JP2016111683A - プラズマ一体化切替装置 - Google Patents
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Abstract
Description
多量のガスを封入する密封されたチャンバ内部に少なくとも部分的に配置されている第1の電極と、
密封されたチャンバ内部に少なくとも部分的に配置されており、第1の電極から物理的に分離されている第2の電極であって、ガスが閾値を満たす信号を受けたとき、ガスが密封されたチャンバ内部でプラズマを形成し、プラズマが形成されたとき、第1の電極はプラズマを介して第2の電極に電気的に接続され、プラズマが形成されないとき、第1の電極は第2の電極から電気的に分離される、第2の電極と、
第1の電極に電気的に接続された第1のコネクタおよび第2の電極に電気的に接続された第2のコネクタであって、第1または第2の電極に信号を与えるように構成された第1のコネクタおよび第2のコネクタと、
を含む、切替装置。
第1の電極、第2の電極、または両方に電気的に接続された少なくとも1つのバイアスコネクタをさらに含み、閾値が、バイアスコネクタに与えられたバイアス信号に基づき調整可能である、
項1に記載の切替装置。
バイアス信号が直流信号または無線周波数信号であり、信号が直流信号または無線周波数信号である、
項2に記載の切替装置。
閾値が、出力閾値、周波数閾値、または両方を含む、
項1に記載の切替装置。
密封されたチャンバが、蓋およびベースによって画定され、蓋、ベース、または両方がキャビティを画定し、蓋はベースに気密に封止されガスを封入する、
項1に記載の切替装置。
第1のコネクタおよび第2のコネクタが、電気回路に接続され、電気回路からの信号を受け取るように構成される、
項1に記載の切替装置。
電気回路が、送信回路、受信回路、または両方を含む、
項6に記載の切替装置。
無線周波数(RF)回路と、
アンテナインターフェイスと、
切替装置であって、
RF回路に接続され、多量のガスを封入する密封されたチャンバ内部に少なくとも部分的に配置された、第1の電極、および
アンテナインターフェイスに接続されており、密封されたチャンバ内部に少なくとも部分的に配置された第2の電極であって、第1の電極から物理的に分離されており、閾値を満たす信号を受けたとき、ガスが密封されたチャンバ内部でプラズマを形成し、プラズマが形成されたとき、第1の電極はプラズマを介して第2の電極に電気的に接続され、プラズマが形成されないとき、第1の電極は第2の電極から電気的に分離される、第2の電極、
を含む切替装置と、
を含むシステム。
RF回路が、送信回路を含む、項1に記載のシステム。
RF回路が、受信回路を含む、項1に記載のシステム。
RF回路、アンテナインターフェイス、および切替装置が、レーダーシステムの構成要素である、項1に記載のシステム。
切替装置に接続されたバイアス回路をさらに含み、切替装置の第1の電極、第2の電極、または両方に、バイアス回路によって与えられたバイアス信号に基づいて、閾値が調整可能である、項1に記載のシステム。
アンテナインターフェイスに接続されたアンテナアレイをさらに含み、アンテナアレイが複数のアンテナ要素を含む、項1に記載のシステム。
少なくとも2つの切替装置が、複数のアンテナ要素の特定のアンテナ要素に接続されており、少なくとも2つの切替装置が、
特定のアンテナ要素と、特定のアンテナ要素に関連する受信回路との間に電気的に接続された第1の切替装置と、
特定のアンテナ要素と、特定のアンテナ要素に関連する送信回路との間に電気的に接続された第2の切替装置と、を含む
項13に記載のシステム。
受信操作の間、プラズマが第1の切替装置内で形成され、プラズマが第2の切替装置内で形成されない、項14に記載のシステム。
送信操作の間、プラズマが第2の切替装置内で形成され、プラズマが第1の切替装置内で形成されない、項14に記載のシステム。
基板をさらに含み、前記切替装置を含む、複数の切替装置が、基板内または基板上に形成される、項1に記載のシステム。
基板が、ガラスまたはシリコンを含む、項17に記載のシステム。
複数の切替装置の第1の切替装置に接続されたバイアス回路をさらに含み、第1の切替装置のプラズマを形成するための第1の閾値が、複数の切替装置の第2の切替装置のプラズマを形成するための第2の閾値と独立に調整可能である、項18に記載のシステム。
切替装置の第1の電極に信号を与える段階を含み、
切替装置が、
多量のガスを封入する密封されたチャンバ内部に少なくとも部分的に配置される、第1の電極と、
密封されたチャンバ内部に少なくとも部分的に配置されており、第1の電極から物理的に分離されている第2の電極であって、信号が閾値を満たすとき、密封されたチャンバ内部でプラズマを形成し、プラズマが形成されたとき、第1の電極はプラズマを介して第2の電極に電気的に接続され、プラズマが形成されないとき、第1の電極は第2の電極から電気的に分離される、第2の電極と、を含む、
方法。
第1の電極、第2の電極、または両方にバイアス信号を与える段階をさらに含み、バイアス信号が閾値を変更する、項8に記載の方法。
バイアス信号が直流信号であり、信号が無線周波数信号である、項9に記載の方法。
236 第1のプリント回路基板コネクタ
237 第1の端部
238 第2のプリント回路基板コネクタ
239 第2の端部
241 第1の端部
242 間隙
243 第2の端部
244、246 コネクタ
245 第1の端部
247 第2の端部
249 第1の端部
251 第2の端部
300 切替装置
302 チップパッケージ
314 密封されたチャンバ
316 第1の電極
318 第2の電極
360、361 信号
362、363 バイアス信号
400 ベース
402 基板
403 表面
404 第1のコネクタ
406 第2のコネクタ
408 間隙
411 キャビティ
416 第1の電極
418 第2の電極
452、454 部分
500 蓋
502 表面
504 キャビティ
700 組み立てられたチップパッケージ
714 密封されたチャンバ
800 組み立てられたチップパッケージ
Claims (10)
- 多量のガスを封入する密封されたチャンバ(314)内部に少なくとも部分的に配置されている第1の電極(316)と、
密封されたチャンバ(314)内部に少なくとも部分的に配置されており、第1の電極(316)から物理的に分離されている第2の電極(318)であって、ガスが閾値を満たす信号(360/361)を受けたとき、ガスが密封されたチャンバ(314)内部でプラズマを形成し、プラズマが形成されたとき、第1の電極(316)はプラズマを介して第2の電極(318)に電気的に接続され、プラズマが形成されないとき、第1の電極(316)は第2の電極(318)から電気的に分離される、第2の電極(318)と、
第1の電極(316)に電気的に接続された第1のコネクタ(404)および第2の電極(318)に電気的に接続された第2のコネクタ(406)であって、第1のコネクタまたは第2のコネクタ(404/406)が第1または第2の電極に信号(360/361)を与えるように構成された、第1のコネクタおよび第2のコネクタ(404/406)と、
を含む、切替装置(300)。 - 第1の電極(316)、第2の電極(318)、または両方に電気的に接続された少なくとも1つのバイアスコネクタ(120/123)をさらに含み、閾値が、バイアスコネクタ(120/123)に与えられたバイアス信号(142/144)に基づき調整可能である、
請求項1に記載の切替装置(300)。 - バイアス信号(142/144)が直流信号または無線周波数信号であり、信号(360/361)が直流信号または無線周波数信号である、
請求項2に記載の切替装置(300)。 - 閾値が、出力閾値、周波数閾値、または両方を含む、
請求項1から3の何れか1項に記載の切替装置(300)。 - 密封されたチャンバ(314)が、蓋(500)およびベース(400)によって画定され、蓋(500)、ベース(400)、または両方がキャビティ(411)を画定し、蓋(500)はベース(400)に気密に封止されガスを封入する、
請求項1から4の何れか1項に記載の切替装置(300)。 - 第1のコネクタ(404)および第2のコネクタ(406)が、電気回路(128/130)に接続され、電気回路からの信号を受け取るように構成される、
請求項1から5の何れか1項に記載の切替装置(300)。 - 電気回路が、送信回路、受信回路、または両方を含む、
請求項6に記載の切替装置(300)。 - 切替装置(300)の第1の電極(316)に信号(360/361)を与える段階(1102)と、
ここで、切替装置(300)が、
多量のガスを封入する密封されたチャンバ(314)内部に少なくとも部分的に配置される、第1の電極(316)、および
密封されたチャンバ(314)内部に少なくとも部分的に配置されており、第1の電極(316)から物理的に分離されている第2の電極(318)、を含み、
信号(360/361)が閾値を満たすとき、密封されたチャンバ318内部にプラズマを形成する段階(1106)と、を含み、
プラズマが形成されたとき、第1の電極(316)はプラズマを介して第2の電極(318)に電気的に接続され、プラズマが形成されないとき、第1の電極(316)は第2の電極(318)から電気的に分離される、
方法(1100)。 - 第1の電極(316)、第2の電極(318)、または両方にバイアス信号(142/144)を与える段階(1104)をさらに含み、バイアス信号が閾値を変更する、請求項8に記載の方法(1100)。
- バイアス信号(142/144)が直流信号であり、信号が無線周波数信号である、請求項9に記載の方法(1100)。
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