JP2016096138A - プラズマベース分光分析における周囲ガス同伴及びイオン電流ノイズの低減 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トーチ軸208と同軸のトーチ出口216を備えるプラズマトーチ204内でプラズマ228を生成するステップと、プラズマを、前記トーチ出口からチャンバ212内にトーチ軸に沿って、前記チャンバ内のバッフル276の開口280を通じて、チャンバを少なくとも部分的に画定するチャンバ壁220に向かって放出するステップであって、バッフルは、放出されたプラズマ内の環状渦流出を抑制するのに有効なチャンバ壁から或る軸方向距離に位置決めされるステップと、試料をプラズマに注入するステップと、を含む、試料原子を生成する方法。
【選択図】図2
Description
トーチ軸と同軸のトーチ出口を備えるプラズマトーチ内でプラズマを生成するステップと、
前記プラズマを、前記トーチ出口からチャンバ内に前記トーチ軸に沿って、前記チャンバ内のバッフルの開口を通じて、前記チャンバを少なくとも部分的に画定するチャンバ壁に向かって放出するステップであって、該バッフルは、前記放出されたプラズマ内の環状渦流出を抑制するのに有効な前記チャンバ壁から或る軸方向距離に位置決めされるステップと、
試料分子を前記プラズマに注入するステップと、
を含む。
本明細書で開示される方法のいずれかに従って試料原子を生成するステップと、
前記試料原子の属性を測定するステップと、
を含む。
チャンバ壁を備えるチャンバと、
試料吸入口、プラズマ形成ガス吸入口、及びトーチ出口を備えるプラズマトーチであって、該トーチ出口はトーチ軸と同心である、プラズマトーチと、
前記プラズマトーチ内でプラズマを生成するように構成されるエネルギー源と、
前記トーチ出口と前記チャンバ壁との間のバッフルと、
を備え、該バッフルは、前記トーチ軸が通過する開口を備え、前記バッフルは、前記トーチ出口から放出されたプラズマ内の環状渦流出を抑制するのに有効な前記チャンバ壁から或る軸方向距離に位置決めされる。
トーチ軸と同軸のトーチ出口を備えるプラズマトーチ内でプラズマを生成するステップと、
プラズマを、トーチ出口からチャンバ内にトーチ軸に沿って、チャンバ内のバッフルの開口を通じて、チャンバを少なくとも部分的に画定するチャンバ壁に向かって放出するステップであって、バッフルは、放出されたプラズマ内の環状渦流出を抑制するのに有効なチャンバ壁から或る軸方向距離に位置決めされる、放出するステップと、
試料をプラズマに注入するステップと、
を含む、試料原子を生成するための方法。
先行する実施形態のいずれか1つの実施形態の方法に従って試料原子を生成するステップ
を含む、液体試料を分析するための方法。
試料原子のスペクトル属性を測定すること、
試料原子から放出される光子を測定すること、
試料原子から放出された光子を発光分光分析器内に方向付け、波長に従って試料原子から放出された光子をスペクトル的に分解すること、
試料原子からイオンを生成し、イオンを測定すること、及び、
試料原子からイオンを生成し、イオンを質量分析器内に方向付け、質量電荷比に従ってイオンをスペクトル的に分解すること、
からなる群から選択される、実施形態10の方法。
チャンバ壁を備えるチャンバと、
試料吸入口、プラズマ形成ガス吸入口、及びトーチ出口を備えるプラズマトーチであって、トーチ出口はトーチ軸と同心である、プラズマトーチと、
プラズマトーチ内でプラズマを生成するように構成されるエネルギー源と、
トーチ出口とチャンバ壁との間のバッフルと、
を備え、バッフルは、トーチ軸が通過する開口を備え、バッフルは、トーチ出口から放出されたプラズマ内の環状渦流出を抑制するのに有効なチャンバ壁から或る軸方向距離に位置決めされる、プラズマ源。
プラズマトーチが、第1のチューブと、第1のチューブを同軸に囲む第2のチューブとを備え、それにより、環状導管が第1のチューブと第2のチューブとの間に画定され、試料吸入口が第1のチューブと連通し、プラズマ形成ガス吸入口が環状導管と連通すること、
プラズマトーチが、補助ガス吸入口と、第1のチューブと、第1のチューブを同軸に囲む第2のチューブと、第1のチューブと第2のチューブとの間に同軸的に位置決めされた第3のチューブとを備え、それにより、第1の環状導管が第1のチューブと第3のチューブとの間に画定され、第2の環状導管が第2のチューブと第3のチューブとの間に画定され、試料吸入口が第1のチューブと連通し、プラズマ形成ガス吸入口が第1の環状導管又は第2の環状導管と連通し、補助ガス吸入口が第1の環状導管又は第2の環状導管と連通すること、
のうちの少なくとも1つを備える構成を有する、実施形態12〜20のいずれか1つの実施形態のプラズマ源。
Claims (10)
- トーチ軸と同軸のトーチ出口を備えるプラズマトーチ内でプラズマを生成するステップと、
前記プラズマを、前記トーチ出口からチャンバ内に前記トーチ軸に沿って、前記チャンバ内のバッフルの開口を通じて、前記チャンバを少なくとも部分的に画定するチャンバ壁に向かって放出するステップであって、該バッフルは、前記放出されたプラズマ内の環状渦流出を抑制するのに有効な前記チャンバ壁から或る軸方向距離に位置決めされるステップと、
試料を前記プラズマに注入するステップと、
を含む、試料原子を生成するための方法。 - 請求項1による方法に従って試料原子を生成するステップと、
前記試料原子の属性を測定するステップと、
を含む、液体試料を分析するための方法。 - 前記試料原子の属性を測定するステップは、
前記試料原子のスペクトル属性を測定すること、
前記試料原子から放出される光子を測定すること、
前記試料原子から放出された光子を発光分光分析器内に方向付け、波長に従って該光子をスペクトル的に分解すること、
前記試料原子からイオンを生成し、該イオンを測定すること、及び、
前記試料原子からイオンを生成し、該イオンを質量分析器内に方向付け、質量電荷比に従って前記イオンをスペクトル的に分解すること、
からなる群から選択される、請求項2に記載の方法。 - チャンバ壁を備えるチャンバと、
試料吸入口、プラズマ形成ガス吸入口、及びトーチ出口を備えるプラズマトーチであって、該トーチ出口はトーチ軸と同心である、プラズマトーチと、
前記プラズマトーチ内でプラズマを生成するように構成されるエネルギー源と、
前記トーチ出口と前記チャンバ壁との間のバッフルと、
を備え、該バッフルは、前記トーチ軸が通過する開口を備え、前記バッフルは、前記トーチ出口から放出されたプラズマ内の環状渦流出を抑制するのに有効な前記チャンバ壁から或る軸方向距離に位置決めされる、プラズマ源。 - 前記バッフルと前記チャンバ壁との間の前記軸方向距離の選択的調整を可能にするように構成される調整デバイスを備える、先行する請求項のいずれかに記載のプラズマ源。
- 前記開口は、円形であるか又は円形部分を少なくとも含み、前記バッフルは、外縁を備え、比ΔRmin/aが約0.4以上であるか、ΔRminが約(0.25)R以上に等しいか、又は上記の条件がともに満たされるように位置決めされるか又はそのようなサイズに作られ、ΔRminは、前記開口又は前記開口の前記円形部分の縁と前記バッフルの前記外縁との間の最小半径方向距離であり、aは、前記トーチ出口と前記バッフルとの間の軸方向距離であり、Rは、前記開口の前記円形部分の前記開口の半径である、先行する請求項のいずれかに記載のプラズマ源。
- 前記開口は、円形であるか又は円形部分を少なくとも含み、前記開口又は前記円形部分は、前記トーチ出口の半径と実質的に同じ半径を有する、先行する請求項のいずれかに記載のプラズマ源。
- 前記チャンバは、内側表面を備え、前記バッフルは、半径方向に沿って前記内側表面から離間した外縁を備える、先行する請求項のいずれかに記載のプラズマ源。
- 前記プラズマトーチが、第1のチューブと、前記第1のチューブを同軸に囲む第2のチューブとを備え、それにより、環状導管が前記第1のチューブと前記第2のチューブとの間に画定され、前記試料吸入口が前記第1のチューブと連通し、前記プラズマ形成ガス吸入口が前記環状導管と連通すること、
前記前記プラズマトーチが、補助ガス吸入口と、第1のチューブと、前記第1のチューブを同軸に囲む第2のチューブと、前記第1のチューブと前記第2のチューブとの間に同軸的に位置決めされた第3のチューブとを備え、それにより、第1の環状導管が前記第1のチューブと前記第3のチューブとの間に画定され、第2の環状導管が前記第2のチューブと前記第3のチューブとの間に画定され、前記試料吸入口が前記第1のチューブと連通し、前記プラズマ形成ガス吸入口が前記第1の環状導管又は前記第2の環状導管と連通し、前記補助ガス吸入口が前記第1の環状導管又は前記第2の環状導管と連通すること、
前記プラズマトーチが、前記試料吸吸入口と連通し、試料排出口を備える第1のチューブと、前記第1のチューブを同軸に囲み、前記トーチ出口で終端する第2のチューブであって、前記プラズマ形成ガス吸入口と連通する環状導管を形成する、第2のチューブと、前記第2のチューブによって囲まれ、前記試料出口及び前記環状導管と連通する相互作用領域を備えること、
のうちの少なくとも1つを備える構成を有する、先行する請求項のいずれかに記載のプラズマ源。 - 前記チャンバ壁は、光子光学系コンポーネント又はイオン光学系コンポーネントを備える、先行する請求項のいずれかに記載のプラズマ源。
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