JP2016119285A - イオン及びオゾン風発生装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高効率又は低コストなイオン及びオゾン風の発生装置を提供する。
【解決手段】例えば、第１の金属層Ｍ１を、第１の空洞パターンで形成し、第２の金属層Ｍ２を、第１の空洞パターンと異なる第２の空洞パターンで形成し、第１の空洞パターンで形成された第１の金属層と、第２の空洞パターンで形成された第２の金属層とを、積層し、電極Ｅ１を、第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する。
【選択図】図１４

Description

本発明は、イオン及びオゾン風を発生する装置及びその製造方法に関する。

イオン・オゾン風を発生させる装置として、例えば特許文献１に開示された構成（図２）がある。特許文献１に開示されている対向電極は、平面状（平板状）且つ環状又は渦状を成す電導部材に貫通孔が設けられ、針状電極１０との間に電位差（１２）を発生させ、コロナ放電によりイオン、オゾンおよびイオン風を発生させる構造になっている。対向電極として主電極対（１１Ａ）と、その同一平面上の外周に副電極対（１１Ｂ）を設け、針状電極（１０）と副電極対までの距離（Ｌ２）を、針状電極と主電極対までの距離（Ｌ１）より長くする構造により、主電極対にて発生する強く少量のイオン風（第１のイオン風）と、副電極対にて発生する第１のイオン風に比較して弱く大量のイオン風（第２のイオン風）とを組み合わせて、イオン風を針状電極から対向電極に向けて発生させる。つまり、対向電極は、一枚の平板で実現される平面構造である。

次に、特許文献２に開示された構造（図１）では、ターゲット電極が立体構造を構成する点で、特許文献１と異なる。ターゲット電極２１Ａ，２１Ｂを挟んでコロナ電極２０とは反対側に反射電極（不図示）を設ける立体構造を構成し、コロナ電極と反射電極に、ターゲット電極とは逆極性の電位差を与える。イオンは、コロナ電極とターゲット電極間でのコロナ放電により発生される。そのイオンは、コロナ電極からターゲット電極の方向に流れる。反射電極は、ターゲット電極と反射電極に挟まれた空間に平行になるようにイオン風の向きを変えることで、イオン風を拡散する。特許文献２に開示された立体構造は、シートをパンチングして得られた夫々半径が異なる複数リング状の蛇腹を、タブによって互いに接続して得られる。

特許第５４６１７３６号 国際公開第ＷＯ９２／０５８７５号

例えば、装置の小型化を目指すために、単位面積（または単位容量）当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧、及び製造コスト減少の少なくともいずれか一つを、更に高める必要がある。

例えば、特許文献１に開示された構成においては、対向電極が、一枚の平板で実現される平面構造であるので、イオン風量を増加させるには針状電極と主電極対のセット数を同一平面上で増やすか、コロナ放電のための電位差を大きくする必要がある。よって、装置の更なる小型化が難しい。更に、針状電極と主電極対の間の電位差を大きくすると、感電の危険性が増加すると共に、高電圧発生装置が大型化し、装置の更なる小型化が難しい。つまり、実用上の利便性が犠牲になる。このため強いイオン風量が必要な用途には不向きな構造となっている。

例えば、特許文献２に開示された構成においては、立体構造であるので、特許文献１よりも単位容量当たりのイオン風の量を高める可能性があるものの、複数リング状の蛇腹をタブによって互いに接続して得られる複雑な構造故に、製造コストが高い。

本発明のイオン及びオゾンの風を発生する装置は、第１線分及び第１の線分と交差する第２の線分を有する第１の面、第１の面と反対側である第２の面、並びに第２の厚さを有し、第１の電圧が供給される多角形の第１の導電体と、第３線分及び第３の線分と交差する第４の線分を有する第３の面、第３の面と反対側である第４の面、並びに第３の厚さを有し、第２の電圧が供給される多角形の第２の導電体と、第５線分及び第５の線分と交差する第６の線分を有する第５の面、第５の面と反対側である第６の面、並びに第１の厚さを有し、第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給される多角形の第３の導電体と、を備え、第１及び第２の導電体は、第１及び第３の面が１８０度未満である第１の角度で向き合うように配置され、第１及び第３の導電体は、第１及び第５の面が９０度未満である第２の角度で向き合うように配置され、第２及び第３の導電体は、第３及び第６の面が９０度未満である第３の角度で向き合うように配置され、第１及び第３の導電体の間、並びに第２及び第３の導電体の間でそれぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生することを特徴とする。

本発明のイオン及びオゾンの風を発生する装置は、半径と交差する第１の方向に平行な第１の線分を曲面として有し、第１の電圧が供給される円筒の第１の導電体と、円筒の中心を第１の方向に通過し、第１の電圧と異なる第２の電圧が供給される第２の導電体と、を備え、曲面は、第１の線分の方向に空洞領域、並びに空洞領域を挟むように第１の線分の方向に第１及び第２の導電領域を有し、第２の導電体は、第１の導電領域に対応して互いに異なる曲面の方向に第１及び第２の電極、並びに第２の導電領域に対応して互いに異なる曲面の方向に第３及び第４の電極を有し、第１、第２の電極及び第１の導電領域のそれぞれの間、並びに第３、第４の電極及び第２の導電領域のそれぞれの間で、コロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。

本発明のイオン及びオゾンの風を発生する装置は、内径である第１の半径と交差する第１の方向に平行な第１の線分を曲面として有し、第１の電圧が供給される円筒の第１の導電体と、第１の半径よりも小さい内径である第２の半径と交差する第１の方向に平行な第２の線分を曲面として有し、第２の電圧が供給され、第１の導電体に積層される円筒の第２の導電体と、第１及び第２の導電体の円筒の中心軸に配置され、第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給される電極と、を備え、第１の導電体及び電極の間、並びに第２の導電体及び電極の間で、それぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。

本発明のイオン及びオゾンの風を発生する装置は、第１の半径の第１の空洞パターンを有し、第１の電圧が供給される第１の金属層と、第１の半径よりも小さい第２の半径の第２の空洞パターンを有し、第２の電圧が供給され、第１の金属層に積層される第２の金属層と、第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給され、第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する電極と、を備え、第１の金属層及び電極の間、並びに第２の金属層及び電極の間で、それぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。

本発明のイオン及びオゾンの風を発生する装置は、多角形な第１の金属体であり、第１の空洞パターンを有し、第１の電圧が供給される第１の金属層と、多角形な第２の金属体であり、第１の空洞パターンと異なる第２の空洞パターンを有し、第２の電圧が供給され、第１の金属層と積層する第２の金属層と、第３の金属体であり、前記第１及び第２の金属層の間に挟まれる第３の金属層と、第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給され、第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する電極と、を備え、第１及び第２の金属層は、前記第３の金属層によってエアギャップを介して積層され、第１の金属層及び電極間、並びに第２の金属層及び電極間で、それぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。また、本発明のイオン及びオゾンの風を発生する装置は、多角形な第１の金属体であり、第１の空洞パターンを有し、第１の電圧が供給される第１の金属層と、多角形な第２の金属体であり、第１の空洞パターンと異なる第２の空洞パターンを有し、第２の電圧が供給され、第１の金属層と積層する第２の金属層と、絶縁体であり、第１及び第２の金属層の間に挟まれる絶縁層と、第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給され、第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する電極と、を備え、第１の金属層及び電極間、並びに第２の金属層及び電極間で、それぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。更に、また、本発明のイオン及びオゾンの風を発生する装置は、多角形な第１の金属体であり、第１の空洞パターンを有し、第１の電圧が供給される第１の金属層と、多角形な第２の金属体であり、第１の空洞パターンと異なる第２の空洞パターンを有し、第２の電圧が供給され、第１の金属層と積層する第２の金属層と、第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給され、第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する電極とを備え、第１の空洞パターンは、中心軸を基準に第１及び第２の空洞領域を含み、第１の金属層は、第１及び第２の空洞領域の間の第１の金属領域を含み、第２の空洞パターンは、中心軸を基準に第３及び第４の空洞領域を含み、第２の金属層は、第３及び第４の空洞領域の間の第２の金属領域を含み、第１の金属層及び電極間、並びに第２の金属層及び電極間で、それぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。

本発明のイオン及びオゾンの風を発生する装置の製造方法は、第１の金属層を、第１の空洞パターンで形成し、第２の金属層を、第１の空洞パターンと異なる第２の空洞パターンで形成し、第１の空洞パターンで形成された第１の金属層と、第２の空洞パターンで形成された第２の金属層とを、積層し、電極を、第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する。

特許文献１（従来技術）を説明するための図。 特許文献２（従来技術）を説明するための図。 第１の実施例を説明するための図。 第１の実施例の展開例を説明するための図。 第２の実施例を説明するための図。 第２の実施例を説明するための図。 第２の実施例の展開例を説明するための図。 第３の実施例を説明するための図。 第３の実施例を説明するための図。 第３の実施例の展開例を説明するための図。 第４の実施例を説明するための図。 第４の実施例を説明するための図。 第５の実施例を説明するための図。 第６の実施例を説明するための図。 第７の実施例を説明するための図。 第８の実施例を説明するための図。 第９の実施例である第１の製造方法を説明するためのフローチャート図。 第１０の実施例である第２の製造方法を説明するためのフローチャート図。 第１１の実施例である第３の製造方法を説明するためのフローチャート図。 第１２の実施例を説明するための図。 第１２の実施例を説明するための図。 第１３の実施例を説明するための図。 第１３の実施例を説明するための図。 第１４の実施例である第４の製造方法を説明するためのフローチャート図。

図３は、第１の実施例を説明するための図である。図３（Ａ）は、立体的構造を示す斜視図である。図３（Ｂ）は、第１の方向（Ｘ方向）から見た図であり、イオン及びオゾンの風が放出される側から見た正面図である。図３（Ｃ）は、第２の方向（Ｙ方向）から見た構造図及び電圧関係を示す回路図である。

図３（Ａ）において、多角形（例えば長方形）の３つの電極３０、３１Ａ、３１Ｂが開示され、それらは導電体である。第１の導電体３１Ａは、面積が広い２つの面（第１の面、第２の面）を有する。第１の面は、第１線分及び第１の線分と交差する第２の線分を有する。第２の面は、第１の面と反対側である。第２の導電体３１Ｂは、面積が広い２つの面（第３の面、第４の面）を有する。第３の面は、第３線分及び第３の線分と交差する第４の線分を有する。第４の面は、第３の面と反対側である。第３の導電体３０は、面積が広い２つの面（第５の面、第６の面）を有する。第５の面は、第５線分及び第５の線分と交差する第６の線分を有する。第６の面は、第５の面と反対側である。第３の導電体３０は、ブレード（Ｂｌａｄｅ）であり、横長な楔形（一端が広く他端に至るにしたがってしだいに狭くなる形）を示す。つまり、楔形の第３の導電体３０は、第１の厚さの第１の領域及び第１の厚さよりも薄い第２の領域を有する。３つの導電体３０、３１Ａ、３１Ｂは、それぞれ対応する厚さ（第１の厚さ、第２の厚さ、第３の厚さ）を有する。

図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）において、第１の導電体３１Ａ及び第２の導電体３１Ｂは、電源３２の第１のノードに接続する。第３の導電体３０は、電源３２の第２のノードに接続する。第１のノードは負電圧であり、第２のノードは第１のノードに対して正電圧である。第１の導電体３１Ａ及び第３の導電体３０の間、並びに第２の導電体３１Ｂ及び第３の導電体３０の間でそれぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。

第１の導電体３１Ａ及び第２の導電体３１Ｂは、第１及び第３の面が１８０度未満である第１の角度で向き合うように配置される。第１の導電体３１Ａ及び第３の導電体３０は、第１及び第５の面が９０度未満である第２の角度で向き合うように配置される。第２の導電体３１Ｂ及び第３の導電体３０は、第３及び第６の面が９０度未満である第３の角度で向き合うように配置される。よって、図３（Ｃ）において、第３の導電体３０及び第１の導電体３１Ａまでの第１の面までの距離は、複数の距離（Ｌ１からＬ３）が存在する。距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３の関係は、Ｌ３＞Ｌ２＞Ｌ１である。従って、最も短い距離（Ｌ１）に対応する、強く発生されたイオン及びオゾンと、最も長い距離（Ｌ３）に対応する、Ｌ１と比較して弱く発生されたイオン及びオゾンとの組み合わせにより、イオン及びオゾン風を、第３の導電体３０から第１の導電体３１Ａ及び第２の導電体３１Ｂの間に向けて発生させる。第３の導電体３０及び第２の導電体３１Ｂまでの第３の面までの距離も、複数の距離（Ｌ１からＬ３）が存在する。その作用は、前述の通りである。

３つの電極（導電体）３０、３１Ａ、３１Ｂが多角形（長方形）であり、それらの特徴的な角度によって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

３つの電極（導電体）３０、３１Ａ、３１Ｂの夫々の形状は、適宜変更できる。例えば、第１の電極（導電体）３１Ａを第３の導電体３０の様に楔形にしても良い。第１の電極（導電体）３１ＡのＬ１、Ｌ３側を楔形にしても良い。多角形は、長方形に限られないことは言うまでもない。

２つの電極（導電体）３１Ａ、３１Ｂのそれぞれの電圧は、電極（導電体）３０に対して、適宜変更できる。例えば、２つの電極（導電体）３１Ａ、３１Ｂにそれぞれ印加する電圧を、正電圧が印加される電極（導電体）３０に対して互いに異なる負電圧としても良い。

２つの電極（導電体）３１Ａ、３１Ｂの電極（導電体）３０に対しての角度は、適宜変更できる。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を、同一（Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌ３）としても良い。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を、Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３としても良い。

これら特徴的な変更並びに組み合わせによって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

図４は、第１の実施例の展開例である。一つのセット（第１の実施例の３つの電極（導電体）３０、３１Ａ、３１Ｂ）を、横方向（第１の方向（Ｘ方向）、長方形の長い線分の方向（第２の線分よりも長い第１の線分の方向））に複数配置した例である。複数のセットにおいて、イオン及びオゾン風の方向の志向性を合わせることで、イオン及びオゾン風の方向の志向性を制御できる。その制御目的によって、複数の設置位置は、三次元の任意の位置に適切な個数を並べてもよい。

図５は、第２の実施例を説明するための図である。図５−１（Ａ）は、立体的構造を示す斜視図である。図５−１（Ｂ）は、第２の方向（Ｘ方向）から見た図であり、イオン及びオゾンの風が放出される側から見た正面図である。図５−２（Ｃ）は、第１の方向（Ｙ方向）から見た構造図及び電圧関係を示す回路図である。

図５−１（Ａ）において、２つの電極４１、４０Ａが開示され、それらは導電体である。電極４１は、円筒の第１の導電体であり、その半径と交差する第１の方向に平行な第１の線分を曲面として有している。その曲面は、第１の線分の方向に空洞領域を有している。その空洞領域を挟むように第１の線分の方向に第１及び第２の導電領域を有している。円筒の第１の導電体は、第２の方向（Ｘ方向）に両底面が開放されており、イオン及びオゾン風の方向を示す。

電極４０Ａは、その円筒の中心を第１の方向（Ｙ方向）に通過する第２の導電体である。電極４０Ａは、第１の導電領域に対応して互いに異なる曲面の方向に第１の電極４０Ｂ及び第２の電極４０Ｂを有する。電極４０Ａは、更に、第２の導電領域に対応して互いに異なる曲面の方向に第３の電極４０Ｂ及び第４の電極４０Ｂを有する。

図５−１（Ｂ）及び図５−２（Ｃ）において、第１の導電体４１は、電源４２の第１のノードに接続する。第２の導電体４０Ａは、電源４２の第２のノードに接続する。第１のノードは負電圧であり、第２のノードは第１のノードに対して正電圧である。第１の導電体４１及び第２の導電体４０Ａの間でコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。詳細には、第１の導電体４１と、それぞれ対応する第１の電極４０Ｂ、第２の電極４０Ｂ、第３の電極４０Ｂ及び第４の電極４０Ｂの間でそれぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。それらのイオン及びオゾンの風は、イオン及びオゾン風の方向として同一の志向性を示す。それぞれの空洞領域は、対応する電極４０Ｂに風を供給する。空洞領域がない単なる円筒では、風が供給される場所は一方の底面（第２の方向（Ｘ方向））のみであり、イオン及びオゾン風を排出する場所は他方の底面である。イオン及びオゾン風が排出される側の電極４０Ｂのイオン及びオゾン化の効率は、イオン及びオゾン風が供給される側の電極４０Ｂのイオン及びオゾン化よりも低い。これに対して、それぞれの空洞領域は、対応する電極４０Ｂに風を供給するので、イオン及びオゾン化の効率は向上する。

第２の導電体４０Ａは、第１の電極４０Ｂ、第２の電極４０Ｂ、第３の電極４０Ｂ及び第４の電極４０Ｂを除いて、導電線の部分が絶縁被膜される。それは、導電線の部分でコロナ放電を防止する。

第１の電極４０Ｂ、第２の電極４０Ｂ、第３の電極４０Ｂ及び第４の電極４０Ｂは、第１の方向（導電線４０Ａ）に対して鋭角を含む形状である。イオン及びオゾン化の効率を向上するために、第１の電極４０Ｂ、第２の電極４０Ｂ、第３の電極４０Ｂ及び第４の電極４０Ｂは、それぞれ対応する空洞領域に配置される。よって、図５−２（Ｃ）において、第１の電極４０Ｂ、第２の電極４０Ｂ、第３の電極４０Ｂ及び第４の電極４０Ｂからそれぞれ対応する第１の導電体４１までの距離は、複数の距離（Ｌ１からＬ３）が存在する。距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３の関係は、Ｌ３＞Ｌ２＞Ｌ１である。従って、最も短い距離（Ｌ１）に対応する、強く発生されたイオン及びオゾンと、最も長い距離（Ｌ３）に対応する、Ｌ１と比較して弱く発生されたイオン及びオゾンとの組み合わせにより、イオン及びオゾン風を、円筒の底面に向けて発生させる。

複数の電極４０Ｂの特徴的な角度によって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

複数の電極４０Ｂの数、夫々の位置、並びに夫々の形状は、適宜変更できる。例えば、一つの導電領領域（第１の導電領域）に対応して電極４０Ｂの数を４つとして、互いに９０度の関係としても良い。イオン及びオゾン風の量を増加できる。例えば、複数の電極４０Ｂを、導電線４０Ａに対してそれぞれ異なる位置から分岐させても良い。例えば、複数の電極４０Ｂの鋭角を、適宜変更しても良い。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を、同一（Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌ３）としても良い。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を、Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３としても良い。これら特徴的な変更並びに組み合わせによって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。例えば、複数の導電領領域（第１、２の導電領域）にそれぞれ対応する複数の電極４０Ｂの数、角度、空洞領域の面積または形状、等の条件を適宜変更しても良い。これらによって、イオン及びオゾン化の効率、円筒の底面へのイオン及びオゾン風の量を最適化できる。

図６は第２の実施例の展開例である。一つのセット（第２の実施例の２つの電極４１、４０Ａ）を、横方向（第２の方向（Ｘ方向）、円筒の半径方向）に複数配置した例である。複数のセットにおいて、イオン及びオゾン風の方向の志向性を合わせることで、イオン及びオゾン風の方向の志向性を制御できる。その制御目的によって、複数の設置位置は三次元の任意の位置に適切な個数を並べてもよい。

図７は、第３の実施例を説明するための図である。図７−１（Ａ）及び図７−２（Ｂ）は、立体的構造を示す斜視図である。図７−２（Ｃ）は、第１の方向（Ｘ方向）から見た構造図及び電圧関係を示す回路図である。

図７−１（Ａ）において、２つの電極５１Ａ、５１Ｂが開示され、それらは導電体である。電極５１Ａは、円筒の第１の導電体であり、内径である第１の半径を有する。第１の半径と交差する第１の方向に平行な第１の線分を曲面として有する。電極５１Ｂは、円筒の第２の導電体であり、第１の半径よりも小さい内径である第２の半径を有する。第２の半径と交差する第１の方向に平行な第２の線分を曲面として有する。円筒の第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂのそれぞれは、円筒の両底面が開放されており、イオン及びオゾン風の方向を示す。

図７−２（Ｂ）において、第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂは、互いの円筒の中心軸を合わせて第１の方向（Ｘ方向）に積層する。

図７−２（Ｃ）において、導電体である電極５０が更に開示される。電極５０は、針状電極（Ｎｅｅｄｌｅ）の形状を有する。電極５０は、第１及び第２の導電体５１Ａ、５１Ｂの円筒の中心軸上に配置される。更に、電極５０は、第１の導電体５１Ａ側に配置される。

図７−２（Ｂ）及び図７−２（Ｃ）において、第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂは、電源５２の第１のノードに接続する。電極５０は、電源５２の第２のノードに接続する。第１のノードは負電圧であり、第２のノードは第１のノードに対して正電圧である。第１の導電体５１Ａ及び電極５０の間、並びに第２の導電体５１Ｂ及び電極５０の間でそれぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。

図７−２（Ｃ）において、電極５０から第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂまでの距離は、複数の距離（Ｌ１からＬ３）が存在する。距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３の関係は、Ｌ３＞Ｌ２＞Ｌ１である。従って、最も短い距離（Ｌ１）に対応して強く発生されたイオン及びオゾンと、最も長い距離（Ｌ３）に対応してＬ１と比較して弱く発生されたイオン及びオゾンとの組み合わせにより、イオン及びオゾン風を、電極５０から第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂの円筒の中に向けて発生させる。２つの第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂ互いに異なる半径（内径）の円筒であり、それらの特徴的な寸法差によって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

２つの電極（導電体）第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂ、並びに電極５０の夫々の形状は、適宜変更できる。また、第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂの間に絶縁層（円筒形状の絶縁体）を配置しても良い。更に、第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂ、並びに円筒形状の絶縁体のそれぞれの厚さ、それぞれの内径の寸法を適宜変更しても良い。更に、内径の曲面（内側の曲側面）の角度は、適宜変更できる。これらの変更によって、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３の関係を調整できる。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を、同一（Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌ３）としても良い。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を、Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３としても良い。これら特徴的な変更並びに組み合わせによって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂの間に絶縁層を挟む場合、第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂのそれぞれの電圧は、電極５０に対して、適宜変更できる。例えば、２つの第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂにそれぞれ印加する電圧を、正電圧が印加される電極５０に対して互いに異なる負電圧としても良い。この特徴的な変更並びに前述との組み合わせによっても、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

図８は第３の実施例の展開例である。一つのセット（第３の実施例の３つの電極（導電体）である第１の導電体５１Ａ、第２の導電体５１Ｂ、並びに電極５０）を、横方向（第２の方向（Ｙ方向）、円筒の半径方向）に複数配置した例である。複数のセットにおいて、イオン及びオゾン風の方向の志向性を合わせることで、イオン及びオゾン風の方向の志向性を制御できる。その制御目的によって、複数の設置位置は三次元の任意の位置に適切な個数を並べてもよい。

図９は、第４の実施例を説明するための図である。図９−１（Ａ）及び図９−２（Ｂ）は、立体的構造を示す斜視図である。図９−２（Ｃ）は、第１の方向（Ｘ方向）から見た構造図及び電圧関係を示す回路図である。

図９−１（Ａ）において、２つの電極６１Ａ、６１Ｂが開示され、それらは導電体である。電極６１Ａは、第１の金属層の第１の導電体であり、第１の半径の第１の空洞パターン６１０Ａ（貫通孔）を有する。電極６１Ｂは、第２の金属層の第２の導電体であり、第１の半径よりも小さい第２の半径の第２の空洞パターン６１０Ｂ（貫通孔）を有する。

図９−２（Ｂ）において、第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂは、互いの空洞パターンの中心軸を合わせて第１の方向（Ｘ方向）に積層する。

図９−２（Ｃ）において、導電体である電極６０が更に開示される。電極６０は、針状電極（Ｎｅｅｄｌｅ）の形状を有する。電極６０は、第１及び第２の金属層６１Ａ、６１Ｂの空洞パターンの中心軸上に配置される。更に、電極６０は、第１の金属層６１Ａ側に配置される。

図９−２（Ｂ）及び図９−２（Ｃ）において、第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂは、電源６２の第１のノードに接続する。電極６０は、電源６２の第２のノードに接続する。第１のノードは負電圧であり、第２のノードは第１のノードに対して正電圧である。第１の金属層６１Ａ及び電極６０の間、並びに第２の金属層６１Ｂ及び電極６０の間でそれぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。

図９−２（Ｃ）において、電極６０から第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂまでの距離は、複数の距離（Ｌ１からＬ３）が存在する。距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３の関係は、Ｌ３＞Ｌ２＞Ｌ１である。従って、最も短い距離（Ｌ１）に対応して強く発生されたイオン及びオゾンと、最も長い距離（Ｌ３）に対応してＬ１と比較して弱く発生されたイオン及びオゾンとの組み合わせにより、イオン及びオゾン風を、電極６０から第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂの空洞パターンの中に向けて発生させる。２つの第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂが互いに異なる半径の空洞パターンであり、それらの特徴的な寸法差によって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

２つの電極（導電体）である第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂ、並びに電極６０の夫々の形状は、適宜変更できる。また、第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂの間に絶縁層（空洞パターンを有する絶縁体）を配置しても良い。更に、第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂ、並びに空洞パターンを有する絶縁体のそれぞれの厚さ、それぞれの内径の寸法を適宜変更しても良い。更に、内径の曲面（空洞パターンの曲側面）の角度は、適宜変更できる。これらの変更によって、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３の関係を調整できる。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を、同一（Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌ３）としても良い。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を、Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３としても良い。これら特徴的な変更並びに組み合わせによって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂの間に絶縁層を挟む場合、第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂのそれぞれの電圧は、電極６０に対して、適宜変更できる。例えば、２つの第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂにそれぞれ印加する電圧を、正電圧が印加される電極６０に対して互いに異なる負電圧としても良い。この特徴的な変更並びに前述との組み合わせによっても、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂには、それぞれ２つの空洞パターン、及びそれらに対応する２つの電極６０を有する。１つの空洞パターン及びそれに対応する電極６０を一つのセットとすると、第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂは、２つのセットを有する。言い換えれば、第１及び第２の金属層、並びに電極をセットとして、複数のセットを有する。前述の適宜変更の手段により、複数のセットにおいて、イオン及びオゾン風の方向の志向性を制御できる。

第４の実施例の展開例（不図示）として、２つのセット（第４の実施例の２つの電極（導電体）である第１の金属層６１Ａ及び第２の金属層６１Ｂ、並びに２つの電極５０）を、更に横方向（第２の方向（Ｙ方向）、金属層の表面方向）に複数配置できる。２つのセットを複数配置することによって、イオン及びオゾン風の方向の志向性を合わせることで、イオン及びオゾン風の方向の志向性を制御できる。その制御目的によって、複数の設置位置は三次元の任意の位置に適切な個数を並べてもよい。

図１０は、第５の実施例を説明するための図である。図１０（Ａ）は上面図（平面図）、図１０（Ｂ）はＸＡからＸＢの断面図（第１の方向（Ｘ方向））、図１０（Ｃ）はＹＡからＹＢの断面図（第２の方向（Ｙ方向））である。

図１０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において、２つの電極Ｍ１、Ｍ２並びに１つの電極Ｅ１が開示され、それらは導電体である。電極Ｍ１は、第１の厚さＺ１を有する第１の金属層（第１の導電層）である。電極Ｍ２は、第２の厚さＺ２を有する第２の金属層（第２の導電層）である。第１の金属層Ｍ１は、第１の空洞パターン（貫通孔）を有する。第１の空洞パターンは、第１及び第２の空洞領域（Ｘ１、Ｘ２）を含む。第１の金属層Ｍ１は、第１及び第２の空洞領域の間の第１の金属領域を含む。第２の金属層Ｍ２は、第２の空洞パターン（貫通孔）を有する。第２の空洞パターンは、第３及び第４の空洞領域（Ｘ４、Ｘ３）を含む。第２の金属層Ｍ２は、第３及び第４の空洞領域の間の第２の金属領域を含む。第２の空洞領域は、第３の空洞領域の一部及び第４の空洞領域並びに第２の金属領域とオーバラップする。第３の空洞領域は、第１の空洞領域及び第４の空洞領域の一部並びに第１の金属領域とオーバラップする。第１及び第２の空洞パターンは、中心軸を共通にする。よって、電極Ｅ１側からみて第１の金属領域は、第２の金属領域よりも小さい領域である。第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２は、電極Ｅ１側からみて第２の金属層Ｍ２、前記第１の金属層Ｍ１の順に積層する。

電極Ｅ１は、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２の空洞パターンの中心軸上に配置される。更に、電極Ｅ１は、第２の金属層Ｍ２側に配置される。電極Ｅ１は、針状電極（Ｎｅｅｄｌｅ）とは異なる形状を有する。電極Ｅ１は、上面（第１の領域）と下面（第２の領域）を有する円柱である。電極Ｅ１は、第２の金属層Ｍ２側に対応する電極Ｅ１の第１のノードの第１の領域（上面）は、第１のノードに反対側の第２のノードの第２の領域（下面）よりも大きい。

第３及び第４の実施例と同様に、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２は、電源の第１のノードに接続する。電極Ｅ１は、電源の第２のノードに接続する。第１のノードは負電圧であり、第２のノードは第１のノードに対して正電圧である。第１の金属層Ｍ１及び電極Ｅ１の間、並びに第２の金属層Ｍ２及び電極Ｅ１の間でそれぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する。

図１０（Ｂ）において、電極Ｅ１から第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２までの距離は、複数の距離（Ｌ１、Ｌ２）が存在する。距離Ｌ１、Ｌ２の関係は、Ｌ１≒Ｌ２（実質的に同一）である。第１及び第２の金属領域が、電極Ｅ１を基準に同心円上に配置されるからである。距離Ｌ１≒Ｌ２は、第１の金属層Ｍ１の第１の厚さＺ１及び第２の金属層Ｍ２の第２の厚さＺ２、並びに第１の金属層Ｍ１の第１の空洞領域及びに第２の金属層Ｍ２の第３の空洞領域、並びに電極Ｅ１の円柱を、適宜調整することによって実現できる。従って、距離（Ｌ１）に対応して強く発生されたイオン及びオゾンと、距離（Ｌ２）に対応して強く発生されたイオン及びオゾンとの組み合わせにより、イオン及びオゾン風を、電極Ｅ１から第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２のそれぞれの空洞パターンの中に向けて発生させる。２つの第１の空洞パターン及び第２の空洞パターンが互いに重なる、並びに第１の金属領域が第２の空洞パターン（第３の空洞領域）と重なる、及び、第２の金属領域が第１の空洞パターン（第２の空洞領域）と重なる、というそれらの特徴的な積層構造によって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。更に、第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２が積層するので、強度が高められる。

１０（Ｃ）において、第１及び第２の金属領域のそれぞれの導電体を支持する第１及び第２の支持金属領域が示される。第１及び第２の支持金属領域が積層するので、強度が高められる。

２つの電極（導電体）である第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２、並びに電極Ｅ１の夫々の形状は、適宜変更できる。例えば、第１の空洞パターン（第１及び第２の空洞領域（Ｘ１、Ｘ２））、並びに第２の空洞パターン（第３及び第４の空洞領域（Ｘ４、Ｘ３）のそれぞれの寸法を適宜変更しても良い。言い換えれば、第１及び第２の金属領域のそれぞれの寸法を適宜変更しても良い。また、第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２のそれぞれの寸法（厚さ）を適宜変更しても良い。また、第１及び第２の金属領域のそれぞれの導電体の形状（側面）を適宜変更しても良い。これらの変更によって、距離Ｌ１、Ｌ２の関係を調整できる。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２を、Ｌ１＜Ｌ２としても良い。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２を、Ｌ１＞Ｌ２としても良い。これら特徴的な変更並びに組み合わせによって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

第３及び第４の実施例のそれぞれの展開例と同様に、複数のセットとすることができる。

図１１は、第６の実施例を説明するための図である。図１１（Ａ）は上面図、図１１（Ｂ）はＸＡからＸＢの断面図（第１の方向（Ｘ方向））、図１１（Ｃ）はＹＡからＹＢの断面図（第２の方向（Ｙ方向））である。
第６の実施例の説明において、第５の実施例と異なる点を中心に説明する。

図１１（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２の間に挟まれる絶縁層Ｉ１が開示される。絶縁層Ｉ１は、第３の厚さＺ３を有する絶縁体である。絶縁層Ｉ１は、第２の金属層Ｍ２と同じ形状である。電極Ｅ２は、針状電極（Ｎｅｅｄｌｅ）及び円柱とは異なる形状を有する。電極Ｅ２は、導電線、及び第２の金属層Ｍ２側に対応する球面（第１の領域）を有する。距離Ｌ１≒Ｌ２は、第１の金属層Ｍ１の第１の厚さＺ１及び第２の金属層Ｍ２の第２の厚さＺ２＋絶縁層Ｉ１の第３の厚さＺ３の合計厚さ、並びに第１の金属層Ｍ１の第１の空洞領域及びに第２の金属層Ｍ２の第３の空洞領域、並びに球面（第１の領域）を有する電極Ｅ２を、適宜調整することによって実現できる。つまり、第２の金属層Ｍ２の第２の厚さＺ２と絶縁層Ｉ１の第３の厚さＺ３の合計厚さは、第５実施例（図１０（Ｂ））の第２の金属層Ｍ２の第２の厚さＺ２に相当する。

第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２のそれぞれの電圧は、互いに異なる電圧に適宜変更できる。例えば、２つの第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２にそれぞれ印加する電圧を、正電圧が印加される電極Ｅ２に対して互いに異なる負電圧としても良い。これら特徴的な変更並びに組み合わせによって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

図１２は、第７の実施例を説明するための図である。図１２（Ａ）は上面図、図１２（Ｂ）はＸＡからＸＢの断面図（第１の方向（Ｘ方向））である。

第７の実施例の説明において、第５及び第６の実施例と異なる点を中心に説明する。

図１２（Ａ）、（Ｂ）において、第１の金属層Ｍ１は、第１の空洞パターン（貫通孔）の中心軸を基準に隆起（Ｂｕｍｐ）する第１の領域を含む。第２の金属層Ｍ２は、第２の空洞パターン（貫通孔）の中心軸を基準に隆起する第２の領域を含む。絶縁層Ｉ１は、第２の空洞パターンの中心軸を基準に隆起する第３の領域を含む。電極Ｅ１を基準とする第１の金属層Ｍ１の隆起の度合いは、第２の金属層Ｍ２の隆起度合いよりも高い。絶縁層Ｉ１の隆起の度合いは、第１の金属層Ｍ１の隆起度合いとほぼ同じである。それは、第６の実施例（図１１）を半円球状（ドーム）の窪み（深さ）を有する金型でプレスするからである。

この形状により、図１２（Ｂ）において、電極Ｅ１から第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２までのそれぞれの距離Ｌ１、Ｌ２の関係は、Ｌ１＞Ｌ２である。第１の金属層Ｍ１の第１の厚さＺ１及び第２の金属層Ｍ２の第２の厚さＺ２が同じ厚さとすれば、絶縁層Ｉ１の第３の厚さＺ３が関連するからである。従って、短い距離（Ｌ２）に対応して強く発生されたイオン及びオゾンと、長い距離（Ｌ１）に対応してＬ２と比較して弱く発生されたイオン及びオゾンとの組み合わせにより、イオン及びオゾン風を、電極Ｅ１から第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２の空洞パターンの中に向けて発生させる。尚、距離Ｌ２に関連する第２の金属層Ｍ２と絶縁層Ｉ１の間に隙間が見られるが、これは図面描画の問題である。

第１の金属領域（それは、第１の金属層Ｍ１が有する第１及び第２の空洞領域の間）の電極Ｅ１側の面、及び第２の金属領域（それは、第２の金属層Ｍ２が有する第３及び第４の空洞領域の間）の電極Ｅ１側の面が、それぞれ電極Ｅ１に対して垂線に近づくので、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

２つの電極（導電体）である第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２、並びに絶縁層Ｉ１の夫々の形状及び厚さは、適宜変更できる。これらの変更によって、距離Ｌ１、Ｌ２の関係を調整できる。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２を、同一（Ｌ１＝Ｌ２）としても良い。第１の金属層Ｍ１の第１の厚さＺ１を、第２の金属層Ｍ２の第２の厚さＺ２及び絶縁層Ｉ１の第３の厚さＺ３の合計厚さよりも大きくすれば実現できる。例えば、距離Ｌ１、Ｌ２を、Ｌ２＞Ｌ１としても良い。これら特徴的な変更並びに組み合わせによって、単位容量当たりのイオン及びオゾン風の量、イオン及びオゾン風の方向の志向性、イオン及びオゾン風圧が高められる。

図１３は、第８の実施例を説明するための図である。図１３（Ａ）は上面図、図１３（Ｂ）はＸＡからＸＢの断面図（第１の方向（Ｘ方向））、図１３（Ｃ）はＹＡからＹＢの断面図（第２の方向（Ｙ方向））である。

第８の実施例の説明において、第５から第７の実施例と異なる点を中心に説明する。

図１３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において、第１の金属層Ｍ１は、第１の空洞パターン（貫通孔）の中心軸を基準に隆起する第１の領域を含む。第２の金属層Ｍ２は、第２の空洞パターン（貫通孔）の中心軸を基準に隆起する第２の領域を含む。電極Ｅ１を基準とする第１の金属層Ｍ１の隆起の度合いは、第２の金属層Ｍ２の隆起度合いよりも高い。それは、第６の実施例（図１１）を階段状の窪み（深さ）を有する金型でプレスするからである。

図１４は、第１の製造方法を説明するためのフローチャート図である。第３（図７）、第４（図９）及び第５（図１０）の実施例に適用できる。

第１の金属層（導電体、金属体）を第１のパターンで形成（ステップ１０）する。第２の金属層（導電体、金属体）を第２のパターンで形成（ステップ２０）する。第１及び第２の金属層を張り合わせる（ステップ３０）。固相接合、圧接（熱間、常温、冷間）、拡散接合（高温、常温、液相）、摩擦圧接、超音波接合、等の技術を適用する。導電性の材料（接着材）を用いても良い。尚、ステップ３０において、第１及び第２の金属層の位置合わせ（アライメント）は、例えば図１０（Ｂ）で示される２つの位置合わせポイントＰ１、Ｐ２（Ｘ方向のＰ１ ｔｏ Ｐ２）を利用できる。第１及び第２に空洞パターンのそれぞれの最も外形が、それぞれの金属層の側壁がマッチングしており、且つＰ１ ｔｏ Ｐ２の線分長が比較的長く誤差が少な点で有利だからである。尚、Ｘ方向に加えてＹ方向も設置することが望ましい。第１及び第２の金属層の中心部（第１及び第２のパターンの中心線上）に電極を配置（ステップ４０）する。少なくとも第１及び第２の金属層の一つ、並びに電極に電源をそれぞれ接続する。ステップ４０において、第１及び第２の金属層並び電極の位置合わせは、第１の金属層が有する第１の金属領域（第１及び第２の空洞領域の間）を基準とすることが望ましい。簡易な製造プロセスで立体構造が実現でき、製造コストを減少できる。尚、第１及び第２のパターンは、第１及び第２の空洞パターン（貫通孔）を意味する。

図１５は、第２の製造方法を説明するためのフローチャート図である。第６（図１１）及び第７（図１２）の実施例に適用できる。第２の製造方法の説明において、第１の製造方法と異なる点を中心に説明する。

第１の金属層（導電体、金属体）及び絶縁層（絶縁体）を張り合わせる（ステップ５０）。第１の金属層及び絶縁層を第１のパターンで形成（ステップ６０）する。第１及び第２の金属層を、絶縁層を介して張り合わせる（ステップ８０）。絶縁材（絶縁剤）を接着、塗布、蒸着、等の技術を適用する。第１及び第２の金属層、並びに電極に電源をそれぞれ接続する。簡易な製造プロセスで立体構造が実現でき、製造コストを減少できる。

図１６は、第３の製造方法を説明するためのフローチャート図である。第７（図１２）の実施例に適用できる。第３の製造方法の説明において、第１及び第２の製造方法と異なる点を中心に説明する。

第１及び第２の金属層（導電体、金属体）及び絶縁層（絶縁体）を張り合わせる（ステップ８０）。第１及び第２の金属層及び絶縁層（絶縁体）を、半円球状（ドーム）の窪み（深さ）を有する金型でプレス（ステップ１００）する。簡易な製造プロセスで立体構造が実現でき、製造コストを減少できる。

金型は適宜変更できる。例えば、半円球状（ドーム）の傾斜を、第４の空洞領域（Ｘ３）と、第２の空洞領域（Ｘ２）及び第３の空洞領域（Ｘ４）がオーバラップする領域において、それぞれ異なる傾斜とすることにより、電極Ｅ１から第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２までのそれぞれの距離Ｌ１、Ｌ２の関係を適宜変更できる。例えば、金型を階段状の窪み（深さ）とすれば、第８（図１３）の実施例に適用できる。階段状の窪みの傾斜を、第４の空洞領域（Ｘ３）と、第２の空洞領域（Ｘ２）及び第３の空洞領域（Ｘ４）がオーバラップする領域において、それぞれ異なる傾斜とすることにより、電極Ｅ１から第１の金属層Ｍ１及び第２の金属層Ｍ２までのそれぞれの距離Ｌ１、Ｌ２の関係を適宜変更できる。

図１７は、第１２の実施例を説明するための図である。図１７−１（Ａ）は上面図、図１７−１（Ｂ）はＸＡからＸＢの断面図（第１の方向（Ｘ方向））、図１７−１（Ｃ）はＹＡからＹＢの断面図（第２の方向（Ｙ方向））、図１７−１（Ｄ）は第３の金属層、図１７−２（Ｅ）は棒である。第１２の実施例の説明において、第５（図１０）及び第６（図１１）の実施例と異なる点を中心に説明する。

図１７−１（Ａ）から−１（Ｄ）において、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２の間に挟まれる金属層Ｍ３が開示される。金属層Ｍ３は、第３の厚さＺ３を有する導電体（金属体）である。金属層Ｍ３は、直径Ｘ５を有する円形であり、直径Ｘ６を有する第３の空洞パターンＨ１（貫通孔）を有する。金属層Ｍ３及び／又は第３の空洞パターンは、円形が好ましい。第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２を密着（例えば圧接（熱間、常温、冷間）、摩擦圧接、等）させるときに力（モーメント）が均等に作用するからである。例えば、金属ワッシャーを想定しても良い。金属層Ｍ３の形状及びサイズは、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２の形状及びサイズとそれぞれ異なる。よって、金属層Ｍ３は、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２の間に挟まれると共に、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２の間にエアギャップＡＧ１を形成する。言い換えれば、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２の間には、金属層Ｍ３の厚さＺ３によりエアギャップＡＧ１が形成される。第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２は、直径Ｘ６の円形を有する第３の空洞パターンＨ１（貫通孔）をそれぞれ有する。第１、第２及び第３の金属層Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３がそれぞれ有する第３の空洞パターンＨ１には、図１７−２（Ｅ）が示す棒Ｓ１（Ｓｔｉｃｋ，Ｒｏｄ，Ｐｏｌｅ）が設定される。言い換えれば、棒Ｓ１が、それぞれ対応する第１、第２及び第３の金属層Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３の第３の空洞パターンＨ１を貫通する。好ましくは、棒Ｓ１は円柱であり、その直径（断面の視点）は、金属層Ｍ３が有する直径Ｘ６（第３の空洞パターンＨ１（貫通孔））と実質的に同じである。第３の空洞パターンＨ１は、棒Ｓ１によって最終的に封じされる。つまり、対応する金属層の表面と裏面はエアが通過しない。これによって、第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２は、金属層Ｍ３の厚さＺ３に対応するエアギャップＡＧ１を有して、互いに支持（固定）される。電極Ｅ３は、針状電極（Ｎｅｅｄｌｅ）である。よって、金属層Ｍ３の厚さＺ３に対応するエアギャップＡＧ１は、電極Ｅ３からのそれぞれの距離Ｌ１、Ｌ２を設定する重要な一つのファクターである。言い換えれば、金属層Ｍ３の厚さＺ３は、第６の実施例（図１１）が示す絶縁層Ｉ１の第３の厚さＺ３と同様に、電極Ｅ３からのそれぞれの距離Ｌ１、Ｌ２を設定する重要な一つのファクターである。

金属体Ｍ３は、円形に限られない。更に、金属体Ｍ３は、絶縁体の絶縁層に置換できる。この場合、絶縁体は、直径Ｘ５を有する円形であり、直径Ｘ６を有する第３の空洞パターンＨ１（貫通孔）を有する。又、棒Ｓ１は、円柱に限られない。例えば、円錐（又は、底面積と上面積が異なる円柱）でもよい。その場合、金属体Ｍ３を用いなくとも第１及び第２の金属層Ｍ１、Ｍ２の間にエアギャップＡＧ１を形成できる。つまり製造コストを低減できる。尚、この場合、第１の金属層Ｍ１が有する第３の空洞パターンＨ１（貫通孔）の直径と、第２の金属層Ｍ２が有する第３の空洞パターンＨ１（貫通孔）の直径は、互いに異なる。更に、棒Ｓ１は、その断面が円形に限られず、例えば方形柱（多角柱又は、底面積と上面積が異なる多角柱）又は多角錐であってもよい。更に、棒Ｓ１は、金属体に代えて絶縁体でもよい。第１及び第２の金属層、並びに金属層Ｍ３又は金属層Ｍ３に代わる絶縁体がそれぞれ有する第３の空洞パターンＨ１には、棒Ｓ１（金属体又は絶縁体）が設定される。更に、棒Ｓ１が金属体である時、電源が棒Ｓ１を介して第１及び第２の金属層へ電圧を供給することができる。

図１８は、第１３の実施例を説明するための図である。図１８−１（Ａ）は第１の金属層Ｍ１の上面図、図１８−２（Ｂ）は第２の金属層Ｍ２の上面図である。
第１３の実施例の説明において、第１２（図１７）の実施例と異なる点を中心に説明する。

図１８−１（Ａ）において、Ｘ方向及びＹ方向にＸ７の長辺を有する一つの金属体（一つの金属層Ｍ１）が開示され、それぞれが方形である９つ（３Ｘ３）の区画領域が開示される。各区画領域は、７つの第１の空洞パターンが開示される。各区画領域は、そのセンターに一つの第１の空洞パターン、その円形周辺領域に６つの第１の空洞パターンが開示される。互いに隣接する区画領域のそれぞれのセンターのピッチ（Ｘ方向及びＹ方向）は、Ｘ８のサイズである。更に、各区画領域の四隅には、４つの第３の空洞パターンＨ１が開示される。一つの区画領域におけるＸ方向及びＹ方向に展開する第３の空洞パターンＨ１のピッチは、それぞれＸ９のサイズである。９つ（３Ｘ３）の区画領域は、一つの金属体（一つの金属層Ｍ１）で形成される。９つ（３Ｘ３）の区画領域は、Ｘ方向及びＹ方向に溝（Ｇｒｏｏｖｅ）Ｇ１でそれぞれ区画される。溝Ｇ１は、第１の金属層Ｍ１を貫通せず、第１の金属層Ｍ１の厚さを所定の深さで形成される。尚、７つの第１の空洞パターン、及び４つの第３の空洞パターンＨ１に関連して、実線で示される直線、並びに６つの第１の空洞パターンに関連して破線で示される円形線は、それぞれのセンター及び互いの位置関係を示す情報であって、形状を示す情報ではない。その意味は、当該事業者であれば、容易に理解できる。

Ｘ方向及びＹ方向に展開する溝Ｇ１は、それを適宜カッティングすることにより、イオン及びオゾンの風を発生する様々な装置の形状に対応できる。つまり、製造コストが削減できる。

図１８−２（Ｂ）において、図１８−１（Ａ）と異なる点を中心に説明する。Ｘ方向及びＹ方向にＸ７の長辺を有する一つの金属体（一つの金属層Ｍ２）が開示され、それぞれが方形である９つ（３Ｘ３）の区画領域が開示される。各区画領域は、７つの第２の空洞パターンが開示される。各区画領域は、そのセンターに一つの第２の空洞パターン、その円形周辺領域に６つの第２の空洞パターンが開示される。９つ（３Ｘ３）の区画領域は、一つの金属体（一つの金属層Ｍ２）で形成される。

図１９は、第４の製造方法を説明するためのフローチャート図である。第１２（図１７）及び第１３（図１８）の実施例に適用できる。
第１の金属層（導電体、金属体）を第１及び第３のパターンで形成（ステップ１１０）する。第１及び第３のパターンは、同時に形成することが望ましい。第２の金属層（導電体、金属体）を第２及び第３のパターンで形成（ステップ１２０）する。第２及び第３のパターンは、同時に形成することが望ましい。第３の金属層（導電体、金属体）を第３のパターンで形成（ステップ１３０）する。第１、第２及び第３の金属層を位置合わせる（アライメント）（ステップ１４０）。尚、ステップ１４０において、第１及び第２の金属層の位置合わせは、例えば図１７−１（Ｂ）で示される２つの位置合わせポイントＰ１（Ｘ方向のＰ１ ｔｏ Ｐ２）を利用できる。第１及び第２に空洞パターンのそれぞれの最も外形が、それぞれの金属層の側壁がマッチングしており、且つＰ１ ｔｏ Ｐ２の線分長が比較的長く誤差が少な点で有利だからである。尚、Ｘ方向に加えてＹ方向も設置することが望ましい。第１、第２及び第３の金属層がそれぞれ有する第３のパターンに棒を設定し、第１、第２及び第３の金属層を支持する（ステップ１５０）。固相接合、圧接（熱間、常温、冷間）、拡散接合（高温、常温、液相）、摩擦圧接、超音波接合、等の技術を適用する。導電性の材料（接着材）を用いても良い。よって、第３の空洞パターンＨ１は、棒Ｓ１によって最終的に封じされる。つまり、対応する金属層の表面と裏面はエアが通過しない。第１及び第２の金属層の中心部（第１及び第２のパターンの中心線上）に電極を配置（ステップ１６０）する。ステップ１６０において、第１及び第２の金属層並び電極の位置合わせは、第１の金属層が有する第１の金属領域（第１及び第２の空洞領域の間）を基準とすることが望ましい。少なくとも第１及び第２の金属層並びに棒の一つ、並びに電極に電源をそれぞれ接続する。（ステップ１７０）少なくとも第３の金属層及び棒の一つが導電体（金属体）である場合、棒及び電極に電源をそれぞれ接続することができる。簡易な製造プロセスで立体構造が実現でき、製造コストを減少できる。尚、第１及び第２のパターンは、第１及び第２の空洞パターン（貫通孔）を意味する。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で他の様々な形態で実施可能である。例えば、第１の実施例から第８の実施例及び第１１の実施例から第１３の実施例を、本明細書において明記または明示されていないに係わらず適宜組み合わせることができる。第１の製造方法から第４の製造方法を、適宜組み合わせることができる。本発明の技術的範囲は、上述した複数の実施例またはそれらの組み合わせに限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物または変形物まで及ぶ。

以下、本発明に関する説明を補足的に追記する。

（付記Ａ１）
第１の金属層を、第１の空洞パターンで形成し、
第２の金属層を、前記第１の空洞パターンと異なる第２の空洞パターンで形成し、
前記第１の空洞パターンで形成された第１の金属層と、前記第２の空洞パターンで形成された第２の金属層とを、積層し、
電極を、前記第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する、
前記第１及び第２の金属層、並びに前記電極間でコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する装置の製造方法。
（付記Ａ２）
更に、絶縁層を、前記第１の空洞パターンで形成し、
前記第１の空洞パターンで形成された絶縁層を、前記第１の空洞パターンで形成された第１の金属層と、前記第２の空洞パターンで形成された第２の金属層との間に挟む、付記Ａ１に記載の装置の製造方法。
（付記Ａ３）
更に絶縁層と、前記第１の空洞パターンで形成される前の前記第１の金属層とを積層し、
積層された前記絶縁層と前記第１の金属層を、前記第１の空洞パターンで形成する、付記Ａ１に記載の装置の製造方法。
（付記Ａ４）
前記第１の空洞パターンで形成された絶縁層及び記第１の金属層と、前記第２の空洞パターンで形成された第２の金属層とを、前記絶縁層を挟むように積層する、付記Ａ３に記載の装置の製造方法
（付記Ａ５）
積層された前記第１の金属層及び前記第２の金属層を、前記第１及び第２の空洞パターンの中心軸を基準に隆起するようにプレスする、付記Ａ１からＡ４のいずれか一項に記載の装置の製造方法
（付記Ａ６）
更に、前記第１の金属層を、第３の空洞パターンで形成し、
前記第２の金属層を、前記第３の空洞パターンで形成し、
前記第１及び第２の金属層を、第３の金属層を挟むように前記積層するとともに、前記第１、第２及び第３の金属層がそれぞれ有する前記第３の空洞パターンに棒を設定する、付記Ａ１に記載の装置の製造方法。
（付記Ａ７）
更に、前記第１及び第３の空洞パターンは、同時に形成し、
前記第２及び第３の空洞パターンは、同時に形成する、付記Ａ６に記載の装置の製造方法。
（付記Ａ８）
更に、前記第１及び第２の金属層を、それぞれ対応する前記第１及び第２の空洞パターンが共通に有する側壁で位置合わせする、付記Ａ１に記載の装置の製造方法。
（付記Ａ９）
更に、前記電極の配置は、前記第１の空洞パターンで位置合わせする、付記Ａ８に記載の装置の製造方法。

（付記Ｂ１）
第１線分及び前記第１の線分と交差する第２の線分を有する第１の面、前記第１の面と反対側である第２の面、並びに第２の厚さを有し、第１の電圧が供給される多角形の第１の導電体と、
第３線分及び前記第３の線分と交差する第４の線分を有する第３の面、前記第３の面と反対側である第４の面、並びに第３の厚さを有し、第２の電圧が供給される多角形の第２の導電体と、
第５線分及び前記第５の線分と交差する第６の線分を有する第５の面、前記第５の面と反対側である第６の面、並びに第１の厚さを有し、前記第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給される多角形の第３の導電体と、を備え、
前記第１及び第２の導電体は、前記第１及び第３の面が１８０度未満である第１の角度で向き合うように配置され、
前記第１及び第３の導電体は、前記第１及び第５の面が９０度未満である第２の角度で向き合うように配置され、
前記第２及び第３の導電体は、前記第３及び第６の面が９０度未満である第３の角度で向き合うように配置され、
前記第１及び第３の導電体の間、並びに前記第２及び第３の導電体の間でそれぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生することを特徴とする、装置。
（付記Ｂ２）
前記第３の導電体は、前記第１の厚さの第１の領域及び前記第１の厚さよりも薄い第２の領域を含み、
前記第１の導電体の第１の面及び前記第３の導電体の第２の領域の間、並びに前記第２の導電体の第３の面及び前記第３の導電体の第２の領域の間でそれぞれコロナ放電を発生する、付記Ｂ１に記載の装置。
（付記Ｂ３）
前記第３の導電体は、前記第２の領域としてブレード（Ｂｌａｄｅ）の形状である、付記Ｂ２に記載の装置。
（付記Ｂ４）
前記第１の導電体は、前記第２の厚さの第３の領域及び前記第２の厚さよりも薄い第４の領域を含み、
前記第１の導電体は、前記第４の領域としてブレード（Ｂｌａｄｅ）の形状である、付記Ｂ１からＢ３のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｂ５）
前記第２の導電体は、前記第３の厚さの第５の領域及び前記第３の厚さよりも薄い第６の領域を含み、
前記第２の導電体は、前記第６の領域としてブレード（Ｂｌａｄｅ）の形状である、付記Ｂ１からＢ４のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｂ６）
前記イオン及びオゾンの風は、前記第３の導電体から前記第１及び第２の導電体の間の方向に流れる、付記Ｂ１からＢ５のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｂ７）
前記第１から第３の導電体をセットとして、複数の前記セットを有する、付記Ｂ１からＢ６のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｂ８）
前記複数のセットが、前記第２の線分よりも長い前記第１の線分の方向に配置され、前記イオン及びオゾンの風は、前記第３の導電体から前記第１及び第２の導電体の間の方向に流れる、付記Ｂ７に記載の装置。

（付記Ｃ１）
半径と交差する第１の方向に平行な第１の線分を曲面として有し、第１の電圧が供給される円筒の第１の導電体と、
前記円筒の中心を前記第１の方向に通過し、前記第１の電圧と異なる第２の電圧が供給される第２の導電体と、を備え、
前記曲面は、前記第１の線分の方向に空洞領域、並びに前記空洞領域を挟むように前記第１の線分の方向に第１及び第２の導電領域を有し、
前記第２の導電体は、前記第１の導電領域に対応して互いに異なる前記曲面の方向に第１及び第２の電極、並びに前記第２の導電領域に対応して互いに異なる前記曲面の方向に第３及び第４の電極を有し、
前記第１、第２の電極及び前記第１の導電領域のそれぞれの間、並びに前記第３、第４の電極及び前記第２の導電領域のそれぞれの間で、コロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生することを特徴とする、装置。
（付記Ｃ２）
前記第１から第４の電極は、前記第１の方向に対して鋭角を含む形状である、付記Ｃ１に記載の装置。
（付記Ｃ３）
前記第１から第４の電極は、前記空洞領域に対応する、付記Ｃ１又はＣ２に記載の装置。
（付記Ｃ４）
前記第２の導電体は、前記第１から第４の電極を除いて絶縁被膜される、付記Ｃ１からＣ３のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｃ５）
前記第１及び第２の導電体をセットとして、複数の前記セットを有する、付記Ｃ１からＣ４のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｃ６）
前記複数のセットが、前記第１の方向と交差する方向に配置され、前記イオン及びオゾンの風は、前記第１の方向に流れる、付記Ｃ５に記載の装置。

（付記Ｄ１）
内径である第１の半径と交差する第１の方向に平行な第１の線分を曲面として有し、第１の電圧が供給される円筒の第１の導電体と、
前記第１の半径よりも小さい内径である第２の半径と交差する前記第１の方向に平行な第２の線分を曲面として有し、第２の電圧が供給され、前記第１の導電体に積層される円筒の第２の導電体と、
前記第１及び第２の導電体の円筒の中心軸に配置され、前記第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給される電極と、を備え、
前記第１の導電体及び前記電極の間、並びに前記第２の導電体及び前記電極の間で、それぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生することを特徴とする、装置。
（付記Ｄ２）
前記第１及び第２の導電体の積層の順は、前記電極の側から前記第１の導電体、前記第２の導電体の順である、付記Ｄ１に記載の装置。
（付記Ｄ３）
更に、前記第１及び第２の導電体の間に挟まれる絶縁層を備える、付記Ｄ１又はＤ２に記載の装置。
（付記Ｄ４）
前記電極から前記電極に最も近い前記第１の導電体までの距離は、前記電極から前記電極に最も近い前記第２の導電体までの距離と同じか又は短い、付記Ｄ１からＤ３のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｄ５）
前記第１及び第２の導電体、並びに前記電極をセットとして、複数の前記セットを有する、付記Ｄ１からＤ４のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｄ６）
前記複数のセットが、前記第１の方向と交差する方向に配置され、前記イオン及びオゾンの風は、前記第１の方向且つ前記電極から前記第２の導電体の内径に流れる、付記Ｄ６に記載の装置。

（付記Ｅ１）
第１の半径の第１の空洞パターンを有し、第１の電圧が供給される第１の金属層と、
前記第１の半径よりも小さい第２の半径の第２の空洞パターンを有し、第２の電圧が供給され、前記第１の金属層に積層される第２の金属層と、
前記第１及び第２の電圧と異なる第３の電圧が供給され、前記第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する電極と、を備え、
前記第１の金属層及び前記電極の間、並びに前記第２の金属層及び前記電極の間で、それぞれコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生することを特徴とする、装置。
（付記Ｅ２）
前記第１及び第２の導電層の積層の順は、前記電極の側から前記第１の導電層、前記第２の導電層の順である、付記Ｅ１に記載の装置。
（付記Ｅ３）
更に、前記第１及び第２の導電層の間に挟まれる絶縁層を備える、付記Ｅ１又はＥ２に記載の装置。
（付記Ｅ４）
前記電極から前記電極に最も近い前記第１の導電層までの距離は、前記電極から前記電極に最も近い前記第２の導電層までの距離と同じか又は短い、付記Ｅ１からＥ３のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｅ５）
前記第１及び第２の導電層、並びに前記電極をセットとして、複数の前記セットを有する、付記Ｅ１からＥ４のいずれか一項に記載の装置。
（付記Ｅ６）
前記複数のセットがそれぞれ有する前記第１及び第２の金属層が、互いに一つの金属層として形成する、付記Ｅ５に記載の装置。
（付記Ｅ７）
更に、前記複数のセットがそれぞれ前記第１及び第２の金属層の間に挟まれる絶縁層を備え、前記複数のセットがそれぞれ有する前記絶縁層が、互いに一つの絶縁層として形成する、付記Ｅ６に記載の装置。
（付記Ｅ８）
前記イオン及びオゾンの風は、それぞれ対応する前記中心軸の方向且つそれぞれ対応する前記電極からそれぞれ対応する前記第１の導電層の第１の空洞パターンを介してそれぞれ対応する前記第２の導電層の第２の空洞パターンに流れる、付記Ｅ５からＥ７のいずれか一項に記載の装置。

１、２ 、３ ４、５、６ 電極対
１０、１１Ａ、１１Ｂ、２０、２１Ａ、２１Ｂ、３０、３１Ａ、３１Ｂ、４０Ａ、４０Ｂ、４１、５０、５１Ａ、５１Ｂ、６０、６１Ａ、６１Ｂ、Ｍ１、Ｍ２、Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３ 電極
１２ ２２、３２、４２、５２、６２ 電源
６１０Ａ、６１０Ｂ 空洞（貫通孔、空洞パターン）
Ｉ１ 絶縁体
Ｈ１ 第３の空洞パターン（貫通孔）
Ｇ１ 溝（Ｇｒｏｏｖｅ）
Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３ 第１、第２、第３の金属層
ＡＧ１ エアギャップ
Ｓ１ 棒（Ｓｔｉｃｋ、Ｒｏｄ、Ｐｏｌｅ）

Claims (23)

1. 第１の金属層を、第１の空洞パターンで形成し、
   第２の金属層を、前記第１の空洞パターンと異なる第２の空洞パターンで形成し、
   前記第１の空洞パターンで形成された第１の金属層と、前記第２の空洞パターンで形成された第２の金属層とを、積層し、
   電極を、前記第１及び第２の空洞パターンの中心軸に配置する、
   前記第１及び第２の金属層、並びに前記電極間でコロナ放電を発生し、イオン及びオゾンの風を発生する装置の製造方法。
2. 更に、棒を用意し、
   前記棒を、前記第１及び第２の金属層を支持するように設置する、請求項１に記載の装置の製造方法。
3. 更に、第３の金属層を用意し、
   前記第３の金属層を、前記第１及び第２の金属層の間に挟むように設置する、請求項２に記載の装置の製造方法。
4. 前記第３の金属層を、前記第１及び第２の金属層にエアギャップを与えるように設置する、請求項３に記載の装置の製造方法。
5. 前記棒を、前記第３の金属層が有する第３の空洞パターンに貫通させる、請求項４に記載の装置の製造方法。
6. 前記第１の金属層を、前記第３の空洞パターンで形成し、
   前記第２の金属層を、前記第３の空洞パターンで形成し、
   前記第１、第２及び前記第３の金属層がそれぞれ有する前記第３の空洞パターンに前記棒を設定する、請求項５に記載の装置の製造方法。
7. 前記第１及び第３の空洞パターンは、同時に形成され、
   前記第２及び第３の空洞パターンは、同時に形成される、請求項６に記載の装置の製造方法。
8. 更に、第３の金属層を用意し、
   前記第３の金属層を、前記第１及び第２の金属層の間に挟むように設置する、請求項１に記載の装置の製造方法。
9. 前記第３の金属層を、前記第１及び第２の金属層にエアギャップを与えるように設置する、請求項８に記載の装置の製造方法。
10. 更に、棒を用意し、
    前記棒を、前記第３の金属層が有する第３の空洞パターンに貫通させる、請求項８または９に記載の装置の製造方法。
11. 前記第１の金属層を、前記第３の空洞パターンで形成し、
    前記第２の金属層を、前記第３の空洞パターンで形成し、
    前記第１、第２及び前記第３の金属層がそれぞれ有する前記第３の空洞パターンに前記棒を設定する、請求項１０に記載の装置の製造方法。
12. 前記第１及び第３の空洞パターンは、同時に形成され、
    前記第２及び第３の空洞パターンは、同時に形成される、請求項１１に記載の装置の製造方法。
13. 更に、絶縁層を用意し、
    前記絶縁層を、前記第１及び第２の金属層の間に挟むように設置する、請求項１に記載の装置の製造方法。
14. 前記絶縁層を、前記第１及び第２の金属層にエアギャップを与えるように設置する、請求項１３に記載の装置の製造方法。
15. 前記絶縁層を、前記第２の空洞パターンで形成する、請求項１３または１４に記載の装置の製造方法。
16. 更に絶縁層及び前記第２の金属層のそれぞれが有する前記第２の空洞パターンは、同時に形成される、請求項１５に記載の装置の製造方法。
17. 前記第１の金属層及び前記第２の金属層を、前記第１及び第２の空洞パターンの中心軸を基準に隆起するようにプレスする、請求項１から１６のいずれか一項に記載の装置の製造方法
18. 前記第１の空洞パターンは、前記中心軸を基準に第１及び第２の空洞領域を含み、
    前記第１の金属層は、前記第１及び第２の空洞領域の間の第１の金属領域を含み、
    前記第２の空洞パターンは、前記中心軸を基準に第３及び第４の空洞領域を含み、
    前記第２の金属層は、前記第３及び第４の空洞領域の間の第２の金属領域を含む、請求項１から１７いずれか一項に記載の装置。
19. 前記第１及び第２の金属層の積層の順は、前記電極の側から前記第２の金属層、前記第１の金属層の順であり、
    前記第１の金属領域は、前記第２の金属領域よりも小さい、請求項１８に記載の装置。
20. 前記第１及び第２の金属層の積層の順は、前記電極の側から前記第２の金属層、前記第１の金属層の順であり、
    前記第１の金属領域の径は、前記第２の金属領域の径よりも小さい、請求項１８又は１９に記載の装置。
21. 前記第２の空洞領域の一部は、前記第３の空洞領域の一部及び前記第２の金属領域とオーバラップする、請求項１８から２０いずれか一項に記載の装置。
22. 前記第２の空洞領域の一部は、前記第４の空洞領域とオーバラップし、
    前記第３の空洞領域は、前記第１の空洞領域及び前記第１の金属領域とオーバラップする、請求項２１に記載の装置。
23. 前記第１及び第２の金属層の積層の順は、前記電極の側から前記第２の金属層、前記第１の金属層の順であり、
    前記電極から前記電極に最も近い前記第１の金属領域までの距離は、前記電極から前記電極に最も近い前記第２の金属領域までの距離と同じか又は長い、請求項１８から２２いずれか一項に記載の装置。