JP2016057216A - パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 - Google Patents
パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016057216A JP2016057216A JP2014184941A JP2014184941A JP2016057216A JP 2016057216 A JP2016057216 A JP 2016057216A JP 2014184941 A JP2014184941 A JP 2014184941A JP 2014184941 A JP2014184941 A JP 2014184941A JP 2016057216 A JP2016057216 A JP 2016057216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- processing unit
- height
- approximate curve
- image processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 57
- 238000005315 distribution function Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 79
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 45
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】試料表面から放出される二次電子が分散σのガウス分布関数で表されものとして、パターンとガウス分布関数との重なりから、パターンのエッジの外側の領域のラインプロファイルの近似曲線を求める。そして、ラインプロファイルとの誤差が最も小さくなる近似曲線を通じて分散σの値を求める。その後、予めパターンの高さが判明している校正用試料で求めたパターンの高さと分散との相関関係に基づいて前記パターンの高さを算出する。
【選択図】図7
Description
図1は、本実施形態に係るパターン高さ測定装置100を示すブロック図である。
図10は、パターン高さHと分散σとの相関関係の求め方を示すフローチャートである。
本実施形態では、図1に示すパターン高さ測定装置100を用いて隣接するパターン間のスペース狭い場合のパターンの高さの測定方法について説明する。
以下、図1のパターン高さ測定装置100において、差分プロファイルを用いて追加的に行われるパターンの断面形状の再現機能について説明する。
上記の実施形態では、対向する2方向の検出器が捉えた画像からの差分プロファイルに基づいて、パターンの高さを測定する内容について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
Claims (14)
- 電子ビームを試料表面に照射つつ走査させる電子ビーム走査部と、
前記電子ビームの光軸の周り円盤状に形成され、周方向に複数の領域に分割された二次電子検出器と、
前記二次電子検出器の検出信号に基づいて前記試料表面を複数の異なる方向の検出器が捉えた二次電子像を生成する信号処理部と、
前記二次電子像に基づいて前記試料表面に形成されたパターンの高さを算出する画像処理部と
を備えたパターン高さ測定装置であって、
前記画像処理部は、
前記二次電子像から前記パターンと交差するラインに沿った輝度の分布を表すラインプロファイルを抽出するステップと、
前記パターンのエッジの外側の領域のラインプロファイルの近似曲線の候補を、前記二次電子の分布を表す分布関数と前記パターンとの重りに基づいて求めるステップと、
前記二次電子の分布関数の広がりを変化させながら、前記ラインプロファイルの近似曲線の候補を求めるステップを複数回繰り返し、前記ラインプロファイルとの誤差値が最も小さくなる前記近似曲線の候補を求めるステップと、
ラインプロファイルとの誤差値が最も小さくなる前記近似曲線の候補を与える二次電子の分布関数の広がりを求めるステップと、
予めパターンの高さが判明している校正用試料で求めたパターンの高さと前記分布関数の広がりとの相関関係に基づいて前記パターンの高さを算出するステップと、
を行うことを特徴とするパターン高さ測定装置。 - 前記二次電子の分布関数は前記電子ビームの照射位置を中心とするガウス分布関数で表され、前記二次電子の分布関数の広がりは前記ガウス分布関数の分散σであり、
前記画像処理部は、前記ガウス分布関数の中心の位置を前記ラインに沿って移動させつつ、前記ガウス分布関数と前記パターンとの重なりを求めることで前記ラインプロファイルの近似曲線の候補を求めることを特徴とする請求項1に記載のパターン高さ測定装置。 - 前記パターンの高さは分散σの一次式で表され、前記画像処理部は前記近似曲線の候補から求めた分散σの値を前記分散σの一次式に代入することで、パターンの高さ求めることを特徴とする請求項2に記載のパターン高さ測定装置。
- 前記画像処理部は、前記ラインプロファイルと前記近似曲線の候補との差分の自乗和を取ることで前記ラインプロファイルと前記近似曲線の候補との誤差値を算出することを特徴とする請求項3に記載のパターン高さ測定装置。
- 前記画像処理部は、前記ラインプロファイルの立下りの傾きが最も大きい部分を前記パターンのエッジの上端の位置として検出し、前記パターンのエッジの上端の位置よりも外側の領域で、前記近似曲線の候補の算出及び前記誤差値の算出を行うことを特徴とする請求項4に記載のパターン高さ測定装置。
- 前記画像処理部は、
前記パターンのエッジと直交し、かつ互いに向かい合う2方向から前記試料表面を映した2つの二次電子像を生成するステップと、
前記2つの二次電子像の差分値を取った差分画像を生成するステップと、
前記差分画像から、前記パターンと直交するラインに沿った輝度値の分布を抽出するステップと、
を行うことにより前記ラインプロファイルを抽出することを特徴とする請求項5に記載のパターン高さ測定装置。 - 前記画像処理部は、
前記差分画像から抽出したラインプロファイルから前記近似曲線を減算した補正プロファイルを求めるステップと、
前記補正プロファイルを積分処理することで、前記ラインに沿った前記試料表面の高さ分布を再現するステップと、
を行うことを特徴とする請求項6に記載のパターン高さ測定装置。 - 電子ビームを試料表面に照射つつ走査させる電子ビーム走査部と、前記電子ビームの光軸の周り円盤状に形成され、周方向に複数の領域に分割された二次電子検出器と、前記二次電子検出器の検出信号に基づいて前記試料表面を複数の異なる方向の検出器が捉えた二次電子像を生成する信号処理部と、前記二次電子像に基づいて前記試料表面に形成されたパターンの高さを算出する画像処理部とを備えたパターン高さ測定装置において行われるパターン高さ測定方法であって、
前記電子ビーム走査部において電子ビームを試料の表面に照射しつつ走査させるステップと、
前記二次電子検出器で、前記電子ビームの照射によって前記試料の表面から放出される二次電子の強度を検出するステップと、
前記信号処理部で、前記二次電子検出器からの検出信号に基づいて前記試料表面の二次電子像を生成するステップと、
前記画像処理部が、前記二次電子像から前記パターンと交差するラインに沿った輝度値の分布を表すラインプロファイルを抽出するステップと、
前記画像処理部が、前記パターンのエッジの外側の領域のラインプロファイルの近似曲線の候補を、前記二次電子の分布を表す分布関数と前記パターンとの重りに基づいて求めるステップと、
前記画像処理部が前記二次電子の分布関数の広がりを変化させながら、前記ラインプロファイルの近似曲線の候補を求めるステップを複数回繰り返し、前記ラインプロファイルとの誤差値が最も小さくなる前記近似曲線の候補を求めるステップと、
前記画像処理部が、ラインプロファイルとの誤差値が最も小さくなる前記近似曲線の候補を与える二次電子の分布関数の広がりを求めるステップと、
前記画像処理部が、予めパターンの高さが判明している校正用試料で求めたパターンの高さと前記分布関数の広がりとの相関関係に基づいて前記パターンの高さを算出するステップと、
を有することを特徴とするパターン高さ測定方法。 - 前記二次電子の分布関数は前記電子ビームの照射位置を中心とするガウス分布関数で表され、前記二次電子の分関数の広がりは前記ガウス分布関数の分散σであり、
前記画像処理部が、前記ガウス分布関数の中心の位置を前記ラインに沿って移動させつつ、前記ガウス分布関数と前記パターンとの重なりを求めることで前記ラインプロファイルの近似曲線の候補を求めることを特徴とする請求項8に記載のパターン高さ測定方法。 - 前記パターンの高さは分散σの一次式で表され、前記画像処理部は前記近似曲線の候補から求めた分散σの値を前記分散σの一次式に代入することで、パターンの高さ求めることを特徴とする請求項9に記載のパターン高さ測定方法。
- 前記ラインプロファイルと前記近似曲線の候補との差分の自乗和を取ることで前記ラインプロファイルと前記近似曲線の候補との誤差値を算出することを特徴とする請求項10に記載のパターン高さ測定方法。
- 前記ラインプロファイルの立下りの傾きが最も大きい部分を前記パターンのエッジの上端の位置として検出し、前記パターンのエッジの上端よりも外側の領域で、前記近似曲線の候補の算出及び前記誤差値の算出を行うことを特徴とする請求項11に記載のパターン高さ測定方法。
- 前記パターンのエッジと直交し、かつ互いに向かい合う2方向から前記試料表面を映した2つの二次電子像を生成するステップと、
前記2つの二次電子像の差分値を取った差分画像を生成するステップと、
前記差分画像から、前記パターンと直交するラインに沿った輝度値の分布を抽出するステップと、
を行うことにより前記ラインプロファイルを抽出することを特徴とする請求項12に記載のパターン高さ測定方法。 - 前記画像処理部が前記差分画像から抽出したラインプロファイルから前記近似曲線を減算した補正プロファイルを求めるステップと、
前記画像処理部が前記補正プロファイルを積分処理することで、前記ラインに沿った前記試料表面の高さ分布を再現するステップと、
を有することを特徴とする請求項13に記載のパターン高さ測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014184941A JP6356551B2 (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014184941A JP6356551B2 (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016057216A true JP2016057216A (ja) | 2016-04-21 |
JP6356551B2 JP6356551B2 (ja) | 2018-07-11 |
Family
ID=55756564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014184941A Active JP6356551B2 (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6356551B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61239107A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 深さ測定方式 |
JPS62261911A (ja) * | 1986-05-08 | 1987-11-14 | Nec Corp | 形状測定方法 |
JPH11248442A (ja) * | 1998-03-05 | 1999-09-17 | Toshiba Corp | 段差測定方法及び段差測定装置 |
JP2002031520A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-01-31 | Hitachi Ltd | 三次元形状解析装置用校正部材及び三次元形状解析方法 |
WO2004061388A2 (en) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Physical Electronics, Inc. | Nondestructive characterization of thin films using measured basis spectra and/or based on acquired spectrum |
JP2009211961A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
JP2010085376A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 走査型電子顕微鏡を用いたパターン計測方法 |
JP2012177654A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Advantest Corp | パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 |
-
2014
- 2014-09-11 JP JP2014184941A patent/JP6356551B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61239107A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 深さ測定方式 |
JPS62261911A (ja) * | 1986-05-08 | 1987-11-14 | Nec Corp | 形状測定方法 |
JPH11248442A (ja) * | 1998-03-05 | 1999-09-17 | Toshiba Corp | 段差測定方法及び段差測定装置 |
JP2002031520A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-01-31 | Hitachi Ltd | 三次元形状解析装置用校正部材及び三次元形状解析方法 |
WO2004061388A2 (en) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Physical Electronics, Inc. | Nondestructive characterization of thin films using measured basis spectra and/or based on acquired spectrum |
JP2009211961A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
JP2010085376A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 走査型電子顕微鏡を用いたパターン計測方法 |
JP2012177654A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Advantest Corp | パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6356551B2 (ja) | 2018-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8030614B2 (en) | Charged particle beam apparatus and dimension measuring method | |
JP5530959B2 (ja) | パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 | |
US8330104B2 (en) | Pattern measurement apparatus and pattern measurement method | |
JP6255448B2 (ja) | 荷電粒子線装置の装置条件設定方法、および荷電粒子線装置 | |
US10340118B2 (en) | Scanning transmission electron microscope and method of image generation | |
JP2010276487A (ja) | テンプレートマッチング用テンプレート作成方法、及びテンプレート作成装置 | |
JP4194526B2 (ja) | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
US7652249B2 (en) | Charged particle beam apparatus | |
KR20190138736A (ko) | 패턴 측정 방법, 패턴 측정 툴, 및 컴퓨터 가독 매체 | |
US8384030B2 (en) | Method and apparatus for setting sample observation condition, and method and apparatus for sample observation | |
JP5461878B2 (ja) | ドリフト測定方法、荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 | |
JP6356551B2 (ja) | パターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法 | |
TWI809319B (zh) | 圖像調整方法及帶電粒子束系統 | |
JP2005201810A (ja) | 寸法測定装置、寸法測定方法およびプログラム | |
JP4231891B2 (ja) | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
US20240144560A1 (en) | Training Method for Learning Apparatus, and Image Generation System | |
US20220392738A1 (en) | Charged Particle Beam Apparatus and Image Acquiring Method | |
KR20150143907A (ko) | 하전입자 현미경의 주사신호 제어 방법 및 이를 이용한 장치 | |
CN114628210A (zh) | 带电粒子束装置 | |
JP2012033369A (ja) | 荷電ビーム装置及びパターンの傾斜角度測定方法 | |
JP2019039765A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2009224289A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170331 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180206 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180605 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180614 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6356551 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |