JP2016100373A

JP2016100373A - Optical module

Info

Publication number: JP2016100373A
Application number: JP2014234051A
Authority: JP
Inventors: 中西　裕美; Hiromi Nakanishi; 裕美中西
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2014-11-18
Filing date: 2014-11-18
Publication date: 2016-05-30
Anticipated expiration: 2034-11-18
Also published as: JP6417885B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical module which enables the achievement of a high output while achieving a compact laser device.SOLUTION: An optical module 1 comprises: a light-forming part 20; and a protective member 10, 40. The light-forming part 20 includes: a first laser diode 81; a second laser diode 82; a polarization synthesis filter 91 which synthesizes light emitted from the first laser diode 81, and light emitted from the second laser diode 82; and a wavelength plate 92 located between the second laser diode 82 and the polarization synthesis filter 91, and serving to convert a direction of polarization of light emitted from the second laser diode 82. The light emitted from the first laser diode 81, and light emitted from the second laser diode 82 are identical to each other in wavelength. The light emitted from the first laser diode 81, and the light emitted from the second laser diode 82 reach the polarization synthesis filter 91 without passing through a lens.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、光モジュールに関するものである。 The present invention relates to an optical module.

パッケージ内にレーザダイオードを配置した光モジュールが知られている。このような光モジュールは、表示装置、光ピックアップ装置、光通信装置など、種々の装置の光源として用いられる。 An optical module in which a laser diode is arranged in a package is known. Such an optical module is used as a light source of various devices such as a display device, an optical pickup device, and an optical communication device.

上述のような光モジュールが用いられる装置の性能の向上や用途の広がりに起因して、光モジュールの高出力化が求められる場合がある。このような場合、光モジュールを複数個準備し、各光モジュールから出射される光を別途準備した光学系により合波するレーザ装置を構築することにより、高出力化を達成する対応が考えられる（たとえば、特許文献１参照）。 In some cases, the output of the optical module is required to be increased due to the improvement in performance of the apparatus using the optical module as described above and the spread of applications. In such a case, it is conceivable to achieve a high output by preparing a plurality of optical modules and constructing a laser device that multiplexes light emitted from each optical module by an optical system separately prepared ( For example, see Patent Document 1).

特開２００７−６５６００号公報JP 2007-65600 A

しかし、上記特許文献１に開示された構造では、複数の光モジュール（パッケージ）と光学系とを組み合わせてレーザ装置を構築する必要がある。そのため、レーザ装置の小型化が難しいという問題がある。 However, in the structure disclosed in Patent Document 1, it is necessary to construct a laser device by combining a plurality of optical modules (packages) and an optical system. Therefore, there is a problem that it is difficult to reduce the size of the laser device.

そこで、レーザ装置の小型化を達成しつつ高出力化を達成可能な光モジュールを提供することを目的の１つとする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical module that can achieve high output while achieving miniaturization of a laser device.

本発明に従った光モジュールは、光を形成する光形成部と、光形成部からの光を透過する出射窓を有し、光形成部を取り囲むように配置される保護部材と、を備える。光形成部は、第１レーザダイオードと、第１レーザダイオードから出射される光とは異なる光路で光を出射する第２レーザダイオードと、第１レーザダイオードから出射される光と第２レーザダイオードから出射される光とを合波する偏波合成フィルタと、第２レーザダイオードと偏波合成フィルタとの間に位置し、第２レーザダイオードから出射される光の偏波方向を変換する波長板と、を含む。第１レーザダイオードから出射される光と第２レーザダイオードから出射される光とは同一波長である。そして、第１レーザダイオードから出射される光および第２レーザダイオードから出射される光は、レンズを通過することなく偏波合成フィルタに到達する。 An optical module according to the present invention includes a light forming portion that forms light, and a protective member that has an exit window that transmits light from the light forming portion and is disposed so as to surround the light forming portion. The light forming unit includes a first laser diode, a second laser diode that emits light in an optical path different from the light emitted from the first laser diode, and the light emitted from the first laser diode and the second laser diode. A polarization combining filter that combines the emitted light, and a wave plate that is positioned between the second laser diode and the polarization combining filter and that converts the polarization direction of the light emitted from the second laser diode; ,including. The light emitted from the first laser diode and the light emitted from the second laser diode have the same wavelength. Then, the light emitted from the first laser diode and the light emitted from the second laser diode reach the polarization combining filter without passing through the lens.

上記光モジュールによれば、レーザ装置の小型化を達成しつつ高出力化を達成可能な光モジュールを提供することができる。 According to the optical module, it is possible to provide an optical module that can achieve high output while achieving miniaturization of the laser device.

実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing the structure of an optical module in Embodiment 1. FIG. 実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing the structure of an optical module in Embodiment 1. FIG. 実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view showing the structure of the optical module in the first embodiment. 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略平面図である。6 is a schematic plan view showing a structure of an optical module in Embodiment 2. FIG. 実施の形態３における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view showing a structure of an optical module in a third embodiment. 実施の形態４における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view showing a structure of an optical module in a fourth embodiment. 実施の形態５における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a structure of an optical module in a fifth embodiment. 実施の形態５における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a structure of an optical module in a fifth embodiment. 実施の形態５における光モジュールの構造を示す概略平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view showing the structure of an optical module in a fifth embodiment.

［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。本願の光モジュールは、光を形成する光形成部と、光形成部からの光を透過する出射窓を有し、光形成部を取り囲むように配置される保護部材と、を備える。光形成部は、第１レーザダイオードと、第１レーザダイオードから出射される光とは異なる光路で光を出射する第２レーザダイオードと、第１レーザダイオードから出射される光と第２レーザダイオードから出射される光とを合波する偏波合成フィルタと、第２レーザダイオードと偏波合成フィルタとの間に位置し、第２レーザダイオードから出射される光の偏波方向を変換する波長板と、を含む。第１レーザダイオードから出射される光と第２レーザダイオードから出射される光とは同一波長である。そして、第１レーザダイオードから出射される光および第２レーザダイオードから出射される光は、レンズを通過することなく偏波合成フィルタに到達する。 [Description of Embodiment of Present Invention]
First, embodiments of the present invention will be listed and described. The optical module of the present application includes a light forming portion that forms light, and a protective member that has an exit window that transmits light from the light forming portion and is disposed so as to surround the light forming portion. The light forming unit includes a first laser diode, a second laser diode that emits light in an optical path different from the light emitted from the first laser diode, and the light emitted from the first laser diode and the second laser diode. A polarization combining filter that combines the emitted light, and a wave plate that is positioned between the second laser diode and the polarization combining filter and that converts the polarization direction of the light emitted from the second laser diode; ,including. The light emitted from the first laser diode and the light emitted from the second laser diode have the same wavelength. Then, the light emitted from the first laser diode and the light emitted from the second laser diode reach the polarization combining filter without passing through the lens.

本願の光モジュールでは、同一波長を有する第１レーザダイオードを出射した光と第２レーザダイオードを出射した光とが合波されるため、高出力化を達成することができる。ここで、本願の光モジュールは、第１レーザダイオード、第２レーザダイオード、偏波合成フィルタ、および波長板を含む光形成部が単一の保護部材により取り囲まれた構造、すなわち単一のパッケージ内に第１レーザダイオード、第２レーザダイオード、偏波合成フィルタ、および波長板が搭載された構造を有している。そのため、複数のパッケージからの光を、別途準備された光学系にて合波する場合に比べてレーザ装置の小型化を図ることができる。また、本願の光モジュールでは、この単一のパッケージ内において第１レーザダイオードから出射された光と第２レーザダイオードから出射された光とが、レンズを通過することなく偏波合成フィルタにて合波される。そのため、各レーザダイオードに対応してレンズを配置する場合に比べて、パッケージの小型化を達成することができる。さらに、本願の光モジュールでは、第１レーザダイオードから出射された光と第２レーザダイオードから出射された光とを偏波合成フィルタにて合波するために、第２レーザダイオードを出射した光の偏波方向を波長板によって変換する構造が採用される。そのため、パッケージ内の限られた空間内において第２レーザダイオードの設置面を第１レーザダイオードの設置面に対して傾ける必要がない。その結果、パッケージサイズの小型化に対応することが容易となる。このように、本願の光モジュールによれば、レーザ装置の小型化を達成しつつ高出力化を達成可能な光モジュールを提供することができる。 In the optical module of the present application, since the light emitted from the first laser diode having the same wavelength and the light emitted from the second laser diode are combined, high output can be achieved. Here, the optical module of the present application has a structure in which a light forming unit including a first laser diode, a second laser diode, a polarization beam combining filter, and a wave plate is surrounded by a single protective member, that is, in a single package. The first laser diode, the second laser diode, the polarization beam combining filter, and the wave plate are mounted on the first and second laser diodes. Therefore, it is possible to reduce the size of the laser device as compared with a case where light from a plurality of packages is multiplexed by an optical system prepared separately. In the optical module of the present application, the light emitted from the first laser diode and the light emitted from the second laser diode in this single package are combined by the polarization combining filter without passing through the lens. Waved. Therefore, the package can be reduced in size as compared with the case where a lens is arranged corresponding to each laser diode. Furthermore, in the optical module of the present application, in order to multiplex the light emitted from the first laser diode and the light emitted from the second laser diode by the polarization beam combining filter, the light emitted from the second laser diode A structure in which the polarization direction is converted by a wave plate is employed. Therefore, it is not necessary to incline the installation surface of the second laser diode with respect to the installation surface of the first laser diode in a limited space in the package. As a result, it becomes easy to cope with a reduction in package size. Thus, according to the optical module of the present application, it is possible to provide an optical module that can achieve high output while achieving miniaturization of the laser device.

なお、本願において、第１レーザダイオードから出射される光と第２レーザダイオードから出射される光とが同一波長である状態とは、第１レーザダイオードから出射される光と第２レーザダイオードから出射される光との波長の差が１０ｎｍ以下である状態をいう。 In the present application, the state in which the light emitted from the first laser diode and the light emitted from the second laser diode have the same wavelength means that the light emitted from the first laser diode and the second laser diode are emitted from the second laser diode. The state in which the difference in wavelength from the emitted light is 10 nm or less.

上記光モジュールにおいて、上記保護部材は、光形成部をハーメチックシールするものであってもよい。このようにすることにより、光モジュールの寿命を長くすることができる。 In the optical module, the protective member may hermetically seal the light forming portion. By doing in this way, the lifetime of an optical module can be lengthened.

上記光モジュールにおいて、上記光形成部は、偏波合成フィルタにより合波された光のスポットサイズを変換するレンズをさらに含んでいてもよい。このようにすることにより、各レーザダイオードに対応してレンズを配置する場合に比べて小型化を達成しつつ、所望のスポットサイズを有する光を光モジュールから出射させることができる。また、光モジュールの外部に別途レンズを設置する場合に比べて、レーザ装置の小型化を達成することができる。 In the optical module, the light forming unit may further include a lens that converts a spot size of the light combined by the polarization beam combining filter. By doing so, it is possible to emit light having a desired spot size from the optical module while achieving miniaturization as compared with the case where a lens is arranged corresponding to each laser diode. Further, the laser device can be reduced in size as compared with a case where a lens is separately provided outside the optical module.

上記光モジュールにおいて、光形成部は、第１レーザダイオードおよび第２レーザダイオードを冷却する電子冷却モジュールをさらに含んでいてもよい。このようにすることにより、温度が高くなる環境下においても光モジュールを使用することが可能となる。 In the optical module, the light forming section may further include an electronic cooling module that cools the first laser diode and the second laser diode. By doing so, the optical module can be used even in an environment where the temperature is high.

［本願発明の実施形態の詳細］
（実施の形態１）
次に、本発明にかかる光モジュールの一実施の形態である実施の形態１を、図１〜図３を参照しつつ説明する。図２は、図１のキャップ４０を取り外した状態に対応する図である。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。 [Details of the embodiment of the present invention]
(Embodiment 1)
Next, Embodiment 1 which is one embodiment of the optical module according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a view corresponding to a state in which the cap 40 of FIG. 1 is removed. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

図１および図２を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、円盤の形状を有するステム１０と、ステム１０の一方の主面１０Ａ上に配置され、光を形成する光形成部２０と、光形成部２０を覆うようにステム１０の一方の主面１０Ａ上に接触して配置されるキャップ４０と、ステム１０の他方の主面１０Ｂ側から一方の主面１０Ａ側まで貫通し、一方の主面１０Ａ側および他方の主面１０Ｂ側の両側に突出する複数のリードピン５１とを備えている。ステム１０とキャップ４０とは、たとえばＹＡＧ（ＹｉｔｔｒｉｕｍＡｌｕｍｉｎｉｕｍＧａｒｎｅｔ）レーザ溶接、抵抗溶接などの手法により溶接され、気密状態とされている。すなわち、光形成部２０は、ステム１０とキャップ４０とによりハーメチックシールされている。ステム１０とキャップ４０とにより取り囲まれる空間には、たとえば乾燥空気、乾燥窒素などの水分が低減（除去）された気体が封入されている。キャップ４０には、光形成部２０からの光を透過する出射窓４１が形成されている。出射窓４１は主面が互いに平行な平板状の形状を有していてもよいし、光形成部２０からの光を集光または拡散させるレンズ形状を有していてもよい。ステム１０およびキャップ４０は、保護部材を構成する。 Referring to FIGS. 1 and 2, an optical module 1 according to the present embodiment includes a stem 10 having a disk shape and a light forming portion 20 that is disposed on one main surface 10A of the stem 10 and forms light. And a cap 40 disposed on and in contact with one main surface 10A of the stem 10 so as to cover the light forming portion 20, and penetrating from the other main surface 10B side of the stem 10 to the one main surface 10A side, A plurality of lead pins 51 projecting on both sides of one main surface 10A side and the other main surface 10B side are provided. The stem 10 and the cap 40 are welded, for example, by a method such as YAG (Yittrium Aluminum Garnet) laser welding, resistance welding, or the like, and are in an airtight state. That is, the light forming unit 20 is hermetically sealed by the stem 10 and the cap 40. A space surrounded by the stem 10 and the cap 40 is filled with a gas in which moisture is reduced (removed) such as dry air and dry nitrogen. The cap 40 is formed with an emission window 41 that transmits light from the light forming unit 20. The exit window 41 may have a flat plate shape whose main surfaces are parallel to each other, or may have a lens shape that collects or diffuses the light from the light forming unit 20. The stem 10 and the cap 40 constitute a protective member.

図２を参照して、光形成部２０は、半円柱状の形状を有するベース部材であるベースブロック６０を含む。ベースブロック６０は、長方形形状を有する搭載面６０Ａを有している。ベースブロック６０は、半円形状を有する底面において、ステム１０の一方の主面１０Ａに固定されている。搭載面６０Ａは、ステム１０の一方の主面１０Ａに対して交差する方向、より具体的には垂直な方向に延在する。ステム１０の一方の主面１０Ａは、Ｘ−Ｙ平面に沿う。搭載面６０Ａは、Ｘ−Ｚ平面に沿う。 Referring to FIG. 2, the light forming unit 20 includes a base block 60 that is a base member having a semi-cylindrical shape. The base block 60 has a mounting surface 60A having a rectangular shape. The base block 60 is fixed to one main surface 10A of the stem 10 at the bottom surface having a semicircular shape. The mounting surface 60 A extends in a direction intersecting one main surface 10 A of the stem 10, more specifically in a vertical direction. One main surface 10A of the stem 10 is along the XY plane. The mounting surface 60A is along the XZ plane.

図２および図３を参照して、搭載面６０Ａ上には、平板状の第１サブマウント７１が配置されている。そして、第１サブマウント７１上に、第１レーザダイオード８１が配置されている。第１サブマウント７１および第１レーザダイオード８１は、搭載面６０Ａの短辺に隣接して配置される。搭載面６０Ａ上には、平板状の第２サブマウント７２が配置されている。そして、第２サブマウント７２上に、第２レーザダイオード８２が配置されている。第２サブマウント７２および第２レーザダイオード８２は、搭載面６０Ａの長辺に隣接して配置される。第１レーザダイオード８１から出射される光と第２レーザダイオード８２から出射される光とは同一波長である。第１レーザダイオード８１および第２レーザダイオード８２の光軸の高さ（搭載面６０Ａを基準面とした場合の基準面と光軸との距離；Ｙ軸方向における基準面との距離）は、第１サブマウント７１および第２サブマウント７２により調整されて一致している。第１レーザダイオード８１は、搭載面６０Ａの長辺に沿った方向（Ｚ方向）に光を出射する。第２レーザダイオード８２は、搭載面６０Ａの短辺に沿った方向（Ｘ方向）に光を出射する。第１レーザダイオード８１の光の出射方向と第２レーザダイオード８２の光の出射方向とは交差する。より具体的には、第１レーザダイオード８１の光の出射方向と第２レーザダイオード８２の光の出射方向とは直交する。第２レーザダイオード８２の設置面である第２サブマウント７２の主面と第１レーザダイオード８１の設置面である第１サブマウント７１の主面とは、平行である。 With reference to FIGS. 2 and 3, a flat plate-like first submount 71 is disposed on the mounting surface 60 A. A first laser diode 81 is disposed on the first submount 71. The first submount 71 and the first laser diode 81 are disposed adjacent to the short side of the mounting surface 60A. A flat plate-like second submount 72 is disposed on the mounting surface 60A. A second laser diode 82 is disposed on the second submount 72. The second submount 72 and the second laser diode 82 are disposed adjacent to the long side of the mounting surface 60A. The light emitted from the first laser diode 81 and the light emitted from the second laser diode 82 have the same wavelength. The heights of the optical axes of the first laser diode 81 and the second laser diode 82 (the distance between the reference surface and the optical axis when the mounting surface 60A is used as the reference surface; the distance from the reference surface in the Y-axis direction) are The first submount 71 and the second submount 72 are adjusted and matched. The first laser diode 81 emits light in a direction (Z direction) along the long side of the mounting surface 60A. The second laser diode 82 emits light in a direction (X direction) along the short side of the mounting surface 60A. The light emission direction of the first laser diode 81 and the light emission direction of the second laser diode 82 intersect each other. More specifically, the light emission direction of the first laser diode 81 and the light emission direction of the second laser diode 82 are orthogonal to each other. The main surface of the second submount 72 that is the installation surface of the second laser diode 82 and the main surface of the first submount 71 that is the installation surface of the first laser diode 81 are parallel to each other.

第１レーザダイオード８１を出射した光と第２レーザダイオード８２を出射した光とが交差する位置に対応する搭載面６０Ａ上に、偏波合成フィルタ９１が配置される。偏波合成フィルタ９１は、互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。偏波合成フィルタ９１の主面は、第１レーザダイオード８１の出射方向（Ｚ方向）および第２レーザダイオード８２の出射方向（Ｘ方向）に対して傾斜している。より具体的には、偏波合成フィルタ９１の主面は、第１レーザダイオード８１の出射方向（Ｚ方向）および第２レーザダイオード８２の出射方向（Ｘ方向）に対して４５°傾斜している。 The polarization combining filter 91 is disposed on the mounting surface 60A corresponding to the position where the light emitted from the first laser diode 81 and the light emitted from the second laser diode 82 intersect. The polarization beam combining filter 91 has a flat plate shape having main surfaces parallel to each other. The main surface of the polarization beam combining filter 91 is inclined with respect to the emission direction (Z direction) of the first laser diode 81 and the emission direction (X direction) of the second laser diode 82. More specifically, the main surface of the polarization beam combining filter 91 is inclined by 45 ° with respect to the emission direction (Z direction) of the first laser diode 81 and the emission direction (X direction) of the second laser diode 82. .

偏波合成フィルタ９１と第２レーザダイオード８２との間に位置するように、搭載面６０Ａ上に波長板９２が配置される。波長板９２は、互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第１レーザダイオード８１から出射される光および第２レーザダイオード８２から出射される光は、レンズを通過することなく偏波合成フィルタ９１に到達する。すなわち、第１レーザダイオード８１と偏波合成フィルタ９１との間には、レンズは配置されない。また、第２レーザダイオード８２と偏波合成フィルタ９１との間にも、レンズは配置されない。 A wave plate 92 is disposed on the mounting surface 60 A so as to be positioned between the polarization combining filter 91 and the second laser diode 82. The wave plate 92 has a flat plate shape having principal surfaces parallel to each other. The light emitted from the first laser diode 81 and the light emitted from the second laser diode 82 reach the polarization beam combining filter 91 without passing through the lens. That is, no lens is disposed between the first laser diode 81 and the polarization combining filter 91. Further, no lens is disposed between the second laser diode 82 and the polarization combining filter 91.

次に、本実施の形態における光モジュール１の動作について説明する。図３を参照して、第１レーザダイオード８１から出射された光は、光路Ｌ_１に沿って進行し、偏波合成フィルタ９１に入射する。第１レーザダイオード８１から出射された光の偏波方向は、たとえば搭載面６０Ａに垂直な方向（Ｙ方向）である。ここで、偏波合成フィルタ９１は、偏波方向が搭載面６０Ａに垂直な方向（Ｙ方向）である光を透過し、偏波方向が搭載面６０Ａに平行な方向（Ｚ方向）である光を反射する。そのため、偏波合成フィルタ９１に入射した第１レーザダイオード８１からの光は偏波合成フィルタ９１を透過し、光路Ｌ_２に沿ってさらに進行する。そして、キャップ４０の出射窓４１を通って光モジュール１の外部へと出射する（図２参照）。 Next, the operation of the optical module 1 in the present embodiment will be described. With reference to FIG. 3, the light emitted from the first laser diode 81 travels along the optical path L ₁ and enters the polarization beam combining filter 91. The polarization direction of the light emitted from the first laser diode 81 is, for example, a direction (Y direction) perpendicular to the mounting surface 60A. Here, the polarization combining filter 91 transmits light whose polarization direction is perpendicular to the mounting surface 60A (Y direction), and whose polarization direction is parallel to the mounting surface 60A (Z direction). To reflect. Therefore, light from the first laser diode 81 is incident to the polarization synthesizing filter 91 is transmitted through the polarization beam combining filter 91, further travels along the optical path L _2. Then, the light is emitted to the outside of the optical module 1 through the emission window 41 of the cap 40 (see FIG. 2).

第２レーザダイオード８２から出射された光は、光路Ｌ_３に沿って進行し、波長板９２に入射する。第２レーザダイオード８２から出射された光の偏波方向は、第１レーザダイオード８１から出射された光と同じであり、たとえば搭載面６０Ａに垂直な方向（Ｙ方向）である。ここで、波長板９２は、入射した光の偏波方向を９０°変換する。そのため、第２レーザダイオード８２から出射され、波長板９２に入射した光の偏波方向は搭載面６０Ａに平行な方向（Ｚ方向）に変換され、光路Ｌ４に沿って進行し、偏波合成フィルタ９１に入射する。偏波合成フィルタ９１は、偏波方向が搭載面６０Ａに平行な方向（Ｚ方向）である光を反射するため、第２レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_２に合流する。第２レーザダイオード８２を出射した光は第１レーザダイオード８１を出射した光と合波され、光路Ｌ_２に沿って進行し、キャップ４０の出射窓４１を通って光モジュール１の外部へと出射する（図２参照）。このように、２つのレーザダイオードを出射した同一波長の光（レーザ光）が合波されることにより、光モジュール１の高出力化が達成されている。 The light emitted from the second laser diode 82 travels along the optical path L ₃ and enters the wave plate 92. The polarization direction of the light emitted from the second laser diode 82 is the same as the light emitted from the first laser diode 81, and is, for example, a direction (Y direction) perpendicular to the mounting surface 60A. Here, the wave plate 92 converts the polarization direction of the incident light by 90 °. Therefore, the polarization direction of the light emitted from the second laser diode 82 and incident on the wave plate 92 is converted into a direction parallel to the mounting surface 60A (Z direction) and travels along the optical path L4, and the polarization synthesis filter 91 is incident. Polarization synthesis filter 91, since the polarization direction reflects light which is parallel to the direction (Z direction) on the mounting surface 60A, light emitted from the second laser diode 82 joins the optical path L _2. The light emitted from the second laser diode 82 is combined with the light emitted from the first laser diode 81, travels along the optical path L ₂ , and is emitted to the outside of the optical module 1 through the emission window 41 of the cap 40. (See FIG. 2). In this way, high output of the optical module 1 is achieved by combining the light of the same wavelength (laser light) emitted from the two laser diodes.

ここで、本実施の形態の光モジュール１は、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２、偏波合成フィルタ９１、および波長板９２を含む光形成部２０が単一のパッケージ内（ステム１０およびキャップ４０から構成される保護部材内）に搭載された構造を有している。そのため、複数のパッケージからの光を、別途準備された光学系にて合波する場合に比べてレーザ装置の小型化を図ることができる。また、複数の光モジュールから出射された光を別途準備した光学系にて合波する場合のように、複数の光モジュールからの光のスポットサイズの調整、光軸の調整など、煩雑な調整作業が軽減される。 Here, in the optical module 1 of the present embodiment, the light forming unit 20 including the first laser diode 81, the second laser diode 82, the polarization combining filter 91, and the wave plate 92 is in a single package (stem 10 And a protective member comprised of a cap 40). Therefore, it is possible to reduce the size of the laser device as compared with a case where light from a plurality of packages is multiplexed by an optical system prepared separately. Also, complicated adjustment work such as adjustment of spot size of light from multiple optical modules and adjustment of optical axis, as in the case of combining light emitted from multiple optical modules with a separately prepared optical system Is reduced.

また、本実施の形態の光モジュール１では、この単一のパッケージ内において第１レーザダイオード８１から出射された光と第２レーザダイオード８２から出射された光とが、レンズを通過することなく偏波合成フィルタ９１にて合波される。そのため、各レーザダイオードに対応してレンズを配置する場合に比べて、パッケージの小型化を達成することができる。さらに、本実施の形態の光モジュール１では、第１レーザダイオード８１から出射された光と第２レーザダイオード８２から出射された光とを偏波合成フィルタ９１にて合波するために、第２レーザダイオード８２を出射した光の偏波方向を波長板９２によって変換する構造が採用される。そのため、パッケージ内の限られた空間内において第２レーザダイオード８２の設置面（第２サブマウント７２の主面）を第１レーザダイオード８１の設置面（第１サブマウント７１の主面）に対して傾ける必要がない。その結果、パッケージサイズの小型化に対応することが容易となる。このように、本実施の形態の光モジュール１は、レーザ装置の小型化を達成しつつ高出力化を達成可能な光モジュールとなっている。 Further, in the optical module 1 of the present embodiment, the light emitted from the first laser diode 81 and the light emitted from the second laser diode 82 in this single package are polarized without passing through the lens. The signals are combined by the wave synthesis filter 91. Therefore, the package can be reduced in size as compared with the case where a lens is arranged corresponding to each laser diode. Furthermore, in the optical module 1 according to the present embodiment, the second light emitted from the first laser diode 81 and the light emitted from the second laser diode 82 are combined with each other by the polarization beam combining filter 91. A structure in which the polarization direction of the light emitted from the laser diode 82 is converted by the wave plate 92 is employed. Therefore, the installation surface of the second laser diode 82 (the main surface of the second submount 72) is set to the installation surface of the first laser diode 81 (the main surface of the first submount 71) in a limited space in the package. There is no need to tilt. As a result, it becomes easy to cope with a reduction in package size. Thus, the optical module 1 of the present embodiment is an optical module that can achieve high output while achieving miniaturization of the laser device.

（実施の形態２）
次に、本発明にかかる光モジュールの他の実施の形態である実施の形態２を説明する。図４は、実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略平面図である。図４および図３を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態２における光モジュール１は、ベースブロック６０の搭載面６０Ａ上にレンズ９３が配置される点において実施の形態１の場合とは異なっている。 (Embodiment 2)
Next, Embodiment 2 which is another embodiment of the optical module according to the present invention will be described. FIG. 4 is a schematic plan view showing the structure of the optical module according to the second embodiment. With reference to FIG. 4 and FIG. 3, the optical module 1 in the present embodiment basically has the same structure as that of the first embodiment, and has the same effects. However, the optical module 1 in the second embodiment is different from that in the first embodiment in that the lens 93 is disposed on the mounting surface 60 A of the base block 60.

具体的には、図４を参照して、実施の形態２の光モジュール１においては、光形成部２０は、偏波合成フィルタ９１により合波された光のスポットサイズを変換するレンズ９３をさらに含んでいる。レンズ９３は、表面がレンズ面となっているレンズ部９３Ａを有している。レンズ９３は、レンズ部９３Ａとレンズ部９３Ａ以外の領域とが一体成型されている。レンズ９３のレンズ部９３Ａの中心軸、すなわちレンズ部９３Ａの光軸は、第１レーザダイオード８１の光軸に一致するように調整されている。 Specifically, referring to FIG. 4, in the optical module 1 of the second embodiment, the light forming unit 20 further includes a lens 93 that converts the spot size of the light combined by the polarization beam combining filter 91. Contains. The lens 93 has a lens portion 93A whose surface is a lens surface. In the lens 93, the lens portion 93A and a region other than the lens portion 93A are integrally molded. The central axis of the lens portion 93 A of the lens 93, that is, the optical axis of the lens portion 93 A is adjusted to coincide with the optical axis of the first laser diode 81.

本実施の形態における光モジュール１では、偏波合成フィルタ９１において合波された第１レーザダイオード８１を出射した光および第２レーザダイオード８２を出射した光が光路Ｌ_２に沿って進行し、レンズ９３のレンズ部９３Ａに入射する。これにより、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえばレンズ部９３Ａに入射した光がコリメート光に変換される。そして、レンズ９３においてスポットサイズが変換された光は、キャップ４０の出射窓４１を通って光モジュール１の外部へと出射する（図２参照）。 In the optical module 1 of the present embodiment, the light emitted from the light and a second laser diode 82 and the first laser diode 81 emits that are combined in the polarization beam combiner filter 91 proceeds along the light path L _2, lens 93 is incident on the lens portion 93A. Thereby, the spot size of light is converted. Specifically, for example, light incident on the lens portion 93A is converted into collimated light. Then, the light whose spot size is converted by the lens 93 is emitted to the outside of the optical module 1 through the emission window 41 of the cap 40 (see FIG. 2).

本実施の形態における光モジュール１においては、各レーザダイオードに対応してレンズを配置する場合に比べて小型化を達成しつつ、所望のスポットサイズを有する光を光モジュール１から出射させることができる。また、光モジュール１の外部に別途レンズを設置する場合に比べて、レーザ装置の小型化を達成することができる。 In the optical module 1 according to the present embodiment, light having a desired spot size can be emitted from the optical module 1 while achieving a reduction in size as compared with the case where a lens is disposed corresponding to each laser diode. . Further, as compared with the case where a lens is separately provided outside the optical module 1, the laser device can be reduced in size.

（実施の形態３）
次に、本発明にかかる光モジュールのさらに他の実施の形態である実施の形態３を説明する。図５は、実施の形態３における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図５および図２を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態３における光モジュール１の光形成部２０は、電子冷却モジュール３０をさらに含んでいる点において、実施の形態１の場合とは異なっている。 (Embodiment 3)
Next, a third embodiment which is still another embodiment of the optical module according to the present invention will be described. FIG. 5 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module in the third embodiment. With reference to FIG. 5 and FIG. 2, the optical module 1 in the present embodiment basically has the same structure as that of the first embodiment and has the same effects. However, the light forming unit 20 of the optical module 1 in the third embodiment is different from that in the first embodiment in that it further includes an electronic cooling module 30.

具体的には、図５を参照して、実施の形態３における光モジュール１のベースブロック６０は、搭載面６０Ａに交差する方向（直交する方向）に突出する突出部６２を有している。突出部６２は、ステム１０の一方の主面１０Ａに面するベースブロック６０の底面が広がるように形成される。そして、突出部６２のステム１０の一方の主面１０Ａに面する側の面である設置面６２Ｂとステム１０の一方の主面１０Ａとの間に、電子冷却モジュール３０が配置される。 Specifically, referring to FIG. 5, the base block 60 of the optical module 1 according to the third embodiment has a protruding portion 62 that protrudes in a direction intersecting (orthogonal to) the mounting surface 60A. The protruding portion 62 is formed so that the bottom surface of the base block 60 facing the one main surface 10A of the stem 10 widens. And the electronic cooling module 30 is arrange | positioned between the installation surface 62B which is a surface on the side which faces one main surface 10A of the stem 10 of the protrusion part 62, and one main surface 10A of the stem 10.

電子冷却モジュール３０は、吸熱板３１と、放熱板３２と、電極を挟んで吸熱板３１と放熱板３２との間に並べて配置される半導体柱３３とを含む。吸熱板３１および放熱板３２は、たとえばアルミナからなっている。吸熱板３１がベースブロック６０の設置面６２Ｂに接触して配置される。放熱板３２は、ステム１０の一方の主面１０Ａに接触して配置される。本実施の形態において、電子冷却モジュール３０はペルチェモジュール（ペルチェ素子）である。そして、電子冷却モジュール３０に電流を流すことにより、吸熱板３１に接触するベースブロック６０の熱がステム１０へと移動し、ベースブロック６０が冷却される。その結果、第１レーザダイオード８１および第２レーザダイオード８２が冷却される。これにより、たとえば自動車に搭載される場合など、温度が高くなる環境下においても光モジュール１を使用することが可能となる。また、第１レーザダイオード８１および第２レーザダイオード８２の温度を適正な範囲に維持することで、所望の波長の光を精度よく形成することが可能となる。 The electronic cooling module 30 includes a heat absorbing plate 31, a heat radiating plate 32, and a semiconductor pillar 33 arranged side by side between the heat absorbing plate 31 and the heat radiating plate 32 with electrodes interposed therebetween. The heat absorbing plate 31 and the heat radiating plate 32 are made of alumina, for example. The heat absorbing plate 31 is disposed in contact with the installation surface 62 B of the base block 60. The heat radiating plate 32 is disposed in contact with one main surface 10 A of the stem 10. In the present embodiment, the electronic cooling module 30 is a Peltier module (Peltier element). And by supplying an electric current to the electronic cooling module 30, the heat of the base block 60 which contacts the heat absorption board 31 moves to the stem 10, and the base block 60 is cooled. As a result, the first laser diode 81 and the second laser diode 82 are cooled. Thereby, the optical module 1 can be used even in an environment where the temperature is high, for example, when it is mounted on an automobile. In addition, by maintaining the temperatures of the first laser diode 81 and the second laser diode 82 within an appropriate range, it is possible to accurately form light having a desired wavelength.

（実施の形態４）
次に、本発明にかかる光モジュールのさらに他の実施の形態である実施の形態４を説明する。図６は、実施の形態４における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図６および図２を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態４における光モジュール１には、ベースブロック６０が採用されず、光形成部２０がステム１０の一方の主面１０Ａに直接搭載される点において、実施の形態１の場合とは異なっている。 (Embodiment 4)
Next, a fourth embodiment which is still another embodiment of the optical module according to the present invention will be described. FIG. 6 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module according to the fourth embodiment. With reference to FIG. 6 and FIG. 2, the optical module 1 in the present embodiment basically has the same structure as that of the first embodiment, and has the same effects. However, the optical module 1 according to the fourth embodiment is different from the first embodiment in that the base block 60 is not adopted and the light forming unit 20 is directly mounted on one main surface 10A of the stem 10. Is different.

図６を参照して、第１サブマウント７１、第２サブマウント７２、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２、偏波合成フィルタ９１および波長板９２が、実施の形態１においてベースブロック６０の搭載面６０Ａ上に搭載される場合と同様の相対的な位置関係を有するように、ステム１０の一方の主面１０Ａ上に直接搭載される。さらに、本実施の形態の光モジュール１においては、光形成部２０は、偏波合成フィルタ９１により合波された光の進行方向を変更するミラー９４をさらに含んでいる。ミラー９４は、光を反射すべき面である反射面９４Ａを有している。反射面９４Ａがステム１０の一方の主面１０Ａに対して４５°の角度をなすように、ミラー９４はステム１０の一方の主面１０Ａ上に搭載される。 Referring to FIG. 6, the first submount 71, the second submount 72, the first laser diode 81, the second laser diode 82, the polarization combining filter 91, and the wave plate 92 are the base block 60 in the first embodiment. It is directly mounted on one main surface 10A of the stem 10 so as to have a relative positional relationship similar to that when mounted on the mounting surface 60A. Furthermore, in the optical module 1 of the present embodiment, the light forming unit 20 further includes a mirror 94 that changes the traveling direction of the light combined by the polarization beam combining filter 91. The mirror 94 has a reflecting surface 94A that is a surface on which light should be reflected. The mirror 94 is mounted on one main surface 10A of the stem 10 so that the reflection surface 94A forms an angle of 45 ° with respect to the one main surface 10A of the stem 10.

本実施の形態における光モジュール１では、偏波合成フィルタ９１において合波された第１レーザダイオード８１を出射した光および第２レーザダイオード８２を出射した光が光路Ｌ_２に沿って進行し、ミラー９４の反射面９４Ａに入射する。本実施の形態において、光路Ｌ_１〜Ｌ_４は、ステム１０の一方の主面１０Ａに平行な面内（Ｘ−Ｙ平面に平行な面内）に含まれる。そして、ミラー９４の反射面９４Ａに入射した上記光は、進行方向がステム１０の一方の主面１０Ａに交差する方向、より具体的には主面１０Ａに直交する方向（Ｚ方向）に変換され、光路Ｌ_５に沿って進行する。そして、当該光はキャップ４０の出射窓４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。 In the optical module 1 of the present embodiment, the light emitted from the light and a second laser diode 82 and the first laser diode 81 emits that are combined in the polarization beam combiner filter 91 proceeds along the light path L _2, mirror 94 enters the reflecting surface 94A. In the present embodiment, the optical paths L _{1 to} L ₄ are included in a plane parallel to one main surface 10A of the stem 10 (in a plane parallel to the XY plane). The light incident on the reflecting surface 94A of the mirror 94 is converted into a direction in which the traveling direction intersects one main surface 10A of the stem 10, more specifically, a direction (Z direction) orthogonal to the main surface 10A. travels along the optical path _{L 5.} Then, the light is emitted to the outside of the optical module 1 through the emission window 41 of the cap 40.

本実施の形態の光モジュール１においては、第１サブマウント７１、第２サブマウント７２、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２、偏波合成フィルタ９１および波長板９２をベースブロック６０の搭載面６０Ａに搭載する場合に比べて、光モジュール１からの光の出射方向（Ｚ方向）において、光モジュール１を小型化することが容易となる。 In the optical module 1 according to the present embodiment, the first submount 71, the second submount 72, the first laser diode 81, the second laser diode 82, the polarization combining filter 91, and the wave plate 92 are mounted on the base block 60. Compared with the case where the optical module 1 is mounted on the surface 60A, it is easy to reduce the size of the optical module 1 in the light emission direction (Z direction) from the optical module 1.

（実施の形態５）
次に、本発明にかかる光モジュールのさらに他の実施の形態である実施の形態５を説明する。図７および図８は、実施の形態５における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図９は、実施の形態５における光モジュールの構造を示す概略平面図である。図７〜図９および図１〜図３を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態５における光モジュール１は、ステム、キャップおよびベース部材の構造において実施の形態１の場合とは異なっている。 (Embodiment 5)
Next, a fifth embodiment which is still another embodiment of the optical module according to the present invention will be described. 7 and 8 are schematic perspective views showing the structure of the optical module according to the fifth embodiment. FIG. 9 is a schematic plan view showing the structure of the optical module according to the fifth embodiment. With reference to FIGS. 7 to 9 and FIGS. 1 to 3, the optical module 1 in the present embodiment has basically the same structure as that of the first embodiment, and has the same effects. However, the optical module 1 according to the fifth embodiment is different from the first embodiment in the structure of the stem, the cap, and the base member.

図７および図８を参照して、本実施の形態における光モジュール１００は、矩形平板状の形状を有するステム１１０と、ステム１１０の一方の主面１１０Ａ上に配置され、光を形成する光形成部１２０と、光形成部１２０を覆うようにステム１１０の一方の主面１１０Ａ上に接触して配置されるキャップ１４０と、ステム１１０の他方の主面１１０Ｂ側から一方の主面１１０Ａ側まで貫通し、一方の主面１１０Ａ側および他方の主面１１０Ｂ側の両側に突出する複数のリードピン１５１とを備えている。光形成部１２０は、実施の形態１の場合と同様に、ステム１１０とキャップ１４０とによりハーメチックシールされている。キャップ１４０には、光形成部１２０からの光を透過する出射窓１４１が形成されている。 Referring to FIGS. 7 and 8, optical module 100 in the present embodiment is arranged on stem 110 having a rectangular flat plate shape and one main surface 110A of stem 110 to form light that forms light. Part 120, a cap 140 arranged in contact with one main surface 110A of stem 110 so as to cover light forming unit 120, and penetrating from the other main surface 110B side of stem 110 to one main surface 110A side And a plurality of lead pins 151 projecting on both sides of one main surface 110A side and the other main surface 110B side. The light forming unit 120 is hermetically sealed by the stem 110 and the cap 140 as in the case of the first embodiment. The cap 140 is formed with an exit window 141 that transmits light from the light forming unit 120.

図８を参照して、光形成部１２０は、矩形板状の形状を有するベース部材であるベース板１６０を含む。ベース板１６０は、長方形形状を有する一方の主面である搭載面１６０Ａを有している。ベース板１６０は、搭載面１６０Ａとは反対側の主面においてステム１１０の一方の主面１１０Ａに固定されている。搭載面１６０Ａは、ステム１０の一方の主面１０Ａと平行な面である。搭載面１６０Ａおよびステム１１０の一方の主面１１０Ａは、いずれもＸ−Ｙ平面に沿う。 Referring to FIG. 8, light forming unit 120 includes a base plate 160 that is a base member having a rectangular plate shape. The base plate 160 has a mounting surface 160A that is one main surface having a rectangular shape. Base plate 160 is fixed to one main surface 110A of stem 110 on the main surface opposite to mounting surface 160A. The mounting surface 160 A is a surface parallel to one main surface 10 A of the stem 10. The mounting surface 160A and one main surface 110A of the stem 110 are all along the XY plane.

図８および図９を参照して、搭載面１６０Ａ上には、第１サブマウント７１、第２サブマウント７２、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２、偏波合成フィルタ９１および波長板９２が、実施の形態１においてベースブロック６０の搭載面６０Ａ上に搭載される場合と同様の相対的な位置関係を有するように搭載される。 8 and 9, on the mounting surface 160A, the first submount 71, the second submount 72, the first laser diode 81, the second laser diode 82, the polarization beam combining filter 91, and the wave plate 92 are provided. Are mounted so as to have a relative positional relationship similar to that in the case of being mounted on the mounting surface 60A of the base block 60 in the first embodiment.

本実施の形態においては、光路Ｌ_１〜Ｌ_４は、ステム１１０の一方の主面１１０Ａに平行な面内（Ｘ−Ｙ平面に平行な面内）に含まれる。そして、本実施の形態における光モジュール１では、偏波合成フィルタ９１において合波された第１レーザダイオード８１を出射した光および第２レーザダイオード８２を出射した光が光路Ｌ_２に沿って進行し、キャップ１４０の出射窓１４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。 In the present embodiment, the optical paths L _{1 to} L ₄ are included in a plane parallel to one main surface 110A of the stem 110 (in a plane parallel to the XY plane). Then, the optical module 1 of the present embodiment, the light emitted from the light and a second laser diode 82 and the first laser diode 81 emits that are combined in the polarization beam combiner filter 91 proceeds along the optical path L ₂ Then, the light is emitted to the outside of the optical module 1 through the emission window 141 of the cap 140.

なお、上記サブマウントは、サブマウント上に搭載される素子等に熱膨張係数が近い材料からなるものとされ、たとえばＡｌＮ、ＳｉＣ、Ｓｉ、ダイヤモンドなどからなるものとすることができる。また、ステムおよびキャップを構成する材料としては、たとえば熱伝導率の高い材料である鉄、銅などを採用してもよいし、ＡｌＮ、ＣｕＷ、ＣｕＭｏなどを採用してもよい。 The submount is made of a material having a thermal expansion coefficient close to that of an element mounted on the submount, and can be made of, for example, AlN, SiC, Si, diamond, or the like. Moreover, as a material which comprises a stem and a cap, iron, copper, etc. which are materials with high heat conductivity may be employ | adopted, for example, AlN, CuW, CuMo, etc. may be employ | adopted.

上記実施の形態１〜５の構造は、本願の光モジュールの構造の一例である。上記実施の形態１〜５の構造を適宜組み合わせて本願の光モジュールの他の構造を構成することができる。また、上記実施の形態においては、２個の同一波長を有するレーザダイオードからの光が合波される場合について説明したが、３個以上の同一波長を有するレーザダイオードからの光が合波されてもよい。 The structure of the said Embodiment 1-5 is an example of the structure of the optical module of this application. Other structures of the optical module of the present application can be configured by appropriately combining the structures of the first to fifth embodiments. In the above embodiment, the case where the light from two laser diodes having the same wavelength is combined has been described. However, the light from three or more laser diodes having the same wavelength is combined. Also good.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be understood that the embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and are not restrictive in any aspect. The scope of the present invention is defined by the scope of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the scope of the claims.

本願の光モジュールは、レーザ装置の小型化と高出力化との両立が求められる用途に使用される光モジュールに、特に有利に適用され得る。 The optical module of the present application can be particularly advantageously applied to an optical module used for an application that requires both a reduction in size and high output of a laser device.

１，１００光モジュール
１０，１１０ステム
１０Ａ，１１０Ａ主面
１０Ｂ，１１０Ｂ主面
２０，１２０光形成部
３０電子冷却モジュール
３１吸熱板
３２放熱板
３３半導体柱
４０，１４０キャップ
４１，１４１出射窓
５１，１５１リードピン
６０ベースブロック
６０Ａ搭載面
６２突出部
６２Ｂ設置面
７１第１サブマウント
７２第２サブマウント
８１第１レーザダイオード
８２第２レーザダイオード
９１偏波合成フィルタ
９２波長板
９３レンズ
９３Ａレンズ部
９４ミラー
９４Ａ反射面
１６０ベース板
１６０Ａ搭載面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100 Optical module 10,110 Stem 10A, 110A Main surface 10B, 110B Main surface 20,120 Light formation part 30 Electronic cooling module 31 Heat absorption plate 32 Heat sink 33 Semiconductor pillar 40,140 Cap 41,141 Output window 51,151 Lead pin 60 Base block 60A Mounting surface 62 Projection portion 62B Installation surface 71 First submount 72 Second submount 81 First laser diode 82 Second laser diode 91 Polarization combining filter 92 Wave plate 93 Lens 93A Lens portion 94 Mirror 94A Reflection Surface 160 Base plate 160A Mounting surface

Claims

A light forming part for forming light;
A protective member that has an exit window that transmits light from the light forming portion and is disposed so as to surround the light forming portion,
The light forming part is
A first laser diode;
A second laser diode that emits light in a different optical path from the light emitted from the first laser diode;
A polarization beam combining filter that combines light emitted from the first laser diode and light emitted from the second laser diode;
A wave plate positioned between the second laser diode and the polarization combining filter and converting a polarization direction of light emitted from the second laser diode;
The light emitted from the first laser diode and the light emitted from the second laser diode have the same wavelength,
An optical module in which light emitted from the first laser diode and light emitted from the second laser diode reach the polarization combining filter without passing through a lens.

The optical module according to claim 1, wherein the protective member hermetically seals the light forming portion.

The optical module according to claim 1, wherein the light forming unit further includes a lens that converts a spot size of the light combined by the polarization beam combining filter.

The optical module according to claim 1, wherein the light forming unit further includes an electronic cooling module that cools the first laser diode and the second laser diode.