JP2016072638A - Piezoelectric device - Google Patents

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渡辺 誠
Makoto Watanabe
渡辺  誠
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric device which properly detects a temperature and enables downsizing.SOLUTION: A piezoelectric device includes: a base member 10 provided with connection terminals; a cover member 20 covering the base member; an oscillation member 30 disposed in a space between the base member and the cover member; and a joint material 40 which joins the base member to the cover member. The joint material 40 contains a conductive material having thermosensitivity and is electrically connected with the connection terminals 15a, 15b.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、発振部材を備える圧電デバイスに関する。   The present invention relates to a piezoelectric device including an oscillation member.

圧電デバイスの一つである水晶振動子は、小型・軽量であることから、携帯型の電子機器における周波数や時間の基準源として用いられる。水晶振動子では、ベース部材と当該ベース部材を覆うカバー部材との間の密閉空間に、発振部材である水晶片が配置されている。   A crystal resonator, which is one of piezoelectric devices, is small and light, and is therefore used as a frequency and time reference source in portable electronic devices. In the crystal resonator, a crystal piece that is an oscillation member is disposed in a sealed space between a base member and a cover member that covers the base member.

ところで、水晶振動子は所定の周波数温度特性を有しており、水晶振動子の周波数温度特性をキャンセルし、水晶振動子を安定して動作させるための温度検出用として、サーミスタが用いられている。下記の特許文献1では、密閉空間内に水晶片及びサーミスタが配置され、水晶振動子の動作温度が検出されている。   By the way, the crystal resonator has a predetermined frequency temperature characteristic, and the thermistor is used for temperature detection for canceling the frequency temperature property of the crystal resonator and operating the crystal resonator stably. . In Patent Document 1 below, a crystal piece and a thermistor are arranged in a sealed space, and the operating temperature of the crystal resonator is detected.

特開2008−205938号公報JP 2008-205938 A

電子機器の小型化等に伴い、圧電デバイスである水晶振動子の更なる小型化が要請されている。しかし、上述したサーミスタは個別部品として搭載されるため、密閉空間を狭くできず、圧電デバイスの小型化を阻害するものとなっている。   Along with the downsizing of electronic equipment and the like, there is a demand for further downsizing of a crystal resonator that is a piezoelectric device. However, since the thermistor described above is mounted as an individual component, the sealed space cannot be narrowed, which hinders downsizing of the piezoelectric device.

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、温度を適切に検出すると共に、小型化が可能な圧電デバイスを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric device that can detect a temperature appropriately and can be miniaturized.

本発明の第1の態様においては、接続端子が設けられたベース部材と、前記ベース部材を覆うカバー部材と、前記ベース部材と前記カバー部材とで形成された空間内に配置された発振部材と、前記ベース部材と前記カバー部材を接合している接合材と、を備え、前記接合材は、感温性を有する導電材料を含むと共に、前記接続端子と電気的に接続されている、圧電デバイスを提供する。   In the first aspect of the present invention, a base member provided with a connection terminal, a cover member covering the base member, and an oscillation member disposed in a space formed by the base member and the cover member; And a bonding material that bonds the base member to the cover member, and the bonding material includes a temperature-sensitive conductive material and is electrically connected to the connection terminal. I will provide a.

上記の圧電デバイスにおいて、前記接合材は、前記ベース部材に取り付けられた前記発振部材を囲むように位置してもよい。また、前記ベース部材は、非導電性の硬質材料から成り、前記カバー部材は、金属を含む硬質材料から成ってもよい。   In the above piezoelectric device, the bonding material may be positioned so as to surround the oscillation member attached to the base member. The base member may be made of a non-conductive hard material, and the cover member may be made of a hard material containing metal.

また、前記ベース部材は、前記カバー部材と接合している接合面と、前記接合面とは反対側に位置し、前記接続端子が配置されている端子配置面と、前記接合面と前記端子配置面を電気的に接続する経路を有し、前記接合材は、前記経路を介して前記接続端子と電気的に接続されてもよい。また、前記導電材料は、サーミスタを組成する材料を含んでもよい。また、前記導電材料は、チタン酸バリウムを含んでもよい。     The base member is joined to the cover member, a joint surface, a terminal placement surface on the opposite side of the joint surface, the connection terminal is placed, the joint surface, and the terminal placement A path for electrically connecting the surfaces may be provided, and the bonding material may be electrically connected to the connection terminal via the path. The conductive material may include a material that composes a thermistor. The conductive material may include barium titanate.

本発明によれば、温度を適切に検出すると共に、小型化が可能な圧電デバイスを提供できるという効果を奏する。   According to the present invention, it is possible to provide a piezoelectric device that can detect a temperature appropriately and can be miniaturized.

第1の実施形態に係る振動子1の構成の一例を示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating an example of a configuration of a vibrator 1 according to the first embodiment. 振動子1の側面図である。3 is a side view of the vibrator 1. FIG. 振動子1の等価回路を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an equivalent circuit of a vibrator 1. 接合材40の構成の一例を説明するための模式図である。4 is a schematic diagram for explaining an example of a configuration of a bonding material 40. FIG. 接合材40と、二つの接続端子15a、15cとの接続関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the connection relation of the joining material 40 and two connection terminals 15a and 15c. 第2の実施形態に係る振動子100の構成の一例を示す分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view illustrating an example of a configuration of a vibrator 100 according to a second embodiment. 振動子100の側面図である。3 is a side view of the vibrator 100. FIG. 変形例に係る振動子200の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of the vibrator | oscillator 200 which concerns on a modification.

<第1の実施形態>
図1〜図3を参照しながら、本発明の第1の実施形態に係る圧電デバイスの一例である振動子の構成について説明する。
<First Embodiment>
With reference to FIGS. 1 to 3, a configuration of a vibrator as an example of the piezoelectric device according to the first embodiment of the present invention will be described.

図1は、第1の実施形態に係る振動子1の構成の一例として、感温性を有する導電性の接合材と接続端子との電気的接続にスルホールを用いた場合を示す分解斜視図である。図2は、振動子1の側面図である。図3は、振動子1の等価回路を示す図である。なお、図2(a)は図1のX1方向から見た振動子1の右側面図であり、図2(b)は図1のX2方向から見た振動子1の左側面図である。   FIG. 1 is an exploded perspective view showing a case where a through hole is used for electrical connection between a conductive bonding material having temperature sensitivity and a connection terminal as an example of the configuration of the vibrator 1 according to the first embodiment. is there. FIG. 2 is a side view of the vibrator 1. FIG. 3 is a diagram showing an equivalent circuit of the vibrator 1. 2A is a right side view of the vibrator 1 viewed from the X1 direction in FIG. 1, and FIG. 2B is a left side view of the vibrator 1 viewed from the X2 direction in FIG.

振動子1は、例えば水晶振動子であり、携帯型の電子機器における周波数や時間の基準源としてマイクロコンピュータの基準クロックとして用いられる。   The vibrator 1 is, for example, a crystal vibrator, and is used as a reference clock of a microcomputer as a reference source of frequency and time in a portable electronic device.

図1に示すように、振動子1は、ベース部材10と、カバー部材20と、発振部材30と、接合材40とを有する。以下では、構成部材毎に説明する。   As shown in FIG. 1, the vibrator 1 includes a base member 10, a cover member 20, an oscillation member 30, and a bonding material 40. Below, it demonstrates for every structural member.

(ベース部材10)
ベース部材10は、例えば積層セラミックの硬質材料からなり、中央に凹部11が形成された容器である。ベース部材10は、凹部11内の空間に発振部材30を収容する。ベース部材10は、図1及び図2に示すように、接合面12と、端子配置面14と、接続端子15a〜15dと、スルホール16a、16bと、を有する。
(Base member 10)
The base member 10 is a container made of, for example, a hard material of multilayer ceramic and having a recess 11 formed in the center. The base member 10 accommodates the oscillation member 30 in the space in the recess 11. As illustrated in FIGS. 1 and 2, the base member 10 includes a joint surface 12, a terminal arrangement surface 14, connection terminals 15 a to 15 d, and through holes 16 a and 16 b.

接合面12は、ベース部材10の上面であり、接合材40を介してカバー部材20と接合する。端子配置面14は、接合面12とは反対側に位置するベース部材10の下面である。   The bonding surface 12 is the upper surface of the base member 10 and is bonded to the cover member 20 via the bonding material 40. The terminal arrangement surface 14 is a lower surface of the base member 10 located on the opposite side to the bonding surface 12.

接続端子15a〜15dは、端子配置面14に配置されている。具体的には、図2(a)及び図2(b)に示すように、4つの接続端子15a〜15dが端子配置面14の角部にそれぞれ位置している。また、4つの接続端子15a〜15dは、振動子1を駆動する回路、例えば上述したマイクロコンピュータの実装基板と接続される。   The connection terminals 15 a to 15 d are arranged on the terminal arrangement surface 14. Specifically, as shown in FIGS. 2A and 2B, the four connection terminals 15 a to 15 d are positioned at the corners of the terminal arrangement surface 14. The four connection terminals 15a to 15d are connected to a circuit that drives the vibrator 1, for example, the above-described mounting board of the microcomputer.

スルホール16a、16bは、接合面12から端子配置面14まで貫通した貫通孔である。この貫通孔の内周には、例えば銅メッキが施されている。このスルホール16a、16bは、接合面12と端子配置面14を電気的に接続する経路である。具体的には、スルホール16aは、接合面12と端子配置面14の接続端子15aとを電気的に接続し、スルホール16bは、接合面12と接続端子15cとを電気的に接続する。   The through holes 16 a and 16 b are through holes penetrating from the bonding surface 12 to the terminal arrangement surface 14. For example, copper plating is applied to the inner periphery of the through hole. The through holes 16 a and 16 b are paths that electrically connect the bonding surface 12 and the terminal arrangement surface 14. Specifically, the through hole 16a electrically connects the joint surface 12 and the connection terminal 15a of the terminal arrangement surface 14, and the through hole 16b electrically connects the joint surface 12 and the connection terminal 15c.

(カバー部材20)
カバー部材20は、例えば金属製又はセラミック製の硬質平板であり、ベース部材10を覆う。具体的には、カバー部材20は、ベース部材10の凹部11の開口を塞いで、凹部11内を密閉空間にする。カバー部材20の下面22が、ベース部材10の接合面12と接合される。
(Cover member 20)
The cover member 20 is a hard flat plate made of metal or ceramic, for example, and covers the base member 10. Specifically, the cover member 20 closes the opening of the recess 11 of the base member 10 to make the inside of the recess 11 a sealed space. The lower surface 22 of the cover member 20 is bonded to the bonding surface 12 of the base member 10.

(発振部材30)
発振部材30は、ベース部材10とカバー部材20とで形成された空間内に配置されている。発振部材30は、例えば水晶片である。発振部材30は、凹部11の底部に導電性の接着剤で固定されている。発振部材30は、図3に示すように、端子配置面14において対角線上に位置する接続端子15bと接続端子15dに接続されている。なお、発振部材30は、図2には示していないが、凹部11の底部に形成されたスルホールを介して接続端子15bと接続端子15dに接続されている。
(Oscillation member 30)
The oscillation member 30 is disposed in a space formed by the base member 10 and the cover member 20. The oscillation member 30 is a crystal piece, for example. The oscillation member 30 is fixed to the bottom of the recess 11 with a conductive adhesive. As shown in FIG. 3, the oscillating member 30 is connected to the connection terminal 15 b and the connection terminal 15 d that are located diagonally on the terminal arrangement surface 14. Although not shown in FIG. 2, the oscillation member 30 is connected to the connection terminal 15b and the connection terminal 15d through a through hole formed in the bottom of the recess 11.

(接合材40)
接合材40は、ベース部材10の接合面12と、カバー部材20の下面22とを接合する。このような接合材40は、凹部11内の空間を密閉する封止材としての機能を有する。これにより、凹部11内の空間を気密に保つことができる。
(Bonding material 40)
The bonding material 40 bonds the bonding surface 12 of the base member 10 and the lower surface 22 of the cover member 20. Such a bonding material 40 has a function as a sealing material for sealing the space in the recess 11. Thereby, the space in the recessed part 11 can be kept airtight.

接合材40は、図1に示すように、接合面12の長手方向(Y方向)に沿った面(以下、長手面とも呼ぶ)12a、12bと、接合面12の短手方向(X方向)に沿った面(以下、短手面とも呼ぶ)12c、12dに塗布されている。すなわち、接合材40は、ベース部材10に取り付けられた発振部材30を囲むように位置している。また、接合材40は、本実施形態において導電性接着剤である。   As shown in FIG. 1, the bonding material 40 includes surfaces (hereinafter also referred to as long surfaces) 12 a and 12 b along the longitudinal direction (Y direction) of the bonding surface 12, and the short direction (X direction) of the bonding surface 12. Are applied to surfaces (hereinafter also referred to as short surfaces) 12c and 12d. That is, the bonding material 40 is positioned so as to surround the oscillation member 30 attached to the base member 10. Further, the bonding material 40 is a conductive adhesive in the present embodiment.

図4は、接合材40の構成の一例を説明するための模式図である。図4に示すように、接合材40は、感温性を有する導電材料41と、接合用物質から成るバインダ材42とを混合したものである。   FIG. 4 is a schematic diagram for explaining an example of the configuration of the bonding material 40. As shown in FIG. 4, the bonding material 40 is a mixture of a temperature-sensitive conductive material 41 and a binder material 42 made of a bonding material.

導電材料41は、サーミスタを組成する材料であるサーミスタ粒子を含む。サーミスタ粒子は、高温焼成で作成されたサーミスタを粉砕したものである。サーミスタ粒子は、図4に示すように、接合材40の内部で互いに接触するように分布している。サーミスタ粒子は、例えばチタン酸バリウムを含んでもよい。チタン酸バリウムを用いたサーミスタにおいては、特定の温度を超えるとチタン酸バリウムの抵抗値が急上昇するので、温度変化を検出しやすい。   The conductive material 41 includes thermistor particles that are a material constituting the thermistor. The thermistor particles are obtained by pulverizing a thermistor prepared by high-temperature firing. As shown in FIG. 4, the thermistor particles are distributed so as to contact each other inside the bonding material 40. The thermistor particles may include, for example, barium titanate. In a thermistor using barium titanate, the resistance value of barium titanate rapidly increases when a specific temperature is exceeded, so that a temperature change can be easily detected.

バインダ材42は、非導電性を有し、例えばエポキシ樹脂から成る。ただし、これに限定されず、バインダ材42は、ガラス系の材料から成ってもよい。   The binder material 42 has non-conductivity and is made of, for example, an epoxy resin. However, the present invention is not limited to this, and the binder material 42 may be made of a glass-based material.

図5は、接合材40と、二つの接続端子15a、15cとの接続関係を説明するための図である。接合材40は、図5に示すように、端子配置面14において対角線上に位置する接続端子15aと接続端子15cとを電気的に接続する導電路45を形成する。具体的には、接合材40は、スルホール16a、16b(図2)を介して接続端子15a及び接続端子15cと電気的に接続されている。また、接合材40は、図5に示すように導電路45においてサーミスタ46として機能する。これにより、サーミスタ46により検出した温度情報(例えば抵抗値の変化)が、接続端子15a及び接続端子15cを介して外部に伝達される。   FIG. 5 is a diagram for explaining a connection relationship between the bonding material 40 and the two connection terminals 15a and 15c. As illustrated in FIG. 5, the bonding material 40 forms a conductive path 45 that electrically connects the connection terminal 15 a and the connection terminal 15 c that are located diagonally on the terminal arrangement surface 14. Specifically, the bonding material 40 is electrically connected to the connection terminal 15a and the connection terminal 15c through the through holes 16a and 16b (FIG. 2). Further, the bonding material 40 functions as a thermistor 46 in the conductive path 45 as shown in FIG. Thereby, the temperature information (for example, change in resistance value) detected by the thermistor 46 is transmitted to the outside through the connection terminal 15a and the connection terminal 15c.

なお、上記では、スルホール16a、16bの内周に銅メッキが施されていることとしたが、これに限定されない。例えば、スルホール16a、16bには、接合材40が充填されてもよい。かかる場合にも、接合材40が、接続端子15a及び接続端子15cと電気的に接続される。   In the above description, copper plating is applied to the inner periphery of the through holes 16a and 16b. However, the present invention is not limited to this. For example, the bonding material 40 may be filled in the through holes 16a and 16b. Even in such a case, the bonding material 40 is electrically connected to the connection terminal 15a and the connection terminal 15c.

また、図5では、二つの長手面12a、12bと二つの短手面12c、12dとに導電路45が形成されていることとしたが、これに限定されない。例えば、長手面12bと短手面12dに導電路45が形成される一方で、長手面12aと短手面12cに導電路が形成されなくてもよい。このために、長手面12bと短手面12dに感温性を有する接合材40が塗布され、長手面12aと短手面12cには非導電性の接合材が塗布される。   In FIG. 5, the conductive path 45 is formed on the two long surfaces 12a and 12b and the two short surfaces 12c and 12d. However, the present invention is not limited to this. For example, while the conductive path 45 is formed on the long surface 12b and the short surface 12d, the conductive path may not be formed on the long surface 12a and the short surface 12c. For this purpose, a bonding material 40 having temperature sensitivity is applied to the long surface 12b and the short surface 12d, and a non-conductive bonding material is applied to the long surface 12a and the short surface 12c.

(第1の実施形態の効果)
第1の実施形態では、ベース部材10とカバー部材20を接合する接合材40が、感温性を有する導電材料を含んで、二つの接続端子15a、15cを電気的に接続する導電路45を形成している。
これにより、接合材40は、発振部材30が配置される空間(凹部11)を密閉する機能と、発振部材30の周囲の温度を検出する機能と、を有することになる。かかる場合には、凹部11内に個別部品としてのサーミスタを配置させる必要が無くなり、凹部11を狭くできるので、振動子1の更なる小型化が実現可能となる。
(Effects of the first embodiment)
In the first embodiment, the bonding material 40 for bonding the base member 10 and the cover member 20 includes a conductive material having a temperature sensitivity, and the conductive path 45 that electrically connects the two connection terminals 15a and 15c. Forming.
As a result, the bonding material 40 has a function of sealing the space (recess 11) in which the oscillation member 30 is disposed and a function of detecting the temperature around the oscillation member 30. In such a case, it is not necessary to dispose a thermistor as an individual component in the recess 11 and the recess 11 can be narrowed, so that further reduction in size of the vibrator 1 can be realized.

<第2の実施形態>
図6及び図7を参照しながら、第2の実施形態に係る振動子の構成について説明する。図6は、第2の実施形態に係る振動子100の構成の一例を示す分解斜視図である。図7は、振動子100の側面図である。なお、図7(a)は図6のX1方向から見た振動子100の右側面図であり、図7(b)は図6のX2方向から見た振動子100の左側面図である。
<Second Embodiment>
The configuration of the vibrator according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is an exploded perspective view illustrating an example of the configuration of the vibrator 100 according to the second embodiment. FIG. 7 is a side view of the vibrator 100. 7A is a right side view of the vibrator 100 viewed from the X1 direction in FIG. 6, and FIG. 7B is a left side view of the vibrator 100 viewed from the X2 direction in FIG.

第2の実施形態では、第1の実施形態に対して、ベース部材110とカバー部材120の形状が異なる。ベース部材110は、図6に示すように平板状の部材であり、凹部が形成されていない。そして、ベース部材110の上面112に発振部材130が固定されている。カバー部材120は、長手方向(Y方向)と直交する平面での断面形状が逆U字状の部材であり、内部に空間を有する。これにより、カバー部材120とベース部材110の間に、発振部材130を配置させる空間が形成される。   In the second embodiment, the shapes of the base member 110 and the cover member 120 are different from those of the first embodiment. The base member 110 is a flat plate member as shown in FIG. 6, and no recess is formed. The oscillation member 130 is fixed to the upper surface 112 of the base member 110. The cover member 120 is a member having a reverse U-shaped cross section in a plane orthogonal to the longitudinal direction (Y direction), and has a space inside. Thereby, a space for arranging the oscillation member 130 is formed between the cover member 120 and the base member 110.

そして、接合材140は、ベース部材110の上面112と、カバー部材120のフランジ部122とを接合している。また、接合材140は、第2の実施形態でも、感温性を有する導電材料を含み、端子配置面114に配置された二つの接続端子115a、115cを接続する導電路を形成している。なお、接続端子115a、115cは、それぞれスルホール116a、116b(図7)を介して、接合材140と電気的に接続されている。なお、上述した以外の構成は、第1の実施形態と同様であるので、詳細な説明は省略する。   The joining material 140 joins the upper surface 112 of the base member 110 and the flange portion 122 of the cover member 120. In the second embodiment, the bonding material 140 also includes a conductive material having a temperature sensitivity, and forms a conductive path that connects the two connection terminals 115 a and 115 c arranged on the terminal arrangement surface 114. The connection terminals 115a and 115c are electrically connected to the bonding material 140 through the through holes 116a and 116b (FIG. 7), respectively. Since the configuration other than the above is the same as that of the first embodiment, detailed description thereof is omitted.

第2の実施形態でも、接合材140は、発振部材130が配置される空間を密閉する機能と、発振部材130の周囲の温度を検出する機能と、を有することになる。かかる場合には、ベース部材110とカバー部材120が形成する空間内にサーミスタを配置させる必要が無くなり、前記空間を狭くできるので、振動子100の更なる小型化が実現可能となる。   Also in the second embodiment, the bonding material 140 has a function of sealing a space in which the oscillation member 130 is disposed and a function of detecting the temperature around the oscillation member 130. In such a case, it is not necessary to arrange a thermistor in the space formed by the base member 110 and the cover member 120, and the space can be narrowed, so that further reduction in size of the vibrator 100 can be realized.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

上記では、接合材と接続端子の接続が、スルホールを介して行われることとしたが、これに限定されず、例えば接合材と接続端子の接続は、ベース部材の側面に形成された導通路を介して行われてもよい。
また、上記では、ベース部材が、セラミックス製であることとしたが、これに限定されず、例えば水晶、ガラス、樹脂、プラスチック製であってもよい。ベース部材は、接続端子と接合材との電気的経路を確保できる硬質材料から成ることが望ましい。同様に、カバー部材も、水晶、ガラス、樹脂、プラスチック製の硬質材料から成ってもよい。
In the above description, the connection between the bonding material and the connection terminal is performed through the through-hole. However, the present invention is not limited to this. It may be performed via.
In the above description, the base member is made of ceramics, but is not limited thereto, and may be made of, for example, crystal, glass, resin, or plastic. The base member is preferably made of a hard material that can secure an electrical path between the connection terminal and the bonding material. Similarly, the cover member may be made of a hard material made of quartz, glass, resin, or plastic.

図8は、変形例に係る振動子200の構成の一例を示す図である。振動子200は、それぞれ水晶から成るベース部材210、カバー部材220、及び発振部材230で構成されている。発振部材230には、中央側の発振部232を囲むように振動子の側壁が形成されている。発振部材230とカバー部材220は、第1の実施形態と同様に、感温性を有する導電性の接合材240によって接合されている。また、接合材240は、ベース部材210の接続端子215と電気的に接続されている。これにより、接合材240が、発振部232の周囲の温度を検出することになる。   FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the configuration of the vibrator 200 according to the modification. The vibrator 200 includes a base member 210 made of quartz, a cover member 220, and an oscillation member 230. In the oscillation member 230, a side wall of the vibrator is formed so as to surround the oscillation unit 232 on the center side. As in the first embodiment, the oscillation member 230 and the cover member 220 are bonded together by a conductive bonding material 240 having temperature sensitivity. Further, the bonding material 240 is electrically connected to the connection terminal 215 of the base member 210. As a result, the bonding material 240 detects the temperature around the oscillation unit 232.

1、100、200 振動子
10、110、210 ベース部材
12 接合面
14 端子配置面
15a〜15d 接続端子
16a、16b スルホール
20、120、220 カバー部材
30、130、230 発振部材
40、140、240 接合材
41 導電材料
42 バインダ材
45 導電路

1, 100, 200 Vibrator 10, 110, 210 Base member 12 Joint surface 14 Terminal arrangement surface 15a-15d Connection terminal 16a, 16b Through hole 20, 120, 220 Cover member 30, 130, 230 Oscillating member 40, 140, 240 Join Material 41 Conductive material 42 Binder material 45 Conductive path

Claims (6)

接続端子が設けられたベース部材と、
前記ベース部材を覆うカバー部材と、
前記ベース部材と前記カバー部材とで形成された空間内に配置された発振部材と、
前記ベース部材と前記カバー部材を接合している接合材と、
を備え、
前記接合材は、感温性を有する導電材料を含むと共に、前記接続端子と電気的に接続されている、圧電デバイス。
A base member provided with a connection terminal;
A cover member covering the base member;
An oscillating member disposed in a space formed by the base member and the cover member;
A bonding material bonding the base member and the cover member;
With
The bonding material includes a piezoelectric material that includes a temperature-sensitive conductive material and is electrically connected to the connection terminal.
前記接合材は、前記ベース部材に取り付けられた前記発振部材を囲むように位置している、
請求項1に記載の圧電デバイス。
The bonding material is positioned so as to surround the oscillation member attached to the base member.
The piezoelectric device according to claim 1.
前記ベース部材は、非導電性の硬質材料から成り、
前記カバー部材は、金属を含む硬質材料から成る、
請求項1又は2に記載の圧電デバイス。
The base member is made of a non-conductive hard material,
The cover member is made of a hard material containing metal,
The piezoelectric device according to claim 1 or 2.
前記ベース部材は、
前記カバー部材と接合している接合面と、
前記接合面とは反対側に位置し、前記接続端子が配置されている端子配置面と、
前記接合面と前記端子配置面を電気的に接続する経路を有し、
前記接合材は、前記経路を介して前記接続端子と電気的に接続されている、
請求項1から3のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
The base member is
A joining surface joined to the cover member;
A terminal arrangement surface located on the side opposite to the bonding surface, on which the connection terminals are arranged;
A path for electrically connecting the joint surface and the terminal arrangement surface;
The bonding material is electrically connected to the connection terminal via the path.
The piezoelectric device according to any one of claims 1 to 3.
前記導電材料は、サーミスタを組成する材料を含む、
請求項1から4のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
The conductive material includes a material constituting a thermistor,
The piezoelectric device according to any one of claims 1 to 4.
前記導電材料は、チタン酸バリウムを含む、
請求項1から5のいずれか1項に記載の圧電デバイス。

The conductive material includes barium titanate,
The piezoelectric device according to claim 1.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019068304A (en) * 2017-10-02 2019-04-25 株式会社大真空 Piezoelectric vibration device

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