検出接地端子６７２ｂは、支持部６５１、６５２にそれぞれ配置されている。支持部６５１に配置されている検出接地端子６７２ｂは、支持部６５１の中央部に配置されており、梁部６６１に配置された検出接地配線を介して、検出振動腕６２１に配置された検出接地電極６７２ａと電気的に接続されている。一方、支持部６５２に配置されている検出接地端子６７２ｂは、支持部６５２の中央部に配置されており、梁部６６３に配置された検出接地配線を介して、検出振動腕６２２に配置された検出接地電極６７２ａと電気的に接続されている。
The detection ground terminal 672b is disposed on the support portions 651 and 652, respectively. The detection ground terminal 672 b disposed in the support portion 651 is disposed in the center of the support portion 651, and the detection ground disposed in the detection vibration arm 621 via the detection ground wiring disposed in the beam portion 661. The electrode 672a is electrically connected. On the other hand, the detection ground terminal 672b disposed in the support portion 652 is disposed in the center portion of the support portion 652, and is disposed in the detection vibration arm 622 through the detection ground wiring disposed in the beam portion 663 . The detection ground electrode 672a is electrically connected.
また、第１配線層７２は、配線部７２１の他に、シールド配線７２２を有している。シールド配線７２２は、配線部７２１の配置を阻害しない限りに第１絶縁層７１上に広がって配置されている。また、シールド配線７２２は、定電位に電気的に接続されている。ここで、定電位とは、グランド電位、または一定の電位に固定された電位のことを意味する。このようなシールド配線７２２は、第２配線層７４とＩＣ３の配線層３２との間に位置し、第２配線層７４と配線層３２との容量結合（第２配線層７４と配線層３２との間の静電容量）を低減するシールド層として機能する。そのため、シールド配線７２２を配置することで、Ｓ／Ｎ比が向上し、角速度をより高精度に検出することのできる電子デバイス１となる。また、ノイズに温度特性がある場合でも、このノイズ自体を低減することができるので、温度特性に優れた電子デバイス１となる。
Further, the first wiring layer 72 includes a shield wiring 722 in addition to the wiring portion 721. The shield wiring 722 is arranged so as to spread on the first insulating layer 71 as long as the arrangement of the wiring part 721 is not hindered. The shield wiring 722 is electrically connected to a constant potential. Here, the constant potential means a ground potential or a potential fixed to a constant potential. Such a shield wiring 722 is located between the second wiring layer 74 and the wiring layer 32 of the IC 3, and capacitive coupling between the second wiring layer 74 and the wiring layer 32 (the second wiring layer 74 and the wiring layer 32 are connected to each other). Functions as a shield layer. Therefore, by arranging the shield wiring 722, the S / N ratio is improved, and the electronic device 1 can detect the angular velocity with higher accuracy. Further, even when the noise has temperature characteristics, the noise itself can be reduced, so that the electronic device 1 having excellent temperature characteristics is obtained.
駆動振動腕５２１、５２２には図示しない駆動信号電極が設けられており、ＩＣ３から駆動信号電極に発振駆動信号（交番電圧）を印加することで、矢印Ｄで示す駆動モードが励振される。そして、駆動振動腕５２１、５２２が駆動モードで振動しているときに、Ｘ軸まわりの角速度ωｘが加わると、矢印Ｅで示す検出モードが励振され、これにより、検出振動腕５３１、５３２が振動する。検出振動腕５３１、５３２には図示しない検出信号電極が設けられており、この検出信号電極から検出振動腕５３１、５３２の振動により生じる検出信号（電荷）が取り出される。そして、取り出された検出信号に基づいてＩＣ３が角速度ωｘを検出する。
The drive vibration arms 521 and 522 are provided with drive signal electrodes (not shown), and the drive mode indicated by the arrow D is excited by applying an oscillation drive signal (alternating voltage) from the IC 3 to the drive signal electrodes. When the drive vibration arms 521 and 522 are vibrating in the drive mode, if the angular velocity ωx around the X axis is applied, the detection mode indicated by the arrow E is excited, and the detection vibration arms 531 and 532 vibrate. To do. The detection vibration arms 531 and 532 are provided with detection signal electrodes (not shown), and detection signals (charges) generated by vibrations of the detection vibration arms 531 and 532 are extracted from the detection signal electrodes. Based on the extracted detection signal, the IC 3 detects the angular velocity ωx.
また、振動素子６は、支持部６５１、６５２の並び方向がＹ軸方向と一致するように配置されている。振動素子６は、支持部６５１、６５２の並び方向の長さの方が、これに直交する方向（連結腕６３１、６３２の延在方向）の長さよりも長いため、このように配置することで、ＩＣ３の上面のスペースを有効に活用することができる。そのため、例えば、外縁３ａ、３ｂの離間距離を短くすることができ、ＩＣ３の小型化を図ることができる。
In addition, the vibration element 6 is disposed so that the arrangement direction of the support portions 651 and 652 coincides with the Y-axis direction. The vibration element 6 is arranged in this manner because the length in the direction in which the support portions 651 and 652 are arranged is longer than the length in the direction perpendicular to the direction (the extending direction of the connecting arms 631 and 632). The space on the upper surface of the IC 3 can be used effectively. Therefore, for example, the distance between the outer edges 3a and 3b can be shortened, and the IC 3 can be downsized.