JP2016072592A - イメージセンサー構造 - Google Patents
イメージセンサー構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016072592A JP2016072592A JP2015015188A JP2015015188A JP2016072592A JP 2016072592 A JP2016072592 A JP 2016072592A JP 2015015188 A JP2015015188 A JP 2015015188A JP 2015015188 A JP2015015188 A JP 2015015188A JP 2016072592 A JP2016072592 A JP 2016072592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- filter pattern
- mixture
- image sensor
- sensor structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 37
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 31
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 80
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 45
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 33
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 9
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 9
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 9
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 9
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 9
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 9
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 9
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 claims description 9
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 36
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14645—Colour imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14685—Process for coatings or optical elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
【課題】イメージセンサー構造を提供する。
【解決手段】イメージセンサー構造が提供される。イメージセンサー構造は、基板、基板に形成される複数の光電変換ユニット、および、基板と光電変換ユニット上に形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを有する複数のカラーフィルターパターン、を有し、少なくともひとつのカラーフィルターパターンは、特定屈折率を有する成分を含み、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
【選択図】図１
【解決手段】イメージセンサー構造が提供される。イメージセンサー構造は、基板、基板に形成される複数の光電変換ユニット、および、基板と光電変換ユニット上に形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを有する複数のカラーフィルターパターン、を有し、少なくともひとつのカラーフィルターパターンは、特定屈折率を有する成分を含み、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
【選択図】図１
Description
本発明は、イメージセンサー構造に関するものであって、特に、高/低屈折率成分を含むカラーフィルターパターンを有するイメージセンサー構造である。
イメージセンサーは、光学像を電気信号に転換する一種の半導体装置である。イメージセンサーは、一般に、電荷結合素子(CCD)と相補型MOS(CMOS)イメージセンサーに分類される。これらのイメージセンサー間において、CMOSイメージセンサーは、入射光を検知して電気信号に転換するフォトダイオード、および、電気信号を送信、および、処理する論理回路を有する。
イメージセンサーにおいて、カラーフィルター材の感度を増加させるため、適切なカラーフィルター材が選択され、カラーフィルターの期待目標スペクトルに符合する。しかし、カラーフィルター材間の相互作用のため、カラーフィルターの期待目標スペクトルに符合させることだけでは、デバイス性能、たとえば、SNR(signal-to-noise ratio)、または、量子効率(QE)は、最適化できない。
これにより、デバイス性能、たとえば、SNR(signal-to-noise ratio)、または、量子効率(QE)を改善できる調整可能な屈折率(カラーフィルター材間の相互作用の要素を考慮する)を有する新規のカラーフィルターの開発が望まれる。
本発明は、イメージセンサー構造を提供する。
本発明の一実施態様は、基板、基板に形成される複数の光電変換ユニット、および、基板と光電変換ユニット上に形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを含む複数のカラーフィルターパターンを含むイメージセンサー構造を提供する。少なくともひとつのカラーフィルターパターンは、特定屈折率を有する成分を有し、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
光電変換ユニットはフォトダイオードを含む。
複数のカラーフィルターパターンのそれぞれは、少なくとも一種の顔料と化合物を含む。化合物は、ひとつ以上の分散剤、アクリル樹脂、または、感受性ポリマーである。少なくとも一種の顔料と化合物の混合物は、一貫性、相溶性、および、予想可能な色彩効果を生成する。カラーフィルターパターンは顔料と化合物の各種組み合わせから得られて、それぞれ、赤色フィルターパターン、緑色フィルターパターン、および、青色フィルターパターンを形成する。各混合物は、その組成と比率に基づいた屈折率を有する。組成は、顔料と化合物の各種組み合わせを表し、比率は、顔料と化合物の間の適当な割合を表す。
成分は、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は１.５より高い。
成分は、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は１.５より低い。
成分は、赤色フィルターパターン、緑色フィルターパターン、または、青色フィルターパターンの重量に基づいて、１-２０wt%を有する。
赤色フィルターパターンの第一屈折率は１.５〜１.８、緑色フィルターパターンの第二屈折率は１.６〜１.９、青色フィルターパターンの第三屈折率は１.３〜１.８である。
この実施態様において、青色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、特定屈折率は、混合物の屈折率より低く、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
本発明の一実施態様は、基板、基板に形成される複数の光電変換ユニット、および、基板と光電変換ユニット上で形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを有する複数のカラーフィルターパターン、を有するイメージセンサー構造を提供し、少なくともひとつのカラーフィルターパターンは特定屈折率を有する成分を有して、緑色フィルターパターンの第二屈折率が、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。この実施態様において、緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より高く、青色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より低く、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
本発明の一実施態様は、基板、基板に形成される複数の光電変換ユニット、および、基板と光電変換ユニット上で形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを有する複数のカラーフィルターパターン、を有するイメージセンサー構造を提供し、少なくともひとつのカラーフィルターパターンは特定屈折率を有する成分を有して、緑色フィルターパターンの第二屈折率が、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。この実施態様において、緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より高く、青色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より低く、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
本発明の一実施態様は、基板、基板に形成される複数の光電変換ユニット、および、基板と光電変換ユニット上に形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを有する複数のカラーフィルターパターンを含むイメージセンサー構造を提供し、少なくともひとつのカラーフィルターパターンは特定屈折率を有する成分を含んで、緑色フィルターパターンの第二屈折率が、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。この実施態様において、緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、赤色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より高く、青色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より低く、よって、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
本発明の一実施態様は、基板、基板に形成される複数の光電変換ユニット、および、基板と光電変換ユニット上に形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを含む複数のカラーフィルターパターンを有するイメージセンサー構造を提供し、少なくともひとつのカラーフィルターパターンは特定屈折率を有する成分を含んで、緑色フィルターパターンの第二屈折率が、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。この実施態様において、緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、緑色フィルターパターンの第二屈折率が、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
本発明の一実施態様は、基板、基板に形成される複数の光電変換ユニット、および、基板と光電変換ユニット上に形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを有する複数のカラーフィルターパターンを有するイメージセンサー構造を提供し、少なくともひとつのカラーフィルターパターンは特定屈折率を有する成分を含み、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。この実施態様において、緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、赤色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、緑色フィルターパターンの第二屈折率は、赤色フィルターパターンの第一屈折率と青色フィルターパターンの第三屈折率より高い。
イメージセンサー構造は、さらに、カラーフィルターパターン上に形成される複数のマイクロレンズを有する。
本発明は、たとえば、顔料、アクリル樹脂、または、感受性ポリマー等のカラーフィルター材と、たとえば、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせの高屈折率成分、または、たとえば、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせ低屈折率成分とのブレンドを採用して、カラーフィルターの屈折率を調整して、緑色フィルターの屈折率は、赤色フィルターの屈折率と青色フィルターの屈折率より高い。よって、緑色フィルターの感度を増加させるカラーフィルター間で、最高屈折率を有する緑色フィルターのため、各種屈折率を有するカラーフィルターを有するイメージセンサー構造のSNR(signal-to-noise ratio)、または、量子効率(QE)が改善されて、最適なデバイス性能を達成する。
上記及び他の目的及び本発明の特徴は、添付図面とともに以下の記載を参照することにより明らかとなる。
各種屈折率を有するカラーフィルターを有するイメージセンサー構造のSNR(signal-to-noise ratio)、または、量子効率(QE)が改善されて、最適なデバイス性能を達成する。
本発明の目的と利点は添付請求項に具体的に記載されている要素及び組合せによって実現、達成されるであろう。なお、上述の一般的な説明と、以下に述べる詳細な説明は具体例であって、例示だけを目的としており、特許請求されている本発明の範囲の限定を意図するものではない。
本発明の一実施形態によるイメージセンサー構造は図１と共に説明する。図１はイメージセンサー構造の断面図である。
図１を参照すると、イメージセンサー構造１０が提供される。イメージセンサー構造１０は、基板１２、基板１２に形成される複数の光電変換ユニット１４、および、基板１２と光電変換ユニット１４上に形成される、第一屈折率n１を有する赤色フィルターパターン１８、第二屈折率n２を有する緑色フィルターパターン２０、および、第三屈折率n３を有する青色フィルターパターン２２を有する複数のカラーフィルターパターン１６を有する。特に、特定屈折率を有する成分は、カラーフィルターパターン１６、たとえば、赤色フィルターパターン１８、緑色フィルターパターン２０、または、青色フィルターパターン２２の少なくともひとつの重量に基づいて、１-１０wt%、または、１-２０wt%を有し、緑色フィルターパターン２０の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン１８の第一屈折率n１、および、青色フィルターパターン２２の第三屈折率n３より高い。
いくつかの実施形態において、光電変換ユニット１４はフォトダイオード(PD)を含む。
いくつかの実施形態において、複数のカラーフィルターパターン１６は、それぞれ、少なくとも一種の顔料と化合物を含む。化合物は、ひとつ、または、それ以上の分散剤、アクリル樹脂、感受性ポリマー等である。少なくとも一種の顔料と化合物の混合物は、一貫性、相溶性、および、予想可能な色彩効果を生成することができる。カラーフィルターパターン１６は顔料と化合物の各種組み合わせから得られ、それぞれ、赤色フィルターパターン１８、緑色フィルターパターン２０、および、青色フィルターパターン２２を形成する。各混合物は、その組成と比率に基づいた屈折率を有する。組成は、顔料と化合物の各種組み合わせを表し、比率は、顔料と化合物の間の適当な割合を表す。
いくつかの実施形態において、成分は、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は約１.５より高い。
いくつかの実施形態において、成分は、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせを含み、前記特定屈折率は約１.５より低い。
いくつかの実施形態において、赤色フィルターパターン１８の第一屈折率n１は約１.５〜約１.８、緑色フィルターパターン２０の第二屈折率n２は約１.６〜約１.９、青色フィルターパターン２２の第三屈折率n３は約１.３〜約１.８である。
この実施形態において、青色フィルターパターン２２は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より低く、緑色フィルターパターン２０の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン１８の第一屈折率n１と青色フィルターパターン２２の第三屈折率n３より高い。たとえば、緑色フィルターパターン２０の第二屈折率n２は１.６、赤色フィルターパターン１８の第一屈折率n１は１.５、青色フィルターパターン２２の第三屈折率n３は１.３である。
いくつかの実施形態において、イメージセンサー構造１０は、さらに、カラーフィルターパターン１６上に形成される複数のマイクロレンズ２４を含む。
本発明の一実施形態によるイメージセンサー構造は図２と共に説明する。図２はイメージセンサー構造の断面図である。
図２を参照すると、イメージセンサー構造５０が提供される。イメージセンサー構造５０は、基板５２、基板５２に形成される複数の光電変換ユニット５４、および、基板５２と光電変換ユニット５４上に形成され、第一屈折率n１を有する赤色フィルターパターン５８、第二屈折率n２を有する緑色フィルターパターン６０、および、第三屈折率n３を有する青色フィルターパターン６２を有する複数のカラーフィルターパターン５６を有する。特に、特定屈折率を有する成分は、カラーフィルターパターン５６、たとえば、赤色フィルターパターン５８、緑色フィルターパターン６０、または、青色フィルターパターン６２の少なくともひとつの重量に基づいて、１-１０wt%、または、１-２０wt%を有し、緑色フィルターパターン６０の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン５８の第一屈折率n１と青色フィルターパターン６２の第三屈折率n３より高い。
いくつかの実施形態において、光電変換ユニット５４はフォトダイオード(PD)を含む。
いくつかの実施形態において、複数のカラーフィルターパターン５６は、それぞれ、少なくとも一種の顔料と化合物を含む。化合物は、ひとつ、または、それ以上の分散剤、アクリル樹脂、感受性ポリマー等である。少なくとも一種の顔料と化合物の混合物は、一貫性、相溶性、および、予想可能な色彩効果を生成することができる。カラーフィルターパターン５６が顔料と化合物の各種組み合わせから得られて、それぞれ、赤色フィルターパターン５８、緑色フィルターパターン６０、および、青色フィルターパターン６２を形成する。各混合物は、その組成と比率に基づいた屈折率を有する。組成は、顔料と化合物の各種組み合わせを表し、比率は、顔料と化合物の間の適当な割合を表す。
いくつかの実施形態において、成分は、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は約１.５より高い。
いくつかの実施形態において、成分は、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は約１.５より低い。
いくつかの実施形態において、赤色フィルターパターン５８の第一屈折率n１は約１.５〜約１.８、緑色フィルターパターン６０の第二屈折率n２は約１.６〜約１.９、および、青色フィルターパターン６２の第三屈折率n３は約１.３〜約１.８である。
この実施形態において、緑色フィルターパターン６０は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、青色フィルターパターン６２は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より低く、よって、緑色フィルターパターン６０の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン５８の第一屈折率n１と青色フィルターパターン６２の第三屈折率n３より高い。たとえば、緑色フィルターパターン６０の第二屈折率n２は１.７、赤色フィルターパターン５８の第一屈折率n１は１.５、および、青色フィルターパターン６２の第三屈折率n３は１.５である。
いくつかの実施形態において、イメージセンサー構造５０は、さらに、カラーフィルターパターン５６上に形成される複数のマイクロレンズ６４を含む。
本発明の一実施形態によるイメージセンサー構造は図３と共に説明する。図３はイメージセンサー構造の断面図である。
図３を参照すると、イメージセンサー構造１００が提供される。イメージセンサー構造１００は、基板１２０、基板１２０に形成される複数の光電変換ユニット１４０、および、基板１２０と光電変換ユニット１４０上に形成され、第一屈折率n１を有する赤色フィルターパターン１８０、第二屈折率n２を有する緑色フィルターパターン２００、および、第三屈折率n３を有する青色フィルターパターン２２０を有する複数のカラーフィルターパターン１６０を有する。特に、特定屈折率を有する成分は、カラーフィルターパターン１６０、たとえば、赤色フィルターパターン１８０、緑色フィルターパターン２００、または、青色フィルターパターン２２０の少なくともひとつの重量に基づいて、１-１０wt%、または、１-２０wt%を有し、緑色フィルターパターン２０の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン１８の第一屈折率n１と青色フィルターパターン２２の第三屈折率n３より高い。
いくつかの実施形態において、光電変換ユニット１４０はフォトダイオード(PD)を含む。
いくつかの実施形態において、複数のカラーフィルターパターン１６０は、それぞれ、少なくとも一種の顔料と化合物を含む。化合物は、ひとつ、または、それ以上の分散剤、アクリル樹脂、感受性ポリマー等である。少なくとも一種の顔料と化合物の混合物は、一貫性、相溶性、および、予測可能な色彩効果を生成することができる。カラーフィルターパターン１６０は、顔料と化合物の各種組み合わせから得られ、それぞれ、赤色フィルターパターン１８０、緑色フィルターパターン２００、および、青色フィルターパターン２２０を形成する。各混合物は、その組成と比率に基づいた屈折率を有する。組成は、顔料と化合物の各種組み合わせを表し、比率は、顔料と化合物の間の適当な割合を表す。
いくつかの実施形態において、成分は、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は約１.５より高い。
いくつかの実施形態において、成分は、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は約１.５より低い。
いくつかの実施形態において、赤色フィルターパターン１８の第一屈折率n１は約１.５〜約１.８、緑色フィルターパターン２０の第二屈折率n２は約１.６〜約１.９、青色フィルターパターン２２の第三屈折率n３は約１.３〜約１.８である。
この実施形態において、緑色フィルターパターン２００は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、赤色フィルターパターン１８０は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、青色フィルターパターン２２０は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、混合物の屈折率より低く、よって、緑色フィルターパターン２の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン１８の第一屈折率n１と青色フィルターパターン２２の第三屈折率n３より高い。たとえば、緑色フィルターパターン２０の第二屈折率n２は１.８、赤色フィルターパターン１８の第一屈折率n１は１.７、青色フィルターパターン２２の第三屈折率n３は１.５である。
いくつかの実施形態において、イメージセンサー構造１００は、さらに、カラーフィルターパターン１６０上に形成される複数のマイクロレンズ２４０を含む。
本発明の一実施形態によるイメージセンサー構造は図４と共に説明する。図４はイメージセンサー構造の断面図である。
図４を参照すると、イメージセンサー構造５００が提供される。イメージセンサー構造５００は、基板５２０、基板５２０に形成される複数の光電変換ユニット５４０、および、基板５２０と光電変換ユニット５４０上に形成され、第一屈折率n１を有する赤色フィルターパターン５８０、第二屈折率n２を有する緑色フィルターパターン６００、および、第三屈折率n３を有する青色フィルターパターン６２０を有する複数のカラーフィルターパターン５６０を有する。特に、特定屈折率を有する成分は、カラーフィルターパターン５６０、たとえば、赤色フィルターパターン５８０、緑色フィルターパターン６００、または、青色フィルターパターン６２０の少なくともひとつの重量に基づいて、１-１０wt%、または、１-２０wt%を有し、緑色フィルターパターン６０の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン５８の第一屈折率n１と青色フィルターパターン６２の第三屈折率n３より高い。
いくつかの実施形態において、光電変換ユニット５４０はフォトダイオード(PD)を含む。
いくつかの実施形態において、複数のカラーフィルターパターン５６０はそれぞれ、少なくとも一種の顔料と化合物を含む。化合物は、ひとつ、または、それ以上の分散剤、アクリル樹脂、感受性ポリマー等である。少なくとも一種の顔料と化合物の混合物は、一貫性、相溶性、および、予測可能な色彩効果を生成することができる。カラーフィルターパターン５６０は顔料と化合物の各種組み合わせから得られ、それぞれ、赤色フィルターパターン５８０、緑色フィルターパターン６００、および、青色フィルターパターン６２０を形成する。各混合物は、その組成と比率に基づいた屈折率を有する。組成は、顔料と化合物の各種組み合わせを表し、比率は、顔料と化合物の間の適当な割合を表す。
いくつかの実施形態において、成分は、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は約１.５である。
いくつかの実施形態において、成分は、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は約１.５より低い。
いくつかの実施形態において、赤色フィルターパターン５８の第一屈折率n１は約１.５〜約１.８、緑色フィルターパターン６０の第二屈折率n２は約１.６〜約１.９、青色フィルターパターン６２の第三屈折率n３は約１.３〜約１.８である。
この実施形態において、緑色フィルターパターン６００は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、よって、緑色フィルターパターン６０の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン５８の第一屈折率n１と青色フィルターパターン６２の第三屈折率n３より高い。たとえば、緑色フィルターパターン６０の第二屈折率n２は１.９、赤色フィルターパターン５８の第一屈折率n１は１.５、青色フィルターパターン６２の第三屈折率n３は１.８である。
いくつかの実施形態において、イメージセンサー構造５００は、さらに、カラーフィルターパターン５６０上に形成される複数のマイクロレンズ６４０を含む。
本発明の一実施形態によるイメージセンサー構造は図５と共に説明する。図５はイメージセンサー構造の断面図である。
図５を参照すると、イメージセンサー構造１０００が提供される。イメージセンサー構造１０００は、基板１２００、基板１２００に形成される複数の光電変換ユニット１４００、および、基板１２００と光電変換ユニット１４００上に形成され、第一屈折率n１を有する赤色フィルターパターン１８００、第二屈折率n２を有する緑色フィルターパターン２０００、および、第三屈折率n３を有する青色フィルターパターン２２００を有する複数のカラーフィルターパターン１６００を有する。特に、特定屈折率を有する成分は、カラーフィルターパターン１６００、たとえば、赤色フィルターパターン１８００、緑色フィルターパターン２０００、または、青色フィルターパターン２２００の少なくともひとつの重量に基づいて、１-１０wt%、または、１-２０wt%を有し、緑色フィルターパターン２０００の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン１８００の第一屈折率n１と青色フィルターパターン２２００の第三屈折率n３より高い。
いくつかの実施形態において、光電変換ユニット１４００はフォトダイオード(PD)を含む。
いくつかの実施形態において、複数のカラーフィルターパターン１６００は、それぞれ、少なくとも一種の顔料と化合物を含む。化合物は、ひとつ、または、それ以上の分散剤、アクリル樹脂、感受性ポリマー等である。少なくとも一種の顔料と化合物の混合物は、一貫性、相溶性、および、予測可能な色彩効果を生成することができる。カラーフィルターパターン１６００は、顔料と化合物の各種組み合わせから得られ、それぞれ、赤色フィルターパターン１８００、緑色フィルターパターン２０００、および、青色フィルターパターン２２００を形成する。各混合物は、その組成と比率に基づいた屈折率を有する。組成は、顔料と化合物の各種組み合わせを表し、比率は、顔料と化合物の間の適当な割合を表す。
いくつかの実施形態において、成分は、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせを含み、特定屈折率は約１.５より高い。
いくつかの実施形態において、成分は、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせを含み、その特定屈折率は約１.５より低い。
いくつかの実施形態において、赤色フィルターパターン１８００の第一屈折率n１は約１.５〜約１.８、緑色フィルターパターン２０００の第二屈折率n２は約１.６〜約１.９、青色フィルターパターン２２００の第三屈折率n３は約１.３〜約１.８である。
この実施形態において、緑色フィルターパターン２０００は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、赤色フィルターパターン１８００は、成分と混合物を含み、特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、よって、緑色フィルターパターン２０００の第二屈折率n２は、赤色フィルターパターン１８００の第一屈折率n１と青色フィルターパターン２２００の第三屈折率n３より高い。たとえば、緑色フィルターパターン２０００の第二屈折率n２は１.９、赤色フィルターパターン１８００の第一屈折率n１は１.８、青色フィルターパターン２２００の第三屈折率n３は１.８である。
いくつかの実施形態において、イメージセンサー構造１０００は、さらに、カラーフィルターパターン１６００上に形成される複数のマイクロレンズ２４００を含む。
本発明は、たとえば、顔料、アクリル樹脂、または、感受性ポリマー等のカラーフィルター材と、たとえば、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせの高屈折率成分、または、たとえば、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせ低屈折率成分とのブレンドを採用して、カラーフィルターの屈折率を調整して、緑色フィルターの屈折率は、赤色フィルターの屈折率と青色フィルターの屈折率より高い。よって、緑色フィルターの感度を増加させるカラーフィルター間で、最高屈折率を有する緑色フィルターのため、各種屈折率を有するカラーフィルターを有するイメージセンサー構造のSNR(signal-to-noise ratio)、または、量子効率(QE)が改善されて、最適なデバイス性能を達成する。
本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。
１０、５０、１００、５００、１０００ イメージセンサー構造；
１２、５２、１２０、５２０、１２００ 基板；
１４、５４、１４０、５４０、１４００ 光電変換ユニット；
１６、５６、１６０、５６０、１６００ カラーフィルターパターン；
１８、５８、１８０、５８０、１８００ 赤色フィルターパターン；
２０、６０、２００、６００、２０００ 緑色フィルターパターン；
２２、６２、２２０、６２０、２２００ 青色フィルターパターン；
２４、６４、２４０、６４０、２４００ マイクロレンズ；
n１ 第一屈折率；
n２ 第二屈折率；
n３ 第三屈折率
１２、５２、１２０、５２０、１２００ 基板；
１４、５４、１４０、５４０、１４００ 光電変換ユニット；
１６、５６、１６０、５６０、１６００ カラーフィルターパターン；
１８、５８、１８０、５８０、１８００ 赤色フィルターパターン；
２０、６０、２００、６００、２０００ 緑色フィルターパターン；
２２、６２、２２０、６２０、２２００ 青色フィルターパターン；
２４、６４、２４０、６４０、２４００ マイクロレンズ；
n１ 第一屈折率；
n２ 第二屈折率；
n３ 第三屈折率
Claims (11)
- 基板と、
前記基板に形成される複数の光電変換ユニットと、
前記基板と前記光電変換ユニット上に形成され、第一屈折率を有する赤色フィルターパターン、第二屈折率を有する緑色フィルターパターン、および、第三屈折率を有する青色フィルターパターンを有する複数のカラーフィルターパターンと、
を有し、
少なくともひとつの前記カラーフィルターパターンは、特定屈折率を有する成分を含んで、前記緑色フィルターパターンの前記第二屈折率が、前記赤色フィルターパターンの前記第一屈折率と前記青色フィルターパターンの前記第三屈折率より高いことを特徴とするイメージセンサー構造。
- 前記複数のカラーフィルターパターンは、それぞれ、混合物を含み、少なくとも一種の顔料とひとつ以上の分散剤、アクリル樹脂、または、感受性ポリマーにより構成されることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサー構造。
- 前記成分は、硫黄含有ポリマー、モノシラン含有のポリマー、芳香族ポリエステル、ポリイミド、酸化チタン含有のポリマー、または、それらの組み合わせを含み、前記特定屈折率は１.５より高いことを特徴とする請求項１と２のひとつに記載のイメージセンサー構造。
- 前記成分は、フルオロアクリルポリマー、フルオロアクリルコポリマー、または、それらの組み合わせを含み、前記特定屈折率は１.５より低いことを特徴とする請求項１と２のひとつに記載のイメージセンサー構造。
- 前記成分は、前記赤色フィルターパターン、前記緑色フィルターパターン、または、前記青色フィルターパターンの重量に基づいて、１-２０wt%を有することを特徴とする請求項１、２、３と４のひとつに記載のイメージセンサー構造。
- 前記青色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より低いことを特徴とする請求項２、３、４と５のひとつに記載のイメージセンサー構造。
- 前記緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、前記青色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より低いことを特徴とする請求項２、３、４と５のひとつに記載のイメージセンサー構造。
- 前記緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、前記赤色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、前記青色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より低いことを特徴とする請求項２、３、４と５のひとつに記載のイメージセンサー構造。
- 前記緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高いことを特徴とする請求項２、３、４と５のひとつに記載のイメージセンサー構造。
- 前記緑色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高く、前記赤色フィルターパターンは、前記成分と前記混合物を含み、且つ、前記特定屈折率は、前記混合物の前記屈折率より高いことを特徴とする請求項２、３、４と５のひとつに記載のイメージセンサー構造。
- 前記赤色フィルターパターンの前記第一屈折率は１.５〜１.８、前記緑色フィルターパターンの前記第二屈折率は１.６〜１.９、前記青色フィルターパターンの前記第三屈折率は１.３〜１.８であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９と１０のひとつに記載のイメージセンサー構造。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US14/504,039 US9564462B2 (en) | 2014-10-01 | 2014-10-01 | Image-sensor structures |
| US14/504,039 | 2014-10-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016072592A true JP2016072592A (ja) | 2016-05-09 |
| JP6456704B2 JP6456704B2 (ja) | 2019-01-23 |
Family
ID=55633358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015015188A Active JP6456704B2 (ja) | 2014-10-01 | 2015-01-29 | イメージセンサー構造 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9564462B2 (ja) |
| JP (1) | JP6456704B2 (ja) |
| CN (1) | CN105720064B (ja) |
| TW (1) | TWI543351B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023058326A1 (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12009379B2 (en) * | 2017-05-01 | 2024-06-11 | Visera Technologies Company Limited | Image sensor |
| US11995567B2 (en) * | 2020-08-27 | 2024-05-28 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for color matching and recommendations |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63191105A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-08 | Canon Inc | カラ−フイルタ− |
| JP2009111225A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
| WO2012073402A1 (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-07 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
| JP2013115335A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Sony Corp | 固体撮像素子およびその製造方法、電子機器、並びに固体撮像素子用組成物 |
| JP2013165216A (ja) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | Fujifilm Corp | 撮像素子 |
| JP2013228705A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-11-07 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、及び、表示装置 |
| JP2014142628A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-08-07 | Fujifilm Corp | 赤外線反射膜形成用の硬化性樹脂組成物、赤外線反射膜及びその製造方法、並びに赤外線カットフィルタ及びこれを用いた固体撮像素子 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5294288A (en) * | 1990-11-05 | 1994-03-15 | Eastman Kodak Company | Forming sol-gel dichroic color filters |
| JP4159024B2 (ja) * | 2002-06-25 | 2008-10-01 | 綜研化学株式会社 | 低屈折率ポリマー球状粒子及びその製造方法、その粒子を用いる光特性フィルム及びそのフィルムを設ける画像表示装置 |
| EP1855320B1 (en) * | 2005-02-10 | 2013-12-11 | Toppan Printing Co., Ltd. | Solid-state imaging device and method for manufacturing same |
| JP4857569B2 (ja) * | 2005-02-10 | 2012-01-18 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
| JP6043645B2 (ja) | 2013-02-08 | 2016-12-14 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性組成物およびカラーフィルタ |
| US9502453B2 (en) | 2013-03-14 | 2016-11-22 | Visera Technologies Company Limited | Solid-state imaging devices |
| US9130077B2 (en) * | 2013-08-15 | 2015-09-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Structure of dielectric grid with a metal pillar for semiconductor device |
-
2014
- 2014-10-01 US US14/504,039 patent/US9564462B2/en active Active
- 2014-11-25 TW TW103140740A patent/TWI543351B/zh active
- 2014-12-02 CN CN201410722689.9A patent/CN105720064B/zh active Active
-
2015
- 2015-01-29 JP JP2015015188A patent/JP6456704B2/ja active Active
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63191105A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-08 | Canon Inc | カラ−フイルタ− |
| JP2009111225A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
| WO2012073402A1 (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-07 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
| JP2013115335A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Sony Corp | 固体撮像素子およびその製造方法、電子機器、並びに固体撮像素子用組成物 |
| JP2013165216A (ja) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | Fujifilm Corp | 撮像素子 |
| JP2013228705A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-11-07 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、及び、表示装置 |
| JP2014142628A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-08-07 | Fujifilm Corp | 赤外線反射膜形成用の硬化性樹脂組成物、赤外線反射膜及びその製造方法、並びに赤外線カットフィルタ及びこれを用いた固体撮像素子 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023058326A1 (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US9564462B2 (en) | 2017-02-07 |
| CN105720064A (zh) | 2016-06-29 |
| US20160099270A1 (en) | 2016-04-07 |
| JP6456704B2 (ja) | 2019-01-23 |
| TW201614818A (en) | 2016-04-16 |
| TWI543351B (zh) | 2016-07-21 |
| CN105720064B (zh) | 2019-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI660204B (zh) | 積層體、紅外線吸收濾波器、帶通濾波器、積層體的製造方法、帶通濾波器形成用套組、及圖像顯示裝置 | |
| JP6329626B2 (ja) | 赤外線センサ、近赤外線吸収組成物、感光性樹脂組成物、化合物、近赤外線吸収フィルタおよび撮像装置 | |
| US9825078B2 (en) | Camera device having an image sensor comprising a conductive layer and a reflection layer stacked together to form a light pipe structure accommodating a filter unit | |
| JP6456704B2 (ja) | イメージセンサー構造 | |
| JP2007258686A5 (ja) | ||
| TW201700624A (zh) | 硬化性組成物、硬化膜、紅外線透過濾光片及固態攝影裝置 | |
| CN108474884A (zh) | 组合物、膜、近红外线截止滤波器、层叠体、图案形成方法、固体成像元件、图像显示装置、红外线传感器及滤色器 | |
| TW201129860A (en) | Black curable composition, light-shielding color filter, light-shielding film and method for manufacturing the same, wafer level lens, and solid-state imaging device | |
| TW201604592A (zh) | 彩色濾光片、固體攝像元件 | |
| WO2008021444A3 (en) | Semiconductor color image sensor | |
| TWI828632B (zh) | 樹脂組成物、膜、濾光器、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器 | |
| WO2020059381A1 (ja) | 遮光性組成物、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、光学素子、固体撮像素子、ヘッドライトユニット | |
| KR102386489B1 (ko) | 조성물, 막, 적외선 투과 필터, 고체 촬상 소자, 화상 표시 장치 및 적외선 센서 | |
| JP2016046510A (ja) | イメージセンシングデバイスとその製造方法 | |
| TW201622125A (zh) | 固體攝像裝置 | |
| JP5965448B2 (ja) | 撮像装置 | |
| TWI582971B (zh) | 影像感測器結構 | |
| TWI745417B (zh) | 組成物、膜的製造方法、近紅外線截止濾光片的製造方法、固體攝像元件的製造方法、圖像顯示裝置的製造方法及紅外線感測器的製造方法 | |
| KR102313710B1 (ko) | 광경화성 조성물, 적층체, 및 고체 촬상 소자 | |
| TWI751296B (zh) | 濾波器、光感測器、固體攝像元件及圖像顯示裝置 | |
| TW201210006A (en) | Image sensing device | |
| TW201912757A (zh) | 近紅外線吸收有機顏料、樹脂組成物、近紅外線吸收有機顏料的製造方法、近紅外線吸收有機顏料的分光調整方法、膜、積層體、近紅外線截止濾光片、近紅外線透射濾光片、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器 | |
| CN110235033A (zh) | 组合物、膜、近红外线截止滤光片、固体摄像元件、图像显示装置及红外线传感器 | |
| CN110267992A (zh) | 固化性组合物、固化膜、近红外线截止滤光片、固体摄像元件、图像显示装置及红外线传感器 | |
| JP2020172614A (ja) | 色素組成物、膜、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置及び赤外線センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160509 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160804 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170206 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170410 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170605 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170714 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170816 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181002 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181219 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6456704 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |