JP2016108233A - Ceramic member - Google Patents
Ceramic member Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016108233A JP2016108233A JP2015231931A JP2015231931A JP2016108233A JP 2016108233 A JP2016108233 A JP 2016108233A JP 2015231931 A JP2015231931 A JP 2015231931A JP 2015231931 A JP2015231931 A JP 2015231931A JP 2016108233 A JP2016108233 A JP 2016108233A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bush
- hole
- ceramic member
- circle
- member according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
Description
本発明は、他部材との連結が可能なセラミック部材に関する。 The present invention relates to a ceramic member that can be connected to another member.
電子部品等の作製過程品の載置部材を含め、半導体製造装置や液晶製造装置等の構造部材には、機械的強度に優れたセラミックスが用いられており、部材同士による大型化や複雑化、また、載置部材の固定には、ネジ等の連結部材を用いた連結が行なわれている。そのため、セラミックスからなる部材（以下、セラミック部材と記載する。）としては、連結が可能なように穴が設けられ、この穴に接着剤により接合されたブッシュを備える構造が知られている（特許文献１参照）。 Ceramics with excellent mechanical strength are used for structural members such as semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal manufacturing equipment, including mounting parts for production process products such as electronic components, and the size and complexity of the members are increased. Further, the mounting member is fixed by using a connecting member such as a screw. For this reason, as a member made of ceramics (hereinafter referred to as a ceramic member), there is known a structure including a hole provided so as to be connectable and a bush joined to the hole by an adhesive (patent). Reference 1).
このような構造において、ブッシュは、接着剤により接合されているものであるが、このブッシュに連結部材であるネジを嵌め、締め付けたり、緩めたりするときに、大きな回転トルクが加わったときには、穴の内壁から接着剤が剥がれ、連結が解かれてしまうという問題があった。そのため、接着剤により接合されたブッシュを備える構造のセラミック部材には、大きな回転トルクが加わった場合でも、連結が解けにくいことが求められている。 In such a structure, the bush is joined by an adhesive, but when a large rotational torque is applied when a screw as a connecting member is fitted into the bush and tightened or loosened, There was a problem that the adhesive peeled off from the inner wall and the connection was broken. For this reason, it is required that a ceramic member having a structure having a bush joined by an adhesive is not easily disconnected even when a large rotational torque is applied.
本発明は、上記要求を満たすべく案出されたものであり、大きな回転トルクが加わった場合でも、連結が解けにくいセラミック部材を提供することである。 The present invention has been devised to satisfy the above requirements, and it is an object of the present invention to provide a ceramic member that is difficult to be disconnected even when a large rotational torque is applied.
本発明のセラミック部材は、セラミックスからなり、一主面に穴を有する基体と、接着剤を介して前記穴内にブッシュを備えるセラミック部材であって、前記穴の開口形状が、第１の円と、該第１の円内に中心を有するとともに、該第１の円と中心の異なる第２の円とが、前記第１の円の円周から前記第２の円の円周の一部がはみ出すように重なり合った形状であることを特徴とするものである。 The ceramic member of the present invention is a ceramic member made of ceramics and having a base having a hole on one main surface and a bush in the hole via an adhesive, and the opening shape of the hole is a first circle. The second circle having a center in the first circle and having a different center from the circumference of the first circle is a part of the circumference of the second circle. It is characterized by the shape of overlapping so as to protrude.
本発明のセラミック部材は、セラミックスからなり、一主面に穴を有する基体と、接着剤を介して前記穴内にブッシュを備えるセラミック部材であって、前記穴の内壁に凹部を有していることを特徴とするものである。 The ceramic member of the present invention is a ceramic member made of ceramics, having a base having a hole on one main surface, and a bush in the hole via an adhesive, and having a recess on the inner wall of the hole It is characterized by.
本発明のセラミック部材は、大きな回転トルクが加わった場合でも、連結が解けにくいものである。 The ceramic member of the present invention is difficult to be disconnected even when a large rotational torque is applied.
以下、本発明のセラミック部材の実施の形態の例を説明する。 Hereinafter, the example of embodiment of the ceramic member of this invention is demonstrated.
図１は、第１実施形態のセラミック部材の一例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ部においてブッシュを備えていないときの模式図であり、（ｃ）は（ａ）におけるＡ部を拡大した正面図であり、（ｄ）は（ｃ）におけるＢ−Ｂ線での縦断面図である。 1A and 1B show an example of a ceramic member according to the first embodiment, in which FIG. 1A is a perspective view, FIG. 1B is a schematic view when a bush is not provided in part A in FIG. (A) is the front view which expanded the A section in (a), (d) is a longitudinal cross-sectional view in the BB line in (c).
図１（ａ）、図１（ｃ）、図１（ｄ）に示すように、第１実施形態のセラミック部材１は、セラミックスからなり、一主面に穴２を有する基体と、接着剤３を介して穴２内にブッシュ４を備えている。なお、図１（ｃ）においてブッシュ４は、識別のため着色して示している。 As shown in FIGS. 1 (a), 1 (c), and 1 (d), the ceramic member 1 of the first embodiment is made of ceramics, and has a base having a hole 2 on one main surface, and an adhesive 3 A bush 4 is provided in the hole 2 via In addition, in FIG.1 (c), the bush 4 is colored and shown for identification.
次に、図１（ａ）におけるＡ部においてブッシュ４を備えていないときの模式図である図１（ｂ）を用いて、ブッシュ４が挿入される穴２の開口形状について説明する。ブッシュ４が挿入される穴２の開口形状は、第１の円２ａと、第１の円２ａ内に中心２ｂ１を有するとともに、第１の円２ａと中心の異なる第２の円２ｂとが、第１の円２ａの円周から第２の円２ｂの円周の一部がはみ出すように重なり合った形状である。なお、図１（ｂ）において、第１の円２ａの中心には、符号２ａ１を付して示している。 Next, the opening shape of the hole 2 into which the bush 4 is inserted will be described with reference to FIG. 1B, which is a schematic diagram when the bush 4 is not provided in the portion A in FIG. The opening shape of the hole 2 into which the bush 4 is inserted includes a first circle 2a, a center 2b 1 in the first circle 2a, and a second circle 2b having a different center from the first circle 2a. The shape of the second circle 2b is overlapped so that part of the circumference of the second circle 2b protrudes from the circumference of the first circle 2a. Incidentally, in FIG. 1 (b), the center of the first circle 2a, are indicated by reference numeral 2a 1.
そして、このような開口形状の穴２にブッシュ４が挿入され、接着剤３を介して穴２内においてブッシュ４が接合されていることから、第１実施形態のセラミック部材１は、締結部材（不図示）として例えばネジを嵌め、大きな回転トルクによってネジを締め付けたり緩めたりしたとしても、ブッシュ４の周囲に存在する接着剤３の厚みが異なるものであるため、穴２の内壁から接着剤３は剥がれにくく、連結した部材との連結が解けにくい。また、単なる円からなる開口形状の穴、例えば、第１の円２ａのみのときよりも、接着面積が広くなるため、接着強度が高くなる。 And since the bush 4 is inserted in the hole 2 of such opening shape, and the bush 4 is joined in the hole 2 via the adhesive agent 3, the ceramic member 1 of 1st Embodiment is a fastening member ( For example, even if a screw is fitted and tightened or loosened by a large rotational torque, the thickness of the adhesive 3 existing around the bush 4 is different, so that the adhesive 3 is removed from the inner wall of the hole 2. Is difficult to peel off, and it is difficult to disconnect the connected member. In addition, since the bonding area is larger than that in the case of an opening-shaped hole made of a simple circle, for example, only the first circle 2a, the bonding strength is increased.
なお、上述した効果を得ることができるとともに、接着剤３の使用量を抑えるには、第１の円の中心２ａ１と第２の円の中心２ｂ１との距離ｔは、５０μｍ以上１０００μｍ以下であることが好適である。 Incidentally, it is possible to obtain the effect described above and to reduce the amount of adhesive 3, the center 2a 1 of the first circle distance t between the center 2b 1 of the second circle, 50 [mu] m or more 1000μm or less It is preferable that
次に、図２は、第２実施形態のセラミック部材の一例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ’部を拡大した正面図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＢ’−Ｂ’線での縦断面図である。 Next, FIG. 2 shows an example of the ceramic member of the second embodiment, (a) is a perspective view, (b) is an enlarged front view of the A ′ portion in (a), and (c). FIG. 4 is a longitudinal sectional view taken along line B′-B ′ in FIG.
図２に示すように、第２実施形態のセラミック部材１’は、穴２の内壁に凹部５を有している。このように、穴２の内壁に凹部５を有しているときには、大きな回転トルクに耐えることができるとともに、接着剤３が凹部５に入り込んでおり、抜けにくくなっている
ことから、連結した部材との連結を解けにくいものとすることができる。
As shown in FIG. 2, the ceramic member 1 ′ of the second embodiment has a recess 5 on the inner wall of the hole 2. As described above, when the recess 5 is provided on the inner wall of the hole 2, it is possible to withstand a large rotational torque, and since the adhesive 3 enters the recess 5 and is difficult to be removed, the connected members Can be difficult to unlink.
次に、図３を用いて、凹部５について詳細に説明する。凹部５とは、図３に示すような断面において、直上の内壁よりもブッシュ４から遠ざかる方向に凹んでいるものである。また、図３示すような断面において、上述した効果を得ることができるとともに、接着剤３の使用量を抑えるには、高さ（Ｈ）が２００μｍ以上１５００μｍ以下であり、深さ（Ｄ）が５０μｍ以上１０００μｍ以下であることが好適である。なお、深さ（Ｄ）とは、ブッシュ４側に最も近い内壁の垂直な接線（Ｃ）から、ブッシュ４から最も遠い凹部５の内壁の垂直な接線（Ｅ）間の距離のことである。 Next, the recessed part 5 is demonstrated in detail using FIG. In the cross section as shown in FIG. 3, the recess 5 is recessed in a direction away from the bush 4 than the inner wall immediately above. Moreover, in the cross section as shown in FIG. 3, the above-described effects can be obtained, and in order to suppress the amount of the adhesive 3 used, the height (H) is 200 μm or more and 1500 μm or less, and the depth (D) is It is preferable that it is 50 μm or more and 1000 μm or less. The depth (D) is a distance between a vertical tangent (C) of the inner wall closest to the bush 4 side and a vertical tangent (E) of the inner wall of the recess 5 farthest from the bush 4.
なお、第１実施形態において、穴２の内壁に凹部５を有しているときには、大きな回転トルクに耐えることができるとともに、接着剤３が凹部５に入り込んでおり、抜けにくくなっていることから、連結した部材との連結をさらに解けにくいものとすることができる。 In addition, in 1st Embodiment, when it has the recessed part 5 in the inner wall of the hole 2, while being able to endure a big rotational torque, since the adhesive agent 3 penetrates into the recessed part 5, it is difficult to remove | deviate. Further, the connection with the connected members can be made more difficult to break.
次に、図４は、第１および第２実施形態のセラミック部材の変形例を示す、縦断面図である。なお、以降の図面においてセラミック部材には、「１」の符号を付すものとする。 Next, FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a modification of the ceramic member of the first and second embodiments. In the following drawings, the ceramic member is denoted by reference numeral “1”.
図４に示すように、穴２の内壁に、ブッシュ４から遠ざかる方向に高さ寸法が小さくなる窪み部６を有しているときには、接着剤３が窪み部６に入り込むこととなり、アンカー効果により接合強度が高まり、大きな回転トルクに耐えることができるとともに、抜けにくくなっていることから、連結した部材との連結を解けにくいものとすることができる。 As shown in FIG. 4, when the inner wall of the hole 2 has a recessed portion 6 whose height dimension decreases in the direction away from the bush 4, the adhesive 3 enters the recessed portion 6, and the anchor effect causes Since the bonding strength increases, it can withstand a large rotational torque and is difficult to come off, it can be difficult to disconnect the connected member.
そして、窪み部６とは、図４に示すような断面において、その高さは１００μｍ以下であり、深さは、１０μｍ以上３０００μｍ以下である。 And in the cross section as shown in FIG. 4, the hollow part 6 has a height of 100 μm or less and a depth of 10 μm or more and 3000 μm or less.
なお、凹部５および窪み部６の確認については、図３や図４に示すような断面が得られるように、セラミック部材１を切断し、公知の顕微鏡（金属顕微鏡や走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ））を用いて、１００倍以上２０００倍以下の倍率で観察すればよい。 In addition, about confirmation of the recessed part 5 and the hollow part 6, the ceramic member 1 is cut | disconnected so that a cross section as shown in FIG.3 and FIG.4 may be obtained, and a well-known microscope (a metal microscope or a scanning electron microscope (SEM) is used. ), And may be observed at a magnification of 100 to 2000 times.
そして、ブッシュ４がネジブッシュであるときには、ブッシュ４の底面との対向面に、ネジブッシュのネジ締め方向と逆巻きの渦巻き状突起または渦巻き状溝を有していることが好適である。このような構成を満たしているときには、ネジブッシュのネジ締め方向と逆巻きの渦巻き状突起または渦巻き状溝と、これらの周囲に存在する接着剤３とによって、ネジの締め付けやネジを緩めたりするときに掛かる大きな回転トルクに耐えることができる。 And when the bush 4 is a screw bush, it is suitable to have the spiral protrusion or spiral groove on the surface opposite to the bottom surface of the bush 4 that is reverse to the screw tightening direction of the screw bush. When satisfying such a configuration, when tightening or loosening the screw by the spiral projection or spiral groove reverse to the screw tightening direction of the screw bush and the adhesive 3 existing around them. Can withstand a large rotational torque applied to
次に、図５は、第１および第２実施形態のセラミック部材の変形例を示す、縦断面図である。図５に示すように、穴２の底部側に、ブッシュ４との対向面を有する凸部７を備えていることが好適である。 Next, FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a modification of the ceramic member of the first and second embodiments. As shown in FIG. 5, it is preferable that a convex portion 7 having a surface facing the bush 4 is provided on the bottom side of the hole 2.
このような構成を満たしているときには、接合時におけるブッシュ４の安定性が高まるとともに、穴２の底部における接着剤３との接触面積が大きくなることから、接着剤３が剥がれにくく、連結した部材との連結が解けにくくなる。また、穴２の底面を平坦にする加工が必要であるとき、平坦にする面積が少なくて済む。 When such a configuration is satisfied, the stability of the bush 4 at the time of joining is increased, and the contact area with the adhesive 3 at the bottom of the hole 2 is increased. It becomes difficult to break the connection. Moreover, when the process of flattening the bottom surface of the hole 2 is necessary, the area for flattening is small.
次に、図６は、第１および第２実施形態のセラミック部材の変形例を示す、縦断面図である。図６に示すように、穴２の底部に、最大径部８を有していることが好適である。 Next, FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing a modification of the ceramic member of the first and second embodiments. As shown in FIG. 6, it is preferable to have a maximum diameter portion 8 at the bottom of the hole 2.
このような構成を満たしているときには、図５に示す構成と比較して、穴２の底部にお
ける接着剤３との接触面積が大きくなることから、接着剤３が剥がれにくく、連結した部材との連結が解けにくくなる。また、穴２の内壁の仕上げを含む追加工等が行なわれるとき、最大径部８の上部の内壁は、加工時に底面と接触することが無いため、加工ツールに対する負荷が少なくて済む。
When such a configuration is satisfied, since the contact area with the adhesive 3 at the bottom of the hole 2 is larger than that in the configuration shown in FIG. It becomes difficult to unlink. Further, when an additional process including finishing of the inner wall of the hole 2 is performed, the inner wall at the upper portion of the maximum diameter portion 8 does not contact the bottom surface during processing, so that the load on the processing tool can be reduced.
また、図５や図６に示す構成においては、ブッシュ４やブッシュ４に嵌め込まれたネジ（ボルト）に掛かる振動外力や、ネジの軸に対して斜めに掛かる外力を緩和することができる。 Further, in the configuration shown in FIGS. 5 and 6, it is possible to relieve the vibration external force applied to the bush 4 and the screw (bolt) fitted to the bush 4 and the external force applied obliquely to the screw shaft.
次に、基体の材質としては、アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、窒化アルミニウム、炭化珪素、炭化硼素、コージェライト、ムライトまたはこれらの複合物を主成分とするセラミックスを用いることができる。なお、材質の選定にあたっては、特性やコスト等の要求に応じて選定すればよい。具体的には、コストの観点によれば、アルミナを主成分とするアルミナ質セラミックスとすればよく、機械的特性および熱的特性の観点によれば、炭化珪素を主成分とする炭化珪素質セラミックスとすればよい。ここで、主成分とは、セラミックスを構成する全成分１００質量％のうち、７０質量％を超える成分のことである。 Next, as a material of the substrate, alumina, zirconia, silicon nitride, aluminum nitride, silicon carbide, boron carbide, cordierite, mullite, or a ceramic mainly composed of a composite thereof can be used. In selecting a material, it may be selected according to requirements such as characteristics and cost. Specifically, from the viewpoint of cost, alumina ceramics mainly composed of alumina may be used, and from the viewpoint of mechanical characteristics and thermal characteristics, silicon carbide ceramics mainly composed of silicon carbide. And it is sufficient. Here, a main component is a component exceeding 70 mass% among 100 mass% of all the components which comprise ceramics.
また、ブッシュ４の材質としては、金属、樹脂、セラミックスなどから特性やコスト等の要求に応じて選定すればよく、耐食性や強度の観点によれば、ステンレスが好適である。なお、ブッシュ４の外周部には、必要に応じて溝や凹凸を設けて、接着剤３とブッシュ４の接合性を高めてもよい。 Further, the material of the bush 4 may be selected from metal, resin, ceramics and the like according to requirements such as characteristics and cost, and stainless steel is preferable from the viewpoint of corrosion resistance and strength. In addition, you may improve the adhesiveness of the adhesive agent 3 and the bush 4 by providing a groove | channel and an unevenness | corrugation in the outer peripheral part of the bush 4 as needed.
また、接着剤３の材質としては、有機系接着剤、無機系接着剤およびロウ材などから基体１とブッシュ４の材質を考慮して選択すればよい。例えば、ブッシュ４の材質を金属とするならば、エポキシ樹脂を選択すればよい。 The material of the adhesive 3 may be selected from organic adhesives, inorganic adhesives, brazing materials, and the like in consideration of the materials of the base 1 and the bush 4. For example, if the material of the bush 4 is a metal, an epoxy resin may be selected.
なお、図１〜図６においては、穴２として有底のものを示したが、貫通しているものであってもよい。そして、本実施形態のセラミック部材１は、内部に流路を設けて、ブッシュ４を備えていない面を製品の載置面とし、冷媒を流せば、熱交換器として用いることができる。 In addition, in FIGS. 1-6, although the bottomed thing was shown as the hole 2, you may penetrate. And the ceramic member 1 of this embodiment can be used as a heat exchanger if a flow path is provided in the interior, the surface on which the bush 4 is not provided is used as a product mounting surface, and a refrigerant is flowed.
以下、本実施形態のセラミック部材の作製方法の一例を説明する。なお、基体については、炭化珪素質セラミックスからなる基体の作製方法について説明する。 Hereinafter, an example of a method for producing the ceramic member of the present embodiment will be described. In addition, about the base | substrate, the preparation methods of the base | substrate which consists of silicon carbide ceramics are demonstrated.
まず、純度が９０％以上であり、平均粒径が０．５μｍ以上２μｍ以下である炭化珪素の粉末と、焼結助剤として、炭化硼素およびカルボン酸塩の粉末とを準備する。そして、各粉末を、例えば、炭化珪素の粉末１００質量％に対して、炭化硼素の粉末を０．１２質量％以上１．４質量％以下、カルボン酸塩の粉末を１質量％以上３．４質量％以下となるように秤量して混合する。 First, a silicon carbide powder having a purity of 90% or more and an average particle size of 0.5 μm or more and 2 μm or less, and boron carbide and carboxylate powder as a sintering aid are prepared. Each powder is, for example, 0.12 to 1.4% by mass of boron carbide powder and 1 to 3.4% of carboxylate powder with respect to 100% by mass of silicon carbide powder. Weigh and mix so as to be less than mass%.
次に、この混合粉末とともに、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、アクリル樹脂またはブチラール樹脂等のバインダと、水と、分散剤とを、ボールミル、回転ミル、振動ミルまたはビーズミル等に入れて混合する。ここで、バインダの添加量としては、成形体の強度や可撓性が良好で、また、焼成時にバインダの脱脂が不十分とならないようにすればよい。そして、得られたスラリーを噴霧乾燥して造粒し、顆粒原料とする。 Next, together with this mixed powder, a binder such as polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, acrylic resin or butyral resin, water, and a dispersing agent are mixed in a ball mill, a rotating mill, a vibration mill or a bead mill. Here, the amount of the binder added may be such that the strength and flexibility of the molded product are good and that the binder is not sufficiently degreased during firing. The obtained slurry is spray-dried and granulated to obtain a granule raw material.
次に、噴霧乾燥して造粒した顆粒原料を所定形状のゴム型内へ投入する。そして、静水圧プレス成形法（ラバープレス法）により成形し、その後、ゴム型から取り外す。その後、切削加工することにより、所望の外形状の成形体とする。 Next, the granule raw material granulated by spray drying is put into a rubber mold having a predetermined shape. And it shape | molds by an isostatic press molding method (rubber press method), and removes from a rubber mold after that. Then, it is set as the molded object of a desired outer shape by cutting.
次に、この成形体に対し、第１実施形態のセラミック部材であれば、フライス盤などを用いて一主面において第１の円が確認されるようにドリル加工を施す。続けて、穴の開口形状が、第１の円の円周から前記第２の円の円周の一部がはみ出すように重なり合った形状となるように、ドリル加工を施す。また、第２実施形態のセラミック部材であれば、フライス盤などを用いてドリル加工を施した後に、内壁に、凹部を形成する加工を施す。 Next, if it is the ceramic member of 1st Embodiment with respect to this molded object, it drills so that a 1st circle may be confirmed in one main surface using a milling machine etc. Subsequently, drilling is performed so that the opening shape of the hole is overlapped so that a part of the circumference of the second circle protrudes from the circumference of the first circle. Moreover, if it is a ceramic member of 2nd Embodiment, after giving a drill process using a milling machine etc., the process which forms a recessed part will be given to an inner wall.
また、必要に応じて、図４に示すような窪み部、図５に示すような凸部、図６に示すような最大径部８を有するものとなるように加工すればよい。また、ドリル加工において、ネジブッシュのネジ締め方向と逆巻き方向に回転させて加工して、突起や溝を形成すれば、ネジブッシュのネジ締め方向と逆巻きの渦巻き状突起または渦巻き状溝を形成することができる。 Moreover, what is necessary is just to process so that it may have a hollow part as shown in FIG. 4, a convex part as shown in FIG. 5, and the largest diameter part 8 as shown in FIG. 6 as needed. Also, in drilling, if a protrusion or groove is formed by rotating the screw bush in the direction opposite to the screw tightening direction to form a protrusion or groove, a spiral protrusion or spiral groove reverse to the screw bushing screw tightening direction is formed. be able to.
その後、１８００℃以上２２００℃以下の温度で１０分〜１０時間保持し、さらに２２００℃以上２３５０℃以下の温度で１０分〜２０時間保持して焼成することにより、基体を得ることができる。 Thereafter, the substrate can be obtained by holding at a temperature of 1800 ° C. or higher and 2200 ° C. or lower for 10 minutes to 10 hours, and further holding at a temperature of 2200 ° C. or higher and 2350 ° C. or lower for 10 minutes to 20 hours and firing.
次に、基体となる成形体を積層によって作製する例について説明する。 Next, an example in which a molded body serving as a base is produced by lamination will be described.
まず、上述した顆粒原料を準備する。そして、顆粒原料を用いて、セラミックスの一般的な成形法である乾式加圧成形法または粉末圧延法などによってグリーンシートを形成する。または、上述したスラリーを用いてドクターブレード法でグリーンシートを形成する。 First, the granule raw material mentioned above is prepared. Then, a green sheet is formed from the granule raw material by a dry pressing method or a powder rolling method, which is a general method for forming ceramics. Alternatively, a green sheet is formed by the doctor blade method using the slurry described above.
次に、得られたグリーンシートに対し、レーザー加工、若しくは金型による打ち抜きによって、第１の円（孔）をまず形成し、続けて、第１の円内において、第１の円と中心の異なる第２の円（孔）を形成する。 Next, a first circle (hole) is first formed on the obtained green sheet by laser processing or punching with a mold, and then, within the first circle, the first circle and the center are formed. A different second circle (hole) is formed.
そして、得られたグリーンシートを積層する。なお、積層するグリーンシートには、グリーンシートの作製において用いたスラリーなどを接合剤として塗布する。 And the obtained green sheet is laminated | stacked. Note that the slurry used in the production of the green sheet is applied as a bonding agent to the green sheets to be laminated.
次に、グリーンシート積層体に、例えば、平板状の加圧冶具を用いて０．５ＭＰａ程度の圧力を加え、その後、約５０〜７０℃の室温で約１０〜１５時間乾燥させることによって積層成形体を得ることができる。 Next, the green sheet laminate is applied with a pressure of about 0.5 MPa using, for example, a flat plate-like pressure jig, and then dried at room temperature of about 50-70 ° C. for about 10-15 hours. You can get a body.
なお、グリーンシートに、レーザー加工、若しくは金型による打ち抜きによって、第１の円および第２の円を形成する場合に、第２の円の中心を異ならせたグリーンシートを用意し、第２の円がずれるように積層すれば、穴の内壁に凹部を形成することができる。また、第１の円と第２の円とが重なり合った形状の穴の縁の部分に、Ｒ面加工やＣ面加工を施せば、窪み部を形成することができる。さらに、積層の際、穴の縁の所望の位置に、接合剤であるスラリーを塗布しない場合も、窪み部を形成することができる。 When the first circle and the second circle are formed on the green sheet by laser processing or punching with a mold, a green sheet with a different center of the second circle is prepared. If the layers are stacked so that the circles are displaced, a recess can be formed on the inner wall of the hole. Moreover, a hollow part can be formed by performing R surface processing or C surface processing on the edge portion of the hole where the first circle and the second circle overlap each other. Furthermore, when laminating, the concave portion can be formed even when the slurry as the bonding agent is not applied to a desired position of the edge of the hole.
また、穴の底部側にあたるグリーンシートにおいて、環状となる打ち抜きを行なえば、図５に示す凸部を形成することができる。さらに、穴の底部側にあたるグリーンシートにおいて、他のグリーンシートよりも、径が大きくなるように打ち抜きを行なえば、図６に示す最大径部を形成することができる。 In addition, if an annular punching is performed on the green sheet corresponding to the bottom side of the hole, the convex portion shown in FIG. 5 can be formed. Furthermore, if the green sheet corresponding to the bottom side of the hole is punched so as to have a larger diameter than the other green sheets, the maximum diameter portion shown in FIG. 6 can be formed.
さらに、他の方法について説明する。 Furthermore, another method will be described.
まず、上述した顆粒原料を準備する。そして、顆粒原料を用いて、セラミックスの一般的な成形法である乾式加圧成形法または粉末圧延法などによってグリーンシートを形成す
る。または、上述したスラリーを用いてドクターブレード法でグリーンシートを形成する。
First, the granule raw material mentioned above is prepared. Then, a green sheet is formed from the granule raw material by a dry pressing method or a powder rolling method, which is a general method for forming ceramics. Alternatively, a green sheet is formed by the doctor blade method using the slurry described above.
次に、得られたグリーンシートに対し、レーザー加工、若しくは金型による打ち抜きによって、第１の円（孔）を形成する。 Next, a first circle (hole) is formed on the obtained green sheet by laser processing or punching with a mold.
そして、得られたグリーンシートを積層する。なお、積層するグリーンシートには、グリーンシートの作製において用いたスラリーなどを接合剤として塗布する。 And the obtained green sheet is laminated | stacked. Note that the slurry used in the production of the green sheet is applied as a bonding agent to the green sheets to be laminated.
次に、グリーンシート積層体に、例えば、平板状の加圧冶具を用いて０．５ＭＰａ程度の圧力を加え、その後、約５０〜７０℃の室温で約１０〜１５時間乾燥させることによって積層成形体を得る。そして、上述した方法で焼成を行なった後に、穴の開口形状が、第１の円と、第１の円内に中心を有するとともに、第１の円と中心の異なる第２の円とが、第１の円の円周から第２の円の円周の一部がはみ出すように重なり合った形状となるように、ドリルを用いて追加工を行なってもよい。 Next, the green sheet laminate is applied with a pressure of about 0.5 MPa using, for example, a flat plate-like pressure jig, and then dried at room temperature of about 50-70 ° C. for about 10-15 hours. Get the body. And after baking by the method mentioned above, while the opening shape of a hole has a 1st circle | round | yen and a 2nd circle | round | yen different from a 1st circle | round | yen while having a center in a 1st circle | round | yen, Additional machining may be performed using a drill so that a part of the circumference of the second circle protrudes from the circumference of the first circle so as to overlap.
そして、得られた基体の穴に接着剤を流し込むとともに、ブッシュの側面に接着剤を付着させてから、穴にブッシュを挿入し、その後固着するまで放置することによって、セラミック部材を得することができる。 Then, the ceramic member can be obtained by pouring the adhesive into the hole of the obtained base, attaching the adhesive to the side surface of the bush, inserting the bush into the hole, and then leaving it until it is fixed. .
このようにして得られた本実施形態のセラミック部材は、大きな回転トルクがブッシュに加わった場合でも、連結が解けにくいものとなる。 The ceramic member of the present embodiment thus obtained is difficult to be disconnected even when a large rotational torque is applied to the bush.
１、１’：セラミック部材
２：穴
２ａ：第１の円
２ｂ：第２の円
３：接着剤
４：ブッシュ
５：凹部
６：窪み部
７：凸部
８：最大径部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1 ': Ceramic member 2: Hole 2a: 1st circle 2b: 2nd circle 3: Adhesive 4: Bushing 5: Concave part 6: Depression part 7: Convex part 8: Maximum diameter part
Claims (11)
The ceramic member according to any one of claims 7 to 10, wherein the bottom portion of the hole has a maximum diameter portion.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014241712 | 2014-11-28 | ||
| JP2014241712 | 2014-11-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016108233A true JP2016108233A (en) | 2016-06-20 |
| JP6633365B2 JP6633365B2 (en) | 2020-01-22 |
Family
ID=56121714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015231931A Active JP6633365B2 (en) | 2014-11-28 | 2015-11-27 | Ceramic members |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6633365B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020045495A1 (en) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 京セラ株式会社 | Ceramic structure |
-
2015
- 2015-11-27 JP JP2015231931A patent/JP6633365B2/en active Active
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020045495A1 (en) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 京セラ株式会社 | Ceramic structure |
| JPWO2020045495A1 (en) * | 2018-08-30 | 2021-08-26 | 京セラ株式会社 | Ceramic structure |
| EP3845508A4 (en) * | 2018-08-30 | 2022-05-04 | Kyocera Corporation | Ceramic structure |
| JP7242684B2 (en) | 2018-08-30 | 2023-03-20 | 京セラ株式会社 | ceramic structure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6633365B2 (en) | 2020-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7993728B2 (en) | Aluminum/silicon carbide composite and radiating part comprising the same | |
| JP5021636B2 (en) | Aluminum-silicon carbide composite and processing method thereof | |
| US20190105891A1 (en) | Lamination manufacturing method for large-size and complex- structure metal components | |
| WO2012091285A3 (en) | Jig for winston cone baffle machining | |
| US7178517B1 (en) | Diamond saw blade for milling | |
| JP2016171343A (en) | Passage member, heat exchanger and electronic component device using the same, and semiconductor manufacturing apparatus | |
| CN110202859B (en) | Carbon fiber reinforced resin laminated board adhesive joint and preparation method thereof | |
| JP2016108233A (en) | Ceramic member | |
| WO2020158774A1 (en) | Heat-dissipating member and manufacturing method for same | |
| KR102094093B1 (en) | Material for rotary cutting edge and method for manufacturing the same | |
| JPWO2013133187A1 (en) | Method and apparatus for drilling fiber reinforced composites | |
| US7103961B2 (en) | Production method of amorphous laminate core and amorphous laminate core | |
| WO2013143686A2 (en) | Cemented carbide body and method for manufacturing the cemented carbide body | |
| JP2018199256A (en) | Method for producing ceramic plate-like body | |
| KR101271563B1 (en) | Cutting sintered ceramic sheet and method for producing the same | |
| JP2016187009A (en) | Metal-ceramic joined substrate and manufacturing method of the same | |
| US20120131979A1 (en) | Fin fabrication process for entrainment heat sink | |
| WO2009116245A1 (en) | Heat spreader and method for manufacturing the same | |
| JP5816625B2 (en) | Mold and manufacturing method thereof | |
| JP2020123713A (en) | Heat-dissipating member and manufacturing method thereof | |
| JP6401012B2 (en) | Ceramic substrate | |
| KR101826722B1 (en) | Heat radiation tape, apparatus and method for manufacturing the heat radiation tape | |
| JP2020123714A (en) | Heat-dissipating member and manufacturing method thereof | |
| JP2020123639A (en) | Heat-dissipating member and manufacturing method thereof | |
| CN213733832U (en) | Stainless steel-titanium-aluminum explosion composite board and connecting piece made of same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180827 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190424 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190514 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190710 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191112 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191212 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6633365 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |