JP2016069345A - Metal element-containing compound, curable composition, cured film, organic el display device, liquid crystal display device, and touch panel display device - Google Patents

Metal element-containing compound, curable composition, cured film, organic el display device, liquid crystal display device, and touch panel display device Download PDF

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JP2016069345A JP2014202234A JP2014202234A JP2016069345A JP 2016069345 A JP2016069345 A JP 2016069345A JP 2014202234 A JP2014202234 A JP 2014202234A JP 2014202234 A JP2014202234 A JP 2014202234A JP 2016069345 A JP2016069345 A JP 2016069345A
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享平 崎田
Kyohei Sakida
享平 崎田
寛晃 伊藤
Hiroaki Ito
寛晃 伊藤
幹雄 中川
Mikio Nakagawa
幹雄 中川
米澤 裕之
Hiroyuki Yonezawa
裕之 米澤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a metal element-containing compound excellent in stability and excellent in substrate adhesiveness of a cured film when the compound is added to a curable composition, a curable composition excellent in substrate adhesiveness of a cured film obtained therefrom, a cured film formed by curing the curable composition, and an organic EL display device, a liquid crystal display device and a touch panel display device using the cured film.SOLUTION: The metal element-containing compound is represented by formula 1. In formula 1, M represents Ti, Zr or Ce; and Rto Reach independently represent an alkyl group or a group represented by formula 2, and at least one of Rto Ris a group represented by formula 2.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、金属元素含有化合物、硬化性組成物、硬化膜、有機EL表示装置、液晶表示装置、及び、タッチパネル表示装置に関する。   The present invention relates to a metal element-containing compound, a curable composition, a cured film, an organic EL display device, a liquid crystal display device, and a touch panel display device.

近年、層間絶縁膜、保護膜、光取り出し層、スペーサー部材、マイクロレンズ部材などを形成するため、硬化性組成物が使用されている。硬化性組成物を使用して得られる硬化物は液晶表示装置や有機EL表示装置などの各種表示装置、タッチパネル、撮像装置、太陽電池等の多くの電子デバイスの部材として使用されている。
また、有機EL表示装置の光取り出し効率の更なる向上やタッチパネルのタッチ検出電極の骨見え防止などを目的として、硬化性組成物の屈折率を調整することが知られている。
従来の硬化性組成物としては、特許文献1に記載の感光性樹脂組成物が知られている。
特許文献1には、親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレート(B)、ラジカルトラップ剤(C)、光重合開始剤(D)および金属元素含有化合物(E)を必須成分として含有し、純分の25℃における粘度が4,000mPa・s〜10,000mPa・sであることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物が記載されている。
また、従来の金属化合物としては、特許文献2に記載の金属塩の製造方法により製造された金属化合物が知られている。
特許文献2には、金属アルコラート化合物を、2位又は3位に二重結合を有する一般式Cn2n-1C(=O)OH[式中、nは2、3、4、5又は6を表す]のカルボン酸および/またはマレイン酸と反応させることにより、短鎖の不飽和カルボン酸の金属塩を製造し、前記金属塩は、式Cn2n-1C(=O)O−および/または−OC(=O)CH=CHC(=O)O−(H)の少なくとも1つのグループと、次のMg、Ca、Al、Si、Sn、La、Ti、Zr、Cuおよび/またはZnの金属又は前記金属の混合物を有する、短鎖の不飽和カルボン酸の金属塩の製造方法が記載されている。
また、特許文献3には、下記式(1)で表される水分捕獲剤が記載されている。
In recent years, curable compositions have been used to form interlayer insulating films, protective films, light extraction layers, spacer members, microlens members, and the like. A cured product obtained by using the curable composition is used as a member of various electronic devices such as various display devices such as liquid crystal display devices and organic EL display devices, touch panels, imaging devices, and solar cells.
It is also known to adjust the refractive index of the curable composition for the purpose of further improving the light extraction efficiency of the organic EL display device and preventing the touch detection electrode of the touch panel from being seen.
As a conventional curable composition, the photosensitive resin composition of patent document 1 is known.
Patent Document 1 contains hydrophilic resin (A), polyfunctional (meth) acrylate (B), radical trapping agent (C), photopolymerization initiator (D), and metal element-containing compound (E) as essential components. In addition, there is described an alkali-developable photosensitive resin composition characterized by having a pure viscosity at 25 ° C. of 4,000 mPa · s to 10,000 mPa · s.
In addition, as a conventional metal compound, a metal compound produced by the method for producing a metal salt described in Patent Document 2 is known.
In Patent Document 2, a metal alcoholate compound is represented by the general formula C n H 2n-1 C (═O) OH having a double bond at the 2-position or the 3-position [wherein n is 2, 3, 4, 5 or 6] to produce a metal salt of a short-chain unsaturated carboxylic acid by reaction with a carboxylic acid and / or maleic acid of the formula C n H 2n-1 C (═O) O -And / or -OC (= O) CH = CHC (= O) O- (H) and the following Mg, Ca, Al, Si, Sn, La, Ti, Zr, Cu and / or Alternatively, a process for producing a metal salt of a short-chain unsaturated carboxylic acid comprising a metal of Zn or a mixture of said metals is described.
Patent Document 3 describes a moisture capturing agent represented by the following formula (1).

Figure 2016069345
(式(1)中、Mは、ホウ素原子、アルミニウム原子、ケイ素原子、ガリウム原子、チタン原子、ジルコニウム原子、インジウム原子又はタリウム原子である。Rは、炭素数6〜30の飽和脂肪族炭化水素基、炭素数2〜30の不飽和脂肪族炭化水素基、炭素数6〜30の脂環式炭化水素基、又は下記式(2)若しくは下記式(3)で表される基である。nは、1〜4の整数である。nが2以上の場合、複数のRは同一でも異なっていてもよい。)
Figure 2016069345
(In Formula (1), M is a boron atom, an aluminum atom, a silicon atom, a gallium atom, a titanium atom, a zirconium atom, an indium atom, or a thallium atom. R 1 is a saturated aliphatic carbonization having 6 to 30 carbon atoms. A hydrogen group, an unsaturated aliphatic hydrocarbon group having 2 to 30 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 6 to 30 carbon atoms, or a group represented by the following formula (2) or the following formula (3). n is an integer of 1 to 4. When n is 2 or more, a plurality of R 1 may be the same or different.

Figure 2016069345
(式(2)及び式(3)中、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜3のアルキル基、ビニル基、(メタ)アクリロイル基又はグリシジル基である。a及びbは、それぞれ独立して、1〜20の整数である。)
Figure 2016069345
(In Formula (2) and Formula (3), R 2 and R 3 are each independently an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, a vinyl group, a (meth) acryloyl group, or a glycidyl group. A and b) Are each independently an integer of 1 to 20.)

特開2014−81456号公報JP 2014-81456 A 特表2007−506648号公報Special table 2007-506648 gazette 特開2014−140797号公報JP 2014-140797 A

本発明が解決しようとする課題は、安定性に優れ、硬化性組成物に添加した際の硬化膜の基材密着性に優れる金属元素化合物を提供することである。
また、本発明が解決しようとする他の課題は、得られる硬化膜の基材密着性に優れた硬化性組成物、上記硬化性組成物を硬化させた硬化膜、並びに、上記硬化膜を用いた有機EL表示装置、液晶表示装置及びタッチパネル表示装置を提供することである。
The problem to be solved by the present invention is to provide a metal element compound that is excellent in stability and excellent in substrate adhesion of a cured film when added to a curable composition.
In addition, other problems to be solved by the present invention include a curable composition excellent in substrate adhesion of the obtained cured film, a cured film obtained by curing the curable composition, and the cured film. An organic EL display device, a liquid crystal display device, and a touch panel display device.

本発明の上記課題は、以下の<1>、<7>又は<16>〜<19>に記載の手段により解決された。好ましい実施態様である<2>〜<6>及び<8>〜<15>と共に以下に記載する。
<1>式1で表されることを特徴とする金属元素含有化合物、
The above-described problems of the present invention have been solved by means described in the following <1>, <7>, or <16> to <19>. It describes below with <2>-<6> and <8>-<15> which are preferable embodiments.
<1> A metal element-containing compound represented by Formula 1;

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式1中、Mは、Ti、Zr又はCeを表し、R〜Rはそれぞれ独立に、アルキル基又は式2で表される基を表し、R〜Rの少なくとも1つは、式2で表される基である。 In Formula 1, M represents Ti, Zr or Ce, R 1 to R 4 each independently represents an alkyl group or a group represented by Formula 2, and at least one of R 1 to R 4 represents a formula 2 is a group represented by 2;

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式2中、R及びRはそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、R及びRはともに水素原子を表すか、又は、RとRとが結合して炭化水素環を形成しており、また、R及びRが各炭素原子に結合した炭素−炭素結合は、単結合であっても二重結合であってもよく、Rは、水素原子又はメチル基を表し、波線部分は、式1の酸素原子との結合位置を表す。 In Formula 2, R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 7 and R 8 both represent a hydrogen atom, or R 7 and R 8 are bonded to form a hydrocarbon ring. The carbon-carbon bond in which R 7 and R 8 are bonded to each carbon atom may be a single bond or a double bond, and R 9 is a hydrogen atom or a methyl group The wavy line part represents the bonding position with the oxygen atom of Formula 1.

<2>Mが、Ti又はZrである、<1>に記載の金属元素含有化合物、
<3>Mが、Tiである、<1>又は<2>に記載の金属元素含有化合物、
<4>R〜Rにおけるアルキル基が、炭素数2〜4のアルキル基である、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の金属元素含有化合物、
<5>R〜Rにおける式2で表される基の数が、1である、<1>〜<4>のいずれか1つに記載の金属元素含有化合物、
<6>Rが、水素原子である、<1>〜<5>のいずれか1つに記載の金属元素含有化合物、
<7>成分Aとして、式1で表される金属元素含有化合物を含有することを特徴とする硬化性組成物、
<2> The metal element-containing compound according to <1>, wherein M is Ti or Zr,
<3> The metal element-containing compound according to <1> or <2>, wherein M is Ti,
<4> The metal element-containing compound according to any one of <1> to <3>, wherein the alkyl group in R 1 to R 4 is an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms,
<5> The metal element-containing compound according to any one of <1> to <4>, wherein the number of groups represented by Formula 2 in R 1 to R 4 is 1.
<6> R 5 is a hydrogen atom, <1> to the metal element-containing compound according to any one of <5>,
<7> A curable composition comprising a metal element-containing compound represented by formula 1 as component A,

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式1中、Mは、Ti、Zr又はCeを表し、R〜Rはそれぞれ独立に、アルキル基又は式2で表される基を表し、R〜Rの少なくとも1つは、式2で表される基である。 In Formula 1, M represents Ti, Zr or Ce, R 1 to R 4 each independently represents an alkyl group or a group represented by Formula 2, and at least one of R 1 to R 4 represents a formula 2 is a group represented by 2;

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式2中、R及びRはそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、R及びRはともに水素原子を表すか、又は、RとRとが結合して炭化水素環を形成しており、また、R及びRが各炭素原子に結合した炭素−炭素結合は、単結合であっても二重結合であってもよく、Rは、水素原子又はメチル基を表し、波線部分は、式1の酸素原子との結合位置を表す。 In Formula 2, R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 7 and R 8 both represent a hydrogen atom, or R 7 and R 8 are bonded to form a hydrocarbon ring. The carbon-carbon bond in which R 7 and R 8 are bonded to each carbon atom may be a single bond or a double bond, and R 9 is a hydrogen atom or a methyl group The wavy line part represents the bonding position with the oxygen atom of Formula 1.

<8>成分Bとして、成分A以外の重合性化合物を更に含有する、<7>に記載の硬化性組成物、
<9>成分Cとして、光重合開始剤を更に含有する、<7>又は<8>に記載の硬化性組成物、
<10>成分Dとして、バインダーポリマーを更に含有する、<7>〜<9>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<11>Mが、Ti又はZrである、<7>〜<10>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<12>Mが、Tiである、<7>〜<11>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<13>R〜Rにおけるアルキル基が、炭素数2〜4のアルキル基である、<7>〜<12>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<14>R〜Rにおける式2で表される基の数が、1である、<7>〜<13>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<15>Rが、水素原子である、<7>〜<14>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<16><7>〜<15>のいずれか1つに記載の硬化性組成物を硬化してなる硬化膜、
<17><16>に記載の硬化膜を有する有機EL表示装置、
<18><16>に記載の硬化膜を有する液晶表示装置、
<19><16>に記載の硬化膜を有するタッチパネル表示装置。
<8> The curable composition according to <7>, further containing a polymerizable compound other than component A as component B,
<9> The curable composition according to <7> or <8>, further containing a photopolymerization initiator as component C,
<10> The curable composition according to any one of <7> to <9>, further containing a binder polymer as component D,
<11> The curable composition according to any one of <7> to <10>, wherein M is Ti or Zr.
<12> The curable composition according to any one of <7> to <11>, wherein M is Ti,
<13> The curable composition according to any one of <7> to <12>, in which the alkyl group in R 1 to R 4 is an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms,
<14> The curable composition according to any one of <7> to <13>, wherein the number of groups represented by formula 2 in R 1 to R 4 is 1.
<15> R 5 is a hydrogen atom, The curable composition as described in any one of <7>-<14>,
<16><7> to a cured film obtained by curing the curable composition according to any one of <15>,
<17> An organic EL display device having the cured film according to <16>,
<18> A liquid crystal display device having the cured film according to <16>,
<19> A touch panel display device having the cured film according to <16>.

本発明によれば、安定性に優れ、硬化性組成物に添加した際の硬化膜の基材密着性に優れる金属元素化合物を提供することができた。
また、本発明によれば、得られる硬化膜の基材密着性に優れた硬化性組成物、上記硬化性組成物を硬化させた硬化膜、並びに、上記硬化膜を用いた有機EL表示装置、液晶表示装置及びタッチパネル表示装置を提供することができた。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it was excellent in stability and the metal element compound which was excellent in the base-material adhesiveness of the cured film at the time of adding to a curable composition was able to be provided.
Moreover, according to this invention, the curable composition excellent in the base-material adhesiveness of the cured film obtained, the cured film which hardened the said curable composition, and the organic electroluminescence display using the said cured film, A liquid crystal display device and a touch panel display device could be provided.

有機EL表示装置の一例の構成概念図を示す。ボトムエミッション型の有機EL表示装置における基板の模式的断面図を示し、平坦化膜4を有している。1 shows a conceptual diagram of a configuration of an example of an organic EL display device. A schematic cross-sectional view of a substrate in a bottom emission type organic EL display device is shown, and a planarizing film 4 is provided. 液晶表示装置の一例の構成概念図を示す。液晶表示装置におけるアクティブマトリックス基板の模式的断面図を示し、層間絶縁膜である硬化膜17を有している。1 is a conceptual diagram of a configuration of an example of a liquid crystal display device. The schematic sectional drawing of the active matrix substrate in a liquid crystal display device is shown, and it has the cured film 17 which is an interlayer insulation film. タッチパネルの機能を有する液晶表示装置の一例の構成概念図を示す。1 is a conceptual diagram illustrating a configuration of an example of a liquid crystal display device having a touch panel function. タッチパネルの機能を有する液晶表示装置の他の一例の構成概念図を示す。FIG. 5 shows a conceptual diagram of a configuration of another example of a liquid crystal display device having a touch panel function.

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。なお、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。また、本発明における有機EL素子とは、有機エレクトロルミネッセンス素子のことをいう。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
なお、本明細書中において、“(メタ)アクリレート”はアクリレート及びメタクリレートを表し、“(メタ)アクリル”はアクリル及びメタクリルを表し、“(メタ)アクリロイル”はアクリロイル及びメタクリロイルを表す。
また、本発明において、「式1で表される金属元素含有化合物」等を、単に「成分A」等ともいう。
また、本発明において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本発明において、2以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail. The description of the constituent elements described below may be made based on typical embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to such embodiments. In the specification of the present application, “to” is used to mean that the numerical values described before and after it are included as a lower limit value and an upper limit value. The organic EL element in the present invention refers to an organic electroluminescence element.
In the notation of groups (atomic groups) in this specification, the notation that does not indicate substitution and non-substitution includes not only those having no substituent but also those having a substituent. For example, the “alkyl group” includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
In addition, the chemical structural formula in this specification may be expressed as a simplified structural formula in which a hydrogen atom is omitted.
In the present specification, “(meth) acrylate” represents acrylate and methacrylate, “(meth) acryl” represents acryl and methacryl, and “(meth) acryloyl” represents acryloyl and methacryloyl.
In the present invention, the “metal element-containing compound represented by Formula 1” or the like is also simply referred to as “component A” or the like.
In the present invention, “mass%” and “wt%” are synonymous, and “part by mass” and “part by weight” are synonymous.
In the present invention, a combination of two or more preferred embodiments is a more preferred embodiment.

本発明では、ポリマー成分における重量平均分子量及び数平均分子量は、テトラヒドロフラン(THF)を溶剤とした場合のゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)で測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。   In the present invention, the weight average molecular weight and number average molecular weight in the polymer component are weight average molecular weights in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC) using tetrahydrofuran (THF) as a solvent.

(金属元素含有化合物)
本発明の金属元素含有化合物(以下、単に「本発明の化合物」ともいう。)は、式1で表されることを特徴とする。
(Metal element-containing compounds)
The metal element-containing compound of the present invention (hereinafter also simply referred to as “the compound of the present invention”) is represented by Formula 1.

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式1中、Mは、Ti、Zr又はCeを表し、R〜Rはそれぞれ独立に、アルキル基又は式2で表される基を表し、R〜Rの少なくとも1つは、式2で表される基である。 In Formula 1, M represents Ti, Zr or Ce, R 1 to R 4 each independently represents an alkyl group or a group represented by Formula 2, and at least one of R 1 to R 4 represents a formula 2 is a group represented by 2;

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式2中、R及びRはそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、R及びRはともに水素原子を表すか、又は、RとRとが結合して炭化水素環を形成しており、また、R及びRが各炭素原子に結合した炭素−炭素結合は、単結合であっても二重結合であってもよく、Rは、水素原子又はメチル基を表し、波線部分は、式1の酸素原子との結合位置を表す。 In Formula 2, R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 7 and R 8 both represent a hydrogen atom, or R 7 and R 8 are bonded to form a hydrocarbon ring. The carbon-carbon bond in which R 7 and R 8 are bonded to each carbon atom may be a single bond or a double bond, and R 9 is a hydrogen atom or a methyl group The wavy line part represents the bonding position with the oxygen atom of Formula 1.

式1におけるMは、安定性、屈折率及び合成容易性の観点から、Ti又はZrであることが好ましく、Tiであることがより好ましい。
式1において、R〜Rのうちの式2で表される基の数は、1〜4であり、安定性の観点からは4>3>2>1の順に好ましく、また、合成容易性及び屈折率の観点からは、1又は2であることが好ましく、1であることがより好ましい。
式1のR〜Rにおけるアルキル基は、直鎖状であっても、分岐を有していても、環構造を有していてもよい。
また、式1のR〜Rにおけるアルキル基は、炭素数1〜20のアルキル基であることが好ましく、炭素数2〜8のアルキル基であることがより好ましく、炭素数2〜4のアルキル基であることが更に好ましく、炭素数3又は4のアルキル基であることが特に好ましい。
〜Rにおけるアルキル基の具体例としては、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、s−ブチル基、及び、t−ブチル基が好ましく挙げられる。中でも、イソプロピル基、及び、n−ブチル基が特に好ましく挙げられる。
M in Formula 1 is preferably Ti or Zr, and more preferably Ti, from the viewpoints of stability, refractive index, and ease of synthesis.
In Formula 1, the number of groups represented by Formula 2 among R 1 to R 4 is 1 to 4, preferably 4>3>2> 1 from the viewpoint of stability, and easy to synthesize. From the viewpoints of properties and refractive index, it is preferably 1 or 2, and more preferably 1.
The alkyl group in R 1 to R 4 in Formula 1 may be linear, branched, or have a ring structure.
In addition, the alkyl group in R 1 to R 4 in Formula 1 is preferably an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 2 to 8 carbon atoms, and 2 to 4 carbon atoms. An alkyl group is more preferable, and an alkyl group having 3 or 4 carbon atoms is particularly preferable.
Specific examples of the alkyl group in R 1 to R 4 preferably include an ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, s-butyl group, and t-butyl group. Of these, isopropyl group and n-butyl group are particularly preferable.

式2において、Rは、水素原子であることが好ましく、R及びRが水素原子であることがより好ましい。
式2におけるRとRとが結合して形成してもよい炭化水素環は、脂肪族炭化水素環であっても、芳香族炭化水素環であってもよい。また、上記炭化水素環は、5〜7員環であることが好ましく、6員環であることがより好ましい。更に、上記炭化水素環は、単環であっても、2環以上の縮合環であってもよい。
式2におけるRは、得られる硬化膜の基材密着性の観点から、水素原子であることが好ましい。
In Formula 2, R 5 is preferably a hydrogen atom, and R 5 and R 6 are more preferably hydrogen atoms.
The hydrocarbon ring that may be formed by combining R 7 and R 8 in Formula 2 may be an aliphatic hydrocarbon ring or an aromatic hydrocarbon ring. The hydrocarbon ring is preferably a 5- to 7-membered ring, and more preferably a 6-membered ring. Furthermore, the hydrocarbon ring may be a single ring or a condensed ring of two or more rings.
R 9 in Formula 2 is preferably a hydrogen atom from the viewpoint of substrate adhesion of the resulting cured film.

〜Rの少なくとも1つは、式2で表される基であることが好ましい。
式2で表される基としては、下記式2−1〜式2−6のいずれかで表される基であることが好ましく、下記式2−1〜式2−5のいずれかで表される基であることがより好ましく、下記式2−1〜式2−3のいずれかで表される基であることが更に好ましく、下記式2−1で表される基であることが特に好ましい。
At least one of R 1 to R 4 is preferably a group represented by Formula 2.
The group represented by the formula 2 is preferably a group represented by any one of the following formulas 2-1 to 2-6, and is represented by any one of the following formulas 2-1 to 2-5. More preferably a group represented by any one of the following formulas 2-1 to 2-3, and particularly preferably a group represented by the following formula 2-1. .

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式2−1〜式2−6中、Rは、水素原子又はメチル基を表し、波線部分は、式1の酸素原子との結合位置を表す。
式2−1〜式2−6におけるRは、得られる硬化膜の基材密着性の観点から、水素原子であることが好ましい。
In Formula 2-1 to Formula 2-6, R 9 represents a hydrogen atom or a methyl group, and a wavy line represents a bonding position with the oxygen atom of Formula 1.
R 9 in Formula 2-1 to Formula 2-6 is preferably a hydrogen atom from the viewpoint of substrate adhesion of the resulting cured film.

以下に式1で表される化合物の具体例を例示するが、これらに限定されない。また、下記チタン化合物のTiを、Zr又はCeに置き換えた化合物も例示できる。   Although the specific example of a compound represented by Formula 1 below is illustrated, it is not limited to these. Moreover, the compound which replaced Ti of the following titanium compound with Zr or Ce can be illustrated.

Figure 2016069345
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本発明の金属元素含有化合物の用途は、特に制限されないが、硬化性組成物や感光性組成物、レジスト組成物の成分として好適に用いることができる。また、後述するような層間絶縁膜(絶縁膜)やオーバーコート膜(保護膜)、屈折率調整膜の原料として好適に用いることができ、これら膜は、後述するような有機EL表示装置、液晶表示装置、及び、タッチパネル表示装置における絶縁層や保護層、屈折率調整層に好適に用いることができる。   Although the use of the metal element-containing compound of the present invention is not particularly limited, it can be suitably used as a component of a curable composition, a photosensitive composition, or a resist composition. Further, it can be suitably used as a raw material for an interlayer insulating film (insulating film), an overcoat film (protective film), and a refractive index adjusting film, which will be described later. It can be suitably used for an insulating layer, a protective layer, and a refractive index adjusting layer in a display device and a touch panel display device.

(硬化性組成物)
本発明の硬化性組成物(以下、単に「組成物」ともいう。)は、成分Aとして、式1で表される金属元素含有化合物を含有する。
また、本発明の硬化性組成物(以下、単に「組成物」ともいう。)は、成分Aとして、式1で表される金属元素含有化合物と、成分Bとして、成分A以外の重合性化合物とを含有することが好ましく、成分Aとして、式1で表される金属元素含有化合物と、成分Bとして、成分A以外の重合性化合物と、成分Cとして、光重合開始剤を含有することがより好ましい。
(Curable composition)
The curable composition of the present invention (hereinafter also simply referred to as “composition”) contains a metal element-containing compound represented by Formula 1 as Component A.
In addition, the curable composition of the present invention (hereinafter, also simply referred to as “composition”) includes, as component A, a metal element-containing compound represented by formula 1, and as component B, a polymerizable compound other than component A. It is preferable to contain a metal element-containing compound represented by Formula 1 as Component A, a polymerizable compound other than Component A as Component B, and a photopolymerization initiator as Component C. More preferred.

Figure 2016069345
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式1中、Mは、Ti、Zr又はCeを表し、R〜Rはそれぞれ独立に、アルキル基又は式2で表される基を表し、R〜Rの少なくとも1つは、式2で表される基又は式3で表される基である。 In Formula 1, M represents Ti, Zr or Ce, R 1 to R 4 each independently represents an alkyl group or a group represented by Formula 2, and at least one of R 1 to R 4 represents a formula 2 is a group represented by 2 or a group represented by Formula 3.

Figure 2016069345
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式2中、R及びRはそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、R及びRはともに水素原子を表すか、又は、RとRとが結合して炭化水素環を形成しており、また、R及びRが各炭素原子に結合した炭素−炭素結合は、単結合であっても二重結合であってもよく、Rは、水素原子又はメチル基を表し、波線部分は、式1の酸素原子との結合位置を表す。 In Formula 2, R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 7 and R 8 both represent a hydrogen atom, or R 7 and R 8 are bonded to form a hydrocarbon ring. The carbon-carbon bond in which R 7 and R 8 are bonded to each carbon atom may be a single bond or a double bond, and R 9 is a hydrogen atom or a methyl group The wavy line part represents the bonding position with the oxygen atom of Formula 1.

また、本発明の硬化性組成物は、ポジ型感光性組成物であっても、ネガ型感光性組成物であってもよいが、ネガ型感光性組成物であることが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、アルカリ現像液でのフォトリソグラフィーによるパターニングが可能であることが好ましい。
Moreover, although the curable composition of this invention may be a positive photosensitive composition or a negative photosensitive composition, it is preferable that it is a negative photosensitive composition.
The curable composition of the present invention is preferably capable of patterning by photolithography using an alkaline developer.

本発明者らは検討を行った結果、成分Aを含有することにより、得られる硬化膜の基材密着性に優れることを見いだし、本発明を完成するに至ったものである。
また、硬化性組成物が成分Aを含有することにより、理由は不明であるがパターニング性に優れると推定している。
更に、硬化性組成物が成分Aを含有することにより、得られる硬化膜においてM原子そのものの屈折率が高いことや、ゾルゲル反応によりM−O−M結合が形成されることにより、硬化膜の屈折率を向上できると推定している。
以下、本発明の硬化性組成物が含有する、各成分について説明する。
As a result of investigations, the present inventors have found that by containing Component A, the obtained cured film is excellent in substrate adhesion, and the present invention has been completed.
Moreover, although the reason is unknown because the curable composition contains Component A, it is estimated that the patterning property is excellent.
Furthermore, when the curable composition contains Component A, the resulting cured film has a high refractive index of the M atom itself, or a MOM bond is formed by a sol-gel reaction. It is estimated that the refractive index can be improved.
Hereinafter, each component which the curable composition of this invention contains is demonstrated.

成分A:式1で表される金属元素含有化合物
本発明の硬化性組成物は、式1で表される金属元素含有化合物を含有する。
本発明の硬化性組成物における式1で表される金属元素含有化合物は、上記本発明の金属元素含有化合物と同義であり、好ましい態様も同様である。
本発明の硬化性組成物は、成分Aを1種単独で含有していても、2種以上を含有していてもよい。
本発明の硬化性組成物における成分Aの含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.1〜80質量%であることが好ましく、0.5〜50質量%であることがより好ましく、1〜40質量%であることが更に好ましく、5〜35質量%であることが特に好ましい。
なお、本発明において、硬化性組成物における「固形分」とは、有機溶剤等の揮発性成分を除いた成分を意味する。
Component A: Metal element-containing compound represented by Formula 1 The curable composition of the present invention contains a metal element-containing compound represented by Formula 1.
The metal element-containing compound represented by Formula 1 in the curable composition of the present invention is synonymous with the metal element-containing compound of the present invention, and the preferred embodiments are also the same.
The curable composition of this invention may contain the component A individually by 1 type, or may contain 2 or more types.
The content of Component A in the curable composition of the present invention is preferably 0.1 to 80% by mass, and 0.5 to 50% by mass, based on the total solid content of the curable composition. Is more preferable, it is still more preferable that it is 1-40 mass%, and it is especially preferable that it is 5-35 mass%.
In the present invention, the “solid content” in the curable composition means a component excluding a volatile component such as an organic solvent.

成分B:成分A以外の重合性化合物
本発明の硬化性組成物は、成分Bとして、成分A以外の重合性化合物を含有することが好ましい。
本発明に用いられる成分Bの分子量(分子量分布を有する場合には、重量平均分子量)は、硬化膜の硬度の観点から、100〜10,000であり、200〜5,000であることが好ましく、300〜3,000であることがより好ましい。
本発明に用いられる成分Bとしては、特に制限はないが、エチレン性不飽和化合物であることが好ましく、(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。このような化合物は当該技術分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。
これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。
成分Bは、少なくとも多官能重合性化合物を含むことが好ましく、硬化性組成物中の成分Bの全質量に対し、50質量%以上が多官能重合性化合物であることが好ましく、80質量%以上が多官能重合性化合物であることがより好ましく、90質量%以上が多官能重合性化合物であることが更に好ましく、90質量%以上が多官能重合性化合物であることが特に好ましい。
Component B: Polymerizable compound other than Component A The curable composition of the present invention preferably contains a polymerizable compound other than Component A as Component B.
The molecular weight of component B used in the present invention (in the case of having a molecular weight distribution, the weight average molecular weight) is 100 to 10,000, preferably 200 to 5,000, from the viewpoint of the hardness of the cured film. 300 to 3,000 is more preferable.
Although there is no restriction | limiting in particular as Component B used for this invention, It is preferable that it is an ethylenically unsaturated compound, and it is more preferable that it is a (meth) acrylate compound. Such compounds are widely known in the technical field, and can be used without particular limitation in the present invention.
These have chemical forms such as monomers, prepolymers, i.e. dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof and copolymers thereof.
Component B preferably contains at least a polyfunctional polymerizable compound, and preferably 50% by mass or more is a polyfunctional polymerizable compound, based on the total mass of Component B in the curable composition, and is 80% by mass or more. Is more preferably a polyfunctional polymerizable compound, more preferably 90% by mass or more is a polyfunctional polymerizable compound, and particularly preferably 90% by mass or more is a polyfunctional polymerizable compound.

モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル類あるいは不飽和カルボン酸アミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類あるいはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいは不飽和カルボン酸アミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物;更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいは不飽和カルボン酸アミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。   Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), and esters and amides thereof. In this case, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or unsaturated carboxylic acid amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, an amino group or a mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and A dehydration condensation reaction product with a monofunctional or polyfunctional carboxylic acid is also preferably used. In addition, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or unsaturated carboxylic acid amide having an electrophilic substituent such as an isocyanate group or an epoxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine, or thiol; Furthermore, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or unsaturated carboxylic acid amide having a leaving group such as a halogen group or a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable. It is. As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリス(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリス(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸エチレンオキサイド(EO)変性トリアクリレート等が挙げられる。   Specific examples of the monomer of an ester of an aliphatic polyhydric alcohol compound and an unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters such as ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, and tetramethylene glycol. Diacrylate, propylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tris (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate , Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate Pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tris (acryloyloxyethyl) isocyanurate, Polyester acrylate oligomers, isocyanuric acid ethylene oxide (EO) modified triacrylates, and the like.

メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス〔p−(メタクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタン等が挙げられる。   Methacrylic acid esters include tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, Hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy- 2-hydroxypro ) Phenyl] dimethyl methane, bis [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane, and the like.

イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等が挙げられる。
クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等が挙げられる。
イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等が挙げられる。
マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等が挙げられる。
Itaconic acid esters include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate Sorbitol tetritaconate and the like.
Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate.
Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate.
Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334号公報、特開昭57−196231号公報記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240号公報、特開昭59−5241号公報、特開平2−226149号公報記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613号公報記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。   Examples of other esters include aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, and JP-A-59-5241. And those having an aromatic skeleton described in JP-A-2-226149 and those containing an amino group described in JP-A-1-165613. Furthermore, the ester monomers described above can also be used as a mixture.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビスアクリルアミド、メチレンビスメタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビスアクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビスメタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等が挙げられる。
その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726号公報記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。
Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bisacrylamide, methylene bismethacrylamide, 1,6-hexamethylene bisacrylamide, 1,6-hexamethylene bismethacrylic. Examples include amide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, and xylylene bismethacrylamide.
Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B No. 54-21726.

また、イソシアネート基と水酸基との付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記式Bで表され、水酸基を有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上のビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。
C=C(RB1)COOCHCH(RB2)OH (B)
式B中、RB1及びRB2はそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
Also suitable are urethane-based addition-polymerizable compounds produced using an addition reaction between an isocyanate group and a hydroxyl group, and specific examples thereof are described in, for example, Japanese Patent Publication No. 48-41708. A vinyl urethane compound containing two or more vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer having a hydroxyl group represented by the following formula B to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups in one molecule. Can be mentioned.
H 2 C═C (R B1 ) COOCH 2 CH (R B2 ) OH (B)
In Formula B, R B1 and R B2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.

また、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。   Also, urethane acrylates such as those described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, JP-B-2-16765, JP-B-58-49860, JP-B-56- Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in Japanese Patent No. 17654, Japanese Patent Publication No. 62-39417, and Japanese Patent Publication No. 62-39418 are also suitable. Furthermore, by using polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. Can obtain a photosensitive resin composition having an excellent photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号、各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させて得られたたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号公報、特公平1−40337号公報、特公平1−40336号公報記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号公報記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号公報記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に、日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に記載されている光硬化性モノマー及びオリゴマーも使用することができる。   Other examples include polyester acrylates, epoxy resins and (meth) acrylic acid as described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52-30490, and JP-A-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates obtained by reaction. Also, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337, JP-B-1-40336, vinylphosphonic acid compounds described in JP-A-2-25493, and the like Can be mentioned. In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used. Furthermore, the Japan Adhesion Association magazine vol. 20, no. 7, 300-308 (1984), photocurable monomers and oligomers can also be used.

これらの重合性化合物について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、硬化性組成物の最終的な性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では1分子あたりのエチレン性不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。
また、硬化性組成物に含有される他の成分(例えば、重合開始剤、バインダーポリマー等)との相溶性、分散性に対しても、重合性化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の他の成分の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板などの硬質表面との密着性を向上させる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
About these polymeric compounds, the details of usage methods, such as the structure, single use, combined use, and addition amount, can be arbitrarily set according to the final performance design of a curable composition. For example, it is selected from the following viewpoints.
From the viewpoint of sensitivity, a structure having a large content of ethylenically unsaturated groups per molecule is preferable, and in many cases, a bifunctional or higher functionality is preferable. Further, in order to increase the strength of the cured film, those having three or more functionalities are preferable, and further, different functional numbers and different polymerizable groups (for example, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, styrene compound, vinyl ether compound). A method of adjusting both sensitivity and intensity by using a combination of these is also effective.
In addition, the selection and use method of the polymerizable compound is an important factor for the compatibility and dispersibility with other components (for example, polymerization initiator, binder polymer, etc.) contained in the curable composition. For example, the compatibility may be improved by using a low-purity compound or using two or more other components in combination. In addition, a specific structure may be selected for the purpose of improving adhesion to a hard surface such as a substrate.

これらの中でも、成分Bとして、トリメチロールプロパントリアクリレート、及び/又は、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを少なくとも含むことが好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを少なくとも含むことがより好ましい。
成分Bは、1種単独で含有しても、2種以上を含有してもよい。
本発明の硬化性組成物における成分Bの含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、5〜99質量%であることが好ましく、10〜95質量%であることがより好ましく、30〜92質量%であることが更に好ましく、50〜90質量%であることが特に好ましい。
Among these, as component B, it is preferable that at least trimethylolpropane triacrylate and / or dipentaerythritol hexaacrylate is included, and it is more preferable that at least dipentaerythritol hexaacrylate is included.
Component B may be contained singly or in combination of two or more.
The content of Component B in the curable composition of the present invention is preferably 5 to 99% by mass, more preferably 10 to 95% by mass, based on the total solid content of the curable composition. It is more preferable that it is 30-92 mass%, and it is especially preferable that it is 50-90 mass%.

成分C:光重合開始剤
本発明の硬化性組成物は、成分Cとして、光重合開始剤を含有する。
光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤を含むことが好ましい。
本発明に用いることができる光ラジカル重合開始剤は、光により成分Aや成分B等の重合を開始、促進可能な化合物である。
「光」とは、その照射により成分Cより開始種を発生させることができるエネルギーを付与することができる活性エネルギー線であれば、特に制限はなく、広くα線、γ線、X線、紫外線(UV)、可視光線、電子線などを包含するものである。これらの中でも、紫外線を少なくとも含む光が好ましい。
Component C: Photopolymerization initiator The curable composition of the present invention contains a photopolymerization initiator as Component C.
The photopolymerization initiator preferably contains a photoradical polymerization initiator.
The radical photopolymerization initiator that can be used in the present invention is a compound that can initiate and accelerate polymerization of component A, component B, and the like by light.
The “light” is not particularly limited as long as it is an active energy ray capable of imparting energy capable of generating a starting species from the component C by irradiation, and is widely limited to α rays, γ rays, X rays, ultraviolet rays. (UV), visible light, electron beam, and the like. Among these, light containing at least ultraviolet rays is preferable.

光重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル化合物、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物が挙げられる。これらの中でも、感度の点から、オキシムエステル化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物が好ましく、オキシムエステル化合物がより好ましい。   Examples of the photopolymerization initiator include oxime ester compounds, organic halogenated compounds, oxydiazole compounds, carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocenes. Examples include compounds, hexaarylbiimidazole compounds, organic boric acid compounds, disulfonic acid compounds, onium salt compounds, and acylphosphine (oxide) compounds. Among these, oxime ester compounds and hexaarylbiimidazole compounds are preferable from the viewpoint of sensitivity, and oxime ester compounds are more preferable.

オキシムエステル化合物としては、特開2000−80068号公報、特開2001−233842号公報、特表2004−534797号公報、特開2007−231000号公報、特開2009−134289号公報に記載の化合物を使用できる。
オキシムエステル化合物は、下記式c−1又は式c−2で表される化合物であることが好ましい。
Examples of the oxime ester compound include compounds described in JP-A No. 2000-80068, JP-A No. 2001-233842, JP-T No. 2004-534797, JP-A No. 2007-231000, and JP-A No. 2009-134289. Can be used.
The oxime ester compound is preferably a compound represented by the following formula c-1 or formula c-2.

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式c−1又は式c−2中、Arは芳香族基又はヘテロ芳香族基を表し、RC1はアルキル基、芳香族基又はアルキルオキシ基を表し、RC2は水素原子又はアルキル基を表し、更にRC2はAr基と結合し環を形成してもよい。 In formula c-1 or c-2, Ar represents an aromatic group or a heteroaromatic group, R C1 represents an alkyl group, an aromatic group or an alkyloxy group, and R C2 represents a hydrogen atom or an alkyl group. Furthermore, R C2 may be bonded to an Ar group to form a ring.

式c−1又は式c−2中、Arは、芳香族基又はヘテロ芳香族基を表し、ベンゼン環化合物、ナフタレン環化合物又はカルバゾール環化合物から水素原子を1つ除いた基であることが好ましく、RC2と共に環を形成したナフタレニル基、カルバゾイル基がより好ましい。ヘテロ芳香族基におけるヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子が好ましく挙げられる。
C1は、アルキル基、芳香族基又はアルキルオキシ基を表し、メチル基、エチル基、ベンジル基、フェニル基、ナフチル基、メトキシ基又はエトキシ基が好ましく、メチル基、エチル基、フェニル基又はメトキシ基がより好ましい。
C2は、水素原子又はアルキル基を表し、水素原子又は置換アルキル基が好ましく、水素原子、Arと共に環を形成する置換アルキル基又はトルエンチオアルキル基がより好ましい。
また、Arは、炭素数4〜20の基であることが好ましく、RC1は、炭素数1〜30の基であることが好ましく、また、RC2は、炭素数1〜50の基であることが好ましい。
In Formula c-1 or Formula c-2, Ar represents an aromatic group or a heteroaromatic group, and is preferably a group obtained by removing one hydrogen atom from a benzene ring compound, a naphthalene ring compound, or a carbazole ring compound. , A naphthalenyl group or a carbazoyl group in which a ring is formed with R C2 is more preferable. Preferable examples of the hetero atom in the heteroaromatic group include a nitrogen atom, an oxygen atom, and a sulfur atom.
R C1 represents an alkyl group, an aromatic group or an alkyloxy group, preferably a methyl group, an ethyl group, a benzyl group, a phenyl group, a naphthyl group, a methoxy group or an ethoxy group, and a methyl group, an ethyl group, a phenyl group or a methoxy group Groups are more preferred.
R C2 represents a hydrogen atom or an alkyl group, preferably a hydrogen atom or a substituted alkyl group, and more preferably a substituted alkyl group or a toluenethioalkyl group that forms a ring with the hydrogen atom or Ar.
Ar is preferably a group having 4 to 20 carbon atoms, R C1 is preferably a group having 1 to 30 carbon atoms, and R C2 is a group having 1 to 50 carbon atoms. It is preferable.

オキシムエステル化合物は、下記式c−3、式c−4又は式c−5で表される化合物であることが更に好ましい。   The oxime ester compound is more preferably a compound represented by the following formula c-3, formula c-4 or formula c-5.

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式c−3〜式c−5中、RC7はアルキル基、芳香族基又はアルコキシ基を表し、XCは−CH2−、−C24−、−O−又は−S−を表し、RC3はそれぞれ独立に、ハロゲン原子を表し、RC4はそれぞれ独立に、アルキル基、フェニル基、アルキル置換アミノ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アルコキシ基、アリールオキシ基又はハロゲン原子を表し、RC5は水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、RC6はアルキル基を表し、n1及びn2はそれぞれ独立に、0〜6の整数を表し、n3は0〜5の整数を表す。 In formula c-3 to formula c-5, R C7 represents an alkyl group, an aromatic group or an alkoxy group, and X C represents —CH 2 —, —C 2 H 4 —, —O— or —S—. R C3 each independently represents a halogen atom, R C4 each independently represents an alkyl group, a phenyl group, an alkyl-substituted amino group, an arylthio group, an alkylthio group, an alkoxy group, an aryloxy group or a halogen atom, C5 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, R C6 represents an alkyl group, n1 and n2 each independently represents an integer of 0 to 6, and n3 represents an integer of 0 to 5.

C7はアルキル基、芳香族基又はアルコキシ基を表し、RC11−X’−アルキレン基−で表される基(RC11はアルキル基又はアリール基を表し、X’は硫黄原子又は酸素原子を表す。)が好ましい。RC11はアリール基が好ましく、フェニル基がより好ましい。R11としての、アルキル基及びアリール基は、ハロゲン原子(好ましくは、フッ素原子、塩素原子若しくは臭素原子)又はアルキル基で置換されていてもよい。
Cは硫黄原子が好ましい。
C3及びRC4は、芳香環上の任意の位置で結合することができる。
C4はアルキル基、フェニル基、アルキル置換アミノ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アルコキシ基、アリールオキシ基又はハロゲン原子を表し、アルキル基、フェニル基、アリールチオ基又はハロゲン原子が好ましく、アルキル基、アリールチオ基又はハロゲン原子がより好ましく、アルキル基又はハロゲン原子が更に好ましい。アルキル基としては、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子又はフッ素原子が好ましい。
また、RC4の炭素数は、0〜50であることが好ましく、0〜20であることがより好ましい。
C5は水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。アリール基としては、炭素数6〜10のアリール基が好ましい。
C6はアルキル基を表し、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。
n1及びn2はそれぞれ、式c−3又は式c−4における芳香環上のRC3の置換数を表し、n3は式5における芳香環上のRC4の置換数を表す。
n1〜n3はそれぞれ独立に、0〜2の整数であることが好ましく、0又は1であることがより好ましい。
R C7 represents an alkyl group, an aromatic group or an alkoxy group, and a group represented by R C11 —X′-alkylene group— (R C11 represents an alkyl group or an aryl group, and X ′ represents a sulfur atom or an oxygen atom. Are preferred). R C11 is preferably an aryl group, more preferably a phenyl group. The alkyl group and aryl group as R 11 may be substituted with a halogen atom (preferably a fluorine atom, a chlorine atom or a bromine atom) or an alkyl group.
X C is preferably a sulfur atom.
R C3 and R C4 can be bonded at any position on the aromatic ring.
R C4 represents an alkyl group, a phenyl group, an alkyl-substituted amino group, an arylthio group, an alkylthio group, an alkoxy group, an aryloxy group or a halogen atom, preferably an alkyl group, a phenyl group, an arylthio group or a halogen atom, an alkyl group, an arylthio group A group or a halogen atom is more preferred, and an alkyl group or a halogen atom is still more preferred. As an alkyl group, a C1-C5 alkyl group is preferable and a methyl group or an ethyl group is more preferable. As a halogen atom, a chlorine atom, a bromine atom, or a fluorine atom is preferable.
The number of carbon atoms of R C4 is preferably 0 to 50, and more preferably from 0 to 20.
R C5 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, preferably an alkyl group. As an alkyl group, a C1-C5 alkyl group is preferable and a methyl group or an ethyl group is more preferable. As the aryl group, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms is preferable.
R C6 represents an alkyl group, preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and more preferably a methyl group or an ethyl group.
n1 and n2 each represent the number of substitution of R C3 on the aromatic ring in formula c-3 or formula c-4, and n3 represents the number of substitution of R C4 on the aromatic ring in formula 5.
n1 to n3 are each independently preferably an integer of 0 to 2, and more preferably 0 or 1.

以下に、本発明で好ましく用いられるオキシムエステル化合物の例を示す。しかしながら、本発明で用いられるオキシムエステル化合物がこれらに限定されるものではないことは言うまでもない。なお、Meはメチル基を表し、Phはフェニル基を表す。また、これら化合物におけるオキシムの二重結合のシス−トランス異性は、EZのどちら一方であっても、EZの混合物であってもよい。   Below, the example of the oxime ester compound preferably used by this invention is shown. However, it goes without saying that the oxime ester compounds used in the present invention are not limited to these. Me represents a methyl group and Ph represents a phenyl group. Further, the cis-trans isomerism of the double bond of oxime in these compounds may be either one of EZ or a mixture of EZ.

Figure 2016069345
Figure 2016069345

Figure 2016069345
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有機ハロゲン化化合物の例としては、具体的には、若林等、「Bull Chem. Soc. Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号公報、特開昭48−36281号公報、特開昭55−32070号公報、特開昭60−239736号公報、特開昭61−169835号公報、特開昭61−169837号公報、特開昭62−58241号公報、特開昭62−212401号公報、特開昭63−70243号公報、特開昭63−298339号公報、M.P.Hutt“Journal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)等に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、s−トリアジン化合物が挙げられる。   Specific examples of the organic halogenated compounds include Wakabayashi et al., “Bull Chem. Soc. Japan” 42, 2924 (1969), US Pat. No. 3,905,815, and Japanese Examined Patent Publication No. 46-4605. JP, 48-34881, JP 55-3070, JP 60-239736, JP 61-169835, JP 61-169837, JP 62-58241, JP-A 62-212401, JP-A 63-70243, JP-A 63-298339, M.S. P. Examples include compounds described in Hutt “Journal of Heterocyclic Chemistry” 1 (No. 3), (1970), and particularly, oxazole compounds substituted with a trihalomethyl group and s-triazine compounds.

ヘキサアリールビイミダゾール化合物の例としては、例えば、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書に記載の種々の化合物が挙げられる。   Examples of hexaarylbiimidazole compounds include, for example, JP-B-6-29285, US Pat. Nos. 3,479,185, 4,311,783, and 4,622,286. Examples include various compounds described in the specification.

アシルホスフィン(オキシド)化合物としては、モノアシルホスフィンオキサイド化合物、及び、ビスアシルホスフィンオキサイド化合物が例示でき、具体的には例えば、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア819、ダロキュア4265、ダロキュアTPOなどが挙げられる。   Examples of the acylphosphine (oxide) compounds include monoacylphosphine oxide compounds and bisacylphosphine oxide compounds. Specific examples include Irgacure 819, Darocur 4265, Darocur TPO, etc. manufactured by Ciba Specialty Chemicals. Can be mentioned.

光重合開始剤は、1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
本発明の硬化性組成物における光重合開始剤の総量は、硬化性組成物中の全固形分100質量部に対して、0.05〜30質量部であることが好ましく、0.1〜20質量部であることがより好ましく、0.5〜10質量部であることが更に好ましく、1〜5質量部であることが特に好ましい。
A photoinitiator can be used 1 type or in combination of 2 or more types.
The total amount of the photopolymerization initiator in the curable composition of the present invention is preferably 0.05 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total solid content in the curable composition. It is more preferable that it is a mass part, it is still more preferable that it is 0.5-10 mass parts, and it is especially preferable that it is 1-5 mass parts.

<増感剤>
本発明の硬化性組成物には、光重合開始剤の他に、増感剤を加えることもできる。
増感剤は、活性光線又は放射線を吸収して励起状態となる。励起状態となった増感剤は、成分Bとの相互作用により、電子移動、エネルギー移動、発熱などの作用が生じ、重合を開始・促進できる。
本発明において用いることができる典型的な増感剤としては、クリベロ〔J. V. Crivello, Adv. in Polymer Sci., 62, 1 (1984)〕に開示しているものが挙げられ、具体的には、ピレン、ペリレン、アクリジンオレンジ、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、ベンゾフラビン、N−ビニルカルバゾール、9,10−ジブトキシアントラセン、アントラキノン、クマリン、ケトクマリン、フェナントレン、カンファーキノン、フェノチアジン誘導体などを挙げることができる。増感剤は、光重合開始剤に対し、50〜200質量%の割合で添加することが好ましい。
<Sensitizer>
In addition to the photopolymerization initiator, a sensitizer can be added to the curable composition of the present invention.
The sensitizer absorbs actinic rays or radiation and enters an excited state. The sensitizer in the excited state is capable of initiating / promoting polymerization by causing an action such as electron transfer, energy transfer, and heat generation due to the interaction with the component B.
Typical sensitizers that can be used in the present invention include those disclosed in Crivello [JV Crivello, Adv. In Polymer Sci., 62, 1 (1984)]. Examples include pyrene, perylene, acridine orange, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, benzoflavin, N-vinylcarbazole, 9,10-dibutoxyanthracene, anthraquinone, coumarin, ketocoumarin, phenanthrene, camphorquinone, and phenothiazine derivatives. The sensitizer is preferably added in a proportion of 50 to 200% by mass with respect to the photopolymerization initiator.

成分D:バインダーポリマー
本発明の硬化性組成物は、解像性及び皮膜特性向上などの観点から、バインダーポリマーを含むことが好ましい。
上記バインダーポリマーは、アルカリ現像性ポリマーであることが好ましい。
アルカリ現像性ポリマーとは、アルカリ現像可能なポリマーのことであり、アルカリ水溶液に接した場合に、溶解性及び/又は膨潤性を示すポリマーである。
アルカリ現像性ポリマーが有するアルカリ現像性基としては、特に制限はないが、カルボキシル基又はヒドロキシ基が好ましく挙げられる。
また、上記バインダーポリマーとしては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用でき、アクリル系ポリマーであることが好ましい。好ましくは水現像及び/又は弱アルカリ水現像を可能とするために、水若しくは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭54−92723号公報公報、特開昭59−53836号公報、特開昭59−71048号公報に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解若しくはハーフエステル化若しくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。
カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4−カルボキシルスチレン等が挙げられる。
酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また、同様に側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体が挙げられる。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
Component D: Binder polymer It is preferable that the curable composition of this invention contains a binder polymer from a viewpoint of a resolution, a film | membrane characteristic improvement, etc.
The binder polymer is preferably an alkali developable polymer.
The alkali-developable polymer is a polymer that can be alkali-developable, and is a polymer that exhibits solubility and / or swelling when in contact with an alkaline aqueous solution.
The alkali-developable group possessed by the alkali-developable polymer is not particularly limited, but preferably includes a carboxyl group or a hydroxy group.
Moreover, it is preferable to use a linear organic polymer as the binder polymer. As such a linear organic polymer, a known one can be arbitrarily used, and an acrylic polymer is preferable. Preferably, a linear organic polymer that is soluble or swellable in water or weak alkaline water is selected in order to enable water development and / or weak alkaline water development. The linear organic polymer is selected and used not only as a film forming agent but also according to the use as water, weak alkaline water or an organic solvent developer. For example, when a water-soluble organic polymer is used, water development becomes possible. Examples of such linear organic polymers include radical polymers having a carboxylic acid group in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-sho. No. 54-25957, JP-A-54-92723, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, ie, a monomer having a carboxyl group alone or Copolymerized resin, acid anhydride monomer alone or copolymerized, acid anhydride unit hydrolyzed, half esterified or half amidated, epoxy resin unsaturated monocarboxylic acid and acid anhydride Examples include modified epoxy acrylate.
Examples of the monomer having a carboxyl group include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, and 4-carboxylstyrene.
Examples of the monomer having an acid anhydride include maleic anhydride.
Similarly, an acidic cellulose derivative having a carboxylic acid group in the side chain can be mentioned. In addition, those obtained by adding a cyclic acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group are useful.

本発明において、バインダーポリマーとして、共重合体を用いる場合、共重合させる化合物として、先に挙げたモノマー以外の他のモノマーを用いることもできる。他のモノマーの例としては、下記(1)〜(12)の化合物が挙げられる。   In the present invention, when a copolymer is used as the binder polymer, a monomer other than the above-mentioned monomers can be used as the compound to be copolymerized. Examples of other monomers include the following compounds (1) to (12).

(1)2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類。
(2)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、2−フェニルビニルアクリレート、1−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
(1) 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate Acrylic acid esters and methacrylic acid esters having an aliphatic hydroxyl group such as
(2) Methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, amyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, octyl acrylate, benzyl acrylate, acrylic acid-2- Alkyl acrylates such as chloroethyl, glycidyl acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate, vinyl acrylate, 2-phenylvinyl acrylate, 1-propenyl acrylate, allyl acrylate, 2-allyloxyethyl acrylate, propargyl acrylate;

(3)メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルメタクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、ビニルメタクリレート、2−フェニルビニルメタクリレート、1−プロペニルメタクリレート、アリルメタクリレート、2−アリロキシエチルメタクリレート、プロパルギルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
(4)アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−ヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ニトロフェニルアクリルアミド、N−エチル−N−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、N,N−ジアリルアクリルアミド、N,N−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
(3) Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, amyl methacrylate, hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, methacrylic acid-2- Alkyl methacrylates such as chloroethyl, glycidyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, vinyl methacrylate, 2-phenylvinyl methacrylate, 1-propenyl methacrylate, allyl methacrylate, 2-allyloxyethyl methacrylate, and propargyl methacrylate.
(4) Acrylamide, methacrylamide, N-methylolacrylamide, N-ethylacrylamide, N-hexylmethacrylamide, N-cyclohexylacrylamide, N-hydroxyethylacrylamide, N-phenylacrylamide, N-nitrophenylacrylamide, N-ethyl- Acrylamide or methacrylamide such as N-phenylacrylamide, vinylacrylamide, vinylmethacrylamide, N, N-diallylacrylamide, N, N-diallylmethacrylamide, allylacrylamide, allylmethacrylamide.

(5)エチルビニルエーテル、2−クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
(6)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
(7)スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン等のスチレン類。
(8)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
(9)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
(5) Vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, 2-chloroethyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, octyl vinyl ether, and phenyl vinyl ether.
(6) Vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl chloroacetate, vinyl butyrate and vinyl benzoate.
(7) Styrenes such as styrene, α-methylstyrene, methylstyrene, chloromethylstyrene, and p-acetoxystyrene.
(8) Vinyl ketones such as methyl vinyl ketone, ethyl vinyl ketone, propyl vinyl ketone, and phenyl vinyl ketone.
(9) Olefins such as ethylene, propylene, isobutylene, butadiene, and isoprene.

(10)N−ビニルピロリドン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等。
(11)マレイミド、N−アクリロイルアクリルアミド、N−アセチルメタクリルアミド、N−プロピオニルメタクリルアミド、N−(p−クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
(12)α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特開2002−309057号、特開2002−311569号等の各公報に記載の化合物を挙げることができる。
(10) N-vinylpyrrolidone, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like.
(11) Unsaturated imides such as maleimide, N-acryloylacrylamide, N-acetylmethacrylamide, N-propionylmethacrylamide, N- (p-chlorobenzoyl) methacrylamide.
(12) A methacrylic acid monomer having a hetero atom bonded to the α-position. Examples thereof include compounds described in JP-A Nos. 2002-309057 and 2002-311569.

これらの中で、側鎖にアリル基やビニルエステル基とカルボキシル基を有する(メタ)アクリル樹脂及び特開2000−187322号公報、特開2002−62698号公報に記載されている側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂や、特開2001−242612号公報に記載されている側鎖にアミド基を有するアルカリ可溶性樹脂が膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。   Among these, a (meth) acrylic resin having an allyl group, a vinyl ester group, and a carboxyl group in the side chain and a side chain described in JP-A Nos. 2000-187322 and 2002-62698 are doubled. An alkali-soluble resin having a bond and an alkali-soluble resin having an amide group in the side chain described in JP-A No. 2001-242612 are preferable because of excellent balance of film strength, sensitivity, and developability.

また、特公平7−12004号公報、特公平7−120041号公報、特公平7−120042号公報、特公平8−12424号公報、特開昭63−287944号公報、特開昭63−287947号公報、特開平1−271741号公報等に記載される酸基を含有するウレタン系バインダーポリマーや、特開2002−107918号公報に記載される酸基と二重結合を側鎖に有するウレタン系バインダーポリマーは、非常に、強度に優れるので、膜強度・低露光適性の点で有利である。
また、欧州特許第993966号、欧州特許第1204000号、特開2001−318463号公報等に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
更にこの他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンとエピクロロヒドリンとのポリエーテル等も有用である。
Also, Japanese Patent Publication No. 7-12004, Japanese Patent Publication No. 7-120041, Japanese Patent Publication No. 7-120042, Japanese Patent Publication No. 8-12424, Japanese Patent Publication No. 63-287944, Japanese Patent Publication No. 63-287947. Urethane binder polymer containing an acid group described in JP-A No. 1-271741 and the like, and urethane binder having an acid group and a double bond in a side chain described in JP-A No. 2002-107918 Since the polymer is extremely excellent in strength, it is advantageous in terms of film strength and suitability for low exposure.
Further, the acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder polymer having an acid group described in European Patent No. 993966, European Patent No. 1204000, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-318463, etc. has an excellent balance of film strength and developability, Is preferred.
In addition, polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, and the like are useful as the water-soluble linear organic polymer. In order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane and epichlorohydrin, and the like are also useful.

バインダーポリマーの重量平均分子量としては、5,000以上であることが好ましく、1万以上30万以下であることがより好ましく、数平均分子量については、1,000以上であることが好ましく、2,000以上25万以下であることがより好ましい。多分散度(重量平均分子量/数平均分子量)は、1以上が好ましく、1.1以上10以下がより好ましい。
これらのバインダーポリマーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
The weight average molecular weight of the binder polymer is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 or more and 300,000 or less, and the number average molecular weight is preferably 1,000 or more, More preferably, it is 000 or more and 250,000 or less. The polydispersity (weight average molecular weight / number average molecular weight) is preferably 1 or more, and more preferably 1.1 or more and 10 or less.
These binder polymers may be any of random polymers, block polymers, graft polymers and the like.

本発明で用いることができるバインダーポリマーは、従来公知の方法により合成できる。合成する際に用いられる溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられる。これらの溶媒は単独で又は2種以上混合して用いられる。
本発明に用いることができるバインダーポリマーをラジカル重合によって合成する場合に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。
The binder polymer that can be used in the present invention can be synthesized by a conventionally known method. Examples of the solvent used in the synthesis include tetrahydrofuran, ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, 1-methoxy. Examples include 2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, toluene, ethyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, dimethyl sulfoxide, and water. These solvents are used alone or in combination of two or more.
Examples of the radical polymerization initiator used when the binder polymer that can be used in the present invention is synthesized by radical polymerization include known compounds such as an azo initiator and a peroxide initiator.

バインダーポリマーは、1種単独で含有しても、2種以上を含有してもよい。
本発明の硬化性組成物におけるバインダーポリマーの含有量は、硬化性組成物の全固形分に対し、1〜60質量%であることが好ましく、3〜60質量%であることがより好ましく、4〜40質量%であることが更に好ましい。
A binder polymer may contain individually by 1 type, or may contain 2 or more types.
The content of the binder polymer in the curable composition of the present invention is preferably 1 to 60% by mass, more preferably 3 to 60% by mass, based on the total solid content of the curable composition. More preferably, it is -40 mass%.

成分E:溶剤
本発明の硬化性組成物は、成分Eとして、溶剤を含有することが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、必須成分である成分Aと、任意成分とを、溶剤に溶解した溶液として調製されることが好ましい。
成分Eとしては、有機溶剤が好ましく、本発明の硬化性組成物に使用される有機溶剤としては、公知の溶剤を用いることができ、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、ブチレングリコールジアセテート類、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、アルコール類、エステル類、ケトン類、アミド類、ラクトン類等が例示できる。これらの有機溶剤の具体例としては、特開2009−098616号公報の段落0062を参照できる。
Component E: Solvent The curable composition of the present invention preferably contains a solvent as Component E.
It is preferable that the curable composition of this invention is prepared as a solution which melt | dissolved the component A which is an essential component, and an arbitrary component in the solvent.
Component E is preferably an organic solvent, and known solvents can be used as the organic solvent used in the curable composition of the present invention, such as ethylene glycol monoalkyl ethers, ethylene glycol dialkyl ethers, ethylene glycol. Monoalkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol dialkyl ethers, propylene glycol monoalkyl ether acetates, diethylene glycol dialkyl ethers, diethylene glycol monoalkyl ether acetates, dipropylene glycol monoalkyl ethers, butylene glycol di Acetates, dipropylene glycol dialkyl ethers, dipropylene glycol monoalkyl ether acetates, Alcohols, esters, ketones, amides, lactones and the like. As specific examples of these organic solvents, reference can be made to paragraph 0062 of JP-A-2009-098616.

具体的には、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、1,3−ブチレングリコールジアセテート、シクロヘキサノールアセテート、プロピレングリコールジアセテート、テトラヒドロフルフリルアルコールが好ましい。   Specifically, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol monomethyl ether, 1,3-butylene glycol diacetate, cyclohexanol acetate, propylene glycol diacetate, and tetrahydrofurfuryl alcohol are preferable.

有機溶剤の沸点は、塗布性の観点から100℃〜300℃が好ましく、120℃〜250℃がより好ましい。
本発明に用いることができる溶剤は、1種単独、又は、2種以上を併用することができる。沸点の異なる溶剤を併用することも好ましい。
本発明の硬化性組成物における溶剤の含有量は、塗布に適した粘度に調整するという観点から、硬化性組成物の全固形分100質量部あたり、100〜3,000質量部であることが好ましく、200〜2,000質量部であることがより好ましく、250〜1,000質量部であることが更に好ましい。
硬化性組成物の固形分濃度としては、3〜50質量%が好ましく、20〜40質量%であることがより好ましい。
The boiling point of the organic solvent is preferably 100 ° C to 300 ° C, more preferably 120 ° C to 250 ° C, from the viewpoint of applicability.
The solvent which can be used for this invention can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. It is also preferred to use solvents having different boiling points in combination.
The content of the solvent in the curable composition of the present invention is 100 to 3,000 parts by mass per 100 parts by mass of the total solid content of the curable composition from the viewpoint of adjusting to a viscosity suitable for coating. Preferably, it is 200 to 2,000 parts by mass, and more preferably 250 to 1,000 parts by mass.
As solid content concentration of a curable composition, 3-50 mass% is preferable and it is more preferable that it is 20-40 mass%.

硬化性組成物の粘度は、1〜200mPa・sが好ましく、2〜100mPa・sがより好ましく、3〜80mPa・sが最も好ましい。粘度は、例えば、東機産業(株)製のRE−80L型回転粘度計を用いて、25±0.2℃で測定することが好ましい。測定時の回転速度は、5mPa・s未満は100rpm、5mPa・s以上10mPa・s未満は50rpm、10mPa・s以上30mPa・s未満は20rpm、30mPa・s以上は10rpmで、それぞれ行うことが好ましい。   The viscosity of the curable composition is preferably 1 to 200 mPa · s, more preferably 2 to 100 mPa · s, and most preferably 3 to 80 mPa · s. The viscosity is preferably measured at 25 ± 0.2 ° C. using, for example, a RE-80L rotational viscometer manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd. The rotation speed during measurement is preferably 100 rpm for less than 5 mPa · s, 50 rpm for 5 mPa · s to less than 10 mPa · s, 20 rpm for 10 mPa · s to less than 30 mPa · s, and 10 rpm for 30 mPa · s or more.

成分F:界面活性剤
本発明の硬化性組成物は、界面活性剤を含有してもよい。
界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、又は、両性のいずれでも使用することができるが、好ましい界面活性剤はノニオン系界面活性剤である。界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤が好ましく、フッ素系界面活性剤がより好ましい。
本発明に用いることができる界面活性剤としては、例えば、市販品である、メガファックF142D、同F172、同F173、同F176、同F177、同F183、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781、同F781−F、同R30、同R08、同F−472SF、同BL20、同R−61、同R−90(DIC(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431、Novec FC−4430(住友スリーエム(株)製)、アサヒガードAG7105,7000,950,7600、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145、同S−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(旭硝子(株)製)、エフトップEF351、同352、同801、同802(三菱マテリアル電子化成(株)製)、フタージェント250(ネオス(株)製)が挙げられる。また、上記以外にも、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(三菱マテリアル電子化成(株)製)、メガファック(DIC(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(旭硝子(株)製)、PolyFox(OMNOVA社製)等の各シリーズを挙げることができる。
Component F: Surfactant The curable composition of the present invention may contain a surfactant.
As the surfactant, any of anionic, cationic, nonionic, or amphoteric surfactants can be used, but a preferred surfactant is a nonionic surfactant. As the surfactant, nonionic surfactants are preferable, and fluorine-based surfactants are more preferable.
As the surfactant that can be used in the present invention, for example, commercially available products such as MegaFuck F142D, F172, F173, F176, F177, F183, F479, F482, F554, and F780 are commercially available. F781, F781-F, R30, R08, F-472SF, BL20, R-61, R-90 (manufactured by DIC Corporation), Florard FC-135, FC-170C, FC-430, FC-431, Novec FC-4430 (manufactured by Sumitomo 3M Limited), Asahi Guard AG7105, 7000, 950, 7600, Surflon S-112, S-113, S-131, S -141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-1 05, the same SC-106 (Asahi Glass Co., Ltd.), F-top EF351, 352, 801, 802 (Mitsubishi Materials Electronics Chemical Co., Ltd.), and Footent 250 (Neos Co., Ltd.). . In addition to the above, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Mitsubishi Materials Denka Kasei Co., Ltd.), MegaFuck (manufactured by DIC Corporation) , FLORARD (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), PolyFox (manufactured by OMNOVA), and the like.

また、界面活性剤としては、下記式Wで表される構成単位A及び構成単位Bを含み、テトラヒドロフランを溶媒としてゲルパーミエーションクロマトグラフィで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1,000以上10,000以下である共重合体を好ましい例として挙げることができる。   In addition, the surfactant includes a structural unit A and a structural unit B represented by the following formula W, and has a polystyrene-reduced weight average molecular weight (Mw) of 1,000 measured by gel permeation chromatography using tetrahydrofuran as a solvent. A copolymer having a molecular weight of 10,000 or less can be cited as a preferred example.

Figure 2016069345
Figure 2016069345

式W中、RW1及びRW3はそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、RW2は炭素数1以上4以下の直鎖アルキレン基を表し、RW4は水素原子又は炭素数1以上4以下のアルキル基を表し、LWは炭素数3以上6以下のアルキレン基を表し、p及びqは重合比を表す質量百分率であり、pは10質量%以上80質量%以下の数値を表し、qは20質量%以上90質量%以下の数値を表し、rは1以上18以下の整数を表し、sは1以上10以下の整数を表す。 In Formula W, R W1 and R W3 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, R W2 represents a linear alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, and R W4 represents a hydrogen atom or 1 to 4 carbon atoms. The following alkyl groups are represented, L W represents an alkylene group having 3 to 6 carbon atoms, p and q are mass percentages representing a polymerization ratio, and p represents a numerical value of 10% by mass to 80% by mass, q represents a numerical value of 20% by mass to 90% by mass, r represents an integer of 1 to 18 and s represents an integer of 1 to 10.

上記LWは、下記式W−2で表される分岐アルキレン基であることが好ましい。式
W−2におけるRW5は、炭素数1以上4以下のアルキル基を表し、相溶性と被塗布面に対する濡れ性の点で、炭素数1以上3以下のアルキル基が好ましく、炭素数2又は3のアルキル基がより好ましい。
式Wにおけるpとqとの和(p+q)は、p+q=100、すなわち、100質量%であることが好ましい。
上記共重合体の重量平均分子量(Mw)は、1,500以上5,000以下がより好ましい。
The L W is preferably a branched alkylene group represented by the following formula W-2. R W5 in Formula W-2 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and is preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms in terms of compatibility and wettability to the coated surface. More preferred is an alkyl group of 3.
The sum (p + q) of p and q in Formula W is preferably p + q = 100, that is, 100% by mass.
The weight average molecular weight (Mw) of the copolymer is more preferably from 1,500 to 5,000.

Figure 2016069345
Figure 2016069345

本発明の硬化性組成物における界面活性剤の含有量は、配合する場合、硬化性組成物の全固形分中100質量部に対して、0.001〜5.0質量部が好ましく、0.01〜2.0質量部がより好ましい。
界面活性剤は、1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
When blended, the content of the surfactant in the curable composition of the present invention is preferably 0.001 to 5.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass in the total solid content of the curable composition. 01-2.0 mass parts is more preferable.
Only one type of surfactant may be included, or two or more types of surfactants may be included. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

成分G:重合禁止剤
本発明の硬化性組成物は、成分Gとして、重合禁止剤を含有してもよい。成分Gを含有することにより、漏れ光による重合反応が抑制され、現像性に優れる。
重合禁止剤とは、露光や熱により重合開始剤から発生した重合開始ラジカル成分に対して水素供与(又は、水素授与)、エネルギー供与(又は、エネルギー授与)、電子供与(又は、電子授与)などを実施し、重合開始ラジカルを失活させ、重合開始を禁止する役割を果たす物質である。例えば、特開2007−334322号公報の段落0154〜0173に記載の化合物などを用いることができる。
本発明の硬化性組成物における成分Dの含有量は、特に制限はないが、硬化性組成物の全固形分に対して、0.005〜0.5質量%であることが好ましく、0.01〜0.5質量%であることがより好ましい。重合禁止剤の配合量を調整することによって、感度を損なわずにパターニング性を向上させることができる。
Component G: Polymerization inhibitor The curable composition of the present invention may contain a polymerization inhibitor as Component G. By containing the component G, the polymerization reaction due to leakage light is suppressed, and the developability is excellent.
A polymerization inhibitor means hydrogen donation (or hydrogen donation), energy donation (or energy donation), electron donation (or electron donation), etc. to the polymerization initiation radical component generated from the polymerization initiator by exposure or heat. Is a substance that plays a role in deactivating polymerization initiation radicals and inhibiting polymerization initiation. For example, compounds described in paragraphs 0154 to 0173 of JP2007-334322A can be used.
Although there is no restriction | limiting in particular in content of the component D in the curable composition of this invention, It is preferable that it is 0.005-0.5 mass% with respect to the total solid of a curable composition. It is more preferable that it is 01-0.5 mass%. By adjusting the blending amount of the polymerization inhibitor, the patterning property can be improved without impairing the sensitivity.

成分H:無機粒子
本発明の硬化性組成物は、成分Hとして、無機粒子を含有することが好ましい。無機粒子を含有することにより、硬化膜の硬度がより優れたものとなる。
本発明で用いる無機粒子の平均粒径は、1〜200nmが好ましく、5〜100nmがより好ましく、5〜50nmが最も好ましい。平均粒径は、電子顕微鏡により任意の粒子200個の粒子径を測定し、その算術平均をいう。また、粒子の形状が球形でない場合には、外径の最大径を粒子の粒子径とする。
また、硬化膜の硬度の観点から、無機粒子の空隙率は、10%未満が好ましく、3%未満がより好ましく、空隙が無いことが最も好ましい。粒子の空隙率は電子顕微鏡による断面画像の空隙部分と粒子全体との面積比の、200個の算術平均である。
無機粒子としては、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、La、Ce、Gd、Tb、Dy、Yb、Lu、Ti、Zr、Hf、Nb、Mo、W、Zn、B、Al、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、Bi、Te等の原子を含む金属酸化物粒子が好ましく、酸化ケイ素、酸化チタン、チタン複合酸化物、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、インジウム/スズ酸化物、アンチモン/スズ酸化物がより好ましく、酸化ケイ素、酸化チタン、チタン複合酸化物、酸化ジルコニウムがより好ましく、酸化ケイ素又は酸化チタンが、粒子の安定性、入手しやすさ、硬化膜の硬度、透明性、屈折率調整等の観点から特に好ましい。
Component H: Inorganic particles The curable composition of the invention preferably contains inorganic particles as Component H. By containing the inorganic particles, the hardness of the cured film becomes more excellent.
The average particle size of the inorganic particles used in the present invention is preferably 1 to 200 nm, more preferably 5 to 100 nm, and most preferably 5 to 50 nm. The average particle diameter is an arithmetic average obtained by measuring the particle diameter of 200 arbitrary particles with an electron microscope. When the particle shape is not spherical, the maximum outer diameter is taken as the particle diameter of the particle.
Moreover, from the viewpoint of the hardness of the cured film, the porosity of the inorganic particles is preferably less than 10%, more preferably less than 3%, and most preferably no void. The porosity of the particle is an arithmetic average of 200 of the area ratio between the void portion of the cross-sectional image obtained by an electron microscope and the entire particle.
As inorganic particles, Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, La, Ce, Gd, Tb, Dy, Yb, Lu, Ti, Zr, Hf, Nb, Mo, W, Zn, B, Al Metal oxide particles containing atoms such as Si, Ge, Sn, Pb, Sb, Bi, and Te are preferable. Silicon oxide, titanium oxide, titanium composite oxide, zinc oxide, zirconium oxide, indium / tin oxide, antimony / Tin oxide is more preferable, silicon oxide, titanium oxide, titanium composite oxide, zirconium oxide is more preferable, silicon oxide or titanium oxide is the stability of particles, availability, hardness of the cured film, transparency, This is particularly preferable from the viewpoint of adjusting the refractive index.

無機粒子の含有量は、配合する場合、硬度の観点から、硬化性組成物の全固形分に対し1質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、10質量%以上が更に好ましい。また、80質量%以下が好ましく、50質量%以下がより好ましく、40質量%以下が更に好ましく、30質量%以下が特に好ましい。
無機粒子は、1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
When blended, the content of the inorganic particles is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, and still more preferably 10% by mass or more based on the total solid content of the curable composition from the viewpoint of hardness. Moreover, 80 mass% or less is preferable, 50 mass% or less is more preferable, 40 mass% or less is further more preferable, and 30 mass% or less is especially preferable.
One type of inorganic particles may be included, or two or more types may be included. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

成分I:アルコキシシラン化合物
本発明の硬化性組成物は、成分Iとして、アルコキシシラン化合物を含有することが好ましい。アルコキシシラン化合物を用いると、本発明の硬化性組成物により形成された膜と基板との密着性を向上できる。
アルコキシシラン化合物としては、アルコキシ基がケイ素原子に直接結合した基を少なくとも1つ有する化合物であれば、特に制限はないが、ジアルコキシシリル基及び/又はトリアルコキシシリル基を有する化合物であることが好ましく、トリアルコキシシリル基を有する化合物であることがより好ましい。
本発明の硬化性組成物に用いることができるアルコキシシラン化合物は、基材、例えば、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン等のシリコン化合物、金、銅、モリブデン、チタン、アルミニウム等の金属と硬化膜との密着性を向上させる化合物であることが好ましい。具体的には、公知のシランカップリング剤等も有効である。エチレン性不飽和結合を有するシランカップリング剤が好ましい。
シランカップリング剤としては、例えば、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルジアルコキシシラン、γ−クロロプロピルトリアルコキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシランが挙げられる。これらのうち、γ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリアコキシシランがより好ましい。これらは1種単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
市販品としては、信越化学工業(株)製、KBM−403やKBM−5103が例示される。
Component I: Alkoxysilane Compound The curable composition of the present invention preferably contains an alkoxysilane compound as Component I. When an alkoxysilane compound is used, the adhesion between the film formed from the curable composition of the present invention and the substrate can be improved.
The alkoxysilane compound is not particularly limited as long as it has at least one group in which an alkoxy group is directly bonded to a silicon atom, but may be a compound having a dialkoxysilyl group and / or a trialkoxysilyl group. Preferably, it is a compound having a trialkoxysilyl group.
The alkoxysilane compound that can be used in the curable composition of the present invention includes a base material, for example, a silicon compound such as silicon, silicon oxide, and silicon nitride, a metal such as gold, copper, molybdenum, titanium, and aluminum, and a cured film. It is preferable that it is a compound which improves the adhesiveness of. Specifically, a known silane coupling agent or the like is also effective. A silane coupling agent having an ethylenically unsaturated bond is preferred.
Examples of the silane coupling agent include γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrialkoxysilane, γ-glycidoxypropyl dialkoxysilane, and γ-methacryloxypropyl. Trialkoxysilane, γ-methacryloxypropyl dialkoxysilane, γ-chloropropyltrialkoxysilane, γ-mercaptopropyltrialkoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrialkoxysilane, vinyltrialkoxysilane It is done. Of these, γ-methacryloxypropyltrialkoxysilane, γ-acryloxypropyltrialkoxysilane, vinyltrialkoxysilane, and γ-glycidoxypropyltriacoxysilane are more preferable. These can be used alone or in combination of two or more.
Examples of commercially available products include KBM-403 and KBM-5103 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

本発明の硬化性組成物におけるアルコキシシラン化合物の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対し、0.1〜30質量%が好ましく、2〜20質量%がより好ましく、2〜15質量%が更に好ましい。アルコキシシラン化合物は、1種類のみでもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合、合計量が上記範囲となることが好ましい。
なお、アルコキシシラン化合物は有機固形分と見なす。
0.1-30 mass% is preferable with respect to the total solid of a curable composition, as for content of the alkoxysilane compound in the curable composition of this invention, 2-20 mass% is more preferable, 2-15 mass % Is more preferable. Only one type of alkoxysilane compound may be included, or two or more types may be included. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.
The alkoxysilane compound is regarded as an organic solid content.

<その他の成分>
<<エポキシ基を有する化合物、オキセタニル基を有する化合物、ブロックイソシアネート化合物>>
本発明の硬化性組成物は、エポキシ基を有する化合物、オキセタニル基を有する化合物、及び、ブロックイソシアネート化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことが好ましい。上記態様であると、得られる硬化膜の硬度により優れる。
<Other ingredients>
<< Compound having epoxy group, compound having oxetanyl group, blocked isocyanate compound >>
The curable composition of the present invention preferably contains at least one selected from the group consisting of a compound having an epoxy group, a compound having an oxetanyl group, and a blocked isocyanate compound. It is excellent in the hardness of the obtained cured film as it is the said aspect.

−エポキシ基を有する化合物−
本発明の硬化性組成物は、エポキシ基を有する化合物を含んでいてもよい。エポキシ基を有する化合物は、エポキシ基を分子中に1個であってもよいが、2個以上が好ましい。
-Compound having an epoxy group-
The curable composition of the present invention may contain a compound having an epoxy group. The compound having an epoxy group may have one epoxy group in the molecule, but two or more are preferable.

分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物の具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂等を挙げることができる。   Specific examples of compounds having two or more epoxy groups in the molecule include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, aliphatic epoxy resins, and the like. Can do.

これらは市販品として入手できる。例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、JER827、JER828、JER834、JER1001、JER1002、JER1003、JER1055、JER1007、JER1009、JER1010(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、EPICLON860、EPICLON1050、EPICLON1051、EPICLON1055(以上、DIC(株)製)等であり、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、JER806、JER807、JER4004、JER4005、JER4007、JER4010(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、EPICLON830、EPICLON835(以上、DIC(株)製)、LCE−21、RE−602S(以上、日本化薬(株)製)等であり、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、JER152、JER154、JER157S70、JER157S65(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、EPICLON N−740、EPICLON N−740、EPICLON N−770、EPICLON N−775(以上、DIC(株)製)等であり、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、EPICLON N−660、EPICLON N−665、EPICLON N−670、EPICLON N−673、EPICLON N−680、EPICLON N−690、EPICLON N−695(以上、DIC(株)製)、EOCN−1020(以上、日本化薬(株)製)等であり、脂肪族エポキシ樹脂としては、ADEKA RESIN EP−4080S、同EP−4085S、同EP−4088S(以上、(株)ADEKA製)、セロキサイド2021P、セロキサイド2081、セロキサイド2083、セロキサイド2085、EHPE3150、EPOLEAD PB 3600、同PB 4700(以上、ダイセル化学工業(株)製)等である。その他にも、ADEKA RESIN EP−4000S、同EP−4003S、同EP−4010S、同EP−4011S(以上、(株)ADEKA製)、NC−2000、NC−3000、NC−7300、XD−1000、EPPN−501、EPPN−502(以上、(株)ADEKA製)等が挙げられる。
また、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報に記載のエチレンオキサイド骨格を有するウレタン化合物類も好適に用いることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
These are available as commercial products. For example, as bisphenol A type epoxy resin, JER827, JER828, JER834, JER1001, JER1002, JER1003, JER1055, JER1007, JER1009, JER1010 (above, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), EPICLON860, EPICLON1050, EPICLON1051, EPICLON1051, EPICLON1051 And bisphenol F-type epoxy resins such as JER806, JER807, JER4004, JER4005, JER4007, JER4010 (above, Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), EPICLON830, EPICLON835 (above, DIC Co., Ltd.), LCE-21, RE-602S (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.) As the phenol novolac type epoxy resin, JER152, JER154, JER157S70, JER157S65 (above, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), EPICLON N-740, EPICLON N-740, EPICLON N-770, EPICLON N-775 (or higher) The cresol novolac type epoxy resin is EPICLON N-660, EPICLON N-665, EPICLON N-670, EPICLON N-673, EPICLON N-680, EPICLON N-690, EPICLON N-695 (above, manufactured by DIC Corporation), EOCN-1020 (above, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like, and as an aliphatic epoxy resin, ADEKA RESIN EP-408 S, EP-4085S, EP-4088S (above, manufactured by ADEKA Corporation), Celoxide 2021P, Celoxide 2081, Celoxide 2083, Celoxide 2085, EHPE3150, EPOLEAD PB 3600, PB 4700 (above, Daicel Chemical Industries, Ltd.) ))). In addition, ADEKA RESIN EP-4000S, EP-4003S, EP-4010S, EP-4010S, EP-4011S (above, manufactured by ADEKA Corporation), NC-2000, NC-3000, NC-7300, XD-1000, EPPN-501, EPPN-502 (above, manufactured by ADEKA Corporation) and the like can be mentioned.
Also, urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP-B-58-49860, JP-B-56-17654, JP-B-62-39417, and JP-B-62-39418 are preferably used. The contents of which are incorporated herein by reference.

本発明の硬化性組成物は、エポキシ基を有する化合物を含む場合、組成物の全固形分の0.1〜20質量%の範囲で含むことが好ましく、0.5〜10質量%の範囲で含むことがより好ましく、1〜5質量%の範囲で含むことが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、エポキシ基を有する化合物を1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
When the curable composition of this invention contains the compound which has an epoxy group, it is preferable to contain in the range of 0.1-20 mass% of the total solid of a composition, In the range of 0.5-10 mass% It is more preferable to include, and it is still more preferable to include in 1-5 mass%.
The curable composition of the present invention may contain only one type of compound having an epoxy group, or may contain two or more types. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

−オキセタニル基を有する化合物−
本発明の硬化性組成物は、オキセタニル基を有する化合物を含んでいてもよい。オキセタニル基を有する化合物は、オキセタニル基を分子中に1個のみ有していてもよいが、2個以上有することが好ましい。
-Compound having oxetanyl group-
The curable composition of the present invention may contain a compound having an oxetanyl group. The compound having an oxetanyl group may have only one oxetanyl group in the molecule, but preferably has two or more.

オキセタニル基を有する化合物の具体例としては、アロンオキセタンOXT−121、OXT−221、OX−SQ、PNOX(以上、東亞合成(株)製)を用いることができる。
また、オキセタニル基を含む化合物は、単独で又はエポキシ基を含む化合物と混合して使用することが好ましい。
As specific examples of the compound having an oxetanyl group, Aron oxetane OXT-121, OXT-221, OX-SQ, and PNOX (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) can be used.
Moreover, it is preferable to use the compound containing an oxetanyl group individually or in mixture with the compound containing an epoxy group.

本発明の硬化性組成物は、オキセタニル基を有する化合物を含む場合、組成物の全固形分の0.1〜20質量%の範囲で含むことが好ましく、0.5〜10質量%の範囲で含むことがより好ましく、1〜5質量%の範囲で含むことが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、オキセタニル基を有する化合物を1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
When the curable composition of the present invention includes a compound having an oxetanyl group, the curable composition preferably includes 0.1 to 20% by mass of the total solid content of the composition, and ranges from 0.5 to 10% by mass. It is more preferable to include, and it is still more preferable to include in 1-5 mass%.
The curable composition of the present invention may contain only one type of compound having an oxetanyl group, or may contain two or more types. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

−ブロックイソシアネート化合物−
本発明の硬化性組成物は、ブロックイソシアネート化合物を含んでいてもよい。
ブロックイソシアネート化合物としては、ブロックイソシアネート基を有する化合物であれば特に制限はないが、硬化性の観点から、1分子内に2以上のブロックイソシアネート基を有する化合物であることが好ましい。ブロックイソシアネート基の数の上限は特に定めるものではないが、6個以下が好ましい。
また、ブロックイソシアネート化合物としては、その骨格は特に限定されるものではなく、1分子中にイソシアネート基を2個有するものであればどのようなものでもよく、脂肪族、脂環族又は芳香族のポリイソシアネートであってよい。例えば2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート、1,3−トリメチレンジイソシアネート、1,4−テトラメチレンジイソシアネート、2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、1,9−ノナメチレンジイソシアネート、1,10−デカメチレンジイソシアネート、1,4−シクロヘキサンジイソシアネート、2,2’−ジエチルエーテルジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4’−ジイソシアネート、o−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、p−キシレンジイソシアネート、メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、シクロヘキサン−1,3−ジメチレンジイソシアネート、シクロヘキサン−1,4−ジメチレレンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジイソシアネート、p−フェニレンジイソシアネート、3,3’−メチレンジトリレン−4,4’−ジイソシアネート、4,4’−ジフェニルエーテルジイソシアネート、テトラクロロフェニレンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート、水素化1,3−キシリレンジイソシアネート、水素化1,4−キシリレンジイソシアネート等のイソシアネート化合物及びこれらの化合物から派生するプレポリマー型の骨格の化合物を好適に用いることができる。これらの中でも、トリレンジイソシアネート(TDI)やジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)、ヘキサメチレンジイソシアネート(HDI)、イソホロンジイソシアネート(IPDI)が特に好ましい。
-Block isocyanate compounds-
The curable composition of the present invention may contain a blocked isocyanate compound.
The blocked isocyanate compound is not particularly limited as long as it is a compound having a blocked isocyanate group, but is preferably a compound having two or more blocked isocyanate groups in one molecule from the viewpoint of curability. The upper limit of the number of blocked isocyanate groups is not particularly defined, but is preferably 6 or less.
Further, the skeleton of the blocked isocyanate compound is not particularly limited and may be any as long as it has two isocyanate groups in one molecule, and may be aliphatic, alicyclic or aromatic. It may be a polyisocyanate. For example, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate, 1,3-trimethylene diisocyanate, 1,4-tetramethylene diisocyanate, 2,2,4- Trimethylhexamethylene diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, 1,9-nonamethylene diisocyanate, 1,10-decamethylene diisocyanate, 1,4-cyclohexane diisocyanate, 2,2'-diethyl ether diisocyanate, diphenylmethane 4,4'-diisocyanate, o-xylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, p-xylene diisocyanate, methylene bis (cyclohexyl isocyanate , Cyclohexane-1,3-dimethylene diisocyanate, cyclohexane-1,4-dimethylene diisocyanate, 1,5-naphthalene diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, 3,3′-methylene ditolylene-4,4′-diisocyanate, 4, , 4′-diphenyl ether diisocyanate, tetrachlorophenylene diisocyanate, norbornane diisocyanate, hydrogenated 1,3-xylylene diisocyanate, hydrogenated 1,4-xylylene diisocyanate and the like and prepolymer type skeleton derived from these compounds These compounds can be suitably used. Among these, tolylene diisocyanate (TDI), diphenylmethane diisocyanate (MDI), hexamethylene diisocyanate (HDI), and isophorone diisocyanate (IPDI) are particularly preferable.

本発明の組成物におけるブロックイソシアネート化合物の母構造としては、ビウレット型、イソシアヌレート型、アダクト型、2官能プレポリマー型等を挙げることができる。
上記ブロックイソシアネート化合物のブロック構造を形成するブロック剤としては、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物、メルカプタン化合物、イミダゾール系化合物、イミド系化合物等を挙げることができる。これらの中でも、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物から選ばれるブロック剤が特に好ましい。
Examples of the matrix structure of the blocked isocyanate compound in the composition of the present invention include biuret type, isocyanurate type, adduct type, and bifunctional prepolymer type.
Examples of the blocking agent that forms the block structure of the blocked isocyanate compound include oxime compounds, lactam compounds, phenol compounds, alcohol compounds, amine compounds, active methylene compounds, pyrazole compounds, mercaptan compounds, imidazole compounds, and imide compounds. be able to. Among these, a blocking agent selected from oxime compounds, lactam compounds, phenol compounds, alcohol compounds, amine compounds, active methylene compounds, and pyrazole compounds is particularly preferable.

本発明の組成物に使用できるブロックイソシアネート化合物は、市販品として入手可能であり、例えば、コロネートAPステーブルM、コロネート2503、2515、2507、2513、2555、ミリオネートMS−50(以上、日本ポリウレタン工業(株)製)、タケネートB−830、B−815N、B−820NSU、B−842N、B−846N、B−870N、B−874N、B−882N(以上、三井化学(株)製)、デュラネート17B−60P、17B−60PX、17B−60P、TPA−B80X、TPA−B80E、MF−B60X、MF−B60B、MF−K60X、MF−K60B、E402−B80B、SBN−70D、SBB−70P、K6000(以上、旭化成ケミカルズ(株)製)、デスモジュールBL1100、BL1265 MPA/X、BL3575/1、BL3272MPA、BL3370MPA、BL3475BA/SN、BL5375MPA、VPLS2078/2、BL4265SN、PL340、PL350、スミジュールBL3175(以上、住化バイエルウレタン(株)製)等を好ましく使用することができる。   The blocked isocyanate compound that can be used in the composition of the present invention is commercially available, for example, Coronate AP Stable M, Coronate 2503, 2515, 2507, 2513, 2555, Millionate MS-50 (above, Nippon Polyurethane Industry Takenate B-830, B-815N, B-820NSU, B-842N, B-84N, B-870N, B-874N, B-882N (Mitsui Chemicals, Inc.), Duranate 17B-60P, 17B-60PX, 17B-60P, TPA-B80X, TPA-B80E, MF-B60X, MF-B60B, MF-K60X, MF-K60B, E402-B80B, SBN-70D, SBB-70P, K6000 ( Asahi Kasei Chemicals), Death Mod BL1100, BL1265 MPA / X, BL3575 / 1, BL3272MPA, BL3370MPA, BL3475BA / SN, BL5375MPA, VPLS2078 / 2, BL4265SN, PL340, PL350, Sumidur BL3175 (above, manufactured by Sumika Bayer Urethane Co., Ltd.) and the like are preferably used can do.

本発明の硬化性組成物は、ブロックイソシアネート化合物を含む場合、組成物の全固形分の0.1〜20質量%の範囲で含むことが好ましく、0.5〜10質量%の範囲で含むことがより好ましく、1〜5質量%の範囲で含むことが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、ブロックイソシアネート化合物を1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
When the curable composition of this invention contains a block isocyanate compound, it is preferable to contain in the range of 0.1-20 mass% of the total solid of a composition, and to contain in the range of 0.5-10 mass% Is more preferable, and it is still more preferable to contain in 1-5 mass%.
The curable composition of the present invention may contain only one type of blocked isocyanate compound, or may contain two or more types. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

本発明の硬化性組成物には、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で上記以外の他の化合物(例えば、アルコキシメチル基含有化合物等)を含んでいてもよい。アルコキシメチル基含有化合物としては、特開2011−221494号公報の段落0192〜0194に記載のものを挙げることができる。   The curable composition of the present invention may contain other compounds (for example, an alkoxymethyl group-containing compound) other than those described above without departing from the spirit of the present invention. Examples of the alkoxymethyl group-containing compound include those described in paragraphs 0192 to 0194 of JP2011-221494A.

<酸化防止剤>
本発明の硬化性組成物は、上記の成分の他に、酸化防止剤を含有してもよい。なお、酸化防止剤は、上述した成分K以外の化合物である。酸化防止剤としては、公知の酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤を添加することにより、硬化膜の着色を防止できる、又は、分解による膜厚減少を低減でき、また、耐熱透明性に優れるという利点がある。
このような酸化防止剤としては、例えば、リン系酸化防止剤、アミド類、ヒドラジド類、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、アスコルビン酸類、硫酸亜鉛、糖類、亜硝酸塩、亜硫酸塩、チオ硫酸塩、ヒドロキシルアミン誘導体などを挙げることができる。これらの中では、硬化膜の着色、膜厚減少の観点から特にヒンダードフェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤が好ましく、ヒンダードフェノール系酸化防止剤が最も好ましい。これらは1種単独で用いてもよいし、2種以上を混合してもよい。
好ましい市販品として、アデカスタブAO−60、アデカスタブAO−80(以上、(株)ADEKA製)、イルガノックス1098(以上、BASF社製)を挙げることができる。
酸化防止剤の含有量は、特に制限はないが、硬化性組成物の全固形分に対して、0.1〜10質量%であることが好ましく、0.2〜5質量%であることがより好ましく、0.5〜4質量%であることが更に好ましい。
<Antioxidant>
The curable composition of this invention may contain antioxidant other than said component. The antioxidant is a compound other than the component K described above. As an antioxidant, a well-known antioxidant can be contained. By adding an antioxidant, there is an advantage that coloring of the cured film can be prevented, or a decrease in film thickness due to decomposition can be reduced, and heat resistant transparency is excellent.
Examples of such antioxidants include phosphorus antioxidants, amides, hydrazides, hindered phenol antioxidants, ascorbic acids, zinc sulfate, sugars, nitrites, sulfites, thiosulfates, hydroxyls. An amine derivative etc. can be mentioned. Among these, hindered phenolic antioxidants and phosphorus antioxidants are particularly preferable from the viewpoints of coloring of the cured film and reduction in film thickness, and hindered phenolic antioxidants are most preferable. These may be used individually by 1 type and may mix 2 or more types.
As a preferable commercial item, ADK STAB AO-60, ADK STAB AO-80 (above, the product made from ADEKA), and Irganox 1098 (above, the product made from BASF) can be mentioned.
Although there is no restriction | limiting in particular in content of antioxidant, It is preferable that it is 0.1-10 mass% with respect to the total solid of a curable composition, and it is 0.2-5 mass%. More preferably, it is more preferable that it is 0.5-4 mass%.

本発明の硬化性組成物には、必要に応じて、上述した以外にも、可塑剤、熱酸発生剤、酸増殖剤等のその他の成分を添加することができる。これらの成分については、例えば、特開2009−98616号公報、特開2009−244801号公報に記載のもの、その他公知のものを用いることができる。また、“高分子添加剤の新展開((株)日刊工業新聞)”に記載の各種紫外線吸収剤や、金属不活性化剤等を本発明の硬化性組成物に添加してもよい。   In addition to those described above, other components such as a plasticizer, a thermal acid generator, and an acid proliferating agent can be added to the curable composition of the present invention as necessary. As these components, for example, those described in JP2009-98616A, JP2009-244801A, and other known ones can be used. In addition, various ultraviolet absorbers described in “New Development of Polymer Additives (Nikkan Kogyo Shimbun Co., Ltd.)”, metal deactivators and the like may be added to the curable composition of the present invention.

<硬化性組成物の調製方法>
本発明の硬化性組成物の調製方法としては、特に制限はなく、公知の方法により調製することができ、例えば、各成分を所定の割合でかつ任意の方法で混合し、撹拌溶解及び/又は分散して硬化性組成物を調製することができる。また、例えば、各成分を、それぞれ予め溶剤に溶解させた溶液とした後、これらを所定の割合で混合して硬化性組成物を調製することもできる。以上のように調製した硬化性組成物は、例えば、孔径0.2μmのフィルタ等を用いてろ過した後に、使用することもできる。
<Method for preparing curable composition>
There is no restriction | limiting in particular as a preparation method of the curable composition of this invention, It can prepare by a well-known method, For example, each component is mixed by a predetermined ratio and arbitrary methods, and stir-dissolves and / or A curable composition can be prepared by dispersing. For example, after making each component into the solution which respectively melt | dissolved in the solvent previously, these can be mixed in a predetermined ratio and a curable composition can also be prepared. The curable composition prepared as described above can be used after being filtered using, for example, a filter having a pore diameter of 0.2 μm.

(硬化膜、硬化物及びその製造方法)
本発明の硬化物は、本発明の硬化性組成物を硬化させた硬化物である。上記硬化物としては、硬化膜であることが好ましい。また、本発明の硬化膜は、本発明の硬化膜の製造方法により得られた硬化膜であることが好ましい。
本発明の硬化膜の製造方法は、本発明の硬化性組成物を硬化させ硬化膜を製造する方法であれば、特に制限はないが、本発明の硬化性組成物が、成分A〜成分C及び溶剤を少なくとも含有し、かつ以下の工程1〜工程5をこの順で含むことが好ましい。
工程1:本発明の硬化性組成物を基板上に塗布する塗布工程
工程2:塗布された硬化性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程
工程3:溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部を活性光線により露光する露光工程
工程4:露光された硬化性組成物を水性現像液により現像する現像工程
工程5:現像された硬化性組成物を熱処理する熱処理工程
また、本発明の硬化物の製造方法は、工程4と工程5との間に以下の工程4’を更に含むことがより好ましい。
工程4’:現像された硬化性組成物に更に光を照射するポスト露光工程
(Curing film, cured product and method for producing the same)
The cured product of the present invention is a cured product obtained by curing the curable composition of the present invention. The cured product is preferably a cured film. Moreover, it is preferable that the cured film of this invention is a cured film obtained by the manufacturing method of the cured film of this invention.
The method for producing a cured film of the present invention is not particularly limited as long as it is a method for producing a cured film by curing the curable composition of the present invention, but the curable composition of the present invention is composed of Component A to Component C. It is preferable that at least the solvent is contained and the following steps 1 to 5 are included in this order.
Process 1: Application | coating process which apply | coats the curable composition of this invention on a board | substrate Process 2: The solvent removal process of removing a solvent from the apply | coated curable composition Process 3: At least curable composition from which the solvent was removed An exposure process in which a part is exposed with actinic rays. Step 4: A development process in which the exposed curable composition is developed with an aqueous developer. Step 5: A heat treatment process in which the developed curable composition is heat treated. More preferably, the manufacturing method of the product further includes the following step 4 ′ between step 4 and step 5.
Step 4 ′: a post-exposure step of further irradiating the developed curable composition with light

上記塗布工程においては、本発明の硬化性組成物を基板上に塗布して溶剤を含む湿潤膜とすることが好ましい。硬化性組成物を基板へ塗布する前にアルカリ洗浄やプラズマ洗浄といった基板の洗浄を行うことができる。更に基板洗浄後にヘキサメチルジシラザン等で基板表面を処理することができる。この処理を行うことにより、硬化性組成物の基板への密着性が向上する傾向にある。
上記の基板としては、無機基板、樹脂、樹脂複合材料などが挙げられる。
無機基板としては、例えばガラス、石英、シリコン、シリコンナイトライド、及び、それらのような基板上にモリブデン、チタン、アルミ、銅などを蒸着した複合基板が挙げられる。
樹脂としては、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、アリルジグリコールカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリベンズアゾール、ポリフェニレンサルファイド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン等のフッ素樹脂、液晶ポリマー、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アイオノマー樹脂、シアネート樹脂、架橋フマル酸ジエステル、環状ポリオレフィン、芳香族エーテル、マレイミド−オレフィン共重合体、セルロース、エピスルフィド樹脂等の合成樹脂からなる基板が挙げられる。
これらの基板は、上記の形態のまま用いられる場合は少なく、通常、最終製品の形態によって、例えばTFT素子のような多層積層構造が形成されている。
また、オンセル構造のタッチパネルなどのような場合には、パネルとして一旦完成しているLCDセルやOLEDセルの上に、本発明の硬化性組成物を適用することもできる。
In the said application | coating process, it is preferable to apply | coat the curable composition of this invention on a board | substrate, and to set it as the wet film | membrane containing a solvent. Before applying the curable composition to the substrate, the substrate can be cleaned such as alkali cleaning or plasma cleaning. Furthermore, the substrate surface can be treated with hexamethyldisilazane or the like after cleaning the substrate. By performing this treatment, the adhesiveness of the curable composition to the substrate tends to be improved.
Examples of the substrate include inorganic substrates, resins, and resin composite materials.
Examples of the inorganic substrate include glass, quartz, silicon, silicon nitride, and a composite substrate obtained by depositing molybdenum, titanium, aluminum, copper, or the like on such a substrate.
The resins include polybutylene terephthalate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polybutylene naphthalate, polystyrene, polycarbonate, polysulfone, polyethersulfone, polyarylate, allyl diglycol carbonate, polyamide, polyimide, polyamideimide, polyetherimide, poly Fluorine resins such as benzazole, polyphenylene sulfide, polycycloolefin, norbornene resin, polychlorotrifluoroethylene, liquid crystal polymer, acrylic resin, epoxy resin, silicone resin, ionomer resin, cyanate resin, crosslinked fumaric acid diester, cyclic polyolefin, aromatic From synthetic resins such as aromatic ethers, maleimide-olefin copolymers, cellulose and episulfide resins. Board, and the like.
These substrates are rarely used in the above-described form, and usually a multilayer laminated structure such as a TFT element is formed depending on the form of the final product.
Further, in the case of an on-cell touch panel or the like, the curable composition of the present invention can be applied on an LCD cell or an OLED cell which has been once completed as a panel.

本発明の硬化性組成物は、スパッタリングにより製膜された金属膜や金属酸化物に対する密着がよいため、基板としてはスパッタリングにより製膜された金属膜を含むことが好ましい。金属としては、チタン、銅、アルミニウム、インジウム、スズ、マンガン、ニッケル、コバルト、モリブデン、タングステン、クロム、銀、ネオジウム、及びこれらの酸化物又は合金であることが好ましく、モリブデン、チタン、アルミニウム、銅及びこれらの合金であることが更に好ましい。なお、金属や金属酸化物は1種単独で用いても、複数種を併用してもよい。   Since the curable composition of the present invention has good adhesion to a metal film or metal oxide formed by sputtering, the substrate preferably includes a metal film formed by sputtering. The metal is preferably titanium, copper, aluminum, indium, tin, manganese, nickel, cobalt, molybdenum, tungsten, chromium, silver, neodymium, and oxides or alloys thereof, molybdenum, titanium, aluminum, copper And alloys thereof are more preferred. In addition, a metal and a metal oxide may be used individually by 1 type, or may use multiple types together.

基板への塗布方法は特に限定されず、例えば、インクジェット法、スリットコート法、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、流延塗布法、スリットアンドスピン法、印刷法等の方法を用いることができる。   The coating method on the substrate is not particularly limited. For example, a method such as an inkjet method, a slit coating method, a spray method, a roll coating method, a spin coating method, a casting coating method, a slit and spin method, or a printing method may be used. it can.

溶剤除去工程では、塗布された上記の膜から、減圧(バキューム)及び/又は加熱等により、溶剤を除去して基板上に乾燥塗膜を形成させることが好ましい。溶剤除去工程の加熱条件は、好ましくは70〜130℃で30〜300秒間程度である。また、上記溶剤除去工程においては、硬化性組成物中の溶剤を完全に除去する必要はなく、少なくとも一部が除去されていればよい。
なお、上記塗布工程と上記溶剤除去工程とは、この順に行っても、同時に行っても、交互に繰り返してもよい。例えば、上記塗布工程におけるインクジェット塗布が全て終了した後、上記溶剤除去工程を行ってもよいし、基板を加熱しておき、上記塗布工程におけるインクジェット塗布方式による硬化性組成物の吐出を行いながら溶剤除去を行ってもよい。
In the solvent removal step, it is preferable to remove the solvent from the applied film by vacuum (vacuum) and / or heating to form a dry coating film on the substrate. The heating conditions for the solvent removal step are preferably 70 to 130 ° C. and about 30 to 300 seconds. Moreover, in the said solvent removal process, it is not necessary to remove the solvent in a curable composition completely, and at least one part should just be removed.
In addition, the said application | coating process and the said solvent removal process may be performed in this order, may be performed simultaneously, or may be repeated alternately. For example, the solvent removal step may be performed after the inkjet coating in the coating step is completed, or the substrate is heated and the solvent is discharged while the curable composition is discharged by the inkjet coating method in the coating step. Removal may be performed.

上記露光工程は、活性光線を用いて光重合開始剤より重合開始種を発生させ、エチレン性不飽和基を有する化合物の重合を行い、溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部を硬化する工程である。
上記露光工程では、得られた塗膜に波長300nm以上450nm以下の活性光線を所定のパターン状に照射することが好ましい。
上記露光工程に用いることができる露光光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、LED光源、エキシマレーザー発生装置などを用いることができ、i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)などの波長300nm以上450nm以下の波長を有する活性光線が好ましく使用できる。また、必要に応じて長波長カットフィルタ、短波長カットフィルタ、バンドパスフィルタのような分光フィルタを通して照射光を調整することもできる。露光量は好ましくは1〜500mJ/cmである。
露光装置としては、ミラープロジェクションアライナー、ステッパー、スキャナー、プロキシミティ、コンタクト、マイクロレンズアレイ、レンズスキャナ、レーザー露光、など各種方式の露光機を用いることができる。
上記露光工程における露光は、酸素遮断された状態で行うことが、硬化促進の観点から好ましい。酸素を遮断する手段としては、窒素雰囲気下での露光や、酸素遮断膜を設けての露光が例示される。
また、上記露光工程における露光は、溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部に行われればよく、例えば、全面露光であっても、パターン露光であってもよい。
また、上記露光工程後に、露光後加熱処理:Post Exposure Bake(以下、「PEB」ともいう。)を行うことができる。PEBを行う場合の温度は、30℃以上130℃以下であることが好ましく、40℃以上110℃以下がより好ましく、50℃以上100℃以下が特に好ましい。
加熱の方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、ホットプレート、オーブン、赤外線ヒーターなどが挙げられる。
また、加熱時間としては、ホットプレートの場合は1分〜30分程度が好ましく、それ以外の場合は20分〜120分程度が好ましい。上記温度範囲であれば、基板、装置へのダメージを抑えて加熱することができる。
The exposure step generates a polymerization initiation species from a photopolymerization initiator using an actinic ray, polymerizes a compound having an ethylenically unsaturated group, and cures at least a part of the curable composition from which the solvent is removed. It is a process to do.
In the exposure step, it is preferable to irradiate the obtained coating film with an actinic ray having a wavelength of 300 nm to 450 nm in a predetermined pattern.
As an exposure light source that can be used in the above exposure process, a low pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a chemical lamp, an LED light source, an excimer laser generator, and the like can be used. ) And actinic rays having a wavelength of 300 nm to 450 nm, such as g-line (436 nm), can be preferably used. Moreover, irradiation light can also be adjusted through spectral filters, such as a long wavelength cut filter, a short wavelength cut filter, and a band pass filter, as needed. The exposure amount is preferably 1 to 500 mJ / cm 2 .
As the exposure apparatus, various types of exposure machines such as a mirror projection aligner, a stepper, a scanner, a proximity, a contact, a microlens array, a lens scanner, and a laser exposure can be used.
The exposure in the exposure step is preferably performed in a state where oxygen is blocked from the viewpoint of curing acceleration. Examples of means for blocking oxygen include exposure in a nitrogen atmosphere and exposure with an oxygen blocking film.
Moreover, the exposure in the said exposure process should just be performed to at least one part of the curable composition from which the solvent was removed, for example, may be whole surface exposure or pattern exposure.
Further, after the exposure step, post-exposure heat treatment (Post Exposure Bake (hereinafter also referred to as “PEB”)) can be performed. The temperature for performing PEB is preferably 30 ° C. or higher and 130 ° C. or lower, more preferably 40 ° C. or higher and 110 ° C. or lower, and particularly preferably 50 ° C. or higher and 100 ° C. or lower.
The heating method is not particularly limited, and a known method can be used. For example, a hot plate, an oven, an infrared heater, etc. are mentioned.
The heating time is preferably about 1 to 30 minutes in the case of a hot plate, and is preferably about 20 to 120 minutes in other cases. If it is the said temperature range, it can suppress and damage to a board | substrate and an apparatus, and can heat.

現像工程においては、未硬化の硬化性組成物を、水性現像液を用いて現像除去し、ネガ画像を形成する。現像工程で使用する現像液は、アルカリ性の水性現像液であることが好ましい。
現像工程で使用する現像液には、塩基性化合物が含まれることが好ましい。塩基性化合物としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物類;炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸セシウムなどのアルカリ金属炭酸塩類;重炭酸ナトリウム、重炭酸カリウムなどのアルカリ金属重炭酸塩類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ジエチルジメチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類:コリン等の(ヒドロキシアルキル)トリアルキルアンモニウムヒドロキシド類;ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどのケイ酸塩類;エチルアミン、プロピルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン等のアルキルアミン類;ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類;1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン等の脂環式アミン類を使用することができる。
これらのうち、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、コリン(2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド)が好ましい。
また、上記アルカリ類の水溶液にメタノールやエタノールなどの水溶性有機溶剤や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。
好ましい現像液として、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの0.4〜2.5質量%水溶液を挙げることができる。
現像液のpHは、好ましくは10.0〜14.0である。
現像時間は、好ましくは30〜500秒間であり、また、現像の手法は液盛り法(パドル法)、シャワー法、ディップ法等のいずれでもよい。
現像の後に、リンス工程を行うこともできる。リンス工程では、現像後の基板を純水などで洗うことで、付着している現像液除去、現像残渣除去を行う。リンス方法は公知の方法を用いることができる。例えばシャワーリンスやディップリンスなどを挙げることができる。
パターン露光及び現像については、公知の方法や公知の現像液を用いることができる。例えば、特開2011−186398号公報、特開2013−83937号公報に記載のパターン露光方法及び現像方法を好適に用いることができる。
In the development step, the uncured curable composition is developed and removed using an aqueous developer to form a negative image. The developer used in the development step is preferably an alkaline aqueous developer.
The developer used in the development step preferably contains a basic compound. Examples of basic compounds include alkali metal hydroxides such as lithium hydroxide, sodium hydroxide, and potassium hydroxide; alkali metal carbonates such as sodium carbonate, potassium carbonate, and cesium carbonate; sodium bicarbonate, potassium bicarbonate Alkali metal bicarbonates such as: tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, diethyldimethylammonium hydroxide, and other tetraalkylammonium hydroxides: Alkyl) trialkylammonium hydroxides; silicates such as sodium silicate and sodium metasilicate; ethylamine, propylamine, diethylamine, triethylammonium Alkylamines such as diamine; alcohol amines such as dimethylethanolamine and triethanolamine; 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo [4.3.0]- Alicyclic amines such as 5-nonene can be used.
Of these, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, and choline (2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide) are preferable.
An aqueous solution obtained by adding an appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol or a surfactant to the alkaline aqueous solution can also be used as a developer.
As a preferred developing solution, a 0.4 to 2.5% by mass aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide can be mentioned.
The pH of the developer is preferably 10.0 to 14.0.
The development time is preferably 30 to 500 seconds, and the development method may be any of a liquid piling method (paddle method), a shower method, a dipping method, and the like.
A rinsing step can also be performed after development. In the rinsing step, the developed substrate and the development residue are removed by washing the developed substrate with pure water or the like. A known method can be used as the rinsing method. For example, a shower rinse, a dip rinse, etc. can be mentioned.
For pattern exposure and development, a known method or a known developer can be used. For example, the pattern exposure method and the development method described in JP 2011-186398 A and JP 2013-83937 A can be suitably used.

本発明の硬化膜の製造方法は、上記現像工程後、現像された硬化性組成物を熱処理する工程(ポストベーク)を含むことが好ましい。本発明の硬化性組成物を現像した後に熱処理を行うことにより、より強度に優れた硬化膜を得ることができる。
上記熱処理工程における熱処理温度としては、180℃以下が好ましく、150℃以下がより好ましく、130℃以下が更に好ましい。下限値としては、80℃以上が好ましく、90℃以上がより好ましい。加熱の方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、ホットプレート、オーブン、赤外線ヒーターなどが挙げられる。
また、加熱時間としては、ホットプレートの場合は1分〜30分程度が好ましく、それ以外の場合は20分〜120分程度が好ましい。上記温度範囲であれば、基板、装置へのダメージを抑えて硬化することができる。
また、熱処理工程(ポストベーク)の前に、比較的低温でベークを行った後に熱処理工程を行うこともできる(ミドルベーク工程の追加)。ミドルベークを行う場合は、90〜150℃で1〜60分加熱した後に、100℃以上の温度で熱処理することが好ましい。また、ミドルベーク、ポストベークを3段階以上の多段階に分けて加熱することもできる。このようなミドルベーク、ポストベークの工夫により、パターンの形状を調整することができる。これらの加熱は、ホットプレート、オーブン、赤外線ヒーターなど、公知の加熱方法を使用することができる。
It is preferable that the manufacturing method of the cured film of this invention includes the process (post-baking) of heat-processing the developed curable composition after the said image development process. By performing heat treatment after developing the curable composition of the present invention, a cured film having higher strength can be obtained.
As heat processing temperature in the said heat processing process, 180 degrees C or less is preferable, 150 degrees C or less is more preferable, and 130 degrees C or less is still more preferable. As a lower limit, 80 degreeC or more is preferable and 90 degreeC or more is more preferable. The heating method is not particularly limited, and a known method can be used. For example, a hot plate, an oven, an infrared heater, etc. are mentioned.
The heating time is preferably about 1 to 30 minutes in the case of a hot plate, and is preferably about 20 to 120 minutes in other cases. If it is the said temperature range, it can harden | cure, suppressing the damage to a board | substrate and an apparatus.
In addition, the heat treatment step can be performed after baking at a relatively low temperature before the heat treatment step (post-bake) (addition of a middle bake step). When performing middle baking, it is preferable to heat-treat at a temperature of 100 ° C. or higher after heating at 90 to 150 ° C. for 1 to 60 minutes. Further, middle baking and post baking can be heated in three or more stages. The shape of the pattern can be adjusted by devising such middle baking and post baking. These heating methods can use well-known heating methods, such as a hotplate, oven, and an infrared heater.

また、現像工程後、熱処理工程前に、膜硬度向上の観点から、現像された硬化性組成物に更に光を照射するポスト露光工程を含むことが好ましい。
上記ポスト露光工程においては、現像された硬化性組成物の全面に露光することが好ましい。ポスト露光後にポストベークすることにより、露光部分に残存する光重合開始剤から開始種を発生させ、架橋工程を促進する触媒として機能させることができ、膜の硬化反応を促進することができる。また、ポスト露光工程においては、水銀灯やLEDランプなどで50〜3,000mJ/cm程度のエネルギー露光することが好ましい。
Moreover, it is preferable to include the post-exposure process which irradiates light further to the developed curable composition from a viewpoint of film | membrane hardness improvement after a image development process and before a heat processing process.
In the post-exposure step, it is preferable to expose the entire surface of the developed curable composition. By post-baking after the post-exposure, it is possible to generate an initiation species from the photopolymerization initiator remaining in the exposed portion and to function as a catalyst for accelerating the crosslinking step, and to accelerate the film curing reaction. In the post-exposure step, it is preferable to perform energy exposure of about 50 to 3,000 mJ / cm 2 with a mercury lamp or an LED lamp.

本発明の硬化膜は、本発明の硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜である。
本発明の硬化膜は、層間絶縁膜(絶縁膜)やオーバーコート膜(保護膜)として好適に用いることができ、タッチパネル用オーバーコート膜としてより好適に用いられ、オンセル構造タッチパネル用オーバーコート膜として更に好適に用いられる。オンセル構造タッチパネルとは、後述するオンセル型のタッチパネル表示装置と同義である。また、本発明の硬化膜は、本発明の硬化膜の製造方法により得られた硬化膜であることが好ましい。
本発明の硬化性組成物により、低温で硬化しても充分な硬度のある硬化膜が得られる。例えば、硬度が4H以上である硬化膜が得られる。本発明の硬化性組成物を硬化して形成される保護膜は、硬化膜物性に優れるため、有機EL表示装置や液晶表示装置の用途に有用である。
The cured film of the present invention is a cured film obtained by curing the curable composition of the present invention.
The cured film of the present invention can be suitably used as an interlayer insulating film (insulating film) or an overcoat film (protective film), more preferably used as an overcoat film for a touch panel, and as an overcoat film for an on-cell structure touch panel. Further preferably used. The on-cell touch panel is synonymous with an on-cell touch panel display device described later. Moreover, it is preferable that the cured film of this invention is a cured film obtained by the manufacturing method of the cured film of this invention.
With the curable composition of the present invention, a cured film having sufficient hardness can be obtained even when cured at a low temperature. For example, a cured film having a hardness of 4H or more can be obtained. Since the protective film formed by curing the curable composition of the present invention is excellent in cured film properties, it is useful for applications of organic EL display devices and liquid crystal display devices.

本発明の硬化性組成物は、硬化性及び硬化膜特性に優れるため、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)用デバイスの構造部材として、本発明の硬化性組成物を硬化した硬化物やレジストパターンを隔壁としたり、機械駆動部品の一部として組み込んで使用される。このようなMEMS用デバイスとしては、例えばSAWフィルタ、BAWフィルタ、ジャイロセンサー、ディスプレイ用マイクロシャッター、イメージセンサー、電子ペーパー、インクジェットヘッド、バイオチップ、封止剤等の部品が挙げられる。より具体的な例は、特表2007−522531号公報、特開2008−250200号公報、特開2009−263544号公報等に例示されている。   Since the curable composition of the present invention is excellent in curability and cured film characteristics, a cured product or resist pattern obtained by curing the curable composition of the present invention is used as a partition as a structural member of a device for MEMS (Micro Electro Mechanical Systems). Or used as part of a mechanical drive component. Examples of such MEMS devices include parts such as SAW filters, BAW filters, gyro sensors, display micro shutters, image sensors, electronic paper, inkjet heads, biochips, and sealants. More specific examples are exemplified in JP-T-2007-522531, JP-A-2008-250200, JP-A-2009-263544, and the like.

本発明の硬化性組成物は、平坦性や透明性に優れるため、例えば、特開2011−107476号公報の図2に記載のバンク層(16)及び平坦化膜(57)、特開2010−9793号公報の図4(a)に記載の隔壁(12)及び平坦化膜(102)、特開2010−27591号公報の図10に記載のバンク層(221)及び第3層間絶縁膜(216b)、特開2009−128577号公報の図4(a)に記載の第2層間絶縁膜(125)及び第3層間絶縁膜(126)、特開2010−182638号公報の図3に記載の平坦化膜(12)及び画素分離絶縁膜(14)などの形成に用いることもできる。この他、液晶表示装置における液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサー、液晶表示装置のカラーフィルタやカラーフィルタ保護膜、ファクシミリ、電子複写機、固体撮像素子等のオンチップカラーフィルタの結像光学系あるいは光ファイバコネクタのマイクロレンズにも好適に用いることができる。   Since the curable composition of the present invention is excellent in flatness and transparency, for example, the bank layer (16) and the planarization film (57) described in FIG. 2 of JP2011-107476A, JP2010- The partition wall (12) and the planarization film (102) shown in FIG. 4A of 9793, and the bank layer (221) and the third interlayer insulating film (216b) shown in FIG. 10 of JP 2010-27591A. ), Second interlayer insulating film (125) and third interlayer insulating film (126) described in FIG. 4A of JP-A-2009-128577, and flatness described in FIG. 3 of JP-A-2010-182638. It can also be used to form a chemical film (12), a pixel isolation insulating film (14), and the like. In addition, spacers for keeping the thickness of the liquid crystal layer in the liquid crystal display device constant, color filters for the liquid crystal display device, color filter protective films, facsimiles, electronic copying machines, imaging of on-chip color filters such as solid-state image sensors It can also be suitably used for a microlens of an optical system or an optical fiber connector.

(有機EL表示装置)
本発明の有機EL表示装置は、本発明の硬化膜を有することを特徴とする。
本発明の有機EL表示装置としては、本発明の硬化性組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の各種有機EL表示装置や液晶表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明の有機EL表示装置が有するTFT(Thin-Film Transistor)の具体例としては、アモルファスシリコン−TFT、低温ポリシリコン−TFT、酸化物半導体TFT等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのTFTに組み合わせて好ましく用いることができる。
図1は、有機EL表示装置の一例の構成概念図である。ボトムエミッション型の有機EL表示装置における基板の模式的断面図を示し、平坦化膜4を有している。
ガラス基板6上にボトムゲート型のTFT1を形成し、このTFT1を覆う状態でSi34から成る絶縁膜3が形成されている。絶縁膜3に、ここでは図示を省略したコンタクトホールを形成した後、このコンタクトホールを介してTFT1に接続される配線2(高さ1.0μm)が絶縁膜3上に形成されている。配線2は、TFT1間又は、後の工程で形成される有機EL素子とTFT1とを接続するためのものである。
更に、配線2の形成による凹凸を平坦化するために、配線2による凹凸を埋め込む状態で絶縁膜3上に平坦化膜4が形成されている。
平坦化膜4上には、ボトムエミッション型の有機EL素子が形成されている。すなわち、平坦化膜4上に、ITOからなる第一電極5が、コンタクトホール7を介して配線2に接続させて形成されている。また、第一電極5は、有機EL素子の陽極に相当する。
第一電極5の周縁を覆う形状の絶縁膜8が形成されており、この絶縁膜8を設けることによって、第一電極5とこの後の工程で形成する第二電極との間のショートを防止することができる。
更に、図1には図示していないが、所望のパターンマスクを介して、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層を順次蒸着して設け、次いで、基板上方の全面にAlから成る第二電極を形成し、封止用ガラス板と紫外線硬化型エポキシ樹脂とを用いて貼り合わせることで封止し、各有機EL素子にこれを駆動するためのTFT1が接続されてなるアクティブマトリックス型の有機EL表示装置が得られる。
(Organic EL display device)
The organic EL display device of the present invention has the cured film of the present invention.
The organic EL display device of the present invention is not particularly limited except that it has a planarizing film and an interlayer insulating film formed using the curable composition of the present invention, and various known organic EL devices having various structures. A display device and a liquid crystal display device can be given.
For example, specific examples of TFT (Thin-Film Transistor) included in the organic EL display device of the present invention include amorphous silicon-TFT, low-temperature polysilicon-TFT, and oxide semiconductor TFT. Since the cured film of the present invention is excellent in electrical characteristics, it can be preferably used in combination with these TFTs.
FIG. 1 is a conceptual diagram of an example of an organic EL display device. A schematic cross-sectional view of a substrate in a bottom emission type organic EL display device is shown, and a planarizing film 4 is provided.
A bottom gate type TFT 1 is formed on a glass substrate 6, and an insulating film 3 made of Si 3 N 4 is formed so as to cover the TFT 1. A contact hole (not shown) is formed in the insulating film 3, and then a wiring 2 (height: 1.0 μm) connected to the TFT 1 through the contact hole is formed on the insulating film 3. The wiring 2 is used to connect the TFT 1 with an organic EL element formed between the TFTs 1 or in a later process.
Further, in order to flatten the unevenness due to the formation of the wiring 2, a planarizing film 4 is formed on the insulating film 3 in a state where the unevenness due to the wiring 2 is embedded.
On the planarizing film 4, a bottom emission type organic EL element is formed. That is, the first electrode 5 made of ITO is formed on the planarizing film 4 so as to be connected to the wiring 2 through the contact hole 7. The first electrode 5 corresponds to the anode of the organic EL element.
An insulating film 8 having a shape covering the periphery of the first electrode 5 is formed. By providing the insulating film 8, a short circuit between the first electrode 5 and the second electrode formed in the subsequent process is prevented. can do.
Further, although not shown in FIG. 1, a hole transport layer, an organic light-emitting layer, and an electron transport layer are sequentially deposited through a desired pattern mask, and then a first layer made of Al is formed on the entire surface above the substrate. An active matrix type in which two electrodes are formed, sealed by bonding using a sealing glass plate and an ultraviolet curable epoxy resin, and TFTs 1 for driving the organic EL elements are connected. An organic EL display device is obtained.

(液晶表示装置)
本発明の液晶表示装置は、本発明の硬化膜を有することを特徴とする。
本発明の液晶表示装置としては、本発明の硬化性組成物を用いて形成されるオーバーコート膜(保護膜)、平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の液晶表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明の液晶表示装置が具備するTFT(Thin-Film Transistor)の具体例としては、アモルファスシリコン−TFT、低温ポリシリコン−TFT、酸化物半導体TFT(例えば、インジウムガリウム亜鉛酸化物、いわゆる、IGZO)等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのTFTに組み合わせて好ましく用いることができる。
また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶駆動方式としてはTN(Twisted Nematic)方式、VA(Vertical Alignment)方式、IPS(In-Plane-Switching)方式、FFS(Fringe Field Switching)方式、OCB(Optically Compensated Bend)方式などが挙げられる。
パネル構成においては、COA(Color Filter on Array)方式の液晶表示装置でも本発明の硬化膜を用いることができ、例えば、特開2005−284291号公報の有機絶縁膜(115)や、特開2005−346054号公報の有機絶縁膜(212)として用いることができる。また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶配向膜の具体的な配向方式としてはラビング配向法、光配向法などが挙げられる。また、特開2003−149647号公報や特開2011−257734号公報に記載のPSA(Polymer Sustained Alignment)技術によってポリマー配向支持されていてもよい。
また、本発明の硬化性組成物及び本発明の硬化膜は、上記用途に限定されず種々の用途に使用することができる。例えば、平坦化膜や層間絶縁膜以外にも、保護膜や、液晶表示装置における液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサーや固体撮像素子においてカラーフィルタ上に設けられるマイクロレンズ等に好適に用いることができる。
(Liquid crystal display device)
The liquid crystal display device of the present invention has the cured film of the present invention.
The liquid crystal display device of the present invention is not particularly limited except that it has an overcoat film (protective film) formed using the curable composition of the present invention, a planarizing film and an interlayer insulating film, and has various structures. The well-known liquid crystal display device which takes can be mentioned.
For example, as specific examples of TFT (Thin-Film Transistor) included in the liquid crystal display device of the present invention, amorphous silicon TFT, low temperature polysilicon TFT, oxide semiconductor TFT (for example, indium gallium zinc oxide, so-called, IGZO) and the like. Since the cured film of the present invention is excellent in electrical characteristics, it can be preferably used in combination with these TFTs.
Further, liquid crystal driving methods that can be taken by the liquid crystal display device of the present invention include TN (Twisted Nematic) method, VA (Vertical Alignment) method, IPS (In-Plane-Switching) method, FFS (Fringe Field Switching) method, OCB (OCB) method. Optically Compensated Bend) method.
In the panel configuration, the cured film of the present invention can also be used in a COA (Color Filter on Array) type liquid crystal display device. For example, the organic insulating film (115) of Japanese Patent Laid-Open No. 2005-284291, -346054 can be used as the organic insulating film (212). Specific examples of the alignment method of the liquid crystal alignment film that can be taken by the liquid crystal display device of the present invention include a rubbing alignment method and a photo alignment method. Further, the polymer alignment may be supported by the PSA (Polymer Sustained Alignment) technique described in JP2003-149647A or JP2011-257734A.
Moreover, the curable composition of this invention and the cured film of this invention are not limited to the said use, but can be used for various uses. For example, in addition to a planarization film and an interlayer insulating film, it is suitable for a protective film, a spacer for keeping the thickness of a liquid crystal layer in a liquid crystal display device constant, a microlens provided on a color filter in a solid-state imaging device, etc. Can be used.

図2は、アクティブマトリックス方式の液晶表示装置10の一例を示す概念的断面図である。このカラー液晶表示装置10は、背面にバックライトユニット12を有する液晶パネルであって、液晶パネルは、偏光フィルムが貼り付けられた2枚のガラス基板14,15の間に配置されたすべての画素に対応するTFT16の素子が配置されている。ガラス基板上に形成された各素子には、硬化膜17中に形成されたコンタクトホール18を通して、画素電極を形成するITO透明電極19が配線されている。ITO透明電極19の上には、液晶20の層とブラックマトリックスを配置したRGBカラーフィルタ22が設けられている。
バックライトの光源としては、特に限定されず公知の光源を用いることができる。例えば、白色LED、青色・赤色・緑色などの多色LED、蛍光灯(冷陰極管)、有機ELなどを挙げることができる。
また、液晶表示装置は、3D(立体視)型のものとしたり、タッチパネル型のもの(タッチパネル表示装置)としたりすることも可能である。更にフレキシブル型にすることも可能であり、特開2011−145686号公報に記載の第2層間絶縁膜(48)や、特開2009−258758号公報に記載の層間絶縁膜(520)として用いることができる。
FIG. 2 is a conceptual cross-sectional view showing an example of the active matrix type liquid crystal display device 10. The color liquid crystal display device 10 is a liquid crystal panel having a backlight unit 12 on the back surface, and the liquid crystal panel includes all pixels disposed between two glass substrates 14 and 15 having a polarizing film attached thereto. The elements of the TFT 16 corresponding to are arranged. Each element formed on the glass substrate is wired with an ITO transparent electrode 19 that forms a pixel electrode through a contact hole 18 formed in the cured film 17. On the ITO transparent electrode 19, an RGB color filter 22 in which a liquid crystal 20 layer and a black matrix are arranged is provided.
The light source of the backlight is not particularly limited, and a known light source can be used. For example, white LED, multicolor LED such as blue, red, and green, fluorescent lamp (cold cathode tube), organic EL, and the like can be mentioned.
Further, the liquid crystal display device can be a 3D (stereoscopic) type or a touch panel type (touch panel display device). Further, a flexible type can also be used, and it is used as the second interlayer insulating film (48) described in JP2011-145686A or the interlayer insulating film (520) described in JP2009-258758A. Can do.

(タッチパネル及びタッチパネル表示装置)
本発明のタッチパネルは、絶縁層及び/又は保護層の、全部又は一部が本発明の硬化性組成物の硬化物からなるタッチパネルである。また、本発明のタッチパネルは、透明基板、電極及び絶縁層及び/又は保護層を少なくとも有することが好ましい。
本発明のタッチパネル表示装置は、本発明のタッチパネルを有するタッチパネル表示装置であることが好ましい。本発明のタッチパネルとしては、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、電磁誘導方式など公知の方式いずれでもよい。中でも、静電容量方式が好ましい。
静電容量方式のタッチパネルとしては、特開2010−28115号公報に開示されるものや、国際公開第2012/057165号に開示されるものが挙げられる。
タッチパネル表示装置としては、いわゆる、インセル型(例えば、特表2012−517051号公報の図5、図6、図7、図8)、いわゆる、オンセル型(例えば、特開2012−43394号公報の図14、国際公開第2012/141148号の図2(b))、OGS型、TOL型、その他の構成(例えば、特開2013−164871号公報の図6)を挙げることができる。
また、図3は、タッチパネル表示装置の一例の構成概念図を示す。
例えば、本発明の硬化膜は、図3における、各層の間の保護膜に適用することが好適であり、また、タッチパネルの検出電極間を隔てる層間絶縁膜に適用することも好適である。なお、タッチパネルの検出電極としては、銀、銅、アルミニウム、チタン、モリブデン、これらの合金であることが好ましい。
図3において、110は画素基板を、140は液晶層を、120は対向基板を、130はセンサ部をそれぞれ示している。画素基板110は、図3の下側から順に、偏光板111、透明基板112、共通電極113、絶縁層114、画素電極115、配向膜116を有している。対向基板120は、図3の下側から順に、配向膜121、カラーフィルタ122、透明基板123を有している。センサ部130は、位相差フィルム124、接着層126、偏光板127をそれぞれ有している。また、図3中、125は、センサ用検出電極である。本発明の硬化膜は、画素基板部分の絶縁層(114)(層間絶縁膜ともいう。)や各種保護膜(図示せず)、画素基板部分の各種保護膜(図示せず)、対向基板部分の各種保護膜(図示せず)、センサ部分の各種保護膜(図示せず)等に使用できる。
(Touch panel and touch panel display device)
The touch panel of the present invention is a touch panel in which all or part of the insulating layer and / or protective layer is made of a cured product of the curable composition of the present invention. Moreover, it is preferable that the touch panel of this invention has a transparent substrate, an electrode, an insulating layer, and / or a protective layer at least.
The touch panel display device of the present invention is preferably a touch panel display device having the touch panel of the present invention. As the touch panel of the present invention, any of known methods such as a resistive film method, a capacitance method, an ultrasonic method, and an electromagnetic induction method may be used. Among these, the electrostatic capacity method is preferable.
Examples of the capacitive touch panel include those disclosed in JP 2010-28115 A and those disclosed in International Publication No. 2012/057165.
As a touch panel display device, a so-called in-cell type (for example, FIG. 5, FIG. 6, FIG. 7 and FIG. 8 of Japanese Patent Publication No. 2012-517051), a so-called on-cell type (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-43394). 14, International Publication No. 2012/141148, FIG. 2 (b)), OGS type, TOL type, and other configurations (for example, FIG. 6 of JP2013-164871A).
FIG. 3 is a conceptual diagram illustrating an example of a touch panel display device.
For example, the cured film of the present invention is preferably applied to the protective film between the layers in FIG. 3, and is also preferably applied to an interlayer insulating film that separates the detection electrodes of the touch panel. In addition, as a detection electrode of a touch panel, it is preferable that they are silver, copper, aluminum, titanium, molybdenum, and these alloys.
In FIG. 3, reference numeral 110 denotes a pixel substrate, 140 denotes a liquid crystal layer, 120 denotes a counter substrate, and 130 denotes a sensor unit. The pixel substrate 110 includes a polarizing plate 111, a transparent substrate 112, a common electrode 113, an insulating layer 114, a pixel electrode 115, and an alignment film 116 in order from the lower side of FIG. The counter substrate 120 includes an alignment film 121, a color filter 122, and a transparent substrate 123 in order from the lower side of FIG. The sensor unit 130 includes a retardation film 124, an adhesive layer 126, and a polarizing plate 127. In FIG. 3, reference numeral 125 denotes a sensor detection electrode. The cured film of the present invention includes an insulating layer (114) (also referred to as an interlayer insulating film) in the pixel substrate portion, various protective films (not shown), various protective films (not shown) in the pixel substrate portion, and a counter substrate portion. Can be used for various protective films (not shown), various protective films (not shown) for the sensor portion, and the like.

更に、スタティック駆動方式の液晶表示装置でも、本発明を適用することで意匠性の高いパターンを表示させることも可能である。例として、特開2001−125086号公報に記載されているようなポリマーネットワーク型液晶の絶縁膜として本発明を適用することができる。   In addition, a statically driven liquid crystal display device can display a pattern with high designability by applying the present invention. As an example, the present invention can be applied as an insulating film of a polymer network type liquid crystal as described in JP-A No. 2001-125086.

また、図4は、タッチパネル表示装置の他の一例の構成概念図である。
薄膜トランジスタ(TFT)440が具備された薄膜トランジスタ表示板に相当する下部表示板200、下部表示板200と対向して下部表示板200と対向する面に複数のカラーフィルタ330が具備されたカラーフィルタ表示板に相当する上部表示板300、及び下部表示板200と上部表示板300の間に形成された液晶層400を含む。液晶層400は液晶分子(図示せず)を含む。
FIG. 4 is a conceptual diagram of the configuration of another example of the touch panel display device.
A lower display panel 200 corresponding to a thin film transistor display panel provided with a thin film transistor (TFT) 440, and a color filter display panel provided with a plurality of color filters 330 on the surface facing the lower display panel 200 and facing the lower display panel 200. And the liquid crystal layer 400 formed between the lower display panel 200 and the upper display panel 300. The liquid crystal layer 400 includes liquid crystal molecules (not shown).

下部表示板200は、第1絶縁基板210、第1絶縁基板210の上に配置する薄膜トランジスタ(TFT)、薄膜トランジスタ(TFT)の上面に形成された絶縁膜280、及び絶縁膜280の上に配置する画素電極290を含む。薄膜トランジスタ(TFT)は、ゲート電極220、ゲート電極220を覆うゲート絶縁膜240、半導体層250、オーミックコンタクト層260、262、ソース電極270、及び、ドレイン電極272を含むことができる。絶縁膜280には薄膜トランジスタ(TFT)のドレイン電極272が露出するようにコンタクトホール282が形成されている。   The lower display panel 200 is disposed on the first insulating substrate 210, the thin film transistor (TFT) disposed on the first insulating substrate 210, the insulating film 280 formed on the upper surface of the thin film transistor (TFT), and the insulating film 280. A pixel electrode 290 is included. The thin film transistor (TFT) may include a gate electrode 220, a gate insulating film 240 covering the gate electrode 220, a semiconductor layer 250, ohmic contact layers 260 and 262, a source electrode 270, and a drain electrode 272. A contact hole 282 is formed in the insulating film 280 so that the drain electrode 272 of the thin film transistor (TFT) is exposed.

上部表示板300は、第2絶縁基板310の一面の上に配置して、マトリックス状に配列された遮光部材320、第2絶縁基板310の上に配置する配向膜350、配向膜の上に配置するカラーフィルタ330、及びカラーフィルタ330の上に配置し、下部表示板200の画素電極290と対応して、液晶層400に電圧を印加する共通電極370を含む。   The upper display panel 300 is disposed on one surface of the second insulating substrate 310, the light shielding members 320 arranged in a matrix, the alignment film 350 disposed on the second insulating substrate 310, and the alignment film. And a common electrode 370 that is disposed on the color filter 330 and applies a voltage to the liquid crystal layer 400 in correspondence with the pixel electrode 290 of the lower display panel 200.

図4に示すタッチパネル表示装置において、第2絶縁基板310の他の一面にはセンシング電極410、絶縁膜420、駆動電極430、及び、保護膜280を配置する。このように、図4に示す液晶表示装置の製造においては、上部表示板300を形成する時に、タッチスクリーンの構成要素であるセンシング電極410、絶縁膜420、及び、駆動電極430などを共に形成することができる。特に、本発明の硬化性組成物を硬化した硬化膜は、絶縁膜280や絶縁膜420に好適に用いることができる。   In the touch panel display device shown in FIG. 4, a sensing electrode 410, an insulating film 420, a drive electrode 430, and a protective film 280 are disposed on the other surface of the second insulating substrate 310. As described above, in the manufacture of the liquid crystal display device shown in FIG. 4, when the upper display panel 300 is formed, the sensing electrode 410, the insulating film 420, the drive electrode 430, and the like, which are constituent elements of the touch screen, are formed together. be able to. In particular, a cured film obtained by curing the curable composition of the present invention can be suitably used for the insulating film 280 and the insulating film 420.

以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は質量基準である。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below. Unless otherwise specified, “part” and “%” are based on mass.

<化合物の合成例> <Examples of compound synthesis>

Figure 2016069345
Figure 2016069345

〔合成例1:A−1の合成〕
チタニウムテトライソプロポキシド(20.0g、70.0mmol)に対して、ライトエステルHO−MS(2−メタクリロイロキシエチルコハク酸、共栄社化学(株)製、16.0g、70.0mmol)を、反応系の温度が室温(25℃、以下同様)〜45℃に保持されるよう冷却しながら滴下した。滴下終了後、30分間室温で撹拌した。続いて発生したアルコールをロータリーエバポレーターで減圧留去することで、黄色の油状物質A−1を得た(31.8g、収率100%)。
なお、得られたA−1のH−NMRスペクトル(400MHz,CDCl溶媒中)は、δ=1.24(18H,br),1.95(3H,br),2.64(4H,m),4.34(4H,m),5.00(3H,sept,J=6.2Hz),5.59(1H,br),6.13(1H,br)であった。
[Synthesis Example 1: Synthesis of A-1]
With respect to titanium tetraisopropoxide (20.0 g, 70.0 mmol), light ester HO-MS (2-methacryloyloxyethyl succinic acid, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., 16.0 g, 70.0 mmol) The reaction system was dropped while cooling so that the temperature of the reaction system was maintained at room temperature (25 ° C., the same applies hereinafter) to 45 ° C. After completion of dropping, the mixture was stirred for 30 minutes at room temperature. Subsequently, the generated alcohol was distilled off under reduced pressure using a rotary evaporator to obtain a yellow oily substance A-1 (31.8 g, yield 100%).
Incidentally, 1 H-NMR spectrum of the resulting A-1 (400MHz, CDCl 3 solvent) is, δ = 1.24 (18H, br ), 1.95 (3H, br), 2.64 (4H, m), 4.34 (4H, m), 5.00 (3H, sept, J = 6.2 Hz), 5.59 (1H, br), 6.13 (1H, br).

〔合成例2:A−2の合成〕
チタニウムテトラブトキシド(20.0g、58.8mmol)に対して、ライトエステルHO−MS(13.5g、58.8mmol)を、反応系の温度が室温〜45℃に保持されるよう冷却しながら滴下した。滴下終了後、30分間室温で撹拌した。続いて発生したアルコールをロータリーエバポレーターで減圧留去することで、黄色の油状物質A−2を得た(29.2g、収率100%)。
なお、得られたA−2のH−NMRスペクトル(400MHz,CDCl溶媒中)は、δ=0.92(9H,t,J=7.3Hz),1.33−1.60(12H,m),1.95(3H,brs),3.72−4.41(10H,m),5.59(1H,dq,J=1.6,1.6Hz),6.13(1H,br)であった。
[Synthesis Example 2: Synthesis of A-2]
With respect to titanium tetrabutoxide (20.0 g, 58.8 mmol), light ester HO-MS (13.5 g, 58.8 mmol) was added dropwise while cooling so that the temperature of the reaction system was maintained at room temperature to 45 ° C. did. After completion of dropping, the mixture was stirred for 30 minutes at room temperature. Subsequently, the generated alcohol was distilled off under reduced pressure using a rotary evaporator to obtain a yellow oily substance A-2 (29.2 g, yield 100%).
The 1 H-NMR spectrum (400 MHz, in CDCl 3 solvent) of A-2 obtained was δ = 0.92 (9H, t, J = 7.3 Hz), 1.33-1.60 (12H M), 1.95 (3H, brs), 3.72-4.41 (10H, m), 5.59 (1H, dq, J = 1.6, 1.6 Hz), 6.13 (1H , Br).

(実施例1及び2、並びに、比較例1及び2)
<化合物の安定性評価>
化合物A−1 5.0gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート((株)ダイセル製)10.0gと混合し、調製直後の組成物の粘度(初期粘度)と、30℃で2週間保管後の組成物の粘度(経時粘度)とを、E型粘度計(東機産業(株)製)にて測定した。化合物A−2、並びに、下記比較化合物A’−1及びA’−2についても同様にして組成物を調製し、経時安定性を評価した。評価結果を表1に示す。
評価基準は以下の通りであり、4以上が好ましい。
1:経時粘度が、初期粘度(100%)に対して相対評価として30%以上変化する
2:経時粘度が、初期粘度(100%)に対して相対評価として20%以上30%未満変化する
3:経時粘度が、初期粘度(100%)に対して相対評価として10%以上20%未満変化する
4:経時粘度が、初期粘度(100%)に対して相対評価として5%以上10%未満変化する
5:経時粘度が、初期粘度(100%)に対して相対評価として5%未満しか変化しない
(Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2)
<Stability evaluation of compounds>
Compound A-1 (5.0 g) was mixed with propylene glycol monomethyl ether acetate (manufactured by Daicel Corporation) (10.0 g), and the viscosity of the composition immediately after preparation (initial viscosity) and the composition after storage at 30 ° C. for 2 weeks. Was measured with an E type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.). Compositions were similarly prepared for the compound A-2 and the following comparative compounds A′-1 and A′-2, and the stability over time was evaluated. The evaluation results are shown in Table 1.
The evaluation criteria are as follows, and 4 or more are preferable.
1: The viscosity with time changes by 30% or more as a relative evaluation with respect to the initial viscosity (100%) 2: The viscosity with time changes by 20% or more and less than 30% as a relative evaluation with respect to the initial viscosity (100%) : Viscosity with time changes by 10% or more and less than 20% as relative evaluation with respect to initial viscosity (100%) 4: Viscosity with time changes by 5% or more and less than 10% as relative evaluation with respect to initial viscosity (100%) Yes 5: Viscosity with time changes by less than 5% relative evaluation to initial viscosity (100%)

Figure 2016069345
Figure 2016069345

Figure 2016069345
Figure 2016069345

<硬化性組成物の調製>
下記に記載のように各成分を配合・撹拌して有機溶剤の溶液及び/又は分散液とし、孔径0.3μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルタで濾過して、固形分濃度35%の硬化性組成物を得た。下記各成分の単位は、固形分換算の質量部を示す。
<Preparation of curable composition>
Each component is mixed and stirred as described below to obtain a solution and / or dispersion of an organic solvent, filtered through a polytetrafluoroethylene filter having a pore size of 0.3 μm, and a curable composition having a solid content concentration of 35%. I got a thing. The unit of each following component shows the mass part of solid content conversion.

〔配合例1〕
・A−1:10質量部
・B−1(KAYARAD DPHA、日本化薬(株)製、5〜6官能、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物):60質量部
・B−2(トリメチロールプロパントリアクリレート、アロニックスM−309、東亞合成(株)製、3官能):26質量部
・C−1(下記構造のオキシムエステル化合物、光重合開始剤):3質量部
・W−1(メガファックF554、DIC(株)製、フッ素系界面活性剤):1質量部
[Formulation Example 1]
A-1: 10 parts by mass B-1 (KAYARAD DPHA, Nippon Kayaku Co., Ltd., 5-6 functional, mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate): 60 parts by mass -2 (trimethylolpropane triacrylate, Aronix M-309, manufactured by Toagosei Co., Ltd., trifunctional): 26 parts by mass C-1 (oxime ester compound having the following structure, photopolymerization initiator): 3 parts by mass W-1 (Megafac F554, manufactured by DIC Corporation, fluorosurfactant): 1 part by mass

Figure 2016069345
Figure 2016069345

<化合物C−1の合成>
−化合物Aの合成−
エチルカルバゾール(100.0g、0.512mol)をクロロベンゼン260mlに溶解し、0℃に冷却後、塩化アルミニウム(70.3g、0.527mol)を加えた。続いてo−トルオイルクロリド(81.5g、0.527mol)を40分かけて滴下し、室温(25℃、以下同様)に昇温して3時間撹拌した。次に、0℃に冷却後、塩化アルミニウム(75.1g、0.563mol)を加えた。4−クロロブチリルクロリド(79.4g、0.563mol)を40分かけて滴下し、室温に昇温して3時間撹拌した。35質量%塩酸水溶液156mlと蒸留水392mlとの混合溶液を0℃に冷却し、反応溶液を滴下した。析出した固体を吸引濾過後、蒸留水とメタノールとで洗浄し、アセトニトリルで再結晶後、下記構造の化合物A(収量164.4g、収率77%)を得た。
<Synthesis of Compound C-1>
-Synthesis of Compound A-
Ethylcarbazole (100.0 g, 0.512 mol) was dissolved in 260 ml of chlorobenzene, and after cooling to 0 ° C., aluminum chloride (70.3 g, 0.527 mol) was added. Subsequently, o-toluoyl chloride (81.5 g, 0.527 mol) was added dropwise over 40 minutes, the temperature was raised to room temperature (25 ° C., the same applies hereinafter), and the mixture was stirred for 3 hours. Next, after cooling to 0 ° C., aluminum chloride (75.1 g, 0.563 mol) was added. 4-Chlorobutyryl chloride (79.4 g, 0.563 mol) was added dropwise over 40 minutes, and the mixture was warmed to room temperature and stirred for 3 hours. A mixed solution of 156 ml of 35 mass% hydrochloric acid aqueous solution and 392 ml of distilled water was cooled to 0 ° C., and the reaction solution was added dropwise. The precipitated solid was filtered with suction, washed with distilled water and methanol, and recrystallized from acetonitrile to obtain Compound A having the following structure (yield 164.4 g, yield 77%).

Figure 2016069345
Figure 2016069345

−化合物Bの合成−
上記で得られた化合物A(20.0g、47.9mmol)をテトラヒドロフラン(THF)64mlに溶解し、4−クロロベンゼンチオール(7.27g、50.2mmol)とヨウ化ナトリウム(0.7g、4.79mmol)とを加えた。続いて反応液に水酸化ナトリウム(2.0g、50.2mmol)を加え、2時間還流した。次に、0℃に冷却後、SM−28(11.1g、57.4mmol、ナトリウムメトキシド28%メタノール溶液、和光純薬工業(株)製)を20分かけて滴下し、室温に昇温して2時間撹拌した。次に、0℃に冷却後、亜硝酸イソペンチル(6.73g、57.4mmol)を20分かけて滴下し、室温に昇温して3時間撹拌した。反応液をアセトン120mlに希釈し、0℃に冷却した0.1N塩酸水溶液に滴下した。析出した固体を吸引濾過後、蒸留水で洗浄した。続いてアセトニトリルで再結晶し、下記構造の化合物B(収量17.0g、収率64%)を得た。
-Synthesis of Compound B-
Compound A (20.0 g, 47.9 mmol) obtained above was dissolved in 64 ml of tetrahydrofuran (THF), and 4-chlorobenzenethiol (7.27 g, 50.2 mmol) and sodium iodide (0.7 g, 4. 79 mmol). Subsequently, sodium hydroxide (2.0 g, 50.2 mmol) was added to the reaction solution, and the mixture was refluxed for 2 hours. Next, after cooling to 0 ° C., SM-28 (11.1 g, 57.4 mmol, sodium methoxide 28% methanol solution, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added dropwise over 20 minutes, and the temperature was raised to room temperature. And stirred for 2 hours. Next, after cooling to 0 ° C., isopentyl nitrite (6.73 g, 57.4 mmol) was added dropwise over 20 minutes, and the mixture was warmed to room temperature and stirred for 3 hours. The reaction solution was diluted with 120 ml of acetone and added dropwise to a 0.1N hydrochloric acid aqueous solution cooled to 0 ° C. The precipitated solid was filtered with suction and washed with distilled water. Subsequently, recrystallization was performed with acetonitrile to obtain a compound B having the following structure (yield: 17.0 g, yield: 64%).

Figure 2016069345
Figure 2016069345

−化合物C−1の合成−
化合物B(18.0g、32.4mmol)を90mlのN−メチルピロリドン(NMP)に溶解し、トリエチルアミン(Et3N、3.94g、38.9mmol)を加えた。次に、0℃に冷却後、アセチルクロライド(AcCl、3.05g、38.9mmol)を20分かけて滴下後、室温に昇温して2時間撹拌した。反応液を0℃に冷却した蒸留水150mlに滴下し、析出した固体を吸引濾過後、0℃に冷却したイソプロピルアルコール200mlで洗浄し、乾燥後、化合物C−1(収量19.5g、収率99%)を得た。
-Synthesis of Compound C-1-
Compound B (18.0 g, 32.4 mmol) was dissolved in 90 ml N-methylpyrrolidone (NMP) and triethylamine (Et 3 N, 3.94 g, 38.9 mmol) was added. Next, after cooling to 0 ° C., acetyl chloride (AcCl, 3.05 g, 38.9 mmol) was added dropwise over 20 minutes, and then the mixture was warmed to room temperature and stirred for 2 hours. The reaction solution was added dropwise to 150 ml of distilled water cooled to 0 ° C., and the precipitated solid was subjected to suction filtration, washed with 200 ml of isopropyl alcohol cooled to 0 ° C., dried, and then compound C-1 (yield 19.5 g, yield). 99%).

Figure 2016069345
Figure 2016069345

また、得られた化合物C−1の構造はNMRにて同定した。
1H−NMR(400MHz,CDCl3):δ=8.86(s,1H),8.60(s,1H),8.31(d,1H,J=8.0Hz),8.81(d,1H,J=8.0Hz),7.51−7.24(m,10H),7.36(q,2H,7.4Hz),3.24−3.13(m,4H),2.36(s,3H),2.21(s,3H),1.50(t,3H,7.4Hz)。
Moreover, the structure of the obtained compound C-1 was identified by NMR.
1 H-NMR (400 MHz, CDCl 3 ): δ = 8.86 (s, 1H), 8.60 (s, 1H), 8.31 (d, 1H, J = 8.0 Hz), 8.81 ( d, 1H, J = 8.0 Hz), 7.51-7.24 (m, 10H), 7.36 (q, 2H, 7.4 Hz), 3.24-3.13 (m, 4H), 2.36 (s, 3H), 2.21 (s, 3H), 1.50 (t, 3H, 7.4 Hz).

〔配合例2〜5〕
配合例1のA−1をA−2、A’−1又はA’−2にそれぞれ代えた以外は、配合例1と同様にして、配合例2〜4の硬化性組成物をそれぞれ得た。
また、配合例5については、配合例1において、A−1を添加しないものを配合例5として調製した。
[Composition Examples 2-5]
The curable compositions of Formulation Examples 2 to 4 were obtained in the same manner as Formulation Example 1, except that A-1 of Formulation Example 1 was replaced with A-2, A′-1 or A′-2, respectively. .
Moreover, about the compounding example 5, the thing which does not add A-1 in the compounding example 1 was prepared as the compounding example 5.

(実施例3及び4、並びに、比較例3〜5)
<基板密着性の評価>
上記で調合された配合例1〜5の各組成物について、ITOが蒸着された100mm×100mmのガラス基板上にスピンコートし、90℃、120秒のプリベークを行い、膜厚2.0μmの塗布膜を得た。次に高圧水銀灯により500mJ/cm(i線換算)の光照射を行い、更にオーブンで150℃、60分間ベークを行うことにより硬化膜を作製した。得られた硬化膜について、JIS K5600に準拠した方法で100マスのクロスカット試験を行い、密着性を評価した。
以下の評価は、評価レベル5及び4が好ましい範囲である。評価結果を表2に示す。
5:全くはがれが見られない。
4:わずかにはがれるが、はがれる割合が5%未満である。
3:はがれる割合が5%以上10%未満である。
2:はがれる割合が10%以上20%未満である。
1:はがれる割合が20%以上である。
(Examples 3 and 4 and Comparative Examples 3 to 5)
<Evaluation of substrate adhesion>
About each composition of the compounding examples 1-5 prepared above, it spin-coats on the glass substrate of 100 mm x 100 mm in which ITO was vapor-deposited, 90 degreeC and 120 second pre-baking were performed, and coating | coated with a film thickness of 2.0 micrometers A membrane was obtained. Next, light irradiation of 500 mJ / cm 2 (i-line conversion) was performed with a high-pressure mercury lamp, and a cured film was prepared by baking in an oven at 150 ° C. for 60 minutes. About the obtained cured film, the crosscut test of 100 squares was done by the method based on JISK5600, and adhesiveness was evaluated.
In the following evaluation, evaluation levels 5 and 4 are preferable ranges. The evaluation results are shown in Table 2.
5: No peeling at all.
4: Slightly peels off, but peels off less than 5%.
3: The peeling ratio is 5% or more and less than 10%.
2: The peeling ratio is 10% or more and less than 20%.
1: The peeling ratio is 20% or more.

Figure 2016069345
Figure 2016069345

<アルカリ現像性ポリマーの合成例1>
三つ口フラスコにPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)(89g)を入れ、窒素雰囲気下において90℃に昇温した。その溶液にメタクリル酸(全単量体成分中の20mol%となる量)、メタクリル酸メチル(全単量体成分中の80mol%となる量)、V−601(全単量体成分の合計100mol%に対して4mol%に相当)をPGMEA(89g)に室温で溶解させた溶液を、2時間かけて滴下した。滴下終了後2時間攪拌し、反応を終了させた。それにより重合体D−1を得た。なお、溶剤以外の成分(固形分と称する。)の濃度が40質量%になるよう調整した。
<Synthesis example 1 of alkali-developable polymer>
PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) (89 g) was placed in a three-necked flask and heated to 90 ° C. in a nitrogen atmosphere. In the solution, methacrylic acid (amount to be 20 mol% in all monomer components), methyl methacrylate (amount to be 80 mol% in all monomer components), V-601 (total 100 mol of all monomer components) A solution prepared by dissolving PGMEA (89 g) in room temperature at room temperature was added dropwise over 2 hours. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred for 2 hours to complete the reaction. Thereby, a polymer D-1 was obtained. In addition, it adjusted so that the density | concentration of components (referred to as solid content) other than a solvent might be 40 mass%.

<パターニング性の評価>
下記に記載のように各成分をPGMEAに配合・撹拌し、固形分35%のPGMEAの溶液及び/又は分散液として、孔径0.3μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルタで濾過して、硬化性組成物を得た。また、有機溶剤以外は、固形分換算の質量部を示す。
・A−1:10質量部
・B−1(KAYARAD DPHA、日本化薬(株)製、5〜6官能、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物):60質量部
・C−1(上記構造のオキシムエステル化合物):3質量部
・D−1(上記アルカリ現像性ポリマーの合成例1のポリマー):26質量部
・W−1(メガファックF554、DIC(株)製、フッ素系界面活性剤):1質量部
<Evaluation of patterning properties>
As described below, each component is blended and stirred in PGMEA and filtered through a polytetrafluoroethylene filter having a pore size of 0.3 μm as a PGMEA solution and / or dispersion with a solid content of 35% to obtain a curable composition. I got a thing. Moreover, the mass part of solid content conversion is shown except an organic solvent.
A-1: 10 parts by mass -1 (oxime ester compound of the above structure): 3 parts by mass D-1 (polymer of Synthesis Example 1 of the alkali-developable polymer): 26 parts by mass W-1 (Megafac F554, manufactured by DIC Corporation) Fluorosurfactant): 1 part by mass

(実施例5)
得られた硬化性組成物をガラス基板(100mm×100mm、EAGLE XG、0.7mm厚(コーニング社製))にスピンコート塗布した後、90℃/120秒ホットプレート上でプリベークして溶剤を揮発させ、膜厚2.0μmの硬化性組成物層を形成した。
次に、得られた硬化性組成物層を、高圧水銀灯を用いて、ラインアンドスペース1:1の50μmラインがあるマスクを介して100mJ/cmの露光(照度は24mW/cm)をした。そして、露光後の硬化性組成物層を、アルカリ現像液(2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液)で23℃/60秒間現像した後、超純水で20秒リンスした。
得られたパターンについて、スペース部の残膜とラインパターン/スペースパターンの線幅を測定し、パターニング性を評価したところ、スペース部に残膜は見られず、ラインパターン/スペースパターンの線幅比が±10%以内であり、良好なパターン形成性を示した。
(Example 5)
The obtained curable composition was spin-coated on a glass substrate (100 mm × 100 mm, EAGLE XG, 0.7 mm thickness (manufactured by Corning)), and then pre-baked on a hot plate at 90 ° C. for 120 seconds to volatilize the solvent. And a curable composition layer having a thickness of 2.0 μm was formed.
Next, the obtained curable composition layer was exposed to 100 mJ / cm 2 (illuminance was 24 mW / cm 2 ) using a high-pressure mercury lamp through a mask having a 50 μm line of line and space 1: 1. . The curable composition layer after the exposure was developed with an alkali developer (2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution) at 23 ° C./60 seconds, and then rinsed with ultrapure water for 20 seconds.
About the obtained pattern, when the remaining width film of the space part and the line width of the line pattern / space pattern were measured and the patterning property was evaluated, the remaining film was not seen in the space part, and the line width ratio of the line pattern / space pattern Was within ± 10%, indicating good pattern formability.

(実施例6、及び、比較例6)
<硬化膜の屈折率評価>
下記に記載のように各成分を配合・撹拌して有機溶剤の溶液及び/又は分散液とし、孔径0.3μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルタで濾過して、固形分濃度35%の硬化性組成物を得た。下記各成分の単位は、固形分換算の質量部を示す。
(Example 6 and Comparative Example 6)
<Evaluation of refractive index of cured film>
Each component is mixed and stirred as described below to obtain a solution and / or dispersion of an organic solvent, filtered through a polytetrafluoroethylene filter having a pore size of 0.3 μm, and a curable composition having a solid content concentration of 35%. I got a thing. The unit of each following component shows the mass part of solid content conversion.

〔配合例6〕
・A−1:35質量部
・B−1(KAYARAD DPHA、日本化薬(株)製、5〜6官能、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物):35質量部
・B−2(トリメチロールプロパントリアクリレート、アロニックスM−309、東亞合成(株)製、3官能):26質量部
・C−1(上記構造のオキシムエステル化合物):3質量部
・W−1(メガファックF554、DIC(株)製、フッ素系界面活性剤):1質量部
[Composition Example 6]
A-1: 35 parts by mass -2 (trimethylolpropane triacrylate, Aronix M-309, manufactured by Toagosei Co., Ltd., trifunctional): 26 parts by mass C-1 (oxime ester compound having the above structure): 3 parts by mass W-1 (mega Facque F554, manufactured by DIC Corporation, fluorosurfactant): 1 part by mass

〔配合例7〕
配合例6において、A−1を添加しないものを配合例7として調製した。
[Formulation Example 7]
In Formulation Example 6, a formulation to which A-1 was not added was prepared as Formulation Example 7.

上記配合例6及び7の組成物について、ガラス基板(100mm×100mm、EAGLE XG、0.7mm厚(コーニング社製))にスピンコート塗布した後、90℃/120秒ホットプレート上でプリベークして溶剤を揮発させ、膜厚2.0μmの組成物層をそれぞれ形成した。次に高圧水銀灯により500mJ/cm(i線換算)の光照射を行い、更にオーブンで200℃、60分間ベークを行うことにより硬化膜を作製した。エリプソメーターVUV−VASE(ジェー・エー・ウーラム・ジャパン(株)製)を用いて、550nmでの硬化膜の屈折率を測定した。 About the composition of the said compounding examples 6 and 7, after spin-coating application | coating to a glass substrate (100 mm x 100 mm, EAGLE XG, 0.7 mm thickness (made by Corning)), it prebaked on a 90 degreeC / 120 second hotplate. The solvent was volatilized to form 2.0 μm thick composition layers. Next, light irradiation of 500 mJ / cm 2 (i-line conversion) was performed with a high-pressure mercury lamp, and further, a cured film was produced by baking in an oven at 200 ° C. for 60 minutes. The refractive index of the cured film at 550 nm was measured using an ellipsometer VUV-VASE (manufactured by JA Woollam Japan Co., Ltd.).

Figure 2016069345
Figure 2016069345

1:TFT(薄膜トランジスタ)、2:配線、3:絶縁膜、4:平坦化膜、5:第一電極、6:ガラス基板、7:コンタクトホール、8:絶縁膜、10:液晶表示装置、12:バックライトユニット、14,15:ガラス基板、16:TFT、17:硬化膜、18:コンタクトホール、19:ITO透明電極、20:液晶、22:カラーフィルタ、110:画素基板、111:偏光板、112:透明基板、113:共通電極、114:絶縁層、115:画素電極、116:配向膜、120:対向基板、121:配向膜、122:カラーフィルタ、123:透明基板、124:位相差フィルム、125:センサ用検出電極、126:接着層、127:偏光板、130:センサ部、140:液晶層、200:下部表示板、210:第1絶縁基板、220:ゲート電極、240:ゲート絶縁膜、250:半導体層、260,262:オーミックコンタクト層、270:ソース電極、272:ドレイン電極、280:絶縁膜、282:コンタクトホール、290:画像電極、300:上部表示板、310:第2絶縁基板、320:遮光部材、330:カラーフィルタ、350:配向膜、370:共通電極、400:液晶層、410:センシング電極、420:絶縁膜、430:駆動電極、440:TFT   1: TFT (thin film transistor), 2: wiring, 3: insulating film, 4: flattening film, 5: first electrode, 6: glass substrate, 7: contact hole, 8: insulating film, 10: liquid crystal display device, 12 : Backlight unit, 14, 15: Glass substrate, 16: TFT, 17: Cured film, 18: Contact hole, 19: ITO transparent electrode, 20: Liquid crystal, 22: Color filter, 110: Pixel substrate, 111: Polarizing plate 112: transparent substrate, 113: common electrode, 114: insulating layer, 115: pixel electrode, 116: alignment film, 120: counter substrate, 121: alignment film, 122: color filter, 123: transparent substrate, 124: phase difference Film: 125: Detection electrode for sensor, 126: Adhesive layer, 127: Polarizing plate, 130: Sensor part, 140: Liquid crystal layer, 200: Lower display panel, 210: First insulating substrate, 20: gate electrode, 240: gate insulating film, 250: semiconductor layer, 260, 262: ohmic contact layer, 270: source electrode, 272: drain electrode, 280: insulating film, 282: contact hole, 290: image electrode, 300 : Upper display board, 310: second insulating substrate, 320: light shielding member, 330: color filter, 350: alignment film, 370: common electrode, 400: liquid crystal layer, 410: sensing electrode, 420: insulating film, 430: driving Electrode, 440: TFT

Claims (19)

式1で表されることを特徴とする
金属元素含有化合物。
Figure 2016069345
式1中、Mは、Ti、Zr又はCeを表し、R〜Rはそれぞれ独立に、アルキル基又は式2で表される基を表し、R〜Rの少なくとも1つは、式2で表される基である。
Figure 2016069345
式2中、R及びRはそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、R及びRはともに水素原子を表すか、又は、RとRとが結合して炭化水素環を形成しており、また、R及びRが各炭素原子に結合した炭素−炭素結合は、単結合であっても二重結合であってもよく、Rは、水素原子又はメチル基を表し、波線部分は、式1の酸素原子との結合位置を表す。
A metal element-containing compound represented by Formula 1.
Figure 2016069345
In Formula 1, M represents Ti, Zr or Ce, R 1 to R 4 each independently represents an alkyl group or a group represented by Formula 2, and at least one of R 1 to R 4 represents a formula 2 is a group represented by 2;
Figure 2016069345
In Formula 2, R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 7 and R 8 both represent a hydrogen atom, or R 7 and R 8 are bonded to form a hydrocarbon ring. The carbon-carbon bond in which R 7 and R 8 are bonded to each carbon atom may be a single bond or a double bond, and R 9 is a hydrogen atom or a methyl group The wavy line part represents the bonding position with the oxygen atom of Formula 1.
Mが、Ti又はZrである、請求項1に記載の金属元素含有化合物。   The metal element-containing compound according to claim 1, wherein M is Ti or Zr. Mが、Tiである、請求項1又は2に記載の金属元素含有化合物。   The metal element-containing compound according to claim 1 or 2, wherein M is Ti. 〜Rにおけるアルキル基が、炭素数2〜4のアルキル基である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の金属元素含有化合物。 The metal element-containing compound according to any one of claims 1 to 3, wherein the alkyl group in R 1 to R 4 is an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms. 〜Rにおける式2で表される基の数が、1である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の金属元素含有化合物。 5. The metal element-containing compound according to claim 1, wherein the number of groups represented by Formula 2 in R 1 to R 4 is one . が、水素原子である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の金属元素含有化合物。 The metal element-containing compound according to claim 1, wherein R 5 is a hydrogen atom. 成分Aとして、式1で表される金属元素含有化合物を含有することを特徴とする
硬化性組成物。
Figure 2016069345
式1中、Mは、Ti、Zr又はCeを表し、R〜Rはそれぞれ独立に、アルキル基又は式2で表される基を表し、R〜Rの少なくとも1つは、式2で表される基である。
Figure 2016069345
式2中、R及びRはそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、R及びRはともに水素原子を表すか、又は、RとRとが結合して炭化水素環を形成しており、また、R及びRが各炭素原子に結合した炭素−炭素結合は、単結合であっても二重結合であってもよく、Rは、水素原子又はメチル基を表し、波線部分は、式1の酸素原子との結合位置を表す。
A curable composition comprising a metal element-containing compound represented by Formula 1 as Component A.
Figure 2016069345
In Formula 1, M represents Ti, Zr or Ce, R 1 to R 4 each independently represents an alkyl group or a group represented by Formula 2, and at least one of R 1 to R 4 represents a formula 2 is a group represented by 2;
Figure 2016069345
In Formula 2, R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 7 and R 8 both represent a hydrogen atom, or R 7 and R 8 are bonded to form a hydrocarbon ring. The carbon-carbon bond in which R 7 and R 8 are bonded to each carbon atom may be a single bond or a double bond, and R 9 is a hydrogen atom or a methyl group The wavy line part represents the bonding position with the oxygen atom of Formula 1.
成分Bとして、成分A以外の重合性化合物を更に含有する、請求項7に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to claim 7, further comprising a polymerizable compound other than component A as component B. 成分Cとして、光重合開始剤を更に含有する、請求項7又は8に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to claim 7 or 8, further comprising a photopolymerization initiator as component C. 成分Dとして、バインダーポリマーを更に含有する、請求項7〜9のいずれか1項に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to any one of claims 7 to 9, further comprising a binder polymer as component D. Mが、Ti又はZrである、請求項7〜10のいずれか1項に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to any one of claims 7 to 10, wherein M is Ti or Zr. Mが、Tiである、請求項7〜11のいずれか1項に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to any one of claims 7 to 11, wherein M is Ti. 〜Rにおけるアルキル基が、炭素数2〜4のアルキル基である、請求項7〜12のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 Alkyl group in R 1 to R 4 is an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms The curable composition according to any one of claims 7-12. 〜Rにおける式2で表される基の数が、1である、請求項7〜13のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 The number of the group represented by the formula 2 in R 1 to R 4 is a 1, the curable composition according to any one of claims 7-13. が、水素原子である、請求項7〜14のいずれか1項に記載の硬化性組成物。 R 5 is a hydrogen atom, curable composition according to any one of claims 7 to 14. 請求項7〜15のいずれか1項に記載の硬化性組成物を硬化してなる硬化膜。   The cured film formed by hardening | curing the curable composition of any one of Claims 7-15. 請求項16に記載の硬化膜を有する有機EL表示装置。   An organic EL display device having the cured film according to claim 16. 請求項16に記載の硬化膜を有する液晶表示装置。   A liquid crystal display device having the cured film according to claim 16. 請求項16に記載の硬化膜を有するタッチパネル表示装置。   A touch panel display device comprising the cured film according to claim 16.
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