保持する保持部と、液滴を認識する認識部と、基板と、相対的に平行移動する平面を有する圧力発生部と、を含む液滴検査装置を用いる。

また、液滴を基板に塗布する塗布部と、基板を保持する保持部と、液滴を認識する認識部と、基板上の液滴を変形される圧力を加える加圧部と、を含む液滴検査装置を用いる。

以上のように、本発明の液滴検査方法、液滴検査装置によれば、微小な液滴に対して通常の認識カメラを用いて微小な液滴痕を認識し、着弾位置を計測することができるので、簡易的かつ短時間で微小量の液滴に対する高精度な着弾位置の調整が可能となる。

実施の形態の液滴検査装置の構成を示す概略図 実施の形態の液滴検査方法の動作ステップを示すフローチャート図 （ａ）基板上に着弾した液滴痕がコーヒーステイン形状の上面図、（ｂ）基板上に着弾した液滴痕がコーヒーステイン形状の断面図 （ａ）基板上に着弾した液滴痕の接触角が大きい場合の状態の断面図、 （ｂ）基板上へ着弾した液滴痕の接触角が小さい場合の状態の断面図、（ｃ）（ｂ）の液滴を変形された状態の断面図 塗布ヘッドから基板上へ吐出した液滴痕が圧力発生部に通過したときの概略図 （ａ）塗布ヘッドから基板上へ着弾させた直後の微小液滴の形状の図、（ｂ）基板上へ着弾した微小液滴を圧力発生部に通過するときの形状の図、（ｃ）基板上へ着弾した微小液滴を圧力発生部に通過させ乾燥した後の形状の図 塗布ヘッドから吐出した液滴の着弾目標位置と塗布ヘッドから吐出された微小液滴の着弾位置を示した図 従来技術として、塗布ヘッドのノズルから基板上へ吐出した１滴目の液滴痕の断面図と２滴目の液滴痕の断面図を示した図

以下実施の形態の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（液滴検査装置）
図１は、実施の形態の液滴検査装置の１形態の構成を示した概略図である。塗布ヘッド１０の位置から認識カメラ１１の位置まで基板１２を搬送させるための移動ステージ１３が設置されている。移動ステージ１３表面は、微細な穴が多数開いており真空ポンプに接続され、この微細な穴から真空吸着により基板１２を固定することができる。基板１２は真空吸着されているので、移動ステージ１３の移動に伴って移動ステージ１３上に固定した基板１２がずれない。

塗布ヘッド１０には、複数のノズルが設置されていて、制御装置１４によって各ノズルに対して入力信号を制御する。このことで、任意の塗布量や吐出タイミングを調整することができる。また、塗布ヘッド１０には、吐出させる液滴の塗布液を供給する配管が設置され適切な供給量の塗布液が塗布ヘッドに供給されている。

塗布ヘッド１０と認識カメラ１１の間には、圧力発生部１５が設置されている。この圧力発生部１５は、基板１２表面とのギャップが狭く設置されており、基板１２が圧力発生部１５の下を通過する時、基板１２に圧力が印加される。この圧力発生部１５は、基板１２とのギャップの距離を適宜調整することが出来る。また、圧力発生部１５は、移動ステージ１３上の基板１２よりも大きな幅のサイズを有して、基板１２が通過するとき、基板１２全面に対して、圧力発生部１５と対面するように設置されている。

圧力発生部１５に隣接して、認識カメラ１１が設置されている。認識カメラ１１は、基板１２全面に着弾した液滴を検出できるように、認識カメラ１１が基板１２上を移動しながら液滴を認識する。このとき、認識カメラ１１は固定で移動ステージ１３を移動されながら液滴を認識カメラ１１により認識しても良い。

認識カメラ１１には、認識カメラ１１と同軸の落射照明が設置されており、液滴の画像を撮像するとき、液滴に照射したとき液滴から反射される照明の光の強度によって、基板上に塗布した液滴痕を認識する。液滴痕がある場合、認識カメラからの照明光が液滴の傾斜によって斜めに反射するために液滴の形状で暗く写る。ここで、液滴痕とは、塗布された液滴が基板などの上に付着したものをいう。

この撮像写真をもとに、画像制御装置１６により基板１２上に着弾した塗布痕の位置情報を収集する。この画像制御装置１６による液滴痕の位置情報のデータを塗布ヘッドから液滴を吐出させるための制御装置１４に反映させて塗布ヘッド１０から基板１２へ吐出させる液滴の吐出タイミングを調整する。

（プロセス）
以下では、本実施の形態の液滴検査装置の動作ステップを参照しながら、実施の形態の液滴検査方法について説明する。
図２には、本実施の形態の液滴検査方法のフローチャートを示している。
（１）塗布ヘッド１０の各ノズルから透過性を有する微小な液滴を基板上の目標地点に対して吐出する（第１のステップＳ１）。
（２）基板１２上に着弾した微小液滴痕をコーヒーステイン形状に変形させる（第２のステップＳ２）。
（３）第２のステップＳ２で形成したコーヒーステイン形状の微小液滴痕を認識カメラ１１で画像認識させ、着弾位置を検出する（第３のステップＳ３）。
（４）第３のステップで検出された液滴痕の位置情報と塗布ヘッド１０から吐出させる液滴の吐出タイミングを調整する（第４のステップＳ４）。
それぞれ以下に詳細を説明する。

＜第１のステップＳ１＞
第１のステップＳ１では、液滴検査装置に取り付けられた塗布ヘッド１０の各ノズルから透過性を有する微小な液滴量の液滴を移動ステージ１３に固定、設置した基板１２上へ吐出させる。塗布ヘッド１０から吐出させ、透過性を有する液滴の塗布材料として、有機発光材料であるポリフェニレンビニレンおよびその誘導体を塗布材料として用いた。この有機発光材料は有機ＥＬディスプレイの製造に用いられ、高精細なディスプレイを製造する場合、この塗布材料を基板１２上へ塗布するとき高精度な着弾精度が要求される。以下では、この塗布材料に対して、基板１２上へ塗布したときの例を示す。

まず、塗布ヘッドから吐出させる液滴の量が３ｐＬの微小な吐出量になるように塗布ヘッドから吐出させる液滴の吐出条件を調整した。塗布ヘッド１０から吐出した微小な液滴を着弾させるための基板１２は、透明なガラス基板を用いた。ガラス基板上に液滴が着弾したとき、液滴が濡れ広がって液滴痕の形状が崩れないようにするために、基板１２表面には、撥水膜を形成した。撥水膜としては、フッ素を含んだ樹脂薄膜をコーティングして基板に撥水性を持たせた。

塗布ヘッド１０から吐出させた液滴は、基板上の目標位置を狙って吐出するように、塗布ヘッド１０の各ノズルの吐出タイミングを調整し、各ノズルからの微小液滴の吐出をおこなった。基板１２上の目標位置は、基板が設置されたステージの位置情報から吐出位置を決めた。このとき、基板上にあらかじめフォトリソグラフなどにより吐出位置をマーキングして、基板上の目標位置としても良い。

＜第２のステップＳ２＞
（２）第２のステップＳ２では、基板上に着弾した微小液滴痕の形状をコーヒーステイン形状に変形させる。

液滴を基板上に着弾させたとき、基板１２上に着弾した液滴痕は乾燥の過程において液滴内で対流が起こり周辺部の濃度が濃くなる現象が発生する。液滴痕内に塗布液の溶質濃度の偏差が起こり、液滴痕外周部の領域が増粘（ゲル化）する。

その後、塗布液が増粘した外周部が止まったまま液滴痕の高さのみが低くなり、液滴痕の内部流れによって外周部に溶質が供給されながら乾燥するので、コーヒーステイン形状を形成する。図３（ａ）と図３（ｂ）にコーヒーステインの形状を示す。図３（ａ）の上面図のように液滴痕３０の形状がリング状、かつ、図３（ｂ）の断面図示すように液滴痕３０の外周部の高さが高くなるように液滴痕３０が形成される。ここで、コーヒーステインの形状とは、周囲がリング状であり、そのリングで中心が囲まれることで、中心が凹部状となっている形状である。

しかしながら、第１のステップＳ１において、吐出される液滴の量が微小の場合、液滴痕内での対流による液滴痕内の濃度の変動が生じる前に、全体的に液滴痕が乾燥してしまうため、コーヒーステイン形状が形成されずに半球形の形状を形成する。このとき、基板上に着弾された液滴痕３０を画像認識カメラで認識させるとき、基板１２上に形成された液滴痕３０の接触角により、認識カメラでの認識の状態が変わってくる。

図４（ａ）、図４（ｂ）は、基板上に液滴を着弾させたときの液滴痕４０の断面図と接触角４１を示している。図４（ａ）に示すように液滴痕４０の接触角４１が大きい場合、認識カメラに設置された照明を液滴痕４０に照射すると照明光が液滴表面で斜めに反射されるため、認識カメラで撮像すると、黒いドットとして認識され、液滴の着弾位置を検出することができる。

しかしながら、液滴量が数ｐＬの微小量になると、図４（ｂ）に示すように、基板上へ着弾された液滴痕４０の接触角４１が小さくなり、認識カメラ１１の照明の光がそのままカメラの方に反射されてしまい、液滴痕の認識ができなくなる。

第１のステップで説明した有機発光材料であるポリフェニレンビニレンおよびその誘導体を塗布材料として用いて、塗布ヘッドから３ｐＬで吐出した場合、基板上へ着弾した液滴痕の接触角４１は、図４（ｂ）に示すように小さくなり認識ができない。

しかし、ここで、図４（ｂ）の形状を図４（ｃ）（図３）の形状へ変形すれば、認識カメラ１１で認識できる。すなわち、接触角４１が大きくなるためである。
中央部分が凹むことで、端部が高くなる。結果、接触角４１が大きくなり、認識カメラで撮像できる。

ここで、形状としては、図４（ｃ）のコーヒーステイン形状としたが、外周の接触角が大きくなればよい。よって、コーヒーステイン形状に限定されない。しかし、液状のものを変形させる場合、コーヒーステイン形状とするのが、最も、安定して、その形状にできる。つまり、外周の高さが高く、内側に１つの凹部が存在する形状がよい。

また、コーヒーステイン形状なら、外周の接触角が高く、その部分を撮影でき、液滴の位置が正確にわかる。

そこで、第２のステップでは、塗布ヘッド１０から微小な液滴を吐出させて基板１２上へ液滴痕４０を形成した直後に、基板１２上で液滴痕４０が乾燥しないタイミングで基板１２上に着弾した液滴痕４０の形状を半球形状から、図３、図４（ｃ）に示すようなコーヒーステイン形状に変形させて、認識カメラ１１でリング形状を認識できるようにする。

図５にコーヒーステイン形状にする概略図を示す。ステージの移動方向４２において、圧力発生部１５が設置してあるので、塗布ヘッド１０から基板１２上に液滴痕４０を着弾させて液滴痕４０を形成した直後ステージを移動させることで、基板１２上に形成した液滴痕４０を、移動ステージ１３の移動により、圧力発生部１５の平面（第２平面）の下を通過させる。圧力発生部１５の平面（第２平面）と基板１２の表面（第１平面）とは平行に移動する。圧力発生部１５は、基板１２に対向する面（第２平面）が平面であればよい。圧力発生部１５の面（第２平面）と基板１２の面（第１平面）との間で発生する圧力で液滴痕４０が変形する。

図６（ａ）〜図６（ｃ）には、基板上に形成した液滴痕の形状において、圧力発生部１５を通過させるときの液滴痕４０の形状の変化を示した図を示している。図６（ａ）は、基板１２上に液滴を着弾させて液滴痕４０を形成した直後の状態である。基板１２を圧力発生部１５に通過させることで図６（ｂ）に示すように基板１２上に着弾された液滴痕４０が加圧されて変形する。液滴痕４０の高さの高い部分に高い圧力がかかるため、中央部がへこんだ凹形状となる。圧力発生部１５を通した後、乾燥した液滴痕４０の状態は、図６（ｃ）に示すようなコーヒーステイン形状となる。圧力発生部１５と基板１２とのギャップの距離４３を調整することで、コーヒーステインの外周部のリングを形成する。

また、基板１２上に着弾した液滴痕４０の形状を半球形状からコーヒーステイン形状に変形させるために、圧力発生部１５の変わりに基板１２上へエアーを吹き付けるノズルを複数設置し、基板１２上に形成した液滴痕４０にエアーを吹き付け、液滴痕４０がコーヒーステインの形状になるようにエアーの吹き付け圧力を調整して液滴をコーヒーステイン形状にしても良い。

＜第３のステップＳ３＞
（３）第３のステップでは、第２のステップで形成したコーヒーステイン形状の外周部のリングの形状を認識カメラ１１で撮像してリング形状を認識させる。

認識カメラ１１で基板１２上に形成したコーヒーステイン形状を撮像するとき、外周部のリング液状部は、認識カメラからの照明光がカメラの方に反射しないが、中央部は液滴がほとんど無い状態なので照明光が認識カメラの方に反射されてしまう。よって、認識カメラによるコーヒーステインの形状は黒いリング形状となる。認識カメラ１１で撮像したこのリング形状のデータより、画像制御装置１６でリングの中心点を算出して、基板１２上に着弾した微小液滴の着弾位置を検出させる。

＜第４のステップＳ４＞
（４）第４のステップでは、第３のステップで検出された基板１２上の液滴の着弾位置のデータをもとに、塗布ヘッド１０の各ノズルから吐出させる液滴の吐出タイミングを調整する。

図７に基板１２上における液滴の着弾位置の目標位置５０〜５４と、塗布ヘッド１０の各ノズルから吐出させた液滴の着弾位置５５〜５９の検出結果を示す。基板１２の移動方向４２に対し、塗布ヘッド１０のノズルから吐出された塗布液の着弾位置の距離が、着弾目標地点よりも後の着弾位置であった場合（距離６１、６３）、塗布ヘッド１０からの吐出タイミングを早めに調整する。着弾目標地点よりも前の着弾位置の距離であった場合（距離６２、６４、６５）、塗布ヘッド１０からの吐出タイミングを遅く調整すればよい。吐出タイミングの調整は、基板１２の搬送速度、および、塗布ヘッド１０から吐出される液滴の吐出速度から制御装置１４によって吐出タイミングを算出すればよい。

（効果）
以上、第１のステップから第４のステップにより、透過性を有する微小な液滴を基板上へ吐出して、基板に着弾した液滴の位置を認識し、吐出位置の高精度な制御をすることが可能となる。
（実施例）
表１に、塗布ヘッド１０から液滴を基板１２上に吐出させ、基板１２上に着弾した液滴痕４０に対して、認識カメラ１１での認識の可否を調査した結果表を示す。○は、液滴が認識できることを示す。×は、液滴が認識できないことを示す。

有機発光材料であるポリフェニレンビニレンおよびその誘導体を塗布材料として用いた。塗布ヘッドから３ｐＬで吐出した。

認識カメラ１１としては、レンズ２−ＨＲ６５（モリテックス製）に白黒のＣＣＤカメラＸＣ−ＨＲ７０（ソニー製）を接続して使用した。

照明としては、白色光をレンズの同軸で導入し、基板上の液滴痕に白色の照明を当てて撮像を行った。基板１２上に着弾した液滴を認識カメラ１１で認識するとき、カメラと撮像する基板とは対向面になるように設置した。カメラで撮像できる領域は小さいため、適宜カメラの位置を動かして、基板上に着弾したすべての液滴を撮像できるようにした。

表１の結果表において、○が認識カメラ１１で液滴痕４０を認識できた接触角４１を示す。×が認識カメラ１１で液滴痕４０を認識できなかった接触角４１を示している。基板１２表面上にコーティングした撥水膜に対してＵＶ処理条件を調整して、塗布ヘッド１０から液滴を吐出させて基板１２上に液滴痕４０を着弾した時、液滴痕４０の接触角４１が３０〜８０°になるように調整した。この表１の結果より、基板１２上へ形成する液滴痕４０の接触角４１が６０°以上になるようにすれば良いことが分かる。

接触角が、８０°より大きくなると、液滴が球状に近くなり、光が反射される部分、光が反射されない部分が、生じる。結果、認識できる部分と、認識できない部分が生じ、よくない。

なお、上記例では、１例であり、液滴の材料や、認識カメラ１１の種類、基板１２の表面状態などで、角度が変化する可能性はある。しかし、白黒のＣＣＤカメラなど光学式カメラで基板１２上の液滴の画像を撮像する場合、いずれのカメラでも、上記角度であると考えられる。
（なお書き）
上記の例では、インクの着弾位置を検査したが、他の検査にも利用できる。インク量、インク塗布の方向ずれなどである。

本願の液滴検査方法、装置は、液滴の検査として広く利用される。液滴は、インクジェット装置で形成されたものに限られない。液滴を形成する種々の装置、方法により形成された液滴が、本願の液滴検査方法、装置により検査される。

１ 液滴痕
２ 中心位置
３ 中心位置
４ 液滴痕
１０ 塗布ヘッド
１１ 認識カメラ
１２ 基板
１３ 移動ステージ
１４ 制御装置
１５ 圧力発生部
１６ 画像制御装置
３０、４０ 液滴痕
４１ 接触角
４２ 移動方向
４３ 距離
５０ 目標位置
５５ 着弾位置
６１、６２、６３、６４、６５ 距離

Claims (10)

1. 液滴を基板に塗布する塗布工程と、
   前記液滴の形状を変形させる変形工程と、
   前記変形された液滴の形状を認識する認識工程と、
   前記認識工程での形状から前記液滴の塗布位置を求める位置特定工程と、
   前記塗布位置と前記液滴の塗布目的位置とのずれ量を算出する算出工程と、を有する液滴検査方法。
2. 前記変形工程では、第２平面を有する圧力発生部を、前記基板の前記液滴の存在する第１平面に対して、相対移動させる、前記相対移動は、前記第１平面と前記第２平面とを、平行状態で対向させ、移動させる請求項１記載の液滴検査方法。
3. 前記変形工程で、前記液滴に対して圧力を加えて、前記液滴を変形させることを特徴とする請求項１記載の液滴検査方法。
4. 前記変形された液滴の形状が、コーヒーステイン形状である請求項１から３のいずれか１項に記載の液滴検査方法。
5. 前記認識工程では、光学式カメラで認識し、照明を前記光学式カメラと同軸にて、前記液滴へ照射する請求項１から４のいずれか１項に記載の液滴検査方法。
6. 前記変形された液滴の形状において、その端部の接触角が６０度以上である請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴検査方法。
7. 前記液滴、および、前記基板が透過性を有することを特徴とした請求項１から６のいずれか１項に記載の液滴検査方法。
8. 液滴を基板に塗布する塗布部と、
   前記基板を保持する保持部と、
   前記液滴を認識する認識部と、
   前記液滴の形状を変形させる変形部と、を含む液滴検査装置。
9. 前記変形部は、前記基板と、相対的に平行移動する平面を有する圧力発生部である請求項８記載の液滴検査装置。
10. 前記変形部は、前記液滴に圧力を加える加圧部である請求項８記載の液滴検査装置。
    
    

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