JP2016078272A - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力室形成基板の小型化が可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル22に連通して圧力室30となるべき空間が複数並設されたシリコン製の圧力室形成基板29と、圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室30を区画した振動板31と、振動板31の圧力室30に対応する領域に積層された圧電素子32を収容する圧電素子収容空間36が形成された封止板33と、を備え、振動板31の封止板33側の面において、圧電素子32に導通する第1のリード電極39が圧電素子収容空間36内から封止板33より外側に延出され、封止板33の振動板31側とは反対側の面には、当該面から封止板33の外側に向けて延出されて第1のリード電極39と導通する第2のリード電極40が形成され、圧電素子32に駆動信号を送るフレキシブルケーブル13が、封止板33上における第2のリード電極40に導通された。【選択図】図4
Description
本発明は、電圧の印加により変形する圧電素子を備えた液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関するものである。
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置,有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイやFED(面発光ディスプレイ)等の電極を形成する電極形成装置,バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではR(Red)・G(Green)・B(Blue)の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
上記の液体噴射ヘッドは、複数のノズル、ノズル毎に形成された圧力室及び各圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子(アクチュエーターの一種)を備えている。そして、制御部からの駆動信号を、フレキシブルケーブル等の配線部材を介して圧電素子に供給することで、圧力室内の液体に圧力変動(圧力変化)を生じさせ、この圧力変動を利用してノズルから液体を噴射するように構成されている。ここで、上記の圧力室となる空間が形成される圧力室形成基板としては、エッチング処理によって高い加工精度が得られることから、シリコン製の基板が採用されている(例えば、特許文献1参照)。このような圧力室形成基板は、例えば、シリコン単結晶ウェハー上に複数個分形成された後、当該ウェハーを分割することで作製される。
しかしながら、シリコン製の基板は、ステンレス鋼等の金属製の基板や合成樹脂製の基板と比較してコストが嵩み易くなるという問題がある。このため、圧力室形成基板を小型化して、シリコン単結晶ウェハーからの取り数を増やすことが望まれている。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧力室形成基板の小型化が可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルに連通して圧力室となるべき空間が複数並設されたシリコン製の圧力室形成基板と、
前記圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室を区画した振動板と、
前記振動板の圧力室に対応する領域に積層された圧電素子を収容する圧電素子収容空間が形成された封止板と、を備え、
前記振動板の封止板側の面において、前記圧電素子に導通する第1のリード電極が前記圧電素子収容空間内から前記封止板より外側に延出され、
前記封止板の振動板側とは反対側の面には、当該面から封止板の外側に向けて延出されて前記第1のリード電極と導通する第2のリード電極が形成され、
前記圧電素子に駆動信号を送る配線部材が、前記封止板上における前記第2のリード電極に導通されたことを特徴とする。
前記圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室を区画した振動板と、
前記振動板の圧力室に対応する領域に積層された圧電素子を収容する圧電素子収容空間が形成された封止板と、を備え、
前記振動板の封止板側の面において、前記圧電素子に導通する第1のリード電極が前記圧電素子収容空間内から前記封止板より外側に延出され、
前記封止板の振動板側とは反対側の面には、当該面から封止板の外側に向けて延出されて前記第1のリード電極と導通する第2のリード電極が形成され、
前記圧電素子に駆動信号を送る配線部材が、前記封止板上における前記第2のリード電極に導通されたことを特徴とする。
この構成によれば、配線部材と第2のリード電極とが導通する空間を封止板の内部に設ける必要が無いため、封止板に設けられた空間を通じて配線部材を振動板上の第2のリード電極と導通させる場合と比べて、圧力室形成基板を小型化できる。これにより、例えば、シリコン単結晶ウェハーからの取り数を増やすことができる。その結果、液体噴射ヘッドの製造コストを削減することができる。
上記構成において、前記封止板は、振動板側とは反対側の面から前記第1のリード電極の前記延出部分に向けて下り傾斜した傾斜面を有することが望ましい。
この構成によれば、封止板の振動板側とは反対側の面から振動板上の第1のリード電極に亘って第2のリード電極を容易に形成することができる。
上記各構成において、前記圧力室形成基板及び前記封止板が収容される収容空間が形成されると共に、前記圧力室に液体を供給するリザーバーが形成されたヘッドケースと、
前記圧力室形成基板の振動板側とは反対側の面に接合され、前記リザーバーからの液体を各圧力室に個別に供給する個別連通口が形成されたシリコン製の連通基板と、を備え、
前記圧力室形成基板には、複数並設された圧力室となるべき空間の列が2列形成され、
前記空間の並設方向に対して直交する方向において、前記収容空間を挟んだ両外方に前記リザーバーがそれぞれ形成されたことが望ましい。
前記圧力室形成基板の振動板側とは反対側の面に接合され、前記リザーバーからの液体を各圧力室に個別に供給する個別連通口が形成されたシリコン製の連通基板と、を備え、
前記圧力室形成基板には、複数並設された圧力室となるべき空間の列が2列形成され、
前記空間の並設方向に対して直交する方向において、前記収容空間を挟んだ両外方に前記リザーバーがそれぞれ形成されたことが望ましい。
この構成によれば、リザーバー間に圧力室形成基板が設けられると共に、連通基板を介してリザーバーの液体を圧力室に導入するため、圧力室形成基板に圧力室以外の液体流路を形成する必要がない。これにより、圧力室形成基板をより小型化できる。
上記構成において、2列に形成された前記空間の列に対応して、前記圧電素子の列及び前記圧電素子収容空間がそれぞれ2列形成され、
両圧電素子の列に対応する第2のリード電極は、前記封止板上において、一方の圧電素子収容空間に対応する領域と他方の圧電素子収容空間に対応する領域との間の領域にそれぞれ延設されたことが望ましい。
両圧電素子の列に対応する第2のリード電極は、前記封止板上において、一方の圧電素子収容空間に対応する領域と他方の圧電素子収容空間に対応する領域との間の領域にそれぞれ延設されたことが望ましい。
この構成によれば、2列に形成された圧電素子の列にそれぞれ駆動信号を送る配線部材を1つにまとめることができる。その結果、圧電素子の列毎に配線部材を設ける場合と比べて、液体噴射ヘッドの製造が容易になり、液体噴射ヘッドの製造コストを一層削減することができる。
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド(以下、記録ヘッド)を搭載した液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター(以下、プリンター)を例に挙げる。
プリンター1の構成について、図1を参照して説明する。プリンター1は、記録紙等の記録媒体2(着弾対象の一種)の表面に対してインク(液体の一種)を噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター1は、記録ヘッド3、この記録ヘッド3が取り付けられるキャリッジ4、キャリッジ4を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構5、記録媒体2を副走査方向に移送する搬送機構6等を備えている。ここで、上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ7に貯留されている。このインクカートリッジ7は、記録ヘッド3に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
上記のキャリッジ移動機構5はタイミングベルト8を備えている。そして、このタイミングベルト8はDCモーター等のパルスモーター9により駆動される。したがってパルスモーター9が作動すると、キャリッジ4は、プリンター1に架設されたガイドロッド10に案内されて、主走査方向(記録媒体2の幅方向)に往復移動する。キャリッジ4の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー(図示せず)によって検出される。リニアエンコーダーは、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス(位置情報の一種)をプリンター1の制御部に送信する。
また、キャリッジ4の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ4の走査の基点となるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、端部側から順に、記録ヘッド3のノズル面(ノズルプレート21)に形成されたノズル22を封止するキャップ11、及び、ノズル面を払拭するためのワイピングユニット12が配置されている。
次に記録ヘッド3について説明する。図2は、記録ヘッド3の構成を説明する正面図である。図3は、記録ヘッド3の概略断面図であり、図2におけるA−A断面図である。図4は、図3における領域Bの拡大図である。図5は、アクチュエーターユニット14の斜視図である。本実施形態における記録ヘッド3は、図2に示すように、ヘッドケース16とその中央部に一端部が挿入されたフレキシブルケーブル13(本発明における配線部材に相当)とを備えている。また、図3に示すように、ヘッドケース16の下部には、アクチュエーターユニット14および流路ユニット15が積層された状態で取り付けられている。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。
ヘッドケース16は、合成樹脂製の箱体状部材であり、その内部には各圧力室30にインクを供給するリザーバー18が形成されている。このリザーバー18は、複数並設された圧力室30に共通なインクが貯留される空間であり、2列に形成されたノズル列に対応して2つ形成されている。本実勢形態では、ノズル列方向(圧力室30の並設方向)に対して直交する方向において、収容空間17を挟んだ両側にリザーバー18がそれぞれ形成されている。また、ヘッドケース16の上方には、インクカートリッジ7側からのインクをリザーバー18に導入するインク導入路19が形成されている。このインク導入路19は、リザーバー18と比較して断面積が小さく設定されている。
さらに、ヘッドケース16の平面視における中心部分にはノズル列方向に沿って長尺な矩形状の貫通空部20が、ヘッドケース16の高さ方向を貫通する状態で形成されている。この貫通空部20は、後述の収容空間17と連通して、フレキシブルケーブル13の一端部が収容される空部を形成する。また、ヘッドケース16の下面側には、当該下面からヘッドケース16の高さ方向の途中まで直方体状に窪んだ収容空間17が形成されている。流路ユニット15がヘッドケース16の下面に位置決め状態で接合されると、連通基板24上に積層されたアクチュエーターユニット14(圧力室形成基板29および封止板33等)が収容空間17内に収容されるように構成されている。なお、上記の貫通空部20の下端は、収容空間17の天井面に開口している。
ヘッドケース16の下面に接合される流路ユニット15は、連通基板24、ノズルプレート21およびコンプライアンスシート28を有している。連通基板24は、シリコン製の板材であり、本実施形態では、表面(上面および下面)を(110)面としたシリコン単結晶基板から作製されている。この連通基板24には、図4に示すように、リザーバー18と連通し、各圧力室30に共通なインクが貯留される共通液室25と、この共通液室25を介してリザーバー18からのインクを各圧力室30に個別に供給する個別連通路26とが、異方性エッチングによって形成されている。共通液室25は、ノズル列方向(圧力室30の並設方向)に沿った長尺な空部であり、2つのリザーバー18に対応して2列形成されている。この共通液室25は、連通基板24の板厚方向を貫通した第1液室25aと、連通基板24の下面側から上面側に向けて当該連通基板24の板厚方向の途中まで窪ませ、上面側に薄板部を残した状態で形成された第2液室25bと、から構成される。個別連通路26は、第2液室25bの薄板部において、圧力室30に対応して当該圧力室30の並設方向に沿って複数形成されている。この個別連通路26は、連通基板24と圧力室形成基板29とが位置決め状態で接合された状態で、対応する圧力室30の長手方向における外側の端部と連通する。
また、連通基板24の各ノズル22に対応する位置には、連通基板24の板厚方向を貫通したノズル連通路27が形成されている。すなわち、ノズル連通路27は、ノズル列に対応して当該ノズル列方向に沿って複数形成されている。このノズル連通路27によって、圧力室30とノズル22とが連通する。本実施形態のノズル連通路27は、連通基板24と圧力室形成基板29とが位置決めされて接合された状態で、対応する圧力室30の長手方向における内側(個別連通路26とは反対側)の端部と連通する。
ノズルプレート21は、連通基板24の下面(圧力室形成基板29とは反対側の面)に接合されたシリコン製の基板(例えば、シリコン単結晶基板)である。本実施形態のノズルプレート21は、連通基板24における共通液室25間に対応する領域に接合されている。このノズルプレート21には、複数のノズル22が直線状(列状)に開設されている。この列設された複数のノズル22(ノズル列)は、一端側のノズル22から他端側のノズル22までドット形成密度に対応したピッチ(例えば180dpi)で、主走査方向に直交する副走査方向に沿って等間隔に設けられている。本実施形態では、ノズルプレート21にノズル列が2列形成されている。なお、一方のノズル列と他方のノズル列とは、列設方向に半ピッチずれて形成されている。また、ノズルプレート21のノズル列方向に対して直交する方向の寸法は、ノズル連通路27とノズル22との液密が確実に確保される範囲内で可及的に小さく設定されている。
コンプライアンスシート28は、連通基板24のノズルプレート21が接合された領域から外れた領域であって、共通液室25に対応する領域に、当該共通液室25の下面側の開口を塞ぐ状態で接合されている。このコンプライアンスシート28は、可撓性を有する可撓膜28aと、この可撓膜28aが上面に固定される硬質な固定板28bと、からなる。固定板28bの共通液室25に対応する位置には、可撓膜28aの可撓変形が阻害されないように開口が設けられている。これにより、共通液室25の下面側は、可撓膜28aのみによって区画されたコンプライアンス部となる。このコンプライアンス部によって、リザーバー18および共通液室25内のインクに発生する圧力変化を吸収することができる。
アクチュエーターユニット14は、圧力室形成基板29、振動板31、圧電素子32および封止板33が積層されてユニット化されている。このアクチュエーターユニット14は、収容空間17内に収容可能なように、収容空間17よりも小さく形成されている。
圧力室形成基板29は、シリコン製の板材であり、本実施形態では、表面(上面および下面)を(110)面としたシリコン単結晶基板から作製されている。この圧力室形成基板29には、圧力室30となるべき空間が各ノズル22に対応して複数並設されている。本実施形態では、2列に形成されたノズル列に対応して、圧力室30となるべき空間の列が2列形成されている。なお、一方の圧力室30の列と他方の圧力室30の列とは、ノズル列方向に半ピッチずれて形成されている。圧力室30は、ノズル列方向に直交する方向に長尺な空部であり、長手方向の一側の端部に個別連通路26が連通し、他側の端部にノズル連通路27が連通している。
振動板31は、圧力室形成基板29の上面(連通基板24側とは反対側の面)に積層され、圧力室30となるべき空間の上部開口を封止している。すなわち、振動板31により、圧力室30が区画されている。この振動板31は、例えば、圧力室形成基板29の上面に形成された二酸化シリコン(SiO2)からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム(ZrO2)からなる絶縁体膜と、から成る。そして、この絶縁膜上(すなわち、振動板31の圧力室形成基板29側とは反対側の面)における各圧力室30に対応する領域に圧電素子32がそれぞれ積層されている。
本実施形態の圧電素子32は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子32は、例えば、振動板31上に、下電極層(個別電極)、圧電体層および上電極層(共通電極)が順次積層されてなる。本実施形態では、2列に形成された圧力室30の列に対応して、圧電素子32の列が2列形成されている。なお、一方の圧電素子32の列と他方の圧電素子32の列とは、ノズル列方向に半ピッチずれて形成されている。また、図4に示すように、振動板31上には、各圧電素子32(詳しくは、下電極層)に導通する第1のリード電極39がそれぞれ形成されている。この第1のリード電極39は、後述する圧電素子収容空間36内から封止板33より外側まで延出されている。なお、下電極層を圧電素子32から延出させて、第1のリード電極39とすることができる。
封止板33は、2列に形成された圧電素子32の列を覆うように振動板31上に積層されている。この封止板33は、絶縁性を有する部材(例えば、合成樹脂、セラミック等)や表面に絶縁膜を製膜したシリコン基板等からなる。また、封止板33の内部には、圧電素子32の列を収容可能な長尺な圧電素子収容空間36が形成されている。圧電素子収容空間36は、封止板33の下面側(振動板31側)から上面側(ヘッドケース16側)に向けて封止板33の高さ方向途中まで形成された窪みである。本実施形態では、並設された圧電素子32の列が2列に形成されているため、これに対応して、圧電素子収容空間36が2列形成されている。
また、封止板33のノズル列方向に対して直交する方向における両端部には、圧力室形成基板29の上面と平行な上面(振動板31側とは反対側の面)から振動板31上の第1のリード電極39の延出部分に向けて下り傾斜した傾斜面42が形成されている。図4に示すように、この傾斜面42の下端は、第1のリード電極39の外側(圧電素子32側とは反対側)の一部が露出するように、第1のリード電極39の端部よりも内側に位置している。そして、振動板31上の第1のリード電極39の露出部分(延出部分)、並びに、封止板33の傾斜面42および上面に亘って第2のリード電極40が、第1のリード電極39毎に形成されている。すなわち、第2のリード電極40の一側の端部は、封止板33の上面から封止板33の外側に向けて延出されて第1のリード電極39と導通する。一方、第2のリード電極40の他側の端部は、封止板33の上面において、一方の圧電素子収容空間36に対応する領域と他方の圧電素子収容空間36に対応する領域との間のケーブル接合領域43まで延設されフレキシブルケーブル13の対応する端子と導通する。
本実施形態では、圧電素子32の列が2列形成されているため、図5に示すように、それぞれの圧電素子32の列に対応する第2のリード電極40が、封止板33の両側から傾斜面42に沿って封止板33上まで延在している。そして、封止板33上のケーブル接合領域43において、一方の圧電素子32の列に対応する第2のリード電極40と、他方の圧電素子32の列に対応する第2のリード電極40とは、ノズル列方向に沿って交互に配置されている。そして、ケーブル接合領域43上の各第2のリード電極40は、1枚のフレキシブルケーブル13の各端子と導通されている。なお、フレキシブルケーブル13がケーブル接合領域43に接合された状態において、当該接合部分及びその他の第2のリード電極40が露出する部分は、絶縁性を有する熱可塑性樹脂等の保護層で覆うことによって保護されることが望ましい。
なお、フレキシブルケーブル13は、ポリイミド等の矩形状のベースフィルムの上に、銅や金等からなる導体箔およびレジストやポリイミド等からなる絶縁体膜を積層した配線部材の一種である。このフレキシブルケーブル13の一方の面(表面)には、図2に示すように、圧電素子32への駆動信号(噴射パルス)の送信を制御する駆動IC34が実装されると共に、この駆動IC34に接続される電極配線のパターンが形成されている。各電極配線は、フレキシブルケーブル13の端子領域13a(図4参照)で露出して、封止板33のケーブル接合領域43における対応する第2のリード電極40と導通する。図4に示すように、本実施形態のフレキシブルケーブル13の端部は、端子領域13aの各端子が封止板33側に露出するように、一側に向けて折り曲げられている。なお、本発明の配線部材はフレキシブルケーブル13に限らず、第2のリード電極40を介して圧電素子32に駆動信号を送ることができれば、どのようなものであっても良い。
そして、記録ヘッド3は、インクカートリッジ7からのインクをインク導入路19、リザーバー18、共通液室25および個別連通路26を介して圧力室30に導入し、制御部からの駆動信号を、フレキシブルケーブル13、第2のリード電極40および第1のリード電極39を介して圧電素子32に供給することで、圧電素子32を駆動させて圧力室30に圧力変動を生じさせる。この圧力変動を利用することで連通基板24のノズル連通路27を介してノズル22からインク滴を噴射させている。
このように、フレキシブルケーブル13が封止板33上における第2のリード電極40に導通されたので、フレキシブルケーブル13と第2のリード電極40とが導通する空間を封止板33の内部に設ける必要が無く、フレキシブルケーブルを封止板に設けられた空間を通して振動板上の第2のリード電極と導通させる場合と比べて、圧力室形成基板29を小型化できる。これにより、例えば、シリコン単結晶ウェハーからの圧力室形成基板29の取り数を増やすことができる。その結果、記録ヘッド3の製造コストを削減することができる。また、圧力室形成基板29としてシリコン製の基板を採用したので、エッチング処理によって高い加工精度が得られる。さらに、エッチング処理によって加工できるため、製造が容易になり、また、歩留まりも向上する。加えて、封止板33に傾斜面42を形成したので、この傾斜面42に沿って封止板33の上面から振動板31上の第1のリード電極39に亘って第2のリード電極40を形成することができる。これにより、第2のリード電極40の形成が容易になる。
また、リザーバー18間に圧力室形成基板29が設けられると共に、連通基板24を介してリザーバー18のインクを圧力室30に導入するため、圧力室形成基板29に圧力室30以外の液体流路を形成する必要がなく、圧力室形成基板29をより小型化できる。さらに、封止板33上にフレキシブルケーブル13が接続されたので、2列に形成された圧電素子32の列、すなわち圧力室30の列の間隔を可及的に小さくできる。これにより、ノズル列間の間隔を可及的に小さくでき、ノズルプレート21を小型化できる。その結果、記録ヘッド3の製造コストをさらに削減することができる。また、連通基板24としてシリコン製の基板を採用したので、エッチング処理によって高い加工精度が得られる。さらに、エッチング処理によって加工できるため、製造が容易になり、また、歩留まりも向上する。そして、両圧電素子32の列に対応する第2のリード電極40が、封止板33上における一方の圧電素子収容空間36に対応する領域と他方の圧電素子収容空間36に対応する領域との間のケーブル接合領域43にそれぞれ延設されたので、各圧電素子32の列にそれぞれ駆動信号を送るフレキシブルケーブル13を1枚にまとめることができる。その結果、圧電素子の列毎にフレキシブルケーブルを設ける場合と比べて、記録ヘッド3の製造が容易になり、記録ヘッド3の製造コストを一層削減することができる。
ところで、上記実施形態においては、2つのリザーバー18の間に圧力室形成基板29が設けられたが、これには限られず、一方のリザーバーの少なくとも一部と他方のリザーバーの少なくとも一部との間に圧力室形成基板が設けられていればよい。要するに、少なくとも圧力室形成基板の上面(あるいは下面)と平行な面内において、2つのリザーバーの間に圧力室形成基板が設けられていればよく、圧力室形成基板の上面(あるいは下面)と垂直な方向において、圧力室形成基板とリザーバーの一部とが重なってもよい。また、上記実施形態においては、連通基板24の下面において共通液室25の開口がコンプライアンスシート28で塞がれる構成を例示したが、これには限られず、例えば、共通液室の開口がノズルプレートで塞がれる構成を採用することもできる。
そして、以上では、液体噴射ヘッドとして、インクジェットプリンターに搭載されるインクジェット式記録ヘッドを例示したが、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイ、FED(面発光ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
1…プリンター,3…記録ヘッド,13…フレキシブルケーブル,14…アクチュエーターユニット,15…流路ユニット,16…ヘッドケース,17…収容空間,18…リザーバー,19…インク導入路,20…貫通空部,21…ノズルプレート,22…ノズル,24…連通基板,25…共通液室,26…個別連通路,28…コンプライアンスシート,29…圧力室形成基板,30…圧力室,31…振動板,32…圧電素子,33…封止板,34…駆動IC,36…圧電素子収容空間,39…第1のリード電極,40…第2のリード電極,42…傾斜面,43…ケーブル接合領域
Claims (5)
- ノズルに連通して圧力室となるべき空間が複数並設されたシリコン製の圧力室形成基板と、
前記圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室を区画した振動板と、
前記振動板の圧力室に対応する領域に積層された圧電素子を収容する圧電素子収容空間が形成された封止板と、を備え、
前記振動板の封止板側の面において、前記圧電素子に導通する第1のリード電極が前記圧電素子収容空間内から前記封止板より外側に延出され、
前記封止板の振動板側とは反対側の面には、当該面から封止板の外側に向けて延出されて前記第1のリード電極と導通する第2のリード電極が形成され、
前記圧電素子に駆動信号を送る配線部材が、前記封止板上における前記第2のリード電極に導通されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記封止板は、振動板側とは反対側の面から前記第1のリード電極の前記延出部分に向けて下り傾斜した傾斜面を有することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧力室形成基板及び前記封止板が収容される収容空間が形成されると共に、前記圧力室に液体を供給するリザーバーが形成されたヘッドケースと、
前記圧力室形成基板の振動板側とは反対側の面に接合され、前記リザーバーからの液体を各圧力室に個別に供給する個別連通口が形成されたシリコン製の連通基板と、を備え、
前記圧力室形成基板には、複数並設された圧力室となるべき空間の列が2列形成され、
前記空間の並設方向に対して直交する方向において、前記収容空間を挟んだ両外方に前記リザーバーがそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体噴射ヘッド。 - 2列に形成された前記空間の列に対応して、前記圧電素子の列及び前記圧電素子収容空間がそれぞれ2列形成され、
両圧電素子の列に対応する第2のリード電極は、前記封止板上において、一方の圧電素子収容空間に対応する領域と他方の圧電素子収容空間に対応する領域との間の領域にそれぞれ延設されたことを特徴とする請求項3に記載の液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2014209741A JP2016078272A (ja) | 2014-10-14 | 2014-10-14 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014209741A JP2016078272A (ja) | 2014-10-14 | 2014-10-14 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
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Family Applications (1)
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JP2014209741A Pending JP2016078272A (ja) | 2014-10-14 | 2014-10-14 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
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JP (1) | JP2016078272A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10016976B2 (en) | 2016-06-30 | 2018-07-10 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus having piezoelectric elements |
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2014
- 2014-10-14 JP JP2014209741A patent/JP2016078272A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10016976B2 (en) | 2016-06-30 | 2018-07-10 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus having piezoelectric elements |
US10457045B2 (en) | 2016-06-30 | 2019-10-29 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus having piezoelectric elements |
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